JPH11198021A - Reel mounting device in wire saw - Google Patents
Reel mounting device in wire sawInfo
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- JPH11198021A JPH11198021A JP1763598A JP1763598A JPH11198021A JP H11198021 A JPH11198021 A JP H11198021A JP 1763598 A JP1763598 A JP 1763598A JP 1763598 A JP1763598 A JP 1763598A JP H11198021 A JPH11198021 A JP H11198021A
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- B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【技術分野】この発明はリールを回転軸に装着するため
の装置，特にワイヤソー（ワイヤ式切断加工装置）にお
いてソーワイヤを供給する，またはソーワイヤを巻取る
ためのリールの装着装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus for mounting a reel on a rotating shaft, and more particularly to a reel mounting apparatus for supplying a saw wire or winding a saw wire in a wire saw (wire-type cutting apparatus).
【０００２】[0002]
【従来技術】リールにはワイヤ，ロープ，コード等の線
状体が巻回される，または巻回されている。リールから
線状体を繰出す，またはリールに線状体を巻取る場合に
はリールは回転軸（駆動回転軸または従動回転軸）に装
着される。たとえばワイヤソーにおいては，ソーワイヤ
を走行させて半導体インゴット等をスライスするもので
あるから，繰出し側においてソーワイヤを繰出しリール
から引出し，巻取り側においてソーワイヤを巻取りリー
ルに巻取る。2. Description of the Related Art A linear member such as a wire, a rope, or a cord is wound or wound on a reel. When the linear body is fed from the reel or wound up on the reel, the reel is mounted on a rotating shaft (a driving rotating shaft or a driven rotating shaft). For example, in a wire saw, a semiconductor ingot or the like is sliced by running the saw wire. Therefore, the saw wire is pulled out from a pay-out reel on a pay-out side, and the saw wire is wound on a take-up reel on a take-up side.
【０００３】従来のリールの回転軸への装着方法にはい
くつかある。その一つは，両センタによる装着方法であ
り，固定側回転センタと移動側回転センタとを互いに対
向するように配置しておき，リールの巻胴の一端を固定
側回転センタに嵌込み，リールの巻胴の他部に移働側回
転センタを押し込むことにより，リールをその両側から
回転自在に狭持するものである。There are several conventional methods for mounting a reel on a rotating shaft. One is a mounting method using both centers, in which a fixed-side rotating center and a moving-side rotating center are arranged so as to face each other, and one end of a reel winding drum is fitted into the fixed-side rotating center, and the reel is mounted on the reel. By pressing the transfer-side rotation center into the other part of the winding drum, the reel is rotatably held from both sides thereof.
【０００４】この方法は，２つのセンタによってリール
の巻胴を常時押すことになるので，センタにスラスト荷
重が加わる。In this method, since the reel cylinder is constantly pushed by two centers, a thrust load is applied to the centers.
【０００５】他の１つはたて形装着方法といわれるもの
で，回転軸を垂直に配置し，この垂直回転軸に，通し軸
（ボルト）等を用いてリールを装着するものである。こ
のたて形装着方法においてもリール（およびそれに巻回
される線状体）の自重によって回転軸にスラスト荷重が
加わり，このスラスト荷重は線状体の巻取りまたは巻き
戻しの進行にともなって変化する。スラスト荷重の変化
は巻取られる，または巻戻される線状体に働く張力に微
妙な変化を与える。また，たて形であるから，線状体に
ゆるみが発生したときに線状体がずり落ちてもつれの原
因になる。[0005] The other is a vertical mounting method in which a rotating shaft is arranged vertically, and a reel is mounted on the vertical rotating shaft using a through shaft (bolt) or the like. Also in this vertical mounting method, a thrust load is applied to the rotating shaft by the own weight of the reel (and the linear body wound therearound), and this thrust load changes as the winding or unwinding of the linear body progresses. I do. A change in the thrust load causes a subtle change in the tension acting on the wound or unwound wire. In addition, since the linear body is loose, when the linear body is loosened, the linear body slips down, causing tangling.
【０００６】[0006]
【発明の開示】この発明はリールを支持する回転軸にス
ラスト荷重を発生させることのないリールの装着装置を
提供するものである。DISCLOSURE OF THE INVENTION The present invention provides a reel mounting apparatus which does not generate a thrust load on a rotating shaft supporting the reel.
【０００７】この発明はまたリールの装脱の容易なワイ
ヤソーにおけるリールの装着装置を提供するものであ
る。Another object of the present invention is to provide an apparatus for mounting a reel on a wire saw in which the reel can be easily mounted and dismounted.
