JPH11197429A - フィルタユニットおよび清浄領域形成方法 - Google Patents
フィルタユニットおよび清浄領域形成方法Info
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- JPH11197429A JPH11197429A JP1823498A JP1823498A JPH11197429A JP H11197429 A JPH11197429 A JP H11197429A JP 1823498 A JP1823498 A JP 1823498A JP 1823498 A JP1823498 A JP 1823498A JP H11197429 A JPH11197429 A JP H11197429A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 清浄領域への汚染物質の侵入を阻止する空気
の流れを形成する。 【解決手段】 ＨＥＰＡフィルタユニット４０は、ＨＥ
ＰＡフィルタ本体４２を収納したカバー４４の下部に多
孔板からなる吹出し面５４が形成してあり、ＨＥＰＡフ
ィルタ本体４２を通過した清浄空気５２を吹き出す。ま
た、カバー４４には、一側にノズル部５６が設けてあ
る。ノズル部５６は、スリット状に形成してあるととも
に、多孔板が配置されておらず、ノズル部５６から吹き
出される清浄空気５８の吹出し速度が清浄空気５２の吹
出し速度より大きくなっていて、エアカーテン状の遮断
流を形成し、汚染物質が清浄領域に侵入するのを阻止す
る。
の流れを形成する。 【解決手段】 ＨＥＰＡフィルタユニット４０は、ＨＥ
ＰＡフィルタ本体４２を収納したカバー４４の下部に多
孔板からなる吹出し面５４が形成してあり、ＨＥＰＡフ
ィルタ本体４２を通過した清浄空気５２を吹き出す。ま
た、カバー４４には、一側にノズル部５６が設けてあ
る。ノズル部５６は、スリット状に形成してあるととも
に、多孔板が配置されておらず、ノズル部５６から吹き
出される清浄空気５８の吹出し速度が清浄空気５２の吹
出し速度より大きくなっていて、エアカーテン状の遮断
流を形成し、汚染物質が清浄領域に侵入するのを阻止す
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、クリーンルームな
どに使用されるフィルタユニットに係り、特に空気の流
れを一方向に形成するとともに、空気の流速が異なる部
分を設けて清浄領域を形成するのに好適なフィルタユニ
ットおよび清浄領域形成方法に関する。
どに使用されるフィルタユニットに係り、特に空気の流
れを一方向に形成するとともに、空気の流速が異なる部
分を設けて清浄領域を形成するのに好適なフィルタユニ
ットおよび清浄領域形成方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】手術室の作業台となる手術台やメスなど
を配置した台、クリーンルーム内の電子機器、精密機器
の組み立て、修理などを行なう作業台の周囲は、他の部
分より高い清浄度が要求される。従来、クリーンルーム
内の一部により清浄度の高い領域を形成する場合、図５
のようにして行なっていた。
を配置した台、クリーンルーム内の電子機器、精密機器
の組み立て、修理などを行なう作業台の周囲は、他の部
分より高い清浄度が要求される。従来、クリーンルーム
内の一部により清浄度の高い領域を形成する場合、図５
のようにして行なっていた。
【０００３】図５において、クリーンルーム１０は、天
井に複数のＨＥＰＡ（ｈｉｇｈ ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ
ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ ａｉｒ）フィルタユニット
１２ａ、１２ｂが配設してあり、これらのＨＥＰＡフィ
ルタユニット１２ａ、１２ｂから清浄空気１４、１６を
吹き出し、クリーンルーム１０内を所定の清浄度に保持
できるようにしてある。そして、ＨＥＰＡ フィルタユ
ニット１２ａ、１２ｂから吹き出された清浄空気１４、
１６は、クリーンルーム１０の床部から矢印１８、２０
のように吸引され、ＨＥＰＡフィルタユニット１２ａ、
