JPH11277389A - Grinding machine - Google Patents
Grinding machineInfo
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- JPH11277389A JPH11277389A JP8696498A JP8696498A JPH11277389A JP H11277389 A JPH11277389 A JP H11277389A JP 8696498 A JP8696498 A JP 8696498A JP 8696498 A JP8696498 A JP 8696498A JP H11277389 A JPH11277389 A JP H11277389A
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- housing
- spindle
- grinding machine
- work
- grindstone
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- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、例えばシリコン
ウエハ等のワークを精密に研削仕上げする研削盤に関す
るものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a grinding machine for precisely grinding a workpiece such as a silicon wafer.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来のこの種の研削盤においては、ワー
クを保持するワーク保持装置に対応して、砥石駆動装置
が配設されている。この砥石駆動装置では、フレーム上
の保持筒に円筒状のハウジングが移動可能に嵌合支持さ
れている。ハウジング内にはスピンドルが回転可能に軸
支され、その端部にはワークと対応するように砥石が保
持されている。そして、ハウジングがモータの回転によ
り移動されて、砥石がワークに対して接離する方向へ送
り移動されるようになっている。2. Description of the Related Art In a conventional grinding machine of this type, a grindstone driving device is provided corresponding to a work holding device for holding a work. In this grindstone driving device, a cylindrical housing is movably fitted and supported on a holding cylinder on a frame. A spindle is rotatably supported in the housing, and a grindstone is held at an end of the spindle so as to correspond to the workpiece. Then, the housing is moved by the rotation of the motor, and the grindstone is fed and moved in a direction of coming and going with respect to the work.
【0003】[0003]
【発明が解決しようとする課題】ところが、この従来の
研削盤においては、スピンドルを回転可能に収容支持し
たハウジングが、フレーム上の保持筒に直接に嵌合支持
されている。このため、ハウジングが保持筒内で軸線方
向に移動されて、砥石がワークに対して送り移動される
際に、ハウジングに大きな摺動抵抗が作用する。よっ
て、砥石を微小に送り移動させることができず、ワーク
を精密に研削仕上げすることができないという問題があ
った。However, in this conventional grinding machine, a housing rotatably housing and supporting a spindle is directly fitted and supported on a holding cylinder on a frame. For this reason, when the housing is moved in the axial direction in the holding cylinder and the grindstone is fed and moved with respect to the work, a large sliding resistance acts on the housing. Therefore, there has been a problem that the grindstone cannot be finely fed and moved, and the work cannot be precisely ground.
【0004】この発明は、このような従来の技術に存在
する問題点に着目してなされたものである。その目的と
するところは、スピンドルを収容支持したハウジングに
作用する摺動抵抗を軽減することができ、砥石を微小に
送り移動させることができて、ワークを精密に研削仕上
げすることができる研削盤を提供することにある。The present invention has been made by paying attention to such problems existing in the conventional technology. The purpose is to reduce the sliding resistance acting on the housing that houses and supports the spindle, and to feed and move the grindstone minutely, and to grind the workpiece precisely. Is to provide.
【0005】[0005]
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項1に記載の発明では、ワークを保持するワ
ーク保持装置と、そのワーク保持装置に対応して上下方
向へ起立状態で配設された砥石駆動装置とを備え、前記
砥石駆動装置には、フレーム上の保持筒に静圧軸受を介
して上下方向へ移動可能に支持されたハウジングと、そ
のハウジング内に回転可能に軸支されたスピンドルと、
ワークに対応してスピンドルの端部に保持された砥石
と、回転運動を直線運動に変換する機構を具備し、ハウ
ジングを上下方向に移動させて砥石をワークに接離させ
る送り手段とを設けたものである。In order to achieve the above object, according to the first aspect of the present invention, a work holding device for holding a work, and a work holding device that stands up and down in a vertical direction corresponding to the work holding device. A housing supported on the holding cylinder on the frame via a static pressure bearing so as to be movable in the vertical direction, and a shaft rotatably mounted in the housing. Supported spindle,
A grindstone held at the end of the spindle corresponding to the work, a mechanism for converting a rotary motion into a linear motion is provided, and feed means for moving the housing up and down to move the grindstone toward and away from the work is provided. Things.
【0006】請求項2に記載の発明では、請求項1に記
載の研削盤において、前記送り手段はモータとボールネ
ジとナット部とから構成し、ボールネジをハウジングと
同一軸線上に配設したものである。According to a second aspect of the present invention, in the grinding machine according to the first aspect, the feed means includes a motor, a ball screw, and a nut, and the ball screw is disposed on the same axis as the housing. is there.
【0007】請求項3に記載の発明では、請求項1また
は請求項2に記載の研削盤において、前記スピンドルは
ハウジング内に、静圧軸受を介して軸支したものであ
る。請求項4に記載の発明では、請求項1〜請求項3の
うちいずれか1項に記載の研削盤において、前記ワーク
保持装置に対応して、砥石駆動装置と反対側に上下方向
へ起立状態で配設された第2砥石駆動装置をさらに備
え、その第2砥石駆動装置には、フレーム上の保持筒に
静圧軸受を介して上下方向へ移動可能に支持された第2
ハウジングと、その第2ハウジング内に回転可能に軸支
された第2スピンドルと、ワークに対応して第2スピン
ドルの端部に保持された第2砥石と、回転運動を直線運
動に変換する機構を具備し、第2ハウジングを上下方向
に移動させて第2砥石をワークに接離させる第2送り手
段とを設けたものである。According to a third aspect of the present invention, in the grinding machine according to the first or second aspect, the spindle is supported in the housing via a hydrostatic bearing. According to a fourth aspect of the present invention, in the grinding machine according to any one of the first to third aspects, the grinding machine is vertically erected on a side opposite to a grindstone driving device, corresponding to the work holding device. And a second grindstone driving device, which is supported by a holding cylinder on the frame via a static pressure bearing so as to be movable vertically.
A housing, a second spindle rotatably supported in the second housing, a second grindstone held at an end of the second spindle corresponding to the workpiece, and a mechanism for converting rotational motion into linear motion And a second feed means for moving the second housing up and down to move the second grindstone toward and away from the workpiece.
【0008】請求項5に記載の発明では、請求項4に記
載の研削盤において、前記第2送り手段はモータとボー
ルネジとナット部とから構成し、ボールネジを第2ハウ
ジングと同一軸線上に配設したものである。According to a fifth aspect of the present invention, in the grinding machine according to the fourth aspect, the second feed means includes a motor, a ball screw, and a nut portion, and the ball screw is disposed on the same axis as the second housing. It was established.
【0009】請求項6に記載の発明では、請求項4また
は請求項5に記載の研削盤において、前記第2スピンド
ルを第2ハウジング内に、静圧軸受を介して軸支したも
のである。According to a sixth aspect of the present invention, in the grinding machine according to the fourth or fifth aspect, the second spindle is supported in the second housing via a hydrostatic bearing.
【0010】請求項7に記載の発明では、請求項1〜請
求項6のうちいずれか1項に記載の研削盤において、前
記ハウジングとフレーム上の保持筒との間には、ハウジ
ングを回り止めするための回り止め手段を設けたもので
ある。According to a seventh aspect of the present invention, in the grinding machine according to any one of the first to sixth aspects, the housing is prevented from rotating between the housing and the holding cylinder on the frame. To prevent rotation.
【0011】請求項8に記載の発明では、請求項7に記
載の研削盤において、前記回り止め手段は、ハウジング
と保持筒とのいずれか一方に設けられたガイド筒と、ハ
ウジングと保持筒との他方に設けられ、ガイド筒内に静
圧軸受を介して摺動可能に嵌合されたガイドロッドとか
らなるものである。In the invention according to claim 8, in the grinding machine according to claim 7, the detent means includes a guide cylinder provided on one of the housing and the holding cylinder, and a housing and the holding cylinder. And a guide rod slidably fitted in the guide cylinder via a static pressure bearing.
