JPH11276860A - Treatment of fluorocarbon by decomposition and decomposition treatment device - Google Patents

Treatment of fluorocarbon by decomposition and decomposition treatment device

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JPH11276860A
JPH11276860A JP10100378A JP10037898A JPH11276860A JP H11276860 A JPH11276860 A JP H11276860A JP 10100378 A JP10100378 A JP 10100378A JP 10037898 A JP10037898 A JP 10037898A JP H11276860 A JPH11276860 A JP H11276860A
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JP
Japan
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fluorocarbon
gas
abatement
agent
decomposition
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Application number
JP10100378A
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Japanese (ja)
Inventor
Kenji Otsuka
健二 大塚
Hiroshi Waki
弘 脇
Yoji Nawa
洋二 名和
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Japan Pionics Ltd
Original Assignee
Japan Pionics Ltd
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Publication date
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    • Y02C—CAPTURE, STORAGE, SEQUESTRATION OR DISPOSAL OF GREENHOUSE GASES [GHG]
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To make it possible to continuously decompose a fluorocarbon at a comparatively lower temperature and with high efficiency by bringing a gas containing the fluorocarbon into contact with an eliminator containing an aluminum oxide as an active principle at a specific temperature to decompose the fluorocarbon and thereby forming aluminum fluoride. SOLUTION: When a gas containing a fluorocarbon is treated with a fluorocarbon decomposition treatment device structured of elimination columns 1, 1' aligned in two parallel rows, eliminators 2, 2' containing an aluminum oxide as an active principle are charged in the elimination columns 1, 1', respectively. The fluorocarbon is decomposed by bringing the gas into contact with the eliminators 2, 2' at 400 deg.C or higher to decompose the fluorocarbon and, consequently, aluminum fluoride is formed. Further, the eliminators 2, 2' which are no longer capable of decomposing the fluorocarbon are regenerated by bringing the eliminators 2, 2' into contact with the gas containing water vapor under heat. The fluorine fixed as the aluminum fluoride in the eliminators 2, 2' is discharged as hydrogen fluoride, and aluminum is recycled as aluminum oxide.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明はフルオロカーボン含
有ガスの分解処理方法および分解処理装置に関する。さ
らに詳細には冷媒、発泡剤、溶剤などに使用されるほ
か、半導体製造工程などで使用されたり、アルミニウム
の精練工程で副生するヒドロフルオロカーボンおよびパ
ーフルオロカーボンの分解処理方法および分解処理装置
に関する。The present invention relates to a method and an apparatus for decomposing a fluorocarbon-containing gas. More specifically, the present invention relates to a method and an apparatus for decomposing hydrofluorocarbons and perfluorocarbons used in a semiconductor manufacturing process or the like or used as a by-product in an aluminum scouring process, in addition to being used as a refrigerant, a foaming agent, a solvent, and the like.

【０００２】[0002]

【従来の技術】炭化水素の水素の一部が弗素に置換され
たヒドロフルオロカーボン、および水素の全てが弗素に
置換されたパーフルオロカーボンなどのフルオロカーボ
ンは冷媒、発泡剤、溶剤等として広く使用されているほ
か半導体製造工程などにおいても使用されている。2. Description of the Related Art Fluorocarbons such as hydrofluorocarbons in which part of hydrogen of hydrocarbons are substituted by fluorine and perfluorocarbons in which all of hydrogen is substituted by fluorine are widely used as refrigerants, blowing agents, solvents and the like. It is also used in semiconductor manufacturing processes and the like.

【０００３】また、フルオロカーボンのうちでもＣＦ4
およびＣ2 Ｆ6 は、シリコンウェハー表面のクリーニン
グおよびエッチング剤、プラズマＣＶＤチャンバーのク
リーニング剤や、光ファイバー用ドーピング剤、液晶Ｔ
ＦＴ製造時のエッチング剤として使用されるなど半導体
工業の発展とともにその使用量が増加している。しかし
ながら、このガスは水に対する溶解度は小さく、酸やア
ルカリともほとんど反応しないなど室温では非常に安定
であるほか、高温下においても安定である。これらのフ
ルオロカーボンは地球の温暖化をもたらす物質であるこ
とから、使用された後外気に排出する場合には、排出に
先立って分解処理する必要がある。またアルミニウムの
精練工程では大量にＣＦ4 が生成排出されることから、
このＣＦ4 も分解処理する必要がある。[0003] Among fluorocarbons, CF 4
And C 2 F 6 are cleaning and etching agents for silicon wafer surfaces, cleaning agents for plasma CVD chambers, doping agents for optical fibers, and liquid crystal T
The use amount thereof has been increasing with the development of the semiconductor industry, such as being used as an etching agent in FT production. However, this gas has a low solubility in water, and is very stable at room temperature such that it hardly reacts with acids or alkalis, and is also stable at high temperatures. Since these fluorocarbons are substances that cause global warming, when they are discharged to the outside air after being used, they need to be decomposed before being discharged. In addition, a large amount of CF 4 is produced and discharged in the aluminum refining process.
This CF 4 also needs to be decomposed.

【０００４】炭化水素の水素を弗素および塩素で置換し
たクロロフルオロカーボンはオゾン層を破壊する物質で
あることから、使用された後排出に先立って分解処理す
る必要がある。このためこれまでクロロフルオロカーボ
ンの分解処理に関する各種の研究がなされている。クロ
ロフルオロカーボンおよびフルオロカーボンを含めた一
般的にフロンと称されるものを分解処理する方法として
は、従来から、燃焼熱分解法、プラズマ分解法、
超臨界水分解法、試薬分解法、触媒分解法などの分
解方法が知られている。[0004] Chlorofluorocarbons obtained by substituting hydrogen of hydrocarbons with fluorine and chlorine are substances that destroy the ozone layer. Therefore, it is necessary to decompose the chlorofluorocarbons after their use and before discharging them. For this reason, various studies on the decomposition treatment of chlorofluorocarbon have been made. As a method for decomposing what is generally called chlorofluorocarbons and fluorocarbons including fluorocarbons, conventionally, there are combustion pyrolysis, plasma decomposition,
Decomposition methods such as a supercritical water decomposition method, a reagent decomposition method, and a catalytic decomposition method are known.

【０００５】しかし、これらの分解処理方法には次のよ
うな問題点があった。すなわち、燃焼熱分解法では一
般的なフロンを分解することはできるものの、ＣＦ4 の
場合には高温でなければ十分な分解率が得られず、フロ
ンを十分に分解させ得るような燃焼条件では燃焼中に窒
素酸化物が大量に発生するという不都合がある。プラ
ズマ分解法は電力やプラズマガス等にかかるランニング
コストが高く経済性に問題がある。超臨界水分解法は
４００℃の温度で３２０気圧以上の高圧を必要とするこ
とから、処理装置が大型となるばかりでなく、処理費用
が高額となる不都合がある。試薬分解法はナトリウム
ナフタレニドを用いてフロンを還元的に分解する方法で
あるが、安定した分解率が得られないという不都合があ
る。また、触媒分解法は、高温下で貴金属触媒を用い
た加水分解方法であり、フロンの分解副生成物である弗
化水素により触媒が腐食されるために十分な処理能力が
得られていない。この問題を解消するために耐食性に優
れた触媒坦体の研究が行われてきたが、いまだ効果的な
ものは見出されていない。[0005] However, these decomposition methods have the following problems. That is, although it is possible to decompose the common CFCs combustion pyrolysis, sufficient degradation rates obtained unless high temperature in the case of CF 4, the combustion conditions, such as capable of sufficiently decomposing the chlorofluorocarbon There is the disadvantage that large amounts of nitrogen oxides are generated during combustion. The plasma decomposition method has a high running cost for electric power, plasma gas, and the like, and has a problem in economy. Since the supercritical water splitting method requires a high pressure of 320 atm or more at a temperature of 400 ° C., not only the processing apparatus becomes large, but also the processing cost becomes high. The reagent decomposition method is a method of reductively decomposing Freon using sodium naphthalenide, but has a disadvantage that a stable decomposition rate cannot be obtained. Further, the catalytic decomposition method is a hydrolysis method using a noble metal catalyst at a high temperature, and a sufficient treatment capacity is not obtained because the catalyst is corroded by hydrogen fluoride which is a by-product of decomposition of chlorofluorocarbon. In order to solve this problem, research on a catalyst carrier having excellent corrosion resistance has been conducted, but no effective carrier has been found yet.

