JPH1123752A - 移動案内装置 - Google Patents
移動案内装置Info
- Publication number
- JPH1123752A JPH1123752A JP17385298A JP17385298A JPH1123752A JP H1123752 A JPH1123752 A JP H1123752A JP 17385298 A JP17385298 A JP 17385298A JP 17385298 A JP17385298 A JP 17385298A JP H1123752 A JPH1123752 A JP H1123752A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stage
- guide
- surface plate
- fixing guide
- moving
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 二次元的に移動するステージの案内機構を適
切に設定することにより、運搬あるいは使用時に温度変
化が発生してもステージを破損させず、また制御特性等
が変化しない高精度な位置決めを可能とした移動案内装
置を提供する。 【解決手段】 第１方向とこれと直交する第２方向を含
む水平の基準面を備えた定盤と、該基準面上で該第１及
び第２方向に移動可能なステージと、該ステージを該基
準面上に浮上させて支持する静圧軸受と、該ステージを
該第１方向に沿って案内するための単一の固定ガイド
と、該ステージを該第１方向に移動させる駆動力を発生
する第１駆動アクチュエータと、前記ステージを該第２
方向に移動させる駆動力を発生する第２駆動アクチュエ
ータを有し、該第２駆動アクチュエータは該第１駆動ア
クチュエータの駆動によって該ステージと共に該第１方
向に移動することを特徴とする移動案内装置。
切に設定することにより、運搬あるいは使用時に温度変
化が発生してもステージを破損させず、また制御特性等
が変化しない高精度な位置決めを可能とした移動案内装
置を提供する。 【解決手段】 第１方向とこれと直交する第２方向を含
む水平の基準面を備えた定盤と、該基準面上で該第１及
び第２方向に移動可能なステージと、該ステージを該基
準面上に浮上させて支持する静圧軸受と、該ステージを
該第１方向に沿って案内するための単一の固定ガイド
と、該ステージを該第１方向に移動させる駆動力を発生
する第１駆動アクチュエータと、前記ステージを該第２
方向に移動させる駆動力を発生する第２駆動アクチュエ
ータを有し、該第２駆動アクチュエータは該第１駆動ア
クチュエータの駆動によって該ステージと共に該第１方
向に移動することを特徴とする移動案内装置。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は移動案内装置に関
し、特に半導体製造装置や精密工作機械等において、例
えばＸステージやＹステージ等の移動体を高速にしかも
高精度に所定位置に位置決めすることのできる移動案内
装置に関するものである。
し、特に半導体製造装置や精密工作機械等において、例
えばＸステージやＹステージ等の移動体を高速にしかも
高精度に所定位置に位置決めすることのできる移動案内
装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より移動体を所定の案内に沿って移
動させ、所定位置に高精度に位置決めを行うようにした
移動案内装置が種々と提案されている。図７は従来の
Ｘ、Ｙ移動機構を有する移動案内装置の要部斜視図であ
る。同図において７１は定盤であり、該定盤７１上にＹ
方向の移動機構としてのＹステージ７４が載置されてい
る。又、Ｙステージ７４上にはＸ方向の移動機構として
のＸステージ７５が載置されている。
動させ、所定位置に高精度に位置決めを行うようにした
移動案内装置が種々と提案されている。図７は従来の
Ｘ、Ｙ移動機構を有する移動案内装置の要部斜視図であ
る。同図において７１は定盤であり、該定盤７１上にＹ
方向の移動機構としてのＹステージ７４が載置されてい
る。又、Ｙステージ７４上にはＸ方向の移動機構として
のＸステージ７５が載置されている。
【０００３】Ｘステージ７５及びＹステージ７４は不図
示のリニアモーター等の駆動手段により所定方向に各々
移動され位置決めされる。
示のリニアモーター等の駆動手段により所定方向に各々
