JPH11139809A - 両面冷却オゾナイザ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】少量のオゾン供給に適した小型で安価な両面冷
却オゾナイザを提供する。 【解決手段】両面にフランジを有するステンレス鋼製の
胴部1aと、ステンレス鋼製の側板21b 及び22b とが筐体
を構成し、この筐体内に高電圧電極６と接地電極５とで
構成される１本のオゾン発生器が収納されている。接地
電極５はフランジに嵌め込まれ、側板21b 及び22b と０
リング83及び84とで気密に固定保持されている。高電圧
電極６にはパイプ状の接続部材63及び64が溶接されてお
り、接続部材63及び64は絶縁部材65及び66で絶縁されソ
ケット98及び99で締め付けられて気密に側板21b 及び22
b に保持固定されている。高電圧電極６への電圧及び冷
却水はソケット98と接続部材63を介して供給される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、水処理などに用
いられるオゾンを生成するためのオゾナイザの内の、特
に高濃度オゾンを発生できる両面冷却オゾナイザに関す
る。

【０００２】

【従来の技術】オゾナイザは、オゾンのもつ殺菌・脱色
・脱臭力を利用するために、水処理施設などにおいて広
く使用されている。図８は、本出願人が出願している特
願平8-135608号に記載されている両面冷却オゾナイザの
構成をモデル化して示したもので、（ａ）は全体の断面
図、（ｂ）はオゾン発生管の一部を拡大して示す部分断
面図である。

【０００３】オゾナイザの筐体は、両端が開口している
筒状をしたステンレス鋼からなる胴部１と、その両開口
端部に締め付けられている２つステンレス鋼からなる側
板21及び22とによって構成されている。２つの側板21及
び22と胴部１とは気密に結合される必要があるため、両
開口端部のそれぞれに平パッキン（図６では単にパッキ
ン）81及び82を介して、図示していないネジなどの締め
付け手段を用いて結合されている。胴部１の内面側に
は、多数のオゾン発生管を保持するための、少なくとも
一対のステンレス鋼からなる支持板41及び42が互いに適
当な間隔をおいて嵌め込まれている。胴部１の管壁に
は、側板21と側板21側の支持板41との中間の位置に、原
料ガスを供給するためのガス入口11があり、反対側の側
板22と側板22側の支持板42との中間の位置に、生成され
たオゾンを含むガスを取り出すためのガス出口12があ
る。更に、２つの支持板41及び42の中間の位置に、冷却
水を流入させるための冷却水入口13と、冷却水を排出す
る冷却水出口14とが、ほぼ対向して設けられている。通
常は、冷却水入口13が下部に、冷却水出口14が上部に設
けられる。また、胴部１の側板21に近い位置に、電圧導
入端子72が装着されている。

【０００４】支持板41及び42に支持されるオゾン発生管
は、両端が開口している円筒状の接地側のステンレス鋼
などからなる接地電極５と、接地電極５の内側にほぼ一
定のギャップ長をもつ放電ギャップ56を介して配置され
ている高電圧電極６とで構成されている。接地電極５
は、ステンレス鋼からなる金属管51と、この内面にライ
ニング（金属管51の内側にガラス管を挿入し、内圧を加
えた状態で誘導加熱によってガラスを軟化させ、金属管
51の内面にガラス層を形成する技術）によって形成され
たガラス誘電体層52とからなっている。高電圧電極６は
両端を塞がれた円筒状に形成され、一端面に２本の冷却
パイプが接続されている。この冷却パイプから冷却水が
高電圧電極６内に流通されて高電圧電極６を冷却する。
冷却水は胴部１の一端部の上下位置に設けられた１対の
マニホールド95及び96から分岐されて絶縁チューブ97に
よりそれぞれの高電圧電極６の冷却パイプに供給されて
いる。絶縁チューブ97が用いられるのは、高電圧電極６
と胴部１とを電気的に絶縁するためであり、冷却水系に
イオン交換器94が設置されているのは、冷却水の電気抵
抗値を高く保って、冷却水による絶縁不良を発生させな
いためである。高電圧電極６の外面下部の両端付近に
は、放電ギャップ56を保持するための突起体61が溶接に
よる肉盛りによって形成されている。このオゾン発生管
は、支持板41及び42に形成されている貫通孔に嵌め込ま
れて支持板41及び42に支持されており、その接触部は、
冷却水が漏れないように図示していないＯリングによっ
てシールされている。