１２ｂに戻されるようになっている。
井に複数のＨＥＰＡ（ｈｉｇｈ ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ
ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ ａｉｒ）フィルタユニット
１２ａ、１２ｂが配設してあり、これらのＨＥＰＡフィ
ルタユニット１２ａ、１２ｂから清浄空気１４、１６を
吹き出し、クリーンルーム１０内を所定の清浄度に保持
できるようにしてある。そして、ＨＥＰＡ フィルタユ
ニット１２ａ、１２ｂから吹き出された清浄空気１４、
１６は、クリーンルーム１０の床部から矢印１８、２０
のように吸引され、ＨＥＰＡフィルタユニット１２ａ、
１２ｂに戻されるようになっている。
【０００４】作業台２２の上方に設置したＨＥＰＡフィ
ルタユニット１２ａは、清浄空気１４の吹出し流速が例
えば０．５ｍ／ｓにしてあって、ＨＥＰＡフィルタユニ
ット１２ｂの清浄空気１６の吹出し流速（例えば、０．
１ｍ／ｓ）より高速にして吹出し空気量を大きくし、破
線に示した清浄空気１４、１６の境界部２６を境にし
て、図５の左側の作業台２２の周囲により清浄度の高い
高清浄度領域２４を形成し、境界部２６の右側が通路部
などの低清浄度領域２８となっている。
ルタユニット１２ａは、清浄空気１４の吹出し流速が例
えば０．５ｍ／ｓにしてあって、ＨＥＰＡフィルタユニ
ット１２ｂの清浄空気１６の吹出し流速（例えば、０．
１ｍ／ｓ）より高速にして吹出し空気量を大きくし、破
線に示した清浄空気１４、１６の境界部２６を境にし
て、図５の左側の作業台２２の周囲により清浄度の高い
高清浄度領域２４を形成し、境界部２６の右側が通路部
などの低清浄度領域２８となっている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記のように
清浄空気１４、１６の流速の相違を利用し、高流速領域
である清浄空気１４側を高清浄度領域２４とする場合、
境界部２６において両清浄空気１４、１６間に剪断力が
作用し、その結果、境界部２６に図６に示したように乱
流（渦）が発生する。
清浄空気１４、１６の流速の相違を利用し、高流速領域
である清浄空気１４側を高清浄度領域２４とする場合、
境界部２６において両清浄空気１４、１６間に剪断力が
作用し、その結果、境界部２６に図６に示したように乱
流（渦）が発生する。
【０００６】図６は、清浄空気１４の吹出し速度を０．
５ｍ／ｓ、清浄空気１６の吹出し速度を０．１ｍ／ｓと
し、矢印１８に示した高清浄度領域２４の床面における
吸引流速を０．８ｍ／ｓ、矢印２０に示した低清浄度領
域２８の行け面に置ける吸引流速を０．２ｍ／ｓとし、
計算により求めたクリーンルーム１０内の空気の流れの
様子を示している。ただし、計算に際しては、吹出し速
度、吸引部の流速は平均速度を採用し、ｋ−εモデルを
用いているため、渦の状態を求めることはできない。そ
こで、図６においては、渦３４の様子を模式的に加筆し
てある。
５ｍ／ｓ、清浄空気１６の吹出し速度を０．１ｍ／ｓと
し、矢印１８に示した高清浄度領域２４の床面における
吸引流速を０．８ｍ／ｓ、矢印２０に示した低清浄度領
域２８の行け面に置ける吸引流速を０．２ｍ／ｓとし、
計算により求めたクリーンルーム１０内の空気の流れの
様子を示している。ただし、計算に際しては、吹出し速
度、吸引部の流速は平均速度を採用し、ｋ−εモデルを
用いているため、渦の状態を求めることはできない。そ
こで、図６においては、渦３４の様子を模式的に加筆し
てある。
【０００７】このように、境界部２６に渦３４が不規則
に発生する中で、時々大きな渦３４が生み出されて高清
浄度領域２４の上部にまで達する。このため、渦３４に
巻き込まれた低清浄度領域２８の汚染物質３０が図５の
矢印３２に示したように、高清浄度領域２４に侵入す
る。しかも、渦３４は、***して微細化し、汚染物質３
０を高清浄度領域２４に拡散させ、高清浄度領域２４の
清浄度を低下させる。
に発生する中で、時々大きな渦３４が生み出されて高清
浄度領域２４の上部にまで達する。このため、渦３４に
巻き込まれた低清浄度領域２８の汚染物質３０が図５の
矢印３２に示したように、高清浄度領域２４に侵入す
