JPH11262236A - リニアモータ - Google Patents

リニアモータ

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JPH11262236A
JPH11262236A JP7833098A JP7833098A JPH11262236A JP H11262236 A JPH11262236 A JP H11262236A JP 7833098 A JP7833098 A JP 7833098A JP 7833098 A JP7833098 A JP 7833098A JP H11262236 A JPH11262236 A JP H11262236A
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shifted
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linear motor
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Toru Shikayama
透 鹿山
Tadahiro Miyamoto
恭祐 宮本
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Yaskawa Electric Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 コギング力と推力リップルが小さく、発熱も
小さなリニアモータを提供すること。 【解決手段】複数の永久磁石113を順次異極となるよ
う並べた左右の平行な固定子111、112と電機子巻
線123、124を巻回した分割コア125を並べて機
械的に結合した可動子120とからなるリニアモータに
おいて、左右の固定子111、112の永久磁石113
を移動方向に対して互いに半ピッチずらし、可動子12
0の左右の電機子巻線123、124の巻回位置を互い
に移動方向に1スロット以上ずらして同じ相の巻線を直
列もしくは並列に接続する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はコギング力や、推力
リップル、発熱などを嫌い、高速あるいは高精度位置決
めを要求される、例えば半導体製造装置やFA機器など
に用いられる、リニアモータに関する。
【0002】
【従来の技術】従来のリニアモータは、本出願人がすで
に出願した特願平9―82133号に開示されているよ
うに、2個の固定子が対向し、その間を可動子が移動す
るというものがある。これらのリニアモータの可動子の
構造は、予め分割コアに巻回した後、分割コア同士を連
結したものとなっているため、スロット内の巻線占積率
が高く、発熱の小さいことが特長となっている。他の従
来のリニアモータには、特開平7−245932号公報
に開示されているようなものがあり、界磁用の永久磁石
をそれぞれ内側に配置した2個の固定子を半ピッチずら
すことによって、推力リップルを小さくするという効果
が得られている。また、その他の従来のリニアモータに
は、特開平10−52025号に開示されているような
ものがあり、上記のものと同じく推力リップルを小さく
するという効果が得られている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ところが従来の技術に
よると次のような問題点があった。すなわち、本出願人
がすでに出願している特願平9−82133号記載のリ
ニアモータには、テーブル取り付け時のちょっとした不
手際で可動子が傾いてしまうことがあるので、左右のエ
アギャップにアンバランスが生じて大きなコギング力が
発生するという問題があった。さらに可動子の両端付近
の鉄心があるところと無いところでは、パーミアンスが
大きく異なるため、これもコギング力を大きくする原因
となり問題であった。また、特開平7−245932号
記載のリニアモータは2個の固定子をずらして配置され
ているため、対向する磁石間を通る主磁束が十分でなく
推力は著しく低いものとなっている。そのため、大きな
推力を得ようとする場合は発熱が大きくなってしまい問
題となっていた。さらに、特開平10−52025号記
載のリニアモータで、例えば毎極毎相のスロット数3/
8のものを構成しようとした場合、推力リップルは小さ
くできるものの、推力が低下してしまうという欠点を備
えている。これは、単に1対の電機子の相順を入れ換
え、異相電流を供給しても同じであることを示してい
る。従って、所定の推力を得るのに電流が多く必要とな
り、電源容量の増加、リニアモータ部の発熱が問題とな
った。そこで本発明は、リニアモータにおけるかかる問
題点を解消することを目的としてなされたものである。
【0004】
【課題を解決するための手段】そこで、本発明のリニア
モータは、複数の永久磁石が移動方向に沿って順次異極
となるよう内側に等間隔に固着された左右の平行な固定
子と、コイルを巻回した分割コアを移動方向に並べて機
械的に結合するとともに、前記固定子の中央に配置され
て移動方向に移動可能に支持され、前記分割コアの側面
が前記永久磁石とエアギャップを介して対面するよう磁
極面を形成する可動子と、からなるリニアモータにおい
て、左右の前記固定子に設けられた前記永久磁石の移動
方向位置は互いに半ピッチずれており、左右の前記電機
子巻線の移動方向位置は互いに1スロット以上ずれてお
り、左右の前記電機子巻線の接続は同相の巻線が直列も
しくは並列に接続されていることを特徴とするものであ
る。また、請求項2に記載の本発明は、複数の永久磁石
が移動方向に沿って順次異極となるよう内側に等間隔に
固着された左右の平行な固定子と、コイルを巻回した分
割コアを移動方向に並べて機械的に結合するとともに、
前記固定子の中央に配置されて移動方向に移動可能に支
持され、前記分割コアの側面が前記永久磁石とエアギャ
ップを介して対面するよう磁極面を形成する可動子と、
からなるリニアモータにおいて、左右の前記磁極面の移
動方向位置は互いに半ピッチずれており、左右の前記電
機子巻線の移動方向位置は互いに1スロット以上±0.