【0012】請求項9に記載の発明では、請求項7また
は請求項8に記載の研削盤において、 前記回り止め手
段は、ハウジング及びその関連部材の重量を支承して、
送り手段によるハウジングの移動時のバランスを保つた
めのバランス機構を具備するものである。According to a ninth aspect of the present invention, in the grinding machine according to the seventh or eighth aspect, the detent means supports the weight of the housing and its related members,
A balance mechanism for maintaining a balance when the housing is moved by the feeding means is provided.
【0013】請求項10に記載の発明では、請求項7〜
請求項9のうちいずれか1項に記載の研削盤において、
前記回り止め手段は、ハウジングの微小回動を許容し
て、ハウジングを上下方向へ微調節移動させるための微
調節送り機構を具備するものである。According to the tenth aspect of the present invention, the seventh to seventh aspects are described.
The grinding machine according to claim 9,
The detent means is provided with a fine adjustment feed mechanism for allowing fine rotation of the housing and finely moving the housing vertically.
【0014】請求項11に記載の発明では、請求項3に
記載の研削盤において、前記スピンドル上のフランジ部
には、静圧軸受の上下空間を連通するための連通孔を形
成したものである。According to an eleventh aspect of the present invention, in the grinding machine according to the third aspect, the flange portion on the spindle is provided with a communication hole for communicating the vertical space of the hydrostatic bearing. .
【0015】請求項12に記載の発明では、請求項4〜
請求項6のうちいずれか1項に記載の研削盤において、
前記第2ハウジングとフレーム上の保持筒との間には、
第2ハウジングを回り止めするための第2回り止め手段
を設けたものである。[0015] According to the twelfth aspect of the present invention, in the fourth aspect,
The grinding machine according to any one of claims 6,
Between the second housing and the holding cylinder on the frame,
A second detent means for detenting the second housing is provided.
【0016】請求項13に記載の発明では、請求項12
に記載の研削盤において、前記第2回り止め手段は、第
2ハウジングと保持筒とのいずれか一方に設けられたガ
イド筒と、第2ハウジングと保持筒との他方に設けら
れ、ガイド筒内に静圧軸受を介して摺動可能に嵌合され
たガイドロッドとからなるものである。[0016] According to the invention of claim 13, in claim 12
In the grinding machine described in the above, the second detent means is provided on a guide cylinder provided on one of the second housing and the holding cylinder, and provided on the other of the second housing and the holding cylinder. And a guide rod slidably fitted through a static pressure bearing.
【0017】請求項14に記載の発明では、請求項6に
記載の研削盤において、前記第2スピンドル上のフラン
ジ部には、静圧軸受の上下空間を連通するための連通孔
を形成したものである。According to a fourteenth aspect of the present invention, in the grinding machine according to the sixth aspect, a communicating hole for communicating a vertical space of the hydrostatic bearing is formed in the flange portion on the second spindle. It is.
【0018】[0018]
【発明の実施の形態】以下に、この発明の一実施形態
を、図面に基づいて説明する。図1及び図2に示すよう
に、この実施形態の両頭研削盤のフレーム11は、下部
フレーム12と、その下部フレーム12上に固定された
上部フレーム13とから構成されている。下部フレーム
12にはワーク保持装置14が装設され、このワーク保
持装置14上にはシリコンウエハ等の薄板状のワーク1
5が着脱可能に保持されて、図示しない回転用モータに
より回転されるようになっている。An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. As shown in FIGS. 1 and 2, the frame 11 of the double-headed grinding machine according to the present embodiment includes a lower frame 12 and an upper frame 13 fixed on the lower frame 12. A work holding device 14 is mounted on the lower frame 12, and a thin plate-like work 1 such as a silicon wafer is mounted on the work holding device 14.
5 is detachably held and rotated by a rotation motor (not shown).
【0019】前記上部フレーム13には第1砥石駆動装
置16が上下方向へ起立状態で装設され、第1砥石駆動
装置16の下部には第1砥石17がワーク保持装置14
上のワーク15の上面と対応するように装備されてい
る。下部フレーム12には第2砥石駆動装置18が上下
方向へ起立状態で装設され、第2砥石駆動装置18の上
部には第2砥石19がワーク保持装置14上のワーク1
5の下面と対応するように装備されている。そして、両
砥石17,19の対向端面の研削面が平行に配置され、
これらの研削面によりワーク15の表裏両面が同時に研
削されるようになっている。A first grindstone driving device 16 is mounted on the upper frame 13 in an upright state, and a first grindstone 17 is provided below the first grindstone driving device 16 with a work holding device 14.
It is provided so as to correspond to the upper surface of the upper work 15. A second grindstone driving device 18 is mounted on the lower frame 12 in a vertically upright state, and a second grindstone 19 is mounted on the upper portion of the second grindstone driving device 18 on the work holding device 14.
5 so as to correspond to the lower surface. Then, the grinding surfaces of the opposite end surfaces of both grinding wheels 17 and 19 are arranged in parallel,
Both of the front and back surfaces of the work 15 are simultaneously ground by these ground surfaces.
【0020】前記第1砥石駆動装置16の構成について
詳細に説明する。図3に示すように、前記上部フレーム
13の上壁には保持筒22が貫通固定され、その内部に
は円筒状の第1ハウジング23が静圧ラジアル軸受24
を介して上下方向へ移動可能に嵌挿支持されている。第
1ハウジング23内の中心には第1スピンドル25が静
圧ラジアル軸受26及び静圧スラスト軸受27を介して
回転可能に軸支され、その下端部には前記第1砥石17
を保持するための砥石台28が設けられている。第1ハ
ウジング23内には第1回転用モータ29が配設され、
この第1回転用モータ29により、第1スピンドル25
を介して第1砥石17が回転されるようになっている。The structure of the first grinding wheel driving device 16 will be described in detail. As shown in FIG. 3, a holding cylinder 22 is fixedly penetrated to the upper wall of the upper frame 13, and a cylindrical first housing 23 is provided therein with a hydrostatic radial bearing 24.
Are inserted and supported movably in the up and down direction via the. In the center of the first housing 23, a first spindle 25 is rotatably supported via a hydrostatic radial bearing 26 and a hydrostatic thrust bearing 27.
There is provided a grindstone table 28 for holding the grinding wheel. A first rotation motor 29 is disposed in the first housing 23,
The first spindle 25 is driven by the first rotation motor 29.
, The first grindstone 17 is rotated.
【0021】前記第1スピンドル25の下端近傍にはフ
ランジ部30が設けられ、このフランジ部30には静圧
スラスト軸受27の上部空間27aと下部空間27bと
を連通するための複数の連通孔31が形成されている。
これにより、静圧スラスト軸受27の上下空間27a,
27bにおいて圧力エアの圧力差が生じるのを防いで、
第1回転用モータ29による第1スピンドル25の回転
時に、その第1スピンドル25に振動が発生するおそれ
を防止するようになっている。A flange 30 is provided near the lower end of the first spindle 25, and a plurality of communication holes 31 for communicating the upper space 27a and the lower space 27b of the hydrostatic thrust bearing 27 to the flange 30. Are formed.
Thus, the upper and lower spaces 27a of the hydrostatic thrust bearing 27,
27b to prevent the pressure difference of the pressure air from occurring,
When the first spindle 25 is rotated by the first rotation motor 29, the first spindle 25 is prevented from being vibrated.
