JPH11294615A - Integrated valve - Google Patents
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- JPH11294615A JPH11294615A JP9880498A JP9880498A JPH11294615A JP H11294615 A JPH11294615 A JP H11294615A JP 9880498 A JP9880498 A JP 9880498A JP 9880498 A JP9880498 A JP 9880498A JP H11294615 A JPH11294615 A JP H11294615A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造装置等
で使用される集積弁に関し、さらに詳細には、気化温度
が高く、常温において外部から熱を加えないと液化しや
すいジクロールシラン（ＳｉＨ2Ｃｌ2）、六フッ化タン
グステン（ＷＦ6 ）、三フッ化塩素（ＣｌＦ3 ）等のプ
ロセスガスを液化させることなく、高精度に供給するこ
とができる集積弁に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an integrated valve used in semiconductor manufacturing equipment and the like, and more particularly, to dichlorsilane (SiH) which has a high vaporization temperature and is liable to be liquefied at room temperature without external heat. The present invention relates to an integrated valve capable of supplying process gas such as 2 Cl 2 ), tungsten hexafluoride (WF 6 ), and chlorine trifluoride (ClF 3 ) with high accuracy without liquefaction.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来より、半導体集積回路中の絶縁膜と
して、気相成膜された酸化珪素薄膜等が多用されてい
る。かかる酸化珪素等の気相成膜は、成膜槽中に載置さ
れたウエハ上に、化学蒸着成膜法にて行うのが普通であ
る。そのための珪素供給源としては、例えばモノシラン
（ＳｉＨ4 ）のような常温常圧で気体であるものばかり
でなく、ジクロールシランのような、常温常圧では液化
しやすいものも多く使用されている。2. Description of the Related Art Conventionally, as an insulating film in a semiconductor integrated circuit, a silicon oxide thin film formed in a vapor phase has been frequently used. Such vapor deposition of silicon oxide or the like is generally performed on a wafer placed in a deposition tank by a chemical vapor deposition method. As a silicon supply source therefor, not only those which are gaseous at normal temperature and normal pressure, such as monosilane (SiH 4 ), but also those which are easily liquefied at normal temperature and normal pressure, such as dichlorosilane, are used. .
【０００３】ジクロールシラン等の液化しやすいプロセ
スガスを供給する場合、プロセスガスの供給ルートであ
る高圧ボンベ、配管、マスフローコントローラ等のガス
ラインを加熱することが必要となる。その理由は、ガス
ラインの途中でジクロールシランが液化すると、流量計
測が正確に行えないため反応チャンバへの供給ガス量が
不正確となり、製造される半導体集積回路等の性能を悪
くするからである。また、液化したジクロールシラン等
が質量流量計付流量制御弁の細管を詰まらせて寿命を短
縮する問題もある。そのため、従来から集積弁にはテー
プヒータを配置し、ジクロールシラン等が気化温度以上
になるように加熱保温する構成がとられている。When a process gas, such as dichlorosilane, which is easily liquefied is supplied, it is necessary to heat a gas line such as a high-pressure cylinder, a pipe, a mass flow controller, or the like, which is a supply route of the process gas. The reason is that if dichlorosilane is liquefied in the middle of the gas line, the flow rate measurement cannot be performed accurately, and the amount of gas supplied to the reaction chamber will be inaccurate, thus deteriorating the performance of the manufactured semiconductor integrated circuit and the like. is there. Further, there is also a problem that liquefied dichlorsilane or the like clogs the thin tube of the flow control valve with a mass flow meter, thereby shortening the life. For this reason, a configuration has conventionally been adopted in which a tape heater is disposed in the accumulation valve and heat is maintained so that dichlorsilane or the like is at or above the vaporization temperature.
【０００４】ここで、図１２は、集積弁の一部を構成す
る開閉弁を示した図である。この開閉弁は、アクチュエ
ータ５１とボディ５２により構成され、アクチュエータ
５１は、ボディ５２に取り付けられ、更にそのボディ５
２をベースプレート５３に固定している。アクチュエー
タ５１、ボディ５２及びベースプレート５３は、集積弁
の一部として組み込まれ、この集積弁によって供給され
る流体の流路（図示せず）の一部が形成されている。そ
こで、この流路を流れる流体、特に常温常圧で液化して
しまうようなジクロールシランを供給する際に、この気
体を加熱保温するテープヒータを備えるためのヒータブ
ロック５４，５５がボディ５２の両側に固定されてい
る。ヒータブロック５４，５５は、ヒータ溝５６，５６
が設けられ、上方からテープヒータ５７を挿入し、また
取り外すことができるようになっている。そして、ヒー
タブロック５４，５５は、保持溝５６，５６の壁部分に
穴が穿設され、横方向からボディ５２にネジ止めできる
よう形成されている。FIG. 12 is a view showing an on-off valve constituting a part of the integrated valve. The on-off valve includes an actuator 51 and a body 52. The actuator 51 is attached to the body 52,
2 is fixed to the base plate 53. The actuator 51, the body 52, and the base plate 53 are incorporated as a part of an integrated valve, and a part of a flow path (not shown) of a fluid supplied by the integrated valve is formed. Therefore, when supplying a fluid flowing through this flow path, particularly dichlorsilane which is liquefied at normal temperature and normal pressure, heater blocks 54 and 55 for providing a tape heater for heating and maintaining the gas are provided on the body 52. Fixed on both sides. The heater blocks 54 and 55 include heater grooves 56 and 56
The tape heater 57 can be inserted and removed from above. The heater blocks 54 and 55 have holes formed in the wall portions of the holding grooves 56 and 56 so that they can be screwed to the body 52 from the side.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の集積弁は、ヒータブロック５４，５５がボデ
ィ５２に対して直接ネジ止めされているため、アクチュ
エータ５１及びボディ５２などの集積ユニットを交換や
メンテナンスのために取り外そうとした場合には、一旦
テープヒータ５７を取り外さなければならないため非常
に手間のかかるものであった。即ち、アクチュエータ５
１やボディ５２を取り外そうとした場合、ボディ５２に
固定されたヒータブロック５４，５５も同時に取り外さ
なければならなかった。そのため、一旦テープヒータ５
７をヒータ溝５６，５６から抜き取り、上方への引っか
かりをなくした後に取り外し作業を行わねばならなかっ
た。However, in such a conventional integrated valve, since the heater blocks 54 and 55 are directly screwed to the body 52, the integrated units such as the actuator 51 and the body 52 are exchanged. When removing the tape heater 57 for maintenance or maintenance, the tape heater 57 has to be removed once, which is very troublesome. That is, the actuator 5
When the user tried to remove the body 1 or the body 52, the heater blocks 54 and 55 fixed to the body 52 had to be removed at the same time. Therefore, once the tape heater 5
7 was removed from the heater grooves 56, 56, and the removal operation had to be performed after eliminating the upward trap.