る。しかも、渦３４は、***して微細化し、汚染物質３
０を高清浄度領域２４に拡散させ、高清浄度領域２４の
清浄度を低下させる。
【０００８】本発明は、前記従来技術の欠点を解消する
ためになされたもので、清浄領域への汚染物質の侵入を
阻止する空気の流れを形成できるようにすることを目的
としている。また、高清浄度領域が低清浄度領域の汚染
物質によって汚染されるのを防止することを目的として
いる。
ためになされたもので、清浄領域への汚染物質の侵入を
阻止する空気の流れを形成できるようにすることを目的
としている。また、高清浄度領域が低清浄度領域の汚染
物質によって汚染されるのを防止することを目的として
いる。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明に係るフィルタユニットは、空気を浄化す
るフィルタ本体を備えたフィルタユニットにおいて、前
記フィルタ本体の前側吹出し面の一部に、吹き出す空気
の流速が他の部分より速いスリット状のノズル部を有し
ている構成となっている。
めに、本発明に係るフィルタユニットは、空気を浄化す
るフィルタ本体を備えたフィルタユニットにおいて、前
記フィルタ本体の前側吹出し面の一部に、吹き出す空気
の流速が他の部分より速いスリット状のノズル部を有し
ている構成となっている。
【００１０】また、本発明に係る清浄領域形成方法は、
室内に空気の流速が異なる高流速領域と低流速領域とを
形成して高流速領域を清浄領域とする清浄領域形成方法
において、前記高流速領域と前記低流速領域との境界部
に、前記高流速領域の流速より速い遮断流領域を形成す
る構成にしてある。遮断流領域は、上記した本発明に係
るフィルタユニットにより形成してよい。また、遮断領
域は、作業台の近傍に空気を吹き下ろして形成すること
が望ましい。
室内に空気の流速が異なる高流速領域と低流速領域とを
形成して高流速領域を清浄領域とする清浄領域形成方法
において、前記高流速領域と前記低流速領域との境界部
に、前記高流速領域の流速より速い遮断流領域を形成す
る構成にしてある。遮断流領域は、上記した本発明に係
るフィルタユニットにより形成してよい。また、遮断領
域は、作業台の近傍に空気を吹き下ろして形成すること
が望ましい。
【００１１】
【作用】上記のごとく構成した本発明に係るフィルタユ
ニットは、スリット状ノズル部から流速の大きな清浄空
気を吹き出すことにより、エアカーテンのような遮断流
を形成して汚染物質の侵入を阻止する。すなわち、例え
ば清浄空気の吹出し量が多い高清浄度領域となる高流速
領域に本発明に係るフィルタユニットを使用するととも
に、スリット状ノズル部を低流速領域（低清浄度領域）
側に配置することにより、ノズル部から吹出された高流
速領域の流速より大きな空気が低流速領域を流れる空気
との境界部に遮断流領域を形成する。そして、遮断流領
域と低流速領域との境界部に渦が発生し、この渦がスリ
ット状ノズル部から吹出される高速の空気によって下方
に押し流されるため、渦が清浄領域となる高流速領域に
入るのを防げ、渦に含まれる低流速領域の汚染物質が高
流速領域に侵入するのを防止し、高流速領域の清浄度を
向上させることができる。また、遮断流領域を作業台の
近傍に形成することにより、作業エリアとなる作業台の
付近を高い清浄度に容易に保持することができる。
ニットは、スリット状ノズル部から流速の大きな清浄空
気を吹き出すことにより、エアカーテンのような遮断流
を形成して汚染物質の侵入を阻止する。すなわち、例え
ば清浄空気の吹出し量が多い高清浄度領域となる高流速
領域に本発明に係るフィルタユニットを使用するととも
に、スリット状ノズル部を低流速領域（低清浄度領域）
側に配置することにより、ノズル部から吹出された高流
速領域の流速より大きな空気が低流速領域を流れる空気
との境界部に遮断流領域を形成する。そして、遮断流領
域と低流速領域との境界部に渦が発生し、この渦がスリ
ット状ノズル部から吹出される高速の空気によって下方
に押し流されるため、渦が清浄領域となる高流速領域に
入るのを防げ、渦に含まれる低流速領域の汚染物質が高
流速領域に侵入するのを防止し、高流速領域の清浄度を
向上させることができる。また、遮断流領域を作業台の
近傍に形成することにより、作業エリアとなる作業台の