【０００６】[0006]

【発明が解決しようとする課題】以上のように各種のフ
ロン分解方法が研究されているが、特に、ＣＦ4 等のよ
うなパーフルオロカーボンの場合には、熱的にも、化学
的にも極めて安定性が高く、上記の処理技術を用いても
分解処理することができない。これらのことから、フル
オロカーボンとりわけパーフルオロカーボンを比較的低
い温度で、効率良く、しかも連続的に分解処理し得る方
法の開発が強く望まれていた。As described above, various methods for decomposing CFCs have been studied. In particular, in the case of perfluorocarbons such as CF 4 and the like, both of them are extremely thermally and chemically. It has high stability and cannot be decomposed by using the above-mentioned processing techniques. For these reasons, there has been a strong demand for the development of a method capable of efficiently and continuously decomposing fluorocarbons, particularly perfluorocarbons, at a relatively low temperature.

【０００７】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明者らは、これら従
来技術の欠点を解決し、地球の温暖化をもたらすフルオ
ロカーボンを分解処理する方法を得るべく鋭意研究を重
ねた結果、フルオロカーボンを含むガスを酸化アルミニ
ウムを有効成分とする除害剤と４００℃以上の温度で接
触させることによりフルオロカーボンを分解し弗化アル
ミニウムを形成させることを見出した。また、フルオロ
カーボンを含むガスに水蒸気を共存させることによりフ
ルオロカーボンの分解処理能力が増加することを見出し
た。さらに、フルオロカーボンを分解処理した後の除害
剤を水蒸気共存下に加熱することによって再生し、再使
用することができること、そしてフルオロカーボンの分
解処理と除害剤の再生操作を組み合わせることにより連
続的に効率よくフルオロカーボンを分解処理し得ること
等を見い出し本発明を完成した。Means for Solving the Problems The present inventors have made intensive studies to solve the drawbacks of the prior art and to obtain a method for decomposing a fluorocarbon which causes global warming. Was contacted with a scavenger containing aluminum oxide as an active ingredient at a temperature of 400 ° C. or more to decompose fluorocarbons to form aluminum fluoride. In addition, it has been found that by coexisting water vapor with a gas containing a fluorocarbon, the capability of decomposing the fluorocarbon is increased. Furthermore, the harmless agent after the decomposition treatment of the fluorocarbon can be regenerated and reused by heating in the presence of steam, and continuously by combining the decomposition treatment of the fluorcarbon and the regeneration operation of the harmless agent. It has been found that the fluorocarbon can be efficiently decomposed, and the present invention has been completed.

【０００８】すなわち本発明は、フルオロカーボンを含
有するガスを酸化アルミニウムを有効成分とする除害剤
と４００℃以上の温度で接触させて該フルオロカーボン
を分解し弗化アルミニウムを形成させることを特徴とす
るフルオロカーボンの分解処理方法である。That is, the present invention is characterized in that a fluorocarbon-containing gas is brought into contact with a scavenger containing aluminum oxide as an active ingredient at a temperature of 400 ° C. or more to decompose the fluorocarbon to form aluminum fluoride. This is a method for decomposing fluorocarbon.

【０００９】また本発明は、フルオロカーボンを含有す
るガスを水蒸気および／または酸素の共存下に酸化アル
ミニウムを有効成分とする除害剤と４００℃以上の温度
で接触させて該フルオロカーボンを分解し弗化アルミニ
ウムを形成させることを特徴とするフルオロカーボンの
分解処理方法である。Further, according to the present invention, a fluorocarbon-containing gas is brought into contact with a scavenger containing aluminum oxide as an active ingredient at a temperature of 400 ° C. or more in the presence of steam and / or oxygen to decompose the fluorocarbon and fluorinate it. This is a fluorocarbon decomposition treatment method characterized by forming aluminum.

【００１０】さらに本発明は、フルオロカーボンを酸化
アルミニウムを有効成分とする除害剤で分解処理した後
の除害剤を４００℃以上の温度で水蒸気の共存下に加熱
することにより再生し、再使用することを特徴とするフ
ルオロカーボンの分解処理方法でもある。[0010] Further, the present invention provides a method for regenerating a fluorocarbon by decomposing a fluorocarbon with an aggressive agent containing aluminum oxide as an active ingredient, and then heating the fluorocarbon at a temperature of 400 ° C. or higher in the presence of steam to reuse the reclaimed material. The method is also a method for decomposing a fluorocarbon.

【００１１】さらにまた本発明は、酸化アルミニウムを
有効成分とする除害剤を充填した除害筒を２筒以上並列
に接続し、ガス流路を切り替えることにより少なくとも
１筒でフルオロカーボンの分解を行い、その間に少なく
とも１筒で除害剤の再生を行うことにより連続的にフル
オロカーボンの分解処理を行うことを特徴とするフルオ
ロカーボンの分解処理方法である。Further, the present invention is characterized in that two or more abatement cylinders filled with an abatement agent containing aluminum oxide as an active ingredient are connected in parallel, and the fluorocarbon is decomposed in at least one cylinder by switching gas passages. A method for decomposing fluorocarbons, characterized in that the processing of the fluorocarbons is performed continuously by regenerating the abatement agent in at least one cylinder in the meantime.

【００１２】このほか本発明は酸化アルミニウムを有効
成分とする除害剤が充填された除害筒に、フルオロカー
ボンを含有するガスを単独、もしくは水蒸気および／ま
たは酸素共存下に流通させて該除害剤と接触させて、該
フルオロカーボン中の弗素を弗化アルミニウムに変換す
ることにより分解処理した後の除害剤を、水蒸気の共存
下に加熱することにより再生し、再使用することができ
る構成としたことを特徴とするフルオロカーボンの分解
処理装置である。In addition, the present invention provides a gas elimination cylinder filled with a harmful agent containing aluminum oxide as an active ingredient, by passing a gas containing a fluorocarbon alone or in the presence of steam and / or oxygen. The detoxifying agent after being decomposed by converting fluorine in the fluorocarbon into aluminum fluoride by contact with an agent is regenerated by heating in the coexistence of steam, and can be reused. This is a fluorocarbon decomposition treatment apparatus characterized in that:

【００１３】さらに加えて本発明は、酸化アルミニウム
を有効成分とする除害剤が充填された除害筒が２筒以上
並列に接続され、ガス流路を切り替えることにより少な
くとも１筒でフルオロカーボンの分解を行い、その間に
少なくとも１筒で除害剤の再生を行うことにより連続的
にフルオロカーボンの分解処理を行うことができる構成
としたことを特徴とするフルオロカーボンの分解処理装
置である。[0013] In addition, the present invention relates to a detoxification cylinder filled with a detoxification agent containing aluminum oxide as an active ingredient, and two or more detoxification cylinders are connected in parallel, and by switching a gas flow path, at least one destruction of fluorocarbon is performed. , And by performing regeneration of the abatement agent in at least one cylinder during the period, a fluorocarbon decomposition treatment can be continuously performed.

