JPH11207684A - Two spindle rotation drive device - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent the wiring of a driving motor from being worn or broken due to getting entangled or rubbing in/against another component. SOLUTION: This two-spindle rotation drive device is provided with the first drive motor 21, the first shaft 24, the second driving motor 22, the second shaft 28, and a wiring storage part 30. The second driving motor 22 involves a rotating shaft 221, a drive part 222 for rotating and driving the rotating shaft 221, and a wiring 23 for supplying a driving signal to the drive part 222. The drive part 222 is attached to the first shaft 24 so that the rotating shaft 221 and the second shaft 28 may be disposed so as to be coaxial with the rotating shaft 211 of the first driving motor 21 and the first shaft 24. The wiring 223 is, for example, when the rotating shaft 211 is rotated clockwise, wound around a motor storage part 241, and when it is rotated counterclockwise, the winding condition is released. The wiring storage part 30 stores the wiring 223.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、同軸的に配設され
た２つの回転軸を有する２軸回転駆動装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a biaxial rotary drive having two rotary shafts arranged coaxially.

【０００２】[0002]

【従来の技術】一般に、基板を搬送するための基板搬送
ロボットは、アーム機構を用いて基板を搬送するように
なっている。2. Description of the Related Art Generally, a substrate transfer robot for transferring a substrate is configured to transfer a substrate using an arm mechanism.

【０００３】この基板搬送用のアーム機構は、通常、直
列に連結された２つのアームを有し、この２つのアーム
を回転駆動することにより、基板を搬送するようになっ
ている。The arm mechanism for transferring a substrate usually has two arms connected in series, and transfers the substrate by rotating the two arms.

【０００４】２つのアームを回転駆動するための駆動源
としては、通常、２軸回転駆動装置が用いられる。この
２軸回転駆動装置は、同軸的に配設された２つの回転軸
により２つの回転駆動対象を回転駆動する回転駆動装置
である。[0004] As a drive source for rotationally driving the two arms, a biaxial rotary drive is usually used. This two-axis rotary drive device is a rotary drive device for rotating two rotary drive objects by two rotary shafts arranged coaxially.

【０００５】図１５は、従来の２軸回転駆動装置の構成
を示す側断面図である。図示のごとく、従来の２軸回転
駆動装置は、２つのダイレクトドライブ方式の駆動モー
タ１１，１２を設け、一方の駆動モータ１１の回転軸１
１１を円筒状に形成し、他方の駆動モータ１２の回転軸
１２１を円柱状に形成し、この円柱状の回転軸１２１を
円筒状の回転軸１１１に同軸的に挿入するようになって
いる。FIG. 15 is a side sectional view showing the structure of a conventional two-axis rotary driving device. As shown in the figure, the conventional two-axis rotary drive device includes two direct drive type drive motors 11 and 12, and the rotary shaft 1 of one drive motor 11 is provided.
11 is formed in a cylindrical shape, the rotating shaft 121 of the other drive motor 12 is formed in a cylindrical shape, and the cylindrical rotating shaft 121 is coaxially inserted into the cylindrical rotating shaft 111.

【０００６】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな構成では、２つの回転軸１１１，１２１を同期させ
て回転駆動する場合、２つの回転軸１１１，１１２の同
期を調整する必要があるため、２つの回転軸を同期駆動
する場合の制御が複雑になるという問題があった。However, in such a configuration, when the two rotating shafts 111 and 121 are driven to be rotated in synchronization with each other, it is necessary to adjust the synchronization between the two rotating shafts 111 and 112. There is a problem that the control when the two rotating shafts are driven synchronously becomes complicated.

【０００７】この問題を解決するためには、一方の駆動
モータ１１の回転軸１１１に他方の駆動モータ１２をそ
の回転軸１２１が一方の駆動モータ１１の回転軸１１１
と同軸的に配設されるように取り付けることが考えられ
る。In order to solve this problem, the rotating shaft 111 of one driving motor 11 is connected to the rotating shaft 121 of the other driving motor 11.
It is conceivable to mount so as to be arranged coaxially with the above.

【０００８】このような構成によれば、一方の駆動モー
タ１１の回転軸１１１を回転駆動することにより、他方
の駆動モータ１２を回転駆動することができるので、２
つの駆動モータ１１，１２の同期を調整することなく、
２つの回転軸１１１，１２１を同期駆動することができ
る。According to such a configuration, by rotating the rotation shaft 111 of one drive motor 11, the other drive motor 12 can be rotationally driven.
Without adjusting the synchronization of the two drive motors 11 and 12,
The two rotating shafts 111 and 121 can be driven synchronously.

【０００９】しかしながら、このような構成では、他方
の駆動モータ１２の回転を許容するために、その配線に
余裕を持たせる必要がある。これにより、このような構
成では、一方の駆動モータ１１により他方の駆動モータ
１２が回転駆動された場合、他方の駆動用モータ１２の
配線が振り回される。その結果、この配線が他の構成分
品と絡まったり、擦れたりして、摩耗したり、断線した
りする危険性がある。However, in such a configuration, in order to allow the other drive motor 12 to rotate, it is necessary to provide a margin for the wiring. Thus, in such a configuration, when the one drive motor 11 drives the other drive motor 12 to rotate, the wiring of the other drive motor 12 is swung. As a result, there is a danger that this wiring will be entangled with other components, rubbed, worn or broken.

【００１０】そこで、本発明は、回転駆動される駆動モ
ータの配線が他の構成分品と絡まったり、擦れたりし
て、摩耗したり、断線したりすることを防止することが
できる２軸回転駆動装置を提供することを目的とする。Accordingly, the present invention provides a two-axis rotary motor that can prevent the wiring of a drive motor that is rotationally driven from becoming entangled with other components, rubbed, worn, or broken. It is an object to provide a driving device.

【００１１】[0011]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に請求項１記載の２軸回転駆動装置は、同軸的に配設さ
れた２つの回転軸を有する装置において、回転駆動手段
と、駆動モータと、配線収容手段とを備える。According to a first aspect of the present invention, there is provided a two-axis rotary driving device, comprising: a rotary driving unit; It has a motor and a wiring accommodation means.

【００１２】回転駆動手段は、第１の回転軸と、この第
１の回転軸を第１の方向とこの第１の方向とは反対の第
２の方向に回転駆動する第１の駆動部とを有する。The rotation drive means includes a first rotation shaft, a first drive unit for rotating the first rotation shaft in a first direction and a second direction opposite to the first direction. Having.

【００１３】駆動モータは、第２の回転軸と、この第２
の回転軸を回転駆動する第２の駆動部と、この第２の駆
動部に駆動信号を供給する配線とを有する。The drive motor includes a second rotating shaft and the second rotating shaft.
And a wiring for supplying a drive signal to the second drive unit.

【００１４】第２の駆動部は、第２の回転軸が第１の回
転軸と同軸的に配設されるように第１の回転軸に取り付
けられる。[0014] The second drive section is attached to the first rotating shaft so that the second rotating shaft is disposed coaxially with the first rotating shaft.

【００１５】配線は、第１の回転軸が第１の方向に回転
駆動される場合は、第１の回転軸と同軸的に設定された
軸を中心軸とする所定の巻回部に巻回され、第２の方向
に回転駆動される場合は、この巻回状態を解除される。When the first rotating shaft is driven to rotate in the first direction, the wiring is wound around a predetermined winding portion having an axis set coaxially with the first rotating shaft as a center axis. When the motor is driven to rotate in the second direction, the winding state is released.

【００１６】配線収容手段は、駆動モータの配線を所定
の空間に収めるように構成されている。The wiring accommodating means is configured to house the wiring of the drive motor in a predetermined space.

【００１７】なお、上記回転駆動手段としては、例え
ば、駆動モータだけによって構成される手段と、駆動モ
ータとこの駆動モータによって回転駆動されるとシャフ
トとによって構成される手段と、駆動モータとシャフト
と駆動モータの回転をシャフトに伝達する回転伝達機構
（例えば、プーリやベルトからなる機構）とによって構
成される手段等がある。The above-mentioned rotary drive means includes, for example, a means constituted only by a drive motor, a means constituted by a drive motor and a shaft which is rotationally driven by the drive motor, a drive motor and a shaft. There is a unit configured by a rotation transmission mechanism (for example, a mechanism including a pulley or a belt) that transmits the rotation of the drive motor to the shaft.

【００１８】また、第１の回転軸は、回転駆動手段が駆
動モータだけによって構成される場合は、この駆動モー
タの回転軸によって構成され、回転駆動手段が駆動モー
タとシャフトとによって構成される場合は、駆動モータ
の回転軸とシャフトとによって構成され、回転駆動手段
が駆動モータとシャフトと回転伝達機構とによって構成
される場合は、回転伝達機構を介して駆動モータによっ
て回転駆動されるシャフトによって構成される。Further, the first rotating shaft is constituted by a rotating shaft of the driving motor when the rotating driving means is constituted only by the driving motor, and the first rotating shaft is constituted by the driving motor and the shaft. Is constituted by a rotation shaft and a shaft of a drive motor, and when the rotation drive means is constituted by the drive motor, the shaft and the rotation transmission mechanism, it is constituted by a shaft which is rotationally driven by the drive motor via the rotation transmission mechanism. Is done.

