JPH11277394A - ワイヤソー及びその切粉除去機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ワイヤーソで使用される砥液中に混入した切
粉を除去することにより，砥液の状態を一定に保つ。 【解決手段】 砥液Ｌをワイヤ１５の表面に循環供給し
てワイヤ１５表面から切粉を洗い落とすと共に，砥液Ｌ
中に含まれる砥粒をワイヤ１５表面に付着させ，この砥
粒を付着させたワイヤ１５をワークＷに接触させながら
移動させてワークＷを切断するワイヤソー１において，
砥液Ｌ中に混入した切粉を除去する切粉除去機構２を設
ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は，砥粒を付着させた
ワイヤをワークに接触させながら移動させてワークを切
断するワイヤソーに関し，更に，そのワイヤソーにおい
て，砥液中に混入した切粉を除去する機構に関する。

【０００２】

【従来の技術】磁性材料，半導体材料，セラミック材料
などといった種々の棒形状のワークを切断するための装
置として，ワイヤソーが用いられている。このワイヤソ
ーでは，繰り出しリールから巻き取りリールへ進退を繰
り返しながら巻き取られていくワイヤを複数のロールの
間に等間隔で何周にも巻回すると共に，等間隔で並んで
いるワイヤの表面に向かって砥液を供給して砥液中に分
散している砥粒をワイヤに付着させ，この砥粒を付着さ
せたワイヤをワークに接触させながら移動させることに
より，ワークを一度に多数枚の板形状に切断する構成に
なっている。また，ワークを切断したことによりワイヤ
表面に付着した切粉を，砥液によって連続的に洗い流す
ようにしている。そして，ワイヤ表面から洗い流した切
粉は，砥液と共に下方に流れ落ち，受け容器に回収され
るようになっている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで，このような
ワイヤーソでは，受け容器に回収される砥液中における
切粉の含有量は，ワークの切断量に比例して増加してい
き，それに伴って砥液の粘度が上昇する等，砥液の状態
も経時的に変化していく。そのため，粘度上昇に伴って
切断精度の低下や，砥液供給配管及び砥液吐出ノズルな
どの閉塞といった問題が生ずる。また，砥液の状態を一
定に維持するためには，切粉の含有量が高くなった砥液
を新しい砥液に交換する作業を頻繁に行うことが必要に
なる。

【０００４】従って本発明の目的は，ワイヤーソで使用
される砥液中に混入した切粉を除去することにより，砥
液の状態を一定に保つことを可能にさせる手段を提供す
ることにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に，請求項１の発明にあっては，砥液をワイヤ表面に循
環供給してワイヤ表面から切粉を洗い落とすと共に，砥
液中に含まれる砥粒をワイヤ表面に付着させ，この砥粒
を付着させたワイヤをワークに接触させながら移動させ
てワークを切断するワイヤソーにおいて，前記砥液中に
混入した切粉を除去する切粉除去機構を設けたことを特
徴とする。

【０００６】この請求項１のワイヤソーにおいて，切粉
除去機構は，例えば次に開示する請求項２の切粉除去機
構などを採択できる。また，マグネットフィルタ，マグ
ネットセパレータ，遠心分離器などを用いて砥液中に混
入した切粉を連続的もしくは間欠的に除去することも可
能である。

【０００７】また，請求項２の発明にあっては，受け容
器に回収される砥液をワイヤ表面に循環供給してワイヤ
表面から切粉を洗い落とすと共に，砥液中に含まれる砥
粒をワイヤ表面に付着させ，この砥粒を付着させたワイ
ヤをワークに接触させながら移動させてワークを切断す
るワイヤソーにおいて，前記砥液中に混入した切粉を除
去する切粉除去機構であって，受け容器に回収された砥
液の液面下に周面の一部が浸漬された状態で回転する浸
漬マグネットローラと，砥液の液面よりも上方において
該浸漬マグネットローラの周面から切粉を除去する除去
手段を備えていることを特徴とする。

【０００８】この請求項２の切粉除去機構にあっては，
受け容器に回収された砥液の液面下に周面の一部を浸漬
させた状態で浸漬マグネットローラを回転させる。これ
により，受け容器内の砥液中に混入されている切粉は磁
力によって吸い寄せられ，浸漬マグネットローラの周面
に付着する。こうして浸漬マグネットローラの周面に付
着した切粉は，砥液の液面よりも上方において除去手段
により除去される。

