JPH11237224A - 光干渉計の干渉強度検出方式 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 測定面の反射率が変動した場合でも、正確に
その段差間距離又は突起物の高さに相当する位相差をそ
の干渉強度から測定できるようにする。 【解決手段】 他方の測定レーザ光及び基準レーザ光は
偏光手段によって測定レーザ光と基準レーザ光に分離さ
れる。分離されたレーザ光は第２及び第３の受光素子手
段で電気信号に変換される。第２及び第３の受光素子手
段の出力は加算され、加算信号として出力されると共に
乗算されてその乗算値のルートに対応した信号として出
力される。減算手段は第１の受光素子手段の出力から加
算手段の出力を減算する。除算手段は減算手段の出力と
乗算手段の出力の除算結果を出力する。これによって、
除算手段からは反射率に関係する係数がすべて除去され
るようになり、反射率の変動に依存しない信号であっ
て、測定ビームと参照ビームとの間の位相に相当する干
渉強度信号が検出されるようになる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、光の強度干渉を
用いた光干渉計を用いて磁気ディスクなどの表面欠陥を
正確に検出する光干渉計の干渉強度検出方式に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年ではパーソナルコンピュータの情報
記憶媒体としてハードディスク装置が標準装備されるよ
うになり、その容量も数Ｇバイト程度のものが主流であ
る。また、ノート型パソコンにおいては、小さな容積に
対して高密度のハードディスク装置を内蔵可能にするこ
とが望まれている。ハードディスク装置の記憶密度を上
げるためには磁気ヘッドの磁気ディスク表面からの浮上
量を２０〜５０ｎｍ程度と極めて小さくしなければなら
ない。このようなハードディスク装置に用いられる磁気
ディスクの表面欠陥を検査する場合、その浮上量に応じ
た検出精度で行わなければならない。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】従来、磁気ディスクの
表面欠陥の検査は、グライドテスタと呼ばれる装置で行
っていた。グライドテスタは、予め設定された浮上量で
磁気ディスクを回転させ、そのときに磁気ヘッドがディ
スク表面の異常突起に何回衝突したかを検出し、その衝
突回数に基づいてその磁気ディスクのグライドレベル
（磁気ディスク表面の突起高さ）を判定している。とこ
ろが、浮上量が２０〜５０ｎｍ程度の極めて小さな値に
なると、磁気ヘッドが異常突起に衝突する回数も増加
し、衝突によって磁気ヘッドがディスク表面に接触し、
磁気ヘッドが頻繁に破損することとなり、その交換や位
置合わせなどに多大の時間を要するようになるため問題
であった。そこで、最近では、異常突起の高さを光学的
に被接触で検出し、グライドテスタと同じような試験を
行っている。このような装置を光学式グライドテスタと
呼ぶ。

【０００４】図３はこの従来の光学式グライドテスタの
概略構成を示す図である。光学式グライドテスタの基本
構成は光干渉計である。レーザ装置３１は波長５３２ｎ
ｍのレーザ光ｆ０を出射する。分岐手段３１はレーザ光
ｆ０を進行方向及び光路長が同じで所定距離だけ離れた
２つのレーザ光ｆ０１及びｆ０２に分岐し、それらを偏
光ビームスプリッタ３Ａに出射する。偏光ビームスプリ
ッタ３Ａは２つのレーザ光ｆ０１及びｆ０２の一部（所
定方向の直線偏光）を反射して、その直線偏光レーザ光
ｆ０３及びｆ０４を参照面３Ｂに照射し、残りのレーザ
光（レーザ光ｆ０３及びｆ０４に直交する直線偏光）を
透過して、その直線偏光レーザ光ｆ０５及びｆ０６を測
定面３Ｃの各地点Ａ及びＢに照射する。なお、参照面３
Ｂと偏光ビームスプリッタ３Ａとの間、測定面３Ｃと偏
光ビームスプリッタ３Ａとの間には、それぞれ直線偏光
を円偏光に変換する波長板が設けられているが、ここで
は図示を省略してある。参照面３Ｂで反射したレーザ光
ｆ０３及びｆ０４は、直線偏光から円偏光に変換されて
いるので、偏光ビームスプリッタ３Ａを透過して受光素
子３Ｄ及び３Ｅに入射する。測定面３Ｃで反射したレー
ザ光ｆ０５及びｆ０６も同じく直線偏光から円偏光に変
換されているので、偏光ビームスプリッタ３Ａで反射し
て受光素子３Ｄ及び３Ｅに入射する。

