JPH1122699A - Ejector device - Google Patents

Ejector device

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JPH1122699A
JPH1122699A JP18005197A JP18005197A JPH1122699A JP H1122699 A JPH1122699 A JP H1122699A JP 18005197 A JP18005197 A JP 18005197A JP 18005197 A JP18005197 A JP 18005197A JP H1122699 A JPH1122699 A JP H1122699A
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JP
Japan
Prior art keywords
negative pressure
valve
output port
ejector device
chamber
Prior art date
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Pending
Application number
JP18005197A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Shigekazu Nagai
茂和 永井
Hiroshi Matsushima
宏 松島
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SMC Corp
Original Assignee
SMC Corp
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Filing date
Publication date
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Publication of JPH1122699A publication Critical patent/JPH1122699A/en
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To reduce a space to be occupied by a device, by integrating the ejector device and a switching valve, and to reduce the manufacturing cost of an ejector device. SOLUTION: When a switching valves 160 is displaced in one direction, an input port 61 and the first output port 62 are communicated with each other, the compressed air is introduced to a nozzle 144 of an ejector 150 from a compressed air supply source connected with a connector 20, and the compressed air is discharged from a diffuser 148 to an exhaust pipe connected with a connection 24. On this occasion, the negative pressure is generated in a negative pressure generation chamber 146, and the negative pressure is output to a vacuum equipment 164 connected with a connector 22. When the switching valve 160 is displaced in the other direction, the input port 61 and the second output port 68 are communicated with each other, the compressed air is introduced into the vacuum equipment 164 through a needle valve 39, and the vacuum break of the vacuum equipment 164 is performed.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、負圧を発生させる
エゼクタ装置に関し、一層詳細には、切換弁と一体的に
構成されることにより占有スペースを小さくして製造コ
ストを低廉化することが可能なエゼクタ装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ejector device for generating a negative pressure, and more particularly, to an ejector device integrally formed with a switching valve to reduce the occupied space and reduce the manufacturing cost. It relates to a possible ejector device.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、真空用機器の負圧発生源としてエ
ゼクタ装置が広範に使用されている。この種のエゼクタ
装置では、該エゼクタ装置に別体で構成された切換弁を
接続し、この切換弁を制御することにより圧力流体をエ
ゼクタ装置に導入して負圧を発生させ、この負圧を前記
真空用機器に出力するようにしている。
2. Description of the Related Art Conventionally, ejector devices have been widely used as negative pressure generating sources for vacuum equipment. In this type of ejector device, a switching valve formed separately is connected to the ejector device, and by controlling the switching valve, a pressure fluid is introduced into the ejector device to generate a negative pressure, and the negative pressure is generated. The data is output to the vacuum device.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】前記のように、従来の
エゼクタ装置では、エゼクタ装置と切換弁とが別体で構
成されているため、両者を管路で接続する必要があり、
装置全体としての占有スペースが大きくなるという欠点
があった。また、エゼクタ装置と切換弁には前記管路を
接続するための継手が必要であり、このため、前記エゼ
クタ装置の部品点数が増加して製造コストが高騰すると
いう問題があった。
As described above, in the conventional ejector device, since the ejector device and the switching valve are formed separately, it is necessary to connect both with a pipe.
There is a disadvantage that the space occupied by the entire apparatus is increased. In addition, the ejector device and the switching valve require a joint for connecting the pipe, and thus the number of parts of the ejector device is increased, so that the manufacturing cost is increased.

【0004】本発明は前記の課題を解決すべくなされた
ものであって、エゼクタ装置と切換弁とを一体化し、該
エゼクタ装置が占有するスペースを小さくすると共に、
製造コストを低廉化させることが可能なエゼクタ装置を
提供することを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and comprises an ejector device and a switching valve integrated with each other to reduce the space occupied by the ejector device.
An object of the present invention is to provide an ejector device capable of reducing the manufacturing cost.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、本発明は、ノズルに導入された圧力流体がデフュ
ーザから導出されることにより前記ノズルと前記デフュ
ーザとの間に形成された負圧発生室に負圧を発生させる
エゼクタ装置において、前記エゼクタ装置には切換弁が
一体的に設けられ、前記切換弁は、圧力流体供給源が接
続される入力ポートと、前記ノズルに連通する出力ポー
トとを備え、前記切換弁を付勢することにより、前記入
力ポートと前記出力ポートとを連通または遮断して前記
負圧発生室の負圧発生を制御することを特徴とする。
In order to achieve the above object, the present invention is directed to a negative electrode formed between the nozzle and the diffuser by the pressure fluid introduced into the nozzle being led out of the diffuser. In an ejector device for generating a negative pressure in a pressure generating chamber, a switching valve is provided integrally with the ejector device, and the switching valve has an input port connected to a pressure fluid supply source and an output communicating with the nozzle. A port is provided, and by activating the switching valve, the input port and the output port are connected or disconnected to control the generation of a negative pressure in the negative pressure generating chamber.

【0006】本発明によれば、圧力流体供給源が付勢さ
れ、前記切換弁の付勢作用下に前記入力ポートと前記出
力ポートとが連通すると、前記出力ポートから前記エゼ
クタ部のノズルに圧力流体が導入されて該圧力流体は前
記デフューザから導出される。このとき、前記負圧発生
室に負圧が発生し、この負圧が前記負圧発生室に連通す
る真空用機器に出力される。
According to the present invention, when the pressure fluid supply source is energized and the input port and the output port communicate with each other under the urging action of the switching valve, a pressure is applied from the output port to the nozzle of the ejector unit. Fluid is introduced and the pressure fluid is withdrawn from the diffuser. At this time, a negative pressure is generated in the negative pressure generating chamber, and the negative pressure is output to a vacuum device communicating with the negative pressure generating chamber.

【0007】この場合、前記出力ポートが第1の出力ポ
ートと第2の出力ポートとからなり、前記第1の出力ポ
ートは前記ノズルに圧力流体を供給し、一方、前記第2
の出力ポートは前記負圧発生室に連通し、前記切換弁の
付勢作用下に前記入力ポートと前記第2の出力ポートと
が連通すると、前記負圧発生室に圧力流体が供給されて
前記負圧発生室の真空破壊が施され、該負圧発生室に連
通する真空用機器の真空状態を解除することができ、好
適である。
In this case, the output port comprises a first output port and a second output port, wherein the first output port supplies a pressure fluid to the nozzle while the second output port supplies the pressure fluid to the nozzle.
The output port communicates with the negative pressure generation chamber, and when the input port communicates with the second output port under the urging action of the switching valve, a pressure fluid is supplied to the negative pressure generation chamber and This is preferable because the vacuum in the negative pressure generating chamber is broken, and the vacuum state of the vacuum device communicating with the negative pressure generating chamber can be released.

【0008】また、この場合、前記切換弁が、スプール
弁と、前記スプール弁の端部に固着されたピストンと、
前記ピストンが変位するシリンダ室に圧力流体を導入す
る電磁弁と、を備え、前記電磁弁の付勢作用下に前記ス
プール弁が変位して前記入力ポートと前記出力ポートと
が連通または遮断されると、スプール弁が変位する際、
入力ポートおよび出力ポートの圧力流体の圧力によりス
プール弁の変位が阻害されることがなく、入力ポートと
出力ポートとを確実に連通または遮断することができ、
一層好適である。
In this case, the switching valve includes a spool valve, a piston fixed to an end of the spool valve,
An electromagnetic valve for introducing a pressurized fluid into a cylinder chamber in which the piston is displaced, wherein the spool valve is displaced under the urging action of the electromagnetic valve to connect or disconnect the input port and the output port. When the spool valve is displaced,
The displacement of the spool valve is not disturbed by the pressure of the pressure fluid of the input port and the output port, and the input port and the output port can be reliably connected or disconnected,
More preferred.

【0009】さらに、この場合、前記切換弁に、手動で
駆動され、前記シリンダ室に圧力流体を導入する弁部材
が設けられ、前記弁部材を手動で駆動することにより前
記スプール弁が変位して前記入力ポートと前記出力ポー
トとが連通または遮断されると、前記エゼクタ装置を手
動で駆動することができ、一層好ましい。
Further, in this case, the switching valve is provided with a valve member which is manually driven and introduces a pressure fluid into the cylinder chamber, and the spool valve is displaced by manually driving the valve member. When the input port and the output port are connected or disconnected, the ejector device can be driven manually, which is more preferable.

