JPH1126856A - 反射型波長選択素子の曲げ機構 - Google Patents
反射型波長選択素子の曲げ機構Info
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- JPH1126856A JPH1126856A JP17447897A JP17447897A JPH1126856A JP H1126856 A JPH1126856 A JP H1126856A JP 17447897 A JP17447897 A JP 17447897A JP 17447897 A JP17447897 A JP 17447897A JP H1126856 A JPH1126856 A JP H1126856A
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Abstract
得ることができるレーザ波面の補正を可能にする。 【解決手段】共振器の一方を構成する反射型波長選択素
子を曲げる事によって該反射型波長選択素子から出射さ
れるレーザ光の波面を補正する反射型波長選択素子の曲
げ機構において、前記反射型波長選択素子の両端部を支
持する支持機構と、前記反射型波長選択素子の背面の略
中央部を押圧する押圧機構とを備えるようにしている。
Description
構成する反射型波長選択素子を曲げる事によって該反射
型波長選択素子から出射されるレーザ光の波面を補正す
る反射型波長選択素子用曲げ機構に関する。
てエキシマレーザの利用が注目されている。これは、エ
キシマレーザの波長が短いことから光露光の限界0.3
5μm以下に延ばせる可能性があること、同じ解像度な
ら従来用いていた水銀ランプのg線やi線に比較して焦
点深度が深いこと、レンズの開口数(NA)が小さくて
すみ、露光領域を大きくできること、大きなパワーが得
られること等の多くの優れた利点が期待できるからであ
る。
光装置の光源として用いる場合、エキシマレーザの波長
(KrFエキシマレーザの波長は248nm、ArFエ
キシマレーザでは193nm)で製作可能な光学系のレ
ンズの材料としては合成石英素材しかないが(CaF2
では加工が困難)、合成石英素材単一では色収差の機能
を持たせることはできない。
光の場合は、スペクトル線幅は300pmと広く、この
ままでは露光装置のレンズの色収差を無視することはで
きず、露光結果に充分な解像度を得る事はできない。
の光源として用いる場合は、レーザ共振器内にエタロン
あるいはグレーティングおよびプリズム等の波長選択素
子を配置することによりレーザ光を狭帯域化するように
している。
原因によって、レーザ光の波面はダイバージェンス(拡
がり)および曲率を有することになる。
いる場合には、このスリットによる回折によりスリット
通過後の光は球面波となる。
自身の収差によって波面が歪むこともある。例えば、狭
帯域化素子として用いられるプリズムエキスパンダのよ
うな透過型の光学素子では (a)内部の屈折率分布が完全に一様ではない (b)プリスムの研磨面が歪んでいる などにより、この光学素子を通過したレーザ光の波面は
凸面または凹面の曲率を持つものとなる。
つレーザ光が平坦な形状のグレーティングに入射された
場合は、グレーティングによる波長選択性能を低下させ
てしまうことになる。すなわち、グレーティングへのレ
ーザ光の入射波面が曲率を持つ場合は、グレーティング
のそれぞれの溝にレーザ光が異なる角度で入射されるこ
とになるので、グレーティングの波長選択特性が低下
し、狭帯域化したレーザ光のスペクトル線幅が広くな
る。
は、グレーティングに入射するレーザ光の波面に一致す
るようにグレーティング自体を曲げることにより、上記
不具合に対処するようにしていた。
エキシマレーザは、図20に示すように、フロントミラ
ー100、レーザチャンバ101、アパーチャー10
2、ビームエキスパンダ103、ミラー104およびグ
レーティング105を有し、さらに図21に示すような
曲率発生装置によってグレーティング105をグレーテ
ィング105への入射波面の曲率に応じて曲げるように
している。
ング105の両端部をボール106を介してマウント1
07によって支持し、さらにこれらのマウント107を
スプリング108を介して圧力プレート109に連結す
るとともに、ボルトスクリュー110の一端を圧力プレ
ート109に螺合し、その他端をグレーティング105
の中央部裏面に接合されたナット111に螺合するよう
にしており、ボルトスクリュー110の回転によってグ
レーティング105の中央部を圧力プレート側に引っ張
ることで、グレーティング105に図22に示すような
凹面の曲率を発生させるようにしている。
ペクトル線幅に応じて適正なグレーティングのテンショ
ンを予め設定し、この設定関係に基づきグレーティング
のテンションがスペクトル線幅検出センサ112の検出
値に対応する設定テンション値になるようにモータ11
3を駆動制御してボルトスクリュー110を回転駆動す
るようにしている。
