JPH11203996A - Vacuum valve - Google Patents
Vacuum valveInfo
- Publication number
- JPH11203996A JPH11203996A JP508598A JP508598A JPH11203996A JP H11203996 A JPH11203996 A JP H11203996A JP 508598 A JP508598 A JP 508598A JP 508598 A JP508598 A JP 508598A JP H11203996 A JPH11203996 A JP H11203996A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum valve
- insulating
- material film
- insulating cylinder
- end plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
- H01H33/00—High-tension or heavy-current switches with arc-extinguishing or arc-preventing means
- H01H33/60—Switches wherein the means for extinguishing or preventing the arc do not include separate means for obtaining or increasing flow of arc-extinguishing fluid
- H01H33/66—Vacuum switches
- H01H33/662—Housings or protective screens
- H01H33/66207—Specific housing details, e.g. sealing, soldering or brazing
- H01H2033/66215—Details relating to the soldering or brazing of vacuum switch housings
Landscapes
- High-Tension Arc-Extinguishing Switches Without Spraying Means (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、真空バルブに関す
る。[0001] The present invention relates to a vacuum valve.
【０００２】[0002]
【従来の技術】周知のように、真空遮断器に用いる真空
バルブは、約１０-2Ｐａ以下の高真空中で１対の接点を
開離することにより、真空の持つ優れた消弧性、絶縁性
を利用して電流遮断を行うものである。図１２にその代
表的な構造を示す真空バルブは、一般にセラミックスよ
りなる絶縁円筒１が中間リング２を介して連結され円筒
容器を形成し、この円筒容器の両端開口がシールリング
３を介して固定側端板４及び可動側端板５でそれぞれ密
封され、気密な容器を構成している。固定側端板４に
は、固定軸６が貫通固定され、この固定軸６は固定電極
７に連結されている。固定電極７と対向して可動電極８
が、図示しない操作機構に連結された可動軸９に連結さ
れている。また、固定電極７と可動電極８が対向する側
には、真空遮断器の用途に応じて種々の合金材料からな
る接点１０がそれぞれの電極７，８に貼設されている。
一方、可動軸９と可動側端板５の中央開口部はベローズ
１１により気密に連結され、これにより真空バルブ内の
真空を保持しつつ可動軸９を動作させることができるよ
うになっている。また、電流遮断時に接点１０及び電極
７，８から飛散する金属蒸気や金属溶融片が絶縁円筒１
の内面に付着し、沿面の絶縁性能が低下するのを防止す
るために、シールド１２がシールド取付金具１４を介し
て中間リング２に固設されている。2. Description of the Related Art As is well known, a vacuum valve used for a vacuum circuit breaker has a superior arc extinguishing property possessed by vacuum by opening a pair of contacts in a high vacuum of about 10 -2 Pa or less. The current is interrupted by using the insulating property. A vacuum valve whose typical structure is shown in FIG. 12 is such that an insulating cylinder 1 generally made of ceramics is connected via an intermediate ring 2 to form a cylindrical container, and both ends of the cylindrical container are fixed via a seal ring 3. The side end plate 4 and the movable end plate 5 are hermetically sealed to form an airtight container. A fixed shaft 6 is fixedly penetrated to the fixed side end plate 4, and the fixed shaft 6 is connected to a fixed electrode 7. The movable electrode 8 faces the fixed electrode 7
Are connected to a movable shaft 9 connected to an operation mechanism (not shown). On the side where the fixed electrode 7 and the movable electrode 8 face each other, contacts 10 made of various alloy materials are adhered to the respective electrodes 7, 8 according to the use of the vacuum circuit breaker.
On the other hand, the central opening of the movable shaft 9 and the movable side end plate 5 is air-tightly connected by a bellows 11, whereby the movable shaft 9 can be operated while maintaining the vacuum in the vacuum valve. In addition, when the current is interrupted, the metal vapor or metal flakes scattered from the contact 10 and the electrodes 7 and 8 may cause the insulating cylinder 1
A shield 12 is fixed to the intermediate ring 2 via a shield fitting 14 in order to prevent the adhesive 12 from adhering to the inner surface and lowering the insulation performance on the creeping surface.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】以上のような構成の真
空バルブの絶縁性能は、絶縁円筒１とシールリング３と
の接合部分の構成により左右される。図１３は、この接
合部分Ｘを拡大して示したものであるが、一般に、セラ
ミックスからなる絶縁円筒１と金属からなるシールリン
グ３を銀ろう付けにより接合するには、予め絶縁円筒１
の端面を金属化処理しておく必要がある。いわゆるメタ
ライズ処理であり、例えばアルミナセラミックスの場合
には、モリブデンとマンガンの微粉末を塗布しておいて
高温加熱し、拡散相を形成させ、その上にニッケルなど
の金属層をメッキにより形成するものである。然して、
絶縁円筒１の端面に形成されたメタライズ層１ａの端部
には、金属／絶縁物／絶縁媒体の３つの境界であるいわ
ゆるトリプルジャンクションＴが形成される。なお、真
空バルブの場合には絶縁媒体は真空である。真空バルブ
に高電圧が印加されると、トリプルジャンクションＴに
おける電界が極めて高くなるため、ここを起点として絶
縁円筒１の内面に沿った絶縁破壊が生ずることがある。The insulation performance of the above-structured vacuum valve depends on the structure of the joint between the insulating cylinder 1 and the seal ring 3. FIG. 13 is an enlarged view of the joining portion X. In general, in order to join the insulating cylinder 1 made of ceramics and the seal ring 3 made of metal by silver brazing, the insulating cylinder 1 must be in advance.
Must be metallized. In the case of alumina ceramics, for example, in the case of alumina ceramics, a fine powder of molybdenum and manganese is applied, heated at a high temperature to form a diffusion phase, and a metal layer such as nickel is formed thereon by plating. It is. However,
At the end of the metallized layer 1a formed on the end face of the insulating cylinder 1, a so-called triple junction T, which is a three boundary of metal / insulator / insulating medium, is formed. In the case of a vacuum valve, the insulating medium is vacuum. When a high voltage is applied to the vacuum valve, the electric field at the triple junction T becomes extremely high, so that dielectric breakdown along the inner surface of the insulating cylinder 1 may occur from this point.
【０００４】一方、真空バルブを真空遮断器に搭載する
場合、真空遮断器の接地フレームとの距離を小さくし、
真空遮断器の小型化を図る目的で、図１４に真空バルブ
の固定側半分を示すように、両端が異径の絶縁円筒１５
を用いて、真空バルブの中央部直径よりも端部直径を小
さくすることがある。同図において、Ａは真空バルブ中
央部と接地フレーム１６間の距離、Ｂは真空バルブ端部
と接地フレーム１６間の距離である。これは、真空バル
ブの固定側に電圧Ｖa が印加されたとき、浮遊電位にあ
るシールド１２の電位は一般に０．４Ｖa 〜０．４５Ｖ
a 程度になっているため、接地フレーム１６との絶縁距
離は、真空バルブ中央部分では短くて済むためである。
しかしながら、このような両端異径の絶縁円筒１５を用
いる場合には、真空バルブのコンディショニング処理で
問題が生ずる場合がある。コンディショニング処理と
は、真空バルブの製造工程において、真空バルブに過電
圧を印加し強制的に放電を繰り返すことにより、所期の
絶縁性能を得る処理のことである。しかしながら、この
コンディショニング処理において印加される過電圧によ
り、絶縁円筒１５が貫通絶縁破壊を生じ、真空バルブが
リークしてしまうことがある。一般に、セラミックスで
絶縁円筒１５を制作する場合には、原料粉末をプレス成
形したものを焼成するが、屈曲部があると均一な密度に
ならずに欠陥部分が形成されやすくなり、その部分での
絶縁破壊が生ずることがある。On the other hand, when a vacuum valve is mounted on a vacuum circuit breaker, the distance between the vacuum circuit breaker and a ground frame is reduced.
