JPH11173880A - 超音波流量計 - Google Patents

超音波流量計

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JPH11173880A
JPH11173880A JP34005897A JP34005897A JPH11173880A JP H11173880 A JPH11173880 A JP H11173880A JP 34005897 A JP34005897 A JP 34005897A JP 34005897 A JP34005897 A JP 34005897A JP H11173880 A JPH11173880 A JP H11173880A
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Noriyuki Nabeshima
徳行 鍋島
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Aichi Tokei Denki Co Ltd
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Aichi Tokei Denki Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 消費電力、特にアナログ回路部の平均消費電
流を少なくする。電池駆動の超音波流量計の実現を可能
にする。時分割駆動時の受信用超音波振動子の不要振動
をなくす。不要振動による計測精度への悪影響を小さく
する。 【解決手段】 順方向計測時には送受波器2は送信を送
受波器3は受信を司る。コントロール部6からの第1指
令信号を受けて送波器駆動部7が送受波器2を励振して
超音波が発射される。タイマ12は超音波が送受波器3
に到達する直前にセット信号を出す。すると受信波検知
部電源コントロール部9がON信号を出力し、受信波検
知部8のアナログ増幅回路に電源が印加される。印加の
最初の瞬間アナログスイッチSW1が閉じ受信側の送受
波器3の両端を短絡し、送受波器3の不要振動を防止す
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は超音波流量計に関す
る。
【0002】
【従来の技術】図6において、静止流体中の音速をC、
流体の流れの速さをVとすると、音波の伝搬方向が流れ
に沿った方向(以下順方向という)と一致すればその伝
搬速度は(C+V)となり、流れに逆らった方向(以下
逆方向という)の場合には(C−V)となる。
【0003】距離Lを隔てて1組の送受波器2,3を流
管1の上流と下流に離して配設し、送波器2から順方向
に超音波を発射したとき、受波器3に超音波が到達する
に要する時間をt1 、送波器3から逆方向に超音波を発
射したときに、受波器2に超音波が到達するに要する時
間をt2 とすれば、 t1 =L/(C+V) ……(1) t2 =L/(C−V) ……(2) となる。
【0004】順方向と逆方向の超音波の上記伝搬時間t
1 ,t2 を測定し、これらから流速Vを算出して、さら
に流量を求め(積算し)ていた。流速Vは上記(1),
(2)式から V=L〔(1/t1 )−(1/t2 )〕/2 として求めていた。
【0005】伝搬時間計測の分解能を上げるために、1
回の超音波の送受ではなく、受信と同時に次の同方向の
送信を行い、同方向の送受を複数回(n回)連続して繰
り返し、最初の第1回目の送信から最後の第n回目の受
信までの時間を測定し、その値より1回の送信から受信
までの時間つまり伝搬時間t1 又はt2 を求めるように
していた。
【0006】超音波が受信用の送受波器、つまり受波器
に到達した時期を検知する受信波検知回路は、信号の増
幅と基準レベルとの比較を行うアナログ回路を主にして
構成されており、消費電流が大きかった。
【0007】受信用の送受波器の信号は非常に小さく、
周波数が大きいため、超音波の到達時期を正確に検知す
るためには、高性能のアンプを使う必要があり、これら
の増幅器は消費電流が大きいためである。
【0008】このように受信波検知部の消費電流が大き
いため電池駆動の超音波流量計は電池寿命の面から実用
化されていない。電池駆動の超音波流量計の実現のた
め、超音波信号の増幅と基準レベルとの比較を行うアナ
ログ回路部の時分割駆動が提案されている。これは、消
費電流の多いアナログ回路部の電源ON時間をできるだ
け短くし平均的に消費電力を低減しようと言うものであ
る。
