JPH11142163A - Manufacture of angular velocity sensor - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method of manufacturing an angular velocity sensor having a piezoelectric vibrator with reduced variation of the offset noise of the sensor. SOLUTION: The manufacturing method comprises cutting a piezoelectric substrate B into a tuning fork shape to form a vibrator member 1, printing and baking electrodes 10-17, 20 on opposite planes X1, X2 of the vibrator member 1, heat treating the vibrator member above 300 deg.C to relax the residual stress of the vibrator member due to the cutting and electrode baking, and polarizing this member 1 in a direction perpendicular to the planes X1, X2.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、圧電体からなる振
動子の製造方法およびこの振動子を備えた角速度センサ
の製造方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a vibrator made of a piezoelectric material and a method for manufacturing an angular velocity sensor provided with the vibrator.

【０００２】[0002]

【従来の技術】従来、圧電体からなる振動子を備えた角
速度センサとして、例えば、特開平８−２１０８６０号
公報に記載のものがある。その構成を図８および図９に
示す。この角速度センサは、振動部材１および振動部材
１に形成された複数の電極を備えた振動子Ａと、この振
動子Ａを支持するための支持部３と、振動子Ａおよび支
持部３が取り付けられる基板２とから構成されている。2. Description of the Related Art Conventionally, as an angular velocity sensor provided with a vibrator made of a piezoelectric material, for example, there is one disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 8-210860. The structure is shown in FIGS. The angular velocity sensor includes a vibrator A including a vibrating member 1 and a plurality of electrodes formed on the vibrating member 1, a support 3 for supporting the vibrator A, and the vibrator A and the support 3 attached thereto. And a substrate 2 to be formed.

【０００３】そして、図８に示すｘｙｚ直交座標系にお
いて、振動子Ａは、被測定物である可動体（例えば車両
等）に対して基板２を介し、振動部材１の軸をｚ軸方向
として支持されるようになっている。振動部材１は、ｘ
軸方向に分極された圧電体からなり、一対の四角柱状の
アーム部（振動部）４、５と、各アーム部４、５の一端
を連結する連結部６とを有する音叉形状に形成されてい
る。また、振動部材１には、外部回路と信号をやり取り
するための複数の電極が形成されている。In the xyz orthogonal coordinate system shown in FIG. 8, a vibrator A is mounted on a movable body (eg, a vehicle or the like) as an object to be measured via a substrate 2 and the axis of the vibrating member 1 is set in the z-axis direction. It has become supported. The vibration member 1 has x
It is made of a piezoelectric material polarized in the axial direction, and is formed in a tuning fork shape having a pair of quadrangular prism-shaped arms (vibrating portions) 4 and 5 and a connecting portion 6 connecting one end of each arm 4 and 5. I have. Further, the vibration member 1 is formed with a plurality of electrodes for exchanging signals with an external circuit.

【０００４】振動部材１において、ｘ軸と直交するＸ１
面およびＸ２面のうちＸ１面に、駆動電極１０、１１、
参照電極１２、および分極処理用電極１４、１５が配置
され、ｙ軸と直交するＹ１面およびＹ２面に、角速度検
出用の検出電極１８、１９が配置され、Ｘ１面と対向す
るＸ２面の全面に、Ｘ１面の各電極および検出電極１
８、１９の基準電位用電極となる共通電極２０が全面に
配置されている。In the vibration member 1, X1 perpendicular to the x-axis
The drive electrodes 10, 11, and
The reference electrode 12 and the electrodes for polarization processing 14 and 15 are arranged, the detection electrodes 18 and 19 for detecting angular velocity are arranged on the Y1 plane and the Y2 plane orthogonal to the y-axis, and the entire X2 plane opposite to the X1 plane is arranged. Each electrode on the X1 plane and the detection electrode 1
A common electrode 20 serving as reference potential electrodes 8 and 19 is disposed on the entire surface.

【０００５】この角速度センサの作動は、次のようであ
る。すなわち、駆動電極１０、１１と共通電極２０に交
流電圧を印加してアーム部４、５をｙ軸方向に励振（駆
動振動）させる。このとき、振動子Ａに可動体のｚ軸回
りの角速度Ωｚが入力されると、コリオリ力によりアー
ム部４、５はｘ軸方向に振動（検知振動）する。この検
知振動により発生する角速度に比例した出力（電流）
を、検出電極１８、１９から検出し、角速度Ωｚの大き
さを求める。The operation of the angular velocity sensor is as follows. That is, an AC voltage is applied to the drive electrodes 10 and 11 and the common electrode 20 to excite the arm units 4 and 5 in the y-axis direction (drive vibration). At this time, when the angular velocity Ωz of the movable body about the z-axis is input to the vibrator A, the arms 4 and 5 vibrate (detection vibration) in the x-axis direction due to the Coriolis force. Output (current) proportional to the angular velocity generated by this detected vibration
Is detected from the detection electrodes 18 and 19, and the magnitude of the angular velocity Ωz is obtained.

【０００６】また、このような角速度センサは、一般
に、次のような製造工程にて製造される。すなわち、圧
電体を切削加工して音叉形状の振動部材１を形成した
後、振動部材１のＸ１、Ｘ２面に駆動電極１０、１１等
を印刷、焼付け等により形成し、Ｘ１、Ｘ２面の各電極
に電圧印加して振動部材１をｘ軸方向に分極処理する。
従って、Ｘ１、Ｘ２面の各電極は、振動部材１を分極す
るのに用いる電極の役割も果たしている。[0006] Such an angular velocity sensor is generally manufactured in the following manufacturing process. That is, after the piezoelectric body is cut to form the tuning fork-shaped vibrating member 1, the drive electrodes 10, 11 and the like are formed on the X 1 and X 2 surfaces of the vibrating member 1 by printing, baking, etc. A voltage is applied to the electrodes to polarize the vibration member 1 in the x-axis direction.
Therefore, the electrodes on the X1 and X2 planes also serve as electrodes used to polarize the vibration member 1.

【０００７】続いて、Ｙ１面、Ｙ２面に検出電極１８、
１９を形成して振動子Ａを完成させる。そして、振動子
Ａを支持部３に接着した後、支持部３と基板２を溶接等
により接合して角速度センサを完成させる。Subsequently, detection electrodes 18 are provided on the Y1 plane and the Y2 plane.
By forming 19, the vibrator A is completed. Then, after bonding the vibrator A to the support portion 3, the support portion 3 and the substrate 2 are joined by welding or the like to complete the angular velocity sensor.

【０００８】[0008]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
製造工程により振動子Ａを形成し、角速度センサとした
場合、その作動において、センサのオフセットノイズが
大きくばらつくという問題が生じる。ここで、オフセッ
トノイズとは、入力角速度が０の場合の検出電極１８、
１９からの出力である。従って、オフセットノイズが大
きくばらつくとセンサの精度悪化を引き起こしてしま
う。However, in the case where the vibrator A is formed by the above-described manufacturing process to form an angular velocity sensor, there arises a problem that the offset noise of the sensor greatly varies in the operation thereof. Here, the offset noise means the detection electrode 18 when the input angular velocity is 0,
This is the output from 19. Therefore, if the offset noise greatly varies, the accuracy of the sensor is deteriorated.

【０００９】本発明者は、この問題について鋭意検討し
たところ、上記の製造工程における振動部材１の加工お
よびＸ１、Ｘ２面の各電極（駆動電極１０、１１等）の
形成において発生する振動部材１の残留応力が、原因で
あることを見出した。例えば、切削加工のダメージによ
る振動部材１の残留応力、あるいは電極焼付け等による
振動部材１の残留応力が、振動子Ａの駆動振動および検
知振動に影響を与え、オフセットノイズを大きくばらつ
かせているのである。The inventor of the present invention has made intensive studies on this problem, and found that the vibrating member 1 generated during the processing of the vibrating member 1 and the formation of the electrodes (drive electrodes 10, 11 and the like) on the X1 and X2 planes in the above manufacturing process. Was found to be the cause. For example, the residual stress of the vibrating member 1 due to the damage of the cutting process or the residual stress of the vibrating member 1 due to electrode baking or the like affects the driving vibration and the detection vibration of the vibrator A, causing the offset noise to vary greatly. It is.

【００１０】そこで、本発明は上記点に鑑みて、圧電体
からなる振動子を備えた角速度センサの製造方法におい
て、センサのオフセットノイズのばらつきを低減するよ
うな製造方法を提供することを目的とする。In view of the above, it is an object of the present invention to provide a method of manufacturing an angular velocity sensor provided with a vibrator made of a piezoelectric material, in which a variation in offset noise of the sensor is reduced. I do.

【００１１】[0011]

【課題を解決するための手段】本発明者は、上記製造工
程において、上記の振動部材の残留応力を除去する工程
を導入することで、上記問題点の解決を図ることとし
た。すなわち、請求項１記載の発明においては、振動部
材（１、１０１、２０１）においてｘｙｚ直交座標系に
てｘ軸方向と略直交する第１の面（Ｘ１、Ｘ２）に第１
の電極部（Ｄ１、Ｄ２）を形成した後、振動部材（１、
１０１、２０１）の熱処理を行い、続いて、第１の電極
部（Ｄ１、Ｄ２）を介して振動部材（１、１０１、２０
１）をｘ軸方向に分極処理することを特徴とする。The inventor of the present invention has solved the above-mentioned problem by introducing a step of removing the residual stress of the vibration member in the above-mentioned manufacturing process. That is, in the first aspect of the present invention, the first surface (X1, X2) of the vibration member (1, 101, 201) is substantially perpendicular to the x-axis direction in the xyz orthogonal coordinate system.
After forming the electrode portions (D1, D2), the vibration members (1,
101, 201), followed by the vibration members (1, 101, 20) via the first electrode portions (D1, D2).
1) is characterized by performing polarization processing in the x-axis direction.