【００１４】[0014]

【発明の実施の形態】本発明は、フルオロカーボンを含
有するガスの分解処理に適用される。分解処理の対象と
なるフルオロカーボンとしては、ヒドロフルオロカーボ
ン、パーフルオロカーボン類すべてに適用される。例え
ばヒドロフルオロカーボンとしてはＣＨ3 Ｆ、ＣＨ2 Ｆ
2 、ＣＨＦ3 、Ｃ2 Ｈ2 Ｆ4 、Ｃ2 Ｈ4 Ｆ2 等があり、
パーフルオロカーボンとしてはＣＦ4 、Ｃ2 Ｆ6 、Ｃ3
Ｆ8 、Ｃ4 Ｆ8 、およびＣ5 Ｆ12 等が挙げられる。こ
れらのフルオロカーボンを含む空気、窒素、酸素、水
素、希ガスなどの分解処理に適用される。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention is applied to a decomposition treatment of a gas containing a fluorocarbon. The fluorocarbon to be decomposed is applied to all hydrofluorocarbons and perfluorocarbons. For example, as hydrofluorocarbons, CH 3 F, CH 2 F
There are 2, CHF 3, C 2 H 2 F 4, C 2 H 4 F 2 or the like,
Perfluorocarbons include CF 4 , C 2 F 6 , C 3
F 8 , C 4 F 8 , C 5 F 12 and the like. The present invention is applied to a decomposition treatment of air, nitrogen, oxygen, hydrogen, a rare gas or the like containing these fluorocarbons.

【００１５】本発明において、除害剤は有効成分として
酸化アルミニウムを含むものであり、酸化アルミニウム
単独のほか、実質的に反応に不活性な金属酸化物が含ま
れるものであっても用いることができる。また、触媒担
体、吸着剤として酸化アルミニウムの成形品が市販され
ていることからそれらを用いることもできる。In the present invention, the harm-removing agent contains aluminum oxide as an active ingredient. In addition to aluminum oxide alone, it can be used even if it contains a metal oxide which is substantially inert to the reaction. it can. Also, since aluminum oxide molded products are commercially available as a catalyst carrier and an adsorbent, they can also be used.

【００１６】除害剤の形状に特に制限はないが、通常は
球状、円柱状、不定形の破砕状物などが用いられる。こ
のほかハニカム状に成形されたものなども用いることが
できる。また、除害剤の大きさは除害剤の用いられる形
態によって適宜選択することができる。Although there is no particular limitation on the shape of the harm-removing agent, it is usually used in the form of spheres, columns or irregular crushed materials. In addition, those formed in a honeycomb shape can also be used. Further, the size of the abatement agent can be appropriately selected depending on the form in which the abatement agent is used.

【００１７】本発明において、除害剤は固定床として用
いられるほか、移動床、流動床として用いることもでき
る。通常は除害剤を除害筒内に充填しこの除害筒にフル
オロカーボンを含有するガスを流して除害剤と接触させ
ることにより、フルオロカーボンを分解処理する。フル
オロカーボンと除害剤とを接触させる温度は、４００℃
以上、好ましくは５００〜８００℃である。温度が４０
０℃以下ではフルオロカーボンの分解が難しく、一方８
００℃以上では除害剤の熱劣化に伴いフルオロカーボン
の分解処理能力が低下するほか、除害筒に耐熱性の高い
材料が要求される不都合がある。フルオロカーボンを分
解処理する際の圧力は通常は常圧で行われるが、減圧あ
るいは加圧下で行うこともできる。In the present invention, the abatement agent can be used not only as a fixed bed but also as a moving bed or a fluidized bed. Usually, the abatement agent is filled in the abatement cylinder, and the fluorocarbon is decomposed by flowing a gas containing the fluorocarbon into the abatement cylinder to contact the abatement agent. The temperature at which the fluorocarbon and the abatement agent are brought into contact is 400 ° C.
As described above, the temperature is preferably 500 to 800 ° C. Temperature 40
Below 0 ° C, fluorocarbons are difficult to decompose, while 8
If the temperature is higher than 00 ° C., the decomposition performance of the fluorocarbon is reduced due to the thermal deterioration of the abatement agent, and there is an inconvenience that a material having high heat resistance is required for the abatement cylinder. The pressure at which the fluorocarbon is decomposed is usually carried out at normal pressure, but it can also be carried out under reduced or increased pressure.

【００１８】本発明においてフルオロカーボンを含むガ
スの流速に特に制限はないが、一般にガス中に含有され
るフルオロカーボンの濃度が高いほど流速を小さくする
ことが好ましい。このため除害筒はフルオロカーボンの
濃度、処理対象ガスの量などに応じて設計されるが、フ
ルオロカーボン濃度が０．１％以下のような比較的低濃
度では空筒基準線速度（ＬＶ）が０．５〜５０ｃｍ／ｓ
ｅｃ、フルオロカーボン濃度が０．１〜１％程度では空
筒基準線速度（ＬＶ）が０．０５〜２０ｃｍ／ｓｅｃ、
フルオロカーボン濃度が１％以上のような高濃度では空
筒基準線速度（ＬＶ）が１０ｃｍ／ｓｅｃ以下の範囲と
なるように設計することが好ましい。従って、半導体製
造プロセスから定常的に排出される場合のように比較的
高い濃度の場合には１０ｃｍ／ｓｅｃ以下が一般的な基
準となる。In the present invention, the flow rate of the gas containing the fluorocarbon is not particularly limited, but it is generally preferable that the flow rate be reduced as the concentration of the fluorocarbon contained in the gas increases. For this reason, the abatement cylinder is designed according to the concentration of the fluorocarbon, the amount of the gas to be treated, and the like. However, when the fluorocarbon concentration is relatively low, such as 0.1% or less, the empty cylinder reference linear velocity (LV) becomes zero. 0.5 to 50 cm / s
ec, when the fluorocarbon concentration is about 0.1 to 1%, the cylinder reference linear velocity (LV) is 0.05 to 20 cm / sec,
At a high concentration such as a fluorocarbon concentration of 1% or more, it is preferable to design the cylinder reference linear velocity (LV) to be in a range of 10 cm / sec or less. Therefore, in the case of a relatively high concentration such as a case where the waste gas is constantly discharged from the semiconductor manufacturing process, the standard is 10 cm / sec or less.

【００１９】このようにフルオロカーボンを含むガスを
４００℃以上の温度で酸化アルミニウムを有効成分とす
る除害剤と接触させることにより、フルオロカーボン中
のフッ素は弗化アルミニウムに変換され、炭素は二酸化
炭素として放出される。By contacting a gas containing a fluorocarbon with a scavenger containing aluminum oxide as an active ingredient at a temperature of 400 ° C. or more, fluorine in the fluorocarbon is converted into aluminum fluoride and carbon is converted into carbon dioxide. Released.