【０００８】この発明によるリールの装着装置は，回転
軸（駆動回転軸または従動回転軸）が筒状体により形成
され，この筒状回転軸の周面に，その長手方向の２箇所
において，周方向に等角度間隔で複数の窓があけられ，
これらの窓内に締付部材がそれぞれ進退自在に嵌め入れ
られ，筒状回転軸内を通る締付け用ねじ軸には２箇所に
互いに逆方向のねじが形成され，これらのねじにナット
がそれぞれねじ嵌められ，これらのナットには互いに反
対方向に傾斜した複数のテーパ面が形成され，ナットの
テーパ面に適合するテーパ面が締付部材の内側面に形成
され，ナットのテーパ面に接しているものである。ここ
でリールとはボビン，ドラム，その他の名称で呼ばれ，
線状体を巻回するために用いられるすべてのものを含
む。In the reel mounting apparatus according to the present invention, a rotating shaft (a driving rotating shaft or a driven rotating shaft) is formed of a cylindrical body, and the rotating shaft is formed on a circumferential surface of the cylindrical rotating shaft at two locations in a longitudinal direction thereof. Multiple windows are opened at equal angular intervals in the direction,
Tightening members are respectively fitted in these windows so as to be able to advance and retreat, and two opposite screws are formed in two places on a tightening screw shaft passing through the cylindrical rotary shaft. These nuts are fitted with a plurality of tapered surfaces inclined in opposite directions, and a tapered surface matching the tapered surface of the nut is formed on the inner surface of the tightening member, and is in contact with the tapered surface of the nut. Things. Here, reels are called bobbins, drums, and other names,
Includes everything used to wind the linear body.
【０００９】この発明のリール装着装置において，筒状
回転軸は基本的には水平に配置され，かつ片持ち式のも
のである。筒状回転軸は片持ち式であるから，一端部が
回転自在に保持され，他端が開放されている。この開放
されている他端からリールが筒状回転軸に装着される。
締付け用ねじ軸を回すと，そのねじ軸にねじはめられた
ナットが互いに反対方向に動き，そのテーパ面を介して
締付部材を筒状回転軸の径方向に押し出す。締付部材の
一部が筒状回転軸の外周面から突出し，リールの巻胴の
内周面を押すので，リールは筒状回転軸にしっかりと固
定される。In the reel mounting device according to the present invention, the cylindrical rotary shaft is basically arranged horizontally and is of a cantilever type. Since the cylindrical rotary shaft is of a cantilever type, one end is rotatably held and the other end is open. The reel is mounted on the cylindrical rotating shaft from the other end which is open.
When the tightening screw shaft is turned, the nuts screwed to the screw shaft move in opposite directions, and push the tightening member radially through the tapered surface of the cylindrical rotary shaft. A part of the fastening member protrudes from the outer peripheral surface of the cylindrical rotary shaft and presses the inner peripheral surface of the reel bobbin, so that the reel is firmly fixed to the cylindrical rotary shaft.
【００１０】片持ち式の水平に配置された筒状回転軸に
リールを装着するものであるから，回転軸にスラスト荷
重が発生することがない。これにより，リールから巻戻
される，またはリールに巻取られる線状体の張力が安定
する。また，リールを筒状回転軸に装着して締付け用ね
じ軸を回転させるだけでよいから，リールの着脱操作，
作業が容易である。締付部材は筒状回転軸の周方向に等
角度間隔で配置されており，その突出量も等しく設定さ
れているので，リールの芯と筒状回転軸の芯とが必ず一
致し，リールの回転芯振れが無い，または少ない。[0010] Since the reel is mounted on the cantilevered cylindrical rotary shaft arranged horizontally, no thrust load is generated on the rotary shaft. Thereby, the tension of the linear body unwound from the reel or wound on the reel is stabilized. Also, since it is only necessary to mount the reel on the cylindrical rotary shaft and rotate the screw shaft for tightening, the operation of attaching and detaching the reel,
Work is easy. The tightening members are arranged at equal angular intervals in the circumferential direction of the cylindrical rotary shaft, and the protrusion amounts thereof are set to be equal. Therefore, the core of the reel and the core of the cylindrical rotary shaft always coincide with each other. No or little rotation center runout.
【００１１】上述のように筒状回転軸は基本的には水平
に配置されることにより顕著な効果を奏するが，垂直に
配置することを排除するものではない。As described above, the cylindrical rotary shaft basically has a remarkable effect when it is arranged horizontally, but it does not exclude that it is arranged vertically.
【００１２】この発明はワイヤソーにおけるリールの装
着装置を提供している。この発明によるリールの装着装
置は，平行に配置され，かつ切断用ワイヤが掛けられる
複数の溝ロールを含む溝ロール群と，溝ロール群にソー
ワイヤを供給するワイヤ繰出し機構と，溝ロール群から
ソーワイヤを巻取るワイヤ巻取り機構とを備えたワイヤ
ソーにおいて，ワイヤ繰出し機構およびワイヤ巻取り機
構の少なくともいずれか一方の回転軸が一端部において
回転自在にかつ水平に支持され，他端は開放され，この
開放された他端から回転軸にリールが装着されるもので
ある。The present invention provides a reel mounting device for a wire saw. A reel mounting apparatus according to the present invention includes a groove roll group including a plurality of groove rolls arranged in parallel and on which a cutting wire is hung, a wire feeding mechanism for supplying a saw wire to the groove roll group, and a saw wire from the groove roll group. A wire take-up mechanism for winding the wire, at least one of the rotation shafts of the wire feeding mechanism and the wire take-up mechanism is rotatably and horizontally supported at one end, and the other end is opened. The reel is mounted on the rotating shaft from the open other end.
【００１３】回転軸は水平かつ片持ち式であるから，リ
ールの回転軸への装着および離脱が容易である。回転軸
は水平であるから，上記のようにスラスト荷重の発生が
ない。Since the rotating shaft is horizontal and cantilevered, the reel can be easily mounted on and removed from the rotating shaft. Since the rotating shaft is horizontal, no thrust load is generated as described above.
