JPH11287632A - Method and device for inspecting electronic component for pin curving - Google Patents

Method and device for inspecting electronic component for pin curving

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JPH11287632A
JPH11287632A JP10581598A JP10581598A JPH11287632A JP H11287632 A JPH11287632 A JP H11287632A JP 10581598 A JP10581598 A JP 10581598A JP 10581598 A JP10581598 A JP 10581598A JP H11287632 A JPH11287632 A JP H11287632A
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JP
Japan
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pin
electronic component
pins
shadow
bending
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JP10581598A
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Japanese (ja)
Inventor
Akihiro Demura
彰浩 出村
Takashi Ono
高志 大野
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Ibiden Co Ltd
Original Assignee
Ibiden Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To surely prevent errors in determining pin curving. SOLUTION: A method for inspecting pin curving of an electronic component 7 consisting of a substrate 76 with a plurality of pins 75 vertically placed on the backside thereof includes projecting laser beams 6 parallel to pin lines 71, 72 of the pins 75 from at least two different directions, receiving the laser beams 6, and measuring the widths of shadows 61, 62 produced by the pin lines 71, 72, to recognize the pin curving. A device 1 therefor has a plurality of light sources 21, 22 for projecting the laser beams 6, a plurality of light receiving devices 31, 32 for receiving the laser beams 6 and measuring the widths of the shadows 61, 62, and a determination device 5 for determining the pin curving from the widths of the shadows 61, 62.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【技術分野】本発明は,基板と複数のピンとからなる電
子部品について,ピンが基板に対して垂直に立設されて
いるか否かを検査する方法,及びその装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method and an apparatus for inspecting whether or not a pin is set upright with respect to a substrate for an electronic component including a substrate and a plurality of pins.

【0002】[0002]

【従来技術】基板の裏側に複数のピンを垂直に立設させ
てなる電子部品においては,基板のスルーホールに対す
る未完全なピンの挿入,スルーホールの孔径のバラツ
キ,ピンとスルーホールとの軸芯のズレ等によって,
「ピン曲がり」を起こすことがある。「ピン曲がり」と
は,基板に垂直に立設されていない曲がりピン,又はピ
ン自体が曲がっている曲がりピンが生じることを示す。
2. Description of the Related Art In an electronic component in which a plurality of pins are erected vertically on the back side of a board, incomplete insertion of pins into through holes of the board, variation in hole diameters of the through holes, axis of pins and through holes. Due to the deviation of
"Pin bending" may occur. “Bent pin” indicates that a bent pin that is not set upright on the substrate or a bent pin is formed.

【0003】従来,上記電子部品のピン曲がりを検査す
る装置としては,図9〜図11に示すごとき,ピン曲が
り検査治具9が知られている。ピン曲がり検査治具9
は,上記電子部品7のピン75に対応する位置に複数の
ピン穴90を有する板状体である。一方,被検査体であ
る電子部品7は,基板76とその裏側に垂直に立設させ
た複数のピン75とからなる(図6参照)。
Conventionally, a pin bending inspection jig 9 as shown in FIGS. 9 to 11 has been known as a device for inspecting the pin bending of the electronic component. Pin bending inspection jig 9
Is a plate-like body having a plurality of pin holes 90 at positions corresponding to the pins 75 of the electronic component 7. On the other hand, the electronic component 7 to be inspected comprises a substrate 76 and a plurality of pins 75 vertically provided on the back side of the substrate 76 (see FIG. 6).

【0004】そして,上記電子部品のピン曲がりを検査
するにあたっては,図9(A)に示すごとく,まず,上
記電子部品7のピン75を下方に向け,上記ピン曲がり
検査治具9のピン穴90に対向する位置に,上記ピン7
5の位置を合わせる。次いで,上記ピン曲がり検査治具
9をシリンダ(図示略)により上昇させると共に,上記
電子部品7をその自重により下降させる。これにより,
図9(B)に示すごとく,上記電子部品7のピン75
を,上記ピン曲がり検査治具9のピン穴90に嵌め合わ
せる。
When inspecting the bending of the electronic component, first, as shown in FIG. 9A, the pin 75 of the electronic component 7 is turned downward, and At the position facing 90, the pin 7
Adjust the position of 5. Next, the pin bending inspection jig 9 is raised by a cylinder (not shown), and the electronic component 7 is lowered by its own weight. This gives
As shown in FIG. 9B, the pins 75 of the electronic component 7 are formed.
Into the pin hole 90 of the pin bending inspection jig 9.

【0005】次いで,上記電子部品7と上記ピン曲がり
検査治具9との嵌め合い高さを測定する。そして,判定
装置(図示略)によって,その測定値が規定値以下か否
か,即ち電子部品7にピン曲がりが生じていないか否か
を判定する。
Next, the fitting height between the electronic component 7 and the pin bending inspection jig 9 is measured. Then, a determination device (not shown) determines whether or not the measured value is equal to or less than a specified value, that is, whether or not the electronic component 7 is bent.

