JPH11260301A - Transmission electron microscope - Google Patents
Transmission electron microscopeInfo
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- JPH11260301A JPH11260301A JP10056416A JP5641698A JPH11260301A JP H11260301 A JPH11260301 A JP H11260301A JP 10056416 A JP10056416 A JP 10056416A JP 5641698 A JP5641698 A JP 5641698A JP H11260301 A JPH11260301 A JP H11260301A
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- sample
- coordinates
- luminance
- sample stage
- area
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- Pending
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】透過電子顕微鏡にて試料の視
野検索を自動的に行う場合、試料ステージ駆動をＣＰＵ
制御することにより、目的の試料領域を走査移動して検
索に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION When a visual field search of a sample is automatically performed by a transmission electron microscope, a sample stage is driven by a CPU.
By performing control, the target sample area is scanned and moved to relate to the search.
【０００２】[0002]
【従来の技術】このような場合従来の装置においては、
試料の有無，破損状態に関係なく試料が走査されるた
め、例えば支持膜の破損により良好な像観察に適さない
領域等までも検索される可能性があり、検索に多大な時
間を費やす傾向があった。また、無試料領域あるいは試
料の破損した領域を除いて検索したい場合でも、目視に
より該領域を特定しなければならず、この作業は煩雑で
かなりの疲労を伴うものであった。2. Description of the Related Art In such a case, in a conventional apparatus,
Since the sample is scanned irrespective of the presence / absence of the sample and the state of damage, it may be possible to search for areas that are not suitable for good image observation due to, for example, damage to the support film. there were. Further, even when it is desired to search without a sample-free area or a damaged area of a sample, the area must be visually identified, and this operation is complicated and involves considerable fatigue.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、従来
試料の有無あるいは破損状態を目視で確認することによ
り検索領域を特定していた透過電子顕微鏡試料の視野検
索について、ＴＶカメラ等で撮像された画像上の特定領
域における輝度の合計若しくは平均値を計測し、該輝度
が予め決定された基準値を超えた場合、該領域内は検索
に不適切と認識して走査移動することなしに飛ばし、次
領域を走査移動するよう試料ステージの自動制御を行う
ことにより、効率的な試料視野検索が可能な透過電子顕
微鏡を提供することである。SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to use a TV camera or the like to search for a visual field of a transmission electron microscope sample in which a search area has been specified by visually checking the presence or absence or damage of the sample. Measure the total or average value of the brightness in a specific area on the image obtained, and if the brightness exceeds a predetermined reference value, the area in the area is recognized as inappropriate for the search without scanning and moving. An object of the present invention is to provide a transmission electron microscope capable of performing an efficient sample visual field search by automatically controlling a sample stage so as to skip and scan and move a next area.
【０００４】[0004]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成させるた
めに、ＴＶ画像上の予め決定された試料座標における輝
度の合計若しくは平均を計測する手段と、該輝度と予め
決定された基準値とを演算比較する手段と、該輝度が基
準値を超えた場合、該試料座標は検索不適切と認識され
る手段と、該試料座標を自動的に記録する手段と、試料
を走査移動中に該試料座標に到達した際、該試料座標を
走査移動することなく、次領域に移動するように制御さ
れる手段を備えたことを特徴とする。In order to achieve the above object, means for measuring the total or average of luminance at predetermined sample coordinates on a TV image, and a method for measuring the luminance and a predetermined reference value Means for calculating and comparing, means for recognizing the sample coordinates as inappropriate when the luminance exceeds a reference value, means for automatically recording the sample coordinates, and means for automatically scanning the sample while moving the sample. When the coordinates reach the coordinates, the sample coordinates are controlled to move to the next area without scanning movement.