【０００９】この請求項２の切粉除去機構において，例
えば請求項３に記載したように，前記回収手段は，砥液
の液面よりも上方に配置された中間マグネットローラ及
び最終マグネットローラと，該最終マグネットローラの
周面に付着した切粉を掻き取るスクレーパとを備え，中
間マグネットローラは前記浸漬マグネットローラと周面
同士を接触させながら回転し，最終マグネットローラは
中間マグネットローラと周面同士を接触させながら回転
するように配置されており，かつ，中間マグネットロー
ラ周面の磁気吸着力が前記浸漬マグネットローラ周面の
磁気吸着力よりも強く，最終マグネットローラ周面の磁
気吸着力が中間マグネットローラ周面の磁気吸着力より
も強くなるように構成されている。

【００１０】この請求項３の切粉除去機構にあっては，
浸漬マグネットローラの周面に付着した切粉は，砥液の
液面よりも上方において，磁気吸着力の相違により，浸
漬マグネットローラ周面から中間マグネットローラ周面
へと受け渡され，更に，中間マグネットローラ周面から
最終マグネットローラ周面へと受け渡されていく。こう
して最終マグネットローラ周面に付着した切粉はスクレ
ーパによって掻き取られ，除去される。

【００１１】また，例えば請求項４に記載したように，
周面の磁気吸着力が異なる複数の中間マグネットローラ
を備え，それら複数の中間マグネットローラを，周面の
磁気吸着力が弱い順に並べて配置し，かつ，複数の中間
マグネットローラの内の最も磁気吸着力が弱い中間マグ
ネットローラは前記浸漬マグネットローラと周面同士を
接触させながら回転し，複数の中間マグネットローラの
内の最も磁気吸着力が強い中間マグネットローラは前記
最終マグネットローラと周面同士を接触させながら回転
するように配置されていても良い。

【００１２】この請求項４の切粉除去機構にあっては，
浸漬マグネットローラの周面に付着した切粉は，先ず，
最も磁気吸着力が弱い中間マグネットローラ周面へと受
け渡され，更に，磁気吸着力の相違により，順次複数の
中間マグネットローラの間で受け渡され，最も磁気吸着
力が強い中間マグネットローラ周面へと受け渡される。
そして，最も磁気吸着力が強い中間マグネットローラ周
面から最終マグネットローラ周面へと受け渡されてい
く。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下，本発明の好ましい実施の形
態の１例を，図面に基づいて説明する。図１は，本発明
の実施の形態にかかるワイヤソー１の要部の拡大図であ
る。

【００１４】ワイヤソー１の内部には，いずれも水平に
所定の間隔を開けて配置された３本のロール１０，１
１，１２が設けられている。ロール１０，１１は互いに
同じ高さに配置され，ロール１２は，ロール１０，１１
よりも下方に配置されている。これらロール１０，１
１，１２の外側には，繰り出しリール１３から巻き取り
リール１４へ巻き取られていくワイヤ１５が何周にも巻
回してある。ロール１０，１１の間では，ワイヤ１５同
士は平行で，かつ，間隔が等しく張り渡されている。そ
して，各ロール１０，１１，１２の回転駆動により，ワ
イヤ１５は繰り出しリール１３から巻き取りリール１４
へ進退を繰り返しながら巻き取られていくようになって
いる。

【００１５】ロール１０，１１間の上方には，昇降機構
２０によってワークＷが支持されている。ワークＷは，
図示の例では直方体形状の磁性材料である。そして，こ
の昇降機構２０の稼働によってワークＷが下降し，ワー
クＷの下面側が，ロール１０，１１の間において互いに
平行で等間隔に張り渡されたワイヤ１５に接触するよう
になっている。

【００１６】また，ロール１０，１１間の上方には，ロ
ール１０，１１の間において張り渡されたワイヤ１５の
表面に向かって砥液Ｌを供給するノズル２１が配置され
ている。このノズル２１から吐き出した砥液Ｌをワイヤ
１５に供給して，砥液Ｌ中に分散している砥粒をワイヤ
１５に付着させる。そして，砥粒を付着させたワイヤ１
５をワークＷに接触させて，リール１３，１４の回転駆
動あるいは各ロール１０，１１，１２の回転駆動によっ
てワイヤ１５を進退移動させることにより，ワークＷを
一度に多数枚の板形状に切断する構成になっている。ま
た，このようにワークＷを切断したことによりワイヤ１
５の表面に付着した切粉を，ノズル２１から吐き出した
砥液Ｌによって連続的に洗い流すようにしている。

