JPH11232625A - Manufacture of magnetic head - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a magnetic head, in which attraction with the surface of a record medium of the magnetic head is prevented, disk impact resistance is improved and stable floating characteristics are obtained even to the miniaturization of the magnetic head and the reduction of the quantity of floating and which has high durability and high reliability. SOLUTION: The magnetic head is manufactured from a process, in which a wafer, in which a large number of magnetic head elements are formed to a surface, is cut out to each slider. A process, in which the air bearing surfaces(ABS) 2 of each slider are coated with a photo-resist 5 and baked and the ABS is dry-etched uniformly, is contained. Accordingly, the ABS peripheral sections of a large number of the sliders can be trimmed and worked equally at all times regardless of slider size, even the sliders in pico-size do not have an effect on the floating characteristics of the magnetic head and performance and yield on manufacture are improved in response to the demands of an increase in recording density and the miniaturization of a device.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、例えばハードディ
スク装置など、コンピュータ、ワードプロセッサ等の様
々な電子機器の記録再生装置に使用される磁気ヘッドの
製造方法に関し、特に平滑な記録媒体の表面を僅少な隙
間をもって浮上しながら走行してデータの記録・再生を
行う磁気ヘッドであって、インダクティブ型（誘導
型）、磁気抵抗型（ＭＲ）、インダクティブ／ＭＲ複合
型などの様々なタイプの磁気ヘッドの製造方法に関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a magnetic head used in a recording / reproducing apparatus of various electronic devices such as a computer and a word processor such as a hard disk drive, and more particularly, to a method of manufacturing a magnetic head having a small surface. Manufacture of various types of magnetic heads, such as an inductive type (inductive type), a magnetoresistive type (MR), and an inductive / MR combined type, which perform data recording / reproducing while traveling while flying with a gap therebetween. About the method.

【０００２】[0002]

【従来の技術】従来よりこの種の磁気ヘッドは、ウエハ
の表面の多数の磁気ヘッド素子を形成し、これを短冊状
のスライダバーに切り出し、その空気ベアリング面（Ａ
ＢＳ）に浮上レールなどを所定の形状にパターン形成し
た後、個々の磁気ヘッドスライダに切断分離して形成す
る。ＡＢＳのパターン形成は、従来の機械的切削加工に
加えて、最近では加工精度を高めて浮上特性を向上させ
るためにフォトリソグラフィ技術を用いたエッチング加
工により行われている。2. Description of the Related Art Conventionally, this type of magnetic head forms a number of magnetic head elements on the surface of a wafer, cuts them into strip-shaped slider bars, and has an air bearing surface (A).
After a flying rail or the like is formed in a predetermined shape on the base material (BS), it is cut and separated into individual magnetic head sliders. ABS pattern formation is recently performed by etching using photolithography technology in order to increase processing accuracy and improve flying characteristics, in addition to conventional mechanical cutting.

【０００３】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の磁気ヘッドは、ＡＢＳの機械加工及びエッチン
グ加工のいずれの場合にもスライダの周縁部分にバリが
生じ易く、そのために安定した浮上特性が得られなくな
り、クラッシュして記録媒体表面を損傷する虞があっ
た。However, in the above-mentioned conventional magnetic head, burrs are easily generated on the peripheral portion of the slider in both the machining and the etching of the ABS, so that a stable flying characteristic can be obtained. There is a risk of crashing and damaging the surface of the recording medium.

【０００４】また、所謂コンタクトスタートストップ
（ＣＳＳ）方式の磁気ディスク装置では、モータ停止時
に磁気ヘッドが記録媒体表面にランディングする際に、
スライダ周縁部分の鋭利な角部が記録媒体表面に傷を付
けたり、ＣＳＳ動作が繰り返される間にヘッド自体が損
傷するなどの問題があった。更に、スライダのＡＢＳは
高度の平面に形成されるので、記録媒体表面に吸着され
易く、ＣＳＳ時にテイクオフできなくなったり、衝撃や
摩耗を生じて磁気ヘッドの耐久性・寿命が低下すること
になる。In a magnetic disk drive of the so-called contact start stop (CSS) system, when the magnetic head lands on the recording medium surface when the motor is stopped,
There have been problems such as the sharp corners of the peripheral portion of the slider scratching the surface of the recording medium and the head itself being damaged while the CSS operation is repeated. Furthermore, since the ABS of the slider is formed on a highly flat surface, it is likely to be adsorbed on the surface of the recording medium, making it impossible to take off at the time of CSS, or causing impact or wear, thereby reducing the durability and life of the magnetic head.