【0009】特に、受信とともに次の同方向の送信を行
い、同方向の送受を複数回(n回)連続して繰り返し、
伝搬時間(到達時間ともいう)の複数(n)倍をまとめ
て測定することにより到達時間測定の分解能を向上させ
る方式の超音波流量計では、連続する送受のうち直前の
送受の到達時間から今回の受信時期(以下受信ポイント
ともいう)が予想できるので、アナログ回路部の電源O
N時期を受信ポイントに極力近づけることが可能で、こ
れについては本願出願人が先に特開平9−133560
号公報で開示した。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】送受波器はPZTなど
の超音波トランスデューサが用いられている。受信波検
知回路に接続されている受信側の送受波器に、アナログ
回路部への電源ON時に、わずかではあるがどうしても
電圧を加えることになり、受信側の送受波器を一時的
(過渡的)に振動させてしまう。そのため、この不要振
動が収まるまでは正確な受信が不可能であり、不要振動
が減衰して受信に悪影響与えないだけの減衰時間だけ早
くアナログ回路部の電源をONする必要があり、電源O
N時間を一定以下に短くできない要因となっていて、超
音波流量計の低消費電力化の障害となっていた。
【0011】また、受信波検知回路では受信別の特定の
波、例えば第3波のゼロクロス点を検出して受信ポイン
トとしているが、ノイズともいうべき前記不要振動が受
信信号を歪ませてゼロクロス点を移動させることにな
り、到達時間の測定精度を下げる要因となる。特に流速
が安定している時は、毎回の到達時間が殆ど同じであ
り、前記不要振動が受信信号に対して毎回殆ど同じタイ
ミング(つまり同じ位相)で混入する。従って、通常の
ランダムノイズのように繰り返しによる平均化で悪影響
をなくすことができない。よって、不要振動が超音波流
量計の高精度化の面でも大きな障害となっていた。
【0012】本発明はこれらの障害を解消できる超音波
流量計を提供することを目的とする。
【0013】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、請求項1の発明は、送信側にも受信側にもはたらく
少なくとも1対の超音波送受波器を設け、流体の流れの
中を上流から下流及び下流から上流に超音波の送受を行
い、その各向きの到達時間より流速さらに流量を求める
超音波流量計であって、まず送信側の送受波器を発信さ
せ、受信側送受波器の信号を入力とする受信波検知部が
受信波を検知すると、再び送信側の送受波器を発信させ
るようにし、これを一定回数(n回)繰り返すよう構成
し、最初の発信から一定回数目(n回目)の受信までの
時間つまり到達時間のn倍をまとめて測定し、その結果
から流速さらに流量を求めるようにしたもので、前記受
信波検知部は、主に増幅器を中心とするアナログ回路で
構成されていて、その電源が、毎回受信波が到達する直
前に供給され、受信波が検知されると断たれるようにな
っていて、前記受信側送受波器の両端を電気的に短絡し
たり開放したりするスイッチング素子を配置し、アナロ
グ回路部への電源をONする瞬間は短絡状態で、その後
受信波が到達するときは開放状態とすることを特徴とす
る超音波流量計である。
【0014】アナログ回路部に電源を供給するとき、増
幅器のプラス電源とマイナス電源の立上りのアンバラン
スなどが要因となり、接続されている受信側送受波器に
電圧を印加してしまうことが前記不要振動の原因であ
る。
【0015】この発明では、アナログ回路部への電源供
給をONするとき、受信側の送受波器の両端が短絡状態
であるため、送受波器に電圧が掛からない。従って不要
振動することなく短時間で受信可能の状態になり、その
分受信予想時点(受信予想ポイント)に極力近い時点で
アナログ回路部の電源をONできる。その結果、電源O
N期間を極限的に短くしても受信が可能となり、平均消
費電流を低減できる。
【0016】請求項2の発明は、送信側にも受信側にも
はたらく少なくとも1対の超音波送受波器を設け、流体
の流れの中を上流から下流及び下流から上流に超音波の
送受を行い、その各向きの到達時間より流速さらに流量
を求める超音波流量計であって、まず送信側の送受波器
を発信させ、受信側送受波器の信号を入力とする受信波
検知部が受信波を検知すると、再び送信側の送受波器を
発信させるようにし、これを一定回数(n回)繰り返す
よう構成し、最初の発信から一定回数目(n回目)の受
信までの時間つまり到達時間のn倍をまとめて測定し、
その結果から流速さらに流量を求めるようにしたもの