来技術によれば、グレーティング105を凹面に調整す
ることはできるが、グレーティング105を凸面には成
形することができないという問題がある。
の光学素子は常に理想的なものが製造されるとは限ら
ず、ものによってかなりの製造ばらつきがある。したが
って、ものによっては透過した波面が凹面または凸面に
なるビームエキスパンダ103もあり、さらに回折波面
が凹面または凸面になるグレーティング103もある。
このため、ビームエキスパンダ103を透過した波面の
状態またはグレーティング105の回折波面の状態によ
っては、グレーティング105を凸面に成形して波面補
正を行うことが必要になるが、上記従来技術の機構では
かかる補正は不可能であった。
05の両端を支持し、その中央部をの1点を引っ張ると
いう単純な機構であるため、グレーティング105の形
状が滑らかな曲率を持つ凹面とはならず、図23に示す
ような屈曲点を有する略3角形状となっていた、このた
め、従来技術のグレーティングに平面波面は入射された
場合、その回折波面は、図23に示すような、3角形状
となっていた。
の解像度を0.25μm以下に上げるために、レンズの
開口数NAをさらに大きくすることが要求されるが、開
口数NAが大きくなると色収差が大きくなる。このた
め、露光装置側から要求されるレーザ光のスペクトル線
幅は0.4pm以下になることが予想される。
現するためには、波面の精密な微調整が必要になるの
で、上記従来技術のような単純で粗野な構成の波面調整
機構では対処することができない。
たもので、狭くかつ安定したスペクトル線幅のレーザ光
を得ることができるレーザ波面の補正が可能な反射型波
長選択素子の曲げ機構を提供することを目的とする。
は、共振器の一方を構成する反射型波長選択素子を曲げ
る事によって該反射型波長選択素子から出射されるレー
ザ光の波面を補正する反射型波長選択素子の曲げ機構に
おいて、前記反射型波長選択素子の両端部を支持する支
持機構と、前記反射型波長選択素子の背面の略中央部を
押圧する押圧機構とを備えるようにしている。
反射型波長選択素子の両端部を支持し、その背面の略中
央部を押圧するようにしているので、反射型波長選択素
子を凸面に成形することができ、これにより反射型波長
選択素子から出射される波面を凸面方向に補正すること
が可能になる。
る反射型波長選択素子を曲げる事によって該反射型波長
選択素子から出射されるレーザ光の波面を補正する反射
型波長選択素子の曲げ機構において、前記反射型波長選
択素子の両端部を支持する支持機構と、前記反射型波長
選択素子の背面の1次元方向の複数の異なる位置を押圧
または引っ張る機構とを備えるようにしている。
の背面の複数箇所を押圧または引っ張ることによって反
射型波長選択素子を凹面又は凸面に成形するようにして
いるので、滑らかでほぼ一定の曲率をもつ凹面又は凸面
を得ることができるようになり、これによりこの発明に
よれば、非常に狭いスペクトルのレーザ光を効率よくか
つ安定に出力することができるようになる。また、精密
で複雑な波面調整も可能になる。
る反射型波長選択素子を曲げる事によって該反射型波長
選択素子から出射されるレーザ光の波面を補正する反射
型波長選択素子の曲げ機構において、前記反射型波長選
択素子の略中央部を1または複数の箇所で支持する支持
機構と、前記反射型波長選択素子の背面の両端部近傍を
押圧または引っ張る機構とを備えるようにしている。
反射型波長選択素子の中央部を1〜複数の箇所で支持
し、その背面の両端部を押圧または引っ張るようにして
いるので、反射型波長選択素子を凸面または凹面に成形
することができる。
に従って詳細に説明する。
グを備えたエキシマレーザの共振器構成を示す。図2
(a)は共振器の全体的構成を示し、図2(b)は共振器内に
配設された狭帯域化モジュール6の内部構成を示してい
る。
ーザチャンバ2は紙面に垂直な方向に陽極および陰極が
対向して配設された放電電極3を有し、レーザチャンバ
2内に充填されたハロゲンガス、希ガス、バッファガス
などからなるレーザガスを放電電極3間の放電によって
励起させてレーザ発振を行う。
ィンドウ4が設けられている。また、レーザチャンバ2
とフロントミラー5との間およびレーザチャンバ2と狭
帯域化モジュール6との間にはビーム幅を制限するスリ
ット7が設けられている。
ムエキスパンダ8と角度分散型波長選択素子であるグレ
ーティング9とで構成されている。ビームエキスパンダ
8は、図2(b)に示すように、2個のプリズム8a,8
bによって構成されており、入射されたレーザ光のビー
ム幅を拡大してグレーティング9に入射する。
ロントミラー5とグレーティング9との間で光共振器が
構成されている、図1の構成において、レーザチャンバ
2で発振されたレーザ光は、狭帯域化モジュール6に入
射され、ビームエキスパンダ8でそのビーム幅が拡大さ
れる。さらに、該拡大されたレーザ光はグレーティング
9に入射されて回折されることにより、所定の波長成分
のレーザ光のみが入射光と同じ方向に折り返される。グ
レーティング9で折り返されたレーザ光は、ビームエキ
