JPH112598A - Fine area lighting system - Google Patents
Fine area lighting systemInfo
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- JPH112598A JPH112598A JP15533197A JP15533197A JPH112598A JP H112598 A JPH112598 A JP H112598A JP 15533197 A JP15533197 A JP 15533197A JP 15533197 A JP15533197 A JP 15533197A JP H112598 A JPH112598 A JP H112598A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、例えばプリント基
板上に実装された電子部品等の半田付部の状態を検査す
る半田付外観検査装置において対象部品を照明したり、
或いは顕微鏡で試料を観察する際にその試料を照明する
場合などに用いる微細領域の照明装置に関し、特に、装
置のコンパクト性を保ちつつ、対象物に照射する光の透
過性が高く且つ高効率で拡散すると共に中心部から周辺
部まで照明光を均一化することができる微細領域の照明
装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to, for example, illuminating a target component in a soldering visual inspection apparatus for inspecting a state of a soldering portion of an electronic component or the like mounted on a printed circuit board.
Alternatively, the present invention relates to an illumination device for a fine region used when illuminating a sample when observing the sample with a microscope, and particularly, while maintaining compactness of the device, has high transmittance and high efficiency of light applied to an object. The present invention relates to an illumination device for a fine region that can diffuse and uniform illumination light from a central portion to a peripheral portion.
【０００２】[0002]
【従来の技術】例えば、発光体として１個の発光ダイオ
ード（以下「ＬＥＤ」という）から照明の対象物に光を
直接照射すると、そのときの照明光の強度分布は図１７
（ａ）に示すようになる。また、複数個のＬＥＤから発
生されコンボリューションされた光を照明の対象物に直
接照射したとき、その光の一部を見る線像強度分布は図
１７（ｂ）に示すようになる。このような直接照射の照
明光で微細領域を照明した場合は、上記図１７（ａ）又
は（ｂ）に示す強度分布又は線像強度分布では、横軸方
向（ｘ座標）において輝度が急激なカーブを描いてお
り、中心部と周辺部とで大きな輝度差が出てしまう。し
たがって、照明の対象物の中心部と周辺部とで明るさの
差が出て、例えば所要の検査が高精度で実施できないこ
とがあった。2. Description of the Related Art For example, when light is directly radiated from a single light emitting diode (hereinafter referred to as "LED") as an illuminant to an object to be illuminated, the intensity distribution of the illuminating light at that time is shown in FIG.
As shown in FIG. Further, when the convolved light generated from the plurality of LEDs is directly applied to the object to be illuminated, the line image intensity distribution that sees a part of the light is as shown in FIG. When a minute area is illuminated with such direct illumination light, the luminance is sharp in the horizontal axis direction (x coordinate) in the intensity distribution or line image intensity distribution shown in FIG. 17A or 17B. Since the curve is drawn, a large difference in brightness appears between the center and the periphery. Therefore, there is a difference in brightness between the central part and the peripheral part of the object to be illuminated, and for example, a required inspection cannot be performed with high accuracy.
【０００３】これに対し、従来の微細領域の照明装置、
例えば半田付外観検査装置の照明装置は、特開平７−２
４３９８６号公報に示されるように、中央部に撮影用孔
を有する円板状の取付部材の下面側に上記撮影用孔を中
心として同心円状に多数の発光体（ＬＥＤ）を配置し、
これらの発光体の下方にて該多数の発光体の光照射方向
には上記取付部材の撮影用孔に対応する透孔を有する光
拡散用のスモーク板を取り付け、このスモーク板で上記
多数の発光体から照射される光を拡散して対象部品を照
明するようになっていた。そして、これにより対象物に
対する照明光の均一化はある程度実現可能であった。On the other hand, a conventional illumination device for a fine area,
For example, a lighting device of a soldering visual inspection device is disclosed in
As shown in Japanese Patent No. 43986, a large number of light-emitting bodies (LEDs) are arranged concentrically around the photographing hole on the lower surface side of a disk-shaped mounting member having a photographing hole in the center,
Below these illuminants, a light-diffusing smoke plate having a through-hole corresponding to the photographing hole of the mounting member is attached in the light irradiation direction of the multiple illuminants. Light emitted from the body was diffused to illuminate the target component. As a result, the illumination light can be made uniform to the object to some extent.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかし、このような従
来の微細領域の照明装置においては、上記スモーク板で
多数の発光体から照射される光を拡散して対象部品を照
明するようになっていたので、図１７（ｂ）に示す線像
強度分布において急激なカーブを抑えてフラットな分布
特性とすることはできるが、該スモーク板は例えば半透
明乳白色のプラスチック又はガラス製などの円形板から
成るので、光の透過性がやや低く、上記発光体からの照
射光の利用効率が低下することがあった。したがって、
発光体が発生する光の強度をある程度大きくしなければ
ならず、該発光体の寿命が低下することがあった。ま
た、上記スモーク板による光の拡散では、透過した光の
方向成分が殆どなくなり、対象物に対し照明光を一定の
角度で照射することはできなかった。However, in such a conventional illuminating device for a fine area, a target component is illuminated by diffusing light emitted from a large number of illuminants by the smoke plate. Therefore, it is possible to obtain a flat distribution characteristic by suppressing a sharp curve in the line image intensity distribution shown in FIG. 17B. However, the smoke plate is made of, for example, a circular plate made of translucent milky white plastic or glass. Therefore, the light transmittance is slightly low, and the utilization efficiency of the irradiation light from the luminous body may decrease. Therefore,
The intensity of light generated by the light emitter must be increased to some extent, and the life of the light emitter may be reduced. Further, in the diffusion of light by the smoke plate, the directional component of the transmitted light is almost eliminated, and it is not possible to irradiate the object with illumination light at a fixed angle.