In order to reduce the size of the vacuum circuit breaker, as shown in FIG.
May be used to make the end diameter smaller than the center diameter of the vacuum valve. In the figure, A is the distance between the center of the vacuum valve and the ground frame 16, and B is the distance between the end of the vacuum valve and the ground frame 16. This is because when the voltage Va is applied to the fixed side of the vacuum valve, the potential of the shield 12 at the floating potential is generally 0.4 Va to 0.45 V
This is because the insulation distance from the grounding frame 16 can be short at the central portion of the vacuum valve because it is about a.
However, when such an insulating cylinder 15 having both ends having different diameters is used, a problem may occur in the conditioning process of the vacuum valve. The conditioning process is a process for obtaining an intended insulation performance by applying an overvoltage to the vacuum valve and forcibly repeating discharge in a vacuum valve manufacturing process. However, an overvoltage applied in the conditioning process may cause a dielectric breakdown of the insulating cylinder 15 and leak the vacuum valve. In general, when the insulating cylinder 15 is made of ceramics, a material obtained by press-molding the raw material powder is fired. However, if there is a bent portion, the density is not uniform, and a defective portion is easily formed. Insulation breakdown may occur.
【０００５】本発明は、上記に鑑みてなされたもので、
絶縁破壊の起点となる高電界トリプルジャンクションの
形成を回避し、また中央部直径よりも端部直径を小さく
した真空バルブにおいては高電圧コンディショニング処
理を可能として、優れた絶縁性能を有し、信頼性の高い
真空バルブを提供することを目的とする。[0005] The present invention has been made in view of the above,
Avoids the formation of high electric field triple junctions, which are the starting points of dielectric breakdown.Vacuum valves with smaller end diameters than central diameters can perform high-voltage conditioning to provide excellent insulation performance and reliability. It is an object of the present invention to provide a vacuum valve having a high pressure.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項１記載の発明は、絶縁円筒の両端開口にそれ
ぞれ金属製のシールリングを介して端板を接合した真空
容器内に、接離自在の１対の電極を配設した真空バルブ
において、前記絶縁円筒と誘電率が略同じ絶縁材料膜
を、前記絶縁円筒の端部を覆うように前記シールリング
の内面に形成してなることを要旨とする。この構成によ
り、真空バルブ内部の沿面絶縁距離が増大するとともに
絶縁円筒の端部に高電界トリプルジャンクションの形成
が回避される。In order to solve the above-mentioned problems, the invention according to the first aspect of the present invention is directed to a vacuum vessel in which end plates are joined to both ends of an insulating cylinder via metal seal rings, respectively. In a vacuum valve provided with a pair of electrodes which can be freely contacted and separated, an insulating material film having substantially the same dielectric constant as the insulating cylinder is formed on an inner surface of the seal ring so as to cover an end of the insulating cylinder. That is the gist. This configuration increases the creepage insulation distance inside the vacuum valve and avoids the formation of a high electric field triple junction at the end of the insulating cylinder.
【０００７】請求項２記載の発明は、上記請求項１記載
の真空バルブにおいて、前記絶縁材料膜の端部は、前記
端板と前記シールリングとの接合部近傍に形成してなる
ことを要旨とする。この構成により、絶縁材料膜の端部
に形成されるトリプルジャンクションの電界が低減され
る。According to a second aspect of the present invention, in the vacuum valve according to the first aspect, an end of the insulating material film is formed near a joint between the end plate and the seal ring. And With this configuration, the electric field of the triple junction formed at the end of the insulating material film is reduced.
【０００８】請求項３記載の発明は、上記請求項２記載
の真空バルブにおいて、前記シールリングは、前記端板
との接合部近傍において径大部を有し、この径大部内面
に前記絶縁材料膜の端部を形成してなることを要旨とす
る。この構成により、絶縁材料膜の端部に形成されるト
リプルジャンクションの電界を大幅に低減することが可
能となる。According to a third aspect of the present invention, in the vacuum valve according to the second aspect, the seal ring has a large-diameter portion near a joint with the end plate, and the inner surface of the large-diameter portion has the insulating member. The gist is to form the end of the material film. With this configuration, the electric field of the triple junction formed at the end of the insulating material film can be significantly reduced.
【０００９】請求項４記載の発明は、絶縁円筒の両端開
口にそれぞれ金属製のシールリングを介して端板を接合
した真空容器内に、接離自在の１対の電極を配設した真
空バルブにおいて、前記絶縁円筒と誘電率が略同じ絶縁
材料膜を、前記絶縁円筒の端部を覆うように前記シール
リングの内面から前記端板の内面にわたって形成してな
ることを要旨とする。この構成により、真空バルブ内部
の沿面絶縁距離が大幅に増大するとともに絶縁円筒の端
部に高電界トリプルジャンクションの形成が回避され
る。A fourth aspect of the present invention is a vacuum valve in which a pair of electrodes that can be freely contacted and separated is disposed in a vacuum vessel in which end plates are joined to both ends of an insulating cylinder via metal seal rings. In the invention, an insulating material film having a dielectric constant substantially the same as that of the insulating cylinder is formed from the inner surface of the seal ring to the inner surface of the end plate so as to cover an end of the insulating cylinder. This configuration greatly increases the creepage insulation distance inside the vacuum valve and avoids the formation of a high electric field triple junction at the end of the insulating cylinder.
【００１０】請求項５記載の発明は、上記請求項４記載
の真空バルブにおいて、前記端板は固定側端板であり、
前記絶縁材料膜の端部は、前記固定側端板と固定軸との
接合部近傍に形成してなることを要旨とする。この構成
により、絶縁材料膜の端部に形成されるトリプルジャン
クションの電界が緩和される。According to a fifth aspect of the present invention, in the vacuum valve according to the fourth aspect, the end plate is a fixed end plate.
The end of the insulating material film is formed in the vicinity of a joint between the fixed end plate and the fixed shaft. With this configuration, the electric field of the triple junction formed at the end of the insulating material film is reduced.
【００１１】請求項６記載の発明は、上記請求項５記載
の真空バルブにおいて、前記固定軸は、前記固定側端板
近傍で径大部分を有することを要旨とする。この構成に
より、絶縁材料膜の端部に形成されるトリプルジャンク
ションの電界がさらに緩和される。According to a sixth aspect of the present invention, in the vacuum valve of the fifth aspect, the fixed shaft has a large diameter portion near the fixed end plate. With this configuration, the electric field of the triple junction formed at the end of the insulating material film is further reduced.
【００１２】請求項７記載の発明は、上記請求項４記載
の真空バルブにおいて、前記端板は可動側端板であり、
この可動側端板と可動軸とを気密に連結するベローズ
は、その径小部で前記可動側端板に接合され、且つ前記
絶縁材料膜の端部径は前記ベローズの外径よりも小径に
形成してなることを要旨とする。この構成により、絶縁
材料膜の端部に形成されるトリプルジャンクションの電
界をほぼゼロにすることが可能となる。According to a seventh aspect of the present invention, in the vacuum valve according to the fourth aspect, the end plate is a movable end plate.
The bellows that hermetically connects the movable side end plate and the movable shaft is joined to the movable side end plate at a small diameter portion, and the end diameter of the insulating material film is smaller than the outer diameter of the bellows. The gist is to form it. With this configuration, the electric field of the triple junction formed at the end of the insulating material film can be made substantially zero.