【００２０】なお、フルオロカーボンの種類によって
は、酸化アルミニウムを有効成分とする除害剤と接触さ
せて分解処理する際に、除害剤表面にカーボンが析出し
たり、処理能力が低下する場合がある。また除害筒出口
ガス中に一酸化炭素が流出する場合がある。このような
フルオロカーボンを処理する場合には、分解処理する際
に酸素を共存させることによってこれらの問題点を解消
し、効率よく分解処理することができる。ここで、酸素
を共存させる方法としては、フルオロカーボンを含むガ
スに純酸素を添加することのほか、空気を添加すること
によっても行うことができる。Depending on the type of fluorocarbon, carbon may precipitate on the surface of the harm-removing agent or the treatment capacity may be reduced when the decomposition treatment is carried out by contacting the harmful agent with aluminum oxide as an active ingredient. . Further, carbon monoxide may flow out of the gas at the outlet of the abatement cylinder. In the case of treating such a fluorocarbon, these problems can be solved by coexisting oxygen during the decomposition treatment, and the decomposition treatment can be performed efficiently. Here, as a method for coexisting oxygen, it can be performed by adding pure oxygen to a gas containing a fluorocarbon or by adding air.

【００２１】本発明においてフルオロカーボンを含むガ
スを酸化アルミニウムを有効成分とする除害剤と４００
℃以上の温度で接触させて分解処理する際に、水蒸気を
共存させることによって除害剤単位重量当たりの処理能
力を増大させることができる。この方法においてはガス
中の水蒸気分圧が高くなるにしたがって処理能力が増加
する。しかし、水蒸気分圧が高すぎる場合には分解率の
低下を生じることや処理能力の低下を生じることから、
通常はガス中の水蒸気分圧として１５０ｍｍＨｇ以下、
好ましくは１００ｍｍＨｇ以下である。In the present invention, a gas containing a fluorocarbon is used as a scavenger containing aluminum oxide as an active ingredient.
When decomposing by contacting at a temperature of not less than ° C., the treatment capacity per unit weight of the abatement agent can be increased by coexisting steam. In this method, the processing capacity increases as the partial pressure of water vapor in the gas increases. However, if the partial pressure of water vapor is too high, the decomposition rate will decrease and the processing capacity will decrease,
Normally, the partial pressure of water vapor in the gas is 150 mmHg or less,
Preferably it is 100 mmHg or less.

【００２２】水蒸気を共存させる方法は、例えばフルオ
ロカーボンを含むガスを常温で水に接触させて水分を含
ませたのち加熱された除害筒に導入する方法、または水
もしくは水蒸気を除害筒の入口でフルオロカーボンを含
むガスに添加する方法等がある。フルオロカーボンに水
蒸気を共存させて分解処理する際の操作条件として、通
常は前記の水蒸気を共存させない場合の条件に準じて行
うことができる。The method for coexisting water vapor is, for example, a method in which a gas containing a fluorocarbon is brought into contact with water at room temperature to contain water and then introduced into a heated detoxification cylinder, or water or steam is introduced into the detoxification cylinder at the inlet. For adding to a gas containing a fluorocarbon. The operating conditions for the decomposition treatment in the presence of water vapor in the fluorocarbon can be generally carried out in accordance with the above-described conditions in the case where no water vapor is present.

【００２３】本発明において、フルオロカーボンを含む
ガスを分解処理し浄化能力の低下した除害剤、もしくは
除害能力を失った除害剤は加熱下に水蒸気を含むガスと
接触させることによって再生することができる。さら
に、再生したのち除害剤として再使用することができ
る。この再生処理によって除害剤中に弗化アルミニウム
として固定されていた弗素は弗化水素として系外に排出
され、アルミニウムは酸化アルミニウムとして再生され
る。In the present invention, a gas containing fluorocarbon is decomposed to reduce the purifying ability by decomposing a gas containing the fluorocarbon, or a gas removing agent having lost the gas removing ability is regenerated by bringing the gas into contact with a gas containing water vapor under heating. Can be. Furthermore, after regenerating, it can be reused as an abatement agent. Fluorine fixed as aluminum fluoride in the abatement agent is discharged out of the system as hydrogen fluoride by this regeneration treatment, and aluminum is regenerated as aluminum oxide.

【００２４】再生方法としては、４００℃以上の温度に
加熱された除害筒に、水蒸気単独あるいは水蒸気を含む
空気、窒素、酸素、水素、希ガスなどを流通させること
によって行うことができる。再生の際の加熱温度が８０
０℃以上では除害剤の熱劣化を生じ、再生後の処理能力
が低下することから通常は４００〜８００℃、好ましく
は５００〜８００℃程度である。また水蒸気分圧、ガス
の流速などに特に制限はないが、水蒸気分圧が低い場合
には再生に長時間を要することから通常は５ｍｍＨｇ以
上、好ましくは１０ｍｍＨｇ以上、より好ましくは１５
ｍｍＨｇ以上である。The regeneration method can be carried out by flowing steam alone or air, nitrogen, oxygen, hydrogen, a rare gas or the like containing steam through the abatement cylinder heated to a temperature of 400 ° C. or higher. Heating temperature during regeneration is 80
If the temperature is 0 ° C or more, the abatement agent is thermally deteriorated, and the treatment capacity after regeneration is reduced. There are no particular restrictions on the water vapor partial pressure, the gas flow rate, and the like. However, when the water vapor partial pressure is low, regeneration takes a long time, so it is usually 5 mmHg or more, preferably 10 mmHg or more, and more preferably 15 mmHg or more.
mmHg or more.

【００２５】また、再生の際の水蒸気単独、あるいは水
蒸気を含む酸素、水素、窒素、空気、希ガスの全圧とし
ては常圧、減圧あるいは加圧状態であってもよく特に限
定されるものではない。再生操作におけるの水蒸気を含
むガスの流速に特に制限はないが、通常は空筒基準線速
度（ＬＶ）で０．５〜１５０ｃｍ／ｓｅｃ、好ましくは
２〜１００ｃｍ／ｓｅｃ程度である。In the regeneration, the water vapor alone or the total pressure of oxygen, hydrogen, nitrogen, air and rare gas containing water vapor may be normal pressure, reduced pressure or pressurized state, and is not particularly limited. Absent. The flow rate of the gas containing water vapor in the regeneration operation is not particularly limited, but is usually 0.5 to 150 cm / sec, preferably about 2 to 100 cm / sec, in terms of the cylinder reference linear velocity (LV).

【００２６】このように除害剤を再生、再使用すること
ができることから、除害筒を２列並列に配置し、片方の
除害筒ではフルオロカーボンの分解処理を行い、その間
に他の除害筒では除害剤の再生操作を行う方法を切り替
え弁を介して交互に行うことにより、連続的にフルオロ
カーボンを分解処理することができる。この処理方法に
おいて、除害筒を２筒とするほか３筒、４筒等の複数列
を切り替え弁を介して配置することによって処理ガス量
の変動が大の場合においても効率よく連続的に分解処理
することができる。本発明におけるフルオロカーボンの
分解処理装置を図１により除害筒を２列並列に配置した
場合の例で示した。Since the abatement agent can be regenerated and reused as described above, the abatement cylinders are arranged in two rows in parallel, and one of the abatement cylinders is subjected to a decomposition treatment of the fluorocarbon, while the other abatement cylinder is used. In the cylinder, the method of performing the operation of regenerating the abatement agent is alternately performed via the switching valve, so that the fluorocarbon can be continuously decomposed. In this treatment method, two rows of abatement cylinders are used, and a plurality of rows of three cylinders, four cylinders, and the like are arranged via a switching valve to efficiently and continuously decompose even when a variation in the amount of processing gas is large. Can be processed. FIG. 1 shows an example of the apparatus for decomposing a fluorocarbon according to the present invention in which two lines of abatement cylinders are arranged in parallel.