【０００５】そこで、本発明は、このような問題点に対
処し、装置のコンパクト性を保ちつつ、対象物に照射す
る光の透過性が高く且つ高効率で拡散すると共に中心部
から周辺部まで照明光を均一化することができる微細領
域の照明装置を提供することを目的とする。Accordingly, the present invention has been made to address the above problems, and has high transparency and high efficiency for irradiating light to an object while maintaining the compactness of the apparatus. It is an object of the present invention to provide a lighting device in a fine region that can make illumination light uniform.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、第一の発明による微細領域の照明装置は、中央部に
対象物を観察するための透孔を有する取付部材と、この
取付部材の片面側にて上記透孔を中心としてリング状に
設けられた発光体と、この発光体の光照射方向に設けら
れ一つの平面上に多数のシリンドリカルレンズを並列配
置して形成されると共に上記取付部材の透孔に対応する
部位には同じく透孔を有し入射光を散乱させる第一のレ
ンチキュラーレンズと、この第一のレンチキュラーレン
ズの片面側に密接して設けられ該第一のレンチキュラー
レンズと同様に構成されると共にそのシリンドリカルレ
ンズの配列方向を上記第一のレンチキュラーレンズのシ
リンドリカルレンズの配列方向と交差させて配置した第
二のレンチキュラーレンズと、この第二のレンチキュラ
ーレンズの光路下流側に近接して設けられると共に上記
取付部材の透孔に対応する部位には同じく透孔を有し上
記第一及び第二のレンチキュラーレンズを透過した光を
後方へ導くフレネルレンズとを備えて成るものである。In order to achieve the above object, a lighting device for a fine area according to a first aspect of the present invention includes a mounting member having a through hole for observing an object at a central portion, and the mounting member. A light-emitting body provided in a ring shape with the through hole as a center on one side of the light-emitting body, and a number of cylindrical lenses are arranged in parallel on one plane provided in a light irradiation direction of the light-emitting body, and A first lenticular lens which also has a through hole at a portion corresponding to the through hole of the mounting member and scatters incident light; and a first lenticular lens which is provided closely on one side of the first lenticular lens. And a second lenticular arranged such that the arrangement direction of the cylindrical lenses intersects the arrangement direction of the cylindrical lenses of the first lenticular lens. A lens, which is provided close to the optical path downstream side of the second lenticular lens and has a through-hole at a portion corresponding to the through-hole of the mounting member, and has a through-hole which is transmitted through the first and second lenticular lenses. And a Fresnel lens for guiding light backward.
【０００７】そして、上記フレネルレンズは、全体とし
てプラス焦点のレンズの働きをするものである。The Fresnel lens functions as a plus-focus lens as a whole.
【０００８】また、第二の発明による微細領域の照明装
置は、中央部に対象物を観察するための透孔を有する取
付部材と、この取付部材の片面側にて上記透孔を中心と
してリング状に設けられた発光体と、この発光体の光照
射方向にて該発光体に近接して設けられると共に上記取
付部材の透孔に対応する部位には同じく透孔を有し発光
体の照射光を後方へ導く第一のフレネルレンズと、この
第一のフレネルレンズの光路下流側に近接して設けられ
ると共に上記取付部材の透孔に対応する部位には同じく
透孔を有し上記第一のフレネルレンズを透過した光を中
心部に向けて平行に屈折させる第二のフレネルレンズと
を備えて成るものである。[0008] The illumination device for a fine area according to the second aspect of the present invention is a mounting member having a through hole for observing an object at a central portion, and a ring centering on the through hole on one side of the mounting member. A luminous body provided in the shape of a luminous body, and a luminous body which is provided close to the luminous body in the light irradiation direction of the luminous body and has the same through-hole at a portion corresponding to the through-hole of the mounting member. A first Fresnel lens that guides light backward, and a first hole that is provided close to the optical path downstream of the first Fresnel lens and that has a through hole at a portion corresponding to the through hole of the mounting member. And a second Fresnel lens which refracts light transmitted through the Fresnel lens toward the center in parallel.
【０００９】そして、上記第一のフレネルレンズは、全
体としてマイナス焦点のレンズの働きをするものであ
る。The first Fresnel lens functions as a negative-focus lens as a whole.
【００１０】さらに、第三の発明による微細領域の照明
装置は、中央部に対象物を観察するための透孔を有する
取付部材と、この取付部材の片面側にて上記透孔を中心
としてリング状に設けられた発光体と、この発光体の光
照射方向にて該発光体の位置に対応してリング状に設け
られその照射光を後方へ導くシリンドリカルレンズと、
このシリンドリカルレンズの光路下流側に近接して設け
られると共に上記取付部材の透孔に対応する部位には同
じく透孔を有し上記シリンドリカルレンズを透過した光
を中心部に向けて平行に屈折させるフレネルレンズとを
備えて成るものである。Further, the illumination device for a fine region according to the third invention is a mounting member having a through hole for observing an object at a central portion, and a ring centered on the through hole on one side of the mounting member. A light emitting body provided in a shape, a cylindrical lens provided in a ring shape corresponding to the position of the light emitting body in the light irradiation direction of the light emitting body and guiding the irradiation light backward,
A Fresnel that is provided adjacent to the downstream side of the optical path of the cylindrical lens and has a through hole at a position corresponding to the through hole of the mounting member, and refracts light transmitted through the cylindrical lens in parallel toward the center. And a lens.
【００１１】[0011]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図面に基づいて詳細に説明する。図１は第一の発明によ
る微細領域の照明装置の実施の形態を示す断面説明図で
ある。図１の例は、例えばプリント基板１上に実装され
た電子部品等の半田付部の状態を検査する半田付外観検
査装置において対象部品２を照明する照明装置を示して
おり、この照明装置は、図１に示すように、取付部材３
と、発光体４と、第一のレンチキュラーレンズ５ａと、
第二のレンチキュラーレンズ５ｂと、フレネルレンズ６
とを備えて成る。Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is an explanatory sectional view showing an embodiment of a lighting device for a fine region according to the first invention. The example of FIG. 1 shows a lighting device that illuminates a target component 2 in a soldering appearance inspection device that inspects a state of a soldered portion of an electronic component or the like mounted on a printed board 1, for example. As shown in FIG.
A light emitter 4, a first lenticular lens 5a,
Second lenticular lens 5b and Fresnel lens 6
And comprising.
