JPH112327A - O-ring and device therewith - Google Patents
O-ring and device therewithInfo
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- JPH112327A JPH112327A JP15406897A JP15406897A JPH112327A JP H112327 A JPH112327 A JP H112327A JP 15406897 A JP15406897 A JP 15406897A JP 15406897 A JP15406897 A JP 15406897A JP H112327 A JPH112327 A JP H112327A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、Oリング、及びこ
れを具備するOリングを備えた装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an O-ring and an apparatus provided with the O-ring.
【0002】[0002]
【従来の技術】部材と部材を組み合わせて真空容器等を
構成する場合、メンテナンス等を考慮しOリングを介し
て密閉性を確保している。このとき、Oリングは弾性体
で断面形状は円形のものが用いられる。図16及び図1
7に従来のOリングを示す。図16はOリングを具備す
る装置を上面からみた上面図で、図17はOリングを具
備する装置の断面図である。その構成を説明すると、1
01はベースプレート、102は容器、103はベース
プレート101に設置されたOリング枠、200はOリ
ング、201はOリングの合成ゴム製の部位をそれぞれ
示している。2. Description of the Related Art When a vacuum vessel or the like is constructed by combining members with each other, hermeticity is ensured via an O-ring in consideration of maintenance and the like. At this time, the O-ring is an elastic body having a circular cross section. FIG. 16 and FIG.
7 shows a conventional O-ring. FIG. 16 is a top view of the device including the O-ring as viewed from above, and FIG. 17 is a cross-sectional view of the device including the O-ring. The structure is described as follows.
01 is a base plate, 102 is a container, 103 is an O-ring frame installed on the base plate 101, 200 is an O-ring, and 201 is a synthetic rubber part of the O-ring.
【0003】容器内部に反応性の高い物質が有る場合材
質には、合成ゴム製のOリングに代えて、フッ素系の高
分子材料を用いている。例えば、プラズマエッチング装
置では真空中に反応ガスを導入し高周波印加によりプラ
ズマ化するが、真空のシールドに合成ゴム製のOリング
を用いた場合、プラズマに曝された部分は徐々に劣化し
パーティクルを生じ、最後には亀裂が生じ真空を維持で
きなくなるからである。[0003] When a highly reactive substance is present in the container, a fluorine-based polymer material is used instead of the synthetic rubber O-ring. For example, in a plasma etching apparatus, a reaction gas is introduced into a vacuum and turned into plasma by applying a high frequency. When an O-ring made of synthetic rubber is used for a vacuum shield, a portion exposed to the plasma gradually deteriorates and particles are removed. This is because, in the end, a crack is formed and it becomes impossible to maintain a vacuum.
【0004】また、特開平4−193970号の図1で
は、真空容器とこれに覗き窓を組合わせた装置を開示し
ており、真空容器の覗き窓に接触する面に切られた溝部
にゴム製のOリング12を配置し、かつ、容器の覗き窓
と接する内壁のテーパ部に金属製リングあるいは耐腐食
性の高い材料からなるリングを配置するようにして、O
リングがプラズマエッチングガス等から保護することを
記載している。FIG. 1 of Japanese Patent Laid-Open No. 4-193970 discloses an apparatus in which a vacuum vessel and a viewing window are combined with each other. A metal ring or a ring made of a material having high corrosion resistance is arranged on the tapered portion of the inner wall in contact with the viewing window of the container.
It describes that the ring protects from a plasma etching gas or the like.
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】上述したように、一般
に用いられる合成ゴム系のOリングは柔軟な弾性体であ
り容器の外気遮断性に富む反面、耐薬品・耐プラズマ性
が低い。合成ゴム系のOリングにかえて、耐腐食性を有
するフッ素樹脂からなるOリングを使用した場合には、
弾性が低く外気遮断性が低くなってしまう。そのためフ
ッ素含有の合成ゴム等も開発されているが、高価であっ
たり、物理的な強度も低かったりする。容器内部に反応
性の高い物質が有る場合Oリングの材質は限られ、フッ
素系の合成ゴムを用いる場合等があるが通常の合成ゴム
系のOリングに比べ100倍から1000倍ものコスト
がかかる。また、耐熱性に劣る物が多く交換品度も多く
なる等の問題点を有していた。As described above, generally used synthetic rubber-based O-rings are flexible and elastic and have a good barrier property against outside air, but have low chemical and plasma resistance. When an O-ring made of a fluororesin having corrosion resistance is used instead of a synthetic rubber O-ring,
The elasticity is so low that the outside air blocking performance is low. For this reason, fluorine-containing synthetic rubbers and the like have been developed, but they are expensive and have low physical strength. When there is a highly reactive substance inside the container, the material of the O-ring is limited, and there are cases where a fluorine-based synthetic rubber is used. However, the cost is 100 to 1000 times that of a normal synthetic rubber-based O-ring. . In addition, there is a problem that many of the materials have poor heat resistance and the degree of replacement is increased.