【００１２】それによって、振動部材（１、１０１、２
０１）を熱処理することで、振動部材（１、１０１、２
０１）の加工および第１の電極部（Ｄ１、Ｄ２）の形成
において発生する振動部材（１、１０１、２０１）の残
留応力を緩和することができ、センサのオフセットノイ
ズのばらつきを低減した角速度センサを提供することが
できる。Thus, the vibration members (1, 101, 2)
01) is subjected to a heat treatment, whereby the vibration members (1, 101, 2) are heated.
01) and the formation of the first electrode portions (D1, D2) can reduce the residual stress of the vibrating members (1, 101, 201) generated in the first electrode portions (D1, D2), and reduce the variation of the offset noise of the sensor. Can be provided.

【００１３】ここで、請求項２記載の発明のように、振
動部材（１、１０１、２０１）の熱処理は３００℃以上
の熱処理温度で行うものとすることが好ましい。また、
請求項３および請求項４記載の発明においては、圧電体
からなる振動部材（１、１０１、２０１）に該振動部材
（１、１０１、２０１）を分極するのに用いる電極（Ｄ
１、Ｄ２）を形成した後、振動部材（１、１０１、２０
１）の熱処理を行い、振動部材（１、１０１、２０１）
を分極処理して角速度検出用振動子を製造することを特
徴とする。Here, it is preferable that the heat treatment of the vibration member (1, 101, 201) is performed at a heat treatment temperature of 300 ° C. or more. Also,
According to the third and fourth aspects of the present invention, an electrode (D) used to polarize the vibrating member (1, 101, 201) is formed on the vibrating member (1, 101, 201) made of a piezoelectric body.
1, D2), and then vibrating members (1, 101, 20)
The heat treatment of 1) is performed, and the vibration member (1, 101, 201)
Is polarized to produce an angular velocity detecting vibrator.

【００１４】それによって、上記請求項１記載と同様の
作用により、残留応力が緩和された角速度検出用振動子
（１、１０１、２０１）を提供することができ、この振
動子を用いればセンサのオフセットノイズのばらつきを
低減した角速度センサを提供することができる。なお、
上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態記載の
具体的手段との対応関係を示すものである。According to the present invention, it is possible to provide an angular velocity detecting vibrator (1, 101, 201) in which residual stress is reduced by the same operation as in the first aspect. An angular velocity sensor with reduced offset noise variation can be provided. In addition,
The reference numerals in parentheses of the above means indicate the correspondence with specific means described in the embodiment described later.

【００１５】[0015]

【発明の実施の形態】以下、本発明を図に示す実施形態
について説明する。 （第１実施形態）図１は、本第１実施形態の角速度セン
サを示す斜視図である。本実施形態は、例えば、自動車
に取り付けられ、自動車の姿勢制御やカーナビゲーショ
ンシステム等に利用される角速度センサとして使用され
る。本実施形態は、振動子Ａ１と、振動子Ａ１を支持す
るための支持部３と、振動子Ａ１および支持部３が取り
付けられる基板２とから構成されている。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a block diagram showing a first embodiment of the present invention. (First Embodiment) FIG. 1 is a perspective view showing an angular velocity sensor according to the first embodiment. The present embodiment is used, for example, as an angular velocity sensor attached to an automobile and used for attitude control of the automobile, a car navigation system, and the like. The present embodiment includes a vibrator A1, a support portion 3 for supporting the vibrator A1, and a substrate 2 on which the vibrator A1 and the support portion 3 are mounted.

【００１６】振動子Ａ１は、分極された圧電体からなる
振動部材１と、この振動部材１に外部信号を入出力する
ための複数の電極を備えた構成となっている。振動部材
１は、一対の四角柱状のアーム部（振動部）４、５と、
各アーム部４、５の一端を連結する連結部６とを有する
音叉形状に形成されている。そして、振動子Ａ１は、連
結部６にて例えばエポキシ系の接着材で支持部３に接合
されており、この支持部３によってアーム部４、５の長
手方向（つまり振動部材１の軸）をｚ軸方向として支持
されている。支持部３は、例えば４２Ｎ（４２アロイ）
の様な金属粉を焼結させたもの（焼結金属）から成り、
くびれ部３ａを有して略エ字型を呈している。The vibrator A1 includes a vibrating member 1 made of a polarized piezoelectric material and a plurality of electrodes for inputting and outputting external signals to and from the vibrating member 1. The vibration member 1 includes a pair of quadrangular prism-shaped arm portions (vibration portions) 4 and 5,
It is formed in a tuning fork shape having a connecting portion 6 for connecting one end of each of the arm portions 4 and 5. The vibrator A1 is joined to the support portion 3 at the connecting portion 6 with, for example, an epoxy-based adhesive. The support portion 3 allows the longitudinal direction of the arms 4 and 5 (that is, the axis of the vibrating member 1) to be adjusted. It is supported as the z-axis direction. The support 3 is, for example, 42N (42 alloy)
Made of sintered metal powder (sintered metal) such as
It has a constricted portion 3a and has a substantially D shape.

【００１７】支持部３は、基板２に溶接等で接合されて
おり、基板２に形成された凹部２ｂによって、振動子Ａ
１は基板２に対して平行に浮遊した形となっている。そ
して、振動子Ａ１は、被測定物である可動体（例えば車
両等）に対して、支持部３および基板２を介して支持さ
れる。ここで、ｚ軸は、振動部材１において、両アーム
部４、５の長手方向と平行且つ両アーム部４、５の中央
に位置する軸であるが、このｚ軸方向に延びる振動部材
１の各面を以下のように定義する。The support portion 3 is joined to the substrate 2 by welding or the like, and the vibrator A is formed by a concave portion 2b formed in the substrate 2.
Reference numeral 1 denotes a shape floating in parallel with the substrate 2. The vibrator A1 is supported by a movable body (for example, a vehicle or the like), which is an object to be measured, via the support 3 and the substrate 2. Here, the z-axis is an axis that is parallel to the longitudinal direction of both arms 4 and 5 and that is located at the center of both arms 4 and 5 in vibration member 1. Each surface is defined as follows.

【００１８】両アーム部４、５と連結部６とが同一平面
を形成し対向する略コ字形状の一対の面であるＸ１、Ｘ
２面（第１の面）のうち、基板２のＫ１面とは反対側の
面をＸ１面、Ｘ１面と対向する他方の面をＸ２面とす
る。また、振動部材１の外周に位置し且つアーム部４、
５の配列方向であるｙ軸と直交する面であるＹ１、Ｙ２
面（第２の面）のうち、アーム部４側をＹ１面、アーム
部５側をＹ２面とする。X1 and X, which are a pair of substantially U-shaped surfaces facing each other, are formed by the arms 4 and 5 and the connecting portion 6 forming the same plane.
Of the two surfaces (the first surface), the surface of the substrate 2 opposite to the K1 surface is defined as an X1 surface, and the other surface facing the X1 surface is defined as an X2 surface. Further, the arm 4 is located on the outer periphery of the vibration member 1 and
Y1, Y2 which are planes orthogonal to the y-axis, which is the arrangement direction of
Of the surfaces (second surfaces), the arm portion 4 side is defined as Y1 surface, and the arm portion 5 side is defined as Y2 surface.

【００１９】また、Ｘ１面およびＸ２面と直交する方向
をｘ軸として、上記ｙ軸およびｚ軸とともに、図１に示
すｘｙｚ直交座標系が構成される。以下、本実施形態に
おいて、このｘｙｚ直交座標を用いて説明する。また、
以下、ｘ軸方向というのは、ｘ軸と平行な方向であるこ
とを意味する。ｙ軸方向、ｚ軸方向についても同様であ
る。An xyz orthogonal coordinate system shown in FIG. 1 is constructed together with the y-axis and the z-axis with the direction orthogonal to the X1 plane and the X2 plane as the x-axis. Hereinafter, the present embodiment will be described using the xyz rectangular coordinates. Also,
Hereinafter, the x-axis direction means a direction parallel to the x-axis. The same applies to the y-axis direction and the z-axis direction.

【００２０】なお、ここでＸ１、Ｘ２面とＹ１、Ｙ２面
とは９０°である必要はない。要は、ｙ軸と直交する角
速度によって生じるｘ軸方向への振動を検出できるよう
な角度（角速度検出可能角度）であればよい。このこと
は、以下の各実施形態においても同様である。ここで、
振動部材１は、図１の白抜き矢印に示すように、ｘ軸方
向に分極処理されている。また、振動部材１は、後述す
るオフセットノイズＮのばらつきが小さくなるように、
内部の残留応力が緩和されたものとなっている。Here, the planes X1 and X2 and the planes Y1 and Y2 do not need to be at 90 °. In short, any angle (angle at which angular velocity can be detected) can be used as long as vibration in the x-axis direction caused by an angular velocity orthogonal to the y-axis can be detected. This is the same in the following embodiments. here,
The vibrating member 1 is polarized in the x-axis direction, as indicated by a white arrow in FIG. In addition, the vibration member 1 is designed to reduce the variation of the offset noise N described below.
The internal residual stress is reduced.

