JPH11281920A - Projection optical system - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To reduce the cost of a projection optical system which synthesizes red, green, and blue light and to project a picture which has the same color tone in the center part and the peripheral part of a screen and is free from unevenness of color. SOLUTION: Reflection mirrors 11 and 12 are so arranged that edge lines 11a and 12a coincide with a surface where an aperture diaphragm 3 is formed, Red, green, and blue light emitted from light valves 7R, 7G, and 7B are transmitted and synthesized in areas 3R, 3G, and 3B divided by edge lines 11a and 11b and are projected on a screen 10 by a front group lens 2.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は複数の光を合成して
投影する投影光学系に関し、特に開口絞り近傍に反射ミ
ラーを配置して赤、緑、青３色の光を合成するような投
影光学系に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a projection optical system for synthesizing and projecting a plurality of lights, and more particularly to a projection optical system in which a reflecting mirror is arranged near an aperture stop to synthesize three colors of red, green and blue. Optical system.

【０００２】[0002]

【従来の技術】従来の赤、緑、青の３色の光を合成して
投影する投影光学系は例えば図１に示すような構成にな
っている。説明をわかりやすくするため２色の光を合成
する場合について説明すると、液晶パネルなどのライト
バルブ７Ｇから射出された緑色光は後群レンズ５Ｇを通
って緑色光を透過し赤色光を反射するようなダイクロイ
ック層４ａを有したダイクロイックプリズム４を透過し
て開口絞り３に至る。2. Description of the Related Art A conventional projection optical system for synthesizing and projecting light of three colors of red, green and blue has a structure as shown in FIG. 1, for example. The case where two colors of light are combined for easy understanding will be described. The green light emitted from the light valve 7G such as a liquid crystal panel transmits the green light through the rear group lens 5G and reflects the red light. The light passes through the dichroic prism 4 having the appropriate dichroic layer 4a and reaches the aperture stop 3.

【０００３】ライトバルブ７Ｒから射出された赤色光は
後群レンズ５Ｒを通ってダイクロイック層４ａで反射し
て開口絞り３に至り緑色光と合成されて前群レンズ２に
よってスクリーン１０に拡大投影される。また、図２に
示すようにダイクロイックプリズム４に替えてダイクロ
イック層８ａを有したダイクロイックミラー８を用いて
も同様に構成することができる。The red light emitted from the light valve 7R passes through the rear group lens 5R, is reflected by the dichroic layer 4a, reaches the aperture stop 3, is synthesized with green light, and is enlarged and projected on the screen 10 by the front group lens 2. . Also, as shown in FIG. 2, the same configuration can be obtained by using a dichroic mirror 8 having a dichroic layer 8a instead of the dichroic prism 4.

【０００４】なお、投影レンズ系１内において光線はラ
イトバルブ７Ｒ、７Ｇからスクリーン１０の方向に進行
するが、スクリーン１０が大きくライトバルブ７Ｒ、７
Ｇが小さいのでカメラにおける被写体とフィルムのよう
に他の光学機器と同様にレンズ評価などを行えるように
便宜上スクリーン側を前群レンズとし、ライトバルブ側
を後群レンズとしている。In the projection lens system 1, light rays travel from the light valves 7R and 7G toward the screen 10, but the screen 10 is large.
Since G is small, the screen side is a front group lens and the light valve side is a rear group lens for the sake of convenience so that lens evaluation and the like can be performed in the same way as other optical devices such as a subject and a film in a camera.

【０００５】また、特開平３−１４９５４１号公報には
開口絞り付近に三角錐形の反射ミラーを配置して３色の
光を合成するような方法が開示されている。この構成の
概略の俯瞰図を図３、正面図を図４、側面図を図５に示
す。図３において、ライトバルブ７Ｒ、７Ｇ、７Ｂから
射出された赤、緑、青色光は三角錐形の反射ミラー９を
反射して合成され開口絞り３を通過して前群レンズ２に
よってスクリーン１０上に投影される。なお各光を開口
絞り３に導く後群レンズ５Ｒ、５Ｇ、５Ｂ（図４参照）
は省略している。Japanese Patent Application Laid-Open No. 3-149541 discloses a method in which a triangular pyramid-shaped reflecting mirror is arranged near an aperture stop to combine light of three colors. FIG. 3 is a schematic overhead view of this configuration, FIG. 4 is a front view, and FIG. 5 is a side view. In FIG. 3, red, green, and blue light emitted from light valves 7R, 7G, and 7B are reflected and reflected by a triangular pyramid reflecting mirror 9, pass through an aperture stop 3, and are formed on a screen 10 by a front group lens 2. Projected to The rear group lenses 5R, 5G, and 5B that guide each light to the aperture stop 3 (see FIG. 4).
Is omitted.

【０００６】図４に示すように反射ミラー９は、反射面
９Ｒ、９Ｇ、９Ｂで赤、緑、青色光を反射し、各光を合
成する方法は図５に示すようになる。図５において説明
がわかりやすいように２色の赤、緑色光の合成について
示している。As shown in FIG. 4, the reflecting mirror 9 reflects red, green and blue lights on the reflecting surfaces 9R, 9G and 9B, and the method of combining the respective lights is as shown in FIG. FIG. 5 shows the synthesis of two colors of red and green light for easy understanding.

【０００７】ライトバルブ７Ｒの一端部７ａ’、中央部
７ｂ’、他端部７ｃ’から射出される赤色光の反射ミラ
ー９の頂点９ａを通る光ｒ１１、ｒ２１、ｒ３１と開口
絞り３の周辺部分３ｂを通る光ｒ１２、ｒ２２、ｒ３２
との間の光束ｒ１、ｒ２、ｒ３が反射ミラー９に反射す
る。同様にライトバルブ７Ｇの一端部７ａ、中央部７
ｂ、他端部７ｃから射出される緑色光の反射ミラー９の
頂点を通る光と開口絞り３の周辺部分を通る光との間の
光束ｇ１、ｇ２、ｇ３が反射ミラー９に反射する。Lights r11, r21, r31 passing through the vertex 9a of the reflecting mirror 9 for the red light emitted from the one end 7a ', the center 7b', and the other end 7c 'of the light valve 7R and the peripheral portion of the aperture stop 3. Light r12, r22, r32 passing through 3b
Are reflected by the reflection mirror 9. Similarly, one end 7a of the light valve 7G, the center 7
b, luminous fluxes g1, g2, and g3 between light passing through the vertex of the reflecting mirror 9 and light passing through the peripheral portion of the aperture stop 3 emitted from the other end 7c are reflected by the reflecting mirror 9.

