JPH11142637A - 遮光性感光性樹脂組成物及びそれを用いたカラーフィルタ - Google Patents

遮光性感光性樹脂組成物及びそれを用いたカラーフィルタ

Info

Publication number
JPH11142637A
JPH11142637A JP30820697A JP30820697A JPH11142637A JP H11142637 A JPH11142637 A JP H11142637A JP 30820697 A JP30820697 A JP 30820697A JP 30820697 A JP30820697 A JP 30820697A JP H11142637 A JPH11142637 A JP H11142637A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
photosensitive resin
meth
acrylate
resin composition
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP30820697A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3915201B2 (ja
Inventor
Ryuichiro Takasaki
龍一郎 高崎
Shingo Ikeda
真吾 池田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Chemical Corp
Original Assignee
Mitsubishi Chemical Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Chemical Corp filed Critical Mitsubishi Chemical Corp
Priority to JP30820697A priority Critical patent/JP3915201B2/ja
Publication of JPH11142637A publication Critical patent/JPH11142637A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3915201B2 publication Critical patent/JP3915201B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
  • Optical Filters (AREA)
  • Paints Or Removers (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 高遮光性を有すると共に画像形成性に優れた
遮光性感光性樹脂組成物、及び、その遮光性感光性樹脂
組成物を用いたカラーフィルタを提供する。 【解決手段】 遮光性色材を含有する遮光性感光性樹脂
組成物であって、膜厚1μm当たりの波長550nmに
おける吸光度OD550 が3以上で、且つ、そのOD550
に対する波長365nmにおける吸光度OD365 の比
(OD365/OD550)が1.00〜1.65である遮光
性感光性樹脂組成物、及び、透明基板上に、その遮光性
感光性樹脂組成物からなるブラックマトリックスが形成
されてなるカラーフィルタ。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、高遮光性を有する
と共に画像形成性に優れた遮光性感光性樹脂組成物、及
び、その遮光性感光性樹脂組成物を用いたカラーフィル
タに関し、特に、カラーテレビ、液晶表示素子、固体撮
像素子、カメラ等に使用される光学的カラーフィルタの
ブラックマトリックス形成用の遮光性感光性樹脂組成
物、及び、その遮光性感光性樹脂組成物からなるブラッ
クマトリックスが透明基板上に形成されたカラーフィル
タに関する。
【0002】
【従来の技術】カラーテレビ、液晶表示素子、固体撮像
素子、カメラ等に使用される光学的カラーフィルタにお
けるブラックマトリックスは、通常、ガラス、プラスチ
ックシート等の透明基板上に、赤、緑、青(RGB)等
の3種以上の異なる色パターンの間に格子状、ストライ
プ状又はモザイク状等に配置して形成されており、各色
間の混色抑制によるコントラストの向上や光漏れによる
駆動素子(例えば、TFT)の誤作動を防ぐ役割を果た
している。このため、ブラックマトリックスには高い遮
光性が要求される。
【0003】従来より、ブラックマトリックスは、透明
基板上にクロム等の金属の蒸着膜を形成し、フォトリソ
グラフィー工程を経てその金属膜をエッチング処理する
方法により形成されているが、薄い膜厚で高遮光性が高
精度で得られる反面、製造工程が長く生産性が劣るとい
う問題と共に、エッチング処理廃液の処理等の環境上の
問題も抱えていた。
