JPH1114700A - Characteristic test machine for ic socket - Google Patents
Characteristic test machine for ic socketInfo
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- JPH1114700A JPH1114700A JP9162975A JP16297597A JPH1114700A JP H1114700 A JPH1114700 A JP H1114700A JP 9162975 A JP9162975 A JP 9162975A JP 16297597 A JP16297597 A JP 16297597A JP H1114700 A JPH1114700 A JP H1114700A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、弾性形状に形成さ
れ、先端にコンタクト部を有する接触子がハウジングに
設けられ、加圧手段の加圧アームによって試料ＩＣの端
子がコンタクト部に圧力接触せしめられるＩＣソケット
の特性試験機に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a housing provided with a contact which is formed in an elastic shape and has a contact portion at an end thereof, and a terminal of a sample IC is brought into pressure contact with a contact portion by a pressing arm of a pressing means. The present invention relates to an IC socket characteristic tester.
【０００２】[0002]
【従来の技術】近年、各種電気機器の縮小化に伴い、内
蔵されるＩＣも小型化が推し進められ、表面実装ＩＣと
呼ばれる薄型のＩＣの占める割合が増えてきている。ま
た、高集積化による、ＩＣの端子数の増加、端子間隔及
び端子幅の縮小化も著しく、それらのＩＣの端子変形を
防止してＩＣの特性試験を確実に行う必要がある。そこ
で、品質的に保証されたＩＣソケットの出現が強く望ま
れている。2. Description of the Related Art In recent years, with the miniaturization of various electric devices, the size of built-in ICs has been reduced, and the proportion of thin ICs called surface-mounted ICs has been increasing. In addition, due to the high integration, the number of terminals of the IC has been significantly increased, and the interval between terminals and the width of the terminals have been remarkably reduced. Therefore, there is a strong demand for the appearance of an IC socket whose quality is guaranteed.
【０００３】図７はこの種の従来のＩＣソケットの構成
及びその試験動作の概略説明図である。同図において、
載置台１０１上にソケットボード１０２が固定され、こ
のソケットボード１０２の表面部にＩＣソケット１１０
が装着される。ＩＣソケット１１０は、中央部をその上
面から高さ方向の途中まで刳り抜かれたハウジング１１
１を有している。このハウジング１１１を平面方向で見
てその周囲に多数の孔１１２が千鳥に穿設されると共
に、これらの孔１１２に弾性形状の湾曲部を有する接触
子１１３がそれぞれ嵌挿されている。FIG. 7 is a schematic explanatory view of the structure of a conventional IC socket of this kind and its test operation. In the figure,
A socket board 102 is fixed on a mounting table 101, and an IC socket 110 is mounted on the surface of the socket board 102.
Is attached. The IC socket 110 has a housing 11 whose center is hollowed out from the upper surface to halfway in the height direction.
One. When this housing 111 is viewed in a plane direction, a large number of holes 112 are formed in a staggered manner around the housing 111, and contacts 113 having elastically curved portions are fitted into these holes 112, respectively.
【０００４】この場合、ＩＣソケット１１０の裏面の中
央部に対向する載置台１０１の表面が凹状に形成され、
ここに接触子１１３のリード接続端が突出している。そ
して、このリード接続端に接続されたリード線ｘ2 が図
示省略の電気的特性測定器に接続される。なお、ソケッ
トボード１０２の所定の位置にＩＣソケット１１０を装
着するために、ハウジング１１１に形成されたダボ１１
５とソケットボード１０２に形成されたダボ穴１０３と
を嵌合させている。In this case, the surface of the mounting table 101 facing the center of the back surface of the IC socket 110 is formed in a concave shape,
Here, the lead connection end of the contact 113 protrudes. Then, lead wires connected x 2 is connected to an electrical characteristic measuring instrument (not shown) to the lead connection terminal. In order to mount the IC socket 110 at a predetermined position on the socket board 102, a dowel 11 formed on the housing 111 is required.
5 and dowel holes 103 formed in the socket board 102 are fitted.
【０００５】一方、多数の接触子１１３の各湾曲部の先
端がコンタクト部１１６を形成し、試料ＩＣ１０４の試
験に際して、このコンタクト部１１６に試料ＩＣ１０４
の端子１０５がそれぞれ接触するように載置される。ま
た、試料ＩＣ１０４の端子１０５にも必要に応じてリー
ド線ｘ1 が接続され、リード線ｘ2 と共に、図示省略の
電気的特性測定器に接続される。On the other hand, the tip of each curved portion of the large number of contacts 113 forms a contact portion 116, and when the sample IC 104 is tested,
Are placed so as to contact each other. The lead wire x 1 if necessary to the terminal 105 of the sample IC104 is connected, together with the lead x 2, is connected to an electrical characteristic measuring instrument (not shown).
【０００６】試料ＩＣの電気特性試験に際して、試料Ｉ
Ｃ１０４の端子１０５を接触子１１３に圧力接触させる
べく、枡を伏せた形の加圧端部１０６を有する加圧アー
ム１０７が設けられている。この加圧アーム１０７はＡ
矢印方向に往復駆動されて加圧及び加圧開放が行われ
る。なお、加圧動作における加圧アーム１０７の移動量
によって接触子１１３の湾曲端の変位量が決まり、この
変位量に応じて接触圧力が決まる関係にある。In testing the electrical characteristics of the sample IC, the sample I
In order to bring the terminal 105 of C104 into pressure contact with the contact 113, a pressing arm 107 having a pressing end 106 in the form of a cell is provided. This pressure arm 107 is A
Pressurization and pressure release are performed by reciprocating drive in the direction of the arrow. The displacement of the curved end of the contact 113 is determined by the amount of movement of the pressing arm 107 during the pressing operation, and the contact pressure is determined according to the amount of displacement.
【０００７】しかして、電気的特性測定器は、リード線
ｘ1 ，ｘ2 を介して、抵抗値、インダクタンス、キャパ
シタンス等を測定して試料ＩＣの電気的特性と併せて、
加圧、開放の回数の多少や、接触子の変位量の多少によ
る特性の推移等の解析を行うことにより、ＩＣソケット
自体の電気的特性をも評価していた。The electrical characteristic measuring device measures resistance, inductance, capacitance and the like via the lead wires x 1 and x 2 , and combines the measured values with the electrical characteristics of the sample IC.