【００２１】次に、振動子Ａ１に備えられている電極構
成について説明する。図２は、振動部材１の外周面上に
形成された各電極１０〜２４の構成を、振動部材１の前
後、左右から見た展開図である。（ａ）はＸ１面、
（ｂ）はＸ２面、（ｃ）はＹ１面、（ｄ）はＹ２面上の
電極構成を示すものである。Ｘ１面には、振動部材１を
ｙ軸方向に励振させるための駆動電極１０、１１と、駆
動状態をモニタし自励発振させるため帰還用の参照電極
１２、１３と、取出し用パット電極１４、１５と、検出
用パット電極（ポスト電極）１６、１７とが形成されて
いる。Next, the configuration of the electrodes provided on the vibrator A1 will be described. FIG. 2 is a development view of the configuration of each of the electrodes 10 to 24 formed on the outer peripheral surface of the vibration member 1 as viewed from front, rear, left and right of the vibration member 1. (A) is the X1 plane,
(B) shows the X2 plane, (c) shows the Y1 plane, and (d) shows the electrode configuration on the Y2 plane. On the X1 plane, drive electrodes 10 and 11 for exciting the vibrating member 1 in the y-axis direction, reference electrodes 12 and 13 for feedback for monitoring the drive state and performing self-excited oscillation, 15 and pad electrodes (post electrodes) 16 and 17 for detection are formed.

【００２２】一方、Ｙ１、Ｙ２面には、コリオリ力によ
って発生する電荷を取出し角速度を検出するための角速
度検出電極１８、１９が形成されている。また、Ｘ２面
には、上記駆動および参照電極１０〜１３および角速度
検出電極１８、１９の基準電位用電極である共通電極２
０がほぼ全面に形成されている。ここで、角速度検出電
極１８、１９は、それぞれ、Ｙ１、Ｙ２面上の引出し電
極２１、２２を介して検出用パット電極１６、１７と電
気的に導通している。また、共通電極２０は、それぞ
れ、Ｙ１、Ｙ２面上の引出し電極２３、２４を介して取
出し用パット電極１４、１５と電気的に導通している。On the other hand, on the Y1 and Y2 surfaces, angular velocity detecting electrodes 18 and 19 for extracting electric charges generated by Coriolis force and detecting the angular velocity are formed. On the X2 plane, a common electrode 2 serving as a reference potential electrode of the drive and reference electrodes 10 to 13 and the angular velocity detection electrodes 18 and 19 is provided.
0 is formed on almost the entire surface. Here, the angular velocity detection electrodes 18 and 19 are electrically connected to the detection pad electrodes 16 and 17 via the extraction electrodes 21 and 22 on the Y1 and Y2 planes, respectively. The common electrode 20 is electrically connected to the extraction pad electrodes 14 and 15 via the extraction electrodes 23 and 24 on the Y1 and Y2 planes, respectively.

【００２３】なお、角速度検出電極１８は、アーム部４
においてＹ１面と対向する面、角速度検出電極１９は、
アーム部５においてＹ２面と対向する面にあってもよ
い。また、角速度検出電極は、Ｙ１面またはＹ２面のど
ちらか一方のみにあってもよい。一方のみの場合、角速
度検出電極がある側のアーム部の検知振動から角速度検
出がなされる。The angular velocity detecting electrode 18 is connected to the arm 4
In the surface facing the Y1 surface, the angular velocity detecting electrode 19 is
It may be on the surface of the arm 5 opposite to the Y2 surface. Further, the angular velocity detecting electrodes may be provided on only one of the Y1 plane and the Y2 plane. In the case of only one, the angular velocity is detected from the detected vibration of the arm on the side where the angular velocity detecting electrode is located.

【００２４】ここで、上記の各電極のうち、Ｘ１面（第
１の面）に形成された電極１０〜１７をＸ１面電極Ｄ１
とし、Ｘ２面（第１の面）に形成された電極２０をＸ２
面電極Ｄ２とし、これらＸ１面、Ｘ２面電極Ｄ１、Ｄ２
が第１の電極部として構成されている。そして、第１の
電極部Ｄ１、Ｄ２は、後述するように、振動部材１を分
極するのに用いられる。Here, of the above electrodes, the electrodes 10 to 17 formed on the X1 plane (first plane) are replaced with the X1 plane electrodes D1.
And the electrode 20 formed on the X2 plane (first plane) is
The surface electrode D2, these X1 surface, X2 surface electrode D1, D2
Are configured as a first electrode unit. The first electrode portions D1 and D2 are used to polarize the vibration member 1 as described later.

【００２５】また、上記の各電極のうち、Ｙ１面（第２
の面）に形成された電極１８、２１、２３をＹ１面電極
Ｅ１とし、Ｙ２面（第２の面）に形成された電極１９、
２２、２４をＹ２面電極Ｅ２とし、これらＹ１面、Ｙ２
面電極Ｅ１、Ｅ２が第２の電極部として構成されてい
る。以上のように、本実施形態の角速度センサは構成さ
れているが、さらに、この角速度センサと外部との信号
の入出力は、例えば、図１に示すように、基板２上に絶
縁、構成されたターミナルＴ１〜Ｔ８とＸ１面上の各電
極１０〜１７とを、ワイヤＷ１〜Ｗ８でワイヤボンデイ
ングにて結線することにより行う。In each of the above electrodes, the Y1 plane (second
The electrodes 18, 21, and 23 formed on the Y1 plane electrode E1 are used as the electrodes 18, 21, and 23 formed on the Y2 plane (the second plane).
22 and 24 are Y2 plane electrodes E2.
The surface electrodes E1 and E2 are configured as a second electrode unit. As described above, the angular velocity sensor according to the present embodiment is configured. Further, input and output of signals between the angular velocity sensor and the outside are insulated and configured on the substrate 2 as shown in FIG. 1, for example. The terminals T1 to T8 and the electrodes 10 to 17 on the X1 plane are connected by wires W1 to W8 by wire bonding.

【００２６】これらターミナルＴ１〜Ｔ８は、基板２を
貫通して設けられ、基板２のＫ１面とは反対の面側に
て、角速度センサと外部との信号の入出力するための図
示しない駆動・検出回路（外部回路）に、電気的に接続
されている。なお、各ターミナルＴ１〜Ｔ８の外周に
は、絶縁ガラス２ａが配置され、ターミナルＴ１〜Ｔ８
と基板２との電気絶縁、及び気密を保つ役割を果してい
る。These terminals T1 to T8 are provided to penetrate the substrate 2, and a drive / not-shown terminal for inputting / outputting signals between the angular velocity sensor and the outside is provided on the surface of the substrate 2 opposite to the K1 surface. It is electrically connected to a detection circuit (external circuit). Insulating glass 2a is arranged on the outer periphery of each of the terminals T1 to T8.
It plays a role of maintaining electric insulation between the substrate 2 and the airtightness.

【００２７】なお、基板２には、図示しない取付部が形
成されており、本実施形態の角速度センサは、この取付
部によって被測定物である可動体（車両等）の適所に、
例えば、図１に示すｚ軸方向を上下方向として取り付け
られる。以上の構成に基づき、本実施形態の角速度セン
サの作動について説明する。上記の駆動・検出回路によ
って、取出し用パット電極１４、１５を介して、共通電
極２０と駆動電極１０および駆動電極１１との間に、そ
れぞれ位相の１８０度異なる交流電圧（駆動電圧）をｘ
軸方向に印加することにより、各アーム部４、５をｙ軸
方向に励振（駆動振動）させる。この時、参照電極１
２、１３と共通電極２０との間を流れる出力（電流）を
検知し、振動状態をモニターしながらフィードバックを
行う。その結果、周囲温度が変化してもアーム部４、５
のｙ軸方向の振幅（駆動振幅）が一定となるように自励
発振制御を行うことができる。A mounting portion (not shown) is formed on the substrate 2, and the angular velocity sensor according to the present embodiment is provided at an appropriate position on a movable body (vehicle or the like) to be measured by the mounting portion.
For example, it is attached with the z-axis direction shown in FIG. The operation of the angular velocity sensor according to the present embodiment based on the above configuration will be described. By the above-mentioned drive / detection circuit, an alternating voltage (drive voltage) having a phase difference of 180 degrees between the common electrode 20 and the drive electrode 10 and between the common electrode 20 and the drive electrode 11 via the extraction pad electrodes 14 and 15 is x.
The application in the axial direction excites (drives) each of the arms 4 and 5 in the y-axis direction. At this time, the reference electrode 1
Output (current) flowing between the common electrodes 2 and 13 and the common electrode 20 is detected, and feedback is performed while monitoring the vibration state. As a result, even if the ambient temperature changes, the arm portions 4, 5,
The self-excited oscillation control can be performed such that the amplitude (drive amplitude) in the y-axis direction becomes constant.

【００２８】上記の駆動振動時に、例えば、可動体であ
る車両がスピンする等して、振動子Ａ１に対して、ｚ軸
（検出軸）回りに角速度Ωｚが入力された時、コリオリ
力によりアーム部４、５は、ｘ軸方向に角速度Ωｚに比
例した変位（検知振動）を発生し、そのとき角速度検出
電極１８、１９により角速度に比例した出力（電流）が
発生し、この出力を引出し電極２１、２２および検出用
パット電極１６、１７を介して検出して角速度Ωｚを検
出する。When an angular velocity Ωz is input to the vibrator A1 around the z-axis (detection axis) due to, for example, spinning of a movable vehicle during the above-described driving vibration, the arm is driven by Coriolis force. The units 4 and 5 generate displacement (detection vibration) proportional to the angular velocity Ωz in the x-axis direction. At that time, outputs (currents) proportional to the angular velocity are generated by the angular velocity detection electrodes 18 and 19, and this output is extracted. Angular velocity Ωz is detected by detecting via the detection pad electrodes 21 and 22 and the detection pad electrodes 16 and 17.

