JPH11165866A - ウエハ搬送用ハンド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 カセットＣ内に収容されている複数のウエハ
Ｗ，Ｗ，…をロボットのハンド１により取り出して搬送
する場合に、カセットＣ内の各ウエハＷの収容位置にば
らつきがあっても、それらウエハＷ，Ｗ，…を確実に把
持して取り出すようにする。 【解決手段】 ハンド本体２に固定された支持板５と、
支持板５先端部の左右両側に設けられた固定爪７，７
と、ハンド本体２の左右中央にハンド本体２の進退方向
に沿って相対移動可能な移動体１４と、移動体１４にハ
ンド本体２の進退方向に相対移動可能に弾性支持された
可動爪２２とを有する把持機構４，４，…を設け、固定
爪７，７及び可動爪２２間に各ウエハＷを把持する。ハ
ンド本体２の左右両側に、ハンド本体２の前進によりウ
エハＷ外周縁部を押圧してウエハＷをカセットＣの内奥
面Ｃ１に対し所定許容収容位置に至るまで移動させる押
え棒３４，３４を設け、各ウエハＷを把持前に常に一定
の収容位置に位置決めする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ウエハ搬送用ハン
ドに関し、特に、カセット内に収容されたウエハを取り
出すのに好適なハンドに関する技術分野に属する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、ウエハを把持して搬送するウ
エハ搬送用ハンドとして、特開平７―２０１９４７号公
報に示されるように、ハンド本体の先端部に左右１対の
固定爪を固定する一方、ハンド本体基端部の左右中央部
に１つの可動爪を前後移動可能に設けて、この可動爪の
ハンド本体先端側への前進によって固定爪との間にウエ
ハを把持するようにし、可動爪をばねによって前進側に
付勢するとともに、可動爪にリンク機構を介してリング
に連結し、ハンドの回転中心回りの回転動作に伴うリン
グの回動によりリンク機構を介して可動爪をばねの付勢
力に抗して後退移動させるようにしたものが知られてい
る。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、例えばカセ
ット内に収容されているウエハを、上記従来の如きハン
ドを有するロボットにより把持して取り出して搬送する
場合、そのカセット内にウエハの側方からハンド本体の
先端部を挿入した後、そのハンド本体の固定爪及び可動
爪間にウエハを把持する必要がある。

【０００４】しかし、そのとき、カセット内でのウエハ
の収容位置が必ずしも同じ位置にあるとは限らず、若干
のばらつきがある。このため、このウエハ収容位置のば
らつきにより、ロボットがウエハを確実に把持できない
ことがあり、ロボットの搬送作業の信頼性が低下すると
いう問題があった。

【０００５】本発明は斯かる点に鑑みてなされたもので
あり、その目的とするところは、上記のようなウエハ搬
送用ハンドの構成を改良することで、カセット内のウエ
ハ収容位置がばらついていても、そのウエハを確実に把
持して取り出し得るようにすることにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、この発明では、ハンド本体にその前進動作によっ
てウエハを押圧する押え部材を設けて、この押え部材に
よる押圧によってウエハをカセット内の奥端部に対して
所定の許容収容位置に位置決めするようにした。

【０００７】具体的には、請求項１の発明では、カセッ
ト内に収容されているウエハを取り出して搬送するロボ
ットに設けられるウエハ搬送用ハンドとして、ロボット
アームに連結されるハンド本体と、このハンド本体に設
けられ、かつ少なくとも２つの固定爪及び少なくとも１
つの可動爪を有し、これら固定爪及び可動爪をウエハ外
周縁部の間隔をあけた位置に係合させて該ウエハを把持
する把持手段と、上記ハンド本体に設けられ、ハンド本
体の前進によりウエハの外周縁部を押圧して該ウエハを
カセットの内奥面に向けて所定の許容収容位置まで移動
させる押え部材とを備えたものとする。

【０００８】上記の構成により、カセットに収容されて
いるウエハをハンドにより把持して取り出す場合、ハン
ド本体を前進させてその把持手段をカセット内のウエハ
側方に挿入する。そのとき、ハンド本体の前進に伴って
押え部材がウエハの外周縁部を押圧し、この押え部材の
押圧によってウエハがカセットの内奥面に対して所定の
許容収容位置まで移動する。この後、上記把持手段の固
定爪及び可動爪がウエハ外周縁部の間隔をあけた位置に
係合し、このことでウエハが把持手段により把持され
る。しかる後にハンド本体が後退し、ウエハが把持手段
により把持された状態でカセット内から取り出されて搬
送される。