スパンダ8でビーム幅が縮小された後、レーザチャンバ
2に入射される。
ーザ光は、フロントミラー5を介してその一部が出力光
として取り出されると共に、残りが再度レーザチャンバ
2に戻って増幅される。
いては、その両端部が支持する支持機構と、その背面を
1点または多点で押圧または引っ張る機構が備えられて
おり、かかる機構によってグレーティング9自体を任意
に曲げる(あるいは曲げを修正する)ことができるよう
になっており、これによりグレーティング9での回折波
面の波面収差を補正することができる。
ーティング9に入射するレーザ光の波長をλ、その入射
角度をθ、グレーティングの溝間隔距離をdとしたとき
に回折光強度が最大になるのは、下式が成立するときで
ある。
(2)が得られる。
グレーティングに入射するレーザビームの拡がり角であ
る。
ィング9の波面収差を補正することは、上記(4)式の
Δθをほぼ零にするのと同じ効果があるので、これによ
り(4)式の左辺、すなわちスペクトル線幅Δλを最小
にすることができる。
ィング9に備えられた曲げ機構によってグレーティング
9の表面形状を精密に調整するようにすれば、ビームエ
キスパンダ8の製造不良、またはグレーティング9の製
造不良、またはレーザ光のビームダイバージェンスによ
るグレーティング9の回折光の波面の歪みを補正するこ
とができ、これにより非常に狭いスペクトル線幅(0.
4pm以下)のレーザ光を効率よく出力することができ
るようになる。
て各種具体構成例を示す。
曲げ機構についての第1実施例を示す。
−A断面図、図1(c)は図1(a)を矢印q方向から見た正
面図である。
グ9の両端部を支持し、かつグレーティング9の背面中
央部の一点を押圧することによって、グレーティング9
の表面の形状を凹面から平面または平面から凸面に補正
することができるようにしている。
上に載置されており、この台20に固定された1対の下
側支持部材21と、支持フレーム22に固定された1対
の上側支持部材23とによってグレーティング9の表面
側(溝が形成されている側の面)はその両端部が4点で
支持されている。すなわち、この場合、グレーティング
9の両端部は支持部材21、23によって前方に移動で
きないように規制されている。
0上に固定部材24が取り付けられており、この固定部
材24にマイクロメータヘッド25が取り付けられてい
る。マイクロメータヘッド25は、長さ測定用のマイク
ロメータのU字型フレーム部分を取り除いたもので、つ
まみ26を回すことによってスピンドル27を前後方向
に高精度に移動することができる。
7の先端には移動ブロック28が取り付けられており、
この移動ブロック28はスピンドルの27の移動に伴っ
て前後方向に移動する。
動ブロック29が固定され、2つの移動ブロック28、
29間にはバネ等の弾性体30が介在されている。バネ
30の移動ブロック29側の端部は移動ブロックに固定
されているが、移動ブロック28側の端部はフリーとな
っている。
タ25のつまみ26を回して移動ブロック28をグレー
ティング9の方向に前進させると、バネ30、移動ブロ
ック29を介してグレーティング9の中央部に背面から
押圧力Fが加えられることになり、これによりグレーテ
ィング9の前面の形状を凸面方向に変形させることがで
きる。
ッド25を用いてグレーティング9の背面中央部をバネ
30を介して押圧するようにしているので、 (1)一定の力で安定にグレーティング9を曲げることが
できる (2)マイクロメータヘッド25の目盛りを適宜の値に設
定することにより、押圧力Fを任意の値に高精度に調整
することができ、微妙な波面調整が可能になる などの効果がある。
1、23によってグレーティング9の前面の左右端部の
真ん中部分31を避けて4隅で支持するようにしたの
で、前記左右端部においてもグレーティングとしての回
折機能が働くことになり、これによりグレーティング9
自体が持つ分解能を下げることなくグレーティング9を
支持することができる。なお、上記分解能が下がっても
よい場合は、グレーティングの左右端部の真ん中部分3
1でグレーティング9を支持するようにしてもよく、さ
らに左右端部の全体を支持部材によって支持するように
してもよい。
ィング9を曲げる前の入射波面(実線)及び回折波面
(破線)を示すもので、この場合、回折波面は凹面形状
になっている。図3(b)は上記第1実施例の曲げ機構に
よってグレーティング9の中央部を突出させた場合の入
射波面(実線)及び回折波面(破線)を示すものであ
り、この場合回折波面は多少W字状の波面形状になる
が、平面波面に近づけられていることがわかる。
曲げ機構についての第2実施例を示す。
施例に対しプレッシャープレート33を追加するように
している。プレッシャープレート3は両端に突起部を有
する凹字形状をしており、その両端部の2位置でグレー
ティング9の背面に当接している。
動ブロック29を介してプレッシャープレート33の背
面の一点に加えられた押圧力Fはてこの原理によって分
散されてプレッシャープレート33の両端部を介して押