【００２９】ここで、単位角速度（１ｄｅｇ／ｓｅｃ）
当たりの出力を感度Ｓと定義し、角速度無しでの角速度
検出電極１８、１９からの出力をオフセットノイズＮと
呼び、感度ＳとオフセットノイズＮとの比をＳ／Ｎとす
る。次に、本実施形態の角速度センサの製造方法につい
て、図３の製造工程図を参照して説明する。なお、図３
中、左側の各工程と対応する説明図を右側に表してあ
る。まず、造粒された圧電体（本実施形態では、ＰＺ
Ｔ）の粉体を成形、焼成し圧電体基板Ｂを作成する（基
板作成工程Ｓ１）。次に、この基板を所定形状にダイシ
ングソー等を用いて切断し、振動部材１を形成する（振
動部材加工工程Ｓ２）。Here, the unit angular velocity (1 deg / sec)
The output per hit is defined as sensitivity S, the output from the angular velocity detection electrodes 18 and 19 without angular velocity is called offset noise N, and the ratio of sensitivity S to offset noise N is S / N. Next, a method of manufacturing the angular velocity sensor according to the present embodiment will be described with reference to a manufacturing process diagram of FIG. Note that FIG.
In the middle, the illustration corresponding to each step on the left is shown on the right. First, a granulated piezoelectric body (in this embodiment, PZ
The powder of T) is formed and fired to form a piezoelectric substrate B (substrate forming step S1). Next, the substrate is cut into a predetermined shape using a dicing saw or the like to form the vibration member 1 (vibration member processing step S2).

【００３０】続いて、振動部材１のＸ１、Ｘ２面に、銀
を主成分とする導体を印刷法等によりパターニングし、
焼付けを行い、各電極１０〜１７および２０、すなわち
第１の電極部Ｄ１及びＤ２を形成する（第１の電極形成
工程Ｓ３）。続いて、振動部材１を形成する圧電体（本
実施形態ではＰＺＴ）のキュリー温度若しくはそれ以上
の高温（例えば、３００℃以上）に振動部材１を所定時
間（例えば４０分）さらし、ダイシングによるダメージ
や電極焼付けによる残留応力を開放する（熱処理工程Ｓ
４）。なお、ここまでの段階で、振動部材１は未だｘ軸
方向に分極されていない。Subsequently, a conductor containing silver as a main component is patterned on the X1 and X2 surfaces of the vibration member 1 by a printing method or the like.
Baking is performed to form the electrodes 10 to 17 and 20, that is, the first electrode portions D1 and D2 (first electrode forming step S3). Subsequently, the vibrating member 1 is exposed to a Curie temperature of a piezoelectric body (PZT in the present embodiment) forming the vibrating member 1 or a high temperature thereof (for example, 300 ° C. or more) for a predetermined time (for example, 40 minutes), and damage due to dicing. The residual stress caused by baking and electrode baking (heat treatment process S
4). At this stage, the vibration member 1 has not yet been polarized in the x-axis direction.

【００３１】続いて、第１の電極部Ｄ１及びＤ２を介し
て、Ｘ１、Ｘ２面に電圧を印加して、振動部材１をｘ軸
方向に分極処理する（分極処理工程Ｓ５）。その後、Ｙ
１、Ｙ２面に硬化可能な金属粉を含む導電性の樹脂ペー
ストを印刷法等によりパターニングし、硬化させること
により、各電極１８、１９および２１〜２４、すなわち
第２の電極部Ｅ１及びＥ２を形成する（第２の電極形成
工程Ｓ６）。こうして、振動子Ａ１が完成する。Subsequently, a voltage is applied to the X1 and X2 planes via the first electrode portions D1 and D2 to polarize the vibration member 1 in the x-axis direction (polarization processing step S5). Then Y
1. The electrodes 18, 19 and 21 to 24, that is, the second electrode portions E1 and E2 are formed by patterning and curing a conductive resin paste containing a curable metal powder on the Y2 surface by a printing method or the like. It is formed (second electrode forming step S6). Thus, the transducer A1 is completed.

【００３２】そして、振動子Ａ１を支持部３に接着した
（支持部取付工程）後、基板２に支持部３を介して振動
子Ａ１を取り付ける、すなわち支持部３を基板２に溶接
する（基板取付工程）。こうして、本実施形態の角速度
センサが完成する。そして、上記のように各電極をワイ
ヤボンディングにて結線し、外部の駆動・検出回路と電
気的に接続することで、信号の入出力が可能な状態とな
る。After bonding the vibrator A1 to the support portion 3 (support portion mounting step), the vibrator A1 is mounted on the substrate 2 via the support portion 3, ie, the support portion 3 is welded to the substrate 2 (substrate 2). Mounting process). Thus, the angular velocity sensor of the present embodiment is completed. Then, as described above, the electrodes are connected by wire bonding and electrically connected to an external drive / detection circuit, so that signals can be input and output.

【００３３】ここで、熱処理工程Ｓ４を行う根拠を述べ
る。従来の製造方法では、上記製造工程において、熱処
理工程Ｓ４を行わないものとなっている。そのため、振
動部材には、ダイシングによるダメージや電極焼付けに
よる残留応力が残ったままとなる。本発明者の検討によ
れば、上記したセンサの感度Ｓ、オフセットノイズＮお
よびＳ／Ｎへの影響において、上記の残留応力は、感度
Ｓにはさほど影響はないが、オフセットノイズＮを大き
くばらつかせ、Ｓ／Ｎを悪化させるという問題があるこ
とがわかった。Here, the grounds for performing the heat treatment step S4 will be described. In the conventional manufacturing method, the heat treatment step S4 is not performed in the above manufacturing steps. Therefore, damage to the vibrating member due to dicing and residual stress due to electrode baking remain. According to the study of the present inventor, in the influence on the sensitivity S, the offset noise N, and the S / N of the sensor described above, the above-mentioned residual stress does not significantly affect the sensitivity S, but greatly varies the offset noise N. It has been found that there is a problem that the S / N is deteriorated.

【００３４】そして、熱処理により、ダイシングによる
ダメージや電極焼付けによる残留応力を緩和できるので
はないかと考え、熱処理の効果を確認する実験を行っ
た。実験は、一度、従来の製造工程にて製造した振動子
を用いてオフセットノイズＮを測定し、それを再度、熱
処理工程Ｓ４以降の工程を通した後オフセットノイズＮ
を測定するという方法で、熱処理温度とセンサのオフセ
ットノイズＮとの関係を調べた。ちなみに、熱処理時間
すなわち振動子をさらす時間は、４０分とした。実験の
結果を図４に示す。Then, an experiment was conducted to confirm the effect of the heat treatment on the assumption that the heat treatment could reduce the damage due to dicing and the residual stress due to electrode baking. In the experiment, the offset noise N was measured once using a vibrator manufactured in a conventional manufacturing process, and the offset noise N was measured again through the heat treatment process S4 and subsequent steps.
Was measured to determine the relationship between the heat treatment temperature and the offset noise N of the sensor. Incidentally, the heat treatment time, that is, the time for exposing the oscillator was set to 40 minutes. FIG. 4 shows the results of the experiment.

【００３５】ここで、図４は、熱処理温度（℃）とオフ
セットノイズＮ（ｍＶ）との関係を示すグラフであり、
横軸に、熱処理温度（２００、３００、４００、５００
℃）をとり、縦軸に、オフセットノイズＮをとってい
る。なお、グラフには、従来の製造工程にて製造した振
動子におけるオフセットノイズＮも、横軸上に熱処理前
として示してある。FIG. 4 is a graph showing the relationship between the heat treatment temperature (° C.) and the offset noise N (mV).
The horizontal axis indicates the heat treatment temperature (200, 300, 400, 500
° C), and the vertical axis represents offset noise N. In the graph, the offset noise N in the vibrator manufactured in the conventional manufacturing process is also shown on the horizontal axis as before the heat treatment.

【００３６】図４からわかるように、２００℃での熱処
理では、オフセットノイズＮは熱処理前と殆ど変わらず
低減しないのに対し、３００℃以上の熱処理を行うこと
によりオフセットノイズＮが急激に低減する。また、４
００、５００℃では、３００℃とそれほど大差なく、オ
フセットノイズＮの低減効果は３００℃でおおよそ飽和
している。従って、本実施形態では、熱処理温度は３０
０℃が好ましい。As can be seen from FIG. 4, in the heat treatment at 200.degree. C., the offset noise N hardly decreases as before, but the heat treatment at 300.degree. C. or more sharply reduces the offset noise N. . Also, 4
At 00 and 500 ° C., there is not much difference from 300 ° C., and the effect of reducing the offset noise N is almost saturated at 300 ° C. Therefore, in this embodiment, the heat treatment temperature is 30
0 ° C. is preferred.

【００３７】このように、本実施形態によれば、振動子
Ａ１の製造に当たり、振動部材１の加工、電極焼付け等
による残留応力の影響を低減するため、分極処理以外の
応力が残留する工程が終了した後、高温に振動部材１を
さらす熱処理工程Ｓ４を導入することにより、オフセッ
トノイズＮを低減することができ、高Ｓ／Ｎな角速度セ
ンサを提供することができる。As described above, according to the present embodiment, in manufacturing the vibrator A1, in order to reduce the influence of residual stress due to processing of the vibrating member 1, baking of electrodes, etc., a process in which a stress other than the polarization process remains is performed. After the completion, by introducing a heat treatment step S4 of exposing the vibration member 1 to a high temperature, the offset noise N can be reduced, and a high S / N angular velocity sensor can be provided.