【0004】これに対して、遮光性色材を含有する遮光
性感光性樹脂組成物を用いてブラックマトリックスを形
成する方法が精力的に検討され提案されているが(例え
ば、特開平6−51499号公報等)、この方法におい
て、従来のクロム等の金属膜と同等の遮光性を発現させ
るためには、樹脂組成物中の遮光性色材の含有量を上げ
るか、膜厚を厚くする必要があった。しかしながら、遮
光性色材の含有量を上げると、感光性樹脂の感度、現像
性、解像性、基板に対する密着性等が低下し、カラーフ
ィルタとしての性能自体に問題が生じることとなり、
又、膜厚を厚くすると、そのブラックマトリックスの凹
凸のためカラーフィルタとしてのRGBの着色画素の平
坦性が損なわれて液晶セルギャップの不均一や液晶の配
向の乱れを生じさせ、表示能が低下したり、透明電極
(例えば、ITO)膜の断線が発生し易くなる等の問題
が生じることとなるため、この感光性樹脂組成物による
ブラックマトリックスの形成方法は、未だ実用化に到っ
ていないのが現状である。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、前述の従来
技術に鑑み、遮光性色材を含有する遮光性感光性樹脂組
成物を用いてブラックマトリックスを形成する方法にお
ける前記問題に解決を与えるべくなされたものであっ
て、従って本発明は、高遮光性を有すると共に画像形成
性に優れた遮光性感光性樹脂組成物、及び、その遮光性
感光性樹脂組成物を用いたカラーフィルタを提供するこ
とを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明者等は、前記課題
を解決すべく鋭意検討した結果、遮光性感光性樹脂組成
物中の遮光性色材としてのカーボンブラック等の含有量
が同じであっても、その分散状態により光吸収特性が異
なり、この分散状態の制御により可視光領域の吸光度と
紫外光領域の吸光度を特定の範囲に制御し得、それによ
り、可視光領域の吸光度を上げてカラーフィルタのブラ
ックマトリックスとしての高遮光性を発現させると共
に、紫外光領域の光透過率を上げてブラックマトリック
スとしての優れた画像形成性をも発現させ得ることを見
出し、本発明を完成したものであって、即ち、本発明
は、遮光性色材を含有する遮光性感光性樹脂組成物であ
って、膜厚1μm当たりの波長550nmにおける吸光
度OD550 が3以上で、且つ、そのOD550 に対する波
長365nmにおける吸光度OD365 の比(OD365/O
550 )が1.00〜1.65である遮光性感光性樹脂
組成物、及び、透明基板上に、その遮光性感光性樹脂組
成物からなるブラックマトリックスが形成されてなるカ
ラーフィルタ、を要旨とする。
【0007】
【発明の実施の形態】本発明の遮光性感光性樹脂組成物
における感光性樹脂としては、アクリル系樹脂とアクリ
ル系モノマーと光重合開始剤とを組み合わせた光重合型
感光性樹脂、ノボラック樹脂やポリビニルフェノール樹
脂等と架橋剤と光酸発生剤とを組み合わせた化学増幅型
感光性樹脂、アジド又はジアゾ系樹脂を用いた感光性樹
脂、桂皮酸基又はカルコン基含有樹脂等の光二量化型の
感光性樹脂、ナフトキノンジアジドとアルカリ可溶性樹
脂とを組み合わせた感光性樹脂等の公知のものが挙げら
れる。
【0008】これらの中で、本発明においては、アクリ
ル系樹脂とアクリル系モノマーと光重合開始剤とを組み
合わせた光重合型感光性樹脂が好ましく、そのアクリル
系樹脂としては、例えば、(メタ)アクリル酸(尚、
ここで、(メタ)アクリル酸とは、アクリル酸及びメタ
クリル酸を意味するものとする。)、メチル(メタ)ア
クリレート、エチル(メタ)アクリレート、プロピル
(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、
2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、ヒドロキシ
エチル(メタ)アクリレート、ヒドロキシプロピル(メ
タ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、ヒ
ドロキシフェニル(メタ)アクリレート、メトキシフェ
ニル(メタ)アクリレート等の(メタ)アクリル酸エス
テル、(メタ)アクリロニトリル、(メタ)アクリルア
ミド等の(メタ)アクリル酸のその他誘導体等の単量体
の単独重合体又は共重合体、前記記載の単量体と、
スチレン、α−メチルスチレン、ビニルトルエン等のビ
ニル芳香族単量体、マレイン酸、無水マレイン酸、フマ
ル酸、イタコン酸、桂皮酸等の不飽和カルボン酸単量体
等との共重合体、前記及びの単独重合体や共重合
体に、アリルグリシジルエーテル、グリシジル(メタ)
アクリレート、α−エチルグリシジル(メタ)アクリレ
ート、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル(メタ)
アクリレート、グリシジルクロトネート、グリシジルイ