【０００８】反射ミラー９で反射した赤色光ｒ１、ｒ
２、ｒ３と緑色光ｇ１、ｇ２、ｇ３はそれぞれ合成され
て結像レンズ系２によってスクリーン（不図示）上の各
点を照射するようになる。３色が合成されるときはスク
リーン上の各点を照射する各光束は断面円形の光束の中
心角が１２０゜毎に分割された領域において赤、緑、青
色光が照射されるようになっている。The red light r1, r reflected by the reflection mirror 9
2, r3 and the green lights g1, g2, g3 are respectively synthesized and illuminate each point on a screen (not shown) by the imaging lens system 2. When three colors are combined, each light beam illuminating each point on the screen is irradiated with red, green, and blue light in a region where the central angle of the light beam having a circular cross section is divided every 120 °. I have.

【０００９】[0009]

【発明が解決しようとする課題】しかしながらダイクロ
イックミラーやダイクロイックプリズムは積層膜を形成
するために高価である。さらにダイクロイックプリズム
は、積層膜を形成した４つの三角柱を貼り合わせて形成
されるため各頂点の９０゜に対する角度誤差のないよう
に形成する必要がありより高価である。However, dichroic mirrors and dichroic prisms are expensive because they form a laminated film. Furthermore, since the dichroic prism is formed by bonding four triangular prisms each having a laminated film formed thereon, it is necessary to form the dichroic prism so that there is no angular error with respect to 90 ° of each vertex, and it is more expensive.

【００１０】また、図２において開口絞り３付近にダイ
クロイックミラーを配置すると後群レンズ５Ｒ、５Ｇに
よって光軸上の光と光軸外の光とでダイクロイックミラ
ー８への入射角が異なる。ダイクロイックミラー８の波
長によって反射と透過とを分離する特性は入射角によっ
て変わるために良好な合成が行えない場合があった。In FIG. 2, when a dichroic mirror is arranged near the aperture stop 3, the incident angle to the dichroic mirror 8 differs between light on the optical axis and light off the optical axis by the rear group lenses 5R and 5G. Since the characteristics of the dichroic mirror 8 that separates reflection and transmission depending on the wavelength vary depending on the incident angle, there is a case where good synthesis cannot be performed.

【００１１】また、三角錐形の反射ミラーを用いる方法
においては、前述の図５に示すように反射ミラー９の頂
点９ａを含む断面においては、開口絞り３の中心と反射
ミラー９の頂点９ａとが一致しているので良好に３つの
光を合成することができるが、反射ミラー９の頂点９ａ
を含まない断面における合成は図６に示すようになる。
図６において説明がわかりやすいように２色の赤、緑色
光の合成について示している。In the method using a triangular pyramid-shaped reflecting mirror, the center of the aperture stop 3 and the apex 9a of the reflecting mirror 9 are located in the section including the apex 9a of the reflecting mirror 9 as shown in FIG. Can be satisfactorily combined because the light beams coincide with each other.
FIG. 6 shows the synthesis in a cross section not including.
FIG. 6 shows the combination of two colors of red and green light for easy understanding.

【００１２】ライトバルブ７Ｒの一端部から射出される
光ｒ３とライトバルブ７Ｇの一端部から射出される光ｇ
３との合成光はスクリーン１０上の点１０ａに照射され
る。このとき斜線部ｒａの光は開口絞り３の中心３ａと
反射ミラー９の頂点９ａとが一致する場合は、ライトバ
ルブ７Ｇから射出された光が照射されるが、開口絞り３
の中心３ａと反射ミラー９の頂点９ａとが一致していな
いためライトバルブ７Ｒから射出された光が照射され
る。Light r3 emitted from one end of light valve 7R and light g emitted from one end of light valve 7G
3 is applied to a point 10 a on the screen 10. At this time, when the center 3a of the aperture stop 3 and the vertex 9a of the reflection mirror 9 coincide with each other, the light emitted from the light valve 7G is applied to the light of the hatched portion ra.
3a does not coincide with the vertex 9a of the reflection mirror 9, the light emitted from the light valve 7R is irradiated.

【００１３】従って点１０ａ部は緑色よりも赤色が強く
照射されるようになる。同様にライトバルブ７Ｒ、７Ｇ
の他端部から射出された光が照射するスクリーン１０上
の点１０ｃにおいては赤色よりも緑色が強く照射される
ようになる。３色の合成時においてはスクリーン周辺部
において約１２０゜間隔で赤、緑、青色が強くあるいは
弱く照射される部分が生じて色むらが発生し、スクリー
ン中央部との色調が異なるような画像が投影されるよう
になる。Accordingly, the point 10a is irradiated with red light more strongly than green light. Similarly, the light valves 7R and 7G
At the point 10c on the screen 10 to which the light emitted from the other end of the light is irradiated, green is more strongly irradiated than red. At the time of combining three colors, a portion where the red, green, and blue colors are radiated strongly or weakly occurs at intervals of about 120 ° at the periphery of the screen, causing color unevenness, and an image having a different color tone from the center of the screen. It will be projected.

【００１４】本発明は安価で投影像の中央部と周辺部と
で色調の変化のないような投影光学系を提供することを
目的とする。An object of the present invention is to provide a projection optical system which is inexpensive and has no change in color tone between the central portion and the peripheral portion of a projected image.

【００１５】[0015]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、絞り面より像面側に配置された第１レンズ
系と、１つの稜線が絞り面と同一平面上に位置するとと
もにその絞り面に対し傾斜して配置された第１反射ミラ
ーとを備え、第１反射ミラーによって第１の光を反射し
て第１レンズ系に導き第１反射ミラーに反射されずに第
１レンズ系に至る第２の光と合成するようにしている。In order to achieve the above object, the present invention provides a first lens system arranged on the image side with respect to a stop surface, wherein one ridge line is located on the same plane as the stop surface. A first reflecting mirror that is arranged to be inclined with respect to the aperture surface, and reflects the first light by the first reflecting mirror to guide the first light to the first lens system, and the first lens is not reflected by the first reflecting mirror. The light is combined with the second light reaching the system.

