JPH11278929A - 一体焼成型積層圧電アクチュエータ用磁器組成物 - Google Patents
一体焼成型積層圧電アクチュエータ用磁器組成物Info
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- JPH11278929A JPH11278929A JP10084310A JP8431098A JPH11278929A JP H11278929 A JPH11278929 A JP H11278929A JP 10084310 A JP10084310 A JP 10084310A JP 8431098 A JP8431098 A JP 8431098A JP H11278929 A JPH11278929 A JP H11278929A
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- piezoelectric actuator
- porcelain composition
- laminated piezoelectric
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- integrally
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明の目的は、内部電極として安価なAg
/Pd等を使用することができる低い温度範囲での焼成
が可能な一体焼成型積層圧電アクチュエータ用磁器組成
物を提供することにある。 【解決手段】 本発明の一体焼成型積層圧電アクチュエ
ータ用磁器組成物は、一般式 【化1】xPb(Zn1/3Ta2/3)O3−yPbTiO3
−zPbZrO3で表され、且つPb(Zn1/3T
a2/3)O3をx、PbTiO3をy、PbZrO3をzと
するモル比で表す三成分系の三角図表でA(x、y、z)
=(0.45、0.33、0.22) B(x、y、z)=(0.30、0.47、0.22) C(x、y、z)=(0.03、0.47、0.50) D(x、y、z)=(0.03、0.40、0.57) E(x、y、z)=(0.10、0.33、0.57) F(x、y、z)=(0.30、0.30、0.40) の各点で囲まれる領域からなり、これに、W、Nb及び
Feからなる群から選択される1種または2種以上の成
分を0.1〜2.0モル%含有してなることを特徴とする。
/Pd等を使用することができる低い温度範囲での焼成
が可能な一体焼成型積層圧電アクチュエータ用磁器組成
物を提供することにある。 【解決手段】 本発明の一体焼成型積層圧電アクチュエ
ータ用磁器組成物は、一般式 【化1】xPb(Zn1/3Ta2/3)O3−yPbTiO3
−zPbZrO3で表され、且つPb(Zn1/3T
a2/3)O3をx、PbTiO3をy、PbZrO3をzと
するモル比で表す三成分系の三角図表でA(x、y、z)
=(0.45、0.33、0.22) B(x、y、z)=(0.30、0.47、0.22) C(x、y、z)=(0.03、0.47、0.50) D(x、y、z)=(0.03、0.40、0.57) E(x、y、z)=(0.10、0.33、0.57) F(x、y、z)=(0.30、0.30、0.40) の各点で囲まれる領域からなり、これに、W、Nb及び
Feからなる群から選択される1種または2種以上の成
分を0.1〜2.0モル%含有してなることを特徴とする。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、一体焼成型積層圧
電アクチュエータ用磁器組成物に関するものである。
電アクチュエータ用磁器組成物に関するものである。
【0002】
【従来の技術】一体焼成型積層圧電アクチュエータは、
図1に示すような構成を有するものであり、ここで、1
は圧電体層、2は外部電極、3は絶縁体、4は内部電極
を示す。このような構成を有する一体焼成型積層圧電ア
クチュエータは、電歪効果を示す材料と有機物で形成さ
れたグリーンシートに内部電極材料をスクリーン印刷等
で形成し、積層・圧着後、一体焼成し、側面に形成され
た外部電極により一層おきに内部電極を接続した構造を
有している。
図1に示すような構成を有するものであり、ここで、1
は圧電体層、2は外部電極、3は絶縁体、4は内部電極
を示す。このような構成を有する一体焼成型積層圧電ア
クチュエータは、電歪効果を示す材料と有機物で形成さ
れたグリーンシートに内部電極材料をスクリーン印刷等
で形成し、積層・圧着後、一体焼成し、側面に形成され
た外部電極により一層おきに内部電極を接続した構造を
有している。
【0003】従来、グリーンシートには、Pb(Ni
