JPH11123677A - Conveying speed control method and its device of conveyer robot - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an articulated conveyer robot which can convey a work to be conveyed to an object position without deviation, and can realize a high efficiency of the conveying processing amount. SOLUTION: A sequence control circuit 21 produces operation instruction signals from time to time in order to perform of a rotating operation, an expansion and contraction operation, and an up and down operation. In case of a rotation operation, an operation instruction signal to control the drive of a first driving motor for rotation M1 is produced. In case of an extension and contraction operation, operation instruction signals in order to control the drives of the first and the second driving motors for rotation M1 and M3 are produced. And in case of an up and down operation, an operation instruction signal in order to control the drive of the motor for elevation M2 is produced. A motor drive control circuit 22 reads the data of the acceleration and the rate to increase or decrease the acceleration for the drive memorized beforehand to drive the motors M1 to M3 corresponding to the operation depending on the contents of the operation instruction signals, and it drives the motors M1 to M3 through a motor driving circuit 23, depending on those data.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、搬送ロボットの搬
送速度制御方法及びその装置に係り、詳しくは例えば真
空チャッキングできない半導体ウェハ等の被搬送物を載
置し搬送するのに好適な搬送ロボットの搬送速度制御方
法及びその装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method and an apparatus for controlling a transfer speed of a transfer robot, and more particularly to a transfer robot suitable for placing and transferring an object such as a semiconductor wafer which cannot be vacuum chucked. And a device for controlling the transport speed.

【０００２】近年、半導体製造装置は、生産量及び高品
質のさらなる向上が求められている。そのため、半導体
製造装置における搬送系においても高精度及び高処理量
が可能な搬送系が求められている。[0002] In recent years, there has been a demand for further improvements in production volume and high quality of semiconductor manufacturing equipment. Therefore, there is a demand for a transport system capable of high precision and high throughput even in a transport system in a semiconductor manufacturing apparatus.

【０００３】[0003]

【従来の技術】半導体製造装置において、ウェハカセッ
ト装置からプロセス装置に半導体ウェハを搬送したり、
半導体ウェハを一方のプロセス装置から隣接する他方の
プロセス装置へ搬送する場合には搬送ロボットが使用さ
れている。この搬送ロボットは搬送装置内に設けられて
いる。2. Description of the Related Art In a semiconductor manufacturing apparatus, a semiconductor wafer is transferred from a wafer cassette apparatus to a processing apparatus,
A transfer robot is used to transfer a semiconductor wafer from one process device to another adjacent process device. This transfer robot is provided in the transfer device.

【０００４】ところで、搬送装置は装置内を大気圧の状
態やプロセス装置内と同じ真空状態にするため、搬送ロ
ボットはその大気圧状態や真空状態の下で使用される。
真空状態で下で使用される場合、搬送ロボットは、半導
体ウェハを真空チャッキングすることができない。その
結果、搬送ロボットは該搬送ロボットに設けたハンド部
の上に載置しただけの状態で該半導体ウェハを搬送して
いる。By the way, the transfer robot is used under the atmospheric pressure or vacuum state in order to make the inside of the transfer apparatus at atmospheric pressure or the same vacuum state as in the process apparatus.
When used under vacuum, the transfer robot cannot vacuum chuck a semiconductor wafer. As a result, the transfer robot transfers the semiconductor wafer while only placing it on the hand unit provided on the transfer robot.

【０００５】特に、真空状態の下での半導体ウェハの搬
送は、スムースな搬送制御（ハンド部の速度制御）が要
求される。これは、半導体ウェハが加減速時に慣性力に
よりハンド部に対してずれる。ずれる際に、半導体ウェ
ハがハンド部と擦れてパーティクルが発生する。このパ
ーティクルの発生はプロセス装置内の環境を悪化させ製
造する半導体装置の歩止まりを低下させる。又、このず
れは、搬送のたび毎に搬送位置が相違することを意味
し、精度及び信頼性の高い搬送の障害となる。[0005] In particular, the transfer of a semiconductor wafer under a vacuum state requires smooth transfer control (speed control of a hand unit). This is because the semiconductor wafer shifts with respect to the hand part due to inertial force during acceleration / deceleration. When the semiconductor wafer shifts, the semiconductor wafer rubs against the hand portion, and particles are generated. The generation of the particles deteriorates the environment in the process device and lowers the yield of the semiconductor device to be manufactured. Further, this shift means that the transport position is different every time the transport is performed, and is an obstacle to the transport with high accuracy and reliability.

【０００６】そこで、ハンド部に半導体ウェハの外周面
を支持するガイド部を形成し、搬送の際にずれないよう
にすることが考えられる。しかしながら、ガイド部と半
導体ウェハの外周に対して高精度にピタリと合わせるこ
とは不可能であるため、パーティクルの発生を低減させ
るには限界があった。又、半導体ウェハがずれないよう
に非常にゆっくりと搬送することが考えられるが、処理
量が低下し高処理量を図る上で問題となる。Therefore, it is conceivable to form a guide portion for supporting the outer peripheral surface of the semiconductor wafer on the hand portion so as not to shift during the transfer. However, since it is impossible to precisely and precisely align the outer periphery of the guide portion and the semiconductor wafer, there is a limit in reducing the generation of particles. Although it is conceivable that the semiconductor wafer is transported very slowly so as not to be displaced, the throughput is reduced, which is a problem in achieving a high throughput.

【０００７】そこで、搬送ロボットのハンド部の速度制
御について、速度変化の少ないスムースな速度制御が行
われている。図８は、ハンド部を一方向へ直線移動させ
る場合の、速度Ｖの変化を示す。図８では、始動時から
予め定めた時間ｔａ（又は予め定めた加速時間）に到達
するまで予め定めた基準加速度Ａｓ１で加速してハンド
部の速度Ｖを予め定めた基準速度Ｖｓまで上げる。そし
て、一定時間その基準速度Ｖｓでハンド部を移動させた
後（予め定めた減速開始時間ｔｂ）に、予め定めた負の
基準加速度−Ａｓ１で減速せて停止させる。Therefore, as for the speed control of the hand portion of the transfer robot, smooth speed control with little speed change is performed. FIG. 8 shows a change in the speed V when the hand unit is linearly moved in one direction. In FIG. 8, the speed of the hand unit is increased to a predetermined reference speed Vs by accelerating at a predetermined reference acceleration As1 until a predetermined time ta (or a predetermined acceleration time) is reached from the start. Then, after moving the hand unit at the reference speed Vs for a certain period of time (predetermined deceleration start time tb), the hand unit is decelerated and stopped at a predetermined negative reference acceleration -As1.

【０００８】つまり、始動開始する時においては、一定
時間のあいだ予め定めた基準加速度Ａｓ１で加速させ、
一定の勾配で速度Ｖを上げるようにする。又、停止時に
おいては、予め定めた負の基準加速度−Ａｓ１で減速さ
せ、一定の勾配で速度Ｖを下げるようにする。これは、
ハンド部の速度Ｖの速度変化を、１次的に加速／減速変
化させることにより速度変化を小さくし、搬送時間を最
小にするようにしたものである。That is, when starting the engine, the engine is accelerated at a predetermined reference acceleration As1 for a predetermined time,
The speed V is increased at a constant gradient. At the time of stop, the vehicle is decelerated at a predetermined negative reference acceleration -As1, and the speed V is reduced at a constant gradient. this is,
The speed change of the speed V of the hand unit is primarily accelerated / decelerated to reduce the speed change and minimize the transport time.