【００２７】本発明においてフルオロカーボンの分解処
理後の除害剤を水蒸気と接触させて再生する場合には除
害筒出口のガス中に弗化水素が流出する。弗化水素は有
害物質であり排出するに先立って処理する必要がある。
弗化水素は常温で弗素系ガスを浄化し得る浄化剤と接触
させることにより容易に除去することができる。このよ
うな浄化剤としては、酸化亜鉛を主成分とする浄化剤
（特開平５−２３７３２４号公報）および水酸化ストロ
ンチウムを主成分とする浄化剤（特開平９−９９２１号
公報）などを用いる乾式浄化方法、および公知の湿式浄
化方法がある。これらの浄化方法をフルオロカーボンの
分解処理方法と組み合わせることにより、外部に弗素化
合物の流出のない完全な処理を行うことができる。In the present invention, when the abatement agent after the decomposition treatment of the fluorocarbon is brought into contact with steam for regeneration, hydrogen fluoride flows out into the gas at the outlet of the abatement cylinder. Hydrogen fluoride is a harmful substance and needs to be treated before being discharged.
Hydrogen fluoride can be easily removed by bringing it into contact with a purifying agent capable of purifying fluorine-based gas at room temperature. As such a purifying agent, a dry purifying agent using a purifying agent containing zinc oxide as a main component (JP-A-5-237324) and a purifying agent containing strontium hydroxide as a main component (JP-A-9-9921) is used. There are a purification method and a known wet purification method. By combining these purification methods with the decomposition treatment method of fluorocarbon, it is possible to carry out complete treatment without flowing out of the fluorine compound to the outside.

【００２８】[0028]

【実施例】次に本発明を実施例により具体的に説明する
が、本発明はこれらにより限定されるものではない。 実施例１ 触媒坦体用アルミナ（日産ガードラー（株）製、Ｈ−２
１８Ａ）を破砕し、篩分けした１２〜１６メッシュのア
ルミナを内径２３．０ｍｍ、長さ４００ｍｍのステンレ
ス製の除害筒に２４．９ｍＬ（充填長６０ｍｍ）充填
し、窒素ガスを流通させながら電気炉で７００℃に加熱
した。これにＣＦ4 ガスを２０００ｐｐｍ含有する窒素
ガスを、常圧下で５００ｍＬ／ｍｉｎ（空筒基準線速度
ＬＶ＝７ｃｍ／ｓｅｃ）の流量で流通させ、出口ガス
をガスクロマトグラフ（島津製作所（株）製、ＧＣ−４
Ｃ）によりモニターし、出口ガス中のＣＦ4 濃度が２０
ｐｐｍに達した点を破過点として、破過するまでの時間
を測定した。その結果から計算により処理能力（アルミ
ナ１Ｌ当たりに対する純粋なＣＦ4の処理量（Ｌ））を
求めた。結果を表１に示した。EXAMPLES Next, the present invention will be described specifically with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples. Example 1 Alumina for catalyst carrier (H-2 manufactured by Nissan Gardler Co., Ltd.)
18A) was crushed and sieved, and 24.9 mL (filling length: 60 mm) of a stainless steel scavenging cylinder having an inner diameter of 23.0 mm and a length of 400 mm filled with 12 to 16 mesh alumina was charged while flowing nitrogen gas. Heated to 700 ° C. in furnace. Nitrogen gas containing 2000 ppm of CF 4 gas was allowed to flow at a flow rate of 500 mL / min (normal linear velocity LV = 7 cm / sec) under normal pressure, and the outlet gas was gas chromatograph (manufactured by Shimadzu Corporation). GC-4
C) and the CF 4 concentration in the outlet gas is 20
The point at which ppm was reached was taken as the breakthrough point, and the time until breakthrough was measured. From the results, a processing capacity (a processing amount (L) of pure CF 4 per 1 L of alumina) was calculated. The results are shown in Table 1.

【００２９】[0029]

【表１】 表 １ 実施例 破過までの時間 ＣＦ4 ガスの除害量 （ｍｉｎ） （Ｌ／Ｌ除害剤） １ ２９８８ １２０．３Table 1 Example 1 Time to breakthrough CF 4 gas removal amount (min) (L / L removal agent) 1 2988 120.3

【００３０】実施例 ２ ＣＦ4 を含む窒素ガスを２０℃で水分飽和としたほか
は、実施例１と同様にして分解処理実験を行った。結果
を表２に示す。Example 2 A decomposition treatment experiment was performed in the same manner as in Example 1 except that the nitrogen gas containing CF 4 was saturated with water at 20 ° C. Table 2 shows the results.

【００３１】[0031]

【表２】 表 ２ 実施例 破過までの時間 ＣＦ4 ガスの除害量 （ｍｉｎ） （Ｌ／Ｌ除害剤） ２ ８９８８ ３６１．１TABLE 2 abatement amount of time CF 4 gas to Example breakthrough (min) (L / L Jogaizai) 2 8988 361.1

【００３２】実施例 ３ ＣＦ4 を含む窒素ガスをＣＦ4 を含む空気に変えたほか
は、実施例１と同様にして分解処理実験を行った。結果
を表３に示す。[0032] In addition to the nitrogen gas containing Example 3 CF 4 was changed to air containing CF 4 were carried out decomposition treatment experiments in the same manner as in Example 1. Table 3 shows the results.

【００３３】[0033]

【表３】 表 ３ 実施例 破過までの時間 ＣＦ4 ガスの除害量 （ｍｉｎ） （Ｌ／Ｌ除害剤） ３ ３５９８ １４４．５TABLE 3 abatement of time CF 4 gas to Example breakthrough (min) (L / L Jogaizai) 3 3598 144.5

【００３４】実施例 ４ ＣＦ4 をＣＨ2 Ｆ2 に変え、窒素を空気に変えたほか
は、実施例１と同様に分解処理実験を行った。結果を表
４に示す。Example 4 A decomposition treatment experiment was performed in the same manner as in Example 1 except that CF 4 was changed to CH 2 F 2 and nitrogen was changed to air. Table 4 shows the results.

【００３５】[0035]

【表４】 表 ４ 実施例 破過までの時間 ＣＨ2 Ｆ2 の除害量 （ｍｉｎ） （Ｌ／Ｌ除害剤） ４ ５９７６ ２４０．７Table 4 Example 4 Time to breakthrough CH 2 F 2 abatement amount (min) (L / L abatement agent) 4 5976 240.7

【００３６】実施例 ５ 実施例１で用いた分解処理後の除害剤を７００℃に加熱
し、常圧下において、２０℃で水分飽和した窒素ガスを
５００ｍＬ／ｍｉｎ（空筒基準線速度 ＬＶ＝５ｃｍ／
ｓｅｃ）の流量で４８時間流通させた。さらにその後乾
燥窒素ガスを７００℃の加熱常圧下において１２時間流
通しアルミナを再生した。次に実施例１と同様にＣＦ4
を２０００ｐｐｍ含有する窒素ガスを、常圧下で５００
ｍＬ／ｍｉｎ（空筒基準線速度 ＬＶ＝７ｃｍ／ｓｅ
ｃ）の流量で流通させ、破過までの時間を測定した。こ
のようにＣＦ4 分解処理、除害剤の再生操作を数回くり
返した。これらの結果を表５に示す。またＣＦ4 処理前
後において、除害筒内の入口側の除害剤をエネルギー分
散型Ｘ線分析装置（ＥＤＡＸ）により分析し弗素の含有
率を調べた。これらの結果を表６に示す。Example 5 The detoxifying agent after the decomposition treatment used in Example 1 was heated to 700 ° C., and nitrogen gas saturated with water at 20 ° C. and 500 mL / min at normal pressure was applied (air cylinder reference linear velocity LV = 5cm /
flow for 48 hours. Further, after that, a dry nitrogen gas was circulated under a heating normal pressure of 700 ° C. for 12 hours to regenerate alumina. Next, as in Example 1, CF 4
Nitrogen gas containing 2000 ppm
mL / min (Cylinder reference linear velocity LV = 7 cm / se
It was circulated at the flow rate of c), and the time until breakthrough was measured. In this way, the CF 4 decomposition treatment and the operation of regenerating the abatement agent were repeated several times. Table 5 shows the results. Before and after the CF 4 treatment, the abatement agent on the inlet side in the abatement cylinder was analyzed by an energy dispersive X-ray analyzer (EDAX) to check the fluorine content. Table 6 shows the results.