【0022】図3及び図4に示すように、前記保持筒2
2の上端には第1送り手段としての第1送り機構32が
装設されている。すなわち、保持筒22の上端には蓋板
33がスペーサ34を介して取り付けられ、そのスペー
サ34の両側には透孔35が形成されている。第1ハウ
ジング23及び第1スピンドル25の軸線と同一軸線上
に位置するように、蓋板33の中心にはボールネジ36
がベアリング37を介して回転可能に支持されている。As shown in FIGS. 3 and 4, the holding cylinder 2
At the upper end of 2, a first feed mechanism 32 as a first feed means is provided. That is, a lid plate 33 is attached to the upper end of the holding cylinder 22 via the spacer 34, and through holes 35 are formed on both sides of the spacer 34. A ball screw 36 is provided at the center of the lid plate 33 so as to be located on the same axis as the axes of the first housing 23 and the first spindle 25.
Are rotatably supported via bearings 37.
【0023】前記第1ハウジング23の上端には取付板
38が固定され、取付板38の両側部がスペーサ34の
透孔35を通して第1ハウジング23の外部に突出され
ている。取付板38の中心にはナット部39が貫通固定
され、このナット部39にはボールネジ36が進退可能
に螺合されている。蓋板33上には第1送り用モータ4
0がブラケット41を介して装着され、第1送り用モー
タ40のモータ軸がカップリング42を介してボールネ
ジ36に連結されている。A mounting plate 38 is fixed to an upper end of the first housing 23, and both side portions of the mounting plate 38 project outside the first housing 23 through through holes 35 of the spacer 34. A nut portion 39 is fixed through the center of the mounting plate 38, and a ball screw 36 is screwed to the nut portion 39 so as to be able to advance and retreat. The first feed motor 4 is provided on the lid plate 33.
0 is mounted via a bracket 41, and the motor shaft of the first feed motor 40 is connected to the ball screw 36 via a coupling 42.
【0024】そして、前記第1送り用モータ40により
ボールネジ36が回転されたとき、ナット部39との螺
合により回転運動が直線運動に変換されて、第1ハウジ
ング23が保持筒22内で上下方向に移動される。これ
により、第1砥石17がワーク15に対して接離する方
向へ送り移動されるようになっている。When the ball screw 36 is rotated by the first feed motor 40, the rotational motion is converted into a linear motion by screwing with the nut 39, and the first housing 23 is moved up and down in the holding cylinder 22. Moved in the direction. Thus, the first grindstone 17 is fed and moved in a direction in which the first grindstone 17 comes into contact with and separates from the work 15.
【0025】図3及び図4に示すように、前記第1ハウ
ジング23と保持筒22との間には、第1ハウジング2
3を回り止めするための第1回り止め手段としての第1
回り止め機構43が配設されている。第1ハウジング2
3上の取付板38の両側上面には一対のガイド筒44が
立設固定されている。保持筒22の外面には一対の有底
筒状のガイドロッド45が支持板46を介して取り付け
られ、ガイドロッド45は各ガイド筒44内に静圧ラジ
アル軸受47を介して上下方向へ摺動可能に嵌合されて
いる。As shown in FIGS. 3 and 4, a first housing 2 is provided between the first housing 23 and the holding cylinder 22.
1 as a first detent means for detent
A detent mechanism 43 is provided. First housing 2
A pair of guide cylinders 44 are erected and fixed on the upper surfaces on both sides of the mounting plate 38 on the upper side 3. A pair of bottomed cylindrical guide rods 45 are attached to the outer surface of the holding cylinder 22 via a support plate 46, and the guide rods 45 slide in the respective guide cylinders 44 in the vertical direction via static pressure radial bearings 47. Mated as possible.
【0026】前記第1回り止め機構43には、第1ハウ
ジング23の移動時のバランスを保つためのバランス機
構48が装備されている。すなわち、両ガイド筒44上
にはシリンダ49がそれぞれ取り付けられ、各シリンダ
49の頂部には圧力エアを供給するためのエア供給口5
0が形成されている。そして、エア供給口50から各シ
リンダ49内に圧力エアが供給されることにより、ガイ
ド筒44に浮上力が付与されて、第1ハウジング23及
びその関連部材の重量が支承される。これにより、第1
送り用モータ40により第1ハウジング23が上下方向
へ移動される際に、ボールネジ36とナット部39との
係合部に加わる荷重が軽減されて、第1ハウジング23
の移動バランスが保たれるようになっている。The first detent mechanism 43 is equipped with a balance mechanism 48 for maintaining a balance when the first housing 23 moves. That is, cylinders 49 are respectively mounted on both guide cylinders 44, and an air supply port 5 for supplying compressed air is provided at the top of each cylinder 49.
0 is formed. Then, by supplying compressed air from the air supply port 50 into each of the cylinders 49, a levitation force is applied to the guide cylinder 44, and the weight of the first housing 23 and its related members is supported. Thereby, the first
When the first housing 23 is moved in the vertical direction by the feed motor 40, the load applied to the engaging portion between the ball screw 36 and the nut portion 39 is reduced, and the first housing 23 is moved.
Movement balance is maintained.
【0027】前記第1回り止め機構43には、第1ハウ
ジング23を上下方向へ微調節移動させるための微調節
送り機構51が装備されている。すなわち、両ガイド筒
44には複数のエア供給口52が形成されている。そし
て、第1送り用モータ40により第1ハウジング23が
移動されて、第1砥石17がワーク15と対応する位置
まで送り移動された後、選択された任意のエア供給口5
2からガイドロッド45の外周面に向けて圧力エアが吹
き付けられる。これにより、ガイドロッド45がガイド
筒44内でボールネジ36の軸線周りに押圧されて、第
1ハウジング23に微小回動が許容され、その回動に伴
いナット部39及びボールネジ36を介して、第1ハウ
ジング23が軸線方向に微調節移動されるようになって
いる。The first detent mechanism 43 is provided with a fine adjustment feed mechanism 51 for finely adjusting the first housing 23 in the vertical direction. That is, a plurality of air supply ports 52 are formed in both guide cylinders 44. Then, after the first housing 23 is moved by the first feed motor 40 and the first grindstone 17 is moved to a position corresponding to the workpiece 15, the selected air supply port 5 is selected.
Pressure air is blown from 2 toward the outer peripheral surface of the guide rod 45. As a result, the guide rod 45 is pressed around the axis of the ball screw 36 in the guide cylinder 44, and the first housing 23 is allowed to rotate slightly, and the rotation is performed via the nut portion 39 and the ball screw 36 through the rotation. The one housing 23 is finely moved in the axial direction.
【0028】次に、前記第2砥石駆動装置18の構成に
ついて詳細に説明する。図5に示すように、下部フレー
ム12上には支持台55が固定され、支持台55の中央
には保持筒57が貫通固定され、その内部には円筒状の
第2ハウジング58が静圧ラジアル軸受59を介して上
下方向へ移動可能に嵌挿支持されている。第2ハウジン
グ58内の中心には第2スピンドル60が静圧ラジアル
軸受61及び静圧スラスト軸受62を介して回転可能に
軸支され、第2スピンドル60の上端部には前記第2砥
石19を保持するための砥石台63が設けられている。
第2ハウジング58内には第2回転用モータ67が配設
され、この第2回転用モータ67により、第2スピンド
ル60を介して第2砥石19が回転されるようになって
いる。Next, the structure of the second grindstone driving device 18 will be described in detail. As shown in FIG. 5, a support base 55 is fixed on the lower frame 12, a holding cylinder 57 is fixed through the center of the support base 55, and a cylindrical second housing 58 is provided therein with a hydrostatic radial. It is fitted and supported movably in the vertical direction via a bearing 59. In the center of the second housing 58, a second spindle 60 is rotatably supported via a hydrostatic radial bearing 61 and a hydrostatic thrust bearing 62, and the second grindstone 19 is mounted on the upper end of the second spindle 60. A grindstone table 63 for holding is provided.
A second rotation motor 67 is arranged in the second housing 58, and the second rotation motor 67 rotates the second grindstone 19 via the second spindle 60.