5スロットずれており、左右の前記電機子巻線の接続は
同相の巻線が直列もしくは並列に接続されていることを
特徴とするものである。また、請求項3に記載の本発明
は、永久磁石を等間隔に配置した永久磁石ユニットと前
記永久磁石の両側にコイルを巻回した2個の電機子ユニ
ットとからなるリニアモータが2個平行に並べられると
ともに、前記2個の永久磁石ユニットが同じ可動子の一
部となっているリニアモータにおいて、2個の前記永久
磁石ユニットに設けられた前記永久磁石は互いに移動方
向の同じ位置にあり、前記永久磁石ユニットの両側にあ
る前記電機子ユニットの移動方向位置は互いに半ピッチ
ずれており、左右の前記電機子巻線の移動方向位置は互
いに1スロット以上±0.5スロットずれており、左右
の前記電機子巻線の接続は同相の巻線が直列もしくは並
列に接続されることを特徴とするものである。さらに、
請求項4に記載の本発明は、永久磁石を等間隔に配置し
た永久磁石ユニットと前記永久磁石の両側にコイルを巻
回した2個の電機子ユニットとからなるリニアモータが
2個平行に並べられるとともに、2個の前記永久磁石ユ
ニットが同じ可動子の一部となっているリニアモータに
おいて、2個の前記永久磁石ユニットに設けられた前記
永久磁石の移動方向位置は互いにスロットピッチの半分
ずれており、左右の前記電機子ユニットは互いに同じ移
動方向位置にあり、左右の前記電機子巻線の移動方向位
置は互いに1スロット以上ずれており、左右の電機子巻
線の接続は同相の巻線が直列もしくは並列に接続される
ことを特徴とするものである。
【0005】以上の構成によって、界磁用永久磁石を配
置した2個の固定子を半ピッチずらし、電機子巻線の移
動方向位置も互いにずらすことによって、それを基本周
期として発生するコギング力または推力リップルを低減
することができる。また、界磁用永久磁石を設けた2個
の可動子をずらしたり、界磁用永久磁石を挟み込んだ2
個の電機子をずらして配置することによっても同様の効
果を得ることができる。そして、ずらした界磁用永久磁
石や電機子に応じて、電機子巻線もずらした分の電気角
もしくはそれに近い電気角分だけずらして巻回すことに
より、推力低下をほとんど無いものとすることができ
る。
【0006】
【発明の実施形態】以下、本発明の実施の形態を図に基
づいて説明する。図1は本発明のリニアモータの第1実
施例の構造を示す要部水平断面図であり、図2は要部正
断面図である。図1は図2のA−A’断面の断面図であ
る。このモータは3相モータであり、毎極毎相のスロッ
ト数が3/8の可動コイル形リニアモータである。これ
らの図において、固定子はほぼ同じ構造をした左側固定
子111と右側固定子112の2つから構成され、内側
の対向する面に永久磁石113が移動方向、すなわち長
手方向に等ピッチで固着され、図示しない他の構造部品
によって互いに剛に固定されている。隣り合う永久磁石
113は異極となるよう着磁されており、右側固定子1
12の永久磁石113に対して左側固定子111の永久
磁石113が半ピッチλ/2だけ−方向(図の下方向)
にずれて配置されている。すなわち、電気角で−90度
ずれた配置となっている。
【0007】可動子120は、左側電機子巻線123と
右側電機子巻線124を左右の磁極に集中巻きした十字
形分割コア125と、可動子上部材121と、可動子下
部材122と、図示しないガイド及び支持機構からなっ
ている。十字形分割コア125は9個が長手方向に機械
的に連結されており、さらに可動子上部材121と可動
子下部材122とで上下から挟み込んで貫通穴127に
通したボルト126で締め付けられ互いに剛に固定され
ている。十字形分割コア125は左側固定子111と右
側固定子112の間にあり、可動子上部材121の上面
は図示しない負荷に固定され、ガイドと支持機構によっ
て長手方向に移動自在となっている。
【0008】右側電機子巻線124は図3に示すように
UR−XR、VR−YR、WR−ZRの3本から成り、
左側電機子巻線123はUL−XL、VL−YL、WL
−ZLの3本から成っており、これらが図4のように結
線されている。ここで、電機子巻線の結線方法を図3、
図4をもとに説明する。図中の数字はスロット番号を表
している。図に示されているように、右側電機子巻線1