【００１３】請求項８記載の発明は、絶縁円筒の両端開
口にそれぞれ金属製のシールリングを介して端板を接合
した真空容器内に、接離自在の１対の電極を配設した真
空バルブにおいて、前記絶縁円筒は、径大の中央部絶縁
円筒と径小の端部絶縁円筒とを接続金具で接合して構成
してなることを要旨とする。この構成により、両端が異
径の絶縁円筒を用いるときのような、コンディショニン
グの際の欠陥部における貫通絶縁破壊を抑制することが
できて、高電圧でコンディショニングを行うことが可能
となる。According to the present invention, there is provided a vacuum valve in which a pair of electrodes which can be freely contacted and separated is disposed in a vacuum vessel in which end plates are joined to both ends of an insulating cylinder via metal seal rings. In the above, the insulating cylinder is characterized in that a large-diameter central insulating cylinder and a small-diameter end insulating cylinder are joined by a connection fitting. With this configuration, it is possible to suppress through dielectric breakdown at a defective portion at the time of conditioning, such as when using an insulating cylinder having both ends of different diameters, and it is possible to perform conditioning at a high voltage.
【００１４】請求項９記載の発明は、上記請求項８記載
の真空バルブにおいて、前記中央部絶縁円筒と前記端部
絶縁円筒とは部分的に重なる構成としてなることを要旨
とする。この構成により、真空バルブ全長を長くするこ
となく、沿面絶縁距離を長くすることが可能となる。According to a ninth aspect of the present invention, in the vacuum valve according to the eighth aspect, the center insulating cylinder and the end insulating cylinder partially overlap each other. With this configuration, it is possible to increase the creepage insulation distance without increasing the overall length of the vacuum valve.
【００１５】請求項１０記載の発明は、絶縁円筒の両端
開口にそれぞれ接続金具を介して絶縁円板を接合した真
空容器内に、接離自在の１対の電極を配設してなること
を要旨とする。この構成により、沿面絶縁性能を向上さ
せることが可能となる。According to a tenth aspect of the present invention, a pair of electrodes which can be freely contacted and separated is arranged in a vacuum vessel in which an insulating disc is joined to both ends of an insulating cylinder via connection fittings. Make a summary. With this configuration, it is possible to improve the creeping insulation performance.
【００１６】請求項１１記載の発明は、上記請求項１０
記載の真空バルブにおいて、前記絶縁円板の内側近傍に
シールドを設けてなることを要旨とする。この構成によ
り、絶縁円板が、電極及び接点等から飛散する金属蒸気
による汚損から防止される。[0016] The invention according to claim 11 is the invention according to claim 10.
In the vacuum valve described above, a gist is provided in which a shield is provided near the inside of the insulating disk. With this configuration, the insulating disk is prevented from being contaminated by metal vapor scattered from the electrodes and the contacts.
【００１７】請求項１２記載の発明は、上記請求項８，
９，１０又は１１記載の真空バルブにおいて、前記接続
金具の内面に前記絶縁円筒と誘電率が略同じ絶縁材料膜
を形成してなることを要旨とする。この構成により、さ
らに優れた絶縁性能を有する真空バルブとすることが可
能となる。According to the twelfth aspect of the present invention,
12. The vacuum valve according to 9, 10, or 11, wherein a gist of an insulating material film having substantially the same dielectric constant as the insulating cylinder is formed on an inner surface of the connection fitting. With this configuration, it is possible to provide a vacuum valve having more excellent insulating performance.
【００１８】請求項１３記載の発明は、上記請求項１２
記載の真空バルブにおいて、前記接続金具は径方向突出
部分を有し、この径方向突出部分において前記絶縁材料
膜を分離してなることを要旨とする。この構成により、
絶縁円筒端部のトリプルジャンクションの形成が無くな
るとともに、絶縁材料膜端部に新しく形成されたトリプ
ルジャンクションは低電界とすることができる。したが
って、沿面分離の効果を保ったまま、高電界トリプルジ
ャンクションの回避と沿面絶縁距離の増大を図ることが
可能となる。The invention according to claim 13 is the invention according to claim 12.
In the vacuum valve described above, the connection fitting has a radially projecting portion, and the insulating material film is separated at the radially projecting portion. With this configuration,
The formation of the triple junction at the end of the insulating cylinder is eliminated, and the triple junction newly formed at the end of the insulating material film can have a low electric field. Therefore, it is possible to avoid the high electric field triple junction and increase the creepage insulation distance while maintaining the effect of creepage separation.
【００１９】[0019]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【００２０】図１は、本発明の第１の実施の形態を示す
図である。なお、図１及び後述の各実施の形態を示す図
において前記図１２乃至図１４における部材等と同一な
いし均等のものは、前記と同一符号を以って示し、重複
した説明を省略する。図１は真空バルブの固定側シール
リング近傍について示す縦断面図である。同図におい
て、シールリング３の内面には絶縁円筒１と略同じ誘電
率の絶縁材料膜１３が形成されている。絶縁材料膜１３
は、絶縁円筒１の端部を完全に被覆するように、その絶
縁材料膜端部１３ａが絶縁円筒１側にある程度の裕度ｄ
をもって位置するように成膜されている。一方、反対側
の絶縁材料膜端部１３ｂには、金属／絶縁物／真空の境
界であるトリプルジャンクションが形成されるので、で
きるだけ低電界部分に位置するようにした方が絶縁性能
が向上する。したがって、図１においては、シールリン
グ３と固定側端板４との接合部分が最も電界が低いの
で、極力この近傍に絶縁材料膜端部１３ｂが位置するよ
うにするのが望ましい。絶縁材料膜１３は、絶縁円筒１
とシールリング３とを銀ろう等により接合した後、プラ
ズマ溶射等により容易に形成できる。FIG. 1 is a diagram showing a first embodiment of the present invention. In FIGS. 1 and the drawings showing each embodiment described later, the same or equivalent members as those in FIGS. 12 to 14 are denoted by the same reference numerals as those described above, and redundant description will be omitted. FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing the vicinity of a fixed-side seal ring of a vacuum valve. In the figure, an insulating material film 13 having a dielectric constant substantially the same as that of the insulating cylinder 1 is formed on the inner surface of the seal ring 3. Insulating material film 13
In order to completely cover the end of the insulating cylinder 1, the insulating material film end 13 a has a certain tolerance d on the insulating cylinder 1 side.
The film is formed so as to be positioned with On the other hand, since a triple junction, which is a boundary between metal / insulator / vacuum, is formed at the opposite end 13b of the insulating material film, the insulating performance is improved by locating the junction as low as possible in the electric field. Therefore, in FIG. 1, since the electric field is lowest at the joint between the seal ring 3 and the fixed-side end plate 4, it is desirable that the insulating material film end 13b be located as close to this as possible. The insulating material film 13 is made of the insulating cylinder 1
After joining with the seal ring 3 by silver brazing or the like, it can be easily formed by plasma spraying or the like.
【００２１】このような構成とすることにより、真空バ
ルブ内部の沿面絶縁距離が増大するばかりでなく、絶縁
円筒１の端部にはトリプルジャンクションが形成され
ず、代わって形成される絶縁材料膜端部１３ｂのトリプ
ルジャンクションを低電界とすることができるので、真
空バルブの絶縁性能の向上を図ることができる。With such a structure, not only the creeping insulation distance inside the vacuum valve is increased, but also a triple junction is not formed at the end of the insulating cylinder 1, and the insulating material film end formed instead is formed. Since the triple junction of the portion 13b can have a low electric field, the insulation performance of the vacuum valve can be improved.
