JPH11300958A - Ink jet recording head - Google Patents
Ink jet recording headInfo
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- JPH11300958A JPH11300958A JP10620698A JP10620698A JPH11300958A JP H11300958 A JPH11300958 A JP H11300958A JP 10620698 A JP10620698 A JP 10620698A JP 10620698 A JP10620698 A JP 10620698A JP H11300958 A JPH11300958 A JP H11300958A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、インク滴を吐出す
るノズル開口に連通する圧力発生室と、この圧力発生室
内にインク吐出のための圧力を発生させる圧力発生手段
とを具備するインクジェット式記録ヘッドに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ink jet type recording apparatus comprising a pressure generating chamber communicating with a nozzle opening for discharging ink droplets, and pressure generating means for generating a pressure for discharging ink in the pressure generating chamber. About the head.
【０００２】[0002]
【従来の技術】圧電振動子や発熱素子によって圧力発生
室内に圧力を発生させ、その圧力によりノズル開口から
インク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッドに
は、圧力発生手段として圧力発生室内に駆動信号により
ジュール熱を発生する抵抗線を設けたバブルジェット式
のものと、圧力発生室の一部を振動板で構成し、この振
動板を圧電振動子により変形させてノズル開口からイン
ク滴を吐出させる圧電振動式の２種類のものに大別され
る。また、圧電振動式のインクジェット式記録ヘッドに
は、圧電振動子の軸方向に伸長、収縮する縦振動モード
の圧電振動子を使用したものと、たわみ振動モードの圧
電振動子を使用したものの２種類が実用化されている。2. Description of the Related Art An ink jet recording head which generates pressure in a pressure generating chamber by a piezoelectric vibrator or a heating element and discharges ink droplets from a nozzle opening by the pressure is used as a pressure generating means by a driving signal in the pressure generating chamber. A bubble jet type equipped with a resistance wire that generates Joule heat, and a part of the pressure generating chamber composed of a diaphragm, which is deformed by a piezoelectric vibrator and ejects ink droplets from nozzle openings It is roughly divided into two types of vibration type. In addition, two types of piezoelectric vibrating ink jet recording heads are available, one using a longitudinal vibration mode piezoelectric vibrator that expands and contracts in the axial direction of the piezoelectric vibrator, and the other using a flexural vibration mode piezoelectric vibrator. Has been put to practical use.
【０００３】前者は圧電振動子の端面を振動板に当接さ
せることにより圧力発生室の容積を変化させることがで
きて、高密度印刷に適したヘッドの製作が可能である反
面、圧電振動子をノズル開口の配列ピッチに一致させて
櫛歯状に切り分けるという困難な工程や、切り分けられ
た圧電振動子を圧力発生室に位置決めして固定する作業
が必要となり、製造工程が複雑であるという問題があ
る。In the former method, the volume of the pressure generating chamber can be changed by bringing the end face of the piezoelectric vibrator into contact with the vibrating plate, so that a head suitable for high-density printing can be manufactured. A complicated process of cutting the piezoelectric vibrators into a comb-tooth shape in accordance with the arrangement pitch of the nozzle openings, and a work of positioning and fixing the separated piezoelectric vibrators in the pressure generating chambers, which complicates the manufacturing process. There is.
【０００４】これに対して後者は、圧電材料のグリーン
シートを圧力発生室の形状に合わせて貼付し、これを焼
成するという比較的簡単な工程で振動板に圧電振動子を
作り付けることができる。On the other hand, in the latter, a piezoelectric vibrator can be formed on a diaphragm by a relatively simple process of sticking a green sheet of a piezoelectric material according to the shape of a pressure generating chamber and firing the green sheet. .
【０００５】また、特開平５−２８６１３１号公報に見
られるように、振動板の表面全体に亙って成膜技術によ
り均一な圧電材料層を形成し、この圧電材料層をリソグ
ラフィ法により圧力発生室に対応する形状に切り分けて
各圧力発生室毎に独立するように圧電振動子を形成した
ものも提案されている。As disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-286131, a uniform piezoelectric material layer is formed over the entire surface of the diaphragm by a film forming technique, and the piezoelectric material layer is subjected to pressure generation by lithography. There has also been proposed one in which a piezoelectric vibrator is formed so as to be cut into a shape corresponding to a chamber and to be independent for each pressure generating chamber.
【０００６】近年、このような圧電振動子を具備するイ
ンクジェット式記録ヘッドを用いて、各ノズル開口から
吐出されるインク滴（ドット）の径を微小化して、より
高品位な印刷を実現することが要望されている。In recent years, by using an ink jet type recording head equipped with such a piezoelectric vibrator, the diameter of ink droplets (dots) discharged from each nozzle opening has been reduced to realize higher quality printing. Is required.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、グラフ
ィック印刷等を行う場合に、ドット径を微小化して印刷
品質を向上させると、細部の表現は可能になるものの、
ベタ印刷に時間がかかってしまい、印刷速度が低下して
しまうという問題がある。However, in the case of performing graphic printing or the like, if the dot diameter is reduced to improve the print quality, it is possible to express details,
There is a problem that it takes time to perform solid printing and the printing speed is reduced.
【０００８】現状では、上述のように圧電振動子を高密
度で配列してノズル開口の数を増やしたり、あるいは圧
電振動子を高速駆動させることにより、これらの欠点を
補っているものの、コストアップや信頼性の低下につな
がるという問題がある。At present, these disadvantages are compensated for by increasing the number of nozzle openings by arranging the piezoelectric vibrators at a high density as described above, or by driving the piezoelectric vibrators at a high speed. And a problem that leads to a decrease in reliability.
【０００９】また、圧電振動子の駆動波形を変更するこ
とにより大小のドットの打ち分けも可能であるが、制御
が煩雑になり、また、制御速度が低下してしまうという
問題がある。Further, by changing the driving waveform of the piezoelectric vibrator, large and small dots can be separated, but the control becomes complicated and the control speed is reduced.
【００１０】そこで、本発明はこのような事情に鑑み、
大小の異なるドット径のインク滴を容易に吐出可能なイ
ンクジェット式記録ヘッドを提供することを課題とす
る。Therefore, the present invention has been made in view of such circumstances,
An object of the present invention is to provide an ink jet recording head capable of easily ejecting ink droplets having different dot diameters of different sizes.
【００１１】[0011]
【課題を解決するための手段】上記課題を解決する本発
明の第１の態様は、ノズル開口に連通する圧力発生室の
列と、前記圧力発生室内にインク吐出のための圧力を発
生させる圧力発生手段とを具備するインクジェット式記
録ヘッドにおいて、当該ヘッドは、形状の異なる少なく
とも二種類の圧力発生室を具備することを特徴とするイ
ンクジェット式記録ヘッドにある。According to a first aspect of the present invention, there is provided an array of pressure generating chambers communicating with nozzle openings, and a pressure for generating a pressure for discharging ink in the pressure generating chambers. And a generating means, wherein the head comprises at least two types of pressure generating chambers having different shapes.