【０００９】この発明では、上記カセット内のウエハを
把持手段により把持する際、そのカセット内のウエハは
上記押え部材の押圧移動により、常にカセットの内奥面
に対して所定の許容収容位置に位置付けられているの
で、ロボットは、把持手段が上記許容収容位置を基準と
してウエハを把持するように操作されれば必ずウエハを
把持できることとなる。よって、カセット内でウエハの
当初の収容位置がばらついていても、そのウエハを確実
に把持して取り出すことができ、ロボットの搬送作業を
中断せず信頼性よく行うことができる。

【００１０】請求項２の発明では、上記ハンド本体に複
数の把持手段をハンド本体の進退方向と直交する方向に
並んで設ける。そして、押え部材は、上記複数の把持手
段により把持される複数のウエハを同時に押圧するよう
にハンド本体の進退方向と直交する方向に延びているも
のとする。こうすれば、カセット内に収容されている複
数のウエハの収容位置がばらついていても、それらのウ
エハを同時に押え部材によって押圧移動させてカセット
内の奥端面に対して所定の許容収容位置に揃えることが
でき、その各ウエハをそれぞれ対応する把持手段によっ
て一挙に把持して取り出すことができる。

【００１１】請求項３の発明では、上記把持手段は、ハ
ンド本体から該ハンド本体の前進方向に延びるように設
けられた支持部材と、ハンド本体の左右中央部にハンド
本体の進退方向に沿って相対移動可能に支持された移動
体とを有するものとする。そして、上記支持部材先端部
の左右両側に２つの固定爪を設け、移動体に１つの可動
爪を弾性手段によってハンド本体の進退方向に相対移動
可能に支持する構成とする。

【００１２】このことで、把持手段によりウエハを把持
する場合、移動体を後退させた状態で、その移動体に弾
性手段によって弾性支持されている１つの可動爪と、支
持部材先端部の左右両側にある２つの固定爪との間の中
央にウエハが位置するようにハンド本体を操作し、その
状態で移動体と共に可動爪を前進させることで、その可
動爪と固定爪との間にウエハをその外周縁部が固定爪及
び可動爪に係合された状態で把持すればよい。よって、
把持手段の好ましい構造が得られる。

【００１３】請求項４の発明では、上記可動爪が移動体
に対し基準位置を越えて相対的に後退変位したことを検
出する検出手段を設ける。こうすると、ウエハが固定爪
又は可動爪に正常状態で係合されていないときには、そ
のことに起因して可動爪が基準位置を越えて後退移動
し、この状態が検出手段により検出される。すなわち、
固定爪及び可動爪によるウエハの把持不良状態（係合不
良状態）を検出手段によって検出でき、その把持不良の
ままの搬送によってウエハが把持手段から落下すること
等を未然に回避することができる。

【００１４】請求項５の発明では、上記可動爪は、ウエ
ハの外周縁部に係合する凹溝が外周面に形成された回転
可能な凹形ローラとする。このことで、固定爪及び可動
爪の間でウエハを把持する際にウエハが左右に移動して
も、それに応じてローラタイプの可動爪が転動するよう
になり、その可動爪とウエハとの間は転がり摩擦状態と
なる。このため、両者が摺動摩擦状態である場合に比べ
て発塵を低減することができ、ウエハの製造行程での発
塵性を抑えることができる。

【００１５】請求項６の発明では、上記押え部材をハン
ド本体の左右両側に設ける。こうすると、カセット内で
ウエハを左右両側から押え部材により押圧でき、そのウ
エハのカセット内奥面に対する所定の許容収容位置への
位置付けをスムーズかつ容易に行うことができる。

【００１６】請求項７の発明では、上記押え部材は回転
可能なローラとする。この場合も、押え部材によりウエ
ハを押圧する際にウエハが左右に移動してもローラであ
る押え部材が転動するようになり、その押え部材（ロー
ラ）とウエハとの間が転がり摩擦状態となって発塵を低
減することができる。