【０００６】そこで、本発明は、かかる問題点を解消す
べく、集積ユニットの取り外しが容易なテープヒータを
備えた集積弁を提供することを目的とする。Accordingly, an object of the present invention is to provide an integrated valve provided with a tape heater from which an integrated unit can be easily removed in order to solve such a problem.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明の集積弁は、複数
の集積ユニットをベースプレートに対して固定して、各
集積ユニット間をベースプレートにおける流路を介して
連通することによって一連の流路を形成してなるもので
あり、その流路を流れる流体を加熱保温するためのテー
プヒータを備えるものであって、前記テープヒータを装
填するためのヒータ溝を有し、前記集積ユニットとベー
スプレートとを挟むようにして、各集積ユニット毎に設
けられた一対のヒータブロックと、内側に向かう弾性力
によって前記一対のヒータブロックを前記集積ユニット
及びベースプレートに対して付勢すべく、ヒータブロッ
クの両側に立設された付勢部材とを有することを特徴と
する。SUMMARY OF THE INVENTION According to the present invention, there is provided an integrated valve in which a plurality of integrated units are fixed to a base plate, and each integrated unit is communicated through a flow path in the base plate to form a series of flow paths. It is provided with a tape heater for heating and keeping the fluid flowing through the flow path, and has a heater groove for loading the tape heater, and is provided with the integrated unit and the base plate. A pair of heater blocks provided for each integrated unit so as to be sandwiched therebetween, and a pair of heater blocks provided on both sides of the heater block so as to urge the pair of heater blocks against the integrated unit and the base plate by an inward elastic force. And a biasing member.
【０００８】よって、テープヒータの加熱により、その
熱がヒータブロックから集積ユニット及びベースプレー
トに伝わり、集積弁内を流れる気体を加熱保温して高精
度に供給することができる。そしてまた、ヒータブロッ
クは、付勢部材によって集積ユニット及びベースプレー
トに当接させているだけなので、集積ユニットの交換の
際には、ヒータブロックを移動させることなく、テープ
ヒータを巻いたまま当該集積ユニットのみを容易に取り
外すことができる。[0008] Therefore, by heating the tape heater, the heat is transmitted from the heater block to the accumulation unit and the base plate, and the gas flowing in the accumulation valve can be heated and kept at a high temperature and supplied with high accuracy. Further, since the heater block is merely brought into contact with the stacking unit and the base plate by the urging member, when replacing the stacking unit, the heater unit is not moved and the tape unit is wound with the tape heater wound. Only can be easily removed.
【０００９】また、本発明の集積弁は、前記付勢部材
は、両角部が鋭角をなす略コの字形の板バネであって、
その両端のバネ部が前記ヒータブロック側面を内側に付
勢するように起立して配置させたものであることを特徴
とする。よって、一対のヒータブロックを両側から付勢
するように、付勢部材のバネ部を起立して配置させた場
合、略コの字形の中央部分にヒータブロックが載るよう
に配置されるので、そのヒータブロック底面が付勢部材
以外の部分で非接触になり、熱の拡散を防止することが
できる。Further, in the integrated valve according to the present invention, the urging member is a substantially U-shaped leaf spring whose both corners form an acute angle,
It is characterized in that the spring portions at both ends are arranged upright so as to urge the side surface of the heater block inward. Therefore, when the spring portion of the urging member is erected and arranged so as to urge the pair of heater blocks from both sides, the heater block is arranged so as to be mounted on a substantially U-shaped central portion. The bottom surface of the heater block becomes non-contact at portions other than the urging member, so that heat diffusion can be prevented.
【００１０】また、本発明の集積弁は、前記ベースプレ
ートを取り付ける取付板が、そのベースプレートが重な
る位置に開口部を形成したものであることを特徴とす
る。よって、取付板の表面積が小さくなって熱の拡散を
防止することができる。[0010] The integrated valve according to the present invention is characterized in that the mounting plate for mounting the base plate has an opening formed at a position where the base plate overlaps. Therefore, the surface area of the mounting plate is reduced, and heat diffusion can be prevented.