【００３８】（第２実施形態）本発明の第２実施形態を
図５及び図６に示す。本実施形態の角速度センサは、振
動子Ａ２と、振動子Ａ２を支持するための支持部１０７
と、振動子Ａ２および支持部１０７が取り付けられる基
板１１０とから構成されている。本実施形態では、振動
子Ａ２の本体を構成する振動部材１０１が、図に示すよ
うな４脚音叉形状の圧電体からなることが上記第１実施
形態と異なる。図５は本実施形態の角速度センサの斜視
図である。(Second Embodiment) FIGS. 5 and 6 show a second embodiment of the present invention. The angular velocity sensor according to the present embodiment includes a vibrator A2 and a support portion 107 for supporting the vibrator A2.
And a substrate 110 to which the vibrator A2 and the support portion 107 are attached. This embodiment differs from the first embodiment in that the vibration member 101 constituting the main body of the vibrator A2 is made of a four-legged tuning fork-shaped piezoelectric body as shown in the figure. FIG. 5 is a perspective view of the angular velocity sensor of the present embodiment.

【００３９】振動部材１０１は、例えばＰＺＴ等の圧電
体からなり、略平行に配列された４本の四角柱状のアー
ム部（振動部）１０２、１０３、１０４、１０５と、各
アーム部１０２〜１０５の片端部を共通に固定支持する
共通の連結部１０６とを有し、櫛形音叉形状を成してい
る。そして、内側一対のアーム部１０３、１０４が駆動
用アーム部、外側一対のアーム部１０２、１０５が検出
用アーム部として構成されている。The vibrating member 101 is made of, for example, a piezoelectric material such as PZT, and has four quadrangular prism-shaped arm portions (vibrating portions) 102, 103, 104, and 105 arranged substantially in parallel, and each of the arm portions 102 to 105. And a common connecting portion 106 for fixing and supporting one end of the common fork, and has a comb-shaped tuning fork shape. The pair of inner arms 103 and 104 is configured as a drive arm, and the pair of outer arms 102 and 105 is configured as a detection arm.

【００４０】ここで、図５に示す様に、アーム部１０２
〜１０５の配列方向をｙ軸、アーム部１０２〜１０５の
長手方向をｚ軸、アーム部１０２〜１０５及び連結部１
０６の厚み方向をｘ軸としてｘｙｚ直交座標系が構成さ
れる。ここで、ｚ軸は内側一対のアーム部１０３、１０
４の間の中央部に位置する。以下、このｘｙｚ直交座標
系に基づいて本実施形態を説明する。なお、ｘ軸方向と
いうのはｘ軸と平行な方向をいうものとし、ｙ軸、ｚ軸
についても同様である。Here, as shown in FIG.
To 105 are the y-axis, the longitudinal direction of the arm units 102 to 105 is the z-axis, the arm units 102 to 105 and the connecting unit 1
An xyz orthogonal coordinate system is configured with the thickness direction of the 06 as the x-axis. Here, the z-axis is a pair of inner arms 103, 10
It is located in the center between the four. Hereinafter, the present embodiment will be described based on the xyz rectangular coordinate system. Note that the x-axis direction refers to a direction parallel to the x-axis, and the same applies to the y-axis and the z-axis.

【００４１】また、振動部材１０１においてｘ軸と直交
する面（第１の面）のうち基板１１０と対向する面をＸ
２面とし、このＸ２面とは反対側の面をＸ１面とする。
また振動部材１０１の外周に位置しｙ軸と直交する面
（第２の面）のうちアーム部１０２側の面をＹ２面と
し、アーム部１０５側の面をＹ１面とする。なお、上述
の如く、本実施形態においてもＸ１、Ｘ２面とＹ１、Ｙ
２面とは角速度検出可能角度であればよい。Further, of the surface (first surface) orthogonal to the x-axis of the vibration member 101, the surface facing the substrate 110 is defined as X
Two planes, and a plane opposite to the X2 plane is defined as an X1 plane.
Further, of the surfaces (second surfaces) located on the outer periphery of the vibration member 101 and orthogonal to the y-axis, the surface on the arm unit 102 side is defined as Y2 surface, and the surface on the arm unit 105 side is defined as Y1 surface. As described above, also in the present embodiment, the X1 and X2 planes and the Y1 and Y planes are used.
The two surfaces may be any angle at which angular velocity can be detected.

【００４２】ここで、振動部材１０１は、図５の白抜き
矢印に示すように、ｘ軸方向に分極処理され、オフセッ
トノイズＮのばらつきが小さくなるように、内部の残留
応力が緩和されたものとなっている。支持部３は、上記
第１実施形態と同様に、くびれ部３ａを有する略エの字
型形状の焼結金属からなる。なお、くびれ部３ａは、連
結部１０６の略中央部位（すなわち内側の１対のアーム
部１０３、１０４の支持部位の間の略中央部位）から、
ｚ軸方向においてアーム部１０２〜１０５とは反対側に
延びるように位置する。また、くびれ部３ａの中心軸は
ｚ軸とほぼ一致する。つまり、くびれ部３ａは、実質的
に振動子Ａ２の中心線上に位置し、ｚ軸回りに捩じれ可
能なトーションビームとしての機能を有する。Here, the vibration member 101 is polarized in the x-axis direction, as indicated by a white arrow in FIG. 5, and the internal residual stress is reduced so that the variation of the offset noise N is reduced. It has become. The support portion 3 is made of a substantially D-shaped sintered metal having a constricted portion 3a, as in the first embodiment. Note that the constricted portion 3a is formed from a substantially central portion of the connecting portion 106 (that is, a substantially central portion between the support portions of the pair of inner arms 103 and 104).
It is located so as to extend in the z-axis direction on the side opposite to the arm portions 102 to 105. The central axis of the constricted portion 3a substantially coincides with the z-axis. That is, the constricted portion 3a is located substantially on the center line of the transducer A2 and has a function as a torsion beam that can be twisted around the z-axis.

【００４３】そして、支持部３は、図５に示す様に、一
方側で連結部１０６と接着等により固定され、他方側で
上記スペーサ１０７を介して基板（ベース）１１０と溶
接等により接合固定されている。従って、振動子Ａ２は
支持部３及びスペーサ１０７を介し、基板１１０に対し
て浮遊した状態で支持される。次に、振動部材１０１に
外部信号を入出力するため振動部材１０１上のＸ１、Ｘ
２、Ｙ１、Ｙ２面上に形成された複数の電極構成につい
て、図６の展開図を参照して説明する。図６において
（ａ）はＸ１面、（ｂ）はＸ２面、（ｃ）はＹ１面、
（ｄ）はＹ２面の電極構成を示す。なお、図６の座標は
（ａ）に対応している。As shown in FIG. 5, the support portion 3 is fixed to the connecting portion 106 on one side by bonding or the like, and is joined and fixed to the substrate (base) 110 via the spacer 107 on the other side by welding or the like. Have been. Therefore, the vibrator A2 is supported by the support portion 3 and the spacer 107 in a floating state with respect to the substrate 110. Next, X1 and X on the vibration member 101 for inputting / outputting an external signal to / from the vibration member 101.
The configuration of a plurality of electrodes formed on the 2, Y1, and Y2 planes will be described with reference to the developed view of FIG. In FIG. 6, (a) is the X1 plane, (b) is the X2 plane, (c) is the Y1 plane,
(D) shows an electrode configuration on the Y2 plane. The coordinates in FIG. 6 correspond to (a).

【００４４】１２０は駆動電極であり、Ｘ１面において
アーム部１０３の外周側から連結部１０６を通ってアー
ム部１０４の外周側に渡って連続して形成されている。
１２１は参照電極であり、Ｘ１面においてアーム部１０
３の内周側から連結部１０６を通ってアーム部１０４の
内周側に渡って連続して形成されている。１２２、１２
３及び１２４は角速度検出用の角速度検出電極である。
角速度検出電極１２２は、Ｙ１面においてアーム部１０
５の略全域に渡って形成されている。一方、角速度検出
電極１２３は、Ｘ１面においてアーム部１０２の略全域
に渡り、角速度検出電極１２４は、Ｘ２面においてアー
ム部１０２の略全域に渡って形成されている。Reference numeral 120 denotes a drive electrode, which is formed continuously from the outer periphery of the arm portion 103 to the outer periphery of the arm portion 104 through the connecting portion 106 on the X1 plane.
Reference numeral 121 denotes a reference electrode.
3 is formed continuously from the inner peripheral side of the arm part 104 through the connecting part 106 to the inner peripheral side of the arm part 104. 122, 12
Numerals 3 and 124 are angular velocity detecting electrodes for detecting angular velocity.
The angular velocity detection electrode 122 is connected to the arm 10 on the Y1 plane.
5 is formed over substantially the entire area. On the other hand, the angular velocity detecting electrode 123 is formed over substantially the entire area of the arm 102 on the X1 plane, and the angular velocity detecting electrode 124 is formed substantially over the entire area of the arm 102 on the X2 plane.

【００４５】そして、全ての角速度検出電極１２２〜１
２４は、図６に示す様に、各面上に形成された引出し電
極１２５、１２６及び１２７によって接続され導通して
いる。角速度検出電極１２２と１２３とは、引出し電極
１２５（Ｙ１面上）及び引出し電極１２６（Ｘ１面上）
を介して接続され、角速度検出電極１２３と１２４と
は、引出し電極１２７（Ｙ２面上）を介して接続されて
いる。Then, all the angular velocity detecting electrodes 122 to 1
As shown in FIG. 6, reference numeral 24 is connected and conducted by extraction electrodes 125, 126, and 127 formed on each surface. The angular velocity detection electrodes 122 and 123 are connected to an extraction electrode 125 (on the Y1 plane) and an extraction electrode 126 (on the X1 plane).
And the angular velocity detection electrodes 123 and 124 are connected via an extraction electrode 127 (on the Y2 plane).

