JPH1114957A - Inspection device for liquid crystal panel - Google Patents
Inspection device for liquid crystal panelInfo
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- JPH1114957A JPH1114957A JP9180307A JP18030797A JPH1114957A JP H1114957 A JPH1114957 A JP H1114957A JP 9180307 A JP9180307 A JP 9180307A JP 18030797 A JP18030797 A JP 18030797A JP H1114957 A JPH1114957 A JP H1114957A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶パネルを駆動
させて、その良否を検査する装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus for driving a liquid crystal panel and inspecting its quality.
【０００２】[0002]
【従来の技術】液晶表示パネルすなわち液晶パネルを人
手により検査する装置は、一般に、検査用プローブの破
損を防止する目的から、検査装置に対する液晶パネルの
受け渡しをする受け渡し位置と、測定ステージすなわち
検査ステージを用いて液晶パネルの点灯試験をする検査
位置とを別々に設け、液晶パネルをその受け渡し位置か
ら検査位置におよびその逆に搬送している。2. Description of the Related Art In general, a liquid crystal display panel, that is, a device for inspecting a liquid crystal panel by hand, generally includes a transfer position for transferring a liquid crystal panel to an inspection device, a measuring stage, or an inspection stage for the purpose of preventing damage to an inspection probe. And a test position for performing a lighting test of the liquid crystal panel are separately provided, and the liquid crystal panel is transported from the transfer position to the test position and vice versa.
【０００３】この種の検査装置として、液晶パネルを搬
送装置により受け渡し位置と検査位置とに搬送するもの
（特開平５−３３４２２７号公報）と、点灯検査時に液
晶パネルを受ける検査ステージ自体に搬送手段の機能を
付加し、検査ステージ自体を受け渡し位置と検査位置と
に移動させるもの特開平９−１３８２５６号公報）とが
ある。As an inspection apparatus of this type, an apparatus for transporting a liquid crystal panel to a delivery position and an inspection position by a transport apparatus (Japanese Patent Laid-Open No. 5-334227), and an inspection stage itself for receiving the liquid crystal panel during lighting inspection. Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 9-138256) which adds the function described above and moves the inspection stage itself to a transfer position and an inspection position.
【０００４】しかし、前者は、液晶パネルの搬送のため
に、搬送装置を受け渡し位置と検査位置とに移動させな
ければならないことと、検査時に搬送装置をそれが点灯
検査の妨げにならない位置に大きく退避せなければなら
ないこととから、搬送および退避のための検査ステージ
の移動時間が無駄になる。また、前者は、液晶パネルを
受け面に受けるアームを搬送手段として用いると、アー
ムとの接触面積が大きくなるから、検査ステージとアー
ムとの間における液晶パネルの受け渡し時に液晶パネル
に擦り傷を形成するおそれがある。However, the former requires that the transfer device must be moved between the transfer position and the inspection position in order to transfer the liquid crystal panel, and that the transfer device is largely moved to a position where it does not hinder the lighting inspection during the inspection. Since it is necessary to retreat, the moving time of the inspection stage for transport and retreat is wasted. Further, in the former, when the arm receiving the liquid crystal panel on the receiving surface is used as the transfer means, the contact area with the arm becomes large, so that the liquid crystal panel is scratched when the liquid crystal panel is transferred between the inspection stage and the arm. There is a risk.
【０００５】これに対し、後者は、液晶パネルを検査ス
テージに直接載置するため、液晶パネルの受け渡し時に
液晶パネルを損傷するおそれは少ないが、検査ステージ
自体を液晶パネルの搬送のために受け渡し位置と検査位
置とに移動させなければならず、したがって、液晶パネ
ル搬送のための検査ステージ自体の移動時間が無駄にな
る、という課題を依然として有する。また、搬送手段が
その下面に液晶パネルを吸着するから、液晶パネルが不
安定の状態で搬送される。On the other hand, in the latter, since the liquid crystal panel is directly mounted on the inspection stage, there is little possibility that the liquid crystal panel will be damaged when the liquid crystal panel is delivered. Therefore, there still remains a problem that the moving time of the inspection stage itself for transporting the liquid crystal panel is wasted. Also, the liquid crystal panel is conveyed in an unstable state because the liquid crystal panel is attracted to the lower surface by the conveying means.
【０００６】[0006]
【解決しようとする課題】本発明の目的は、搬送手段に
よる液晶パネルの損傷を可能な限り少なくし、搬送手段
の移動による時間的な無駄を少なくすることにある。SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to minimize damage to a liquid crystal panel by a transport means and to reduce waste of time due to movement of the transport means.
【０００７】[0007]
【解決手段、作用および効果】本発明の検査装置は、液
晶パネルの受け渡し位置に配置された受け渡しステージ
と、該受け渡しステージから離れた検査位置に配置され
た検査ステージと、液晶パネルを両ステージに対し搬送
する少なくとも２つの搬送装置とを含む。各搬送装置
は、両ステージ間を往復移動可能の移動台と、該移動台
を往復移動させる第１の駆動手段と、液晶パネルの端縁
を受け入れる凹所を有する少なくとも一対のホルダであ
って凹所を対向させた状態に移動台に間隔をおいて配置
されたホルダと、該ホルダを液晶パネルと平行の面内で
相寄り相離れる方向へ変位させる第２の駆動手段とを備
える。An inspection apparatus according to the present invention includes a delivery stage arranged at a delivery position of a liquid crystal panel, an inspection stage arranged at an inspection position distant from the delivery stage, and a liquid crystal panel mounted on both stages. And at least two transport devices for transporting the same. Each of the transfer devices includes a movable table that can reciprocate between the two stages, a first driving unit that reciprocates the movable table, and at least one pair of holders having a recess that receives an edge of the liquid crystal panel. A holder arranged at an interval on the movable table in a state where the positions are opposed to each other; and second driving means for displacing the holder in directions parallel to and separated from each other in a plane parallel to the liquid crystal panel.
【０００８】液晶パネルは、搬送装置のホルダが相寄る
方向へ移動されることにより対向する端縁を凹所に受け
入れられて搬送装置に把持され、搬送装置のホルダが相
離れる方向へ移動されることにより搬送装置から解放さ
れる。各搬送装置は、液晶パネルの対向する端縁部をホ
ルダの凹所に受け入れた状態で液晶パネルを搬送する。
このため、ホルダと液晶パネルとの接触面積を小さくす
ることができ、その結果ホルダと検査ステージとの間の
液晶パネルの受け渡し時における液晶パネルの損傷を防
止することができるし、液晶パネルを真空吸着すること
なく安定した状他で搬送することができる。[0008] The liquid crystal panel is moved in the direction in which the holder of the transfer device is moved in the opposite direction, the opposite edge is received in the recess, is gripped by the transfer device, and the holder of the transfer device is moved in the direction in which the holder is separated. As a result, it is released from the transfer device. Each transport device transports the liquid crystal panel in a state in which the opposite edges of the liquid crystal panel are received in the recesses of the holder.
For this reason, the contact area between the holder and the liquid crystal panel can be reduced, and as a result, the liquid crystal panel can be prevented from being damaged when the liquid crystal panel is transferred between the holder and the inspection stage. It can be transported in a stable state without adsorption.
【０００９】検査装置に対する液晶パネルの受け渡しは
受け渡しステージにおいて人手によりまたは受け渡し機
械により行われ、液晶パネルの検査は肉眼を利用して人
手により行われるかまたはテレビカメラを利用して機械
的に行われ、検査ステージに対する液晶パネルの受け渡
しは搬送装置により行われる。The delivery of the liquid crystal panel to the inspection apparatus is performed manually or by a delivery machine at a delivery stage, and the inspection of the liquid crystal panel is performed manually using the naked eye or mechanically using a television camera. The transfer of the liquid crystal panel to the inspection stage is performed by a transfer device.
【００１０】検査の間、ホルダをそれらが離れる方向へ
移動させてホルダをわずかに退避させるだけでよく、液
晶パネルを検査位置に搬送してきた搬送装置全体を検査
位置から大きく退避させる必要がない。このため、搬送
手段の退避による時間的な無駄が著しく少ない。[0010] During the inspection, it is only necessary to move the holders in the direction in which they are separated from each other so that the holders are slightly retracted, and it is not necessary to largely retreat the entire transport device that has transported the liquid crystal panel to the inspection position from the inspection position. For this reason, the waste of time due to the retreat of the transport means is significantly reduced.
【００１１】液晶パネルの検査および受け渡しは、たと
えば、一方の搬送装置から検査ステージへの液晶パネル
の受け渡し、その液晶パネルの検査、および、検査ステ
ージから一方の搬送装置への液晶パネルの受け渡しを実
行している間、他方の搬送装置から受け渡しステージへ
の検査済み液晶パネルの受け渡し、受け渡しステージか
らの液晶パネルの除去、受け渡しステージへの新たな液
晶パネルの配置および受け渡しステージから他方の搬送
装置への新たな液晶パネルの受け渡しを行うことによ
り、実施することができる。In the inspection and delivery of the liquid crystal panel, for example, the delivery of the liquid crystal panel from one transport device to the inspection stage, the inspection of the liquid crystal panel, and the delivery of the liquid crystal panel from the inspection stage to one transport device are executed. During the transfer, the inspected liquid crystal panel is transferred from the other transfer device to the transfer stage, the liquid crystal panel is removed from the transfer stage, a new liquid crystal panel is placed on the transfer stage, and the transfer from the transfer stage to the other transfer device is performed. This can be achieved by transferring a new liquid crystal panel.
【００１２】両搬送装置による液晶パネルの搬送は、た
とえば、一方の搬送装置による受け渡しステージへの液
晶パネルの搬送と、他方の搬送装置による検査ステージ
への未検査液晶パネルの搬送とを並行して行うことによ
り、実行することができる。このため、搬送手段の移動
による時間的な無駄が著しく少ない。The transfer of the liquid crystal panel by the two transfer devices is performed, for example, in parallel with the transfer of the liquid crystal panel to the transfer stage by one transfer device and the transfer of the untested liquid crystal panel to the inspection stage by the other transfer device. By doing so, it can be executed. For this reason, the waste of time due to the movement of the transport means is significantly reduced.