で、前記受信波検知部は、主に増幅器を中心とするアナ
ログ回路で構成されていて、その電源が、毎回受信波が
到達する直前に供給され、受信波が検知されると断たれ
るようになっていて、前記受信側送受波器の両端を電気
的に短絡したり開放したりする第1のスイッチング素子
と、受信側送受波器の信号をアナログ回路部と接続した
り切り離したりする第2のスイッチング素子とを配置
し、アナログ回路部への電源をONする瞬間は第1のス
イッチング素子を短絡状態に、かつ第2のスイッチング
素子を切り離し状態にし、その後受信波が到達するとき
は第1のスイッチング素子を開放状態に、かつ第2のス
イッチング素子を接続状態にすることを特徴とする超音
波流量計である。
【0017】この発明では、アナログ回路部の電源ON
時に、受信側送受波器の信号がアナログ回路部と切り離
されていて、電源ON時の過渡的な悪影響を受けること
が全くないため、より効果的である。
【0018】請求項3の発明は、請求項1又は2の超音
波流量計において、前記スイッチング素子の制御をなま
った波形で行うことを特徴とする。一般的にスイッチン
グ素子としてCMOSアナログスイッチ等が使用でき
る。ところが、この種のスイッチング素子のON、OF
Fの制御信号が新たに不要振動の原因となる場合があ
る。それは制御信号が微小容量を通し受信側送受波器に
印加されるからである。
【0019】本発明では、なまった波形で制御すること
で、制御信号自体が不要振動を引き起こすことを防止す
る。請求項4の発明は、送信側にも受信側にもはたらく
少なくとも1対の超音波送受波器を設け、流体の流れの
中を上流から下流及び下流から上流に超音波の送受を行
い、その各向きの到達時間より流速さらに流量を求める
超音波流量計であって、まず送信側の送受波器を発信さ
せ、受信側送受波器の信号を入力とする受信波検知部が
受信波を検知すると、再び送信側の送受波器を発信させ
るようにし、これを一定回数(n回)繰り返すよう構成
し、最初の発信から一定回数目(n回目)の受信までの
時間つまり到達時間のn倍をまとめて測定し、その結果
から流速さらに流量を求めるようにしたもので、n回あ
る送受の各1回1回の到達時間を測定できるようになっ
ていて、前記受信波検知部は、主に増幅器を中心とする
アナログ回路で構成されていて、その電源が、まず第1
回目の発信から一定時間後にONされ、受信波が検知さ
れるとOFFされるようになっていて、次からは今回の
発信より、前回の到達時間から一定時間を引いた時間経
ったときONされ、再び受信波が検知されるとOFFさ
れ、以後これを続けるよう構成されていて、前記一定時
間を一定範囲内でいろいろな値となるよう発信毎に変化
させることを特徴とする超音波流量計である。
【0020】アナログ回路部の電源ON時、毎回同じ形
の不要振動が起きる。受信ポイントを予想して電源をO
Nする場合では、流速が安定していると不要振動の波形
に対し同じタイミングに毎回の受信ポイントがくるとい
うことになり誤差の大きな要因になる。
【0021】この発明では、受信波に対し毎回毎にアナ
ログ回路部の電源ONのタイミングをずらすことによ
り、n回の繰り返しの間に影響を平均化して零に近づ
け、計測精度を向上する。
【0022】そして請求項5の発明は、請求項1,2又
は3の超音波流量計において、受信波検知部は、主に増
幅器を中心とするアナログ回路で構成されていて、その
電源が、毎回受信波が到達する直前に供給され、受信波
が検知されると断たれるように、まず第1回目の発信か
ら一定時間後にONされ、受信波が検知されるとOFF
されるようになっていて、次からは今回の発信より、前
回の到達時間から一定時間を引いた時間経ったときON
され、再び受信波が検知されるとOFFされ、以後これ
を続けるよう構成し、前記一定時間を一定範囲内でいろ
いろな値となるよう発信毎に変化させ、またON時に受
信側送受波器の不要発信をおさえることを特徴としてい
る。
【0023】
【発明の実施の形態】次に本発明の好ましい実施の形態
を図面の実施例に基づいて説明する。 〔実施例1〕図1の実施例は請求項1の発明に対応す
る。
【0024】一対の送受波器2と3はPZTなどの超音
波振動子で、送信にも受信にも切り替え使用でき、一方
の送受波器が送信用に使用されるときは他方の送受波器
は受信用に使用される。
【0025】送信用と受信用への切り替えは、切替スイ
ッチ4と5をコントロール部6からの送受切替信号で切
り替えることで行う。図1の状態では送受波器2が送波
器駆動部7に接続されていて送信側として使用されてい
