JPH11160721A - 基板接合装置及びシール剤塗布用ノズル - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】２枚の基板を所定間隔をもって接合する際に、
生産効率を向上させることができる基板接合装置を提供
すること。 【解決手段】円板状に形成されカラーフィルタ基板Ｆを
固定する基板固定部７０を複数有する回転ステージ２１
と、回転ステージ２１をその軸心線回りに所定方向に回
転駆動する駆動部２２と、基板固定部７０にカラーフィ
ルタ基板Ｆとアレイ基板Ａとを積層して供給される基板
受け渡し部３０と、カラーフィルタ基板Ｆに対しアレイ
基板Ａを位置合わせする基板位置合わせ部４０と、カラ
ーフィルタ基板Ｆとアレイ基板Ａとの加圧を行う基板加
圧部５０と、シール剤Ｓに紫外線を照射する紫外線照射
部６０とを備えるようにした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶パネルのセル
等に用いられる２枚の基板をシール剤を介して僅かな間
隔をもって接合する基板接合装置及びシール剤を基板上
に塗布するためのシール剤塗布用ノズルに関する。

【０００２】

【従来の技術】液晶表示装置の液晶表示素子は、電極が
形成されたガラス、プラスチック等の基板に形成した電
極板を電極面を相対向して配置し、電極板をシール剤を
介して重ね合わせてシールしてセルを製造し、このセル
内部に電気光学的液体である液晶を封入したものであ
る。

【０００３】このようなセルＣは一般に図７に示すよう
な構造となっている。すなわち、カラーフィルタ基板Ｆ
とアレイ基板Ａとがシール剤Ｓにより接合されている。
カラーフィルタ基板Ｆとアレイ基板Ａとの間には、スペ
ーサＴが配置されており、両基板Ｆ，Ａの間隔を一定距
離に規定している。また、カラーフィルタ基板Ｆとアレ
イ基板Ａにはそれぞれ透明電極（不図示）が形成されて
いる。そして、このセルＣの両基板Ｆ，Ａの間隙内に液
晶が流し込まれることになる。

【０００４】従来、このようなセルＣを製造する場合に
は、大きく分けて次のような３つの工程が行われる。す
なわち、カラーフィルタ基板Ｆとアレイ基板Ａとを位置
合わせするアライメント工程と、両基板Ｆ，Ａを加圧し
て両基板Ｆ，Ａの間隔をスペーサＴで規制されるまで近
接させる加圧工程、シール剤Ｓを硬化させる硬化工程で
ある。

【０００５】また、シール剤Ｓには、熱硬化型のものと
紫外線硬化型のものがある。シール剤Ｓとして熱硬化型
のものを使用したときは、加圧・接合工程を先に行い、
その後、アライメント工程を行う。そして、加圧治具を
使い加圧した状態で加熱硬化を行う。

【０００６】一方、シール剤Ｓとして、紫外線硬化型を
使用したときのアライメント工程では、一旦仮止め剤に
よってカラーフィルタ基板Ｆをアレイ基板Ａ上に仮止め
し、図７に示すようなセルＣが構成された状態となった
段階でアライメント工程を終了する。

【０００７】さらに、セルＣを加圧接合工程を行う加圧
接合装置（不図示）に搬送する。加圧接合装置では、カ
ラーフィルタ基板Ｆの背面側を所定荷重Ｐで加圧するこ
とによりカラーフィルタ基板Ｆをアレイ基板Ａ側に近接
させる。このとき、カラーフィルタ基板Ｆとアレイ基板
Ａとの間にはスペーサＴが配置されているためスペーサ
Ｔの分の間隔が確保される。この状態でカラーフィルタ
基板Ｆとアレイ基板Ａ全体に紫外線を照射し、シール剤
Ｓを硬化させ、接合を終了する。

【０００８】また、仮止め工程を省き、かつ、アライメ
ント工程による位置合わせ精度を保つために上記各工程
を、単一の装置で行う、すなわちアレイ基板Ａをマウン
トし、そのままアライメント、加圧、紫外線照射を行う
ようにしたものもあった。