ソクロトネート、クロトニルグリシジルエーテル、イタ
コン酸モノアルキルモノグリシジルエステル、フマール
酸モノアルキルモノグリシジルエステル、マレイン酸モ
ノアルキルモノグリシジルエステル等のエポキシ基含有
エチレン性不飽和化合物を反応させた変性重合体、前
記記載の単量体と、アリル(メタ)アクリレート、3
−アリルオキシ−2−ヒドロキシプロピル(メタ)アク
リレート、シンナミル(メタ)アクリレート、クロトニ
ル(メタ)アクリレート、メタリル(メタ)アクリレー
ト、N,N−ジアリル(メタ)アクリルアミド、ビニル
(メタ)アクリレート、1−クロロビニル(メタ)アク
リレート、2−フェニルビニル(メタ)アクリレート、
1−プロペニル(メタ)アクリレート、ビニル(メタ)
アクリルアミド等の2種以上のエチレン性不飽和基を有
する化合物との共重合体、等が挙げられ、中で、及び
の、側鎖にエチレン性不飽和結合を有するものが好ま
しく、又、酸価が5〜200mgKOH/gの範囲のも
のがアルカリ現像性の面で好ましく、分子量がGPCの
ポリスチレン換算で1000〜500000の範囲のも
のが塗布性の面で好ましい。
【0009】又、そのアクリル系モノマーとしては、例
えば、1,4−ブタンジオールジ(メタ)アクリレー
ト、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレー
ト、1,9−ノナンジオールジ(メタ)アクリレート、
ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、エチ
レングリコールジ(メタ)アクリレート、ジエチレング
リコールジ(メタ)アクリレート、トリエチレングリコ
ールジ(メタ)アクリレート、テトラエチレングリコー
ルジ(メタ)アクリレート、プロピレングリコールジ
(メタ)アクリレート、トリプロピレングリコールジ
(メタ)アクリレート、トリメチロールエタントリ(メ
タ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メ
タ)アクリレート、グリセロールジ(メタ)アクリレー
ト、グリセロールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエ
リスリトールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリ
トールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトー
ルテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトー
ルテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトー
ルペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトー
ルヘキサ(メタ)アクリレート、ヒドロキノンジ(メ
タ)アクリレート、レゾルシンジ(メタ)アクリレー
ト、ピロガロールトリ(メタ)アクリレート、ビスフェ
ノールA・エチレンオキサイド付加物ジ(メタ)アクリ
レート、トリメチロールプロパン・エチレンオキサイド
付加物トリ(メタ)アクリレート、グリセリン・プロピ
レンオキサイド付加物トリ(メタ)アクリレート、(メ
タ)アクリロイルオキシエチルホスフェート、ビス
((メタ)アクリロイルオキシエチル)ホスフェート、
トリス((メタ)アクリロイルオキシエチル)ホスフェ
ート、等の分子内にアクリロイル基を2個以上有するも
のが挙げられ、中で、アクリロイル基を3個以上有する
ものが好ましい。
【0010】又、その光重合開始剤としては、例えば、
2−(4−メトキシフェニル)−4,6−ビス(トリク
ロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−メトキシナ
フチル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−ト
リアジン、2−(4−エトキシナフチル)−4,6−ビ
ス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−
エトキシカルボニルナフチル)−4,6−ビス(トリク
ロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−メトキシス
チリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−ト
リアジン等のハロメチル化s−トリアジン誘導体、2−
(4−メトキシフェニル)−5−トリクロロメチル−
1,3,4−オキサジアゾール、2−(4−メトキシス
チリル)−5−トリクロロメチル−1,3,4−オキサ
ジアゾール等のハロメチル化1,3,4−オキサジアゾ
ール誘導体、2,2’−ビス(o−クロロフェニル)−