【００１２】かかる第１の態様では、形状の異なる圧力
発生室から圧力発生手段によってインクが吐出されるこ
とにより、ドット径が異なるインク滴を得ることができ
る。In the first aspect, ink droplets having different dot diameters can be obtained by discharging the ink from the pressure generating chambers having different shapes by the pressure generating means.
【００１３】本発明の第２の態様は、第１の態様におい
て、形状の異なる前記圧力発生室は、開口面積が異なる
ことを特徴とするインクジェット式記録ヘッドにある。According to a second aspect of the present invention, there is provided an ink jet recording head according to the first aspect, wherein the pressure generating chambers having different shapes have different opening areas.
【００１４】かかる第２の態様では、開口面積の違いに
よって、吐出されるインク滴の径が変化される。In the second aspect, the diameter of the ejected ink droplet changes depending on the difference in the opening area.
【００１５】本発明の第３の態様は、第１又は２の態様
において、前記圧力発生室の長手方向の長さを変えるこ
とにより異なる形状としたことを特徴とするインクジェ
ット式記録ヘッドにある。According to a third aspect of the present invention, there is provided an ink jet recording head according to the first or second aspect, wherein the pressure generating chamber has a different shape by changing a longitudinal length of the pressure generating chamber.
【００１６】かかる第３の態様では、長手方向の長さを
変えることにより、圧力発生室の形状を変えることがで
きる。In the third aspect, the shape of the pressure generating chamber can be changed by changing the length in the longitudinal direction.
【００１７】本発明の第４の態様は、第１〜３の何れか
の態様において、前記圧力発生室の幅を変えることによ
り異なる形状としたことを特徴とするインクジェット式
記録ヘッドにある。According to a fourth aspect of the present invention, there is provided an ink jet recording head according to any one of the first to third aspects, wherein the pressure generating chamber has a different shape by changing a width of the pressure generating chamber.
【００１８】かかる第４の態様では、幅を変えることに
より、圧力発生室の形状を変えることができる。In the fourth aspect, the shape of the pressure generating chamber can be changed by changing the width.
【００１９】本発明の第５の態様は、第１〜４の何れか
の態様において、同一主走査線上に形状の異なる前記圧
力発生室が並設されていることを特徴とするインクジェ
ット式記録ヘッドにある。According to a fifth aspect of the present invention, in any one of the first to fourth aspects, the pressure generating chambers having different shapes are arranged side by side on the same main scanning line. It is in.
【００２０】かかる第５の態様では、同一副走査位置で
ドット径の異なるインク滴を吐出でき、着弾位置のずれ
を防止できる。In the fifth aspect, ink droplets having different dot diameters can be ejected at the same sub-scanning position, and the displacement of the landing position can be prevented.
【００２１】本発明の第６の態様は、第５の態様におい
て、副走査方向には、同一形状の前記圧力発生室が並設
されていることを特徴とするインクジェット式記録ヘッ
ドにある。According to a sixth aspect of the present invention, there is provided an ink jet recording head according to the fifth aspect, wherein the pressure generating chambers having the same shape are arranged in the sub-scanning direction.
【００２２】かかる第６の態様では、同一主走査位置で
ドット径の異なるインク滴を吐出でき、着弾精度を向上
することができる。In the sixth aspect, ink droplets having different dot diameters can be ejected at the same main scanning position, and the landing accuracy can be improved.
【００２３】本発明の第７の態様は、第１〜５の何れか
の態様において、副走査方向には、形状の異なる前記圧
力発生室が並設されていることを特徴とするインクジェ
ット式記録ヘッドにある。According to a seventh aspect of the present invention, in any one of the first to fifth aspects, the pressure generating chambers having different shapes are provided side by side in the sub-scanning direction. In the head.
【００２４】かかる第７の態様では、流路形成基板にお
ける圧力発生室の配置バランスがとれ、隣接クロストー
クを防止することができる。In the seventh aspect, the arrangement of the pressure generating chambers in the flow path forming substrate is balanced, and adjacent crosstalk can be prevented.
【００２５】本発明の第８の態様は、第７の態様におい
て、形状の異なる前記圧力発生室は長手方向の長さが異
なり、且つ一端部が副走査方向に一列に並んで設けられ
ており、当該一端部には前記ノズル開口が連通し、他端
部には該圧力発生室にインクを供給するインク供給口が
連通していることを特徴とするインクジェット式記録ヘ
ッドにある。According to an eighth aspect of the present invention, in the seventh aspect, the pressure generating chambers having different shapes have different lengths in the longitudinal direction, and one ends are provided in a line in the sub-scanning direction. The nozzle opening communicates with the one end, and an ink supply port for supplying ink to the pressure generating chamber communicates with the other end.
【００２６】かかる第８の態様では、ノズル開口が副走
査方向に一列に並んで設けられ、インク滴の着弾精度が
向上される。In the eighth aspect, the nozzle openings are provided in a line in the sub-scanning direction, and the landing accuracy of ink droplets is improved.
【００２７】本発明の第９の態様は、第７の態様におい
て、形状の異なる前記圧力発生室は長手方向の長さが異
なり、且つ一端部が副走査方向に一列に並んで設けられ
ており、当該一端部には該圧力発生室にインクを供給す
るインク供給口が連通し、他端部には前記ノズル開口が
連通していることを特徴とするインクジェット式記録ヘ
ッドにある。According to a ninth aspect of the present invention, in the seventh aspect, the pressure generating chambers having different shapes have different lengths in the longitudinal direction, and one ends are provided in a line in the sub-scanning direction. An ink supply port for supplying ink to the pressure generating chamber communicates with the one end, and the nozzle opening communicates with the other end.
【００２８】かかる第９の態様では、インク供給口が副
走査方向に一列に並んで設けられているので、インク流
路の気泡の停滞が抑えられる。In the ninth aspect, since the ink supply ports are provided in a line in the sub-scanning direction, stagnation of bubbles in the ink flow path is suppressed.
【００２９】本発明の第１０の態様は、第１〜９の何れ
かの態様において、形状の異なる前記圧力発生室が一枚
の基板に設けられていることを特徴とするインクジェッ
ト式記録ヘッドにある。According to a tenth aspect of the present invention, there is provided an ink jet recording head according to any one of the first to ninth aspects, wherein the pressure generating chambers having different shapes are provided on a single substrate. is there.