24は左側電機子巻線123より+方向(図の右方向)
に5スロット分ずれており、3本とも右側電機子巻線1
24の巻き終わりと左側電機子巻線123の巻き始めが
接続されている。ここで、左右電機子巻線のずれを電気
角で表すと5×160=800度、すなわち800−2
×360=80度となっている。
【0009】次に、推力発生の原理について説明する。
電機子巻線のU相にピーク電流が流れる時、図3に示し
た電機子巻線により、右側電機子巻線124と左側電機
子巻線123の起磁力が作る磁束は機械角で5スロット
分のずれが生じる。図5はこれらの磁束分布と発生する
推力の方向を表しており、このずれが電気角で5×16
0=800度、すなわち800−2×360=80度と
なっている。左右の固定子111、112の永久磁石1
13が電気角で+90度ずれているので、もし左側電機
子巻線123と左側固定子111の永久磁石113の磁
極が電気角で+5度ずれているとすれば、右側電機子巻
線124と右側固定子112の永久磁石113の磁極は
電気角で+5−90+80=−5度ずれていることにな
る。従って、電機子起磁力による磁束分布と永久磁石1
13の磁極とは電気角で5度のずれしか無く、推力低下
が100−100×cos(5度)=0.4%となって
推力はほとんど落ちることがないことを示している。ま
た、永久磁石113の磁極中心位置と電機子起磁力によ
る磁束分布の山もしくは谷の間が電気角で約90度(正
確には85度と105度)ずれているので、可動子12
0は磁気力による吸引と反発によって矢印方向に推力が
発生する。そして、可動子120の位置に応じて順次電
機子電流を切り替えていくことにより、可動子120は
矢印の方向に進むことができる。ここで、従来例である
特開平10−52025号に記載されている発明のよう
に、相順だけを入れ換えれば、以下のようになる。相順
をずらすことは、左右の電機子巻線を3スロット分、つ
まり電気角で3×160=480度、すなわち480−
360=120度ずらすことになる。同様に電機子起磁
力による磁束分布を永久磁石の磁極とのずれを求めると
(120−90)/2=15度となる。つまり、推力低
下は100−100×COS(15度)=3.4%とな
る。本実施例と比べると約8倍も低下しており、本案を
採用することが良いことがわかる。
【0010】図6の(a)は本実施例のリニアモータに
生じるコギング力の波形を示しており、比較のため
(b)に左右の固定子111、112の永久磁石の位置
を互いにずらさない従来の構造をしたリニアモータに生
じるコギング力の波形を示している。(b)によると、
左右の固定子111、112と可動子120の間に発生
するコギング力が極ピッチを基本周期として同位相にな
っているので、両コギング力が加算されて非常に大きな
コギング力が生じている。これに対して、(a)に示す
本実施例の場合、左右の固定子111、112と可動子
120の間に発生するコギング力の位相差が180度と
なっているため、基本周期が2倍となり、その振幅も小
さなものとなっている。
【0011】次に本発明の第2実施例について説明す
る。図7は第2実施例の構造を示す要部水平断面図であ
り、図8は要部正断面図である。図7は図8のA−A’
断面の断面図である。このモータも3相モータであり、
毎極毎相のスロット数が3/8の可動コイル形リニアモ
ータである。これらの図において、固定子は、左右の固
定子211、212の対面する永久磁石213が移動方
向に対してずれることなく同じ位置に配置され、同極と
なっている点が第1実施例と異なっている。また、可動
子220を第1実施例と比べると分割コア225が異な
っている点を除いて同じように構成されている。分割コ
ア225は、第1実施例の十字形分割コア125の片側
の磁極を切り落としたような形状をしており、磁極が左
右交互になるよう同じ分割コア225が18個機械的に
連結されている。左側に伸びた分割コア225の磁極に
は左側電機子巻線223が巻回され、右側に伸びた分割
コア225の磁極には右側電機子巻線224が巻回され
ており、可動子220の長手方向の両端は磁極先端の面
積が半分で巻線を巻回されていない分割コアが取付けら
れている。
【0012】右側電機子巻線224は図9に示すように
UR−XR、VR−YR、WR−ZRの3本から成り、