4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、
2,2’−ビス(o−クロロフェニル)−4,4’,
5,5’−テトラ(m,m−ジメトキシフェニル)ビイ
ミダゾール、2,2’−ビス(o−フルオロフェニル)
−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾー
ル、2,2’−ビス(o−メトキシフェニル)−4,
4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,
2’−ビス(p−メトキシフェニル)−4,4’,5,
5’−テトラフェニルビイミダゾール等のビイミダゾー
ル誘導体、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインイソ
プロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベ
ンゾインフェニルエーテル等のベンゾイン誘導体、2−
メチルアントラキノン、2−エチルアントラキノン、2
−t−ブチルアントラキノン、1−クロロアントラキノ
ン等のアントラキノン誘導体、ベンズアンスロン等のア
ンスロン誘導体、ベンゾフェノン、2−メチルベンゾフ
ェノン、3−メチルベンゾフェノン、4−メチルベンゾ
フェノン、2−クロロベンゾフェノン、4−ブロモベン
ゾフェノン、2−カルボキシベンゾフェノン、ミヒラー
ケトン、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェ
ノン等のベンゾフェノン誘導体、2,2−ジメトキシ−
2−フェニルアセトフェノン、2,2−ジエトキシアセ
トフェノン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケ
トン、α−ヒドロキシ−2−メチルフェニルプロパノ
ン、1−ヒドロキシ−1−メチルエチル−(p−イソプ
ロピルフェニル)ケトン、1−ヒドロキシ−1−メチル
エチル−(p−ドデシルフェニル)ケトン、2−メチル
−(p−メチルチオフェニル)−2−モルホリノ−1−
プロパノン、1,1,1−トリクロロメチル−(p−ブ
チルフェニル)ケトン等のアセトフェノン誘導体、チオ
キサントン、2−エチルチオキサントン、2−イソプロ
ピルチオキサントン、2−クロロチオキサントン、2,
4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキ
サントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントン等の
チオキサントン誘導体、p−ジメチルアミノ安息香酸エ
チル、p−ジエチルアミノ安息香酸エチル等の安息香酸
エステル誘導体、9−フェニルアクリジン、9−(p−
メトキシフェニル)アクリジン等のアクリジン誘導体、
9,10−ジメチルベンズフェナジン等のフェナジン誘
導体、ジシクロペンタジエニルチタニウムジクロライ
ド、ジシクロペンタジエニルチタニウムビスフェニル、
ジシクロペンタジエニルチタニウムビス(2,4−ジフ
ルオロフェニル)、ジシクロペンタジエニルチタニウム
ビス(2,6−ジフルオロフェニル)、ジシクロペンタ
ジエニルチタニウムビス(2,4,6−トリフルオロフ
ェニル)、ジシクロペンタジエニルチタニウムビス
(2,3,5,6−テトラフルオロフェニル)、ジシク
ロペンタジエニルチタニウムビス(2,3,4,5,6
−ペンタフルオロフェニル)、ジ(メチルシクロペンタ
ジエニル)チタニウムビス(2,6−ジフルオロフェニ
ル)、ジ(メチルシクロペンタジエニル)チタニウムビ
ス(2,3,4,5,6−ペンタフルオロフェニル)、
ジシクロペンタジエニルチタニウムビス(2,6−ジフ
ルオロ−3−(1−ピロリル)フェニル)等のチタノセ
ン誘導体、等が挙げられ、中で、ハロメチル化s−トリ
アジン誘導体、ハロメチル化1,3,4−オキサジアゾ
ール誘導体、ビイミダゾール誘導体が好ましい。
【0011】尚、光重合型感光性樹脂において、前記ア
クリル系樹脂100重量部に対して、前記アクリル系モ
ノマー10〜200重量部、前記光重合開始剤0.5〜
20重量部の範囲で調製したものが特に好ましく用いら
れる。
【0012】本発明の遮光性感光性樹脂組成物は、基本
的には、前記感光性樹脂と遮光性色材としてのカーボン
ブラックからなり、感光性樹脂にカーボンブラックイン
キを配合し乾燥することにより調製されたものである。
ここで、カーボンブラックインキは、カーボンブラック
に分散剤と溶剤を加えて、例えば、ペイントシェーカ
ー、サンドグラインダー、ボールミル、ロールミル、ス
トーンミル、ジェットミル、ホモジナイザー等の分散機
で、通常は、ガラスビーズ、ジルコニアビーズ等のビー
ズを用いて、100℃以下の温度で分散処理することに
より調製される。
【0013】遮光性色材としてのカーボンブラックとし
ては、市販のものが用いられ、例えば、三菱化学社製の