【００１９】また、第２の回転軸は、駆動モータの回転
軸にシャフトが連結されない場合は、駆動モータの回転
軸によって構成され、シャフトが連結される場合は、駆
動モータの回転軸とシャフトとによって構成される。The second rotating shaft is constituted by the rotating shaft of the driving motor when the shaft is not connected to the rotating shaft of the driving motor, and when the shaft is connected, the second rotating shaft is constituted by the rotating shaft of the driving motor and the shaft. Composed of

【００２０】上述した請求項１記載の２軸回転駆動装置
では、第１の回転軸が第１の方向に回転駆動されると、
駆動モータの配線が所定の巻回部に巻回される。これに
対し、第１の回転軸が第２の方向に回転駆動されると、
この巻回状態が解除される。In the above-described two-axis rotary drive device, when the first rotary shaft is driven to rotate in the first direction,
The wiring of the drive motor is wound around a predetermined winding portion. On the other hand, when the first rotating shaft is rotationally driven in the second direction,
This winding state is released.

【００２１】この場合、配線は、配線収容手段に収容さ
れているため、他の構成部品と絡んだり、擦れたりし
て、摩耗したり、断線したりすることがない。また、配
線が所定の巻回部に巻回されているため、配線収容手段
による配線収容空間を狭くすることができる。また、こ
のように、配線を単に回線収容空間に収容する構成では
なく、巻回した状態で収容する構成では、駆動モータの
回転に伴う配線の動きを規則正しいものにすることがで
きるため、これにより、配線自身が絡んだりして、断線
したりしてしまうことを低減することができる。In this case, since the wiring is accommodated in the wiring accommodating means, it does not become entangled with other components, rubbed, worn or broken. In addition, since the wiring is wound around the predetermined winding portion, the wiring housing space by the wiring housing means can be reduced. Further, in this manner, in a configuration in which the wiring is housed in a wound state, not in a configuration in which the wiring is simply housed in the line housing space, the movement of the wiring accompanying rotation of the drive motor can be made regular. In addition, it is possible to reduce the possibility that the wires themselves are entangled and disconnected.

【００２２】[0022]

【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながら、本発
明の実施の形態を詳細に説明する。Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.

【００２３】［１］第１の実施の形態 ［１−１］構成 図１は、本発明の第１の実施の形態の構成を示す側断面
図である。なお、図１は、本発明を、本件特許出願人が
平成９年７月２３日に特許出願した特願平９−１９６６
８３号に記載された２軸回転駆動装置に適用した場合を
代表として示す。[1] First Embodiment [1-1] Configuration FIG. 1 is a side sectional view showing a configuration of a first embodiment of the present invention. FIG. 1 shows the present invention as disclosed in Japanese Patent Application No. 9-1966, filed by the present applicant on July 23, 1997.
A case where the present invention is applied to a two-axis rotary driving device described in No. 83 is shown as a representative.

【００２４】図示の２軸回転駆動装置は、第１の駆動モ
ータ２１と、第２の駆動モータ２２とを有する。第１の
駆動モータ２１は、回転軸２１１と、この回転軸２１１
を回転駆動する駆動部２１２と、この駆動部２１２に駆
動信号を供給する配線（図示せず）とを有する。第２の
駆動モータ２２も、回転軸２２１と、この回転軸２２１
を回転駆動する駆動部２２２と、この駆動部２２２に駆
動信号を供給する配線２２３とを有する。The illustrated two-axis rotary drive has a first drive motor 21 and a second drive motor 22. The first drive motor 21 includes a rotating shaft 211 and the rotating shaft 211.
And a wiring (not shown) for supplying a drive signal to the drive unit 212. The second drive motor 22 also includes a rotating shaft 221 and the rotating shaft 221.
And a wiring 223 for supplying a driving signal to the driving unit 222.

【００２５】なお、これらは、例えば、汎用のモータで
構成されている。また、これらは、回転軸２１１，２２
１が時計方向と反時計方向とに回転可能なリバーシブル
モータで構成されている。These are constituted by, for example, general-purpose motors. These are the rotating shafts 211 and 22
Reference numeral 1 denotes a reversible motor that can rotate clockwise and counterclockwise.

【００２６】第１の駆動モータ２１の回転軸２１１に
は、カップリング２３を介して第１のシャフト２４が同
軸的に連結されている。この第１のシャフト２４の軸方
向の中央部には、円筒状のモータ収容部２４１が形成さ
れている。このモータ収容部２４１には、第２のモータ
２２が収容されている。A first shaft 24 is coaxially connected to a rotating shaft 211 of the first drive motor 21 via a coupling 23. A cylindrical motor housing 241 is formed at the axial center of the first shaft 24. The second motor 22 is housed in the motor housing 241.

【００２７】このモータ収容部２４１は、中心軸が第１
の駆動モータ２１の回転軸２１１と一致するように形成
されている。また、このモータ収容部２４１の第１の駆
動モータ２１側（図中、下方）の端部は閉塞されてい
る。これに対し、第１の駆動モータ２１側とは反対側
（図中、上方）の端部は、中央部において、開口されて
いる。The center axis of the motor housing 241 is the first axis.
Is formed so as to coincide with the rotation shaft 211 of the drive motor 21. The end of the motor housing 241 on the first drive motor 21 side (the lower side in the figure) is closed. On the other hand, the end on the opposite side (upper side in the figure) to the first drive motor 21 side is opened at the center.

【００２８】モータ収容部２４１の下端部には、円柱状
の下方被軸受け部２４２が形成されている。この下方被
軸受け部２４２は、ベアリング２５を介して、後述する
配線収容部３０に回転自在に支持されている。この下方
被軸受け部２４２は、第１の駆動モータ２１の回転軸２
１１と同軸的に形成されている。また、この下方被軸受
け部２４２の径は、例えば、モータ収容部２４１の径よ
り小さくなるように設定されている。At the lower end of the motor accommodating portion 241, a lower bearing portion 242 having a columnar shape is formed. The lower bearing portion 242 is rotatably supported by a wiring housing portion 30 described later via a bearing 25. The lower bearing portion 242 is connected to the rotation shaft 2 of the first drive motor 21.
11 is formed coaxially. The diameter of the lower bearing portion 242 is set to be smaller than the diameter of the motor housing portion 241, for example.

【００２９】下方被軸受け部２４２の下端部には、円柱
状の連結部２４３が形成されている。この連結部２４３
は、第１の駆動モータ２１の回転軸２１１とカップリン
グ２３を介して連結されている。この連結部２４３は、
第１の駆動モータ２１の回転軸２１１と同軸的に形成さ
れている。また、この連結部２４３の径は、例えば、下
方被軸受け部２４２の径より小さくなるように設定され
ている。At the lower end of the lower bearing portion 242, a columnar connecting portion 243 is formed. This connecting part 243
Is connected to a rotation shaft 211 of the first drive motor 21 via a coupling 23. This connecting portion 243
It is formed coaxially with the rotation shaft 211 of the first drive motor 21. The diameter of the connecting portion 243 is set to be smaller than the diameter of the lower bearing portion 242, for example.

【００３０】モータ収容部２４１の上端部には、円筒状
の上方被軸受け部２４４が形成されている。この上方被
軸受け部２４２は、ベアリング２６を介して、配線収容
部３０に回転自在に支持されている。この上方被軸受け
部２４４は、第１の駆動モータ２１の回転軸２１１と同
軸的に形成されている。また、この上方被軸受け部２４
４は、その中空がモータ収容部２４１の上端部に形成さ
れた孔と挿通するように形成されている。A cylindrical upper bearing 244 is formed at the upper end of the motor housing 241. The upper bearing portion 242 is rotatably supported by the wiring housing portion 30 via a bearing 26. The upper bearing portion 244 is formed coaxially with the rotation shaft 211 of the first drive motor 21. Also, the upper bearing portion 24
4 is formed such that its hollow is inserted into a hole formed at the upper end of the motor housing portion 241.

【００３１】第２駆動モータ２２は、第１のシャフト２
４のモータ収容部２４１に収容されている。この場合、
第２の駆動モータ２２の駆動部２２２は、その回転軸２
２１が第１の駆動モータ２１の回転軸２１１と同軸的に
配設されるように、モータ収容部２４１の下端部の内壁
に取り付けられている。The second drive motor 22 is connected to the first shaft 2
4 are accommodated in the motor accommodation section 241. in this case,
The drive section 222 of the second drive motor 22 has its rotating shaft 2
The motor 21 is mounted on the inner wall at the lower end of the motor housing 241 so that the motor 21 is disposed coaxially with the rotation shaft 211 of the first drive motor 21.

