JPH11153453A - 回転角度検出装置 - Google Patents

回転角度検出装置

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JPH11153453A
JPH11153453A JP32163497A JP32163497A JPH11153453A JP H11153453 A JPH11153453 A JP H11153453A JP 32163497 A JP32163497 A JP 32163497A JP 32163497 A JP32163497 A JP 32163497A JP H11153453 A JPH11153453 A JP H11153453A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 検出精度が高く、小型であり、かつ、比較的
安価な回転角度検出装置を提供すること。 【解決手段】 回転角度検出装置は、透明円盤(11)
と、透明円盤向けて光線を照射する光源(20)と、透
明円盤(11)の表面に環状を呈するように突起(1
5)を連続して設けた光線屈折部(13)と、透明円盤
(11)の光源(20)を配置した側と反対側に配置さ
れ光線屈折部により屈折された光線を受光する第1及び
第2の受光素子を備える。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、回転角度検出装置
に関し、特に、パワーステアリング駆動用のブラシレス
モータの回転角度等の微細な回転角度の検出に適したイ
ンクリメント型の回転角度検出装置に関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】従来、この種の回転角度検出装置には、
図15に示すように、周方向に間隔をあけて多数のスト
ライプ1を設けた透明円盤2をモータ軸等の被回転角度
検出体(図示せず)に対して同軸に固定し、かつ、透明
円盤2を挟んで対向するように光源3と受光素子4を設
けたものがある。
【0003】光源3が発生する光線5は、光源3と受光
素子4の間にストライプ1が位置するときは、ストライ
プ1に遮られて受光素子4に入射せず、光源2と受光素
子4の間にストライプ1間の隙間が位置するときには、
透明円盤2を透過して受光素子4に到達する。よって、
透明円盤1が回転すると受光素子4の出力が変化し、こ
の変化から被回転角度検出体の回転角度を検出すること
ができる。
【0004】透明円盤2の直径が30mm〜80mm程
度とすると、透明円盤2の1回転当たり1000回信号
を発生させるためには、1mm当たり4〜10個程度の
微細なピッチでストライプ1を設け、受光素子4の分解
能や取付精度もこの幅を検出可能な程度に設定する必要
がある。
【0005】また、図15に示すように、光源3と受光
素子4の間にストライプ1が位置しているときでも、回
折作用により、ストライプ1間の隙間から受光素子3側
に光線が漏れる。さらに、漏れた光が干渉し合い、スト
ライプ1の後方でも光が強まる。よって、図16に示す
ように、受光素子4に入射する光線の光量は70%程度
〜100%の狭い範囲で変化し、受光素子4はこの変化
を検出可能な高精度のものを使用する必要がある。
【0006】このように、この種の回転角度検出装置で
は、角度検出精度を高くしようとすると、高精度の受光
素子を高精度で取付ける必要があるため、価格が上昇す
る。
【0007】これに対して、被回転角度検出体の回転を
歯車機構を備える減速機を介して透明円盤に伝達する方
式の回転角度検出装置が従来より知られている。この回
転角度検出装置では、検出角度を拡大することができる
ため、受光素子の検出精度や取り付け精度はそれ程高精
度は要求されない。しかし、減速機が必要となる分だけ
装置が大型化し、限られた空間に配置するのに適さな
い。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記従来の
回転角度検出装置における問題を解決するためになされ
たものであり、検出精度が高く、小型であり、かつ、比
較的安価な回転角度検出装置を提供することを課題とし
ている。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明に係る回転角度検出装置は、被回転角度検出
体に固定された回転部材と、該回転部材に向けて光線を
照射する光源と、上記回転部材に形成され、上記光源か
ら照射された光線の方向を回転部材の回転角度に応じて
2方向に切り換える光線方向切換部と、上記光線方向切