商品名で、「MA7」、「MA8」、「MA11」、
「MA100」、「MA220」、「MA230」、
「♯52」、「♯50」、「♯47」、「♯45」、
「♯2700」、「♯2650」、「♯2200」、
「♯1000」、「♯990」、「♯900」等、デグ
サ社製の商品名で、「Printex95」、「Pri
ntex90」、「Printex85」、「Prin
tex75」、「Printex55」、「Print
ex45」、「Printex40」、「Printe
x30」、「Printex3」、「Printex
A」、「PrintexG」、「SpecialBla
ck550」、「SpecialBlack350」、
「SpecialBlack250」、「Specia
lBlack100」等、キャボット社製の商品名で、
「Monarch460」、「Monarch43
0」、「Monarch280」、「Monarch1
20」、「Monarch800」、「Monarch
4630」、「REGAL99」、「REGAL99
R」、「REGAL415」、「REGAL415
R」、「REGAL250」、「REGAL250
R」、「REGAL330」、「BLACK PEAR
LS480」、「BLACK PEARLS130」
等、コロンビアンカーボン社製の商品名で、「RAVE
N11」、「RAVEN15」、「RAVEN30」、
「RAVEN35」、「RAVEN40」、「RAVE
N410」、「RAVEN420」、「RAVEN45
0」、「RAVEN500」、「RAVEN780」、
「RAVEN850」、「RAVEN890H」、「R
AVEN1000」、「RAVEN1020」、「RA
VEN1040」等が挙げられ、これらの中で、1次粒
子の平均粒径が30nm以上、特には35nm以上のも
のが、目的とする光吸収、透過特性を得る上で好まし
い。
【0014】又、分散剤としては、カーボンブラックに
親和性のある界面活性剤、顔料誘導体、高分子化合物等
が挙げられ、中で、高分子化合物が、目的とする光吸
収、透過特性を得る上で好ましい。
【0015】又、溶剤としては、感光性樹脂を溶解させ
るものであれば特に限定はされないが、沸点が120〜
190℃の範囲にある有機溶剤、例えば、プロピレング
リコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモ
ノエチルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエ
ーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセ
テート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセ
テート、プロピレングリコールモノブチルエーテルアセ
テート、ジプロピレングリコールジメチルエーテル等の
プロピレングリコール系溶媒は、カーボンブラックの分
散を制御し易く、目的とする吸収、透過特性を得る上で
好ましい。
【0016】本発明の遮光性感光性樹脂組成物は、前記
感光性樹脂に前記カーボンブラックインキを、遮光性感
光樹脂組成物中のカーボンブラック含有量が35〜70
重量%、特には40〜65重量%となるように配合され
たものが好ましい。
【0017】本発明の遮光性感光性樹脂組成物は、前記
方法により調製され、膜厚1μm当たりの波長550n
mにおける吸光度OD550 が3以上、好ましくは3〜6
で、且つ、そのOD550 に対する同じく膜厚1μm当た
りの波長365nmにおける吸光度OD365 の比(OD
365 /OD550 )が1.00〜1.65、好ましくは
1.05〜1.60という特定の吸光度を示すものであ
る。OD550 が3未満では高遮光性が得られず、又、O
365 /OD550 が1.00未満では、カーボンブラッ
ク以外の他の遮光性色材の併用が必要となって、高遮光
性が得られず、1.65超過では画像形成性が劣ること
となる。
【0018】尚、本発明における光吸収特性は、カーボ
ンブラックの分散状態の制御により得られるものである
が、光吸収、透過特性は顔料粒径の影響を受けることか
らカーボンブラック凝集体の粒径を反映して特定の吸光
度を示していることが考えられるものの、現在のとこ
ろ、カーボンブラックが高濃度で配合された遮光性感光
性樹脂膜の凝集体粒径を実測する手段はなく、確認は困
難である。従って、適切な分散条件の設定に当たって
は、カーボンブラックインキ或いは樹脂組成物の光吸収
特性を分光光度計で確認して設定するのが実際的な手法
である。
【0019】又、本発明の遮光性感光性樹脂組成物は、
遮光性色材としてカーボンブラック以外の、例えばフタ
ロシアニン誘導体等の顔料や染料を含有していてもよい
が、本発明における特定の吸光度を得るためにはカーボ
ンブラックのみからなるものが好ましく、従って、本発
明における「実質的にカーボンブラックのみからなる」