左側電機子巻線223はUL−XL、VL−YL、WL
−ZLの3本から成っており、これらが図4のように結
線されている。ここで、電機子巻線の結線方法を図9、
図4をもとに説明する。図中の数字はスロット番号を表
している。図に示されているように、右側電機子巻線2
24と左側電機子巻線223は+方向(図の右方向)に
4.5スロット分ずれており、3本とも右側電機子巻線
224の巻き終わりと左側電機子巻線223の巻き始め
が接続されている。ここで、左右電機子巻線のずれを電
気角で表すと4×160+160/2=720度となっ
ている。
【0013】次に、推力発生の原理について説明する。
電機子巻線のU相にピーク電流が流れる時、図9に示し
た電機子巻線により、右側電機子巻線224と左側電機
子巻線223の起磁力が作る磁束は機械角で4.5スロ
ット分のずれが生じる。図10はこれらの磁束分布と発
生する推力の方向を表しており、このずれが電気角で7
20度、すなわち720−2×360=0度となってい
る。従って、起磁力による磁束分布と永久磁石213の
磁極とは電気角で全くずれが無く、推力低下も全く落ち
ることがないことを示している。また、永久磁石213
の磁極中心位置と電機子起磁力による磁束分布の山もし
くは谷は電気角で90度ずれているので、可動子220
は磁気力による吸引と反発によって矢印方向に推力が発
生する。そして、可動子220の位置に応じて順次電機
子電流を切り替えていくことにより、可動子220は矢
印の方向に進むことができる。この実施例で生じるコギ
ング力の波形は図6に示した第1実施例のものと同じよ
うなものとなる。
【0014】なおこの実施例では、分割コアの連結部の
仕上がり精度がよくない時、連結部に微少なギャップが
生じて電機子に長手方向のそりやうねりが発生する恐れ
があり、永久磁石と電機子ティース間のギャップのバラ
ツキによってコギング力が発生することが懸念される。
しかし、第1実施例と同様に、図7、図8に示されてい
るように、分割コア225の貫通穴227にボルト22
6を通し、可動子上部材221と可動子下部材222で
上下から挟み込んで固定しているため、そりやうねりの
発生が強制的に抑えられている。
【0015】次に本発明の第3実施例について説明す
る。図11は第4実施例の構造を示す要部水平断面図で
あり、図7の第2実施例と異なるのは2つの分割コア2
25を一体にして分割コア325を形成している点であ
る。このため、第2実施例と比べると可動子の剛性が向
上しており、歪みとそれによる推力リップルの発生が更
に抑えられる。巻線の巻き方などは第2実施例と同じで
あるので、第2実施例と同様にコギング力を低減する効
果があり、部品点数が少なく組立時間を短縮できるとい
う効果がある。
【0016】次に本発明の第4実施例について説明す
る。図12は第4実施例の構造を示す要部水平断面図で
あり、図13は要部正断面図である。図12は図13の
A−A’断面の断面図である。このモータは3相モータ
であり、毎極毎相のスロット数が3/8の可動磁石形リ
ニアモータである。このモータの可動子420は左右に
2つの永久磁石ユニット421、422を備えている。
永久磁石ユニット421の左右にはエアギャップを介し
て電機子ユニット414、415が設けられ、永久磁石
ユニット422の左右にはエアギャップを介して電機子
ユニット416、417が設けられている。永久磁石ユ
ニット421、422にはそれぞれ永久磁石423が等
間隔で長手方向に9個固着されており、長手方向に順次
異極となるよう着磁されている。永久磁石ユニット41
2、413に固着された永久磁石423は同じ移動方向
(図12の上下方向)の位置にあり、電機子ユニット4
14、415、416、417は電機子巻線413を巻
回した同じ形状の分割コア412をピッチτで等間隔に
並べて構成されている。そして各電機子ユニット41
4、415、416、417の分割コア412の移動方
向の位置は電機子ユニット414と電機子ユニット41
6が同じ、電機子ユニット415と電機子ユニット41
7が同じとなっており、電機子ユニット415、417
が電機子ユニット414、416に対し移動方向(図1
2の上方向)に半ピッチずれた配置となっている。
【0017】電機子ユニット414、415、416、
