JPH11183514A - Acceleration detecting device - Google Patents
Acceleration detecting deviceInfo
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- JPH11183514A JPH11183514A JP35360797A JP35360797A JPH11183514A JP H11183514 A JPH11183514 A JP H11183514A JP 35360797 A JP35360797 A JP 35360797A JP 35360797 A JP35360797 A JP 35360797A JP H11183514 A JPH11183514 A JP H11183514A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、例えば斜面に埋
め込まれたアンカーに、このアンカーの姿勢検出器とし
て取り付け設定され、傾斜計、地震計、変位計、落石検
知器等として使用される、傾斜角度等も計測可能な加速
度検出装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a tilt, which is used as an inclinometer, a seismometer, a displacement meter, a rockfall detector, and the like, which is mounted on an anchor embedded in a slope, for example, as an attitude detector of the anchor. The present invention relates to an acceleration detection device capable of measuring an angle and the like.
【０００２】[0002]
【従来の技術】例えば土中に埋め込まれたアンカーに対
して、このアンカーの傾斜角度を検出するために取り付
けられる傾斜角検出器として加速度検出器が用いられ
る。しかし、一般的な重錘を用いて懸垂線の変化を検出
するようにした傾斜検出器では、加速度検出器として用
いることはできない。また一般的な振動計では、重力や
低周波領域の加速度を検出することができない。2. Description of the Related Art For example, an acceleration detector is used as an inclination angle detector attached to an anchor embedded in the ground to detect the inclination angle of the anchor. However, an inclination detector that detects a change in the catenary line using a general weight cannot be used as an acceleration detector. Further, a general vibrometer cannot detect gravity or acceleration in a low frequency region.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】この発明は上記のよう
な点に鑑みなされたもので、例えば傾斜面等の土壌の変
化状態の検出手段として効果的に使用することができ
る、原理的に０ヘルツからの加速度が検出できるように
した加速度検出装置を提供することを目的としている。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above points, and can be effectively used as a means for detecting a change state of soil such as an inclined surface. It is an object of the present invention to provide an acceleration detection device capable of detecting acceleration from hertz.
【０００４】[0004]
【課題を解決するための手段】この発明に係る加速度検
出装置は、加速度の作用に伴って変位される重錘として
機能される可撓性を有する片持ち保持された重錘基板を
備え、この重錘基板にはその変位の量を検出する変位検
出手段が設けられる。また、重錘基板の面に対応してコ
イルパターンが描かれ、このコイルパターンに対向する
位置に永久磁石が固定的に設けられるもので、変位検出
手段で検出された変位量に対応した信号に基づく電流が
前記コイルパターンに流され、前記永久磁石との間の電
磁的な作用により重錘基板の変位位置が平衡されるよう
にする。SUMMARY OF THE INVENTION An acceleration detecting device according to the present invention includes a flexible cantilevered weight substrate functioning as a weight displaced by the action of acceleration. The weight substrate is provided with a displacement detecting means for detecting the amount of the displacement. In addition, a coil pattern is drawn corresponding to the surface of the weight substrate, and a permanent magnet is fixedly provided at a position facing the coil pattern, and a signal corresponding to the displacement amount detected by the displacement detecting means is provided. A current based on the current is supplied to the coil pattern, and the displacement position of the weight substrate is balanced by an electromagnetic action between the permanent magnet and the permanent magnet.
【０００５】ここで前記変位検出手段は、重錘基板の変
位部に取り付けた歪みゲージによって構成され、もしく
は前記変位検出手段は、重錘基板の面に設置された金属
箔、およびこの金属箔に対向する位置に固定的に設定さ
れたインダクタによって構成され、重錘基板の変位に伴
う前記金属箔とインダクタとの距離に対応して前記イン
ダクタのインダクタンスが変化されるように構成する。Here, the displacement detecting means is constituted by a strain gauge attached to a displacing portion of the weight substrate, or the displacement detecting means is formed of a metal foil provided on the surface of the weight substrate, and It is constituted by inductors fixedly set at opposing positions, and the inductance of the inductor is changed corresponding to the distance between the metal foil and the inductor accompanying the displacement of the weight substrate.