【００３２】第２の駆動モータ２２の回転軸２２１は、
カップリング２７を介して第２のシャフト２８に連結さ
れている。この第２のシャフト２８は、ベアリング２９
を介して上方被軸受け部２４４の内壁に回転自在に支持
されている。The rotation shaft 221 of the second drive motor 22 is
It is connected to a second shaft 28 via a coupling 27. This second shaft 28 has a bearing 29
And is rotatably supported on the inner wall of the upper bearing portion 244 via the.

【００３３】第２の駆動モータ２２の配線２２３は、第
１のシャフト２４のモータ収容部２４１に形成された配
線取出し孔２４１ａを介してモータ収容部２４１の外部
に取り出されている。モータ収容部２４１の外部に取り
出された配線２２３は、このモータ収容部２４１の外面
に巻回されるようになっている。The wiring 223 of the second drive motor 22 is drawn out of the motor housing 241 through a wiring hole 241a formed in the motor housing 241 of the first shaft 24. The wiring 223 taken out of the motor housing 241 is wound around the outer surface of the motor housing 241.

【００３４】この場合、配線２２３は、例えば、図２に
示すように、上方から見て時計方向に巻回されている。
したがって、この配線２２３は、図３（ａ）に示すよう
に、モータ収容部２４１が第１駆動モータ２１によっ
て、上方から見て時計方向に回転駆動されると、巻回状
態を解除され、図３（ｂ）に示すように、反時計方向に
回転駆動されると、巻回される。In this case, the wiring 223 is wound clockwise when viewed from above, for example, as shown in FIG.
Therefore, as shown in FIG. 3A, when the motor housing 241 is rotated clockwise as viewed from above by the first drive motor 21 as shown in FIG. As shown in FIG. 3 (b), when it is driven to rotate counterclockwise, it is wound.

【００３５】モータ収容部２４１の外面に巻回された配
線２２３は、配線収容部３０に形成された配線取出し孔
３０１を介して配線収容部３０の外部に取り出される。
この配線収容部３０は、モータ収容部２４１の外面に巻
回された配線２２３を収容する配線収容空間３０２を有
する。この配線空間３０２は、例えば、モータ収容部２
４１と同軸的な円柱状に形成されている。なお、上記配
線２２３は、通常、正側の配線と負側の配線とからな
る。本実施の形態では、これらは、一緒に収容部２４１
の外面に巻回されている。The wiring 223 wound around the outer surface of the motor accommodating section 241 is taken out of the wiring accommodating section 30 through a wiring take-out hole 301 formed in the wiring accommodating section 30.
The wiring housing 30 has a wiring housing space 302 for housing the wiring 223 wound around the outer surface of the motor housing 241. The wiring space 302 is, for example,
It is formed in a cylindrical shape coaxial with 41. The wiring 223 generally includes a positive wiring and a negative wiring. In the present embodiment, these are together
It is wound on the outer surface.

【００３６】上記構成においては、第１の駆動モータ２
１と、カップリング２３と、第１のシャフト２４とによ
って本発明の回転駆動手段が構成される。この場合、第
１の駆動モータ２１の回転軸２１１と第１のシャフト２
４とによって、回転駆動手段の第１の回転軸が構成され
る。In the above configuration, the first drive motor 2
1, the coupling 23, and the first shaft 24 constitute the rotation driving means of the present invention. In this case, the rotation shaft 211 of the first drive motor 21 and the first shaft 2
4 constitutes a first rotation axis of the rotation drive means.

【００３７】また、第２の駆動モータ２２と、カップリ
ング２７と、第２のシャフト２８とによって本発明の駆
動モータが構成される。この場合、第２の駆動モータ２
２の回転軸２２１と第２のシャフト２８とによって、駆
動モータの第２の回転軸が構成される。The second drive motor 22, the coupling 27, and the second shaft 28 constitute the drive motor of the present invention. In this case, the second drive motor 2
The second rotating shaft 221 and the second shaft 28 constitute a second rotating shaft of the drive motor.

【００３８】さらに、モータ収容部２４１によって本発
明の巻回部が構成され、配線収容部３０によって本発明
の配線収容手段が構成される。Further, the winding part of the present invention is constituted by the motor accommodation part 241, and the wiring accommodation means of the invention is constituted by the wiring accommodation part 30.

【００３９】［１−２］動作 上記構成において、動作を説明する。[1-2] Operation The operation of the above configuration will be described.

【００４０】まず、第１の駆動モータ２１を回転モード
に設定し、第２の駆動モータ２２を停止モードに設定す
る場合の回転駆動動作を説明する。ここで、回転モード
とは、モータの電源がオン状態に設定され（モータが励
磁され）、かつ、その回転軸が回転しているモードであ
る。また、停止モードとは、モータの電源がオン状態に
設定されているものの、その回転軸が停止しているモー
ドである。First, a description will be given of the rotational drive operation when the first drive motor 21 is set to the rotation mode and the second drive motor 22 is set to the stop mode. Here, the rotation mode is a mode in which the power of the motor is set to the ON state (the motor is excited) and the rotating shaft is rotating. The stop mode is a mode in which the power of the motor is set to the ON state, but the rotation axis is stopped.

【００４１】この場合、第１の駆動モータ２１の回転軸
２１１が時計方向または反時計方向に回転駆動される。
これにより、第１のシャフト２４が時計方向または反時
計方向に回転駆動される。その結果、第２の駆動モータ
２２が時計方向または反時計方向に回転駆動される。こ
れにより、第２の駆動モータ２２の回転軸２２１が時計
方向または反時計方向に回転駆動される。その結果、第
２のシャフト２８が時計方向または反時計方向に回転駆
動される。In this case, the rotating shaft 211 of the first drive motor 21 is driven to rotate clockwise or counterclockwise.
Thus, the first shaft 24 is driven to rotate clockwise or counterclockwise. As a result, the second drive motor 22 is driven to rotate clockwise or counterclockwise. Thus, the rotation shaft 221 of the second drive motor 22 is driven to rotate clockwise or counterclockwise. As a result, the second shaft 28 is driven to rotate clockwise or counterclockwise.

【００４２】このように、第１の駆動モータ２１を回転
モードに設定し、第２の駆動モータ２２を停止モードに
設定する場合は、第１の駆動モータ２１と第２の駆動モ
ータ２２との間で同期を調整することなく、第１の駆動
モータ２１の回転軸２１１（及び第１のシャフト２４）
と第２の駆動モータ２２の回転軸２２１（及び第２のシ
ャフト２８）とが同期駆動される。As described above, when the first drive motor 21 is set to the rotation mode and the second drive motor 22 is set to the stop mode, the first drive motor 21 and the second drive motor 22 are connected to each other. The rotation shaft 211 of the first drive motor 21 (and the first shaft 24) is adjusted without adjusting the synchronization between them.
And the rotating shaft 221 (and the second shaft 28) of the second drive motor 22 are driven synchronously.

【００４３】次に、第１の駆動モータ２１を停止モード
に設定し、第２の駆動モータ２２を回転モードに設定す
る場合の回転駆動動作を説明する。Next, a description will be given of a rotational drive operation when the first drive motor 21 is set to the stop mode and the second drive motor 22 is set to the rotation mode.

【００４４】この場合、第２の駆動モータ２２の回転軸
２２１が時計方向または反時計方向に回転駆動される。
これにより、第２のシャフト２８が時計方向または反時
計方向に回転駆動される。このように、第１の駆動モー
タ２１を停止モードに設定し、第２の駆動モータ２２を
回転モードに設定する場合は、第２の駆動モータ２２の
回転軸２２１だけが単独で回転駆動される。In this case, the rotation shaft 221 of the second drive motor 22 is driven to rotate clockwise or counterclockwise.
Thereby, the second shaft 28 is driven to rotate clockwise or counterclockwise. As described above, when the first drive motor 21 is set to the stop mode and the second drive motor 22 is set to the rotation mode, only the rotation shaft 221 of the second drive motor 22 is independently driven to rotate. .

【００４５】次に、第２の駆動モータ２２の配線２２３
が他の構成部品と絡まったり、擦れたりして、この配線
２２３が断線したり、摩耗したりすることを防止する動
作を説明する。Next, the wiring 223 of the second drive motor 22
The operation for preventing the wiring 223 from being entangled or rubbed with other components and thus being disconnected or worn will be described.

【００４６】第１の駆動モータ２１が回転モードに設定
されると、第１のシャフト２４は、時計方向または反時
計方向に回転駆動される。これにより、第２の駆動モー
タ２２の配線２２３が第１のシャフト２４のモータ収容
部２４１の外面に巻回されたり、この巻回状態を解除さ
れる。When the first drive motor 21 is set to the rotation mode, the first shaft 24 is driven to rotate clockwise or counterclockwise. Thereby, the wiring 223 of the second drive motor 22 is wound around the outer surface of the motor housing portion 241 of the first shaft 24, or the wound state is released.