【０００５】筐体、オゾン発生管などにステンレス鋼を
使用しているのは、ステンレス鋼がオゾンの強い酸化作
用に対して耐性を有するからである。高周波電源73から
オゾン発生管に供給される高周波電圧の一方は、胴部１
に装着されている電圧導入端子72からリード線71を介し
て各オゾン発生管の高電圧電極６に供給される。高周波
電源73の高周波電圧の他方は、接地電位点に接続され、
同時に胴部１に接続されており、図示していないリード
線を介して接地電極５に接続されている。

【０００６】オゾン発生管の接地電極５を冷却する冷却
水は、既述の高電圧電極６の冷却水と共通に熱交換器93
で冷却されてポンプ92で加圧され、冷却配管91を通って
冷却水入口13から水ジャケット３に供給されて接地電極
５を冷却し、冷却水出口14から冷却配管91を通って熱交
換器93に戻る。この冷却系は高電圧電極６の冷却をも兼
ねているため、高純度水を使った水供給系となってお
り、既述のようにイオン交換器94を備えている。接地電
極５の冷却には高抵抗の純水を必要とはしないが、冷却
システムを簡素化するために純水を用いている。

【０００７】このような両面冷却オゾナイザにおいて、
ガス入口11から供給された酸素を含む原料ガス（空気あ
るいは酸素など）は、側板21側の接地電極５の開口部か
ら放電ギャップ56に流入し、放電ギャップ56における無
声放電によって酸素の一部がオゾン化され、オゾンを含
むガスとなってガス出口12から取り出される。ガス出口
12の後方には、図示していない圧力調整弁が装着されて
おり、ガスの圧力値を例えば1.7 気圧に調節して、オゾ
ンを含むガスを消費設備に供給する。

【０００８】以上のような従来技術による両面冷却オゾ
ナイザには、通常、数十本から数百本のオゾン発生管が
装着されており、このようなオゾナイザは数十キログラ
ム／時間のレベルの大量のオゾンを供給するのに適して
いる。しかし、数十から数百グラム／時間という少量の
オゾン供給で十分な用途に対しては、必要なオゾン発生
管の数が１本から数本となり、１つの筐体に複数本を収
納する方式のオゾナイザでは、かえって大型となり価格
も高くなるという問題点をもっている。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】この発明の課題は、数
十から数百グラム／時間という少量のオゾン供給に適す
る小型で安価な両面冷却オゾナイザを提供することであ
る。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、この発明においては、両端が開口し且つ内面に誘
電体層が形成されている筒状の接地電極及び接地電極の
内側に空隙を介して配置され且つ内部に導入された冷却
水によって冷却される両端閉止構造の筒状の高電圧電極
からなるオゾン発生管と、両端が開口している筒状の胴
部及び開口部を気密に塞ぐための２つの側板からなり且
つオゾン発生管を内蔵する筐体と、筐体と接地電極との
間に設けられ接地電極を冷却するための水ジャケット
と、オゾン発生管に電力を供給する電源とを備え、筐体
内に導入された酸素を含む原料ガスの放電によってオゾ
ンを生成する両面冷却オゾナイザにおいて、１つの筐体
に１つのオゾン発生管を内蔵している（請求項１の発
明）。

【００１１】１つのオゾン発生管を１つの筐体に収納す
るので、コンパクトな最適設計による標準化が可能であ
り、量産化ができる。１台で足りない場合には、必要に
応じて複数台を並列に運転すればよい。請求項１の発明
において、高電圧電極の両端に取り付けられて高電圧電
極と電源とを接続し冷却水を導入あるいは排出し且つ先
端部にネジを有する金属パイプと、この金属パイプの外
周部に側板を貫通し且つ金属パイプを貫通させている絶
縁部材とを備え、絶縁部材から突出している金属パイプ
のネジをソケットで気密に締め込まれている（請求項２
の発明）。高電圧電極への電圧導入用及び冷却水用の金
属パイプが側板中央の側面に引き出されるので、オゾナ
イザの長さ方向の側面には接地電極用の冷却水の接続部
のみが装着された構造となり、オゾナイザの太さが低減
する。