【０００６】すなわち、この加速度検出装置にあって
は、重錘基板の変位が変位検出手段によって検出され、
その変位検出出力に対応した電位の信号が重錘基板のコ
イルパターンに供給され、このコイルパターンと固定的
な永久磁石との間の磁気的な吸引力もしくは反発力がフ
ィードバック制御されるようになり、重錘基板の変位位
置が平衡位置に保たれる。この場合、変位検出手段とし
て重錘基板面に取り付けた金属箔とこの金属箔に対向し
て固定的に設定したインダクタとによって構成すれば、
重錘基板の変位に伴って設定される金属箔とインダクタ
との距離に対応してインダクタンスが変化される。そこ
で発振回路の発振周波数制御要素（発振のレベル制御要
素でもある）としてこのインダクタを組み込むことによ
り、変位量が周波数信号として出力される。したがって
周波数信号を検波出力することにより、金属箔の位置に
対応する重錘基板の位置が、インダクタと特定される距
離位置とされる平衡位置にある状態を検知することがで
きる。したがって、この検波出力によってコイルパター
ンに供給される電圧信号を制御し、永久磁石との間に磁
気力を可変制御することにより、重錘基板の変位位置が
前記平衡位置に保たれるようにフィードバック制御さ
れ、したがってこのフィードバック制御量に基づき重錘
基板の変位位置が検出され、傾斜角度の検出信号として
用いることができる。That is, in this acceleration detecting device, the displacement of the weight substrate is detected by the displacement detecting means.
A potential signal corresponding to the displacement detection output is supplied to the coil pattern of the weight substrate, and the magnetic attraction or repulsion between the coil pattern and the fixed permanent magnet is feedback-controlled. The displacement position of the weight substrate is maintained at the equilibrium position. In this case, as a displacement detection means, if it is constituted by a metal foil attached to the weight substrate surface and an inductor fixedly set to face the metal foil,
The inductance changes according to the distance between the metal foil and the inductor, which is set according to the displacement of the weight substrate. Therefore, by incorporating this inductor as an oscillation frequency control element (also an oscillation level control element) of the oscillation circuit, the displacement amount is output as a frequency signal. Therefore, by detecting and outputting the frequency signal, it is possible to detect a state where the position of the weight substrate corresponding to the position of the metal foil is at an equilibrium position which is a distance position specified by the inductor. Therefore, the voltage signal supplied to the coil pattern is controlled by this detection output, and the magnetic force is variably controlled between the coil and the permanent magnet, so that the displacement position of the weight substrate is maintained in the equilibrium position. The displacement position of the weight substrate is detected based on the feedback control amount, and can be used as a detection signal of the inclination angle.
【０００７】[0007]
【発明の実施の形態】以下、図面を参照してこの発明の
一実施の形態を実施例に基づき説明する。図１（Ａ）は
側面から見た断面構造を示しているもので、センサホル
ダ１１には片持ちの状態で重錘基板１２が取り付けられ
ている。この場合、重錘基板１２の自由端が下方に向け
て吊り下げられる状態で設定され、センサホルダ１１が
傾いた状態では、重錘基板１２の下端が傾斜して変位さ
れるようになる。ここで、重錘基板１２の面には、同図
（Ｂ）で示すようにコイルパターン１３が印刷等によっ
て描かれているもので、このコイルパターン１３に対向
するようにして、センサホルダ11に取り付け固定して永
久磁石１４が設けられる。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. FIG. 1A shows a cross-sectional structure viewed from the side, and a weight substrate 12 is attached to the sensor holder 11 in a cantilever state. In this case, the free end of the weight substrate 12 is set to be suspended downward, and when the sensor holder 11 is inclined, the lower end of the weight substrate 12 is displaced while being inclined. Here, a coil pattern 13 is drawn on the surface of the weight substrate 12 by printing or the like as shown in FIG. A permanent magnet 14 is mounted and fixed.
