JPH11263625A - 無水塩化ニッケルの製造方法 - Google Patents

無水塩化ニッケルの製造方法

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JPH11263625A
JPH11263625A JP10069895A JP6989598A JPH11263625A JP H11263625 A JPH11263625 A JP H11263625A JP 10069895 A JP10069895 A JP 10069895A JP 6989598 A JP6989598 A JP 6989598A JP H11263625 A JPH11263625 A JP H11263625A
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JP
Japan
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nickel chloride
nio
water
nickel
anhydrous
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Application number
JP10069895A
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English (en)
Inventor
Yasuhiro Tsugita
泰裕 次田
Naoki Ishiyama
直希 石山
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Sumitomo Metal Mining Co Ltd
Original Assignee
Sumitomo Metal Mining Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 ニッケル塩蒸気を水素ガスで還元する化学気
相反応法(CVD法)により電子材料用の微細なニッケ
ル金属粉末を製造する原料として好適な無水塩化ニッケ
ルの製造方法を提供する。 【解決手段】 塩化ニッケルの6水塩の結晶を160℃
以上200℃以下の温度に加熱処理することを特徴とす
る、NiOの含有率の低い無水塩化ニッケルの製造方法
である。前記方法において、気圧を減圧して加熱処理す
ることによって、よりNiOの含有率を効果的に低減で
きる。また、前記方法において、塩化ニッケル結晶中の
結晶水が水として解離しないで、蒸気として除去される
昇温速度に制御することが有効である。前記の手段を用
いることによりNiO含有率が0.1%以上1%以下で
ある無水塩化ニッケルを製造することができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】CVD法により電子材料用の
微細なニッケル金属粉末を製造する原料に適した無水の
塩化ニッケルの製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】微細なニッケル粉末の製造方法は、乾式
法と湿式法に大別される。乾式法により得られる微細な
ニッケル粉末の特徴は、結晶性が高く、比較的高温での
焼結に適しており、焼結時での収縮が少ない。他方、湿
式法によるニッケル粉末は、比較的低温で焼結が開始
し、焼結時での収縮が比較的大きいことが挙げられる。
【0003】乾式法の1種である塩化ニッケル蒸気を水
素還元するCVD法によるニッケル粉末は、積層セラミ
ックコンデンサー用の内部電極用に好適であり使用され
ている。積層セラミックコンデンサーは、微細ニッケル
粉末をペースト状にし、グリーンシートとして多層積層
され、高温度で焼結される。このとき雰囲気としては、
脱バインダーのために弱酸化性雰囲気が使用されてい
る。
【0004】セラミックコンデンサーの小型化と高積層
化においては、電極材料としてのニッケル粉末の要求特
性が益々厳しくなっている。特に、セラミックコンデン
サーの製造過程において、誘電体と電極材料であるニッ
ケル粉末含有ペーストを積層し、焼結する際に、粒形、
粒径、粒度分布、分散性、充填性、結晶性が焼結特性に
影響し、結果的にコンデンサーの製品歩留まりに大きく
影響することが判明している。特に、前述の製品歩留ま
りには、ニッケル粉中の異常な粗大粒子の存在が影響し
ていることが明らかなりつつある。
【0005】とりわけ、発明者らは、無水の塩化ニッケ
ル蒸気を水素還元するCVD法においては、無水の塩化
ニッケル中に含有するNiOのニッケル粉中への混入
が、粗大粒子の主原因であることをSEMおよびTEM
観察により着目した。よって、このCVD法による微細
なニッケル金属粉末の製造には、原料として用いられる
無水の塩化ニッケル中のNiOの含有量を制御すること
が必要である。しかし、従来から行われている無水塩化
ニッケルの製造方法、すなわち塩化ニッケルの6水塩を
乾燥させる方法では、塩化ニッケル結晶を乾燥させる際
に塩化ニッケルが加水分解を起こし、得られた塩化ニッ
ケル中にはNiOが約4から5%以上含有されることと
なり、前述の粗大粒子の発生原因、さらには、製品歩留
まりの低下の原因となっていた。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記の事情
に鑑み、CVD法による微細なニッケル金属粉末を製造
する際の原料に適した無水の塩化ニッケルの製造方法を
提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明は、塩化ニッケルの6水塩の結晶を大気圧下で、
160℃以上200℃以下の温度に加熱処理することを
特徴とする、NiOの含有率が0.1%以上1%以下で
ある無水塩化ニッケルの製造方法である。
【0008】さらに前記方法において、気圧を減圧して
加熱処理することによって、よりNiOの含有率を効果
的に低減できる。また、前記方法において、塩化ニッケ