【００１７】

【発明の実施の形態】図１〜図５は本発明の実施形態を
示し、Ｃは図１〜図４で右側が開口とされた横断面略Ｃ
字状のウエハ収容用カセットで、このカセットＣ内に
は、同じ径及び厚さを有する円板形状の複数枚（例えば
２５枚）のウエハＷ，Ｗ，…が水平状態に段積みされて
収容され、これら複数のウエハＷ，Ｗ，…はカセットＣ
内の左右側壁面に対向して突設した支持部（図示せず）
によって上下方向に一定間隔（例えば１０ｍｍ）をあけ
て支持されている。

【００１８】１は、上記カセットＣ内に収容されている
ウエハＷ，Ｗ，…をクリーンルームで取り出して搬送す
るロボット（図示せず）のアーム先端に設けられるウエ
ハ搬送用ハンドであって、このハンド１は、ロボットア
ームに連結されるハンド本体２と、このハンド本体２に
該ハンド本体２の進退方向と直交する方向である上下方
向に並んで設けられ、後述の固定爪７，７及び可動爪２
２を上記各ウエハＷの外周縁部の間隔をあけた位置に係
合させて該ウエハＷをそれぞれ把持する複数の把持機構
４，４，…とを備えている。

【００１９】上記複数の把持機構４，４，…は互いに同
じ構成のもので、いずれも、基端部がハンド本体２に固
定されかつ中央に軽量化のための開口５ａを有する薄板
状の支持板５（支持部材）を有する。この各支持板５先
端部の左右両側にはそれぞれ２つの固定爪７，７が取り
付けられ、この各固定爪７は、上側溝面が下側溝面より
も短くて略後側に開放された断面Ｖ字状の係合溝８を有
しており、この両固定爪７，７によりその各係合溝８に
て各ウエハＷのカセット内奥側の左右両側外周縁部を係
合するようにしている。また、各支持板５の基端寄りの
左右両側には各ウエハＷのカセット開口側の外周縁部を
載置する左右１対の載置板１０，１０が取り付けられて
いる。

【００２０】一方、ハンド本体２の左右中央部には、そ
のハンド本体２から上記支持板５，５，…の基端寄りの
左右中央部に亘って上下方向に貫通する開口部１２が形
成され、この開口部１２内には中央に開口を有する矩形
枠状の移動体１４がハンド本体２の進退方向（前後方
向）に沿って相対移動可能に配置支持されている。この
移動体１４は、ハンド本体２に取付固定したアクチュエ
ータとしての前後方向に延びるシリンダ１５のピストン
ロッド１５ａに対し、左右方向に延びる連結板１６及び
前後方向に延びる連結ロッド１７を介して連結支持され
ており、シリンダ１５の伸縮作動により移動体１４をハ
ンド本体２に対し相対的に前後移動させ、シリンダ１５
の収縮作動により移動体１４を前進させる一方、シリン
ダ１５の伸長作動により移動体１４を後退させるように
している。

【００２１】上記移動体１４の左側の縦枠部には上記各
支持板５に対応した位置に、それぞれ弾性手段としての
前後１対の板ばね１９，１９の基端部が取付固定されて
いる。これら両板ばね１９，１９は移動体１４の右側の
縦枠部に向かって互いに平行に水平に延び、その先端部
には移動体１４内の開口の左右中央に位置する矩形板状
の可動爪支持体２０が取付固定されている。この各可動
爪支持体２０の先端部（前端部）上面には凹形ローラか
らなる１つの可動爪２２が上下方向に延びる支持軸２１
によって回転可能に支持されている。すなわち、上記可
動爪２２は移動体１４に対し板ばね１９，１９によって
ハンド本体２の進退方向に相対移動可能に支持されてい
る。また、この凹形ローラからなる可動爪２２の外周面
全体には、上記固定爪７の係合溝８と同じ高さ位置に位
置しかつ上側溝面が下側溝面よりも短い断面Ｖ字状の凹
溝２３が形成されており、この可動爪２２によりその外
周面の凹溝２３にて各ウエハＷのカセット開口側の外周
縁部を係合するようにしている。