【００１３】本発明によれば、液晶パネルの端縁を受け
入れる凹所を対向させた一対以上のホルダを搬送手段と
する少なくとも２つの搬送装置を用い、ホルダを液晶パ
ネルと平行の面内で相寄り相離れる方向へ変位させるよ
うにしたから、搬送手段と液晶パネルとの接触面積が小
さくなり、また搬送手段の退避および移動による時間的
な無駄が少なくなり、さらに液晶パネルを真空吸着する
ことなく安定した状態で搬送することができる。According to the present invention, at least two transfer devices having a pair of at least two holders, each having a recess for receiving an edge of a liquid crystal panel facing each other, are used as transfer means, and the holders are moved in a plane parallel to the liquid crystal panel. Since the displacement is made in a direction away from each other, the contact area between the transfer means and the liquid crystal panel is reduced, the time wasted due to the retreat and movement of the transfer means is reduced, and the liquid crystal panel is not vacuum-sucked. It can be transported in a stable state.
【００１４】受け渡しステージは液晶パネルを受けるパ
ネル受けを備え、検査ステージは液晶パネルを受けるワ
ークテーブルを備え、パネル受けおよびワークテーブル
のそれぞれは、液晶パネルの対向する一対の縁部に対応
する各部位に形成された切欠部であってそれらが液晶パ
ネルにほぼ垂直のＺ方向へ変位されたときおよびホルダ
が相寄る方向へ移動されたとき、該ホルダの一部を受け
入れる切欠部を有することができる。このようにすれ
ば、各ステージに対する液晶パネルの受け渡し時にホル
ダが切欠部に受け入れられるから、各ステージとホルダ
との間における液晶パネルの受け渡しが安全に行われ
る。The transfer stage has a panel receiver for receiving the liquid crystal panel, and the inspection stage has a work table for receiving the liquid crystal panel. Each of the panel receiver and the work table has a portion corresponding to a pair of opposite edges of the liquid crystal panel. And a notch formed to receive a part of the holder when they are displaced in the Z direction substantially perpendicular to the liquid crystal panel and when the holder is moved in a direction toward each other. . With this configuration, the holder is received in the notch when the liquid crystal panel is transferred to each stage, so that the liquid crystal panel can be safely transferred between each stage and the holder.
【００１５】搬送装置はＺ方向へ間隔をおいており、受
け渡しステージおよび検査ステージはそれぞれパネル受
けおよびワークテーブルをＺ方向へ変位させる変位手段
を有することができる。このようにすれば、ホルダを相
寄り相離れる方向へ移動させることと、パネル受けおよ
びワークテーブルをＺ方向へ変位させることとにより、
ホルダと各ステージとの間における液晶パネルの受け渡
しを容易に行うことができる。The transfer device is spaced apart in the Z direction, and the transfer stage and the inspection stage can have displacement means for displacing the panel receiver and the work table in the Z direction, respectively. According to this configuration, by moving the holder in the direction in which the holder is shifted toward and away from each other and displacing the panel receiver and the work table in the Z direction,
Transfer of the liquid crystal panel between the holder and each stage can be easily performed.
【００１６】移動台は、第１の駆動手段により両ステー
ジ間を移動されるスライダであってパネル受けおよびワ
ークテーブルを受け入れることができる開口を有する第
１のスライダと、該第１のスライダに相寄り相離れる方
向へ移動可能に配置されかつ前記開口を間にして平行に
伸びる一対の第２のスライダと、第１のスライダに対す
る第２のスライダの位置を調整する調整手段とを備え、
ホルダを第２のスライダに配置することができる。この
ようにすれば、第２のスライダの間隔を変更することに
より、大きさが異なる液晶パネルの検査に用いることが
できる。The moving table is a slider which is moved between the two stages by the first driving means and has an opening capable of receiving a panel receiver and a work table. A pair of second sliders movably arranged in directions away from each other and extending in parallel with the opening therebetween; and adjusting means for adjusting a position of the second slider with respect to the first slider,
The holder can be arranged on the second slider. With this configuration, by changing the interval between the second sliders, the second slider can be used for inspection of liquid crystal panels having different sizes.
【００１７】各第２のスライダを一対のリンクにより第
１のスライダに連結し、各リンクを第１の軸により第１
および第２のスライダの一方に結合するとともに、当該
リンクに形成されて当該リンクの長手方向へ伸びる長穴
に移動可能に受け入れられた第２の軸により第１および
第２のスライダの他方に結合することができる。このよ
うにすれば、相寄り相離れる方向への第２のスライダの
移動が平行になる。Each second slider is connected to the first slider by a pair of links, and each link is connected to the first slider by a first shaft.
And one of the second sliders, and coupled to the other of the first and second sliders by a second shaft formed in the link and movably received in an elongated hole extending in the longitudinal direction of the link. can do. With this configuration, the movement of the second slider in the direction in which the second slider moves toward and away from each other becomes parallel.
【００１８】第２の駆動手段は、ホルダをＺ方向へ変位
可能に受ける受け部材と、ホルダを相寄り相離れる方向
へ移動させるべく受け部材を移動させる駆動機構と、該
駆動機構とホルダとの間に配置されてホルダを駆動機構
から離れる方向へ付勢する弾性体とを備えることができ
る。このようにすれば、各ステージへの液晶パネルの受
け渡し時に、パネル受けまたはワークテーブルがホルダ
の通常の位置を越えて変位しても、ホルダが弾性体の付
勢力に抗して変位し、それにより液晶パネルの破損が防
止される。The second driving means includes a receiving member for receiving the holder so as to be displaceable in the Z direction, a driving mechanism for moving the receiving member so as to move the holder in a direction toward and away from the holder, and a driving mechanism for connecting the driving mechanism and the holder. An elastic member disposed between the elastic members and biasing the holder in a direction away from the drive mechanism. With this configuration, when the liquid crystal panel is transferred to each stage, even if the panel receiver or the work table is displaced beyond the normal position of the holder, the holder is displaced against the urging force of the elastic body. This prevents the liquid crystal panel from being damaged.
【００１９】受け渡しステージの変位手段は、Ｚ方向へ
伸縮可能の２つのシリンダ機構であって一方のシリンダ
機構が他方のシリンダ機構の伸縮により液晶パネルにほ
ぼ垂直の方向へ変位されるように直列に連結された２つ
のシリンダ機構を備え、パネル受けを一方のシリンダに
組み付けることができる。The displacing means of the transfer stage is a two-cylinder mechanism that can expand and contract in the Z direction, and one cylinder mechanism is serially displaced in a direction substantially perpendicular to the liquid crystal panel by expansion and contraction of the other cylinder mechanism. It has two cylinder mechanisms connected to each other, and the panel receiver can be assembled to one cylinder.
【００２０】受け渡しステージのパネル受けは、液晶パ
ネルの対向する２つの端縁のうちの一方の端縁の側が下
方となりかつ他方の縁部の側が上方となるように傾斜し
た受け面と、液晶パネルの他方の端縁および他の対向す
る端縁を受けるべく受け面から突出する複数の位置決め
部とを備えることができる。このようにすれば、液晶パ
ネルを位置決め部に当接させることにより、液晶パネル
の粗アライメントをすることができる。The panel receiver of the transfer stage has a receiving surface inclined such that one of two opposing edges of the liquid crystal panel is lower and the other edge is upper, a liquid crystal panel. And a plurality of positioning portions protruding from the receiving surface to receive the other edge and the other opposing edge. By doing so, rough alignment of the liquid crystal panel can be performed by bringing the liquid crystal panel into contact with the positioning portion.
【００２１】[0021]
【発明の実施の形態】図１〜図６を参照するに、検査装
置１０は、長方形の液晶表示体すなわち液晶パネル１２
の人手による点灯検査に用いられる。液晶パネル１２
は、図示の例では、長方形の辺のうち、３つの辺に対応
する端縁部のそれぞれに、複数の電極部からなる電極群
を有する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Referring to FIG. 1 to FIG. 6, an inspection apparatus 10 has a rectangular liquid crystal display, that is, a liquid crystal panel 12.
It is used for lighting inspection by hand. LCD panel 12
Has an electrode group including a plurality of electrode portions at each of the edges corresponding to three sides of the rectangular side in the illustrated example.
【００２２】以下、理解を容易にするために、検査装置
１０および液晶パネル１２のいずれにおいても、液晶表
示パネルすなわち液晶パネル１２の長い端縁の方向（左
右方向）をＸ方向といい、液晶パネル１２の短い端縁の
方向をＹ方向（前後方向）といい、液晶パネル１２に垂
直の方向をＺ方向という。また、Ｘ，ＹおよびＺ方向へ
伸びる軸線を、それぞれ、Ｘ，ＹおよびＺ軸線という。Hereinafter, in order to facilitate understanding, in both the inspection apparatus 10 and the liquid crystal panel 12, the direction of the long edge (left-right direction) of the liquid crystal display panel, ie, the liquid crystal panel 12, is referred to as the X direction. The direction of the short edge of the liquid crystal panel 12 is called the Y direction (front-back direction), and the direction perpendicular to the liquid crystal panel 12 is called the Z direction. In addition, axes extending in the X, Y, and Z directions are referred to as X, Y, and Z axes, respectively.
【００２３】検査装置１０は、フレームすなわち筐体２
０を含む。筐体２０の前面上部は、傾斜面部２２とされ
ている。傾斜面部２２は、液晶パネル１２の受渡しに用
いる開口２４と、液晶パネル１２の検査に用いる開口２
６とを有する。開口２４，２６は、液晶パネル１２より
大きくかつ隅角部を丸くされた矩形の形を有しており、
またＸ方向に間隔をおいている。The inspection apparatus 10 includes a frame, that is, a housing 2.
Contains 0. The upper part of the front surface of the housing 20 is an inclined surface portion 22. The inclined surface portion 22 has an opening 24 used for delivery of the liquid crystal panel 12 and an opening 2 used for inspection of the liquid crystal panel 12.
6. The openings 24 and 26 have a rectangular shape that is larger than the liquid crystal panel 12 and has rounded corners.
Also, there is an interval in the X direction.
【００２４】筐体２０内のうち、開口２４に対応する部
位は検査装置１０に対する液晶パネル１２の受け渡しを
する受け渡し位置とされており、開口２６に対応する部
位は液晶パネル１２の点灯検査をする検査位置とされて
いる。傾斜面部２２には、スイッチパネル２８が設けら
れている。スイッチパネル２８は、当該検査装置１０の
各機器のオン／オフをするための複数のスイッチを有す
る。In the housing 20, a portion corresponding to the opening 24 is a transfer position at which the liquid crystal panel 12 is transferred to the inspection device 10, and a portion corresponding to the opening 26 performs a lighting inspection of the liquid crystal panel 12. Inspection position. A switch panel 28 is provided on the inclined surface portion 22. The switch panel 28 has a plurality of switches for turning on / off each device of the inspection apparatus 10.