【0010】さらにまた、この場合、前記負圧発生室に
は該負圧発生室が所定の圧力となったことを検出して信
号を発生する真空スイッチが設けられると、この真空ス
イッチに接続される制御装置は該真空スイッチから発生
する信号に基づいて、所定の圧力が真空用機器に出力さ
れているときに該真空用機器等を制御することができ、
好ましい。
Further, in this case, if the vacuum generating chamber is provided with a vacuum switch for detecting that the negative pressure generating chamber has reached a predetermined pressure and generating a signal, the vacuum switch is connected to the vacuum switch. The control device can control the vacuum device or the like when a predetermined pressure is output to the vacuum device based on a signal generated from the vacuum switch,
preferable.

【0011】[0011]

【発明の実施の形態】本発明に係るエゼクタ装置につい
て、好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しなが
ら以下詳細に説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An ejector device according to the present invention will be described in detail below with reference to the accompanying drawings showing preferred embodiments.

【0012】図1および図2において、参照符号10
は、本発明の第1の実施の形態に係るエゼクタ装置を示
す。このエゼクタ装置10はマニホールドブロック12
を備え、該マニホールドブロック12の下面にはレール
14の一対の縁部にそれぞれ係合自在な爪部16a、1
6bが形成される。前記一方の爪部16aは弾性的且つ
撓曲自在に形成され、該爪部16aは前記レール14を
押圧して前記マニホールドブロック12を該レール14
に保持する作用を営む(図3参照)。前記マニホールド
ブロック12の一方の側面には複数の突部19、19が
形成され、該突部19、19は他のマニホールドブロッ
ク12や図示しないエンドブロック等の機器に形成され
た凹部に係合可能であり、また、前記マニホールドブロ
ック12の他方の側面には、図示しないが、複数の凹部
が形成され、該凹部には前記他の機器に形成された前記
突部19、19と同様の突部が係合可能である。従っ
て、前記レール14に他の機器を複数組み付けてこのエ
ゼクタ装置10を含む所望の空気圧機器を構成すること
が可能である。さらに、図示しないが、前記突部19や
凹部に圧縮空気供給通路を設け、該圧縮空気供給通路か
ら前記エゼクタ装置10や該エゼクタ装置10に組み付
けられた他の機器等に圧縮空気を供給する構成とするこ
とも可能である。
In FIG. 1 and FIG.
1 shows an ejector device according to a first embodiment of the present invention. This ejector device 10 includes a manifold block 12
On the lower surface of the manifold block 12, pawl portions 16a, 1
6b is formed. The one claw portion 16a is formed to be elastic and flexible, and the claw portion 16a presses the rail 14 to move the manifold block 12 to the rail 14
(See FIG. 3). A plurality of protrusions 19, 19 are formed on one side surface of the manifold block 12, and the protrusions 19, 19 can be engaged with recesses formed on other manifold blocks 12 and devices such as end blocks (not shown). Although not shown, a plurality of recesses are formed in the other side surface of the manifold block 12, and the recesses are formed in the recesses in the same manner as the protrusions 19 formed in the other device. Are engageable. Therefore, it is possible to configure a desired pneumatic device including the ejector device 10 by assembling a plurality of other devices on the rail 14. Further, although not shown, a configuration is provided in which a compressed air supply passage is provided in the protrusion 19 or the concave portion, and compressed air is supplied from the compressed air supply passage to the ejector device 10 or other devices assembled to the ejector device 10. It is also possible to use

【0013】前記マニホールドブロック12の一端部に
は管継手20、22、24が設けられ、該管継手20、
22、24の内部には、図3、図4に示すように、前記
マニホールドブロック12内に形成された通路30、3
2、34が連通し、それぞれの通路30、32、34は
前記マニホールドブロック12内で屈曲して該マニホー
ルドブロック12の上部に開口する。前記通路32には
通路33が連通し、該通路33は前記マニホールドブロ
ック12の上部に開口する。また、前記マニホールドブ
ロック12の上部には通路35が該マニホールドブロッ
ク12の短手方向に延在して画成され、さらに、前記マ
ニホールドブロック12の短手方向の長さが前記通路3
5より短い通路37が画成される(図2参照)。
At one end of the manifold block 12, pipe joints 20, 22, 24 are provided.
As shown in FIGS. 3 and 4, passages 30, 3 formed in the manifold block 12 are provided inside the manifolds 22, 24.
2 and 34 communicate with each other, and the respective passages 30, 32 and 34 are bent in the manifold block 12 and open to the upper part of the manifold block 12. A passage 33 communicates with the passage 32, and the passage 33 opens at an upper portion of the manifold block 12. In addition, a passage 35 is defined above the manifold block 12 so as to extend in the transverse direction of the manifold block 12.
A passage 37 shorter than 5 is defined (see FIG. 2).

【0014】前記マニホールドブロック12の一端部に
はニードル弁(調整部材)39が設けられる。該ニード
ル弁39は、前記マニホールドブロック12に固着され
たニードルブッシュ36を備え、該ニードルブッシュ3
6の孔部を形成する壁部には雌ねじ38が螺刻される。
該雌ねじ38には前記ニードル弁39を構成するニード
ル40の雄ねじ42が螺合し、該ニードル40の一端部
に形成された把持部44を回転させることによって、前
記ニードル40は矢印AまたはB方向に変位する。前記
ニードルブッシュ36には貫通孔36aが画成され、該
貫通孔36aには平行ピン41が挿入される。該平行ピ
ン41は前記ニードル40に周回して形成された溝部4
3に係合し、このため、前記ニードル40は前記ニード
ルブッシュ36から抜け止めされる。前記ニードル40
の雄ねじ42には該ニードル40を位置決めするための
ロックナット45が螺合する。前記ニードル40の先端
部40aは通路46、48に臨み、前記ニードル40が
矢印A方向に変位すると、その先端部40aは前記通路
46と48とを連通させる孔部49を閉塞し、一方、前
記ニードル40が矢印B方向に変位すると、それぞれの
通路46と48は互いに連通する。前記通路46、48
は前記マニホールドブロック12の上部に開口する。
A needle valve (adjustment member) 39 is provided at one end of the manifold block 12. The needle valve 39 includes a needle bush 36 fixed to the manifold block 12.
A female screw 38 is threaded into the wall forming the hole 6.
The female screw 38 is screwed with a male screw 42 of a needle 40 constituting the needle valve 39, and by rotating a grip portion 44 formed at one end of the needle 40, the needle 40 is moved in the arrow A or B direction. Is displaced. A through hole 36a is defined in the needle bush 36, and a parallel pin 41 is inserted into the through hole 36a. The parallel pin 41 has a groove 4 formed around the needle 40.
3 so that the needle 40 is prevented from coming off from the needle bush 36. The needle 40
A lock nut 45 for positioning the needle 40 is screwed into the male screw 42 of the above. The distal end portion 40a of the needle 40 faces the passages 46 and 48, and when the needle 40 is displaced in the direction of arrow A, the distal end portion 40a closes the hole 49 for communicating the passages 46 and 48, while When the needle 40 is displaced in the direction of arrow B, the respective passages 46 and 48 communicate with each other. The passages 46, 48
Opens at the top of the manifold block 12.

【0015】前記マニホールドブロック12の他端部に
はブロックキャップ50、52が固着され(図2、図3
参照)、一方のブロックキャップ50には前記レール1
4に沿って連結される他の機器の着脱を制御する着脱ス
イッチ54が矢印A、B方向に変位自在に設けられる
(図3参照)。該着脱スイッチ54にはばね状部56が
形成される。当該着脱スイッチ54を該ばね状部56に
よって矢印A方向に付勢するためである。前記着脱スイ
ッチ54には長方形の孔部58a、58bが画成され
(図2参照)、隣接して連結される他の機器に形成され
た爪部が前記孔部58a、58bを形成する壁部に係合
することにより、前記他の機器が抜け止めされる。
Block caps 50 and 52 are fixed to the other end of the manifold block 12 (FIGS. 2 and 3).
), One block cap 50 has the rail 1
An attachment / detachment switch 54 for controlling attachment / detachment of other devices connected along 4 is provided so as to be displaceable in the directions of arrows A and B (see FIG. 3). A spring-like portion 56 is formed on the detachable switch 54. This is because the detachable switch 54 is urged in the direction of arrow A by the spring-like portion 56. The attachment / detachment switch 54 has rectangular holes 58a and 58b defined therein (see FIG. 2), and a claw formed on another device connected adjacently to the wall portion forming the holes 58a and 58b. , The other device is prevented from falling off.