【００２２】また、上記移動体１４の上側横枠部後面に
は下方に発光する発光部２５がブラケット２６を介し
て、一方、移動体１４の下側横枠部後面には上記発光部
２５からの光が入射される受光部２７がブラケット２８
を介してそれぞれ取付固定され、発光部２５から受光部
２７に至る光路Ｌは、上記各可動爪支持体２０の真後ろ
の位置を通るように設定されている（尚、発光部２５を
移動体１４の下側に、また受光部２７を移動体１４上側
にそれぞれ逆転させてもよい）。これら発光部２５及び
受光部２７は共に検出手段を構成しており、上記各把持
機構４に固定爪７，７及び可動爪２２によってウエハＷ
をそれぞれ把持したとき、そのウエハＷの把持状態が悪
くてウエハＷの外周縁部が固定爪７の係合溝８及び可動
爪２２の凹溝２３にそれぞれ正確に係合されず、それに
伴って可動爪２２及び可動爪支持体２０が通常の基準位
置よりも後側に後退変位したとき、発光部２５から受光
部２７に入射される光が上記後退変位した可動爪支持体
２０の後端部によって遮断されると、そのことをいずれ
かのウエハＷの把持不良として検出し、この検出信号に
よりロボットの搬送動作を停止したり、ウエハＷの把持
不良の警告を行ったりするようにしている。

【００２３】本発明の特徴の１つとして、上記ハンド本
体２上端部の左右両側にはそれぞれ左右の上側支持部３
１，３１（図５に一方のみを示す）が固定され、これら
左右の上側支持部３１，３１は上記最上段の把持機構４
の上側位置を前側に延びている。一方、ハンド本体２下
端部の左右両側には同様にそれぞれ左右の下側支持部３
２，３２が固定され、これら下側支持部３２，３２は最
下段の把持機構４の下側位置を前側に延びている。さら
に、上記左右に対応する上下両側の支持部３１，３２，
３１，３２の先端部（前端部）間には、それぞれ各把持
機構４の支持板５の左右両側を上下方向（ハンド本体２
の進退方向と直交する方向）に延びる押え部材としての
押え棒３４，３４が掛け渡されている。この左右の各押
え棒３４は、上下の支持部３１，３２の先端部に対し回
転可能に軸支された１本の棒状ローラからなる。そし
て、ハンド本体２を前進移動させて各把持機構４をカセ
ットＣ内における各ウエハＷの下側空間に挿入した際、
その各把持機構４における支持板５先端部の左右の固定
爪７，７がウエハＷのカセット内奥側の外周縁部よりも
少しカセットＣの内奥側に移動したときに、左右の押え
棒３４，３４により複数のウエハＷ，Ｗ，…の各カセッ
ト開口側の外周縁部を押圧して複数のウエハＷ，Ｗ，…
を同時に、カセットＣの内奥面Ｃ１に向けて移動させる
構成とされている。尚、予めカセットＣの内奥面Ｃ１に
対して所定の許容収容位置に存在するウエハＷについて
は、押え棒３４，３４により移動はしない。また、カセ
ットＣの内奥部にはウエハＷの外周縁部が当接した状態
でも、その左右両側に固定爪７，７を収容可能なスペー
スが設けられている。

【００２４】次に、上記実施形態の作動について説明す
る。カセットＣ内に収容されている複数のウエハＷ，
Ｗ，…をロボットの搬送ハンドにより把持して取り出し
搬送する場合、まず、図１に示す如く、ハンド本体２の
シリンダ１５が伸長作動して移動体１４がハンド本体２
に対し相対的に後退し、この移動体１４に板ばね１９，
１９によって弾性支持されている各可動爪２２も後退す
る。この状態では、各把持機構４における可動爪２２が
支持板５先端部の固定爪７，７から離れて、これら固定
爪７，７及び可動爪２２は各々の間に各ウエハＷを嵌挿
配置可能な開いた状態とされている。

【００２５】この後、図２に示すように、ハンド本体２
を前進させて、その各把持機構４をそれに対応するカセ
ットＣ内の各ウエハＷの下側空間に挿入する。そのと
き、ハンド本体２は、各把持機構４における支持板５先
端部の左右固定爪７，７がウエハＷのカセット内奥側の
外周縁部よりも少しカセットＣの内奥側に移動するまで
前進する。このようなハンド本体２の前進に伴い、ハン
ド本体２に支持されている左右の押え棒３４，３４が各
ウエハＷのカセット開口側の外周縁部を左右２か所で押
圧し、この押え棒３４の押圧によって各ウエハＷがカセ
ットＣの内奥面Ｃ１に対する所定の許容収容位置まで移
動する。このことで、カセットＣ内でウエハＷ，Ｗ，…
の当初の収容位置がばらついていても、そのウエハＷ，
Ｗ，…はいずれも上記押え棒３４，３４の押圧移動によ
り、常にカセットＣの内奥面Ｃ１に対して所定の許容収
容位置に位置付けられることとなる。