【００１２】上記取付部材３は、この照明装置の発光体
４を取り付けて配線する部材となるもので、図２に示す
ように適宜の直径（例えば200mm）の円板状に形成さ
れ、その中央部には検査対象のプリント基板１上に実装
された電子部品等の対象部品２を上方から観察するため
の透孔７が形成されている。なお、図１において、符号
８は上記プリント基板１上に実装された対象部品２の外
観検査のために撮影するテレビカメラ又はＣＣＤカメラ
等の撮像装置を示し、符号９は上記対象部品２からの反
射光を撮像装置８に結像させるレンズを示している。The mounting member 3 is a member for mounting and wiring the luminous body 4 of the lighting device, and is formed in a disk shape having an appropriate diameter (for example, 200 mm) as shown in FIG. In the portion, a through hole 7 for observing the target component 2 such as an electronic component mounted on the printed board 1 to be inspected from above is formed. In FIG. 1, reference numeral 8 denotes an imaging device such as a television camera or a CCD camera for photographing the target component 2 mounted on the printed circuit board 1 for appearance inspection, and reference numeral 9 denotes a signal from the target component 2. A lens for forming an image of the reflected light on the imaging device 8 is shown.
【００１３】上記取付部材３の片面側（例えば下面側）
にて同一平面内には、多数の発光体４が取り付けられて
いる。この発光体４は、上記プリント基板１上に実装さ
れた電子部品等の半田付部の状態を検査するために対象
部品２を照明する照明光を発するもので、例えば発光ダ
イオード（ＬＥＤ）から成り、図２に示すように上記透
孔７を中心として複数の同心円状にリング状に配置され
ている。One side (for example, the lower side) of the mounting member 3
In the same plane, a large number of light emitters 4 are mounted. The luminous body 4 emits illumination light for illuminating the target component 2 for inspecting a state of a soldered portion of an electronic component or the like mounted on the printed board 1, and includes, for example, a light emitting diode (LED). As shown in FIG. 2, a plurality of concentric rings are arranged around the through hole 7.
【００１４】上記発光体４の光照射方向すなわち下方側
には、第一のレンチキュラーレンズ５ａが設けられてい
る。この第一のレンチキュラーレンズ５ａは、上記発光
体４から発せられた光を入射して散乱させるもので、図
３に示すように一つの平面上に多数のシリンドリカルレ
ンズ（かまぼこ型に形成された棒状レンズ）１０，１
０，…を並列配置して形成され、全体として図１に示す
取付部材３と同程度の大きさの円板状に形成されると共
に、上記取付部材３の透孔７に対応する部位には同じく
透孔１１が形成されている。この第一のレンチキュラー
レンズ５ａの特性としては、図３に示すように、点光源
としての一つの発光体４から射出された光が透過するこ
とにより、オブジェクト面１２には上記多数のシリンド
リカルレンズ１０，１０，…の配列方向に沿って帯状に
延びる光照射面１３が形成されるという特性を有する。
なお、上記第一のレンチキュラーレンズ５ａは、図１に
おいて発光体４の下方にて所定の間隔（例えば約１０mm
程度の間隔）で近接して設けられている。これは、近接
しすぎると第一のレンチキュラーレンズ５ａによる拡散
効果が薄れ、離しすぎると装置自体が大型化してしまう
からである。A first lenticular lens 5a is provided in a light irradiation direction, that is, a lower side of the light emitting body 4. The first lenticular lens 5a is for radiating the light emitted from the luminous body 4 by being incident thereon, and as shown in FIG. Lens) 10, 1
Are formed in parallel with each other, and are formed in a disk shape having the same size as that of the mounting member 3 shown in FIG. Similarly, a through hole 11 is formed. As a characteristic of the first lenticular lens 5a, as shown in FIG. 3, the light emitted from one light emitting body 4 as a point light source is transmitted, so that the object surface 12 has a large number of the cylindrical lenses 10a. , 10,... Are formed so as to form a light irradiation surface 13 extending in a strip shape along the arrangement direction.
Note that the first lenticular lens 5a is disposed at a predetermined distance (for example, about 10 mm) below the light emitting body 4 in FIG.
(Approximate intervals). This is because if too close, the diffusion effect of the first lenticular lens 5a will be weakened, and if too far, the device itself will be large.
【００１５】上記第一のレンチキュラーレンズ５ａの片
面側すなわち下面側には、第二のレンチキュラーレンズ
５ｂが密接して設けられている。この第二のレンチキュ
ラーレンズ５ｂは、上記第一のレンチキュラーレンズ５
ａから射出された光を入射して散乱させるもので、図４
に示すように一つの平面上に多数のシリンドリカルレン
ズ１０，１０，…を並列配置して第一のレンチキュラー
レンズ５ａと同様に構成され、図１に示すように上記取
付部材３の透孔７に対応する部位には同じく透孔１４が
形成されると共に、そのシリンドリカルレンズ１０，１
０，…の配列方向を上記第一のレンチキュラーレンズ５
ａのシリンドリカルレンズ１０，１０，…の配列方向と
直交させて配置されている。この第二のレンチキュラー
レンズ５ｂの特性は、図３に示す第一のレンチキュラー
レンズ５ａの特性と全く同じであり、図４に示すよう
に、第一のレンチキュラーレンズ５ａと第二のレンチキ
ュラーレンズ５ｂとをそれぞれのシリンドリカルレンズ
１０，１０，…の配列方向を互いに直交させて配置して
あることから、点光源としての一つの発光体４から射出
された光が透過することにより、オブジェクト面１２に
は正方形の光照射面１５が形成されるという特性を有す
る。なお、上記第一のレンチキュラーレンズ５ａと第二
のレンチキュラーレンズ５ｂのそれぞれのシリンドリカ
ルレンズ１０，１０，…の配列方向は、互いに直交させ
ることが好ましいが、９０度以外の角度で交差させて透
過光の拡散効果を調整するようにしてもよい。A second lenticular lens 5b is provided in close contact with one side of the first lenticular lens 5a, that is, on the lower side. This second lenticular lens 5b is provided with the first lenticular lens 5b.
FIG. 4 is a diagram in which the light emitted from FIG.
Are arranged in parallel on one plane as shown in FIG. 1 to form a structure similar to that of the first lenticular lens 5a. As shown in FIG. 1, the cylindrical lenses 10, 10,. A through hole 14 is also formed in a corresponding portion, and the cylindrical lenses 10 and 1 are formed.