【0016】前記マニホールドブロック12の上部には
エゼクタボデイ60が固着され、該エゼクタボデイ60
は切換弁部60a(図3参照)とエゼクタ部60b(図
4参照)とを含む。先ず、切換弁部60aについて、図
5を参照して説明すると、前記エゼクタボデイ60の下
部には入力ポート61と、第1の出力ポート62と、第
2の出力ポート68とが画成され、それぞれのポート6
1、62、68は前記マニホールドブロック12の通路
30、35、48に連通する。また、前記エゼクタボデ
イ60の下部には前記通路37、46に連通する通路6
4、66が画成される。前記それぞれのポート61、6
2、68は、前記エゼクタボデイ60内に長手方向に沿
って画成された室70に連通する。
An ejector body 60 is fixed to an upper portion of the manifold block 12, and the ejector body 60
Includes a switching valve portion 60a (see FIG. 3) and an ejector portion 60b (see FIG. 4). First, the switching valve portion 60a will be described with reference to FIG. 5. An input port 61, a first output port 62, and a second output port 68 are defined below the ejector body 60, Each port 6
1, 62, 68 communicate with the passages 30, 35, 48 of the manifold block 12. The lower part of the ejector body 60 has a passage 6 communicating with the passages 37 and 46.
4, 66 are defined. The respective ports 61, 6
2, 68 communicate with a chamber 70 defined in the ejector body 60 along the longitudinal direction.

【0017】前記室70にはスプール弁74が摺動自在
に設けられる。該スプール弁74の外周には複数の対か
らなるフランジ部76a〜76dが形成され、それぞれ
のフランジ部76a〜76bには溝部78a〜78dが
スプール弁本体74aを周回するように画成される。こ
の場合、溝部78b、78cにはパッキン80a、80
bが装着される。前記室70は前記入力ポート61の上
方に画成された通路71を介して当該室70と平行に画
成された通路72に連通する。
A spool valve 74 is slidably provided in the chamber 70. A plurality of pairs of flange portions 76a to 76d are formed on the outer periphery of the spool valve 74, and grooves 78a to 78d are defined in each of the flange portions 76a to 76b so as to go around the spool valve body 74a. In this case, packings 80a, 80c are provided in the grooves 78b, 78c.
b is attached. The chamber 70 communicates with a passage 72 defined in parallel with the chamber 70 via a passage 71 defined above the input port 61.

【0018】前記エゼクタボデイ60の一方の端部には
スペーサ82が固着され、該スペーサ82には前記通路
72に連通する通路83が画成されている。また、前記
スペーサ82には前記室70に連通し、且つその軸芯を
一致させるとともに、該室70より拡径した室84が画
成される。該室84には前記スプール弁本体74aの一
端部が挿通されるリング状の着座部材86a、86bが
設けられる。前記着座部材86aと86bとの間にはば
ね部材90が設けられ、該ばね部材90は前記着座部材
86aと86bとが互いに離間する方向に常時付勢して
いる。前記着座部材86a、86bは前記スプール弁7
4の一端側に形成されたフランジ部88a、88bにそ
れぞれ係合可能であり、前記スプール弁74が矢印A方
向に変位すると、図5に示すように、一方のフランジ部
88bが一方の着座部材86bを矢印A方向に変位させ
ることにより、スプール弁74にばね部材90の弾発力
が作用して矢印B方向に付勢され、また、スプール弁7
4が矢印B方向に変位すると、図6に示すように、他方
のフランジ部88aが他方の着座部材86aを矢印B方
向に変位させることにより、スプール弁74にばね部材
90の弾発力が作用して矢印A方向に付勢される。
A spacer 82 is fixed to one end of the ejector body 60, and a passage 83 communicating with the passage 72 is defined in the spacer 82. Further, the spacer 82 communicates with the chamber 70, and its axis is aligned with the chamber 70, and a chamber 84 having a larger diameter than the chamber 70 is defined. The chamber 84 is provided with ring-shaped seating members 86a and 86b through which one end of the spool valve main body 74a is inserted. A spring member 90 is provided between the seat members 86a and 86b, and the spring member 90 constantly urges the seat members 86a and 86b in a direction in which they are separated from each other. The seat members 86a and 86b are connected to the spool valve 7
4 can be engaged with the flange portions 88a and 88b formed on one end side, respectively, and when the spool valve 74 is displaced in the direction of arrow A, as shown in FIG. By displacing 86b in the direction of arrow A, the resilient force of the spring member 90 acts on the spool valve 74 to urge the spool valve 74 in the direction of arrow B.
When the cylinder 4 is displaced in the direction of arrow B, as shown in FIG. 6, the other flange portion 88a displaces the other seat member 86a in the direction of arrow B, so that the elastic force of the spring member 90 acts on the spool valve 74. And is urged in the direction of arrow A.

【0019】前記エゼクタボデイ60の一方の端部およ
び前記スペーサ82の端部にはアダプタプレート94
a、94bがそれぞれ固着される。一方のアダプタプレ
ート94aについて説明すると、該アダプタプレート9
4aには前記室70に連通するシリンダ室96aが画成
され、該シリンダ室96aに前記スプール弁74の一端
部に固着されたピストン98aが矢印A、B方向に変位
自在に設けられる。前記アダプタプレート94aには前
記エゼクタボデイ60に画成された通路72に連通する
通路100aが画成され、該通路100aは前記アダプ
タプレート94aの内部に垂直方向に延在して画成され
た室102aに連通する。該室102aを形成する壁部
には前記シリンダ室96aに連通する通路104aが画
成され、また、通路108aおよび通路110aが画成
され、該通路108aおよび通路110aは前記アダプ
タプレート94aの側面に固着された電磁弁106aの
内部に連通する。該電磁弁106aは、その付勢作用下
に前記通路108aと110aとを連通させ、あるいは
遮断するように構成される。
At one end of the ejector body 60 and at the end of the spacer 82, an adapter plate 94 is provided.
a and 94b are fixed respectively. One adapter plate 94a will be described.
4a, a cylinder chamber 96a communicating with the chamber 70 is defined, and a piston 98a fixed to one end of the spool valve 74 is provided in the cylinder chamber 96a so as to be displaceable in the directions of arrows A and B. The adapter plate 94a defines a passage 100a communicating with the passage 72 defined in the ejector body 60, and the passage 100a extends vertically inside the adapter plate 94a. And 102a. A passage 104a communicating with the cylinder chamber 96a is defined in a wall portion forming the chamber 102a, and a passage 108a and a passage 110a are defined. The passage 108a and the passage 110a are formed on side surfaces of the adapter plate 94a. It communicates with the inside of the fixed solenoid valve 106a. The solenoid valve 106a is configured to connect or shut off the passages 108a and 110a under the urging action thereof.

【0020】前記室102aの内部には円柱状の弁部材
112aが、図5において、垂直方向に延在して設けら
れ、該弁部材112aの下部にはフランジ部114aが
形成され、該フランジ部114aと前記室102aの底
面との間にはばね部材116aが設けられる。従って、
前記弁部材112aは該ばね部材116aによって常時
上方に付勢される。前記弁部材112aには前記フラン
ジ部114aの上部にOリング118aが設けられ、該
Oリング118aは前記室102aの内壁に摺動自在に
当接する。また、前記弁部材112aの上部にはフラン
ジ部119aと、該フランジ部119aから所定間隔離
間してフランジ部120aが形成され、それぞれのフラ
ンジ部119aとフランジ部120aとの間にはOリン
グ122aが設けられる。前記弁部材112aの上端部
にはフランジ部123aが形成される。前記室102a
の内壁にはストッパ126aが突出して設けられ、該ス
トッパ126aは前記フランジ部120aおよびフラン
ジ部123aに当接自在である。従って、前記弁部材1
12aは該ストッパ126aによって上下方向の変位範
囲が規制される。
A cylindrical valve member 112a is provided in the chamber 102a so as to extend in the vertical direction in FIG. 5, and a flange portion 114a is formed below the valve member 112a. A spring member 116a is provided between 114a and the bottom of the chamber 102a. Therefore,
The valve member 112a is constantly urged upward by the spring member 116a. The valve member 112a is provided with an O-ring 118a above the flange portion 114a, and the O-ring 118a slidably contacts the inner wall of the chamber 102a. In addition, a flange portion 119a and a flange portion 120a are formed at a predetermined distance from the flange portion 119a at an upper portion of the valve member 112a, and an O-ring 122a is provided between each flange portion 119a and the flange portion 120a. Provided. A flange 123a is formed at an upper end of the valve member 112a. The chamber 102a
A stopper 126a is provided to protrude from the inner wall, and the stopper 126a can freely contact the flange portion 120a and the flange portion 123a. Therefore, the valve member 1
The vertical displacement range 12a is restricted by the stopper 126a.