【０００５】[0005]
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施例を図面を
用いて説明する。図１の１は電子顕微鏡鏡体である。電
子銃２より発生した電子線３を収束するための収束レン
ズ４，試料５が装填される試料ステージ６，対物レンズ
７，投影レンズ８及び試料像を撮像するＴＶカメラ９が
配置されている。ＴＶカメラ９からの信号はアンプ１０
に送られ増幅されてＴＶモニタ１１上に画像として表示
される。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. Reference numeral 1 in FIG. 1 denotes an electron microscope mirror. A converging lens 4 for converging the electron beam 3 generated from the electron gun 2, a sample stage 6 on which a sample 5 is loaded, an objective lens 7, a projection lens 8, and a TV camera 9 for capturing a sample image are arranged. The signal from the TV camera 9 is transmitted to the amplifier 10
Is amplified and displayed as an image on the TV monitor 11.
【０００６】さらに、ＴＶカメラ９には輝度計測手段１
７と、計測値を判定する判定手段１８が接続されてい
る。前記試料ステージ６には試料の観察領域を移動させ
るため試料ステージ駆動機構１２と、該駆動を制御する
試料ステージ駆動制御機構１３が接続されている。Further, the TV camera 9 has a luminance measuring means 1
7 and a judging means 18 for judging a measured value are connected. The sample stage 6 is connected to a sample stage drive mechanism 12 for moving the observation region of the sample and a sample stage drive control mechanism 13 for controlling the drive.
【０００７】さらに試料ステージ駆動制御機構１３には
規格化されたグリッドのサイズ情報を入力する入力装置
Ａ１４と、検索したい試料領域を入力する入力装置Ｂ１
５と、入力された領域を表示するための表示装置１６が
接続されている。Further, an input device A14 for inputting standardized grid size information and an input device B1 for inputting a sample area to be searched are input to the sample stage drive control mechanism 13.
5 and a display device 16 for displaying the input area.
【０００８】このような構成の装置を用いて試料の自動
検索を行う手順を以下に述べる。先ず、入力装置Ａ１４
により規格化されたグリッドサイズ情報を入力（設定
１）すると表示装置１６にはグリッド孔に対応した座標
が表示されるので、入力装置Ｂ１５により該座標におい
て検索したい試料領域を入力する（設定２）。前記グリ
ッドサイズ，試料領域の各情報はＣＰＵ１９を介して試
料ステージ駆動制御機構１３に伝達される。A procedure for automatically searching for a sample using the apparatus having such a configuration will be described below. First, the input device A14
When the grid size information standardized according to (1) is input (setting 1), the coordinates corresponding to the grid holes are displayed on the display device 16, and the input device B15 is used to input the sample area to be searched at the coordinates (setting 2). . The information on the grid size and the sample area is transmitted to the sample stage drive control mechanism 13 via the CPU 19.
【０００９】このとき試料ステージ駆動制御機構１３
は、前記情報を基に検索に適したステージ移動量，検索
方向を自動設定する(設定３)。さらに、レンズ制御装置
Ａ２１により図２（ａ）の如く１つのグリッド孔のみの
試料像が結像されるよう倍率も自動設定される。そし
て、グリッド孔が観察領域の中央に位置するように試料
ステージ６を移動する。At this time, the sample stage drive control mechanism 13
Automatically sets a stage movement amount and a search direction suitable for a search based on the information (setting 3). Further, the magnification is automatically set by the lens control device A21 so that a sample image of only one grid hole is formed as shown in FIG. Then, the sample stage 6 is moved so that the grid hole is located at the center of the observation area.