【０００５】受光素子３Ｄ及び３Ｅは、参照面３Ｂで反
射したレーザ光ｆ０３及びｆ０４と、測定面３Ｃで反射
したレーザ光ｆ０５及びｆ０６の合成されたレーザ光ｆ
０７及びｆ０８を入射し、それに応じた電気信号を位相
差測定回路３Ｆに出力する。位相差測定回路３Ｆは受光
素子３Ｄ及び３Ｅからの電気信号に基づいて測定面３Ｃ
の突起高さを測定する。ビームスプリッタ３Ａの境界面
と参照面３Ｂ及び測定面３Ｃとの間の距離が等しい場合
には、参照面３Ｄで反射したレーザ光ｆ０３と測定面３
Ｃで反射したレーザ光ｆ０５は互いに同じ位相となるの
で、レーザ光ｆ０７の干渉出力信号の振幅値すなわち光
強度は最大となる。これに対して、ビームスプリッタ３
Ａの境界面と参照面３Ｂ及び測定面３Ｃとの間の距離が
異なる場合には、参照面３Ｄで反射したレーザ光ｆ０３
と測定面３Ｃで反射したレーザ光ｆ０５の位相は互いに
異なり、特に両者の位相が１８０度異なる場合にはレー
ザ光ｆ０７の干渉出力信号の振幅値（光強度）は最小と
なる。両波形の位相が０度から１８０度の間においては
その振幅値（光強度）はサイン波形に従って変化する。
従って、位相差測定回路３Ｆはレーザ光ｆ０７及びレー
ザ光ｆ０８の両干渉出力信号の振幅値を比較することに
よって、測定面３Ｃの地点Ａ及びＢの間の突起の高さ、
又は段差間距離を測定している。

【０００６】しかしながら、従来は、受光素子３Ｄ及び
３Ｅから出力される干渉出力信号の振幅値（光強度）に
基づいてレーザ光ｆ０５及びｆ０７の位相差すなわち突
起高さ又は段差間距離の測定を行っているので、測定面
の反射率が時々刻々と変動する場合にはその位相差を正
確に測定することができないという問題を有していた。

【０００７】本発明は、上述の点に鑑みてなされたもの
であり、測定面の反射率が変動した場合でも、正確にそ
の段差間距離又は突起物の高さに相当する位相差を測定
することできる光干渉計の干渉強度検出方式を提供する
ことを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】出願時の請求項１に記載
された発明に係る光干渉計の干渉強度検出方式は、基準
位相をなす第１のレーザ光と、測定位相をなす第２のレ
ーザ光との間の干渉波の強度を検出することによって前
記第１のレーザ光と前記第２のレーザ光との間の位相差
を検出する光干渉計の干渉強度検出方式において、前記
第１及び第２のレーザ光をそれぞれ透過方向及び反射方
向の２方向に分岐する分岐手段と、前記分岐手段によっ
て分岐された一方の前記第１及び第２のレーザ光を受光
し、それに応じた信号を出力する第１の受光素子手段
と、前記分岐手段によって分岐された他方の前記第１の
レーザ光及び前記第２のレーザ光から互いに異なる２つ
の偏光成分を取り出す偏光手段と、前記偏光手段によっ
て取り出された一方のレーザ光を受光し、それに応じた
信号を出力する第２の受光素子手段と、前記偏光手段に
よって取り出された他方のレーザ光を受光し、それに応
じた信号を出力する第３の受光素子手段と、前記第２及
び第３の受光素子手段の出力を加算する加算手段と、前
記第１の受光素子手段の出力から前記加算手段の加算値
を減算する減算手段と、前記第２及び第３の受光素子手
段の出力を乗算し、そのルート信号を出力する演算手段
と、前記減算手段の出力を前記第１の演算手段の出力で
除算することによって前記測定ビームと前記参照ビーム
との間の位相差に相当する信号を出力する除算手段とを
備えたものである。