換部により第1の方向に切り換えられた光線を感知する
第1の受光素子と、上記光線方向切換部により第2の方
向に切り換えられた光線を感知する第2の受光素子と、
上記第1及び第2の受光素子の出力信号から被回転角度
検出体の回転角度を検出する検出手段とを備えることを
特徴としている。
【0010】本発明に係る回転角度角度検出装置では、
光線方向切換部により方向を切り換えられた光線を第1
及び第2の受光素子で受光しているので、受光素子近傍
で干渉作用は発生せず、受光素子近傍では光の強弱が明
確になる。そして、これに基づいて回転体の回転角度を
検出する構成としているため、ストライプ等による光線
の遮断と透過から回転角度を検出する従来のこの種の装
置のような高精度の受光素子を使用する必要がなく、か
つ、受光素子の取付精度もそれほど高く設定する必要が
ない。
【0011】具体的には、上記回転部材は透明部材であ
り、上記光線方向切換部は、回転部材の表面に環状を呈
するように突起を連続して設けた光線屈折部からなり、
上記第1及び第2の受光素子は、上記回転部材の上記光
源を配置した側と反対側に配置され、上記光線屈折部に
より屈折された光線を受光するものである。
【0012】あるいは、上記光線方向切換部は、回転部
材の表面に環状を呈するように傾斜面を鏡面とした突起
を連続的に設けた光線反射部からなり、上記第1及び第
2の受光素子は、上記回転部材の上記光源を配置した側
と同側に配置され、上記光線反射部により反射された光
線を受光するものであってもよい。この場合、光源と第
1及び第2の受光素子を回転部材の一方側に配置するこ
とができ、装置の組付け方向に制約がある箇所で使用す
るのに適している。
【0013】上記検出部は、上記第1及び第2の受光素
子が同時に光線を感知した回数から回転体の回転角度を
検出する。
【0014】
【発明の実施の形態】(第1実施形態)図1は、本発明
の第1実施形態に係る回転角度検出装置を示している。
図1において、11は透明樹脂、ガラス等の透明材料か
らなる透明円盤であり、本発明における回転部材を構成
している。透明円盤11は、被回転角度検出体であるモ
ータ回転軸12に対して同軸に固定されている。上記透
明円盤11の一方の面11aの外周縁部には、光線方向
切換部を構成する円環状の光線屈折部13が設けられて
いる。この光線屈折部13は、図2(A)から図3
(B)に示すように、透明円盤11の面11aに断面が
同一寸法の二等辺三角形である突起15,15…を連続
して設けたものである。各突起15の両斜面15a,1
5bは、平坦である。また、突起15の頂点15c並び
に突起15間に形成される谷部16のピッチpは一定で
ある。
【0015】透明円盤11の光線屈折部13を設けた面
11a側には、半導体レーザ等からなる光源20が配置
されている。図1において21は、この光源20を制御
するための制御回路である。図2(A)から図3(B)
に図示するように、光源20と透明円盤11の間には、
スリット23が設けられており、光源20が発生した光
線24は平行光として透明円盤11の光線屈折部を設け
た面11aに入射する。
【0016】一方、透明円盤11の上記光線屈折部13
を設けた面11aと反対の面11b側には、一対の受光
素子25,26が配置されている。各受光素子25,2
6は、後述するように光源20から透明円盤11を透過
した光線が入射すると、光線の輝度と比例する電流信号
を発生し、この電流信号を出力する。また、各受光素子
25,26は、図2(A)に示すように、光源20から
透明円盤11に入射する光線24の光軸24aに対する
角度θ1が等しくなるように配置されている。
【0017】図1において、30,31は各受光素子2
5,26の出力する電流信号をデジタル信号に変換する
変換回路である。この変換回路30,31は、受光素子
25,26が出力する電流信号が、受光素子25,26
へ入射する光線の輝度が光源20の発生する光線24の
輝度の50%である所定値を越えていることを表してい
る場合には“1”を出力し、この所定値を下回っている
ことを表している場合には“0”を出力する。
【0018】32は、演算処理回路である。この演算処
理回路32には、上記変換回路30,31からデジタル
信号が入力され、これらのデジタル信号の論理積(AN
D)を算出する。また、演算処理回路32は、デジタル
信号の論理積が“1”、すなわち受光素子25,26へ
の入射する光線の輝度がともに所定値を上回る毎に、1
回だけパルス信号を出力する。
【0019】33は検出回路であり、上記演算処理回路
32が出力するパルス信号を計数して回転角度を検出す
る。また、検出回路33は検出した回転角度をモータの