付近を高い清浄度に容易に保持することができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】本発明に係るフィルタユニットお
よび清浄領域形成方法の好ましい実施の形態を、添付図
面に従って詳細に説明する。なお、前記従来技術におい
て説明した部分に対応する部分については、同一の符号
を付してその説明を省略する。
よび清浄領域形成方法の好ましい実施の形態を、添付図
面に従って詳細に説明する。なお、前記従来技術におい
て説明した部分に対応する部分については、同一の符号
を付してその説明を省略する。
【００１３】図１は、本発明の実施の形態に係るフィル
タユニットの説明図である。図１において、ＨＥＰＡフ
ィルタユニット４０は、ＨＥＰＡフィルタ本体（以下、
単にフィルタ本体という）４２を収納したカバー４４を
有しており、カバー４４を介してクリーンルーム内の天
井部４６に取り付けられる。カバー４４の上部には、ダ
クト４８が接続してあって、クリーンルームの床部から
吸引された空気５０がカバー４４内に流入する。そし
て、フィルタ本体４２の前側となるカバー４４の下部
は、例えば、いわゆるパンチングメタルなどの多孔板に
よって形成した吹出し面５４となっていて、フィルタ本
体４２を通過して浄化された清浄空気５２が吹き出され
るようになっている。また、カバー４４の下面の一側に
は、ノズル部５６が形成してある。このノズル部５６
は、図１の紙面に直交した方向に延在したスリット状を
なしているとともに、多孔板が配設されておらず、ノズ
ル部５６から吹出される清浄空気５８の吹出し速度が、
吹出し面５４から吹き出される清浄空気５２の吹出し速
度より大きくなるようにしてある。
タユニットの説明図である。図１において、ＨＥＰＡフ
ィルタユニット４０は、ＨＥＰＡフィルタ本体（以下、
単にフィルタ本体という）４２を収納したカバー４４を
有しており、カバー４４を介してクリーンルーム内の天
井部４６に取り付けられる。カバー４４の上部には、ダ
クト４８が接続してあって、クリーンルームの床部から
吸引された空気５０がカバー４４内に流入する。そし
て、フィルタ本体４２の前側となるカバー４４の下部
は、例えば、いわゆるパンチングメタルなどの多孔板に
よって形成した吹出し面５４となっていて、フィルタ本
体４２を通過して浄化された清浄空気５２が吹き出され
るようになっている。また、カバー４４の下面の一側に
は、ノズル部５６が形成してある。このノズル部５６
は、図１の紙面に直交した方向に延在したスリット状を
なしているとともに、多孔板が配設されておらず、ノズ
ル部５６から吹出される清浄空気５８の吹出し速度が、
吹出し面５４から吹き出される清浄空気５２の吹出し速
度より大きくなるようにしてある。
【００１４】このように形成した実施の形態に係るＨＥ
ＰＡフィルタユニット４０は、図２に示したように、ク
リーンルーム１０の高清浄度領域２４の天井部４６に、
ノズル部５６が低清浄度領域側２８となるように取り付
けられるとともに、低清浄度領域２８の天井部に配設し
た従来のＨＥＰＡフィルタユニット１２より吹出し風量
を多くされる。これにより、高清浄度領域２４に配設し
たＨＥＰＡフィルタユニット４０の吹出し面５４から吹
き出さる清浄空気５２の吹出し速度が、低清浄度領域２
８のＨＥＰＡフィルタユニット１２から吹き出される清
浄空気１６の吹出し速度より大きくなる。また、ＨＥＰ
Ａフィルタユニット４０のノズル部５６は、吹出し面５
４のように多孔板を有していないため、ノズル部５６か
ら吹き出される清浄空気５８の吹出し速度が清浄空気５
２の吹出し速度より大きくなり、高流速領域となる高清
浄度領域２４と低流速領域となる低清浄度領域２８との
境界部となる作業台２２の近傍に遮断流領域であるエア
カーテン６０を形成する。このため、低清浄度領域２８
内の汚染空気は、矢印６２のように、エアカーテン６０
によって下方に吹き下ろされ、高清浄度領域２４への侵
入が阻止される。従って、高清浄度領域２４は、低清浄
度領域２８の汚染物質による清浄度の低下が防止され
る。また、作業台２２の近傍にエアカーテン６０を形成
しているため、作業エリアを確実に高清浄度に保持する
ことができる。
ＰＡフィルタユニット４０は、図２に示したように、ク