417は、断面に2つの凹部を持つ山形の固定部材41
1の該凹部内側に固定されており、該固定部材を支える
基台と併せて固定子410を構成している。可動子42
0と固定子410の左右両端部の間には移動方向にのみ
移動可能に支持するリニアガイド430が設けられてい
る。
【0018】ここで、電機子巻線の結線方法を図14、
15をもとに説明する。図中の数字はスロット番号を表
している。電機子ユニット414にはU1−X1、V1
−Y1、W1−Z1の3本の巻線が巻回され、電機子ユ
ニット415にはU2−X2、V2−Y2、W2−Z2
の3本の巻線が巻回され、電機子ユニット416にはU
3−X3、V3−Y3、W3−Z3の3本の巻線が巻回
され、電機子ユニット417にはU4−X4、V4−Y
4、W4−Z4の3本の巻線が巻回されている。図に示
されているように、電機子ユニット414、416と電
機子ユニット415、417は移動方向に半ピッチずれ
ており、電機子巻線も4.5スロット分ずれている。こ
のずれは、電気角で4.5×160=720度、すなわ
ち720−2×360=0となっている。
【0019】次に、推力発生の原理について説明する。
電機子巻線のU相にピーク電流が流れる時、図14、1
5に示した電機子巻線によって、電機子ユニット41
4、416と電機子ユニット415、417の作る磁束
分布は機械角で4.5τのずれが生じる。つまり電気角
4.5×160=720度のずれが発生し、電機子ユニ
ット414、416の巻き始めと巻き終わりを反転して
いるので磁束分布波形は反転する。このように、起磁力
が作る磁束分布の山または谷と可動子の永久磁石の磁極
の間の電気角の位相差が90度となっているので、可動
子には矢印の方向に推力が発生する。同様に、可動子の
位置に応じて電機子電流を変化させていくことによっ
て、可動子は矢印の方向に移動する。また、このときの
電機子ユニット414、416と電機子ユニット41
5、417の作る磁束は電気角で720度のずれ、つま
り、電気的には位相差が全く無いので、電機子ユニット
415、417をτ/2ずらしても推力が低下すること
は全く無い。
【0020】以上のように、電機子ユニット414、4
16と永久磁石ユニット421、422間に発生するコ
ギング力と、電機子ユニット415、417と永久磁石
421、422間に発生するコギング力はそれぞれスロ
ットピッチτを基本周期として発生するものの、互いに
相殺され、第1の実施例と同様に、基本周期をτ/2と
して、その振幅も小さくなっている。
【0021】次に本発明の第5実施例について説明す
る。図17は第5実施例の構造を示す要部水平断面図で
あり、要部正断面図は第4実施例と同じである。このモ
ータも3相モータであり、毎極毎相のスロット数が3/
8の可動磁石形リニアモータである。このモータを第4
実施例と比べると、可動子に設けられた永久磁石ユニッ
ト522が永久磁石ユニット521に対し移動方向(図
17の下方向)にスロットピッチの半分ずれて配置さ
れ、電気角で−80度ずれていることと、電機子ユニッ
ト514、515、516、517を構成する分割コア
512の磁極がそれぞれ同じ移動方向の位置にあるとい
う点が異なっている。
【0022】ここで、電機子巻線の結線方法を図18、
図19をもとに説明する。図中の数字はスロット番号を
表している。図に示されているように電機子ユニット5
14の電機子巻線は電機子ユニット516の電機子巻線
に対して+方向に3スロット分(3×τ)ずれており、
巻き始めと巻き終わりが反転している。電機子ユニット
515と電機子ユニット517も同様の関係にあり、電
機子ユニット514、516と電機子ユニット515、
517の電機子巻線も反転している。また、電機子ユニ
ット514と電機子ユニット516の電機子巻線のずれ
は電気角で3×160=480度、すなわち480−3
60=120度になっている。
【0023】次に、推力発生の原理について説明する。
電機子巻線のU相にピーク電流が流れる時、図18、1
9のような電機子巻線により、電機子ユニット514、
516と電機子ユニット515、517の起磁力によっ
て作る磁束は機械角で3×τのずれが生じる。図20は
発生する磁束分布と推力の方向を表している。このずれ