【0006】即ち,上記ピン75が上記基板76に対し
て垂直に立設されている場合には,図9(B)に示すご
とく,上記嵌め合い高さの測定値Sは上記規定値以下と
なり,上記電子部品7は,ピン曲がりのない良品である
と判定される。一方,上記基板76に対して傾斜して立
設された曲がりピン77が生じている場合には,図10
に示すごとく,上記曲がりピン77の頭部771が,上
記ピン穴90の開口部900に当接する。そのため,上
記嵌め合い高さの測定値Lは上記規定値を超え,上記電
子部品7は,ピン曲がりのある不良品であると判定され
る。
That is, when the pins 75 are erected vertically with respect to the substrate 76, as shown in FIG. 9B, the measured value S of the fitting height is less than the specified value. The electronic component 7 is determined to be a non-defective product having no bent pins. On the other hand, in the case where the bending pin 77 which is erected and inclined with respect to the substrate 76 is generated, FIG.
As shown in (1), the head 771 of the bending pin 77 contacts the opening 900 of the pin hole 90. Therefore, the measured value L of the fitting height exceeds the specified value, and the electronic component 7 is determined to be a defective product having bent pins.

【0007】[0007]

【解決しようとする課題】しかしながら,上記従来のピ
ン曲がり検査治具9においては,次の問題がある。即
ち,図11に示すごとく,ピン曲がり検査時において,
上記電子部品7自体が上記ピン曲がり検査治具9に対し
て傾斜した状態で係合する場合がある。この場合には,
上記ピン75が上記ピン穴90の側壁に当接するため,
上記電子部品7と上記ピン曲がり検査治具9との嵌め合
い高さの測定値Mが上記規定値を超えてしまう。
However, the conventional pin bending inspection jig 9 has the following problems. That is, as shown in FIG. 11, during the pin bending inspection,
The electronic component 7 itself may be engaged with the pin bending inspection jig 9 in an inclined state. In this case,
Since the pin 75 contacts the side wall of the pin hole 90,
The measured value M of the fitting height between the electronic component 7 and the pin bending inspection jig 9 exceeds the specified value.

【0008】そのため,上記電子部品7はピン曲がりの
ない良品であるにも拘わらず,誤って不良品であると判
定される場合が生じる。また,このような誤判定は,特
に上記ピン曲がり検査治具9と上記電子部品7との位置
合わせ精度が比較的低い場合に起こり易い。一方,この
位置合わせ精度は,上記のごとく,上記電子部品7の自
重による下降を利用した方法においては,精度向上に限
界がある。
For this reason, the electronic component 7 may be erroneously determined to be a defective product even though the electronic component 7 is a non-defective product having no bent pins. Such an erroneous determination tends to occur particularly when the positioning accuracy between the pin bending inspection jig 9 and the electronic component 7 is relatively low. On the other hand, as described above, there is a limit to improving the positioning accuracy in the method using the lowering of the electronic component 7 due to its own weight, as described above.

【0009】本発明は,かかる従来の問題点に鑑みてな
されたもので,ピン曲がりの誤判定を確実に防止でき
る,電子部品のピン曲がり検査方法及びその装置を提供
しようとするものである。
The present invention has been made in view of such a conventional problem, and an object of the present invention is to provide a method and an apparatus for inspecting the bending of an electronic component, which can reliably prevent erroneous determination of the bending of the pin.

【0010】[0010]

【課題の解決手段】請求項1の発明は,基板の裏側に複
数のピンを垂直に立設させてなる電子部品のピン曲がり
を検査する方法において,少なくとも異なる2方向から
それぞれ上記ピンのピン列に対して平行にレーザ光を投
射し,該レーザ光をそれぞれ受光して上記ピン列によっ
て生じた影の幅を測定することにより,上記ピン曲がり
を判定することを特徴とする電子部品のピン曲がり検査
方法にある。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a method for inspecting a pin bend of an electronic component in which a plurality of pins are vertically provided on a back side of a substrate, wherein the pin row of the pins is provided from at least two different directions. A pin bend of an electronic component, wherein the pin bend is determined by projecting a laser beam in parallel with the laser beam, receiving each of the laser beams, and measuring a width of a shadow produced by the pin array. In the inspection method.

【0011】本発明において最も注目すべきことは,レ
ーザ光をピン列に投射することによって生じた影の幅を
測定することにより,ピン曲がりを判定することであ
る。
The most remarkable point of the present invention is to determine the pin bending by measuring the width of a shadow generated by projecting a laser beam onto a pin array.

【0012】上記レーザ光の投射範囲は,いずれの方向
においても,上記電子部品の基板に立設された全てのピ
ンをカバーする幅と,上記基板に立設されたピンの突出
部分をカバーする厚みとを有する。
The projection range of the laser beam in any direction covers the width covering all the pins erected on the substrate of the electronic component and the projection of the pins erected on the substrate. Having a thickness.