【0029】前記第2スピンドル60の上端近傍にはフ
ランジ部68が設けられ、このフランジ部68には静圧
スラスト軸受62の上部空間62aと下部空間62bと
を連通するための複数の連通孔69が形成されている。
これにより、静圧スラスト軸受62の上下空間62a,
62bにおいて圧力エアの圧力差が生じるのを防いで、
第2回転用モータ67による第2スピンドル60の回転
時に、その第2スピンドル60に振動が発生するおそれ
を防止するようになっている。A flange 68 is provided near the upper end of the second spindle 60, and a plurality of communication holes 69 for communicating the upper space 62a and the lower space 62b of the hydrostatic thrust bearing 62 to the flange 68. Are formed.
Thereby, the upper and lower spaces 62a of the hydrostatic thrust bearing 62,
At 62b, the pressure difference of the compressed air is prevented from occurring,
When the second spindle 60 is rotated by the second rotation motor 67, it is possible to prevent the second spindle 60 from being vibrated.
【0030】図5に示すように、前記保持筒57の下端
には第2送り手段としての第2送り機構70が装設され
ている。すなわち、保持筒57の下端には蓋板71が取
り付けられ、その一側部が保持筒57の外側方に延長さ
れている。第2ハウジング58及び第2スピンドル60
の軸線と同一軸線上に位置するように、蓋板71にはボ
ールネジ72がベアリング73を介して回転可能に支持
されている。As shown in FIG. 5, a second feed mechanism 70 as a second feed means is provided at the lower end of the holding cylinder 57. That is, a lid plate 71 is attached to the lower end of the holding cylinder 57, and one side of the lid plate 71 extends outward of the holding cylinder 57. Second housing 58 and second spindle 60
A ball screw 72 is rotatably supported on the cover plate 71 via a bearing 73 so that the ball screw 72 is located on the same axis as the axis.
【0031】前記第2ハウジング58の下端には取付板
74が取り付けられ、その一側部が保持筒57の透孔7
5を通して外部に突出されている。取付板74にはナッ
ト部76が貫通固定され、このナット部76にはボール
ネジ72が螺合されている。蓋板71の一側上面には第
2送り用モータ77が装着され、そのモータ軸がプーリ
78,79及びベルト80を介してボールネジ72に作
動連結されている。An attachment plate 74 is attached to the lower end of the second housing 58, and one side of the attachment plate 74
5 project outside. A nut 76 is fixedly penetrated to the mounting plate 74, and a ball screw 72 is screwed into the nut 76. A second feed motor 77 is mounted on one upper surface of the cover plate 71, and its motor shaft is operatively connected to the ball screw 72 via pulleys 78 and 79 and a belt 80.
【0032】そして、前記第2送り用モータ77により
ボールネジ72が回転されたとき、ナット部76との螺
合により回転運動が直線運動に変換されて、第2ハウジ
ング58が保持筒57内で上下方向に移動される。これ
により、第2砥石19がワーク15に対して接離する方
向へ送り移動されるようになっている。When the ball screw 72 is rotated by the second feed motor 77, the rotational motion is converted to a linear motion by screwing with the nut portion 76, and the second housing 58 is moved up and down in the holding cylinder 57. Moved in the direction. Thus, the second grindstone 19 is fed and moved in a direction in which the second grindstone 19 comes into contact with and separates from the work 15.
【0033】図5に示すように、前記第2ハウジング5
8と保持筒57との間には、第2ハウジング58を回り
止めするための第2回り止め手段としての第2回り止め
機構81が配設されている。保持筒57の一側外面には
ガイド筒82が取り付けられ、このガイド筒82は保持
筒57の外面に設けられたガイドレール85に沿って上
下方向へ摺動可能になっている。第2ハウジング58下
端の取付板74の一側上面には有底筒状のガイドロッド
83が立設固定され、ガイド筒82内に静圧ラジアル軸
受84を介して上下方向へ摺動可能に嵌合されている。As shown in FIG. 5, the second housing 5
A second detent mechanism 81 as second detent means for detenting the second housing 58 is disposed between the holding cylinder 8 and the holding cylinder 57. A guide tube 82 is attached to one outer surface of the holding tube 57, and the guide tube 82 is slidable in a vertical direction along a guide rail 85 provided on the outer surface of the holding tube 57. A bottomed cylindrical guide rod 83 is fixed upright on one upper surface of the mounting plate 74 at the lower end of the second housing 58, and is slidably fitted in the guide cylinder 82 in the vertical direction via a hydrostatic radial bearing 84. Have been combined.
【0034】次に、前記のように構成された研削盤の動
作を説明する。さて、この研削盤において、研削加工を
行う場合には、ワーク保持装置14にワーク15が保持
された状態で、第2砥石駆動装置18の第2砥石19が
第2送り機構70により上方に送り移動されて、ワーク
15の下面に接触される。さらに、第1砥石駆動装置1
6の第1砥石17が第1送り機構32により下方に送り
移動されて、ワーク15の上面に近接配置される。Next, the operation of the grinding machine configured as described above will be described. Now, in this grinding machine, when performing a grinding process, the second grindstone 19 of the second grindstone driving device 18 is fed upward by the second feed mechanism 70 while the work 15 is held by the work holding device 14. It is moved and comes into contact with the lower surface of the work 15. Further, the first grinding wheel driving device 1
The 6th first grindstone 17 is fed downward by the first feed mechanism 32 and is arranged close to the upper surface of the work 15.
【0035】この状態で、ワーク保持装置14における
図示しない回転用モータによりワーク15が回転される
とともに、両砥石17,19が回転用モータ29,67
によりそれぞれ回転される。そして、第1砥石17が第
1送り機構32によりワーク15に向かって減速送りさ
れて、両砥石17,19によりワーク15の表裏両面が
同時に粗研削される。In this state, the work 15 is rotated by a rotation motor (not shown) in the work holding device 14, and the grinding wheels 17, 19 are rotated by the rotation motors 29, 67.
, Respectively. Then, the first grindstone 17 is decelerated and fed toward the work 15 by the first feed mechanism 32, and the front and back surfaces of the work 15 are roughly ground simultaneously by the two grindstones 17 and 19.
【0036】その後、第1砥石駆動装置16の第1砥石
17が微調節送り機構51により0.1ミクロン以下の
単位で微調節送りされる。これにより、ワーク15の表
裏両面が両砥石17,19にて同時に精密研削仕上げさ
れる。Thereafter, the first grindstone 17 of the first grindstone driving device 16 is finely adjusted by the fine adjustment feeding mechanism 51 in units of 0.1 μm or less. Thereby, both the front and back surfaces of the work 15 are simultaneously precision ground by the two grindstones 17 and 19.
【0037】前記実施形態によって期待できる効果につ
いて、以下に記載する。 ・この実施形態においては、ワーク15を保持するワー
ク保持装置14に対応して、第1砥石駆動装置16が上
下方向へ起立状態で配設されている。また、この第1砥
石駆動装置16には、上部フレーム13上の保持筒22
に静圧ラジアル軸受24を介して上下方向へ移動可能に
支持された第1ハウジング23と、その第1ハウジング
23内に回転可能に軸支された第1スピンドル25と、
ワーク15に対応して第1スピンドル25の端部に保持
された第1砥石17と、回転運動を直線運動に変換する
機構を具備し、第1ハウジング23を上下方向に移動さ
せて第1砥石17をワーク15に接離させる第1送り機
構32とが設けられている。The effects that can be expected from the above embodiment will be described below. In this embodiment, the first grindstone driving device 16 is provided in a vertically upright state corresponding to the work holding device 14 that holds the work 15. The first grindstone driving device 16 has a holding cylinder 22 on the upper frame 13.