【０００９】図９は、ハンド部を一方向へ直線移動させ
る場合の、別の速度Ｖの変化を示す。この図９に基づく
制御は、始動開始直後、基準速度Ｖｓ到達直前、減速開
始直後、及び、停止直前において、さらに速度変化を小
さくし、搬送時間を最小にするようにしたものである。FIG. 9 shows another change in speed V when the hand unit is moved linearly in one direction. The control based on FIG. 9 is such that the speed change is further reduced immediately after the start, immediately before reaching the reference speed Vs, immediately after the start of deceleration, and immediately before the stop, so that the transport time is minimized.

【００１０】図９では、始動開始時において、加速度が
予め定めた基準加速度Ａｓ１ａ（時間ｔ１）になるまで
該加速度を予め定めた一定の勾配で上げてハンド部を移
動開始させる。時間ｔ１から時間ｔ２の間はその基準加
速度Ａｓ１ａを維持する。時間ｔ２を経過すると、加速
度が０（時間ｔ３であって速度Ｖが予め定めた基準速度
Ｖｓ）になるまで該加速度を予め定めた一定の勾配（マ
イナスの勾配）で下げる。In FIG. 9, at the start of starting, the hand section is started to move by increasing the acceleration at a predetermined constant gradient until the acceleration reaches a predetermined reference acceleration As1a (time t1). From time t1 to time t2, the reference acceleration As1a is maintained. After the time t2 has elapsed, the acceleration is reduced at a predetermined constant gradient (negative gradient) until the acceleration becomes 0 (time t3 and the speed V becomes a predetermined reference speed Vs).

【００１１】ハンド部の速度Ｖが予め定めた基準速度Ｖ
ｓになると、時間ｔ４までその基準速度Ｖｓを維持す
る。そして、時間ｔ４になると、加速度が予め定めた負
の基準加速度−Ａｓ１ａ（時間ｔ５）になるまで該加速
度を予め定めた一定のマイナスの勾配で下げる。時間ｔ
５から時間ｔ６の間はその負の基準加速度−Ａｓ１ａを
維持する。時間ｔ６を経過すると、加速度が０（時間ｔ
７であって速度Ｖがゼロ）になるまで該負の加速度−Ａ
ｓ１ａを予め定めた一定の勾配（プラスの勾配）で減少
させる。[0011] The speed V of the hand unit is a predetermined reference speed V
At s, the reference speed Vs is maintained until time t4. Then, at time t4, the acceleration is reduced at a predetermined constant negative gradient until the acceleration reaches a predetermined negative reference acceleration -As1a (time t5). Time t
From time 5 to time t6, the negative reference acceleration -As1a is maintained. After time t6, the acceleration becomes 0 (time t6).
7 until the velocity V becomes zero).
s1a is reduced at a predetermined constant gradient (positive gradient).

【００１２】従って、ハンド部の速度Ｖの速度変化は、
２次的に加速／減速を変化させることにより小さくしか
もスムースとなる。ところで、搬送ロボットは多関節型
ロボットが主流を占めるようになってきている。これは
多関節型の搬送ロボットは動きが多様であり、前記ウェ
ハカセット装置、プロセス装置の配置の自由度が拡が
り、生産効率のよい設備配置設計を可能にしているから
である。Therefore, the speed change of the speed V of the hand unit is
By changing the acceleration / deceleration secondarily, it is small and smooth. Meanwhile, articulated robots have become the mainstream of transfer robots. This is because the articulated transfer robot has various movements, the degree of freedom in the arrangement of the wafer cassette device and the process device is expanded, and the equipment arrangement design with high production efficiency is enabled.

【００１３】図１０は多関節型の搬送ロボットの要部平
面を示す。ロボット５０は、基台５１、アーム部５２及
びハンド部５３とからなる。基台５１はアーム部５２を
上下方向に移動可能に支持している。アーム部５２は、
第１アーム５２ａと第２アーム５２ｂとからなる。第１
アーム５２ａはその基端部が前記基台５１に対して回動
可能且つ上下方向に移動可能に軸５４にて支持されてい
る。そして、第１アーム５２ａは、図示しない上下動作
用アクチュエータにより上下動するとともに、図示しな
い旋回用アクチュエータにより軸５４を回動中心として
回動する。FIG. 10 shows a plan view of a main part of an articulated transfer robot. The robot 50 includes a base 51, an arm unit 52, and a hand unit 53. The base 51 supports the arm part 52 so as to be movable in the vertical direction. The arm 52 is
It comprises a first arm 52a and a second arm 52b. First
The base end of the arm 52a is supported by a shaft 54 so as to be rotatable with respect to the base 51 and movable in the vertical direction. The first arm 52a moves up and down by a vertical actuator (not shown), and rotates about a shaft 54 as a rotation center by a turning actuator (not shown).

【００１４】第２アーム５２ｂは、その基端部が前記第
１アーム５２ａの先端部に対して回転可能に軸５５にて
支持されている。そして、第２アーム５２ｂは、図示し
ない伸縮動作用アクチュエータにより軸５５を回動中心
として回転する。尚、第２アーム５２ｂは、前記第１ア
ーム５２ａが旋回動作する時、動作し（動作させない場
合もある）、第１アーム５２ａが旋回動作していない時
単独で動作することはない。詳述すると、図１０におい
て、第１アーム５２ａが時計回り方向に旋回すると、第
２アーム５２ｂは第１アーム５２ａに対して反時計回り
方向に相対回動する。反対に、第１アーム５２ａが反時
計回り方向に旋回すると、第２アーム５２ｂは第１アー
ム５２ａに対して時計回り方向に相対回動する。The base end of the second arm 52b is supported by a shaft 55 so as to be rotatable with respect to the front end of the first arm 52a. Then, the second arm 52b is rotated around the shaft 55 by a telescoping actuator (not shown). The second arm 52b operates (or may not operate) when the first arm 52a performs the turning operation, and does not operate alone when the first arm 52a does not perform the turning operation. More specifically, in FIG. 10, when the first arm 52a turns clockwise, the second arm 52b relatively turns counterclockwise with respect to the first arm 52a. Conversely, when the first arm 52a turns counterclockwise, the second arm 52b turns clockwise relative to the first arm 52a.