【００２５】筐体２０には、各種の機器を支持する支持
台３０が配置されている。支持台３０は、ベースプレー
ト３２と、長方形の基台３４と、両者を連結する複数の
支柱３６とにより形成されている。基台３４は、ベース
プレート３２よりやや短い長さ寸法および幅寸法を有す
る板材により形成されており、またベースプレート３２
と平行に筐体２０内をＸ方向へ伸びている。The housing 20 is provided with a support 30 for supporting various devices. The support 30 is formed by a base plate 32, a rectangular base 34, and a plurality of columns 36 connecting the both. The base 34 is formed of a plate having a length and a width slightly shorter than the base plate 32.
And extends in the X direction in the housing 20 in parallel with.
【００２６】図示の例では、ベースプレート３２は筐体
２０の傾斜面部２２を形成する部材であり、したがって
開口２４，２６はベースプレート３２に形成されてい
る。しかし、ベースプレート３２を傾斜面部２２を形成
する部材と別の部材で形成し、ベースプレート３２を傾
斜面部２２を形成する部材に組み付けてもよい。In the illustrated example, the base plate 32 is a member forming the inclined surface portion 22 of the housing 20, and therefore, the openings 24 and 26 are formed in the base plate 32. However, the base plate 32 may be formed of a member different from the member forming the inclined surface portion 22, and the base plate 32 may be assembled to the member forming the inclined surface portion 22.
【００２７】ベースプレート３２には、プローブユニッ
ト４０が配置されている。プローブユニット４０は、長
方形の板の形をしたプローブベース４２と、１以上のね
じ部材によりプローブベース４２に組み付けられたＬ字
型の複数のプローブブロック４４とを備える。The probe unit 40 is arranged on the base plate 32. The probe unit 40 includes a probe base 42 having a rectangular plate shape, and a plurality of L-shaped probe blocks 44 assembled to the probe base 42 by one or more screw members.
【００２８】プローブベース４２は、開口２６と相似の
開口４６を有しており、また複数のねじ部材によりベー
スプレート３２の外側に同軸的に取り付けられている。
プローブブロック４４は、それぞれが複数のプローブブ
ロック４４を含む３つのブロック群に分けられており、
また液晶パネル１２の電極群が形成された端縁部に対応
する辺部に配置されている。The probe base 42 has an opening 46 similar to the opening 26, and is coaxially attached to the outside of the base plate 32 by a plurality of screw members.
The probe blocks 44 are divided into three groups each including a plurality of probe blocks 44,
In addition, the liquid crystal panel 12 is disposed on a side corresponding to the edge where the electrode group is formed.
【００２９】各プローブブロック４４は、一端部が開口
４６を介して開口４６内に達するように、他端部におい
てプローブベース４２の外側に取り付けられている。各
プローブブロック４４は、その一端部に複数のプローブ
４８を支持している。各プローブ４８は、液晶パネル１
２に対し角度を有する状態に伸びている。Each probe block 44 is attached to the outside of the probe base 42 at the other end so that one end reaches the inside of the opening 46 through the opening 46. Each probe block 44 supports a plurality of probes 48 at one end. Each probe 48 is connected to the liquid crystal panel 1
It extends to an angle with respect to 2.
【００３０】プローブベース４２には、また、位置合わ
せ用の一対のテレビカメラ５０が組み付けられている。
テレビカメラ５０は、液晶パネル１２に形成されている
位置合わせマークを撮影するように、プローブベース４
２に配置されている。テレビカメラ５０の出力信号は、
プローブユニット４０に対する液晶パネル１２の精密ア
ライメントのために用いられる。A pair of television cameras 50 for positioning are assembled to the probe base 42.
The television camera 50 moves the probe base 4 so as to photograph the alignment mark formed on the liquid crystal panel 12.
2 are arranged. The output signal of the TV camera 50 is
It is used for precise alignment of the liquid crystal panel 12 with respect to the probe unit 40.
【００３１】基台３４は、液晶パネル１２の受け渡しの
ための受け渡しステージ５２と、点灯検査のための検査
ステージ５４と、液晶パネル１２を傾斜した状態で搬送
する第１および第２の搬送装置５６とを支持する。受け
渡しステージ５２は開口２４に対応する受け渡し位置に
配置されており、検査ステージ５４は開口２６に対応す
る検査位置に配置されている。The base 34 includes a transfer stage 52 for transferring the liquid crystal panel 12, an inspection stage 54 for lighting inspection, and first and second transfer devices 56 for transferring the liquid crystal panel 12 in an inclined state. And support. The delivery stage 52 is arranged at a delivery position corresponding to the opening 24, and the inspection stage 54 is arranged at an inspection position corresponding to the opening 26.
【００３２】受け渡しステージ５２は、液晶パネルを傾
斜した状態に受ける平板状のパネル受け５８と、パネル
受け５８をＺ方向へ変位させる２つのシリンダ機構６
０，６２と、液晶パネル１２をパネル受け５８に対して
位置決める複数の位置決め部６４とを備える。The transfer stage 52 includes a flat panel receiver 58 for receiving the liquid crystal panel in an inclined state, and two cylinder mechanisms 6 for displacing the panel receiver 58 in the Z direction.
0, 62, and a plurality of positioning portions 64 for positioning the liquid crystal panel 12 with respect to the panel receiver 58.
【００３３】パネル受け５８は、斜め上向きの面がパネ
ルを載置するパネル受け面とされており、１以上の切欠
部６６をＹ方向の各端縁の側に有する。図示の例では、
Ｙ方向の一端縁の側にはこの端縁に沿って伸びる１つの
細長い切欠部６６が形成されており、Ｙ方向の他端縁の
側には２つの切欠部６６が四角形の隅角部を切除するこ
とにより形成されている。パネル受け５８は、そのパネ
ル受け面が傾斜した状態に、シリンダ機構６２のロッド
部に取り付けられている。The panel receiver 58 has a diagonally upward surface serving as a panel receiving surface on which the panel is mounted, and has one or more cutouts 66 on each edge side in the Y direction. In the example shown,
One elongated notch 66 extending along this edge is formed on one end side in the Y direction, and two notches 66 are formed on the other end side in the Y direction to form square corners. It is formed by excision. The panel receiver 58 is attached to the rod portion of the cylinder mechanism 62 with the panel receiving surface inclined.
【００３４】シリンダ機構６０，６２は、エアーシリン
ダのような流体圧シリンダ機構であり、また伸縮方向が
同じになるように直列に連結されている。一方のシリン
ダ機構６０は、その伸縮方向がＺ方向となるようにシリ
ンダ部において組付具６８により基台３４に取り付けら
れている。他方のシリンダ機構６２は、その伸縮方向が
Ｚ方向となるようにシリンダ部において組付具７０によ
りシリンダ機構６０のロッド部に連結されている。The cylinder mechanisms 60 and 62 are fluid pressure cylinder mechanisms such as air cylinders, and are connected in series so that the directions of expansion and contraction are the same. The one cylinder mechanism 60 is attached to the base 34 by an assembling tool 68 in the cylinder portion so that the direction of expansion and contraction is in the Z direction. The other cylinder mechanism 62 is connected to the rod part of the cylinder mechanism 60 by an assembling tool 70 in the cylinder part so that the direction of expansion and contraction is in the Z direction.
【００３５】位置決め部６４は、パネル受け５８の受け
面に形成されている。図示の例では、Ｙ方向の一端縁部
に２つの位置決め部６４が形成されているとともに、Ｙ
方向の他端縁部に１つの位置決め部６４が形成されてい
る。各位置決め部６４は、その内側をクランク状に形成
されており、したがって液晶パネル１２を受ける段部を
内側に有する。The positioning part 64 is formed on the receiving surface of the panel receiver 58. In the illustrated example, two positioning portions 64 are formed at one end edge in the Y direction.
One positioning portion 64 is formed at the other end in the direction. Each positioning portion 64 is formed in a crank shape on the inside, and therefore has a step portion for receiving the liquid crystal panel 12 on the inside.
【００３６】Ｙ方向の一端縁部の２つの位置決め部６４
は、対応する 一端縁部の切欠部６６を間にしてＸ方向
に間隔をおいており、また液晶パネル１２の隣り合う２
つの端縁部が当接するようにＬ字状に曲げられている。
Ｙ方向の他端縁部の位置決め部６４は、他端縁部の切欠
部６６の間にあって他端縁部の中央に形成されている。Two positioning portions 64 at one edge in the Y direction
Are spaced apart in the X direction with a corresponding notch 66 at one end edge therebetween.
It is bent in an L-shape so that the two edges contact.
The positioning portion 64 at the other end in the Y direction is located between the cutouts 66 at the other end and formed at the center of the other end.
【００３７】検査ステージ５４は、液晶パネル１２を左
右方向（Ｘ方向）に移動させるＸステージと、液晶パネ
ル１２を斜め上下方向（Ｙ方向）へ移動させるＹステー
ジと、液晶パネル１２を該パネルに直角の方向（Ｚ方
向）へ移動させるＺステージと、液晶パネル１２を該パ
ネルに直角のＺ軸線の周りに角度的に回転させるθステ
ージと、液晶パネル１２を受けるワークテーブル７２と
を備える。The inspection stage 54 includes an X stage for moving the liquid crystal panel 12 in the left-right direction (X direction), a Y stage for moving the liquid crystal panel 12 in the oblique vertical direction (Y direction), and the liquid crystal panel 12 on the panel. The liquid crystal panel 12 includes a Z stage that moves in a right angle direction (Z direction), a θ stage that rotates the liquid crystal panel 12 around a Z axis perpendicular to the panel, and a work table 72 that receives the liquid crystal panel 12.
【００３８】Ｙステージ、Ｚステージ、θステージおよ
びワークテーブル７２は、それぞれ、Ｘステージ、Ｙス
テージ、Ｚステージおよびθステージに移動可能に支持
されており、また対応するステージの移動にともなって
同じように移動される。The Y stage, the Z stage, the θ stage and the work table 72 are movably supported by the X stage, the Y stage, the Z stage and the θ stage, respectively. Moved to
【００３９】検査ステージ５４は、基台３４に、ワーク
テーブル７２が開口２４の側となりかつＸステージが基
台３４側となるように、および、液晶パネル１２をワー
クテーブル７２に傾斜した状態に受けるように、Ｘステ
ージ３０において基台３４に移動可能に組み付けられて
いる。The inspection stage 54 receives the base plate 34 such that the work table 72 is on the side of the opening 24 and the X stage is on the base 34 side, and the liquid crystal panel 12 is tilted to the work table 72. As described above, the X stage 30 is movably mounted on the base 34.