The electrical characteristics of the IC socket itself have also been evaluated by analyzing characteristics such as changes in the number of times of pressurizing and releasing, and changes in the amount of displacement of the contact.
【０００８】[0008]
【発明が解決しようとする課題】上述したＩＣソケット
の電気的特性評価において、ＩＣソケットの接触子１１
３と試料ＩＣ１０４の端子１０５との間の接触抵抗の測
定、繰返し圧接に伴う特性の推移が、室温の環境を基準
にして行われていたため、ＩＣソケット１１０が実際に
使用される高温又は低温の環境下での値が得られなかっ
た。仮に、実際の使用環境に合わせてＩＣソケット１１
０の試験をしようとすれば、高温槽や低温槽を設備しな
ければならず、また、煩雑な操作と時間を必要とした。In the above-mentioned evaluation of the electrical characteristics of the IC socket, the contact 11
Since the measurement of the contact resistance between Sample No. 3 and the terminal 105 of the sample IC 104 and the transition of the characteristics due to the repeated press-welding were performed on the basis of the room temperature environment, the IC socket 110 was actually used at a high or low temperature. The value under the environment could not be obtained. It is assumed that the IC socket 11 is set according to the actual use environment.
In order to perform a test of 0, a high-temperature tank and a low-temperature tank had to be provided, and complicated operations and time were required.
【０００９】また従来は、ＩＣソケット１１０の接触子
１１３に対する試料ＩＣ１０４の端子１０５の接触圧力
を、ヒンジやエアーシリンダ等の機械的な動作の終了点
に設定していたので、これを調整するにはＩＣソケット
１１０の構造や寸法が変わる度に金型の修正や、調整部
材の調達を余儀なくされた。さらに、上述した従来の方
法では、温度や接触圧力と関連付けた耐久性試験ができ
難かった。Conventionally, the contact pressure of the terminal 105 of the sample IC 104 with respect to the contact 113 of the IC socket 110 is set at the end point of the mechanical operation of a hinge, an air cylinder, or the like. Each time the structure and dimensions of the IC socket 110 changed, the mold had to be modified and adjustment members had to be procured. Furthermore, in the above-mentioned conventional method, it was difficult to perform a durability test related to temperature and contact pressure.
【００１０】本発明は上記の課題を解決するためになさ
れたもので、第１の目的は、ＩＣソケットの接触子とＩ
Ｃの端子との接触抵抗等の電気的特性を、品質保証限度
内の所望の温度にて容易に測定することのできるＩＣソ
ケットの特性試験機を提供することにある。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and a first object of the present invention is to provide a contact between an IC socket contact and an IC socket.
An object of the present invention is to provide an IC socket characteristic tester capable of easily measuring electrical characteristics such as contact resistance with a terminal C at a desired temperature within a quality assurance limit.
【００１１】第２の目的は、ＩＣソケットの接触子とＩ
Ｃの端子との接触抵抗等の電気的特性を測定するに際
し、簡易な操作により所望の接触圧力を実現することの
できるＩＣソケットの特性試験機を提供することにあ
る。A second object is to make the contact of the IC socket and I
An object of the present invention is to provide a characteristic tester for an IC socket which can realize a desired contact pressure by a simple operation when measuring an electric characteristic such as a contact resistance with a terminal of C.
【００１２】第３の目的は、温度環境、接触圧力と関連
付けた耐久性の試験を可能にするＩＣソケットの特性試
験機を提供することにある。It is a third object of the present invention to provide an IC socket characteristic tester which enables a durability test associated with a temperature environment and a contact pressure.
【００１３】[0013]
【課題を解決するための手段】請求項１に記載のＩＣソ
ケットの特性試験機は、弾性形状に形成され、先端にコ
ンタクト部を有する接触子がハウジングに設けられ、加
圧手段の加圧アームによって試料ＩＣの端子がコンタク
ト部に圧力接触せしめられるＩＣソケットの特性を試験
するものであって、加圧アームを外部操作可能に壁部に
貫装すると共に、試料ＩＣ及びＩＣソケットを内装し、
少なくともＩＣソケットの品質保証限度を超える耐冷、
耐熱性能を有する温度槽と、温度槽の雰囲気温度を設定
値に制御する温度制御手段と、を備えたものである。According to a first aspect of the present invention, there is provided an IC socket characteristic tester, wherein a contact formed in an elastic shape and having a contact portion at a tip end is provided in a housing, and a pressing arm of a pressing means is provided. Testing the characteristics of the IC socket in which the terminals of the sample IC are brought into pressure contact with the contact portion by inserting a pressure arm into the wall so as to be operable externally, and internally mounting the sample IC and the IC socket;
Cold resistance exceeding the quality assurance limit of IC socket at least,
It comprises a temperature bath having heat resistance, and temperature control means for controlling the ambient temperature of the temperature bath to a set value.
【００１４】請求項２に記載のＩＣソケットの特性試験
機は請求項１に記載のものにおいて、加圧手段は、接触
子のコンタクト部と試料ＩＣの端子との接触圧力を設定
値に制御する圧力制御手段を備え圧力制御手段は、軸支
されたボールねじ、このボールねじを回転させる電動機
及びボールねじに螺合され、このボールねじの回転によ
って加圧アームをボールねじの軸方向に直進移動させる
直進移動機構と、圧力設定値として加圧アームの直進移
動距離を設定する圧力設定手段、加圧アームの圧力を測
定する圧力センサ、加圧アームの測定された圧力が設定
された直進移動距離に対応する圧力設定値に一致するよ
うに電動機を制御する電動機制御手段と、を備えたもの
である。According to a second aspect of the present invention, there is provided an IC socket characteristic tester according to the first aspect, wherein the pressurizing means controls a contact pressure between a contact portion of the contact and a sample IC terminal to a set value. The pressure control means includes a ball screw supported by a shaft, an electric motor for rotating the ball screw, and a ball screw. The rotation of the ball screw causes the pressing arm to move straight in the axial direction of the ball screw. A linear moving mechanism for setting, a pressure setting means for setting a linear moving distance of the pressing arm as a pressure set value, a pressure sensor for measuring a pressure of the pressing arm, a linear moving distance for which the measured pressure of the pressing arm is set And a motor control means for controlling the motor so as to match the pressure set value corresponding to.