【００４７】すなわち、第１のシャフト２４が上方から
見て反時計方向に回転駆動されると、図３（ｂ）に示す
ように、配線２２３がモータ収容部２４１の外面に巻回
される。これに対し、第１のシャフト２４が上方から見
て時計方向に回転駆動されると、配線２２３は、図３
（ａ）に示すように、モータ収容部２４１に対する巻回
状態を解除される。これにより、配線２２３がモータ収
容部２４１の外面から浮き上がる。That is, when the first shaft 24 is driven to rotate counterclockwise as viewed from above, the wiring 223 is wound around the outer surface of the motor housing 241 as shown in FIG. On the other hand, when the first shaft 24 is rotationally driven clockwise as viewed from above, the wiring 223 becomes
As shown in (a), the winding state of the motor housing 241 is released. Thus, the wiring 223 rises from the outer surface of the motor housing 241.

【００４８】この場合、配線２２３の浮き上がりをその
まま放置すると、配線２２３が他のの構成部品と絡んだ
り、擦れたりして、この配線２２３が摩耗したり、断線
したりする危険性がある。しかしながら、本実施の形態
では、配線２２３を収容する配線収容部３０が設けられ
ている。これにより、配線２２３がモータ収容部２４１
の外面から浮かび上がっても、他の構成部品と絡んだ
り、擦れたりして、摩耗したり、断線したりすることが
ない。In this case, if the floating of the wiring 223 is left as it is, the wiring 223 may be entangled or rubbed with other components, and the wiring 223 may be worn or disconnected. However, in the present embodiment, the wiring accommodation section 30 that accommodates the wiring 223 is provided. As a result, the wiring 223 is
Even if it emerges from the outer surface of the device, it does not get entangled or rubbed with other components, and does not wear or break.

【００４９】［１−３］基板搬送用アーム機構への適用
例 ［１−３−１］構成 ここで、駆動源として本実施の形態の２軸回転駆動装置
を用いた基板搬送用アーム機構の構成の一例を説明す
る。[1-3] Example of application to substrate transfer arm mechanism [1-3-1] Configuration Here, a substrate transfer arm mechanism using the two-axis rotary drive device of the present embodiment as a drive source is described. An example of the configuration will be described.

【００５０】図４は、駆動源として本実施の形態の２軸
回転駆動装置を用いた基板搬送用アーム機構の構成の一
例を示す側断面図である。FIG. 4 is a side sectional view showing an example of the configuration of a substrate transfer arm mechanism using the two-axis rotary drive device of the present embodiment as a drive source.

【００５１】図示の基板搬送用アーム機構は、第１アー
ム４１と第２のアーム４２とを直列に連結することによ
り形成されている。第１のアーム４１の基端部は、第２
のシャフト２８の上端部に固定されている。この第１の
アーム４１の遊端部には、連結軸４３がベアリング４４
を介して回転自在に支持されている。この連結軸４３の
先端部には、第２のアーム４２の基端部が固定されてい
る。この第２のアーム４２の遊端部には、従動軸４５が
ベアリング４６を介して回転自在に支持されている。こ
の従動軸４５の先端部には、基板保持部４７が固定され
ている。The illustrated substrate transfer arm mechanism is formed by connecting a first arm 41 and a second arm 42 in series. The base end of the first arm 41 is
Is fixed to the upper end of the shaft 28. At the free end of the first arm 41, a connecting shaft 43 is provided with a bearing 44.
It is rotatably supported via. The proximal end of the second arm 42 is fixed to the distal end of the connecting shaft 43. A driven shaft 45 is rotatably supported at the free end of the second arm 42 via a bearing 46. A substrate holding portion 47 is fixed to a tip portion of the driven shaft 45.

【００５２】第１のシャフト２４の上端部には、固定プ
ーリ４８が同軸的に固定されている。連結軸４３の基端
部には、伝動プーリ４９が同軸的に設けられている。固
定プーリ４８と伝動プーリ４９との間には、ベルト５０
が巻き掛けられている。A fixed pulley 48 is coaxially fixed to the upper end of the first shaft 24. A transmission pulley 49 is provided coaxially at the base end of the connection shaft 43. A belt 50 is provided between the fixed pulley 48 and the transmission pulley 49.
Is wrapped around.

【００５３】第２のアーム４２の基端部には、遊動プー
リ５１が固定されている。この遊動プーリ５１は、連結
軸４３と同軸的に配設されている。また、この遊動プー
リ５１と連結軸４３との間には、ベアリング５２が挿入
されている。従動軸４５には、従動プーリ５３が設けら
れている。この従動プーリ５３と遊動プーリ５１との間
には、ベルト５４が巻き掛けられている。A floating pulley 51 is fixed to the base end of the second arm 42. The floating pulley 51 is disposed coaxially with the connecting shaft 43. A bearing 52 is inserted between the floating pulley 51 and the connecting shaft 43. The driven shaft 45 is provided with a driven pulley 53. A belt 54 is wound between the driven pulley 53 and the idle pulley 51.

【００５４】図５は、基板搬送用アーム機構を上方より
見た平面図である。図示のごとく、基板保持部４７は、
例えば、真空吸着によって基板Ｗを保持する基板保持部
材４７１を有する。この基板保持部材４７１は、支持部
材４７２を介して従動軸４５に支持されている。FIG. 5 is a plan view of the substrate transfer arm mechanism as viewed from above. As shown in the figure, the substrate holding unit 47
For example, it has a substrate holding member 471 that holds the substrate W by vacuum suction. The substrate holding member 471 is supported by the driven shaft 45 via a support member 472.

【００５５】図６は、第２のアーム４２の内部を上方か
ら見た平断面図である。図示のごとく、遊動プーリ５１
の径は、従動プーリ５３の径より小さくなるように設定
されている。この場合、遊動プーリ５１と従動プーリ５
３との回転比は、例えば、２：１に設定されている。な
お、図には示さないが、伝動プーリ４９と固定プーリ４
８との回転比も、２：１に設定されている。FIG. 6 is a plan sectional view of the inside of the second arm 42 as viewed from above. As shown, the floating pulley 51
Is set to be smaller than the diameter of the driven pulley 53. In this case, the idle pulley 51 and the driven pulley 5
The rotation ratio with 3 is set to, for example, 2: 1. Although not shown, the transmission pulley 49 and the fixed pulley 4
The rotation ratio with respect to 8 is also set to 2: 1.

【００５６】［１−３−２］動作 上記構成において、基板搬送動作を説明する。この基板
搬送動作としては、図７に示すように、基板Ｗを直線に
沿って搬送する直線搬送動作と、図８に示すように、基
板Ｗを円弧に沿って搬送する回転搬送動作とがある。[1-3-2] Operation The substrate transport operation in the above configuration will be described. The substrate transport operation includes a linear transport operation for transporting the substrate W along a straight line as shown in FIG. 7 and a rotary transport operation for transporting the substrate W along an arc as shown in FIG. .

【００５７】（１）直線搬送動作 まず、直線搬送動作を説明する。(1) Linear Transport Operation First, the linear transport operation will be described.

【００５８】図７（ａ）は、基板Ｗを搬送する前の待機
状態を示す。この状態では、アーム４１，４２は重なっ
た状態に設定されている。この状態で、基板Ｗを搬送す
る場合は、図７（ｂ）に示すように、第１のアーム４１
が、図中、反時計方向に回転駆動され、第２のアーム４
２が第１のアーム４１に対して時計方向に回転駆動さ
れ、基板保持部４７が、第２のアーム４２に対して反時
計方向に回転駆動される。FIG. 7A shows a standby state before the substrate W is transferred. In this state, the arms 41 and 42 are set in an overlapping state. When the substrate W is transported in this state, as shown in FIG.
Is driven to rotate counterclockwise in the figure, and the second arm 4
2 is driven to rotate clockwise with respect to the first arm 41, and the substrate holding unit 47 is driven to rotate counterclockwise with respect to the second arm 42.

【００５９】これにより、基板保持部４７は、待機位置
での姿勢を保持したまま、前方（図中、上方）へまっす
ぐ進む。その結果、基板Ｗが、待機位置での姿勢を保っ
たまま前方にまっすぐ搬送される。そして、図７（ｃ）
に示すように、第１のアーム４１が９０度回転駆動さ
れ、第２のアーム４２が第１のアーム４１に対して１８
０度回転駆動され、基板保持部４７が第２のアーム４２
に対して９０度回転駆動されることにより、基板Ｗの前
方への直線搬送が終了する。As a result, the substrate holder 47 advances straight forward (upward in the figure) while maintaining the posture at the standby position. As a result, the substrate W is transported straight forward while maintaining the posture at the standby position. Then, FIG. 7 (c)
As shown in the figure, the first arm 41 is driven to rotate 90 degrees, and the second arm 42 is moved 18 degrees with respect to the first arm 41.
The substrate holder 47 is driven to rotate by 0 degrees and the second arm 42
Is rotated by 90 degrees with respect to the substrate W, the straight transport of the substrate W forward is completed.