リーンルーム１０の高清浄度領域２４の天井部４６に、
ノズル部５６が低清浄度領域側２８となるように取り付
けられるとともに、低清浄度領域２８の天井部に配設し
た従来のＨＥＰＡフィルタユニット１２より吹出し風量
を多くされる。これにより、高清浄度領域２４に配設し
たＨＥＰＡフィルタユニット４０の吹出し面５４から吹
き出さる清浄空気５２の吹出し速度が、低清浄度領域２
８のＨＥＰＡフィルタユニット１２から吹き出される清
浄空気１６の吹出し速度より大きくなる。また、ＨＥＰ
Ａフィルタユニット４０のノズル部５６は、吹出し面５
４のように多孔板を有していないため、ノズル部５６か
ら吹き出される清浄空気５８の吹出し速度が清浄空気５
２の吹出し速度より大きくなり、高流速領域となる高清
浄度領域２４と低流速領域となる低清浄度領域２８との
境界部となる作業台２２の近傍に遮断流領域であるエア
カーテン６０を形成する。このため、低清浄度領域２８
内の汚染空気は、矢印６２のように、エアカーテン６０
によって下方に吹き下ろされ、高清浄度領域２４への侵
入が阻止される。従って、高清浄度領域２４は、低清浄
度領域２８の汚染物質による清浄度の低下が防止され
る。また、作業台２２の近傍にエアカーテン６０を形成
しているため、作業エリアを確実に高清浄度に保持する
ことができる。
【００１５】図３は、ＨＥＰＡフィルタユニット４０の
吹出し面５４から吹き出す清浄空気５２の吹出し速度を
０．５ｍ／ｓ、エアカーテン６０を形成するノズル部５
６から吹き出される清浄空気５８の吹出し速度を１．０
ｍ／ｓ、ＨＥＰＡフィルタユニット１２から吹き出され
る清浄空気１６の吹出し速度を０．１ｍ／ｓとしたとき
のクリーンルーム１０内の空気の流れの状態を、前記従
来技術において説明したと同様に、計算により求めたも
のである。
吹出し面５４から吹き出す清浄空気５２の吹出し速度を
０．５ｍ／ｓ、エアカーテン６０を形成するノズル部５
６から吹き出される清浄空気５８の吹出し速度を１．０
ｍ／ｓ、ＨＥＰＡフィルタユニット１２から吹き出され
る清浄空気１６の吹出し速度を０．１ｍ／ｓとしたとき
のクリーンルーム１０内の空気の流れの状態を、前記従
来技術において説明したと同様に、計算により求めたも
のである。
【００１６】ただし、作業台２２の後側における矢印１
８で示した床部の吸引流速を０．８ｍ／ｓ、矢印６２で
示した作業台２２の前側床部の吸引流速を０．５ｍ／
ｓ、矢印２０で示した低清浄度領域２８の床部における
吸引流速を０．１ｍ／ｓとし、それぞれ平均値を用いて
いる。また、前記と同様に渦の状態を求めることができ
ないため、渦６６を模式的に加筆している。
８で示した床部の吸引流速を０．８ｍ／ｓ、矢印６２で
示した作業台２２の前側床部の吸引流速を０．５ｍ／
ｓ、矢印２０で示した低清浄度領域２８の床部における
吸引流速を０．１ｍ／ｓとし、それぞれ平均値を用いて
いる。また、前記と同様に渦の状態を求めることができ
ないため、渦６６を模式的に加筆している。
【００１７】図３に示されているように、低清浄度領域
２８の空気の流れとエアカーテン６０との境界部に渦６
６が発生する。そして、この渦６６は、エアカーテン６
０を形成している清浄空気５８の速い流れによって下方
に押し流されて縦長となり、清浄領域２４への侵入が阻
まれる。この結果、高清浄度領域２４は、渦６６に巻き
込まれた低清浄度領域２８内の汚染物質の侵入が阻止さ
れるため、高清浄度が維持される。
２８の空気の流れとエアカーテン６０との境界部に渦６
６が発生する。そして、この渦６６は、エアカーテン６
０を形成している清浄空気５８の速い流れによって下方
に押し流されて縦長となり、清浄領域２４への侵入が阻
まれる。この結果、高清浄度領域２４は、渦６６に巻き
込まれた低清浄度領域２８内の汚染物質の侵入が阻止さ
れるため、高清浄度が維持される。
【００１８】図４は、他の実施形態を示したもので、い
わゆる直付けタイプのフィルタユニットの説明図であ
る。図４において、ＨＥＰＡフィルタユニット７０は、
フィルタ本体４２が天井面７２から露出した状態で天井
部４６に取り付けられる。そして、ＨＥＰＡフィルタユ
ニット７０は、フィルタ本体４２の上部を覆ってカバー
７２が設けてあり、このカバー７２にダクト４８が接続
してある。また、ＨＥＰＡフィルタユニット７０は、下