【００１１】[0011]
【発明の実施の形態】次に、本発明の集積弁にかかる一
実施の形態について図面を参照して説明する。図１は、
集積弁を示す側面図である。集積弁１は、取付板２上に
ベースプレート３の両端が固定され、そのベースプレー
ト３に対して弁などの集積ユニットが上方から固定され
て一連の流路をなす一体のものとして形成されている。
この集積弁１は、入力ポート４から出力ポート５側にか
けて順に、手動弁６、チェック弁７、レギュレータ８、
圧力センサ９、フィルタ１０及びアダプタ１６が配置さ
れている。このうち手動弁６、チェック弁７、レギュレ
ータ８、圧力センサ９及びフィルタ１０は、ボディ１１
〜１５にそれぞれネジ止めされ、そのボディ１１〜１５
及びアダプタ１６がベースプレート３に対して上方から
直接ネジ止めされている。本実施の形態では、ボディ１
１〜１５に固定された手動弁６、チェック弁７、レギュ
レータ８、圧力センサ９及びフィルタ１０とアダプタ１
６を集積ユニットという。Next, an embodiment of an integrated valve according to the present invention will be described with reference to the drawings. FIG.
It is a side view which shows an accumulation valve. The integrated valve 1 is formed as a single unit having both ends of a base plate 3 fixed on a mounting plate 2 and an integrated unit such as a valve fixed to the base plate 3 from above to form a series of flow paths.
The integrated valve 1 includes a manual valve 6, a check valve 7, a regulator 8,
The pressure sensor 9, the filter 10, and the adapter 16 are arranged. The manual valve 6, the check valve 7, the regulator 8, the pressure sensor 9 and the filter 10
~ 15, and the body 11 ~ 15
The adapter 16 is directly screwed to the base plate 3 from above. In the present embodiment, the body 1
Manual valve 6 fixed to 1 to 15, check valve 7, regulator 8, pressure sensor 9, filter 10 and adapter 1
6 is called an integrated unit.
【００１２】取付板２は、熱の拡散を防止するために図
２に示すようにベースプレート３の両端固定位置を除い
て大きく切りかかれ、その面積を小さくするように形成
されている。ベースプレート３は、図３に示すように全
ての集積ユニットが載るだけの長さをもった長尺なもの
であり、その底面には、長手方向に直交するように複数
の浅い溝３ａ，３ａ…が形成されている。そして、その
溝３ａ，３ａ…は、ボディ１１〜１５及びアダプタ１６
を配置させる位置に合わせてそれぞれ形成されている。
また、溝３ａ，３ａ…の深さは、後述するヒータブロッ
クを固定するためのクリップの厚さに合わせられてい
る。As shown in FIG. 2, the mounting plate 2 is cut out so as to reduce the area of the base plate 3 except for fixed positions at both ends thereof, in order to prevent diffusion of heat. As shown in FIG. 3, the base plate 3 is long and has a length enough to mount all the integrated units, and a plurality of shallow grooves 3a, 3a,. Are formed. The grooves 3a, 3a...
Are formed in accordance with the positions where are arranged.
Further, the depth of the grooves 3a is adjusted to the thickness of a clip for fixing a heater block to be described later.
【００１３】次に、図４は、アダプタ１６部分を示す図
１のＡ−Ａ断面図である。この図に示すように、クリッ
プ２１は、略コの字形をなす板バネで形成され、ベース
プレート３を取付板２に固定する際に、そのベースプレ
ート３の溝３ａを通してはめ込まれる。このクリップ２
１は、手動弁６やチェック弁７などの集積ユニットが配
置されるすべての箇所に取り付けられ、いずれ箇所のも
のも同一形状をなしている。具体的には、金属板などの
薄肉の弾性材から形成されるクリップ２１は、ベースプ
レート３の溝３ａを通る中間部分２１ａがベースプレー
ト３の横幅に比べて長く設けられ、両側のバネ部をなす
起立部分２１ｂ，２１ｂが共に同じ長さだけ上方へ折り
曲げられている。FIG. 4 is a sectional view of the adapter 16 taken along the line AA in FIG. As shown in this figure, the clip 21 is formed of a substantially U-shaped leaf spring, and is fitted through the groove 3 a of the base plate 3 when fixing the base plate 3 to the mounting plate 2. This clip 2
Reference numeral 1 is attached to all places where the integrated units such as the manual valve 6 and the check valve 7 are arranged, and all the places have the same shape. Specifically, in the clip 21 formed of a thin elastic material such as a metal plate, an intermediate portion 21a passing through the groove 3a of the base plate 3 is provided to be longer than the width of the base plate 3, and the upright portions forming the spring portions on both sides are provided. The portions 21b, 21b are both bent upward by the same length.
【００１４】この折り曲げる角度は、いずれも内側に鋭
角になるように折り曲げられ、後述するヒータブロック
の垂直面が当接した際に、そのヒータブロックに弾性に
よる付勢力が加わるようにする。更に起立部分２１ｂ，
２１ｂの両先端部分には、内向きに折り曲げられた山部
２１ｃ，２１ｃが形成されている。そして、図１に示す
ように各集積ユニット６〜１０，１６が固定される位置
の溝３ａ，３ａ…にクリップ２１，２１…がはめ込まれ
る。Each of the bending angles is bent so as to be acutely inward, so that when a vertical surface of a heater block, which will be described later, comes into contact with the heater block, an elastic urging force is applied to the heater block. Further, the standing portion 21b,
At both ends of 21b, ridges 21c, 21c bent inward are formed. Then, as shown in FIG. 1, clips 21, 21... Are fitted into grooves 3a, 3a.