【0006】さらに、特開平4−193970号に記載
した方法では金属製あるいは耐腐食性の高い材料からな
るOリングを容器内壁に保持する方法が困難である。Further, in the method described in JP-A-4-193970, it is difficult to hold an O-ring made of metal or a material having high corrosion resistance on the inner wall of the container.
【0007】また、容器が例えばガラスのように壊れや
すい場合、特に真空装置である場合Oリングのつぶれに
より容器とベースプレートが当接して破損することがあ
った。Further, when the container is fragile like glass, for example, especially in the case of a vacuum device, the container may come into contact with the base plate due to the collapse of the O-ring, and the container may be damaged.
【0008】[0008]
【課題を解決するための手段】本発明のOリングは、平
面形状は環状である弾性体で断面形状は円形であるOリ
ングであって、前記Oリングは環状の突起部を有するこ
とを特徴とする。An O-ring according to the present invention is an O-ring having an annular planar shape and an O-ring having a circular cross-section, wherein the O-ring has an annular projection. And
【0009】また、本発明のOリングを具備した装置
は、平面形状は環状である弾性体で断面形状は円形であ
るOリングを具備した装置であって、前記Oリングは環
状の突起部を有することを特徴とする。Further, the device provided with the O-ring of the present invention is a device provided with an O-ring having a ring-shaped elastic body and a circular cross-section, wherein the O-ring has a ring-shaped projection. It is characterized by having.
【0010】さらに、本発明のOリングは、突起部が耐
腐食性材料からなることを特徴とする。Further, the O-ring of the present invention is characterized in that the projection is made of a corrosion-resistant material.
【0011】[0011]
【作用】本発明によれば、Oリングの弾性が無くなって
つぶれた場合も突起部が容器間にクッション的に入って
いるため容器破損の心配がない。また、容器の破損によ
りOリングが損傷することも防止できるため、Oリング
の寿命を飛躍的に伸ばすことができる。また、容器内・
外部に反応性の高い物質が有る場合、耐腐食性材料の突
起が合成ゴム製のOリングを保護するため腐食に強く、
合成ゴムの弾力性で気密性を高くできるという効果を奏
する。According to the present invention, even when the O-ring loses its elasticity and is crushed, there is no fear of breakage of the container because the protrusion is provided as a cushion between the containers. Further, since the O-ring can be prevented from being damaged due to the breakage of the container, the life of the O-ring can be drastically extended. In addition, in container
If there is a highly reactive substance on the outside, the protrusion of the corrosion resistant material protects the synthetic rubber O-ring to resist corrosion,
This has the effect that the airtightness can be increased by the elasticity of the synthetic rubber.
【0012】[0012]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【0013】図1乃至図15において、図中に示すOリ
ングは図の左側がOリングの内周側として説明する。In FIGS. 1 to 15, the O-ring shown in the drawings will be described on the assumption that the left side of the drawing is the inner peripheral side of the O-ring.
【0014】図1乃至図10を用いて、本願の第1の実
施例を説明する。図2、図4、図6、図8及び図10は
Oリングの断面図を、図1、図3、図5、図7、図9
は、それぞれ、図2、図4、図6、図8、図10に示し
たOリングを備えた装置を示す。その構成を説明する
と、101はベースプレート、102は容器、103は
ベースプレート101に設置されたOリング枠、201
は合成ゴム製のOリングを示す。A first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 2, 4, 6, 8, and 10 are cross-sectional views of the O-ring, and FIGS. 1, 3, 5, 7, and 9 are sectional views of the O-ring.