【００４０】ワークテーブル７２は、液晶パネル１２を
受けかつ支持するように、ベースプレート３２の側に開
口する直方体状の浅い箱の形をしている。ワークテーブ
ル７２の内部空間を形成する４つの端縁部の斜め上向き
の面は、液晶パネル１２を傾斜した状態に受ける長方形
の傾斜したパネル受け面とされている。The work table 72 is in the form of a rectangular parallelepiped shallow box that opens toward the base plate 32 so as to receive and support the liquid crystal panel 12. The four obliquely upward surfaces of the four edges forming the internal space of the work table 72 are rectangular inclined panel receiving surfaces that receive the liquid crystal panel 12 in an inclined state.
【００４１】ワークテーブル７２は、パネル受け面に開
放する溝７４を３つの端縁部に有するとともに、一対の
切欠部７６をＹ方向の各端縁部に有しており、さらに液
晶パネル１２がワークテーブル７２から滑落することを
防止する一対の端縁受け７８をＹ方向の一方の端縁部に
有する。ワークテーブル７２内には、バックライトユニ
ット８０が液晶パネル１２を背面から照明するように収
容されている（図４および図６並びに図１４〜図１７参
照）。The work table 72 has grooves 74 at three edges opened to the panel receiving surface, and a pair of notches 76 at each edge in the Y direction. A pair of edge receivers 78 for preventing slipping from the worktable 72 is provided at one edge in the Y direction. A back light unit 80 is accommodated in the work table 72 so as to illuminate the liquid crystal panel 12 from the back (see FIGS. 4 and 6 and FIGS. 14 to 17).
【００４２】溝７４は、液晶パネル１２の電極群が形成
された端縁部に対応する部位に形成されており、またワ
ークテーブル７２が液晶パネル１２の裏面を真空吸着す
る真空チャックとして作用するように図示しない真空源
に連通されている。対をなす両切欠部７６は、Ｙ方向に
間隔をおいており、またワークテーブル７２の表裏の側
におよび側方に開放している。ワークテーブル７２の切
欠部７６は、パネル受け５８の切欠部６６に対応する位
置に形成されている。The groove 74 is formed at a portion corresponding to the edge of the liquid crystal panel 12 where the electrode group is formed, and the work table 72 functions as a vacuum chuck for vacuum-sucking the back surface of the liquid crystal panel 12. Are connected to a vacuum source (not shown). The pair of cutouts 76 are spaced from each other in the Y direction, and open to the front and back sides of the work table 72 and to the side. The notch 76 of the work table 72 is formed at a position corresponding to the notch 66 of the panel receiver 58.
【００４３】端縁受け７８は、パネル受け面の下方側の
端縁部に複数のねじ部材により取り付けられており、ま
たＸ方向へ間隔をおいている。このため、ワークテーブ
ル７２に載置された液晶パネル１２は、ワークテーブル
７２のパネル受け面が傾斜していても、下端縁が端縁受
け７８に当接し、それによりワークテーブル７２から落
下することを防止される。The edge receiver 78 is attached to the lower edge of the panel receiving surface by a plurality of screw members, and is spaced apart in the X direction. For this reason, even when the panel receiving surface of the work table 72 is inclined, the lower edge of the liquid crystal panel 12 placed on the work table 72 abuts on the edge receiver 78, thereby dropping from the work table 72. Is prevented.
【００４４】ワークテーブル７２は、また、液晶パネル
１２をワークテーブル７２に対して位置決める一対のス
トッパ８２をＸ方向の一方の端縁部と上側の端縁部との
それぞれに有する。対をなすストッパ８２は、パネル受
け面の対応する端縁部にねじ部材により取り付けられて
おり、また対応する端縁部の方向に間隔をおいている。The work table 72 also has a pair of stoppers 82 for positioning the liquid crystal panel 12 with respect to the work table 72, at one end in the X direction and at the upper end. A pair of stoppers 82 are attached to corresponding edges of the panel receiving surface by screw members and are spaced in the direction of the corresponding edges.
【００４５】ワークテーブル７２は、さらに、液晶パネ
ル１２をストッパ８２に押圧するプッシャー機構８４を
Ｘ方向の他方の端縁部とＹ方向の下側の端縁部とのそれ
ぞれに有する。図示の例では、２つのプッシャー機構８
４が下側の端縁部の中央にＸ方向に間隔をおいて配置さ
れており、また１つのプッシャー機構８４がＸ方向の他
端縁部の中央に配置されている。The work table 72 further has a pusher mechanism 84 for pressing the liquid crystal panel 12 against the stopper 82 at each of the other edge in the X direction and the lower edge in the Y direction. In the illustrated example, two pusher mechanisms 8 are provided.
4 are arranged in the center of the lower edge at intervals in the X direction, and one pusher mechanism 84 is arranged at the center of the other edge in the X direction.
【００４６】各プッシャー機構８４は、検査ステージ５
４に支持。された逆転可能の回転機構８６と、該回転機
構により液晶パネル１２に垂直の方向（Ｚ方向）へ伸び
る軸線の周りに角度的に回転されて液晶パネル１２を押
す揺動体８８とを備える。Each pusher mechanism 84 is connected to the inspection stage 5
Supported by 4. And a rocking body 88 that is angularly rotated about an axis extending in a direction perpendicular to the liquid crystal panel 12 (Z direction) by the rotating mechanism and pushes the liquid crystal panel 12.
【００４７】各回転機構８６は、その出力回転軸がＺ方
向へ伸びるように、ワークテーブル７２に支持されてい
る。各回転機構８６として、回転式のシリンダ機構、回
転式のソレノイド機構、電動機等を用いることができ
る。Each rotation mechanism 86 is supported by the work table 72 so that its output rotation shaft extends in the Z direction. As each rotation mechanism 86, a rotary cylinder mechanism, a rotary solenoid mechanism, an electric motor, or the like can be used.
【００４８】各揺動体８８は、一端部において回転機構
８６の出力回転軸に取り付けられたアーム８８ａと、該
アームの他端部にワークテーブル７２のパネル受け面か
らＺ方向へわずかに突出する状態に取り付けられたピン
８８ｂとで構成することができる。Each of the rocking members 88 has an arm 88a attached at one end to the output rotation shaft of the rotation mechanism 86, and a state in which the other end of the arm slightly projects from the panel receiving surface of the work table 72 in the Z direction. And a pin 88b attached to the main body.
【００４９】各プッシャー機構８４は、回転機構８６が
一方向へ所定の角度回転することにより、揺動体８８が
一方向に所定角度回転されて、液晶パネル１２を対応す
るストッパ８２に押し、回転機構８６が所定の角度逆転
することにより、揺動体８８が所定角度逆回転されて、
対応するストッパ８２への液晶パネル１２の押圧を解除
する。Each pusher mechanism 84 rotates the rocking body 88 by a predetermined angle in one direction when the rotation mechanism 86 rotates by a predetermined angle in one direction, and pushes the liquid crystal panel 12 against the corresponding stopper 82 to rotate the rocker 88. 86 is rotated by a predetermined angle, whereby the rocking body 88 is rotated by a predetermined angle,
The pressing of the liquid crystal panel 12 on the corresponding stopper 82 is released.
【００５０】基台３４は、両搬送装置５６のための細長
い一対の支持板９０を支持している。両支持板９０は、
両ステージ５２，５４を間にしてＹ方向へ間隔をおいて
おり、また幅方向がＺ方向となりかつ受け渡し位置から
検査位置にＸ方向へ平行に伸びるように基台３４に組み
付けられている。The base 34 supports a pair of slender support plates 90 for both transfer devices 56. Both support plates 90 are
The two stages 52 and 54 are spaced from each other in the Y direction, and are attached to the base 34 so that the width direction is the Z direction and extends from the delivery position to the inspection position in the X direction in parallel.
【００５１】各支持板９０の上部には、細長い一対のレ
ールベース９２がＺ方向へ間隔をおいて取り付けられて
いる。全てのレールベース９２は、Ｘ方向へ平行に伸び
ている。各レールベース９２には、Ｘ方向へ伸びるレー
ル９４が取り付けられている。基台３４から遠い一対の
レール９４は基台３４から遠い第１の搬送装置５６を受
けるために用いられ、基台３４に近い一対のレール９４
は基台３４に近い第２の搬送装置５６を受けるために用
いられる。A pair of elongated rail bases 92 are mounted on each support plate 90 at an interval in the Z direction. All the rail bases 92 extend parallel to the X direction. Each rail base 92 is provided with a rail 94 extending in the X direction. A pair of rails 94 far from the base 34 are used to receive the first transport device 56 far from the base 34, and a pair of rails 94 near the base 34.
Is used to receive the second transfer device 56 near the base 34.
【００５２】各搬送装置５６は、図８〜図１６に示すよ
うに、パネル受け５８およびワークテーブル７２を受け
入れることができる開口を有するコ字状の第１のスライ
ダ９６と、第１のスライダ９６にＹ方向へ間隔をおいて
支持された細長い一対の第２のスライダ９８と、第１の
スライダ９６を往復移動させる第１の駆動機構１００
と、各第２のスライダ９８にＸ方向へ間隔をおいて配置
された複数のホルダ１０２と、ホルダ１０２を液晶パネ
ル１２と平行の面内でＹ方向へ変位させる複数の第２の
駆動機構１０４とを備える。As shown in FIGS. 8 to 16, each transport device 56 has a U-shaped first slider 96 having an opening capable of receiving the panel receiver 58 and the work table 72, and a first slider 96. , A pair of elongated second sliders 98 supported at intervals in the Y direction, and a first drive mechanism 100 for reciprocating the first slider 96.
A plurality of holders 102 arranged at intervals in the X direction on each second slider 98; and a plurality of second drive mechanisms 104 for displacing the holders 102 in the Y direction within a plane parallel to the liquid crystal panel 12. And
【００５３】第１のスライダ９６は、複数のガイド１０
６によりレール９４にＸ方向へ移動可能に支持されてお
り、また第１の駆動機構１００により両ステージ５２，
５４間を往復移動される。第２のスライダ９８は、受け
渡しステージ５２および検査ステージ５４を間にしてＸ
方向へ平行に伸びている。両スライダ９６，９８は、ガ
イド１０６とともに、移動台として作用する。しかし、
第２のスライダ９８を省略して、ホルダ１０２を第１の
スライダ９６に配置してもよい。The first slider 96 includes a plurality of guides 10.
6 is supported by a rail 94 so as to be movable in the X direction, and both stages 52,
It is reciprocated between 54. The second slider 98 moves the transfer stage 52 and the inspection stage 54 between
Extending parallel to the direction. The sliders 96 and 98 work together with the guide 106 as a moving table. But,
The second slider 98 may be omitted, and the holder 102 may be disposed on the first slider 96.