【００１５】請求項３に記載のＩＣソケットの特性試験
機は請求項１に記載のものにおいて、加圧手段は、加圧
アームによる加圧回数を設定する加圧回数設定手段と、
設定された加圧回数だけ加圧アームを往復移動させるよ
うに電動機制御手段に指令を加える加圧回数制御手段
と、設定された加圧回数と実際の加圧回数とを表示する
表示手段と、を備え、さらに、温度槽内に設けられ、Ｉ
Ｃソケットを搭載すると共に、加圧アームの直進移動機
構の中心とＩＣソケットのコンタクト部に端子が接触せ
しめられる試料ＩＣの中心とを一致させるように、少な
くとも加圧アームの直進移動方向と直交する二次元方向
に移動可能な位置調整機構、を備えたものである。According to a third aspect of the present invention, there is provided an IC socket characteristic tester according to the first aspect, wherein the pressurizing means includes a pressurizing number setting means for setting a pressurizing number by the pressurizing arm.
Pressurization number control means for applying a command to the motor control means to reciprocate the pressurizing arm by the set number of pressurization times, display means for displaying the set number of pressurization times and the actual number of pressurization times, And further provided in a temperature bath,
A C socket is mounted, and at least orthogonal to the direction of linear movement of the pressure arm so that the center of the linear movement mechanism of the pressure arm and the center of the sample IC whose terminal is brought into contact with the contact portion of the IC socket are aligned. A position adjustment mechanism that can move in two-dimensional directions.
【００１６】[0016]
【発明の実施の形態】以下、本発明を好適な実施形態に
基づいて詳細に説明する。図１中の（ａ）は本発明の一
実施形態の全体構成を示す正面図であり、（ｂ）はその
側面図である。これら各図において、ＩＣソケットの特
性試験機１は縦に長い箱型の外形形状を有し、その内部
空間が上、中、下の三段に仕切られており、底部に４個
のキャスター２及び４個の固定脚３が取付けられ、頂部
にパトライトと称されるアラームランプ４が取付けられ
ている。そして、内部が仕切られたうちの下段部５は各
種機器の収納等に使用される。中段部６には内部温度槽
１１Ａと、外部温度槽１１Ｂとでなる二重の温度槽１１
が設置され、その正面部にはこの温度槽１１に試験対象
のＩＣソケット及び試料ＩＣの納入、取出しを行う正面
扉１２が設けられている。正面扉１２の中央部は内部を
透視できる透視窓１３になっている。また、中段部６の
側方には温度槽１１から電線ケーブルを引出して電気的
特性測定器（いずれも図示を省略）に接続するための貫
通孔１４が設けられている。一方、内部が仕切られたう
ちの上段部７の正面部に制御パネル２０が取付けられて
いる。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described in detail based on preferred embodiments. (A) in FIG. 1 is a front view showing an entire configuration of an embodiment of the present invention, and (b) is a side view thereof. In each of these figures, the IC socket characteristic tester 1 has a vertically long box-shaped outer shape, and its internal space is partitioned into three stages, upper, middle, and lower, and four casters 2 are provided at the bottom. And four fixed legs 3, and an alarm lamp 4 called a patrol light is mounted on the top. The lower part 5 of which the inside is partitioned is used for storing various devices. The middle stage section 6 has a double temperature chamber 11 composed of an internal temperature chamber 11A and an external temperature chamber 11B.
A front door 12 is provided at the front of the temperature chamber 11 for delivering and taking out an IC socket to be tested and a sample IC. The central portion of the front door 12 is a see-through window 13 through which the inside can be seen. Further, a through hole 14 is provided on the side of the middle section 6 for drawing out an electric cable from the temperature chamber 11 and connecting the cable to an electrical property measuring instrument (both not shown). On the other hand, a control panel 20 is attached to the front of the upper section 7 of the inside partitioned.
【００１７】図２中の（ａ）は図１に示した実施形態の
Ａ−Ａ矢視断面図であり、（ｂ）は同じく図１に示した
実施形態のＢ−Ｂ矢視断面図である。図中、図１と同一
の符号を付した要素はそれぞれ同一の要素を示してい
る。FIG. 2A is a cross-sectional view of the embodiment shown in FIG. 1 taken along the line AA, and FIG. 2B is a cross-sectional view of the embodiment shown in FIG. is there. In the figure, the elements denoted by the same reference numerals as those in FIG. 1 indicate the same elements.
【００１８】ここで、中段部６に設置された温度槽１１
の内側温度槽１１Ａは熱伝導率の小さい複数の支持部材
１５によって外側温度槽１１Ｂ内に保持されている。こ
こで、正面扉１２は外側温度槽１１Ｂの正面壁部と一体
的に構成され、内側温度槽１１Ａの正面壁部も連結部材
１６によって正面扉１２と一体化され、その中央部に透
視窓１７を備えている。しかして、温度槽１１に対する
被試験体の納入、取出しは、二重の温度槽ではあっても
正面扉１２のみを開閉操作すれば済むことになる。Here, the temperature chamber 11 installed in the middle section 6
The inner temperature bath 11A is held in the outer temperature bath 11B by a plurality of support members 15 having low thermal conductivity. Here, the front door 12 is integrally formed with the front wall of the outer temperature bath 11B, and the front wall of the inner temperature bath 11A is also integrated with the front door 12 by the connecting member 16, and a see-through window 17 is provided at the center thereof. It has. Thus, the delivery and unloading of the device under test to and from the temperature chamber 11 can be achieved by opening and closing only the front door 12 even in a double temperature chamber.
【００１９】温度槽１１の後背部の空間には内部雰囲気
の撹拌に使用する撹拌装置４０が設けられている。この
撹拌装置４０はダクト４１と、ファン４２と、これを駆
動する電動機４３とで構成されており、さらに、撹拌装
置４０が設置された部位の外側に、図示省略の液体窒素
ボンベに管接続された電磁弁５１が取付けられている。
そして、この電磁弁５１を介して、冷却用の窒素ガスを
ダクト４１に導入するように電磁弁５１とダクト４１と
が管接続されている。また、ダクト４１を通して温度槽
１１の内部の雰囲気ガスを撹拌するために、温度槽１１
の側壁に通風孔４４，４５が設けられ、ファン４２がそ
の一方から雰囲気ガスを噴射すると共に、他方から吸入
するようになっている。通風孔４４，４５を接続するダ
クト４１の途中に、図２では省略した電気ヒータ５２が
設置されている。従って、ダクト４１内に低温の窒素ガ
スを供給するとその供給量に応じて温度槽１１の雰囲気
温度は低下し、電気ヒータ５２に通電すると電流値に応
じて雰囲気温度は上昇する。A stirrer 40 used for stirring the internal atmosphere is provided in the space behind the temperature chamber 11. The stirrer 40 includes a duct 41, a fan 42, and an electric motor 43 for driving the duct 41. Further, the stirrer 40 is connected to a liquid nitrogen cylinder (not shown) outside the portion where the stirrer 40 is installed. The solenoid valve 51 is attached.