【０００５】このため、従来はＡＢＳをラッピングする
などの機械的加工によりスライダの周縁部分を面取りす
る方法が採用されている。しかしながら、このような機
械加工は公差が比較的大きいため、最近の高記録密度化
・装置の小型化に伴うスライダの小型化、浮上量の低減
化が進められると、浮上特性に与える影響が大きくな
り、浮上量が不安定になって磁気ヘッドの信頼性の低下
を招く虞がある。For this reason, conventionally, a method of chamfering the peripheral portion of the slider by mechanical processing such as lapping of ABS has been adopted. However, since such machining has a relatively large tolerance, if the slider is made smaller and the flying height is reduced in accordance with the recent increase in recording density and the size of the device, the influence on the flying characteristics will be large. In other words, the flying height may become unstable, leading to a decrease in the reliability of the magnetic head.

【０００６】そこで、本発明は、上述した従来の問題点
に鑑みてなされたものであり、その目的とするところ
は、磁気ヘッドのスライダ周縁部分の角部に丸みを付け
ることにより記録媒体表面との吸着を防止し、耐ディス
ク衝撃性を改善し、磁気ヘッドの小型化・低浮上量化に
対しても安定した浮上特性を得ることができ、耐久性及
び信頼性の高い磁気ヘッドを製造し得る方法を提供する
ことにある。Accordingly, the present invention has been made in view of the above-mentioned conventional problems, and an object of the present invention is to round the corners of a slider peripheral portion of a magnetic head to thereby improve the surface of a recording medium. Of magnetic heads can be prevented, the disk impact resistance can be improved, and stable flying characteristics can be obtained even when the magnetic head is reduced in size and the flying height is reduced, and a highly durable and reliable magnetic head can be manufactured. It is to provide a method.

【０００７】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明は、上述した目的
を達成するためのものであり、以下にその内容を図面に
示した実施例を用いて説明する。本発明の磁気ヘッドの
製造方法は、その表面に多数の磁気ヘッド素子を形成し
たウエハを個々のスライダに切り出す工程からなり、各
スライダの空気ベアリング面にフォトレジストを塗布し
かつベークした後、該空気ベアリング面を一様にドライ
エッチングする過程を含むことを特徴とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to achieve the above-mentioned object, and its contents will be described below with reference to the embodiments shown in the drawings. The method of manufacturing a magnetic head according to the present invention comprises a step of cutting a wafer having a large number of magnetic head elements formed on its surface into individual sliders. The method includes a step of uniformly dry-etching the air bearing surface.

【０００８】従って、本発明によれば、ＡＢＳに塗布さ
れたフォトレジストが、その表面張力によりスライダ周
縁部分において丸くなり、これをベークすると、該周縁
部分におけるフォトレジストの膜厚は縁端に向けて丸く
かつ薄くなるので、この湾曲形状が一様なドライエッチ
ングによりＡＢＳに転写され、その周縁部を丸くテーパ
状にトリミングすることができる。Therefore, according to the present invention, the photoresist applied to the ABS is rounded at the peripheral portion of the slider due to its surface tension, and when baked, the thickness of the photoresist at the peripheral portion increases toward the edge. Since this is round and thin, this curved shape is transferred to the ABS by uniform dry etching, and the peripheral portion can be trimmed to be round and tapered.

【０００９】しかも、この加工は、スライダのサイズの
大小に拘わらず、使用するフォトレジストの粘性・量な
どを適当に選択してドライエッチングすることにより、
その形状及び削除する量を比較的高精度に制御して行う
ことができる。従って、磁気ヘッドがインダクティブＭ
Ｒ複合ヘッドである場合に、最近の高記録密度化・装置
の小型化の傾向に容易に対応することができ、有利であ
る。In addition, this processing is performed by performing dry etching by appropriately selecting the viscosity and amount of the photoresist to be used regardless of the size of the slider.
The shape and the amount to be deleted can be controlled with relatively high accuracy. Therefore, when the magnetic head is inductive M
In the case of the R composite head, it is advantageous because it can easily cope with the recent tendency to increase the recording density and downsize the apparatus.