【０００９】一方、上述した基板接合装置にアレイ基板
Ａとカラーフィルタ基板Ｆとを積層したものを供給する
前工程においては、アレイ基板Ａにシール剤Ｓを塗布す
るシール剤塗布工程がある。

【００１０】このシール剤塗布工程では、例えば図８に
示すような金属材製の容器１が用いられている。容器１
の底部には、ノズル２が一体成形されている。このよう
な容器１とノズル２とが一体化されたものでは、シール
剤Ｓを交換するたびに容器１の洗浄が必要であり、その
たびにシール剤Ｓの脱泡（空気抜き）を行うため大変効
率が悪いという問題があった。

【００１１】このため、図９の（ａ）に示すように、使
い捨ての容器３とノズル４とが脱着可能となったものも
用いられている。容器３は、シール剤注入口３ａと、ノ
ズル接続部３ｂと、このノズル接続部３ｂ内に設けられ
た流路３ｃと、この流路３ｃの開口部である吐出口３ｄ
とを備えている。ノズル４は、ノズル本体４ａと、この
ノズル本体４ａ内に設けられた流路４ｂと、上述したノ
ズル接続口３ｂにネジ止めされるネジ止め部４ｃを備え
ている。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】上記のような従来の基
板接合方法にあっては次のような問題があった。すなわ
ち、シール剤Ｓとして熱硬化型のものを用いた場合に
は、接合工程において、１５０℃前後の恒温炉中に８時
間程度入れる必要があり生産効率が低い上に、恒温炉中
では基板間ギャップを形成させるために加圧を必要とす
るため、加熱・熱膨張による影響とは別に加圧による重
ね合わせ精度の低下も発生している。

【００１３】一方、シール剤Ｓとして紫外線硬化型のも
のを用いた場合には、アライメント工程を行うアライメ
ント装置と、加圧接合工程を行う加圧接合装置とが異な
る装置であるため、上述したように仮止め工程や搬送工
程が必要となり、基板効率及び生産効率が低くなるとい
う問題があった。

【００１４】また、単一の装置でアライメント、加圧、
硬化を行う装置では、一旦装置にマウントした基板は、
接合が終了するまで装置から外さないため、最も時間の
かかる加圧工程を行っている間はアライメント装置や紫
外線照射装置を用いることができず、高価なアライメン
ト装置の使用効率が低下するという問題があった。

【００１５】さらに、アライメント工程で基板のアライ
メントを行った状態で、そのまま加圧接合工程を行う装
置があるが、最も時間のかかる加圧工程があるため。こ
の加圧を行っている間は他の作業、すなわち位置合わせ
及び紫外線照射等の工程を行うことができないため、生
産効率が低下するという問題があった。

【００１６】一方、図９に示すように容器３とノズル４
とが脱着可能となったものをシール剤Ｓの塗布に用いる
と、次のような問題があった。ノズル接続口３ｂの先端
５とノズル４の流路４ｂとの間に段差が生じ、隙間６が
生じる。この隙間６内の空気は塗布中のシール剤Ｓ中に
混じり、シール切れを発生させる虞がある。シール切れ
が発生すると、後工程で行われる液晶注入時にその部分
から液晶が漏れる虞がある。その結果、不良品が発生
し、生産効率が低下するという問題があった。

【００１７】そこで本発明は、カラーフィルタ基板とア
レイ基板等の２枚の基板を所定間隔をもって接合する際
に、生産効率を向上させることができる基板接合装置を
提供することを目的としている。また、本発明は、基板
接合の際に塗布されるシール剤内に空気が混入しないシ
ール剤塗布用ノズルを提供し、生産効率を向上させるこ
とを目的としている。