【０００８】センサホルダ１１には、一体にして回路基
板１５が取り付け設定されており、この回路基板１５に
は重錘基板１１の面に対向する状態でインダクタ１６が
設定される。回路基板１５は、ネジ１１ａを調整するこ
とでそのインダクタ１６を重錘基板１２の自由端側に近
付けたり、遠くしたり微調整が可能となっている。A circuit board 15 is integrally mounted on the sensor holder 11, and an inductor 16 is set on the circuit board 15 so as to face the surface of the weight substrate 11. The circuit board 15 can be finely adjusted by adjusting the screw 11 a so that the inductor 16 is close to or far from the free end of the weight substrate 12.
【０００９】この場合、重錘基板１２はその表面部に金
属箔を含み構成されるもので、重錘基板１２の変位に伴
って、この金属箔とインダクタ１６との距離が変化す
る。これにより、金属箔に生じるうず電流の作用でイン
ダクタ１６のインダクタンスが変化することになる。す
なわち重錘基板１２の変位量に応じてインダクタンスと
コンデンサで構成されるＬＣ発振器の発振周波数が変化
することになる。In this case, the weight substrate 12 includes a metal foil on the surface thereof, and the distance between the metal foil and the inductor 16 changes with the displacement of the weight substrate 12. As a result, the inductance of the inductor 16 changes due to the action of the eddy current generated in the metal foil. That is, the oscillation frequency of the LC oscillator composed of the inductance and the capacitor changes according to the displacement amount of the weight substrate 12.
【００１０】同図（Ｃ）は重錘基板１２の一部であるコ
イルパターン１３部を取り出して示すもので、例えば複
数の銅板１７１ 、１７２ 、…とポリミイドの薄板１
８１、１８２、…とを交互に積層して，最後にアルミニ
ウム箔２０が配置される。即ち、この重錘基板１２は、
例えば銅板１７１、１７２、…が７層に積層して構成さ
れるもので、そして、これら銅板１７１、１７２、…と
ポリミイドの薄板１８１、１８２、…との積層構造体の
表面に、アルミニウム箔２０が設けられる。これにより
うずまき状コイルパターンが形成されている。FIG. 1C shows a portion of the coil pattern 13 which is a part of the weight substrate 12, for example, a plurality of copper plates 171, 172,.
Are alternately laminated, and finally the aluminum foil 20 is disposed. That is, the weight substrate 12
For example, copper plates 171, 172,... Are laminated in seven layers, and an aluminum foil 20 is formed on the surface of a laminated structure of these copper plates 171, 172,. Is provided. As a result, a spiral coil pattern is formed.
【００１１】図２はこの様に構成される検出装置に用い
られる検出回路を示すもので、この検出回路は回路基板
１５に適宜形成される。この検出回路はインダクタ１６
によるインダクタンスＬx 、コンデンサＣ1 、Ｃ2 およ
び反転増幅器Ｉn によって構成される発振器２１を備え
るもので、この発振器２１の発振周波数は、インダクタ
１６のインダクタンスＬx 、コンデンサコンデンサＣ1
、Ｃ2 によって決定される。そして、この発振器２１
からの発振出力は、検波器２２で直流に検波され、フィ
ルタリングされて重錘基板１２の変位出力として取り出
される。FIG. 2 shows a detection circuit used in a detection device having such a configuration. The detection circuit is formed on a circuit board 15 as appropriate. This detection circuit is an inductor 16
, An oscillator 21 composed of capacitors C1, C2 and an inverting amplifier In. The oscillation frequency of the oscillator 21 is determined by the inductance Lx of the inductor 16, the capacitor C1
, C2. And this oscillator 21
The oscillation output from is detected by the detector 22 as a direct current, filtered, and taken out as a displacement output of the weight substrate 12.
【００１２】この様にして得られる、変位出力は、比較
器２３に供給される。この比較器２３は前記変位出力
と、予め設定されている基準電圧Ｖｒｅｆとの比較を行
う。そして、この比較器２３の比較結果である出力は、
重錘基板１２に設けられているコイルパターン１３にフ
ィードバックされ、永久磁石１４との間の磁気的な吸引
力もしくは反発力が可変され、重錘基板１２がもとの位
置に戻るように平衡するように動作する。The displacement output thus obtained is supplied to a comparator 23. The comparator 23 compares the displacement output with a preset reference voltage Vref. The output of the comparison result of the comparator 23 is
Feedback is fed back to the coil pattern 13 provided on the weight substrate 12, the magnetic attraction or repulsion between the permanent magnet 14 is varied, and the weight substrate 12 is balanced so as to return to the original position. Works like that.