【００２２】図２には、本発明の第２の実施の形態を示
す。本実施の形態は絶縁材料膜端部に形成されるトリプ
ルジャンクションの電界をさらに低減するようにしたも
のである。図２において、シールリング２２は、固定側
端板４との接合部近傍において径大部２２ａを有してお
り、このシールリング径大部２２ａの内面に絶縁材料膜
端部２３ａが位置するように絶縁材料膜２３が形成され
ている。FIG. 2 shows a second embodiment of the present invention. In the present embodiment, the electric field of the triple junction formed at the end of the insulating material film is further reduced. In FIG. 2, the seal ring 22 has a large-diameter portion 22a near the joint with the fixed-side end plate 4, so that the insulating material film end 23a is located on the inner surface of the seal ring large-diameter portion 22a. An insulating material film 23 is formed.
【００２３】このような構成とすることにより、シール
リング径大部２２ａと固定側端板４に囲まれた部分は極
めて電界が低いため、絶縁材料膜端部２３ａに形成され
るトリプルジャンクションの電界も大幅に抑制され、よ
り一層の絶縁性向上を図ることができる。With such a configuration, since the electric field is extremely low in the portion surrounded by the seal ring large-diameter portion 22a and the fixed end plate 4, the electric field of the triple junction formed at the insulating material film end 23a is reduced. Is greatly suppressed, and further improvement in insulation can be achieved.
【００２４】なお、図１の第１の実施の形態及び図２の
第２の実施の形態では、固定側について示しているが、
可動側のシールリング近傍も上記と同様の構成とするこ
とにより、絶縁性能が向上するのは言うまでもない。In the first embodiment shown in FIG. 1 and the second embodiment shown in FIG. 2, the fixed side is shown.
It is needless to say that the insulation performance is improved by adopting the same structure as above in the vicinity of the movable side seal ring.
【００２５】図３には、本発明の第３の実施の形態を示
す。本実施の形態では絶縁材料膜３１がシールリング３
の内面から固定側端板４の内面にわたって形成されてい
る。絶縁材料膜３１における一方の絶縁材料膜端部３１
ａの位置は第１の実施の形態で説明した通りであるが、
他方の絶縁材料膜端部３１ｂに形成されるトリプルジャ
ンクションの電界を緩和させるために、他方の絶縁材料
膜端部３１ｂは固定軸６に極力接近させることが望まし
い。FIG. 3 shows a third embodiment of the present invention. In the present embodiment, the insulating material film 31 is
From the inner surface of the fixed end plate 4 to the inner surface of the fixed side end plate 4. One end 31 of the insulating material film in the insulating material film 31
The position of a is as described in the first embodiment,
In order to reduce the electric field of the triple junction formed at the other insulating material film end 31b, it is desirable that the other insulating material film end 31b be as close to the fixed shaft 6 as possible.
【００２６】このような構成とすることにより、シール
リング３だけに絶縁材料膜を形成する場合に比べ、さら
に沿面絶縁距離を長くすることができるばかりでなく、
絶縁円筒１の端部にはトリプルジャンクションが形成さ
れず、代わって形成される絶縁材料膜端部３１ｂのトリ
プルジャンクションを低電界とすることができるので、
真空バルブの絶縁性能の向上を図ることができる。With this configuration, it is possible to further increase the creepage insulation distance as compared with the case where the insulating material film is formed only on the seal ring 3,
Since no triple junction is formed at the end of the insulating cylinder 1 and the triple junction at the end 31b of the insulating material film formed instead can have a low electric field,
The insulation performance of the vacuum valve can be improved.
【００２７】図４には、本発明の第４の実施の形態を示
す。本実施の形態は、上記第３の実施の形態における他
方の絶縁材料膜端部３１ｂに形成されるトリプルジャン
クションの電界をさらに低減するようにしたものであ
り、固定軸６における固定側端板４との接合部近傍に径
大部分６ａが形成されている。この固定軸径大部分６ａ
により、固定軸６と固定側端板４の接合部近傍をさらに
低電界とすることができるため、この部分に位置する絶
縁材料膜端部３１ｂに形成されるトリプルジャンクショ
ンの電界を大幅に緩和することができ、絶縁性能をより
一層向上させることができる。FIG. 4 shows a fourth embodiment of the present invention. In this embodiment, the electric field of the triple junction formed at the other end 31b of the insulating material film in the third embodiment is further reduced. A large-diameter portion 6a is formed in the vicinity of the junction with the above. This large portion of fixed shaft diameter 6a
As a result, the electric field in the vicinity of the joint between the fixed shaft 6 and the fixed-side end plate 4 can be further reduced, so that the electric field of the triple junction formed at the insulating material film end 31b located in this portion is greatly reduced. And the insulation performance can be further improved.
【００２８】図５には、本発明の第５の実施の形態を示
す。本実施の形態は、上記第４の実施の形態を可動側に
適用したものであり、ベローズ１１はその径小部１１ａ
で可動側端板５と接合され、且つ絶縁材料膜５１におけ
る絶縁材料膜端部５１ａの径はベローズ外径よりも小さ
くなっている。このような構成とすることで、ベローズ
１１と可動側端板５で囲まれる無電界部分に絶縁材料膜
端部５１ａを位置させることができるため、絶縁材料膜
端部５１ａに形成されるトリプルジャンクションの電界
をゼロにすることができ、真空バルブの絶縁性能が向上
する。FIG. 5 shows a fifth embodiment of the present invention. In this embodiment, the fourth embodiment is applied to the movable side, and the bellows 11 has a small diameter portion 11a.
The diameter of the insulating material film end 51a in the insulating material film 51 is smaller than the outer diameter of the bellows. With such a configuration, the insulating material film end 51a can be located in a non-electric field portion surrounded by the bellows 11 and the movable side end plate 5, so that the triple junction formed on the insulating material film end 51a is formed. Can be made zero, and the insulation performance of the vacuum valve is improved.
【００２９】上記図３の第３の実施の形態、図４の第４
の実施の形態及び図５の第５の実施の形態において、絶
縁材料膜３１，５１は、絶縁円筒１、シールリング３、
固定側端板４又は可動側端板５とを銀ろう等により接合
した後、プラズマ溶射等により容易に形成できる。The third embodiment shown in FIG. 3 and the fourth embodiment shown in FIG.
In the embodiment shown in FIG. 5 and the fifth embodiment shown in FIG.
After joining the fixed side end plate 4 or the movable side end plate 5 with silver solder or the like, it can be easily formed by plasma spraying or the like.
【００３０】図６及び図７には、本発明の第６の実施の
形態を示す。図６に示すように、本実施の形態は、真空
容器が径大の中央部絶縁円筒６１と径小の端部絶縁円筒
６２とを接続金具６３を介して接合することにより構成
されている。FIGS. 6 and 7 show a sixth embodiment of the present invention. As shown in FIG. 6, the present embodiment is configured such that a vacuum vessel joins a large-diameter central insulating cylinder 61 and a small-diameter end insulating cylinder 62 via a connection fitting 63.
