JPH11300673A - Vacuum suction type collet structure - Google Patents
Vacuum suction type collet structureInfo
- Publication number
- JPH11300673A JPH11300673A JP10781398A JP10781398A JPH11300673A JP H11300673 A JPH11300673 A JP H11300673A JP 10781398 A JP10781398 A JP 10781398A JP 10781398 A JP10781398 A JP 10781398A JP H11300673 A JPH11300673 A JP H11300673A
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- Japan
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- face
- nozzle piece
- collet body
- vacuum
- collet
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、トランジスター又
はダイオード等の半導体装置の製造等に際して、これら
に使用する半導体チップ等の部品を移送する場合に、こ
の部品を真空吸着するためのコレットの構造に関するも
のである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a structure of a collet for vacuum-sucking a component such as a semiconductor chip used for manufacturing a semiconductor device such as a transistor or a diode when the component is transferred. Things.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、この種のコレットは、良く知られ
ているように、内部を真空ポンプ等の真空発生源に連通
したコレット体の先端を一つの平面に形成して、この先
端平面に、一つの吸引孔を、当該吸引孔がコレット体の
内部に連通するように穿設することにより、前記コレッ
ト体の先端平面に対して半導体チップ等の部品を真空吸
着するように構成していた。2. Description of the Related Art Conventionally, as is well known, this type of collet is formed by forming the tip of a collet body, which communicates with a vacuum source such as a vacuum pump, on one plane, By forming one suction hole such that the suction hole communicates with the inside of the collet body, a component such as a semiconductor chip is vacuum-adsorbed to a front end plane of the collet body. .
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかし、この一つの吸
引孔を備えたコレット体では、半導体チップ等の部品が
横にずれた場合に、これを確実に真空吸着することがで
きないか、持ち上げたときにおいて落下すると言う事態
が発生するばかりか、小さい部品の場合において、真空
吸着した部品が傾くことになると言う問題があった。However, in the collet body provided with the one suction hole, when a component such as a semiconductor chip is shifted laterally, it cannot be reliably vacuum-sucked or lifted. There is a problem that not only a case where the component is dropped sometimes occurs, but also a component which is vacuum-sucked is inclined in the case of a small component.
【０００４】本発明は、これらの問題を解消することが
できるコレットの構造を提供することを技術的課題とす
るものである。An object of the present invention is to provide a collet structure that can solve these problems.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】この技術的課題を達成す
るため本発明は、「内部を真空ポンプ等の真空発生源に
連通した中空状コレット体の先端に、一端面を平面に構
成したノズル片を、当該ノズル片における一端面が前記
コレット体の先端より下向きに突出し、他端面がコレッ
ト体内にのぞむように着脱自在に装着し、このノズル片
に、吸引孔の複数個を、当該各吸引孔の両端がノズル片
における一端面と他端面とに開口するように穿設す
る。」と言う構成にした。SUMMARY OF THE INVENTION In order to achieve the above technical object, the present invention provides a nozzle having a hollow collet body whose inside communicates with a vacuum generating source such as a vacuum pump, and one end face of which is flat. The nozzle piece is detachably mounted such that one end face of the nozzle piece protrudes downward from the tip of the collet body, and the other end face looks into the collet body. The hole is formed so that both ends of the hole are opened at one end face and the other end face of the nozzle piece. "
【０００６】[0006]
【発明の作用・効果】このように、コレット体の先端
に、一端面を平面に構成したノズル片を、当該ノズル片
における一端面が前記コレット体の先端より下向きに突
出し、他端面がコレット体内にのぞむように装着し、こ
のノズル片に、吸引孔の複数個を、当該各吸引孔の両端
がノズル片における一端面と他端面とに開口するように
穿設したことにより、半導体チップ等の部品を、ノズル
片における一端面に対して複数個の吸引孔にて真空吸着
するから、部品が横にずれていても、これを確実に真空
吸着できると共に、部品の落下を確実に防止することが
でき、また、小さい部品であっても、これを傾くことな
く確実に真空吸着できるのである。As described above, a nozzle piece having one end face formed flat at the tip of the collet body, one end face of the nozzle piece protrudes downward from the tip of the collet body, and the other end face is formed in the collet body. A plurality of suction holes are drilled in this nozzle piece such that both ends of each suction hole are opened at one end face and the other end face of the nozzle piece. Since a component is vacuum-sucked to one end face of the nozzle piece by a plurality of suction holes, even if the component is shifted laterally, it can be vacuum-sucked and the component can be prevented from dropping. In addition, even small components can be reliably vacuum-sucked without tilting.