【００１８】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決し目的を
達成するために、請求項１に記載された発明は、相対向
する第１基板と第２基板とをこれら基板の間隙に配置さ
れたスペーサにより所定間隔を維持した状態で紫外線硬
化型のシール剤を介して重ね合わせ上記シール剤を硬化
して接合する基板接合装置において、円板状に形成され
上記第１基板を固定する固定部を複数有するステージ
と、このステージをその軸心線回りに所定方向に回転駆
動する駆動部と、上記固定部に上記第１基板と上記第２
基板とを積層して供給する基板供給部と、この基板供給
部と上記ステージの周方向に沿って所定距離離間して配
置され、上記固定部に固定された上記第１基板に対し上
記第２基板を位置合わせする基板位置合わせ部と、この
基板位置合わせ部の上記ステージの周方向に沿って配置
され、上記第１基板と上記第２基板との加圧を行う基板
加圧部と、この基板加圧部と上記ステージの周方向に沿
って所定距離離間して配置され、上記シール剤に紫外線
を照射する紫外線照射部とを備えるようにした。

【００１９】請求項２に記載された発明は、請求項１に
記載された発明において、上記基板加圧部は、上記第１
基板と上記第２基板とで形成される間隙内を減圧するこ
とにより上記第１基板及び上記第２基板を大気圧により
加圧する減圧部を具備する。

【００２０】請求項３に記載された発明は、請求項２に
記載された発明において、上記減圧部は、上記第１基板
周囲と上記第２基板の上記第１基板側の面との間を閉塞
し閉塞空間を形成する閉塞手段と、上記閉塞空間内を減
圧する減圧手段とを具備する。

【００２１】請求項４に記載された発明は、シール剤が
収容された容器の吐出口に脱着自在に取付けられるシー
ル剤塗布用ノズルにおいて、上記容器に取り付けられる
ノズル本体と、このノズル本体内に設けられ、上記吐出
口にその一端側の開口部が対向配置されるとともに、そ
の開口部内径が上記吐出口の内径と略同一となるように
形成された流路とを備えるようにした。

【００２２】上記手段を講じた結果、次のような作用が
生じる。すなわち、請求項１に記載された発明では、固
定部に固定された第１基板及び第２基板はステージの回
転に伴ってその固定が保たれた状態で、位置合わせ部、
基板加圧部、紫外線照射部とを順次移送されてゆくの
で、各部における工程が終了したら次の工程に移行する
ことができる。このため、時間のかかる基板加圧部にお
ける加圧工程の終了を待つことなく、位置合わせ部にお
ける位置合わせ工程や紫外線照射部における紫外線照射
工程を行うことができるので、各装置の使用効率を向上
させることができる。

【００２３】請求項２に記載された発明では、基板加圧
部は、第１基板と第２基板との間隙内を減圧することに
より第１基板及び第２基板を大気圧により加圧する減圧
部を具備するようにしたので、大気圧による荷重が基板
に均一にかかり、第１基板と第２基板との間隙を一定に
保つことが可能となる。

【００２４】請求項３に記載された発明では、減圧部
は、第１基板周囲と第２基板の第１基板側の面との間を
閉塞し閉塞空間を形成する閉塞手段と、閉塞空間内を減
圧する減圧手段とを具備するようにしたので、第１基板
及び第２基板に付着した異物が基板を傷付けることを防
止できる。

【００２５】請求項４に記載された発明では、容器に取
り付けられるノズル本体と、このノズル本体内に設けら
れ、吐出口にその一端側の開口部が対向配置されるとと
もに、その開口部が吐出口の領域に含まれるように形成
された流路とを備えているので、吐出口と流路の開口部
との近傍に段差が形成されず、空気が滞留することはな
い。このため、シール剤に空気が混じることを防止する
ことができる。

【００２６】

【発明の実施の形態】図１の（ａ），（ｂ）は本発明の
実施の形態に係る基板接合装置１０を示す概略図、図２
〜図４はこの基板接合装置１０の要部を示す図、図５は
シール剤塗布装置に組込まれたシール剤塗布用ノズル２
００の要部を示す縦断面図である。図１〜図４中矢印Ｚ
方向は鉛直方向を示している。

【００２７】基板接合装置１０は、カラーフィルタ基板
Ｆ（第１基板）をトランジスタ等が予め組み込まれたア
レイ基板Ａ（第２基板）に紫外線硬化性のシール剤Ｓを
介して接合することによって液晶表示素子用のセルＣを
製造するための装置である。