【００１７】ロール１０，１１，１２の下方には，ワイ
ヤ１５の表面に付着した切粉を洗い流すことにより落下
した砥液Ｌを受け取るためのドレインパン２５が配置さ
れている。このドレインパン２５の底面最下部には回路
２６が開口しており，ドレインパン２５によって受け取
られた砥液Ｌは，この回路２６内を落下して，切粉と共
に受け容器２７に回収されるようになっている。

【００１８】この受け容器２７と前述のノズル２１の間
には，ポンプＰを備えた循環回路２８が接続してある。
そして，受け容器２７に回収された砥液Ｌは，ポンプＰ
の稼働によって，循環回路２８内を通って再びノズル２
１に供給され，ワイヤ１５に向かって吐き出されるよう
になっている。

【００１９】以上のように構成されるワイヤーソ１にお
いてワークＷを切断すると，ワークＷの切断量に比例し
て受け容器２７に回収される砥液Ｌ中における切粉の含
有量が増加していき，それに伴って砥液Ｌの粘度上昇等
が生ずる。そして，粘度上昇に伴って切断精度の低下，
循環回路２８やノズル２１の閉塞といった問題が生ず
る。また，砥液Ｌの状態を一定に維持するためには，定
期的に砥液Ｌを交換しなければならず，作業が繁雑とな
る。

【００２０】そこで，受け容器２７において，回収され
た砥液中に混入した切粉を除去する切粉除去機構２を設
けて，そのような問題の解決を図っている。図示の例の
切粉除去機構２は，受け容器２７に回収された砥液Ｌの
液面Ｌ’下に周面の一部が浸漬された状態で回転する浸
漬マグネットローラ３０と，液面Ｌ’よりも上方におい
て浸漬マグネットローラの３０の周面から切粉を除去す
る除去手段３１を備えている。除去手段３１は，砥液Ｌ
の液面Ｌ’よりも上方に配置された中間マグネットロー
ラ３２及び最終マグネットローラ３３と，最終マグネッ
トローラ３３の周面に付着した切粉を掻き取るためのス
クレーパ３４とを備えた構成になっている。

【００２１】図２，３は，拡大して示した切粉除去機構
２の側面図と正面図である。切粉除去機構２の左右に
は，Ｔ字形状をしたフレーム３５，３６が所定の間隔を
開けて対をなして配置されており，これらフレーム３
５，３６の間には，下から順に，軸３７，３８，３９に
よって支持された浸漬マグネットローラ３０，中間マグ
ネットローラ３２及び最終マグネットローラ３３が配置
されている。フレーム３６の外側に突出する軸３７，３
８，３９の端部にはプーリ４０，４１，４２がそれぞれ
取り付けてあり，これらプーリ４０，４１，４２にベル
ト４３を掛け渡すことにより，浸漬マグネットローラ３
０，中間マグネットローラ３２及び最終マグネットロー
ラ３３が連動して回転するようになっている。なお，ベ
ルト４３には，テンションローラ４５によって常に一定
の張力が与えられている。

【００２２】プーリ４０，４２はベルト４３の内周面と
接触しているが，プーリ４１はベルト４３の外周面と接
触している。従って，浸漬マグネットローラ３０と最終
マグネットローラ３３は同じ方向に回転し，中間マグネ
ットローラ３２は浸漬マグネットローラ３０と最終マグ
ネットローラ３３に対して逆の方向に回転し，これによ
り，中間マグネットローラ３２と浸漬マグネットローラ
３０が周面同士を接触させながら回転し，また，最終マ
グネットローラ３３と中間マグネットローラ３２が周面
同士を接触させながら回転するように構成されている。

【００２３】フレーム３５，３６の上方にはモータ５０
が取り付けてあり，このモータ５０の駆動軸５１にはプ
ーリ５２が取り付けてある。また，フレーム３５の外側
に突出する軸３９の端部にはプーリ５３が取り付けてあ
り，これらプーリ５２，５３にベルト５４を掛け渡すこ
とにより，モータ５０の動力が最終マグネットローラ３
３に伝達され，更に，中間マグネットローラ３２及び浸
漬マグネットローラ３０が連動して回転するようになっ
ている。