【００１５】このようにして集積ユニット６〜１０，１
６及びクリップ２１，２１…がベースプレート３に対し
て取り付けられると、次いで各集積ユニット６〜１０，
１６毎にヒータブロックが装着される。図５は、ヒータ
ブロック装着後の集積弁１を示した側面図であり、図６
は、その平面図である。本実施の形態の集積弁１におけ
るヒータブロック２２は、図示するように各集積ユニッ
ト６〜１０，１６を挟むように装着されるものである。
次に、図７は、図６のアダプタ１６部分のＢ−Ｂ断面を
示した図であり、図４に示した状態のものにおいて、ア
ダプタ１６の両側にヒータブロック２２，２２を装着し
たものである。Thus, the integrated units 6 to 10, 1
6 and the clips 21, 21...
A heater block is mounted every 16 blocks. FIG. 5 is a side view showing the integrated valve 1 after the heater block is mounted, and FIG.
Is a plan view of the same. The heater block 22 in the integrated valve 1 of the present embodiment is mounted so as to sandwich each of the integrated units 6 to 10 and 16 as illustrated.
Next, FIG. 7 is a view showing a cross section taken along the line BB of the adapter 16 shown in FIG. 6. In the state shown in FIG. is there.
【００１６】ヒータブロック２２は、アダプタ１６に直
接当接する内側ブロック２３と、クリップ２１に直接当
接する外側ブロック２４とが重ねられ、外側ブロック２
４側からネジ止めされて一体のものとして形成されてい
る。そして、この外側ブロック２４の内側上段には、テ
ープヒータ３１を挿入するための隙間をつくる段差が形
成され、その段差が、内側ブロック２３と外側ブロック
２４とが重ねられたときに上方に開放したヒータ溝２５
を構成する。また、他の集積ユニット６〜１０における
ヒータブロック２２，２２…も同様に形成されている。
例えば図８にレギュレータ８（図６のＣ−Ｃ断面）を示
すように、ヒータブロック２２は、いずれも内側ブロッ
ク２３と外側ブロック２４とで構成され、それらがネジ
止めされて一体のものとして形成されている。The heater block 22 includes an inner block 23 that directly contacts the adapter 16 and an outer block 24 that directly contacts the clip 21.
It is screwed from the 4 side and formed as one. Further, a step is formed in the upper inside of the outer block 24 to form a gap for inserting the tape heater 31, and the step is opened upward when the inner block 23 and the outer block 24 are overlapped. Heater groove 25
Is configured. The heater blocks 22, 22,... In the other integrated units 6 to 10 are similarly formed.
For example, as shown in FIG. 8, the regulator 8 (a cross section taken along the line C-C in FIG. 6), the heater block 22 is composed of an inner block 23 and an outer block 24, which are screwed together to form an integral unit. Have been.
【００１７】但し、例えばアダプタ１６とレギュレータ
８のボディ１３とでは、それらの大きさが異なってい
る。そのため、ヒータブロック２２，２２…の構造は同
様であるが、そのヒータ溝２５，２５…が一直線上に重
なるように、各集積ユニット６〜１０，１６に直接当接
する内側ブロックの肉厚を調整して形成している。ま
た、ボディ１１〜１５やアダプタ１６の長手方向の大き
さが違うため、図５に見るようにヒータブロック２２，
２２…の幅に多少の違いがある。このようなヒータブロ
ック２２，２２…は、熱伝導性の高い材質（例えばアル
ミ又はアルミ合金等）で作られている。However, for example, the sizes of the adapter 16 and the body 13 of the regulator 8 are different. Therefore, the structure of the heater blocks 22, 22,... Is the same, but the thickness of the inner block that directly contacts each of the integrated units 6 to 10, 16 is adjusted so that the heater grooves 25, 25,. It is formed. Further, since the lengths of the bodies 11 to 15 and the adapter 16 in the longitudinal direction are different, as shown in FIG.
There are some differences in the width of 22 ... Are made of a material having high thermal conductivity (for example, aluminum or aluminum alloy).
【００１８】そこで、図１に示すようにベースプレート
３に各集積ユニット６〜１０，１６が固定され、またベ
ースプレート３と取付板２との間にクリップ２１，２１
…がはめ込まれた状態で、各集積ユニット６〜１０，１
６に対応する一対のヒータブロック２２，２２…をそれ
ぞれはめ込んでいく。即ち、クリップ２１の起立部分２
１ｂを外側によけておいて、その起立部分２１ｂとボデ
ィ１１〜１５或いはアダプタ１６との間にヒータブロッ
ク２２を挿入し、ヒータブロック２２，２２…の下端が
クリップ２１に当たるまで降ろす。そこで、そのヒータ
ブロック２２の外側ブロック２４に形成された溝にクリ
ップ２１先端の山部２１ｃがはまり込むことで位置決め
される。Therefore, as shown in FIG. 1, the integrated units 6 to 10 and 16 are fixed to the base plate 3, and the clips 21 and 21 are provided between the base plate 3 and the mounting plate 2.