The electromagnetic valve 51 is connected to the duct 41 via the electromagnetic valve 51 such that nitrogen gas for cooling is introduced into the duct 41. In order to stir the atmosphere gas inside the temperature chamber 11 through the duct 41, the temperature chamber 11
Vent holes 44 and 45 are provided in the side wall of the fan, and the fan 42 injects the atmospheric gas from one side and sucks the atmospheric gas from the other side. An electric heater 52 not shown in FIG. 2 is installed in the duct 41 connecting the ventilation holes 44 and 45. Therefore, when a low-temperature nitrogen gas is supplied into the duct 41, the ambient temperature of the temperature chamber 11 decreases according to the supply amount, and when the electric heater 52 is energized, the ambient temperature increases according to the current value.
【００２０】この場合、電気ヒータ５２の電流と窒素ガ
スの流量とを調節することによって、温度槽１１の内部
温度を、例えば、メモリ等の品質保証限度を超す−３０
℃から＋１３５℃まで制御可能になっており、温度槽１
１の材質も当然のことながらこの温度範囲に見合った耐
冷、耐熱性能を有している。In this case, by adjusting the electric current of the electric heater 52 and the flow rate of the nitrogen gas, the internal temperature of the temperature chamber 11 is set to a value exceeding the quality assurance limit of a memory, for example, -30.
The temperature can be controlled from ℃ to +135 ℃.
Naturally, the material No. 1 also has a cold resistance and a heat resistance suitable for this temperature range.
【００２１】次に、温度槽１１の内底部には前述の載置
台１０１を頂部に水平に取付けた位置調整機構１００が
設置されている（直進移動機構の構成を示す後述する図
３及び図４の拡大断面図をも参照）。この位置調整機構
１００はその詳細な説明を省略するが、水平面内での二
次元の微調整と、僅かな角度調整が可能なものである。
そして、載置台１０１には、圧力センサ６１及びスプリ
ング６２を介して、試験対象のＩＣソケット１１０が搭
載、固定される。なお、圧力センサ６１のリード線は内
側温度槽１１Ａ及び外側温度槽１１Ｂの各側壁を通し
て、例えば、内部を仕切った上段部７に設置される制御
装置に接続される。また、ＩＣソケット１１０の近傍の
雰囲気温度を検出するために、内側温度槽１１Ａの内底
部から上方に突出した温度センサ５３が設けられてい
る。Next, a position adjusting mechanism 100 in which the mounting table 101 is horizontally mounted on the top is installed at the inner bottom of the temperature chamber 11 (FIGS. 3 and 4 which show the structure of the rectilinear moving mechanism). See also enlarged cross-sectional view of. Although a detailed description of the position adjusting mechanism 100 is omitted, two-dimensional fine adjustment in a horizontal plane and slight angle adjustment are possible.
An IC socket 110 to be tested is mounted and fixed to the mounting table 101 via a pressure sensor 61 and a spring 62. In addition, the lead wire of the pressure sensor 61 is connected to, for example, a control device installed in the upper section 7 that partitions the inside through each side wall of the inner temperature bath 11A and the outer temperature bath 11B. In order to detect the ambient temperature near the IC socket 110, a temperature sensor 53 protruding upward from the inner bottom of the inner temperature bath 11A is provided.
【００２２】次に、ＩＣソケット１１０に対向する温度
槽１１の頂部及び仕切り板８に貫通孔が形成され、この
貫通孔に加圧アーム１０７が上下動可能に装着されてい
る。この加圧アーム１０７の下端部には前述の加圧端部
１０６が取付けられ、さらに、この加圧アームが装置本
体の上段部７に設けられた直進移動機構７０によって上
下に往復駆動される構成になっている。Next, a through-hole is formed in the top of the temperature chamber 11 facing the IC socket 110 and in the partition plate 8, and a pressure arm 107 is vertically movably mounted in this through-hole. The above-described pressurizing end 106 is attached to the lower end of the pressurizing arm 107, and the pressurizing arm is reciprocated up and down by a rectilinear moving mechanism 70 provided on the upper stage 7 of the apparatus main body. It has become.
【００２３】図３は直進移動機構７０の詳細な構成を図
２（ａ）に対応させて示した拡大断面図であり、図４は
この直進移動機構７０の詳細な構成を図２（ｂ）に対応
させて示した拡大断面図である。これら各図において、
図２と同一の符号を付したものはそれぞれ同一の要素を
示している。ここで、仕切り板８上に正面部が開放した
箱型の支持体７１が固定されている。FIG. 3 is an enlarged sectional view showing the detailed structure of the rectilinear moving mechanism 70 corresponding to FIG. 2A, and FIG. 4 is a detailed structure of the rectilinear moving mechanism 70 shown in FIG. FIG. 4 is an enlarged sectional view corresponding to FIG. In each of these figures,
Elements denoted by the same reference numerals as those in FIG. 2 indicate the same elements. Here, a box-shaped support 71 having an open front portion is fixed on the partition plate 8.
【００２４】この支持体７１を構成する背面板７２の内
側中央部には、一対の軸受７３によってボールねじ７４
が縦方向に支持されており、このボールねじ７４の上端
部が支持体７１の頂部を貫通し、そこにベルト車７５が
結合されている。また、背面板の裏側中央部には一般に
サーボモータと称される電動機７６が取付けられ、この
電動機７６の出力軸にもベルト車７５が結合され、これ
らのベルト車７５間にベルト７７が掛けられている。A ball screw 74 is provided at a central portion on the inner side of a back plate 72 constituting the support 71 by a pair of bearings 73.
Are supported in the vertical direction, and the upper end of the ball screw 74 passes through the top of the support 71, and the belt wheel 75 is connected to the top. A motor 76 generally called a servomotor is attached to the center of the rear side of the back plate. A belt wheel 75 is also connected to an output shaft of the motor 76, and a belt 77 is hung between the belt wheels 75. ing.