【００２４】これら浸漬マグネットローラ３０，中間マ
グネットローラ３２及び最終マグネットローラ３３はい
ずれも磁石を内蔵しており，ワークＷを切断することに
よって発生した切粉を各ローラ３０，３２，３３の表面
に磁気吸着できるようになっている。また，中間マグネ
ットローラ３２周面の磁気吸着力が浸漬マグネットロー
ラ３０周面の磁気吸着力よりも強く，最終マグネットロ
ーラ３３周面の磁気吸着力が中間マグネットローラ３２
周面の磁気吸着力よりも強くなるように構成されてい
る。

【００２５】さて，このワイヤソー１において，各ロー
ル１０，１１，１２を回転駆動させ，ロール１０，１１
の間に張り渡されたワイヤ１５を進退を繰り返しながら
移動させる。また，ノズル２１から砥液Ｌを吐き出すこ
とにより，砥粒をワイヤ１５に付着させる。そして，昇
降機構２０の稼働によってワークＷを下降させ，ワーク
Ｗの下面側をワイヤ１５に接触させる。これにより，ワ
ークＷは薄板形状に切断されていく。また，このように
ワークＷを切断したことによりワイヤ１５の表面に付着
した切粉は，ノズル２１から吐き出された砥液Ｌによっ
て連続的に洗い流され，ドレインパン２５に落下した
後，砥液Ｌと共に回路２６内を落下して受け容器２７に
回収される。

【００２６】一方，受け容器２７に設けられた切粉除去
機構２において，モータ５０の動力によって浸漬マグネ
ットローラ３０，中間マグネットローラ３２及び最終マ
グネットローラ３３を回転させる。こうして，浸漬マグ
ネットローラ３０は，受け容器２７内の砥液Ｌの液面下
に周面の一部を浸漬させた状態で回転を開始する。これ
により，受け容器２７内の砥液Ｌ中に混入していた切粉
は磁力によって吸い寄せられ，浸漬マグネットローラ３
０の周面に付着していく。こうして浸漬マグネットロー
ラ３０の周面に付着した切粉は，浸漬マグネットローラ
３０の回転に伴って，砥液Ｌの液面Ｌ’よりも上方に送
り出される。

【００２７】そして，浸漬マグネットローラ３０の周面
に付着した切粉は，砥液Ｌの液面Ｌ’よりも上方におい
て，磁気吸着力の相違により，浸漬マグネットローラ３
０周面から中間マグネットローラ３２周面へと受け渡さ
れる。この時，切粉と一緒に砥液Ｌ中の液分（オイル）
も浸漬マグネットローラ３０の周面に付着して砥液Ｌの
液面Ｌ’よりも上方に送り出されることになるが，浸漬
マグネットローラ３０と中間マグネットローラ３２が周
面同士を接触させた状態で回転していることにより，砥
液Ｌ中の液分は浸漬マグネットローラ３０と中間マグネ
ットローラ３２の間で絞られるような格好となり，液分
は浸漬マグネットローラ３０の周面を流下して受け容器
２７内へ再び流れ落ち，切粉だけが中間マグネットロー
ラ３２周面へと受け渡される。こうして中間マグネット
ローラ３２周面に付着した切粉は，磁気吸着力の相違に
より，更に中間マグネットローラ３２周面から最終マグ
ネットローラ３３周面へと受け渡されていく。こうして
最終マグネットローラ３３周面に付着した切粉はスクレ
ーパ３４によって掻き取られ，除去される。

【００２８】このように，受け容器２７に設けられた切
粉除去機構２により砥液Ｌ中に混入した切粉を連続的，
もしくは間欠的（定期的な除去を含む）に除去する。こ
うして，ワークＷを切断することによって発生した切粉
を発生相当量回収することにより，砥液Ｌの状態は一定
となり，切断精度の変動を抑制できるようになる。ま
た，回路２６，２８やノズル２１の閉塞も防止でき，掃
除や砥液交換回数の大幅な削減が可能となる。

【００２９】以上，本発明の好ましい実施の形態の一例
を説明したが，本発明は他の実施の形態をとり得ること
は勿論である。例えば，受け容器２７に砥液Ｌを流下さ
せる回路２６の途中や，ノズル２１に砥液Ｌを供給する
循環回路２８の途中に，図４に示すような多数のマグネ
ット６０を内蔵したマグネット式フィルタ６１を設けて
も良い。そうすれば，回路２６や循環回路２８の途中に
おいて切粉を除去することが可能となる。なお，この場
合，マグネットフィルタ６１は，定期的に掃除を行うと
良い。