【００１６】この構成によると、開口絞りを形成する平
面上に一稜線が位置した第１反射ミラーを第１の光が反
射して第１レンズ系に至り、開口絞りを通過する第２の
光と合成される。According to this configuration, the first light is reflected by the first reflection mirror having the ridge line positioned on the plane forming the aperture stop, reaches the first lens system, and the second light passes through the aperture stop. Is synthesized with

【００１７】また本発明は、第１反射ミラーの前記稜線
と平行に１つの稜線が絞り面と同一平面上に位置すると
ともに、その絞り面に対し傾斜して配置された第２反射
ミラーを備え、第２反射ミラーによって第３の光を反射
して第１レンズ系に導き第１、第２の光と合成するよう
にしている。Further, the present invention includes a second reflecting mirror in which one ridge line is located on the same plane as the stop surface in parallel with the ridge line of the first reflecting mirror, and is inclined with respect to the stop surface. The third light is reflected by the second reflection mirror, guided to the first lens system, and combined with the first and second lights.

【００１８】この構成によると、開口絞りを形成する平
面上に一稜線が位置した第１、第２反射ミラーを第１、
第３の光が反射して第レンズ系に至り、開口絞りを通過
する第２の光と合成される。この時第１、第２反射ミラ
ーの開口絞りを分割する稜線は平行になっている。According to this configuration, the first and second reflection mirrors whose one ridge line is located on the plane forming the aperture stop are the first and second reflection mirrors.
The third light is reflected to reach the second lens system, and is combined with the second light passing through the aperture stop. At this time, the ridges dividing the aperture stop of the first and second reflection mirrors are parallel.

【００１９】また本発明は、開口絞りを通過する上記各
光の軸上マージナル光を前記開口絞り部分で平行とする
ように上記各光に対してそれぞれ配置された各第２レン
ズ系とを有し、少なくとも１つの第２レンズ系におい
て、該第２レンズ系の光軸が第１レンズ系の光軸と一致
しないように配置されている。Further, the present invention has each second lens system arranged for each of the lights so that the axial marginal light of each of the lights passing through the aperture stop is parallel at the aperture stop portion. In at least one second lens system, the second lens system is arranged such that the optical axis of the second lens system does not coincide with the optical axis of the first lens system.

【００２０】この構成によると、光軸上から発せられて
開口絞り部分を通る光（軸上マージナル光）が平行光と
なるように第１、第２、第３の光を反射ミラーまたは開
口絞り方向へ導くように各光に対して各第２レンズ系が
配置されるとともに、少なくとも一つの第２レンズ系は
該第２レンズ系の光軸が、第１レンズ系の光軸に対して
平行に偏心するように配置される。According to this configuration, the first, second, and third lights are reflected by the reflection mirror or the aperture stop so that the light (on-axis marginal light) emitted from the optical axis and passing through the aperture stop becomes parallel light. Each second lens system is arranged for each light so as to guide the light in the direction, and at least one second lens system has an optical axis of the second lens system parallel to an optical axis of the first lens system. It is arranged to be eccentric to.

【００２１】また本発明は、上記各光が前記開口絞りを
通るように射出する各ライトバルブを有し、前記開口絞
り中心を通る光を射出する前記ライトバルブに対する該
ライトバルブ側から見た前記開口絞りの共役像の位置を
前記開口絞り方向を負方向としてＬ１とし、第１レンズ
群の光軸上を通る光を射出する該ライトバルブ上の位置
とその位置より最も離れた該ライトバルブ上の他の位置
との距離をＹとしたときに、 −０．３６４＜Ｙ／Ｌ１＜０．１７６ の関係である。Further, the present invention has each light valve which emits the above light so as to pass through the aperture stop, and the light valve which emits light passing through the center of the aperture stop as viewed from the light valve side with respect to the light valve. The position of the conjugate image of the aperture stop is L1, where the direction of the aperture stop is the negative direction, and the position on the light valve that emits light passing through the optical axis of the first lens group and the position on the light valve farthest from the position. When the distance to another position is Y, the relationship is -0.364 <Y / L1 <0.176.

【００２２】この構成によると、開口絞り中心から開口
絞りに垂直に第１レンズ系に導かれる光に対して、該光
と該光を射出するライトバルブ上の位置と最も離れた該
ライトバルブ上の位置から開口絞り中心を通るように射
出された光とのなす角が、該ライトバルブ側から見た開
口絞りの共役像が該ライトバルブより開口絞り側にある
ときは２０゜より小さく、開口絞り側と反対側にあると
きは１０゜より小さくなっている。ここで上記２つの光
の交点が該ライトバルブ側から見た開口絞りの共役像の
位置である。According to this structure, for the light guided from the center of the aperture stop to the first lens system perpendicular to the aperture stop, the light and the position on the light valve farthest from the position on the light valve that emits the light When the conjugate image of the aperture stop viewed from the light valve side is closer to the aperture stop than the light valve, the angle formed by the light emitted from the position and passing through the center of the aperture stop is smaller than 20 °. When it is on the side opposite to the aperture side, it is smaller than 10 °. Here, the intersection of the two lights is the position of the conjugate image of the aperture stop as viewed from the light valve side.

【００２３】[0023]

【発明の実施の形態】本発明の実施形態を図を参照して
説明する。なお図７から図１８において従来例と同じ部
分については同一の符号を付している。図７の（ａ）は
本発明の第１の実施形態を示している。ライトバルブ７
Ｒから射出され後群レンズ５Ｒを通って反射ミラー１１
の稜線１１ａを通る光と開口絞り３の周辺部３ｂを通る
光との間の光束ｒ１、ｒ２、ｒ３は反射ミラー１１で反
射し開口絞り３を通過し、ライトバルブ７Ｇから射出さ
れ後群レンズ５Ｇを通って反射ミラー１１の稜線１１ａ
を通る光と開口絞り３の周辺部３ｂを通る光との間の光
束ｇ１、ｇ２、ｇ３と合成されて前群レンズ２によりス
クリーン１０に拡大投影される。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. 7 to 18, the same parts as those of the conventional example are denoted by the same reference numerals. FIG. 7A shows a first embodiment of the present invention. Light valve 7
R, which is emitted from R and passes through the rear lens group 5R
The light fluxes r1, r2, and r3 between the light passing through the ridge line 11a and the light passing through the peripheral portion 3b of the aperture stop 3 are reflected by the reflection mirror 11, pass through the aperture stop 3, are emitted from the light valve 7G, and are output from the rear group lens. Ridge line 11a of reflection mirror 11 through 5G
Are combined with the light fluxes g1, g2, and g3 between the light passing through and the light passing through the peripheral portion 3b of the aperture stop 3, and are enlarged and projected on the screen 10 by the front lens group 2.