【００２６】その際、上記各押え棒３４がハンド本体２
の左右両側に２つ設けられているので、カセットＣ内で
各ウエハＷを左右両側から押え棒３４，３４により安定
して押圧でき、その各ウエハＷのカセットＣの内奥面Ｃ
１に対する所定の許容収容位置への位置付けをスムーズ
かつ容易に行うことができる。

【００２７】しかも、上記各押え棒３４は回転可能なロ
ーラであるので、押え棒３４による各ウエハＷの押圧時
にウエハＷが左右に移動したとしても、ローラである押
え棒３４が転動するようになり、その押え棒３４とウエ
ハＷとの間が転がり摩擦状態となってクリーンルームで
の発塵を低減することができる。

【００２８】この後、図３に示すように、ハンド本体２
が若干後退して、各把持機構４の開き状態にある固定爪
７，７及び可動爪２２間にそれぞれウエハＷが位置付け
られる。そして、この図３の状態から、ハンド本体２が
若干上昇して、各ウエハＷがカセットＣの図示しない各
支持部から持ち上げられる。この状態では、左右の固定
爪７，７の係合溝８，８の下側溝面上に各ウエハＷのカ
セット内奥側の左右外周縁部が、また可動爪２２の凹溝
２３の下側溝面上に同じウエハＷのカセット開口側の外
周縁部の左右中央部がそれぞれ載置され、さらに、各支
持板５の基端側寄りの左右両側に取り付けた載置板１
０，１０上にウエハＷのカセット開口側の左右外周縁部
が載置される。

【００２９】次いで、図４及び図５に示すように、ハン
ド本体２がカセットＣから若干後退した後、上記シリン
ダ１５が収縮作動して移動体１４がハンド本体２に対し
相対的に前進し、この移動体１４に弾性支持された各可
動爪２２が前方向に移動する。このことで、可動爪２２
が支持板５先端部の固定爪７，７に近付いて固定爪７，
７及び可動爪２２間が閉じ、これら各爪７，７，２２間
に各ウエハＷがその外周縁部を固定爪７の係合溝８及び
可動爪２２の凹溝２３の各溝底部に係合した状態で把持
される。この把持状態では、各可動爪２２を弾性支持し
ている板ばね１９，１９が後側に撓んで、そのばね力に
よって可動爪２２が前側に付勢された状態となり、この
付勢力によってウエハＷが固定爪７，７側に押し付けら
れて把持される。

【００３０】その際、上記可動爪２２は回転可能な凹形
ローラであるので、ウエハＷが把持時に左右に移動した
としても可動爪２２が転動するようになり、その可動爪
２２とウエハＷとの間は転がり摩擦状態となる。このた
め、上記と同様に、可動爪２２とウエハＷとの間が摺動
摩擦状態である場合に比べて発塵を低減することがで
き、ウエハＷの製造行程での発塵性を抑えることができ
る。

【００３１】こうして複数のウエハＷ，Ｗ，…をそれぞ
れ対応する把持機構４，４，…によって把持した後、ハ
ンド本体２が後退移動し、複数のウエハＷ，Ｗ，…が把
持機構４，４，…により把持された状態でカセットＣ内
から取り出され、しかる後に他の所定工程に搬送され
る。

【００３２】したがって、この実施形態においては、上
記のように、カセットＣ内の複数のウエハＷ，Ｗ，…を
それぞれ把持機構４，４，…により把持する直前の状態
で、そのカセットＣ内のウエハＷ，Ｗ，…がいずれも常
にカセットＣの内奥面Ｃ１に対して所定の許容収容位置
に位置付けられているので、ロボットは、把持機構４，
４，…が上記許容収容位置を基準としてウエハＷ，Ｗ，
…を把持するように作動制御すれば必ずウエハＷ，Ｗ，
…を把持できることとなり、カセットＣ内でのウエハ
Ｗ，Ｗ，…の当初の収容位置のばらつきに拘らず、その
ウエハＷ，Ｗ，…を確実に把持して取り出すことがで
き、ロボットの搬送作業を中断せず信頼性よく行うこと
ができる。