【００６０】図７（ｃ）に示す状態から基板Ｗを後方
（図中、下方）に直線搬送する場合は、今度は、第１の
アーム４１が時計方向に回転駆動され、第２のーム４２
が反時計方向に回転駆動され、基板保持部４７が時計方
向に回転駆動される。これにより、基板保持部４７は、
図７（ｃ）での姿勢を保持したまま、後方にまっすぐ退
く。これにより、基板Ｗは、図７（ｃ）での姿勢を保持
したまま、後方に直線搬送される。When the substrate W is linearly transported rearward (downward in the figure) from the state shown in FIG. 7C, the first arm 41 is driven to rotate clockwise, and the second arm 42
Is rotated counterclockwise, and the substrate holding unit 47 is driven clockwise. As a result, the substrate holding section 47
While keeping the posture in FIG. As a result, the substrate W is linearly transported backward while maintaining the posture in FIG. 7C.

【００６１】以上の動作を、図９を参照しながら、さら
に詳細に説明する。ここで、図９は、アーム４１，４２
と、プーリ４８，４９，５１，５３と、ベルト５０，５
４との回転を示す平面図である。The above operation will be described in more detail with reference to FIG. Here, FIG.
, Pulleys 48, 49, 51, 53 and belts 50, 5
FIG. 4 is a plan view showing rotation with FIG.

【００６２】基板Ｗを前方へ直線搬送する場合は、図４
に示す第１の駆動モータ２１が停止モードに設定され、
第２の駆動モータ２２が回転モードに設定される。この
場合、第２の駆動モータ２２の回転軸２２１は、上方か
ら見て反時計方向に回転駆動される。これにより、第１
のアーム４１が反時計方向に回転駆動される。When the substrate W is transported straight forward, FIG.
Is set to the stop mode,
The second drive motor 22 is set to the rotation mode. In this case, the rotation shaft 221 of the second drive motor 22 is driven to rotate counterclockwise when viewed from above. Thereby, the first
Arm 41 is driven to rotate counterclockwise.

【００６３】第１のアーム４１が反時計方向に回転駆動
されることにより、固定プーリ４８が、図９に示すよう
に、相対的に時計方向に回転駆動される。この回転は、
ベルト５０を介して伝動プーリ４９に伝達される。これ
により、伝動プーリ４９が時計方向に回転駆動される。
伝動プーリ４９が時計方向に回転駆動されることによ
り、第２のアーム４２も時計方向に回転駆動される。When the first arm 41 is driven to rotate counterclockwise, the fixed pulley 48 is driven to rotate relatively clockwise as shown in FIG. This rotation is
The power is transmitted to the transmission pulley 49 via the belt 50. Thereby, the transmission pulley 49 is driven to rotate clockwise.
When the transmission pulley 49 is driven to rotate clockwise, the second arm 42 is also driven to rotate clockwise.

【００６４】第２のアーム４２が時計方向に回転駆動さ
れることにより、遊動プーリ５１が相対的に反時計方向
に回転駆動される。この回転は、ベルト５４を介して従
動プーリ５３に伝達される。これにより、従動プーリ５
３は、反時計方向に回転駆動される。その結果、基板保
持部４７は反時計方向に回転駆動される。When the second arm 42 is driven to rotate clockwise, the floating pulley 51 is driven to rotate relatively counterclockwise. This rotation is transmitted to the driven pulley 53 via the belt 54. Thereby, the driven pulley 5
3 is driven to rotate counterclockwise. As a result, the substrate holding unit 47 is driven to rotate counterclockwise.

【００６５】この場合、固定プーリ４８と伝動プーリ４
９との回転比は、上記のごとく、１：２に設定されてい
る。これにより、図１０の略図に示すように、第１のア
ーム４１が角度αだけ回転すると、第２のアーム４２
は、第１のアーム４１に対して角度２αだけ回転する。In this case, the fixed pulley 48 and the transmission pulley 4
The rotation ratio with respect to 9 is set to 1: 2 as described above. As a result, as shown in the schematic diagram of FIG. 10, when the first arm 41 rotates by the angle α, the second arm 42
Rotates by an angle 2α with respect to the first arm 41.

【００６６】また、遊動プーリ５１と従動プーリ５３と
の回転比は、上記のごとく、２：１に設定されている。
これにより、図１０の略図に示すように、第２のアーム
４２が第１のアーム４１に対して角度２αだけ回転する
と、基板保持部４７が第２のアーム４２に対して角度α
だけ回転する。これにより、基板保持部４７は、待機位
置での姿勢を保持したまま、前方にまっすぐ進む。その
結果、基板Ｗが前方に直線搬送される。The rotation ratio between the idle pulley 51 and the driven pulley 53 is set to 2: 1 as described above.
Thereby, as shown in the schematic diagram of FIG. 10, when the second arm 42 rotates by the angle 2α with respect to the first arm 41, the substrate holding portion 47 moves the angle α with respect to the second arm 42.
Just rotate. As a result, the substrate holding unit 47 advances straight forward while maintaining the posture at the standby position. As a result, the substrate W is transported straight forward.

【００６７】基板Ｗを後方に直線搬送する場合も、第１
の駆動モータ２１が停止モードに設定され、第２の駆動
モータ２２が回転モードに設定される。但し、この場
合、第２の駆動モータ２２の回転軸２２１は、基板Ｗを
前方に直線搬送する場合とは逆に、上方から見て時計方
向に回転駆動される。これにより、第１のアーム４１が
時計方向に回転駆動される。When the substrate W is transported linearly backward, the first
Is set to the stop mode, and the second drive motor 22 is set to the rotation mode. However, in this case, the rotating shaft 221 of the second drive motor 22 is driven to rotate clockwise when viewed from above, contrary to the case where the substrate W is transported straight forward. Thus, the first arm 41 is driven to rotate clockwise.

【００６８】第１のアーム４１が時計方向に回転駆動さ
れることにより、固定プーリ４８が、相対的に反時計方
向に回転駆動される。これにより、伝動プーリ４９が反
時計方向に回転駆動される。その結果、第２のアーム４
２も反時計方向に回転駆動される。When the first arm 41 is driven to rotate clockwise, the fixed pulley 48 is driven to rotate relatively counterclockwise. Thereby, the transmission pulley 49 is driven to rotate counterclockwise. As a result, the second arm 4
2 is also driven to rotate counterclockwise.

【００６９】第２のアーム４２が反時計方向に回転駆動
されることにより、遊動プーリ５１が相対的に時計方向
に回転駆動される。これにより、従動プーリ５３は、時
計方向に回転駆動される。その結果、基板保持部４７が
時計方向に回転駆動される。これにより、基板保持部４
７は、前方を向いた姿勢を保持したまま、まっすぐ後退
する。When the second arm 42 is driven to rotate counterclockwise, the floating pulley 51 is driven to rotate relatively clockwise. As a result, the driven pulley 53 is driven to rotate clockwise. As a result, the substrate holding unit 47 is driven to rotate clockwise. Thereby, the substrate holding unit 4
7 retreats straight while keeping the posture facing forward.

【００７０】（２）回転搬送動作 次に、基板Ｗを円弧に沿って回転搬送する場合の動作を
説明する。(2) Rotary Transfer Operation Next, the operation when the substrate W is rotated and transferred along an arc will be described.

【００７１】回転搬送を開始する前は、基板搬送用アー
ム機構は、図８（ａ）に示すような状態にある。この状
態から、回転搬送を開始すると、第１のアーム４１は、
図８（ｂ）に示すように、例えば、上方から見て時計方
向に回転駆動される。これに対し、第２のアーム４２
は、第１のアーム４１に対して重なった姿勢を保持され
る。また、基板保持部４７は、第２のアーム４２に対し
て９０度傾いた姿勢を保持される。Before starting the rotation transfer, the substrate transfer arm mechanism is in a state as shown in FIG. When rotation conveyance is started from this state, the first arm 41
As shown in FIG. 8B, for example, it is driven to rotate clockwise when viewed from above. On the other hand, the second arm 42
Is held in an overlapping position with respect to the first arm 41. Further, the substrate holding unit 47 is held at a posture inclined by 90 degrees with respect to the second arm 42.

【００７２】これにより、基板搬送用アーム機構は、図
８（ａ）に示す状態を保ったまま、時計方向に回転駆動
される。その結果、基板Ｗが時計方向に回転搬送され
る。そして、図８（ｃ）に示すように、第１のアーム４
１が例えば９０度回転駆動された段階で回転搬送が終了
する。Thus, the substrate transfer arm mechanism is driven to rotate clockwise while maintaining the state shown in FIG. As a result, the substrate W is rotationally conveyed clockwise. Then, as shown in FIG. 8C, the first arm 4
Rotational conveyance is completed at the stage where 1 is rotated 90 degrees, for example.