制御装置等の機器34に出力する。
【0020】次に、第1実施形態の動作について説明す
る。図2(A)に示すように、光源20から照射される
光線24の光軸24aが光線屈折部13の1つの突起1
5の頂点15aと一致しているとき、透明円盤11へ照
射された光線24は、傾斜面15a,15bにより2つ
の光線24b,24cに分割され、それぞれ受光素子2
5,26に入射する。このとき、図4の時刻t1に示す
ように、変換回路30,31はともに“1”を出力し、
演算処理回路32は、パルス信号を1回出力する。な
お、上記したように光源20から光線屈折部13に入射
する光線24は平行光線であるが、この透明円盤11の
面11bから受光素子25,26へ入射する光線24
a,24bは、回折作用のために拡散する。
【0021】透明円盤11が1/4pだけ図において矢
印A方向に回転すると、図2(B)に示すように、光源
20からの光線24は、突起15の図において上側の傾
斜面15aにのみ照射される。光源20から照射された
光線24は傾斜面15aにより図において下側に屈折
し、図において下側の受光素子26に入射するが、上側
に位置する受光素子25には入射しない状態となる。こ
のとき、図4の時刻t2に示すように、変換回路30は
“0”、変換回路31は“1”を出力し、演算処理回路
32はパルス信号を出力しない。
【0022】透明円盤11がさらに1/4pだけ矢印A
方向に回転すると、図3(A)に示すように、光線24
の光軸24aと光線屈折部13の谷部16が一致する。
光源20から照射された光線24は、傾斜面15a,1
5bにより2つの光線24b,24cに分割されて受光
素子25,26に入射する。このとき、図4の時刻t3
に示すように、変換回路30,31はともに“1”を出
力し、演算処理回路32はパルス信号を1回出力する。
【0023】透明円盤11がさらに1/4pだけ矢印A
方向に回転すると、図3(B)に示すように、光源20
からの光線24は、突起15の図において下側の傾斜面
15bに照射される。光源20から照射された光線24
は、傾斜面15bにより図において上側に屈折し、上側
の受光素子25に入射するが下側に位置する受光素子2
6には入射しない状態となる。このとき、図4の時刻t
4に示すように、変換回路30は“1”、変換回路31
は“0”を出力し、演算処理回路32はパルス信号を出
力しない。
【0024】このように第1実施形態では、透明円盤1
1に設けた光線屈折部13により屈折、分割された光線
が、個々の受光素子25,26に入射し、図4に示すよ
うに、各受光素子25,26へ入射する光線の輝度は透
明円盤11の回転に伴って変化する。そして、透明円盤
11が光線屈折部13の突起15のピッチp分だけ回転
するまでの間に、突起15に対応するパルス信号と、谷
部16に対応するパルス信号の合計2回のパルス信号が
出力される。よって、第1実施形態の回転角度検出装置
であれば、高精度で回転角度を検出することができる。
【0025】また、受光素子25,26は光線屈折部1
3により屈折された光線を受光するものであるため、受
光素子25,26間の間隔q(図2(A)参照)は光線
屈折部13のピッチpよりも大きく設定することができ
る。また、受光素子25,26を間隔をあけて配置した
ため、受光素子25,26近傍では光の干渉作用は発生
せず、受光素子25,26近傍では光の強弱が明確にな
る。よって、受光素子26,26として分解能や検出精
度の高いものを使用する必要がなく、取付精度も高くす
る必要がない。特に、透明円盤11から受光素子25,
26までの距離L(図2(A)参照)を大きく設定した
場合には、受光素子25,26間の間隔qを大きく設定
することができる。さらに、上記したように透明円盤1
1を透過した光線は回折作用により拡散し、受光素子2
5,26へ入射する時点のでの光線の幅が大である。こ
の点でも受光素子26,26として分解能や検出精度の
高いものを使用する必要がなく、取付精度を高くする必
要もない。
【0026】(第2実施形態)図5(A)から図6
(B)に示す第2実施形態では、突起15の傾斜面15
a,15bを円弧状曲面としている。図5(A)は、光
源20が発生する光線24の光軸24aと突起15の頂
点が一致している状態であり、図5(B)から図6
(B)は図5(A)の状態から透明円盤11が矢印Aの
方向に1/4pずつ回転した状態を示している。これら
図5(A)から図6(B)及び図7に示すように、この
第2実施形態でも、光線24の光軸24aが突起15の
頂点と一致するとき及び谷部16と一致するときには、
受光素子25,26に入射する光線の輝度がともに50
