JPH11198084A - Fluid pressure chuck for low speed opening and closing motion - Google Patents
Fluid pressure chuck for low speed opening and closing motionInfo
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- JPH11198084A JPH11198084A JP1827298A JP1827298A JPH11198084A JP H11198084 A JPH11198084 A JP H11198084A JP 1827298 A JP1827298 A JP 1827298A JP 1827298 A JP1827298 A JP 1827298A JP H11198084 A JPH11198084 A JP H11198084A
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- fluid pressure
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する分野】本発明は、低速でのクランプを必
要とする被保持体のクランプに使用される流体圧チャッ
クに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a hydraulic chuck used for clamping an object to be held which requires a low-speed clamping.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、ガラス等の壊れやすい部品や変形
しやすい部品をチャックでクランプする場合爪の動作速
度が速いと、クランプ時に生じる衝撃により部品を破損
してしまう為、低速でのクランプが必要になり、速度調
整弁により流体圧流量を調整することでマスタージョウ
の開閉速度の設定を行っている。2. Description of the Related Art Conventionally, when a fragile or deformable part such as glass is clamped with a chuck, if the operating speed of the nail is high, the part is damaged by an impact generated at the time of clamping. When necessary, the opening and closing speed of the master jaw is set by adjusting the fluid pressure flow rate with a speed adjusting valve.
【０００３】現在、流体圧チャックの部品は軽量化を目
的としてアルミニウムが多く使用されているが、アルミ
ニウムは加工表面が酸化しやすいため陽極酸化処理を行
い耐摩耗性および耐蝕性に優れた酸化アルミニウム皮膜
を生成させた後、封孔処理を行い更に耐蝕性を向上させ
た部品が一般的に使用されている。At present, aluminum is often used as a component of a fluid pressure chuck for the purpose of weight reduction. However, since aluminum is easily oxidized on a processing surface, aluminum is subjected to anodizing treatment and aluminum oxide having excellent wear resistance and corrosion resistance is used. After the film is formed, a part which is subjected to a sealing treatment to further improve the corrosion resistance is generally used.
【０００４】前記酸化アルミニウム皮膜は耐摩耗性と耐
蝕性に優れた特性を持つが、金属表面の摺動性の向上を
図る特性はなく、クランプ時に被保持体に働く衝撃によ
る破損を防ぐために速度調整弁により流体圧流量を絞っ
ていき、ピストンの移動速度を遅くすることでマスター
ジョウの開閉速度を遅くしていくと、ある速度を下回っ
た時点でピストン始動時のピストンシールとシリンダ内
壁との摺動抵抗が動き出したあとの摺動抵抗より大きく
なることによる飛び出し現象の繰り返し、いわゆるステ
ィックスリップ現象を誘発する原因となり、安定した低
速開閉動作をする事ができなくなってしまう。[0004] The aluminum oxide film has excellent properties of abrasion resistance and corrosion resistance, but has no property to improve the slidability of the metal surface. If the opening and closing speed of the master jaw is slowed down by reducing the fluid pressure flow rate by the adjusting valve and slowing the moving speed of the piston, when the speed falls below a certain speed, the clearance between the piston seal and the inner wall of the cylinder at the time of starting the piston is reduced. The repetition of the popping-out phenomenon caused by the sliding resistance being larger than the sliding resistance after the movement starts, which causes a so-called stick-slip phenomenon, makes it impossible to perform a stable low-speed opening / closing operation.
【０００５】この為必要とする開閉速度が更に低速であ
っても安定した動作を得るためにスティックスリップ現
象の起きない速度域にて使用しなければならず、クラン
プ時の衝撃により被保持体が破損するなどの問題があっ
た。For this reason, even if the required opening / closing speed is even lower, in order to obtain a stable operation, it must be used in a speed range in which the stick-slip phenomenon does not occur. There were problems such as damage.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】本発明は、低速開閉動
作時においてもスティックスリップ現象を起こすことな
く安定した開閉動作する事ができ、被保持体に衝撃を与
える事なくクランプすることの出来る流体圧チャックを
提供することを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention relates to a fluid that can be stably opened and closed without causing a stick-slip phenomenon even at the time of low-speed opening and closing operation, and can be clamped without giving an impact to a held body. It is an object to provide a pressure chuck.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】シリンダー部の金属表面
に、鉄系金属に限らずアルミなどの軽金属にも生成する
ことのできるリン化ニッケルの結晶体の皮膜を形成させ
る。On the metal surface of the cylinder portion, a film of a crystal of nickel phosphide which can be formed not only on iron-based metals but also on light metals such as aluminum is formed.