【０００７】ところで、前記したように、吸引孔を複数
個にした場合には、各吸引孔の間の部分における肉厚さ
が薄くなるから、前記ノズル片における一端面のうち各
吸引孔の間の部分には、部品の真空吸着の繰り返しによ
って磨耗が発生する。これに対して、本発明は、前記複
数個の吸引孔を穿設したノズル片を、コレット体に対し
て着脱自在に装着すると言う構成にしたもので、前記ノ
ズル片の一端面に、部品の真空吸着の繰り返しによって
磨耗が発生した場合に、このノズル片のみを交換すれば
良いから、コレット体の全体を交換することを必要とし
ないばかりか、前記ノズル片を、セラミック等のような
耐磨耗性に優れた材料製にすることも任意にできるので
ある。As described above, when a plurality of suction holes are provided, the thickness of the portion between the suction holes is reduced. Is worn due to repeated vacuum suction of parts. On the other hand, the present invention has a configuration in which the nozzle piece having the plurality of suction holes is detachably attached to the collet body. When wear occurs due to repeated vacuum suction, only the nozzle piece needs to be replaced. Therefore, it is not necessary to replace the entire collet body. It is also possible to arbitrarily make a material having excellent wear properties.
【０００８】[0008]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、図
１及び図２の図面について説明する。この図において符
号１は、内部を真空ポンプ（図示せず）等の真空発生源
に連通したコレットホルダーを示し、このコレットホル
ダー１の下端には、中空状のコレット体２が、その内部
が前記コレットホルダー１内に連通するように装着され
ている。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. In this figure, reference numeral 1 denotes a collet holder whose interior communicates with a vacuum source such as a vacuum pump (not shown). At the lower end of the collet holder 1, a hollow collet body 2 is provided. It is mounted so as to communicate with the collet holder 1.
【０００９】符号３は、セラミックにて円柱状に形成し
たノズル片を示し、このノズル片３における両端面３
ａ，３ｂは、その軸線と直角な平面に形成され、且つ、
このノズル片３には、複数個の吸引孔４が、その両端が
ノズル片３における両端面３ａ，３ｂに開口するように
穿設されている。そして、このノズル片３を、前記コレ
ット体２における先端に穿設した取付け孔５内に、当該
ノズル片３における一方の端面３ａがコレット体２の先
端から適宜寸法だけ下向きに突出し、他方の端面３ｂが
コレット体２内にのぞむようにして着脱自在に挿入する
と言う構成にする。Reference numeral 3 denotes a nozzle piece formed of ceramic in a cylindrical shape, and both end faces 3 of the nozzle piece 3 are formed.
a, 3b are formed on a plane perpendicular to the axis thereof, and
A plurality of suction holes 4 are formed in the nozzle piece 3 such that both ends thereof are opened at both end surfaces 3a and 3b of the nozzle piece 3. Then, one end face 3a of the nozzle piece 3 protrudes downward from the tip of the collet body 2 by an appropriate dimension into a mounting hole 5 drilled at the front end of the collet body 2, and the other end face thereof. 3b is inserted into the collet body 2 so as to be detachably inserted into the collet body 2.
【００１０】このように、コレット体２の先端に、一端
面３ａを平面に構成したノズル片３を、当該ノズル片３
における一端面３ａが前記コレット体２の先端より下向
きに突出し、他端面３ｂがコレット体２内にのぞむよう
に装着し、このノズル片３に、吸引孔の複数個４を、当
該各吸引孔の両端がノズル片３における一端面３ａと他
端面３ｂとに開口するように穿設したことにより、半導
体チップ等の部品を、ノズル片３における一端面３ａに
対して複数個の吸引孔４にて真空吸着するから、部品が
横にずれていても、これを確実に真空吸着できると共
に、部品の落下を確実に防止することができ、また、小
さい部品であっても、これを傾くことなく確実に真空吸
着できる。As described above, the nozzle piece 3 having the one end face 3a formed in a plane is attached to the tip of the collet body 2 by the nozzle piece 3
Is mounted so that one end face 3a thereof projects downward from the front end of the collet body 2 and the other end face 3b looks into the collet body 2. By piercing both ends so as to open at one end face 3a and the other end face 3b of the nozzle piece 3, a component such as a semiconductor chip can be separated by a plurality of suction holes 4 with respect to the one end face 3a of the nozzle piece 3. Since vacuum suction is used, even if a component is shifted laterally, it can be reliably vacuum suctioned, and the component can be reliably prevented from falling, and even small components can be securely held without tilting Can be vacuum-adsorbed.