【０００９】基準位相をなす第１のレーザ光は参照面で
反射した光であり、測定位相をなす第２のレーザ光は測
定面で反射した光である。分岐手段はこれらの第１及び
第２のレーザ光をそれぞれ２方向に分岐する。分岐手段
によって分岐された第１及び第２のレーザ光の一方は第
１の受光素子手段によって従来と同様に干渉出力信号に
変換される。そして、分岐された第１及び第２のレーザ
光の他方は偏光手段によってそれぞれ２つの偏光成分に
分岐される。すなわち、基準位相をなす第１のレーザ光
と測定位相をなす第２のレーザ光は互いに異なる偏向光
なので、偏向手段によって偏光されることによって、第
１のレーザ光と第２のレーザ光は互いに分離される。分
離されたレーザ光はそれぞれ第２及び第３の受光素子手
段によって電気信号に変換される。第２及び第３の受光
素子手段の出力は加算手段で加算される。また、第２及
び第３の受光素子手段の出力は乗算手段で乗算されてそ
のルート信号が出力される。減算手段は第１の受光素子
手段の出力から加算手段の出力を減算する。除算手段は
減算手段の出力と乗算手段の出力の除算結果を出力す
る。これによって、除算手段からは反射率に関係する係
数がすべて除去されるので、反射率の変動に依存しない
信号であって、参照面で反射した第１のレーザ光と測定
面で反射した第２のレーザ光との間の位相に相当する信
号を正確に検出することが可能となる。

【００１０】出願時の請求項２に記載された発明に係る
光干渉計の干渉強度検出方式は、基準位相をなす第１の
レーザ光と、測定位相をなす第２のレーザ光との間の干
渉波の強度を検出することによって前記測定ビームと前
記参照ビームとの間の位相差を検出する光干渉計の干渉
強度検出方式において、前記第１のレーザ光及び前記第
２のレーザ光から互いに位相の１８０度異なる２つの偏
光成分を取り出す偏光手段と、前記偏光手段によって取
り出された一方のレーザ光を受光し、それに応じた信号
を出力する第１の受光素子手段と、前記偏光手段によっ
て取り出された他方のレーザ光を受光し、それに応じた
信号を出力する第２の受光素子手段と、前記第１の受光
素子手段の出力と前記第２の受光素子手段の出力とを加
算する加算手段と、前記第１の受光素子手段の出力から
前記第２の受光素子手段の出力を減算する減算手段と、
前記減算手段の出力を前記加算手段の出力で除算するこ
とによって前記測定ビームと前記参照ビームとの間の位
相差に相当する強度信号を出力する除算手段とを備えた
ものである。

【００１１】偏光手段は第１及び第２のレーザ光を透過
方向及び反射方向の２方向に分岐し、分岐後の前記第１
及び第２のレーザ光同士の位相を１８０度異ならせる。
すなわち、第１及び第２のレーザ光の偏光面は互いに直
交しているので、偏光手段である偏光ビームスプリッタ
の直交軸を第１及び第２のレーザ光に対して４５度傾け
て配置することによって、分岐後の第１及び第２のレー
ザ光同士の位相は１８０度異なるようになる。そして、
分岐された一方のビームを第１の受光素子手段によって
従来と同様に干渉出力信号に変換する。そして、分岐さ
れた他方のビームを第２の受光素子手段によって干渉出
力信号に変換する。このとき、測定ビーム又は参照ビー
ムのいずれか一方の位相が１８０度異なるようになるの
で、第１及び第２の受光素子手段の干渉出力信号を加算
することによって、反射率に依存する信号を得ることが
できる。また、第１及び第２の受光素子手段の干渉出力
信号を減算することによって、第１のレーザ光と第２の
レーザ光との間の位相及び反射係数に依存する信号を得
ることができる。この減算信号を加算信号で除算するこ
とによって、得られる信号は反射率の変動による影響の
少ない、第１のレーザ光と第２のレーザ光との間の位相
に相当する信号となる。なお、請求項１に記載の発明の
ように完全に反射率の影響を除去することはできない
が、得られた信号は実用的には申し分ない範囲の信号で
ある。また、請求項１に記載の発明は３個の受光素子手
段が必要であるが、この発明の場合は２個の受光素子手
段で構成できるという点で有利である。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態を添
付図面に従って説明する。図１は、本発明の光干渉計の
干渉強度検出方式の第１の実施の形態に係る概略構成を
示す図である。この干渉強度検出方式は、図３の受光素
子３Ｄ及び位相差測定回路３Ｆに相当するものである。