る。また、送受波器3は受信波検知部8に接続されてい
て受信側として使用されている。
【0026】両送受波器2,3は流体中を上流から下流
及び下流から上流への超音波の送受を行う。受信波検知
部8は、受信波検知部電源コントロール部9よりのON
信号が“ON”のときは構成の一部であるアナログ回路
部の電源をONするように構成されていて、接続された
受信側の送受波器3からの信号より受信波を検知すると
受信波検知信号を出力する。
【0027】送波器駆動部7はコントロール部6より第
1送信指令信号を受けると送信側の送受波器2をまず駆
動し、その後は受信波検知部8より受信波検知信号を受
ける度に同じ送受波器を駆動する。
【0028】第1のカウンタ10は、受信波検知部8か
らの受信波検知信号をカウントし、n番目の受信波検知
信号を出力する。このカウンタ10はコントロール部6
よりの第1送信指令信号でリセットされるようになって
いる。
【0029】第2のカウンタ11は、第1送信指令信号
から第n受信波検知信号までの時間を測定する。その時
間(カウント値)はコントロール部6が読み取る。この
例では第1送信指令信号でカウント値がゼロクリアさ
れ、構成要素である基準クロック発生器からの基準クロ
ックのカウントを開始するように構成されている。
【0030】コントロール部6は一定間隔で送受切替信
号を反転させることにより2つの送受波器2,3の役割
の切り替えを行う。各切り替え後、毎回切り替えによる
ノイズ等が収まる時間をおいて、第1送信指令信号を出
力する。そして、第n受信波検知信号を入力すると、カ
ウンタ11の測定値(カウント値)を読み取り、直前に
行った逆向きでの測定値とを用いて、その間の流速流量
を演算し表示等を行う。
【0031】タイマ12は、まずコントロール部6から
の第1送信指令信号が入力されるとその時点から時間カ
ウントを開始し、考えられる最小の超音波到達時間とし
て決められたある一定時間からアナログ回路部安定時間
(電源ONより受信可能となるまでの時間)を減じた時
間経ったところでセット信号を出力し、その後、受信波
検知部8からの受信波検知信号を入力すると、そこまで
の時間を記憶すると共に再びゼロから時間カウントを開
始する。
【0032】そして、今度は記憶した時間からアナログ
回路部安定時間を減じた時間経ったところでセット信号
を出力、次に受信波検知部8からの受信波検知信号を入
力すると、再びそこまでの時間を記憶すると共に再びゼ
ロから時間カウントを開始する。そして、再び記憶した
時間からアナログ回路部安定時間を減じた時間経ったと
ころでセット信号を出力、以下これを繰り返すよう構成
されている。
【0033】SW1は受信側送受波器の両端を電気的に
短絡したり開放したりするスイッチング素子としてのア
ナログスイッチで、受信波検知部電源コントロール部9
のON信号を遅延回路13とインバータ14を介して印
加して操作する。なお、アナログスイッチSW1の図示
下端はアナロググランドに接地されている。またこのス
イッチSW1は切替スイッチ5により受信側の送受波器
3又は2の両端に接続される。
【0034】図2はタイマ12の実施例の構成を示すも
のである。第1送信指令信号が入力されるとカウンタ1
5はリセットされクロック発生器16からの基準クロッ
クを計数して時間のカウントを開始すると共に記憶器1
7は送受波器間の距離や音速から考えられる最小の到達
時間として決められた値がプリセットされる(この値を
出力する)。
【0035】そして、この値は減算器18のA入力に入
力されている。B入力にはアナログ部安定時間相当の一
定値が入力されていて、A−Bに相当する値が比較器1
9に出力されている。カウンタ15は基準クロックをカ
ウントしていて、このカウント値が比較器19のもう一
つの入力となっていて、比較器19は2つの入力が等し
くなると一致信号を出力する。
【0036】受信波検知信号が入力されたときは到達時
間に相当するその瞬間のカウント値を記憶器17で記憶
し、同時にリセットされ再びゼロからカウントを開始す
るよう構成されている(記憶後リセット)。従って、今
度は前回の到達時間からアナログ部安定時間を減じた時
間相当のカウント値にカウントが進んだとき、一致信号
を出力することになる。以後受信波検知信号が入力され
たときの動作は同じである。このようにして前述の機能
を実現している。
【0037】図1の受信波検知部電源コントロール部9
はタイマ12よりの一致信号をセット信号として、また
受信波検知部8よりの受信波検知信号をリセット信号と