【００３０】かかる第１０の態様では、圧力発生室を形
成した基板を一種類のみ製造すればよく、製造コストの
低減が図られる。In the tenth aspect, only one type of substrate in which the pressure generating chamber is formed needs to be manufactured, and the manufacturing cost can be reduced.
【００３１】本発明の第１１の態様は、第１〜９の何れ
かの態様において、同一形状の前記圧力発生室が設けら
れた基板を複数種有することを特徴とするインクジェッ
ト式記録ヘッドにある。According to an eleventh aspect of the present invention, there is provided an ink jet recording head according to any one of the first to ninth aspects, wherein a plurality of types of substrates each having the same pressure-generating chamber are provided. .
【００３２】かかる第１１の態様では、一枚の基板内に
同一形状の圧力発生室のみを形成すればよく、製造の安
定化を図ることができる。In the eleventh aspect, only pressure generating chambers having the same shape need be formed in one substrate, and the production can be stabilized.
【００３３】本発明の第１２の態様は、第１〜１１の何
れかの態様において、前記圧力発生手段は、前記圧力発
生室の一方面に設けられた振動板上に配設された圧電振
動子であることを特徴とするインクジェット式記録ヘッ
ドにある。According to a twelfth aspect of the present invention, in any one of the first to eleventh aspects, the pressure generating means includes a piezoelectric vibrating plate disposed on a diaphragm provided on one surface of the pressure generating chamber. And an ink jet recording head characterized in that the recording head is an ink jet recording head.
【００３４】かかる第１２の態様では、形状の異なる圧
力発生室にそれぞれ設けられた圧電振動子を駆動するこ
とにより、ドット径が異なるインク滴を得ることができ
る。In the twelfth aspect, by driving the piezoelectric vibrators provided in the pressure generating chambers having different shapes, ink droplets having different dot diameters can be obtained.
【００３５】本発明の第１３の態様は、第１２の態様に
おいて、前記圧力発生室がセラミックス製の基板に形成
され、前記圧電振動子の各層がグリーンシート貼付又は
印刷により形成されていることを特徴とするインクジェ
ット式記録ヘッドにある。According to a thirteenth aspect of the present invention, in the twelfth aspect, the pressure generating chamber is formed on a ceramic substrate, and each layer of the piezoelectric vibrator is formed by pasting or printing a green sheet. The feature is the ink jet recording head.
【００３６】かかる第１３の態様では、ヘッドを容易に
製造することができる。In the thirteenth aspect, the head can be easily manufactured.
【００３７】本発明の第１４の態様は、第１２の態様に
おいて、前記圧力発生室がシリコン単結晶基板に異方性
エッチングにより形成され、前記圧電振動子の各層が薄
膜及びリソグラフィ法により形成されたものであること
を特徴とするインクジェット式記録ヘッドにある。According to a fourteenth aspect of the present invention, in the twelfth aspect, the pressure generating chamber is formed by anisotropic etching on a silicon single crystal substrate, and each layer of the piezoelectric vibrator is formed by a thin film and a lithography method. An ink jet recording head according to any one of the preceding claims.
【００３８】かかる第１４の態様では、高密度のノズル
開口を有するインクジェット式記録ヘッドを大量に且つ
比較的容易に製造することができる。In the fourteenth aspect, an ink jet recording head having high-density nozzle openings can be manufactured in a large amount and relatively easily.
【００３９】本発明の第１５の態様は、第１〜１１の何
れかの態様において、前記圧力発生手段は、前記圧力発
生室内に設けられた発熱手段であることを特徴とするイ
ンクジェット式記録ヘッドにある。According to a fifteenth aspect of the present invention, in any one of the first to eleventh aspects, the pressure generating means is a heat generating means provided in the pressure generating chamber. It is in.
【００４０】かかる第１５の態様では、形状の異なる圧
力発生室内にそれぞれ設けられた発熱素子を加熱するこ
とにより、ドット径が異なるインク滴を得ることができ
る。In the fifteenth aspect, by heating the heating elements provided in the pressure generating chambers having different shapes, ink droplets having different dot diameters can be obtained.
【００４１】[0041]
【発明の実施の形態】以下に本発明を実施形態に基づい
て詳細に説明する。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below in detail based on embodiments.
【００４２】（実施形態１）図１は、本発明の実施形態
１に係るインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図であ
り、図２はその断面図である。(Embodiment 1) FIG. 1 is an exploded perspective view of an ink jet recording head according to Embodiment 1 of the present invention, and FIG. 2 is a sectional view thereof.
【００４３】図示するように、圧力発生室１１を形成す
る基板となるスペーサ１０は、複数枚、例えば、本実施
形態では４枚で構成され、例えば、１５０μｍ程度の厚
みを有するジルコニア（ＺｒＯ2）などのセラミックス
板で形成されている。それぞれのスペーサ１０には圧力
発生室１１となる貫通孔の列が形成され、詳しく後述す
るが、記録ヘッド全体で、形状の異なる二種類の圧力発
生室１１が形成されている。As shown in the figure, the spacer 10 serving as a substrate for forming the pressure generating chamber 11 is composed of a plurality of, for example, four in this embodiment, and for example, zirconia (ZrO 2 ) having a thickness of about 150 μm. And the like. A row of through holes serving as pressure generating chambers 11 is formed in each of the spacers 10. As will be described in detail later, two types of pressure generating chambers 11 having different shapes are formed in the entire recording head.
【００４４】スペーサ１０の一方面は、例えば、厚さ１
０μｍのジルコニアの薄板からなる弾性板１２により封
止され、弾性板１２の表面には下電極膜１３が形成され
ている。また、下電極膜１３の上には、圧力発生室１１
毎に独立して圧電体膜１４が固定されている。この圧電
体膜１４は、圧電材料からなるグリーンシートを貼付し
たり、圧電材料をスパッタリングする等の方法により形
成される。さらに、各圧電体膜１４の表面には、それぞ
れ上電極膜１５が形成され、この上電極膜１５上には、
例えば、フレキシブルケーブル等の外部配線１６が設け
られている。したがって、下電極膜１３と、各圧力発生
室１１毎に設けられた圧電体膜１４上の上電極膜１５と
の間に、外部配線１６を介して印刷データに基づいて電
圧を印加することにより、各圧電体膜１４は弾性板１２
と共にたわみ変形する。One surface of the spacer 10 has, for example, a thickness of 1
Sealed by an elastic plate 12 made of a thin plate of zirconia of 0 μm, a lower electrode film 13 is formed on the surface of the elastic plate 12. Further, on the lower electrode film 13, the pressure generating chamber 11 is provided.