【００４６】１２８、１２９、１３０及び１３１は、上
記駆動、参照、及び角速度検出電極１２０〜１２４の基
準電位となる共通電極である。共通電極１２８はＸ１面
においてアーム部１０５の略全域、共通電極１２９はＸ
２面においてアーム部１０５の略全域に渡り形成されて
いる。また、共通電極１３０はＸ２面においてアーム部
１０３の略全域から連結部１０６を通ってアーム部１０
４の略全域に渡って連続して形成されており、共通電極
１３１はＹ２面においてアーム部１０２の略全域に渡り
形成されている。Reference numerals 128, 129, 130 and 131 denote common electrodes serving as reference potentials for the drive, reference and angular velocity detection electrodes 120 to 124. The common electrode 128 is located substantially over the entire area of the arm 105 on the X1 plane, and the common electrode 129 is located on the X1 plane.
On two surfaces, it is formed over substantially the entire area of the arm portion 105. Further, the common electrode 130 extends from substantially the entire area of the arm 103 on the X2 plane,
4, the common electrode 131 is formed over substantially the entire area of the arm portion 102 on the Y2 plane.

【００４７】そして、全ての各共通電極１２８〜１３１
は、図６に示す様に、各面上に形成された引出し電極１
３２、１３３、１３４及び１３５によって接続され導通
している。共通電極１２８と１２９とは、引出し電極１
３２（Ｙ１面）を介して接続され、共通電極１２９及び
１３０と共通電極１３１とは、引出し電極１３３、１３
４（共にＸ２面）及び引出し電極１３５（Ｙ２面）を介
して接続されている。Then, all the common electrodes 128 to 131
Are extraction electrodes 1 formed on each surface as shown in FIG.
32, 133, 134 and 135 are electrically connected. The common electrodes 128 and 129 are the extraction electrode 1
32 (Y1 plane), the common electrodes 129 and 130 and the common electrode 131 are connected to the extraction electrodes 133 and 13
4 (both on the X2 plane) and the extraction electrode 135 (Y2 plane).

【００４８】また、Ｘ１面において、連結部１０６に
は、検出用パット電極１３６及び取出し用パット電極１
３７が形成されている。検出用パット電極１３６は、角
速度検出電極１２２〜１２４と導通する引出し電極１２
６の途中部に、取出し用パット電極１３７は、共通電極
１２８から延びる引出し電極１３８の終端部に位置し、
それぞれ引出し電極１２６、１３８よりも幅広に形成さ
れている。On the X1 plane, the connecting pad 106 includes the detecting pad electrode 136 and the extracting pad electrode 1.
37 are formed. The detection pad electrode 136 is connected to the extraction electrode 12 electrically connected to the angular velocity detection electrodes 122 to 124.
6, the extraction pad electrode 137 is located at the end of the extraction electrode 138 extending from the common electrode 128,
Each is formed wider than the extraction electrodes 126 and 138.

【００４９】従って、検出用パット電極１３６は角速度
検出電極１２２〜１２４と導通し、取出し用パット電極
１３７は共通電極１２８〜１３１と導通する形となる。
ここで、上記の各電極のうち、Ｘ１面（第１の面）に形
成された電極１２０、１２１、１２３、１２６、１２
８、１３６〜１３８をＸ１面電極Ｄ１とし、Ｘ２面（第
１の面）に形成された電極１２４、１２９、１３０、１
３３、１３４をＸ２面電極Ｄ２とし、これらＸ１面、Ｘ
２面電極Ｄ１、Ｄ２が第１の電極部として構成されてい
る。そして、第１の電極部Ｄ１、Ｄ２は、振動部材１０
１を分極するのに用いられる。Accordingly, the detection pad electrode 136 is electrically connected to the angular velocity detection electrodes 122 to 124, and the extraction pad electrode 137 is electrically connected to the common electrodes 128 to 131.
Here, of the above-mentioned electrodes, the electrodes 120, 121, 123, 126, and 12 formed on the X1 plane (first plane).
8, 136 to 138 are X1 plane electrodes D1 and electrodes 124, 129, 130, 1 formed on the X2 plane (first plane).
33 and 134 are X2 plane electrodes D2, these X1 planes, X
The two-surface electrodes D1 and D2 are configured as a first electrode unit. The first electrode portions D1 and D2 are connected to the vibration member 10
Used to polarize 1.

【００５０】また、上記の各電極のうち、Ｙ１面（第２
の面）に形成された電極１２２、１２５、１３２をＹ１
面電極Ｅ１とし、Ｙ２面（第２の面）に形成された電極
１２７、１３１、１３５をＹ２面電極Ｅ２とし、これら
Ｙ１面、Ｙ２面電極Ｅ１、Ｅ２が第２の電極部として構
成されている。さらに、この角速度センサと外部との信
号の入出力は、例えば、図５に示すように、基板１１０
上に絶縁、構成された配線部材であるターミナルＴ９〜
Ｔ１２と、振動部材１０１のＸ１面上の各電極１２０、
１２１、１３６、１３７と、をワイヤボンディング（Ｗ
Ｂ）等にてワイヤＷ９〜Ｗ１２で結線することにより行
う。In each of the above electrodes, the Y1 plane (second
Electrodes 122, 125, and 132 formed on
The electrodes 127, 131, and 135 formed on the Y2 plane (second plane) are defined as Y2 plane electrodes E2, and these Y1 plane and Y2 plane electrodes E1 and E2 are configured as second electrode units. I have. Further, the input and output of signals between the angular velocity sensor and the outside are performed, for example, as shown in FIG.
The terminals T9 to which the wiring members are insulated and configured on
T12, each electrode 120 on the X1 plane of the vibration member 101,
121, 136, and 137 and wire bonding (W
B) and the like, by connecting with wires W9 to W12.

【００５１】また、本実施形態においても、ターミナル
Ｔ９〜Ｔ１２は図示しない駆動・検出回路（外部回路）
に電気的に接続されており、この駆動・検出回路によっ
て、振動子Ａ２に信号が入出力されるようになってい
る。そして、本実施形態の角速度センサは、上記駆動・
検出回路によって次のように作動する。まず、駆動電極
１２０と共通電極１３０間に交流電圧（駆動電圧）を印
加することにより、内側一対のアーム部１０３、１０４
を互いにｚ軸（つまり振動子Ａ２の中心線）に対し対称
なｙ軸方向への屈曲振動をするモードにて共振（駆動振
動）させる。そのときの振幅として参照電極１２１から
の出力をモニターし、参照電極１２１からの出力（電
流）が一定となるように上記駆動・検出回路を用いて自
励発振（自励振動）させる。Also, in this embodiment, the terminals T9 to T12 are not shown, and a drive / detection circuit (external circuit)
The drive / detection circuit inputs and outputs signals to and from the vibrator A2. The angular velocity sensor of the present embodiment
The detection circuit operates as follows. First, by applying an AC voltage (drive voltage) between the drive electrode 120 and the common electrode 130, a pair of inner arms 103 and 104 are provided.
Are resonated (driving vibration) in a mode in which bending vibration is performed in the y-axis direction symmetric with respect to the z-axis (that is, the center line of the vibrator A2). The output from the reference electrode 121 is monitored as the amplitude at that time, and self-excited oscillation (self-excited oscillation) is performed using the drive / detection circuit so that the output (current) from the reference electrode 121 becomes constant.

【００５２】次に、ｚ軸（検出軸）回りに角速度が入力
された場合、振動している内側一対のアーム部１０３、
１０４にはコリオリ力が発生し、これらアーム部１０
３、１０４は、ｘ軸方向において互いに逆方向に力を受
ける。そのとき外側一対のアーム部１０２、１０５も連
成して、角速度に比例してｘ軸方向に振動（検知振動）
するが、この検知振動の振動振幅を角速度検出電極１２
２〜１２４からの出力（電流）として、検出用パット電
極１３６を介して検出し、角速度を検出する。Next, when an angular velocity is input around the z axis (detection axis), a pair of vibrating inner arms 103,
A Coriolis force is generated in the
3, 104 receive forces in directions opposite to each other in the x-axis direction. At this time, the pair of outer arms 102 and 105 are also coupled, and vibrate in the x-axis direction in proportion to the angular velocity (detection vibration).
However, the vibration amplitude of this detected vibration is
The output (current) from 2 to 124 is detected via the detection pad electrode 136, and the angular velocity is detected.

【００５３】ところで、本実施形態の角速度センサも、
上記第１実施形態と同様の工程Ｓ１〜Ｓ６、支持部取付
工程及び基板取付工程を適用することにより製造可能で
ある。また、熱処理工程における処理時間、温度は上記
第１実施形態と同様にできる。従って、本実施形態にお
いても、上記第１実施形態と同様に、高温に振動部材１
をさらす熱処理工程Ｓ４を導入することにより、振動部
材１０１の残留応力の影響を低減でき、オフセットノイ
ズＮを低減した高Ｓ／Ｎな角速度センサを提供すること
ができる。Incidentally, the angular velocity sensor of the present embodiment also
It can be manufactured by applying the same steps S1 to S6, the supporting part attaching step and the board attaching step as in the first embodiment. The processing time and temperature in the heat treatment step can be the same as those in the first embodiment. Therefore, in the present embodiment, as in the first embodiment, the vibration member 1 is heated to a high temperature.
Introducing the heat treatment step S4 in which the residual noise of the vibration member 101 can be reduced, and a high S / N angular velocity sensor with reduced offset noise N can be provided.

【００５４】（第３実施形態）本発明の第３実施形態を
図７に示す。本実施形態の角速度センサは、振動子Ａ３
の本体を構成する振動部材２０１が、図に示すような４
脚のＨ型音叉形状の圧電体からなることが上記各実施形
態とは異なる。図９は、本実施形態の角速度センサの上
下左右からみた展開図である。(Third Embodiment) FIG. 7 shows a third embodiment of the present invention. The angular velocity sensor according to the present embodiment includes a vibrator A3
The vibration member 201 constituting the main body of FIG.
It differs from the above embodiments in that the legs are made of an H-shaped tuning fork shaped piezoelectric body. FIG. 9 is a developed view of the angular velocity sensor according to the present embodiment as viewed from above, below, left, and right.