【0021】他方のアダプタプレート94bは、前記一
方のアダプタプレート94aと同様の構成であるので、
同一の参照数字に符号aに代えて符号bを付し、その詳
細な説明を省略する。
Since the other adapter plate 94b has the same configuration as the one adapter plate 94a,
The same reference numerals are denoted by reference characters b instead of reference characters a, and detailed descriptions thereof are omitted.

【0022】次に、前記エゼクタ部60bについて説明
すると、図4に示すように、前記エゼクタボデイ60の
一端部にはアダプタプレート130が固着され、該アダ
プタプレート130には室132が画成される。該室1
32は前記アダプタプレート130に画成された通路1
33、および前記エゼクタボデイ60に画成された通路
134を介して前記マニホールドブロック12に画成さ
れた通路32に連通する。前記アダプタプレート130
には、保持プレート135を介して、前記室132内の
圧力が所定の圧力になると該圧力を検出して検出信号を
発生する真空スイッチ136が固着され、該真空スイッ
チ136のセンサ部138の端部は前記室132の内部
に臨む。前記真空スイッチ136は前記保持プレート1
35に固着されたカバー部材139により覆われてい
る。
Next, the ejector portion 60b will be described. As shown in FIG. 4, an adapter plate 130 is fixed to one end of the ejector body 60, and a chamber 132 is defined in the adapter plate 130. . Room 1
32 is a passage 1 defined in the adapter plate 130.
33 and a passage 134 defined in the ejector body 60 to communicate with a passage 32 defined in the manifold block 12. The adapter plate 130
A vacuum switch 136 that detects a pressure in the chamber 132 and generates a detection signal when the pressure in the chamber 132 reaches a predetermined pressure is fixed via a holding plate 135, and an end of a sensor portion 138 of the vacuum switch 136. The part faces the inside of the chamber 132. The vacuum switch 136 is connected to the holding plate 1
The cover member 139 is fixed to the cover 35.

【0023】前記エゼクタボデイ60の一端部側には室
140が画成され、該室140は前記マニホールドブロ
ック12に画成された通路35に連通する。前記室14
0の壁部にはノズル144が設けられ、該ノズル144
の一端部は前記室140の内部に突出し、当該ノズル1
44の他端部は前記エゼクタボデイ60の内部に画成さ
れた負圧発生室146に突出する。前記負圧発生室14
6は前記マニホールドブロック12に画成された通路3
3に連通すると共に、図3に示す前記通路66に連通す
る。前記負圧発生室146を形成し前記ノズル144に
対向する壁部には前記ノズル144と同軸的にデフュー
ザ148が固着される。前記ノズル144および前記デ
フューザ148によりエゼクタ150が構成される。前
記エゼクタボデイ60の他端部にはカバー部材152が
固着され、前記エゼクタボデイ60と前記カバー部材1
52との間には前記デフューザ148の端部が突出する
室154が形成される。該室154は前記マニホールド
ブロック12に画成された通路34に連通する。
A chamber 140 is defined at one end of the ejector body 60, and the chamber 140 communicates with a passage 35 defined in the manifold block 12. Chamber 14
0 is provided with a nozzle 144 on the wall portion thereof.
One end of the nozzle 1 projects into the chamber 140 and the nozzle 1
The other end of 44 projects into a negative pressure generating chamber 146 defined inside the ejector body 60. The negative pressure generating chamber 14
6 is a passage 3 defined in the manifold block 12
3 and the passage 66 shown in FIG. A diffuser 148 is fixed coaxially to the nozzle 144 on a wall that forms the negative pressure generating chamber 146 and faces the nozzle 144. An ejector 150 is configured by the nozzle 144 and the diffuser 148. A cover member 152 is fixed to the other end of the ejector body 60, and the ejector body 60 and the cover member 1 are fixed to each other.
A chamber 154 from which the end of the diffuser 148 protrudes is formed between the diffuser 148 and the diffuser 148. The chamber 154 communicates with a passage 34 defined in the manifold block 12.

【0024】図7に第1の実施の形態に係るエゼクタ装
置10の回路図を示す。この回路図から諒解されるよう
に、管継手20は切換弁160の入力ポート61に接続
され、前記切換弁160が付勢されると、前記入力ポー
ト61は第1の出力ポート62または第2の出力ポート
68に連通するように構成されている。前記第1の出力
ポート62はエゼクタ150のノズル144に接続され
(図4参照)、該エゼクタ150のデフューザ148は
管継手24に接続される。前記エゼクタ150の負圧発
生室146は管継手22に連通されると共にニードル弁
39に連通し、前記ニードル弁39は前記切換弁160
の第2の出力ポート68に連通する。
FIG. 7 shows a circuit diagram of the ejector device 10 according to the first embodiment. As will be understood from this circuit diagram, the fitting 20 is connected to the input port 61 of the switching valve 160, and when the switching valve 160 is energized, the input port 61 becomes the first output port 62 or the second output port 62. Is configured to communicate with the output port 68. The first output port 62 is connected to the nozzle 144 of the ejector 150 (see FIG. 4), and the diffuser 148 of the ejector 150 is connected to the fitting 24. The negative pressure generating chamber 146 of the ejector 150 is connected to the pipe joint 22 and to the needle valve 39, and the needle valve 39 is connected to the switching valve 160.
In communication with the second output port 68.

【0025】本発明の第1の実施の形態に係るエゼクタ
装置10は、基本的には以上のように構成されるもので
あり、次にその動作について説明する。
The ejector device 10 according to the first embodiment of the present invention is basically configured as described above, and the operation will be described next.

【0026】管継手20には圧縮空気供給源162が接
続され、管継手22には負圧を必要とする、例えば、吸
着用パッド等の真空用機器164が接続される。また、
管継手24には排気管166が接続される。排気管16
6には、図示しないが、サイレンサを取り付けることも
可能である。
The pipe joint 20 is connected to a compressed air supply source 162, and the pipe joint 22 is connected to a vacuum device 164 that requires a negative pressure, such as a suction pad. Also,
An exhaust pipe 166 is connected to the pipe joint 24. Exhaust pipe 16
Although not shown, a silencer can be attached to 6.

【0027】圧縮空気供給源162が付勢されて管継手
20に圧縮空気が供給されると、図3に示すように、圧
縮空気は管継手20から通路30を経て入力ポート61
に導入される。しかし、スプール弁74は変位していな
いため、入力ポート61は第1の出力ポート62または
第2の出力ポート68と連通せず、それぞれの出力ポー
ト62、68には圧縮空気は導入されない。圧縮空気は
室70から通路71、72、83、100a、100b
を経てアダプタプレート94a、94bの室102a、
102bに導入される。このとき、入力ポート61から
室70に導入された圧縮空気の圧力はスプール弁74の
フランジ部76bと76cに均等にかかり、従って、こ
の圧縮空気の圧力によりスプール弁74を矢印A、B方
向に変位する力が発生することがない。このため、後述
するように、スプール弁74を変位させるときに圧縮空
気の圧力によってこの変位が阻害されることがない。
When the compressed air supply source 162 is energized and compressed air is supplied to the pipe joint 20, the compressed air is supplied from the pipe joint 20 through the passage 30 to the input port 61 as shown in FIG.
Will be introduced. However, since the spool valve 74 is not displaced, the input port 61 does not communicate with the first output port 62 or the second output port 68, and no compressed air is introduced into the respective output ports 62, 68. Compressed air flows from the chamber 70 to the passages 71, 72, 83, 100a, 100b.
Through the chambers 102a of the adapter plates 94a, 94b,
102b. At this time, the pressure of the compressed air introduced into the chamber 70 from the input port 61 is evenly applied to the flange portions 76b and 76c of the spool valve 74. Therefore, the pressure of the compressed air causes the spool valve 74 to move in the directions of arrows A and B. No displacement force is generated. For this reason, as described later, when the spool valve 74 is displaced, the displacement is not hindered by the pressure of the compressed air.