Each time, the piezoelectric film 14 is fixed independently. The piezoelectric film 14 is formed by attaching a green sheet made of a piezoelectric material, sputtering the piezoelectric material, or the like. Further, an upper electrode film 15 is formed on the surface of each piezoelectric film 14, and on the upper electrode film 15,
For example, an external wiring 16 such as a flexible cable is provided. Therefore, by applying a voltage between the lower electrode film 13 and the upper electrode film 15 on the piezoelectric film 14 provided for each pressure generating chamber 11 via the external wiring 16 based on the print data, Each piezoelectric film 14 is formed on the elastic plate 12.
Deforms with bending.
【００４５】また、スペーサ１０の他方面は、圧力発生
室１１の長手方向一方の端部近傍に設けられ、圧力発生
室１１と後述のリザーバとを連通する供給連通孔１７
と、圧力発生室１１の他方側の端部近傍に設けられ後述
するノズルプレートのノズル開口に連通するノズル連通
孔１８とを有する圧力発生室底板１９が固定されてい
る。また、圧力発生室底板１９上には、厚さ１５０μｍ
のジルコニアの薄板からなるインク供給口形成基板２０
が形成されている。インク供給口形成基板２０は、ノズ
ル開口と圧力発生室１１とを接続するノズル連通孔２１
と、前述に供給連通孔１７と共にリザーバと圧力発生室
１１とを接続するインク供給口２２を穿設して構成さ
れ、また、リザーバと連通し、外部のインクタンクから
のインクを供給するインク導入口２３が設けられてい
る。The other surface of the spacer 10 is provided in the vicinity of one end of the pressure generating chamber 11 in the longitudinal direction, and is provided with a supply communication hole 17 for communicating the pressure generating chamber 11 with a reservoir described later.
A pressure generation chamber bottom plate 19 having a nozzle communication hole 18 provided near the other end of the pressure generation chamber 11 and communicating with a nozzle opening of a nozzle plate described later is fixed. In addition, the pressure generating chamber bottom plate 19 has a thickness of 150 μm.
Supply port forming substrate 20 made of a thin zirconia sheet
Are formed. The ink supply port forming substrate 20 has a nozzle communication hole 21 connecting the nozzle opening and the pressure generating chamber 11.
And an ink supply port 22 for connecting the reservoir and the pressure generating chamber 11 together with the supply communication hole 17 as described above, and communicating with the reservoir to supply ink from an external ink tank. A mouth 23 is provided.
【００４６】さらに、このインク供給口形成基板２０上
にはリザーバ形成基板２４が形成されている。このリザ
ーバ形成基板２４は、インク流路を構成するに適した、
例えば、１５０μｍのステンレス鋼などの耐食性を備え
た板材に、外部のインクタンクからインクの供給を受け
て圧力発生室１１にインクを供給するリザーバ２５と、
圧力発生室１１とノズル開口とを連通するノズル連通孔
２６とを有する。リザーバ形成基板２４のスペーサ１０
の反対面は、圧力発生室１１と同一の配列ピッチでノズ
ル開口２７が形成されたノズルプレート２８により封止
されている。Further, a reservoir forming substrate 24 is formed on the ink supply port forming substrate 20. This reservoir forming substrate 24 is suitable for forming an ink flow path,
For example, a reservoir 25 that receives ink supplied from an external ink tank and supplies ink to the pressure generating chamber 11 on a corrosion-resistant plate material such as 150 μm stainless steel,
It has a nozzle communication hole 26 that communicates the pressure generating chamber 11 with the nozzle opening. Spacer 10 of reservoir forming substrate 24
Is sealed by a nozzle plate 28 in which nozzle openings 27 are formed at the same arrangement pitch as the pressure generating chambers 11.
【００４７】ここで、上述した圧電体膜１４及びセラミ
ックス製の各部材は積層された後焼結されて一体的に形
成されており、リザーバ形成基板２４及びノズルプレー
ト２８は、接着剤層２９を介して固着されている。な
お、リザーバ形成基板２４及びノズルプレート２８もセ
ラミックスとして一体的に形成することもできる。Here, the above-mentioned piezoelectric film 14 and ceramic members are laminated and then sintered to be integrally formed. The reservoir forming substrate 24 and the nozzle plate 28 form an adhesive layer 29. Is fixed through. Note that the reservoir forming substrate 24 and the nozzle plate 28 can also be integrally formed as ceramics.
【００４８】また、このように形成された本実施形態の
インクジェット式記録ヘッドは、前述のように、形状の
異なる圧力発生室を有している。すなわち、複数のスペ
ーサには、本実施形態では、開口面積の異なる二種類の
圧力発生室が形成されている。Further, the ink jet recording head of the present embodiment thus formed has pressure generating chambers having different shapes as described above. That is, in the present embodiment, two types of pressure generating chambers having different opening areas are formed in the plurality of spacers.
【００４９】このような本実施形態のスペーサ１０の平
面図を図３に示す。FIG. 3 is a plan view of such a spacer 10 of the present embodiment.
【００５０】スペーサ１０には、図３に示すように、二
種類の形状の異なる圧力発生室、すなわち、一方の圧力
発生室よりも開口面積が大きい圧力発生室１１Ａ（以
下、大圧力発生室）及び、一方の圧力発生室よりも開口
面積が小さい圧力発生室１１Ｂ（以下、小圧力発生室）
が設けられている。これら大圧力発生室１１Ａ及び小圧
力発生室１１Ｂは、それぞれ副走査方向である圧力発生
室１１の幅方向に並設されている。また、主走査方向で
は、大圧力発生室１１Ａと小圧力発生室１１Ｂとが、そ
れぞれ同一走査線上に設けられ、吐出されたインク滴の
着弾ズレが防止されている。なお、大圧力発生室１１Ａ
と小圧力発生室１１Ｂとの開口面積は、本実施形態で
は、長手方向の長さによって異り、幅及び深さは同一に
形成されている。As shown in FIG. 3, the spacer 10 has pressure generating chambers having two different shapes, that is, a pressure generating chamber 11A having a larger opening area than one of the pressure generating chambers (hereinafter, a large pressure generating chamber). And a pressure generation chamber 11B having a smaller opening area than one of the pressure generation chambers (hereinafter, a small pressure generation chamber).
Is provided. The large pressure generation chamber 11A and the small pressure generation chamber 11B are arranged in parallel in the width direction of the pressure generation chamber 11, which is the sub-scanning direction. Further, in the main scanning direction, the large pressure generation chamber 11A and the small pressure generation chamber 11B are provided on the same scanning line, respectively, to prevent landing deviation of the ejected ink droplet. The large pressure generating chamber 11A
In the present embodiment, the opening area of the small pressure generating chamber 11B differs from the opening area of the small pressure generating chamber 11B, and has the same width and depth.