【００７３】この状態から、基板Ｗを反時計方向に回転
搬送する場合は、第１のアーム４１が今度は反時計方向
に９０度回転駆動される。その結果、基板Ｗが反時計方
向に９０度回転搬送される。When the substrate W is rotated and conveyed in the counterclockwise direction from this state, the first arm 41 is rotated 90 degrees in the counterclockwise direction. As a result, the substrate W is rotated and conveyed 90 degrees counterclockwise.

【００７４】以上の動作を図４を参照しながらさらに詳
細に説明する。The above operation will be described in more detail with reference to FIG.

【００７５】基板Ｗを時計方向に回転搬送する場合は、
第１の駆動モータ２１が回転モードに設定され、第２の
駆動モータ２２が停止モードに設定される。この場合、
第１の駆動モータ２１の回転軸２１１は、時計方向に回
転駆動される。これにより、第１のシャフト２４が時計
方向に回転駆動される。When transporting the substrate W in a clockwise direction,
The first drive motor 21 is set to the rotation mode, and the second drive motor 22 is set to the stop mode. in this case,
The rotation shaft 211 of the first drive motor 21 is driven to rotate clockwise. Thus, the first shaft 24 is driven to rotate clockwise.

【００７６】第２の駆動モータ２２が停止モードに設定
されることにより、直線搬送動作がロックされる。これ
により、第１の駆動モータ２１の駆動は、アーム４１，
４２がロックされた状態での回転駆動となる。その結
果、アーム４１、４２は、重なった状態を保持しなが
ら、時計方向に回転駆動される。これにより、基板Ｗ
は、時計方向に回転搬送される。When the second drive motor 22 is set to the stop mode, the linear transport operation is locked. Thus, the driving of the first drive motor 21 is controlled by the arms 41,
The rotation is performed in a state where 42 is locked. As a result, the arms 41 and 42 are driven to rotate clockwise while maintaining the overlapping state. Thereby, the substrate W
Is conveyed in a clockwise direction.

【００７７】なお、詳細な説明を省略するが、基板Ｗを
反時計方向に回転搬送する場合も、第１，第２の駆動モ
ータ２１，２２の回転軸２１１，２２１が同期駆動され
る。但し、この場合、これらは、今度は、反時計方向に
回転駆動される。Although the detailed description is omitted, the rotating shafts 211 and 221 of the first and second drive motors 21 and 22 are also driven synchronously when the substrate W is rotated and conveyed counterclockwise. However, in this case, they are now driven to rotate counterclockwise.

【００７８】［１−３］効果 以上詳述した本実施の形態によれば、次のような効果を
得ることができる。[1-3] Effects According to the present embodiment described in detail above, the following effects can be obtained.

【００７９】（１）まず、本実施の形態によれば、第２
の駆動モータ２２の配線２２３を収容するための配線収
容部３０を設けるようにしたので、第２の駆動モータ２
２が第１の駆動モータ２１によって回転駆動されること
により、第２の駆動モータ２２の配線２２３が他の構成
部品に絡んだり、擦れたりして、この配線２２３が摩耗
したり、断線したりすることを防止することができる。(1) First, according to the present embodiment, the second
Since the wiring accommodating portion 30 for accommodating the wiring 223 of the second drive motor 22 is provided, the second drive motor 2
2 is rotationally driven by the first drive motor 21, the wiring 223 of the second drive motor 22 is entangled or rubbed with other components, and the wiring 223 is worn or disconnected. Can be prevented.

【００８０】これを、図１１及び図１２を参照しながら
説明する。図１１は、配線収容部３０を設けない場合の
２軸回転駆動装置の構成を示す側断面図であり、図１２
は、同じく平断面図である。This will be described with reference to FIGS. 11 and 12. FIG. 11 is a side sectional view showing a configuration of a two-axis rotary driving device in a case where the wiring housing portion 30 is not provided.
FIG.

【００８１】第２の駆動モータ２２を第１の駆動モータ
２１で回転駆動する構成の場合、第２の駆動モータ２２
の駆動部２２２の回転を許容するために、この駆動部２
２２に接続された配線２２３を、第２の駆動モータ２２
を回転駆動しない構成に比べ長くする必要がある。When the second drive motor 22 is driven to rotate by the first drive motor 21, the second drive motor 22
In order to allow the rotation of the drive unit 222, the drive unit 2
The wiring 223 connected to the second drive motor 22
Needs to be longer than the configuration in which the rotation is not driven.

【００８２】しかしながら、配線２２３を長くすると、
この配線２２３が第２の駆動モータ２２の駆動部２２２
の回転に伴って他の構成部品３１と絡んだり、擦れたり
して摩耗したり、断線したりすることがある。However, when the length of the wiring 223 is increased,
This wiring 223 serves as a driving unit 222 of the second driving motor 22.
With the rotation of, there is a case where the component may be entangled with other components 31, rubbed, worn, or disconnected.

【００８３】これに対し、本実施の形態では、図１に示
すごとく、配線２２３を収容する配線収容部３０を設け
るようにしたので、配線２２３が長くても、他の構成部
品３１と絡んだり、擦れたりして、摩耗したり、断線し
たりすることはない。On the other hand, in the present embodiment, as shown in FIG. 1, the wiring accommodating portion 30 for accommodating the wiring 223 is provided, so that even if the wiring 223 is long, It does not rub, wear or break.

【００８４】（２）また、本実施の形態によれば、第２
の駆動モータ２２の配線２２３をモータ収容部２４１の
外面に巻回するようにしたので、配線収容部３０の配線
収容空間３０２を狭くすることができる。これにより、
配線収容部３０を設けることによる装置の大型化を抑制
することができる。(2) According to the present embodiment, the second
Since the wiring 223 of the drive motor 22 is wound around the outer surface of the motor housing 241, the wiring housing space 302 of the wiring housing 30 can be narrowed. This allows
It is possible to suppress an increase in the size of the device due to the provision of the wiring housing portion 30.

【００８５】（３）また、本実施の形態によれば、第２
の駆動モータ２２の配線２２３をモータ収容部２４１の
外面に巻回するようにしたので、第２の駆動モータ２２
の回転に伴う配線２２３の動きを規則正しいものにする
ことができる。これにより、第２の駆動モータ２２の回
転に伴ってその配線２２３自身が絡んで断線したりして
しまうことを防止することができる。(3) According to the present embodiment, the second
Since the wiring 223 of the drive motor 22 is wound around the outer surface of the motor housing portion 241, the second drive motor 22
The movement of the wiring 223 associated with the rotation of the line can be made regular. Accordingly, it is possible to prevent the wiring 223 itself from being entangled and disconnected due to the rotation of the second drive motor 22.

【００８６】［２］第２の実施の形態 図１３は、本発明の第２の実施の形態の構成を示す側断
面図である。なお、図１３において、先の図１とほぼ同
じ機能を果たす部分には、同一符号を付して詳細な説明
を省略する。[2] Second Embodiment FIG. 13 is a side sectional view showing a configuration of a second embodiment of the present invention. In FIG. 13, portions that perform substantially the same functions as those in FIG. 1 are given the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.

【００８７】先の第１の実施の形態では、第２の駆動モ
ータ２２の配線２２３を第１のシャフト２４のモータ収
容部２４１の外面に巻回する場合を説明した。これに対
し、本実施の形態では、図１３に示すように、第１のシ
ャフト２４の下方被軸受け部２４２を軸方向に延長し、
この下方被軸受け部２４２の外面に巻回するようにした
ものである。In the first embodiment, the case where the wiring 223 of the second drive motor 22 is wound around the outer surface of the motor housing 241 of the first shaft 24 has been described. On the other hand, in the present embodiment, as shown in FIG. 13, the lower supported portion 242 of the first shaft 24 is extended in the axial direction,
The lower bearing portion 242 is wound around the outer surface.

【００８８】このような構成によれば、先の実施の形態
より、配線収容部３０の円柱状の配線収容空間３０２の
径を小さくすることができる。これにより、先の実施の
形態より、配線収容部３０を設けることによる装置の大
型化を抑制することができる。According to such a configuration, the diameter of the columnar wiring accommodating space 302 of the wiring accommodating section 30 can be made smaller than in the previous embodiment. This can suppress an increase in the size of the device due to the provision of the wiring housing portion 30 as compared with the above embodiment.

【００８９】また、このような構成によれば、装置を組
み立てた後、第２の駆動モータ２２の調整等が必要な場
合に容易に対処することができる。Further, according to such a configuration, it is possible to easily cope with a case where adjustment of the second drive motor 22 or the like is necessary after assembling the apparatus.