... in a state in which the integrated units 6 to 10, 1
., And a pair of heater blocks 22, 22,. That is, the upright portion 2 of the clip 21
With the first block 1b outside, the heater block 22 is inserted between the upright portion 21b and the body 11 to 15 or the adapter 16 and lowered until the lower ends of the heater blocks 22, 22... Therefore, the ridge 21c at the tip of the clip 21 fits into the groove formed in the outer block 24 of the heater block 22 and is positioned.
【００１９】よって、集積ユニット６〜１０，１６の両
側にはめ込まれた一対のヒータブロック２２，２２は、
クリップ２１の弾性力によって向き合う内側方向に付勢
されるとともに、山部２１ｃによる位置決めによってが
たつくことなくホールドされる。このようなヒータブロ
ックのはめ込みを全ての集積ユニットに対して行った状
態では、図６に示すように各ヒータブロック２２，２２
…のヒータ溝２５，２５…が一直線上に重なるように位
置することとなる。そこで、テープヒータ３１を横向き
にして順次ヒータ溝にはめ込んでいき、集積弁１の外周
を取り巻くように３周させる。ヒータ溝２５にはめ込ま
れたテープヒータ３１は、そのヒータ溝２５内で上下３
段に重ねられる。Therefore, the pair of heater blocks 22, 22 fitted on both sides of the integrated units 6 to 10, 16 are
The clip 21 is urged inward by the elastic force of the clip 21 and is held without looseness by the positioning of the ridge 21c. In a state where such a heater block is inserted into all the integrated units, as shown in FIG.
Are positioned so as to overlap on a straight line. Therefore, the tape heater 31 is horizontally inserted into the heater groove, and the tape heater 31 is made to make three rounds so as to surround the outer periphery of the integrated valve 1. The tape heater 31 fitted into the heater groove 25 is moved up and down 3 times within the heater groove 25.
It is stacked on the steps.
【００２０】このようにテープヒータ３１が取り付けら
れた集積弁１では、テープヒータ３１によって温度が調
整され、常温で液化しやすいジクロールシランなどが高
精度な気化状態で適切に供給されることとなる。即ち、
集積弁１では、ジクロールシランなどの常温常圧では液
化しやすいものを流している場合には、テープヒータ３
１の電熱線に通電してジュール熱を発生させれば、その
熱がヒータブロック２２，２２…を介して流路の形成さ
れたボディ１１〜１５、アダプタ１６及びベースプレー
ト３に伝達される。そのため、流路内の温度が常温で液
化しやすいジクロールシランなどの凝結温度以上に維持
され、高精度な気化状態で適切に供給されることとな
る。In the integrated valve 1 to which the tape heater 31 is attached, the temperature is adjusted by the tape heater 31 so that dichlorsilane or the like which is easily liquefied at room temperature is appropriately supplied in a highly accurate vaporized state. Become. That is,
In the integrated valve 1, when a material such as dichlorosilane which is easily liquefied at normal temperature and normal pressure is flowing, the tape heater 3 is used.
When the heating wire is energized to generate Joule heat, the heat is transmitted through the heater blocks 22, 22,... To the bodies 11 to 15, the adapter 16, and the base plate 3 where the flow paths are formed. Therefore, the temperature in the flow path is maintained at or above the coagulation temperature of dichlorsilane or the like which is easily liquefied at room temperature, and is appropriately supplied in a highly accurate vaporized state.
【００２１】ところで、このような構成のヒータブロッ
ク２２からなる集積弁１では、各集積ユニットのメンテ
ナンスや交換の際に、その取扱い易さの面から非常に大
きな効果を奏する。例えば、図１２に示す集積弁では、
前記課題で記したようにヒータブロック５４，５５が集
積ユニット５１，５２と一体に形成されていたため、ヒ
ータブロック５４，５５からテープヒータ５７を取り除
いて、ヒータブロック５４，５５と集積ユニット５１，
５２とを一体に取り外さなければならなかった。In the meantime, the integrated valve 1 including the heater block 22 having such a configuration has a very great effect in terms of ease of handling when performing maintenance or replacement of each integrated unit. For example, in the integrated valve shown in FIG.
Since the heater blocks 54 and 55 are formed integrally with the integrated units 51 and 52 as described in the above-mentioned subject, the tape heater 57 is removed from the heater blocks 54 and 55, and the heater blocks 54 and 55 and the integrated units 51 and 52 are removed.
52 had to be removed together.
【００２２】これに対して本実施の形態のものでは、一
つに集積ユニット（例えば手動弁６）をメンテナンスす
るために取り外そうとする場合、ヒータブロック２２は
クリップによって挟まれて位置決めされているだけなの
で、図９（図６のＤ−Ｄ断面）に示すように手動弁６の
ボディ１１とベースプレート３との結合を外せば、テー
プヒータ３１に触れることなく集積ユニットのみを容易
に抜き取ることができる。これは、他の集積ユニット７
〜１０，１６の場合も同様である。従って、テープヒー
タ３１の位置がずれることなく、また印加電圧の設定を
変える必要がなくなったため、取り替えの前後における
加熱保温状態を同じ状態で維持することができるように
なった。On the other hand, in the present embodiment, when one of the integrated units (for example, the manual valve 6) is to be removed for maintenance, the heater block 22 is positioned by being sandwiched by the clips. If the connection between the body 11 of the manual valve 6 and the base plate 3 is released as shown in FIG. 9 (cross section taken along the line DD in FIG. 6), only the integrated unit can be easily extracted without touching the tape heater 31. Can be. This is the other integrated unit 7
The same applies to the cases of 〜１０10 to １６16. Therefore, since the position of the tape heater 31 does not shift and the setting of the applied voltage does not need to be changed, the heating and warming state before and after the replacement can be maintained in the same state.