【００５１】このように、形状の異なる大圧力発生室１
１Ａと小圧力発生室１１Ｂとでは、同一条件で圧電振動
子を駆動する場合、各圧力発生室１１Ａ及び１１Ｂでの
排除体積が異ってくる。したがって、圧電振動子の駆動
波形等の条件を変えることなく、ぞれぞれの圧力発生室
１１Ａ、１１Ｂに対応するノズル開口２７から、容易に
ドット径の異なるインク滴を吐出することができ、常
に、印刷速度を低下させることなく、印刷を実行するこ
とができる。また、異なる形状の圧力発生室を同一主走
査線上に設けることにより、インク滴の着弾のズレが防
止されている。As described above, the large pressure generating chambers 1 having different shapes
When the piezoelectric vibrator is driven under the same conditions in 1A and the small pressure generation chamber 11B, the excluded volume in each of the pressure generation chambers 11A and 11B differs. Therefore, ink droplets having different dot diameters can be easily discharged from the nozzle openings 27 corresponding to the respective pressure generating chambers 11A and 11B without changing the conditions such as the drive waveform of the piezoelectric vibrator. Printing can always be performed without reducing the printing speed. Further, by providing pressure generating chambers having different shapes on the same main scanning line, displacement of landing of ink droplets is prevented.
【００５２】さらに、これらの圧力発生室１１Ａ，１１
Ｂ及びそれぞれの圧力発生室１１Ａ，１１Ｂに対応する
領域の圧電体膜１４は、圧力発生室１１Ａ，１１Ｂの形
状にかかわらず、同一工程で製造することができるた
め、製造工程を増やすことがなく、また、圧電体膜１４
の特性を一様にすることができる。Further, the pressure generating chambers 11A, 11A
B and the piezoelectric film 14 in the regions corresponding to the respective pressure generating chambers 11A and 11B can be manufactured in the same process regardless of the shape of the pressure generating chambers 11A and 11B. And the piezoelectric film 14
Can be made uniform.
【００５３】このように形成したインクジェット式記録
ヘッドは、図示しない外部インク供給手段と接続したイ
ンク導入口２３からインクを取り込み、共通インク室２
５からノズル開口２７に至るまで内部をインクで満たし
後、図示しない外部の駆動回路からの記録信号に従い、
異なる形状の圧力発生室１１Ａ、１１Ｂに対応するそれ
ぞれの下電極膜１３と上電極膜１５との間に外部配線１
６を介して電圧を印加し、弾性板１２、下電極膜１３及
び圧電体膜１４をたわみ変形させることにより、各圧力
発生室１１Ａ、１１Ｂ内の圧力が高まりノズル開口２７
からインク滴が吐出する。The ink jet recording head thus formed takes in ink from an ink inlet 23 connected to external ink supply means (not shown),
After filling the inside with ink from 5 to the nozzle opening 27, according to a recording signal from an external driving circuit (not shown),
The external wiring 1 is provided between the lower electrode film 13 and the upper electrode film 15 corresponding to the pressure generating chambers 11A and 11B having different shapes.
6, a voltage is applied to each of the elastic plates 12, the lower electrode film 13, and the piezoelectric film 14 so that the pressure in each of the pressure generating chambers 11A and 11B increases, and
Ink droplets are ejected.
【００５４】（実施形態２）図４は、実施形態２にかか
るスペーサの平面図である。FIG. 4 is a plan view of a spacer according to a second embodiment.
【００５５】本実施形態は、図４に示すように、それぞ
れのスペーサ１０に異なる形状の大圧力発生室１１Ａと
小圧力発生室１１Ｂとを幅方向、すなわち、副走査方向
に交互に並設し、また、主走査方向にも、大圧力発生室
１１Ａ及び小圧力発生室１１Ｂを並設した以外、基本的
構造は実施形態１と同様である。In this embodiment, as shown in FIG. 4, large-pressure generating chambers 11A and small-pressure generating chambers 11B having different shapes are alternately arranged in each spacer 10 in the width direction, that is, in the sub-scanning direction. The basic structure is the same as that of the first embodiment except that the large pressure generation chamber 11A and the small pressure generation chamber 11B are also arranged in the main scanning direction.
【００５６】本実施形態では、大圧力発生室１１Ａと小
圧力発生室１１Ｂとは、それぞれの圧力発生室の長手方
向一端部が副走査方向に一列に並ぶように配設されてい
る。また、この同一位置の端部に対応する領域にはノズ
ル連通孔１８を介してノズル開口２７が設けられてい
る。すなわち、ノズル開口２７は、副走査方向に一列に
形成されている。一方、圧力発生室１１の他方側の端部
に対応する領域には、供給連通孔１７が設けられてい
る。したがって、本実施形態では、幅方向に隣接する圧
力発生室の長手方向の長さが異なるため、供給連通孔１
７は千鳥状態に配置されることになる。In the present embodiment, the large pressure generation chamber 11A and the small pressure generation chamber 11B are arranged such that one end in the longitudinal direction of each pressure generation chamber is aligned in the sub-scanning direction. Further, a nozzle opening 27 is provided in a region corresponding to the end portion at the same position via the nozzle communication hole 18. That is, the nozzle openings 27 are formed in a line in the sub-scanning direction. On the other hand, a supply communication hole 17 is provided in a region corresponding to the other end of the pressure generation chamber 11. Therefore, in the present embodiment, since the lengths in the longitudinal direction of the pressure generation chambers adjacent in the width direction are different, the supply communication holes 1
7 are arranged in a staggered state.
【００５７】このような構成においても、実施形態１と
同様の効果を奏する。また、形状の異なる圧力発生室を
交互に配設するようにしたので、クロストークが防止さ
れ、ヘッドの信頼性を向上することができる。さらに、
副走査方向においてノズル開口を一列に、供給連通孔を
千鳥状態に設けたので、インク滴の着弾精度を向上する
ことができる。In such a configuration, the same effect as in the first embodiment can be obtained. Further, since the pressure generating chambers having different shapes are alternately arranged, crosstalk can be prevented and the reliability of the head can be improved. further,
Since the nozzle openings are arranged in a line in the sub-scanning direction and the supply communication holes are provided in a staggered state, the landing accuracy of ink droplets can be improved.