【００１３】すなわち、重錘基板１２の表面にアルミニ
ウム箔２０による金属箔を設定し、この金属箔に対向し
てインダクタ１６が配置され、相互間の距離が変化した
場合、金属箔に生ずるうず電流の作用によって、金属箔
とインダクタ１６との間の変位がインダクタンスの変化
となって現れ、発振回路21の出力電圧と共振周波数とが
変化される。一般に、金属箔がアルミニウムのような非
磁性体によって構成される場合には、共振周波数の変化
よりも出力電圧の変化が顕著であり、したがってこの発
振回路２１の出力を検波回路２２で検波することによ
り、重錘基板１２の変位が電圧に変換され変位出力とし
て取り出される。That is, a metal foil made of an aluminum foil 20 is set on the surface of the weight substrate 12, and the inductors 16 are arranged to face the metal foil. When the distance between the inductors 16 changes, the eddy current generated in the metal foil is changed. As a result, the displacement between the metal foil and the inductor 16 appears as a change in inductance, and the output voltage and the resonance frequency of the oscillation circuit 21 are changed. Generally, when the metal foil is made of a non-magnetic material such as aluminum, the change in the output voltage is more remarkable than the change in the resonance frequency. Therefore, the output of the oscillation circuit 21 should be detected by the detection circuit 22. Thus, the displacement of the weight substrate 12 is converted into a voltage and taken out as a displacement output.
【００１４】重力加速度も振動加速度も加速度としては
同じ物理量であり、したがって原理的に弁別が困難であ
る。しかし、一般に建造物等設置された構造物のよう
に、傾斜変化が静的な加速度変化として、且つ振動は動
的な加速度変化とみなせる場合は、加速度計の出力を低
域通過型フィルタもしくは高域のバントパスフィルタに
供給し、低域のフィルタの出力を傾斜による重力加速度
として取り出し、高域のフィルタ出力を振動加速度とし
て計測することができる。[0014] Both the gravitational acceleration and the vibration acceleration are the same physical quantity as the acceleration, and therefore are in principle difficult to discriminate. However, in general, when the inclination change can be regarded as a static acceleration change and the vibration can be regarded as a dynamic acceleration change as in a structure installed in a building or the like, the output of the accelerometer is determined by a low-pass filter or a high-pass filter. The output of the low-pass filter is supplied as the gravitational acceleration due to the inclination, and the output of the high-pass filter can be measured as the vibration acceleration.
【００１５】図３はこの発明の他の実施の形態である。
上記実施例にあっては、重錘基板１２の変位検出手段と
して金属箔およびインダクタを用いるようにしたが、図
３（Ａ）、（Ｂ）で示すように重錘基板１２に対して括
れ部１２ａ，１２ｂを形成し、この括れ部に歪みゲージ
３０を形成するような構成とすることもできる。歪みゲ
ージ３０は抵抗線を櫛型に配置して構成される。この様
に歪みゲージ３０を用いれば、重錘基板１２の変位量に
応じた電圧信号が歪みゲージ３０から得られる。この変
位検出信号を図３（Ｃ）の増幅器３１で増幅し、比較器
３２に入力する。そして変位検出信号に対応した比較結
果出力をコイルパターン１３にフィードバックする。こ
れにより重錘基板１２を平衡させる。このときの増幅器
３１の出力がいわゆる歪み検出出力（加速度検出出力）
となる。FIG. 3 shows another embodiment of the present invention.
In the above embodiment, the metal foil and the inductor are used as the displacement detecting means of the weight substrate 12, but as shown in FIGS. It is also possible to form a structure in which the strain gauges 30 are formed in the constricted portions by forming the 12a and 12b. The strain gauge 30 is configured by arranging resistance wires in a comb shape. By using the strain gauge 30 in this manner, a voltage signal corresponding to the amount of displacement of the weight substrate 12 is obtained from the strain gauge 30. This displacement detection signal is amplified by the amplifier 31 shown in FIG. Then, the comparison result output corresponding to the displacement detection signal is fed back to the coil pattern 13. Thereby, the weight substrate 12 is balanced. The output of the amplifier 31 at this time is a so-called distortion detection output (acceleration detection output).