%を上回り、変換回路30,31はともに“1”を出力
し、演算処理回路32がパルス信号を出力する。その結
果、透明円盤11がピッチp分だけ回転する度に、2回
パルス信号が出力される。
【0027】また、図5(A)から図6(B)に示すよ
うに、傾斜面15a,15bを円弧状曲面としたため、
傾斜面15a,15bを平坦面とした第1実施形態の場
合よりも、光線屈折部13から受光素子25,26に向
かう光線24は屈折作用と回折作用のためにより大きく
拡散する。よって、受光素子25,26として、より精
度の低いものを使用することができる。
【0028】(第3実施形態)図8は、本発明の第3実
施形態を示している。回転部材を構成する円盤41は不
透明である。この円盤41の一方の面41aの外周縁部
には、光線方向切換部を構成する光線反射部43が設け
られている。この光線反射部43は、図9(A)から図
10(B)に示すように、断面が同一寸法の二等辺三角
形であって、傾斜面45a,45bをほぼ100%光線
を反射する鏡面とした突起45,45…を連続して設け
たものである。また、一対の受光素子25,26は円盤
41に対して光源20と同側に配置されている。図9
(A)に示すように、各受光素子25,26が光源20
が発生する光線24の光軸24aに対してなす角度は、
各突起45の傾斜面45a,45bが円盤41の面41
aに対してなす角度θ2の2倍に設定されている。受光
素子25,26をかかる位置に設けたのは、後述するよ
うに光軸24aが突起45の頂点45cに対応する場合
と、光軸24aが光線反射部43の谷部46と対応する
場合に、両方の受光素子25,26に光線を入射させる
ためである。
【0029】次に、第3実施形態の動作について説明す
る。図9(A)に示すように、光源20から照射される
光線24の光軸24aが光屈反射部43の1つの突起4
5の頂点45cと一致しているとき、円盤41へ照射さ
れた光線24は、傾斜面45a,45bにより2つに分
割されて反射し、受光素子25,26に入射する。この
とき、変換回路30,31はともに“1”を出力し、演
算処理回路32はパルス信号を1個出力する。なお、第
1から第3実施形態と同様、光源20から光線反射部4
3に入射する光線24は平行光線であるが、受光素子2
5,26に入射する反射光線は回折作用のために拡散す
る。
【0030】この図9(A)の状態から円盤41が1/
4pだけ図において矢印A方向に回転すると、図9
(B)に示すように、光源20からの光線24は、突起
15の図において上側の傾斜面15aにのみ照射され
る。この傾斜面15aに照射された光線は、図において
上向きに反射され、上側の受光素子25に入射するが下
側の受光素子26には入射しない。このとき、変換回路
30は“1”、変換回路31は“0”を出力し、演算処
理回路32はパルス信号を出力しない。
【0031】円盤41がさらに1/4pだけ矢印A方向
に回転すると、図10(A)に示すように、光線24の
光軸24aと光線反射部43の谷部46が一致する。こ
のとき、光源20からの光線24は、2つに分割されて
受光素子25,26に入射する。このとき、変換回路3
0,31はともに“1”を出力し、演算処理回路32は
パルス信号を1個出力する。
【0032】円盤41がさらに1/4pだけ矢印A方向
に回転すると、図10(B)に示すように、光源20か
らの光線24は、突起15の図において下側の傾斜面1
5bに照射され図において下向きに反射される。よっ
て、この状態では、図において下方側の受光素子26に
のみ光線が入射し、上側の受光素子26には光線は入射
しない状態となる。このとき、変換回路30は“0”、
変換回路31は“1”を出力し、演算処理回路32はパ
ルス信号を出力しない。
【0033】このように光線反射部43により反射され
た光線が、個々の受光素子25,26に入射するため、
各受光素子25,26へ入射する光線の輝度は円盤41
の回転に伴って変化し、円盤41が光線反射部43のピ
ッチp分だけ回転する間に、パルス信号が合計2回出力
され、高精度で回転角度を検出することができる。
【0034】また、上記したように本実施形態では、円
盤41により反射される光線24は回折作用により拡散
しつつ、受光素子25,26側へ入射する。よって、受
光素子26,26として分解能や検出精度の高いものを
使用する必要がなく、取付精度も高くする必要がない。
【0035】さらに、第3実施形態では、上記のように
光源20と受光素子25,26を円盤43の同一側に設
けているため、組み付け方向が一方向に制約される箇所
に設置するのに適している。