【００５８】また、本実施形態とは逆に、図５に示すよ
うに、副走査方向において、ノズル開口２７に連通する
ノズル連通孔１８を千鳥状態に設け、供給連通孔１７を
一列に設けるようにしてもよい。この場合には、圧力発
生室１１が副走査方向に一列に並んだ供給連通孔１７及
びインク供給口２２を介して接続されるリザーバ２５で
の気泡の停滞を防止することができる。In contrast to this embodiment, as shown in FIG. 5, the nozzle communication holes 18 communicating with the nozzle openings 27 are provided in a staggered manner in the sub-scanning direction, and the supply communication holes 17 are provided in a line. It may be. In this case, stagnation of air bubbles in the reservoir 25 connected via the supply communication hole 17 and the ink supply port 22 in which the pressure generating chambers 11 are arranged in a line in the sub-scanning direction can be prevented.
【００５９】（実施形態３）図６は、実施形態３に係る
スペーサの平面図である。(Embodiment 3) FIG. 6 is a plan view of a spacer according to Embodiment 3. FIG.
【００６０】本実施形態は、図６に示すように、一枚の
スペーサ１０に、同一の形状の圧力発生室、例えば、大
圧力発生室１１Ａのみを設け、他のスペーサ１０に、例
えば、小圧力発生室１１Ｂのみを設け、記録ヘッド全体
として二種類の異なる形状の圧力発生室１１Ａ、１１Ｂ
を有するようにした以外、基本的構造は実施形態１と同
様である。In this embodiment, as shown in FIG. 6, only one pressure generating chamber, for example, a large pressure generating chamber 11A having the same shape is provided in one spacer 10, and the other spacer 10 is provided with, for example, a small pressure generating chamber 11A. Only the pressure generating chamber 11B is provided, and the pressure generating chambers 11A and 11B of two different shapes are provided as the entire recording head.
The basic structure is the same as that of the first embodiment except that the first embodiment is provided.
【００６１】このような構成においても、実施形態１と
同様の効果を奏する。さらに、一枚のスペーサ１０に
は、同一形状の圧力発生室１１のみを形成すればよいた
め、製造の安定化を図ることができる。With such a configuration, the same effects as those of the first embodiment can be obtained. Furthermore, since only one pressure generating chamber 11 having the same shape needs to be formed in one spacer 10, the production can be stabilized.
【００６２】また、大圧力発生室１１Ａと小圧力発生室
１１Ｂとは、異なるスペーサ１０に形成されているが、
本実施形態においても、それぞれ同一主走査線上に設
け、インク滴の着弾のズレを防止している。なお、図示
したものは、それぞれ圧力発生室１１を２列ずつ設け、
各列のノズル開口２７の副走査方向の位置をずらしてい
るが、それぞれ一列ずつ並設してもよいことは言うまで
もない。The large pressure generating chamber 11A and the small pressure generating chamber 11B are formed on different spacers 10,
Also in the present embodiment, they are provided on the same main scanning line, respectively, to prevent displacement of landing of ink droplets. In the illustrated embodiment, two rows of pressure generating chambers 11 are provided, respectively.
Although the positions of the nozzle openings 27 in each row are shifted in the sub-scanning direction, it is needless to say that the nozzle openings 27 may be arranged in a row.
【００６３】（他の実施形態）以上、本発明の各実施形
態を説明したが、インクジェット式記録ヘッドの基本的
構成は上述したものに限定されるものではない。(Other Embodiments) The embodiments of the present invention have been described above, but the basic structure of the ink jet recording head is not limited to the above.
【００６４】例えば、上述の実施形態では、異なる形状
の大圧力発生室１１Ａ及び小圧力発生室１１Ｂは、長手
方向の長さが変えられることにより、開口面積が変えら
れているが、これに限定されず、例えば、図７（ａ）及
び（ｂ）に示すように、圧力発生室１１の幅を変えるこ
とにより開口面積を変えて、大圧力発生室１１Ａ及び小
圧力発生室１１Ｃとしてもよい。またこの場合にも、こ
れらの圧力発生室１１Ａ，１１Ｃの配列は、上述の実施
形態と同様に、図７（ａ）に示すように、同一の形状の
圧力発生室を副走査方向に並設してもよいし、図７
（ｂ）に示すように、異なる形状の圧力発生室を並設す
るようにしてもよい。何れの場合においても、上述の実
施形態と同様の効果を奏する。For example, in the above-described embodiment, the opening areas of the large pressure generating chambers 11A and the small pressure generating chambers 11B having different shapes are changed by changing the length in the longitudinal direction. Instead, for example, as shown in FIGS. 7A and 7B, the opening area may be changed by changing the width of the pressure generating chamber 11 to form the large pressure generating chamber 11A and the small pressure generating chamber 11C. Also in this case, the arrangement of the pressure generating chambers 11A and 11C is similar to that of the above-described embodiment, and the pressure generating chambers having the same shape are arranged in the sub-scanning direction as shown in FIG. Or as shown in FIG.
As shown in (b), pressure generating chambers having different shapes may be arranged in parallel. In any case, the same effects as in the above-described embodiment can be obtained.
【００６５】また、上述の各実施形態では、グリーンシ
ートを貼付する等の方法により形成される厚膜型のイン
クジェット式記録ヘッドを例にしたが、勿論これに限定
されるものではなく、例えば、成膜及びリソグラフィプ
ロセスを応用して製造される薄膜型のインクジェット式
記録ヘッド等、各種の構造のインクジェット式記録ヘッ
ドに本発明を採用することができる。Further, in each of the above embodiments, the thick-film type ink jet recording head formed by a method such as pasting a green sheet is used as an example. However, the present invention is not limited to this. The present invention can be applied to ink jet recording heads of various structures, such as a thin film type ink jet recording head manufactured by applying a film forming and lithography process.
【００６６】ここで、薄膜型のインクジェット式記録ヘ
ッドの一例を示す。図８は、記録ヘッドの一例を示す分
解斜視図であり、図９はその断面図である。Here, an example of a thin film type ink jet recording head will be described. FIG. 8 is an exploded perspective view showing an example of a recording head, and FIG. 9 is a sectional view thereof.
【００６７】このようなインクジェット式記録ヘッドで
は、図示するように、圧力発生室１１が形成された流路
形成基板３１の一方面には、弾性膜３２が形成されてい
る。この弾性膜３２上には、下電極膜３３、圧電体膜３
４及び上電極膜３５が積層及びパターニングされ、各圧
力発生室１１毎に圧電振動子３００を構成している。こ
の圧電振動子３００上には、電気絶縁性を備えた絶縁体
層３６が形成され、さらに、絶縁体層３６の各圧電振動
子３００に対応する部分には、リード電極３７と接続す
るために上電極膜３５の一部を露出させるコンタクトホ
ール３６ａが形成されている。このコンタクトホール３
６ａを介して、各上電極膜３５に一端が接続し、また他
端が接続端子部に延びるリード電極３７が形成されてい
る。In such an ink jet recording head, an elastic film 32 is formed on one surface of a flow path forming substrate 31 in which the pressure generating chamber 11 is formed, as shown in the figure. On the elastic film 32, the lower electrode film 33, the piezoelectric film 3
4 and the upper electrode film 35 are laminated and patterned, and the piezoelectric vibrator 300 is constituted for each pressure generating chamber 11. On the piezoelectric vibrator 300, an insulator layer 36 having electrical insulation is formed. Further, a portion of the insulator layer 36 corresponding to each piezoelectric vibrator 300 is connected to a lead electrode 37. A contact hole 36a exposing a part of the upper electrode film 35 is formed. This contact hole 3
A lead electrode 37 having one end connected to each upper electrode film 35 and the other end extending to the connection terminal portion is formed via 6a.