【００２５】また、支持体７１を構成する各側面板７８
の内側にはそれぞれ上下方向に配置したガイド８１と、
このガイド８１に摺動して上下に移動可能な摺動部材８
２とが設けられ、さらに、両側の摺動部材８２間に水平
部材８３が装架されている。この水平部材８３には、ボ
ールねじ７４と螺合するナット８４が取付けられてい
る。しかして、電動機７６を駆動するとボールねじ７４
が回動せしめられ、電動機７６の回転方向を切替えるこ
とによって、水平部材８３は上下に往復駆動される。Further, each side plate 78 constituting the support 71 is provided.
Guides 81 arranged vertically in the inside of the
A sliding member 8 that can move up and down by sliding on the guide 81
2 are provided, and a horizontal member 83 is mounted between the sliding members 82 on both sides. A nut 84 screwed to the ball screw 74 is attached to the horizontal member 83. When the electric motor 76 is driven, the ball screw 74 is driven.
Is turned, and by switching the rotation direction of the electric motor 76, the horizontal member 83 is driven to reciprocate up and down.
【００２６】この水平部材８３には中心を振り分けにし
て一対の軸受８５が装着され、この軸受８５にそれぞれ
嵌挿された一対の軸８６にもう一つの水平部材８７が取
付けられている。さらに、水平部材８７の下側に互いに
平行になった一対の加圧アーム１０７の一端部が取付け
られ、これらの加圧アーム１０７はスライドベアリング
等を介して仕切り板８、外部温度槽１１Ｂ及び内部温度
槽１１Ａを貫通し、その他端に加圧端部１０６が取付け
られている。A pair of bearings 85 are mounted on the horizontal member 83 with the center being distributed, and another horizontal member 87 is mounted on a pair of shafts 86 respectively fitted into the bearings 85. Further, one end of a pair of pressure arms 107 parallel to each other is attached to the lower side of the horizontal member 87, and these pressure arms 107 are connected to the partition plate 8, the external temperature chamber 11B and the internal A pressure end 106 is attached to the other end through the temperature chamber 11A.
【００２７】なお、図３中に示したように、内部温度槽
１１Ａの底部に取付けられた温度センサ５３の先端がＩ
Ｃソケット１１０の近傍に位置している。また、図４中
に示したように、載置台１０１とＩＣソケット１１０と
の間にスプリング６２と圧力センサ６１とが設けられ、
この圧力センサ６１のリード線が内側温度槽１１Ａ及び
外側温度槽１１Ｂの各側壁を貫通して上段部７に収納さ
れる制御装置に接続されている。As shown in FIG. 3, the tip of the temperature sensor 53 attached to the bottom of the internal temperature bath 11A is
It is located near the C socket 110. Also, as shown in FIG. 4, a spring 62 and a pressure sensor 61 are provided between the mounting table 101 and the IC socket 110,
The lead wire of the pressure sensor 61 penetrates each side wall of the inner temperature bath 11A and the outer temperature bath 11B and is connected to a control device housed in the upper section 7.
【００２８】図５は制御パネル２０の構成を示したもの
で、その左上方に電源スイッチ２１と、加圧回数の設定
値及び実加圧回数を表示するカウンタ２３と、加圧アー
ム１０７がその上限にて停止している時間、すなわち、
加圧開放時間を設定する上限停止タイマ２５と、加圧ア
ーム１０７がその下限にて停止している時間、すなわ
ち、加圧時間を設定する下限停止タイマ２６とが取付け
られている。また、制御パネルの左下方には非常停止ス
イッチ２２、スタートスイッチ２７、ストップスイッチ
２８を含む運転モード設定スイッチ群２９と、加圧アー
ムの移動距離を設定する移動距離設定スイッチ群３０と
が取付けられている。また、制御パネルの右上方には加
圧アーム１０７の押圧力を表示する圧力計６２と、温度
槽の内部温度の設定値及び実祭の温度を表示する温度計
５５とが取付けられている。さらに、制御パネル２０の
右下方には加圧アームの移動距離の設定値を表示する移
動距離表示器６３と、温度槽１１の温度を上昇設定した
り下降設定したりする温度設定器としてのスイッチ群５
４とが設けられている。FIG. 5 shows the structure of the control panel 20, in which a power switch 21, a counter 23 for displaying the set value of the number of pressurizations and the actual number of pressurizations, and a pressurizing arm 107 have an upper limit. Time during which it is stopped, ie
An upper limit stop timer 25 for setting the pressurizing release time and a time during which the pressurizing arm 107 is stopped at its lower limit, that is, a lower limit stop timer 26 for setting the pressurizing time, are attached. An operation mode setting switch group 29 including an emergency stop switch 22, a start switch 27 and a stop switch 28, and a moving distance setting switch group 30 for setting a moving distance of the pressurizing arm are attached to a lower left portion of the control panel. ing. Further, a pressure gauge 62 for displaying the pressing force of the pressure arm 107 and a thermometer 55 for displaying the set value of the internal temperature of the temperature tank and the actual temperature are attached to the upper right of the control panel. Further, at the lower right of the control panel 20, a moving distance indicator 63 for displaying a set value of the moving distance of the pressurizing arm, and a switch as a temperature setting device for setting the temperature of the temperature chamber 11 up or down. Group 5
4 are provided.
【００２９】図６は正面パネル２０の操作状態に応じて
電動機７６、電磁弁５１及び電気ヒータ５２を制御する
制御装置の主要部を示したブロック図である。同図にお
いて、交流電源２０１には、電源スイッチ２１及び非常
停止スイッチ２２を介して、電動機７６を制御する電動
機制御部７９が接続されている。また、非常停止スイッ
チ２２の負荷側には撹拌装置４０と、温度槽１１の温度
を制御する温度制御部５６が接続されている。FIG. 6 is a block diagram showing a main part of a control device for controlling the electric motor 76, the solenoid valve 51 and the electric heater 52 according to the operation state of the front panel 20. In the figure, a motor control unit 79 that controls a motor 76 is connected to an AC power supply 201 via a power switch 21 and an emergency stop switch 22. Further, a stirrer 40 and a temperature controller 56 for controlling the temperature of the temperature chamber 11 are connected to the load side of the emergency stop switch 22.