【００１２】請求項２の発明において、金属パイプに少
なくとも１つの環状溝を備え、且つその環状溝にＯリン
グを嵌め込まれている（請求項３の発明）。このＯリン
グによって金属パイプと絶縁部材との気密シールが完全
に確保される。請求項２あるいは請求項３の発明におい
て、絶縁部材につばを備えている（請求項４の発明）。
つばによって絶縁部材の沿面距離が大幅に大きくなり結
露しても電気絶縁性を確保することが可能となる。

【００１３】接地電極への接続手段として、電源の接地
電位側に接続され、筐体に気密に貫通させられ、且つ接
地電極に接触させられている導電性のネジを備えている
（請求項５の発明）。筐体にネジを通して接地電極に接
触させるので、接地電極の電位を完全に接地電位に保持
することができる。水ジャケットの内部を、螺旋状の仕
切り部材によって螺旋状に連続している空間に仕切って
いる（請求項６の発明）。螺旋状の仕切り部材によって
冷却水が均一に循環し、かつ冷却水の流速が早くなる。
筐体の軸方向が垂直になるように筐体を配置し、冷却水
の入口を筐体の下部に、冷却水の出口を筐体の上部に設
けている（請求項７の発明）。垂直配置で冷却水が下か
ら上へ流されるので、冷却空間に気泡が残留することが
なくなる。

【００１４】

【発明の実施の形態】この発明による両面冷却オゾナイ
ザの実施の形態について、実施例を用いて説明する。こ
の発明においても、基本的な構成は従来技術と同じであ
るので、従来技術と同じ機能をもつ部分については同じ
符号を用いている。 〔第１の実施例〕図１はこの発明による両面冷却オゾナ
イザの第１の実施例の構造を示す断面図であり、図２は
その高電圧電極の接続部の構成を示す部分拡大断面図で
ある。

【００１５】まず、図１により全体の構成を説明する。
胴部1aと２つの側板21b 及び22b とで構成される筐体内
には、接地電極５及び高電圧電極６からなる一組の電極
が収納されており、これに加えて、高周波電源73と電気
供給系、接地電極５及び高電圧電極６を冷却水で冷却す
る冷却系、及び原料ガスの供給系が一体となって、１本
のオゾン発生管をもつ、いわゆる１本物の両面冷却オゾ
ナイザが構成されている。

【００１６】ステンレス鋼からなる円筒状の胴部1aは、
その両端に、接地電極５が丁度嵌め込まれる大きさの孔
をもつフランジを備えており、その長さは接地電極５の
両端がフランジから幾らか突出する長さに設定されてい
る。この孔に接地電極５が嵌め込まれ、その両端が幾ら
かずつ突出した状態で、フランジの外側に突出した接地
電極５の両端部近傍に弗素ゴムからなるＯリング83及び
84が嵌められ、外側から側板21a 及び22a が図示してい
ないネジなどの締め付け手段によって締め付けられるこ
とにより、胴部1aと接地電極５とは気密に一体化されて
両者の間に水ジャケット３が構成され、同時に胴部1aと
側板21a 及び22a とが一体化される。

【００１７】胴部1aの両端近くには、水ジャケット３に
接地電極５を冷却するための冷却水を供給する冷却水入
口13及び冷却水出口14が設けられている。通常、両者は
ほぼ対角の位置に設けられる。側板21a 及び22a はステ
ンレス鋼からなる。その中央部には、高電圧電極６へ高
周波電圧と冷却水とを供給するための高電圧電極６の接
続部材63及び64が、絶縁部材65及び66によってそれぞれ
電気的に絶縁されて気密に貫通し、高電圧電極６を位置
決めして保持・固定している。また、側板21a には原料
ガスの供給口であるガス入口211 が設けられ、側板22a
にはオゾン化されたガスを取り出すためのガス出口221
が設けられている。