【００６８】一方、流路形成基板３１の他方面側には、
ノズル４１ａが穿設されたノズル形成基板４１が設けら
れ、このノズル４１ａと圧力発生室１１とを連通するノ
ズル連通孔４２が封止板４３、共通インク室形成基板４
４及びインク室板４５を貫通するように配されている。On the other hand, on the other side of the flow path forming substrate 31,
A nozzle forming substrate 41 provided with a nozzle 41a is provided, and a nozzle communication hole 42 for communicating the nozzle 41a and the pressure generating chamber 11 is formed with a sealing plate 43 and a common ink chamber forming substrate 4.
4 and the ink chamber plate 45.
【００６９】また、封止板４３、共通インク室形成基板
４４及び薄肉板４５により、共通インク室４６が形成さ
れている。この共通インク室４６と各圧力発生室１１と
は封止板４３に形成されたインク供給連通孔４７を介し
て連通されており、また、封止板４３には、外部からイ
ンク供給を受けるインク導入口４８が形成されている。
また、この共通インク室４６に対向する部分のインク室
板４５には凹部４５ａを形成することにより薄肉壁４９
が形成されている。この薄肉壁４９により、インクを吐
出する際に発生するノズル４１ａと反対側に向かう圧力
が吸収され、他の圧力発生室１１に、共通インク室４６
を経由して不要な正又は負の圧力が加わるのを防止して
いる。A common ink chamber 46 is formed by the sealing plate 43, the common ink chamber forming substrate 44, and the thin plate 45. The common ink chamber 46 and each of the pressure generating chambers 11 are communicated with each other through an ink supply communication hole 47 formed in the sealing plate 43. An inlet 48 is formed.
Further, a recess 45a is formed in the ink chamber plate 45 at a portion facing the common ink chamber 46, so that the thin wall 49 is formed.
Are formed. The thin wall 49 absorbs the pressure generated when the ink is ejected toward the side opposite to the nozzle 41a, and the other pressure generating chamber 11 is provided with the common ink chamber 46.
To prevent unnecessary positive or negative pressure from being applied.
【００７０】ここで、この実施形態においても、上述の
実施形態と同様に、異なる形状の圧力発生室を設けるこ
とにより、容易に異なるドット径のインク滴を吐出で
き、常に、印刷速度を低下させることなく、良好な印刷
を実行することができる。In this embodiment, similarly to the above-described embodiment, by providing pressure generating chambers having different shapes, ink droplets having different dot diameters can be easily ejected, and the printing speed is always reduced. Thus, good printing can be performed without any problem.
【００７１】また、以上説明した実施形態では、たわみ
変位型の圧電振動子を有するインクジェット式記録ヘッ
ドについて説明したが、例えば、圧電材料と電極形成材
料とをサンドイッチ状に交互に挟んで積層した構造の縦
振動モードの圧電振動子を有するインクジェット式記録
ヘッドにも応用できる。In the embodiment described above, the ink jet recording head having the flexural displacement type piezoelectric vibrator has been described. For example, a structure in which a piezoelectric material and an electrode forming material are alternately sandwiched and laminated. It can also be applied to an ink jet recording head having a piezoelectric vibrator in the longitudinal vibration mode.
【００７２】さらに、上述の実施形態では、圧電振動式
のインクジェット式記録ヘッドについて説明したが、こ
れに限定されず、例えば、バブルジェット式のインクジ
ェット式記録ヘッド等、種々の構造のインクジェット式
記録ヘッドに応用することができることはいうまでもな
い。Further, in the above-described embodiment, the description has been made of the piezoelectric vibration type ink jet recording head. However, the present invention is not limited to this. For example, the ink jet recording heads having various structures such as a bubble jet type ink jet recording head can be used. Needless to say, it can be applied to
【００７３】[0073]
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、ス
ペーサに異なる形状の圧力発生室を設けるようにしたの
で、圧電振動子の駆動波形等を変えることなく、容易に
ドット径の異なるインクを吐出することができる。した
がって、常に、印刷速度を低下させることなく良好な印
刷を実行することができ、また、インク滴吐出の安定性
を向上することができる。As described above, according to the present invention, since the pressure generating chambers having different shapes are provided in the spacer, the inks having different dot diameters can be easily formed without changing the driving waveform of the piezoelectric vibrator. Can be discharged. Therefore, good printing can be always performed without lowering the printing speed, and the stability of ink droplet ejection can be improved.
【００７４】また、これらの圧力発生室は、同一工程で
製造することができるため、製造工程が複雑化すること
なく、また、圧電振動子も同一工程で製造できるため、
特性を一様に製造することができるという効果を奏す
る。Since these pressure generating chambers can be manufactured in the same process, the manufacturing process is not complicated, and the piezoelectric vibrator can be manufactured in the same process.
There is an effect that the characteristics can be manufactured uniformly.
【図１】本発明の実施形態１に係るインクジェット式記
録ヘッドの分解斜視図である。FIG. 1 is an exploded perspective view of an ink jet recording head according to a first embodiment of the present invention.
【図２】本発明の実施形態１に係るインクジェット式記
録ヘッドを示す断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating the ink jet recording head according to the first embodiment of the present invention.
【図３】本発明の実施形態１に係るスペーサの平面図で
ある。FIG. 3 is a plan view of a spacer according to Embodiment 1 of the present invention.
【図４】本発明の実施形態２に係るスペーサの平面図で
ある。FIG. 4 is a plan view of a spacer according to a second embodiment of the present invention.
【図５】本発明の実施形態２に係るスペーサの変形例を
示す平面図である。FIG. 5 is a plan view showing a modification of the spacer according to the second embodiment of the present invention.
【図６】本発明の実施形態３に係るスペーサの平面図で
ある。FIG. 6 is a plan view of a spacer according to Embodiment 3 of the present invention.
【図７】本発明の他の実施形態に係るスペーサの平面図
である。FIG. 7 is a plan view of a spacer according to another embodiment of the present invention.