【０００８】さらにリン化ニッケルの結晶体の皮膜に摩
擦係数の極めて小さい四弗化樹脂を含浸させることで摺
動性に優れた表面にできる。Further, by impregnating the nickel phosphide crystal film with a tetrafluoride resin having an extremely small friction coefficient, a surface having excellent slidability can be obtained.
【０００９】リン化ニッケルの結晶体皮膜は金属表面の
ニッケルリン皮膜を熱処理して生成する為、硬さを向上
させ耐摩耗性に優れた表面にすることができる。The nickel phosphide crystalline film is formed by heat-treating the nickel phosphorus film on the metal surface, so that the surface can be improved in hardness and excellent in wear resistance.
【００１０】またニッケルリン皮膜は耐蝕性に優れた性
質をもっている。[0010] The nickel phosphorus film has excellent corrosion resistance.
【００１１】[0011]
【発明の実施の形態】図１，図２に本発明の実施例を示
す。1 and 2 show an embodiment of the present invention.
【００１２】本実施例は、シリンダ部とガイド部を有す
るボディ１とピストンロットとラック部を有するガイド
ロット４を連結する一対のマスタージョウ３ａ，３ｂか
らなり、２個のシリンダー部には対抗する向きでそれぞ
れピストン２ａ，２ｂが挿入されており、第１圧力ポー
ト７ａより流体圧が加わることでピストン２ａが図面右
へ、ピストン２ｂが図面左へそれぞれ移動を開始する。This embodiment comprises a pair of master jaws 3a and 3b connecting a body 1 having a cylinder portion and a guide portion, a guide lot 4 having a piston lot and a rack portion, and opposes two cylinder portions. The pistons 2a and 2b are inserted in the respective directions, and when the fluid pressure is applied from the first pressure port 7a, the piston 2a starts moving rightward in the drawing and the piston 2b starts moving leftward in the drawing.
【００１３】ピストンはマスタージョウによりガイドロ
ットと連結されており、ガイドロット４にはラック部が
形成され、そのラック部がボディ本体１の中心軸線上に
配置されるピニオン５と噛合しピニオンが回動する事で
マスタージョウを同期させる構造となっている。The piston is connected to the guide lot by a master jaw. A rack portion is formed in the guide lot 4, and the rack portion meshes with a pinion 5 arranged on the center axis of the body 1 so that the pinion rotates. It has a structure that synchronizes the master jaw by moving.
【００１４】本実施例は、流体圧チャックのシリンダ部
の金属表面にリン化ニッケルの結晶体の皮膜を生成さ
せ、この表面に摩擦係数の極めて低い四弗化樹脂を含浸
させる事で低速作動時においてもスティクスリップ現象
を起こすことなく円滑な開閉動作が可能となる。In this embodiment, a nickel phosphide crystal film is formed on the metal surface of the cylinder portion of the fluid pressure chuck, and this surface is impregnated with a tetrafluoride resin having an extremely low coefficient of friction to operate at low speed. In this case, a smooth opening / closing operation can be performed without causing a stick-slip phenomenon.
【００１５】なお、本発明はシリンダ部に処理を施す方
式である為、平行タイプ、支点タイプ及び駆動方式など
に影響されることなく同様の効果がえられる。Since the present invention is a system for processing a cylinder portion, the same effect can be obtained without being affected by a parallel type, a fulcrum type, a driving system, and the like.