【００３３】また、それでも万一、何等かの原因によっ
ていずれかのウエハＷが固定爪７，７及び可動爪２２間
に正常状態で係合されていない把持不良（ウエハＷがそ
の外周縁部を固定爪７，７の係合溝８及び可動爪２２の
凹溝２３の各溝底部に正確に係合していない状態）があ
ると、その把持不良のままの搬送によって当該ウエハＷ
が把持機構４から落下する虞れがある。しかし、この実
施形態では、上記の如きウエハＷの把持不良に伴い、そ
のウエハＷを把持している可動爪２２が後側に押されて
基準位置を越えて後退移動する。このことで、その可動
爪２２を支持している可動爪支持体２０が発光部２５か
ら受光部２７に至る光路Ｌを遮断して、受光部２７に光
が入射されなくなるので、その状態をいずれかのウエハ
Ｗの把持不良として検出し、この検出信号によりロボッ
トの搬送動作が停止され、或いはウエハＷの把持不良の
警告が行われる。よって、固定爪７，７及び可動爪２２
によるウエハＷの把持不良状態を容易に検出でき、その
把持不良のままの搬送によってウエハＷが把持機構４か
ら落下したりするのを未然に回避できる。

【００３４】尚、上記実施形態では、カセットＣ内に収
容されている複数のウエハＷ，Ｗ，…を一挙に取り出す
場合について説明しているが、本発明は、カセットＣに
収容されている複数のウエハＷ，Ｗ，…の中の１枚を取
り出す場合や、カセットが１枚のウエハＷを収容するタ
イプで、その１枚のウエハＷを取り出す場合にも適用す
ることができる。

【００３５】また、把持機構４は、上記実施形態のよう
に支持板５先端部の左右２つの固定爪７，７と、移動体
１４に弾性支持した１つの可動爪２２とを有する構造に
限定されず、固定爪７，７や可動爪２２の数を増減させ
たり、係合構造を変更したりすることもでき、さらには
その他の機構を採用することもできる。要は、少なくと
も２つの固定爪及び少なくとも１つの可動爪を有してい
て、これら固定爪及び可動爪をウエハＷの外周縁部に係
合させてウエハＷを把持するものであればよい。

【００３６】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１の発明に
よると、カセット内に収容されているウエハをロボット
のハンドにより取り出して搬送する場合に、ハンド本体
に、少なくとも２つの固定爪及び少なくとも１つの可動
爪をそれぞれウエハ外周縁部に係合させてウエハを把持
する把持手段と、ハンド本体の前進によりウエハ外周縁
部を押圧してウエハをカセットの内奥面に向けて所定の
許容収容位置に至るまで移動させる押え部材とを設けた
ことにより、カセット内でウエハの収容位置がばらつい
ていても、ハンド本体の前進移動を利用して、カセット
内のウエハを把持前に常にカセット内奥面に対して所定
の許容収容位置に位置決めすることができ、そのウエハ
を把持手段により確実に把持して取り出すことができ、
ロボットの搬送作業の信頼性を向上させることができ
る。

【００３７】請求項２の発明によると、ハンド本体に複
数の把持手段をハンド本体の進退方向と直交する方向に
並んで設け、押え部材は、上記複数の把持手段により把
持される複数のウエハを同時に押圧するようにハンド本
体の進退方向と直交する方向に延びているものとしたこ
とにより、カセット内に収容されている複数のウエハの
収容位置が互いにばらついていても、それらのウエハを
同時に押え部材によってカセット内の奥端部に押圧移動
させて揃えることができる。

【００３８】請求項３の発明によると、把持手段は、ハ
ンド本体からその前進方向に延びるように設けられた支
持部材と、ハンド本体の左右中央部にハンド本体の進退
方向に沿って相対移動可能に支持された移動体とを有す
るものとし、支持部材先端部の左右両側に２つの固定爪
を設ける一方、移動体に１つの可動爪を弾性手段によっ
てハンド本体の進退方向に相対移動可能に支持したこと
により、把持手段の好ましい構造が容易に得られる。

【００３９】請求項４の発明によると、上記可動爪が移
動体に対し基準位置を越えて相対的に後退変位するのを
検出するようにしたことにより、固定爪及び可動爪によ
るウエハの把持不良状態を検出して、その把持不良のウ
エハの搬送中の落下等を未然に防止することができる。