【００３７】[0037]

【表５】 表 ５ 除害剤使用回数 破過までの時間 ＣＦ4 ガスの除害量 （ｍｉｎ） （Ｌ／Ｌ除害剤） 初回 ２９９５ １２０．３ ２ ２６１４ １０５．４ ３ ２３１５ ９３．０ ４ ２１８６ ８７．８ ５ ２１３７ ８５．９Table 5 Table 5 Number of use of the abatement agent Time to breakthrough Amount of removal of CF 4 gas (min) (L / L abatement agent) First time 2995 120.3 2 2614 105.4 3 2315 93.0 4 2186 87.8 5 2137 85.9

【００３８】[0038]

【表６】 表 ６ 除害剤分析測定ポイント 除害剤中の弗素含有率 初回ＣＦ4 処理後 ６５％（アルミ含有率３２％） 初回再生後 ０．５％（アルミ含有率５３％） ２回目ＣＦ4 理後 ６４％（アルミ含有率３３％） ２回目初回再生後 ０．４％（アルミ含有率５３％） ３回目ＣＦ4 処理後 ６５％（アルミ含有率３２％） ３回目初回再生後 ０．６％（アルミ含有率５２％）Table 6 Table 6 Measurement points of harm-removing agent analysis Fluorine content in harm-removing agent 65% after first CF 4 treatment (32% aluminum content) 0.5% after first regeneration (53% aluminum content) Second time CF 4 64% after management (aluminum content 33%) 0.4% second initial reproduction after (aluminum content 53%) third CF 4 treatment 65% after (aluminum content 32%) the third initial reproduction after 0 0.6% (aluminum content 52%)

【００３９】実施例６ 実施例２の分解処理条件で、実施例５と同様の分解処
理、除害剤の再生操作のくり返しを行った（ＣＦ4 の分
解処理を２０℃での水分飽和で行ったほかは実施例５に
同じ）。結果を表７、８に示す。Example 6 The same decomposition treatment as in Example 5 and the regenerating operation of the abatement agent were repeated under the same decomposition treatment conditions as in Example 2 (the decomposition treatment of CF 4 was performed by water saturation at 20 ° C.). Otherwise the same as Example 5.) The results are shown in Tables 7 and 8.

【００４０】[0040]

【表７】 表 ７ 除害剤使用回数 破過までの時間 ＣＦ4 ガスの除害量 （ｍｉｎ） （Ｌ／Ｌ剤） 初回 ８９９０ ３６１．１ ２ ７８７０ ３１６．１ ３ ６７５３ ２７１．２Table 7 Table 7 Number of times of use of the abatement agent Time to breakthrough Amount of removal of CF 4 gas (min) (L / L agent) First time 8990 361.1 2 7870 316.1 3 6753 271.2

【００４１】[0041]

【表８】 表 ８ 除害剤分析測定ポイント 除害剤中の弗素含有率 初回ＣＦ4 処理後 ６５％（アルミ含有率３２％） 初回再生後 ０．４％（アルミ含有率５２％） ２回目ＣＦ4 処理後 ６４％（アルミ含有率３２％） ２回目初回再生後 ０．６％（アルミ含有率５３％） ３回目ＣＦ4 処理後 ６５％（アルミ含有率３２％） ３回目初回再生後 ０．５％（アルミ含有率５２％）[Table 8] Table 8: Measurement points of the abatement agent analysis Fluorine content in the abatement agent 65% after first CF 4 treatment (32% aluminum content) 0.4% after first regeneration (52% aluminum content) Second time After CF 4 treatment 64% (aluminum content 32%) After the second initial regeneration 0.6% (aluminum content 53%) After the third CF 4 treatment 65% (aluminum content 32%) After the third initial regeneration 0 0.5% (Aluminum content 52%)

【００４２】実施例７実施例３の条件で、実施例５と同
様に分解処理と除害剤の再生のくり返しを行った（ＣＦ
4 を含むガスを窒素から空気に変えたほかは実施例６に
同じ）。結果を表９、１０に示す。Example 7 Under the same conditions as in Example 3, decomposition treatment and regeneration of the abatement agent were repeated in the same manner as in Example 5 (CF
Same as Example 6 except that the gas containing 4 was changed from nitrogen to air). The results are shown in Tables 9 and 10.

【００４３】[0043]

【表９】 表 ９ 除害剤使用回数 破過までの時間 ＣＦ4 ガスの除害量 （ｍｉｎ） （Ｌ／Ｌ剤） 初回 ３５９５ １４４．５ ２ ３１５０ １２６．５ ３ ２８７０ １１５．０Table 9 Table 9 Number of times of use of the abatement agent Time to breakthrough Amount of removal of CF 4 gas (min) (L / L agent) First time 3595 144.5 2 3150 126.5 3 2870 115.0

【００４４】[0044]

【表１０】 表 １０ 除害剤分析測定ポイント 除害剤中の弗素含有率 初回ＣＦ4 処理後 ６５％（アルミ含有率３２％） 初回再生後 ０．５％（アルミ含有率５２％） ２回目ＣＦ4 処理後 ６４％（アルミ含有率３３％） ２回目初回再生後 ０．４％（アルミ含有率５２％） ３回目ＣＦ4 理後 ６５％（アルミ含有率３２％） ３回目初回再生後 ０．６％（アルミ含有率５３％）Table 10 Table 10 Measurement points of harm-removing agent analysis Fluorine content in harm-removing agent 65% after first CF 4 treatment (32% aluminum content) 0.5% after first regeneration (52% aluminum content) Second time After CF 4 treatment 64% (aluminum content 33%) After second initial regeneration 0.4% (aluminum content 52%) After third CF 4 processing 65% (aluminum content 32%) After third initial regeneration 0 0.6% (Aluminum content 53%)

【００４５】実施例８ 実施例４の条件で、実施例５と同様にくり返し再生を行
った（ＣＨ4 をＣＨ2Ｆ2 に変え、窒素を空気に変えた
ほかは実施例５に同じ）。結果を表１１、１２に示す。Example 8 The same regeneration as in Example 5 was performed under the conditions of Example 4 (same as Example 5 except that CH 4 was changed to CH 2 F 2 and nitrogen was changed to air). The results are shown in Tables 11 and 12.