【0013】一方,被検査体である上記電子部品は,同
一直線上に並んだ複数のピンからなる上記ピン列を有し
ている。上記ピン列は,上記電子部品を裏側から見た場
合に,互いに異なる2つ以上の方向において形成されて
いる。また,上記ピン列は,それぞれの方向において各
2列以上ずつ形成されている。そして,上記レーザ光は
少なくとも2列以上の上記ピン列に対してそれぞれのピ
ン列方向に平行に投射する。
On the other hand, the electronic component as the object to be inspected has the above-mentioned pin row composed of a plurality of pins arranged on the same straight line. The pin array is formed in two or more different directions when the electronic component is viewed from the back side. Further, the pin rows are formed in two or more rows in each direction. The laser beam is projected on at least two or more rows of the pin rows in parallel with the respective pin row directions.

【0014】次に,本発明の作用効果につき説明する。
本発明のピン曲がり検査方法においては,上記ピン列に
対して平行に投射される上記レーザ光は,いずれの方向
においても複数のピン列によって遮られる。そのため,
受光側において複数列の影が生じる。そして,本発明に
おいては,各影の幅を測定する。そして,上記影の幅を
基にしてピン曲がりを判定する。
Next, the operation and effect of the present invention will be described.
In the pin bending inspection method according to the present invention, the laser beam projected parallel to the pin row is blocked by a plurality of pin rows in any direction. for that reason,
A plurality of rows of shadows occur on the light receiving side. Then, in the present invention, the width of each shadow is measured. Then, pin bending is determined based on the width of the shadow.

【0015】例えば,各影の幅を比較して,互いの影の
幅に差異が生じているか否かを検出することにより,ピ
ン曲がりを判定することができる。即ち,上記ピンが上
記基板に対して全て垂直に立設されており,かつ上記ピ
ン自体が曲がっていない場合には,同一方向に並んだ各
ピン列の影は,すべてが所定の幅,例えば上記ピンの直
径に略等しい幅となり,各影同士の幅を比較してもほと
んど差異は生じない。この場合には,電子部品は,ピン
曲がりのない良品であると判定される。
For example, pin bending can be determined by comparing the width of each shadow and detecting whether or not there is a difference between the widths of the shadows. That is, when the pins are all set upright with respect to the substrate and the pins themselves are not bent, the shadows of the pin rows arranged in the same direction are all of a predetermined width, for example. The width is approximately equal to the diameter of the pin, and there is almost no difference when comparing the width of each shadow. In this case, the electronic component is determined to be a non-defective product having no bent pins.

【0016】一方,上記基板に対して傾斜して立設され
た曲がりピン,又はピン自体が曲がっている曲がりピン
が生じている場合には,垂直に立設されたピンの影から
上記曲がりピンの影がはみ出す。そのため,このピン列
の影は幅が広くなり,他のピン列の影と比較すると差異
が生じる。この場合には,電子部品は,ピン曲がりのあ
る不良品であると判定される。
On the other hand, in the case where a bent pin that is erected with respect to the substrate or a bent pin itself is bent, the bent pin is formed from the shadow of the vertically erected pin. Shadow protrudes. Therefore, the width of the shadow of this pin row becomes wider, and a difference occurs when compared with the shadows of other pin rows. In this case, the electronic component is determined to be a defective product having bent pins.

【0017】また,上記判定方法においては,上記影の
幅の差異が所定の大きさ以内である場合には,上記差異
は生じていないとみなし,その電子部品は良品であると
判定することが好ましい。これは,上記差異が誤差とみ
なされる程度に微小であるにもかかわらず,その電子部
品が不良品と判定されることを防止するためである。
In the above determination method, when the difference between the shadow widths is within a predetermined size, the difference is regarded as not occurring, and the electronic component is determined to be non-defective. preferable. This is to prevent the electronic component from being determined to be defective even though the difference is small enough to be regarded as an error.

【0018】また,例えば,各影の幅をそれぞれ所定の
目標値と比較して,該目標値を超える幅を有する影がひ
とつでもあれば,不良品であるという判定を行うことも
できる。また,この場合にも,過剰品質を防止し,良品
のスペックを適正に維持するために,許容誤差の分だけ
大きく上記目標値を設定することが好ましい。
For example, the width of each shadow is compared with a predetermined target value, and if at least one shadow has a width exceeding the target value, it can be determined that the shadow is defective. Also in this case, it is preferable to set the target value as large as the allowable error in order to prevent excessive quality and properly maintain the specifications of non-defective products.

【0019】このように,本発明のピン曲がり検査方法
によれば,上記のごとく,各ピン列の影の幅を測定する
ことよって,容易かつ確実にピン曲がりを判定すること
ができる。
As described above, according to the pin bending inspection method of the present invention, as described above, the pin bending can be easily and reliably determined by measuring the width of the shadow of each pin row.