The arrangement direction of 0,.
are arranged perpendicular to the arrangement direction of the cylindrical lenses 10, 10,... The characteristics of the second lenticular lens 5b are exactly the same as the characteristics of the first lenticular lens 5a shown in FIG. 3, and as shown in FIG. Are arranged such that the arrangement directions of the respective cylindrical lenses 10, 10,... Are orthogonal to each other, so that light emitted from one light emitting body 4 as a point light source is transmitted, so that the object surface 12 It has a characteristic that a square light irradiation surface 15 is formed. It is preferable that the arrangement directions of the cylindrical lenses 10, 10,... Of the first lenticular lens 5a and the second lenticular lens 5b are orthogonal to each other, but the light is transmitted by intersecting at an angle other than 90 degrees. May be adjusted.
【００１６】このような状態で、図１及び図２に示すよ
うに構成されたリング状の発光体４から照射される照明
光は、図４に示すオブジェクト面１２上で、強度分布は
図５に示すようになり、線像強度分布は図６に示すよう
になる。この図６から明らかなように、図４に示すよう
に組み合わせた第一のレンチキュラーレンズ５ａと第二
のレンチキュラーレンズ５ｂとを透過して散乱された光
は、かなりフラットな線像強度分布を持つものとなり、
オブジェクト面１２ではかなり均一な輝度分布を形成す
ることができる。In such a state, the illumination light emitted from the ring-shaped light-emitting body 4 configured as shown in FIGS. 1 and 2 has an intensity distribution on the object surface 12 shown in FIG. And the line image intensity distribution is as shown in FIG. As is apparent from FIG. 6, the light scattered through the first lenticular lens 5a and the second lenticular lens 5b combined as shown in FIG. 4 has a considerably flat line image intensity distribution. And
On the object surface 12, a fairly uniform luminance distribution can be formed.
【００１７】上記第二のレンチキュラーレンズ５ｂの光
路下流側には、フレネルレンズ６が近接して設けられて
いる。このフレネルレンズ６は、上記第一のレンチキュ
ラーレンズ５ａ及び第二のレンチキュラーレンズ５ｂを
透過した光を後方へ導くもので、図７に示すように異な
る屈折角を有する複数のプリズムを一つの平面上に同心
円状に並べて構成され、全体として図１に示す取付部材
３と同程度の大きさの円板状に形成されると共に、上記
取付部材３の透孔７に対応する部位には同じく透孔１６
が形成されている。なお、図７の例では、上記フレネル
レンズ６は、全体としてプラス焦点のレンズの働きをす
るものとされている。On the downstream side of the optical path of the second lenticular lens 5b, a Fresnel lens 6 is provided in close proximity. This Fresnel lens 6 guides the light transmitted through the first lenticular lens 5a and the second lenticular lens 5b backward, and as shown in FIG. 7, a plurality of prisms having different refraction angles are formed on one plane. The mounting member 3 shown in FIG. 1 is formed in a disk shape having a size substantially equal to that of the mounting member 3 shown in FIG. 16
Are formed. In the example shown in FIG. 7, the Fresnel lens 6 functions as a plus-focus lens as a whole.
【００１８】このような状態で、図１及び図２に示すよ
うに構成されたリング状の発光体４から照射される照明
光は、図４に示すように組み合わせた第一のレンチキュ
ラーレンズ５ａと第二のレンチキュラーレンズ５ｂとを
透過して散乱された光を、さらに図７に示すプラス焦点
のフレネルレンズ６を透過して後方へ導くことにより、
図８に示すようなフラットな線像強度分布を持つものと
なり、照射対象面で均一な輝度分布を形成することがで
きる。これにより、図１に示す対象部品２に照射する照
明光を均一化することができる。ここで、レンチキュラ
ーレンズによる光量均一性は高く、この均一化された光
を検査部である中心部にプラス焦点のフレネルレンズ６
を用いて集光させることにより、対象部品２をより明る
く照明することができる。In such a state, the illumination light emitted from the ring-shaped light emitting body 4 configured as shown in FIGS. 1 and 2 is combined with the first lenticular lens 5a combined as shown in FIG. The light scattered by passing through the second lenticular lens 5b is further transmitted through the plus-focus Fresnel lens 6 shown in FIG.
It has a flat line image intensity distribution as shown in FIG. 8, and a uniform luminance distribution can be formed on the irradiation target surface. Thereby, the illumination light applied to the target component 2 shown in FIG. 1 can be made uniform. Here, the uniformity of the light amount by the lenticular lens is high.
By condensing the target component 2, the target component 2 can be illuminated more brightly.
【００１９】図９は第二の発明による微細領域の照明装
置の実施の形態を示す断面説明図である。図９の例も、
例えばプリント基板１上に実装された電子部品等の半田
付部の状態を検査する半田付外観検査装置において対象
部品２を照明する照明装置を示しており、この照明装置
は、図９に示すように、取付部材３と、発光体４と、第
一のフレネルレンズ１７ａと、第二のフレネルレンズ１
７ｂとを備えて成る。FIG. 9 is an explanatory sectional view showing an embodiment of a lighting device for a fine region according to the second invention. The example in FIG.
For example, a lighting device that illuminates the target component 2 in a soldering appearance inspection device that inspects a state of a soldered portion of an electronic component or the like mounted on the printed circuit board 1 is shown as shown in FIG. A mounting member 3, a light-emitting body 4, a first Fresnel lens 17a, and a second Fresnel lens 1
7b.
【００２０】上記取付部材３及び発光体４は、図１に示
す実施の形態と全く同様に形成されている。そして、上
記発光体４の光照射方向すなわち下方側には、第一のフ
レネルレンズ１７ａが該発光体４に近接して設けられて
いる。この第一のフレネルレンズ１７ａは、上記発光体
４から発せられた照射光を後方へ導くもので、図１０に
示すように異なる屈折角を有する複数のプリズムを一つ
の平面上に同心円状に並べて構成され、全体として図９
に示す取付部材３と同程度の大きさの円板状に形成され
ると共に、上記取付部材３の透孔７に対応する部位には
同じく透孔１８が形成されている。なお、図１０の例で
は、上記第一のフレネルレンズ１７ａは、全体としてマ
イナス焦点のレンズの働きをするものとされている。こ
のようなマイナス焦点の第一のフレネルレンズ１７ａを
透過することにより、上記リング状の発光体４から照射
された照明光が拡がる傾向となり、その結果、中心部の
輝度に対し周辺部の輝度を相対的に上げることができ
る。なお、上記第一のフレネルレンズ１７ａは、図９に
おいて発光体４の下方にてほとんど隙間なく近接して設
けられており、装置のコンパクト化が図られている。The mounting member 3 and the luminous body 4 are formed in exactly the same manner as in the embodiment shown in FIG. A first Fresnel lens 17a is provided in the light irradiation direction, that is, on the lower side of the luminous body 4, in proximity to the luminous body 4. The first Fresnel lens 17a guides the irradiation light emitted from the luminous body 4 backward, and a plurality of prisms having different refraction angles are arranged concentrically on one plane as shown in FIG. FIG. 9
The mounting member 3 is formed in the shape of a disk having substantially the same size as that of the mounting member 3, and a through hole 18 is formed in a portion of the mounting member 3 corresponding to the through hole 7. In the example of FIG. 10, the first Fresnel lens 17a functions as a minus-focus lens as a whole. When the light passes through the first Fresnel lens 17a having such a negative focus, the illumination light emitted from the ring-shaped light-emitting body 4 tends to spread. As a result, the luminance of the peripheral portion is reduced with respect to the luminance of the central portion. Can be raised relatively. Note that the first Fresnel lens 17a is provided below and close to the light-emitting body 4 in FIG. 9 with almost no gap, thereby achieving compactness of the device.