【0028】一方の電磁弁106aが付勢されると、該
電磁弁106aの内部で通路108aと110aとが連
通する。このため、図6に示すように、圧縮空気が通路
104aを介してシリンダ室96aに導入され、ピスト
ン98aがシリンダ室96aの内部を変位し、スプール
弁74が矢印B方向に変位して入力ポート61と第1の
出力ポート62とが連通する。従って、圧縮空気が入力
ポート61から第1の出力ポート62、通路35、室1
40を経てノズル144に導入される(図3および図4
参照)。ノズル144を通った圧縮空気はデフューザ1
48を通過して室154に導入され、通路34を経て管
継手24から排気管166に排出される。このとき、負
圧発生室146に負圧が発生し、この負圧は通路33、
32を介して管継手22に出力され、該管継手22に接
続された真空用機器164に出力される。すなわち、真
空用機器164からこのエゼクタ装置10に空気が吸引
される。
When one of the solenoid valves 106a is energized, the passages 108a and 110a communicate with each other inside the solenoid valve 106a. Therefore, as shown in FIG. 6, compressed air is introduced into the cylinder chamber 96a through the passage 104a, the piston 98a is displaced inside the cylinder chamber 96a, the spool valve 74 is displaced in the direction of arrow B, and the input port 61 and the first output port 62 communicate with each other. Therefore, compressed air flows from the input port 61 to the first output port 62, the passage 35, and the chamber 1
40 and introduced into the nozzle 144 (FIGS. 3 and 4).
reference). The compressed air passing through the nozzle 144 is diffused by the diffuser 1
The gas is introduced into the chamber 154 through the passage 48, and is discharged from the fitting 24 to the exhaust pipe 166 through the passage 34. At this time, a negative pressure is generated in the negative pressure generation chamber 146, and the negative pressure is generated in the passage 33,
It is output to the pipe joint 22 via 32 and is output to the vacuum equipment 164 connected to the pipe joint 22. That is, air is sucked into the ejector device 10 from the vacuum device 164.

【0029】また、前記負圧発生室146で発生した負
圧は通路33、32から通路134、133を介して室
132に導入され、該室132内の圧力が低下する。こ
の圧力が所定の圧力値となると、真空スイッチ136は
この圧力を検出して図示しない制御装置に検出信号を出
力する。従って、制御装置はこの検出信号が入力される
と、真空用機器164(例えば、吸着パッド)によって
ワークを吸着する等、真空用機器164を制御すること
が可能である。
The negative pressure generated in the negative pressure generating chamber 146 is introduced from the passages 33 and 32 into the chamber 132 through the passages 134 and 133, and the pressure in the chamber 132 is reduced. When this pressure reaches a predetermined pressure value, the vacuum switch 136 detects this pressure and outputs a detection signal to a controller (not shown). Therefore, when the detection signal is input, the control device can control the vacuum device 164 such as sucking a work by the vacuum device 164 (for example, a suction pad).

【0030】他方の電磁弁106bが付勢されると、該
電磁弁106bの内部で通路108bと110bとが連
通する。このため、図5に示すように、室102b内に
導入された圧縮空気がシリンダ室96bに導入され、ピ
ストン98bがシリンダ室96b内を変位し、スプール
弁74が矢印A方向に変位して入力ポート61と第2の
出力ポート68とが連通する。従って、圧縮空気が入力
ポート61から第2の出力ポート68、通路48を通
り、ニードル弁39によって流量調整されて通路46に
導入される(図3および図4参照)。そして、通路6
6、負圧発生室146、通路33、32を経て管継手2
2に至り、真空用機器164に圧縮空気が導入され、真
空破壊される。このとき、圧縮空気が急激に真空用機器
164に導入されると衝撃が発生し、該真空用機器16
4がこの衝撃により破損する懸念がある。ところが、本
発明では、圧縮空気は前記ニードル弁39によって流量
が制限されて徐々に真空用機器164に導入されるた
め、真空用機器164に圧縮空気が急激に導入されるこ
とがなく、真空用機器164が損傷する懸念がない。
When the other solenoid valve 106b is energized, the passages 108b and 110b communicate with each other inside the solenoid valve 106b. For this reason, as shown in FIG. 5, the compressed air introduced into the chamber 102b is introduced into the cylinder chamber 96b, the piston 98b is displaced in the cylinder chamber 96b, and the spool valve 74 is displaced in the direction of arrow A to input. The port 61 communicates with the second output port 68. Therefore, the compressed air flows from the input port 61 through the second output port 68 and the passage 48, and is introduced into the passage 46 with the flow rate adjusted by the needle valve 39 (see FIGS. 3 and 4). And passage 6
6, the pipe joint 2 through the negative pressure generating chamber 146 and the passages 33 and 32
In step 2, compressed air is introduced into the vacuum device 164, and the vacuum device 164 is broken. At this time, if compressed air is suddenly introduced into the vacuum device 164, an impact is generated, and the vacuum device 16
4 may be damaged by this impact. However, in the present invention, since the flow rate of the compressed air is restricted by the needle valve 39 and gradually introduced into the vacuum device 164, the compressed air is not rapidly introduced into the vacuum device 164, and There is no fear that the device 164 will be damaged.

【0031】このエゼクタ装置10は、弁部材112
a、112bを手動で変位させることによりスプール弁
74を変位させ、真空用機器164に負圧を出力するこ
とも可能である。例えば、作業者が弁部材112aをば
ね部材116aの弾発力に抗して、図6中、下方に変位
させると、Oリング118aは通路104aより下方に
変位し、該通路104aと通路100aとが連通する。
このため、前述したように、入力ポート61に導入され
た圧縮空気が通路71、72、100a、室102aお
よび通路104aを介してシリンダ室96aの内部に導
入され、ピストン98aが矢印B方向に変位する。そし
て、入力ポート61と第1の出力ポート62とが連通
し、前述と同様にして圧縮空気がエゼクタ150のノズ
ル144に導入され、負圧発生室146に負圧が発生し
て管継手22から真空用機器164に該負圧が出力され
る(図4参照)。
The ejector device 10 includes a valve member 112
By manually displacing a and 112b, the spool valve 74 can be displaced, and a negative pressure can be output to the vacuum device 164. For example, when the operator displaces the valve member 112a downward in FIG. 6 against the elastic force of the spring member 116a, the O-ring 118a is displaced below the passage 104a, and the O-ring 118a is displaced downward from the passage 104a. Communicate.
Therefore, as described above, the compressed air introduced into the input port 61 is introduced into the cylinder chamber 96a through the passages 71, 72, 100a, the chamber 102a, and the passage 104a, and the piston 98a is displaced in the direction of arrow B. I do. The input port 61 and the first output port 62 communicate with each other, and compressed air is introduced into the nozzle 144 of the ejector 150 in the same manner as described above. The negative pressure is output to the vacuum device 164 (see FIG. 4).

【0032】一方、弁部材112bが、図5中、下方に
変位されると、通路100bと通路104bとが連通
し、圧縮空気がシリンダ室96bに導入され、ピストン
98bが矢印A方向に変位する。このため、圧縮空気が
入力ポート61から第2の出力ポート68に導入され、
前述のようにニードル弁39によって流量制御され、真
空用機器164に導入されて真空破壊される。
On the other hand, when the valve member 112b is displaced downward in FIG. 5, the passage 100b communicates with the passage 104b, compressed air is introduced into the cylinder chamber 96b, and the piston 98b is displaced in the direction of arrow A. . Therefore, compressed air is introduced from the input port 61 to the second output port 68,
As described above, the flow rate is controlled by the needle valve 39, introduced into the vacuum device 164, and broken in vacuum.

【0033】このように、エゼクタ装置10を手動で駆
動することができると、例えば、このエゼクタ装置10
が使用された真空用機器164の試験が必要な場合等
に、手動により簡単に試験を行うことができる。
As described above, if the ejector device 10 can be driven manually, for example,
For example, when a test of the vacuum equipment 164 in which is used is required, the test can be easily performed manually.