【００１６】[0016]
【発明の効果】アルミニウム部品の場合加工表面が酸化
しやすいため、陽極酸化処理を施し酸化アルミニウム皮
膜を生成させ、耐蝕性の向上を図った部品を使用するの
が一般的であり、低速での開閉動作を必要としない使用
条件であればスティックスリップ現象などの問題もなく
使用できる。In the case of aluminum parts, since the processed surface is easily oxidized, it is common to use parts which have been subjected to anodic oxidation treatment to form an aluminum oxide film to improve the corrosion resistance. If the use condition does not require the opening and closing operation, it can be used without any problem such as the stick-slip phenomenon.
【００１７】しかし衝撃による破損をおこしやすい被保
持体をクランプするためには低速で安定した開閉動作が
必要とされるため、速度調整弁により流体圧流量を絞り
スティックスリップ現象の発生しない限界の速度に設定
し、マスタージョウが１０ｍｍ移動するのにどれだけの
時間をかけて移動する事ができるか測定を行った。However, since a stable opening and closing operation at a low speed is required in order to clamp an object which is liable to be damaged by an impact, a speed regulating valve is used to reduce the fluid pressure flow rate and limit the speed at which the stick-slip phenomenon does not occur. Was set, and how long it took for the master jaw to move 10 mm was measured.
【００１８】その結果、アルミニウムの表面処理として
一般的な陽極酸化処理を施し酸化アルミニウム皮膜を生
成させた部品を使用した場合、１０ｍｍ移動するのにか
けられる最長時間は３秒であることが実測により求めら
れた。[0018] As a result, when using a component which has been subjected to a general anodic oxidation treatment as an aluminum surface treatment to form an aluminum oxide film, the maximum time required for moving 10 mm is 3 seconds by actual measurement. Was done.
【００１９】これに対し、本発明の流体圧チャックは部
品の金属表面にリン化ニッケル皮膜の結晶体の皮膜を生
成させ、そのリン化ニッケルの結晶体を形成した金属表
面に摩擦係数の極めて小さい四弗化樹脂を含浸させるこ
とにより、従来アルミニウム部品に一般的に行われてい
る陽極酸化処理を施した流体圧チャックに較べ速度調整
弁により流体圧流量を更に絞った状態であっても、ステ
ィックスリップ現象を起こす事無く低速で安定した開閉
動作をする事ができる。On the other hand, in the fluid pressure chuck of the present invention, a nickel phosphide film is formed on the metal surface of the component, and the friction coefficient is extremely small on the metal surface on which the nickel phosphide crystal is formed. By impregnating with tetrafluoride resin, even if the fluid pressure flow rate is further reduced by the speed control valve compared to the fluid pressure chuck that has been subjected to anodizing treatment commonly performed on aluminum parts, even if the fluid pressure flow rate is further reduced. A stable opening and closing operation can be performed at a low speed without causing a slip phenomenon.
【００２０】本発明を実施した流体圧チャックを使い従
来の流体圧チャックに行ったのと同様に１０ｍｍ移動す
るのにかけられる最長時間の測定をすると、従来の流体
圧チャックが３秒であったのに対し本発明の流体圧チャ
ックはスティックスリップ現象を起こすことなく３０秒
もの時間をかけ安定した開閉動作をすることができる事
が実測により明かになった。Using the fluid pressure chuck embodying the present invention and measuring the longest time required to move by 10 mm in the same manner as performed on the conventional fluid pressure chuck, the conventional fluid pressure chuck was 3 seconds. On the other hand, it has been clarified by actual measurement that the fluid pressure chuck of the present invention can perform a stable opening / closing operation over 30 seconds without causing a stick-slip phenomenon.
【００２１】よって本発明の流体圧チャックはクランプ
時の衝撃により破損する可能性のある保持体であっても
安定した低速動作が可能なため衝撃を与える事なくクラ
ンプする事ができ、クランプ時の衝撃による被保持の破
損を防ぐ事が可能である。Therefore, the fluid pressure chuck according to the present invention can perform a stable low-speed operation even if the holding member is likely to be damaged by the impact at the time of clamping, so that it can be clamped without giving an impact. It is possible to prevent the holding member from being damaged by the impact.