【００９０】［３］第３の実施の形態 図１４は、本発明の第３の実施の形態の構成を示す側断
面図である。なお、図１４において、先の図１とほぼ同
じ機能を果たす部分には、同一符号を付して詳細な説明
を省略する。[3] Third Embodiment FIG. 14 is a side sectional view showing a configuration of a third embodiment of the present invention. In FIG. 14, portions that perform substantially the same functions as those in FIG. 1 are given the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.

【００９１】先の実施の形態では、第１の駆動モータ２
１の回転軸２１１に第１のシャフト２４を連結し、この
第１のシャフト２４に第２の駆動モータ２２を取り付け
る場合を説明した。これに対し、本実施の形態は、第１
のシャフト２４を省略し、第１の駆動モータ２１の回転
軸２１１に第２の駆動モータ２２を取り付けるようにし
たものである。In the above embodiment, the first drive motor 2
The case where the first shaft 24 is connected to the first rotating shaft 211 and the second drive motor 22 is attached to the first shaft 24 has been described. On the other hand, in the present embodiment, the first
Is omitted, and the second drive motor 22 is attached to the rotating shaft 211 of the first drive motor 21.

【００９２】また、先の実施の形態では、第１のシャフ
ト２４に第２の駆動モータ２２を収容するモータ収容部
２４１を設け、このモータ収容部２４１に第２の駆動モ
ータ２２を収容することにより、この第２の駆動モータ
２２を第１のシャフト２４に取り付ける場合を説明し
た。これに対し、本実施の形態では、第１の駆動モータ
２１の回転軸２１１にモータ収容部２４１のようなもの
を設けることなく、第２の駆動モータ２２を例えばモー
タ取付け部材３２を介して回転軸２１１に取り付けるよ
うにしたものである。この場合、第１の駆動モータ２１
の回転駆動出力は、第１の実施の形態のように、第２の
駆動モータ２２の上方ではなく、下方から取り出され
る。すなわち、第１の駆動モータ２１の回転軸２１１か
ら取り出される。In the above embodiment, the first shaft 24 is provided with the motor accommodating portion 241 for accommodating the second drive motor 22, and the motor accommodating portion 241 is adapted to accommodate the second drive motor 22. Thus, the case where the second drive motor 22 is attached to the first shaft 24 has been described. On the other hand, in the present embodiment, the second drive motor 22 is rotated via, for example, the motor mounting member 32 without providing the rotation shaft 211 of the first drive motor 21 with a motor housing 241 or the like. It is designed to be attached to a shaft 211. In this case, the first drive motor 21
Is taken from below, not above, the second drive motor 22, as in the first embodiment. That is, it is taken out from the rotating shaft 211 of the first drive motor 21.

【００９３】また、先の実施の形態では、第２の駆動モ
ータ２２の配線２２３の巻回部をモータ収容部２４１や
下方被軸受け部２４２のように、第２の駆動モータ２２
の駆動部２２２以外の部分に設定する場合を説明した。
これに対し、本実施の形態は、配線２２３の巻回部を第
２の駆動モータ２２の駆動部２２２に設定するようにし
たものである。Further, in the above embodiment, the winding portion of the wiring 223 of the second drive motor 22 is formed by the second drive motor 22 such as the motor housing portion 241 or the lower bearing portion 242.
The case where the setting is made to a portion other than the driving section 222 has been described.
On the other hand, in the present embodiment, the winding part of the wiring 223 is set to the driving part 222 of the second driving motor 22.

【００９４】以上詳述した本実施の形態によれば、先の
実施の形態より、装置を小型化することができる。According to the present embodiment described in detail above, the size of the apparatus can be reduced as compared with the previous embodiment.

【００９５】なお、以上の説明では、第１のシャフト２
４を省略する場合を説明した。しかし、本実施の形態で
は、例えば、下方被軸受け部２４２と連結部２４３のみ
を有するようなシャフトを第１のシャフト２４として残
し、このシャフト２４に第２の駆動モータ２２を取り付
けるようにしてもよい。In the above description, the first shaft 2
4 has been described. However, in the present embodiment, for example, a shaft having only the lower bearing portion 242 and the connecting portion 243 is left as the first shaft 24, and the second drive motor 22 is attached to the shaft 24. Good.

【００９６】また、以上の説明では、第２の駆動モータ
２２の配線２２３を駆動部２２２に巻回する場合を説明
した。しかしながら、本実施の形態では、第１の駆動モ
ータ２１の回転軸２１１や上述したような下方被軸受け
部２４２と連結部２４３のみを有するようなシャフト２
４に巻回するようにしてもよい。In the above description, the case where the wiring 223 of the second drive motor 22 is wound around the drive section 222 has been described. However, in the present embodiment, the shaft 2 having only the rotating shaft 211 of the first drive motor 21 and the lower bearing portion 242 and the connecting portion 243 as described above.
4 may be wound.

【００９７】［４］その他の実施の形態 以上、本発明の３つの実施の形態を詳細に説明したが、
本発明は、上述したような実施の形態に限定されるもの
ではない。[4] Other Embodiments The three embodiments of the present invention have been described in detail above.
The present invention is not limited to the embodiments described above.

【００９８】（１）例えば、先の実施の形態では、正側
の配線と負側の配線を一緒に巻回する場合を説明した。
しかしながら、本発明は、各配線ごとに巻回部を設け、
各配線を対応する巻回部に独立に巻回するようにしても
よい。このような構成によれば、２つの配線を異なる領
域に巻回することができるので、先の実施の形態より、
配線同志の絡みを低減することができる。(1) For example, in the above embodiment, the case where the positive wiring and the negative wiring are wound together has been described.
However, the present invention provides a winding portion for each wiring,
Each wiring may be independently wound around the corresponding winding portion. According to such a configuration, the two wirings can be wound around different regions.
The entanglement between wirings can be reduced.

【００９９】（２）また、先の第２の実施の形態では、
第２の駆動モータ２２の配線２２３を第１のシャフト２
４の下方被軸受け部２４２の外面に巻回する場合を説明
した。しかしながら、本発明では、例えば、第１のシャ
フト２４の上方被軸受け部２４４を軸方向に延長し、こ
の上方被軸受け部２４４の外面に巻回するようにしても
よい。(2) In the second embodiment,
The wiring 223 of the second drive motor 22 is connected to the first shaft 2
4 has been described around the outer surface of the lower bearing portion 242. However, in the present invention, for example, the upper bearing portion 244 of the first shaft 24 may be extended in the axial direction and wound around the outer surface of the upper bearing portion 244.

【０１００】（３）また、先の実施の形態では、第２の
駆動モータ２２の配線２２３の巻回部をモータ収容部２
４１、下方被軸受け部２４２、または第２の駆動モータ
２２の駆動部２２２に設定する場合を説明した。しかし
ながら、本発明は、上方被軸受け部２４４に設定するよ
うにしてもよい。要は、本発明は、第１の駆動モータ２
１の回転軸２１１と同軸的な軸を中心軸とする部分に設
定するのであればよい。(3) In the above embodiment, the winding portion of the wiring 223 of the second drive motor 22 is
41, the case where the lower bearing unit 242 or the drive unit 222 of the second drive motor 22 is set. However, in the present invention, the upper bearing portion 244 may be set. In short, the present invention provides the first drive motor 2
What is necessary is just to set to the part which makes the axis coaxial with one rotation shaft 211 a central axis.

【０１０１】（４）また、先の実施の形態では、第２の
駆動モータ２２を回転駆動する回転駆動手段として、第
１の駆動モータ２１と第１のシャフト２４とを備えた手
段を用いる場合を説明した。しかしながら、本発明は、
例えば、第１の駆動モータ２１だけを備えた手段を用い
るようにしてもよい。また、本発明は、第１の駆動モー
タ２１と、第１のシャフト２４と、第１の駆動モータ２
１の回転駆動出力をシャフト２４に伝える回転伝達装置
（例えば、プーリやベルト等からなる装置）とを備えた
手段を用いるようにしてもよい。(4) In the above embodiment, the case where the means provided with the first drive motor 21 and the first shaft 24 is used as the rotation drive means for rotating the second drive motor 22 is used. Was explained. However, the present invention
For example, a unit having only the first drive motor 21 may be used. In addition, the present invention relates to a first drive motor 21, a first shaft 24, and a first drive motor 2.
Means provided with a rotation transmitting device (for example, a device including a pulley, a belt, and the like) for transmitting one rotation drive output to the shaft 24 may be used.

【０１０２】（５）このほかにも、本発明は、その要旨
を逸脱しない範囲で種々様々変形実施可能なことは勿論
である。(5) In addition, it goes without saying that the present invention can be variously modified and implemented without departing from the scope of the invention.

【０１０３】[0103]

【発明の効果】以上詳述したように請求項１記載の２軸
回転駆動装置によれば、駆動モータの配線を収容するた
めの配線収容手段を設けるようにしたので、駆動モータ
が回転駆動手段によって回転駆動されることにより、駆
動モータの配線が他の構成備品に絡んだり、擦れたりし
て、摩耗したり、断線したりすることを防止することが
できる。As described above in detail, according to the two-axis rotary driving device of the first aspect, since the wiring accommodating means for accommodating the wiring of the driving motor is provided, the driving motor is driven by the rotary driving means. As a result, it is possible to prevent the wiring of the drive motor from being entangled with other components, rubbed, worn, or disconnected.