【００５４】各第１の駆動機構１００は、一方のレール
ベース９２の両端部にＺ軸線の周りに回転可能に配置さ
れた一対のプーリ１１０と、両プーリ１１０に巻き掛け
られた無端ベルト１１２と、一方のプーリ１１０を回転
させる駆動原１１４とを備え、無端ベルト１１２を第１
のスライダ９６に連結している。Each of the first driving mechanisms 100 includes a pair of pulleys 110 disposed at both ends of one rail base 92 so as to be rotatable around the Z axis, and an endless belt 112 wound around the two pulleys 110. , A driving source 114 for rotating one of the pulleys 110, and the endless belt 112
Of the slider 96.
【００５５】各駆動機構１００は、駆動源１１４が正転
されることにより、第１のスライダ９６を受け渡し位置
から検査位置へ移動させ、駆動源１１４が逆転されるこ
とにより、第１のスライダ９６を検査位置から受け渡し
位置へ移動させる。タイミングベルトを無端ベルト１１
２として用いることができ、この場合プーリ１１０とし
てタイミングプーリが用いられる。Each drive mechanism 100 moves the first slider 96 from the transfer position to the inspection position when the drive source 114 is rotated forward, and rotates the first slider 96 when the drive source 114 is rotated reversely. Is moved from the inspection position to the delivery position. Endless belt 11 for timing belt
The timing pulley 110 is used as the pulley 110 in this case.
【００５６】各ホルダ１０２は、図６に示すように、液
晶パネルの端縁を受け入れる凹所を有しており、また対
応する第２の駆動機構１０４により凹所を内側の向けた
状態に第２のスライダ９８に支持されている。各ホルダ
１０２は、パネル受け５８およびワークテーブル７２の
切欠部６６および７６に対応する位置に維持されてい
る。一方の第２のスライダ９８に配置されたホルダ１０
２と他方の第２のスライダ９８に配置されたホルダ１０
２とは、凹所を対向させている。As shown in FIG. 6, each holder 102 has a recess for receiving the edge of the liquid crystal panel, and the second drive mechanism 104 moves the recess so that the recess faces inward. 2 is supported by the second slider 98. Each holder 102 is maintained at a position corresponding to the notches 66 and 76 of the panel receiver 58 and the work table 72. Holder 10 arranged on one second slider 98
2 and the holder 10 arranged on the other second slider 98
2, the recesses are opposed to each other.
【００５７】各第２の駆動機構１０４は、図示の例で
は、エアーシリンダのような流体圧シリンダ機構を駆動
源として備えており、またシリンダ部において第２のス
ライダ９８に取り付けられており、さらにホルダ１０２
を組付具によりロッド部１０４ｂに取り付けている。In the illustrated example, each second drive mechanism 104 includes a fluid pressure cylinder mechanism such as an air cylinder as a drive source, and is attached to a second slider 98 in a cylinder portion. Holder 102
Is attached to the rod portion 104b by an assembling tool.
【００５８】組付具は、図６に示すように、第２の駆動
機構１０４のロッド部１０４ｂに取り付けられた組付ブ
ロック１１６と、ブロック１１６からＺ方向へ伸びてホ
ルダ１０２をＺ方向へ変位可能に受ける軸１１８と、ブ
ロック１１６とホルダ１０２との間に配置されてホルダ
１０２をロッド部１０４ｂから離れる方向へ付勢する弾
性体１２０とを備える。As shown in FIG. 6, the assembling tool includes an assembling block 116 attached to the rod portion 104b of the second drive mechanism 104 and a holder 102 extending from the block 116 in the Z direction to displace the holder 102 in the Z direction. It includes a shaft 118 that can be received as possible, and an elastic body 120 that is arranged between the block 116 and the holder 102 and urges the holder 102 in a direction away from the rod portion 104b.
【００５９】軸１１８は、ホルダ１０２の脱落を防止す
るフランジ部をブロック１１６と反対の側の端部に有す
る。弾性体１２０は、図示の例では、軸１１８に配置さ
れた圧縮コイルばねであるが、ゴムのような他の弾性体
であってもよい。各ホルダ１０２は、液晶パネル１２を
損傷することを防止するための緩衝材１２２をコ字状の
内側面に設けている。The shaft 118 has a flange at the end opposite to the block 116 for preventing the holder 102 from falling off. The elastic body 120 is a compression coil spring disposed on the shaft 118 in the illustrated example, but may be another elastic body such as rubber. Each holder 102 is provided with a cushioning member 122 for preventing the liquid crystal panel 12 from being damaged on the U-shaped inner surface.
【００６０】次に、図８〜図１５参照して、受け渡しス
テージ５２および搬送装置５６の動作を説明する。Next, the operation of the transfer stage 52 and the transfer device 56 will be described with reference to FIGS.
【００６１】待機時、たとえば図８に示すように、各搬
送装置５６は、受け渡し位置に移動されており、またホ
ルダ１０２をパネル受け５８に対する液晶パネル１２の
受け渡しを妨げない位置に後退させている。受け渡しス
テージ５２は、両シリンダ機構６０を伸長させてパネル
受け５８を基台３４から遠い（高い側の）第１の搬送装
置５６のホルダ１０２のＺ方向における位置（高さ位
置）と一致する位置に変位させている。At the time of standby, for example, as shown in FIG. 8, each transfer device 56 has been moved to the transfer position, and the holder 102 has been retracted to a position where the transfer of the liquid crystal panel 12 to the panel receiver 58 is not hindered. . The transfer stage 52 extends the both cylinder mechanisms 60 to move the panel receiver 58 to a position (height position) in the Z direction of the holder 102 of the first transfer device 56 far from the base 34 (on the higher side) in the Z direction. Is displaced.
【００６２】検査すべき液晶パネル１２は、受け渡しス
テージ５２および搬送装置５６が上記の状態において、
人手により受け渡しステージ５２のパネル受け５８に配
置される。このとき、液晶パネル１２は、位置決め部６
４により形成される空間に嵌合されることにより、パネ
ル受け５８に対して位置決められる。The liquid crystal panel 12 to be inspected is placed in a state where the transfer stage 52 and the transfer device 56 are in the above state.
It is arranged on the panel receiver 58 of the transfer stage 52 by hand. At this time, the liquid crystal panel 12 is
4 is positioned with respect to the panel receiver 58 by being fitted into the space formed by the panel receiver 58.
【００６３】次いで、第１の搬送装置５６が作動してホ
ルダ１０２が第２の駆動機構１０４により内側に向けて
（相寄る方向へ）移動される。これにより、液晶パネル
１２は、図９に示すように、Ｙ方向の端縁部を第１の搬
送装置５６のホルダ１０２の凹所に受け入れられる。こ
のとき、各ホルダ１０２は、その一部をパネル受け５８
の切欠部６６に受け入れられるから、液晶パネル１２の
端縁部を安全かつ確実に受け入れる。Next, the first transfer device 56 is operated, and the holder 102 is moved inward (toward each other) by the second drive mechanism 104. As a result, the liquid crystal panel 12 receives the edge in the Y direction in the recess of the holder 102 of the first transfer device 56 as shown in FIG. At this time, each holder 102 has a part thereof
Of the liquid crystal panel 12 can be safely and reliably received.
【００６４】次いで、図１０に示すように、シリンダ機
構６２が収縮されて、パネル受け５８が基台３４に近い
（低い側の）第２の搬送装置５６のホルダ１０２の位置
へＺ軸線に沿って下降される。これにより、液晶パネル
１２は、第１の搬送装置５６に渡され、搬送装置５６に
傾斜した状態に維持される。Next, as shown in FIG. 10, the cylinder mechanism 62 is contracted, and the panel receiver 58 is moved along the Z-axis to the position of the holder 102 of the second transfer device 56 close to the base 34 (lower side). And descend. As a result, the liquid crystal panel 12 is transferred to the first transfer device 56 and is maintained in a state of being inclined by the transfer device 56.
【００６５】次いで、第１の搬送装置５６が対応する駆
動機構１００により検査位置に向けて移動される。これ
により、図１１に示すように、第２の搬送装置５６が受
け渡し位置に残る。また、液晶パネル１２は、その下側
の端縁を下側のホルダ１０２の凹所の奥面に当接させた
状態で搬送される。これにより、液晶パネル１２は、粗
アライメントをされた状態に維持される。Next, the first transfer device 56 is moved toward the inspection position by the corresponding drive mechanism 100. As a result, as shown in FIG. 11, the second transfer device 56 remains at the transfer position. Further, the liquid crystal panel 12 is conveyed in a state where its lower edge is in contact with the inner surface of the recess of the lower holder 102. As a result, the liquid crystal panel 12 is maintained in a state of being roughly aligned.
【００６６】第１の搬送装置５６により検査位置に搬送
された未検査の液晶パネルは、後に説明するように、検
査ステージ５４のワークテーブル７２がＺ軸線に沿って
上昇され、次いで第１の搬送装置５６のホルダ１０２が
液晶パネルの点灯検査を妨げない位置に後退されること
により、第１の搬送装置５６から検査ステージ５４に渡
されて、点灯検査をされる。検査の終了した液晶パネル
は、第１の搬送装置５６のホルダ１２に受けられる。The uninspected liquid crystal panel transported to the inspection position by the first transport device 56 has the work table 72 of the inspection stage 54 raised along the Z-axis, as will be described later. When the holder 102 of the device 56 is retracted to a position that does not hinder the lighting inspection of the liquid crystal panel, the holder 102 is transferred from the first transfer device 56 to the inspection stage 54 and subjected to the lighting inspection. The liquid crystal panel after the inspection is received by the holder 12 of the first transfer device 56.
【００６７】未検査の液晶パネルが第１の搬送装置５６
により検査位置に搬送され、その液晶パネルが点灯検査
を受けている間、未検査の新たな液晶パネル１２が図１
１に示すように受け渡しステージ５２のパネル受け５８
に配置され、第２の搬送装置５６のホルダ１０２が図１
２に示すように前進され、その後シリンダ機構６０が図
１３に示すように収縮される。これにより、新たな液晶
パネル１２が図１３に示すように第２の搬送装置５６に
受けられる。The uninspected liquid crystal panel is transferred to the first transfer device 56.
While the liquid crystal panel is conveyed to the inspection position and the liquid crystal panel is subjected to the lighting inspection, a new uninspected liquid crystal panel 12 is
As shown in FIG. 1, the panel receiver 58 of the transfer stage 52
And the holder 102 of the second transfer device 56
2 and then the cylinder mechanism 60 is contracted as shown in FIG. Thus, the new liquid crystal panel 12 is received by the second transfer device 56 as shown in FIG.