圧力F1,F2としてグレーティング9の背面に加えられ
ることになる。
位置を調節することにより、グレーティング9の背面の
任意の2点位置に押圧力F1,F2を加えることが可能に
なる。
第1の実施例に比べ、より複雑かつ滑らかな形状にグレ
ーティング9を曲げることが可能になり、より微妙、か
つ高精度にレーザ波面の調整が可能になる。
ィング9を曲げる前の入射波面(実線)及び回折波面
(破線)を示すもので、この場合、回折波面は凹面形状
になっている。図5(b)は上記第2実施例の曲げ機構に
よってグレーティング9を突出させた場合の入射波面
(実線)及び回折波面(破線)を示すものであり、この
場合の回折波面は先の第1実施例のようなW字状の波面
形状とはならず、ほぼ平面波面となっている。
グ9の背面の3個以上の多点を押圧できるようプレッシ
ャープレート33を構成するようにしてもよい。
曲げ機構についての第3実施例を示す。
施例に対しプランジャーネジ機構34,35を追加する
ようにしている。
グレーティング9の背面の両端部に配設され、その詳細
構成は図7に示すようになっている。
面側支持部材36がそれぞれ配設されており、これら背
面側支持部材36にはその外周にねじが切られたプラン
ジャーネジ37が螺合されている。プランジャーネジ3
7の内部にバネ38を介してピストン部材39が設けら
れている。
を回すことによってその押圧力がバネ38、ピストン部
材39を介してグレーティング9の背面の両端部に加え
られることになる。
ーティング9の背面の4箇所を任意の押圧力をもって押
すことができるようになり、先の実施例に比べより複雑
かつ滑らかな形状にグレーティング9を曲げることが可
能になり、より微妙、かつ高精度にレーザ波面の調整が
可能になる。
ネジ機構34、35は、グレーティング9の両サイドを
加圧するようにしているので、グレーティング9の振動
抑制の効果も有している。したがって、波長制御のため
にグレーティング9を回動させるようにした場合におい
てもその振動が低減され、該振動によるスペクトル線幅
のばらつきを低減することができる。
曲げ機構についての第4実施例を示す。
−A断面図、図8(c)は図8(a)を矢印q方向から見た正
面図である。
グ9の両端部を支持し、かつグレーティング9の背面中
央部の一点を押圧および引張することによって、グレー
ティング9の前面の形状を凹面又は凸面に補正すること
ができるようにしている。
ホルダ40によってその中央部が挟持されている。この
コ字状ホルダ40は、台20の中央部に形成された溝4
1に沿って前後方向にスライドできる。
前面が4隅で支持部材21,23によって支持されてい
る。また、グレーティング9の両端部の背面側は背面支
持部材36によって支持されている。すなわちこの場
合、グレーティング9の両端部はその前面及び背面側の
双方とも固定されている。
の弾性体42が結合されているとともに、ピン43を介
して引きバネなどの弾性体44が結合されている。引き
バネ44は左右および上下に1対づつ設けられ、計4個
備えられている。
に当接している。また、移動ブロック45はピン43´
を介して引きバネ44に結合されている。移動ブロック
45の両側には移動ブロック45の前後方向のスライド
運動をガイドするガイド部材57が設けられている。
ドさせるために、押しボルト46および引きボルト47
による構成が設けられている。これら押しボルト46お
よび引きボルト47は、台20上に固定された固定ブロ
ック48によって支持されている。49は、押しボルト
46をロックするロックナットである。
ルト47の概念的構成を示す。図9ではロックナット4
9を省略している。
が形成されており、このねじによって押しボルト46は
固定ブロック48と螺合している。また、押しボルト4
6の先端と移動ブロック45とはフリーであり、押しボ
ルト46の先端部によって移動ブロック45を押圧でき
るようになっている。この押しボルト45の前後方向位
置はロックナット49を締結することによってロックさ
れる。
47が貫通されており、引きボルト47はその先端部で
移動ブロック45と螺合している。
背面中央部を押圧してグレーティング9の前面を凸形状
に成形する際の動作について図9を参照して説明する。
を緩めて押しボルト46を固定ブロック48に対し移動
できる状態にする(図9(a))。次に、押しボルト46
を回して押しボルト46を前方に移動させる。この移動
によって移動ブロック45が押され、移動ブロック45
は前方にスライドする(図9(b))。この移動ブロック
45のスライドは押しバネ42を介してコ字状ホルダ4
0に伝えられ、これによりコ字状ホルダ41が溝41に
沿って前方に移動される。この結果、グレーティング9
の中央部が前方に変位し、グレーティング9を凸形状に
成形することができる。
っ張ってグレーティング9の前面を凹形状に成形する際
の動作について図9を参照して説明する。
移動ブロック45から引き抜くように回すと、押しボル
ト46が固定ブロック48に固定された状態で、引きボ