【００２３】また、本実施の形態の集積弁１は、加熱保
温時における保温状態が良い点でも効果を奏する。そこ
で、従来の集積弁と本実施の形態の集積弁１との保温状
態の試験結果を示して比較してみる。今回の試験ではヒ
ータブロック２２，５５に温調をかけ、設定温度を４５
℃、５０℃、５５℃そして６０℃と上げていき、温度上
昇具合を確認するとともに、設定温度６０℃の状態で、
各部の温度状況の確認を行う。ここで、図１０は本実施
の形態の場合、図１１は従来のものの場合のグラフを示
した図である。いずれも太線はテープヒータ３１，５
７、細線はベースプレート３，５３、破線はボディ１
３，５２（図８、図１２参照）の温度変化を示してい
る。そこで、図示しない電子温度調節器によって、ヒー
タブロックの温度を４５℃、５０℃、５５℃そして６０
℃と段階的に上げていく。Further, the integrated valve 1 of the present embodiment is also effective in that the heat-retaining state during heating and heat-retaining is good. Then, the test results of the heat retention state of the conventional integrated valve and the integrated valve 1 of the present embodiment are shown and compared. In this test, the heater blocks 22 and 55 were temperature-controlled and the set temperature was set to 45.
℃, 50 ℃, 55 ℃ and 60 ℃ to increase the temperature while confirming the state, at the set temperature of 60 ℃,
Check the temperature status of each part. Here, FIG. 10 is a graph showing the case of the present embodiment, and FIG. 11 is a graph showing the case of the conventional one. In all cases, bold lines indicate tape heaters 31 and 5.
7, thin line is base plate 3, 53, broken line is body 1
3 and 52 (see FIGS. 8 and 12). Therefore, the temperature of the heater block is set to 45 ° C., 50 ° C., 55 ° C. and 60 ° C. by an electronic temperature controller (not shown).
° C and gradually increase.
【００２４】ヒータブロック２２，５５の温調には、テ
ープヒータ３１，５７の電熱線に印加する電圧を段階的
に上げていき、徐々に大きなジュール熱を発生させるよ
うにする。但し、温度上昇時には、一定時間だけ大きな
電圧をかけてテープヒータ３１，５７の温度を急上昇さ
せてヒータブロック２２，５５の温度を設定値にまで上
げる。このときのベースプレート３，５３とボディにお
ける温度の推移を見ていくと、いずれの場合にもヒータ
ブロック２２，５５の温度上昇に伴って段階的に上昇し
ていくことが分かる。ここで、本実施の形態と従来例の
ものとでボディ１３，５２の温度値はほとんど変わらな
いものの、ベースプレート３，５３の値が大きく異なっ
ている。即ち、本実施の形態の集積弁では、ボディ１３
とベースプレート３との温度差がほとんどない一方、従
来例の集積弁ではボディ５２とベースプレート５３との
温度差が大きくなっている。このことから、従来例の集
積弁では、ヒータブロック５５の熱がベースプレート５
３へ適切に伝わっていないことが分かる。To control the temperature of the heater blocks 22 and 55, the voltage applied to the heating wires of the tape heaters 31 and 57 is gradually increased to gradually generate large Joule heat. However, when the temperature rises, a large voltage is applied for a certain time to rapidly raise the temperature of the tape heaters 31, 57 to raise the temperature of the heater blocks 22, 55 to a set value. Looking at the changes in the temperatures of the base plates 3 and 53 and the body at this time, it can be seen that in any case, the temperature increases stepwise as the temperature of the heater blocks 22 and 55 increases. Here, although the temperature values of the bodies 13 and 52 hardly change between the present embodiment and the conventional example, the values of the base plates 3 and 53 greatly differ. That is, in the integrated valve of the present embodiment, the body 13
The temperature difference between the body 52 and the base plate 53 is large, while the temperature difference between the body 52 and the base plate 3 is small. For this reason, in the conventional integrated valve, the heat of the heater block 55 is
It can be seen that it is not properly transmitted to 3.
【００２５】具体的には、ヒータブロック２２，５５が
６０℃に設定された状態では、本実施の形態でのボディ
が５５．７℃でベースプレートが５２．４℃であるのに
対して、従来例でのボディが５３．７℃でベースプレー
トが３７．９℃であった（ここでの温度は全て平均
値）。即ち、本実施の形態の集積弁が約３℃程度の温度
差しかないのに対して、従来例の集積弁では約１５℃以
上もの温度差が生じた。従って、従来の集積弁では、ベ
ースプレートを流れるジクロールシランなどを適切な状
態で供給するために、テープヒータ５７をより高い温度
に設定したり、またベースプレートに対して別途テープ
ヒータを設けるなどの措置が必要であった。Specifically, when the heater blocks 22 and 55 are set at 60 ° C., the body of the present embodiment is 55.7 ° C. and the base plate is 52.4 ° C. The body in the example was 53.7 ° C. and the base plate was 37.9 ° C. (all temperatures here are average values). That is, while the integrated valve according to the present embodiment has a temperature difference of about 3 ° C., the integrated valve according to the related art has a temperature difference of about 15 ° C. or more. Therefore, in the conventional integrated valve, in order to supply dichlorsilane or the like flowing through the base plate in an appropriate state, measures such as setting the tape heater 57 to a higher temperature or providing a separate tape heater to the base plate are taken. Was needed.