【0036】(第4実施形態)図11(A)から図12
(B)は本発明の第4実施形態に係る回転角度検出装置
では、鏡面を構成する突起45の傾斜面45a,45b
を円弧形状としている。上記第3実施形態と同様に、光
源20が発生する光線24の光軸24aが突起45の先
端と一致しているとき(図11(A))及び光軸が谷部
46と一致しているとき(図11(B))には、光線反
射部43に反射された光線は、受光素子25,26の両
方に入射し、変換回路30,31(図8参照)がともに
“1”を出力する。よって、この第4実施形態でも、1
ピッチ分の円盤41の回転につき2回パルス信号が出力
される。
【0037】なお、この第4実施形態では、光軸24a
と受光素子25,26のなす角度を可能な限り小さくし
て光源20の近傍に受光素子25,26を配置すること
が好ましい。これは、記角度を大きく設定すると、光軸
24aと突起45の頂点が一致しているときには、受光
素子25,26に光線が入射するが、光軸24aと谷部
46が一致しているときには受光素子25,26に光線
24が入射せず、1ピッチ分の回転につき1回しかパル
ス信号が出力されなくなり角度検出の精度が低下するか
らである。ただし、この場合でも回転角度の検出は可能
であり、受光素子は精度の低いものを使用できるという
利点がある。第4実施形態のその他の構成及び作用は第
3実施形態と同一である。
【0038】図13(A)〜(C)は、第4実施形態の
変形例を示している。この変形例は、第4実施形態にお
いてスリット23(図11及び図12参照)を省略し、
光源20から円盤41に照射する光線24を拡散光とし
ている。このように拡散光を照射し、かつ、突起45の
傾斜面45a,45bを円弧状としているため、図13
(A)で示す受光素子25,26を円盤41の光線反射
部43を設けた面41aから正規の距離aに配置した場
合と比較して、図13(B)で示すように距離bが長い
場合(a<b)や、図13(C)で示すように距離cが
長い場合(c<a)であっても、光源20から突起45
の傾斜面45a,45bに照射された光線は、確実に受
光素子25,26に入射する。このように第4実施形態
において光源20からの入射光を拡散光とすれば、受光
素子25,26から円盤41までの距離の設定は、より
一層低い精度で十分となる。
【0039】なお、本発明は、上記実施形態に限定され
るものではなく、種々の変形が可能である。例えば、図
14に示すように、光線屈折部13は、透明円盤11の
一方の面に、直角三角形状の小突起51,52を連続的
に設けたものであってもよい。一方の小突起51は、基
端側から先端側に向けて図において上向きに傾斜し、他
方の小突起52は、基端側から先端側に向けて図におい
て下向きに傾斜している。これら2種類の突起を連続的
に設けることにより上記第1実施形態(図2及び図3参
照)の光線屈折部13の突起15及び谷部16と光学的
に等価な凹凸を形成することができる。この図14の構
成であれば、高さの低い小突起51,52により光線屈
折部13を形成しているため、光源20からの光線24
が透明円盤11中を通過する光路距離を第1実施形態の
場合と比較して短く設定することができ、光線の屈折に
起因する角度検出誤差を低減することができる。
【0040】また、本発明の回転角度検出装置は、特
に、パワーステアリング駆動用のブラシレスモータの回
転角度の検出に適しているが、各種モータ、工作機械、
ロボット等における回転角度の検出に使用することがで
きる。
【0041】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
に係る回転角度角度検出装置では、光線方向切換部によ
り方向を切り換えられた光線を第1及び第2の受光素子
で受光しているので、受光素子近傍で干渉作用は発生せ
ず、受光素子近傍では光の強弱が明確となる。そして、
これに基づいて回転体の回転角度を検出する構成として
いるため、ストライプ等による光線の遮断と透過から回
転角度を検出する従来のこの種の装置のような高精度の
受光素子を使用する必要がなく、かつ、受光素子の取付
精度もそれほど高く設定する必要がない。よって、本発
明に係る回転角度検出装置ではあれば、比較的低価格で
高精度の角度検出を実現することができる。
【0042】また、本発明に係る回転角度検出装置で
は、歯車機構を備える減速機等は必要でないため、装置
が小型であり、狭い空間に配置するのに適している。
【0043】さらに、光線方向切換部を光線反射部と
し、第1及び第2受光素子を回転部材の上記光源を配置
した側と同側に配置した場合には、装置の組付け方向に