【００２４】反射ミラー１１の稜線１１ａは（ｂ）に示
すように開口絞り３の中心３ａと一致しており該稜線１
１ａより上方はライトバルブ７Ｇから射出された光が通
り、下方がライトバルブ７Ｒから射出された光が通る。
従ってスクリーン１０上の各点１０ａ、１０ｂ、１０ｃ
においてライトバルブ７Ｒ、７Ｇから射出された光が同
量で照射されるため色むらのない画像を得ることができ
るようになる。また後群レンズ５Ｒ、５Ｇを設置しない
ような構成も可能で、同様の効果を得ることができる。The ridge line 11a of the reflection mirror 11 coincides with the center 3a of the aperture stop 3 as shown in FIG.
Light emitted from the light valve 7G passes above 1a, and light emitted from the light valve 7R passes below.
Therefore, each point 10a, 10b, 10c on the screen 10
In this case, the light emitted from the light valves 7R and 7G is irradiated in the same amount, so that an image without color unevenness can be obtained. Further, a configuration in which the rear group lenses 5R and 5G are not provided is also possible, and the same effect can be obtained.

【００２５】また光束ｇ３のように反射ミラー１１の厚
みによってライトバルブ７Ｇから射出される光の一部が
開口絞り３の中心３ａを通過できない場合において、反
射ミラー１１の形状を図８の（ａ）、（ｂ）に示すよう
に端部を面取りしたり、三角柱形状などにすることによ
ってライトバルブ７Ｇの全部分から射出される光が開口
絞り３の中心３ａを通過可能にできる。When a part of the light emitted from the light valve 7G cannot pass through the center 3a of the aperture stop 3 due to the thickness of the reflecting mirror 11 like the light beam g3, the shape of the reflecting mirror 11 is changed as shown in FIG. The light emitted from all the portions of the light valve 7G can pass through the center 3a of the aperture stop 3 by chamfering the end portion or forming a triangular prism shape as shown in FIGS.

【００２６】次に第２実施形態について図９の俯瞰図を
参照して説明する。同図によると赤、緑、青の３つの光
を合成する構成を示しており、ライトバルブ７Ｒ、７Ｂ
から射出された赤、青色光は反射ミラー１１、１２で反
射して開口絞り３を通過し、ライトバルブ７Ｇから射出
された緑色光と合成されて前群レンズ２によってスクリ
ーン１０に投影される。この時反射ミラー１１、１２は
稜線１１ａ、１２ａが開口絞り３を形成する面上に位置
するように配置されている。Next, a second embodiment will be described with reference to the overhead view of FIG. According to the figure, a configuration for synthesizing three lights of red, green and blue is shown, and the light valves 7R and 7B are shown.
Are reflected by the reflection mirrors 11 and 12, pass through the aperture stop 3, are combined with the green light emitted from the light valve 7G, and are projected on the screen 10 by the front lens group 2. At this time, the reflection mirrors 11 and 12 are arranged such that the ridge lines 11a and 12a are located on the surface forming the aperture stop 3.

【００２７】更に詳細を図１０を参照して説明するとラ
イトバルブ７Ｒ、７Ｂから射出された赤、青色光は、反
射ミラー１１、１２を反射し、開口絞り３と接する反射
ミラー１１、１２の稜線１１ａ、１２ａによって分割さ
れた領域３Ｒ、３Ｂを通過する。ライトバルブ７Ｇから
射出された緑色光は、開口絞り３の領域３Ｇを通過して
赤、青色光と合成される。３つの領域３Ｒ、３Ｇ、３Ｂ
は開口絞り３を断面積が同じになるように分割している
ので、例えばライトバルブ７Ｒ、７Ｇ、７Ｂの一端部か
ら射出された光ｒ３、ｇ３、ｂ３は同じ光量で合成され
てスクリーン上の点１０ａを照射する。More specifically, referring to FIG. 10, the red and blue lights emitted from the light valves 7R and 7B are reflected by the reflection mirrors 11 and 12, and the ridge lines of the reflection mirrors 11 and 12 which come into contact with the aperture stop 3. It passes through areas 3R and 3B divided by 11a and 12a. The green light emitted from the light valve 7G passes through the area 3G of the aperture stop 3 and is combined with red and blue lights. Three regions 3R, 3G, 3B
Divides the aperture stop 3 so as to have the same cross-sectional area. For example, the lights r3, g3, and b3 emitted from one ends of the light valves 7R, 7G, and 7B are combined with the same light amount, and are combined on the screen. The point 10a is irradiated.

【００２８】このように３つ光の境界線が絞り面内に形
成されることによって開口絞り３を通過する光はスクリ
ーン１０上のすべての点において赤、緑、青色光が同じ
光量で照射されるようになり色むらのない画像を得るこ
とができるようになる。With the three light boundary lines formed in the aperture plane, the light passing through the aperture stop 3 is irradiated with red, green, and blue light at the same amount at all points on the screen 10. As a result, an image without color unevenness can be obtained.

【００２９】また、図１１は第２実施形態の照明系を含
めた構成図を示している。同図に示すように光源１３
Ｒ、１３Ｇ、１３Ｂおよび照明光学系１４Ｒ、１４Ｇ、
１４Ｂは、反射ミラー１１、１２の稜線１１ａ、１２ａ
によって分割された開口絞り３の各領域を通過する光だ
けをライトバルブ７Ｒ、７Ｇ、７Ｂから射出するように
してもよい。投影レンズ系内の開口絞りによって通過光
と遮断光とを分離する方が分離精度が高いが、開口絞り
前方に反射ミラーを設けることが困難な場合には上記の
ような照明系を用いると有効である。FIG. 11 shows a configuration diagram including the illumination system of the second embodiment. As shown in FIG.
R, 13G, 13B and illumination optical systems 14R, 14G,
14B is a ridge line 11a, 12a of the reflection mirror 11, 12.
Only the light passing through the respective areas of the aperture stop 3 divided by the above may be emitted from the light valves 7R, 7G, 7B. Separating the transmitted light and the cut-off light with an aperture stop in the projection lens system has higher separation accuracy, but when it is difficult to provide a reflection mirror in front of the aperture stop, it is effective to use the above illumination system. It is.

【００３０】また、反射ミラー１１、１２の稜線１１
ａ、１２ａによって形成される領域３Ｒ、３Ｇ、３Ｂの
境界線が平行となるように配置すると、後群レンズ５
Ｒ、５Ｇ、５Ｂの光軸が同一平面上に配置されて構成が
簡単になるので望ましい。The ridge 11 of the reflection mirrors 11 and 12
When the boundaries of the regions 3R, 3G, and 3B formed by the lenses a and 12a are arranged in parallel, the rear lens group 5
It is desirable that the optical axes of R, 5G, and 5B are arranged on the same plane, thereby simplifying the configuration.