【００１０】また、本発明の磁気ヘッドの製造方法は、
スライダのＡＢＳの周縁部のみが除去されるようにドラ
イエッチングを行うことが好ましく、それによりＡＢＳ
のエッチング加工がスライダ全体に与える影響を最小限
に少なくできるので、磁気ヘッドの浮上動作を変動させ
ることがなく、安定した浮上特性を維持することができ
る。Further, the method of manufacturing a magnetic head according to the present invention
Dry etching is preferably performed so that only the peripheral portion of the ABS of the slider is removed.
Since the influence of the etching process on the entire slider can be minimized, the flying operation of the magnetic head is not changed, and stable flying characteristics can be maintained.

【００１１】[0011]

【発明の実施の形態】図１には、従来の方法により製造
された従来のテーパフラット型磁気ヘッド１が示されて
おり、そのＡＢＳ２には２本のレール３が平行に形成さ
れ、かつその空気流出端には磁気ヘッド素子４が配置さ
れている。本発明によれば、先ず図２Ａに示すように、
ＡＢＳ２を上向きにして磁気ヘッド１を水平に載置す
る。FIG. 1 shows a conventional tapered flat magnetic head 1 manufactured by a conventional method. An ABS 2 has two rails 3 formed in parallel with each other. A magnetic head element 4 is arranged at the air outflow end. According to the present invention, first, as shown in FIG.
The magnetic head 1 is placed horizontally with the ABS 2 facing upward.

【００１２】ＡＢＳ２には、例えばノボラック樹脂など
の熱硬化性フォトレジスト５をスピンコートにより塗布
する。フォトレジスト５は、図２Ｂに示すようにＡＢＳ
２の周縁部を除く大部分では略均一になるが、周縁部２
ａではその表面張力により丸くかつ徐々に薄くなる。A thermosetting photoresist 5 such as a novolak resin is applied to the ABS 2 by spin coating. The photoresist 5 is made of ABS as shown in FIG. 2B.
2 is substantially uniform except for the peripheral part,
In a, it becomes round and gradually thinner due to its surface tension.

【００１３】次に前記フォトレジストをベークする。フ
ォトレジスト５１は、図２Ｃに示すように全体が収縮
し、膜厚が周縁部を除く大部分では略均一に薄く、周縁
部５１ａでは縁端に向けて丸く薄くなる。この状態でイ
オンビームを一様に照射してミリングすることによりＡ
ＢＳ２全体を均一にドライエッチングする。本発明によ
れば、本実施例のイオンミリング以外に、ＲＩＥ（リア
クティブイオンエッチング）など他の公知のドライエッ
チング技術を用いることができる。Next, the photoresist is baked. As shown in FIG. 2C, the photoresist 51 shrinks as a whole, and its film thickness becomes thinner substantially uniformly except for the peripheral portion, and becomes thinner toward the edge at the peripheral portion 51a. By uniformly irradiating the ion beam and milling in this state, A
Dry etching is performed uniformly on the entire BS2. According to the present invention, other known dry etching techniques such as RIE (reactive ion etching) can be used in addition to the ion milling of the present embodiment.

【００１４】このエッチングは、ＡＢＳ２の周縁部２ａ
のみが除去されるように、即ちそれ以外の部分のフォト
レジスト５１が残存するように制御して行う。最後に、
ＡＢＳ２に残存したフォトレジストを適当な溶剤などで
除去すると、フォトレジスト周縁部５１ａの形状が転写
されてＡＢＳ周縁部２ａが丸くテーパ状に除去された図
２Ｄの磁気ヘッドが得られる。This etching is performed on the peripheral portion 2a of the ABS 2.
Control is performed so that only the photoresist 51 is removed, that is, the photoresist 51 in the other portion remains. Finally,
When the photoresist remaining on the ABS 2 is removed with an appropriate solvent or the like, the shape of the photoresist peripheral portion 51a is transferred, and the magnetic head of FIG. 2D in which the ABS peripheral portion 2a is removed in a round and tapered shape is obtained.

【００１５】エッチング量及びエッチング後のＡＢＳ周
縁部２ａの形状は、使用するフォトレジストの種類、粘
性などの性質、膜厚等を適当に選択することにより調整
することができる。例えばピコサイズのスライダの場
合、エッチング量を１０〜５０μｍ程度にすると、スラ
イダの浮上特性に実質的に影響を及ぼす虞がない。The amount of etching and the shape of the ABS peripheral portion 2a after etching can be adjusted by appropriately selecting the type of photoresist to be used, properties such as viscosity, thickness, and the like. For example, in the case of a pico-sized slider, if the etching amount is about 10 to 50 μm, there is no possibility that the flying characteristics of the slider will be substantially affected.