【００４０】請求項５の発明によると、可動爪を回転可
能な凹形ローラとしたことにより、ウエハ把持の際にウ
エハが左右に移動したときの可動爪とウエハとの間を転
がり摩擦状態とでき、ウエハの製造行程での発塵性を抑
えることができる。

【００４１】請求項６の発明によると、押え部材をハン
ド本体の左右両側に設けたことにより、カセット内でウ
エハを左右両側から押圧して、そのウエハのカセット内
奥面に対する所定の許容収容位置への位置付けをスムー
ズかつ容易に行うことができる。

【００４２】請求項７の発明によると、押え部材を回転
可能なローラとしたことにより、押え部材によるウエハ
の押圧時に押え部材とウエハとの間を転がり摩擦状態と
して発塵を低減することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態においてハンドの把持機構が
カセット内に挿入される前の状態を示す平面断面図であ
る。

【図２】把持機構がカセット内に挿入されて押え棒がウ
エハを押圧する状態を示す平面断面図である。

【図３】把持機構がウエハを把持する直前の状態を示す
平面断面図である。

【図４】把持機構がウエハを把持した状態を示す平面断
面図である。

【図５】把持機構がウエハを把持した状態を示す側面断
面図である。

【符号の説明】

Ｃ カセット Ｃ１ 内奥面 Ｗ ウエハ １ ウエハ搬送用ハンド ２ ハンド本体 ４ 把持機構（把持手段） ５ 支持板（支持部材） ７ 固定爪 ８ 係合溝 １４ 移動体 １９ 板ばね（弾性手段） ２２ 可動爪 ２３ 凹溝 ２５ 発光部（検出手段） ２７ 受光部（検出手段） ３４ 押え棒（押え部材）

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 カセット内に収容されているウエハを取
   り出して搬送するロボットに設けられるウエハ搬送用ハ
   ンドであって、 ロボットアームに連結されるハンド本体と、 上記ハンド本体に設けられ、かつ少なくとも２つの固定
   爪及び少なくとも１つの可動爪を有し、これら固定爪及
   び可動爪をウエハ外周縁部の間隔をあけた位置に係合さ
   せて該ウエハを把持する把持手段と、 上記ハンド本体に設けられ、ハンド本体の前進移動によ
   りウエハの外周縁部を押圧して該ウエハをカセットの内
   奥面に向けて所定の許容収容位置まで移動させる押え部
   材とを備えたことを特徴とするウエハ搬送用ハンド。
2. 【請求項２】 請求項１のウエハ搬送用ハンドにおい
   て、 ハンド本体に複数の把持手段がハンド本体の進退方向と
   直交する方向に並んで設けられており、 押え部材は、上記複数の把持手段により把持される複数
   のウエハを同時に押圧するようにハンド本体の進退方向
   と直交する方向に延びていることを特徴とするウエハ搬
   送用ハンド。
3. 【請求項３】 請求項１又は２のウエハ搬送用ハンドに
   おいて、 把持手段は、ハンド本体から該ハンド本体の前進方向に
   延びるように設けられた支持部材と、 ハンド本体の左右中央部にハンド本体の進退方向に沿っ
   て相対移動可能に支持された移動体とを有し、 上記支持部材先端部の左右両側に２つの固定爪が設けら
   れ、 上記移動体に１つの可動爪が弾性手段によってハンド本
   体の進退方向に相対移動可能に支持されていることを特
   徴とするウエハ搬送用ハンド。
4. 【請求項４】 請求項３のウエハ搬送用ハンドにおい
   て、 可動爪が移動体に対し基準位置を越えて相対的に後退変
   位したことを検出する検出手段が設けられていることを
   特徴とするウエハ搬送用ハンド。
5. 【請求項５】 請求項１〜４のいずれかのウエハ搬送用
   ハンドにおいて、 可動爪は、ウエハの外周縁部に係合する凹溝が外周面に
   形成された回転可能な凹形ローラであることを特徴とす
   るウエハ搬送用ハンド。
6. 【請求項６】 請求項１〜５のいずれかのウエハ搬送用
   ハンドにおいて、 押え部材は、ハンド本体の左右両側に設けられているこ
   とを特徴とするウエハ搬送用ハンド。
7. 【請求項７】 請求項１〜６のいずれかのウエハ搬送用
   ハンドにおいて、 押え部材は回転可能なローラであることを特徴とするウ
   エハ搬送用ハンド。