部の一側にノズル部７４が設けてある。
わゆる直付けタイプのフィルタユニットの説明図であ
る。図４において、ＨＥＰＡフィルタユニット７０は、
フィルタ本体４２が天井面７２から露出した状態で天井
部４６に取り付けられる。そして、ＨＥＰＡフィルタユ
ニット７０は、フィルタ本体４２の上部を覆ってカバー
７２が設けてあり、このカバー７２にダクト４８が接続
してある。また、ＨＥＰＡフィルタユニット７０は、下
部の一側にノズル部７４が設けてある。
【００１９】ノズル部７４は、フィルタ本体４２の一部
を仕切るとともに、図４の紙面と直交した方向に延在し
たスリット状となっている。また、ノズル部７４には、
絞り部７６が形成してあって、ノズル部７４から吹き出
される清浄空気５８の吹出し速度を、吹出し面７８から
吹き出す清浄空気５２の吹出し速度より大きくなるよう
にしてある。この実施の形態に係るＨＥＰＡフィルタユ
ニット７０についても、前記実施の形態と同様の効果を
得ることができる。
を仕切るとともに、図４の紙面と直交した方向に延在し
たスリット状となっている。また、ノズル部７４には、
絞り部７６が形成してあって、ノズル部７４から吹き出
される清浄空気５８の吹出し速度を、吹出し面７８から
吹き出す清浄空気５２の吹出し速度より大きくなるよう
にしてある。この実施の形態に係るＨＥＰＡフィルタユ
ニット７０についても、前記実施の形態と同様の効果を
得ることができる。
【００２０】
【発明の効果】以上に詳述したように、本発明によれ
ば、スリット状ノズル部から流速の大きな清浄空気を吹
き出すことにより、エアカーテンのような遮断流を形成
して汚染物質の侵入を阻止する。すなわち、スリット状
ノズル部から吹出された高流速領域より流速の大きな空
気が低流速領域を流れる空気との境界部に遮断流領域を
形成し、遮断流領域と低流速領域との境界部に発生した
渦を、遮断流領域の高速の空気によって下方に押し流す
ようにしているため、渦に含まれる低流速領域の汚染物
質が高流速領域に侵入するのを防止でき、高流速領域の
清浄度を向上させることができる。また、遮断流領域を
作業台の近傍に形成することにより、作業エリアとなる
作業台の付近を高い清浄度に容易に保持することができ
る。
ば、スリット状ノズル部から流速の大きな清浄空気を吹
き出すことにより、エアカーテンのような遮断流を形成
して汚染物質の侵入を阻止する。すなわち、スリット状
ノズル部から吹出された高流速領域より流速の大きな空
気が低流速領域を流れる空気との境界部に遮断流領域を
形成し、遮断流領域と低流速領域との境界部に発生した
渦を、遮断流領域の高速の空気によって下方に押し流す
ようにしているため、渦に含まれる低流速領域の汚染物
質が高流速領域に侵入するのを防止でき、高流速領域の
清浄度を向上させることができる。また、遮断流領域を
作業台の近傍に形成することにより、作業エリアとなる
作業台の付近を高い清浄度に容易に保持することができ
る。
【図１】本発明の実施の形態に係るフィルタユニットの
説明図である。
説明図である。
【図２】前記実施の形態に係るフィルタユニットにより
清浄領域を形成する方法の説明図である。
清浄領域を形成する方法の説明図である。
【図３】本発明の実施の形態に係るフィルタユニットを
使用したクリーンルーム内の空気の流れを示す図であ
る。
使用したクリーンルーム内の空気の流れを示す図であ
る。
【図４】本発明の他の実施の形態に係るフィルタユニッ
トの説明図である。
トの説明図である。
【図５】従来のクリーンルームの清浄領域の形成方法の
説明図である。
説明図である。
【図６】従来のＨＥＰＡフィルタユニットを使用したク
リーンルーム内の空気の流れを示す図である。
リーンルーム内の空気の流れを示す図である。
１０ クリーンルーム １２ ＨＥＰＡフィルタユニット １４、１６ 清浄空気 ２２ 作業台 ２４ 高流速領域（高清浄度領域） ２６ 境界部 ２８ 低流速領域（低清浄度領域） ４０、７０ フィルタユニット（ＨＥＰＡフィルタユ
ニット） ４２ フィルタ本体（ＨＥＰＡフィルタ本体） ４４、７２ カバー ５２、５８ 清浄空気 ５４、７８ 吹出し面 ５６、７４ ノズル部 ６０ 遮断流（エアカーテン）