して入力していて、セット信号で“ON”、リセット信
号で“OFF”となるON信号を受信波検知部8に出力
している。これにより受信波検知部8のアナログ回路部
の電源は、毎回受信波が到達する直前に供給(ON)さ
れ、受信波が検知されると断たれる。
【0038】またON信号は遅延回路13にも入力され
ている。実施例では短絡用の素子としてCMOSアナロ
グスイッチSW1を使用した。アナログ回路部のONと
合致しないようにON信号を遅延回路により遅らせ、更
にインバータ14で反転させアナログスイッチSW1の
制御信号とした。これにより、通常は短絡しているアナ
ログスイッチSW1はアナログ回路部への電源をONす
る瞬間は短絡で、その後すぐに開放状態となり受信波が
到達するときは開放となるようになっている。
【0039】アナログ回路部安定時間は測定中に流速が
速くなることを考慮し、実際の安定時間より若干大きめ
の値としている。また、受信波検知部電源コントロール
部9は、カウンタ10より第n受信波検知信号を受ける
とON信号を出力しないようになっている。つまりその
後、受信は行われず、そこで送受のサイクルは途絶える
ようにしてある。
【0040】〔実施例2〕図3は請求項2に対応する実
施例である。アナログスイッチSW1と逆の動きをする
アナログスイッチSW2を配置し、電源ON時の影響を
更に伝わりにくくしている。13Aはバッファである。
【0041】〔実施例3〕図4は請求項3の実施例でア
ナログスイッチSW1の制御信号をCR回路14B,1
4Cでなまらせることにより制御信号自体で不要振動を
起こしてしまうことを防いでいる。
【0042】〔実施例4〕図5は請求項4,5で使用す
るタイマ12Aの実施例を示す。減算器のB入力となる
アナログ回路部安定時間に相当する一定値は下位3ビッ
トが3ビットカウンタのカウンタ20の出力となってい
る。そして、上位のビットは前記3ビットがどのような
値になろうとアナログ回路部安定時間を確保できる値と
なっている。また、カウンタ20は受信波検知信号をカ
ウントするようになっていて、受信毎に0,1,2,
3,4,5,6,7,0,1,…とカウントアップす
る。これにより入力Bの値は毎回1ずつカウント値8の
範囲で変化する。
【0043】実施例の場合、基準クロック発信器16は
2MHz、使用している超音波送受波器の周波数は約2
50kHzであり8クロック分の時間が1周期と合致す
るようにし、同様に250kHz程度となると思われる
不要振動の1周期に均等に受信ポイントが来て繰り返し
による平均化で影響が効率よく消えることを狙ってい
る。
【0044】
【発明の効果】本発明の超音波流量計は上述のように構
成されているので、消費電流の大きなアナログ回路を主
要素とする受信波検知部の電源ON時間(作動時間)を
短くでき、低消費電力化できる。
【0045】また、前記電源ON後の不要振動ノイズと
受信波が同期するのを防止し、n回の繰り返しでノイズ
による誤差を実質的に平均化して小さくでき、流量計の
高精度化に寄与する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例のブロック図である。
【図2】図1のブロック図のタイマのブロック図であ
る。
【図3】本発明の他の実施例のブロック図である。
【図4】本発明の更に他の実施例のブロック図である。
【図5】本発明の要部実施例のブロック図である。
【図6】超音波流量計の原理を説明する略図である。
【符号の説明】
2,3 超音波送受波器 4,5 送受切替スイッチ 6 コントロール部 7 送波器駆動部 8 受信波検知部 9 受信波検知部電源コントロール部 10,11 カウンタ 12,12A タイマ 14B,14C CR回路 SW1,SW2 スイッチング素子(アナログスイッ
チ)

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 送信側にも受信側にもはたらく少なくと
    も1対の超音波送受波器を設け、流体の流れの中を上流
    から下流及び下流から上流に超音波の送受を行い、その
    各向きの到達時間より流速さらに流量を求める超音波流
    量計であって、 送信側の送受波器を発信させ、受信側送受波器の信号を
    入力とする受信波検知部が受信波を検知すると、再び送
    信側の送受波器を発信させるようにし、これを一定回数
    (n回)繰り返すよう構成し、最初の発信から一定回数
    目(n回目)の受信までの時間つまり到達時間のn倍を