【００１３】まず、偏光ビームスプリッタ３Ａからのレ
ーザ光ｆ０７又はｆ０８はハーフミラー１１によって２
つの光波に分けられ、それぞれ偏光板１８及び偏光ビー
ムスプリッタ１２に導かれる。ここで、レーザ光ｆ０７
は参照面３Ｂで反射したレーザ光ａＳｉｎωｔと測定面
３Ｃで反射したレーザ光ｂＳｉｎ（ωｔ＋ψ）との干渉
波であり、レーザ光ａＳｉｎωｔとレーザ光ｂＳｉｎ
（ωｔ＋ψ）の偏向面は互いに直交している。ここで、
ａは参照面３Ｂの反射率であり、ｂは測定面３Ｃの反射
率である。参照面３Ｂは検査のとき変更しないので、反
射率ａは固定値であるが、測定面３Ｃの反射率は検査の
度に時々刻々と変化する。ハーフミラー１１で反射し、
偏光ビームスプリッタ１２の直交軸に入射したレーザ光
ａＳｉｎωｔとレーザ光ｂＳｉｎ（ωｔ＋ψ）は、互い
に分離される。レーザ光ａＳｉｎωｔは偏光ビームスプ
リッタ１２によって反射し、ホトセンサ１３に入射す
る。一方、レーザ光ｂＳｉｎ（ωｔ＋ψ）は偏光ビーム
スプリッタ１２を通過してホトセンサ１４に入射する。

【００１４】ホトセンサ１３はレーザ光ａＳｉｎωｔの
入射に応じてその強度成分である信号ａ＾２をセンサア
ンプ１５に出力する。（『ａ＾２』はａの２乗を表す。
以下同じ。）同じく、ホトセンサ１４はレーザ光ｂＳｉ
ｎ（ωｔ＋ψ）の入射に応じてその強度成分である信号
ｂ＾２をセンサアンプ１６に出力する。（『ｂ＾２』は
ｂの２乗を表す。以下同じ。）２分の１加算アンプ１７
はセンサアンプ１５及び１６からの信号ａ＾２及びｂ＾
２を加算し、それに２分の１を乗じた信号０．５×（ａ
＾２＋ｂ＾２）を減算アンプ１Ｂのマイナス端子に供給
する。演算器１Ｃはセンサアンプ１５及び１６からの信
号ａ＾２及びｂ＾２を乗算し、そのルート出力を演算器
１Ｄに出力する。すなわち、センサアンプ１５からの信
号ａ＾２をＸとし、センサアンプ１６からの信号ｂ＾２
をＹとして場合に、演算器１Ｃの出力Ｚは、Ｚ＝（Ｘ
Ｙ）＾０．５となる。この結果、演算器１Ｃは参照面３
Ｂと測定面３Ｃの反射率を乗算した値ａｂを演算器１Ｄ
に出力するようになる。

【００１５】一方、ハーフミラー１１を透過して偏光板
１８に入射したレーザ光ａＳｉｎωｔとレーザ光ｂＳｉ
ｎ（ωｔ＋ψ）の干渉波は、偏向板１８の透過軸に対し
て互いに４５度傾いて入射するので、レーザ光ａＳｉｎ
ωｔは（１／√２）×ａＳｉｎωｔとなり、レーザ光ｂ
Ｓｉｎ（ωｔ＋ψ）は（１／√２）×ｂＳｉｎ（ωｔ＋
ψ）となる。偏光板１８を通過したレーザ光（１／√
２）×ａＳｉｎωｔ及び（１／√２）×ｂＳｉｎ（ωｔ
＋ψ）はホトセンサ１９に入射する。ホトセンサ１９は
レーザ光（１／√２）×ａＳｉｎωｔ及び（１／√２）
×ｂＳｉｎ（ωｔ＋ψ）の入射に応じてその強度成分、
すなわち干渉出力信号０．５×（ａ＾２＋ｂ＾２）＋ａ
ｂＳｉｎψをセンサアンプ１Ａに出力する。