【００１１】また、前記複数個の吸引孔４を穿設したノ
ズル片３を、コレット体２に対して着脱自在に装着する
と言う構成にしたことにより、前記ノズル片３の一端面
３ａに、部品の真空吸着の繰り返しによって磨耗が発生
した場合に、このノズル片３のみを交換すれば良いか
ら、コレット体２の全体を交換することを必要としない
ばかりか、前記ノズル片３を、セラミック等のような耐
磨耗性に優れた材料製にすることも任意にできる。The nozzle piece 3 having the plurality of suction holes 4 is detachably attached to the collet body 2 so that the nozzle piece 3 has a component on one end surface 3a. In the case where wear occurs due to the repetition of vacuum suction, only the nozzle piece 3 needs to be replaced. Therefore, it is not necessary to replace the entire collet body 2 and the nozzle piece 3 is made of ceramic or the like. It can be arbitrarily made of a material having such excellent abrasion resistance.
【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]
【図１】本発明の実施の形態を示す縦断正面図である。FIG. 1 is a longitudinal sectional front view showing an embodiment of the present invention.
【図２】本発明におけるノズル片を示す拡大斜視図であ
る。FIG. 2 is an enlarged perspective view showing a nozzle piece according to the present invention.
１ コレットホルダー ２ コレット体 ３ ノズル片 ３ａ ノズル片の一端面 ３ｂ ノズル片の他端面 ４ 吸引孔 ５ 取付け孔 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Collet holder 2 Collet body 3 Nozzle piece 3a One end face of nozzle piece 3b Other end face of nozzle piece 4 Suction hole 5 Mounting hole
Claims (1)
た中空状コレット体の先端に、一端面を平面に構成した
ノズル片を、当該ノズル片における一端面が前記コレッ
ト体の先端より下向きに突出し、他端面がコレット体内
にのぞむように着脱自在に装着し、このノズル片に、吸
引孔の複数個を、当該各吸引孔の両端がノズル片におけ
る一端面と他端面とに開口するように穿設したことを特
徴とする真空吸着式コレットの構造。An end of a hollow collet body, the inside of which communicates with a vacuum source such as a vacuum pump, is provided with a nozzle piece having one end face flat, and one end face of the nozzle piece faces downward from the tip of the collet body. And the other end face is detachably mounted so as to be seen in the collet body, and a plurality of suction holes are formed in the nozzle piece such that both ends of each suction hole are opened at one end face and the other end face of the nozzle piece. The structure of a vacuum suction type collet characterized by being drilled in a hole.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10781398A JPH11300673A (en) | 1998-04-17 | 1998-04-17 | Vacuum suction type collet structure |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10781398A JPH11300673A (en) | 1998-04-17 | 1998-04-17 | Vacuum suction type collet structure |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11300673A true JPH11300673A (en) | 1999-11-02 |
Family
ID=14468695
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10781398A Pending JPH11300673A (en) | 1998-04-17 | 1998-04-17 | Vacuum suction type collet structure |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11300673A (en) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100479507B1 (en) * | 2002-05-31 | 2005-03-25 | 박대범 | Method of making vacuum suction nozzle tip |
| WO2005029574A1 (en) * | 2003-09-18 | 2005-03-31 | Nec Machinery Corporation | Collet, die bonder, and chip pick-up method |
| JP2005311358A (en) * | 2004-04-19 | 2005-11-04 | General Electric Co <Ge> | Electronic apparatus assembly and device and method of assembling the same |
| KR100769111B1 (en) | 2006-03-13 | 2007-10-22 | 캐논 머시너리 가부시키가이샤 | Collet, die bonder, and chip pick-up method |
| CN107009298A (en) * | 2017-04-26 | 2017-08-04 | 深圳市明信测试设备有限公司 | A kind of vacuum slot quick change construction |
-
1998
- 1998-04-17 JP JP10781398A patent/JPH11300673A/en active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100479507B1 (en) * | 2002-05-31 | 2005-03-25 | 박대범 | Method of making vacuum suction nozzle tip |
| WO2005029574A1 (en) * | 2003-09-18 | 2005-03-31 | Nec Machinery Corporation | Collet, die bonder, and chip pick-up method |
| JP2005311358A (en) * | 2004-04-19 | 2005-11-04 | General Electric Co <Ge> | Electronic apparatus assembly and device and method of assembling the same |
| KR100769111B1 (en) | 2006-03-13 | 2007-10-22 | 캐논 머시너리 가부시키가이샤 | Collet, die bonder, and chip pick-up method |
| CN107009298A (en) * | 2017-04-26 | 2017-08-04 | 深圳市明信测试设备有限公司 | A kind of vacuum slot quick change construction |
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