【００１５】前記ハンド部５３は、被搬送物としての半
導体ウェハＷを載置する一対のフォーク状の載置部５３
ａが形成され、一対の載置部５３ａの結ぶ中央位置に前
記第２アーム５２ｂの先端部と回動可能に連結されてい
る。又、ハンド部５３は第２アーム５２ｂと図示しない
ギア機構等の駆動連結機構にて連結されいる。そして、
第１アーム５２ａ及び第２アーム５２ｂが動作すると
き、ハンド部５３が一対の載置部５３ａを結ぶ長手方向
に直線運動（伸縮動作）するように、ハンド部５３は第
２アーム５２ｂに対して相対回動する。The hand unit 53 includes a pair of fork-shaped mounting units 53 on which a semiconductor wafer W as an object to be transferred is mounted.
a is formed, and is rotatably connected to the distal end of the second arm 52b at a center position where the pair of mounting portions 53a are connected. The hand unit 53 is connected to the second arm 52b by a drive connection mechanism such as a gear mechanism (not shown). And
When the first arm 52a and the second arm 52b operate, the hand unit 53 is moved relative to the second arm 52b such that the hand unit 53 linearly moves (extends and contracts) in the longitudinal direction connecting the pair of mounting units 53a. Relative rotation.

【００１６】因みに、第２アーム５２ｂが反時計回り方
向に旋回すると、ハンド部５３は第２アーム５２ｂに対
して時計回り方向に相対回動して姿勢を変えず直線運動
する。反対に、第２アーム５２ｂが時計回り方向に旋回
すると、ハンド部５３は第２アーム５２ｂに対して反時
計回り方向に相対回動して姿勢を変えず直線運動する。
この直線運動を伸縮動作といい、図１０に実線で示す位
置から離間する方向の運動を伸動作といい、実線に示す
位置に向かう方向の運動を縮動作という。When the second arm 52b turns in the counterclockwise direction, the hand unit 53 rotates relative to the second arm 52b in the clockwise direction and moves linearly without changing its posture. Conversely, when the second arm 52b turns clockwise, the hand unit 53 rotates counterclockwise relative to the second arm 52b and moves linearly without changing its posture.
This linear motion is referred to as an expansion / contraction operation, a motion in a direction away from the position indicated by the solid line in FIG. 10 is referred to as an extension operation, and a motion in the direction toward the position indicated by the solid line is referred to as a contraction operation.

【００１７】又、第２アーム５２ｂを回動させないで第
１アーム５２ａのみ旋回（回動）させて、前記ハンド部
５３を図１０で実線で示す位置で回転させる動作を旋回
動作という。The operation of rotating (turning) only the first arm 52a without rotating the second arm 52b and rotating the hand unit 53 at the position shown by the solid line in FIG. 10 is called the turning operation.

【００１８】各アクチュエータは、一般にモータにて構
成されコントローラにて駆動制御されて各部材を作動さ
せる。そして、ハンド部５３を図１０に示す実線位置か
ら２点鎖線位置まで直線運動させて半導体ウェハＷを搬
送する場合、コントローラ５３は旋回動作用アクチュエ
ータを駆動制御して第１アーム５２ａを時計回り方向に
旋回させるとともに、伸縮動作用アクチュエータを駆動
制御して第２アーム５２ｂを第１アーム５２ａに対して
反時計回り方向に相対回動させる。Each actuator is generally constituted by a motor, and is driven and controlled by a controller to operate each member. When the hand unit 53 is moved linearly from the solid line position shown in FIG. 10 to the two-dot chain line position to carry the semiconductor wafer W, the controller 53 drives and controls the turning actuator to move the first arm 52a in the clockwise direction. And the second arm 52b is controlled to drive the telescopic actuator to rotate counterclockwise relative to the first arm 52a.

【００１９】この時、コントローラは、第１アーム５２
ａ及び第２アーム５２ｂについて前記図９で説明したと
同様な速度制御を個々のアクチュエータに対して行って
ハンド部５３の載置部５３ａに載置した半導体ウェハＷ
と載置部５３ａがずれるのを防止している。At this time, the controller operates the first arm 52
a and the second arm 52b are subjected to the same speed control as described with reference to FIG. 9 for each actuator, and the semiconductor wafer W mounted on the mounting portion 53a of the hand portion 53 is controlled.
And the mounting portion 53a are prevented from shifting.

【００２０】[0020]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、直線運
動しているハンド部５３の速度は、第１アーム５２ａの
回動速度（周速度）の前記直線運動方向成分と第２アー
ム５２ｂの回動速度（周速度）の直線運動方向成分との
合成となる。ハンド部５３（半導体ウェハＷ）の実際の
速度Ｖは、図１１に示すように破線で示す理想の目標速
度Ｖｏと乖離する。詳述すると、図１１から明らかなよ
うに一定の基準速度Ｖｓで搬送される時はなく、搬送速
度Ｖが基準速度Ｖｓ以上まで急激に上昇した後、減少の
一途を辿り速度変化がかえって大きくなっている。従っ
て、慣性力により半導体ウェハＷは載置部５３ａに対し
てずれる。そして、パーティクルを発生させていた。However, the speed of the hand portion 53 which is linearly moving depends on the linear motion direction component of the rotation speed (peripheral speed) of the first arm 52a and the rotation speed of the second arm 52b. (Peripheral velocity) is combined with the linear motion direction component. The actual speed V of the hand unit 53 (semiconductor wafer W) deviates from the ideal target speed Vo indicated by a broken line as shown in FIG. More specifically, as is apparent from FIG. 11, there is no time when the sheet is conveyed at a constant reference speed Vs, and after the conveying speed V sharply increases to the reference speed Vs or more, the speed continues to decrease and the speed change increases rather. ing. Therefore, the semiconductor wafer W shifts with respect to the mounting portion 53a due to inertial force. Then, particles were generated.

【００２１】さらに、停止直前においては、速度変化は
緩やかになるものの搬送速度Ｖがゼロになるのに、即ち
ハンド部５３が図１０に２点鎖線で示す位置まで到達す
る時間が長くなる。その結果、無駄時間が生じ効率のよ
い搬送ができない。Immediately before the stop, the speed change becomes slow, but the transport speed V becomes zero, that is, the time required for the hand unit 53 to reach the position shown by the two-dot chain line in FIG. 10 becomes longer. As a result, a waste time occurs and efficient conveyance cannot be performed.

【００２２】又、第２アーム５２ｂを回動させないで第
１アーム５２ａのみ回動（旋回）させて、前記ハンド部
５３を第１アーム５２ａの回動中心軸を中心に旋回させ
る場合、コントローラ５３は旋回動作用アクチュエータ
を図８又は図９に示すように回転制御を行っている。し
かしながら、旋回動作用アクチュエータは常に所定の回
転速度で制御されるものの、旋回するハンド部５３は第
１アーム５２の回転軸芯からの距離によってその旋回速
度（周速度）が相違する。従って、旋回動作用アクチュ
エータが所定の速度制御で回転していても、ハンド部５
３の旋回位置が旋回中心から離間すればするほどその旋
回速度の速度変化は大きくなるとともにハンド部５３に
載置される半導体ウェハＷにかかる遠心力も大きくな
る。その結果、ハンド部５３の旋回位置によっては半導
体ウェハＷは載置部５３ａに対してずれるといった問題
があった。If the first arm 52a is turned (turned) without turning the second arm 52b, and the hand unit 53 is turned around the turning center axis of the first arm 52a, the controller 53 is used. Controls the rotation of the turning actuator as shown in FIG. 8 or FIG. However, although the turning operation actuator is always controlled at a predetermined rotation speed, the turning speed (peripheral speed) of the turning hand unit 53 differs depending on the distance from the rotation axis of the first arm 52. Therefore, even if the turning operation actuator is rotating at the predetermined speed control, the hand unit 5
As the turning position of No. 3 is further away from the turning center, the speed change of the turning speed increases and the centrifugal force applied to the semiconductor wafer W placed on the hand unit 53 also increases. As a result, there is a problem that the semiconductor wafer W is shifted with respect to the mounting portion 53a depending on the turning position of the hand portion 53.