【００１８】なお、この実施例においては、側板21a 及
び22a はステンレス鋼製であるが、弗素樹脂製とするこ
ともできる。接地電極５は、従来技術と同様に、ステン
レス鋼からなる金属管51の内面に、ライニングによって
ガラス誘電体層52が形成されている。高電圧電極６はス
テンレス鋼からなり、両端に蓋のある円筒状をしてお
り、接地電極５の内部に一様な放電ギャップ56を保持し
た状態で挿入されている。その両端の蓋の中央部にはそ
れぞれ上述の接続部材63及び64が溶接で取り付けられて
いる。また、一様な放電ギャップ56を保持するために、
高電圧電極６の下部には複数の突起体61が肉盛り溶接に
よって形成されている。

【００１９】次に、図２を併用して、高電圧電極６の接
続部材63近傍の構成方法について詳述する。高電圧電極
６の接続部材63及び64は、ステンレス鋼のパイプで作製
され、その一端は高電圧電極６の側面の蓋の中央部の孔
に位置合わせされてそれぞれ溶接されており、他端には
ネジが形成されている。

【００２０】接続部材63近傍の構成方法は以下の通りで
ある。 (1) 接地電極５を胴部1aに両端を少しずつ突出させて挿
入する。 (2) 接続部材63及び64付きの高電圧電極６を接地電極５
内に挿入する。 (3) 側板21b 及び22b を胴部1aの両側に図示していない
ボルトで固定する。この際、接続部材63及び64は側板21
b 及び22b のそれぞれの中央部に形成されている孔に挿
通される。この固定の際に、Ｏリング83及び84によって
側板21b 及び22bと胴部1aと接地電極５との間の気密シ
ールが確保される。 (4) 接続部材63の外側に絶縁部材65を通し、接続部材64
の外側に絶縁部材66を通し、絶縁部材65及び66を側板21
b 及び22b に形成されているそれぞれのネジにねじ込ん
で固定する。この固定の際にＯリング85及び図示してい
ない86によって側板21b と絶縁部材65及び側板22b と絶
縁部材66のそれぞれの間の気密シールが確保される。 (5) 内面にネジが形成されているソケット98及び99を接
続部材63及び64のそれぞれのネジにねじ込み、高電圧電
極６を固定する。この際に、Ｏリング87及び図示してい
ない88によって、絶縁部材65と接続部材63及び絶縁部材
66と接続部材64のそれぞれの間の気密シールが確保され
る。

【００２１】以上によって、図２に示す接続部材63近傍
の構成が完成する。絶縁部材65（または66）は弗素樹脂
のような耐オゾン性と絶縁性とを備えた材料で作製され
る。その形状は接続部材63を囲う円筒状であるが、接続
部材63に印加される高電圧に対する絶縁性を高めるため
に、大気側の面には沿面距離を長くする目的の溝が形成
されている。また、側板21b との気密シールのためのＯ
リング用溝が側板21b との接触面に形成されている。

【００２２】次いで、図５を用いて、接地電極５の接続
部材の構成例とその組み立てについて詳述する。接地電
極５の接続部材は、ステンレス鋼からなるネジ78として
作製される。このネジ78は、胴部1aに固定された側板21
b の、金属板51の端部に対応する位置に形成されたネジ
孔にねじ込まれて、金属板51の端部に接触させられ、ナ
ット79により固定される。ネジ78は図示されていないリ
ード線を介して高周波電源73の接地電位側に接続されて
いる。このネジ78は例えばＭ４サイズといった小形のも
のでよく、このネジ78と側板21b との気密性は図示され
ていないシールテープにより確保される。

【００２３】このような確実な接触構造を採用している
のは、以下のような不安定な接触に伴う問題点を避ける
ためである。接地電極５は胴部1aのフランジに嵌め込ま
れているので、胴部1aのフランジに部分的に接触してい
る。したがって、接地電極５は接地電位を保っているよ
うに考えられる。しかし、その接触状態は不安定な接触
であり、接地電位が不安定となる。接地電位が不安定に
なると、放電状態も不安定になり、オゾン濃度を一定に
保つことが困難になる。更に、最悪の場合には、接触部
が発熱して溶融し、その結果、接地電極５が電位的に浮
遊状態となり、放電が維持できなくなる。