【００１４】この発明による他のリールの装着装置は，
平行に配置され，かつ切断用ワイヤが掛けられる複数の
溝ロールを含む溝ロール群と，溝ロール群にソーワイヤ
を供給するワイヤ繰出し機構と，溝ロール群からソーワ
イヤを巻取るワイヤ巻取り機構とを備えたワイヤソーに
おいて，ワイヤ繰出し機構およびワイヤ巻取り機構の少
なくともいずれか一方の回転軸に，その径方向に進退自
在に押圧部材が設けられ，この押圧部材が外方に突出し
て，回転軸に装着されたリールの巻胴を押圧することに
より，リールが回転軸に固定されるものである。押圧部
材を進退させる機構にはねじ式，油圧式その他のものが
ある。Another reel mounting device according to the present invention comprises:
A groove roll group including a plurality of groove rolls arranged in parallel and on which a cutting wire is hung, a wire feeding mechanism for supplying a saw wire to the groove roll group, and a wire winding mechanism for winding the saw wire from the groove roll group In the provided wire saw, a pressing member is provided on at least one of the rotating shaft of the wire feeding mechanism and the wire winding mechanism so as to be able to advance and retreat in the radial direction, and the pressing member protrudes outward and is mounted on the rotating shaft. The reel is fixed to the rotating shaft by pressing the wound reel cylinder. The mechanism for moving the pressing member forward and backward includes a screw type, a hydraulic type, and others.
【００１５】この発明によると，回転軸に嵌め込まれた
リールを回転軸から進出する押圧部材により固定するも
のであり（これを内拡式支持という），リールをその両
側から挟持するものではないので，この点で回転軸にス
ラスト荷重が加わることはない。また，リールの着脱も
容易である。According to the present invention, the reel fitted to the rotating shaft is fixed by the pressing member extending from the rotating shaft (this is referred to as an inwardly expanding support), and the reel is not clamped from both sides. At this point, no thrust load is applied to the rotating shaft. Also, the reel can be easily attached and detached.
【００１６】特に，上記押圧部材を回転軸の軸方向の少
なくとも２箇所に設け，各箇所において複数の押圧部材
を等角度間隔に配置することにより，リールの中心と回
転軸の中心とを一致させることができ，芯振れを起こす
ことがない。回転軸は水平であっても，垂直であっても
よい。In particular, the pressing member is provided at at least two places in the axial direction of the rotating shaft, and a plurality of pressing members are arranged at equal angular intervals in each place, so that the center of the reel coincides with the center of the rotating shaft. And no run-out occurs. The axis of rotation may be horizontal or vertical.
【００１７】[0017]
【実施例】図１はワイヤソーの全体的配置構成を示して
いる。FIG. 1 shows the overall arrangement of a wire saw.
【００１８】ワーク109 はワーク送り装置108 の先端部
に保持され，溝ロール111 と112 との間を鉛直に走行す
るソーワイヤ114 に対して進退する。The work 109 is held at the tip of a work feeder 108, and advances and retreats with respect to a saw wire 114 running vertically between groove rolls 111 and 112.
【００１９】巻戻しリール121 に巻回されているソーワ
イヤ114 は繰出し側トラバース機構122 ，シーブ123 ，
測長部124 ，繰出し側ダンサー機構125 ，およびシーブ
126，127 （これらがソーワイヤの繰出し機構を構成す
る）を経て溝ロール群の上部の溝ロール111 に供給され
る。The saw wire 114 wound on the rewinding reel 121 has a feed-out traverse mechanism 122, a sheave 123,
Measuring unit 124, payout side dancer mechanism 125, and sheave
It is supplied to the groove roll 111 above the groove roll group via 126 and 127 (these constitute a saw wire feeding mechanism).
【００２０】ソーワイヤ114 は３つの溝ロール111 〜11
3 の間をその溝の数だけ順番に掛けられている。ソーワ
イヤ114 は溝ロール113 から引出され，巻取り機構に送
られる。巻取り機構はシーブ138 ，その他の方向転換用
シーブ，シーブ137 ，キャプスタン機構136 ，巻取り側
ダンサー機構135 ，シーブ134 ，133 ，巻取り側トラバ
ース機構132 および巻取りリール131 を含む。The saw wire 114 has three groove rolls 111 to 11.
It is hung in the order of the number of grooves between three. The saw wire 114 is pulled out from the groove roll 113 and sent to a winding mechanism. The winding mechanism includes a sheave 138, other sheaves for changing directions, a sheave 137, a capstan mechanism 136, a winding dancer mechanism 135, sheaves 134 and 133, a winding traverse mechanism 132, and a winding reel 131.
【００２１】溝ロール群に供給されるソーワイヤ114 の
張力は繰出し側ダンサー機構125 によって常にほぼ一定
値（設定値）になるように制御される。測長部124 はソ
ーワイヤ114 の繰出し量（供給量）を測定するものであ
る。The tension of the saw wire 114 supplied to the groove roll group is controlled by the pay-out side dancer mechanism 125 so as to always become a substantially constant value (set value). The length measuring section 124 measures the feeding amount (supply amount) of the saw wire 114.