    まとめて測定し、その結果から流速さらに流量を求める
    ようにしたもので、 前記受信波検知部は、主に増幅器を中心とするアナログ
    回路で構成されていて、その電源が、毎回受信波が到達
    する直前に供給され、受信波が検知されると断たれるよ
    うになっていて、 前記受信側送受波器の両端を電気的に短絡したり開放し
    たりするスイッチング素子を配置し、アナログ回路部へ
    の電源をONする瞬間は短絡状態で、その後受信波が到
    達するときは開放状態とすることを特徴とする超音波流
    量計。
  2. 【請求項2】 送信側にも受信側にもはたらく少なくと
    も1対の超音波送受波器を設け、流体の流れの中を上流
    から下流及び下流から上流に超音波の送受を行い、その
    各向きの到達時間より流速さらに流量を求める超音波流
    量計であって、 まず送信側の送受波器を発信させ、受信側送受波器の信
    号を入力とする受信波検知部が受信波を検知すると、再
    び送信側の送受波器を発信させるようにし、これを一定
    回数(n回)繰り返すよう構成し、最初の発信から一定
    回数目(n回目)の受信までの時間つまり到達時間のn
    倍をまとめて測定し、その結果から流速さらに流量を求
    めるようにしたもので、 前記受信波検知部は、主に増幅器を中心とするアナログ
    回路で構成されていて、その電源が、毎回受信波が到達
    する直前に供給され、受信波が検知されると断たれるよ
    うになっていて、 前記受信側送受波器の両端を電気的に短絡したり開放し
    たりする第1のスイッチング素子と、 受信側送受波器の信号をアナログ回路部と接続したり切
    り離したりする第2のスイッチング素子とを配置し、 アナログ回路部への電源をONする瞬間は第1のスイッ
    チング素子を短絡状態に、かつ第2のスイッチング素子
    を切り離し状態にし、その後受信波が到達するときは第
    1のスイッチング素子を開放状態に、かつ第2のスイッ
    チング素子を接続状態にすることを特徴とする超音波流
    量計。
  3. 【請求項3】 前記スイッチング素子の制御をなまった
    波形で行うことを特徴とする請求項1又は2記載の超音
    波流量計。
  4. 【請求項4】 送信側にも受信側にもはたらく少なくと
    も1対の超音波送受波器を設け、流体の流れの中を上流
    から下流及び下流から上流に超音波の送受を行い、その
    各向きの到達時間より流速さらに流量を求める超音波流
    量計であって、 まず送信側の送受波器を発信させ、受信側送受波器の信
    号を入力とする受信波検知部が受信波を検知すると、再
    び送信側の送受波器を発信させるようにし、これを一定
    回数(n回)繰り返すよう構成し、最初の発信から一定
    回数目(n回目)の受信までの時間つまり到達時間のn
    倍をまとめて測定し、その結果から流速さらに流量を求
    めるようにしたもので、 n回ある送受の各1回1回の到達時間を測定できるよう
    になっていて、 前記受信波検知部は、主に増幅器を中心とするアナログ
    回路で構成されていて、その電源が、まず第1回目の発
    信から一定時間後にONされ、受信波が検知されるとO
    FFされるようになっていて、次からは今回の発信よ
    り、前回の到達時間から一定時間を引いた時間経ったと
    きONされ、再び受信波が検知されるとOFFされ、以
    後これを続けるよう構成されていて、前記一定時間を一
    定範囲内でいろいろな値となるよう発信毎に変化させる
    ことを特徴とする超音波流量計。
  5. 【請求項5】 受信波検知部は、主に増幅器を中心とす
    るアナログ回路で構成されていて、その電源が、毎回受
    信波が到達する直前に供給され、受信波が検知されると
    断たれるように、まず第1回目の発信から一定時間後に
    ONされ、受信波が検知されるとOFFされるようにな
    っていて、次からは今回の発信より、前回の到達時間か
    ら一定時間を引いた時間経ったときONされ、再び受信
    波が検知されるとOFFされ、以後これを続けるよう構
    成し、前記一定時間を一定範囲内でいろいろな値となる
    よう発信毎に変化させることを特徴とする請求項1,2
    又は3記載の超音波流量計。
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