【００２８】図１に示すように基板接合装置１０は、ス
テージ装置２０と、このステージ装置２０の各位置に設
けられた基板受け渡し部３０、基板位置合わせ部４０、
基板加圧部５０、紫外線照射部６０とを備えている。な
お、図１中１００は前工程を行うシール剤塗布装置（不
図示）から基板受け渡し部３０へセルＣを搬送するとと
もに、基板受け渡し部３０からセルＣを後工程へ搬送す
る搬送ロボットを示している。

【００２９】ステージ装置２０は、その軸心線を鉛直に
配置した円環状の回転ステージ２１と、この回転ステー
ジ２１を間欠的に回転駆動する回転駆動機構２２とを備
えている。回転ステージ２１には、周方向に沿って９０
度毎に設けられセルＣを保持する４つの基板保持部７０
が設けられている。

【００３０】基板保持部７０は、図２に示すように回転
ステージ２１に嵌め込まれ紫外線を透過する石英板７１
と、この石英板７１に対向配置された上部カバー７２
と、この上部カバー７２を回転ステージ２１に対して上
下方向に案内するためのガイド７３と、このガイド７３
に沿って上部カバー７２を上下動させるエアシリンダ７
４とを備えている。

【００３１】石英板７１にはバキューム孔７１ａと、後
述するリフトピン３２を通過させる貫通孔７１ｂが設け
られている。上部カバー７２は、矩形枠状の本体７２ａ
と、この本体７２ａの下面に設けられた弾性リング７２
ｂと、本体７２ａの開口部の内側に設けられた弾性シー
ト７２ｃと、本体７２ａに設けられた真空吸引孔７２ｄ
とを備えている。

【００３２】基板受け渡し部３０は、床面上に配置さ
れ、図１の（ａ）中矢印Ｚ方向に沿って作動するエアシ
リンダ３１と、このエアシリンダ３１の上端に設けられ
た４本のリフトピン３２とを備えている。

【００３３】基板位置合わせ部４０は、床面上に配置さ
れた架台４１と、この架台４１に設けられ図３中矢印Ｚ
方向に作動するエアシリンダ４２と、このエアシリンダ
４２の下端に取り付けられＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向回り
のθ方向の位置決めを行うＸＹθステージ４３と、この
ＸＹθステージ４３の下面に板ばね４４を介して図３中
矢印Ｚ方向に沿って上下動自在に支持された微動Ｚ軸４
５と、この微動Ｚ軸４５の下端に取り付けられたバキュ
ームチャック４６と、このバキュームチャック４６と回
転ステージ２１を挟んで配置された一対の顕微鏡機構４
７と、回転ステージ２１を図３中上下方向から挟むよう
に構成されたクランプ４８とを備えている。なお、図３
中矢印Ｘは紙面に垂直な方向、矢印Ｙは矢印Ｘに直交す
る水平方向を示している。

【００３４】顕微鏡機構４７は、架台４１に取り付けら
れ、ＸＹＺ方向の位置決めを行うＸＹＺステージ４７ａ
と、このＸＹＺステージ４７ａに支持された顕微鏡４７
ｂとを備えている。

【００３５】紫外線照射部６０は、ランプハウス６１
と、このランプハウス６１内に配置された紫外線ランプ
６２と、この紫外線ランプ６２の上部に配置されたコー
ルドミラー６３と、このコールドミラー６３の上方に配
置されたフィルタ６４と、ランプハウス６１内に紫外線
ランプ６２を冷却するための冷却水を導入する導入口６
５と、冷却水を排出するための排出口６６とを備えてい
る。なお、コールドミラー６３とフィルタ６４はセルＣ
の温度上昇を避けるために赤外線等の余分な光を遮光す
る機能を有している。

【００３６】シール剤塗布装置（不図示）に設けられて
いるシール剤塗布用ノズル２００は、図５に示すよう
に、ノズル本体２０１と、このノズル本体２０１内に設
けられた流路２０２と、ノズル接続口３ｂにネジ止めさ
れるネジ止め部２０３とを備えている。流路２０２の容
器３側の開口部２０２ａは容器３の吐出口３ｄに対向配
置されている。また、流路２０２の下端は吐出口２０２
ｂが形成されている。