ルト47のみを後方にスライドさせることができる(図
9(c))。この状態でロックナット49を緩めて押しボ
ルト46を固定ブロック48に対し移動できる状態にす
る。つぎに、押しボルト46を移動ブロック45から離
間するように回して押しボルト46の先端と移動ブロッ
ク45との間に隙間を形成する(図9(d))。つぎに、
ロックナット49を締結して押しボルト46を固定ブロ
ック48に対し固定する。
ク45に埋め込むように回すと、図9(e)に示すよう
に、引きボルト47の頭と押しボルト46の頭が当接す
るまでは引きボルト47は前方に移動する。そして、引
きボルト47の頭と押しボルト46の頭が当接した後も
引きボルト47を移動ブロック45に埋め込むように回
すと、引きボルト47は回っても前方には移動せず、引
きボルト47と移動ブロック45の螺合部によって移動
ブロック45が図9(f)の矢印dで示されるように固定
ブロック48側に(後方に)スライドされることにな
る。
は引きバネ44を介してコ字状ホルダ40に伝えられ、
これによりコ字状ホルダ41が溝41に沿って後方に移
動される。この結果、グレーティング9の中央部が後方
に変位し、グレーティング9を凹形状に成形することが
できる。
ィング9を曲げる前の入射波面(実線)及び回折波面
(破線)を示すもので、この場合、回折波面は凸面形状
になっている。図5(b)は上記第4実施例の曲げ機構に
よってグレーティング9の中央部を引っ張ってグレーテ
ィング9を凹形状にした場合の入射波面(実線)及び回
折波面(破線)を示すものであり、その回折波面はほぼ
平面となっている。
の曲げ機構についての第5実施例を示す。
す第1実施例に示したマイクロメータヘッドによる押圧
機構をグレーティング9の長手方向(溝が並べられてい
る方向)の3箇所に配設するようにしている。各押圧機
構の詳細は図1の実施例と同じである。また、この場合
は、グレーティング9の背面を押圧する機構のみである
ので、グレーティング9の両端は前面側でのみ支持され
ている。
にはグレーティング9の長手方向に沿って押圧機構の位
置調整用の長穴50が形成されている。すなわち、図1
2にも示すように、マイクロメータヘッド25を支持す
る固定部材24には、それぞれ2個ずつのボルト51が
螺合され、これらボルト51の先端には締め付け片52
が長穴50内で螺合されている。
のグレーティング9の長手方向の位置を調整する際に
は、ボルト51を緩めて固定部材24を長穴50に沿っ
て任意の位置にスライド移動する。そして、位置が決ま
った際には、ボルト51を締めて締め付け片52によっ
て固定部材24を台20に対し固定する。
ティング9の長手方向に沿った任意の多点位置を背面か
ら押圧することができ、かつ各押圧力もマイクロメータ
ヘッド25によって任意に設定できるので、波面補正前
のグレーティングの回折波面が図13(a)に示すような
非常に複雑な波面形状になっていたとしても、これを図
13(b)に示すような、ほぼ平面波面に補正成形するこ
とができる。
の曲げ機構についての第6実施例を示す。
36によってグレーティング9の両端部をグレーティン
グ9の背面側で支持し、かつグレーティング9の背面中
央部の一点を引張することによってグレーティング9の
前面を凹面に成形できるようにしている。
の中央部には、引きプレート60が接着剤によって接着
され、この引きプレート60には複数本の引きバネ44
が連結されている。引きバネ44の他方は、ピン61を
介してテーパ面をもつスライド部材62に連結されてい
る。スライド部材62は、台20上に設けられたガイド
ユニット63に沿って前後方向スライドする。
けられており、この固定部材64にマイクロメータヘッ
ド25が取り付けられている。マイクロメータヘッド2
5のスピンドル27の先端にはテーパ面を持つ移動ブロ
ック65が取り付けられており、この移動ブロック65
のテーパ面とスライド部材62のテーパ面が当接してい
る。
ッド25のつまみ26を回して移動ブロック65を矢印
e1方向にスライドさせれば、テーパ面の作用によって
スライド部材62が矢印e2方向にスライドする。これ
により、グレーティング9の背面の中央部が引きバネ4
4を介して引っ張られることになり、グレーティング9
を凹面に成形することができる。
後方にマイクロメータヘッド63のスペースを確保する
必要がないので、装置構成をコンパクトにすることがで
きる。
ータヘッド25のつまみ26を台20の側方で回せるよ
うに、マイクロメータヘッド25、移動ブロック65を
配置するようにしたが、マイクロメータヘッド25のつ
まみ26を台20の下方又は上方で回せるようにマイク
ロメータヘッド25、移動ブロック65を配置するよう
にしてもよい。
の曲げ機構についての第7実施例を示す。
示す第6実施例に対し引きプレート66を追加するよう
にしている。引きプレート66は3点がグレーティング
9の背面に接着されている。
きバネ44を介して引きプレート66に加えられた引っ
張り力は分散されてグレーティング9の背面を3箇所で