【００２３】本発明は、被搬送物を搬送する搬送ロボッ
トにおいて、その被搬送物が搬送途中においてずれるこ
となく、しかも、搬送処理量の効率アップを図る速度制
御することができる搬送ロボットの搬送速度制御方法及
びその装置を提供することにある。According to the present invention, there is provided a transfer robot for transferring a transferred object, wherein the transferred object is not shifted during the transfer and the transfer speed of the transfer robot can be controlled to increase the efficiency of the transfer processing amount. It is to provide a control method and an apparatus therefor.

【００２４】[0024]

【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、複数アームを介してハンド部が連結され、その各ア
ームをそれぞれのアクチュエータにて所定の動作を行わ
せることによってハンド部を旋回動作させて被搬送物を
目標位置まで旋回搬送する搬送ロボットの搬送速度制御
方法において、旋回搬送の際にハンド部に対して被搬送
物が遠心力によりずれない範囲で、かつ、目標位置まで
の搬送時間が最小となるように、その被搬送物の実際の
旋回位置における旋回搬送速度及びその速度変化量を予
め設定しその設定した設定制御量に基づいて前記アクチ
ュエータを駆動制御した。According to the first aspect of the present invention, a hand unit is connected via a plurality of arms, and each arm is operated by a respective actuator to rotate the hand unit. In a transfer speed control method of a transfer robot that operates to convey and convey an object to a target position, in a range in which the object to be conveyed does not deviate from a hand portion by centrifugal force with respect to a hand portion during turning and convey, and In order to minimize the transfer time, the turning transfer speed and the speed change amount of the transferred object at the actual turning position are set in advance, and the actuator is drive-controlled based on the set control amount.

【００２５】請求項２に記載の発明は、複数アームを介
してハンド部が連結され、その各アームをそれぞれのア
クチュエータにて所定の動作を行わせることによってハ
ンド部を伸縮動作させて被搬送物を目標位置まで伸縮搬
送する搬送ロボットの搬送速度制御方法において、伸縮
搬送の際にハンド部に対して被搬送物が慣性力によりず
れない範囲で、かつ、目標位置までの搬送時間が最小と
なるように、その被搬送物の実際の伸縮搬送速度及びそ
の速度変化量を予め設定し、その設定した設定制御量に
て前記アクチュエータを駆動制御した。According to a second aspect of the present invention, a hand unit is connected via a plurality of arms, and each of the arms is operated by a respective actuator to perform a predetermined operation, thereby causing the hand unit to expand and contract to move the transferred object. In the transfer speed control method of the transfer robot that expands and contracts to the target position, the transfer time to the target position is minimized within a range in which the transferred object does not shift due to the inertial force with respect to the hand part during the expansion and contraction transfer In this way, the actual expansion / contraction transport speed of the object to be transported and the speed change amount are set in advance, and the actuator is drive-controlled by the set control amount thus set.

【００２６】請求項３に記載の発明は、複数アームを介
してハンド部が連結され、各アームをそれぞれのアクチ
ュエータにて所定の動作を行わせることによってハンド
部を旋回動作させて被搬送物を目標位置まで旋回搬送す
る旋回動作モードと、各アームをそれぞれのアクチュエ
ータにて所定の動作を行わせることによってハンド部を
伸縮動作させて被搬送物を目標位置まで伸縮搬送する伸
縮動作モードとを備えた搬送ロボットの搬送速度制御方
法において、前記旋回動作モード時には、その旋回搬送
の際にハンド部に対して被搬送物が遠心力によりずれな
い範囲で、かつ、目標位置までの搬送時間が最小となる
ように、その被搬送物の実際の旋回位置における旋回搬
送速度及びその速度変化量を予め設定しその設定した設
定制御量に基づいて前記アクチュエータを駆動制御し、
前記伸縮動作モード時には、その伸縮搬送の際にハンド
部に対して被搬送物が慣性力によりずれない範囲で、か
つ、目標位置までの搬送時間が最小となるように、その
被搬送物の実際の伸縮搬送速度及びその速度変化量を予
め設定し、その設定した設定制御量にて前記アクチュエ
ータを駆動制御した。According to a third aspect of the present invention, a hand unit is connected via a plurality of arms, and each arm is operated by a respective actuator to perform a predetermined operation, thereby turning the hand unit to move the transferred object. It has a turning operation mode for turning and transporting to the target position, and a telescopic operation mode for causing each arm to perform a predetermined operation with a respective actuator to extend and retract the hand section to convey and convey an object to and from the target position. In the transfer speed control method of the transfer robot, in the turning operation mode, the transfer object is not shifted by the centrifugal force with respect to the hand unit during the turning transfer, and the transfer time to the target position is minimized. In such a manner, the turning transfer speed and the speed change amount at the actual turning position of the transferred object are set in advance and based on the set control amount. And driving and controlling the actuator,
In the telescopic operation mode, the actual movement of the transferred object is performed so that the transferred object does not shift with respect to the hand unit due to inertial force during the expansion and contraction transfer, and the transfer time to the target position is minimized. , And the amount of change in the speed was set in advance, and the actuator was driven and controlled by the set control amount.

【００２７】請求項４に記載の発明は、複数アームを介
してハンド部が連結され、その各アームをそれぞれのア
クチュエータにて所定の動作を行わせることによってハ
ンド部を旋回動作させて被搬送物を目標位置まで旋回搬
送する搬送ロボットの搬送速度制御装置において、前記
アクチュエータを駆動する駆動回路と、前記旋回搬送の
際に、前記ハンド部に対して前記被搬送物が遠心力によ
りずれない範囲で、かつ、目標位置までの搬送時間が最
小となるように、その時々の被搬送物の旋回位置におけ
る旋回搬送速度の速度変化時期を指令するシーケンス制
御回路部と、前記シーケンス制御回路部からの指令に基
づいて予め設定された被搬送物が遠心力によりずれない
範囲で、かつ、目標位置までの搬送時間を最小するため
の旋回加速度のデータを読み出し、該加速度となるよう
に前記駆動回路を介して前記アクチュエータを駆動制御
する駆動制御回路部とを備えた。According to a fourth aspect of the present invention, the hand unit is connected via a plurality of arms, and each arm is operated by a respective actuator to perform a predetermined operation, thereby causing the hand unit to perform a swiveling operation to move the transferred object. In the transfer speed control device of the transfer robot that turns and conveys the target to a target position, a driving circuit that drives the actuator, and in the case of the turn and convey, the transferred object is not displaced with respect to the hand unit by centrifugal force. And a sequence control circuit unit for instructing a speed change timing of the turning conveyance speed at the turning position of the object to be conveyed at each time so that the conveyance time to the target position is minimized, and a command from the sequence control circuit unit. The rotation acceleration is set within a range that does not cause the transferred object to shift due to centrifugal force and that minimizes the transfer time to the target position. Reads the data, and a drive control circuit for driving and controlling the actuator via the drive circuit so that the acceleration.