【００４６】[0046]

【表１１】 表 １１ 除害剤使用回数 破過までの時間 ＣＨ2 Ｆ2 ガスの除害量 （ｍｉｎ） （Ｌ／Ｌ剤） 初回 ５９８０ ２４０．８ ２ ５２８０ ２１２．０ ３ ４９３０ １９８．０ Table 11 Table 11 Number of times of use of the abatement agent Time to breakthrough Amount of removal of CH 2 F 2 gas (min) (L / L agent) First time 5980 240.8 2 5280 212.0 34930 198.0

【００４７】[0047]

【表１２】 表 １２ 除害剤分析測定ポイント 除害剤中の弗素含有率 初回ＣＦ4 処理後 ６５％（アルミ含有率３２％） 初回再生後 ０．６％（アルミ含有率５２％） ２回目ＣＦ4 処理後 ６４％（アルミ含有率３２％） ２回目初回再生後 ０．６％（アルミ含有率５３％） ３回目ＣＦ4 処理後 ６５％（アルミ含有率３２％） ３回目初回再生後 ０．４％（アルミ含有率５２％）Table 12 Table 12 Measurement points of harm-removing agent analysis Fluorine content in harm-removing agent 65% after first CF 4 treatment (32% aluminum content) 0.6% after first regeneration (52% aluminum content) Second time After CF 4 treatment 64% (aluminum content 32%) After the second initial regeneration 0.6% (aluminum content 53%) After the third CF 4 treatment 65% (aluminum content 32%) After the third initial regeneration 0 0.4% (Aluminum content 52%)

【００４８】実施例９ 実施例１と同じ除害剤を内径２３．０ｍｍ、長さ１００
０ｍｍのステンレス製の除害筒に８３ｍＬ（充填長２０
０ｍｍ）充填したものを２筒製作し、これらを電気管状
炉で７００℃に加熱保持した。一方の筒に窒素ガスを流
通させながらＣＦ4 を５０００ｐｐｍ含有する窒素ガス
を、加熱常圧下で５００ｍＬ／ｍｉｎ（空筒基準線速度
ＬＶ＝７ｃｍ／ｓｅｃ）の流量で２４時間流通させ
た。他の一方の筒には、２５℃で水分飽和した窒素ガス
を加熱常圧下で５００ｍＬ／ｍｉｎ（空筒基準線速度
ＬＶ＝７ｃｍ／ｓｅｃ）の流量で２０時間流通させた。
さらに乾燥窒素ガスを７００℃の加熱常圧下において４
時間流通し、除害剤の再生を行った。Example 9 The same abatement agent as in Example 1 was used, having an inner diameter of 23.0 mm and a length of 100.
83 mL in a 0 mm stainless steel scrubber (fill length 20
0 mm), and two tubes were filled, and these were heated and maintained at 700 ° C. in an electric tube furnace. A nitrogen gas containing 5000 ppm of CF 4 was passed through one of the cylinders at a flow rate of 500 mL / min (standard linear velocity of an empty cylinder LV = 7 cm / sec) for 24 hours under heating normal pressure. In the other cylinder, nitrogen gas saturated with water at 25 ° C. was heated to 500 mL / min under normal pressure (standard linear velocity for empty cylinder).
(LV = 7 cm / sec) for 20 hours.
Further, dry nitrogen gas is heated at 700 ° C. under normal pressure for 4 hours.
It circulated for a while, and the abatement agent was regenerated.

【００４９】これらの操作を交互に連続的に３サイクル
行い、ＣＦ4 を分解処理した。また、それらの分解処理
後のガスおよび再生排ガスを酸化亜鉛を主成分とする浄
化剤（酸化亜鉛８６％、酸化カリウム５％、アルミナ９
％）を内径１５０ｍｍ、長さ５００ｍｍのステンレス製
の筒に５．３Ｌ充填（充填長３００ｍｍ）した浄化筒に
流通させ、浄化筒出口ガスの分析を行った。ＣＦ4 を熱
伝導度型検出器付きガスクロマトグラフ（ＧＣ−４Ｃ、
島津製作所（株）製）で分析し、弗化水素を弗化水素用
検知管（（株）ガステック社製）でモニターし、窒素酸
化物を窒素酸化物用検知管（（株）ガステック社製）で
モニターした。これらの結果を表１３に示す。These operations were alternately and continuously performed for three cycles to decompose CF 4 . Further, the gas after the decomposition treatment and the regenerated exhaust gas are converted into a purifying agent containing zinc oxide as a main component (zinc oxide 86%, potassium oxide 5%, alumina 9
%) Was passed through a purifying cylinder filled with 5.3 L (filling length: 300 mm) of a stainless steel cylinder having an inner diameter of 150 mm and a length of 500 mm, and the outlet gas of the purifying cylinder was analyzed. CF 4 was converted to a gas chromatograph with a thermal conductivity detector (GC-4C,
Analyze by Shimadzu Corporation), monitor hydrogen fluoride with a hydrogen fluoride detector tube (Gastec Co., Ltd.), and monitor nitrogen oxides for nitrogen oxide detector tube (Gastec Co., Ltd.) (Made by the company). Table 13 shows the results.

【００５０】[0050]

【表１３】 表 １３ 測定ガスの種類 ３サイクル中の浄化筒 検出下限濃度 出口ガス中の濃度 （ｐｐｍ） ＣＦ4 Ｎ．Ｄ． ５ ＨＦ（Ｆ2 ） Ｎ．Ｄ． ０．２５ ＮＯ Ｎ．Ｄ． １ ＮＯ2 Ｎ．Ｄ． ０．５Table 13 Concentration of cleaning column detection limit concentration in the outlet gas of the type 3 in the cycle of the measurement gas (ppm) CF 4 N. D. 5 HF (F 2) N. D. 0.25 NO N.P. D. 1 NO 2 N. D. 0.5

【００５１】比較例 １〜２ 除害剤をチタニアおよびジルコニアに変更した以外は実
施例１と同じ条件でＣＦ4 の分解処理を行った。その結
果、分解実験開始直後から除害筒出口ガス中にＣＦ4 が
多量に流出していることが認められた。実験開始１時間
後において除害筒出口ガスを分析し、ＣＦ4 の分解率を
測定した。これらの結果を実施例１における場合と共に
表１４に示した。Comparative Examples 1 and 2 Decomposition treatment of CF 4 was performed under the same conditions as in Example 1 except that titania and zirconia were used as the scavengers. As a result, it was recognized that a large amount of CF 4 flowed out of the gas at the outlet of the abatement cylinder immediately after the start of the decomposition experiment. One hour after the start of the experiment, the gas at the outlet of the abatement cylinder was analyzed, and the decomposition rate of CF 4 was measured. The results are shown in Table 14 together with the results in Example 1.