引っ張ることになる。このため、この実施例では、先の
第6実施例に比べより滑らかな凹面をもつグレーティン
グを作成することができる。
の曲げ機構についての第8実施例を示す。
タヘッドによる引っ張り機構70をグレーティング9の
長手方向(溝が並べられている方向)の3箇所に配設す
るようにしている。
例と同様、引っ張り機構70の位置調整用の長穴50が
形成されており、第5実施例と同様にして、3つの引っ
張り機構70のグレーティング9の長手方向に沿った位
置を任意に調整することができる。
の曲げ機構についての第9実施例を示す。
(a)のA−A断面図、図17(c)は図17(a)を矢印q方
向から見た正面図である。
クス内に収容されたグレーティング9の曲げ調整を狭帯
域化ボックスの外部からできるようにするとともに、狭
帯域化ボックス内でグレーティングが配設されている領
域と前述した曲げ機構が配設されている領域を空間的お
よび光学的に完全に隔絶するようにしている。また、こ
の場合は、グレーティング9の背面中央を押圧できるよ
うにしており、グレーティング9を凸面に成形すること
ができる。
側は支持部材21,23によってその両端部が4点で支
持されている。
0上に1対のガイドブロック80が設けられ、これらガ
イドブロック80間を移動ブロック81がスライドす
る。移動ブロック81にはテーパ面82が形成されてお
り、このテーパ面にマイクロメータヘッド25のスピン
ドル27が当接している。したがって、マイクロメータ
ヘッド25のスピンドル27が矢印g1方向にスライド
すれば、移動ブロック81は矢印g2方向にスライドす
る。
動ブロック83が固定され、2つの移動ブロック83、
81間にはバネ84が介在されている。
ロメータ25のつまみ26を回して移動ブロック81を
グレーティング9の方向に前進させると、バネ84、移
動ブロック83を介してグレーティング9の中央部に背
面から押圧力Fが加えられることになり、これによりグ
レーティング9の形状を凸面方向に変形させることがで
きる。
に示すように、狭帯域化ボックスの底板85に取り付け
られている、狭帯域化ボックスは先の図2に示した狭帯
域化モジュール6に対応し、グレーティング9、ビーム
エキスパンダなどの光学素子が収容されている。狭帯域
化ボックス内は常時パージガス(N2など)が充満して
おり、狭帯域化の性能を低下させないためには極力、外
部雰囲気から隔離しなくてはならない。
ックスの底板85に隔離壁86,87を取り付け、この
隔離壁86,87によってマイクロメータヘッド25の
スピンドル部分27のみを狭帯域化ボックスの内部に収
容するようにしている。狭帯域化ボックスの底板85の
隔離壁86,87が取り付けられる部分には、孔88が
形成され、これによりマイクロメータヘッド25のつま
み26を狭帯域化ボックスの外部から回せるようにして
いる。
は、マイクロメータヘッド25のスピンドル27および
移動ブロック81のスピンドル27が当接されている側
が存在する空間91を、蓋体89、後部壁90、1対の
ガイドブロック80によって狭帯域化ボックスの光学素
子が存在する空間と、構造的および光学的に隔絶するよ
うにしている。
ル27との摺動部からの粉塵、またはマイクロメータヘ
ッド25に使用される潤滑剤の光照射による不純ガスな
どが狭帯域化ボックスの光学素子が存在する空間に進入
することを確実に抑えることができる。
方(矢印g1方向)への動きを規制する働きもする。
の押圧力を調整操作するための調整機構部を狭帯域化ボ
ックスの外部に配設するという技術を前述した各実施例
および後述する第10実施例に適用するようにしてもよ
い。
圧機構の一部の占める領域と光学素子が存在する領域を
隔絶する隔離壁を配設するという技術も前述した各実施
例および後述する第10実施例に適用するようにしても
よい。
9の曲げ機構についての第10実施例を示す。図18
(b)は図18(a)のA−A断面図である。
9の両端部を支持するようにしたが、この第10実施例
においては、支持部材92によってグレーティング9の
背面中央部を支持するようにしている。支持部材92は
台20上に固定されると共に、グレーティング9の背面
に接着剤によって接着されている。
は、前述したマイクロメータヘッドによる押圧および引
っ張り機構が設けられ、グレーティング9の両端部を押
圧および引張することができるようになっている。
ング9の背面の中央部分を複数箇所で支持するようにし
てもよい。
化モジュールのグレーティング9を曲げ機構によって曲
げる事によって波面補正を行うようにしたが、図19に
示すような共振器構造においても本発明を適用すること
ができる。
リズム95によって波長選択を行うと共に、グレーティ
ング9の代わりにリアミラー96を配置するようにして
いる。したがって、この場合には、リアミラー96に先
の実施例で示したような曲げ機構を取り付け、リアミラ
ー95を曲げる事によって波面補正を行うようにすれば
よい。
ジェクションロック式、不安定共振器などの他の共振器
構造に適用するようにしてもよい。
す図。