とは、カーボンブラック以外の顔料や染料を本発明にお
ける特定の吸光度が得られる範囲で少量含有することを
意味するものである。又、本発明の樹脂組成物は、前記
成分以外に、例えば、塗布性改良剤、現像性改良剤、密
着性改良剤、感度改良剤、感脂化剤等の通常用いられる
各種の添加剤をさらに含有していてもよい。
【0020】本発明の遮光性感光性樹脂組成物は、透明
基板上に、前記の遮光性色材を含有する遮光性感光性樹
脂組成物溶液として塗布され乾燥されて遮光性感光性樹
脂組成物の層として形成された後、該層をフォトマスク
を介して画像露光し、必要に応じて硬化させ、現像する
ことにより、ブラックマトリックスとして形成され、さ
らにこの操作がRGB3色について各々繰り返され、カ
ラーフィルタが製造される。
【0021】ここで、透明基板としては、例えば、ポリ
エチレンテレフタレート等の飽和ポリエステル、ポリプ
ロピレンやポリエチレン等のポリオレフィン、ポリカー
ボネート、ポリメチルメタクリレート、ポリスルホン等
の熱可塑性樹脂、エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル樹
脂、ポリ(メタ)アクリル樹脂等の熱硬化性樹脂、或い
は各種のガラス板等が挙げられ、特に、耐熱性の点から
ガラス板、耐熱性プラスチックが好ましく用いられる。
尚、これら透明基板には、表面の接着性等を改良するた
めに、予め、コロナ放電処理、オゾン処理、シランカッ
プリング剤やウレタンポリマー等によるアンダーコート
処理等が行われていてもよい。
【0022】又、塗布方法は、特に限定されないが、例
えば、スピンコーター、ワイヤーバー、フローコータ
ー、ダイコーター、ロールコーター、スプレーコーター
等の塗布装置を用いて、乾燥後の樹脂組成物の膜厚が好
ましくは0.1〜2μm、特に好ましくは0.1〜1.
5μm、更に好ましくは0.1〜1μmの範囲となるよ
うに塗布される。乾燥は、ホットプレート、IRオーブ
ン、コンベンションオーブン等を用いて、40〜150
℃程度の温度で、10秒〜60分程度の時間でなされ
る。
【0023】又、画像露光する光源としては、例えば、
キセノンランプ、ハロゲンランプ、タングステンラン
プ、メタルハライドランプ、超高圧水銀灯、高圧水銀
灯、中圧水銀灯、低圧水銀灯等のランプ光源や、アルゴ
ンイオンレーザー、YAGレーザー、エキシマーレーザ
ー、窒素レーザー等のレーザー光源等が用いられる。
尚、特定の照射光のみを用いる場合には、光学フィルタ
を利用してもよい。
【0024】又、現像液としては、未露光部のレジスト
膜を溶解させ得る有機溶剤、例えば、アセトン、塩化メ
チレン、トリクレン、シクロヘキサノン等を用いること
もできるが、例えば、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、
珪酸ナトリウム、珪酸カリウム、水酸化ナトリウム、水
酸化カリウム等の無機のアルカリ剤、或いは、ジエタノ
ールアミン、トリエタノールアミン、水酸化テトラアル
キルアンモニウム塩等の有機のアルカリ剤の水溶液が好
ましい。
【0025】尚、後者のアルカリ現像液には、必要に応
じて、例えば、ナフタレンスルホン酸ナトリウム基、ベ
ンゼンスルホン酸ナトリウム基を有するアニオン性界面
活性剤、ポリアルキレンオキシ基を有するノニオン性界
面活性剤、テトラアルキルアンモニウム基を有するカチ
オン性界面活性剤等の界面活性剤、水溶性の有機溶剤、
水酸基又はカルボン酸基を有する低分子化合物等を含有
させることができ、特に、界面活性剤は、現像性、解像
性、地汚れ等の改良に有効である。現像は、浸漬現像、
スプレー現像、ブラシ現像、超音波現像等により、通
常、10〜50℃、特には15〜45℃程度の温度でな
されるのが好ましい。
【0026】
【実施例】以下、本発明を実施例によりさらに具体的に
説明するが、本発明はその要旨を越えない限り、以下の
実施例に限定されるものではない。
【0027】カーボンブラックインキ調製用分散剤の製
トリレンジイソシアネートの三量体(固形分50重量%
の酢酸ブチル溶液、三菱化学社製、「マイテックGP7
50A」)32gと触媒としてのジブチルチンジラウレ
ート0.02gをプロピレングリコールモノメチルエー
テルアセテート(PGMEA)47gに溶解し、攪拌
下、ポリエチレングリコール(片末端メトキシ基、分子
量1000、日本油脂社製、「ユニオックスM−100
0」)14.4gとポリプロピレングリコール(分子量
1000、三洋化成工業社製、「サンニックスPP−1
000」)9.6gとの混合物を滴下して、70℃で3
時間反応させた。引き続いて、N,N−ジメチルアミノ
−1,3−プロパンジアミン1gを加え、40℃で更に
1時間反応させた。得られた樹脂の中和滴定によるアミ
ン価は14mgKOH/gであり、固形分濃度は40重
量%であった。
【0028】感光性樹脂用バインダー樹脂の製造 スチレン−アクリル酸共重合体樹脂(酸価200、分子