【００２６】本実施の形態の集積弁１は、このように加
熱保温効果にも優れ、より低い温度でテープヒータ３１
を発熱させることによって消費電力を減らすことがで
き、またベースプレート専用のテープヒータを設けるよ
うな無駄をなくすことができた。また、集積弁１は、ヒ
ータブロック２２がクリップに載った状態で装着され、
取付板２に直接触れることがないため、その分熱の拡散
を防止でき、ベースプレート３や集積ユニット６〜１
０，１６へより多くの熱を伝達させることができるよう
になった。また、取付板２を大きく切り欠いたため、そ
の取付板２からの熱の拡散を抑えることができ保温性が
よくなった。The integrated valve 1 of the present embodiment is excellent in the heat insulation effect as described above, and the tape heater 31 has a lower temperature.
By generating heat, power consumption can be reduced, and waste such as providing a tape heater dedicated to the base plate can be eliminated. The integrated valve 1 is mounted with the heater block 22 mounted on the clip,
Since there is no direct contact with the mounting plate 2, the diffusion of heat can be prevented by that much, and the base plate 3 and the integrated units 6 to 1 can be prevented.
More heat can be transferred to 0,16. In addition, since the mounting plate 2 was largely cut away, diffusion of heat from the mounting plate 2 was suppressed, and heat insulation was improved.
【００２７】なお、本発明の集積弁は前記実施の形態の
ものに限定されることなく、その趣旨を逸脱しない範囲
で様々な変更が可能である。例えば、前記実施の形態の
集積弁１では、ヒータブロック２２を固定するのに付勢
部材としてクリップ２１を使用したが、その起立部分２
１ｂに相当するものを取付板２へ直接形成するようにし
てもよい。また、各集積ユニット６〜１０，１６毎にク
リップ２１，２１…を設けたが、全ての集積ユニットに
おけるヒータブロック２２，２２…を同時に付勢するよ
うな一つの付勢部材としてもよい。また、例えば、前記
実施の形態の集積弁１では、その集積ユニットの組み合
わせとして手動弁６、チェック弁７、レギュレータ８、
圧力センサ９、フィルタ１０及びアダプタ１６を設けた
ものを示したが、別の集積ユニットによる構成であって
もよい。The integrated valve of the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various changes can be made without departing from the gist of the present invention. For example, in the integrated valve 1 of the embodiment, the clip 21 is used as the urging member to fix the heater block 22, but the upright portion 2
What is equivalent to 1b may be directly formed on the mounting plate 2. Also, although the clips 21, 21... Are provided for each of the stacking units 6 to 10, 16, a single urging member may be used to urge the heater blocks 22, 22. Further, for example, in the integrated valve 1 of the embodiment, as the combination of the integrated units, the manual valve 6, the check valve 7, the regulator 8,
Although the one provided with the pressure sensor 9, the filter 10, and the adapter 16 is shown, the configuration may be another integrated unit.
【００２８】[0028]
【発明の効果】本発明は、複数の集積ユニットをベース
プレートに対して固定して、各集積ユニット間をベース
プレートにおける流路を介して連通することによって一
連の流路を形成してなるものであり、その流路を流れる
流体を加熱保温するためのテープヒータを備えるもので
あって、テープヒータを装填するためのヒータ溝を有
し、集積ユニットとベースプレートとを挟むようにし
て、各集積ユニット毎に設けられた一対のヒータブロッ
クと、内側に向かう弾性力によって一対のヒータブロッ
クを集積ユニット及びベースプレートに対して付勢すべ
く、ヒータブロックの両側に立設された付勢部材とを有
する構成としたので、集積ユニットの取り外しが容易な
テープヒータを備えた集積弁を提供することが可能とな
った。According to the present invention, a plurality of integrated units are fixed to a base plate, and a series of flow passages are formed by connecting the integrated units via flow passages in the base plate. A tape heater for heating and keeping the fluid flowing through the flow path, having a heater groove for loading the tape heater, and provided for each stacking unit so as to sandwich the stacking unit and the base plate. A pair of heater blocks and a pair of biasing members erected on both sides of the heater block so as to bias the pair of heater blocks against the integrated unit and the base plate by an inward elastic force. Thus, it is possible to provide an integrated valve provided with a tape heater in which the integrated unit can be easily removed.
【００２９】また、本発明は、付勢部材が、その両角部
が鋭角をなす略コの字形の板バネであって、その両端の
バネ部がヒータブロック側面を内側に付勢するように起
立して配置させる構成としたので、ヒータブロック底面
が付勢部材以外の部分で非接触になり、熱の拡散を防止
することができる集積弁を提供することが可能となっ
た。また、本発明は、ベースプレートを取り付ける取付
板が、そのベースプレートが重なる位置に開口部を形成
した構成としたので、取付板の表面積が小さくなって熱
の拡散を防止することができる集積弁を提供することが
可能となった。Further, according to the present invention, the urging member is a substantially U-shaped leaf spring whose both corners form an acute angle, and the spring members at both ends of the urging member are erected so as to urge the side surfaces of the heater block inward. With this configuration, the bottom surface of the heater block is in non-contact with a portion other than the urging member, and it is possible to provide an integrated valve that can prevent heat diffusion. In addition, the present invention provides an integrated valve that has a configuration in which the mounting plate for mounting the base plate has an opening formed at a position where the base plate overlaps, so that the surface area of the mounting plate is reduced and heat diffusion can be prevented. It became possible to do.