移動され位置決めされる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】図７に示す従来の移動
案内装置は定盤７１、Ｙステージ７４、そしてＸステー
ジ７５と順に積み重ねた構成を採っているため、上下方
向に高くなる欠点があった。
案内装置は定盤７１、Ｙステージ７４、そしてＸステー
ジ７５と順に積み重ねた構成を採っているため、上下方
向に高くなる欠点があった。
【０００５】又、Ｘステージ７５が移動する際、Ｙステ
ージ７４に偏荷重が発生し、Ｙステージ７４が例えば図
８（Ａ）、（Ｂ）の点線で示すように変形し、この結果
Ｘステージ７５の静的な姿勢精度が劣化してくる欠点が
あった。
ージ７４に偏荷重が発生し、Ｙステージ７４が例えば図
８（Ａ）、（Ｂ）の点線で示すように変形し、この結果
Ｘステージ７５の静的な姿勢精度が劣化してくる欠点が
あった。
【０００６】更にＸステージ７５及びＹステージ７４を
剛体より構成するとＸステージ７５、Ｙステージ７４が
図９に示すように６つの自由度を持つようになる為、例
えばＹステージ７４がピッチングを起こすとＸステージ
７５のローリングとなる等、６つの自由度が互いに全て
連成し、動的にも姿勢精度が劣化してくる等の問題点が
あった。
剛体より構成するとＸステージ７５、Ｙステージ７４が
図９に示すように６つの自由度を持つようになる為、例
えばＹステージ７４がピッチングを起こすとＸステージ
７５のローリングとなる等、６つの自由度が互いに全て
連成し、動的にも姿勢精度が劣化してくる等の問題点が
あった。
【０００７】また静圧案内されたＸＹ移動機構が、例え
ば特開昭６２−８８５２６号公報、特開平１−１８８２
４１号公報等に記載されている。しかしながら、従来の
構成では定盤、ステージを全て同一部材により構成しな
いと、ステージ駆動中に温度変化があった場合に軸受隙
間が変化し、このため制御特性が変化して円滑な位置決
め動作ができなかった。また、運搬中等温度変化の大き
い環境では、熱膨張等により軸受隙間が無くなり静圧軸
受、ステージあるいは定盤を破損する等の恐れがあっ
た。
ば特開昭６２−８８５２６号公報、特開平１−１８８２
４１号公報等に記載されている。しかしながら、従来の
構成では定盤、ステージを全て同一部材により構成しな
いと、ステージ駆動中に温度変化があった場合に軸受隙
間が変化し、このため制御特性が変化して円滑な位置決
め動作ができなかった。また、運搬中等温度変化の大き
い環境では、熱膨張等により軸受隙間が無くなり静圧軸
受、ステージあるいは定盤を破損する等の恐れがあっ
た。
【０００８】本発明は上記従来技術を更に改良するもの
であって、二次元的に移動するステージの案内機構を適
切に設定することにより、運搬あるいは使用時に温度変
化が発生してもステージを破損させず、また制御特性等
が変化しない高精度な位置決めを可能とした移動案内装
置の提供を目的としている。
であって、二次元的に移動するステージの案内機構を適
切に設定することにより、運搬あるいは使用時に温度変
化が発生してもステージを破損させず、また制御特性等
が変化しない高精度な位置決めを可能とした移動案内装
置の提供を目的としている。
【０００９】また、本発明は例えばＹステージの移動に
対して直交する方向、垂直方向、そしてローリングの３
成分における振動の連成を無くし、更にＹステージのピ
ッチングを静圧空気軸受の間隙を介してＸステージのみ
に伝達するようにし、これにより高精度な位置決めを可
能とした移動案内装置の提供を目的としている。
対して直交する方向、垂直方向、そしてローリングの３
成分における振動の連成を無くし、更にＹステージのピ
ッチングを静圧空気軸受の間隙を介してＸステージのみ
に伝達するようにし、これにより高精度な位置決めを可
能とした移動案内装置の提供を目的としている。
【００１０】さらに運搬、あるいは使用時に温度変化が
発生してもステージを破損させず、また制御特性等が変
化しない高精度な位置決めを可能とした移動案内装置の
提供を目的としている。
発生してもステージを破損させず、また制御特性等が変
化しない高精度な位置決めを可能とした移動案内装置の
提供を目的としている。
【００１１】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
本発明の移動案内装置は、第１方向とこれと直交する第
２方向を含む水平の基準面を備えた定盤と、該基準面上
で該第１及び第２方向に移動可能なステージと、該ステ