【0034】第1の実施の形態では、エゼクタ装置10
をレール14に取り付けているが、レール14に取り付
けることなく用いてもよい。
In the first embodiment, the ejector device 10
Is attached to the rail 14, but may be used without being attached to the rail 14.

【0035】次に、第2の実施の形態に係るエゼクタ装
置200について、図8を参照して説明する。なお、第
1の実施の形態のエゼクタ装置10と同一の構成要素に
ついては同一の参照符号を付してその詳細な説明を省略
する。
Next, an ejector device 200 according to a second embodiment will be described with reference to FIG. Note that the same components as those of the ejector device 10 according to the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.

【0036】このエゼクタ装置200のマニホールドブ
ロック12に固着されるエゼクタボデイ202には、ス
プール弁74が挿通する室70の上部に通路204が画
成され、該通路204は前記室70と平行に画成された
通路206に連通する。該通路206は前記エゼクタボ
デイ202の一方の端部に開口する。また、前記エゼク
タボデイ202には前記通路206と平行に通路208
が画成され、該通路208は前記エゼクタボデイ202
の両端部に開口する。
In the ejector body 202 fixed to the manifold block 12 of the ejector device 200, a passage 204 is defined above the chamber 70 through which the spool valve 74 is inserted, and the passage 204 is defined in parallel with the chamber 70. It communicates with the formed passage 206. The passage 206 opens at one end of the ejector body 202. The ejector body 202 has a passage 208 parallel to the passage 206.
And the passage 208 is provided with the ejector body 202.
Open at both ends.

【0037】前記エゼクタボデイ202の一方の端部に
はアタッチメント210が固着され、該アタッチメント
210には、図9に示すように、前記室70に連通し、
ピストン98aが摺動するシリンダ室212aが画成さ
れる。該シリンダ室212aには通路214が連通す
る。前記アタッチメント210には前記通路206に連
通する通路216、218、前記通路208に連通する
通路220が画成され、通路218、220は室222
に連通する。該室222には略円柱状の弁部材224が
摺動自在に挿入され、該弁部材224はばね部材226
によって常時上方に付勢される。前記弁部材224には
周回する溝部228が画成され、該溝部228には前記
アタッチメント210に固着されたピン部材230が臨
入する。該ピン部材230は前記溝部228に係合して
前記弁部材224の変位範囲が規制される。
At one end of the ejector body 202, an attachment 210 is fixed, and the attachment 210 communicates with the chamber 70 as shown in FIG.
A cylinder chamber 212a in which the piston 98a slides is defined. A passage 214 communicates with the cylinder chamber 212a. The attachment 210 defines passages 216 and 218 communicating with the passage 206 and a passage 220 communicating with the passage 208, and the passages 218 and 220 define a chamber 222.
Communicate with A substantially cylindrical valve member 224 is slidably inserted into the chamber 222, and the valve member 224 includes a spring member 226.
Is always urged upward. A circumferential groove 228 is defined in the valve member 224, and a pin member 230 fixed to the attachment 210 enters the groove 228. The pin member 230 is engaged with the groove 228 to restrict the displacement range of the valve member 224.

【0038】前記アタッチメント210にはアダプタプ
レート232が固着され、該アダプタプレート232と
前記アタッチメント210との間には室234a、23
4bが画成される。該室234a、234bにはチェッ
ク弁として機能する弁体236a、236bが設けられ
る。前記アダプタプレート232には一方の室234a
に連通する通路238、240と、他方の室234bに
連通する通路242、244、245が画成され、通路
245は前記アタッチメント210に画成された通路2
47を介して前記室222に連通する。前記通路238
は室246に連通し、該室246には弁部材248が摺
動自在に挿入され、該弁部材248はばね部材250に
よって常時上方に付勢される。前記弁部材248には周
回する溝部252が画成され、該溝部252には前記ア
ダプタプレート232に固着されたピン部材254が臨
入する。
An adapter plate 232 is fixed to the attachment 210, and the chambers 234a and 234 are provided between the adapter plate 232 and the attachment 210.
4b is defined. The chambers 234a and 234b are provided with valve bodies 236a and 236b that function as check valves. The adapter plate 232 has one chamber 234a.
Are defined, and the passages 242, 244, 245 communicating with the other chamber 234b are defined, and the passage 245 is defined as the passage 2 defined in the attachment 210.
It communicates with the chamber 222 through 47. The passage 238
The valve member 248 is slidably inserted into the chamber 246, and the valve member 248 is constantly urged upward by a spring member 250. A circumferential groove 252 is defined in the valve member 248, and a pin member 254 fixed to the adapter plate 232 enters the groove 252.

【0039】前記アダプタプレート232には垂直方向
に延在する通路256、258が画成され、一方の通路
256はアダプタプレート232の外部に開口するとと
もに、前記室234a、234bに連通する。また、他
方の通路258は前記通路216に連通する。該通路2
58は栓部材260によって閉塞される。
The adapter plate 232 has vertically extending passages 256 and 258. One of the passages 256 is open to the outside of the adapter plate 232 and communicates with the chambers 234a and 234b. Further, the other passage 258 communicates with the passage 216. Passage 2
58 is closed by the plug member 260.

【0040】前記アダプタプレート232には、図8に
示すように、ケーシング262が固着され、該ケーシン
グ262の内部には電磁弁264a、264bが設けら
れる。該電磁弁264a、264bはボビン266a、
266bを有し、該ボビン266a、266bにはコイ
ル268a、268bが巻回される。前記ボビン266
a、266bの内部には変位部材269a、269bが
摺動自在に設けられ、前記コイル268a、268bが
付勢されると前記変位部材269a、269bは矢印A
またはB方向に変位する。一方の変位部材269aが矢
印A方向に変位すると、図10に示すように、前記通路
258と前記室246とが連通し、他方の変位部材26
9bが矢印A方向に変位すると、図9に示すように、前
記通路258と前記通路242、244とが連通する。
As shown in FIG. 8, a casing 262 is fixed to the adapter plate 232, and electromagnetic valves 264a and 264b are provided inside the casing 262. The solenoid valves 264a and 264b are provided with bobbins 266a,
266b, and coils 268a and 268b are wound around the bobbins 266a and 266b. The bobbin 266
a and 266b are provided with slidable displacement members 269a and 269b, and when the coils 268a and 268b are urged, the displacement members 269a and 269b turn to the arrow A.
Or it is displaced in the B direction. When one displacement member 269a is displaced in the direction of arrow A, the passage 258 and the chamber 246 communicate with each other, as shown in FIG.
When 9b is displaced in the direction of arrow A, the passage 258 communicates with the passages 242 and 244, as shown in FIG.

【0041】前記エゼクタボデイ202の他方の端部に
はスペーサ270が固着され、該スペーサ270には前
記通路208に連通する通路272が画成されている。
前記スペーサ270にはエンドプレート274が固着さ
れ、該エンドプレート274には前記通路272に連通
する通路276が画成され、該通路276はピストン9
8bが摺動するシリンダ室278に連通する。
A spacer 270 is fixed to the other end of the ejector body 202, and a passage 272 communicating with the passage 208 is defined in the spacer 270.
An end plate 274 is fixed to the spacer 270, and a passage 276 communicating with the passage 272 is defined in the end plate 274.
8b communicates with the sliding cylinder chamber 278.

【0042】本発明の第2の実施の形態に係るエゼクタ
装置200は、基本的には以上のように構成されるもの
であり、次にその動作について説明する。
The ejector device 200 according to the second embodiment of the present invention is basically configured as described above, and its operation will be described next.

【0043】前記第1の実施の形態に係るエゼクタ装置
10と同様に、管継手20には圧縮空気供給源162が
接続され、管継手22には負圧を必要とする、例えば、
吸着用パッド等の真空用機器164が接続される。ま
た、管継手24には排気管166が接続される。
As in the ejector device 10 according to the first embodiment, a compressed air supply source 162 is connected to the pipe joint 20 and a negative pressure is required for the pipe joint 22, for example,
A vacuum device 164 such as a suction pad is connected. An exhaust pipe 166 is connected to the pipe joint 24.