【図１】本発明の一実施の形態を示す集積弁の側面図で
ある。FIG. 1 is a side view of an integrated valve according to an embodiment of the present invention.
【図２】取付板２を示す平面図である。FIG. 2 is a plan view showing the mounting plate 2. FIG.
【図３】ベースプレート３を示す側面図である。FIG. 3 is a side view showing the base plate 3;
【図４】アダプタ１６部分を示す図１のＡ−Ａ断面図で
ある。FIG. 4 is a sectional view taken along line AA of FIG. 1 showing an adapter 16;
【図５】ヒータブロック２２装着後の集積弁１を示した
側面図である。FIG. 5 is a side view showing the integrated valve 1 after the heater block 22 is mounted.
【図６】ヒータブロック２２装着後の集積弁１を示した
平面図である。FIG. 6 is a plan view showing the integrated valve 1 after the heater block 22 is mounted.
【図７】アダプタ１６部分を示す図６のＢ−Ｂ断面図で
ある。FIG. 7 is a sectional view taken along the line BB of FIG. 6, showing the adapter 16;
【図８】レギュレータ８部分を示す図６のＣ−Ｃ断面図
である。FIG. 8 is a sectional view taken along the line CC of FIG. 6, showing the regulator 8;
【図９】手動弁６部分を示す図６のＤ−Ｄ断面図であ
る。FIG. 9 is a sectional view taken along the line DD of FIG. 6 showing the manual valve 6;
【図１０】本実施の形態の集積弁１における試験結果を
示すグラフである。FIG. 10 is a graph showing a test result of the integrated valve 1 of the present embodiment.
【図１１】従来例の集積弁における試験結果を示すグラ
フである。FIG. 11 is a graph showing test results of a conventional integrated valve.
【図１２】従来の集積弁の一部を構成する開閉弁を示し
た図である。FIG. 12 is a view showing an on-off valve which constitutes a part of a conventional integrated valve.
１ 集積弁 ２ 取付板 ３ ベースプレート ６ 手動弁 ７ チェック弁 ８ レギュレータ ９ 圧力センサ １０ フィルタ １１〜１５ ボディ １６ アダプタ ２１ クリップ ２２ ヒータブロック ２５ ヒータ溝 ３１ テープヒータ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Integrated valve 2 Mounting plate 3 Base plate 6 Manual valve 7 Check valve 8 Regulator 9 Pressure sensor 10 Filter 11-11 Body 16 Adapter 21 Clip 22 Heater block 25 Heater groove 31 Tape heater
Claims (3)
対して固定して、各集積ユニット間をベースプレートに
おける流路を介して連通することによって一連の流路を
形成してなるものであり、その流路を流れる流体を加熱
保温するためのテープヒータを備える集積弁において、 前記テープヒータを装填するためのヒータ溝を有し、前
記集積ユニットとベースプレートとを挟むようにして、
各集積ユニット毎に設けられた一対のヒータブロック
と、 内側に向かう弾性力によって前記一対のヒータブロック
を前記集積ユニット及びベースプレートに対して付勢す
べく、ヒータブロックの両側に立設された付勢部材とを
有することを特徴とする集積弁。1. A plurality of integrated units are fixed to a base plate, and a series of flow passages are formed by connecting the respective integrated units via flow passages in the base plate. An integrated valve provided with a tape heater for heating and keeping the fluid flowing therethrough, having a heater groove for loading the tape heater, sandwiching the integrated unit and the base plate,
A pair of heater blocks provided for each of the integrated units; and a pair of urging members erected on both sides of the heater blocks so as to urge the pair of heater blocks against the collecting unit and the base plate by an inward elastic force. And a member.
ネであって、その両端のバネ部が前記ヒータブロック側
面を内側に付勢するように起立して配置させたものであ
ることを特徴とする集積弁。2. The integrated valve according to claim 1, wherein the biasing member is a substantially U-shaped leaf spring having both corners forming an acute angle, and the spring portions at both ends of the spring are located inside the side surface of the heater block. An integrated valve, wherein the integrated valve is arranged so as to be erected so as to urge it.
おいて、 前記ベースプレートを取り付ける取付板が、そのベース
プレートが重なる位置に開口部を形成したものであるこ
とを特徴とする集積弁。3. The integrated valve according to claim 1, wherein the mounting plate for mounting the base plate has an opening formed at a position where the base plate overlaps.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9880498A JPH11294615A (en) | 1998-04-10 | 1998-04-10 | Integrated valve |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9880498A JPH11294615A (en) | 1998-04-10 | 1998-04-10 | Integrated valve |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11294615A true JPH11294615A (en) | 1999-10-29 |
Family
ID=14229541
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9880498A Pending JPH11294615A (en) | 1998-04-10 | 1998-04-10 | Integrated valve |
Country Status (1)
| Country | Link |
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