1/3Nb2/3)O3−PbTiO3−PbZrO3系、Pb
(Mg1/3Nb2/3)O3−PbTiO3−PbZrO3系
などのPbTiO3−PbZrO3系を主成分とし、複合
ペロブスカイト等の第三成分を添加した圧電性磁器組成
物が使用されていた。ところが、近年、圧電アクチュエ
ータの小型化、低電圧駆動化、高速駆動化が要求される
に伴い、圧電アクチュエータの小型化、多積層化、更に
は、積層間隔の薄肉化が進んできたため、圧電アクチュ
エータの低容量化、低損失化、低発熱が望まれるように
なった。
1/3Nb2/3)O3−PbTiO3−PbZrO3系、Pb
(Mg1/3Nb2/3)O3−PbTiO3−PbZrO3系
などのPbTiO3−PbZrO3系を主成分とし、複合
ペロブスカイト等の第三成分を添加した圧電性磁器組成
物が使用されていた。ところが、近年、圧電アクチュエ
ータの小型化、低電圧駆動化、高速駆動化が要求される
に伴い、圧電アクチュエータの小型化、多積層化、更に
は、積層間隔の薄肉化が進んできたため、圧電アクチュ
エータの低容量化、低損失化、低発熱が望まれるように
なった。
【0004】上述のような圧電性磁器組成物を使用した
圧電アクチュエータの大容量化、高速駆動時における発
熱の問題、更には、圧電アクチュエータの電気歪のヒス
テリシス、ドリフトの問題を解決するために、特開平2
−67773号公報には、一般式
圧電アクチュエータの大容量化、高速駆動時における発
熱の問題、更には、圧電アクチュエータの電気歪のヒス
テリシス、ドリフトの問題を解決するために、特開平2
−67773号公報には、一般式
【化2】xPb(Zn1/3Ta2/3)O3−yPbTiO3
−zPbZrO3 で表され且つPb(Zn1/3Ta2/3)O3をx、PbT
iO3をy、PbZrO3をzとするモル比で表す三成分
系の三角図表で A(x、y、z)=(0.45、0.33、0.22) B(x、y、z)=(0.30、0.47、0.22) C(x、y、z)=(0.03、0.47、0.50) D(x、y、z)=(0.03、0.40、0.57) E(x、y、z)=(0.10、0.33、0.57) の各点で囲まれる領域からなることを特徴とするアクチ
ュエータ用圧電性磁器組成物が開示されている。
−zPbZrO3 で表され且つPb(Zn1/3Ta2/3)O3をx、PbT
iO3をy、PbZrO3をzとするモル比で表す三成分
系の三角図表で A(x、y、z)=(0.45、0.33、0.22) B(x、y、z)=(0.30、0.47、0.22) C(x、y、z)=(0.03、0.47、0.50) D(x、y、z)=(0.03、0.40、0.57) E(x、y、z)=(0.10、0.33、0.57) の各点で囲まれる領域からなることを特徴とするアクチ
ュエータ用圧電性磁器組成物が開示されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】該公報に開示されてい
るアクチュエータ用圧電性磁器組成物は、圧電アクチュ
エータ用材料として電気歪が大きく、低誘電率、低損
失、更には、電気歪のヒステリシス、ドリフトが小さい
という優れた特徴を有するものであるが、圧電アクチュ
エータを作製する際に、1200〜1300℃の焼成温
度を必要とする。圧電アクチュエータは上述のように内
部電極を印刷したシートを積層して焼成する一体焼成に
より製造されるが、焼成温度が1200〜1300℃と
高いと、内部電極に使用できる金属がPt等の高価な金
属に限定されてしまい、コスト等の点で問題を有するも
のであった。
るアクチュエータ用圧電性磁器組成物は、圧電アクチュ
エータ用材料として電気歪が大きく、低誘電率、低損
失、更には、電気歪のヒステリシス、ドリフトが小さい
という優れた特徴を有するものであるが、圧電アクチュ
エータを作製する際に、1200〜1300℃の焼成温
度を必要とする。圧電アクチュエータは上述のように内
部電極を印刷したシートを積層して焼成する一体焼成に
より製造されるが、焼成温度が1200〜1300℃と
高いと、内部電極に使用できる金属がPt等の高価な金
属に限定されてしまい、コスト等の点で問題を有するも
のであった。
【0006】従って、本発明の目的は、内部電極として
安価なAg/Pd等を使用することができる低い温度範
囲での焼成が可能な一体焼成型積層圧電アクチュエータ
用磁器組成物を提供することにある。
安価なAg/Pd等を使用することができる低い温度範
囲での焼成が可能な一体焼成型積層圧電アクチュエータ
用磁器組成物を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】即ち、本発明は、一般式