ージを該基準面上に浮上させて支持する静圧軸受と、該
ステージを該第１方向に沿って案内するための単一の固
定ガイドと、該ステージを該第１方向に移動させる駆動
力を発生する第１駆動アクチュエータと、前記ステージ
を該第２方向に移動させる駆動力を発生する第２駆動ア
クチュエータを有し、該第２駆動アクチュエータは該第
１駆動アクチュエータの駆動によって該ステージと共に
該第１方向に移動する。
本発明の移動案内装置は、第１方向とこれと直交する第
２方向を含む水平の基準面を備えた定盤と、該基準面上
で該第１及び第２方向に移動可能なステージと、該ステ
ージを該基準面上に浮上させて支持する静圧軸受と、該
ステージを該第１方向に沿って案内するための単一の固
定ガイドと、該ステージを該第１方向に移動させる駆動
力を発生する第１駆動アクチュエータと、前記ステージ
を該第２方向に移動させる駆動力を発生する第２駆動ア
クチュエータを有し、該第２駆動アクチュエータは該第
１駆動アクチュエータの駆動によって該ステージと共に
該第１方向に移動する。
【００１２】前記ステージと前記基準面との間で予圧力
を発生する予圧機構を有することができる。前記第１及
び第２アクチュエータはリニアモータを有することがで
きる。
を発生する予圧機構を有することができる。前記第１及
び第２アクチュエータはリニアモータを有することがで
きる。
【００１３】
【発明の実施の形態】図１〜図５に本発明の第１の実施
例の概略構成を示す。図１は斜視図、図２は図１のＡー
Ａ′断面図、図３は図１のＢ矢視図、図４は図１のＣ矢
視図、図５は図１の裏面図である。
例の概略構成を示す。図１は斜視図、図２は図１のＡー
Ａ′断面図、図３は図１のＢ矢視図、図４は図１のＣ矢
視図、図５は図１の裏面図である。
【００１４】図において１は定盤であり、上面が滑らか
な基準面となっている。１ａは軸受保守用切り欠き、４
は移動体としてのＹステージ、５は移動体としてのＸス
テージ、２はＹステージ４の横方向（Ｙ軸方向）の固定
ガイド、３（３ａ、３ｂ，３ｃ，３ｄ）は多孔質の静圧
空気軸受であり、このうち３ａはＸステージ５の横方向
（Ｙ軸方向）、３ｂはＸステージ５の垂直方向、３Ｃは
Ｙステージ４の横方向、３ｄはＹステージ４の垂直方向
を各々案内している。
な基準面となっている。１ａは軸受保守用切り欠き、４
は移動体としてのＹステージ、５は移動体としてのＸス
テージ、２はＹステージ４の横方向（Ｙ軸方向）の固定
ガイド、３（３ａ、３ｂ，３ｃ，３ｄ）は多孔質の静圧
空気軸受であり、このうち３ａはＸステージ５の横方向
（Ｙ軸方向）、３ｂはＸステージ５の垂直方向、３Ｃは
Ｙステージ４の横方向、３ｄはＹステージ４の垂直方向
を各々案内している。
【００１５】４ａはＹステージの横方向、垂直方向の静
圧空気軸受取付板、４ｂはＸステージ５の横方向の案内
である。４ｃはＹステージ用の駆動アクチュエータ、４
ｄはＹステージ用の駆動アクチュエータ４ｃの連結板で
あり静圧空気軸受取付板４ａに連結されている。５ａは
Ｘステージ５の移動板、５ｂはＸステージ５の横方向の
軸受取付板、５ｃはＸステージ５の垂直方向の軸受取付
板、５ｄはＸステージ５の駆動アクチュエータである。
６は予圧用磁石ユニットであり、本出願人の特開昭６３
−２３２９１２号で提案しているように例えば磁力手段
として永久磁石とその両側に設けたヨークとを有した予
圧機構により、静圧軸受に加圧流体を給気し、移動体を
浮上させる際、軸受けの特性のバラツキにより移動体が
傾くのを防止し、常に一定の姿勢を保つようにしてい
る。
圧空気軸受取付板、４ｂはＸステージ５の横方向の案内
である。４ｃはＹステージ用の駆動アクチュエータ、４
ｄはＹステージ用の駆動アクチュエータ４ｃの連結板で
あり静圧空気軸受取付板４ａに連結されている。５ａは
Ｘステージ５の移動板、５ｂはＸステージ５の横方向の
軸受取付板、５ｃはＸステージ５の垂直方向の軸受取付
板、５ｄはＸステージ５の駆動アクチュエータである。
６は予圧用磁石ユニットであり、本出願人の特開昭６３
−２３２９１２号で提案しているように例えば磁力手段
として永久磁石とその両側に設けたヨークとを有した予
圧機構により、静圧軸受に加圧流体を給気し、移動体を
浮上させる際、軸受けの特性のバラツキにより移動体が
傾くのを防止し、常に一定の姿勢を保つようにしてい
る。
【００１６】本実施例において駆動アクチュエータ４
ｃ、５ｄとしては例えばリニアモーター、油圧直流モー