【0020】また,本発明においては,電子部品を載置
した状態で検査することができ,従来のように,電子部
品とピン曲がり検査治具とを,上記電子部品の自重によ
る落下によって,嵌め合わせることを要しない。そのた
め,上記レーザ光の投射範囲への電子部品の位置決めを
容易に行うことができる。それ故,電子部品の位置決め
不良による誤判定を確実に防止することができる。ま
た,上記ピン曲がり検査方法は,レーザ光を用いた非接
触の検査方法であるため,検査にあたって,被検査体で
ある電子部品,特にピンに損傷を及ぼすことが確実に防
止される。
Further, according to the present invention, the electronic component can be inspected with the electronic component mounted thereon. As in the conventional case, the electronic component and the pin bending inspection jig are fitted by dropping the electronic component by its own weight. No need to match. Therefore, the electronic component can be easily positioned within the projection range of the laser light. Therefore, erroneous determination due to poor positioning of the electronic component can be reliably prevented. Further, since the above-described pin bending inspection method is a non-contact inspection method using a laser beam, it is possible to reliably prevent an electronic component as an object to be inspected, particularly, a pin from being damaged during the inspection.

【0021】また,少なくとも異なる2方向から,上記
ピン列に対して上記レーザ光を投射する。そのため,曲
がりピンが,いずれか1方向のピン列に対して平行に傾
斜して,上記ピン列の死角となっている場合でも,他方
向からは上記曲がりピンの影を検出することができる。
それ故,確実にピン曲がりを判定することができる。
The laser beam is projected onto the pin array from at least two different directions. Therefore, even when the bending pin is inclined in parallel to the pin row in any one direction and forms a blind spot of the pin row, the shadow of the bending pin can be detected from another direction.
Therefore, the pin bending can be reliably determined.

【0022】次に,請求項2の発明のように,上記レー
ザ光は,互いに直交する2方向から投射されることが好
ましい。この場合には,本検査方法に用いる装置の構造
を簡単にすることができる。
Next, it is preferable that the laser beam is projected from two directions orthogonal to each other. In this case, the structure of the apparatus used in the present inspection method can be simplified.

【0023】次に,請求項3の発明は,基板の裏側に複
数のピンを垂直に立設させてなる電子部品のピン曲がり
を検査する装置において,上記ピンのピン列に平行にレ
ーザ光を投射するための複数の光源と,各光源から投射
された上記レーザ光をそれぞれ受光して上記ピン列によ
って生じた影の幅を測定するための複数の受光装置と,
該受光装置が測定した上記影の幅から上記ピン曲がりを
判定するための判定装置とを有することを特徴とする電
子部品のピン曲がり検査装置にある。
Next, a third aspect of the present invention is an apparatus for inspecting the bending of a pin of an electronic component in which a plurality of pins are erected vertically on the back side of a substrate. A plurality of light sources for projecting, a plurality of light receiving devices for receiving the laser light projected from each light source and measuring a width of a shadow generated by the pin array,
A determining device for determining the pin bending from the width of the shadow measured by the light receiving device.

【0024】本発明において最も注目すべきことは,ピ
ン曲がり検査装置には,一対の光源と受光装置とを複数
個所に設けていることである。本発明のピン曲がり検査
装置によれば,上記優れた検査方法を容易に実施するこ
とができる。それ故,本検査装置を用いれば,誤判定の
ない高精度のピン曲がり検査を行うことができる。
The most remarkable point in the present invention is that the pin bending inspection device is provided with a pair of light sources and a plurality of light receiving devices at a plurality of locations. According to the pin bending inspection apparatus of the present invention, the above excellent inspection method can be easily implemented. Therefore, by using the present inspection apparatus, it is possible to perform a highly accurate pin bending inspection without erroneous determination.

【0025】[0025]

【発明の実施の形態】実施形態例1 本発明の実施形態例にかかる電子部品のピン曲がり検出
装置,及びその方法について,図1〜図7を用いて説明
する。本例のピン曲がり検出装置1は,図1,図2に示
すごとく,電子部品7の基板76の裏側に垂直に立設さ
れた複数のピン75からなるピン列71,72に,平行
にレーザ光6を投射するための複数の光源21,22を
有すると共に,各光源21,22から投射された上記レ
ーザ光6をそれぞれ受光して上記ピン列71,72によ
って生じた影61,62の幅を測定するための複数の受
光装置31,32を有する。また,該受光装置31,3
2が測定した上記影61,62の幅から上記ピン曲がり
を判定するための判定装置5を有する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS First Embodiment An apparatus and a method for detecting a pin bending of an electronic component according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. As shown in FIGS. 1 and 2, the pin bending detection device 1 of the present embodiment is configured such that a laser beam is parallel to a pin array 71, 72 composed of a plurality of pins 75 erected vertically on the back side of a substrate 76 of the electronic component 7. It has a plurality of light sources 21 and 22 for projecting the light 6, and receives the laser light 6 projected from each of the light sources 21 and 22, respectively, and receives shadows 61 and 62 generated by the pin rows 71 and 72, respectively. Has a plurality of light receiving devices 31 and 32 for measuring. The light receiving devices 31, 3
2 has a judging device 5 for judging the pin bending from the widths of the shadows 61 and 62 measured.