【0044】圧縮空気供給源162が付勢されて管継手
20に圧縮空気が供給されると、図8に示すように、圧
縮空気は管継手20から通路30を経て入力ポート61
に導入される。しかし、スプール弁74は変位していな
いため、入力ポート61は第1の出力ポート62または
第2の出力ポート68と連通せず、それぞれの出力ポー
ト62、68には圧縮空気は導入されない。このとき、
圧縮空気は通路204、206、216、258に導入
されるとともに、通路218から室222に導入され
る。
When the compressed air supply source 162 is energized and compressed air is supplied to the pipe joint 20, the compressed air is supplied from the pipe joint 20 through the passage 30 to the input port 61 as shown in FIG.
Will be introduced. However, since the spool valve 74 is not displaced, the input port 61 does not communicate with the first output port 62 or the second output port 68, and no compressed air is introduced into the respective output ports 62, 68. At this time,
Compressed air is introduced into passages 204, 206, 216, 258 and from passage 218 into chamber 222.

【0045】一方の電磁弁264aが付勢され、変位部
材269aが矢印A方向に変位すると、図10に示すよ
うに、通路258と室246とが連通し、圧縮空気は室
246から室234a、通路214を経てシリンダ室2
12aに導入され、ピストン98aがシリンダ室212
aの内部を変位し、スプール弁74が矢印B方向に変位
して入力ポート61と第1の出力ポート62とが連通す
る。従って、圧縮空気が入力ポート61から第1の出力
ポート62、通路35、室140を経てノズル144に
導入される(図4参照)。ノズル144を通った圧縮空
気はデフューザ148を通過して室154に導入され、
通路34を経て管継手24から排気管166に排出され
る。このとき、負圧発生室146には負圧が発生し、こ
の負圧は通路33、32を介して管継手22に出力さ
れ、該管継手22に接続された真空用機器164に出力
される。すなわち、真空用機器164からこのエゼクタ
装置10に空気が吸引される。
When one of the solenoid valves 264a is energized and the displacement member 269a is displaced in the direction of arrow A, as shown in FIG. 10, the passage 258 communicates with the chamber 246, and the compressed air flows from the chamber 246 to the chamber 234a. Cylinder chamber 2 via passage 214
The piston 98a is introduced into the cylinder chamber 212
The inside of a is displaced, the spool valve 74 is displaced in the direction of arrow B, and the input port 61 and the first output port 62 communicate. Therefore, compressed air is introduced from the input port 61 to the nozzle 144 via the first output port 62, the passage 35, and the chamber 140 (see FIG. 4). The compressed air passing through the nozzle 144 passes through the diffuser 148 and is introduced into the chamber 154,
The gas is discharged from the pipe joint 24 to the exhaust pipe 166 through the passage 34. At this time, a negative pressure is generated in the negative pressure generating chamber 146, and the negative pressure is output to the pipe joint 22 through the passages 33 and 32, and is output to the vacuum device 164 connected to the pipe joint 22. . That is, air is sucked into the ejector device 10 from the vacuum device 164.

【0046】他方の電磁弁264bが付勢され、変位部
材269bが矢印A方向に変位すると、図9に示すよう
に、通路258と通路242、244とが連通する。こ
のため、圧縮空気は通路258から室234b、通路2
45、247、室222、通路220、208、27
2、276を介してシリンダ室278に導入され、ピス
トン98bがシリンダ室278内を変位し、スプール弁
74が矢印A方向に変位して入力ポート61と第2の出
力ポート68とが連通する。従って、圧縮空気が入力ポ
ート61から第2の出力ポート68、通路48を通り、
ニードル弁39によって流量調整されて通路46に導入
される(図4参照)。そして、通路66、負圧発生室1
46、通路33、32を経て管継手22に至り、真空用
機器164に圧縮空気が導入され、真空破壊される。
When the other solenoid valve 264b is urged and the displacement member 269b is displaced in the direction of arrow A, the passage 258 and the passages 242, 244 communicate as shown in FIG. Therefore, the compressed air flows from the passage 258 to the chamber 234b and the passage 2
45, 247, chamber 222, passages 220, 208, 27
The piston 98b is displaced in the cylinder chamber 278 through 2, 276, and the piston 98b is displaced in the cylinder chamber 278, the spool valve 74 is displaced in the direction of arrow A, and the input port 61 and the second output port 68 communicate. Therefore, compressed air passes from the input port 61 to the second output port 68 and the passage 48,
The flow rate is adjusted by the needle valve 39 and introduced into the passage 46 (see FIG. 4). The passage 66 and the negative pressure generating chamber 1
46, the pipes 33 and 32 are connected to the pipe joint 22, and compressed air is introduced into the vacuum device 164 to break the vacuum.

【0047】このエゼクタ装置200は弁部材224、
248を手動で変位させることによりスプール弁74を
変位させ、真空用機器164に負圧を出力することも可
能である。例えば、作業者が弁部材248をばね部材2
50の弾発力に抗して、図10中、下方に変位させる
と、弁部材248の斜面部248aに押圧されて変位部
材269aが矢印A方向に変位し、通路258と室24
6とが連通する。このため、前述したように、入力ポー
ト61に導入された圧縮空気が室234a、通路214
を介してシリンダ室212aの内部に導入され、ピスト
ン98aが矢印B方向に変位する。そして、入力ポート
61と第1の出力ポート62とが連通し、前述と同様に
して圧縮空気がエゼクタ150のノズル144に導入さ
れ、負圧発生室146に負圧が発生して管継手22から
真空用機器164に該負圧が出力される(図4参照)。
The ejector device 200 includes a valve member 224,
It is also possible to displace the spool valve 74 by manually displacing the 248 and output a negative pressure to the vacuum device 164. For example, an operator may attach the valve member 248 to the spring member 2.
10, when displaced downward in FIG. 10 against the resilient force of 50, the displacement member 269a is displaced in the direction of arrow A by being pressed by the slope portion 248a of the valve member 248, and the passage 258 and the chamber 24 are displaced.
6 communicates. Therefore, as described above, the compressed air introduced into the input port 61 is supplied to the chamber 234a and the passage 214.
The piston 98a is displaced in the direction of arrow B by being introduced into the cylinder chamber 212a. The input port 61 and the first output port 62 communicate with each other, and compressed air is introduced into the nozzle 144 of the ejector 150 in the same manner as described above. The negative pressure is output to the vacuum device 164 (see FIG. 4).

【0048】一方、弁部材224が、図9中、下方に変
位されると、通路218と通路220とが連通し、通路
208、272、276を介して圧縮空気がシリンダ室
278に導入され、ピストン98bが矢印A方向に変位
する。このため、圧縮空気が入力ポート61から第2の
出力ポート68に導入され、前述したように、ニードル
弁39によって流量制御され、真空用機器に導入されて
真空破壊される(図4参照)。
On the other hand, when the valve member 224 is displaced downward in FIG. 9, the passage 218 communicates with the passage 220, and compressed air is introduced into the cylinder chamber 278 through the passages 208, 272, 276. The piston 98b is displaced in the direction of arrow A. For this reason, compressed air is introduced from the input port 61 to the second output port 68, the flow rate is controlled by the needle valve 39, and introduced into a vacuum device, as described above, to break the vacuum (see FIG. 4).

【0049】このように、エゼクタ装置200を手動で
駆動することができると、例えば、このエゼクタ装置2
00が使用された真空用機器164の試験が必要な場合
等に、手動により簡単に試験を行うことができる。
As described above, if the ejector device 200 can be driven manually, for example, the ejector device 2
For example, when a test of the vacuum device 164 in which 00 is used is required, the test can be easily performed manually.

【0050】[0050]

【発明の効果】本発明に係るエゼクタ装置によれば、以
下のような効果ならびに利点が得られる。
According to the ejector device of the present invention, the following effects and advantages can be obtained.

【0051】エゼクタ装置には切換弁が一体的に形成さ
れているため、エゼクタ装置と切換弁とを接続する配管
系が不要となって構造が簡素化され、装置全体としての
占有スペースが小さくなると共に、製造コストを低廉化
することが可能である。
Since the switching valve is formed integrally with the ejector device, a piping system for connecting the ejector device and the switching valve is not required, the structure is simplified, and the space occupied by the entire device is reduced. At the same time, it is possible to reduce the manufacturing cost.