Becomes
【００１６】すなわち、傾斜によって重錘基板１２が変
位した場合、その変位量に応じてコイルパターンと永久
磁石との間の距離が変化するように変位されるものであ
るが、コイルパターンに作用する磁気によるトルクを制
御することにより、重錘基板１２が永久磁石との間の距
離が特定の距離である平衡位置にフィードバック制御さ
れる。そして、このフィードバック制御量に応じた傾斜
変位検出出力が得られるようになる。That is, when the weight substrate 12 is displaced due to the inclination, the weight substrate 12 is displaced so that the distance between the coil pattern and the permanent magnet changes in accordance with the amount of displacement, but acts on the coil pattern. By controlling the torque by magnetism, the weight substrate 12 is feedback-controlled to an equilibrium position where the distance between the weight substrate 12 and the permanent magnet is a specific distance. Then, an inclination displacement detection output corresponding to the feedback control amount can be obtained.
【００１７】この発明は上記の実施の形態に限るもので
はなく、各種の変形応用が可能である。上記した重錘基
板１２はこれに限らず、振り子タイプのものであっても
良い。またこの発明の装置は２つを組み合わせて２軸セ
ンサーとして利用することもでき、さらに多数を組み合
わせて多軸センサーとして利用することも可能である。The present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications can be made. The weight substrate 12 is not limited to this, and may be a pendulum type. Further, the apparatus of the present invention can be used as a two-axis sensor by combining two of them, and can be used as a multi-axis sensor by combining many of them.
【００１８】[0018]
【発明の効果】以上のにようにこの発明に係る加速度検
出装置によれば、充分に小型化して構成できる状態で、
動的な加速度と共に静的な加速度も効果的に検出できる
ものであり、例えば傾斜面の土壌の移動状態等の観測を
高精度に実行できるもので、自然環境の監視等に効果的
に応用できる。As described above, according to the acceleration detecting device of the present invention, it is possible to reduce the size of the acceleration detecting device.
It can effectively detect static acceleration as well as dynamic acceleration. For example, it can accurately observe the moving state of soil on a slope, etc., and can be effectively applied to natural environment monitoring and the like. .
【図１】この発明の第１の実施の形態例に係る加速度検
出装置を側方から見た構成図、加速度検出装置の重錘基
板面を示す図及び上記重錘基板を説明する図である。FIG. 1 is a side view of a configuration of an acceleration detection device according to a first embodiment of the present invention, a diagram illustrating a weight substrate surface of the acceleration detection device, and a diagram illustrating the weight substrate. .
【図２】上記加速度検出装置に用いられる検出回路を説
明する図。FIG. 2 is a diagram illustrating a detection circuit used in the acceleration detection device.
【図３】この発明の第２の実施の形態例に係る加速度検
出装置を側方から見た構成図、加速度検出装置の重錘基
板面を示す図及び上記加速度検出装置に用いられる検出
回路を説明する図。FIG. 3 is a side view of a configuration of an acceleration detection device according to a second embodiment of the present invention, a diagram showing a weight substrate surface of the acceleration detection device, and a detection circuit used in the acceleration detection device. FIG.
１１…センサホルダ、１２…重錘基板、１３…コイルパ
ターン、４…永久磁石、１５…回路基板、１６…インダ
クタ、２１…発振器、２２…検波器、２３…比較器、３
０…歪みゲージ。11 sensor holder, 12 weight substrate, 13 coil pattern, 4 permanent magnet, 15 circuit board, 16 inductor, 21 oscillator, 22 detector, 23 comparator, 3
0: strain gauge.