【００３７】流路２０２の容器３側の開口部２０２ａの
内径は容器３の流路３ｃの吐出口３ｄの内径とほぼ同一
となるように形成されている。このように構成されたシ
ール剤塗布用ノズル２００を備えたシール剤塗布装置
（不図示）では、次のようにしてシール剤Ｓの塗布が行
われる。すなわち、容器３側から圧力をかけてシール剤
Ｓを吐出口３ｄから吐出する。吐出されたシール剤Ｓは
シール剤塗布用ノズル２００内の流路２０２内に流入す
る。このとき、容器３の吐出口３ｄの内径と流路２０２
の開口部２０２ａの内径とはほぼ同一なので、段差がな
く、空気が溜まる余地がないように形成されている。こ
のため、空気がシール剤Ｓに混じることなく、吐出口２
０２ｂから吐出される。このため、シール剤切れが発生
せず、良好な塗布を行うことができる。

【００３８】このように構成された基板接合装置１０は
次のようにしてカラーフィルタ基板Ｆと、アレイ基板Ａ
との接合を行う。なお、基板接合を行う工程は大きく分
けて基板受け渡し部３０における受け取り工程、基板位
置合わせ部４０における位置合わせ工程、基板加圧部５
０における加圧工程、紫外線照射部６０における紫外線
照射工程、基板受け渡し部３０における受け渡し工程と
からなっている。

【００３９】最初に図２に示すようにリフトピン３２を
上昇させておく。そして、アレイ基板Ａとカラーフィル
タ基板Ｆとを紫外線硬化樹脂のシール剤Ｓをシール剤塗
布用ノズル２００を用いて環状に塗布した後仮止めした
状態のセルＣをリフトピン３２上に載置する。次にエア
シリンダ３１を作動させてゆっくりとリフトピン３２を
下降させ、セルＣを石英板７１上に載置する。そして、
バキュームチャック７１ａを作動させてセルＣを石英板
７１上に固定する。

【００４０】次にエアシリンダ７４を作動させて上部カ
バー７２を下降させ、弾性シート７２ｃをセルＣ上面の
外周部に密着させるとともに、弾性リング７２ｂを石英
板７１上に密着させる。これによりセルＣ内は密閉した
空間Ｇとなる。

【００４１】次に回転駆動機構２２を作動させて回転ス
テージ２１を図１中矢印Ｒ方向に９０度回転させて、セ
ルＣを基板位置合わせ部４０に移動させる。そして、回
転ステージ２１をクランプ４８で挟み固定する。

【００４２】次にエアシリンダ４２によりバキュームチ
ャック４６を下降させアレイ基板Ａの上面を吸着保持す
る。なお、このときバキュームチャック４６の下面とア
レイ基板Ａの上面の平面のずれは板ばね４４により吸収
され、片当たりを防止する。そして、ＸＹステージ４７
ａにより顕微鏡４７ｂを所定の位置に移動させ、アレイ
基板Ａとフィルタ基板Ｆに設けられたアライメントマー
クのずれ量を検出する。このずれ量に基づいてＸＹθス
テージ４３を作動させ、ずれ量が誤差許容範囲内に収ま
るように調整する。

【００４３】次に真空吸引孔７２ｄより減圧を行う。こ
のため、空間Ｇ内が減圧され、カラーフィルタ基板Ｆと
アレイ基板Ａとがカラーフィルタ基板Ｆの上面側から大
気圧により加圧される。この加圧によりシール剤Ｓが押
しつけられカラーフィルタ基板Ｆとアレイ基板Ａとの隙
間がスペーサＴにより規制されるまで狭まる。

【００４４】このとき、再度顕微鏡４８ｂによりアライ
メントマークのずれ量を検出し、許容範囲から逸脱して
いる場合には、空間Ｇ内を一旦大気圧に戻し、ＸＹθス
テージ４３により調整を行い再度減圧を行う。空間Ｇを
減圧した状態でアライメントマークのずれ量が許容範囲
内であればその状態を維持する。