A first housing 23 movably supported in a vertical direction via a static pressure radial bearing 24, and a first spindle 25 rotatably supported in the first housing 23;
A first grindstone 17 held at an end of a first spindle 25 corresponding to the work 15 and a mechanism for converting a rotational motion into a linear motion are provided. A first feed mechanism 32 for bringing the 17 into and out of contact with the work 15 is provided.
【0038】このため、第1送り機構32により第1ハ
ウジング23に直線運動が付与されたときには、第1ハ
ウジング23が静圧ラジアル軸受24を介して、大きな
摺動抵抗を受けることなく上下方向に移動される。よっ
て、第1砥石17をワーク15と対応する位置まで、微
小に送り移動させることができて、ワーク15を精密に
研削仕上げすることができる。For this reason, when a linear motion is applied to the first housing 23 by the first feed mechanism 32, the first housing 23 is moved up and down via the hydrostatic radial bearing 24 without receiving a large sliding resistance. Be moved. Therefore, the first grindstone 17 can be finely fed and moved to a position corresponding to the work 15, and the work 15 can be precisely ground.
【0039】・この実施形態においては、第1送り機構
32がモータ40とボールネジ36とナット部39とか
ら構成され、ボールネジ36が第1ハウジング23と同
一軸線上に配設されている。このため、第1送り機構3
2の構成が簡単であるにも拘らず、第1ハウジング23
に作用する摺動抵抗をいっそう軽減することができて、
第1砥石17を安定して微小送りすることができる。In this embodiment, the first feed mechanism 32 comprises a motor 40, a ball screw 36, and a nut 39, and the ball screw 36 is arranged on the same axis as the first housing 23. For this reason, the first feed mechanism 3
Although the configuration of the first housing 23 is simple,
The sliding resistance acting on the
The first grindstone 17 can be finely fed stably.
【0040】・この実施形態においては、第1スピンド
ル25が第1ハウジング23内に、静圧ラジアル軸受2
6及び静圧スラスト軸受27を介して軸支されている。
このため、第1スピンドル25の軸受構成が簡単である
にも拘らず、第1スピンドル25を第1ハウジング23
内に安定状態で軸支することができて、ワーク15の加
工精度を高めることができる。In this embodiment, the first spindle 25 is provided inside the first housing 23 and includes the hydrostatic radial bearing 2.
6 and a hydrostatic thrust bearing 27.
For this reason, although the bearing configuration of the first spindle 25 is simple, the first spindle 25 is connected to the first housing 23.
Can be supported in a stable state, and the processing accuracy of the work 15 can be improved.
【0041】・この実施形態においては、第1ハウジン
グ23と上部フレーム13上の保持筒22との間に、第
1ハウジング23を回り止めするための第1回り止め機
構43が設けられている。このため、上部フレーム13
上の保持筒22に静圧ラジアル軸受24を介して支持さ
れた状態にある第1ハウジング23が不要に回動される
おそれを、第1回り止め機構43によって確実に防止す
ることができ、第1砥石17をワーク15と対応する位
置まで正確に微小送りすることができる。また、各シリ
ンダ49にてガイド筒44及び取付板38に浮上力が付
与されるため、ボールネジ36とナット39との間のバ
ックラッシが無くなる。従って、第1砥石17をいっそ
う正確に微小送りすることができる。In this embodiment, a first detent mechanism 43 for detenting the first housing 23 is provided between the first housing 23 and the holding cylinder 22 on the upper frame 13. For this reason, the upper frame 13
The possibility that the first housing 23 supported by the upper holding cylinder 22 via the hydrostatic radial bearing 24 via unnecessary rotation is unnecessary can be reliably prevented by the first rotation preventing mechanism 43. One grindstone 17 can be precisely and minutely fed to a position corresponding to the work 15. In addition, since a floating force is applied to the guide cylinder 44 and the mounting plate 38 by each cylinder 49, backlash between the ball screw 36 and the nut 39 is eliminated. Therefore, the first grindstone 17 can be minutely fed more accurately.
【0042】・この実施形態においては、第1回り止め
機構43が、第1ハウジング23と保持筒22とのいず
れか一方に設けられたガイド筒44と、第1ハウジング
23と保持筒22との他方に設けられ、ガイド筒44内
に静圧ラジアル軸受47を介して摺動可能に嵌合された
ガイドロッド45とから構成されている。このため、第
1回り止め機構43の構造が簡単であるにも拘らず、第
1ハウジング23の不要な回動を、摺動抵抗等の余分な
力が作用することなく確実に防止することができる。In this embodiment, the first rotation preventing mechanism 43 is provided between the guide cylinder 44 provided on one of the first housing 23 and the holding cylinder 22 and the first housing 23 and the holding cylinder 22. A guide rod 45 is provided on the other side and is slidably fitted in a guide cylinder 44 via a static pressure radial bearing 47. For this reason, although the structure of the first detent mechanism 43 is simple, it is possible to reliably prevent unnecessary rotation of the first housing 23 without applying extra force such as sliding resistance. it can.
【0043】・この実施形態においては、第1回り止め
機構43が、第1ハウジング23及びその関連部材の重
量を支承して、第1送り機構32による第1ハウジング
23の移動時のバランスを保つためのバランス機構48
を具備している。このため、バランス機構48により第
1ハウジング23及びその関連部材の重量が支承された
状態で、第1ハウジング23を軸線方向へバランスを保
って移動させることができ、第1砥石17をワーク15
と対応する位置までいっそう正確に微小送りすることが
できる。In this embodiment, the first detent mechanism 43 supports the weight of the first housing 23 and its related members to maintain the balance when the first housing 23 is moved by the first feed mechanism 32. Balance mechanism 48 for
Is provided. For this reason, the first housing 23 can be moved while maintaining the balance in the axial direction while the weights of the first housing 23 and the related members are supported by the balance mechanism 48, and the first grindstone 17 is moved to the work 15.
Can be more minutely fed to the position corresponding to.
【0044】・この実施形態においては、第1回り止め
機構43が、第1ハウジング23の微小回動を許容し
て、第1ハウジング23を上下方向へ微調節移動させる
ための微調節送り機構51を具備している。このため、
第1ハウジング23を微調節送り機構51により微調節
移動させることができて、第1砥石17をワーク15と
対応する位置まで、いっそう正確に微調節送りすること
ができる。In this embodiment, the first detent mechanism 43 allows the fine rotation of the first housing 23 and finely adjusts the first housing 23 in the vertical direction. Is provided. For this reason,
The first housing 23 can be fine-adjusted and moved by the fine-adjustment feed mechanism 51, and the first grindstone 17 can be fine-adjusted and fed to the position corresponding to the work 15 more accurately.
【0045】・この実施形態においては、第1スピンド
ル25上のフランジ部30に、静圧スラスト軸受27の
上下空間27a,27bを連通するための連通孔31が
形成されている。このため、静圧スラスト軸受27の上
下空間27a,27bに圧力差が生じることにより、第
1スピンドル25に振動が発生するおそれを防止するこ
とかできて、ワーク15の加工精度を高めることができ
る。In this embodiment, a communication hole 31 for communicating the upper and lower spaces 27a, 27b of the hydrostatic thrust bearing 27 is formed in the flange portion 30 on the first spindle 25. For this reason, it is possible to prevent a possibility that vibration occurs in the first spindle 25 due to a pressure difference between the upper and lower spaces 27 a and 27 b of the hydrostatic thrust bearing 27, thereby improving the processing accuracy of the work 15. .