量5000)20g、p−メトキシフェノール0.2
g、ドデシルトリメチルアンモニウムクロリド0.2
g、PGMEA40gをフラスコに仕込み、3,4−エ
ポキシシクロヘキシルメチルアクリレート7.6gを滴
下し、100℃で30時間反応させた。反応液を水に再
沈殿し、乾燥して樹脂を得た。得られた樹脂の酸価は8
0mgKOH/gであった。
【0029】実施例1〜4、比較例1〜2 表1に記載のカーボンブラック50重量部と前記製造例
で得た分散剤樹脂5重量部(固形分)を固形分濃度が5
0重量%となるようにPGMEAを加え、攪拌機により
プレミキシングした後、ペイントシェーカーにより25
〜45℃で6時間分散処理し、カーボンブラックインキ
を調製した。尚、ビーズは0.5mm径のジルコニアビ
ーズを分散液と同量用い、分散終了後、フィルターによ
り分離、除去した。このカーボンブラックインキを用い
て、遮光性色材としてのカーボンブラック50g、分散
剤樹脂5g、前記製造例で得たバインダー樹脂としての
アクリル系樹脂25g、アクリル系モノマーとしてのジ
ペンタエリスリトールヘキサアクリレート15g、光重
合開始剤としての2,2’−ビス(o−クロロフェニ
ル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾ
ール2g、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフ
ェノン1g、ペンタエリスリトールテトラキスチオプロ
ピオネート2g、及び溶剤としてのPGMEA300g
の配合割合になるように、各成分を加え、スターラーに
より攪拌、溶解させ、遮光性感光性樹脂組成物溶液を調
整した。
【0030】この遮光性感光性樹脂組成物溶液をスピン
コーターにてガラス基板(コーニング社製、「705
9」)に塗布し、ホットプレートにて80℃で1分間乾
燥した。乾燥後のレジストの膜厚を触針式膜厚計(テン
コール社製、「α−ステップ」)で測定したところ、1
μmであった。この樹脂組成物膜について、分光光度計
(日立製作所製、「U−3500」)にて吸収スペクト
ルを測定し、波長365nmにおける吸光度OD365
波長550nmにおける吸光度OD550 を読み取り、更
に両者の比OD365 /OD550を算出して結果を表1に
示した。引き続いて、ステップタブレットを通して高圧
水銀灯で150mj/cm2 の露光量で露光した後、温
度25℃で、濃度0.05%の水酸化カリウム水溶液に
1分間浸漬現像し、画像が形成された最大段数を求め感
度を評価し、結果を表1に示した。
【0031】
【表1】
【0032】
【発明の効果】本発明によれば、高遮光性を有すると共
に画像形成性に優れ、従って、遮光性色材の低含有量化
及び薄膜化が可能な遮光性感光性樹脂組成物、及び、そ
の遮光性感光性樹脂組成物をブラックマトリックスに用
いることによる高品位の液晶表示能を有するカラーフィ
ルタを提供することができる。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 遮光性色材を含有する遮光性感光性樹脂
    組成物であって、膜厚1μm当たりの波長550nmに
    おける吸光度OD550 が3以上で、且つ、そのOD550
    に対する波長365nmにおける吸光度OD365 の比
    (OD365/OD 550 )が1.00〜1.65であること
    を特徴とする遮光性感光性樹脂組成物。
  2. 【請求項2】 遮光性色材が実質的にカーボンブラック
    のみからなる請求項1に記載の遮光性感光性樹脂組成
    物。
  3. 【請求項3】 透明基板上に、請求項1又は2に記載の
    遮光性感光性樹脂組成物からなるブラックマトリックス
    が形成されてなることを特徴とするカラーフィルタ。
JP30820697A 1997-11-11 1997-11-11 遮光性感光性樹脂組成物及びそれを用いたカラーフィルタ Expired - Lifetime JP3915201B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP30820697A JP3915201B2 (ja) 1997-11-11 1997-11-11 遮光性感光性樹脂組成物及びそれを用いたカラーフィルタ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP30820697A JP3915201B2 (ja) 1997-11-11 1997-11-11 遮光性感光性樹脂組成物及びそれを用いたカラーフィルタ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH11142637A true JPH11142637A (ja) 1999-05-28
JP3915201B2 JP3915201B2 (ja) 2007-05-16