Shows an apparatus provided with the O-ring shown in FIGS. 2, 4, 6, 8, and 10, respectively. Explaining the structure, 101 is a base plate, 102 is a container, 103 is an O-ring frame installed on the base plate 101, 201
Indicates an O-ring made of synthetic rubber.
【0015】図2に示すOリングはOリング内周側に、
図4のOリングはOリング外周側に、図6のOリングは
Oリングの内周側と外周側の両方に、図8のOリングは
Oリングの上部と下部に、図10のOリングはOリング
下部に突起部が形成されている。図2、図4、図6、図
8、図10のような突起部を持つOリングを、それぞれ
図1、図3、図5、図7、図9の様に装置へ組み込み、
真空装置又は外気圧により容器102が、ベースプレー
ト101に押さえ付けられたとき、Oリングはベースプ
レートに垂直な方向に押しつぶされ、容器とベースプレ
ートの隙間にはOリングの突起部がクッションとして介
在するため、直接容器とベースプレートが接触しない。
よって、容器とベースプレートの接触による容器の破損
が起こらず、また、容器とベースプレートが接触するこ
とによるパーティクルの発生も防止出来る。The O-ring shown in FIG.
The O-ring of FIG. 4 is on the outer peripheral side of the O-ring, the O-ring of FIG. 6 is on both the inner peripheral side and the outer peripheral side of the O-ring, the O-ring of FIG. Has a projection formed below the O-ring. The O-rings having the protruding portions as shown in FIGS. 2, 4, 6, 8, and 10 are incorporated into the apparatus as shown in FIGS. 1, 3, 5, 7, and 9, respectively.
When the container 102 is pressed against the base plate 101 by a vacuum device or an external pressure, the O-ring is crushed in a direction perpendicular to the base plate, and a protrusion of the O-ring is interposed as a cushion in a gap between the container and the base plate. There is no direct contact between the container and the base plate.
Therefore, damage of the container due to contact between the container and the base plate does not occur, and generation of particles due to contact between the container and the base plate can be prevented.
【0016】図11乃至図15を用いて、本願発明の第
2の実施例を説明する。A second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
【0017】図11乃至図15はOリングの断面図を示
しており、201はOリングの合成ゴム製の部位、20
2はOリングのフッ素樹脂等の耐腐食性材料でできた板
状突起部位である。図11では、板状突起部位が、Oリ
ング内周に沿って環状に設置されている。図12では、
Oリングの外周に沿って板状突起部位が環状に設置さ
れ、図13ではOリングの内周、外周の両方に沿って板
状突起部位が環状に設置され、図14ではOリング下部
に沿って板状突起部位が環状に設置され、図15ではO
リング上下部に沿って板状突起部位が環状に設置されて
いる例を示す。FIGS. 11 to 15 are sectional views of the O-ring, and 201 is a synthetic rubber portion of the O-ring.
Reference numeral 2 denotes a plate-like projection portion made of a corrosion-resistant material such as a fluororesin of the O-ring. In FIG. 11, the plate-like projections are provided in an annular shape along the inner circumference of the O-ring. In FIG.
Plate-shaped projections are provided annularly along the outer circumference of the O-ring, in FIG. 13 plate-shaped projections are provided annularly along both the inner circumference and the outer circumference of the O-ring, and in FIG. The plate-like projection portion is installed in an annular shape, and in FIG.
An example is shown in which plate-shaped projections are installed in a ring along the upper and lower portions of the ring.
【0018】実施例1と同様に、真空装置又は外気圧に
より容器102が、ベースプレート101に押さえ付け
られたとき、Oリングはベースプレートに垂直な方向に
押しつぶされ、容器とベースプレートの隙間にはOリン
グの突起部が介在するようになるため、板状突起部位が
クッションとして働き、容器とベースプレートとが直接
接触することを防止する。As in the first embodiment, when the container 102 is pressed against the base plate 101 by a vacuum device or an external pressure, the O-ring is crushed in a direction perpendicular to the base plate, and the O-ring is formed in the gap between the container and the base plate. Since the projections are interposed, the plate-like projections function as cushions, thereby preventing the container and the base plate from directly contacting each other.