ター等を用いている。図１に示すように本実施例におい
てはＹステージ４は静圧空気軸受３に給気することによ
り定盤１より浮上させ、２つの駆動アクチュエータ４ｃ
により固定ガイド２の側面の案内面に沿ってＹ方向に移
動させている。又、Ｘステージ５は静圧空気軸受３に給
気することによりＹステージ４と同様に定盤１より浮上
させ、Ｙステージ４の側面を横方向の案内として駆動ア
クチュエータ５ｃによりＸ方向に移動させている。この
とき、Ｘステージ５及びＹステージ４は複数の予圧用磁
石ユニット６により常に一定の姿勢となるように調整さ
れている。
ｃ、５ｄとしては例えばリニアモーター、油圧直流モー
ター等を用いている。図１に示すように本実施例におい
てはＹステージ４は静圧空気軸受３に給気することによ
り定盤１より浮上させ、２つの駆動アクチュエータ４ｃ
により固定ガイド２の側面の案内面に沿ってＹ方向に移
動させている。又、Ｘステージ５は静圧空気軸受３に給
気することによりＹステージ４と同様に定盤１より浮上
させ、Ｙステージ４の側面を横方向の案内として駆動ア
クチュエータ５ｃによりＸ方向に移動させている。この
とき、Ｘステージ５及びＹステージ４は複数の予圧用磁
石ユニット６により常に一定の姿勢となるように調整さ
れている。
【００１７】本実施例の特徴としては、 （イ）Ｘステージ及びＹステージの垂直方向の案内をい
ずれも定盤より行ない、ＸステージやＹステージが移動
しても相手側のステージに移動荷重が発生しないように
して静的な姿勢を良好に維持している。 （ロ）Ｙステージの縦方向（図１においてＸ方向）、垂
直方向（図１のＺ方向）そしてローリング（図１のＹ軸
回りの回転）の振動の３成分について連成を全く無くし
ている。 （ハ）Ｙステージのピッチング（図１のＸ軸回りの回
転）は静的空気軸受３ａを介してＸステージのみに伝わ
るようにしており、これにより連成を極力押えている。 （ニ）図７に示す従来の移動案内装置に比べ、Ｘステー
ジを固定ガイド２若しくはＹステージ用の駆動アクチュ
エータ４ｄにオーバーハングさせることにより定盤の占
有面積を略等しくしている。 （ホ）移動案内装置全体の高さを定盤を含め従来に比べ
約１／２程度にしている。 （ヘ）連結板の高さを調整することによりＸステージと
Ｙステージの駆動点とＸステージ、Ｙステージの高さ方
向の重心点を略一致させ、これにより駆動時の振動の発
生を極力押えている。 （ト）Ｙステージの横方向の静圧空気軸受取付板４ａの
長さをＸステージ５の移動板５ａの長さと一致させ、こ
れにより可動面積が拡大するのを防止している。 （チ）定盤１、固定ガイド２とＹステージ４、Ｘステー
ジ５とを熱膨張係数の異なる異種部材で構成することが
できる。例えば、定盤１、固定ガイド２を磁石予圧のた
め磁性体で構成しＹステージ４、Ｘステージ５を軽量、
高剛性化のためセラミック等の材料を用いることができ
る。この場合、固定ガイド２が１本で、しかも１面の案
内面のみを基準としているので温度差が生じても特性の
変化が無い。 （リ）定盤１に切り欠き１ａを設けることによりＸステ
ージ５の垂直方向の静圧軸受取付板５ｄに異物等が混入
しても、切り欠き下にＸステージ５を移動させることに
より容易に清掃できる。 （ヌ）Ｘステージ５の横方向軸受取付板５ｂは、図２に
示す様にコの字型とすることにより、部材の接触面積が
広がり締結部のずれに対する信頼性が向上する。 （ル）固定ガイド２を定盤１に横付けすることにより、
固定ガイド２は横ずれしない。
ずれも定盤より行ない、ＸステージやＹステージが移動
しても相手側のステージに移動荷重が発生しないように
して静的な姿勢を良好に維持している。 （ロ）Ｙステージの縦方向（図１においてＸ方向）、垂
直方向（図１のＺ方向）そしてローリング（図１のＹ軸
回りの回転）の振動の３成分について連成を全く無くし
ている。 （ハ）Ｙステージのピッチング（図１のＸ軸回りの回
転）は静的空気軸受３ａを介してＸステージのみに伝わ
るようにしており、これにより連成を極力押えている。 （ニ）図７に示す従来の移動案内装置に比べ、Ｘステー
ジを固定ガイド２若しくはＹステージ用の駆動アクチュ
エータ４ｄにオーバーハングさせることにより定盤の占
有面積を略等しくしている。 （ホ）移動案内装置全体の高さを定盤を含め従来に比べ
約１／２程度にしている。 （ヘ）連結板の高さを調整することによりＸステージと
Ｙステージの駆動点とＸステージ、Ｙステージの高さ方
向の重心点を略一致させ、これにより駆動時の振動の発