【００２４】図５においては、ネジ78は側板21b を貫通
して接地電極５に接触させられているが、胴部1aを貫通
して接地電極５に接触させることもできる。両面冷却オ
ゾナイザの場合には接地電極５だけではなく高電圧電極
６も冷却するので、冷却水の抵抗値が高いことが必要で
あり、そのため冷却水系にはイオン交換器94が備えられ
ている。実際の運転に際しては、初期に十分な高抵抗の
イオン交換水にしておくと、冷却水を常時イオン交換器
94に通す必要はなく、必要に応じて通すことで十分に必
要な抵抗値を維持することができる。また、図１におい
ては、イオン交換器94側とバイパスの両方にバルブを設
けた場合を示しているが、バイパス側のバルブを省略し
て一部の水のみをイオン交換器94に流通してもその機能
を十分に果たすことはできる。

【００２５】〔第２の実施例〕図３は第２の実施例を説
明するための接続部材63a 近傍の構成を示す部分拡大断
面図である。この実施例は接続部材と絶縁部材との間の
気密シールをより確実にするためのものである。第１の
実施例との違いは、接続部材63a の絶縁部材65との接触
面にＯリング89用のリング溝が形成され、この溝にＯリ
ング89がはめ込まれて、接続部材63a と絶縁部材65との
間が確実に気密シールされていることである。図２の構
成の場合においては、放電中などに高電圧電極６の温度
が上昇して、その寸法が膨張すると、接続部材63及びソ
ケット98が一体で外側へ移動するので、Ｏリング87の締
め付けが緩み、シール性能が低下する恐れがある。これ
に対して、図３のような接続部材63a と絶縁部材65との
接触面でのＯリング89によるシールであれば、シール性
能を確実に維持することができる。

【００２６】なお、より万全を期すためにはＯリングの
数を増やすと良い。 〔第３の実施例〕図４は第３の実施例を説明するための
絶縁部材65a 近傍の構成を示す部分拡大図である。この
実施例は、図２におけるソケット98などの表面結露の場
合における絶縁性能の確保を目的とするものである。

【００２７】図２における絶縁部材65の溝にゴム板から
なるつば651 をはめ込んでいる。つば651 は、例えば厚
さ３mm、外側直径14cmのドーナツ状である。ソケット98
の内部には高電圧電極６の冷却水が流れているので、冷
却水温が低い場合にはソケット98の表面に結露すること
があり、その水滴が絶縁部材65の表面に拡がると絶縁破
壊を生ずる恐れがある。このような場合につば651 が水
滴を逃がす部材として働き、絶縁部材に水滴が大きく拡
がることを防止する。

【００２８】〔第４の実施例〕第４の実施例は、図８に
示したような従来技術における水ジャケット３の冷却効
率を向上させるために考案されたものである。図６は、
第４の実施例における水ジャケット3aの構成を示し、
（ａ）は胴部1aの一部を破断した部分破断図、（ｂ）は
部分断面図である。

【００２９】この実施例における水ジャケット3aは、胴
部1aと接地電極５とで囲まれている空間が螺旋状の連続
する空間に仕切られた構造になっている。この仕切り
は、接地電極５の外周に、例えば太さ３mmのステンレス
鋼の針金31を例えば５cmのピッチで螺旋状に巻き付けて
固定した後、胴部1aに挿入して形成される。この針金31
による仕切りによって、冷却水入口13から導入された冷
却水が螺旋状に針金31に沿って電極全面に均一に循環
し、しかも、流路面積が小さくなるため、その流速は仕
切りのない場合に比べて大幅に増加する。その結果、接
地電極５の冷却効率が大幅に向上する。