【0019】さらに、これらのOリングについては、特
に耐薬品・耐プラズマ性が高い。例えばプラズマエッチ
ング装置では真空中に反応ガスを導入し高周波印加によ
りプラズマ化するが、これらの突起部を有するOリング
を、反応雰囲気側に突起部が来るように設置すると、圧
力2Torrで酸素1300SCCMを導入しマイクロ
波900Wで励起した場合、Oリングは使用一年後でも
パーティクルの発生はなく真空の保持も十分行えた。ま
た、容器として、石英のベルジャーを使用した場合、突
起部のないOリングを用いると、三ヶ月程度で石英の欠
け等が発生するが、本実施例によればベースプレートに
当たることなく運用できた。またこれらのOリングは、
従来のOリング溝の改造をせずに使えた。Furthermore, these O-rings are particularly high in chemical resistance and plasma resistance. For example, in a plasma etching apparatus, a reaction gas is introduced into a vacuum and turned into plasma by applying a high frequency. When an O-ring having these projections is installed such that the projections come to the reaction atmosphere side, 1300 SCCM oxygen is applied at a pressure of 2 Torr. When introduced and excited by microwaves of 900 W, the O-ring did not generate particles even after one year of use, and was able to sufficiently maintain the vacuum. When a quartz bell jar is used as the container, if an O-ring without a projection is used, chipping of the quartz or the like occurs in about three months, but according to the present embodiment, the operation could be performed without hitting the base plate. These O-rings
It can be used without modifying the conventional O-ring groove.
【0020】また、コスト的にもフッ素樹脂等の反応性
の高い樹脂自体は手に入りやすい価格であり、20cm
の環状板で合成ゴムと組み合わせた場合、フッ素含有ゴ
ムの2から3桁安価に用意できる。Also, in terms of cost, highly reactive resins such as fluororesins themselves are easily available and have a cost of 20 cm.
When it is combined with synthetic rubber using the annular plate, fluorine-containing rubber can be prepared two to three orders of magnitude cheaper.
【0021】以上、本願発明の第1の実施例及び第2の
実施例ではプラズマ装置について説明しているが、一例
でありこれらに限られるわけではなく薬品の容器や、真
空容器、等様々な応用が可能である。また、本願発明の
Oリング及びOリングを備えた装置は、既存のOリング
用溝を使え装置の改造が必要なく拡張性に優れた物であ
る。Although the first and second embodiments of the present invention have been described with reference to the plasma apparatus, this is merely an example, and the present invention is not limited thereto. Application is possible. Further, the O-ring and the device provided with the O-ring according to the present invention are excellent in expandability without using any existing O-ring groove and requiring modification of the device.
【0022】[0022]
【発明の効果】以上述べたように、本発明のOリング及
びOリングを備えた装置によれば、Oリングのつぶれに
よる交換頻度を飛躍的に延ばせた。また、ガラス容器、
石英容器やセラミック容器等の破損しやすい部品との組
み合わせにおいて、破損の回避が実現できた。As described above, according to the O-ring and the device provided with the O-ring of the present invention, the replacement frequency due to the collapse of the O-ring can be greatly increased. Also, glass containers,
In combination with easily breakable parts such as a quartz container and a ceramic container, breakage could be avoided.
【0023】低コストで耐薬品・耐プラズマ性の高いの
シールドが実現でき、Oリングの劣化によるパーティク
ルの発生を抑え、真空の保持等にも優れた特性を得られ
る。It is possible to realize a shield with high chemical resistance and high plasma resistance at low cost, to suppress generation of particles due to deterioration of the O-ring, and to obtain excellent characteristics such as vacuum maintenance.
【図1】本発明の一実施の形態を示すOリングを備えた
装置の断面図。FIG. 1 is a cross-sectional view of an apparatus having an O-ring according to an embodiment of the present invention.
【図2】本発明の一実施の形態を示すOリングの断面
図。FIG. 2 is a cross-sectional view of an O-ring showing one embodiment of the present invention.
【図3】本発明の一実施の形態を示すOリングを備えた
装置の断面図。FIG. 3 is a cross-sectional view of an apparatus having an O-ring according to an embodiment of the present invention.