【００３０】このうち、撹拌装置４０はダクト４１内に
設置したファン４２を駆動する電動機４３に通電する。
温度制御部５６は温度設定器５４による設定値が温度セ
ンサ５３による検出値と一致するように電気ヒータ５２
に対する電流及び電磁弁５１の開閉を制御する。なお、
温度計５５は温度センサ５３による検出温度及び温度設
定器５４の設定値の両方を表示する。一方、駆動距離設
定スイッチ群６０によって設定された直進移動距離が移
動距離表示器６３に表示され、加圧アームの移動距離と
設定値とが一致するように電動機制御部７９が電動機７
６を制御する。The stirrer 40 energizes a motor 43 for driving a fan 42 installed in a duct 41.
The temperature controller 56 controls the electric heater 52 so that the value set by the temperature setter 54 matches the value detected by the temperature sensor 53.
And the opening and closing of the solenoid valve 51 are controlled. In addition,
The thermometer 55 displays both the temperature detected by the temperature sensor 53 and the set value of the temperature setting device 54. On the other hand, the straight traveling distance set by the driving distance setting switch group 60 is displayed on the moving distance display 63, and the electric motor control unit 79 operates the electric motor 7 so that the moving distance of the pressure arm matches the set value.
6 is controlled.
【００３１】また、加圧アーム１０７の加圧、加圧開放
の回数を設定する回数設定器２３の設定値とスタート指
令によってその回数を計数するカウンタ２４の値とが一
致したとき、電動機制御部７９は電動機７６の動作を停
止させる。このとき、電動機制御部７９は上限停止タイ
マ２５に設定された時間だけ上限位置で停止させ、さら
に、下限停止タイマ２６に設定された時間だけ下限位置
で停止させる。電動機制御部７９には上述したスタート
スイッチ２７、ストップスイッチ２８を含む運転モード
設定スイッチ群２９が接続されている。When the set value of the number setting device 23 for setting the number of times of pressurizing and releasing the pressurizing arm 107 matches the value of the counter 24 for counting the number of times by the start command, the motor controller 79 stops the operation of the electric motor 76. At this time, the motor control unit 79 stops at the upper limit position for the time set by the upper limit stop timer 25, and further stops at the lower limit position for the time set by the lower limit stop timer 26. An operation mode setting switch group 29 including the above-described start switch 27 and stop switch 28 is connected to the motor control unit 79.
【００３２】上記のように構成された本実施形態の動作
について、試験手順に従って説明する。先ず、本試験機
の動力源として、商用の交流電源２０１を接続すると共
に、液体窒素ボンベ２０２を配管接続する。The operation of the present embodiment configured as described above will be described according to a test procedure. First, a commercial AC power supply 201 is connected as a power source of the tester, and a liquid nitrogen cylinder 202 is connected by piping.
【００３３】次に、制御パネル２０による設定操作をす
る。このとき、制御パネル２０の温度設定器５４として
の高温、低温のボタンを操作して、−３０℃から＋１３
５℃の範囲の任意の温度に設定する。その設定値が温度
計５５に表示される。続いて、直進移動機構７０による
加圧アーム１０７の上限停止位置と下限停止位置を駆動
距離設定スイッチ群６０により設定する。このとき、直
進駆動距離が駆動距離表示器６３に表示される。この結
果、駆動距離に対応した圧力設定が行われる。また、上
限停止位置における加圧アーム１０７の停止時間を上限
停止タイマ２５により、下限停止位置における加圧アー
ム１０７の停止時間を下限停止タイマ２６によりそれぞ
れ設定する。さらに、加圧アーム１０７が上限停止位置
から下限停止位置に移動し、再び上限停止位置に戻る動
作の繰返し回数を回数設定器２３によって設定する。Next, a setting operation is performed by the control panel 20. At this time, the high and low temperature buttons as the temperature setting device 54 of the control panel 20 are operated to change the temperature from −30 ° C. to + 13 ° C.
Set to any temperature in the range of 5 ° C. The set value is displayed on the thermometer 55. Subsequently, the upper limit stop position and the lower limit stop position of the pressing arm 107 by the linear movement mechanism 70 are set by the drive distance setting switch group 60. At this time, the straight driving distance is displayed on the driving distance display 63. As a result, pressure setting corresponding to the driving distance is performed. The stop time of the pressure arm 107 at the upper limit stop position is set by the upper limit stop timer 25, and the stop time of the pressure arm 107 at the lower limit stop position is set by the lower limit timer 26. Further, the number of repetitions of the operation in which the pressure arm 107 moves from the upper limit stop position to the lower limit stop position and returns to the upper limit stop position is set by the number setting device 23.
【００３４】次に、試験用試料の装着操作を行う。これ
には、ＩＣソケット１１０に試料ＩＣをセットし、ＩＣ
ソケット試験機１の正面扉１２を開き、位置調整機構１
００上の載置台１０１にＩＣソケット１１０をセットす
る。このとき、温度槽１１の貫通孔１４を用いて外部に
用意してある電気特性測定器とＩＣソケット１１０とを
コネクタ等により電気的に接続する。また、正面扉１２
を開いている間に、加圧アーム１０７の直進移動機構７
０の中心と試料ＩＣ１０４の中心とを一致させるよう
に、位置調整機構１００を操作する。Next, the mounting operation of the test sample is performed. For this, a sample IC is set in the IC socket 110 and the IC
Open the front door 12 of the socket tester 1 and move the position adjusting mechanism 1
The IC socket 110 is set on the mounting table 101 on the “00”. At this time, the electric property measuring instrument prepared outside and the IC socket 110 are electrically connected to each other by a connector or the like using the through hole 14 of the temperature chamber 11. The front door 12
The linear movement mechanism 7 of the pressure arm 107 is
The position adjusting mechanism 100 is operated so that the center of the zero and the center of the sample IC 104 coincide.