【００３１】次に第３実施形態について図１２を参照し
て説明する。同図によると第２実施形態と同様に３つの
光を２つの反射ミラーを用いて合成する際に、１つの反
射ミラー１１が開口絞り３に対してスクリーン１０側に
配置されている。ライトバルブ７Ｒから射出される光は
開口絞り３によって光量を規制されないので前述の図１
１に示すような照明系を用いることによって光量を規制
することができる。このような構成においても第２実施
形態と同様の効果を得ることができる。Next, a third embodiment will be described with reference to FIG. According to the figure, when three lights are combined using two reflection mirrors as in the second embodiment, one reflection mirror 11 is arranged on the screen 10 side with respect to the aperture stop 3. Since the light amount of the light emitted from the light valve 7R is not regulated by the aperture stop 3,
By using the illumination system as shown in FIG. 1, the light amount can be regulated. In such a configuration, the same effect as in the second embodiment can be obtained.

【００３２】次に前述の図７において、例えばスクリー
ン１０の点１０ｃを照射する光束ｒ１とｇ１とはライト
バルブ７Ｒ、７Ｇに対してｒ１は内側に偏った光を使用
し、ｇ１は外側に偏った光を使用している。このためラ
イトバルブ７Ｒ、７Ｇに向けて照射される照明光（不図
示）の照射方向を変える必要があり照明系が複雑になる
とともに液晶パネルなどからなるライトバルブ７Ｒ、７
Ｇの適正な照射角度の特性を変える必要があり同一の部
品を使用できない等の不具合が生じる。Next, in FIG. 7 described above, for example, light beams r1 and g1 for irradiating the point 10c of the screen 10 use light that is deflected inward with respect to the light valves 7R and 7G, and g1 is deflected outward. Using light. For this reason, it is necessary to change the irradiation direction of the illumination light (not shown) illuminated toward the light valves 7R and 7G, which complicates the illumination system and makes the light valves 7R and 7 composed of liquid crystal panels and the like.
It is necessary to change the characteristic of the proper irradiation angle of G, and there occurs a problem that the same component cannot be used.

【００３３】第４実施形態は上記不具合を解消するもの
で図１３を参照して説明する。同図において、後群レン
ズ５Ｒ、５Ｇの光軸上の点Ａ１、Ａ２から照射されて開
口絞り３の周辺部３ｂを通る光（軸上マージナル光）が
平行光となるように後群レンズ５Ｒ、５Ｇ及びライトバ
ルブ７Ｒ、７Ｇを配置している。さらに後群レンズ５
Ｒ、５Ｇの光軸が開口絞り３の各領域３Ｒ、３Ｇの中心
を通るように前群レンズ２の光軸とは平行に偏心させて
いる。The fourth embodiment solves the above problem, and will be described with reference to FIG. In the same figure, the rear group lens 5R is illuminated from points A1 and A2 on the optical axis of the rear group lenses 5R and 5G and passes through the peripheral portion 3b of the aperture stop 3 (on-axis marginal light) so as to become parallel light. , 5G and light valves 7R, 7G. Further rear group lens 5
The optical axes of R and 5G are decentered parallel to the optical axis of the front lens group 2 so that the optical axes of R and 5G pass through the centers of the regions 3R and 3G of the aperture stop 3.

【００３４】このように構成するとライトバルブ７Ｒ、
７Ｇから射出される光をライトバルブ７Ｒ、７Ｇに垂直
な光として同一の部品を使用することができるようにな
るとともに後群レンズ５Ｒ、５Ｇを小型化することがで
きるようになる。With this configuration, the light valve 7R,
The same components can be used as the light emitted from 7G as light perpendicular to the light valves 7R and 7G, and the rear group lenses 5R and 5G can be downsized.

【００３５】なお、軸上マージナル光を平行光とせずに
図１４の（ａ）のような状態から後群レンズ５Ｒ、５Ｇ
を前群レンズ２に対して偏心させて（ｂ）のような状態
にすると開口絞り３に入射する光の角度が異なるためス
クリーン２０上の同じ点を照射しなくなるため軸上マー
ジナル光を平行光とする必要がある。It is to be noted that the rear group lenses 5R and 5G are changed from the state shown in FIG.
When the lens is decentered with respect to the front lens group 2 to obtain the state shown in FIG. 3B, the angle of the light entering the aperture stop 3 is different, so that the same point on the screen 20 is not irradiated. It is necessary to

【００３６】次に第５実施形態を図１５を参照して説明
する。図１５は第４実施形態と同様の構成により３つの
光を合成する場合を示している。同図において後群レン
ズ５Ｒ、５Ｇ、５Ｇの軸上マージナル光が平行光となる
ように後群レンズ５Ｒ、５Ｇ、５Ｂ及びライトバルブ７
Ｒ、７Ｇ、７Ｂを配置し、後群レンズ５Ｒ、５Ｂの光軸
が開口絞り３の各領域３Ｒ、３Ｂの中心を通るように前
群レンズ２の光軸とは平行に偏心させている。Next, a fifth embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 15 shows a case where three lights are combined by a configuration similar to that of the fourth embodiment. In the figure, the rear group lenses 5R, 5G, 5B and the light valve 7 are arranged such that the axial marginal light of the rear group lenses 5R, 5G, 5G becomes parallel light.
R, 7G, and 7B are arranged, and decentered in parallel with the optical axis of the front lens group 2 so that the optical axes of the rear lens groups 5R and 5B pass through the centers of the regions 3R and 3B of the aperture stop 3.

【００３７】更に後群レンズ５Ｒ、５Ｂを前群レンズ２
に対して偏心させることによって生じる性能劣化を少な
くするため、後群レンズ５Ｒ、５Ｂを構成するレンズの
一部を更に偏心させてもよい。Further, the rear group lenses 5R and 5B are connected to the front group lens 2
In order to reduce the performance degradation caused by the eccentricity with respect to the lens, a part of the lenses constituting the rear group lenses 5R and 5B may be further eccentric.