【００６８】次いで、検査済みの液晶パネルが第１の搬
送装置５６により受け渡し位置に戻されるとともに、新
たな液晶パネルが第２の搬送装置５６により検査位置に
搬送される。Next, the inspected liquid crystal panel is returned to the delivery position by the first transport device 56, and a new liquid crystal panel is transported to the inspection position by the second transport device 56.
【００６９】検査済みの液晶パネルが受け渡し位置に搬
送されると、先ずパネル受け５８が両シリンダ機構６
０，６２により第１の搬送装置５６のホルダ１０２の高
さ位置にＺ軸線に沿って上昇され、次いで第１の搬送装
置５６のホルダ１０２がパネル受け５８に対する液晶パ
ネルの受け渡しを妨げない位置に後退される。これによ
り、検査済みの液晶パネルがパネル受け５８に渡され
る。When the inspected liquid crystal panel is transported to the transfer position, first, the panel receiver 58 is moved to both cylinder mechanisms 6.
0, 62, the position is raised along the Z-axis to the height position of the holder 102 of the first transfer device 56, and then the holder 102 of the first transfer device 56 is moved to a position where the transfer of the liquid crystal panel to the panel receiver 58 is not hindered. Be retreated. Thus, the inspected liquid crystal panel is delivered to the panel receiver 58.
【００７０】次いで、パネル受け５８上の検査済みの液
晶パネルがパネル受け５８から取り除かれ、未検査の新
たな液晶パネルがパネル受け５８に配置される。このと
きの液晶パネルの受け渡しも、人手により行われる。Next, the inspected liquid crystal panel on the panel receiver 58 is removed from the panel receiver 58, and a new untested liquid crystal panel is placed in the panel receiver 58. The delivery of the liquid crystal panel at this time is also performed manually.
【００７１】第２の搬送装置５６により検査位置に搬送
された液晶パネルは、上記と同様にして検査ステージ５
４に渡され、点灯検査を受け、その後第２の搬送装置５
６に戻される。The liquid crystal panel transferred to the inspection position by the second transfer device 56 is moved to the inspection stage 5 in the same manner as described above.
4 and subjected to the lighting inspection, and then the second transport device 5
Returned to 6.
【００７２】その後は、一方の搬送装置による検査済み
の液晶パネルの搬送と、他方の搬送装置による未検査の
液晶パネルの搬送とが同期して繰り返され、その間に液
晶パネルの点灯検査が行われる。Thereafter, the transport of the inspected liquid crystal panel by one transport device and the transport of the uninspected liquid crystal panel by the other transport device are synchronously repeated, during which the lighting inspection of the liquid crystal panel is performed. .
【００７３】上記のように、一方の搬送装置による受け
渡しステージへの液晶パネルの搬送と、他方の搬送装置
による検査ステージへの未検査液晶パネルの搬送とを並
行して行うことにより、搬送装置の移動による時間的な
無駄が著しく少なくなる。なお、パネル受け５８への未
検査の液晶パネルの配置、および、パネル受け５８から
の検査済みの液晶パネルの除去は、機械的に行ってもよ
い。As described above, the transfer of the liquid crystal panel to the transfer stage by one of the transfer devices and the transfer of the untested liquid crystal panel to the inspection stage by the other transfer device are performed in parallel. The time waste due to the movement is significantly reduced. The placement of the untested liquid crystal panel in the panel receiver 58 and the removal of the tested liquid crystal panel from the panel receiver 58 may be performed mechanically.
【００７４】次に、図１４〜図１７を参照して、検査ス
テージ５４と搬送装置５６との間の液晶パネルの受け渡
しを説明する。Next, with reference to FIGS. 14 to 17, the transfer of the liquid crystal panel between the inspection stage 54 and the transfer device 56 will be described.
【００７５】搬送装置５６が検査位置に移動された状態
において、未検査の液晶パネル１２は、図１４に示すよ
うに、搬送装置５６によりＺ方向におけるワークテーブ
ル７２の高さ位置より上方に維持されている。In a state where the transfer device 56 is moved to the inspection position, the untested liquid crystal panel 12 is maintained by the transfer device 56 above the height position of the work table 72 in the Z direction, as shown in FIG. ing.
【００７６】上記状態において、先ず、図１５に示すよ
うに、ワークテーブル７２のパネル受け面がＺ方向にお
けるホルダ１０２の高さ位置になるまで、ワークテーブ
ル７２が検査ステージ５４のＺステージによりＺ軸線に
沿って上昇され、液晶パネル１２を真空吸着する。In the above state, first, as shown in FIG. 15, the work table 72 is moved by the Z stage of the inspection stage 54 until the panel receiving surface of the work table 72 reaches the height position of the holder 102 in the Z direction. And the liquid crystal panel 12 is vacuum-sucked.
【００７７】次いで、搬送装置５６のホルダ１０２が、
図１６に示すように、点灯検査を妨げない位置に後退さ
れる。これにより、液晶パネル１２は、ワークテーブル
７２に完全に渡される。Next, the holder 102 of the transfer device 56
As shown in FIG. 16, it is retracted to a position where the lighting inspection is not hindered. Thus, the liquid crystal panel 12 is completely transferred to the work table 72.
【００７８】次いで、液晶パネル１２に形成された位置
合わせマークが位置合わせ用テレビカメラ５０により撮
影され、その出力信号を基に位置合わせマークが所定の
座標位置となるようにワークテーブル７２が検査ステー
ジ５４の各ステージにより変位される。これにより、プ
ローブユニット４０に対する液晶パネル１２の精密アラ
イメントが行われる。Next, the alignment mark formed on the liquid crystal panel 12 is photographed by the alignment television camera 50, and the work table 72 is set on the inspection stage based on the output signal so that the alignment mark is at a predetermined coordinate position. It is displaced by each of the 54 stages. Thus, precise alignment of the liquid crystal panel 12 with respect to the probe unit 40 is performed.
【００７９】次いで、図１７に示すように、ワークテー
ブル７２が検査ステージ５４のＺステージによりさらに
Ｚ軸に沿って上昇され、それにより液晶パネル１２の電
極部がプローブユニット４０のプローブ４８に押圧され
る。Next, as shown in FIG. 17, the work table 72 is further raised along the Z axis by the Z stage of the inspection stage 54, whereby the electrodes of the liquid crystal panel 12 are pressed by the probes 48 of the probe unit 40. You.
【００８０】次いで、バックライトユニット８０が点灯
された状態で、液晶パネルに通電される。これにより、
液晶パネル１２が所定のパターンに点灯されるから、液
晶パネル１２の良否が点灯状態の正否を確認することに
より判定される。点灯状態の正否は、作業者の目視によ
り確認される。Next, the liquid crystal panel is energized while the backlight unit 80 is turned on. This allows
Since the liquid crystal panel 12 is lit in a predetermined pattern, the quality of the liquid crystal panel 12 is determined by checking whether the lit state is correct. Whether the lighting state is correct or not is visually confirmed by an operator.
【００８１】点灯検査が終了すると、ワークテーブル７
２のパネル受け面がＺ方向におけるホルダ１０２の高さ
位置になるまでワークテーブル７２がＺ軸線に沿って下
げられ、ホルダ１０２が前進され、液晶パネルがワーク
テーブルの真空吸着から開放され、その後ワークテーブ
ルがさらにＺ軸線に沿って下降される。これにより、液
晶パネル１２は、ホルダ１０２に受けられる。When the lighting inspection is completed, the work table 7
The work table 72 is lowered along the Z axis until the panel receiving surface 2 is at the height of the holder 102 in the Z direction, the holder 102 is advanced, and the liquid crystal panel is released from the vacuum suction of the work table. The table is lowered further along the Z axis. Thus, the liquid crystal panel 12 is received by the holder 102.
【００８２】上記のように、ワークテーブル７２とホル
ダ１０２とが相対的に移動されるとき、各ホルダ１０２
の一部がワークテーブル７２に形成された切欠部７６に
受け入れられるから、ワークテーブル７２とホルダ１０
２との相対的移動が妨げられず、両者の間の液晶パネル
の受け渡しが確実に行われる。As described above, when the work table 72 and the holder 102 are relatively moved, each holder 102
Of the work table 72 and the holder 10 are received in the cutouts 76 formed in the work table 72.
The relative movement with the liquid crystal panel 2 is not hindered, and the transfer of the liquid crystal panel between the two is reliably performed.
【００８３】次に、図７および図１８を参照して、プッ
シャー機構８４によるワークテーブル７２上における液
晶パネル１２のアライメントと、ホルダ１０２からワー
クテーブル７２への液晶パネル１２の受け渡しの詳細に
ついて説明する。Next, the alignment of the liquid crystal panel 12 on the work table 72 by the pusher mechanism 84 and the transfer of the liquid crystal panel 12 from the holder 102 to the work table 72 will be described in detail with reference to FIGS. .
【００８４】先ず、図１８（Ａ）に示すように、液晶パ
ネル１２がホルダ１０２によりＺ方向におけるワークテ
ーブル７２の高さ位置より上方に維持されている状態
で、ワークテーブル７２が液晶パネル１２と接触するま
で上昇される。First, as shown in FIG. 18A, while the liquid crystal panel 12 is maintained above the height position of the work table 72 in the Z direction by the holder 102, the work table 72 is Raised until touched.
【００８５】次いで、図１８（Ａ）に示すように、各プ
ッシャー機構８４が動作して液晶パネル１２をストッパ
８２に向けて変位させる。すなわち、液晶パネル１２が
図７に実線で示す位置から同図に２点鎖線で示す位置へ
移動され、その液晶パネル１２の隣り合う２つの端縁が
ストッパ８２に当接される。Next, as shown in FIG. 18A, each pusher mechanism 84 operates to displace the liquid crystal panel 12 toward the stopper 82. That is, the liquid crystal panel 12 is moved from the position indicated by the solid line in FIG. 7 to the position indicated by the two-dot chain line in FIG. 7, and two adjacent edges of the liquid crystal panel 12 abut on the stopper 82.
【００８６】上記の結果、受け渡しステージ５４のパネ
ル受け５８からホルダ１０２への液晶パネルの受け渡し
時、搬送装置５６による液晶パネルの搬送時、および、
ホルダ１０２からワークテーブル７２への液晶パネルの
受け渡し時に、液晶パネルの位置が多少変位しても、液
晶パネル１２は、その位置合わせマークが位置合わせ用
テレビカメラ５０の視野内に入るようにアライメントを
される。As a result, when the liquid crystal panel is transferred from the panel receiver 58 of the transfer stage 54 to the holder 102, when the liquid crystal panel is transferred by the transfer device 56, and
When transferring the liquid crystal panel from the holder 102 to the work table 72, even if the position of the liquid crystal panel is slightly displaced, the liquid crystal panel 12 is aligned so that the alignment mark falls within the field of view of the alignment television camera 50. Is done.