【００４５】次にクランプ４８を解除し、回転ステージ
２１を回転させ、セルＣを基板加圧部５０に移動する。
基板加圧部５０では、セルＣの状態をそのまま維持す
る。これにより大気圧による加圧が十分に行われ、スペ
ーサＴが所定の径（例えば５〜６μｍ）になるまで押し
潰される。所定時間経過後、回転ステージ２１を回転さ
せ、紫外線照射部６０に移動する。

【００４６】容器に取り付けられるノズル本体と、この
ノズル本体内に設けられ、吐出口にその一端側の開口部
が対向配置されるとともに、その開口部が吐出口の領域
に含まれるように形成された流路とを備えているので、
吐出口と流路の開口部との近傍に段差が形成されず、空
気が滞留することはない。このため、シール剤に空気が
混じることを防止することができる。

【００４７】紫外線照射部６０では、石英板７１の下方
から紫外線ランプ６２を点灯し、シール剤Ｓに紫外線を
照射し、その照射エネルギが例えば３０００〜５０００
Ｊ／ｃｍ² に達した時点で紫外線照射工程は終了する。
これにより、カラーフィルタ基板Ｆとアレイ基板Ａとが
接合したセルＣが完成する。

【００４８】次に回転ステージ２１を回転させ、セルＣ
を基板受け渡し部３０へ移動する。そして、空間Ｇ内を
大気圧に戻し、エアシリンダ７４を上昇させて上部プレ
ート７２を上昇させ、セルＣから離間させる。また、エ
アチャック７１ａによる吸引を解除する。そして、エア
シリンダ３１を作動させ、リフトピン３２を上昇させ
る。そして、搬送ロボット１００によりセルＣ内に液晶
を注入する次工程へ搬送する。

【００４９】上述したように本実施の形態に係る基板接
合装置１０によれば、カラーフィルタ基板Ｆをアレイ基
板Ａ上に位置決めした状態のまま押圧し、その状態でシ
ール剤Ｓを硬化するようにしているので、位置ずれが発
生せず、位置決めが保たれたまま接合を行うことができ
る。このため、高精度のセルＣを製造することができ
る。

【００５０】基板固定部７０に固定されたカラーフィル
タ基板Ｆ及びアレイ基板Ａは回転ステージ２１の回転に
伴ってその固定が保たれた状態で、基板位置合わせ部４
０、基板加圧部５０、紫外線照射部６０とを順次移送さ
れてゆくので、各部における工程が終了したら次の工程
に移行することができる。このため、時間のかかる基板
加圧部５０における加圧工程の終了を待つことなく、基
板位置合わせ部４０における位置合わせ工程や紫外線照
射部６０における紫外線照射工程を行うことができるの
で、各装置の使用効率を向上させることができる。

【００５１】さらに、加圧工程における加圧は大気圧に
よりアレイ基板Ａの上面からカラーフィルタ基板Ｆに対
してかかる。このため、カラーフィルタ基板Ｆと石英板
７１との間にはカラーフィルタ基板Ｆ及びアレイ基板Ａ
の自重程度しかかからない。したがって、カラーフィル
タ基板Ｆと石英板７１との間にごみ等が挟まれていた場
合であってもごみ等によってカラーフィルタ基板Ｆが傷
付き難くなり歩留まりを向上させることができる。

【００５２】また、カラーフィルタ基板Ｆとアレイ基板
Ａとの間を減圧して大気圧による加圧を行うようにして
いるので、各基板に大気圧による荷重が均一にかかる。
このため、アレイ基板Ａをバキュームチャック４６で直
接加圧する場合に発生するアレイ基板Ａとバキュームチ
ャック４６との平面度の違いからくる加圧むらを防止す
ることができる。したがって、高精度の製品を生産する
ことができる。

【００５３】図６は上述した基板接合装置１０の変形例
に係る基板接合装置１０Ａを示す図である。本基板接合
装置１０Ａが基板接合装置１０と異なる点は、回転ステ
ージ２１は６０度ずつ回転し、基板加圧部５０が３箇所
設けられている点にある。すなわち、大気圧による加圧
を３箇所の基板加圧部５０で行うことになる。したがっ
て、基板受け渡し部３０、基板位置決め部４０及び紫外
線照射部６０におけるセルＣの滞留時間を短縮しても十
分に加圧時間をとることができる。このため、基板接合
装置１０Ａのスループットを向上させることができる。
なお、必要な加圧時間に応じて基板加圧部５０を適宜増
減してもよい。