【図８】本発明の他の実施形態に係るインクジェット式
記録ヘッドの分解斜視図である。FIG. 8 is an exploded perspective view of an ink jet recording head according to another embodiment of the present invention.
【図９】本発明の他の実施形態に係るインクジェット式
記録ヘッドの断面図である。FIG. 9 is a cross-sectional view of an ink jet recording head according to another embodiment of the present invention.
１０ スペーサ １１ 圧力発生室 １１Ａ 大圧力発生室 １１Ｂ、１１Ｃ 小圧力発生室 １２ 弾性板 １３ 下電極膜 １４ 圧電体膜 １５ 上電極膜 １７ 供給連通孔 １８，２１，２６ ノズル連通孔 １９ 圧力発生室底板 ２０ インク供給口形成基板 ２２ インク供給口 ２３ インク導入口 ２４ リザーバ形成基板 ２５ リザーバ ２７ ノズル開口 ２８ ノズルプレート Reference Signs List 10 Spacer 11 Pressure generation chamber 11A Large pressure generation chamber 11B, 11C Small pressure generation chamber 12 Elastic plate 13 Lower electrode film 14 Piezoelectric film 15 Upper electrode film 17 Supply communication hole 18, 21, 26 Nozzle communication hole 19 Pressure generation chamber bottom plate Reference Signs List 20 ink supply port forming substrate 22 ink supply port 23 ink introduction port 24 reservoir forming substrate 25 reservoir 27 nozzle opening 28 nozzle plate
Claims (15)
と、前記圧力発生室内にインク吐出のための圧力を発生
させる圧力発生手段とを具備するインクジェット式記録
ヘッドにおいて、 当該ヘッドは、形状の異なる少なくとも二種類の圧力発
生室を具備することを特徴とするインクジェット式記録
ヘッド。1. An ink jet recording head comprising: a row of pressure generating chambers communicating with a nozzle opening; and pressure generating means for generating pressure for discharging ink into the pressure generating chamber. An ink jet recording head comprising at least two different pressure generating chambers.
力発生室は、開口面積が異なることを特徴とするインク
ジェット式記録ヘッド。2. The ink jet recording head according to claim 1, wherein the pressure generating chambers having different shapes have different opening areas.
室の長手方向の長さを変えることにより異なる形状とし
たことを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。3. The ink jet recording head according to claim 1, wherein the pressure generating chamber has a different shape by changing a length of the pressure generating chamber in a longitudinal direction.
力発生室の幅を変えることにより異なる形状としたこと
を特徴とするインクジェット式記録ヘッド。4. The ink jet recording head according to claim 1, wherein the pressure generating chamber has a different shape by changing a width of the pressure generating chamber.
走査線上に形状の異なる前記圧力発生室が並設されてい
ることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。5. The ink jet recording head according to claim 1, wherein the pressure generating chambers having different shapes are arranged side by side on the same main scanning line.
一形状の前記圧力発生室が並設されていることを特徴と
するインクジェット式記録ヘッド。6. The ink jet recording head according to claim 5, wherein the pressure generating chambers having the same shape are arranged in the sub-scanning direction.
方向には、形状の異なる前記圧力発生室が並設されてい
ることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。7. The ink jet recording head according to claim 1, wherein the pressure generating chambers having different shapes are arranged in the sub-scanning direction.
力発生室は長手方向の長さが異なり、且つ一端部が副走
査方向に一列に並んで設けられており、当該一端部には
前記ノズル開口が連通し、他端部には該圧力発生室にイ
ンクを供給するインク供給口が連通していることを特徴
とするインクジェット式記録ヘッド。8. The pressure generating chamber according to claim 7, wherein the pressure generating chambers having different shapes have different lengths in a longitudinal direction, and one ends are provided in a line in a sub-scanning direction, and the nozzle is provided at the one end. An ink jet recording head, characterized in that the opening communicates with the ink supply port for supplying ink to the pressure generating chamber at the other end.
力発生室は長手方向の長さが異なり、且つ一端部が副走
査方向に一列に並んで設けられており、当該一端部には
該圧力発生室にインクを供給するインク供給口が連通
し、他端部には前記ノズル開口が連通していることを特
徴とするインクジェット式記録ヘッド。9. The pressure generating chamber according to claim 7, wherein the pressure generating chambers having different shapes have different lengths in the longitudinal direction, and one ends are provided in a line in the sub-scanning direction. An ink jet recording head, wherein an ink supply port for supplying ink to the generation chamber communicates with the other end, and the nozzle opening communicates with the other end.
の異なる前記圧力発生室が一枚の基板に設けられている
ことを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。10. The ink jet recording head according to claim 1, wherein the pressure generating chambers having different shapes are provided on a single substrate.
形状の前記圧力発生室が設けられた基板を複数種有する
ことを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。11. An ink jet recording head according to claim 1, comprising a plurality of substrates provided with said pressure generating chambers having the same shape.
記圧力発生手段は、前記圧力発生室の一方面に設けられ
た振動板上に配設された圧電振動子であることを特徴と
するインクジェット式記録ヘッド。12. The pressure generating device according to claim 1, wherein the pressure generating means is a piezoelectric vibrator provided on a vibration plate provided on one surface of the pressure generating chamber. Ink jet recording head.
がセラミックス製の基板に形成され、前記圧電振動子の
各層がグリーンシート貼付又は印刷により形成されてい
ることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。13. The ink jet recording head according to claim 12, wherein the pressure generating chamber is formed on a ceramic substrate, and each layer of the piezoelectric vibrator is formed by pasting or printing a green sheet.
がシリコン単結晶基板に異方性エッチングにより形成さ
れ、前記圧電振動子の各層が薄膜及びリソグラフィ法に
より形成されたものであることを特徴とするインクジェ
ット式記録ヘッド。14. The pressure generating chamber according to claim 12, wherein the pressure generating chamber is formed on a silicon single crystal substrate by anisotropic etching, and each layer of the piezoelectric vibrator is formed by a thin film and a lithography method. Inkjet recording head.
記圧力発生手段は、前記圧力発生室内に設けられた発熱
手段であることを特徴とするインクジェット式記録ヘッ
ド。15. An ink jet recording head according to claim 1, wherein said pressure generating means is a heat generating means provided in said pressure generating chamber.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10620698A JPH11300958A (en) | 1998-04-16 | 1998-04-16 | Ink jet recording head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10620698A JPH11300958A (en) | 1998-04-16 | 1998-04-16 | Ink jet recording head |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11300958A true JPH11300958A (en) | 1999-11-02 |
Family
ID=14427696
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP10620698A Pending JPH11300958A (en) | 1998-04-16 | 1998-04-16 | Ink jet recording head |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11300958A (en) |
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