【００２２】溝ロール群から引出されるソーワイヤ114
の張力はキャプスタン機構136 によって常にほぼ一定値
（設定値）になるように制御される。溝ロール群の出口
側におけるワイヤ114 の張力と入口側におけるワイヤ11
4 の張力とは一般に等しくなるように制御される。キャ
プスタン機構136 はその入口側の張力と出口側の張力と
を分離するという特徴をもつ。キャプスタン機構136 の
入口側（溝ロール群の出口側）の張力は，溝ロール群の
駆動（ワークの切断）に適した値に設定される。他方，
巻取りリール131 に巻回されるワイヤ114 の張力は溝ロ
ール群における張力よりも小さい方が好ましい。したが
って，キャプスタン機構136 の出口側（巻取りリール13
1 側）の張力は入口側の張力よりも低く設定される。巻
取りリール131 に巻取られるワイヤ114 の張力は巻取り
側ダンサー機構135 によって制御される。Saw wire 114 pulled out from the groove roll group
Is controlled by the capstan mechanism 136 so as to always become a substantially constant value (set value). The tension of the wire 114 on the outlet side of the grooved roll group and the wire 11 on the inlet side
4 is generally controlled to be equal to the tension. The capstan mechanism 136 is characterized in that the tension on the entrance side and the tension on the exit side are separated. The tension on the entrance side (the exit side of the groove roll group) of the capstan mechanism 136 is set to a value suitable for driving the groove roll group (cutting the work). On the other hand,
The tension of the wire 114 wound around the take-up reel 131 is preferably smaller than the tension of the groove roll group. Therefore, the outlet side of the capstan mechanism 136 (take-up reel 13
The tension at 1) is set lower than the tension at the inlet. The tension of the wire 114 wound on the take-up reel 131 is controlled by a take-up dancer mechanism 135.
【００２３】ソーワイヤ114 がこのワイヤ114 に進入す
るワーク109 と接触する箇所（加工箇所）の斜め上方お
よび斜め下方には，砥粒を含む加工液を加工箇所に向け
て供給するノズル（図示略）が設けられている。溝ロー
ル113 が駆動モータ（図示略）によって回転駆動され
る。溝ロール111 〜113 が同方向に回転することによっ
て溝ロール111 〜113 に張設されたソーワイヤ114 が一
方向に走行する。ワーク109 を少しずつワイヤ114 に向
けて水平方向に移動させ，ワーク109 を溝ロール111 と
112 の間の鉛直に走行するワイヤ114 に押し付け，かつ
ワイヤ114 とワーク109 とが接触している加工箇所にノ
ズルから砥粒を含む加工液を供給する。これによってワ
ーク109 が一定幅の複数のウエハに切断される。A nozzle (not shown) for supplying a processing liquid containing abrasive grains toward the processing location obliquely above and below a location (processing location) where the saw wire 114 comes into contact with the workpiece 109 entering the wire 114. Is provided. The groove roll 113 is driven to rotate by a drive motor (not shown). As the groove rolls 111 to 113 rotate in the same direction, the saw wire 114 stretched over the groove rolls 111 to 113 travels in one direction. The work 109 is moved little by little toward the wire 114 in the horizontal direction.
A processing fluid containing abrasive grains is supplied from a nozzle to a processing location where the wire 114 and the workpiece 109 are pressed against the wire 114 running vertically between the workpieces 112 and 112. As a result, the work 109 is cut into a plurality of wafers having a constant width.
【００２４】この実施例では，繰出し側から巻取り側に
ワイヤを適当な長さ（たとえば 100ｍ〜 200ｍ）走行さ
せ（これを順方向走行という），その後，逆方向に上記
の長さの半分の長さ巻戻し（これを逆方向走行とい
う），この往復走行を繰返す方式（間欠往復走行方式と
いう）が用いられる。ワイヤ114 はワーク109 を切断す
るのにどの部分においても３回（順，逆，順）均等に用
いられることになる。In this embodiment, the wire is run from the feeding side to the winding side by an appropriate length (for example, 100 m to 200 m) (this is referred to as forward running), and then the wire is moved in the reverse direction by half of the above length. A method of rewinding the length (referred to as reverse traveling) and a method of repeating the reciprocating traveling (intermittent reciprocating traveling method) is used. The wire 114 is used evenly three times (in order, in reverse, in order) to cut the workpiece 109 in any part.
【００２５】ソーワイヤ114 の間欠往復走行制御におい
て，ロール群の駆動モータの順，逆方向駆動に応じて，
巻戻しリール121 および巻取りリール131 の駆動モータ
（図示略）も同じように順，逆方向駆動されるのはいう
までもない。In the intermittent reciprocating running control of the saw wire 114, the driving motors of the roll group are driven in the forward and reverse directions.
It goes without saying that the drive motors (not shown) of the rewind reel 121 and the take-up reel 131 are similarly driven in the forward and reverse directions.
【００２６】もちろん，ソーワイヤ114 を常に繰出し側
から巻取り側に向かって走行させるようにしてもよいの
はいうまでもない。Of course, it goes without saying that the saw wire 114 may always be run from the pay-out side to the take-up side.
【００２７】ソーワイヤ114 の繰出し機構および巻取り
機構に設けられるリール121 ，131は水平な駆動軸に装
着される。リールの駆動軸への装着機構について図２お
よび図３を参照して説明する。以下の説明ではリール12
1 または131 を符号30で示す。The reels 121 and 131 provided for the feeding mechanism and the winding mechanism of the saw wire 114 are mounted on a horizontal drive shaft. A mechanism for mounting the reel on the drive shaft will be described with reference to FIGS. In the following description, reel 12
1 or 131 is indicated by reference numeral 30.