動作手順を示す図。
が配置された共振器構造を示す図。
電電極 4…ウィンドウ 5…出力ミラー 6…狭
帯域化モジュール 7…スリット 8…ビームエキスパンダ 9…
グレーティング 20…台 21、23…支持部材 22
…支持フレーム 24…固定部材 25…マイクロメータヘッド
26…つまみ 27…スピンドル 28、29…移動ブロック
30…押しバネ 33…プレッシャープレート 34、35…プラン
ジャーネジ機構 36…支持部材 37…プランジャーネジ 3
8…バネ 39…ピストン部材 40…コ字状ブロック 41
…溝 42…押しバネ 43,43´,61…ピン 44
…引きバネ 45…移動ブロック 46…押しボルト 47…引
きボルト 48…固定ブロック 49…ロックナット 50…
長穴 51…ボルト 52…締め付け片 57…ガイ
ド部材 60…引きプレート 62…スライド部材 63…
ガイドユニット 64…固定部材 65…移動ブロック 66…
引きプレート 70…引っ張り機構 80…ガイドブロック 81
…移動ブロック 82…テーパ面 83…移動ブロック 84…
バネ 85…狭帯域化ボックスの底板 86、87…隔離壁 88…孔 89…蓋体 90…後部壁 91…空間 92…支持部材 95…分散プリズム 96…リアミラー
Claims (22)
- 【請求項1】共振器の一方を構成する反射型波長選択素
子を曲げる事によって該反射型波長選択素子から出射さ
れるレーザ光の波面を補正する反射型波長選択素子の曲
げ機構において、 前記反射型波長選択素子の両端部を支持する支持機構
と、 前記反射型波長選択素子の背面の略中央部を押圧する押
圧機構と、 を備えるようにした反射型波長選択素子の曲げ機構。 - 【請求項2】前記押圧機構は弾性体を有し、この弾性体
を介して前記反射型波長選択素子の背面の略中央部を押
圧する請求項1記載の反射型波長選択素子の曲げ機構。 - 【請求項3】前記反射型波長選択素子は所定の密閉ボッ
クス内に収容され、前記押圧機構の押圧力を調整操作す
るための調整機構部を前記密閉ボックスの外に配設する
ようにしたことを特徴とする請求項1記載の反射型波長
選択素子の曲げ機構。 - 【請求項4】密閉ボックス内において前記押圧機構と前
記反射型波長選択素子とを隔絶する隔離壁を配設するよ
うにした請求項3記載の反射型波長選択素子の曲げ機
構。 - 【請求項5】共振器の一方を構成する反射型波長選択素
子を曲げる事によって該反射型波長選択素子から出射さ
れるレーザ光の波面を補正する反射型波長選択素子の曲
げ機構において、 前記反射型波長選択素子の両端部を支持する支持機構
と、 前記反射型波長選択素子の背面の1次元方向の複数の異
なる位置を押圧する押圧機構と、 を備えるようにした反射型波長選択素子の曲げ機構。 - 【請求項6】前記押圧機構は、 前面に複数の突起部を有し、これら複数の突起部が反射
型波長選択素子の背面に当接するように設けられたプレ
ッシャープレートと、 このプレッシャプレートの背面の1位置を押圧する押圧
体と、 を具える請求項5記載の反射型波長選択素子の曲げ機
構。 - 【請求項7】前記押圧体とプレッシャープレートとの間
には弾性体が介在されている請求項6記載の反射型波長
選択素子の曲げ機構。 - 【請求項8】前記押圧機構は、 前記反射型波長選択素子の背面の1次元方向の異なる位
置に配設される複数の押圧体を具える請求項5記載の反
射型波長選択素子の曲げ機構。 - 【請求項9】前記複数の押圧体と前記反射型波長選択素
子の背面との間には弾性体が介在されている請求項8記
載の反射型波長選択素子の曲げ機構。 - 【請求項10】前記押圧機構は前記複数の押圧体の位置
を可変調整できる位置調整機構を有する請求項8記載の
反射型波長選択素子の曲げ機構。 - 【請求項11】前記反射型波長選択素子は所定の密閉ボ
ックス内に収容され、前記押圧機構の押圧力を調整操作
するための調整機構部を前記密閉ボックスの外に配設す
るようにしたことを特徴とする請求項5記載の反射型波
長選択素子の曲げ機構。 - 【請求項12】密閉ボックス内において前記押圧機構と
前記反射型波長選択素子とを隔絶する隔離壁を配設する
ようにした請求項11記載の反射型波長選択素子の曲げ
機構。 - 【請求項13】共振器の一方を構成する反射型波長選択
素子を曲げる事によって該反射型波長選択素子から出射
されるレーザ光の波面を補正する反射型波長選択素子の
曲げ機構において、 前記反射型波長選択素子の両端部を支持する支持機構
と、 前記反射型波長選択素子の背面の1次元方向の複数の異
なる位置を引張る引張機構と、 を備えるようにした反射型波長選択素子の曲げ機構。 - 【請求項14】前記引張機構は、 前面に複数の突起部を有し、これら複数の突起部が反射
型波長選択素子の背面に固定されるように設けられた引
きプレートと、 この引きプレートの背面の1位置を引っ張る引張体と、 を具えるようにした請求項13記載の反射型波長選択素
子の曲げ機構。 - 【請求項15】前記引張体と引きプレートとの間には弾
性体が介在されている請求項14記載の反射型波長選択