【００１６】以上、本発明の好適な実施例について説明
したが、本発明はその技術的範囲内において上記実施例
に様々な変形・変更を加えて実施することができ、例え
ば、個々に切り出した多数の磁気ヘッドを同じテーブル
上に配列し、これらにフォトレジストを塗布して同時に
エッチング加工することができる。また本発明は、２レ
ールのテーパフラット型以外の様々なタイプの磁気ヘッ
ドについても同様に適用することができる。Although the preferred embodiments of the present invention have been described above, the present invention can be implemented by adding various modifications and changes to the above embodiments within the technical scope thereof. A large number of magnetic heads can be arranged on the same table, a photoresist can be applied to them, and they can be etched simultaneously. The present invention can be similarly applied to various types of magnetic heads other than the two-rail taper flat type.

【００１７】[0017]

【発明の効果】本発明は、以上のように構成されている
ので、以下に記載されるような効果を奏する。本発明の
磁気ヘッドの製造方法によれば、複雑なマスク処理や多
数の工程を付加することなく、単にフォトレジストを塗
布しかつベークしたスライダの周縁部をドライエッチン
グで丸くテーパ状に加工することにより、スライダサイ
ズの大小に拘わらず、多数のスライダについてばらつき
を生じることなく、常に各スライダのＡＢＳ周縁部を均
一にトリミング加工することができ、ピコ（pico）サイ
ズのような小さいスライダの場合にも磁気ヘッドの浮上
特性に与える影響を実質的に解消できるので、高記録密
度化・装置の小型化の要請に対応して性能及び製造歩留
まりの向上を図ることができ、かつコストの低減化を実
現することができる。Since the present invention is configured as described above, it has the following effects. According to the method of manufacturing a magnetic head of the present invention, a photoresist is simply applied and the peripheral portion of the baked slider is rounded into a tapered shape by dry etching without adding a complicated mask process and a large number of steps. Thus, regardless of the size of the slider, the ABS periphery of each slider can always be trimmed uniformly without causing variations for a large number of sliders, and in the case of a slider having a small pico size, Can substantially eliminate the effect on the flying characteristics of the magnetic head, so that it is possible to improve performance and production yield in response to demands for higher recording density and smaller devices, and to reduce costs. Can be realized.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】従来の２レールのテーパフラット型磁気ヘッド
を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing a conventional two-rail tapered flat magnetic head.

【図２】本発明のＡＢＳ仕上げ処理を工程順に示すＡ図
〜Ｄ図からなる磁気ヘッドの断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view of a magnetic head composed of FIGS. A to D showing an ABS finishing process of the present invention in the order of steps.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１ 磁気ヘッド ２ ＡＢＳ ２ａ 周辺部 ３ レール ４ 磁気ヘッド素子 ５、５１ フォトレジスト ５ａ、５１ａ 周辺部 Reference Signs List 1 magnetic head 2 ABS 2a peripheral portion 3 rail 4 magnetic head element 5, 51 photoresist 5a, 51a peripheral portion

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 その表面に多数の磁気ヘッド素子を形成
したウエハを個々のスライダに切り出す工程からなる磁
気ヘッドの製造方法において、 前記各スライダの空気ベアリング面にフォトレジストを
塗布しかつベークした後、前記空気ベアリング面を一様
にドライエッチングする過程を含むことを特徴とする磁
気ヘッドの製造方法。1. A method of manufacturing a magnetic head, comprising cutting a wafer having a plurality of magnetic head elements formed on its surface into individual sliders, wherein a photoresist is applied to an air bearing surface of each slider and baked. And a step of uniformly dry-etching the air bearing surface. 【請求項２】 前記スライダの空気ベアリング面の周縁
部のみが除去されるように前記ドライエッチングを行う
ことを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッドの製造方
法。2. The method according to claim 1, wherein the dry etching is performed so that only a peripheral portion of an air bearing surface of the slider is removed. 【請求項３】 前記磁気ヘッドがインダクティブＭＲ複
合ヘッドであることを特徴とする請求項１又は２請求項
１記載の磁気ヘッドの製造方法。3. The method according to claim 1, wherein the magnetic head is an inductive MR composite head.