【００３０】〔第５の実施例〕第５の実施例は、水ジャ
ケット３あるいは3aの冷却効率を向上させるために考案
されたもので、オゾナイザの設置の向きに関する。図７
は第５の実施例を示し、（ａ）は正面図、（ｂ）は側面
図である。この実施例においては、オゾナイザの筐体の
長さ方向が垂直に（縦向きに）配置される。従来技術の
オゾナイザの場合には、多数のオゾン発生管を配置する
ために、それらの設置や保持が容易である横向き構造が
採用されてきている。しかし、この発明の請求項１に記
載の両面冷却オゾナイザのように、１つの筐体に１つの
オゾン発生管を収容するオゾナイザの場合には、横向き
構造の必要性が少なく、接地電極及び高電圧電極の冷却
効率を高めて小形化できる図７に示した構成が有効とな
る。すなわち、接地電極は直接に側板に保持され、高電
圧電極は絶縁部材などを介して側板に保持されているの
で、オゾナイザの筐体を縦向きにして架台100 に設置す
ることができる。冷却水入口13及びソケット98を下側に
し冷却水出口14及びソケット99を上側にして筐体を縦向
きに配置することにより、冷却水は下から上に流され、
内部に入った気泡は上に移動して冷却水と一緒に排出さ
れ、接地電極及び高電圧電極が全面にわたって効率良く
冷却される。その結果、水ジャケット３を小さくするこ
とができ、オゾナイザ全体を細くすることができる。

【００３１】なお、配置が完全に垂直であることは必ず
しも必要ではなく、少々の傾きは問題ではない。

【００３２】

【発明の効果】この発明によれば、両面冷却オゾナイザ
において、１つのオゾン発生管を１つの筐体に収納する
ので、コンパクトな最適設計による標準化が可能であ
り、量産化ができる。１台で足りない場合には、必要に
応じて複数台を並列運転すればよい。したがって、数十
から数百グラム／時間という少量のオゾン供給に適した
小型で安価な両面冷却オゾナイザを提供することができ
る（請求項１の発明）。

【００３３】請求項１の発明において、高電圧電極の両
端に取り付けられて高電圧電極と電源とを接続し冷却水
を導入あるいは排出し且つ先端部にネジを有する金属パ
イプと、この金属パイプの外周部に側板を貫通し且つ金
属パイプを貫通させている絶縁部材とを備え、絶縁部材
から突出している金属パイプのネジをソケットで気密に
締め込まれているので、マニホールド及び絶縁チューブ
が不要となり、オゾナイザの長さ方向の側面には接地電
極用の冷却水の接続部のみが装着された構造となり、オ
ゾナイザの太さが低減する。したがって、より安価でよ
り小型の両面冷却オゾナイザを提供することができる
（請求項２の発明）。

【００３４】請求項２の発明において、金属パイプに少
なくとも１つの環状溝を備え、且つその環状溝にＯリン
グを嵌め込まれているので、高電圧電極が熱膨張しても
金属パイプと絶縁部材との気密シールが完全に確保され
る。したがって、安全性の高い両面冷却オゾナイザを提
供することができる（請求項３の発明）。請求項２ある
いは請求項３の発明において、絶縁部材につばを備えて
いるので、絶縁部材の沿面距離が大幅に大きくなり結露
しても電気絶縁性を確保することが可能となる。したが
って、絶縁不良に伴う誤動作の心配の少ない両面冷却オ
ゾナイザを提供することができる（請求項４の発明）。

【００３５】接地電極への接続手段として、電源の接地
電位側に接続され、筐体に気密に貫通させられ、かつ接
地電極に接触させられている導電性のネジを備えている
ので、接地電極の電位を完全に接地電位に保持すること
ができる。したがって、放電安定性に優れた両面冷却オ
ゾナイザを提供することができる（請求項５の発明）。

【００３６】水ジャケットの内部を、螺旋状の仕切り部
材によって螺旋状に連続している空間に仕切っているの
で、冷却水が均一に循環し、かつ冷却水の流速が早くな
る。したがって、接地電極の冷却効率が向上し、両面冷
却オゾナイザの特性が安定する（請求項６の発明）。筐
体の軸方向が垂直になるように筐体を配置し、冷却水の
入口を筐体の下部に、冷却水の出口を筐体の上部に設け
て、冷却水を下から上へ流すので、冷却空間に気泡が残
留することがなくなる。したがって、接地電極の冷却効
率を向上させることができる（請求項７の発明）。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明による両面冷却オゾナイザの第１の実
施例の構造を示す断面図