【００２８】フレーム２に設けられた軸受３によって駆
動軸１が回転自在に受けられている。駆動軸１は駆動モ
ータにより回転駆動される。The drive shaft 1 is rotatably received by a bearing 3 provided on the frame 2. The drive shaft 1 is rotationally driven by a drive motor.
【００２９】駆動軸１のフレーム２の外方に突出した端
部には駆動筒（筒状駆動軸）10が駆動軸１と軸心を一致
させて取付けられ，まっすぐ水平にかつ外方にのびてい
る。駆動筒10はその一端で回転自在に支持された片持ち
式のものである。駆動筒10の軸受３に近い端部にはリー
ル30を位置決めするためのフランジ11が設けられてい
る。フランジ11には１または複数のドライブピン18が立
設されている。駆動筒10の先端（他端）は円板10ａによ
って閉じられている。A drive cylinder (cylindrical drive shaft) 10 is attached to the end of the drive shaft 1 protruding outward from the frame 2 so that the drive shaft 1 and the drive shaft 1 are aligned with each other. Is running. The drive cylinder 10 is of a cantilever type rotatably supported at one end. A flange 11 for positioning the reel 30 is provided at an end of the drive cylinder 10 near the bearing 3. One or a plurality of drive pins 18 are provided upright on the flange 11. The distal end (the other end) of the driving cylinder 10 is closed by a disk 10a.
【００３０】駆動筒10の周面には，図４に最もよく示さ
れているように，２箇所に複数個の窓12が形成されてい
る。各箇所において，窓12は駆動筒10の周方向に90度間
隔で４個ずつ形成されている。各窓12は駆動筒10の軸方
向に長い一種の長孔である。As shown best in FIG. 4, a plurality of windows 12 are formed in two places on the peripheral surface of the drive cylinder 10. At each location, four windows 12 are formed at 90-degree intervals in the circumferential direction of the drive cylinder 10. Each window 12 is a kind of long hole that is long in the axial direction of the drive cylinder 10.
【００３１】駆動筒10内には締付け用のねじ軸20が設け
られている。このねじ軸20の一端は円板10ａにあけられ
た孔19を通って駆動筒10の外方に突出している。この突
出部23は四角形（または六角形）の断面を持ち，レンチ
その他の治具を用いて回転外力が加えられるようになっ
ている。A screw shaft 20 for tightening is provided in the drive cylinder 10. One end of the screw shaft 20 projects outside the drive cylinder 10 through a hole 19 formed in the disk 10a. The protruding portion 23 has a square (or hexagonal) cross section, and an external rotational force is applied using a wrench or another jig.
【００３２】ねじ軸20には上述した駆動筒10の２箇所の
窓12に対応する２箇所にねじ21，22が切られている。こ
れらのねじ21と22は互いに逆方向のねじ（逆ねじ）であ
る。The screw shaft 20 is provided with screws 21 and 22 at two positions corresponding to the two windows 12 of the drive cylinder 10 described above. These screws 21 and 22 are screws in opposite directions (reverse screws).
【００３３】２つのナット24がねじ軸20のねじ21，22に
ねじ嵌められている。ナット24は基本的には円柱形で，
その外周面が駆動筒10の内周面に回転自在にぴったりと
嵌っている。したがって，ねじ軸20は，ナット24を介し
て，駆動筒10の中心軸と中心軸を一致させた状態で駆動
筒10内に保持されていることになる。ねじ軸20を回転さ
せると２つのナット24は互いに反対方向に移働する。Two nuts 24 are screwed into the screws 21 and 22 of the screw shaft 20. The nut 24 is basically cylindrical,
The outer peripheral surface is fitted to the inner peripheral surface of the drive cylinder 10 rotatably. Therefore, the screw shaft 20 is held in the drive cylinder 10 via the nut 24 with the center axis of the drive cylinder 10 aligned with the center axis. When the screw shaft 20 is rotated, the two nuts 24 move in opposite directions.
【００３４】ねじ軸20の中央の径の太い部分とナット24
との間には圧縮コイル・スプリング26が設けられてい
る。圧縮コイル・スプリング26によって２つのナット24
が常に外方向に押されている。これによりナット24の高
精度のねじ送りが保証されるとともに，リール30が装着
されていない状態で空運転したときに起きやすい音の発
生を防止できる。The central portion of the screw shaft 20 having a large diameter and the nut 24
Between them, a compression coil spring 26 is provided. Two nuts 24 by compression coil spring 26
Is always pushed outward. As a result, high-precision screw feed of the nut 24 is ensured, and it is possible to prevent generation of a sound that is likely to occur when the idle operation is performed without the reel 30 mounted.
【００３５】各ナット24の外周面にはその周方向に90度
の角度間隔で，軸方向にのびる溝25が形成されている。
これらの溝25は，一種のあり溝のように，内部の溝幅が
入り口の幅よりも段状に広く形成されている。溝25の底
面はテーパ面25ａとなっている。すなわち，２つのナッ
ト24において，溝25の底面は互いに逆方向に（ねじ軸20
の外方に向かって中心軸に近づく方向に）傾斜してい
る。Grooves 25 extending in the axial direction are formed on the outer peripheral surface of each nut 24 at angular intervals of 90 degrees in the circumferential direction.