【００３８】このように構成するとライトバルブ７Ｒ、
７Ｂから射出される光をライトバルブ７Ｒ、７Ｂに垂直
な光とすることができるようになるとともに後群レンズ
５Ｒ、５Ｂを小型化することができるようになる。な
お、後群レンズ５Ｇの光軸は前群レンズ２の光軸と一致
しているときにライトバルブ７Ｇから射出される光がラ
イトバルブ７Ｇに垂直なため偏心させていない。With this configuration, the light valve 7R,
The light emitted from 7B can be converted into light perpendicular to the light valves 7R and 7B, and the rear group lenses 5R and 5B can be reduced in size. The optical axis of the rear lens group 5G is not decentered because the light emitted from the light valve 7G is perpendicular to the light valve 7G when it coincides with the optical axis of the front lens group 2.

【００３９】また第５実施形態のような構成は照明系に
偏光ビームスプリッタを用いたときに特に有効で、図１
６は偏光ビームスプリッタを用いた第６実施形態を示し
ている。同図において、光源１３Ｒ、１３Ｇ、１３Ｂか
ら照射された光は照明光学系１４Ｒ、１４Ｇ、１４Ｂを
通って偏向ビームスプリッタ１５Ｒ、１５Ｇ、１５Ｂに
入光する。偏光ビームスプリッタ１５Ｒ、１５Ｇ、１５
Ｂの反射面１５ａはＰ偏光の光またはＳ偏光の光の一方
を透過し他方を反射する特性を有し、反射面１５ａで反
射した例えばＰ偏光の光は反射型液晶パネルから成るラ
イトバルブ７Ｒ、７Ｇ、７Ｂに入光する。The configuration as in the fifth embodiment is particularly effective when a polarizing beam splitter is used in the illumination system.
Reference numeral 6 denotes a sixth embodiment using a polarization beam splitter. In the figure, light emitted from light sources 13R, 13G, and 13B passes through illumination optical systems 14R, 14G, and 14B and enters deflection beam splitters 15R, 15G, and 15B. Polarizing beam splitters 15R, 15G, 15
The B reflecting surface 15a has a property of transmitting one of P-polarized light or S-polarized light and reflecting the other, and the P-polarized light reflected on the reflecting surface 15a, for example, the light valve 7R made of a reflective liquid crystal panel. , 7G and 7B.

【００４０】反射型液晶パネルはＰ偏光の光またはＳ偏
光の光を反射する際に各素子の信号がオンの時に偏光方
向を９０゜変え、オフの時にそのまま出力する特性を有
し、ライトバルブ７Ｒ、７Ｇ、７Ｂに入光したＰ偏光の
光は素子がオンの部分のみＳ偏光の光として反射し偏光
ビームスプリッタ１５Ｒ、１５Ｇ、１５Ｂを透過して後
群レンズ５Ｒ、５Ｇ、５Ｂを照射する。以降は第５実施
形態と同様にスクリーン（不図示）上に画像が投影され
るようになっている。The reflection type liquid crystal panel has a characteristic that, when reflecting the P-polarized light or the S-polarized light, the direction of the polarization is changed by 90 ° when the signal of each element is on and is output as it is when the signal is off. The P-polarized light that has entered 7R, 7G, and 7B is reflected as S-polarized light only when the element is on, passes through the polarization beam splitters 15R, 15G, and 15B, and irradiates the rear group lenses 5R, 5G, and 5B. . Thereafter, as in the fifth embodiment, an image is projected on a screen (not shown).

【００４１】偏光ビームスプリッタ１５Ｒ、１５Ｇ、１
５ＢはＰ偏光の光、Ｓ偏光の光の一方を透過し他方を反
射する特性において、反射面１５ａに対する該光の入射
角度が所定の入射角と異なると透過率が低下するような
特性劣化を生じる。従って後群レンズ５Ｒ、５Ｇ、５Ｂ
の軸上マージナル光が開口絞り３部分で平行光となるよ
うな構成とすることで偏光ビームスプリッタ１５Ｒ、１
５Ｇ、１５Ｂへ入光する光の入射角を一定にすることが
でき特性劣化のないようにすることができる。The polarization beam splitters 15R, 15G, 1
5B has a characteristic of transmitting one of the P-polarized light and the S-polarized light and reflecting the other, and degrades the characteristic such that the transmittance is reduced if the incident angle of the light with respect to the reflecting surface 15a is different from the predetermined incident angle. Occurs. Therefore, the rear group lenses 5R, 5G, 5B
Of the polarization beam splitters 15R, 15R,
The incident angles of the light entering the 5G and 15B can be made constant, and the characteristics can be prevented from deteriorating.

【００４２】次に本発明の第７実施形態を図１７を参照
して説明する。同図において開口絞り中心３ａを通る際
に絞り面に垂直な光を射出するライトバルブ７Ｒ、７Ｇ
上の点７ｂと、点７ｂと最も離れたライトバルブ７Ｒ、
７Ｇ上の点７ａまたは点７ｃとから開口絞り３の中心３
ａを通るように射出された光Ｂ１、Ｂ２のなす角度θが
２０゜以上の時、照明光学系（不図示）が大きくなるの
で２０゜より小さい方が望ましい。Next, a seventh embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In the figure, light valves 7R and 7G that emit light perpendicular to the aperture surface when passing through the aperture stop center 3a.
The upper point 7b and the light valve 7R farthest from the point 7b,
The center 3 of the aperture stop 3 from the point 7a or the point 7c on 7G
When the angle θ formed by the light beams B1 and B2 emitted through “a” is 20 ° or more, the illumination optical system (not shown) becomes large.

【００４３】ここで光Ｂ１、Ｂ２の交点はライトバルブ
７Ｇ側から見た開口絞り３の共役像の位置である。ライ
トバルブ７Ｇに対する該共役像の位置をＬ１とし、点７
ｂと点７ａとの距離をＹとすると、θ＜２０゜のときＹ
／Ｌ１＞−０．３６４（＝−ｔａｎ２０゜）となる。た
だしＬ１はライトバルブ７Ｇに対して開口絞り３の方向
を負としている。Here, the intersection of the lights B1 and B2 is the position of the conjugate image of the aperture stop 3 as viewed from the light valve 7G side. The position of the conjugate image with respect to the light valve 7G is L1, and the point 7
Assuming that the distance between b and the point 7a is Y, when θ <20 °, Y
/L1>−0.364 (= −tan20 °). However, L1 sets the direction of the aperture stop 3 with respect to the light valve 7G to be negative.