【化3】xPb(Zn1/3Ta2/3)O3−yPbTiO3
−zPbZrO3 で表され、且つPb(Zn1/3Ta2/3)O3をx、Pb
TiO3をy、PbZrO3をzとするモル比で表す三成
分系の三角図表で A(x、y、z)=(0.45、0.33、0.22) B(x、y、z)=(0.30、0.47、0.22) C(x、y、z)=(0.03、0.47、0.50) D(x、y、z)=(0.03、0.40、0.57) E(x、y、z)=(0.10、0.33、0.57) F(x、y、z)=(0.30、0.30、0.40) の各点で囲まれる領域からなり、これに、W、Nb及び
Feからなる群から選択される1種または2種以上の成
分を0.1〜2.0モル%含有してなることを特徴とする
一体焼成型積層圧電アクチュエータ用磁器組成物にあ
る。
−zPbZrO3 で表され、且つPb(Zn1/3Ta2/3)O3をx、Pb
TiO3をy、PbZrO3をzとするモル比で表す三成
分系の三角図表で A(x、y、z)=(0.45、0.33、0.22) B(x、y、z)=(0.30、0.47、0.22) C(x、y、z)=(0.03、0.47、0.50) D(x、y、z)=(0.03、0.40、0.57) E(x、y、z)=(0.10、0.33、0.57) F(x、y、z)=(0.30、0.30、0.40) の各点で囲まれる領域からなり、これに、W、Nb及び
Feからなる群から選択される1種または2種以上の成
分を0.1〜2.0モル%含有してなることを特徴とする
一体焼成型積層圧電アクチュエータ用磁器組成物にあ
る。
【0008】
【発明の実施の形態】本発明の一体焼成型積層圧電アク
チュエータ用磁器組成物は、Pb(Zn1/3Ta2/3)O
3をx、PbTiO3をy、PbZrO3をzとするモル
比で表す図2に示す三成分系の三角図表で A(x、y、z)=(0.45、0.33、0.22) B(x、y、z)=(0.30、0.47、0.22) C(x、y、z)=(0.03、0.47、0.50) D(x、y、z)=(0.03、0.40、0.57) E(x、y、z)=(0.10、0.33、0.57) F(x、y、z)=(0.30、0.30、0.40) の各点で囲まれる領域からなる組成物に、W、Nb及び
Feからなる群から選択される1種または2種以上の成
分を0.1〜2.0モル%含有してなるものである。
チュエータ用磁器組成物は、Pb(Zn1/3Ta2/3)O
3をx、PbTiO3をy、PbZrO3をzとするモル
比で表す図2に示す三成分系の三角図表で A(x、y、z)=(0.45、0.33、0.22) B(x、y、z)=(0.30、0.47、0.22) C(x、y、z)=(0.03、0.47、0.50) D(x、y、z)=(0.03、0.40、0.57) E(x、y、z)=(0.10、0.33、0.57) F(x、y、z)=(0.30、0.30、0.40) の各点で囲まれる領域からなる組成物に、W、Nb及び
Feからなる群から選択される1種または2種以上の成
分を0.1〜2.0モル%含有してなるものである。
【0009】ここで、図2に示す三角図表において、P
b(Zn1/3Ta2/3)O3、PbTiO3、PbZrO3
をそれぞれ点A、B、C、D、E及びFで囲まれた組成
としたのは、この範囲外では電気歪が450×10−12
m/V未満と小さく、一体焼成型積層圧電アクチュエー
タ用磁器組成物としては適さないためである。
b(Zn1/3Ta2/3)O3、PbTiO3、PbZrO3
をそれぞれ点A、B、C、D、E及びFで囲まれた組成
としたのは、この範囲外では電気歪が450×10−12
m/V未満と小さく、一体焼成型積層圧電アクチュエー
タ用磁器組成物としては適さないためである。
【0010】更に、本発明の一体焼成型積層圧電アクチ
ュエータ用磁器組成物には、上記組成のPb(Zn1/3
Ta2/3)O3、PbTiO3、PbZrO3成分に加え
て、W、Nb及びFeからなる群から選択される1種ま
たは2種以上の成分を0.1〜2.0モル%含有してな
る。W、Nb及び/またはFeを配合することにより、
積層圧電アクチュエータを作製するために焼成する際
に、焼成温度を1000〜1150℃程度、好ましくは
約1100℃以下にまで下げることができ、それによっ
て積層圧電アクチュエータの内部電極材料として、Pt
などに比べて安価なAg/Pd等を使用可能とするもの
である。なお、W、Nb及び/またはFeの配合量が
0.1モル未満であると、焼成温度を内部電極としてA
g/Pd等が使用可能な1000〜1150℃の温度範
囲にまで下げることができないために好ましくない。ま
た、W、Nb及び/またはFeの配合量が2.0モルを