【００２８】請求項５に記載の発明は、複数アームを介
してハンド部が連結され、その各アームをそれぞれのア
クチュエータにて所定の動作を行わせることによってハ
ンド部を伸縮動作させて被搬送物を目標位置まで伸縮搬
送する搬送ロボットの搬送速度制御装置において、前記
アクチュエータを駆動する駆動回路と、前記伸縮搬送の
際に、前記ハンド部に対して前記被搬送物が慣性力によ
りずれない範囲で、かつ、目標位置までの搬送時間が最
小となるように、その時々の被搬送物の伸縮搬送速度の
速度変化時期を指令するシーケンス制御回路部と、前記
シーケンス制御回路部からの指令に基づいて予め設定さ
れた被搬送物が慣性力によりずれない範囲で、かつ、目
標位置までの搬送時間を最小するための伸縮加速度のデ
ータを読み出し、該加速度となるように前記駆動回路を
介して前記アクチュエータを駆動制御する駆動制御回路
部とを備えた。According to a fifth aspect of the present invention, a hand is connected via a plurality of arms, and each arm is caused to perform a predetermined operation by a respective actuator, thereby causing the hand to expand and contract to move the transferred object. In a transfer speed control device of a transfer robot that expands and contracts to a target position, a driving circuit that drives the actuator, and at the time of the expansion and contraction transfer, a range in which the transferred object does not shift due to inertial force with respect to the hand unit. And, so that the transport time to the target position is minimized, based on a sequence control circuit unit that instructs the speed change time of the telescopic transport speed of the object to be transported at each time, based on a command from the sequence control circuit unit Read the data of the expansion and contraction acceleration for minimizing the transport time to the target position, within the range in which the preset transported object does not shift due to the inertial force, And a drive control circuit for driving and controlling the actuator via the drive circuit so that the acceleration.

【００２９】請求項６に記載の発明は、複数アームを介
してハンド部が連結され、各アームをそれぞれのアクチ
ュエータにて所定の動作を行わせることによってハンド
部を旋回動作させて被搬送物を目標位置まで旋回搬送す
る旋回動作モードと、各アームをそれぞれのアクチュエ
ータにて所定の動作を行わせることによってハンド部を
伸縮動作させて被搬送物を目標位置まで伸縮搬送する伸
縮動作モードとを備えた搬送ロボットの搬送速度装置に
おいて、前記アクチュエータを駆動する駆動回路と、前
記旋回搬送又は伸縮搬送の際に、前記ハンド部に対して
前記被搬送物がずれない範囲で、かつ、目標位置までの
搬送時間が最小となるように、その時々の被搬送物の旋
回搬送速度又は伸縮搬送速度の速度変化時期を指令する
シーケンス制御回路部と、前記シーケンス制御回路部か
らの指令に基づいて予め設定された被搬送物がずれない
範囲で、かつ、目標位置までの搬送時間を最小するため
の旋回加速度又は伸縮加速度のデータを読み出し、該加
速度となるように前記駆動回路を介して前記アクチュエ
ータを駆動制御する駆動制御回路部とを備えた。According to a sixth aspect of the present invention, the hand unit is connected via a plurality of arms, and each of the arms performs a predetermined operation by a corresponding actuator, thereby turning the hand unit to move the transferred object. It has a turning operation mode for turning and transporting to the target position, and a telescopic operation mode for causing each arm to perform a predetermined operation with a respective actuator to extend and retract the hand section to convey and convey an object to and from the target position. In the transfer speed device of the transfer robot, a driving circuit for driving the actuator, and the turn transfer or the expansion and contraction transfer, in a range where the transferred object does not shift with respect to the hand unit, and a target position. A sequence control circuit that instructs the speed change timing of the turning conveyance speed or the telescopic conveyance speed of the object to be conveyed so that the conveyance time is minimized. Unit, and within a range in which the object to be conveyed is not shifted in advance based on a command from the sequence control circuit unit, and reads data of a turning acceleration or an expansion / contraction acceleration to minimize a conveyance time to a target position, And a drive control circuit for controlling the drive of the actuator via the drive circuit so as to achieve the acceleration.

【００３０】（作用）請求項１に記載の発明によれば、
被搬送物が旋回搬送される場合、その旋回搬送速度及び
その速度変化量は、ハンド部に対して被搬送物が遠心力
によりずれない範囲で、かつ、目標位置までの搬送時間
が最小となる値に設定される。その結果、被搬送物は旋
回搬送途中においてずれることなく搬送され、しかも、
搬送処理量はアップする。(Operation) According to the first aspect of the present invention,
When the conveyed object is turned and conveyed, the turning conveyance speed and the speed change amount are within a range in which the conveyed object is not deviated by the centrifugal force with respect to the hand unit, and the conveyance time to the target position is minimized. Set to value. As a result, the conveyed object is conveyed without shifting during the turning conveyance, and moreover,
The transport throughput increases.

【００３１】請求項２に記載の発明によれば、被搬送物
が伸縮搬送される場合、その被搬送物の実際の伸縮搬送
速度及びその速度変化量は、ハンド部に対して被搬送物
が慣性力によりずれない範囲で、かつ、目標位置までの
搬送時間が最小となる値に設定される。その結果、被搬
送物は伸縮搬送途中においてずれることなく搬送され、
しかも、搬送処理量はアップする。According to the second aspect of the present invention, when an object to be conveyed is telescopically conveyed, the actual telescopic conveyance speed of the conveyed object and the amount of change in the speed are determined by the amount of the conveyed object relative to the hand unit. The value is set to a value that does not shift due to inertial force and that minimizes the transport time to the target position. As a result, the transported object is transported without displacement during the expansion and contraction transport,
In addition, the transport processing amount increases.

【００３２】請求項３に記載の発明によれば、被搬送物
が旋回搬送される場合、その旋回搬送速度及びその速度
変化量は、ハンド部に対して被搬送物が遠心力によりず
れない範囲で、かつ、目標位置までの搬送時間が最小と
なる値に設定される。又、被搬送物が伸縮搬送される場
合、その被搬送物の実際の伸縮搬送速度及びその速度変
化量は、ハンド部に対して被搬送物が慣性力によりずれ
ない範囲で、かつ、目標位置までの搬送時間が最小とな
る値に設定される。その結果、被搬送物は各搬送途中に
おいてずれることなく搬送され、しかも、搬送処理量は
アップする。According to the third aspect of the present invention, when the transported object is turned and conveyed, the turning speed and the amount of change in the speed are within a range in which the transferred object is not displaced by the centrifugal force with respect to the hand unit. And the transport time to the target position is set to a minimum value. Further, when the transferred object is telescopically conveyed, the actual telescopic transfer speed of the conveyed object and the speed change amount are within a range where the conveyed object is not shifted by the inertia force with respect to the hand portion, and at the target position. Is set to a value that minimizes the transport time until As a result, the transported object is transported without shifting during each transport, and the transport processing amount is increased.