【００３１】このような構成とすることにより、それぞ
れ一定の径の均質な中央部絶縁円筒６１及び端部絶縁円
筒６２とを用いることで、前記図１４に示したように両
端が異径の絶縁円筒１５を用いるときのような、コンデ
ィショニングの際の欠陥部における貫通絶縁破壊を抑制
することができる。このため、コンディショニング電圧
を高くすることができ、絶縁性能に優れた真空バルブと
することができる。なお、真空バルブ全長を不変とする
と、接続金具６３の高さＬの分だけ沿面絶縁距離が短く
なるが、次に述べる理由により、沿面の絶縁性能は絶縁
円筒が一体構成の場合よりも逆に向上する。即ち、一般
的に真空の絶縁特性として図７に絶縁距離と絶縁破壊電
圧の関係を示すように、絶縁破壊電圧はギャップ（絶縁
距離）長の０．４〜０．６乗に比例する。仮に絶縁距離
Ｌ1 の絶縁円筒の破壊電圧がＶ1であるとすると、この
絶縁円筒を２段積み重ねると２×Ｖ1 の破壊電圧とな
る。一方、絶縁距離２×Ｌ1 の一体構成の絶縁円筒では
Ｖ2 の絶縁破壊電圧となる。Ｖ2 ＜２×Ｖ1 であるた
め、同一絶縁距離では分割されていた方が絶縁性能は高
くなる。以上のことより、本実施の形態において接続金
具６３の高さＬの分だけ沿面絶縁距離が短くなっても、
それを上回る分割の効果により全体としての絶縁性能は
向上する。With such a configuration, by using a uniform central insulating cylinder 61 and an end insulating cylinder 62 having a uniform diameter, insulating ends having different diameters as shown in FIG. Through dielectric breakdown at a defective portion during conditioning, such as when the cylinder 15 is used, can be suppressed. Therefore, the conditioning voltage can be increased, and a vacuum valve having excellent insulation performance can be obtained. When the entire length of the vacuum valve is unchanged, the creepage insulation distance is reduced by the height L of the connection fitting 63. However, for the following reasons, the creepage insulation performance is opposite to that in the case where the insulating cylinder is integrally formed. improves. That is, as shown in FIG. 7, the relationship between the insulation distance and the breakdown voltage is generally shown as a vacuum insulation characteristic, the breakdown voltage is proportional to the gap (insulation distance) length to the power of 0.4 to 0.6. If the breakdown voltage of the insulation cylinder of the insulation distance L 1 is assumed to be V 1, the breakdown voltage of the 2 × V 1 stacking the insulating cylinder 2 stages. On the other hand, in the case of an integral insulating cylinder having an insulation distance of 2 × L 1 , the breakdown voltage is V 2 . Since V 2 <2 × V 1 , the insulation performance becomes higher when the division is made at the same insulation distance. From the above, even if the creepage insulation distance is reduced by the height L of the connection fitting 63 in the present embodiment,
The insulation effect as a whole is improved by the effect of the division larger than that.
【００３２】図８には、本発明の第７の実施の形態を示
す。本実施の形態は、上記第６の実施の形態の絶縁性能
をさらに向上させたものであり、径大の中央部絶縁円筒
６１と径小の端部絶縁円筒６２とが部分的に重なるよう
にしたものである。真空バルブ全長を長くすることな
く、上記第６の実施の形態の構成よりも沿面絶縁距離を
長くできるばかりでなく、両絶縁円筒６１，６２のオー
バーラップ部Ｓにより、単一の両端異径の絶縁円筒を用
いるよりも絶縁距離を長くすることができる。このた
め、極めて絶縁性能が高い真空バルブとすることができ
る。FIG. 8 shows a seventh embodiment of the present invention. In the present embodiment, the insulation performance of the sixth embodiment is further improved, and the large-diameter central insulating cylinder 61 and the small-diameter end insulating cylinder 62 partially overlap each other. It was done. Not only can the creepage insulation distance be longer than in the configuration of the sixth embodiment described above, but also the length of the vacuum valve can be increased by the overlapped portion S of the insulating cylinders 61 and 62. The insulation distance can be made longer than using an insulating cylinder. Therefore, a vacuum valve having extremely high insulation performance can be obtained.
【００３３】図９には、本発明の第８の実施の形態を示
す。絶縁円筒分割構成による真空バルブの沿面絶縁性能
の向上と、真空バルブの端部径縮小による真空遮断器の
小型化を達成する方法としては、図８に示した上記第７
の実施の形態のように径の異なる２つの絶縁円筒を用い
るものに限らない。本実施の形態では、絶縁円筒９１と
絶縁円板９２を接続金具９３を介して接続し真空容器を
構成したものを、シールプレート９４により固定軸６と
接合している。FIG. 9 shows an eighth embodiment of the present invention. As a method of improving the creepage insulation performance of the vacuum valve by the insulated cylindrical split configuration and achieving downsizing of the vacuum circuit breaker by reducing the end diameter of the vacuum valve, the above-described seventh method shown in FIG.
It is not limited to the one using two insulating cylinders having different diameters as in the embodiment. In the present embodiment, an insulating cylinder 91 and an insulating disk 92 are connected via a connection fitting 93 to form a vacuum container, and are joined to the fixed shaft 6 by a seal plate 94.
【００３４】このような構成とすることにより、絶縁円
筒分割構成による真空バルブの沿面絶縁性能の向上と、
真空バルブと接地フレームとの絶縁距離短縮による真空
遮断器の小型化を達成することができる。なお、本実施
の形態の構成を真空バルブの可動側に適用する場合に
は、シールプレート９４の内径とベローズを接合すれば
よい。By adopting such a configuration, it is possible to improve the creepage insulation performance of the vacuum valve by the insulating cylinder divided configuration,
The miniaturization of the vacuum circuit breaker can be achieved by shortening the insulation distance between the vacuum valve and the ground frame. When the configuration of the present embodiment is applied to the movable side of the vacuum valve, the inner diameter of the seal plate 94 and the bellows may be joined.
【００３５】図１０には、本発明の第９の実施の形態を
示す。上述のような第８の実施の形態の構成で電流を遮
断すると、絶縁円板９２は電極及び接点から飛散する金
属蒸気によって汚損されやすい位置にあるため、遮断電
流の大きさや開閉頻度によっては絶縁性能が低下するお
それがある。そこで、第９の実施の形態では、端部シー
ルド１０１を固定軸６に固設している。FIG. 10 shows a ninth embodiment of the present invention. When the current is cut off in the configuration of the eighth embodiment as described above, the insulating disk 92 is located at a position easily contaminated by the metal vapor scattered from the electrodes and the contacts. Performance may be reduced. Therefore, in the ninth embodiment, the end shield 101 is fixed to the fixed shaft 6.
【００３６】このような構成とすることで、端部シール
ド１０１により金属蒸気からの絶縁円板９２の汚損が抑
制される。この結果、大電流遮断や多頻度遮断を行って
も絶縁性能の低下しない信頼性の高い真空バルブとする
ことができる。本実施の形態の構成を可動側に適用する
場合には、シールプレート９４の内径とベローズ１１と
を接合する際に、端部シールド１０１も同時に接合すれ
ばよい。With this configuration, the end shield 101 prevents the insulating disk 92 from being stained by metal vapor. As a result, it is possible to provide a highly reliable vacuum valve in which insulation performance does not decrease even when a large current interruption or a frequent interruption is performed. When the configuration of the present embodiment is applied to the movable side, when the inner diameter of the seal plate 94 and the bellows 11 are joined, the end shield 101 may be joined at the same time.