【００５２】[0052]

【表１４】 表 １４ 除害剤の種類 １時間後の除害筒出口ガスのＣＦ4 濃度（ｐｐｍ） 分解率（％） 実施例１ 酸化アルミニウム ｎ．ｄ １００ 比較例１ 酸化チタン １７６０ １２ 比較例２ 酸化ジルコニウム １７００ １５Table 14 Types of harm-removing agents CF 4 concentration (ppm) in gas at the outlet of the harm-removing cylinder after 1 hour (ppm) Decomposition rate (%) Example 1 Aluminum oxide n. d 100 Comparative Example 1 Titanium oxide 1760 12 Comparative Example 2 Zirconium oxide 1700 15

【００５３】[0053]

【発明の効果】本発明のフルオロカーボンの分解処理方
法によれば、ヒドロフルオロカーボンのほか従来分解が
困難であったパーフルオロカーボンをも極めて効率よく
分解し無害化することができるようになった。また、分
解処理後の除害剤を効率よく再生することができ、さら
に除害筒を並列に複数列配置することによって、フルオ
ロカーボンの分解処理と除害剤の再生を平行して行うこ
とできることから、フルオロカーボンを連続的に効率よ
く分解処理することができるようになった。According to the method for decomposing fluorocarbon of the present invention, perfluorocarbon which has been difficult to decompose in addition to hydrofluorocarbon can be decomposed and detoxified extremely efficiently. Further, the abatement agent after the decomposition treatment can be efficiently regenerated, and furthermore, by disposing the abatement cylinders in a plurality of rows in parallel, the decomposition treatment of the fluorocarbon and the regeneration of the abatement agent can be performed in parallel. Thus, the fluorocarbon can be continuously and efficiently decomposed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】本発明における除害筒を２列並列に配置した分
解処理装置の例である。FIG. 1 is an example of a disassembly apparatus in which abatement cylinders according to the present invention are arranged in two rows in parallel.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１、１’ 除害筒 ２、２’ 除害剤 ３ フルオロカーボンを含むガス供給ライン ４、４’ 入口側切り替え弁 ５、５’ 出口側切り替え弁 ６ 排気ライン ７ 再生用水蒸気を含むガスの供給ライン ８、８’ 再生用ガス入り口切り替え弁 ９、９’ 再生用ガス出口切り替え弁 １０ 再生ガス排気ライン １１、１１’ ヒーター 1, 1 'abatement cylinder 2, 2' abatement agent 3 gas supply line containing fluorocarbon 4, 4 'inlet side switching valve 5, 5' outlet side switching valve 6 exhaust line 7 gas supply line containing steam for regeneration 8, 8 'Regeneration gas inlet switching valve 9, 9' Regeneration gas outlet switching valve 10 Regeneration gas exhaust line 11, 11 'Heater

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 フルオロカーボンを含有するガスを酸化
アルミニウムを有効成分とする除害剤と４００℃以上の
温度で接触させて該フルオロカーボンを分解し弗化アル
ミニウムを形成させることを特徴とするフルオロカーボ
ンの分解処理方法。1. Decomposition of a fluorocarbon, which comprises contacting a gas containing a fluorocarbon with a scavenger containing aluminum oxide as an active ingredient at a temperature of 400 ° C. or more to decompose the fluorocarbon to form aluminum fluoride. Processing method. 【請求項２】 フルオロカーボンを含有するガスを水蒸
気および／または酸素の共存下に酸化アルミニウムを有
効成分とする除害剤と４００℃以上の温度で接触させて
該フルオロカーボンを分解し弗化アルミニウムを形成さ
せることを特徴とするフルオロカーボンの分解処理方
法。2. A fluorocarbon-containing gas is contacted with a scavenger containing aluminum oxide as an active ingredient at a temperature of 400 ° C. or more in the presence of steam and / or oxygen to decompose the fluorocarbon to form aluminum fluoride. A method for decomposing a fluorocarbon. 【請求項３】 請求項１もしくは請求項２に記載の分解
処理方法によりフルオロカーボンを分解処理した後の除
害剤を、４００℃以上の温度で水蒸気の共存下で加熱す
ることにより再生し、再使用することを特徴とするフル
オロカーボンの分解処理方法。3. The abatement agent after the fluorocarbon is decomposed by the decomposition method according to claim 1 or 2, is regenerated by heating at a temperature of 400 ° C. or higher in the presence of steam. A method for decomposing fluorocarbon, which is used. 【請求項４】 酸化アルミニウムを有効成分とする除害
剤を充填した除害筒を２筒以上並列に接続し、ガス流路
を切り替えることにより少なくとも１筒でフルオロカー
ボンの分解を行い、その間に少なくとも１筒で除害剤の
再生を行うことにより連続的にフルオロカーボンの分解
処理を行うことを特徴とするフルオロカーボンの分解処
理方法。4. An abatement cylinder filled with an abatement agent containing aluminum oxide as an active ingredient is connected in parallel in two or more abatement cylinders, and at least one of the abatement cylinders is decomposed by switching a gas flow path. A method for decomposing a fluorocarbon, wherein the fluorocarbon is continuously decomposed by regenerating the abatement agent in one cylinder. 【請求項５】 フルオロカーボンがＣＨ3 Ｆ、ＣＨ2 Ｆ
2 、ＣＨＦ3 、Ｃ2Ｈ2 Ｆ4 、Ｃ2 Ｈ4 Ｆ2 、ＣＦ4 、
Ｃ2 Ｆ6 、Ｃ3 Ｆ8 、Ｃ4 Ｆ8 、およびＣ5Ｆ12から選
ばれる少なくとも１種である請求項１から請求項４のい
ずれかに記載のフルオロカーボンの分解処理方法。5. The fluorocarbon is CH 3 F or CH 2 F.
2, CHF 3, C 2 H 2 F 4, C 2 H 4 F 2, CF 4,
C 2 F 6, C 3 F 8, C 4 F 8, and C 5 at least one a cracking process for fluorocarbons according to any one of claims 1 to claim 4 selected from F 12. 【請求項６】 酸化アルミニウムを有効成分とする除害
剤が充填された除害筒に、フルオロカーボンを含有する
ガスを単独、もしくは水蒸気および／または酸素共存下
に流通させて該除害剤と接触させて、該フルオロカーボ
ン中の弗素を弗化アルミニウムに変換することにより分
解処理した後の除害剤を、水蒸気の共存下に加熱するこ
とにより再生し、再使用することができる構成としたこ
とを特徴とするフルオロカーボンの分解処理装置。6. A gas containing a fluorocarbon is passed alone or in the presence of steam and / or oxygen to a gas abatement cylinder filled with a gas abatement agent containing aluminum oxide as an active ingredient, and the gas comes into contact with the gas abatement agent. And converting the fluorine in the fluorocarbon into aluminum fluoride to thereby remove the detoxifying agent after the decomposition treatment by heating in the coexistence of water vapor so that it can be reused. Characteristic fluorocarbon decomposition treatment equipment. 【請求項７】 酸化アルミニウムを有効成分とする除害
剤が充填された筒が２筒以上並列に接続され、ガス流路
を切り替えることにより少なくとも１筒でフルオロカー
ボンの分解を行い、その間に少なくとも１筒で除害剤の
再生を行うことにより連続的にフルオロカーボンの分解
処理を行うことができる構成としたことを特徴とするフ
ルオロカーボンの分解処理装置。7. Two or more cylinders filled with an abatement agent containing aluminum oxide as an active ingredient are connected in parallel, and at least one of the cylinders is decomposed by switching a gas flow path to decompose the fluorocarbon. An apparatus for decomposing a fluorocarbon, characterized in that a fluorocarbon can be decomposed continuously by regenerating the abatement agent in a cylinder. 【請求項８】 フルオロカーボンがＣＨ3 Ｆ、ＣＨ2 Ｆ
2 、ＣＨＦ3 、Ｃ2Ｈ2 Ｆ4 、Ｃ2 Ｈ4 Ｆ2 、ＣＦ4 、
Ｃ2 Ｆ6 、Ｃ3 Ｆ8 、Ｃ4 Ｆ8 、およびＣ5Ｆ12から選
ばれる少なくとも１種である請求項６または請求項７に
記載のフルオロカーボンの分解処理装置。8. The fluorocarbon is CH 3 F, CH 2 F
2, CHF 3, C 2 H 2 F 4, C 2 H 4 F 2, CF 4,
C 2 F 6, C 3 F 8, C 4 F 8, and C 5 cracking facility of fluorocarbon according to claim 6 or claim 7 is at least one selected from F 12.
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