生を極力押えている。 （ト）Ｙステージの横方向の静圧空気軸受取付板４ａの
長さをＸステージ５の移動板５ａの長さと一致させ、こ
れにより可動面積が拡大するのを防止している。 （チ）定盤１、固定ガイド２とＹステージ４、Ｘステー
ジ５とを熱膨張係数の異なる異種部材で構成することが
できる。例えば、定盤１、固定ガイド２を磁石予圧のた
め磁性体で構成しＹステージ４、Ｘステージ５を軽量、
高剛性化のためセラミック等の材料を用いることができ
る。この場合、固定ガイド２が１本で、しかも１面の案
内面のみを基準としているので温度差が生じても特性の
変化が無い。 （リ）定盤１に切り欠き１ａを設けることによりＸステ
ージ５の垂直方向の静圧軸受取付板５ｄに異物等が混入
しても、切り欠き下にＸステージ５を移動させることに
より容易に清掃できる。 （ヌ）Ｘステージ５の横方向軸受取付板５ｂは、図２に
示す様にコの字型とすることにより、部材の接触面積が
広がり締結部のずれに対する信頼性が向上する。 （ル）固定ガイド２を定盤１に横付けすることにより、
固定ガイド２は横ずれしない。
【００１８】図６は本発明の第２の実施例の斜視図であ
る。本実施例に於て、第１の実施例と同じ部材には同一
番号を付けている。同図に於て、固定ガイド２を定盤１
の上面に、ピン打ち、接着（不図示）等の固定手段によ
り取付けている。
る。本実施例に於て、第１の実施例と同じ部材には同一
番号を付けている。同図に於て、固定ガイド２を定盤１
の上面に、ピン打ち、接着（不図示）等の固定手段によ
り取付けている。
【００１９】本実施例により前記第１の実施例の（イ）
〜（ル）の効果に加え、 （イ）図１の定盤１の固定ガイド取付面（側面）の加
工、精度出しが不要となるため、コストダウンの効果が
ある。 （ロ）固定ガイド２の高さを低くできるため薄肉化を図
っても剛性を充分保持できる。
〜（ル）の効果に加え、 （イ）図１の定盤１の固定ガイド取付面（側面）の加
工、精度出しが不要となるため、コストダウンの効果が
ある。 （ロ）固定ガイド２の高さを低くできるため薄肉化を図
っても剛性を充分保持できる。
【００２０】
【発明の効果】本発明によれば、第１方向及び第２方向
に移動可能なステージを備えた移動案内装置において、
第１方向に関するステージの案内を単一の固定ガイドで
行うことにより、運搬あるいは使用時に温度変化が発生
してもステージを破損させず、また制御特性等が変化せ
ず、常に一義的な位置決めが可能となる。これにより高
精度の位置決めを可能とした移動案内装置が得られる。
に移動可能なステージを備えた移動案内装置において、
第１方向に関するステージの案内を単一の固定ガイドで
行うことにより、運搬あるいは使用時に温度変化が発生
してもステージを破損させず、また制御特性等が変化せ
ず、常に一義的な位置決めが可能となる。これにより高
精度の位置決めを可能とした移動案内装置が得られる。
【図１】 本発明の第１の実施例の斜視図である。
【図２】 図１のＡ−Ａ′断面図である。
【図３】 図１のＢ方向矢視図である。
【図４】 図１のＣ方向矢視図である。
【図５】 図１の実施例の裏面図である。
【図６】 本発明の第２の実施例の斜視図である。
【図７】 従来のＸＹステージの斜視図である。
【図８】 （Ａ）および（Ｂ）は従来技術の問題点の説
明図である。
明図である。
【図９】 振動モード説明図である。
１：定盤、１ａ：軸受保守用切り欠き、２：固定ガイ
ド、３（３ａ〜３ｄ）：静圧空気軸受、４：Ｙステー
ジ、４ａ：横方向及び垂直方向軸受取付板、４ｂ：Ｘス
テージ横方向ガイド、４ｃ：駆動アクチュエータ、４
ｄ：連絡板、５：Ｘステージ、５ａ：移動板、５ｂ：横
方向軸受取付板、５ｃ：垂直方向軸受取付板、５ｄ：駆
動アクチュエータ、６：予圧用磁石ユニット。
ド、３（３ａ〜３ｄ）：静圧空気軸受、４：Ｙステー
ジ、４ａ：横方向及び垂直方向軸受取付板、４ｂ：Ｘス
テージ横方向ガイド、４ｃ：駆動アクチュエータ、４
ｄ：連絡板、５：Ｘステージ、５ａ：移動板、５ｂ：横
方向軸受取付板、５ｃ：垂直方向軸受取付板、５ｄ：駆
動アクチュエータ、６：予圧用磁石ユニット。
Claims (3)
- 【請求項１】 第１方向とこれと直交する第２方向を含
む水平の基準面を備えた定盤と、該基準面上で該第１及
び第２方向に移動可能なステージと、該ステージを該基
準面上に浮上させて支持する静圧軸受と、該ステージを
該第１方向に沿って案内するための単一の固定ガイド