【００３７】図１１には、本発明の第１０の実施の形態
を示す。前記図６の第６の実施の形態、図８の第７の実
施の形態及び図９の第８の実施の形態において、中央部
絶縁円筒６１，９１と端部絶縁円筒６２又は絶縁円板９
２を連結する接続金具６３，８３，９３の内面に、絶縁
円筒及び絶縁円板と誘電率が略同じ絶縁材料膜を形成す
ることにより、さらに絶縁性能を向上させることができ
る。ただし、接続金具が図８の第７の実施の形態及び図
９の第８の実施の形態に示す形状では、接続金具８３，
９３は屈曲し、低電界の袋状部分を有するので、その内
面全体に絶縁材料膜を被覆しても問題はない。これは、
絶縁材料膜により２つの絶縁物が材料的に連結されてい
ても、低電界部の存在により電気的には分離されている
のと同じであるからである。一方、図６の第６の実施の
形態において径大絶縁円筒と径小絶縁円筒との径の差が
比較的小さく、接続金具６３の形状が比較的単純な円筒
形状に近い場合には工夫が必要である。即ち、比較的単
純な円筒形状の接続金具の場合、その内面に絶縁材料膜
を被覆すると低電界部分が形成されないため、絶縁円筒
が一体で構成された場合と同じとなり、上述したような
絶縁距離分割の効果がなくなるからである。そこで、第
１０の実施の形態では、中央部絶縁円筒６１と端部絶縁
円筒６２とを接続する接続金具１１１が径方向突出部分
１１１ａを有し、この径方向突出部分１１１ａにおいて
絶縁材料膜１１２が分離されている。FIG. 11 shows a tenth embodiment of the present invention. In the sixth embodiment of FIG. 6, the seventh embodiment of FIG. 8, and the eighth embodiment of FIG. 9, the center insulating cylinders 61 and 91 and the end insulating cylinder 62 or the insulating disk 9 are used.
The insulating performance can be further improved by forming an insulating material film having substantially the same dielectric constant as the insulating cylinder and the insulating disk on the inner surfaces of the connection fittings 63, 83, and 93 connecting the two. However, in the case where the connection fittings have the shapes shown in the seventh embodiment in FIG. 8 and the eighth embodiment in FIG.
Since 93 is bent and has a low electric field bag-shaped portion, there is no problem even if the entire inner surface is covered with an insulating material film. this is,
This is because even if two insulators are materially connected by the insulating material film, they are electrically separated by the presence of the low electric field portion. On the other hand, in the sixth embodiment shown in FIG. 6, when the difference in diameter between the large-diameter insulating cylinder and the small-diameter insulating cylinder is relatively small and the shape of the connection fitting 63 is close to a relatively simple cylindrical shape, contrivance is made. is necessary. That is, in the case of a relatively simple cylindrical fitting, a low electric field portion is not formed when the inner surface of the fitting is coated with an insulating material film, so that it is the same as the case where the insulating cylinder is integrally formed. This is because the effect of division is lost. Therefore, in the tenth embodiment, the connection fitting 111 for connecting the center insulating cylinder 61 and the end insulating cylinder 62 has a radially projecting portion 111a, and the insulating material film 112 is formed on the radially projecting portion 111a. Are separated.
【００３８】このような構成とすることにより、絶縁円
筒６２の端部のトリプルジャンクションの形成がなくな
るとともに、絶縁材料膜端部１１２ａに新しく形成され
たトリプルジャンクションは低電界とすることができる
ので、沿面分離の効果を保ったまま、高電界トリプルジ
ャンクションの回避と沿面絶縁距離の増大を図ることが
でき、絶縁性能が向上する。With this configuration, the formation of the triple junction at the end of the insulating cylinder 62 is eliminated, and the triple junction newly formed at the insulating material film end 112a can have a low electric field. While maintaining the effect of the creepage separation, it is possible to avoid the high electric field triple junction and increase the creepage insulation distance, thereby improving insulation performance.
【００３９】[0039]
【発明の効果】以上説明したように、請求項１記載の発
明によれば、絶縁円筒と誘電率が略同じ絶縁材料膜を、
前記絶縁円筒の端部を覆うようにシールリングの内面に
形成したため、真空バルブ内部の沿面絶縁距離が増大す
るとともに絶縁円筒の端部に高電界トリプルジャンクシ
ョンの形成が回避されて、絶縁性能が向上し、信頼性を
高めることができる。As described above, according to the first aspect of the present invention, an insulating material film having substantially the same dielectric constant as the insulating cylinder is formed.
Formed on the inner surface of the seal ring so as to cover the end of the insulating cylinder, the creeping insulation distance inside the vacuum valve is increased, and the formation of a high electric field triple junction at the end of the insulating cylinder is avoided, improving the insulation performance. And reliability can be improved.
【００４０】請求項２記載の発明によれば、前記絶縁材
料膜の端部は、前記端板と前記シールリングとの接合部
近傍に形成したため、絶縁材料膜の端部に形成されるト
リプルジャンクションの電界が低減されて、絶縁性能を
向上させることができる。According to the second aspect of the present invention, since the end of the insulating material film is formed near the joint between the end plate and the seal ring, the triple junction formed at the end of the insulating material film is formed. Is reduced, and the insulation performance can be improved.
【００４１】請求項３記載の発明によれば、前記シール
リングは、前記端板との接合部近傍において径大部を有
し、この径大部内面に前記絶縁材料膜の端部を形成した
ため、絶縁材料膜の端部に形成されるトリプルジャンク
ションの電界を大幅に低減することができて、絶縁性能
をより一層向上させることができる。According to the third aspect of the present invention, the seal ring has a large diameter portion near the joint with the end plate, and the end of the insulating material film is formed on the inner surface of the large diameter portion. In addition, the electric field of the triple junction formed at the end of the insulating material film can be greatly reduced, and the insulating performance can be further improved.
【００４２】請求項４記載の発明によれば、絶縁円筒と
誘電率が略同じ絶縁材料膜を、前記絶縁円筒の端部を覆
うようにシールリングの内面から端板の内面にわたって
形成したため、真空バルブ内部の沿面絶縁距離が大幅に
増大するとともに絶縁円筒の端部に高電界トリプルジャ
ンクションの形成が回避されて、絶縁性能が一層向上
し、さらに信頼性を高めることができる。According to the fourth aspect of the present invention, the insulating material film having substantially the same dielectric constant as the insulating cylinder is formed from the inner surface of the seal ring to the inner surface of the end plate so as to cover the end of the insulating cylinder. The creepage insulation distance inside the valve is greatly increased, and the formation of the high electric field triple junction at the end of the insulating cylinder is avoided, so that the insulation performance is further improved and the reliability can be further improved.
【００４３】請求項５記載の発明によれば、前記端板は
固定側端板であり、前記絶縁材料膜の端部は、前記固定
側端板と固定軸との接合部近傍に形成したため、絶縁材
料膜の端部に形成されるトリプルジャンクションの電界
が緩和されて、さらに優れた絶縁性能を有する真空バル
ブとすることができる。According to the fifth aspect of the present invention, the end plate is a fixed end plate, and the end of the insulating material film is formed near a joint between the fixed end plate and the fixed shaft. The electric field of the triple junction formed at the end of the insulating material film is reduced, and a vacuum valve having more excellent insulating performance can be obtained.
【００４４】請求項６記載の発明によれば、前記固定軸
は、前記固定側端板近傍で径大部分を有するため、絶縁
材料膜の端部に形成されるトリプルジャンクションの電
界がさらに緩和されて、極めて優れた絶縁性能を有する
真空バルブとすることができる。According to the sixth aspect of the present invention, since the fixed shaft has a large diameter portion near the fixed end plate, the electric field of the triple junction formed at the end of the insulating material film is further reduced. Thus, a vacuum valve having extremely excellent insulating performance can be obtained.
【００４５】請求項７記載の発明によれば、前記端板は
可動側端板であり、この可動側端板と可動軸とを気密に
連結するベローズは、その径小部で前記可動側端板に接
合され、且つ前記絶縁材料膜の端部径は前記ベローズの
外径よりも小径に形成したため、絶縁材料膜の端部に形
成されるトリプルジャンクションの電界をほぼゼロにす
ることができて、極めて優れた絶縁性能を有する真空バ
ルブとすることができる。According to the seventh aspect of the present invention, the end plate is a movable side end plate, and the bellows for airtightly connecting the movable side end plate and the movable shaft has a small-diameter portion with the movable side end plate. Since it is joined to a plate and the end diameter of the insulating material film is formed smaller than the outer diameter of the bellows, the electric field of the triple junction formed at the end of the insulating material film can be made almost zero. Thus, a vacuum valve having extremely excellent insulating performance can be obtained.