素子の曲げ機構。 - 【請求項16】前記引張機構は、 前記反射型波長選択素子の背面の1次元方向の異なる位
置に配設される複数の引張体を具える請求項13記載の
反射型波長選択素子の曲げ機構。 - 【請求項17】前記複数の引張体と前記反射型波長選択
素子の背面との間には弾性体が介在されている請求項1
6記載の反射型波長選択素子の曲げ機構。 - 【請求項18】前記引張機構は前記複数の引張体の位置
を可変調整できる位置調整機構を有する請求項16記載
の反射型波長選択素子の曲げ機構。 - 【請求項19】前記反射型波長選択素子は所定の密閉ボ
ックス内に収容され、前記引張機構の引張力を調整操作
するための調整機構部を前記密閉ボックスの外に配設す
るようにしたことを特徴とする請求項13記載の反射型
波長選択素子の曲げ機構。 - 【請求項20】密閉ボックス内において前記引張機構と
前記反射型波長選択素子とを隔絶する隔離壁を配設する
ようにした請求項19記載の反射型波長選択素子の曲げ
機構。 - 【請求項21】共振器の一方を構成する反射型波長選択
素子を曲げる事によって該反射型波長選択素子から出射
されるレーザ光の波面を補正する反射型波長選択素子の
曲げ機構において、 前記反射型波長選択素子の略中央部を1または複数の箇
所で支持する支持機構と、 前記反射型波長選択素子の背面の両端部近傍を押圧また
は引っ張る機構と、 を備えるようにした反射型波長選択素子の曲げ機構。 - 【請求項22】前記反射型波長選択素子はグレーティン
グである請求項1〜21記載の反射型波長選択素子の曲
げ機構。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17447897A JP3717020B2 (ja) | 1997-06-30 | 1997-06-30 | 反射型波長選択素子の曲げ機構 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17447897A JP3717020B2 (ja) | 1997-06-30 | 1997-06-30 | 反射型波長選択素子の曲げ機構 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1126856A true JPH1126856A (ja) | 1999-01-29 |
JP3717020B2 JP3717020B2 (ja) | 2005-11-16 |
Family
ID=15979192
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP17447897A Expired - Lifetime JP3717020B2 (ja) | 1997-06-30 | 1997-06-30 | 反射型波長選択素子の曲げ機構 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3717020B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002151778A (ja) * | 2000-11-08 | 2002-05-24 | Keyence Corp | レーザー発振器 |
JP2008527683A (ja) * | 2004-11-30 | 2008-07-24 | サイマー インコーポレイテッド | ガス放電レーザ帯域幅及び中心波長制御の方法及び機器 |
WO2024047871A1 (ja) * | 2022-09-02 | 2024-03-07 | ギガフォトン株式会社 | 狭帯域化レーザ装置、及び電子デバイスの製造方法 |
-
1997
- 1997-06-30 JP JP17447897A patent/JP3717020B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002151778A (ja) * | 2000-11-08 | 2002-05-24 | Keyence Corp | レーザー発振器 |
JP2008527683A (ja) * | 2004-11-30 | 2008-07-24 | サイマー インコーポレイテッド | ガス放電レーザ帯域幅及び中心波長制御の方法及び機器 |
WO2024047871A1 (ja) * | 2022-09-02 | 2024-03-07 | ギガフォトン株式会社 | 狭帯域化レーザ装置、及び電子デバイスの製造方法 |
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Publication number | Publication date |
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JP3717020B2 (ja) | 2005-11-16 |
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