超えると、電気歪が小さくなり、圧電特性が劣化するた
めに好ましくない。
ュエータ用磁器組成物には、上記組成のPb(Zn1/3
Ta2/3)O3、PbTiO3、PbZrO3成分に加え
て、W、Nb及びFeからなる群から選択される1種ま
たは2種以上の成分を0.1〜2.0モル%含有してな
る。W、Nb及び/またはFeを配合することにより、
積層圧電アクチュエータを作製するために焼成する際
に、焼成温度を1000〜1150℃程度、好ましくは
約1100℃以下にまで下げることができ、それによっ
て積層圧電アクチュエータの内部電極材料として、Pt
などに比べて安価なAg/Pd等を使用可能とするもの
である。なお、W、Nb及び/またはFeの配合量が
0.1モル未満であると、焼成温度を内部電極としてA
g/Pd等が使用可能な1000〜1150℃の温度範
囲にまで下げることができないために好ましくない。ま
た、W、Nb及び/またはFeの配合量が2.0モルを
超えると、電気歪が小さくなり、圧電特性が劣化するた
めに好ましくない。
【0011】本発明の一体焼成型積層圧電アクチュエー
タ用磁器組成物は、電気歪、比誘電率及び誘電損失が特
開平2−67773号公報に記載されているそれらとほ
ぼ同等であるという良好な特性を維持しつつ、積層圧電
アクチュエータを作製する際の一体焼成の温度を100
0〜1150℃の温度範囲にまで低下することが可能で
あり、それによって安価な内部電極材料を使用可能とな
るため積層圧電アクチュエータ用磁器組成物として最適
である。
タ用磁器組成物は、電気歪、比誘電率及び誘電損失が特
開平2−67773号公報に記載されているそれらとほ
ぼ同等であるという良好な特性を維持しつつ、積層圧電
アクチュエータを作製する際の一体焼成の温度を100
0〜1150℃の温度範囲にまで低下することが可能で
あり、それによって安価な内部電極材料を使用可能とな
るため積層圧電アクチュエータ用磁器組成物として最適
である。
【0012】本発明の一体焼成型積層圧電アクチュエー
タ用磁器組成物は通常のニューセラミックス製造方法に
より得ることができる。例えば、PbO、TiO2、Z
rO2、ZnO、Ta2O5、WO3、Nb2O5、Fe2O3
を上述の一般式に規定した範囲内にあるように所定の割
合で秤量し、混合する。次に、得られた混合物を800
〜1000℃の温度範囲で1〜6時間仮焼後、粉砕する
ことにより得ることができる。
タ用磁器組成物は通常のニューセラミックス製造方法に
より得ることができる。例えば、PbO、TiO2、Z
rO2、ZnO、Ta2O5、WO3、Nb2O5、Fe2O3
を上述の一般式に規定した範囲内にあるように所定の割
合で秤量し、混合する。次に、得られた混合物を800
〜1000℃の温度範囲で1〜6時間仮焼後、粉砕する
ことにより得ることができる。
【0013】上述のようにして得られた本発明の一体焼
成型積層圧電アクチュエータ用磁器組成物用い、通常の
一体焼成型積層圧電アクチュエータの製造方法に従って
一体焼成型積層圧電アクチュエータを作製することがで
きる。例えば、本発明の一体焼成型積層圧電アクチュエ
ータ用磁器組成物に所定量のバインダーを添加してグリ
ーンシートを作製し、得られたグリーンシートに内部電
極材料をスクリーン印刷等で形成し、積層・圧着後、1
000〜1150℃の温度範囲で一体焼成することによ
り、一体焼成型積層圧電アクチュエータを製造すること
ができる。
成型積層圧電アクチュエータ用磁器組成物用い、通常の
一体焼成型積層圧電アクチュエータの製造方法に従って
一体焼成型積層圧電アクチュエータを作製することがで
きる。例えば、本発明の一体焼成型積層圧電アクチュエ
ータ用磁器組成物に所定量のバインダーを添加してグリ
ーンシートを作製し、得られたグリーンシートに内部電
極材料をスクリーン印刷等で形成し、積層・圧着後、1
000〜1150℃の温度範囲で一体焼成することによ
り、一体焼成型積層圧電アクチュエータを製造すること
ができる。
【0014】なお、本発明の一体焼成型積層圧電アクチ
ュエータ用磁器組成物の原料としては加熱により上記酸
化物に分解する化合物またはそれら化合物相互の化合物
も使用することができる。これらの原料としては例えば
炭酸塩、酢酸塩等を使用することができる。
ュエータ用磁器組成物の原料としては加熱により上記酸
化物に分解する化合物またはそれら化合物相互の化合物
も使用することができる。これらの原料としては例えば
炭酸塩、酢酸塩等を使用することができる。
【0015】
【実施例】以下に実施例を挙げて本発明の一体焼成型積
層圧電アクチュエータ用磁器組成物を更に説明する。 実施例 PbO、TiO2、ZrO2、ZnO、Ta2O5、W
2O3、Nb2O5、Fe2O3を原料とし、表1に示す組成