【００４６】請求項８記載の発明によれば、絶縁円筒
は、径大の中央部絶縁円筒と径小の端部絶縁円筒とを接
続金具で接合して構成したため、両端が異径の絶縁円筒
を用いるときのような、高電圧でコンディショニングを
行うことができて、絶縁性能に優れ、貫通絶縁破壊によ
るリークのおそれの無い信頼性の高い真空バルブとする
ことができる。According to the eighth aspect of the present invention, since the insulating cylinder is formed by joining the large-diameter central insulating cylinder and the small-diameter end insulating cylinder with the connecting metal fittings, the insulating cylinder having both ends having different diameters. In this case, conditioning can be performed at a high voltage, as in the case of using a vacuum valve, and a highly reliable vacuum valve having excellent insulation performance and no risk of leakage due to through dielectric breakdown can be obtained.
【００４７】請求項９記載の発明によれば、前記中央部
絶縁円筒と前記端部絶縁円筒とは部分的に重なる構成と
したため、沿面絶縁距離を長くすることができて、さら
に優れた絶縁性能を有する真空バルブとすることができ
る。According to the ninth aspect of the present invention, since the center insulating cylinder and the end insulating cylinder partially overlap each other, the creepage insulation distance can be increased, and further excellent insulation performance can be obtained. Can be provided.
【００４８】請求項１０記載の発明によれば、絶縁円筒
の両端開口にそれぞれ接続金具を介して絶縁円板を接合
した真空容器内に、接離自在の１対の電極を配設したた
め、沿面絶縁性能を向上させることができるとともに、
真空バルブと接地フレームとの絶縁距離短縮による真空
遮断器の小型化を達成することができる。According to the tenth aspect of the present invention, a pair of electrodes that can be freely contacted and separated is provided in a vacuum vessel in which insulating disks are joined to both ends of an insulating cylinder via connection fittings. In addition to improving insulation performance,
The miniaturization of the vacuum circuit breaker can be achieved by shortening the insulation distance between the vacuum valve and the ground frame.
【００４９】請求項１１記載の発明によれば、前記絶縁
円板の内側近傍にシールドを設けたため、絶縁円板が、
電極及び接点等から飛散する金属蒸気による汚損から防
止されて、大電流遮断や多頻度遮断を行っても絶縁性能
の低下しない信頼性の高い真空バルブとすることができ
る。According to the eleventh aspect of the present invention, since the shield is provided near the inside of the insulating disk, the insulating disk is
It is possible to provide a highly reliable vacuum valve that is prevented from being contaminated by metal vapor scattered from the electrodes and contacts, and does not deteriorate in insulation performance even when a large current interruption or a frequent interruption is performed.
【００５０】請求項１２記載の発明によれば、前記接続
金具の内面に前記絶縁円筒と誘電率が略同じ絶縁材料膜
を形成したため、さらに優れた絶縁性能を有する真空バ
ルブとすることができる。According to the twelfth aspect of the present invention, since the insulating material film having substantially the same dielectric constant as the insulating cylinder is formed on the inner surface of the connection fitting, it is possible to obtain a vacuum valve having more excellent insulating performance.
【００５１】請求項１３記載の発明によれば、前記接続
金具は径方向突出部分を有し、この径方向突出部分にお
いて前記絶縁材料膜を分離したため、沿面分離の効果を
保ったまま、高電界トリプルジャンクションの回避と沿
面絶縁距離の増大を図ることができて、絶縁性能を向上
させることができる。According to the thirteenth aspect of the present invention, the connection fitting has a radially projecting portion, and the insulating material film is separated at the radially projecting portion. It is possible to avoid the triple junction and increase the creepage insulation distance, thereby improving the insulation performance.
【図１】本発明に係る真空バルブの第１の実施の形態を
示す要部縦断面図である。FIG. 1 is a longitudinal sectional view of a main part showing a first embodiment of a vacuum valve according to the present invention.
【図２】本発明の第２の実施の形態を示す要部縦断面図
である。FIG. 2 is a vertical sectional view of a main part showing a second embodiment of the present invention.
【図３】本発明の第３の実施の形態を示す要部縦断面図
である。FIG. 3 is a vertical sectional view of a main part showing a third embodiment of the present invention.
【図４】本発明の第４の実施の形態を示す要部縦断面図
である。FIG. 4 is a longitudinal sectional view of a main part showing a fourth embodiment of the present invention.
【図５】本発明の第５の実施の形態を示す要部縦断面図
である。FIG. 5 is a vertical sectional view of an essential part showing a fifth embodiment of the present invention.
【図６】本発明の第６の実施の形態を示す要部縦断面図
である。FIG. 6 is a vertical sectional view showing a main part of a sixth embodiment of the present invention.
【図７】上記第６の実施の形態の効果を説明するための
絶縁特性を示す図である。FIG. 7 is a diagram showing insulation characteristics for explaining the effect of the sixth embodiment.
【図８】本発明の第７の実施の形態を示す要部縦断面図
である。FIG. 8 is a vertical sectional view of a main part showing a seventh embodiment of the present invention.
【図９】本発明の第８の実施の形態を示す要部縦断面図
である。FIG. 9 is a longitudinal sectional view of a main part showing an eighth embodiment of the present invention.
【図１０】本発明の第９の実施の形態を示す要部縦断面
図である。FIG. 10 is a vertical sectional view showing a main part of a ninth embodiment of the present invention.
【図１１】本発明の第１０の実施の形態を示す要部縦断
面図である。FIG. 11 is a longitudinal sectional view showing a main part of a tenth embodiment of the present invention.
【図１２】従来の真空バルブの縦断面図である。FIG. 12 is a longitudinal sectional view of a conventional vacuum valve.
【図１３】図１２のＸ部分の拡大断面図である。13 is an enlarged sectional view of a portion X in FIG.
【図１４】他の従来の真空バルブの部分断面図である。FIG. 14 is a partial sectional view of another conventional vacuum valve.
１，９１ 絶縁円筒 ３，２２ シールリング ４ 固定側端板 ５ 可動側端板 ６ 固定軸 ６ａ 固定軸の径大部分 ７ 固定電極 ９ 可動軸 １１ ベローズ １１ａ ベローズの径小部 １３，２３，３１，５１，１１２ 絶縁材料膜 １３ａ，１３ｂ，２３ａ，３１ａ，３１ｂ，５１ａ，１
１２ａ 絶縁材料膜の端部 ２２ａ シールリング径大部 ６１ 中央部絶縁円筒 ６２ 端部絶縁円筒 ６３，８３，９３，１１１ 接続金具 ９２ 絶縁円板 １０１ 端部シールド １１１ａ 接続金具の径方向突出部分1,91 Insulating cylinder 3,22 Seal ring 4 Fixed end plate 5 Movable end plate 6 Fixed shaft 6a Large diameter part of fixed shaft 7 Fixed electrode 9 Movable shaft 11 Bellows 11a Small diameter portion of bellows 13,23,31, 51, 112 Insulating material film 13a, 13b, 23a, 31a, 31b, 51a, 1
12a End of insulating material film 22a Large seal ring diameter 61 Central insulating cylinder 62 End insulating cylinder 63, 83, 93, 111 Connection fitting 92 Insulating disk 101 End shield 111a Radially protruding part of connection fitting
Claims (13)
シールリングを介して端板を接合した真空容器内に、接
離自在の１対の電極を配設した真空バルブにおいて、前
記絶縁円筒と誘電率が略同じ絶縁材料膜を、前記絶縁円
筒の端部を覆うように前記シールリングの内面に形成し
てなることを特徴とする真空バルブ。1. A vacuum valve in which a pair of electrodes that can be freely contacted and separated is disposed in a vacuum vessel in which end plates are joined to both ends of an insulating cylinder via metal seal rings, respectively. A vacuum valve, wherein an insulating material film having substantially the same dielectric constant is formed on an inner surface of the seal ring so as to cover an end of the insulating cylinder.