【００３０】また，例えば図５に示すように，受け容器
２７に砥液Ｌを流下させる回路２６の途中などに切粉除
去機構６５を設けても良く，その他，図示はしないが，
循環回路２８の途中などに切粉除去機構を設けても良
い。この場合，切粉除去機構６５は，先に図２，３で説
明した切粉除去機構２の他，マグネットセパレータや遠
心分離器などを用いても良い。特に，切粉除去機構６５
として遠心分離器を用いれば，切粉が磁性材料でなくと
も比重差を利用して除去することが可能となる。

【００３１】なお，図１では，３本のロール１０，１
１，１２を備えたワイヤソー１を説明したが，必ずしも
３本のロールを備えている必要はなく，ロールの本数は
２本あるいは４本以上であっても良い。また，図１に示
したワイヤソー１では，昇降機構２０はロール１０，１
１の上方に位置しているが，必ずしも上方に位置してい
る必要はなく，下方に位置する昇降機構が上昇すること
でワークを切断するように構成しても良い。また，ワー
クＷの形状は直方体形状に限らず，円筒形状やその他の
任意の形状であっても良い。

【００３２】また，図６に示すように，浸漬マグネット
ローラ３０，中間マグネットローラ３２及び最終マグネ
ットローラ３３の各周面にＮ極とＳ極が交互に並ぶよう
にローラ周面内部に磁石を所定の間隔で配置し，浸漬マ
グネットローラ３０の周面と中間マグネットローラ３２
の周面が吸着し合うと共に，最終マグネットローラ３３
の周面と中間マグネットローラ３２の周面が吸着し合う
ように構成しても良い。この図６に示すように構成すれ
ば，各ローラ周面同士の吸着によって回転動力を伝達で
きるので，これら浸漬マグネットローラ３０，中間マグ
ネットローラ３２及び最終マグネットローラ３３の内の
いずれか一つのローラを回転駆動すれば，他のローラも
従動して回転するので，駆動機構を簡素化できるように
なる。

【００３３】また，図７に示すように，浸漬マグネット
ローラ３０と最終マグネットローラ３３の間に，複数の
中間マグネットローラＸ１，Ｘ２，・・・Ｘｎ−２，Ｘ
ｎ−１，Ｘｎを，周面同士を接触させながら並べて配置
しても良い（ｎは２以上の整数）。この場合，各中間マ
グネットローラＸ１，Ｘ２，・・・Ｘｎ−２，Ｘｎ−
１，Ｘｎの周面の磁気吸着力を異ならせ，最も磁気吸着
力が弱い中間マグネットローラＸ１が浸漬マグネットロ
ーラ３０と周面同士を接触させながら回転し，最も磁気
吸着力が強い中間マグネットローラＸｎが最終マグネッ
トローラ３３と周面同士を接触させながら回転するよう
に構成する。また，浸漬マグネットローラ３０と最終マ
グネットローラ３３の間において，中間マグネットロー
ラＸ１，Ｘ２，・・・Ｘｎ−２，Ｘｎ−１，Ｘｎの順に
周面の磁気吸着力が強くなっていくように配置する。但
し，中間マグネットローラＸ１周面の磁気吸着力は浸漬
マグネットローラ３０周面の磁気吸着力よりも強く，最
終マグネットローラ３３周面の磁気吸着力が中間マグネ
ットローラＸｎ周面の磁気吸着力よりも強くなるように
構成する。

【００３４】この図７に示すものによれば，浸漬マグネ
ットローラ３０の周面に付着した切粉は，先ず，最も磁
気吸着力が弱い中間マグネットローラＸ１周面へと受け
渡されることとなる。そして，磁気吸着力の相違によ
り，順次複数の中間マグネットローラＸ１，Ｘ２，・・
・Ｘｎ−２，Ｘｎ−１，Ｘｎの順に切粉が受け渡され，
更に，最も磁気吸着力が強い中間マグネットローラＸｎ
周面から最終マグネットローラ３３周面へと受け渡され
るようになる。

【００３５】

【実施例】次に，図２，３で説明した本発明の実施の形
態にかかる切粉除去機構を備えたワイヤソーを実際に製
作してワークを切断し，切粉を除去した。この実施例に
おける切断ワーク数と，切断寸法の関係を図８に示す。
また，比較例として，切粉除去機構を備えていないワイ
ヤソーでワークを切断した。この比較例における切断ワ
ーク数と，切断寸法の関係を図９に示す。本発明の実施
例では切断ワーク数が増えても切断寸法がほぼ一定であ
るのに対し，比較例では切断ワーク数の増加に伴って切
断寸法も大きくなり，切断精度が低下した。