ニット） ４２ フィルタ本体（ＨＥＰＡフィルタ本体） ４４、７２ カバー ５２、５８ 清浄空気 ５４、７８ 吹出し面 ５６、７４ ノズル部 ６０ 遮断流（エアカーテン）
Claims (4)
- 【請求項１】 空気を浄化するフィルタ本体を備えたフ
ィルタユニットにおいて、前記フィルタ本体の前側吹出
し面の一部に、吹き出す空気の流速が他の部分より速い
スリット状のノズル部を有していることを特徴とするフ
ィルタユニット。 - 【請求項２】 室内に空気の流速が異なる高流速領域と
低流速領域とを形成して高流速領域を清浄領域とする清
浄領域形成方法において、前記高流速領域と前記低流速
領域との境界部に、前記高流速領域の流速より速い遮断
流領域を形成することを特徴とする清浄領域形成方法。 - 【請求項３】 前記遮断流領域は、請求項１に記載のフ
ィルタユニットにより形成することを特徴とする請求項
２に記載の清浄領域形成方法。 - 【請求項４】 前記遮断流領域は、作業台の近傍に空気
を吹き下ろして形成することを特徴とする請求項１また
は２に記載の清浄領域形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1823498A JPH11197429A (ja) | 1998-01-13 | 1998-01-13 | フィルタユニットおよび清浄領域形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1823498A JPH11197429A (ja) | 1998-01-13 | 1998-01-13 | フィルタユニットおよび清浄領域形成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11197429A true JPH11197429A (ja) | 1999-07-27 |
Family
ID=11965993
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1823498A Pending JPH11197429A (ja) | 1998-01-13 | 1998-01-13 | フィルタユニットおよび清浄領域形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11197429A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6409784B1 (en) | 1999-09-10 | 2002-06-25 | Filterwerk Mann & Hummel Gmbh | Filter with a planar filter insert |
| JP2010194685A (ja) * | 2009-02-26 | 2010-09-09 | Tokyo Electron Ltd | 作業台 |
| JP2021167723A (ja) * | 2021-07-15 | 2021-10-21 | 株式会社西部技研 | クリーンブース |
-
1998
- 1998-01-13 JP JP1823498A patent/JPH11197429A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6409784B1 (en) | 1999-09-10 | 2002-06-25 | Filterwerk Mann & Hummel Gmbh | Filter with a planar filter insert |
| JP2010194685A (ja) * | 2009-02-26 | 2010-09-09 | Tokyo Electron Ltd | 作業台 |
| JP2021167723A (ja) * | 2021-07-15 | 2021-10-21 | 株式会社西部技研 | クリーンブース |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20041029 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20041109 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050308 |