は電気角で3×160=480度、すなわち480―3
60=120度のずれが発生していることを示してい
る。ここで、永久磁石ユニット521、522が電気角
で−80度ずれているので、もし、電機子ユニット51
4、516と永久磁石ユニット521、522の磁極が
電気角で−20度ずれているとすれば、電機子ユニット
515、517と永久磁石ユニット521、522の磁
極は電気角で−20度−80度+120度=20度ずれ
ていることになる。従って、起磁力による磁束分布と永
久磁石の磁極とは電気角で20度のずれしか無く、この
ときの推力低下が100−100×cos(20度)=
6%であるので、推力はほとんど落ちることがないとい
える。また、電機子起磁力の作る磁束分布の山もしくは
谷と可動子の永久磁石の磁極は電気角で約90度(正確
には70度と110度)の位相差となっており、可動子
は矢印で示す方向に推力が発生する。
【0024】次に推力リップルについて説明する。可動
磁石形リニアモータの推力リップルは、可動子両端の永
久磁石の影響によってコギング力とは別に発生するの
で、本実施例のリニアモータに生じる推力リップルの波
形は図21の(a)のようになる。比較のため、 (b)
に2個の永久磁石ユニットを互いに移動方向にずらさな
い従来の構造のリニアモータに生じる推力リップルの波
形を示している。(b)では電機子ユニットと永久磁石
ユニット間に発生する推力はスロットピッチを基本周期
として変動しており、その脈動幅は約4%にもなってい
る。しかし、(a)の本実施例の波形からは、電機子ユ
ニット514、516と永久磁石ユニット521、52
2との間で発生する推力と、電機子ユニット515、5
17と永久磁石ユニット521、522の間で発生する
推力はスロットピッチの半分の位相差が生じるため、推
力リップルの基本周期は2倍となり、その振幅幅も約1
%まで小さくなっていることがわかる。
【0025】以上の実施例では毎極毎相のスロット数を
3/8として説明をしたが、本発明の趣旨に従えば、こ
れに限られることはなく、他のコンビネーションとして
よいことは明らかである。また、第1、第2、第3実施
例では可動コイル形のリニアモータを説明し、第4、第
5実施例では可動磁石形のリニアモータを説明したが、
本発明の趣旨によると上記各実施例の可動側を固定側と
して使用し、固定側を可動側として使用しても何ら差し
つかえるものではなく、いずれの構造であっても同様の
効果を得ることができる。
【0026】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、左
右の永久磁石をずらして配置したり、左右の電機子ティ
ースをずらして配置するので、スロット内の巻線占積率
を向上したままコギング力や推力リップルを小さくする
ことができる。また、電機子ティースを左右交互に連結
しただけでは左右の電機子巻線の鎖交磁束に位相差が生
じて推力が低下していたが、本発明により左右の電機子
巻線をずらした分の電気角もしくはそれに近い電気角分
ずらして巻回すようにしているので、推力低下をきたす
ことなく滑らかな駆動力を得ることができて、リニアモ
ータの実用性を高める効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1実施例の構造を示す要部水平断面図
【図2】第1実施例の構造を示す要部正断面図
【図3】第1実施例の巻線図
【図4】第1実施例の巻線の結線図
【図5】第1実施例の磁束分布と推力方向を示す図
【図6】第1実施例のコギング力波形を示す図 (a)は第1実施例の場合、(b)は従来の場合
【図7】第2実施例の構造を示す要部水平断面図
【図8】第2実施例の構造を示す要部正断面図
【図9】第2実施例の巻線図
【図10】第2実施例の磁束分布と推力方向を示す図
【図11】第3実施例の構造を示す要部水平断面図
【図12】第4実施例の構造を示す要部水平断面図
【図13】第4実施例の構造を示す要部正断面図
【図14】第4実施例の巻線の結線図
【図15】第4実施例の巻線図
【図16】第4実施例の磁束分布と推力方向を示す図
【図17】第5実施例の構造を示す要部水平断面図
【図18】第5実施例の巻線図
【図19】第5実施例の巻線の結線図
【図20】第5実施例の磁束分布と推力方向を示す図