制約がある箇所でも配置することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の第1実施形態に係る回転角度検出装
置を示す概略構成図である。
【図2】 (A)及び(B)は、第1実施形態における
透明円盤の部分断面図である。
【図3】 (A)及び(B)は、第1実施形態における
透明円盤の部分断面図である。
【図4】 第1実施形態における受光素子への入射光の
輝度、変換回路の出力及び演算処理回路の出力を示す線
図である。
【図5】 (A)及び(B)は、第2実施形態における
透明円盤の部分断面図である。
【図6】 (A)及び(B)は、第2実施形態における
透明円盤の部分断面図である。
【図7】 第2実施形態における受光素子への入射光の
輝度、変換回路の出力及び演算処理回路の出力を示す線
図である。
【図8】 本発明の第3実施形態に係る回転角度検出装
置を示す概略構成図である。
【図9】 (A)及び(B)は、第3実施形態における
円盤の部分断面図である。
【図10】 (A)及び(B)は、第3実施形態におけ
る円盤の部分断面図である。
【図11】 (A)及び(B)は、第4実施形態におけ
る円盤の部分断面図である。
【図12】 (A)及び(B)は、第4実施形態におけ
る透明円盤の部分断面図である。
【図13】 (A),(B)及び(C)は、第4実施形
態の変形例を示す部分断面図である。
【図14】 本発明の変形例を示す部分断面図である。
【図15】 従来の回転角度検出装置の一例を示す概略
構成図である。
【図16】 図15の回転角度検出装置における受光素
子に入射する光線の輝度変化を示す線図である。
【符号の説明】
11 透明円盤(回転部材) 12 回転軸(被回転角度検出体) 13 光線屈折部(光線方向切換部) 15,45 突起 20 光源 21 制御回路 25,26 受光素子 30,31 変換回路 32 演算処理回路 33 検出回路 34 機器 41 円盤(回転部材) 43 光線反射部(光線方向切換部)

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 被回転角度検出体に固定された回転部材
    と、 該回転部材に向けて光線を照射する光源と、 上記回転部材に形成され、上記光源から照射された光線
    の方向を回転部材の回転角度に応じて2方向に切り換え
    る光線方向切換部と、 上記光線方向切換部により第1の方向に切り換えられた
    光線を感知する第1の受光素子と、 上記光線方向切換部により第2の方向に切り換えられた
    光線を感知する第2の受光素子と、 上記第1及び第2の受光素子の出力信号から被回転角度
    検出体の回転角度を検出する検出手段とを備えることを
    特徴とする回転角度検出装置。
  2. 【請求項2】 上記回転部材は透明部材であり、 上記光線方向切換部は、回転部材の表面に環状を呈する
    ように突起を連続して設けた光線屈折部からなり、 上記第1及び第2の受光素子は、上記回転部材の上記光
    源を配置した側と反対側に配置され、上記光線屈折部に
    より屈折された光線を受光するものである請求項1に記
    載の回転角度検出装置。
  3. 【請求項3】 上記光線方向切換部は、回転部材の表面
    に環状を呈するように傾斜面を鏡面とした突起を連続的
    に設けた光線反射部からなり、 上記第1及び第2の受光素子は、上記回転部材の上記光
    源を配置した側と同側に配置され、上記光線反射部によ
    り反射された光線を受光するものである請求項1に記載
    の回転角度検出装置。
  4. 【請求項4】 上記検出部は、上記第1及び第2の受光
    素子が同時に光線を感知した回数から回転体の回転角度
    を検出するものである請求項1から請求項3のいずれか
    1項に記載の回転角度検出装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7374090B2 (en) 2003-04-07 2008-05-20 Fanuc Ltd Optical encoder with resinous code plate
JP2011145118A (ja) * 2010-01-13 2011-07-28 Mitsubishi Electric Corp 反射型光学式エンコーダ
WO2023008259A1 (ja) * 2021-07-27 2023-02-02 パナソニックIpマネジメント株式会社 エンコーダ

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