【0046】・この実施形態においては、ワーク保持装
置14に対応して、第1砥石駆動装置16と反対側に第
2砥石駆動装置18が上下方向へ起立状態で配設されて
いる。また、この第2砥石駆動装置18には、下部フレ
ーム12上の保持筒57に静圧ラジアル軸受59を介し
て上下方向へ移動可能に支持された第2ハウジング58
と、その第2ハウジング58内に回転可能に軸支された
第2スピンドル60と、ワーク15に対応して第2スピ
ンドル60の端部に保持された第2砥石19と、回転運
動を直線運動に変換する機構を具備し、第2ハウジング
58を上下方向に移動させて第2砥石19をワーク15
に接離させる第2送り機構70とが設けられている。In the present embodiment, a second grindstone driving device 18 is provided on the side opposite to the first grindstone driving device 16 in a vertically upright state, corresponding to the work holding device 14. The second wheel driving device 18 has a second housing 58 supported by a holding cylinder 57 on the lower frame 12 via a static pressure radial bearing 59 so as to be movable in the vertical direction.
A second spindle 60 rotatably supported in the second housing 58; a second grindstone 19 held at an end of the second spindle 60 corresponding to the work 15; A mechanism for converting the second grinding wheel 19 into a workpiece 15 by moving the second housing 58 in the vertical direction.
And a second feed mechanism 70 that comes into contact with and separates from the second feed mechanism 70.
【0047】このため、対向配置された一対の砥石駆動
装置16,18において、スピンドル25,60を収容
支持した各ハウジング23,58に作用する摺動抵抗を
それぞれ軽減することができる。よって、両砥石駆動装
置16,18における砥石17,29をそれぞれ微小に
送り移動させることができて、ワーク15を表裏両面か
ら精密に研削仕上げすることができる。Therefore, the sliding resistance acting on each of the housings 23 and 58 accommodating and supporting the spindles 25 and 60 can be reduced in the pair of grindstone driving devices 16 and 18 disposed opposite to each other. Therefore, the grindstones 17 and 29 in both the grindstone driving devices 16 and 18 can be finely fed and moved, respectively, and the work 15 can be precisely ground from both front and back surfaces.
【0048】・この実施形態においては、第2送り機構
70がモータ77とボールネジ72とナット部76とか
ら構成され、ボールネジ72が第2ハウジング58と同
一軸線上に配設されている。このため、第2送り機構7
0の構成が簡単であるにも拘らず、第2ハウジング58
に作用する摺動抵抗をいっそう軽減することができて、
第2砥石19を安定して微小送りすることができる。In this embodiment, the second feed mechanism 70 includes a motor 77, a ball screw 72, and a nut portion 76, and the ball screw 72 is disposed on the same axis as the second housing 58. For this reason, the second feed mechanism 7
Although the configuration of the second housing 58 is simple,
The sliding resistance acting on the
The second grindstone 19 can be finely fed stably.
【0049】・この実施形態においては、第2スピンド
ル60が第2ハウジング58内に、静圧ラジアル軸受6
1及び静圧スラスト軸受62を介して軸支されている。
このため、第2スピンドル60の軸受構成が簡単である
にも拘らず、第2スピンドル60を第2ハウジング58
内に安定状態で軸支することができて、ワーク15の加
工精度を高めることができる。In this embodiment, the second spindle 60 is provided with the hydrostatic radial bearing 6 in the second housing 58.
1 and a hydrostatic thrust bearing 62.
For this reason, despite the simple bearing configuration of the second spindle 60, the second spindle 60 is connected to the second housing 58.
Can be supported in a stable state, and the processing accuracy of the work 15 can be improved.
【0050】・この実施形態においては、第2ハウジン
グ58と下部フレーム12上の保持筒57との間に、第
2ハウジング58を回り止めするための第2回り止め機
構81が設けられている。このため、下部フレーム12
上の保持筒57に静圧ラジアル軸受59を介して支持さ
れた状態にある第2ハウジング58が回動されるおそれ
を、第2回り止め機構81によって確実に防止すること
ができ、第2砥石19をワーク15と対応する位置まで
正確に微小送りすることができる。In this embodiment, between the second housing 58 and the holding cylinder 57 on the lower frame 12, a second rotation stopping mechanism 81 for stopping the rotation of the second housing 58 is provided. For this reason, the lower frame 12
The second housing 58 can reliably prevent the second housing 58 from rotating when the second housing 58 supported by the upper holding cylinder 57 via the static pressure radial bearing 59 is rotated. 19 can be minutely fed accurately to a position corresponding to the work 15.
【0051】・この実施形態においては、第2回り止め
機構81が、第2ハウジング58と保持筒57とのいず
れか一方に設けられたガイド筒82と、第2ハウジング
58と保持筒57との他方に設けられ、ガイド筒82内
に静圧ラジアル軸受84を介して摺動可能に嵌合された
ガイドロッド83とから構成されている。このため、第
2回り止め機構81の構造が簡単であるにも拘らず、第
2ハウジング58の不要な回動を、摺動抵抗等の余分な
力が作用することなく確実に防止することができる。In this embodiment, the second rotation preventing mechanism 81 is provided between the guide cylinder 82 provided on one of the second housing 58 and the holding cylinder 57 and the second housing 58 and the holding cylinder 57. A guide rod 83 is provided on the other side, and is slidably fitted in a guide cylinder 82 via a static pressure radial bearing 84. For this reason, although the structure of the second rotation preventing mechanism 81 is simple, unnecessary rotation of the second housing 58 can be reliably prevented without applying extra force such as sliding resistance. it can.
【0052】・この実施形態においては、第2スピンド
ル60上のフランジ部68に、静圧スラスト軸受62の
上下空間62a,62bを連通するための連通孔69が
形成されている。このため、静圧スラスト軸受62の上
下空間62a,62bに圧力差が生じることにより、第
2スピンドル60に振動が発生するおそれを防止するこ
とかできて、ワーク15の加工精度を高めることができ
る。In this embodiment, a communication hole 69 for communicating the upper and lower spaces 62a, 62b of the hydrostatic thrust bearing 62 is formed in the flange 68 on the second spindle 60. For this reason, it is possible to prevent a possibility that vibration occurs in the second spindle 60 due to a pressure difference between the upper and lower spaces 62 a and 62 b of the hydrostatic thrust bearing 62, and it is possible to improve the processing accuracy of the work 15. .
【0053】なお、この実施形態は、次のように変更し
て具体化することも可能である。 ・ 第1砥石駆動装置16の第1回り止め機構43にお
いて、ガイド筒44を保持筒22側に取り付けるととも
に、ガイドロッド45を第1ハウジング23側に取り付
けること。This embodiment can be embodied with the following modifications. In the first rotation preventing mechanism 43 of the first grindstone driving device 16, the guide cylinder 44 is attached to the holding cylinder 22 and the guide rod 45 is attached to the first housing 23.
【0054】・ 第2砥石駆動装置18を省略して、第
1砥石駆動装置16のみにより、ワーク15の片面のみ
を研削するように構成すること。 ・ 各静圧ラジアル軸受24,26,47,59及び静
圧スラスト軸受27,62に対して、圧力エアに代えて
圧油を供給すること。The second wheel driving device 18 is omitted, and only the first wheel driving device 16 is used to grind only one surface of the work 15. Supplying pressurized oil instead of pressurized air to each of the hydrostatic radial bearings 24, 26, 47, 59 and the hydrostatic thrust bearings 27, 62.
【0055】[0055]
【発明の効果】この発明は、以上のように構成されてい
るため、次のような効果を奏する。請求項1に記載の発
明によれば、スピンドルを収容支持したハウジングに作
用する摺動抵抗を軽減することができ、砥石を微小に送
り移動させることができて、ワークを精密に研削仕上げ
することができる。The present invention is configured as described above, and has the following effects. According to the first aspect of the present invention, the sliding resistance acting on the housing accommodating and supporting the spindle can be reduced, and the grindstone can be finely moved so that the work can be precisely ground. Can be.
【0056】請求項2に記載の発明によれば、送り手段
の構成が簡単であるにも拘らず、ハウジングに作用する
摺動抵抗をいっそう軽減することができて、砥石を安定
して微小送りすることができる。According to the second aspect of the present invention, the sliding resistance acting on the housing can be further reduced in spite of the simple construction of the feeding means, and the grinding wheel can be finely fed in a stable manner. can do.