【００３３】請求項４に記載の発明によれば、駆動制御
回路部はシーケンス制御回路部からその時々の被搬送物
の旋回位置における旋回搬送速度の速度変化時期を指令
する指令に基づいて予め設定された被搬送物が遠心力に
よりずれない範囲で、かつ、目標位置までの搬送時間を
最小するための旋回加速度のデータを読み出し、該加速
度となるように駆動回路を介してアクチュエータを駆動
制御する。その結果、被搬送物は旋回搬送途中において
ずれることなく搬送され、しかも、搬送処理量はアップ
する。According to the fourth aspect of the present invention, the drive control circuit unit sets in advance based on a command from the sequence control circuit unit for instructing the speed change timing of the turning / conveying speed at the turning position of the object to be conveyed at each time. The data of the turning acceleration for reading the transported object within a range where the transported object does not shift due to the centrifugal force and for minimizing the transport time to the target position is read, and the actuator is driven and controlled via the drive circuit so as to obtain the acceleration. . As a result, the conveyed object is conveyed without being shifted during the turning conveyance, and the conveyance processing amount is increased.

【００３４】請求項５に記載の発明によれば、駆動制御
回路部はシーケンス制御回路部からその時々の被搬送物
の伸縮搬送速度の速度変化時期を指令する指令に基づい
て予め設定された被搬送物が慣性力によりずれない範囲
で、かつ、目標位置までの搬送時間を最小するための伸
縮加速度のデータを読み出し、該加速度となるように前
記駆動回路を介してアクチュエータを駆動制御する。そ
の結果、被搬送物は伸縮搬送途中においてずれることな
く搬送され、しかも、搬送処理量はアップする。According to the fifth aspect of the present invention, the drive control circuit unit receives a command from the sequence control circuit unit based on a command instructing a speed change timing of the telescopic conveyance speed of the object at each time. The data of the expansion / contraction acceleration for reading the object within a range in which the object does not shift due to the inertial force and minimizing the time required for the conveyance to the target position is read out, and the actuator is driven and controlled via the drive circuit so as to obtain the acceleration. As a result, the conveyed object is conveyed without displacement during the expansion and contraction conveyance, and the conveyance processing amount is increased.

【００３５】請求項６に記載の発明によれば、駆動制御
回路部はシーケンス制御回路部からその時々の被搬送物
の旋回搬送速度又は伸縮搬送速度の速度変化時期を指令
する指令に基づいて予め設定された被搬送物がずれない
範囲で、かつ、目標位置までの搬送時間を最小するため
の旋回加速度又は伸縮加速度のデータを読み出し、該加
速度となるように駆動回路を介してアクチュエータを駆
動制御する。その結果、被搬送物は各搬送途中において
ずれることなく搬送され、しかも、搬送処理量はアップ
する。According to the sixth aspect of the present invention, the drive control circuit unit preliminarily receives a command from the sequence control circuit unit for instructing the speed of the turning transport speed or the telescopic transport speed of the object to be transported at each time. Read the data of the turning acceleration or the expansion / contraction acceleration to minimize the transport time to the target position within the range where the set transported object does not shift, and drive control the actuator via the drive circuit so that the acceleration is obtained. I do. As a result, the transported object is transported without shifting during each transport, and the transport processing amount is increased.

【００３６】[0036]

【発明の実施の形態】以下、本発明を具体化した一実施
形態を図面に従って説明する。図１は多関節型の搬送ロ
ボットの要部平面を示し、図２は搬送ロボットの要部正
面を示す。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 shows a plan view of a main part of an articulated transfer robot, and FIG. 2 shows a front view of a main part of the transfer robot.

【００３７】搬送ロボット１０は、円筒状の基台１１
と、多関節のアーム部１２と、ハンド部１３を備えてい
る。基台１１は上面にフランジ１１ａが固着されてい
て、該フランジ１１ａから上方に向かって第１駆動軸１
４が突出している。第１駆動軸１４は同フランジ１１ａ
に対して回転可能にかつ軸線方向に移動に支持されてい
る。第１駆動軸１４の先端部は、アーム部１２が連結さ
れている。アーム部１２は第１アーム１２ａと第２アー
ム１２ｂを備えている。第１アーム１２ａは、その基端
部が前記第１駆動軸１４に連結固定されている。従っ
て、第１アーム１２ａは、第１駆動軸１４が回転する
と、同駆動軸１４を回動中心として回動する。又、第１
駆動軸１４が上下動すると、同駆動軸１４とともに上下
動する。この第１駆動軸１４は、前記基台１１内に設け
られた第１の回動用駆動モータＭ１（図３参照）が正逆
回転することによって基台１１に対して正逆回転するよ
うになっている。又、第１駆動軸１４は、前記基台１１
内に設けられた昇降用駆動モータＭ２（図３参照）が正
逆回転することによって基台１１に対して上下動するよ
うになっている。The transfer robot 10 has a cylindrical base 11
And an articulated arm 12 and a hand 13. The base 11 has an upper surface on which a flange 11a is fixed, and a first drive shaft 1 extending upward from the flange 11a.
4 are protruding. The first drive shaft 14 has the same flange 11a.
Are supported so as to be rotatable with respect to and movable in the axial direction. The arm 12 is connected to the tip of the first drive shaft 14. The arm section 12 includes a first arm 12a and a second arm 12b. The base end of the first arm 12 a is connected and fixed to the first drive shaft 14. Therefore, when the first drive shaft 14 rotates, the first arm 12a rotates about the drive shaft 14 as a rotation center. Also, the first
When the drive shaft 14 moves up and down, it moves up and down together with the drive shaft 14. The first drive shaft 14 rotates forward and reverse with respect to the base 11 when a first rotation drive motor M1 (see FIG. 3) provided in the base 11 rotates forward and backward. ing. The first drive shaft 14 is provided on the base 11.
The up / down drive motor M2 (see FIG. 3) provided therein moves up and down with respect to the base 11 by rotating forward and backward.

【００３８】第１アーム１２ａの先端部には、第２駆動
軸１５が回動可能に支持されている。第２駆動軸１５は
前記第１アーム１２ａ内に設けられた第２の回動用駆動
モータＭ３（図３参照）が正逆回転することによって第
１アーム１２ａに対して正逆回転するようになってい
る。第１アーム１２ａから突出した第２駆動軸１５は第
２アーム１２ｂの基端部と連結固定されている。従っ
て、第２駆動軸１５が回転すると、同駆動軸１５を回動
中心として第２アーム１２ｂは回動する。A second drive shaft 15 is rotatably supported at the distal end of the first arm 12a. The second drive shaft 15 rotates forward and reverse with respect to the first arm 12a when a second rotation drive motor M3 (see FIG. 3) provided in the first arm 12a rotates forward and backward. ing. The second drive shaft 15 protruding from the first arm 12a is connected and fixed to the base end of the second arm 12b. Therefore, when the second drive shaft 15 rotates, the second arm 12b rotates about the drive shaft 15 as a rotation center.