【００２２】また、ニッケルリン皮膜は耐蝕性に優れた
性質をもっているため従来の処理の目的であるアルミニ
ウムの加工表面の耐蝕性の問題も解消することができ
る。Further, since the nickel phosphorus film has excellent corrosion resistance, the problem of the corrosion resistance of the processed surface of aluminum, which is the object of the conventional treatment, can be solved.
【００２３】更にリン化ニッケルの結晶体を形成させる
ために、ニッケルリン皮膜に熱処理をおこなっており、
この熱処理により表面硬度が硬くなるため耐摩耗性を向
上させることができるなどの効果も得る事ができる。Further, in order to form a crystal of nickel phosphide, a heat treatment is performed on the nickel phosphorus film,
Since the surface hardness is increased by this heat treatment, it is possible to obtain effects such as improvement of wear resistance.
【図１】発明の実施例を示す断面図である。FIG. 1 is a sectional view showing an embodiment of the present invention.
【図２】発明の実施例を示すピニオン部の部分断面図で
ある。FIG. 2 is a partial cross-sectional view of a pinion portion showing the embodiment of the present invention.
１ ボディ ２ａ ピストン ２ｂ ピストン ３ａ マスタージョウ ３ｂ マスタージョウ ４ ガイドロット ５ ピニオン ６ 支点軸 ７ａ 第１圧力ポート ７ｂ 第２圧力ポート ８ シリンダカバー Reference Signs List 1 body 2a piston 2b piston 3a master jaw 3b master jaw 4 guide lot 5 pinion 6 fulcrum shaft 7a first pressure port 7b second pressure port 8 cylinder cover
Claims (1)
る複数のマスタージョウを備えた駆動部とガイド部より
構成される流体圧チャックにおいて、シリンダー部の金
属表面にリン化ニッケル結晶体の皮膜を形成し、この表
面組織に四弗化樹脂を含浸させた事を特徴とする流体圧
チャック。1. A fluid pressure chuck comprising a drive unit having a plurality of master jaws which are opened and closed by a driving force of a fluid pressure cylinder and a guide unit, wherein a nickel phosphide crystal film is formed on a metal surface of the cylinder unit. A fluid pressure chuck characterized in that the surface structure is impregnated with a tetrafluoride resin.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1827298A JPH11198084A (en) | 1998-01-12 | 1998-01-12 | Fluid pressure chuck for low speed opening and closing motion |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1827298A JPH11198084A (en) | 1998-01-12 | 1998-01-12 | Fluid pressure chuck for low speed opening and closing motion |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11198084A true JPH11198084A (en) | 1999-07-27 |
Family
ID=11967027
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1827298A Pending JPH11198084A (en) | 1998-01-12 | 1998-01-12 | Fluid pressure chuck for low speed opening and closing motion |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11198084A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003175431A (en) * | 2001-12-11 | 2003-06-24 | Tec Yasuda:Kk | Hydraulic double-clamp fixture and grip vice for a plurality of workpieces |
| CN102049692A (en) * | 2010-12-01 | 2011-05-11 | 宜昌中冶重工机械有限公司 | Plate spring tensioning tool and machining method |
| CN103802123A (en) * | 2014-02-26 | 2014-05-21 | 温州职业技术学院 | Manipulator with three-dimensional elastic clamping paw |
-
1998
- 1998-01-12 JP JP1827298A patent/JPH11198084A/en active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003175431A (en) * | 2001-12-11 | 2003-06-24 | Tec Yasuda:Kk | Hydraulic double-clamp fixture and grip vice for a plurality of workpieces |
| CN102049692A (en) * | 2010-12-01 | 2011-05-11 | 宜昌中冶重工机械有限公司 | Plate spring tensioning tool and machining method |
| CN103802123A (en) * | 2014-02-26 | 2014-05-21 | 温州职业技术学院 | Manipulator with three-dimensional elastic clamping paw |
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