【0057】請求項3に記載の発明によれば、スピンド
ルの軸受構成が簡単であるにも拘らず、スピンドルをハ
ウジング内に安定状態で軸支することができて、ワーク
の加工精度を高めることができる。According to the third aspect of the invention, the spindle can be supported in the housing in a stable state in spite of the simplicity of the bearing configuration of the spindle, and the machining accuracy of the work can be improved. Can be.
【0058】請求項4に記載の発明によれば、対向配置
された一対の砥石駆動装置において、スピンドルを収容
支持した各ハウジングに作用する摺動抵抗をそれぞれ軽
減することができ、両砥石をそれぞれ微小に送り移動さ
せることができて、ワークを表裏両面から精密に研削仕
上げすることができる。According to the fourth aspect of the present invention, in the pair of grinding wheel driving devices disposed opposite to each other, the sliding resistance acting on each housing accommodating and supporting the spindle can be reduced. The workpiece can be finely fed and moved, and the workpiece can be precisely ground from both sides.
【0059】請求項5に記載の発明によれば、第2送り
手段の構成が簡単であるにも拘らず、第2ハウジングに
作用する摺動抵抗をいっそう軽減することができて、第
2砥石を安定して微小送りすることができる。According to the fifth aspect of the invention, the sliding resistance acting on the second housing can be further reduced in spite of the simple structure of the second feeding means, and the second grinding wheel Can be finely fed in a stable manner.
【0060】請求項6に記載の発明によれば、第2スピ
ンドルの軸受構成が簡単であるにも拘らず、第2スピン
ドルを第2ハウジング内に安定状態で軸支することがで
きて、ワークの加工精度を高めることができる。According to the sixth aspect of the present invention, the second spindle can be supported in the second housing in a stable state in spite of the simplicity of the bearing configuration of the second spindle. Processing accuracy can be improved.
【0061】請求項7に記載の発明によれば、フレーム
上の保持筒に静圧軸受を介して支持された状態にあるハ
ウジングが不要に回動されるおそれを、回り止め手段に
よって確実に防止することができ、砥石をワークと対応
する位置まで正確に微小送りすることができる。According to the seventh aspect of the present invention, the possibility that the housing supported by the holding cylinder on the frame via the hydrostatic bearing is unnecessarily rotated is reliably prevented by the detent means. And the grindstone can be precisely and minutely fed to a position corresponding to the workpiece.
【0062】請求項8に記載の発明によれば、回り止め
手段の構造が簡単であるにも拘らず、ハウジングの不要
な回動を、摺動抵抗等の余分な力が作用することなく確
実に防止することができる。According to the eighth aspect of the present invention, unnecessary rotation of the housing can be ensured without the use of extra force such as sliding resistance, despite the simple structure of the detent means. Can be prevented.
【0063】請求項9に記載の発明によれば、バランス
機構によりハウジング及びその関連部材の重量を支承し
た状態で、ハウジングを軸線方向へバランスを保って移
動させることができ、砥石をワークと対応する位置まで
いっそう正確に微小送りすることができる。According to the ninth aspect of the present invention, the housing can be moved while maintaining the balance in the axial direction while the weight of the housing and its related members are supported by the balance mechanism, and the grindstone can correspond to the workpiece. The minute feed can be performed even more accurately to the position where it is performed.
【0064】請求項10に記載の発明によれば、ハウジ
ングを微調節送り機構により微調節移動させることがで
きて、砥石をワークと対応する位置までいっそう正確に
微調節送りすることができる。According to the tenth aspect of the present invention, the housing can be finely adjusted and moved by the fine adjustment feeding mechanism, so that the grindstone can be finely adjusted and fed to the position corresponding to the workpiece.
【0065】請求項11に記載の発明によれば、静圧軸
受の上下空間に圧力差が生じることにより、スピンドル
に振動が発生するおそれを防止することかできて、ワー
クの加工精度を高めることができる。According to the eleventh aspect of the present invention, a pressure difference is generated between the upper and lower spaces of the hydrostatic bearing, whereby it is possible to prevent the possibility of vibration of the spindle, and to improve the machining accuracy of the workpiece. Can be.
【0066】請求項12に記載の発明によれば、フレー
ム上の保持筒に静圧軸受を介して支持された状態にある
第2ハウジングが不要に回動されるおそれを、第2回り
止め手段によって確実に防止することができ、第2砥石
をワークと対応する位置まで正確に微小送りすることが
できる。According to the twelfth aspect, the possibility that the second housing, which is supported by the holding cylinder on the frame via the hydrostatic bearing, is unnecessarily rotated is reduced by the second detent means. Thus, the second grindstone can be precisely and minutely fed to a position corresponding to the workpiece.
【0067】請求項13に記載の発明によれば、第2回
り止め手段の構造が簡単であるにも拘らず、第2ハウジ
ングの回動を、摺動抵抗等の余分な力が作用することな
く確実に防止することができる。According to the thirteenth aspect, although the structure of the second detent means is simple, an extra force such as sliding resistance acts on the rotation of the second housing. Can be reliably prevented.
【0068】請求項14に記載の発明によれば、静圧軸
受の上下空間に圧力差が生じることにより、第2スピン
ドルに振動が発生するおそれを防止することかできて、
ワークの加工精度を高めることができる。According to the fourteenth aspect of the present invention, it is possible to prevent the occurrence of vibration in the second spindle due to the pressure difference between the upper and lower spaces of the hydrostatic bearing.
Work accuracy of the workpiece can be improved.
【図1】 この発明の研削盤の一実施形態を示す正面
図。FIG. 1 is a front view showing an embodiment of a grinding machine of the present invention.
【図2】 同じく研削盤の側面図。FIG. 2 is a side view of the grinding machine.
【図3】 第1砥石駆動装置を拡大して示す要部断面
図。FIG. 3 is an enlarged sectional view of a main part of the first grindstone driving device.
【図4】 図3の4−4線における拡大断面図。FIG. 4 is an enlarged sectional view taken along line 4-4 in FIG. 3;
【図5】 第2砥石駆動装置及びワーク保持装置を示す
要部拡大断面図。FIG. 5 is an enlarged sectional view of a main part showing a second grindstone driving device and a work holding device.
11…フレーム、12…下部フレーム、13…上部フレ
ーム、14…ワーク保持装置、15…ワーク、16…第
1砥石駆動装置、17…第1砥石、18…第2砥石駆動
装置、19…第2砥石、22…保持筒、23…第1ハウ
ジング、24…静圧ラジアル軸受、25…第1スピンド
ル、26…静圧ラジアル軸受、27…静圧スラスト軸
受、27a…上部空間、27b…下部空間、29…第1
回転用モータ、30…フランジ部、31…連通孔、32
…第1送り手段としての第1送り機構、36…ボールネ
ジ、39…ナット部、40…第1送り用モータ、43…
第1回り止め手段としての第1回り止め機構、44…ガ
イド筒、45…ガイドロッド、47…静圧ラジアル軸
受、48…バランス機構、49…シリンダ、51…微調
節送り機構、52…エア供給口、57…保持筒、58…
第2ハウジング、59…静圧ラジアル軸受、60…第2
スピンドル、61…静圧ラジアル軸受、62…静圧スラ
スト軸受、62a…上部空間、62b…下部空間、67
…第2回転用モータ、68…フランジ部、69…連通
孔、70…第2送り手段としての第2送り機構、72…
ボールネジ、76…ナット部、77…第2送り用モー
タ、81…第2回り止め手段としての第2回り止め機
構、82…ガイド筒、83…ガイドロッド、84…静圧
ラジアル軸受、86…エア供給口。11 ... frame, 12 ... lower frame, 13 ... upper frame, 14 ... work holding device, 15 ... work, 16 ... first grindstone drive device, 17 ... first grindstone, 18 ... second grindstone drive device, 19 ... second Grinding wheel, 22 ... holding cylinder, 23 ... first housing, 24 ... static pressure radial bearing, 25 ... first spindle, 26 ... static pressure radial bearing, 27 ... static pressure thrust bearing, 27a ... upper space, 27b ... lower space, 29 ... first
Rotating motor, 30: flange portion, 31: communication hole, 32
... First feed mechanism as first feed means, 36... Ball screw, 39... Nut part, 40.