Family

ID=17978202

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP30820697A Expired - Lifetime JP3915201B2 (ja) 1997-11-11 1997-11-11 遮光性感光性樹脂組成物及びそれを用いたカラーフィルタ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3915201B2 (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006162716A (ja) * 2004-12-03 2006-06-22 Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd 遮光膜形成用感光性組成物、該遮光膜形成用感光性組成物で形成されたブラックマトリクス
US7399574B2 (en) 2001-09-28 2008-07-15 Dai Nippon Printing Co., Ltd. Curable resin for photo-patterning, process for producing the same, curable resin composition, color filter, liquid crystal panel substrate, and liquid crystal panel
JP2008306188A (ja) * 2007-06-07 2008-12-18 Dongjin Semichem Co Ltd 遮光型水溶性樹脂組成物

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101804259B1 (ko) 2015-03-24 2017-12-04 삼성에스디아이 주식회사 감광성 수지 조성물, 이를 이용한 블랙 컬럼 스페이서 및 컬러필터

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7399574B2 (en) 2001-09-28 2008-07-15 Dai Nippon Printing Co., Ltd. Curable resin for photo-patterning, process for producing the same, curable resin composition, color filter, liquid crystal panel substrate, and liquid crystal panel
JP2006162716A (ja) * 2004-12-03 2006-06-22 Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd 遮光膜形成用感光性組成物、該遮光膜形成用感光性組成物で形成されたブラックマトリクス
JP4611724B2 (ja) * 2004-12-03 2011-01-12 東京応化工業株式会社 遮光膜形成用感光性組成物、該遮光膜形成用感光性組成物で形成されたブラックマトリクス
JP2008306188A (ja) * 2007-06-07 2008-12-18 Dongjin Semichem Co Ltd 遮光型水溶性樹脂組成物

Also Published As

Publication number Publication date
JP3915201B2 (ja) 2007-05-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20040157140A1 (en) Photosensitive coloring composition, color filter using the composition and method of producing the same
US20050258406A1 (en) Black resist composition for color filter
EP0780731A3 (en) Photopolymerizable composition for a color filter, color filter and liquid crystal display device
JP4108303B2 (ja) 硬化性樹脂組成物、カラーフィルタ、カラーフィルタの製造方法、および液晶表示装置
JP2002341533A (ja) 着色組成物及びカラーフィルター用感光性着色組成物
JP3644201B2 (ja) カラーフィルター用レジスト組成物及びカラーフィルター
JP2005331938A (ja) ブラックマトリックス用感光性組成物
JP2003043685A (ja) 着色組成物及びカラーフィルター用感光性着色組成物
JP3641894B2 (ja) カラーフィルター用黒色光重合性組成物
JP2000001522A (ja) 遮光性感光性樹脂組成物及びこれを用いたカラーフィルター
JPH10282325A (ja) カラーフィルター用光重合性組成物及びカラーフィルター
JP2003035815A (ja) カラーフィルター用組成物及びカラーフィルター
JP3960311B2 (ja) ダイコート用硬化性樹脂組成物、カラーフィルタ、カラーフィルタの製造方法、および液晶表示装置
JPH11323143A (ja) 遮光性感光性樹脂組成物及びそれを用いたカラーフィルター
JP3915201B2 (ja) 遮光性感光性樹脂組成物及びそれを用いたカラーフィルタ
JP2003322716A (ja) カラーフィルター用組成物及びカラーフィルター
JP2001164142A (ja) 顔料分散体組成物
JP3641895B2 (ja) カラーフィルター用光重合性組成物及びカラーフィルター
JP2004219979A (ja) 着色感光性組成物、カラーフィルター及びこれを用いて形成された液晶表示装置
JP3572731B2 (ja) カラーフィルター
JP2005255753A (ja) 硬化性樹脂組成物、カラーフィルタ、および液晶表示装置
JPH11109616A (ja) 着色樹脂組成物及びカラーフィルター
JP2006171781A (ja) 遮光性感光性組成物の製造方法、遮光性感光性組成物、及びカラーフィルター
JPH11327128A (ja) 遮光性感光性樹脂組成物及びそれを用いたカラーフィルター
JPH10282326A (ja) カラーフィルター用光重合性組成物及びカラーフィルター

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20041129

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20050201

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20050331

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20061011

RD02 Notification of acceptance of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422

Effective date: 20061109

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20061115

A911 Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911

Effective date: 20061218

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20070116

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20070129

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100216

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110216

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120216

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120216

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130216

Year of fee payment: 6

EXPY Cancellation because of completion of term