These grooves 25 are formed such that the internal groove width is stepwise wider than the width of the entrance like a kind of dovetail groove. The bottom surface of the groove 25 is a tapered surface 25a. That is, in the two nuts 24, the bottom surfaces of the grooves 25 are in opposite directions (the screw shaft 20).
(In a direction approaching the central axis outward).
【００３６】駆動筒10に形成された窓12には締付部材13
が筒の内外方向に進退自在に嵌め入れられている。締付
部材13はナット24の溝25内に摺動自在に嵌め入れられた
部材15と，窓12内に進退自在に嵌め入れられた部材14
と，この部材14の外面に接着等により固定された緩衝部
材（硬質ゴムなどの弾性材）16とから構成されている。
部材15と部材14とはボルトにより互いに固定されてい
る。部材15の内面もまたテーパ面13ａとなっている。こ
れらのテーパ面13ａはナット24の対応する溝25のテーパ
面25ａと適合する方向に傾斜しており，テーパ面13ａと
テーパ面25ａとは摺動自在にぴったりと接している。A window 12 formed in the drive cylinder 10 has a fastening member 13
Are fitted in the tube so as to be able to move in and out of the tube. The fastening member 13 includes a member 15 slidably fitted in the groove 25 of the nut 24 and a member 14 fitted slidably in the window 12.
And a buffer member (elastic material such as hard rubber) 16 fixed to the outer surface of the member 14 by bonding or the like.
The member 15 and the member 14 are fixed to each other by bolts. The inner surface of the member 15 is also a tapered surface 13a. These tapered surfaces 13a are inclined in a direction compatible with the tapered surface 25a of the corresponding groove 25 of the nut 24, and the tapered surface 13a and the tapered surface 25a are slidably in contact with each other.
【００３７】リール30は巻胴31とその両端に設けられた
フランジ32とから構成されている。リール30の巻胴31の
内径は駆動筒10にほぼぴったりと（若干の隙間をあけ
て）嵌る程度の大きさである。The reel 30 comprises a winding drum 31 and flanges 32 provided at both ends thereof. The inner diameter of the winding drum 31 of the reel 30 is large enough to fit the drive cylinder 10 almost exactly (with a slight gap).
【００３８】リール30は駆動筒10に次のようにして装着
される。The reel 30 is mounted on the driving cylinder 10 as follows.
【００３９】ねじ軸20を回して締付部材13を駆動筒10の
外周面よりも引っ込んだ状態としておく。リール30の巻
胴31を駆動筒10に，リール30のフランジ32が駆動筒10の
フランジ11に当るまで，そしてドライブ・ピン18がリー
ル30のフランジ32の凹部33に嵌るように，嵌め入れる。The tightening member 13 is retracted from the outer peripheral surface of the driving cylinder 10 by turning the screw shaft 20. The winding drum 31 of the reel 30 is fitted into the drive cylinder 10 until the flange 32 of the reel 30 contacts the flange 11 of the drive cylinder 10, and the drive pin 18 is fitted into the recess 33 of the flange 32 of the reel 30.
【００４０】ねじ軸20をナット24が外方に進む方向に回
転させる。２つのナット24がともに駆動筒10の外方に向
かって動き，そのテーパ面25ａと締付部材13のテーパ面
13ａとの接触を介して締付部材13が窓12から外方に押し
出される。締付部材13はリール30の巻胴31の内周面を押
すので，リール30は駆動筒10にしっかりと固定される。The screw shaft 20 is rotated in a direction in which the nut 24 moves outward. The two nuts 24 move toward the outside of the driving cylinder 10 together, and the tapered surface 25a and the tapered surface
The fastening member 13 is pushed out of the window 12 through the contact with 13a. Since the fastening member 13 presses the inner peripheral surface of the winding drum 31 of the reel 30, the reel 30 is firmly fixed to the driving cylinder 10.
【００４１】締付部材13は２箇所において90度間隔で設
けられている。ねじ軸20の回転によって締付部材13が外
方に変位する量は等しい。したがって，リール30はその
中心軸が駆動筒10の中心軸と一致する位置で強く締付け
られ，芯振れなく固定されることになる。締付部材13の
外面には緩衝部材16が設けられているので，リール30の
巻胴31の内周面に傷等をつけることがない。The fastening members 13 are provided at two locations at 90-degree intervals. The amount by which the tightening member 13 is displaced outward by the rotation of the screw shaft 20 is equal. Therefore, the reel 30 is strongly tightened at a position where the center axis thereof coincides with the center axis of the drive cylinder 10, and is fixed without center runout. Since the cushioning member 16 is provided on the outer surface of the fastening member 13, the inner peripheral surface of the winding drum 31 of the reel 30 is not damaged.
【００４２】リール30を駆動筒10から取外すには，ねじ
軸20を上記とは逆方向に回転させればよい。これによ
り，２つのナット24は互いに近づく方向に動き，締付部
材13が駆動筒10から退入する。リール30を駆動筒10から
簡単に引抜くことができる。To remove the reel 30 from the drive cylinder 10, the screw shaft 20 may be rotated in a direction opposite to the above. As a result, the two nuts 24 move toward each other, and the fastening member 13 retreats from the drive cylinder 10. The reel 30 can be easily pulled out of the drive cylinder 10.