【図21】第5実施例の推力リップル波形を示す図 (a)は第5実施例の場合、(b)は従来の場合
【記号の説明】
111、211、311 左側固定子 112、212、312 右側固定子 113、213、313、423、523 永久磁石 120、220、420 可動子 121、221 可動子上部材 122、222 可動子下部材 123、223、323 左側電機子巻線 124、224、324 右側電機子巻線 125 十字形分割コア 126、226 ボルト 127、227、327 貫通穴 410 固定子 411 山形の固定部材 225、325、412、512 分割コア 413、513 電機子巻線 414、415、416、417、514、515、5
16、517 電機子ユニット 421、422、521、522 永久磁石ユニット 430 リニアガイド

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】複数の永久磁石が移動方向に沿って順次異
    極となるよう内側に等間隔に固着された左右の平行な固
    定子と、 コイルを巻回した分割コアを移動方向に並べて機械的に
    結合するとともに、前記固定子の中央に配置されて移動
    方向に移動可能に支持され、前記分割コアの側面が前記
    永久磁石とエアギャップを介して対面するよう磁極面を
    形成する可動子と、からなるリニアモータにおいて、 左右の前記固定子に設けられた前記永久磁石の移動方向
    位置は互いに半ピッチずれており、 左右の前記電機子巻線の移動方向位置は互いに1スロッ
    ト以上ずれており、 左右の前記電機子巻線の接続は同相の巻線が直列もしく
    は並列に接続されていることを特徴とするリニアモー
    タ。
  2. 【請求項2】複数の永久磁石が移動方向に沿って順次異
    極となるよう内側に等間隔に固着された左右の平行な固
    定子と、 コイルを巻回した分割コアを移動方向に並べて機械的に
    結合するとともに、前記固定子の中央に配置されて移動
    方向に移動可能に支持され、前記分割コアの側面が前記
    永久磁石とエアギャップを介して対面するよう磁極面を
    形成する可動子と、からなるリニアモータにおいて、 左右の前記磁極面の移動方向位置は互いに半ピッチずれ
    ており、 左右の前記電機子巻線の移動方向位置は互いに1スロッ
    ト以上±0.5スロットずれており、 左右の前記電機子巻線の接続は同相の巻線が直列もしく
    は並列に接続されていることを特徴とするリニアモー
    タ。
  3. 【請求項3】永久磁石を等間隔に配置した永久磁石ユニ
    ットと前記永久磁石の両側にコイルを巻回した2個の電
    機子ユニットとからなる同じリニアモータが2個平行に
    並べられるとともに、前記2個の永久磁石ユニットが同
    じ可動子の一部となっているリニアモータにおいて、 2個の前記永久磁石ユニットに設けられた前記永久磁石
    は互いに移動方向の同じ位置にあり、 前記永久磁石ユニットの両側にある前記電機子ユニット
    の移動方向位置は互いに半ピッチずれており、 左右の前記電機子巻線の移動方向位置は互いに1スロッ
    ト以上±0.5スロットずれており、 左右の前記電機子巻線の接続は同相の巻線が直列もしく
    は並列に接続されることを特徴とするリニアモータ。
  4. 【請求項4】永久磁石を等間隔に配置した永久磁石ユニ
    ットと前記永久磁石の両側にコイルを巻回した2個の電
    機子ユニットとからなる同じリニアモータが2個平行に
    並べられるとともに、2個の前記永久磁石ユニットが同
    じ可動子の一部となっているリニアモータにおいて、 2個の前記永久磁石ユニットに設けられた前記永久磁石
    の移動方向位置は互いにスロットピッチの半分ずれてお
    り、 左右の前記電機子ユニットは互いに同じ移動方向位置に
    あり、 左右の前記電機子巻線の移動方向位置は互いに1スロッ
    ト以上ずれており、 左右の電機子巻線の接続は同相の巻線が直列もしくは並
    列に接続されることを特徴とするリニアモータ。
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