【００３９】第２アーム１２ｂの先端部には、従動軸１
６が回動可能に支持されている。従動軸１６は、第２ア
ーム１２ｂ内に設けられた図示しないギア機構等の駆動
連結機構にて連結されていて、第２アーム１２ｂが第１
アーム１２ａに対して相対回動するとき相対回転する。
そして、従動軸１６と第２駆動軸１５の軸芯間の距離
は、第１駆動軸１４と第２駆動軸１５の軸芯間の距離と
一致させている。A driven shaft 1 is provided at the tip of the second arm 12b.
6 is rotatably supported. The driven shaft 16 is connected by a drive connection mechanism such as a gear mechanism (not shown) provided in the second arm 12b.
When it relatively rotates with respect to the arm 12a, it rotates relatively.
The distance between the shafts of the driven shaft 16 and the second drive shaft 15 is equal to the distance between the shafts of the first drive shaft 14 and the second drive shaft 15.

【００４０】第２アーム１２ｂから突出した従動軸１６
にはハンド部１３が連結固定されている。ハンド部１３
は、被搬送物としての半導体ウェハＷを載置する一対の
フォーク状の載置部１３ａが形成され、一対の載置部１
３ａの結ぶ中央位置に前記第２アーム１２ｂの先端部か
ら突出した従動軸１６が連結固定されている。従って、
従動軸１６が回転すると、同従動軸１６を回動中心とし
てハンド部１３は第２アーム１２ｂに対して相対回動す
る。The driven shaft 16 protruding from the second arm 12b
, A hand unit 13 is connected and fixed. Hand part 13
Is formed with a pair of fork-shaped mounting portions 13a for mounting a semiconductor wafer W as a transferred object, and a pair of mounting portions 1
A driven shaft 16 protruding from the distal end of the second arm 12b is fixedly connected to a center position where 3a is connected. Therefore,
When the driven shaft 16 rotates, the hand unit 13 rotates relatively to the second arm 12b about the driven shaft 16 as a rotation center.

【００４１】そして、第２アーム１２ｂは、前記第１ア
ーム１２ａが回動動作する時、動作し（動作させない場
合もある）、第１アーム１２ａが回動動作していない時
単独で動作することはない。詳述すると、図１におい
て、第１アーム１２ａが時計回り方向に回動すると、従
動軸１６が直線運動をするように、第２アーム１２ｂは
第１アーム１２ａに対して反時計回り方向に相対回動す
る。つまり、従動軸１６が直線運動するためには、第１
駆動軸１４の時計回り方向の回転速度に対して第２駆動
軸１５の反時計回り方向の回転速度は２倍になってい
る。The second arm 12b operates (or may not operate) when the first arm 12a rotates, and operates alone when the first arm 12a does not rotate. There is no. More specifically, in FIG. 1, when the first arm 12a rotates clockwise, the second arm 12b moves counterclockwise with respect to the first arm 12a so that the driven shaft 16 makes a linear motion. Rotate. That is, in order for the driven shaft 16 to perform a linear motion, the first
The rotation speed of the second drive shaft 15 in the counterclockwise direction is twice the rotation speed of the drive shaft 14 in the clockwise direction.

【００４２】反対に、第１アーム１２ａが反時計回り方
向に回動すると、従動軸１６が直線運動をするように、
第２アーム１２ｂは第１アーム１２ａに対して時計回り
方向に相対回動する。この場合にも同様に、従動軸１６
が直線運動するためには、第１駆動軸１４の反時計回り
方向の回転速度に対して第２駆動軸１５の時計回り方向
の回転速度は２倍になっている。On the other hand, when the first arm 12a rotates counterclockwise, the driven shaft 16 makes a linear motion.
The second arm 12b rotates clockwise relative to the first arm 12a. In this case, similarly, the driven shaft 16
For the linear motion of the first drive shaft 14, the clockwise rotation speed of the second drive shaft 15 is twice the rotation speed of the first drive shaft 14 in the counterclockwise direction.

【００４３】又、ハンド部１３は、第１アーム１２ａ及
び第２アーム１２ｂが動作するとき、一対の載置部１３
ａを結ぶ長手方向に姿勢を変えずに直線運動（伸縮動
作）するように、前記駆動連結機構及び従動軸１６によ
り第２アーム１２ｂに対して相対回動する。つまり、第
２アーム１２ｂが反時計回り方向に回動すると、ハンド
部１３は第２アーム１２ｂに対して時計回り方向に相対
回動して姿勢を変えず直線運動する。詳述すると、ハン
ド部１３の直線運動は前記第１駆動軸１４の回転速度と
第２駆動軸１５の回転速度によって決まる。そして、ハ
ンド部１３の姿勢が変わらないためには、第２駆動軸１
５の反時計回り方向の回転速度に対して従動軸１６の時
計回りの回転速度は１／２になっている。When the first arm 12a and the second arm 12b operate, the hand unit 13 is configured to hold the pair of mounting units 13a.
The drive coupling mechanism and the driven shaft 16 relatively rotate with respect to the second arm 12b so as to perform a linear motion (expansion / contraction operation) without changing the posture in the longitudinal direction connecting the a. That is, when the second arm 12b rotates in the counterclockwise direction, the hand unit 13 rotates relatively in the clockwise direction with respect to the second arm 12b, and moves linearly without changing its posture. More specifically, the linear movement of the hand unit 13 is determined by the rotation speed of the first drive shaft 14 and the rotation speed of the second drive shaft 15. Then, in order to keep the posture of the hand unit 13 unchanged, the second drive shaft 1
The clockwise rotation speed of the driven shaft 16 is ２ of the rotation speed of the driven shaft 16 in the counterclockwise direction.

【００４４】反対に、第２アーム１２ｂが時計回り方向
に旋回すると、ハンド部１３は第２アーム１２ｂに対し
て反時計回り方向に相対回動して姿勢を変えず直線運動
する。同様に、ハンド部１３の直線運動は前記第１駆動
軸１４の回転速度と第２駆動軸１５の回転速度によって
決まる。又、ハンド部１３の姿勢が変わらないために
は、第２駆動軸の時計回り方向の回転速度に対して従動
軸１６の反時計回りの回転速度は１／２になっている。Conversely, when the second arm 12b turns clockwise, the hand unit 13 rotates counterclockwise relative to the second arm 12b and moves linearly without changing its posture. Similarly, the linear movement of the hand unit 13 is determined by the rotation speed of the first drive shaft 14 and the rotation speed of the second drive shaft 15. In order to keep the posture of the hand unit 13 unchanged, the counterclockwise rotation speed of the driven shaft 16 is に 対 し て of the clockwise rotation speed of the second drive shaft.