【００４３】このように，駆動筒10は片持ち式であり，
リール30の装着取外しは単に締付け用ねじ軸20を回転さ
せればよいから，リールの着脱操作，作業が容易であ
る。As described above, the driving cylinder 10 is of a cantilever type,
Since the mounting and dismounting of the reel 30 can be performed simply by rotating the screw shaft 20 for tightening, the operation of attaching and detaching the reel and the operation are easy.
【００４４】駆動筒10は水平に配置されているので駆動
筒10にスラスト荷重の発生がない。このため，リール30
から巻戻される，またはリール30に巻付けられるワイヤ
等の線状体の張力が安定する。Since the driving cylinder 10 is arranged horizontally, no thrust load is generated on the driving cylinder 10. For this reason, reel 30
The tension of a linear body such as a wire that is unwound from or wound around the reel 30 is stabilized.
【００４５】上記実施例ではナット24の外周面が駆動筒
10の内周面にぴったりと接しており，ナット24がねじ軸
20の軸受の役割も果たしている。駆動筒10内にねじ軸20
を回転自在に受ける軸受を設ければ，ナット24はその外
周面が駆動筒10の内周面に接していなくてもよい。In the above embodiment, the outer peripheral surface of the nut 24 is
Nut 24 is in contact with the inner circumference of 10
It also plays the role of 20 bearings. Screw shaft 20 in drive cylinder 10
If a bearing for rotatably receiving the nut 24 is provided, the outer peripheral surface of the nut 24 may not be in contact with the inner peripheral surface of the drive cylinder 10.
【００４６】リールの装着装置はワイヤソーのワイヤ繰
出し機構およびワイヤ巻取り機構のいずれか一方に設け
るだけでもよい。リールの装着装置はワイヤソーに限ら
ず，リールを用いる他の装置，機械にも適用できる。リ
ールの装着装置が設けられるのは駆動軸（駆動回転軸）
のみならず，従動回転軸であってもよい。The reel mounting device may be provided only in one of the wire feeding mechanism and the wire winding mechanism of the wire saw. The reel mounting device is not limited to the wire saw, and can be applied to other devices and machines using the reel. The reel mounting device is provided on the drive shaft (drive rotation shaft)
In addition, it may be a driven rotation shaft.
【００４７】上述のようにリールの巻胴をその内部にお
いて押圧する（たとえば押圧部材または締付部材の進出
により）タイプのものを内拡支持方式という。内拡支持
方式においては押圧部材または締付部材は上述したねじ
軸とナットの組合せのみならず，他の機構（たとえば油
圧等）によっても駆動することができる。リールが装着
される軸（駆動軸）は水平ではなく，垂直であってもよ
い。As described above, the type in which the winding drum of the reel is pressed inside (for example, by the advancement of the pressing member or the tightening member) is referred to as an inward expansion support system. In the inwardly expanding support method, the pressing member or the tightening member can be driven not only by the combination of the screw shaft and the nut described above but also by another mechanism (for example, hydraulic pressure or the like). The axis (drive axis) on which the reel is mounted may be vertical instead of horizontal.
【図１】ワイヤソーの全体的配置構成を示すものであ
る。FIG. 1 shows the overall arrangement of a wire saw.
【図２】リール装着装置の縦断面図である。FIG. 2 is a longitudinal sectional view of the reel mounting device.
【図３】図２のIII −III 線に沿う断面図である。FIG. 3 is a sectional view taken along line III-III in FIG. 2;
【図４】駆動筒の平面図である。FIG. 4 is a plan view of a driving cylinder.
３ 軸受 10 駆動筒（筒状回転軸） 12 窓 13 締付部材（押圧部材） 13ａ テーパ面 20 締付用ねじ軸 21，22 ねじ 24 ナット 25ａ テーパ面 111 ，112 ，113 溝ロール 114 ソーワイヤ 3 Bearing 10 Drive cylinder (cylindrical rotary shaft) 12 Window 13 Tightening member (Pressing member) 13a Tapered surface 20 Tightening screw shaft 21, 22 Screw 24 Nut 25a Tapered surface 111, 112, 113 Groove roll 114 Saw wire
Claims (5)
けられる複数の溝ロールを含む溝ロール群と，溝ロール
群にソーワイヤを供給するワイヤ繰出し機構と，溝ロー
ル群からソーワイヤを巻取るワイヤ巻取り機構とを備え
たワイヤソーにおいて，ワイヤ繰出し機構およびワイヤ
巻取り機構の少なくともいずれか一方の回転軸が一端部
において回転自在にかつ水平に支持され，他端はリール
が装着されるように開放されている，ワイヤソーにおけ
るリールの装着装置。1. A groove roll group including a plurality of groove rolls arranged in parallel and on which a cutting wire is hung, a wire feeding mechanism for supplying a saw wire to the groove roll group, and a wire for winding the saw wire from the groove roll group In a wire saw having a winding mechanism, at least one of a rotating shaft of a wire feeding mechanism and a wire winding mechanism is rotatably and horizontally supported at one end, and the other end is opened so that a reel is mounted. Mounting device for reels in wire saws.