【００１６】減算アンプ１Ｂは、センサアンプ１Ａの干
渉出力信号０．５×（ａ＾２＋ｂ＾２）＋ａｂＳｉｎψ
から２分の１加算アンプ１７のスライス電圧０．５×
（ａ＾２＋ｂ＾２）を減算し、減算値ａｂＳｉｎψに
０．５を乗じた値ａｂＳｉｎψを演算器１Ｄに出力す
る。演算器１Ｄは減算アンプ１Ｂの信号ａｂＳｉｎψを
演算器１Ｃの信号ａｂで除算し、その結果を示す信号Ｓ
ｉｎψを出力する。従って、最終的に演算器１Ｄから出
力される信号Ｓｉｎψは、反射率ａ，ｂに影響されない
ものであり、参照面３Ｂで反射したレーザ光ａＳｉｎω
ｔと測定面３Ｃで反射したレーザ光ｂＳｉｎ（ωｔ＋
ψ）との間の位相差ψにのみ依存した出力波形となる。
これによって、測定面の反射率が変動した場合でも、正
確にその段差間距離又は突起物の高さに相当する位相差
を測定することができる

【００１７】図２は、本発明の光干渉計の干渉強度検出
方式の第２の実施の形態に係る概略構成を示す図であ
る。図１の干渉強度検出方式では、ホトセンサを３個使
った場合を説明したが、この実施の形態では２個のホト
センサで同様の出力を得ることのできる実施の形態を示
す。

【００１８】まず、偏光ビームスプリッタ３Ａからのレ
ーザ光ｆ０７又はｆ０８を偏向ビームスプリッタ２１の
直交軸の４５度方向から入射する。これによって、参照
面３Ｂで反射したレーザ光ａＳｉｎωｔと測定面３Ｃで
反射したレーザ光ｂＳｉｎ（ωｔ＋ψ）は、出力２分の
１の透過光と反射光とに分岐する。この反射光のうち測
定面３Ｃで反射したレーザ光ｂＳｉｎ（ωｔ＋ψ）のみ
が１８０度だけ位相のシフトした波形（１／√２）×ｂ
Ｓｉｎ（ωｔ＋ψ−π）になる。従って、偏向ビームス
プリッタ２１の透過光は（１／√２）×ａＳｉｎωｔと
（１／√２）×ｂＳｉｎ（ωｔ＋ψ）の合成波となり、
偏向ビームスプリッタ２１の反射光は（１／√２）×ａ
Ｓｉｎωｔと（１／√２）×ｂＳｉｎ（ωｔ＋ψ−π）
の合成波となる。

【００１９】ホトセンサ２２は反射光（１／√２）×ａ
Ｓｉｎωｔ及び（１／√２）×ｂＳｉｎ（ωｔ＋ψ−
π）の干渉出力信号０．５×（ａ＾２＋ｂ＾２）＋ａｂ
Ｓｉｎ（ωｔ＋ψ−π）をセンサアンプ２３に出力す
る。同じく、ホトセンサ２５は透過光（１／√２）×ａ
Ｓｉｎωｔと（１／√２）×ｂＳｉｎ（ωｔ＋ψ）の干
渉出力信号０．５×（ａ＾２＋ｂ＾２）＋ａｂＳｉｎψ
をセンサアンプ２６に出力する。加算アンプ２４はセン
サアンプ２３及び２６からの干渉出力信号を加算した値
（ａ＾２＋ｂ＾２）を除算器２８に出力する。一方、減
算アンプ２７はセンサアンプ２６の干渉出力信号０．５
×（ａ＾２＋ｂ＾２）＋ａｂＳｉｎψからセンサアンプ
２３の干渉出力信号０．５×（ａ＾２＋ｂ＾２）＋ａｂ
Ｓｉｎ（ψ−π）を減算した値２ａｂＳｉｎψを除算器
２８に出力する。除算器２８は減算アンプ２７の減算値
２ａｂＳｉｎψを加算アンプ２４の加算値（ａ＾２＋ｂ
＾２）で除した値（２ａｂＳｉｎψ）／（ａ＾２＋ｂ＾
２）を出力する。すなわち、この実施の形態の場合、最
終的に除算器２８から出力される信号（２ａｂＳｉｎ
ψ）／（ａ＾２＋ｂ＾２）は、参照面３Ｂで反射したレ
ーザ光ａＳｉｎωｔと測定面３Ｃで反射したレーザ光ｂ
Ｓｉｎ（ωｔ＋ψ）との間の位相差ψに依存する値Ｓｉ
ｎψと、参照面３Ｂ及び測定面３Ｃの反射率ａ，ｂに依
存する係数２ａｂ／（ａ＾２＋ｂ＾２）との乗算結果で
ある。参照面３Ｂの反射率ａは固定なので、反射率ｂの
みが変動し、その出力結果に影響を与えるが、従来の場
合よりも反射率ｂの変動に対応した誤差成分は減少して
いる。これによって、測定面の反射率が変動した場合で
も、ほとんどその影響を受けることなく、正確にその段
差間距離又は突起物の高さに相当する位相差を測定する
ことができる。なお、説明の便宜上、図１及び図２にお
けるホトセンサ及びセンサアンプの変換係数は省略して
ある。