【００３５】次に、試験の開始と終了操作に移る。この
場合、制御パネル２０の電源スイッチ２１をオン操作し
た後、温度設定器５４に含まれる温調スイッチを操作し
て、昇温又は降温を開始する。温度槽１１の雰囲気温度
が設定温度に到達した段階にて、スタートスイッチ２７
を押し操作して試験を開始する。これによって加圧アー
ム１０７が下降→停止→上昇→停止を繰返す。この加圧
アーム１０７の動作が回数設定器２３によって設定され
た回数に到達すると、加圧動作は停止する。続いて、加
圧アーム１０７を下降させた状態を保持してＩＣソケッ
トの電気的特性を測定し、解析する。必要があれば、再
びスタートスイッチ２７を操作して実質的な試験動作を
繰返す。若し、試験の途中で試験を中止する必要があれ
ばストップスイッチ２８を押し操作して即時、試験を中
止する。装置全体の非常停止が必要な場合には非常停止
スイッチ２２をオフ操作すれば、電源が切断されると同
時に、電磁弁５１も非励磁状態にされて窒素ガスの供給
も停止される。Next, the operation proceeds to the start and end operations of the test. In this case, after the power switch 21 of the control panel 20 is turned on, the temperature control switch included in the temperature setting device 54 is operated to start the temperature increase or the temperature decrease. When the ambient temperature of the temperature chamber 11 reaches the set temperature, the start switch 27
Press to start the test. As a result, the pressing arm 107 repeats descending, stopping, rising, and stopping. When the operation of the pressing arm 107 reaches the number set by the number setting unit 23, the pressing operation stops. Subsequently, the electrical characteristics of the IC socket are measured and analyzed while maintaining the state where the pressing arm 107 is lowered. If necessary, the start switch 27 is operated again to repeat the substantial test operation. If it is necessary to stop the test in the middle of the test, the stop switch 28 is pushed and operated to immediately stop the test. If an emergency stop of the entire apparatus is required, the emergency stop switch 22 is turned off, so that the power is turned off, and at the same time, the solenoid valve 51 is also de-energized and the supply of nitrogen gas is stopped.
【００３６】なお、制御パネル２０に設けた、「リセッ
ト」「照明」「自動」「オンライン」「１サイクル」等
のスイッチ群は運転モード設定スイッチ２９として図６
の制御装置中に記載したが、これらの各機能については
本発明を理解する上で必ずしも必要ではないのでその説
明を省略する。A group of switches provided on the control panel 20 such as "reset", "illumination", "automatic", "online", and "one cycle" are used as operation mode setting switches 29 in FIG.
However, since these functions are not always necessary for understanding the present invention, their description will be omitted.
【００３７】以上の説明によって明らかなように、本実
施形態によれば、ＩＣソケットの品質保証限度内の全て
の温度条件における各種の接触子の接触圧に対する接触
抵抗値等の特性の推移、接触回数に対する接触抵抗値等
の特性の推移の計測が可能になる。As is apparent from the above description, according to the present embodiment, the transition of the characteristics such as the contact resistance value with respect to the contact pressure of various contacts under all temperature conditions within the quality assurance limit of the IC socket, It becomes possible to measure the transition of a characteristic such as a contact resistance value with respect to the number of times.
【００３８】特に、本実施形態によれば、加圧アーム１
０７の動作ストロークを電動機７６の回転角を制御する
技法、すなわち、電動機７６の回転をボールねじ７４に
て直進運動に変換し加圧アーム１０７の上下動としてい
るため、電動機の駆動をティーチングしてプログラムす
るだけで動作準備が完了する。このため、各種試料に対
応するための段取り作業が平易で作業に要する時間を短
縮することができる。In particular, according to the present embodiment, the pressing arm 1
07 is a technique for controlling the rotation angle of the electric motor 76, that is, the rotation of the electric motor 76 is converted into a linear motion by the ball screw 74 and the pressing arm 107 is moved up and down. The operation preparation is completed only by programming. For this reason, the setup work for dealing with various samples is easy and the time required for the work can be reduced.
【００３９】なお、上記実施形態では電動機制御部７９
をブロックで示したが、その機能を実現するためにマイ
クロコンピュータを使用しても良く、さらに、他の機能
をマイクロコンピュータに持たせることも可能であり、
この点については当業者において随時変更して良いこと
は言うまでもない。In the above embodiment, the motor control unit 79
Although a block is shown, a microcomputer may be used to realize the function, and further, the microcomputer may have other functions.
Needless to say, a person skilled in the art can change this point at any time.
【００４０】[0040]
【発明の効果】請求項１に記載のＩＣソケットの特性試
験機によれば、ＩＣソケットの品質保証限度を超える耐
冷、耐熱性能を有する温度槽を用い、この温度槽の雰囲
気温度を設定値に制御するので、ＩＣソケットの接触子
とＩＣの端子との接触抵抗等の電気的特性を、品質保証
限度内の所望の温度にて容易に測定することができる。According to the IC socket characteristic tester of the present invention, a temperature bath having a cold resistance and a heat resistance exceeding the quality assurance limit of the IC socket is used, and the ambient temperature of the temperature bath is set to a set value. Because of the control, the electrical characteristics such as the contact resistance between the contact of the IC socket and the terminal of the IC can be easily measured at a desired temperature within the quality assurance limit.
【００４１】請求項２に記載のＩＣソケットの特性試験
機よれば、接触子のコンタクト部と試料ＩＣの端子との
接触圧力を設定値に制御する圧力制御手段を備えている
ので、ＩＣソケットの接触子とＩＣの端子との接触抵抗
等の電気的特性を測定するに際し、簡易な操作により所
望の接触圧力を実現することができる効果もある。According to the IC socket characteristic tester of the present invention, since the pressure control means for controlling the contact pressure between the contact portion of the contact and the terminal of the sample IC to a set value is provided, the IC socket characteristic tester is provided. When measuring electrical characteristics such as contact resistance between the contact and the terminal of the IC, there is also an effect that a desired contact pressure can be realized by a simple operation.
【００４２】請求項３に記載のＩＣソケットの特性試験
機によれば、加圧アームによる加圧回数を設定し、その
回数だけ加圧動作を実行するので、温度環境、接触圧力
と関連付けた耐久性の試験を可能にするという効果も得
られる。According to the characteristic tester for an IC socket according to the third aspect, the number of times of pressurization by the pressurizing arm is set, and the pressurizing operation is executed by that number of times. The effect of enabling a sex test is also obtained.
【図１】本発明の一実施形態の全体構成を示す正面図及
び側面図。FIG. 1 is a front view and a side view showing an overall configuration of an embodiment of the present invention.
【図２】図１に示した実施形態の正面部及び側面部にお
ける縦断面図。FIG. 2 is a longitudinal sectional view of a front part and a side part of the embodiment shown in FIG.