Claims (5)
て変位される重錘として機能される可撓性を有する重錘
基板と、 この重錘基板の前記変位の量を検出する変位検出手段
と、 前記重錘基板の面に描かれたコイルパターンと、 このコイルパターンに対向する位置に間隔をおいて固定
的に設けられた永久磁石とを具備し、 前記変位検出手段で検出された変位量に対応した信号に
基づく電流が前記コイルパターンに流され、前記永久磁
石との間の磁気的な作用により前記重錘基板の変位位置
が平衡されるようにした加速度検出装置。1. A weight substrate having flexibility and functioning as a weight that is held by a cantilever and is displaced by the action of acceleration, and displacement detection for detecting the amount of the displacement of the weight substrate Means, a coil pattern drawn on the surface of the weight substrate, and permanent magnets fixedly provided at a position facing the coil pattern at intervals and detected by the displacement detecting means. An acceleration detection device wherein a current based on a signal corresponding to a displacement amount is caused to flow through the coil pattern, and a displacement position of the weight substrate is balanced by a magnetic action between the permanent magnet and the permanent magnet.
に設置された金属箔と、この金属箔に対向する位置に固
定的に設定されたインダクタとによって構成され、前記
重錘基板の変位に伴う前記金属箔とインダクタとの距離
に対応して前記インダクタが変化されるようにした請求
項１記載の加速度検出装置。2. The weight detecting device according to claim 1, wherein the displacement detecting means includes a metal foil provided on a surface of the weight substrate, and an inductor fixedly set at a position facing the metal foil. 2. The acceleration detecting device according to claim 1, wherein the inductor is changed in accordance with a distance between the metal foil and the inductor accompanying displacement.
位部に取り付けた歪みゲージによって構成されるように
した請求項１記載の加速度検出装置。3. The acceleration detecting device according to claim 1, wherein said displacement detecting means is constituted by a strain gauge attached to a displacement portion of said weight substrate.
を複数に積層した積層フレキシブル基板で構成され、前
記複数層の金属板にはそれぞれ前記コイルパターンが形
成されるようにした請求項１記載の加速度検出装置。4. The weight substrate is constituted by a laminated flexible substrate in which a plurality of metal plates and synthetic resin plates are laminated, and the coil pattern is formed on each of the plurality of metal plates. Item 2. The acceleration detection device according to Item 1.
路を備え、この発振回路からの出力を検波して得られた
前記重錘基板の変位出力は、特定される基準電圧と比較
され、その比較出力が前記重錘基板のコイルパターンに
供給されるようにした請求項３記載の加速度検出装置。5. An oscillation circuit including the inductor, wherein a displacement output of the weight substrate obtained by detecting an output from the oscillation circuit is compared with a specified reference voltage. 4. The acceleration detecting device according to claim 3, wherein an output is supplied to a coil pattern of the weight substrate.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35360797A JPH11183514A (en) | 1997-12-22 | 1997-12-22 | Acceleration detecting device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35360797A JPH11183514A (en) | 1997-12-22 | 1997-12-22 | Acceleration detecting device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11183514A true JPH11183514A (en) | 1999-07-09 |
Family
ID=18431993
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35360797A Pending JPH11183514A (en) | 1997-12-22 | 1997-12-22 | Acceleration detecting device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11183514A (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105277740A (en) * | 2015-07-16 | 2016-01-27 | 陕西华燕航空仪表有限公司 | Metal flexible accelerometer |
| JP2017090452A (en) * | 2016-11-02 | 2017-05-25 | 株式会社アミテック | Vibration characteristic discrimination unit |
| CN110375844A (en) * | 2019-06-21 | 2019-10-25 | 国网江苏省电力有限公司泰州供电分公司 | A kind of passive type distribution transforming vibration equipment monitoring device |
| JP6894656B1 (en) * | 2019-07-26 | 2021-06-30 | 株式会社Ｔｔｅｓ | Systems, methods, and programs for estimating structural displacement |
-
1997
- 1997-12-22 JP JP35360797A patent/JPH11183514A/en active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105277740A (en) * | 2015-07-16 | 2016-01-27 | 陕西华燕航空仪表有限公司 | Metal flexible accelerometer |
| JP2017090452A (en) * | 2016-11-02 | 2017-05-25 | 株式会社アミテック | Vibration characteristic discrimination unit |
| CN110375844A (en) * | 2019-06-21 | 2019-10-25 | 国网江苏省电力有限公司泰州供电分公司 | A kind of passive type distribution transforming vibration equipment monitoring device |
| JP6894656B1 (en) * | 2019-07-26 | 2021-06-30 | 株式会社Ｔｔｅｓ | Systems, methods, and programs for estimating structural displacement |
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