【００５５】振動部材２０１は、例えばＰＺＴ等の圧電
体からなり、４本の平行な四角柱状のアーム部２０２、
２０３、２０４、２０５と連結部２０６とから構成され
る。ここで、片側一対のアーム部２０２、２０３が駆動
用アーム部、他側一対のアーム部２０４、２０５が検出
用アーム部として構成されている。本実施形態では図９
に示す様に、アーム部２０２〜２０５の配列方向をｙ
軸、アーム部２０２〜２０５の長手方向をｚ軸、アーム
部２０２〜２０５及び連結部２０６の厚み方向をｘ軸と
してｘｙｚ直交座標系が構成される。The vibrating member 201 is made of, for example, a piezoelectric material such as PZT or the like.
203, 204, and 205 and a connecting portion 206. Here, one pair of arm portions 202 and 203 on one side is configured as a driving arm portion, and the other pair of arm portions 204 and 205 is configured as a detection arm portion. In the present embodiment, FIG.
As shown in FIG.
An xyz orthogonal coordinate system is configured with the axis, the longitudinal direction of the arm units 202 to 205 as the z-axis, and the thickness direction of the arm units 202 to 205 and the connecting unit 206 as the x-axis.

【００５６】また、振動部材２０１においてｘ軸と直交
する面（第１の面）のうち一側の面をＸ１面とし、他側
の面をＸ２面とする。また振動部材２０１の外周に位置
しｙ軸と直交する面（第２の面）のうちアーム部２０３
（２０５）側の面をＹ１面とし、アーム部２０２（２０
４）側の面をＹ２面とする。本実施形態においてもＸ
１、Ｘ２面とＹ１、Ｙ２面とは角速度検出可能角度であ
ればよい。In the vibration member 201, one surface of the surface (first surface) orthogonal to the x-axis is defined as an X1 surface, and the other surface is defined as an X2 surface. Also, of the surface (second surface) located on the outer periphery of the vibration member 201 and orthogonal to the y-axis, the arm portion 203
The surface on the (205) side is the Y1 surface, and the arm portion 202 (20
4) The side surface is defined as a Y2 surface. Also in this embodiment, X
The 1, X2 plane and the Y1, Y2 plane may be any angles at which angular velocity can be detected.

【００５７】ここで、振動部材２０１は、上記各振動部
材１及び１０１と同様に、ｘ軸方向に分極処理され、オ
フセットノイズＮのばらつきが小さくなるように、内部
の残留応力が緩和されたものとなっている。ここで、本
実施形態では、例えば、上記各実施形態に用いられてい
るような支持部（図示せず）によって連結部２０６を支
持されることで、基板１１０に対して浮遊支持されるこ
とができる。The vibrating member 201 is polarized in the x-axis direction in the same manner as the vibrating members 1 and 101, and the internal residual stress is reduced so that the variation of the offset noise N is reduced. It has become. Here, in the present embodiment, for example, the connection portion 206 is supported by the support portion (not shown) as used in each of the above embodiments, so that the connection portion 206 is floatingly supported on the substrate 110. it can.

【００５８】次に、振動部材２０１上のＸ１、Ｘ２、Ｙ
１、Ｙ２面上に形成された電極構成について説明する。
図１０において（ａ）はＸ１面、（ｂ）はＸ２面、
（ｃ）はＹ１面、（ｄ）はＹ２面を示す。なお、図１０
の座標は（ａ）に対応したものである。２０７は片側一
対のアーム部２０２、２０３を駆動するための駆動電極
であり、Ｘ１面においてアーム部２０２から連結部２０
６、アーム部２０３に渡って連続的に形成されている。
２０８は振動状態をモニタするための参照電極であり、
Ｘ１面においてアーム部２０２から連結部２０６、アー
ム部２０３に渡って、駆動電極２０７の外周側に連続的
に形成されている。Next, X1, X2, Y on the vibrating member 201
1. The configuration of the electrodes formed on the Y2 plane will be described.
In FIG. 10, (a) is the X1 plane, (b) is the X2 plane,
(C) shows the Y1 plane, and (d) shows the Y2 plane. Note that FIG.
Correspond to (a). Reference numeral 207 denotes a drive electrode for driving the pair of arms 202 and 203 on one side.
6, formed continuously over the arm 203;
Reference numeral 208 denotes a reference electrode for monitoring a vibration state,
On the X1 plane, from the arm portion 202 to the connecting portion 206 and the arm portion 203, the driving electrode 207 is continuously formed on the outer peripheral side.

【００５９】２０９及び２１０は角速度検出用の角速度
検出電極であり、それぞれアーム部２０４のＹ２面、ア
ーム部２０５のＹ１面に形成されている。角速度検出電
極２０９は、Ｙ２面上の引出し電極２１１を介してＸ１
面上の検出用パット電極２１２に導通し、一方、角速度
検出電極２１０は、Ｙ１面上の引出し電極２１３を介し
てＸ１面上の検出用パット電極２１４に導通している。Reference numerals 209 and 210 denote angular velocity detecting electrodes for detecting angular velocity, which are formed on the Y2 surface of the arm 204 and the Y1 surface of the arm 205, respectively. The angular velocity detection electrode 209 is connected to the X1 through the extraction electrode 211 on the Y2 plane.
The angular velocity detection electrode 210 is electrically connected to the detection pad electrode 214 on the X1 plane via the extraction electrode 213 on the Y1 plane.

【００６０】２１５は上記駆動、参照、角速度検出電極
２０７〜２１０の基準電位となる共通電極である。共通
電極２１５はＸ２面の略全域に形成されており、Ｙ２面
及びＹ１面に形成された引出し電極２１８、２１９によ
って、アーム部２０４のＸ１面の取出し用パット電極２
１６、及びアーム部２０５のＸ１面の取出し用パット電
極２１７に導通されている。従って、共通電極２１５及
び両取出し用パット電極２１６、２１７は、１つの共通
電極として構成されている。Reference numeral 215 denotes a common electrode serving as a reference potential for the drive, reference, and angular velocity detection electrodes 207 to 210. The common electrode 215 is formed over substantially the entire area of the X2 plane, and the extraction electrode 218, 219 formed on the Y2 plane and the Y1 plane is used to extract the pad electrode 2 for extracting the X1 plane of the arm unit 204.
16 and the extraction pad electrode 217 on the X1 plane of the arm portion 205. Therefore, the common electrode 215 and both extraction pad electrodes 216 and 217 are configured as one common electrode.

【００６１】ここで、上記の各電極のうち、Ｘ１面（第
１の面）に形成された電極２０７、２０８、２１２、２
１４、２１６、２１７をＸ１面電極Ｄ１とし、Ｘ２面
（第１の面）に形成された電極２１５をＸ２面電極Ｄ２
とし、これらＸ１面、Ｘ２面電極Ｄ１、Ｄ２が第１の電
極部として構成されている。そして、第１の電極部Ｄ
１、Ｄ２は、振動部材２０１を分極するのに用いられ
る。The electrodes 207, 208, 212, and 2 formed on the X1 plane (first plane) among the above-mentioned electrodes.
14, 216, and 217 are X1 plane electrodes D1, and the electrodes 215 formed on the X2 plane (first plane) are X2 plane electrodes D2.
The X1 plane and X2 plane electrodes D1 and D2 are configured as a first electrode unit. Then, the first electrode portion D
1, D2 is used to polarize the vibration member 201.

【００６２】また、上記の各電極のうち、Ｙ１面（第２
の面）に形成された電極２１０、２１３、２１９をＹ１
面電極Ｅ１とし、Ｙ２面（第２の面）に形成された電極
２０９、２１１、２１８をＹ２面電極Ｅ２とし、これら
Ｙ１面、Ｙ２面電極Ｅ１、Ｅ２が第２の電極部として構
成されている。また、本実施形態においても、各電極と
図示しない駆動・検出回路（制御回路）との接続は、上
記各実施形態と同様に、ターミナルとＷＢのワイヤ等に
よるリード線との結線にて行われる。In each of the above electrodes, the Y1 plane (second
Electrodes 210, 213, and 219 formed on the
The electrodes 209, 211, and 218 formed on the Y2 plane (second plane) are defined as Y2 plane electrodes E2, and these Y1 plane and Y2 plane electrodes E1, E2 are configured as second electrode units. I have. Also in this embodiment, the connection between each electrode and a drive / detection circuit (not shown) (not shown) is made by connecting a terminal to a lead wire such as a WB wire, as in the above embodiments. .

【００６３】本実施形態の作動について述べる。まず、
駆動電極２０７と共通電極２１５間に交流電圧を印加す
ることにより、片側一対のアーム部２０２、２０３を互
いに振動子Ａ３の中心線に対し対称なｙ軸方向への屈曲
振動をするモードにて共振させる。そのときの振幅とし
て参照電極２０８からの出力をモニターし、参照電極２
０８からの出力が一定となるように上記駆動・検出回路
を用いて自励発振（自励振動）させる。The operation of the present embodiment will be described. First,
By applying an AC voltage between the drive electrode 207 and the common electrode 215, the pair of arm portions 202 and 203 on one side resonate in a mode in which bending vibration is performed in the y-axis direction symmetric with respect to the center line of the transducer A3. Let it. The output from the reference electrode 208 is monitored as the amplitude at that time, and the reference electrode 2
The self-excited oscillation (self-excited oscillation) is performed by using the drive / detection circuit so that the output from 08 is constant.