【０１０４】また、請求項１記載の２軸回転駆動装置に
よれば、駆動モータの配線を第１の回転軸と同軸的な軸
を中心軸とする所定の巻回部に巻回するようにしたの
で、配線収容空間を狭くすることができる。これによ
り、配線収容手段を設けることによる装置の大型化を抑
制することができる。Further, according to the two-axis rotary driving device of the first aspect, the wiring of the driving motor is wound around a predetermined winding part having a central axis coaxial with the first rotary shaft. Therefore, the wiring accommodation space can be reduced. This can suppress an increase in the size of the device due to the provision of the wiring housing means.

【０１０５】また、請求項１記載の２軸回転駆動装置に
よれば、駆動モータの配線を第１の回転軸と同軸的な軸
を中心軸とする所定の巻回部に巻回するようにしたの
で、駆動モータの回転に伴う配線の動きを規則正しいも
のにすることができる。これにより、駆動モータの回転
に伴って配線自身が絡んで断線等が生じてしまうことを
防止することができる。Further, according to the two-axis rotary driving device of the first aspect, the wiring of the driving motor is wound around a predetermined winding portion having a central axis coaxial with the first rotary shaft. Therefore, the movement of the wiring accompanying the rotation of the drive motor can be made regular. Thus, it is possible to prevent the wiring itself from being entangled with the rotation of the drive motor, thereby preventing disconnection or the like.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】本発明の第１の実施の形態の構成を示す側断面
図である。FIG. 1 is a side sectional view showing a configuration of a first exemplary embodiment of the present invention.

【図２】本発明の第１の実施の形態の構成を示す側断面
図である。FIG. 2 is a side sectional view showing a configuration of the first exemplary embodiment of the present invention.

【図３】本発明の第１の実施の形態の構成を示す平断面
図である。FIG. 3 is a plan sectional view showing the configuration of the first exemplary embodiment of the present invention.

【図４】本発明の第１の実施の形態を駆動源とする２軸
回転駆動装置の構成の一例を示す側断面図である。FIG. 4 is a side sectional view showing an example of a configuration of a two-axis rotary driving device using the first embodiment of the present invention as a driving source.

【図５】本発明の第１の実施の形態を駆動源とする２軸
回転駆動装置の構成の一例を示す平面図である。FIG. 5 is a plan view showing an example of a configuration of a two-axis rotary driving device using the first embodiment of the present invention as a driving source.

【図６】本発明の第１の実施の形態を駆動源とする２軸
回転駆動装置の構成の一例を示す平断面図である。FIG. 6 is a plan sectional view showing an example of a configuration of a two-axis rotary driving device using the first embodiment of the present invention as a driving source.

【図７】本発明の第１の実施の形態を駆動源とする２軸
回転駆動装置による基板の直線搬送動作を説明するため
のシーケンス図である。FIG. 7 is a sequence diagram illustrating a linear transport operation of the substrate by the two-axis rotary driving device using the first embodiment of the present invention as a driving source.

【図８】本発明の第１の実施の形態を駆動源とする２軸
回転駆動装置による基板の回転搬送動作を説明するため
のシーケンス図である。FIG. 8 is a sequence diagram for explaining a substrate rotational transfer operation by a two-axis rotary drive device using the first embodiment of the present invention as a drive source.

【図９】本発明の第１の実施の形態を駆動源とする２軸
回転駆動装置による基板の直線搬送動作を説明するため
の平面図である。FIG. 9 is a plan view for explaining a linear transport operation of a substrate by a two-axis rotary driving device using the first embodiment of the present invention as a driving source.

【図１０】本発明の第１の実施の形態を駆動源とする２
軸回転駆動装置による基板の直線搬送動作を説明するた
めの略図である。FIG. 10 shows a second embodiment in which the first embodiment of the present invention is used as a driving source.
5 is a schematic diagram for explaining a linear transfer operation of a substrate by a shaft rotation driving device.

【図１１】本発明の第１の実施の形態の効果を説明する
ための側断面図である。FIG. 11 is a side sectional view for explaining effects of the first embodiment of the present invention.

【図１２】本発明の第１の実施の形態の効果を説明する
ための平断面図である。FIG. 12 is a plan sectional view for explaining effects of the first embodiment of the present invention.

【図１３】本発明の第２の実施の形態の構成を示す側断
面図である。FIG. 13 is a side sectional view showing a configuration of a second exemplary embodiment of the present invention.

【図１４】本発明の第３の実施の形態の構成を示す側断
面図である。FIG. 14 is a side sectional view showing a configuration of a third exemplary embodiment of the present invention.

【図１５】従来の２軸回転駆動装置の構成を示す側断面
図である。FIG. 15 is a side sectional view showing a configuration of a conventional two-axis rotary driving device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

２１…第１駆動モータ、２１１…回転軸、２１２…駆動
部、２２…第２の駆動モータ、２２１…回転軸、２２２
…駆動部、２２３…配線、２３…カップリング、２４…
第１のシャフト、２４１…モータ収容部、２４１ａ…配
線取出し孔、２４２…下方被軸受け部、２４３…連結
部、２４４…上方被軸受け部、２５，２６…ベアリン
グ、２７…カップリング、２８…第２のシャフト、２９
…ベアリング、３０…配線収容部、３０１…配線取出し
孔、３０２…配線収容空間、３１…他の構成部品、３２
…モータ取付け部材、４１…第１のアーム、４２…第２
のアーム、４３…連結軸、４４…ベアリング、４５…従
動軸、４６…ベアリング、４７…基板保持部、４７１…
基板保持部材、４７２…支持部材、４８…固定プーリ、
４９…伝動プーリ、５０…ベルト、５１…遊動プーリ、
５２…ベアリング、５３…従動プーリ、５４…ベルト。Reference numeral 21: first drive motor, 211: rotary shaft, 212: drive unit, 22: second drive motor, 221: rotary shaft, 222
… Drive unit, 223… Wiring, 23… Coupling, 24…
1st shaft, 241, motor accommodation section, 241a, wiring extraction hole, 242, lower bearing section, 243 ... coupling section, 244 ... upper bearing section, 25, 26 ... bearing, 27 ... coupling, 28 ... 2 shafts, 29
... Bearing, 30 ... Wiring accommodating part, 301 ... Wiring extraction hole, 302 ... Wiring accommodating space, 31 ... Other component parts, 32
... Motor mounting member, 41 ... First arm, 42 ... Second
Arm 43, connecting shaft 44, bearing 45, driven shaft 46, bearing 47 board holding part 471
Substrate holding member, 472: support member, 48: fixed pulley,
49: transmission pulley, 50: belt, 51: floating pulley,
52: bearing, 53: driven pulley, 54: belt.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 同軸的に配設された２つの回転軸を有す
る２軸回転駆動装置において、 回転駆動手段と、駆動モータと、配線収容手段とを備
え、 前記回転駆動手段が、第１の回転軸と、この第１の回転
軸を第１の方向とこの第１の方向とは反対の第２の方向
とに回転駆動する第１の駆動部とを有し、 前記駆動モータが、第２の回転軸と、この第２の回転軸
を回転駆動する第２の駆動部と、この第２の駆動部に駆
動信号を供給する配線とを有し、 前記第２の駆動部が、前記第２の回転軸が前記第１の回
転軸と同軸的に配設されるように前記第１の回転軸に取
り付けられ、 前記配線が、前記第１の回転軸が前記第１の方向に回転
駆動される場合は、前記第１の回転軸と同軸的な軸を中
心軸とする所定の巻回部に巻回され、前記第２の方向に
回転駆動される場合は、この巻回状態を解除され、 前記配線収容手段が、前記駆動モータの配線を所定の空
間に収めるように構成されていることを特徴とする２軸
回転駆動装置。1. A two-axis rotary drive device having two rotary shafts coaxially arranged, comprising: a rotary drive unit, a drive motor, and a wiring housing unit, wherein the rotary drive unit is a first rotary drive unit. A first driving unit that rotationally drives the first rotating shaft in a first direction and a second direction opposite to the first direction; and 2 rotary shafts, a second drive unit for rotating and driving the second rotary shafts, and a wiring for supplying a drive signal to the second drive units, wherein the second drive unit includes: The wiring is attached to the first rotating shaft so that the second rotating shaft is disposed coaxially with the first rotating shaft, and the wiring rotates the first rotating shaft in the first direction. When driven, it is wound around a predetermined winding portion having a central axis coaxial with the first rotation axis, and is rotated in the second direction. When moving, the winding is released state, the wiring capacity means, wiring biaxial rotational driving apparatus, wherein a is configured to fit in a predetermined space of the drive motor.