【００１０】一方、電子銃２より放出された電子線３
は、予め試料のない領域を撮像して計測されＲＡＭ２０
にストアされた基準輝度と同じ値を再現するようにレン
ズ制御装置Ｂ２２により制御され、グリッド孔に照射さ
れる（手順１）。照射された電子線３は、試料を透過し
ＴＶモニタ１１上に電子顕微鏡像を表示する。ここでＴ
Ｖカメラ９上の輝度を輝度計測手段１７が計測し、計測
情報が判定手段１８に送られると、基準値との大小を演
算比較する（手順２）。ここで無試料であったり、図２
（ａ）の如く破損していたりすると該輝度が基準値を超
えるので、このときの試料位置座標がＲＡＭ２０にスト
アされ、表示装置１６上の座標が図２（ｃ）の如く識別
される（手順３）。On the other hand, the electron beam 3 emitted from the electron gun 2
Is measured in advance by imaging an area without a sample,
Is controlled by the lens control device B22 so as to reproduce the same value as the reference luminance stored in the grid hole, and is applied to the grid holes (procedure 1). The irradiated electron beam 3 passes through the sample and displays an electron microscope image on the TV monitor 11. Where T
The luminance on the V-camera 9 is measured by the luminance measuring means 17, and when the measurement information is sent to the judging means 18, the magnitude of the measured value is compared with the reference value (Step 2). Here, there is no sample,
If the pixel is damaged as shown in FIG. 2A, the luminance exceeds the reference value. Therefore, the coordinates of the sample position at this time are stored in the RAM 20, and the coordinates on the display device 16 are identified as shown in FIG. 3).
【００１１】その後試料ステージ６は、設定２で自動設
定された移動量だけ試料５を移動させ（手順４）、次の
グリッド孔に電子線３が照射される（手順１）。このよ
うに、設定３で設定された領域全体の移動が終了するま
で、手順１から手順４が繰り返され検索を終了する。Thereafter, the sample stage 6 moves the sample 5 by the movement amount automatically set in the setting 2 (procedure 4), and the next grid hole is irradiated with the electron beam 3 (procedure 1). As described above, until the movement of the entire area set in the setting 3 is completed, the procedures 1 to 4 are repeated, and the search is completed.
【００１２】前記検索終了後に、試料ステージ駆動制御
機構１３は、手順３で最初に記憶されたグリッド孔が視
野中央に来るように試料ステージ６を制御し、グリッド
孔領域内を移動して検索を行う。検索中の試料微動速度
は、設定１で入力されたグリッドサイズ情報に基づき制
御され、最適な速度で検索が可能である。After completion of the search, the sample stage drive control mechanism 13 controls the sample stage 6 so that the grid hole initially stored in step 3 is located at the center of the field of view, and moves within the grid hole area to perform the search. Do. The sample fine movement speed during the search is controlled based on the grid size information input in the setting 1, and the search can be performed at an optimum speed.
【００１３】最初のグリッド孔の検索が終了すると、手
順３で次に記憶されたグリッド孔が視野中央に移動する
ように試料ステージ６が制御され、移動し引き続き検索
を行う。このようにして、手順３で設定された領域全体
の移動が終了するまで図２（ｃ）の如く繰り返される。When the search for the first grid hole is completed, the sample stage 6 is controlled so that the grid hole stored next in step 3 moves to the center of the visual field, and the sample stage 6 is moved and the search is continued. In this way, the operation is repeated as shown in FIG. 2C until the movement of the entire area set in the procedure 3 is completed.
【００１４】[0014]
【発明の効果】本発明によると、電子顕微鏡の観察視野
検索について、撮影観察に適した視野が自動で設定され
るので、効率のよい観察が可能である。また、観察に適
さない領域は試料ステージが通過しないので、検索時間
を短縮することができる。According to the present invention, the field of view suitable for photographing and observation is automatically set for the observation field of view of the electron microscope, so that efficient observation is possible. In addition, since the sample stage does not pass through an area that is not suitable for observation, the search time can be reduced.
【図１】従来の透過電子顕微鏡と本発明の試料検索装置
を備えた透過電子顕微鏡の説明図。FIG. 1 is an explanatory view of a conventional transmission electron microscope and a transmission electron microscope equipped with a sample retrieval device of the present invention.
【図２】本発明の一実施例であるＴＶ像で表示された試
料領域の平面図。FIG. 2 is a plan view of a sample area displayed as a TV image according to an embodiment of the present invention.