【図4】本発明の一実施の形態を示すOリングの断面
図。FIG. 4 is a cross-sectional view of an O-ring showing one embodiment of the present invention.
【図5】本発明の一実施の形態を示すOリングを備えた
装置の断面図。FIG. 5 is a cross-sectional view of an apparatus including an O-ring according to an embodiment of the present invention.
【図6】本発明の一実施の形態を示すOリングの断面
図。FIG. 6 is a cross-sectional view of an O-ring showing one embodiment of the present invention.
【図7】本発明の一実施の形態を示すOリングを備えた
装置の断面図。FIG. 7 is a cross-sectional view of an apparatus having an O-ring according to an embodiment of the present invention.
【図8】本発明の一実施の形態を示すOリングの断面
図。FIG. 8 is a cross-sectional view of an O-ring showing one embodiment of the present invention.
【図9】本発明の一実施の形態を示すOリングを備えた
装置の断面図。FIG. 9 is a cross-sectional view of an apparatus including an O-ring according to an embodiment of the present invention.
【図10】本発明の一実施の形態を示すOリングの断面
図。FIG. 10 is a sectional view of an O-ring showing one embodiment of the present invention.
【図11】本発明の一実施の形態を示すOリングの断面
図。FIG. 11 is a cross-sectional view of an O-ring showing one embodiment of the present invention.
【図12】本発明の一実施の形態を示すOリングの断面
図。FIG. 12 is a cross-sectional view of an O-ring showing one embodiment of the present invention.
【図13】本発明の一実施の形態を示すOリングの断面
図。FIG. 13 is a cross-sectional view of an O-ring showing one embodiment of the present invention.
【図14】本発明の一実施の形態を示すOリングの断面
図。FIG. 14 is a cross-sectional view of an O-ring showing one embodiment of the present invention.
【図15】本発明の一実施の形態を示すOリングの断面
図。FIG. 15 is a cross-sectional view of an O-ring showing one embodiment of the present invention.
【図16】従来の形態を示すOリングの上面図。FIG. 16 is a top view of an O-ring showing a conventional mode.
【図17】従来の形態を示すOリングを備えた装置の断
面図。FIG. 17 is a cross-sectional view of a device including an O-ring showing a conventional mode.
【符号の説明】 101.ベースプレート 102.容器 103.Oリング枠 200.Oリング 201.合成ゴム製のOリング 202.耐腐食性材料のOリング[Description of Signs] 101. Base plate 102. Container 103. O-ring frame 200. O-ring 201. O-ring made of synthetic rubber 202. O-ring of corrosion resistant material
Claims (4)
円形であるOリングであって、前記Oリングは環状の突
起部を有することを特徴とするOリング。1. An O-ring, wherein the planar shape is an O-ring having an annular elastic body and a circular cross-section, wherein the O-ring has an annular projection.
円形であるOリングを具備した装置であって、前記Oリ
ングは環状の突起部を有することを特徴とするOリング
を具備した装置。2. An apparatus comprising an O-ring having an annular elastic body and a circular cross-section, said O-ring having an annular projection. apparatus.
円形であるOリングであって、前記Oリングは耐腐食性
材料の環状の突起部を有することを特徴とするOリン
グ。3. The O-ring according to claim 1, wherein the O-ring has an annular elastic body and a circular cross-sectional shape, and the O-ring has an annular projection made of a corrosion-resistant material.
円形であるOリングを具備した装置であって、前記Oリ
ングは耐腐食性材料の環状の突起部を有することを特徴
とするOリングを具備した装置。4. An apparatus provided with an O-ring having an annular elastic body and a circular cross-sectional shape, wherein the O-ring has an annular projection made of a corrosion-resistant material. Device with O-ring.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15406897A JPH112327A (en) | 1997-06-11 | 1997-06-11 | O-ring and device therewith |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15406897A JPH112327A (en) | 1997-06-11 | 1997-06-11 | O-ring and device therewith |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH112327A true JPH112327A (en) | 1999-01-06 |
Family
ID=15576199
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15406897A Withdrawn JPH112327A (en) | 1997-06-11 | 1997-06-11 | O-ring and device therewith |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JPH112327A (en) |
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- 1997-06-11 JP JP15406897A patent/JPH112327A/en not_active Withdrawn
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