記シールリングとの接合部近傍に形成してなることを特
徴とする請求項１記載の真空バルブ。2. The vacuum valve according to claim 1, wherein an end portion of the insulating material film is formed near a joint between the end plate and the seal ring.
部近傍において径大部を有し、この径大部内面に前記絶
縁材料膜の端部を形成してなることを特徴とする請求項
２記載の真空バルブ。3. The seal ring has a large-diameter portion near a joint with the end plate, and an end of the insulating material film is formed on an inner surface of the large-diameter portion. Item 7. A vacuum valve according to Item 2.
シールリングを介して端板を接合した真空容器内に、接
離自在の１対の電極を配設した真空バルブにおいて、前
記絶縁円筒と誘電率が略同じ絶縁材料膜を、前記絶縁円
筒の端部を覆うように前記シールリングの内面から前記
端板の内面にわたって形成してなることを特徴とする真
空バルブ。4. A vacuum valve in which a pair of electrodes that can be freely contacted and separated is disposed in a vacuum vessel in which end plates are respectively joined to openings at both ends of an insulating cylinder via metal seal rings, respectively. A vacuum valve, wherein an insulating material film having substantially the same dielectric constant is formed from an inner surface of the seal ring to an inner surface of the end plate so as to cover an end of the insulating cylinder.
材料膜の端部は、前記固定側端板と固定軸との接合部近
傍に形成してなることを特徴とする請求項４記載の真空
バルブ。5. The end plate is a fixed end plate, and an end of the insulating material film is formed near a joint between the fixed end plate and a fixed shaft. 4. The vacuum valve according to 4.
大部分を有することを特徴とする請求項５記載の真空バ
ルブ。6. The vacuum valve according to claim 5, wherein the fixed shaft has a large diameter portion near the fixed end plate.
側端板と可動軸とを気密に連結するベローズは、その径
小部で前記可動側端板に接合され、且つ前記絶縁材料膜
の端部径は前記ベローズの外径よりも小径に形成してな
ることを特徴とする請求項４記載の真空バルブ。7. The end plate is a movable end plate, and a bellows for hermetically connecting the movable end plate and the movable shaft is joined to the movable end plate at a small diameter portion thereof, and the insulating member has a small diameter. The vacuum valve according to claim 4, wherein an end diameter of the material film is formed to be smaller than an outer diameter of the bellows.
シールリングを介して端板を接合した真空容器内に、接
離自在の１対の電極を配設した真空バルブにおいて、前
記絶縁円筒は、径大の中央部絶縁円筒と径小の端部絶縁
円筒とを接続金具で接合して構成してなることを特徴と
する真空バルブ。8. A vacuum valve in which a pair of electrodes which can be freely contacted and separated is disposed in a vacuum vessel in which end plates are respectively joined to openings at both ends of an insulating cylinder via metal seal rings. A vacuum valve comprising a large-diameter central insulating cylinder and a small-diameter end insulating cylinder joined by a connection fitting.
とは部分的に重なる構成としてなることを特徴とする請
求項８記載の真空バルブ。9. The vacuum valve according to claim 8, wherein the central insulating cylinder and the end insulating cylinder partially overlap each other.
具を介して絶縁円板を接合した真空容器内に、接離自在
の１対の電極を配設してなることを特徴とする真空バル
ブ。10. A vacuum valve, comprising a pair of electrodes that can be freely connected to and separated from each other in a vacuum vessel in which insulating disks are joined to openings at both ends of an insulating cylinder via connection fittings.
設けてなることを特徴とする請求項１０記載の真空バル
ブ。11. The vacuum valve according to claim 10, wherein a shield is provided near the inside of the insulating disk.
誘電率が略同じ絶縁材料膜を形成してなることを特徴と
する請求項８，９，１０又は１１記載の真空バルブ。12. The vacuum valve according to claim 8, wherein an insulating material film having a dielectric constant substantially equal to that of the insulating cylinder is formed on an inner surface of the connection fitting.
し、この径方向突出部分において前記絶縁材料膜を分離
してなることを特徴とする請求項１２記載の真空バル
ブ。13. The vacuum valve according to claim 12, wherein the connection fitting has a radially projecting portion, and the insulating material film is separated at the radially projecting portion.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP508598A JPH11203996A (en) | 1998-01-13 | 1998-01-13 | Vacuum valve |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP508598A JPH11203996A (en) | 1998-01-13 | 1998-01-13 | Vacuum valve |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11203996A true JPH11203996A (en) | 1999-07-30 |
Family
ID=11601562
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP508598A Pending JPH11203996A (en) | 1998-01-13 | 1998-01-13 | Vacuum valve |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11203996A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2951314A1 (en) * | 2009-10-12 | 2011-04-15 | Schneider Electric Ind Sas | BRAKE ASSEMBLY DEVICE FOR AN END HOOD ON A CYLINDRICAL BODY AND A VACUUM BULB COMPRISING SUCH A DEVICE |
-
1998
- 1998-01-13 JP JP508598A patent/JPH11203996A/en active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2951314A1 (en) * | 2009-10-12 | 2011-04-15 | Schneider Electric Ind Sas | BRAKE ASSEMBLY DEVICE FOR AN END HOOD ON A CYLINDRICAL BODY AND A VACUUM BULB COMPRISING SUCH A DEVICE |
| US8181842B2 (en) | 2009-10-12 | 2012-05-22 | Schneider Electric Industries Sas | Device for assembly by brazing an end cap onto a cylindrical body and vacuum cartridge comprising one such device |
| EP2309527A3 (en) * | 2009-10-12 | 2012-08-29 | Schneider Electric Industries SAS | Device for joining by welding of a cover on end of cylinder body and vacuum bulb having such a device |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN106133869A (en) | Switchgear | |
| JPH11203996A (en) | Vacuum valve | |
| JPH0364817A (en) | High voltage vacuum insulation vessel | |
| US3141058A (en) | Ceramic-to-metal seal for high voltage vacuum device | |
| KR860002081B1 (en) | A vacuum breaker | |
| JP2004362918A (en) | Vacuum valve | |
| JPH05174704A (en) | Discharge tube | |
| JP3134905B2 (en) | surge absorber | |
| US20220115202A1 (en) | Gas discharge tube having enhanced ratio of leakage path length to gap dimension | |
| JP4067927B2 (en) | Vacuum valve | |
| JP7143195B2 (en) | vacuum valve | |
| JP2009048842A (en) | Vacuum switch, and manufacturing method thereof | |
| JP3118287B2 (en) | Magnetron | |
| JP2008027585A (en) | Vacuum switch | |
| JPH03283335A (en) | Discharge tube | |
| JP2020068129A (en) | Vacuum valve | |
| JP3214670B2 (en) | Electron gun for microwave tube | |
| WO2020161810A1 (en) | Vacuum interrupter | |
| JP2596142B2 (en) | Vacuum valve | |
| JPS6298537A (en) | Magnetron for microwave oven | |
| JP4239422B2 (en) | surge absorber | |
| JPH0112356Y2 (en) | ||
| JP3363619B2 (en) | Magnetron | |
| JPH05303991A (en) | Discharge tube | |
| JP2002218610A (en) | Gas insulated equipment |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040629 |