【0026】図1,図2に示すごとく,光源21と受光
装置31とは,電子部品7を挟んで縦方向に配置されて
いる。一方,光源22と受光装置32とは,上記電子部
品7を挟んで横方向に配置されている。即ち,光源21
と光源22とは互いに90度異なる方向から電子部品7
にレーザ光6を投射するように配置されている。また,
上記電子部品7は,図2に示すごとく,ピン75を上方
に向けた状態で載置する。
As shown in FIGS. 1 and 2, the light source 21 and the light receiving device 31 are arranged vertically with the electronic component 7 interposed therebetween. On the other hand, the light source 22 and the light receiving device 32 are arranged laterally with the electronic component 7 interposed therebetween. That is, the light source 21
And the light source 22 from the directions different from each other by 90 degrees.
Are arranged so as to project the laser beam 6. Also,
As shown in FIG. 2, the electronic component 7 is placed with the pin 75 facing upward.

【0027】上記光源21,22は,上記ピン75の側
面に対向する位置に,レーザ光6の投射部26を有して
いる。一方,上記受光装置31,32は,それぞれ上記
光源21,22の投射部26に対向する位置に,受光部
36を有している。また,判定装置5は,接続コード5
3を介して上記受光装置31,32に電気的に接続され
ている。
The light sources 21 and 22 have a laser beam 6 projecting portion 26 at a position facing the side surface of the pin 75. On the other hand, the light receiving devices 31 and 32 have light receiving portions 36 at positions facing the projection portions 26 of the light sources 21 and 22, respectively. In addition, the determination device 5 includes a connection code 5
3 are electrically connected to the light receiving devices 31 and 32.

【0028】上記光源21から投射される上記レーザ光
6の投射範囲60は,図3〜図5に示すごとく,上記電
子部品7の基板76に立設された5列のピン列71をカ
バーする幅Wと,上記基板76に立設されたピン75の
突出部分をカバーする厚みTとを有する。また,上記光
源22も同様の投射範囲60を有する。
The projection range 60 of the laser beam 6 projected from the light source 21 covers five rows of pins 71 erected on the substrate 76 of the electronic component 7 as shown in FIGS. It has a width W and a thickness T that covers the protruding portion of the pin 75 erected on the substrate 76. The light source 22 also has a similar projection range 60.

【0029】一方,被検査体である上記電子部品7は,
図6に示すごとく,同一直線上に並んだ複数のピン75
からなる,縦方向におけるピン列71と,横方向におけ
るピン列72とを有している。また,上記ピン列71,
72は,各5列ずつ形成されている。
On the other hand, the electronic component 7 to be inspected is
As shown in FIG. 6, a plurality of pins 75 aligned on the same straight line.
And a pin row 71 in the vertical direction and a pin row 72 in the horizontal direction. Also, the pin row 71,
72 are formed in five rows each.

【0030】次に,上記検査装置1を用いたピン曲がり
検査方法の概要について,図1〜図5を用いて,説明す
る。本例の検査方法は,互いに直交する2方向からそれ
ぞれ上記ピン75のピン列71,72に対して平行にレ
ーザ光6を投射し,該レーザ光6をそれぞれ受光して上
記ピン列71,72によって生じた影61,62の幅を
測定することにより,上記ピン曲がりを判定する。
Next, an outline of a pin bending inspection method using the inspection apparatus 1 will be described with reference to FIGS. In the inspection method of this embodiment, the laser beam 6 is projected from two directions orthogonal to each other to the pin rows 71 and 72 of the pins 75 in parallel, and the laser beams 6 are received and the pin rows 71 and 72 are received. By measuring the widths of the shadows 61 and 62 generated by the above, the pin bending is determined.

【0031】次に,本例の作用につき説明する。本例の
ピン曲がり検査方法においては,図1,図2に示すごと
く,上記光源21は,縦方向に並んだ複数のピン列71
に対して平行にレーザ光6を投射する。投射されたレー
ザ光6は上記ピン列71によって遮られるため,受光側
において複数列の影61が生じる。そして,上記受光装
置31は,上記影61が生じたレーザ光6を受光するこ
とによって,各影61の幅を測定する。また,横方向に
ついても同様に,上記光源22と受光装置32とによっ
て,各ピン列72の影62の幅を測定する。
Next, the operation of this embodiment will be described. In the pin bending inspection method of the present embodiment, as shown in FIGS. 1 and 2, the light source 21 is provided with a plurality of pin rows 71 arranged in a vertical direction.
Laser beam 6 is projected in parallel to the laser beam. Since the projected laser light 6 is blocked by the pin row 71, a plurality of rows of shadows 61 are generated on the light receiving side. Then, the light receiving device 31 measures the width of each shadow 61 by receiving the laser beam 6 in which the shadow 61 has occurred. Similarly, in the horizontal direction, the width of the shadow 62 of each pin row 72 is measured by the light source 22 and the light receiving device 32.