【００８７】次いで、ワークテーブル７２が図１８
（Ｃ）に示すようにさらにＺ軸線に沿って上昇される。
これにより、液晶パネル１２は、ワークテーブル７２に
受けられる。Next, the work table 72 is shown in FIG.
As shown in (C), it is further raised along the Z-axis.
Thus, the liquid crystal panel 12 is received on the work table 72.
【００８８】次いで、ワークテーブル７２が、図１８
（Ｄ）に示すよう、ホルダ１０２を弾性体１２０の力に
抗して上昇させる位置に上昇され、その状態で液晶パネ
ル１２がワークテーブル７２に真空吸着される。これに
より、液晶パネル１２は、ワークテーブル７２に押圧さ
れた状態で、ワークテーブル７２に真空吸着されるか
ら、ワークテーブル７２に確実に保持される。Next, the work table 72 is displayed as shown in FIG.
As shown in (D), the holder 102 is raised to a position where the holder 102 is raised against the force of the elastic body 120, and in this state, the liquid crystal panel 12 is vacuum-sucked to the work table 72. As a result, the liquid crystal panel 12 is vacuum-sucked to the work table 72 in a state where the liquid crystal panel 12 is pressed against the work table 72, so that the liquid crystal panel 12 is securely held on the work table 72.
【００８９】次いで、図１８（Ｅ）に示すようにワーク
テーブル７２がＺ軸線に沿ってわずかに下げられ、次い
で図１８（Ｆ）に示すようにホルダ１０２が点灯検査の
妨げにならない位置へ後退される。Next, as shown in FIG. 18 (E), the work table 72 is slightly lowered along the Z axis, and then, as shown in FIG. 18 (F), the holder 102 is retracted to a position where it does not hinder the lighting inspection. Is done.
【００９０】検査済みの液晶パネルをワークテーブル７
２からホルダ１０２に渡すときは、上記と逆の動作が図
１８（Ｆ），（Ｃ），（Ｂ）および（Ａ）の順に行われ
る。この場合、プッシャー機構８４が元の状態に戻ると
き、ワークテーブル７２の上面が傾斜していることに起
因して、液晶パネルがワークテーブル７２およびホルダ
１０２に対し変位し、液晶パネルはその下側の端縁を下
側のホルダ１０２の凹所の奥面に当接する。The inspected liquid crystal panel is placed on the work table 7
When the transfer is made from No. 2 to the holder 102, the reverse operation is performed in the order of FIGS. 18 (F), (C), (B) and (A). In this case, when the pusher mechanism 84 returns to the original state, the liquid crystal panel is displaced with respect to the work table 72 and the holder 102 due to the upper surface of the work table 72 being inclined, and the liquid crystal panel is moved downward. Is in contact with the inner surface of the recess of the lower holder 102.
【００９１】ホルダ１０２は、液晶パネル１２と接触し
た状態で前進または後退される。しかし、このとき、各
ホルダ１０２の凹所に配置された緩衝材１２２は、擦り
傷が液晶パネル１２に形成されることを防止する。The holder 102 moves forward or backward in contact with the liquid crystal panel 12. However, at this time, the cushioning members 122 arranged in the recesses of the holders 102 prevent scratches from being formed on the liquid crystal panel 12.
【００９２】なお、両第２のスライダ９８を相寄り相離
れる方向（Ｙ方向）へ移動可能に第１のスライダ９６に
支持させ、ホルダ１０２を第２のスライダ９８に取り付
け、両第２のスライダ９８を駆動機構により相寄り相離
れる方向へ同期して移動させることにより、ホルダによ
る液晶パネルの把持およびその解除をするようにしても
よく、また両第２のホルダ９８の最大間隔を検査すべき
液晶パネルの大きさに応じて調整するようにしてもよ
い。The two sliders 98 are supported by the first slider 96 so as to be movable in the direction (Y direction) away from each other, and the holder 102 is attached to the second slider 98. The liquid crystal panel may be gripped and released by the holders by synchronizing the movement of the liquid crystal panel 98 in directions that are closer to and away from each other by a driving mechanism, and the maximum distance between the second holders 98 should be inspected. The adjustment may be made according to the size of the liquid crystal panel.
【００９３】プッシャー機構８４は早くとも液晶パネル
の点灯検査が終了するまでは動作を継続しており、した
がって液晶パネル１２はストッパ８２に押圧されてい
る。このため、液晶パネルの大きさに対する溝７４によ
る吸着面の面積の割合が小さくても、液晶パネルが安定
に維持され、大きな液晶パネルであっても、正確に検査
することができる。また、液晶パネルをプローブユニッ
トに押圧したときに、液晶パネルに作用する押圧力、不
平衡力等に起因する液晶パネルの変位が防止される。The pusher mechanism 84 continues to operate until the lighting inspection of the liquid crystal panel is completed at the earliest, so that the liquid crystal panel 12 is pressed by the stopper 82. For this reason, even if the ratio of the area of the suction surface by the groove 74 to the size of the liquid crystal panel is small, the liquid crystal panel is stably maintained, and even a large liquid crystal panel can be accurately inspected. Further, when the liquid crystal panel is pressed against the probe unit, displacement of the liquid crystal panel due to a pressing force acting on the liquid crystal panel, unbalance force, or the like is prevented.
【００９４】図１９〜図２１に示す搬送装置１３０にお
いては、第２のスライダ９８が第１のスライダ９６に相
寄り相離れる方向へ移動可能に配置されている。第１の
スライダ９６の上面にはＹ方向へ伸びるレール１３２が
設けられており、第２のスライダ９８にはレール１３２
にその長手方向へ滑動可能に受けられた複数のガイド１
３４が設けられている。In the transfer device 130 shown in FIGS. 19 to 21, the second slider 98 is arranged so as to be movable toward and away from the first slider 96. A rail 132 extending in the Y direction is provided on the upper surface of the first slider 96, and a rail 132 is provided on the second slider 98.
Guides 1 slidably received in its longitudinal direction
34 are provided.
【００９５】第２のスライダ９８は、レール１３２とガ
イド１３４とにより第１のスライダ９６に片持ち梁状に
支持されている。このため、各第２のスライダ９８は、
Ｘ方向に間隔をおいた２箇所のそれぞれにおいてリンク
１３６により第１のスライダ９６にさらに連結されてい
る。The second slider 98 is supported in a cantilever manner on the first slider 96 by a rail 132 and a guide 134. For this reason, each second slider 98
The link 136 is further connected to the first slider 96 at each of two locations spaced in the X direction.
【００９６】各リンク１３６は、当該リンクの長手方向
へ伸びる長穴１３８を有する。各リンク１３６は、第１
の軸１４０により第２のスライダ９８に結合されている
とともに、長穴１３８にその長手方向へ移動可能に受け
入れられた第２の軸１４２により第１のスライダ９６に
結合されている。Each link 136 has an elongated hole 138 extending in the longitudinal direction of the link. Each link 136 is the first
Shaft 140 is coupled to the second slider 98 and is coupled to the first slider 96 by a second shaft 142 which is movably received in the elongated hole 138 in its longitudinal direction.
【００９７】両第２のスライダ９８が最も離されている
とき、図１９に示すように、各リンク１３６はＸ方向へ
伸びており、また第２の軸１４２は第１の軸１４０に最
も接近している。When both second sliders 98 are farthest apart, each link 136 extends in the X direction and the second shaft 142 is closest to the first shaft 140, as shown in FIG. doing.
【００９８】しかし、第２のスライダ９８を漸次接近さ
せると、リンク１３６は、第２の軸１４２が第１の軸１
４０から漸次離れるように長穴１３８に対する位置を漸
次変化させることにより、図２１に示すようにＸ方向に
対して角度を有するようになる。However, when the second slider 98 is gradually approached, the link 136 moves the second shaft 142 to the first shaft 1.
By gradually changing the position with respect to the long hole 138 so as to gradually move away from 40, an angle is formed with respect to the X direction as shown in FIG.
【００９９】このため、搬送装置１３０は、検査すべき
液晶パネル１２の大きさに応じて、第２のスライダ９８
の間隔を調整することができる。第１のスライダ９６に
対する第２のスライダ９８の位置は、複数のねじ部材１
４４により解除可能に維持することができる。各ねじ部
材１４４は、第２のスライダ９８と螺合しており、また
先端をレール１３２に当接させている。For this reason, the transport device 130 moves the second slider 98 according to the size of the liquid crystal panel 12 to be inspected.
Can be adjusted. The position of the second slider 98 with respect to the first slider 96 depends on a plurality of screw members 1.
44 allows it to be kept releasable. Each screw member 144 is screwed with the second slider 98, and has a tip abutting on the rail 132.
【０１００】各リンク１３６を、第１の軸１４０により
第２のスライダ９８に結合させかつ第２の軸１４２によ
り第１のスライダ９６に結合させる代わりに、第１の軸
１４０により第１のスライダ９６に結合させかつ第２の
軸１４２により第２のスライダ９８に結合さてもよい。Instead of connecting each link 136 to the second slider 98 by the first shaft 140 and to the first slider 96 by the second shaft 142, the first slider 140 96 and to a second slider 98 by a second shaft 142.
【０１０１】本発明は、上記実施例に限定されない。た
とえば、本発明は、液晶パネルを作業者の目視により検
査する目視検査装置のみならず、テレビカメラのような
適宜な撮像手段を用いてその出力信号を基にコンピュー
タにより検査する自動検査装置にも適用することができ
る。また駆動機構としてのシリンダ機構の代わりに、ソ
レノイドを用いたプランジャー機構を用いてもよい。The present invention is not limited to the above embodiment. For example, the present invention is applicable not only to a visual inspection apparatus that inspects a liquid crystal panel visually by an operator, but also to an automatic inspection apparatus that inspects a liquid crystal panel by a computer based on an output signal using an appropriate imaging unit such as a television camera. Can be applied. Further, a plunger mechanism using a solenoid may be used instead of the cylinder mechanism as a driving mechanism.