【００４４】また、図１８の（ａ）の第８実施形態に示
すように開口絞り３とライトバルブ７Ｇとの間に後群レ
ンズ５Ｇを配置している場合においても同様に、開口絞
り中心３ａを通る際に絞り面に垂直な光を射出するライ
トバルブ７Ｇ上の点７ｂと、点７ｂと最も離れたライト
バルブ７Ｇ上の点７ａとから開口絞り３の中心３ａを通
るように射出された光Ｂ１、Ｂ２のなす角度θが２０゜
以上の時、照明光学系が大きくなるので２０゜より小さ
い方が望ましい。ここでライトバルブ７Ｇ側から見た開
口絞り３の共役像の位置は点Ｄとなる。なお反射ミラー
１１、１２で反射される光については開口絞り中心３ａ
を通らないため図中省略している。Also, when the rear lens group 5G is disposed between the aperture stop 3 and the light valve 7G as shown in the eighth embodiment of FIG. Are emitted through a center 3a of the aperture stop 3 from a point 7b on the light valve 7G, which emits light perpendicular to the stop surface when passing through, and a point 7a on the light valve 7G, which is farthest from the point 7b. When the angle θ between the lights B1 and B2 is 20 ° or more, the illumination optical system becomes large. Here, the position of the conjugate image of the aperture stop 3 as viewed from the light valve 7G side is a point D. The light reflected by the reflection mirrors 11 and 12 is focused on the aperture stop center 3a
It is omitted in the figure because it does not pass through.

【００４５】また、図１８の（ｂ）の第９実施形態に示
すように、ライトバルブ７Ｇ側から見た開口絞り３の共
役像の位置Ｄがライトバルブ７Ｇに対して開口絞り３と
反対側にある場合には、光Ｂ１、Ｂ２のなす角度θが１
０゜以上になると後群レンズ５Ｇのレンズパワーが大き
いために結像精度が劣化するので１０゜より小さい方が
望ましい。従って上記と同様にライトバルブ７Ｇに対す
る該共役像の位置Ｌ１とし、点７ｂと点７ａとの距離を
Ｙとすると、−０．３６４＜Ｙ／Ｌ１＜０．１７６（＝
ｔａｎ１０゜）の範囲が望ましい。ただしＬ１はライト
バルブ７Ｇに対して開口絞り３の方向を負としている。As shown in the ninth embodiment of FIG. 18B, the position D of the conjugate image of the aperture stop 3 as viewed from the light valve 7G side is opposite to the aperture stop 3 with respect to the light valve 7G. , The angle θ between the lights B1 and B2 is 1
If the angle is 0 ° or more, since the lens power of the rear group lens 5G is large and the imaging accuracy is deteriorated, it is preferable that the angle is smaller than 10 °. Therefore, assuming that the position L1 of the conjugate image with respect to the light valve 7G and the distance between the point 7b and the point 7a are Y as described above, -0.364 <Y / L1 <0.176 (=
tan10 °) is desirable. However, L1 sets the direction of the aperture stop 3 with respect to the light valve 7G to be negative.

【００４６】なお先に説明した第１乃至第５実施形態に
おいてはθ＝０゜になっており、ライトバルブから見た
開口絞り３の共役像の位置Ｌ１は無限大のためＹ／Ｌ１
は０になる。In the first to fifth embodiments described above, θ = 0 °, and the position L1 of the conjugate image of the aperture stop 3 as viewed from the light valve is infinite, so that Y / L1
Becomes 0.

【００４７】以上の実施形態は、赤、緑、青の色の合成
について説明したが、偏光方向の異なる光の合成や異な
る画像の合成を行って投影する際においても同様の効果
を得ることができる。In the above embodiment, the combination of red, green, and blue colors has been described. However, the same effect can be obtained when combining and projecting lights having different polarization directions or different images. it can.

【００４８】[0048]

【発明の効果】請求項１の発明によると、２つ以上の光
を合成する際にスクリーン中央部と周辺部とで色調が同
じで色むらのない画像を投影するような投影光学系を安
価に得ることができる。According to the first aspect of the present invention, when combining two or more lights, a projection optical system for projecting an image having the same color tone at the center portion and the peripheral portion of the screen without color unevenness is inexpensive. Can be obtained.

【００４９】請求項２の発明によると、３つの光を合成
する際にスクリーン中央部と周辺部とで色調が同じで色
むらのない画像を投影するような投影光学系を安価に簡
単な構成で得ることができる。According to the second aspect of the present invention, when combining three lights, an inexpensive and simple configuration of a projection optical system for projecting an image having the same color tone at the central portion and the peripheral portion of the screen without color unevenness. Can be obtained at

【００５０】請求項３の発明によると、後群レンズを小
型にして省スペース化を図ることができるとともに同一
特性のライトバルブを異なる光の照射に使用し、照明系
を簡単に構成することができるのでコスト削減が可能と
なる。さらに偏光ビームスプリッタを使用した照明系に
おいては同一特性の偏光ビームスプリッタを使用可能で
コスト削減が可能となる。According to the third aspect of the present invention, it is possible to reduce the size of the rear group lens to save space, and to use a light valve having the same characteristic for irradiating different lights, thereby simplifying the illumination system. Cost can be reduced. Further, in an illumination system using a polarizing beam splitter, a polarizing beam splitter having the same characteristics can be used, and the cost can be reduced.

【００５１】請求項４の発明によると、照明光学系を小
さく構成して省スペース化が図られるとともに、後群レ
ンズのレンズパワーを小さく構成して結像精度の劣化を
防止することができる。According to the fourth aspect of the present invention, the illumination optical system can be configured to be small to save space, and the lens power of the rear group lens can be configured to be small to prevent deterioration of the imaging accuracy.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】 従来のダイクロイックプリズムを用いた
投影光学系の構成を示す側面図である。FIG. 1 is a side view showing a configuration of a projection optical system using a conventional dichroic prism.

【図２】 従来のダイクロイックミラーを用いた投
影光学系の構成を示す側面図である。FIG. 2 is a side view showing a configuration of a projection optical system using a conventional dichroic mirror.

【図３】 従来の反射ミラーを用いた投影光学系の
構成を示す俯瞰図である。FIG. 3 is an overhead view showing a configuration of a projection optical system using a conventional reflecting mirror.

【図４】 従来の反射ミラーを用いた投影光学系の
構成を示す正面図である。FIG. 4 is a front view showing a configuration of a projection optical system using a conventional reflection mirror.

【図５】 従来の反射ミラーを用いた投影光学系の
構成を示す側面図である。FIG. 5 is a side view showing a configuration of a projection optical system using a conventional reflection mirror.

【図６】 従来の反射ミラーを用いた投影光学系の
課題を説明する図である。FIG. 6 is a diagram illustrating a problem of a projection optical system using a conventional reflecting mirror.