【００２０】

【発明の効果】本発明の光干渉計の干渉強度検出方式に
よれば、測定面の反射率が変動して場合でも、正確にそ
の段差間距離又は突起物の高さに相当する強度信号を測
定することできるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の光干渉計の干渉強度検出方式の第１
の実施の形態に係る概略構成を示す図である。

【図２】 本発明の光干渉計の干渉強度検出方式の第２
の実施の形態に係る概略構成を示す図である。

【図３】 従来の光学式グライドテスタの概略構成を示
す図である。

【符号の説明】

１１…ハーフミラー、１２，２１…偏向ビームスプリッ
タ、１３，１４，１９，２２，２５…ホトセンサ、１
５，１６，１Ａ，２３，２６…センサアンプ、１７…２
分の１加算アンプ、１８…偏光板、１Ｂ，２７…減算ア
ンプ、１Ｃ…演算手段、１Ｄ，２８…除算手段、２４…
加算アンプ

【手続補正書】

【提出日】平成１０年４月１６日

【手続補正１】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図４

【補正方法】削除

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基準位相をなす第１のレーザ光と、測定
   位相をなす第２のレーザ光との間の干渉波の強度を検出
   することによって前記第１のレーザ光と前記第２のレー
   ザ光との間の位相差を検出する光干渉計の干渉強度検出
   方式において、 前記第１及び第２のレーザ光をそれぞれ透過方向及び反
   射方向の２方向に分岐する分岐手段と、 前記分岐手段によって分岐された一方の前記第１及び第
   ２のレーザ光を受光し、それに応じた信号を出力する第
   １の受光素子手段と、 前記分岐手段によって分岐された他方の前記第１のレー
   ザ光及び前記第２のレーザ光から互いに異なる２つの偏
   光成分を取り出す偏光手段と、 前記偏光手段によって取り出された一方のレーザ光を受
   光し、それに応じた信号を出力する第２の受光素子手段
   と、 前記偏光手段によって取り出された他方のレーザ光を受
   光し、それに応じた信号を出力する第３の受光素子手段
   と、 前記第２及び第３の受光素子手段の出力を加算する加算
   手段と、 前記第１の受光素子手段の出力から前記加算手段の加算
   値を減算する減算手段と、 前記第２及び第３の受光素子手段の出力を乗算し、その
   ルート信号を出力する演算手段と、 前記減算手段の出力を前記第１の演算手段の出力で除算
   することによって前記測定ビームと前記参照ビームとの
   間の位相差に相当する信号を出力する除算手段とを備え
   たことを特徴とする光干渉計の干渉強度検出方式。
2. 【請求項２】 基準位相をなす第１のレーザ光と、測定
   位相をなす第２のレーザ光との間の干渉波の強度を検出
   することによって前記測定ビームと前記参照ビームとの
   間の位相差を検出する光干渉計の干渉強度検出方式にお
   いて、 前記第１のレーザ光及び前記第２のレーザ光から互いに
   位相の１８０度異なる２つの偏光成分を取り出す偏光手
   段と、 前記偏光手段によって取り出された一方のレーザ光を受
   光し、それに応じた信号を出力する第１の受光素子手段
   と、 前記偏光手段によって取り出された他方のレーザ光を受
   光し、それに応じた信号を出力する第２の受光素子手段
   と、 前記第１の受光素子手段の出力と前記第２の受光素子手
   段の出力とを加算する加算手段と、 前記第１の受光素子手段の出力から前記第２の受光素子
   手段の出力を減算する減算手段と、 前記減算手段の出力を前記加算手段の出力で除算するこ
   とによって前記測定ビームと前記参照ビームとの間の位
   相差に相当する強度信号を出力する除算手段とを備えた
   ことを特徴とする光干渉計の干渉強度検出方式。