【0032】次いで,上記判定装置5は,上記受光装置
31から出力された各ピン列71の影61の幅を比較す
ることにより,縦方向における,互いの影61の幅に差
異が生じているか否かを検出する。また,この場合の上
記差異には,過剰品質等の防止のため,被検査体である
電子部品7の種類に応じて許容誤差を設けることができ
る。また,横方向においても同様に,上記受光装置32
から出力された各影62の幅を比較して,差異の有無を
検出する。
Next, the judging device 5 compares the width of the shadow 61 of each pin row 71 output from the light receiving device 31 to determine whether there is a difference between the widths of the shadows 61 in the vertical direction. Detect whether or not. In addition, in order to prevent an excessive quality or the like, an allowable error can be provided for the difference according to the type of the electronic component 7 to be inspected. Similarly, in the lateral direction, the light receiving device 32
The widths of the shadows 62 output from are compared to detect the presence or absence of a difference.

【0033】即ち,ピン75が基板76に対して全て垂
直に立設されており,かつ上記ピン75自体が曲がって
いない場合には,図3に示すごとく,縦方向に並んだ各
ピン列71の影61は,すべてが所定の幅dとなり,上
記影61同士の幅を比較しても差異は生じない。また,
図示はしないが,横方向に並んだ各ピン列72の影62
同士の幅にも差異は生じない。このように2方向のいず
れにおいても,各影の幅に差異が生じていない場合に
は,電子部品7は,ピン曲がりのない良品であると判定
される。なお,上記影61,62の幅dは,上記ピン7
5の直径と略等しい。
That is, when the pins 75 are all set upright with respect to the substrate 76 and the pins 75 themselves are not bent, as shown in FIG. All of the shadows 61 have a predetermined width d, and there is no difference even if the widths of the shadows 61 are compared. Also,
Although not shown, the shadow 62 of each pin row 72 arranged in the horizontal direction is shown.
There is no difference between the widths. As described above, when there is no difference in the width of each shadow in any of the two directions, it is determined that the electronic component 7 is a non-defective product having no bent pins. Note that the width d of the shadows 61 and 62 is
5 is almost equal to the diameter.

【0034】一方,上記基板76に対して傾斜して立設
された曲がりピン77が生じている場合には,図4に示
すごとく,垂直に立設されたピン75の影65から上記
曲がりピン77の影67がはみ出す。そのため,このピ
ン列717の影は幅Dとなり,他のピン列71の影61
の幅dと比較すると,はみ出した分(D−d)だけ差異
が生じる。
On the other hand, in the case where the bent pin 77 is provided so as to be inclined with respect to the substrate 76, as shown in FIG. 4, the bent pin 77 is formed from the shadow 65 of the vertically provided pin 75. The shadow 67 of 77 protrudes. Therefore, the shadow of this pin row 717 has a width D, and the shadow 61 of the other pin row 71
When compared with the width d, the difference is generated by the amount (D−d) protruding.

【0035】また,図示していないが,ピン75自体が
曲がっている場合にも,その曲がりピンの影が他のピン
の影からはみ出すため,そのピン列の影幅と他のピン列
の影幅との間には,上記と同様に,差異が生じる。この
ように2方向のうちのいずれか一方でも,各影の幅に差
異が生じている場合には,電子部品7は,ピン曲がりの
ある不良品であると判定される。
Although not shown, even when the pin 75 itself is bent, since the shadow of the bent pin protrudes from the shadow of the other pin, the shadow width of the pin row and the shadow of the other pin row are different. There is a difference between the width and the above. As described above, when there is a difference in the width of each shadow in any one of the two directions, the electronic component 7 is determined to be a defective product having bent pins.

【0036】このように,本例のピン曲がり検査方法に
よれば,上記のごとく,各ピン列71,72の影61,
62の幅を測定,比較することよって,容易かつ確実に
ピン曲がりを判定することができる。
As described above, according to the pin bending inspection method of this embodiment, as described above, the shadows 61, 72
By measuring and comparing the width of 62, it is possible to easily and reliably determine the pin bending.

【0037】また,図5に示すごとく,たとえ電子部品
7の載置状態が傾斜している場合においても,電子部品
7にピン曲がりが生じていない限り,各ピン列71の影
61は全て同じ角度で傾斜する。そのため,各ピン列7
1の影61を比較しても,その幅Kは等しく広くなるた
め差異が生じることはなく,電子部品7が良品であるに
もかかわらず不良品であると判定されることはない。
As shown in FIG. 5, even if the mounting state of the electronic component 7 is inclined, all the shadows 61 of each pin row 71 are the same unless the electronic component 7 is bent. Tilt at an angle. Therefore, each pin row 7
Even when the shadows 61 of 1 are compared, the width K becomes equal and wide, so that there is no difference, and the electronic component 7 is not determined to be defective even though it is good.

【0038】また,本例においては,電子部品7を載置
した状態で検査することができ,従来のように,電子部
品7とピン曲がり検査装置1とを,上記電子部品7の自
重による落下によって,嵌め合わせることを要しない。
そのため,上記電子部品7自体が,傾斜することが発生
しにくい。そのため,上記レーザ光6の投射範囲60へ
の電子部品7の位置決めを容易に行うことができる。そ
れ故,電子部品7の位置決め不良による誤判定を確実に
防止することができる。
Further, in this embodiment, the inspection can be performed with the electronic component 7 placed thereon, and the electronic component 7 and the pin bending inspection device 1 can be dropped by the weight of the electronic component 7 as in the prior art. Does not require fitting.
Therefore, the electronic component 7 itself is unlikely to be inclined. Therefore, the positioning of the electronic component 7 in the projection range 60 of the laser beam 6 can be easily performed. Therefore, erroneous determination due to a positioning error of the electronic component 7 can be reliably prevented.