【００５４】なお、本発明は上述した実施の形態に限定
されるものではない。すなわち実施の形態では、カラー
フィルタ基板Ｆとアレイ基板Ａとを接合することにより
液晶表示装置用のセルＣを製造する場合について説明し
ているが、これらのものに限られない。このほか、本発
明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形実施可能であるの
は勿論である。

【００５５】

【発明の効果】本発明によれば、液晶表示装置の生産効
率を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態に係る基板接合装置の概
略構成を示す図であって、（ａ）は上面図、（ｂ）は
（ａ）におけるα−α線で切断し矢印方向に見た断面
図。

【図２】同基板接合装置に組込まれた基板受け渡し部及
び基板保持機構を示す図であって、（ａ）は上面図、
（ｂ）は（ａ）におけるβ−β線で切断し矢印方向に見
た断面図、（ｃ）は（ａ）におけるγ−γ線で切断し矢
印方向に見た断面図。

【図３】同基板接合装置に組込まれた基板位置決め部を
示す縦断面図。

【図４】同基板接合装置に組込まれた紫外線照射部を示
す縦断面図。

【図５】シール剤塗布装置に組込まれたシール剤塗布用
ノズルの要部を示す縦断面図。

【図６】同基板接合装置の変形例を示す図。

【図７】液晶セルの構造を示す斜視図。

【図８】従来のシール剤塗布用ノズルの一例を示す縦断
面図。

【図９】従来のシール剤塗布用ノズルの別の例を示す縦
断面図。

【符号の説明】

１０…基板接合装置 ２１…回転ステージ ３０…基板受け渡し部 ４０…基板位置合わせ部 ５０…基板加圧部 ６０…紫外線照射部 ２００…シール剤塗布用ノズル

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】相対向する第１基板と第２基板とをこれら
   基板の間隙に配置されたスペーサにより所定間隔を維持
   した状態で紫外線硬化型のシール剤を介して重ね合わせ
   上記シール剤を硬化して接合する基板接合装置におい
   て、 円板状に形成され上記第１基板を固定する固定部を複数
   有するステージと、 このステージをその軸心線回りに所定方向に回転駆動す
   る駆動部と、 上記固定部に上記第１基板と上記第２基板とを積層して
   供給する基板供給部と、 この基板供給部と上記ステージの周方向に沿って所定距
   離離間して配置され、上記固定部に固定された上記第１
   基板に対し上記第２基板を位置合わせする基板位置合わ
   せ部と、 この基板位置合わせ部の上記ステージの周方向に沿って
   配置され、上記第１基板と上記第２基板との加圧を行う
   基板加圧部と、 この基板加圧部と上記ステージの周方向に沿って所定距
   離離間して配置され、上記シール剤に紫外線を照射する
   紫外線照射部とを備えていることを特徴とする基板接合
   装置。
2. 【請求項２】上記基板加圧部は、上記第１基板と上記第
   ２基板とで形成される間隙内を減圧することにより上記
   第１基板及び上記第２基板を大気圧により加圧する減圧
   部を具備することを特徴とする請求項１に記載の基板接
   合装置。
3. 【請求項３】上記減圧部は、上記第１基板周囲と上記第
   ２基板の上記第１基板側の面との間を閉塞し閉塞空間を
   形成する閉塞手段と、上記閉塞空間内を減圧する減圧手
   段とを具備することを特徴とする請求項２に記載の基板
   接合装置。
4. 【請求項４】シール剤が収容された容器の吐出口に脱着
   自在に取付けられるシール剤塗布用ノズルにおいて、 上記容器に取り付けられるノズル本体と、 このノズル本体内に設けられ、上記吐出口にその一端側
   の開口部が対向配置されるとともに、その開口部内径が
   上記吐出口の内径と略同一となるように形成された流路
   とを備えていることを特徴とするシール剤塗布用ノズ
   ル。