【００２１】上記第一のフレネルレンズ１７ａの光路下
流側には、第二のフレネルレンズ１７ｂが近接して設け
られている。この第二のフレネルレンズ１７ｂは、上記
第一のフレネルレンズ１７ａを透過した光を中心部に向
けて平行に屈折させるもので、図１１に示すように一つ
の平面上に同一の屈折角を有する複数のプリズムを一定
の間隔で同心円状に並べて構成され、全体として図９に
示す取付部材３と同程度の大きさの円板状に形成される
と共に、上記取付部材３の透孔７に対応する部位には同
じく透孔１９が形成されている。なお、図１１において
は、図９に示す第二のフレネルレンズ１７ｂの右半分の
部分だけを表している。A second Fresnel lens 17b is provided close to the optical path downstream of the first Fresnel lens 17a. The second Fresnel lens 17b refracts the light transmitted through the first Fresnel lens 17a in parallel toward the center, and has the same refraction angle on one plane as shown in FIG. A plurality of prisms are arranged concentrically at regular intervals, and are formed in a disk shape having the same size as the mounting member 3 shown in FIG. 9 as a whole, and correspond to the through holes 7 of the mounting member 3. Similarly, a through hole 19 is formed in the portion where the light beam flows. FIG. 11 shows only the right half of the second Fresnel lens 17b shown in FIG.
【００２２】このような状態で、図９に示すように構成
されたリング状の発光体４から照射される照明光は、そ
の下方に近接して配置された第一のフレネルレンズ１７
ａと第二のフレネルレンズ１７ｂとを透過して後方へ導
くことにより、図１２に示すように中心部から周辺部ま
でフラットな線像強度分布を持つものとなり、照射対象
面で均一な輝度分布を形成することができる。また、図
１１に示すように、第二のフレネルレンズ１７ｂの透過
光は総て中心部に向けて平行に屈折されるので、図１３
に示すように、プリント基板１上の異なる位置に実装さ
れた個々の対象部品２，２に入射する光は、その入射角
α，βがそれぞれ等しくなる（α＝β）と共に、それに
至る光路長ｌ，ｓもそれぞれ等しくなる（ｌ＝ｓ）。こ
れにより、図９に示す対象部品２に照射する照明光を、
その実装位置によらず照射角度及び光量を十分に均一化
することができる。In such a state, the illumination light emitted from the ring-shaped light-emitting body 4 configured as shown in FIG.
a and has a flat line image intensity distribution from the central part to the peripheral part as shown in FIG. 12, and has a uniform luminance distribution on the irradiation target surface. Can be formed. In addition, as shown in FIG. 11, all the light transmitted through the second Fresnel lens 17b is refracted in parallel toward the center, so that FIG.
As shown in (1), the light incident on each of the target components 2 and 2 mounted at different positions on the printed circuit board 1 has the same incident angles α and β (α = β), and the optical path length leading to it. l and s also become equal (l = s). Thereby, the illumination light applied to the target component 2 shown in FIG.
Irradiation angles and light amounts can be made sufficiently uniform regardless of the mounting position.
【００２３】図１４は第三の発明による微細領域の照明
装置の実施の形態を示す断面説明図である。図１４の例
も、例えばプリント基板１上に実装された電子部品等の
半田付部の状態を検査する半田付外観検査装置において
対象部品２を照明する照明装置を示しており、この照明
装置は、図１４に示すように、取付部材３と、発光体４
と、シリンドリカルレンズ２０と、フレネルレンズ２１
とを備えて成る。FIG. 14 is an explanatory sectional view showing an embodiment of a lighting device for a fine region according to the third invention. The example of FIG. 14 also shows an illumination device that illuminates the target component 2 in a soldering appearance inspection device that inspects the state of a soldered portion of an electronic component or the like mounted on the printed circuit board 1, for example. As shown in FIG. 14, the mounting member 3 and the luminous body 4
, A cylindrical lens 20 and a Fresnel lens 21
And comprising.
【００２４】上記取付部材３及び発光体４は、図１に示
す実施の形態と同様に形成されているが、発光体４は図
１４の例ではリング状に１列だけ設けられている。そし
て、上記発光体４の光照射方向すなわち下方側にて上記
発光体４の位置に対応する位置には、シリンドリカルレ
ンズ２０が設けられている。このシリンドリカルレンズ
２０は、上記発光体４から照射された光を後方へ導くも
ので、かまぼこ型の棒状レンズをリング状に形成して成
る。したがって、上記シリンドリカルレンズ２０の中央
部には、取付部材３の透孔７に対応する空間部が形成さ
れている。The mounting member 3 and the luminous body 4 are formed in the same manner as in the embodiment shown in FIG. 1, but the luminous body 4 is provided in a single row in a ring shape in the example of FIG. Further, a cylindrical lens 20 is provided at a position corresponding to the position of the light emitting body 4 in the light irradiation direction of the light emitting body 4, that is, on the lower side. The cylindrical lens 20 guides the light emitted from the light emitting body 4 backward, and is formed by forming a cylindrical rod-shaped lens in a ring shape. Therefore, a space corresponding to the through hole 7 of the mounting member 3 is formed in the center of the cylindrical lens 20.