となるように秤量し、ポットミルを用いて湿式混合した
後、900℃で2時間仮焼した。この仮焼粉末200g
にバインダーとしてポリビニルアルコールを5g添加
し、造粒後、1トン/cm2の成形圧で直径30mm、
厚さ2mmの円板に成形した。この成形体を1100℃
の温度で2時間焼成することにより円板状の焼結体を得
た。なお、焼成後の焼結体の直径は約24mmであっ
た。次に、得られた焼結体の両面を研磨して厚さ1.0
mmとした後[図3の(5)]、電極(銀)図3の
(6)]を焼き付けて供試体を得た。得られた供試体を
シリコンオイル中で60℃、20kV/cmの電界を印
加することにより分極処理を行った。
層圧電アクチュエータ用磁器組成物を更に説明する。 実施例 PbO、TiO2、ZrO2、ZnO、Ta2O5、W
2O3、Nb2O5、Fe2O3を原料とし、表1に示す組成
となるように秤量し、ポットミルを用いて湿式混合した
後、900℃で2時間仮焼した。この仮焼粉末200g
にバインダーとしてポリビニルアルコールを5g添加
し、造粒後、1トン/cm2の成形圧で直径30mm、
厚さ2mmの円板に成形した。この成形体を1100℃
の温度で2時間焼成することにより円板状の焼結体を得
た。なお、焼成後の焼結体の直径は約24mmであっ
た。次に、得られた焼結体の両面を研磨して厚さ1.0
mmとした後[図3の(5)]、電極(銀)図3の
(6)]を焼き付けて供試体を得た。得られた供試体を
シリコンオイル中で60℃、20kV/cmの電界を印
加することにより分極処理を行った。
【0016】上述のようにして分極処理した供試体につ
いて、密度、比誘電率、誘電損失、電気歪及びd33を測
定した。得られた結果を以下の表1に記載する。なお、
表1中、*印は、比較品を示す。
いて、密度、比誘電率、誘電損失、電気歪及びd33を測
定した。得られた結果を以下の表1に記載する。なお、
表1中、*印は、比較品を示す。
【0017】
【表1】
【0018】
【表2】
【0019】表1中、誘電損失は、LCZメータで測定
したものある。また、比誘電率は、LCZメータで静電
容量を測定し、以下の式に従って算出したものである:
したものある。また、比誘電率は、LCZメータで静電
容量を測定し、以下の式に従って算出したものである:
【数1】εr=(Cf×t)/(S×ε0) 式中、Cf:静電容量(F) t :電極間隔(m) S :電極面積(m2) ε0 :真空中の誘電率[8.854×10−12(F/
m)] 更に、電気歪は、0.01μmの変位量の分解能を有す
る光学式非接触変位計(8)を用いた図4に示すような
構成で供試体(7)に1000Vの電圧を印加した時の
変位量を測定したものである。また、d33は、電気歪の
測定値から下記の式に従って算出したものである:
m)] 更に、電気歪は、0.01μmの変位量の分解能を有す
る光学式非接触変位計(8)を用いた図4に示すような
構成で供試体(7)に1000Vの電圧を印加した時の
変位量を測定したものである。また、d33は、電気歪の
測定値から下記の式に従って算出したものである:
【数2】d33=[電気歪(μm)]/[電圧歪測定時の
印加電圧(V)]×10−6(m/V)
印加電圧(V)]×10−6(m/V)
【0020】表1から明らかなように、本発明の一体焼
成型積層圧電アクチュエータ用磁器組成物は、1100
℃という低温で焼成した供試体において、厚さ方向(分
極方向)に1000Vの電圧を印加したときの電気歪が
0.45〜0.73μmと大きく、比誘電率は1550以
下と低く、また、誘電損失も2.6%以下と低いもので
あった。
成型積層圧電アクチュエータ用磁器組成物は、1100
℃という低温で焼成した供試体において、厚さ方向(分
極方向)に1000Vの電圧を印加したときの電気歪が
0.45〜0.73μmと大きく、比誘電率は1550以
下と低く、また、誘電損失も2.6%以下と低いもので
あった。
【0021】
【発明の効果】以上、本発明の一体焼成型積層圧電アク
チュエータ用磁器組成物を使用して一体型積層圧電アク
チュエータを作製すれば、小形低容量、低電圧駆動、大
変位の積層圧電アクチュエータを得ることができ、しか
も、積層圧電アクチュエータの高速駆動時の発熱量は、
特開平2−67773号公報に記載された組成物のそれ
を維持しつつ、内部電極材料としてAg/Pdのような
安価な材質を使用することが可能となる。
チュエータ用磁器組成物を使用して一体型積層圧電アク
チュエータを作製すれば、小形低容量、低電圧駆動、大
変位の積層圧電アクチュエータを得ることができ、しか
も、積層圧電アクチュエータの高速駆動時の発熱量は、
特開平2−67773号公報に記載された組成物のそれ