【0052】また、第2の出力ポートを負圧発生室に連
通させることにより、該負圧発生室の真空破壊が可能と
なり、さらに、切換弁にはスプール弁が設けられ、該ス
プール弁を変位させて入力ポートと出力ポートの連通、
遮断を制御するため、入力ポートおよび出力ポートに導
入された圧力流体の圧力によってスプール弁の変位が阻
害されることがなく、入力ポートと出力ポートとを確実
に連通または遮断することが可能な、信頼性の高いエゼ
クタ装置を得ることができる。
Further, by connecting the second output port to the negative pressure generating chamber, it is possible to break the vacuum in the negative pressure generating chamber. Further, the switching valve is provided with a spool valve, and the spool valve is displaced. Communication between input port and output port,
In order to control the shutoff, the displacement of the spool valve is not disturbed by the pressure of the pressure fluid introduced into the input port and the output port, and the input port and the output port can be reliably communicated or shut off. A highly reliable ejector device can be obtained.

【0053】さらに、切換弁に手動で駆動する弁部材を
設けることにより、真空用機器に手動で負圧を出力する
ことができ、該真空用機器の試験等が容易となる。
Further, by providing a manually driven valve member in the switching valve, a negative pressure can be manually output to the vacuum equipment, and the testing of the vacuum equipment becomes easy.

【0054】さらにまた、負圧発生室には真空スイッチ
が設けられ、該真空スイッチに接続された制御装置は負
圧発生室の圧力によって真空用機器等を制御することが
可能となる。
Further, a vacuum switch is provided in the negative pressure generating chamber, and a control device connected to the vacuum switch can control vacuum equipment and the like by the pressure of the negative pressure generating chamber.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1の実施の形態に係るエゼクタ装置
を示す斜視図である。
FIG. 1 is a perspective view showing an ejector device according to a first embodiment of the present invention.

【図2】図1のエゼクタ装置の分解斜視図である。FIG. 2 is an exploded perspective view of the ejector device of FIG.

【図3】図1のエゼクタ装置のIII−III線断面図
である。
FIG. 3 is a sectional view taken along line III-III of the ejector device of FIG. 1;

【図4】図1のエゼクタ装置のIV−IV線断面図であ
る。
FIG. 4 is a sectional view of the ejector device of FIG. 1 taken along line IV-IV.

【図5】図4のエゼクタ装置のスプール弁が矢印A方向
に変位した状態を示す一部拡大断面図である。
5 is a partially enlarged sectional view showing a state in which a spool valve of the ejector device of FIG. 4 is displaced in a direction of an arrow A.

【図6】図4のエゼクタ装置のスプール弁が矢印B方向
に変位した状態を示す一部拡大断面図である。
6 is a partially enlarged sectional view showing a state in which a spool valve of the ejector device of FIG. 4 is displaced in a direction of arrow B.

【図7】図1のエゼクタ装置の回路図である。FIG. 7 is a circuit diagram of the ejector device of FIG. 1;

【図8】本発明の第2の実施の形態に係るエゼクタ装置
を示す縦断面図である。
FIG. 8 is a longitudinal sectional view showing an ejector device according to a second embodiment of the present invention.

【図9】図8のエゼクタ装置のスプール弁が矢印A方向
に変位した状態を示す一部拡大断面図である。
9 is a partially enlarged cross-sectional view showing a state where the spool valve of the ejector device of FIG. 8 is displaced in the direction of arrow A.

【図10】図8のエゼクタ装置のスプール弁が矢印B方
向に変位した状態を示す一部拡大断面図である。
FIG. 10 is a partially enlarged sectional view showing a state in which a spool valve of the ejector device of FIG. 8 is displaced in a direction of arrow B.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10、200…エゼクタ装置 12…マニホールド
ブロック 39…ニードル弁 60、202…エゼ
クタボデイ 60a…切換弁部 60b…エゼクタ部 61…入力ポート 62、68…出力ポ
ート 74…スプール弁 136…真空スイッ
チ 144…ノズル 146…負圧発生室 148…デフューザ 150…エゼクタ 160…切換弁
10, 200: Ejector device 12: Manifold block 39: Needle valve 60, 202: Ejector body 60a: Switching valve unit 60b: Ejector unit 61: Input port 62, 68 ... Output port 74: Spool valve 136: Vacuum switch 144 ... Nozzle 146: negative pressure generating chamber 148: diffuser 150: ejector 160: switching valve

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI F16K 31/06 310 F16K 31/06 310D ──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code FI F16K 31/06 310 F16K 31/06 310D

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】ノズルに導入された圧力流体がデフューザ
から導出されることにより前記ノズルと前記デフューザ
との間に形成された負圧発生室に負圧を発生させるエゼ
クタ装置において、 前記エゼクタ装置には切換弁が一体的に設けられ、 前記切換弁は、圧力流体供給源が接続される入力ポート
と、前記ノズルに連通する出力ポートとを備え、前記切
換弁を付勢することにより、前記入力ポートと前記出力
ポートとを連通または遮断して前記負圧発生室の負圧発
生を制御することを特徴とするエゼクタ装置。
An ejector device for generating a negative pressure in a negative pressure generating chamber formed between said nozzle and said diffuser by deriving a pressure fluid introduced into said nozzle from said diffuser, wherein said ejector device Is integrally provided with a switching valve, the switching valve includes an input port to which a pressure fluid supply source is connected, and an output port communicating with the nozzle, and the input valve is operated by biasing the switching valve. An ejector device, wherein a negative pressure in the negative pressure generating chamber is controlled by connecting or disconnecting a port and the output port.
【請求項2】請求項1記載のエゼクタ装置において、 前記出力ポートは第1の出力ポートと第2の出力ポート
とからなり、前記第1の出力ポートは前記ノズルに圧力
流体を供給し、一方、前記第2の出力ポートは前記負圧
発生室に連通し、前記切換弁の付勢作用下に前記入力ポ
ートと前記第2の出力ポートとが連通すると、前記負圧
発生室に圧力流体が供給されて前記負圧発生室の真空破
壊が施されることを特徴とするエゼクタ装置。
2. The ejector device according to claim 1, wherein said output port comprises a first output port and a second output port, wherein said first output port supplies a pressure fluid to said nozzle. The second output port communicates with the negative pressure generating chamber, and when the input port communicates with the second output port under the urging action of the switching valve, a pressure fluid flows into the negative pressure generating chamber. The ejector device, wherein the vacuum is supplied to the negative pressure generating chamber to break the vacuum.
【請求項3】請求項1または2記載のエゼクタ装置にお
いて、前記切換弁は、 スプール弁と、 前記スプール弁の端部に固着されたピストンと、 前記ピストンが変位するシリンダ室に圧力流体を導入す
る電磁弁と、 を備え、前記電磁弁の付勢作用下に前記スプール弁が変
位して前記入力ポートと前記出力ポートとが連通または
遮断されることを特徴とするエゼクタ装置。
3. The ejector device according to claim 1, wherein the switching valve introduces a pressure fluid into a spool valve, a piston fixed to an end of the spool valve, and a cylinder chamber in which the piston is displaced. An ejector device, comprising: an electromagnetic valve, wherein the spool valve is displaced under the urging action of the electromagnetic valve, and the input port and the output port are communicated or disconnected.
【請求項4】請求項3記載のエゼクタ装置において、前
記切換弁には、 手動で駆動され、前記シリンダ室に圧力流体を導入する
弁部材が設けられ、前記弁部材を手動で駆動することに
より前記スプール弁が変位して前記入力ポートと前記出
力ポートとが連通または遮断されることを特徴とするエ
ゼクタ装置。
4. The ejector device according to claim 3, wherein the switching valve is provided with a valve member which is manually driven and introduces a pressure fluid into the cylinder chamber, and the valve member is manually driven. The ejector device according to claim 1, wherein the spool valve is displaced so that the input port and the output port are connected or disconnected.
【請求項5】請求項1乃至4のいずれか1項に記載のエ
ゼクタ装置において、 前記負圧発生室には、該負圧発生室が所定の圧力となっ
たことを検出して信号を発生する真空スイッチが設けら
れることを特徴とするエゼクタ装置。
5. The ejector device according to claim 1, wherein a signal is generated in the negative pressure generating chamber by detecting that the negative pressure generating chamber has reached a predetermined pressure. An ejector device provided with a vacuum switch that performs the operation.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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