First detent mechanism as first detent means, 44 guide cylinder, 45 guide rod, 47 static pressure radial bearing, 48 balance mechanism, 49 cylinder, 51 fine adjustment feed mechanism, 52 air supply Mouth, 57 ... holding cylinder, 58 ...
Second housing, 59 ... hydrostatic radial bearing, 60 ... second
Spindle, 61: hydrostatic radial bearing, 62: hydrostatic thrust bearing, 62a: upper space, 62b: lower space, 67
.., A second rotation motor, 68, a flange portion, 69, a communication hole, 70, a second feed mechanism as second feed means, 72,
Ball screw, 76 nut part, 77 second feed motor, 81 second stop mechanism as second stop means, 82 guide cylinder, 83 guide rod, 84 hydrostatic radial bearing, 86 air Supply port.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中嶋 和男 富山県東砺波郡福野町100番地 株式会社 日平トヤマ富山工場内 (72)発明者 和田 豊尚 富山県東砺波郡福野町100番地 株式会社 日平トヤマ富山工場内 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Kazuo Nakajima 100 Fukuno-cho, Higashi-Tonami-gun, Toyama Prefecture Inside the Tohei Plant, Hihira Toyama Co., Ltd. in the factory
Claims (14)
のワーク保持装置に対応して上下方向へ起立状態で配設
された砥石駆動装置とを備え、 前記砥石駆動装置には、 フレーム上の保持筒に静圧軸受を介して上下方向へ移動
可能に支持されたハウジングと、 そのハウジング内に回転可能に軸支されたスピンドル
と、 ワークに対応してスピンドルの端部に保持された砥石
と、 回転運動を直線運動に変換する機構を具備し、ハウジン
グを上下方向に移動させて砥石をワークに接離させる送
り手段と、を設けた研削盤。1. A work holding device for holding a work, and a grindstone driving device arranged in an upright state corresponding to the work holding device, wherein the grindstone driving device includes a holding device on a frame. A housing supported on the cylinder movably in the vertical direction via a static pressure bearing, a spindle rotatably supported in the housing, a grindstone held at an end of the spindle corresponding to the work; A grinding machine comprising: a mechanism for converting a rotary motion into a linear motion; and a feeding means for moving a housing up and down to move a grinding wheel toward and away from a workpiece.
ット部とから構成し、ボールネジをハウジングと同一軸
線上に配設した請求項1に記載の研削盤。2. The grinding machine according to claim 1, wherein said feeding means comprises a motor, a ball screw and a nut, and wherein the ball screw is disposed on the same axis as the housing.
軸受を介して軸支した請求項1または請求項2に記載の
研削盤。3. The grinding machine according to claim 1, wherein the spindle is supported in the housing via a hydrostatic bearing.
動装置と反対側に上下方向へ起立状態で配設された第2
砥石駆動装置をさらに備え、 その第2砥石駆動装置には、 フレーム上の保持筒に静圧軸受を介して上下方向へ移動
可能に支持された第2ハウジングと、 その第2ハウジング内に回転可能に軸支された第2スピ
ンドルと、 ワークに対応して第2スピンドルの端部に保持された第
2砥石と、 回転運動を直線運動に変換する機構を具備し、第2ハウ
ジングを上下方向に移動させて第2砥石をワークに接離
させる第2送り手段と、を設けた請求項1〜請求項3の
うちいずれか1項に記載の研削盤。4. A second vertically arranged upright state on the opposite side of the grindstone driving device corresponding to the work holding device.
A grinding wheel drive unit, the second wheel drive unit includes a second housing supported by a holding cylinder on a frame via a static pressure bearing so as to be movable in a vertical direction, and a rotatable interior of the second housing. A second spindle, which is rotatably supported on the second spindle, a second grindstone held at the end of the second spindle corresponding to the workpiece, and a mechanism for converting a rotational motion into a linear motion. The grinding machine according to any one of claims 1 to 3, further comprising: a second feeding unit configured to move the second grindstone toward and away from the workpiece.
とナット部とから構成し、ボールネジを第2ハウジング
と同一軸線上に配設した請求項4に記載の研削盤。5. The grinding machine according to claim 4, wherein said second feed means comprises a motor, a ball screw and a nut, and wherein the ball screw is disposed on the same axis as the second housing.
に、静圧軸受を介して軸支した請求項4または請求項5
に記載の研削盤。6. The second spindle is supported in the second housing through a hydrostatic bearing in the second housing.
Grinding machine according to 1.
の間には、ハウジングを回り止めするための回り止め手
段を設けた請求項1〜請求項6のうちいずれか1項に記
載の研削盤。7. The grinding machine according to claim 1, further comprising a detent means for detenting the housing between the housing and the holding cylinder on the frame. .
筒とのいずれか一方に設けられたガイド筒と、ハウジン
グと保持筒との他方に設けられ、ガイド筒内に静圧軸受
を介して摺動可能に嵌合されたガイドロッドとからなる
請求項7に記載の研削盤。8. The detent means is provided on a guide cylinder provided on one of the housing and the holding cylinder, and is provided on the other of the housing and the holding cylinder, and slides in the guide cylinder via a hydrostatic bearing. The grinding machine according to claim 7, comprising a guide rod movably fitted.
の関連部材の重量を支承して、送り手段によるハウジン
グの移動時のバランスを保つためのバランス機構を具備
する請求項7または請求項8に記載の研削盤。9. The rotation preventing device according to claim 7, further comprising a balance mechanism for supporting the weight of the housing and its related members to maintain a balance when the housing is moved by the feeding device. Grinding machine.
小回動を許容して、ハウジングを上下方向へ微調節移動
させるための微調節送り機構を具備する請求項7〜請求
項9のうちいずれか1項に記載の研削盤。10. The device according to claim 7, wherein the rotation preventing means includes a fine adjustment feeding mechanism for finely moving the housing in a vertical direction while allowing a slight rotation of the housing. The grinder according to claim 1.
静圧軸受の上下空間を連通するための連通孔を形成した
請求項3に記載の研削盤。11. A flange on the spindle includes:
The grinding machine according to claim 3, wherein a communication hole for communicating the upper and lower spaces of the hydrostatic bearing is formed.
持筒との間には、第2ハウジングを回り止めするための
第2回り止め手段を設けた請求項4〜請求項6のうちい
ずれか1項に記載の研削盤。12. The device according to claim 4, further comprising a second detent means for detenting the second housing between the second housing and the holding cylinder on the frame. Grinding machine according to item.
ングと保持筒とのいずれか一方に設けられたガイド筒
と、第2ハウジングと保持筒との他方に設けられ、ガイ
ド筒内に静圧軸受を介して摺動可能に嵌合されたガイド
ロッドとからなる請求項12に記載の研削盤。13. The second rotation preventing means is provided on a guide cylinder provided on one of the second housing and the holding cylinder, and is provided on the other of the second housing and the holding cylinder. 13. The grinding machine according to claim 12, comprising a guide rod slidably fitted via a pressure bearing.
は、静圧軸受の上下空間を連通するための連通孔を形成
した請求項6に記載の研削盤。14. The grinding machine according to claim 6, wherein a communication hole for communicating the upper and lower spaces of the hydrostatic bearing is formed in the flange portion on the second spindle.
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