【００２５】上記シリンドリカルレンズ２０の光路下流
側には、フレネルレンズ２１が近接して設けられてい
る。このフレネルレンズ２１は、上記シリンドリカルレ
ンズ２０を透過した光を中心部に向けて平行に屈折させ
るもので、図１１に示すと同様に一つの平面上に同一の
屈折角を有する複数のプリズムを一定の間隔で同心円状
に並べて構成され、全体として図１４に示す取付部材３
と同程度の大きさの円板状に形成されると共に、上記取
付部材３の透孔７に対応する部位には同じく透孔２２が
形成されている。On the downstream side of the optical path of the cylindrical lens 20, a Fresnel lens 21 is provided in close proximity. The Fresnel lens 21 refracts the light transmitted through the cylindrical lens 20 in parallel toward the center, and as shown in FIG. 11, a plurality of prisms having the same refraction angle on one plane are fixed. The mounting member 3 shown in FIG.
The mounting member 3 is formed in a disk shape having a size substantially the same as that of the mounting member 3, and a through hole 22 is formed in a portion corresponding to the through hole 7 of the mounting member 3.
【００２６】このような状態で、図１４に示すように構
成されたリング状の発光体４から照射される照明光は、
その下方に近接して配置されたシリンドリカルレンズ２
０とフレネルレンズ２１とを透過して後方へ導くことに
より、照射対象面で均一な輝度分布を形成することがで
きると共に、フレネルレンズ２１の透過光は総て中心部
に向けて平行に屈折されるので、図１３に示すと同様
に、プリント基板１上に実装された個々の対象部品２，
２に入射する光は、その入射角α，βがそれぞれ等しく
なる（α＝β）と共に、それに至る光路長ｌ，ｓもそれ
ぞれ等しくなる(ｌ＝ｓ）。これにより。図９に示す第
二の発明による微細領域の照明装置とほとんど同様に、
対象部品２に対する照明光の照射角度と光量の均一化の
効果が得られる。In such a state, the illumination light emitted from the ring-shaped light emitter 4 configured as shown in FIG.
A cylindrical lens 2 disposed below and adjacent to the cylindrical lens 2
By passing the light through 0 and the Fresnel lens 21 and guiding it backward, a uniform luminance distribution can be formed on the irradiation target surface, and all the transmitted light of the Fresnel lens 21 is refracted in parallel toward the center. Therefore, as shown in FIG. 13, the individual target components 2 mounted on the printed circuit board 1 are
2, the incident angles α and β are equal (α = β), and the optical path lengths l and s are equal (l = s). By this. Almost like the illumination device for a fine region according to the second invention shown in FIG.
The effect of equalizing the irradiation angle and the light amount of the illumination light to the target component 2 can be obtained.
【００２７】図１５は上記シリンドリカルレンズ２０と
フレネルレンズ２１との組合せの変形例を示す説明図で
ある。図１５（ａ）は上記のシリンドリカルレンズ２０
と断面が三角形でリング状に形成されたプリズム２３と
を組み合わせたものを示し、図１５（ｂ）は上記（ａ）
のシリンドリカルレンズ２０とプリズム２３とを組み合
わせたものを製造時に一体的に同時成形したレンズ２４
を示している。FIG. 15 is an explanatory view showing a modified example of the combination of the cylindrical lens 20 and the Fresnel lens 21. FIG. 15A shows the above cylindrical lens 20.
FIG. 15B shows a combination of a prism 23 formed in a ring shape with a triangular cross section.
24 formed by simultaneously molding a combination of the cylindrical lens 20 and the prism 23 at the time of manufacture.
Is shown.
【００２８】図１６は上記シリンドリカルレンズ２０の
変形例を示す説明図である。この変形例は、図１４又は
図１５（ａ）に示すようにシリンドリカルレンズ２０を
リング状に形成するのではなく、市販の棒状のシリンド
リカルレンズ２０′をそのまま用いて、上記シリンドリ
カルレンズ２０′を複数個円形に並べたものである。こ
の場合は、シリンドリカルレンズの費用を安く抑えるこ
とができる。FIG. 16 is an explanatory view showing a modified example of the cylindrical lens 20. In this modification, as shown in FIG. 14 or FIG. 15A, the cylindrical lens 20 is not formed in a ring shape, but a commercially available rod-shaped cylindrical lens 20 ′ is used as it is, and a plurality of the cylindrical lenses 20 ′ are used. They are arranged in a circle. In this case, the cost of the cylindrical lens can be reduced.
【００２９】なお、図１４においては、発光体４を１列
のリング状に設けた場合を示したが、これに限らず、上
記発光体４を複数列のリング状に設け、これに伴いフレ
ネルレンズ２１も上記発光体４に対応して複数列のリン
グ状に設けてもよい。また、図１４においては、発光体
４を１列のリング状に設けられた多数のＬＥＤとした場
合を示したが、これに限らず、１本のリング状の蛍光管
としてもよい。Although FIG. 14 shows the case where the light-emitting members 4 are provided in a single row of ring shape, the present invention is not limited to this. The lenses 21 may also be provided in a ring shape in a plurality of rows corresponding to the light emitters 4. Further, FIG. 14 shows the case where the light-emitting body 4 is a large number of LEDs provided in a single row of a ring shape, but is not limited to this, and may be a single ring-shaped fluorescent tube.
【００３０】[0030]
【発明の効果】本発明は以上のように構成されたので、
第一の発明によれば、リング状の発光体から照射される
照明光は、第一のレンチキュラーレンズと第二のレンチ
キュラーレンズとを透過して散乱された光を、さらにプ
ラス焦点のフレネルレンズを透過して後方へ導くことに
より、図８に示すようなフラットな線像強度分布を持つ
ものとなり、照射対象面で均一な輝度分布を形成するこ
とができる。これにより、対象部品に照射する照明光を
均一化することができる。また、従来のような光拡散用
のスモーク板を用いないので、高透過率を維持した状態
で均一な照明光を得ることができる。したがって、装置
のコンパクト性を保ちつつ、対象物に照射する光の透過
性が高く且つ高効率で拡散すると共に中心部から周辺部
まで照明光を均一化することができる。The present invention has been configured as described above.