【０１０２】本発明は、また、液晶パネルを傾斜した状
態で検査する装置のみならず、液晶パネルを水平または
垂直の状態で検査する装置にも適用することができる
し、四角形の液晶パネルのみならず、六角形、八角形等
の他の多角形の液晶パネルにも適用することができ、さ
らには、多角形の１つの辺に設けられた電極を利用して
液晶パネルを検査する装置にも適用することができる。The present invention can be applied not only to an apparatus for inspecting a liquid crystal panel in an inclined state but also to an apparatus for inspecting a liquid crystal panel in a horizontal or vertical state. In addition, the present invention can be applied to other polygonal liquid crystal panels such as hexagons and octagons, and further to an apparatus for inspecting a liquid crystal panel using an electrode provided on one side of the polygon. Can be applied.
【図１】本発明に係る検査装置の一実施例を示す正面図
である。FIG. 1 is a front view showing an embodiment of an inspection apparatus according to the present invention.
【図２】図１の検査装置における搬送機構の部分の一実
施例を示す右側面図であってプローブユニットの部分を
断面で示す図である。FIG. 2 is a right side view showing an embodiment of a portion of a transport mechanism in the inspection apparatus of FIG. 1 and is a diagram showing a cross section of a portion of a probe unit.
【図３】図１の検査装置における搬送装置を図２におけ
る３−３線の方向から見た矢視図である。FIG. 3 is a view of the conveyance device in the inspection device of FIG. 1 as viewed from the direction of line 3-3 in FIG. 2;
【図４】ワークテーブルの一実施例を示す平面図であ
る。FIG. 4 is a plan view showing one embodiment of a work table.
【図５】図４に示すワークテーブルの正面図である。FIG. 5 is a front view of the work table shown in FIG. 4;
【図６】ホルダの近傍の一実施例を示す図である。FIG. 6 is a view showing an embodiment in the vicinity of a holder.
【図７】ワークテーブル上における液晶パネルのアライ
メントを説明するための図である。FIG. 7 is a diagram for explaining alignment of a liquid crystal panel on a work table.
【図８】搬送装置の最初のステップを示す搬送装置の側
面図である。FIG. 8 is a side view of the transfer device showing a first step of the transfer device.
【図９】搬送装置の図８に続くステップを示す側面図で
ある。FIG. 9 is a side view showing a step following the step shown in FIG. 8 of the transfer device.
【図１０】搬送装置の図９に続くステップを示す図であ
る。FIG. 10 is a view showing a step subsequent to FIG. 9 of the transport apparatus.
【図１１】搬送装置の図１０に続くステップを示す図で
ある。FIG. 11 is a view showing a step subsequent to FIG. 10 of the transport apparatus.
【図１２】搬送装置の図１１に続くステップを示す図で
ある。FIG. 12 is a view showing a step subsequent to FIG. 11 of the transport apparatus.
【図１３】搬送装置の図１２に続くステップを示す図で
ある。FIG. 13 is a view showing a step subsequent to FIG. 12 of the transport apparatus.
【図１４】搬送装置と検査ステージとの間における液晶
パネルの受け渡しを説明するための図であって最初の受
け渡しステップを示す図である。FIG. 14 is a view for explaining the transfer of the liquid crystal panel between the transfer device and the inspection stage, and is a view showing an initial transfer step.
【図１５】図１４に続く受け渡しステップを示す図であ
る。FIG. 15 is a diagram showing a delivery step following FIG. 14;
【図１６】図１５に続く受け渡しステップを示す図であ
る。FIG. 16 is a diagram showing a delivery step following FIG. 15;
【図１７】図１６に続く受け渡しステップを示す図であ
る。FIG. 17 is a diagram showing a delivery step following FIG. 16;
【図１８】液晶パネルを搬送装置から検査ステージに渡
すときの搬送装置と検査ステージとの関係を説明するた
めの図である。FIG. 18 is a diagram for explaining the relationship between the transport device and the inspection stage when transferring the liquid crystal panel from the transport device to the inspection stage.
【図１９】搬送装置の他の実施例を示す図である。FIG. 19 is a view showing another embodiment of the transport device.
【図２０】図１９に示す搬送装置に右側面図である。20 is a right side view of the transport device shown in FIG. 19;
【図２１】図９に示す搬送装置における第２のスライダ
を接近させた状態を示す平面図である。21 is a plan view showing a state in which a second slider in the transfer device shown in FIG. 9 is approached.
１０ 検査装置 １２ 液晶パネル。 ３０ 支持台 ４０ プローブユニット ５２ 受け渡しステージ ５４ 検査ステージ ５６ 搬送装置 ５８ パネル受け ６０，６２ シリンダ機構（パネル受け用の駆動手段） ６４ 位置決め部 ６６，７６ 切欠部 ７２ ワークテーブル ７８ 端縁受け ８０ バックライトユニット ８２ ストッパ ８４ プッシャー機構 ８６ 回転機構 ８８ 揺動体 ９４ レール ９６，９８ スライダ １００ スライダ用の駆動機構（第１の駆動手段） １０２ ホルダ １０４ ホルダ用の駆動機構（第２の駆動手段） １１０ プーリ １１２ 無端ベルト １１４ 駆動源 １２２ 緩衝材 １３２ レール １３４ ガイド １３６ リンク １３８ 長穴 １４０，１４２ 軸 10 Inspection device 12 Liquid crystal panel. Reference Signs List 30 support table 40 probe unit 52 delivery stage 54 inspection stage 56 transport device 58 panel receiver 60, 62 cylinder mechanism (driving means for panel reception) 64 positioning unit 66, 76 notch 72 work table 78 edge receiver 80 backlight unit 82 Stopper 84 Pusher mechanism 86 Rotary mechanism 88 Oscillator 94 Rail 96, 98 Slider 100 Slider drive mechanism (first drive means) 102 Holder 104 Holder drive mechanism (second drive means) 110 Pulley 112 Endless belt 114 Drive source 122 Buffer material 132 Rail 134 Guide 136 Link 138 Slot 140, 142 Axis
Claims (6)
受け渡しステージと、該受け渡しステージから離れた検
査位置に配置された検査ステージと、液晶パネルを両ス
テージに対し搬送する少なくとも２つの搬送装置とを含
み、各搬送装置は、両ステージ間を往復移動可能の移動
台と、該移動台を往復移動させる第１の駆動手段と、液
晶パネルの端縁を受け入れる凹所を有する少なくとも一
対のホルダであって前記凹所を対向させた状態に前記移
動台に間隔をおいて配置されたホルダと、該ホルダを液
晶パネルと平行の面内で相寄り相離れる方向へ変位させ
る第２の駆動手段とを備える、液晶パネルの検査装置。1. A transfer stage disposed at a transfer position of a liquid crystal panel, an inspection stage disposed at an inspection position remote from the transfer stage, and at least two transfer devices for transferring the liquid crystal panel to both stages. Each of the transfer devices includes a movable table that can reciprocate between the two stages, first driving means for reciprocating the movable table, and at least one pair of holders having a recess for receiving an edge of the liquid crystal panel. And a second driving means for displacing the holder in a direction parallel to and separated from the holder in a plane parallel to the liquid crystal panel with the concave portion facing the movable table. Equipped with a liquid crystal panel inspection device.
けるパネル受けを備え、前記検査ステージは液晶パネル
を受けるワークテーブルを備え、前記パネル受けおよび
前記ワークテーブルのそれぞれは、液晶パネルの対向す
る一対の縁部に対応する各部位に形成された切欠部であ
ってそれらが液晶パネルにほぼ垂直の方向へ変位された
ときおよび前記ホルダが相寄る方向へ移動されたとき、
該ホルダの一部を受け入れる切欠部を有する、請求項１
に記載の検査装置。2. The transfer stage includes a panel receiver that receives a liquid crystal panel, the inspection stage includes a work table that receives the liquid crystal panel, and each of the panel receiver and the work table includes a pair of opposite edges of a liquid crystal panel. Notches formed in each part corresponding to the part, when they are displaced in a direction substantially perpendicular to the liquid crystal panel and when the holder is moved in a direction approaching,
2. A notch for receiving a part of the holder.
The inspection device according to item 1.
方向へ間隔をおいており、前記受け渡しステージおよび
前記検査ステージはそれぞれ前記パネル受けおよびワー
クテーブルを液晶パネルにほぼ垂直の方向へ変位させる
変位手段を有する、請求項２に記載の検査装置。3. The transfer device is spaced apart in a direction substantially perpendicular to the liquid crystal panel, and the transfer stage and the inspection stage respectively displace the panel receiver and the work table in a direction substantially perpendicular to the liquid crystal panel. The inspection device according to claim 2, further comprising a means.
り前記両ステージ間を移動されるスライダであって前記
パネル受けおよび前記ワークテーブルを受け入れること
ができる開口を有する第１のスライダと、該第１のスラ
イダに相寄り相離れる方向へ移動可能に配置されかつ前
記開口を間にして平行に伸びる一対の第２のスライダ
と、前記第１のスライダに対する前記第２のスライダの
位置を調整する調整手段とを備え、前記ホルダは前記第
２のスライダに配置されている、請求項１，２または３
に記載の検査装置。4. A first slider, which is a slider that is moved between the two stages by the first driving means and has an opening that can receive the panel receiver and the work table; A pair of second sliders movably disposed in directions away from and adjacent to the first slider and extending in parallel with the opening therebetween; and adjusting a position of the second slider with respect to the first slider. 4. An adjusting means, wherein the holder is arranged on the second slider.
The inspection device according to item 1.
前記第１のスライダに連結されており、各リンクは第１
の軸により前記第１および第２のスライダの一方に結合
されているとともに、当該リンクに形成されて当該リン
クの長手方向へ伸びる長穴に移動可能に受け入れられた
第２の軸により前記第１および第２のスライダの他方に
結合されている、請求項４に記載の検査装置。5. Each of the second sliders is connected to the first slider by a pair of links, and each link is a first link.
A second shaft coupled to one of the first and second sliders and movably received in a long hole formed in the link and extending in a longitudinal direction of the link. The inspection device according to claim 4, wherein the inspection device is coupled to the other of the second slider and the second slider.
晶パネルにほぼ垂直の方向へ変位可能に受ける受け部材
と、前記ホルダを相寄り相離れる方向へ移動させるべく
前記受け部材を移動させる駆動機構と、該駆動機構と前
記ホルダとの間に配置されて前記ホルダを前記駆動機構
から離れる方向へ付勢する弾性体とを備える、請求項２
または３に記載の検査装置。6. The second drive means receives the holder so as to be displaceable in a direction substantially perpendicular to the liquid crystal panel, and moves the receiving member so as to move the holder in a direction close to and away from the holder. 3. A driving mechanism, comprising: a resilient member disposed between the driving mechanism and the holder to bias the holder in a direction away from the driving mechanism.
Or the inspection device according to 3.
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