１…電子顕微鏡鏡体、２…電子銃、３…電子線、４…収
束レンズ、５…試料、６…試料ステージ、７…対物レン
ズ、８…投影レンズ、９…ＴＶカメラ、１０…アンプ、
１１…ＴＶモニタ、１２…試料ステージ駆動機構、１３
…試料ステージ駆動制御機構、１４…入力装置Ａ、１５
…入力装置Ｂ、１６…表示装置、１７…輝度計測手段、
１８…判定手段、１９…ＣＰＵ、２０…ＲＡＭ、２１…
レンズ制御装置Ａ、２２…レンズ制御装置Ｂ。DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Electron microscope body, 2 ... Electron gun, 3 ... Electron beam, 4 ... Convergence lens, 5 ... Sample, 6 ... Sample stage, 7 ... Objective lens, 8 ... Projection lens, 9 ... TV camera, 10 ... Amplifier
11: TV monitor, 12: Sample stage drive mechanism, 13
... Sample stage drive control mechanism, 14 ... Input device A, 15
... Input device B, 16 ... Display device, 17 ... Brightness measuring means,
18 ... determination means, 19 ... CPU, 20 ... RAM, 21 ...
Lens control devices A, 22... Lens control device B.
Claims (2)
観察領域座標を変化させる試料ステージ駆動手段と、該
座標を記憶する記憶手段と、該座標を画面上の各箇所に
対応させて表示する表示手段と、検索する試料の座標を
設定する手段と、倍率により移動量ならびに移動速度を
変化させるように試料ステージ駆動を制御する試料ステ
ージ駆動制御手段と、試料像を撮影する撮像装置と、撮
像画像上の領域を特定する手段を備えた透過電子顕微鏡
において、撮像した画像上の特定領域における輝度の合
計若しくは平均を計測する手段と、該計測した輝度値と
基準値として予め設定された輝度とを演算比較する手段
と、該演算結果に基づいて試料座標を前記記憶手段によ
って自動的に記憶する手段と、該試料座標を前記表示装
置により色別表示して識別可能にする手段を備えたこと
を特徴とする透過電子顕微鏡。1. A sample stage, a sample stage driving means for driving the sample stage to change the coordinates of an observation area, a storage means for storing the coordinates, and displaying the coordinates in correspondence with each position on the screen. Display means, means for setting coordinates of a sample to be searched, sample stage drive control means for controlling sample stage drive so as to change a moving amount and a moving speed according to a magnification, an imaging device for taking a sample image, and an imaging device In a transmission electron microscope equipped with a means for specifying an area on an image, a means for measuring the total or average of the luminance in a specific area on a captured image, and a luminance previously set as the measured luminance value and a reference value. Means for comparing and calculating the coordinates, means for automatically storing the sample coordinates by the storage means based on the calculation result, and displaying the sample coordinates by the display device in different colors. Transmission electron microscope characterized by comprising means for enabling identification Te.
試料ステージ駆動制御手段は、自動検索するために設定
した試料座標領域に、前記の如く識別され記憶された試
料座標が含まれた場合、試料ステージが該試料座標を走
査移動することなく、識別された試料座標以外の試料座
標領域を移動するように制御することを特徴とする透過
電子顕微鏡。2. The transmission electron microscope according to claim 1, wherein
The sample stage drive control means, when the sample coordinates identified and stored as described above are included in the sample coordinate area set for automatic search, the sample stage is identified without scanning and moving the sample coordinates. A transmission electron microscope characterized in that it is controlled to move a sample coordinate area other than the sample coordinates.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10056416A JPH11260301A (en) | 1998-03-09 | 1998-03-09 | Transmission electron microscope |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10056416A JPH11260301A (en) | 1998-03-09 | 1998-03-09 | Transmission electron microscope |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11260301A true JPH11260301A (en) | 1999-09-24 |
Family
ID=13026529
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10056416A Pending JPH11260301A (en) | 1998-03-09 | 1998-03-09 | Transmission electron microscope |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11260301A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009009771A (en) * | 2007-06-27 | 2009-01-15 | Jeol Ltd | Sample transfer method of transmission electron microscope |
-
1998
- 1998-03-09 JP JP10056416A patent/JPH11260301A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009009771A (en) * | 2007-06-27 | 2009-01-15 | Jeol Ltd | Sample transfer method of transmission electron microscope |
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