【図７】 本発明の第１実施形態における投影光学
系の構成を示す図である。FIG. 7 is a diagram illustrating a configuration of a projection optical system according to the first embodiment of the present invention.

【図８】 本発明の投影光学系に使用する反射ミラ
ーを示す斜視図である。FIG. 8 is a perspective view showing a reflection mirror used in the projection optical system of the present invention.

【図９】 本発明の第２実施形態における投影光学
系の構成を示す俯瞰図である。FIG. 9 is an overhead view showing a configuration of a projection optical system according to a second embodiment of the present invention.

【図１０】 本発明の第２実施形態における投影光学
系の構成を示す側面図である。FIG. 10 is a side view illustrating a configuration of a projection optical system according to a second embodiment of the present invention.

【図１１】 本発明の第２実施形態における投影光学
系の照明系を含めた構成を示す側面図である。FIG. 11 is a side view showing a configuration including an illumination system of a projection optical system according to a second embodiment of the present invention.

【図１２】 本発明の第３実施形態における投影光学
系の構成を示す側面図である。FIG. 12 is a side view illustrating a configuration of a projection optical system according to a third embodiment of the present invention.

【図１３】 本発明の第４実施形態における投影光学
系の構成を示す側面図である。FIG. 13 is a side view illustrating a configuration of a projection optical system according to a fourth embodiment of the present invention.

【図１４】 本発明の第４実施形態における投影光学
系の後群レンズを通る光の様子を説明する図である。FIG. 14 is a diagram illustrating a state of light passing through a rear group lens of a projection optical system according to a fourth embodiment of the present invention.

【図１５】 本発明の第５実施形態における投影光学
系の構成を示す側面図である。FIG. 15 is a side view illustrating a configuration of a projection optical system according to a fifth embodiment of the present invention.

【図１６】 本発明の第６実施形態における投影光学
系の構成を示す側面図である。FIG. 16 is a side view illustrating a configuration of a projection optical system according to a sixth embodiment of the invention.

【図１７】 本発明の第７実施形態における投影光学
系の構成を示す側面図である。FIG. 17 is a side view illustrating a configuration of a projection optical system according to a seventh embodiment of the present invention.

【図１８】 本発明の第８、第９実施形態における投
影光学系の構成を示す側面図である。FIG. 18 is a side view showing a configuration of a projection optical system according to eighth and ninth embodiments of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１ 投影レンズ系 ２ 前群レンズ ３ 開口絞り ４ ダイクロイックプリズム ５Ｒ、５Ｇ、５Ｂ 後群レンズ ７Ｒ、７Ｇ、７Ｂ ライトバルブ ８ ダイクロイックミラー ９ 反射ミラー １０ スクリーン １１、１２ 反射ミラー １３Ｒ、１３Ｇ、１３Ｂ 光源 １４Ｒ、１４Ｇ、１４Ｂ 照明光学系 １５Ｒ、１５Ｇ、１５Ｂ 偏光ビームスプリッタ Reference Signs List 1 projection lens system 2 front group lens 3 aperture stop 4 dichroic prism 5R, 5G, 5B rear group lens 7R, 7G, 7B light valve 8 dichroic mirror 9 reflection mirror 10 screen 11, 12, reflection mirror 13R, 13G, 13B light source 14R 14G, 14B Illumination optical system 15R, 15G, 15B Polarizing beam splitter

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 絞り面より像面側に配置された第１レン
ズ系と、１つの稜線が絞り面と同一平面上に位置すると
ともにその絞り面に対し傾斜して配置された第１反射ミ
ラーとを備え、第１反射ミラーによって第１の光を反射
して第１レンズ系に導き第１反射ミラーに反射されずに
第１レンズ系に至る第２の光と合成するようにしたこと
を特徴とする投影光学系。1. A first lens system disposed on the image plane side of a stop surface, and a first reflection mirror having one ridge line located on the same plane as the stop surface and inclined with respect to the stop surface. Wherein the first light is reflected by the first reflecting mirror, guided to the first lens system, and combined with the second light reaching the first lens system without being reflected by the first reflecting mirror. Characteristic projection optical system. 【請求項２】 第１反射ミラーの前記稜線と平行に１つ
の稜線が絞り面と同一平面上に位置するとともに、その
絞り面に対し傾斜して配置された第２反射ミラーを備
え、第２反射ミラーによって第３の光を反射して第１レ
ンズ系に導き第１、第２の光と合成するようにしたこと
を特徴とする請求項１に記載の投影光学系。2. A second reflection mirror, wherein one ridge line is located on the same plane as the stop surface in parallel with the ridge line of the first reflection mirror, and the second reflection mirror is arranged to be inclined with respect to the stop surface. 2. The projection optical system according to claim 1, wherein the third light is reflected by the reflection mirror, guided to the first lens system, and combined with the first and second lights. 【請求項３】 開口絞りを通過する上記各光の軸上マー
ジナル光を前記開口絞り部分で平行とするように上記各
光に対してそれぞれ配置された各第２レンズ系を有し、
少なくとも１つの第２レンズ系において、該第２レンズ
系の光軸が第１レンズ系の光軸と一致しないように配置
されたことを特徴とする請求項１または請求項２に記載
の投影光学系。3. Each of the second lens systems is arranged with respect to each of the lights so that the axial marginal light of each of the lights passing through the aperture stop is parallel at the aperture stop portion.
3. The projection optical system according to claim 1, wherein at least one second lens system is arranged such that an optical axis of the second lens system does not coincide with an optical axis of the first lens system. system. 【請求項４】 上記各光が前記開口絞りを通るように射
出する各ライトバルブを有し、前記開口絞り中心を通る
光を射出する前記ライトバルブに対する該ライトバルブ
側から見た前記開口絞りの共役像の位置を前記開口絞り
方向を負方向としてＬ１とし、第１レンズ群の光軸上を
通る光を射出する該ライトバルブ上の位置とその位置よ
り最も離れた該ライトバルブ上の他の位置との距離をＹ
としたときに、 −０．３６４＜Ｙ／Ｌ１＜０．１７６ の関係であることを特徴とする請求項１または請求項２
に記載の投影光学系。4. A light valve for emitting light passing through the aperture stop, the light valve emitting light passing through the center of the aperture stop. The position of the conjugate image is L1, where the aperture stop direction is the negative direction, and a position on the light valve that emits light passing through the optical axis of the first lens group and another position on the light valve that is farthest from the position. Distance to position is Y
3. The relationship of -0.364 <Y / L1 <0.176.
3. The projection optical system according to 1.