【図２】第１の実施例の接続部材近傍の構成を示す部分
拡大断面図

【図３】第２の実施例の接続部材近傍の構成を示す部分
拡大断面図

【図４】第３の実施例の絶縁部材近傍の構成を示す部分
拡大図

【図５】第１の実施例の接地電極の接続部の構成を示す
部分拡大断面図

【図６】第４の実施例の水ジャケットの構成を示し、
（ａ）は胴部の一部破断図、（ｂ）は一部断面図

【図７】第５の実施例を示し、（ａ）は正面図、（ｂ）
は側面図

【図８】従来技術による両面冷却オゾナイザの構造を示
し、（ａ）は全体の断面図、（ｂ）はオゾン発生管の一
部を拡大して示す部分断面図

【符号の説明】

1, 1a 胴部 11 ガス入口 12 ガス出口 13 冷却水入口 14 冷却水出口 21, 22, 21b, 22b 側板 211 ガス入口 221 ガス出口 3, 3a 水ジャケット 31 針金 41, 42 支持板 5 接地電極 51 金属管 52 ガラス誘電体層 56 放電ギャップ 6 高電圧電極 61 突起体 65, 66 絶縁部材 63, 64, 63a, 64a 接続部材 71 リード線 72 電圧導入端子 73 高周波電源 78 ネジ 79 ナット 81, 82 パッキン 83, 84, 85, 86, 87, 88, 89, 90 Ｏリング 91 冷却配管 92 ポンプ 93 熱交換器 94 イオン交換器 95, 96 マニホールド 97 絶縁チューブ 98, 99 ソケット 100 架台

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】両端が開口し且つ内面に誘電体層が形成さ
   れている筒状の接地電極及び接地電極の内側に空隙を介
   して配置され且つ内部に導入された冷却水によって冷却
   される両端閉止構造の筒状の高電圧電極からなるオゾン
   発生管と、両端が開口している筒状の胴部及び開口部を
   気密に塞ぐための２つの側板からなり且つオゾン発生管
   を内蔵する筐体と、筐体と接地電極との間に設けられ接
   地電極を冷却するための水ジャケットと、オゾン発生管
   に電力を供給する電源とを備え、筐体内に導入された酸
   素を含む原料ガスの放電によってオゾンを生成する両面
   冷却オゾナイザにおいて、 １つの筐体に１つのオゾン発生管を内蔵していることを
   特徴とする両面冷却オゾナイザ。
2. 【請求項２】前記高電圧電極の両端に取り付けられて高
   電圧電極と前記電源とを接続し冷却水を導入あるいは排
   出し且つ先端部にネジを有する金属パイプと、この金属
   パイプの外周部に側板を貫通し且つ金属パイプを貫通さ
   せている絶縁部材とを備え、絶縁部材から突出している
   金属パイプのネジをソケットで気密に締め込まれている
   ことを特徴とする請求項１に記載の両面冷却オゾナイ
   ザ。
3. 【請求項３】前記金属パイプに少なくとも１つの環状溝
   を備え、且つその環状溝にＯリングを嵌め込まれている
   ことを特徴とする請求項２に記載の両面冷却オゾナイ
   ザ。
4. 【請求項４】前記絶縁部材につばを備えていることを特
   徴とする請求項２又は請求項３に記載の両面冷却オゾナ
   イザ。
5. 【請求項５】前記電源の接地電位側に接続され、前記筐
   体に気密に貫通させられ、且つ前記接地電極に接触させ
   られている導電性のネジを備えていることを特徴とする
   請求項１に記載の両面冷却オゾナイザ。
6. 【請求項６】前記水ジャケットの内部を、螺旋状の仕切
   り部材によって螺旋状に連続している空間に仕切ってい
   ることを特徴とする請求項１に記載の両面冷却オゾナイ
   ザ。
7. 【請求項７】前記筐体の軸方向が垂直になるように筐体
   を配置し、冷却水の入口を筐体の下部に、冷却水の出口
   を筐体の上部に設けていることを特徴とする請求項１に
   記載の両面冷却オゾナイザ。