【００６４】次に、ｚ軸回りに角速度が入力された場
合、振動している片側一対のアーム部２０２、２０３に
はコリオリ力が発生し、これらアーム部２０２、２０３
は、ｘ軸方向において互いに逆方向に力を受ける。その
とき他側一対のアーム部２０４、２０５も連成してｘ軸
方向に振動するため、角速度に比例したｘ軸方向の振動
振幅を角速度検出電極２０９、２１０からの出力として
検出し、角速度を検出する。Next, when an angular velocity is input about the z-axis, Coriolis force is generated in the pair of vibrating arms 202 and 203 on one side, and these arms 202 and 203 are vibrated.
Receive forces in directions opposite to each other in the x-axis direction. At this time, the pair of arms 204 and 205 on the other side are also coupled and vibrate in the x-axis direction. Therefore, the vibration amplitude in the x-axis direction proportional to the angular velocity is detected as an output from the angular velocity detection electrodes 209 and 210, and the angular velocity is detected. To detect.

【００６５】ところで、本実施形態の角速度センサも、
上記第各実施形態と同様に、工程Ｓ１〜Ｓ６、支持部取
付工程及び基板取付工程を適用することにより製造可能
である。熱処理工程における処理時間、温度は上記第１
実施形態と同様にできる。従って、本実施形態において
も、上記各実施形態と同様に、オフセットノイズＮを低
減した高Ｓ／Ｎな角速度センサを提供することができ
る。Incidentally, the angular velocity sensor of the present embodiment also
As in the above-described first embodiment, it can be manufactured by applying the steps S1 to S6, the supporting part attaching step, and the substrate attaching step. The processing time and temperature in the heat treatment step are the first
This can be performed in the same manner as in the embodiment. Therefore, also in the present embodiment, it is possible to provide a high S / N angular velocity sensor with reduced offset noise N, as in the above embodiments.

【００６６】（他の実施形態）なお、本実施形態では、
音叉型の圧電体振動子の例を示したが、振動子として
は、他の形状（例えば、一本角柱等）であっても、圧電
体からなるものであれば、同様の効果を得ることができ
る。(Other Embodiments) In this embodiment,
Although an example of a tuning fork type piezoelectric vibrator has been described, the same effect can be obtained as long as the vibrator is made of a piezoelectric material even if it has another shape (for example, a single prism). Can be.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】本発明の第１実施形態に係る角速度センサの全
体構成を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing an overall configuration of an angular velocity sensor according to a first embodiment of the present invention.

【図２】図１における振動子に備えられた各電極の構成
を示す展開図であり、（ａ）はＸ１面、（ｂ）はＸ２
面、（ｃ）はＹ１面、（ｄ）はＹ２面上の電極構成を示
すものである。FIGS. 2A and 2B are development views showing the configuration of each electrode provided in the vibrator in FIG. 1, wherein FIG.
(C) shows the Y1 plane, and (d) shows the electrode configuration on the Y2 plane.

【図３】上記第１実施形態の製造工程を示す説明図であ
る。FIG. 3 is an explanatory view showing a manufacturing process of the first embodiment.

【図４】上記第１実施形態における熱処理温度とオフセ
ットノイズとの関係を示すグラフである。FIG. 4 is a graph showing a relationship between a heat treatment temperature and offset noise in the first embodiment.

【図５】本発明の第２実施形態に係る角速度センサの全
体構成を示す斜視図である。FIG. 5 is a perspective view showing an overall configuration of an angular velocity sensor according to a second embodiment of the present invention.

【図６】図５の振動子上に形成された電極の構成を示す
展開図であり、（ａ）はＸ１面、（ｂ）はＸ２面、
（ｃ）はＹ１面、（ｄ）はＹ２面を表す。6A and 6B are development views showing a configuration of an electrode formed on the vibrator of FIG. 5, wherein FIG. 6A is an X1 plane, FIG.
(C) represents the Y1 plane, and (d) represents the Y2 plane.

【図７】本発明の第３実施形態に係る振動子構成を示す
展開図である。FIG. 7 is a developed view showing a vibrator configuration according to a third embodiment of the present invention.

【図８】従来の角速度センサの全体構成を示す斜視図で
ある。FIG. 8 is a perspective view showing the overall configuration of a conventional angular velocity sensor.

【図９】図８の振動子の各面上に形成された電極構成を
示す展開図である。FIG. 9 is a developed view showing a configuration of electrodes formed on each surface of the vibrator of FIG. 8;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１、１０１、２０１…振動部材、１０、１１、１２０、
２０７…駆動電極、１８、１９、１２２、２０９、２１
０…角速度検出電極、Ａ１…振動子、Ｄ１…Ｘ１面電
極、Ｄ２…Ｘ２面電極、Ｅ１…Ｙ１面電極、Ｅ２…Ｙ２
面電極、Ｘ１、Ｘ２…振動部材の第１の面、Ｙ１、Ｙ２
…振動部材の第２の面。1, 101, 201 ... vibrating member, 10, 11, 120,
207: drive electrode, 18, 19, 122, 209, 21
0: angular velocity detection electrode, A1: vibrator, D1: X1 plane electrode, D2: X2 plane electrode, E1: Y1 plane electrode, E2: Y2
Surface electrode, X1, X2... First surface of vibration member, Y1, Y2
... A second surface of the vibration member.

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 ｘ軸、ｙ軸及びｚ軸からなる直交座標系
にてｚ軸方向を軸として可動体に支持されるとともに、
前記ｘ軸方向に分極された圧電体からなる振動部材
（１、１０１、２０１）と、 前記振動部材（１、１０１、２０１）のうち前記ｘ軸と
略直交する第１の面（Ｘ１、Ｘ２）に形成され、前記振
動部材（１、１０１、２０１）を前記ｙ軸方向に励振さ
せるための駆動電極（１０、１１、１２０、２０７）を
有する第１の電極部（Ｄ１、Ｄ２）と、 前記振動部材（１、１０１、２０１）のうち前記ｙ軸と
略直交する第２の面（Ｙ１、Ｙ２）に形成され、前記可
動体の前記ｚ軸回りの角速度が入力されたときに前記振
動部材（１、１０１、２０１）に発生する前記ｘ軸方向
への振動状態を検出するための角速度検出電極（１８、
１９、１２２、２０９、２１０）を有する第２の電極部
（Ｅ１、Ｅ２）とを備える角速度センサを製造する製造
方法において、 前記振動部材（１、１０１、２０１）に前記第１の電極
部（Ｄ１、Ｄ２）を形成した後、前記振動部材（１、１
０１、２０１）の熱処理を行い、続いて、前記第１の電
極部（Ｄ１、Ｄ２）を介して前記振動部材（１、１０
１、２０１）を分極処理することを特徴とする角速度セ
ンサの製造方法。1. A movable body which is supported by a movable body around a z-axis direction in an orthogonal coordinate system including an x-axis, a y-axis, and a z-axis,
A vibrating member (1, 101, 201) made of a piezoelectric body polarized in the x-axis direction; and a first surface (X1, X2) of the vibrating member (1, 101, 201) substantially orthogonal to the x-axis. ), And a first electrode portion (D1, D2) having drive electrodes (10, 11, 120, 207) for exciting the vibrating member (1, 101, 201) in the y-axis direction; The vibration member (1, 101, 201) is formed on a second surface (Y1, Y2) substantially orthogonal to the y-axis, and the vibration is generated when an angular velocity of the movable body around the z-axis is input. Angular velocity detection electrodes (18, 18) for detecting a vibration state in the x-axis direction generated in the member (1, 101, 201).
19, 122, 209, and 210), and a second electrode portion (E1, E2) having the second electrode portion (E1, E2), wherein the vibration member (1, 101, 201) includes the first electrode portion (E1, E2). D1, D2), and then forming the vibration member (1, 1).
01, 201), followed by the vibration members (1, 10) through the first electrode portions (D1, D2).
1, 201), wherein a polarization process is performed. 【請求項２】 前記振動部材（１、１０１、２０１）の
熱処理を３００℃以上の熱処理温度で行うことを特徴と
する請求項１に記載の角速度センサの製造方法。2. The method according to claim 1, wherein the heat treatment of the vibration member is performed at a heat treatment temperature of 300 ° C. or more. 【請求項３】 圧電体からなる振動部材（１、１０１、
２０１）に該振動部材（１、１０１、２０１）を分極す
るのに用いる電極（Ｄ１、Ｄ２）を形成した後、前記振
動部材（１、１０１、２０１）を分極処理して角速度検
出用振動子を製造する製造方法において、 前記電極（Ｄ１、Ｄ２）を形成する工程と、前記分極処
理を行う工程との間に、前記振動部材（１、１０１、２
０１）の熱処理を行う工程を有することを特徴とする角
速度検出用振動子の製造方法。3. A vibration member (1, 101,
201), electrodes (D1, D2) used to polarize the vibrating member (1, 101, 201) are formed, and then the vibrating member (1, 101, 201) is subjected to polarization processing to make an angular velocity detecting vibrator. In the manufacturing method for manufacturing, the vibration members (1, 101, 2) are provided between the step of forming the electrodes (D1, D2) and the step of performing the polarization treatment.
01) A method for manufacturing an angular velocity detecting vibrator, comprising a step of performing the heat treatment of 01). 【請求項４】 前記振動部材（１、１０１、２０１）の
熱処理を３００℃以上の熱処理温度で行うことを特徴と
する請求項３に記載の角速度検出用振動子の製造方法。4. The method according to claim 3, wherein the heat treatment of the vibration member is performed at a heat treatment temperature of 300 ° C. or higher.