【００３６】

【発明の効果】本発明によれば，ワイヤソーの砥液中に
混入する切粉を除去することにより，経時的な粘度上昇
等を抑制でき，砥液の状態を一定に保つことが可能とな
る。そのため，ワークの切断精度が向上し，砥液供給配
管やノズルなどの閉塞といった問題も防止できる。ま
た，砥液の交換作業も大幅に軽減でき，作業者への負担
も少なくなる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態にかかるワイヤソーの要部
の拡大図である。

【図２】拡大して示した切粉除去機構の側面図である。

【図３】拡大して示した切粉除去機構の正面図である。

【図４】マグネット式フィルタの斜視図である。

【図５】回路の途中に切粉除去機構を設けた実施の形態
の説明図である。

【図６】各ローラの周面にＮ極とＳ極が交互に並ぶよう
に磁石を配置した実施の形態の説明図である。

【図７】浸漬マグネットローラと最終マグネットローラ
の間に複数の中間マグネットローラを配置した実施の形
態の説明図である。

【図８】本発明の実施例における切断ワーク数と切断寸
法の関係を示すグラフである。

【図９】比較例における切断ワーク数と切断寸法の関係
を示すグラフである。

【符号の説明】

Ｌ 砥液 Ｗ ワーク １ ワイヤソー ２ 切粉除去機構 １５ ワイヤ ２７ 受け容器 ３０ 浸漬マグネットローラ ３１ 除去手段 ３２ 中間マグネットローラ ３３ 最終マグネットローラ ３４ スクレーパ

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 砥液をワイヤ表面に循環供給してワイヤ
   表面から切粉を洗い落とすと共に，砥液中に含まれる砥
   粒をワイヤ表面に付着させ，この砥粒を付着させたワイ
   ヤをワークに接触させながら移動させてワークを切断す
   るワイヤソーにおいて，前記砥液中に混入した切粉を除
   去する切粉除去機構を設けたことを特徴とする，ワイヤ
   ソー。
2. 【請求項２】 受け容器に回収される砥液をワイヤ表面
   に循環供給してワイヤ表面から切粉を洗い落とすと共
   に，砥液中に含まれる砥粒をワイヤ表面に付着させ，こ
   の砥粒を付着させたワイヤをワークに接触させながら移
   動させてワークを切断するワイヤソーにおいて，前記砥
   液中に混入した切粉を除去する機構であって，受け容器
   に回収された砥液の液面下に周面の一部が浸漬された状
   態で回転する浸漬マグネットローラと，砥液の液面より
   も上方において該浸漬マグネットローラの周面から切粉
   を除去する除去手段を備えていることを特徴とする，ワ
   イヤソーの切粉除去機構。
3. 【請求項３】 前記回収手段は，砥液の液面よりも上方
   に配置された中間マグネットローラ及び最終マグネット
   ローラと，該最終マグネットローラの周面に付着した切
   粉を掻き取るスクレーパとを備え，中間マグネットロー
   ラは前記浸漬マグネットローラと周面同士を接触させな
   がら回転し，最終マグネットローラは中間マグネットロ
   ーラと周面同士を接触させながら回転するように配置さ
   れており，かつ，中間マグネットローラ周面の磁気吸着
   力が前記浸漬マグネットローラ周面の磁気吸着力よりも
   強く，最終マグネットローラ周面の磁気吸着力が中間マ
   グネットローラ周面の磁気吸着力よりも強く構成されて
   いることを特徴とする，請求項２に記載のワイヤソーの
   切粉除去機構。
4. 【請求項４】 周面の磁気吸着力が異なる複数の中間マ
   グネットローラを備え，それら複数の中間マグネットロ
   ーラを，周面の磁気吸着力が弱い順に並べて配置し，か
   つ，複数の中間マグネットローラの内の最も磁気吸着力
   が弱い中間マグネットローラは前記浸漬マグネットロー
   ラと周面同士を接触させながら回転し，複数の中間マグ
   ネットローラの内の最も磁気吸着力が強い中間マグネッ
   トローラは前記最終マグネットローラと周面同士を接触
   させながら回転するように配置されていることを特徴と
   する，請求項３に記載のワイヤソーの切粉除去機構。