【0039】また,上記ピン曲がり検査方法は,レーザ
光6を用いた非接触の検査方法であるため,検査にあた
って,被検査体である電子部品7,特にピン75に損傷
を及ぼすことが確実に防止される。
Since the above-described pin bending inspection method is a non-contact inspection method using the laser beam 6, it is ensured that the electronic component 7, which is the object to be inspected, particularly the pins 75, is damaged during the inspection. Is prevented.

【0040】また,図1に示すごとく,互いに直交する
2方向から,上記ピン列71,72に対して上記レーザ
光6を投射する。そのため,曲がりピン77が,例えば
横方向のピン列72に対して平行に傾斜して,上記ピン
列72の死角となっている場合でも,縦方向からは上記
曲がりピン77の影67を検出することができる。それ
故,確実にピン曲がりを判定することができる。
Further, as shown in FIG. 1, the laser beam 6 is projected onto the pin rows 71 and 72 from two directions orthogonal to each other. Therefore, even when the bending pin 77 is inclined parallel to the horizontal pin row 72, for example, and forms a blind spot of the pin row 72, the shadow 67 of the bending pin 77 is detected from the vertical direction. be able to. Therefore, the pin bending can be reliably determined.

【0041】なお,上記電子部品7としては,図7に示
すごとく,ピン75の配列が基板76の対角線方向(斜
め)に配列されていてもよい。この場合には,ピッチP
のピン列の影が,縦,横方向にそれぞれ複数形成され,
これにより上記と同様にピン曲がり検査を確実に行うこ
とができる。
As shown in FIG. 7, the electronic components 7 may be arranged such that the pins 75 are arranged diagonally (obliquely) on the substrate 76. In this case, the pitch P
A plurality of shadows of the pin row are formed vertically and horizontally, respectively.
Thus, the pin bending inspection can be reliably performed as described above.

【0042】実施形態例2 本例は,図8に示すごとく,上記光源21と受光装置3
1とを,電子部品7を挟んで右斜め上方から左斜め下方
にレーザ光6が投射されるように配置し,上記光源22
と受光装置32とを,上記電子部品7を挟んで左斜め上
方から右斜め下方にレーザ光6が投射されるように配置
したものである。この場合には,上記電子部品7のピン
列73,74は,図8に示すごとく,実施形態例1とは
異なり,基板76における対角線方向と平行に存在する
こととなる。また,上記光源21,22から投射される
上記レーザ光6の投射範囲60は,上記電子部品7の基
板76に立設された9列のピン列73,74をカバーす
る幅を有する。その他は,実施形態例1と同様である。
Embodiment 2 In this embodiment, as shown in FIG.
1 are arranged so that the laser light 6 is projected obliquely from the upper right to the lower left with the electronic component 7 interposed therebetween.
And the light receiving device 32 are arranged such that the laser beam 6 is projected from obliquely left above to diagonally right below with the electronic component 7 interposed therebetween. In this case, unlike the first embodiment, the pin arrays 73 and 74 of the electronic component 7 exist in parallel to the diagonal direction of the substrate 76 as shown in FIG. The projection range 60 of the laser light 6 projected from the light sources 21 and 22 has a width that covers nine rows of pins 73 and 74 erected on the substrate 76 of the electronic component 7. Other configurations are the same as those of the first embodiment.

【0043】本例のピン曲がり検査方法においては,図
8に示すごとく,上記光源21,22は,上記電子部品
7に形成された右上がりの斜め方向におけるピン列7
3,及び右下がりの斜め方向におけるピン列74に対し
て,それぞれ平行にレーザ光6を投射する。そして,上
記ピン列73によって影63が生じ,上記ピン列74に
よって影64が生じる。その他は実施形態例1と同様の
作用効果を有する。
In the pin bending inspection method of the present embodiment, as shown in FIG. 8, the light sources 21 and 22 are formed on the electronic component 7 by a pin array 7 in an obliquely right-upward direction.
The laser light 6 is projected in parallel to the pin rows 74 in the diagonal directions of 3 and downward and right. Then, a shadow 63 is generated by the pin array 73, and a shadow 64 is generated by the pin array 74. Others have the same operation and effects as the first embodiment.