According to the first invention, the illumination light emitted from the ring-shaped light-emitting body transmits light scattered through the first lenticular lens and the second lenticular lens, and further passes through the plus-focus Fresnel lens. By transmitting the light and guiding it backward, it has a flat line image intensity distribution as shown in FIG. 8, and a uniform luminance distribution can be formed on the irradiation target surface. Thereby, the illumination light applied to the target component can be made uniform. Further, since a conventional smoke plate for light diffusion is not used, uniform illumination light can be obtained while maintaining a high transmittance. Therefore, while maintaining the compactness of the apparatus, it is possible to diffuse light with high efficiency and to irradiate the object with high efficiency, and to make illumination light uniform from the center to the periphery.
【００３１】また、第二の発明によれば、第二のフレネ
ルレンズの透過光は総て中心部に向けて平行に屈折され
るので、図１３に示すように、プリント基板上に実装さ
れた個々の対象部品に入射する光は、その入射角α，β
がそれぞれ等しくなる（α＝β）と共に、それに至る光
路長ｌ，ｓもそれぞれ等しくなる（ｌ＝ｓ）。これによ
り、図９に示す対象部品に照射する照明光を十分に均一
化することができると共に、照明光の照射位置によらず
照射角度を略一定に保つことができる。According to the second aspect of the present invention, all the light transmitted through the second Fresnel lens is refracted in parallel toward the center, so that it is mounted on a printed circuit board as shown in FIG. The light incident on each target component has its incident angle α, β
Are equal to each other (α = β), and the optical path lengths l and s to reach them are also equal to each other (1 = s). Thereby, the illumination light applied to the target component shown in FIG. 9 can be made sufficiently uniform, and the illumination angle can be kept substantially constant regardless of the illumination light irradiation position.
【００３２】さらに、第三の発明によれば、上記第二の
発明による微細領域の照明装置とほとんど同様に、対象
部品に対する照明光の照射角度と光量の均一化の効果が
得られる。Further, according to the third aspect, almost the same effect as in the illumination device for a fine region according to the second aspect can be obtained in which the irradiation angle and the light amount of the illumination light to the target component are made uniform.
【図１】第一の発明による微細領域の照明装置の実施の
形態を示す断面説明図である。FIG. 1 is an explanatory sectional view showing an embodiment of a lighting device for a fine region according to the first invention.
【図２】取付部材に対する発光体の取付状態を示す底面
図である。FIG. 2 is a bottom view showing a mounting state of a light emitting body to a mounting member.
【図３】第一のレンチキュラーレンズによる光の散乱状
態を示す説明図である。FIG. 3 is an explanatory diagram showing a light scattering state by a first lenticular lens.
【図４】上記第一のレンチキュラーレンズと第二のレン
チキュラーレンズとを組み合わせたものによる光の透過
状態を示す説明図である。FIG. 4 is an explanatory view showing a light transmitting state by a combination of the first lenticular lens and the second lenticular lens.
【図５】上記のように組み合わされた第一のレンチキュ
ラーレンズと第二のレンチキュラーレンズとを透過した
光のオブジェクト面上での強度分布を示すグラフであ
る。FIG. 5 is a graph showing an intensity distribution on the object surface of light transmitted through the first lenticular lens and the second lenticular lens combined as described above.
【図６】上記のように組み合わされた第一のレンチキュ
ラーレンズと第二のレンチキュラーレンズとを透過した
光のオブジェクト面上での線像強度分布を示すグラフで
ある。FIG. 6 is a graph showing a line image intensity distribution on the object plane of light transmitted through the first lenticular lens and the second lenticular lens combined as described above.
【図７】第一の発明におけるフレネルレンズの構造及び
光の屈折状態を示す説明図である。FIG. 7 is an explanatory diagram showing a structure of a Fresnel lens and a state of refraction of light in the first invention.
【図８】上記フレネルレンズを透過した光のオブジェク
ト面上での線像強度分布を示すグラフである。FIG. 8 is a graph showing a line image intensity distribution of light transmitted through the Fresnel lens on an object surface.
【図９】第二の発明による微細領域の照明装置の実施の
形態を示す断面説明図である。FIG. 9 is an explanatory sectional view showing an embodiment of a lighting device for a fine region according to the second invention.
【図１０】第二の発明における第一のフレネルレンズの
構造及び光の屈折状態を示す説明図である。FIG. 10 is an explanatory view showing a structure of a first Fresnel lens and a state of refraction of light in the second invention.
【図１１】第二の発明における第二のフレネルレンズの
構造及び光の屈折状態を示す説明図である。FIG. 11 is an explanatory diagram showing a structure of a second Fresnel lens and a state of refraction of light in the second invention.
【図１２】上記第一及び第二のフレネルレンズを組み合
わせたものを透過した光のオブジェクト面上での線像強
度分布を示すグラフである。FIG. 12 is a graph showing a line image intensity distribution on the object surface of light transmitted through a combination of the first and second Fresnel lenses.
【図１３】上記第二のフレネルレンズにより対象部品に
対し照射角度と光路長が略一定になることを示す説明図
である。FIG. 13 is an explanatory diagram showing that the irradiation angle and the optical path length of the target component are made substantially constant by the second Fresnel lens.
【図１４】第三の発明による微細領域の照明装置の実施
の形態を示す断面説明図である。FIG. 14 is an explanatory sectional view showing an embodiment of an illumination device for a fine region according to the third invention.
【図１５】第三の発明におけるシリンドリカルレンズと
フレネルレンズとの組合せの変形例を示す断面説明図で
ある。FIG. 15 is an explanatory sectional view showing a modification of the combination of the cylindrical lens and the Fresnel lens in the third invention.
【図１６】第三の発明におけるシリンドリカルレンズの
構造の変形例を示す平面図である。FIG. 16 is a plan view showing a modification of the structure of the cylindrical lens in the third invention.
【図１７】従来例における直接照射の照明光で微細領域
を照明した場合のオブジェクト面上での強度分布又は線
像強度分布を示すグラフである。FIG. 17 is a graph showing an intensity distribution or a line image intensity distribution on an object surface when a minute area is illuminated with illumination light of direct irradiation in a conventional example.