ル結晶中の結晶水が水として解離しないで、蒸気として
除去される昇温速度に制御することが有効である。前記
の手段を用いることによりNiO含有率が0.1%以上
1%以下である無水塩化ニッケルを製造することができ
る。
【0009】
【発明の実施の形態】異常な粗大粒子の原因をSEMお
よびTEMにて調査したところ、異常な粗大粒子の大部
分は、NiOであることが判明した。したがって、異常
な粗大粒子を含まないニッケル粉を製造するためにはC
VD法において、NiOの含有率の低い無水塩化ニッケ
ルを用いることが必要である。
【0010】積層セラミックコンデンサーは前述微細ニ
ッケル粉末をペースト状にして多層に積層して用いられ
る。このコンデンサーの積層数が200層以上の高積層
領域では、誘電体の厚みが1から2ミクロン程度とな
り、1ミクロン以上の粗大粒子が200個に1個以上の
割合で存在すると焼結時に誘電体層を粗大粒子が突き抜
けて電極間の短絡の原因となる。
【0011】よって、粗大粒子の混入率を1/200以
下とすれば、積層セラミックコンデンサーの製造歩留ま
りを向上させることができる。また、粗大粒子の混入率
は少ない方がより好ましいが、1/400以下まで低下
させることは、現状の用途から経済的な方法ではない。
前記の目的を達成するためには、NiOの含有量を1%
以下である無水塩化ニッケルを用いることが有効である
ことが判明した。
【0012】このため、無水塩化ニッケルを製造する方
法において、大気圧下で160℃以上200℃以下の温
度に加熱処理すれば、無水塩化ニッケル中のNiO含有
量を1%以下とできることを見出した。さらには、加熱
処理時に減圧し、たとえば、100torrに減圧下
で、160℃以上200℃以下の温度で加熱処理するれ
ば、大気圧時の加熱に比べさらに効果的で、NiO含有
量を0.5%まで半減できることを見出した。
【0013】さらには、塩化ニッケル結晶中の結晶水が
水として解離しないで、蒸気として除去される昇温速
度、具体的には、1℃/分〜20℃/分に昇温速度を制
御する方法が有効であることを見出した。たとえば、3
0℃/分以上の昇温速度とすると、結晶水が水として分
離し、極端な場合には、蒸発熱により局部的に氷を発生
する場合もあり、好ましくない。また、160℃以下の
加熱処理温度では、塩化ニッケル6水塩の結晶水の除去
は困難であり、結晶水が残留することとなる。また、2
00℃に加熱した場合には、塩化ニッケル結晶の塩化ニ
ッケルと水分が加水分解反応を起こし、NiOが生成す
ることとなる。
【0014】NiO含有量が1%以下であれば、粗大粒
子の混入率を目標である1/200以下を達成できる。
また、NiO含有量は0.1%でほぼ粗大粒子の混入率
を1/400とすることができる。NiO含有量は、さ
らに低くなることが好ましいが、工業的には、本方法に
より経済的に最小1/400程度とすることが可能であ
る。
【0015】
【実施例】(実施例1)塩化ニッケル結晶を、大気圧下
で180の温度に加熱処理し、結晶水を除去したところ
無水塩化ニッケル中のNiO品位は、1%であった。こ
の無水塩化ニッケルを用いてCVD法により微細ニッケ
ル粉を製造したところ、SEM観察による、粒径が1μ
m以上の異常な粗大粒子の混入率は、1/200であっ
た。
【0016】(実施例2)塩化ニッケル結晶を、100
torrの真空下で、180℃以下の温度で加熱処理し
結晶水を除去したところ無水塩化ニッケル中のNiO品
位は、0.5%であった。この無水塩化ニッケルを用い
てCVD法により微細ニッケル粉を製造したところ、S
EM観察による、粒径が1μm以上の異常な粗大粒子の
混入率は、1/300であった。 (実施例3)実施例2において、さらに昇温速度を5℃
/分に制御し、真空度が100torr以上にならない
ように加熱したところ、得られた無水塩化ニッケル中の
NiO品位は、0.1%であった。この無水塩化ニッケ
ルを用いてCVD法により微細ニッケル粉を製造したと
ころ、SEM観察による、粒径が1μm以上の異常な粗
大粒子の混入率は、1/400であった。 (比較例1)塩化ニッケル結晶を、大気圧下で250℃
の温度に加熱処理し、結晶水を除去したところ無水塩化
ニッケル中のNiO品位は、5%であった。この無水塩
化ニッケルを用いてCVD法により微細ニッケル粉を製
造したところ、SEM観察による、粒径が1μm以上の
異常な粗大粒子の混入率は、1/100であった。
【0017】(比較例2)塩化ニッケル結晶を、大気圧
下で150℃の温度に加熱処理し、結晶水を除去したと
ころ無水塩化ニッケル中のNiO品位は、0.5%であ
ったが、結晶水が一部残り、水分が4%であった。この
塩化ニッケルを用いてCVD法により微細ニッケル粉を
製造したところ、SEM観察による、粒径が1μm以上
の異常な粗大粒子の混入率は、1/150であった。
【0018】
【発明の効果】本発明の方法により、CVD法によるニ
ッケル粉末の原料として適した無水塩化ニッケルを製造
することができる。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 塩化ニッケル結晶を大気圧下で、160
    ℃以上200℃以下の温度に加熱処理することを特徴と
    する、NiOの含有率が0.1%以上1%以下である無
    水塩化ニッケルの製造方法。
  2. 【請求項2】 塩化ニッケル結晶を大気圧より減圧し、
    160℃以上200℃以下の温度に加熱処理することを
    特徴とする、NiOの含有率が0.1%以上1%以下で
    ある無水塩化ニッケルの製造方法。
  3. 【請求項3】 塩化ニッケル結晶中の結晶水が水として
    解離しないで、蒸気として除去される昇温速度に制御す
    る請求項1または2に記載のNiOの含有率が0.1%
    以上1%以下である無水塩化ニッケルの製造方法。
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