【0044】[0044]

【発明の効果】上述のごとく,本発明によれば,ピン曲
がりの誤判定を確実に防止できる,電子部品のピン曲が
り検査方法及びその装置を提供することができる。
As described above, according to the present invention, it is possible to provide a method and an apparatus for inspecting pin bending of an electronic component, which can reliably prevent erroneous determination of pin bending.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】実施形態例1にかかる,ピン曲がり検査装置の
平面説明図。
FIG. 1 is an explanatory plan view of a pin bending inspection device according to a first embodiment;

【図2】実施形態例1かかる,ピン曲がり検査装置の側
面説明図。
FIG. 2 is an explanatory side view of the pin bending inspection apparatus according to the first embodiment;

【図3】実施形態例1にかかる,ピン曲がり検査方法に
よって,良品の電子部品を検査した場合のピン列の影を
説明する図。
FIG. 3 is a view for explaining the shadow of a pin row when a non-defective electronic component is inspected by the pin bending inspection method according to the first embodiment;

【図4】実施形態例1にかかる,ピン曲がり検査方法に
よって,不良品の電子部品を検査した場合のピン列の影
を説明する図。
FIG. 4 is a view for explaining the shadow of a pin row when a defective electronic component is inspected by the pin bending inspection method according to the first embodiment.

【図5】実施形態例1にかかる,ピン曲がり検査方法に
よって,傾斜して載置された電子部品を検査した場合の
ピン列の影を説明する図。
FIG. 5 is a view for explaining the shadow of a pin row when an electronic component placed obliquely is inspected by the pin bending inspection method according to the first embodiment.

【図6】実施形態例1にかかる,電子部品の斜視図。FIG. 6 is an exemplary perspective view of the electronic component according to the first embodiment;

【図7】実施形態例1にかかる,他の電子部品の平面
図。
FIG. 7 is a plan view of another electronic component according to the first embodiment.

【図8】実施形態例2にかかる,ピン曲がり検査装置の
平面説明図。
FIG. 8 is an explanatory plan view of a pin bending inspection apparatus according to a second embodiment;

【図9】従来例にかかる,ピン曲がり検査治具によっ
て,良品の電子部品を検査した場合の側面説明図。
FIG. 9 is an explanatory side view of a conventional example in which a non-defective electronic component is inspected by a pin bending inspection jig.

【図10】従来例にかかる,ピン曲がり検査治具によっ
て,不良品の電子部品を検査した場合の側面説明図。
FIG. 10 is an explanatory side view of a case where a defective electronic component is inspected by a pin bending inspection jig according to a conventional example.

【図11】従来例にかかる,ピン曲がり検査治具によっ
て,傾斜して載置された電子部品を検査した場合の側面
説明図。
FIG. 11 is an explanatory side view of a conventional example in which an electronic component placed obliquely is inspected by a pin bending inspection jig.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1...電子部品のピン曲がり検査装置, 21,22...光源, 31,32...受光装置, 5...判定装置, 6...レーザ光, 61,62...影, 7...電子部品, 71,72...ピン列, 75...ピン, 76...基板, 1. . . Pin bending inspection device for electronic components, 21, 22. . . Light source, 31, 32. . . Light receiving device, 5. . . Determination device, 6. . . Laser light, 61, 62. . . Shadow, 7. . . Electronic components, 71, 72. . . Pin row, 75. . . Pin, 76. . . substrate,

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 基板の裏側に複数のピンを垂直に立設さ
せてなる電子部品のピン曲がりを検査する方法におい
て,少なくとも異なる2方向からそれぞれ上記ピンのピ
ン列に対して平行にレーザ光を投射し,該レーザ光をそ
れぞれ受光して上記ピン列によって生じた影の幅を測定
することにより,上記ピン曲がりを判定することを特徴
とする電子部品のピン曲がり検査方法。
1. A method for inspecting a pin bend of an electronic component in which a plurality of pins are vertically provided on a back side of a substrate, wherein a laser beam is irradiated from at least two different directions in parallel with the pin row of the pins. A pin bending inspection method for an electronic component, wherein the pin bending is determined by projecting and receiving each of the laser beams and measuring a width of a shadow generated by the pin array.
【請求項2】 請求項1の発明において,上記レーザ光
は,互いに直交する2方向から投射されることを特徴と
する電子部品のピン曲がり検査方法。
2. The method according to claim 1, wherein the laser beam is projected from two directions orthogonal to each other.
【請求項3】 基板の裏側に複数のピンを垂直に立設さ
せてなる電子部品のピン曲がりを検査する装置におい
て,上記ピンのピン列に平行にレーザ光を投射するため
の複数の光源と,各光源から投射された上記レーザ光を
それぞれ受光して上記ピン列によって生じた影の幅を測
定するための複数の受光装置と,該受光装置が測定した
上記影の幅から上記ピン曲がりを判定するための判定装
置とを有することを特徴とする電子部品のピン曲がり検
査装置。
3. An apparatus for inspecting pin bending of an electronic component, wherein a plurality of pins are vertically provided on a back side of a substrate, wherein a plurality of light sources for projecting a laser beam in parallel with the pin row of the pins are provided. A plurality of light receiving devices for respectively receiving the laser light projected from each light source and measuring a width of a shadow generated by the pin array; and detecting the pin bending based on the width of the shadow measured by the light receiving device. A pin bending inspection device for an electronic component, comprising: a determination device for determining.
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