圧部材が設けられ，この押圧部材が外方に突出して，回
転軸に装着されたリールの巻胴を押圧することにより，
リールが回転軸に固定される，請求項１に記載のワイヤ
ソーにおけるリールの装着装置。2. A pressing member is provided on the rotating shaft so as to be able to advance and retreat in the radial direction, and the pressing member protrudes outward to press a reel drum mounted on the rotating shaft.
The reel mounting device for a wire saw according to claim 1, wherein the reel is fixed to a rotating shaft.
けられる複数の溝ロールを含む溝ロール群と，溝ロール
群にソーワイヤを供給するワイヤ繰出し機構と，溝ロー
ル群からソーワイヤを巻取るワイヤ巻取り機構とを備え
たワイヤソーにおいて，ワイヤ繰出し機構およびワイヤ
巻取り機構の少なくともいずれか一方の回転軸に，その
径方向に進退自在に押圧部材が設けられ，この押圧部材
は外方に突出して，回転軸に装着されたリールの巻胴を
押圧することにより，リールを回転軸に固定するもので
ある，ワイヤソーにおけるリールの装着装置。3. A groove roll group including a plurality of groove rolls arranged in parallel and on which a cutting wire is hung, a wire feeding mechanism for supplying a saw wire to the groove roll group, and a wire for winding the saw wire from the groove roll group In a wire saw provided with a winding mechanism, a pressing member is provided on at least one of the rotating shaft of the wire feeding mechanism and the wire winding mechanism so as to be able to advance and retreat in the radial direction, and the pressing member protrudes outward. A reel mounting device for a wire saw, wherein a reel is fixed to a rotary shaft by pressing a winding drum of the reel mounted on the rotary shaft.
とも２箇所に設けられ，各箇所において複数の押圧部材
が等角度間隔に配置されている，請求項２または３に記
載のワイヤソーにおけるリールの装着装置。4. The reel according to claim 2, wherein the pressing members are provided at at least two positions in the axial direction of the rotating shaft, and a plurality of pressing members are arranged at equal angular intervals at each position. Mounting device.
状回転軸の周面に，その長手方向の２箇所において，周
方向に等角度間隔で複数の窓があけられ，これらの窓内
に締付部材がそれぞれ進退自在に嵌め入れられ，筒状回
転軸内を通る締付け用ねじ軸には２箇所に互いに逆方向
のねじが形成され，これらのねじにナットがそれぞれね
じ嵌められ，これらのナットには互いに反対方向に傾斜
した複数のテーパ面が形成され，ナットのテーパ面に適
合するテーパ面が締付部材の内側面に形成され，ナット
のテーパ面に接している，リールの装着装置。5. A rotary shaft is formed of a cylindrical body, and a plurality of windows are formed on the peripheral surface of the cylindrical rotary shaft at two positions in the longitudinal direction at equal angular intervals in the circumferential direction. Tightening members are respectively fitted into the inside so as to be able to advance and retreat, and two opposite screws are formed on a tightening screw shaft passing through the cylindrical rotary shaft, and nuts are screwed into these screws, respectively. These nuts are formed with a plurality of tapered surfaces inclined in opposite directions. A tapered surface matching the tapered surface of the nut is formed on the inner surface of the tightening member, and is in contact with the tapered surface of the nut. Mounting device.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1763598A JPH11198021A (en) | 1998-01-14 | 1998-01-14 | Reel mounting device in wire saw |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1763598A JPH11198021A (en) | 1998-01-14 | 1998-01-14 | Reel mounting device in wire saw |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11198021A true JPH11198021A (en) | 1999-07-27 |
Family
ID=11949335
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1763598A Pending JPH11198021A (en) | 1998-01-14 | 1998-01-14 | Reel mounting device in wire saw |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11198021A (en) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010125543A (en) * | 2008-11-26 | 2010-06-10 | Komatsu Ntc Ltd | Bobbin for wire saw and wire saw |
| WO2011032601A1 (en) * | 2009-09-18 | 2011-03-24 | Applied Materials, Inc. | Wire saw device having expandable shaft and method for sawing |
| JP2019503320A (en) * | 2016-01-30 | 2019-02-07 | エーリコン テクスティル ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ウント コンパニー コマンディートゲゼルシャフトＯｅｒｌｉｋｏｎ Ｔｅｘｔｉｌｅ ＧｍｂＨ ＆ Ｃｏ． ＫＧ | Winder |
| CN110282491A (en) * | 2019-06-12 | 2019-09-27 | 刘文建 | Winder is used in a kind of recycling of high-voltage cable |
| KR20220094352A (en) * | 2020-12-29 | 2022-07-06 | 일성기계공업 주식회사 | Mechanical bobbin holder applicable to bobbins of various inner diameters |
-
1998
- 1998-01-14 JP JP1763598A patent/JPH11198021A/en active Pending
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| CN110282491A (en) * | 2019-06-12 | 2019-09-27 | 刘文建 | Winder is used in a kind of recycling of high-voltage cable |
| CN110282491B (en) * | 2019-06-12 | 2021-03-02 | 闽清紫扬信息技术有限公司 | High tension cable retrieves and uses rolling machine |
| KR20220094352A (en) * | 2020-12-29 | 2022-07-06 | 일성기계공업 주식회사 | Mechanical bobbin holder applicable to bobbins of various inner diameters |
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