と、該ステージを該第１方向に移動させる駆動力を発生
する第１駆動アクチュエータと、前記ステージを該第２
方向に移動させる駆動力を発生する第２駆動アクチュエ
ータを有し、該第２駆動アクチュエータは該第１駆動ア
クチュエータの駆動によって該ステージと共に該第１方
向に移動することを特徴とする移動案内装置。 - 【請求項２】 前記ステージと前記基準面との間で予圧
力を発生する予圧機構を有することを特徴とする請求項
１記載の移動案内装置。 - 【請求項３】 前記第１及び第２アクチュエータはリニ
アモータを有することを特徴とする請求項１記載の移動
案内装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17385298A JP3145355B2 (ja) | 1998-06-08 | 1998-06-08 | 移動案内装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17385298A JP3145355B2 (ja) | 1998-06-08 | 1998-06-08 | 移動案内装置 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2038410A Division JP3031940B2 (ja) | 1990-02-21 | 1990-02-21 | 移動案内装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1123752A true JPH1123752A (ja) | 1999-01-29 |
| JP3145355B2 JP3145355B2 (ja) | 2001-03-12 |
Family
ID=15968356
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17385298A Expired - Lifetime JP3145355B2 (ja) | 1998-06-08 | 1998-06-08 | 移動案内装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3145355B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005088125A (ja) * | 2003-08-12 | 2005-04-07 | Konica Minolta Opto Inc | 加工機 |
| CN100421015C (zh) * | 2004-07-30 | 2008-09-24 | 激光先进技术股份公司 | 移动式xy载物台 |
| US11543745B2 (en) | 2018-03-30 | 2023-01-03 | Canon Kabushiki Kaisha | Stage driving apparatus, lithography apparatus, and method of manufacturing article |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3762401B2 (ja) | 2002-09-30 | 2006-04-05 | キヤノン株式会社 | 位置決め装置及び露光装置並びにデバイスの製造方法 |
| JP2004342825A (ja) | 2003-05-15 | 2004-12-02 | Canon Inc | 磁気案内装置 |
| JP4266713B2 (ja) | 2003-06-03 | 2009-05-20 | キヤノン株式会社 | 位置決め装置及び露光装置 |
| JP4241295B2 (ja) | 2003-09-26 | 2009-03-18 | キヤノン株式会社 | ステージ装置 |
| JP6761279B2 (ja) | 2016-05-16 | 2020-09-23 | キヤノン株式会社 | 位置決め装置、リソグラフィー装置および物品製造方法 |
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1998
- 1998-06-08 JP JP17385298A patent/JP3145355B2/ja not_active Expired - Lifetime
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