【図３】図２示した断面図の要部拡大断面図。FIG. 3 is an enlarged sectional view of a main part of the sectional view shown in FIG. 2;
【図４】図２示した断面図の要部拡大断面図。FIG. 4 is an enlarged sectional view of a main part of the sectional view shown in FIG. 2;
【図５】図１に示した実施形態の制御バネルの構成を示
す正面図。FIG. 5 is a front view showing the configuration of a control panel according to the embodiment shown in FIG. 1;
【図６】図１に示した実施形態の制御部の構成を示すブ
ロック図。FIG. 6 is a block diagram showing a configuration of a control unit of the embodiment shown in FIG.
【図７】従来のＩＣソケットの構成及びその試験動作の
概略説明図。FIG. 7 is a schematic explanatory view of a configuration of a conventional IC socket and a test operation thereof.
１ ＩＣソケットの特性試験機 １１ 温度槽 １２ 正面扉 １４ 貫通孔 ２０ 制御パネル ４０ 撹拌装置 ４１ ダクト ４２ ファン ５１ 電磁弁 ５３ 温度センサ ６１ 圧力センサ ７０ 直進移動機構 ７４ ボールねじ ７６ 電動機 ７９ 電動機制御部 １００ 位置調整機構 １０１ 載置台 １０４ 試料ＩＣ １０６ 加圧端部 １０７ 加圧アーム １１０ ＩＣソケット １１１ ハウジング １１３ 接触子 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 IC socket characteristic tester 11 Temperature tank 12 Front door 14 Through hole 20 Control panel 40 Stirrer 41 Duct 42 Fan 51 Solenoid valve 53 Temperature sensor 61 Pressure sensor 70 Linear movement mechanism 74 Ball screw 76 Motor 79 Motor controller 100 Position Adjusting mechanism 101 Mounting table 104 Sample IC 106 Pressing end 107 Pressing arm 110 IC socket 111 Housing 113 Contact
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 臼 田 圭 夫 神奈川県川崎市川崎区駅前本町25番地１ 東芝マイクロエレクトロニクス株式会社内 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Inventor Keio Usuda 25-1, Ekimae Honmachi, Kawasaki-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa Prefecture Toshiba Microelectronics Corporation
Claims (3)
を有する接触子がハウジングに設けられ、加圧手段の加
圧アームによって試料ＩＣの端子が前記コンタクト部に
圧力接触せしめられるＩＣソケットの特性試験機であっ
て、 前記加圧アームを外部操作可能に壁部に貫装すると共
に、前記試料ＩＣ及び前記ＩＣソケットを内装し、少な
くとも前記ＩＣソケットの品質保証限度を超える耐冷、
耐熱性能を有する温度槽と、 前記温度槽の雰囲気温度を設定値に制御する温度制御手
段と、 を備えたＩＣソケットの特性試験機。1. A characteristic of an IC socket in which a contact formed in an elastic shape and having a contact portion at a tip end is provided in a housing, and a terminal of a sample IC is brought into pressure contact with the contact portion by a pressure arm of a pressure means. A test machine, wherein the pressure arm is penetrated into a wall so as to be operable externally, and the sample IC and the IC socket are installed therein, and the cold resistance exceeds a quality guarantee limit of at least the IC socket.
A characteristic tester for an IC socket, comprising: a temperature bath having heat resistance; and temperature control means for controlling an ambient temperature of the temperature bath to a set value.
触圧力を設定値に制御する圧力制御手段を備え前記圧力
制御手段は、 軸支されたボールねじ、このボールねじを回転させる電
動機及び前記ボールねじに螺合され、このボールねじの
回転によって前記加圧アームを前記ボールねじの軸方向
に直進移動させる直進移動機構と、 圧力設定値として前記加圧アームの直進移動距離を設定
する圧力設定手段、前記加圧アームの圧力を測定する圧
力センサ、前記加圧アームの測定された圧力が設定され
た直進移動距離に対応する圧力設定値に一致するように
前記電動機を制御する電動機制御手段と、 を備えた請求項１に記載のＩＣソケットの特性試験機。2. A pressure control means for controlling a contact pressure between a contact portion of the contact and a terminal of the sample IC to a set value, wherein the pressure control means comprises a ball screw supported by a shaft. A motor that rotates the ball screw and a linear movement mechanism that is screwed to the ball screw to move the pressure arm in the axial direction of the ball screw by the rotation of the ball screw; Pressure setting means for setting the linear moving distance of the arm, a pressure sensor for measuring the pressure of the pressurizing arm, and the measured pressure of the pressurizing arm matching the pressure set value corresponding to the set linear moving distance. The characteristic tester for an IC socket according to claim 1, further comprising: motor control means for controlling the motor.
手段と、 設定された加圧回数だけ前記加圧アームを往復移動させ
るように前記電動機制御手段に指令を加える加圧回数制
御手段と、 設定された加圧回数と実際の加圧回数とを表示する表示
手段と、 を備え、 さらに、前記温度槽内に設けられ、前記ＩＣソケットを
搭載すると共に、前記加圧アームの直進移動機構の中心
と前記ＩＣソケットのコンタクト部に端子が接触せしめ
られる試料ＩＣの中心とを一致させるように、少なくと
も前記加圧アームの直進移動方向と直交する二次元方向
に移動可能な位置調整機構、 を備えた請求項１に記載のＩＣソケットの特性試験機。3. The pressurizing means includes: pressurizing number setting means for setting the number of times of pressurization by the pressurizing arm; and the motor control means so as to reciprocate the pressurizing arm by the set number of pressurizing times. And a display means for displaying the set number of times of pressurization and the actual number of times of pressurization, further provided in the temperature chamber and mounting the IC socket. At least two-dimensional orthogonal to the direction of linear movement of the pressure arm so that the center of the linear movement mechanism of the pressure arm coincides with the center of the sample IC whose terminal is brought into contact with the contact portion of the IC socket. The characteristic tester for an IC socket according to claim 1, further comprising: a position adjusting mechanism movable in a direction.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9162975A JPH1114700A (en) | 1997-06-19 | 1997-06-19 | Characteristic test machine for ic socket |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9162975A JPH1114700A (en) | 1997-06-19 | 1997-06-19 | Characteristic test machine for ic socket |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1114700A true JPH1114700A (en) | 1999-01-22 |
Family
ID=15764848
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9162975A Pending JPH1114700A (en) | 1997-06-19 | 1997-06-19 | Characteristic test machine for ic socket |
Country Status (1)
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