を維持しつつ、内部電極材料としてAg/Pdのような
安価な材質を使用することが可能となる。
【図1】一体焼成型積層圧電アクチュエータの概略図で
ある。
ある。
【図2】本発明の一体焼成型積層圧電アクチュエータ用
磁器組成物におけるPb(Zn1 /3Ta2/3)O3成分、
PbTiO3成分及びPbZrO3成分のモル比を表す三
成分系の三角図表である。
磁器組成物におけるPb(Zn1 /3Ta2/3)O3成分、
PbTiO3成分及びPbZrO3成分のモル比を表す三
成分系の三角図表である。
【図3】実施例で得られた供試体の概略図である。
【図4】実施例において、供試体の電気歪を測定するた
めの装置の概略図である。
めの装置の概略図である。
1 圧電体層 2 外部電極 3 絶縁体 4 内部電極 5 焼結体 6 電極 7 供試体 8 光学式非接触変位計
Claims (3)
- 【請求項1】 一般式 【化1】xPb(Zn1/3Ta2/3)O3−yPbTiO3
−zPbZrO3 で表され、且つPb(Zn1/3Ta2/3)O3をx、Pb
TiO3をy、PbZrO3をzとするモル比で表す三成
分系の三角図表で A(x、y、z)=(0.45、0.33、0.22) B(x、y、z)=(0.30、0.47、0.22) C(x、y、z)=(0.03、0.47、0.50) D(x、y、z)=(0.03、0.40、0.57) E(x、y、z)=(0.10、0.33、0.57) F(x、y、z)=(0.30、0.30、0.40) の各点で囲まれる領域からなり、これに、W、Nb及び
Feからなる群から選択される1種または2種以上の成
分を0.1〜2.0モル%含有してなることを特徴とする
一体焼成型積層圧電アクチュエータ用磁器組成物。 - 【請求項2】 組成物が1000〜1150℃の焼成温
度で焼成可能である、請求項1記載の一体焼成型積層圧
電アクチュエータ用磁器組成物。 - 【請求項3】 焼成品の電気歪が450×10-12m/
V以上であり、比誘電率が2000以下であり、且つ誘
電損失が2.5%以下である、請求項1または2記載の
一体焼成型積層圧電アクチュエータ用磁器組成物。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10084310A JPH11278929A (ja) | 1998-03-30 | 1998-03-30 | 一体焼成型積層圧電アクチュエータ用磁器組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10084310A JPH11278929A (ja) | 1998-03-30 | 1998-03-30 | 一体焼成型積層圧電アクチュエータ用磁器組成物 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11278929A true JPH11278929A (ja) | 1999-10-12 |
Family
ID=13826937
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10084310A Pending JPH11278929A (ja) | 1998-03-30 | 1998-03-30 | 一体焼成型積層圧電アクチュエータ用磁器組成物 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH11278929A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7514854B2 (en) | 2005-03-30 | 2009-04-07 | Seiko Epson Corporation | Piezoelectric element, liquid-jet head using piezoelectric element and liquid-jet apparatus |
-
1998
- 1998-03-30 JP JP10084310A patent/JPH11278929A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7514854B2 (en) | 2005-03-30 | 2009-04-07 | Seiko Epson Corporation | Piezoelectric element, liquid-jet head using piezoelectric element and liquid-jet apparatus |
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