１…プリント基板 ２…対象部品 ３…取付部材 ４…発光体 ５ａ…第一のレンチキュラーレンズ ５ｂ…第二のレンチキュラーレンズ ６…第一の発明におけるフレネルレンズ ７，１１，１４，１６，１８，１９，２２…透孔 ８…撮像装置 ９…レンズ １７ａ…第二の発明における第一のフレネルレンズ １７ｂ…第二の発明における第二のフレネルレンズ ２０，２０′…第三の発明におけるシリンドリカルレン
ズ ２１…第三の発明におけるフレネルレンズDESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Printed circuit board 2 ... Target part 3 ... Mounting member 4 ... Light emitting body 5a ... First lenticular lens 5b ... Second lenticular lens 6 ... Fresnel lens in the first invention 7, 11, 14, 16, 18, 19 , 22 ... through hole 8 ... imaging device 9 ... lens 17a ... first Fresnel lens 17b in the second invention 17b ... second Fresnel lens in the second invention 20, 20 '... cylindrical lens 21 in the third invention 21 Fresnel lens in the third invention
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 椛 沢 孝 行 神奈川県横浜市金沢区福浦１丁目１番地１ 株式会社シム内 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continued on the front page (72) Inventor Takayuki Kabasawa 1-1-1 Fukuura, Kanazawa-ku, Yokohama-shi, Kanagawa 1
Claims (5)
有する取付部材と、この取付部材の片面側にて上記透孔
を中心としてリング状に設けられた発光体と、この発光
体の光照射方向に設けられ一つの平面上に多数のシリン
ドリカルレンズを並列配置して形成されると共に上記取
付部材の透孔に対応する部位には同じく透孔を有し入射
光を散乱させる第一のレンチキュラーレンズと、この第
一のレンチキュラーレンズの片面側に密接して設けられ
該第一のレンチキュラーレンズと同様に構成されると共
にそのシリンドリカルレンズの配列方向を上記第一のレ
ンチキュラーレンズのシリンドリカルレンズの配列方向
と交差させて配置した第二のレンチキュラーレンズと、
この第二のレンチキュラーレンズの光路下流側に近接し
て設けられると共に上記取付部材の透孔に対応する部位
には同じく透孔を有し上記第一及び第二のレンチキュラ
ーレンズを透過した光を後方へ導くフレネルレンズとを
備えて成ることを特徴とする微細領域の照明装置。1. A mounting member having a through hole at the center for observing an object, a luminous body provided on one side of the mounting member in a ring shape around the through hole, and the luminous body A plurality of cylindrical lenses are arranged in parallel on one plane, are provided in the light irradiation direction, and have a through hole at a portion corresponding to the through hole of the mounting member, and the first member scatters incident light. Of the first lenticular lens, the arrangement direction of the cylindrical lens is provided in close contact with one side of the first lenticular lens, and the arrangement direction of the cylindrical lens is the same as that of the cylindrical lens of the first lenticular lens. A second lenticular lens arranged crossing the arrangement direction,
The second lenticular lens is provided in the vicinity of the downstream side of the optical path of the second lenticular lens, and has a through hole at a portion corresponding to the through hole of the mounting member, and transmits light transmitted through the first and second lenticular lenses backward. And a Fresnel lens for guiding the light to a fine area.
ス焦点のレンズの働きをするものであることを特徴とす
る請求項１記載の微細領域の照明装置。2. The illumination device according to claim 1, wherein the Fresnel lens functions as a plus-focus lens as a whole.
有する取付部材と、この取付部材の片面側にて上記透孔
を中心としてリング状に設けられた発光体と、この発光
体の光照射方向にて該発光体に近接して設けられると共
に上記取付部材の透孔に対応する部位には同じく透孔を
有し発光体の照射光を後方へ導く第一のフレネルレンズ
と、この第一のフレネルレンズの光路下流側に近接して
設けられると共に上記取付部材の透孔に対応する部位に
は同じく透孔を有し上記第一のフレネルレンズを透過し
た光を中心部に向けて平行に屈折させる第二のフレネル
レンズとを備えて成ることを特徴とする微細領域の照明
装置。3. A mounting member having a through hole at the center for observing an object, a luminous body provided on one side of the mounting member in a ring shape around the through hole, and the luminous body A first Fresnel lens that is provided close to the luminous body in the light irradiation direction and has a through hole in a portion corresponding to the through hole of the mounting member and guides the irradiation light of the luminous body backward, The first Fresnel lens is provided in the vicinity of the downstream side of the optical path of the first Fresnel lens and has a through-hole at a portion corresponding to the through-hole of the mounting member, and the light transmitted through the first Fresnel lens is directed to the center. And a second Fresnel lens that refracts light in parallel.
てマイナス焦点のレンズの働きをするものであることを
特徴とする請求項３記載の微細領域の照明装置。4. The illuminating device according to claim 3, wherein the first Fresnel lens functions as a lens having a negative focus as a whole.
有する取付部材と、この取付部材の片面側にて上記透孔
を中心としてリング状に設けられた発光体と、この発光
体の光照射方向にて該発光体の位置に対応してリング状
に設けられその照射光を後方へ導くシリンドリカルレン
ズと、このシリンドリカルレンズの光路下流側に近接し
て設けられると共に上記取付部材の透孔に対応する部位
には同じく透孔を有し上記シリンドリカルレンズを透過
した光を中心部に向けて平行に屈折させるフレネルレン
ズとを備えて成ることを特徴とする微細領域の照明装
置。5. A mounting member having a through hole at a central portion for observing an object, a luminous body provided in a ring shape on one side of the mounting member with the through hole as a center, and the luminous body A cylindrical lens that is provided in a ring shape corresponding to the position of the light emitting body in the light irradiation direction, and guides the irradiation light backward; and a cylindrical lens that is provided close to the optical path downstream of the cylindrical lens and that is transparent to the mounting member. A lighting device for a fine region, comprising: a Fresnel lens having a through hole in a portion corresponding to the hole and refracting light transmitted through the cylindrical lens in parallel toward a center.
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP15533197A JP3726150B2 (en) | 1997-06-12 | 1997-06-12 | Micro-area illumination device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15533197A JP3726150B2 (en) | 1997-06-12 | 1997-06-12 | Micro-area illumination device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH112598A true JPH112598A (en) | 1999-01-06 |
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Family
ID=15603563
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|---|---|---|---|
| JP15533197A Expired - Fee Related JP3726150B2 (en) | 1997-06-12 | 1997-06-12 | Micro-area illumination device |
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