【００４５】そして、上記のようなハンド部１３の直線
運動を伸縮動作といい、図１に実線で示す位置から離間
する方向の運動を伸動作といい、実線に示す位置に向か
う方向の運動を縮動作という。又、第２アーム１２ｂを
回動させないで第１アーム１２ａのみ回動（旋回）させ
て、前記ハンド部１３を例えば図１で実線で示す位置で
回転させる動作を旋回動作という。又、第１駆動軸１４
を上下動させてハンド部１３を上下動させる動作を上下
動作という。The linear movement of the hand unit 13 as described above is called an expansion / contraction operation, the movement in the direction away from the position shown by the solid line in FIG. 1 is called the extension operation, and the movement in the direction toward the position shown by the solid line in FIG. It is called a compression operation. An operation of rotating (turning) only the first arm 12a without rotating the second arm 12b and rotating the hand unit 13 at a position indicated by a solid line in FIG. 1, for example, is referred to as a turning operation. Also, the first drive shaft 14
The operation of moving the hand unit 13 up and down by moving up and down is referred to as up and down operation.

【００４６】上記各動作はアクチュエータとしての前記
各駆動モータＭ１〜Ｍ３を駆動制御することによって行
われる。図３は、各駆動モータＭ１〜Ｍ３を駆動制御す
るための搬送用ロボット１０に設けられた電気ブロック
回路を示す。The above operations are performed by controlling the driving of the drive motors M1 to M3 as actuators. FIG. 3 shows an electric block circuit provided in the transfer robot 10 for controlling the drive of each of the drive motors M1 to M3.

【００４７】図３において、シーケンス制御回路部２１
は、前記旋回動作、伸縮動作及び上下動作の各動作にお
けいて、搬送途中においてハンド部１３に対して半導体
ウェハＷがずれないで且つ搬送時間が最小となるための
その時々の動作指令信号を作成する。詳述すると、旋回
動作モードの場合、シーケンス制御回路部２１は、図示
しない第１駆動軸１４の回動位置センサからの位置デー
タ及び予め設定されている位置データとに基づいて第１
の回動用駆動モータＭ１を駆動制御するための動作指令
信号を作成する。つまり、その時のハンド部１３の停止
旋回位置と、搬送先の目標旋回位置を図示しない回動位
置センサや予め設定された回動位置データから求める。
因みに、停止旋回位置は、載置部１３ａに載置された半
導体ウェハＷ（一対の載置部１３ａに半導体ウェハＷが
載置されている場合には第１駆動軸１４から遠い方の半
導体ウェハＷ）の中心位置とする。従って、目標旋回位
置はその半導体ウェハＷの中心位置が旋回して停止する
位置となる。In FIG. 3, the sequence control circuit 21
In each of the turning operation, the expansion / contraction operation, and the up / down operation, the respective operation command signals for preventing the semiconductor wafer W from being displaced with respect to the hand unit 13 during the transfer and minimizing the transfer time are given. create. More specifically, in the case of the turning operation mode, the sequence control circuit unit 21 performs the first operation based on the position data from the rotation position sensor (not shown) of the first drive shaft 14 and the preset position data.
An operation command signal for driving and controlling the rotation drive motor M1 is generated. That is, the stop turning position of the hand unit 13 at that time and the target turning position of the transfer destination are obtained from a turning position sensor (not shown) or preset turning position data.
Incidentally, the stop turning position is determined by the semiconductor wafer W mounted on the mounting portion 13a (the semiconductor wafer far from the first drive shaft 14 when the semiconductor wafer W is mounted on the pair of mounting portions 13a). W). Therefore, the target turning position is a position where the center position of the semiconductor wafer W turns and stops.

【００４８】そして、停止旋回位置から搬送先の目標旋
回位置までハンド部１３を旋回する際に、その第１の回
動用駆動モータＭ１の回転速度Ｖrtm （ハンド部１３が
旋回する旋回搬送速度Ｖrtm と比例する）の速度変化
を、２次的に加速／減速を変化させるために、シーケン
ス制御回路部２１は、（１）正の加速度（Ａrtm ）を一
定の勾配（ΔＡrtm ）で増加させる時期、（２）正の加
速度（Ａrtm ）を増加させる割合（ΔＡrtm ）をゼロに
する時期、（３）正の加速度（Ａrtm ）を一定の勾配
（−ΔＡrtm ）で減少させる時期、（４）加速度（Ａrt
m ）をゼロにし搬送速度Ｖrtm を一定に保持する時期、
（５）負の加速度（−Ａrtm ）を一定の勾配（−ΔＡrt
m ）を負の方向に増加させる時期、（６）負の加速度
（−Ａrtm ）を負の方向に増加させる割合（−ΔＡrtm
）をゼロにする時期、（７）負の加速度（−Ａrtm ）
を一定の勾配（ΔＡrtm ）で減少させる時期、（８）負
の加速度（−Ａrtm ）をゼロにし回転速度（Ｖrtm ）を
ゼロ、即ちハンド部１３を停止する時期を求め、その各
時期に対応した動作指令信号を出力する。When the hand unit 13 turns from the stop turning position to the target turning position of the transfer destination, the rotation speed Vrtm of the first rotation drive motor M1 (the turning transfer speed Vrtm at which the hand unit 13 turns) In order to secondarily change the acceleration / deceleration of the speed change (proportionally), the sequence control circuit unit 21 (1) increases the positive acceleration (Artm) at a constant gradient (ΔArtm); 2) a time when the rate of increase of the positive acceleration (Artm) (ΔArtm) is set to zero; (3) a time when the positive acceleration (Artm) is decreased at a constant gradient (−ΔArtm); (4) an acceleration (Art)
m) to zero and keep the transport speed Vrtm constant,
(5) The negative acceleration (-Artm) is changed to a constant gradient (-[Delta] Art).
m) in the negative direction, and (6) the rate of increase in the negative direction (−ΔArtm) of the negative acceleration (−Artm).
) To zero, (7) Negative acceleration (-Artm)
(8) The negative acceleration (-Artm) is made zero and the rotation speed (Vrtm) is made zero, that is, the time when the hand unit 13 is stopped is determined. Outputs operation command signal.

【００４９】又、伸縮動作モードの場合、シーケンス制
御回路部２１は、図示しない第１及び第２駆動軸１４，
１５の回動位置センサからの位置データ及び予め設定さ
れている伸縮位置データとに基づいて第１及び第２の回
動用駆動モータＭ１，Ｍ３を駆動制御するための動作指
令信号を作成する。つまり、その時の第１及び第２駆動
軸１４，１５（ハンド部１３）の停止位置と、搬送先の
目標位置を図示しない回動位置センサや予め設定された
伸縮位置データから求める。そして、停止位置から搬送
先の目標位置までハンド部１３を姿勢を変えずに直線運
動する際に、シーケンス制御回路部２１はその伸縮搬送
速度Ｖst、即ち実際のハンド部１３の速度についてその
速度変化Ａstが２次的に加速／減速を変化させるように
制御するための動作指令信号を出力する。In the case of the telescopic operation mode, the sequence control circuit section 21 controls the first and second drive shafts 14 (not shown).
An operation command signal for driving and controlling the first and second rotation drive motors M1 and M3 is created based on the position data from the 15 rotation position sensors and the preset expansion / contraction position data. That is, the stop positions of the first and second drive shafts 14 and 15 (hand unit 13) at that time and the target position of the transfer destination are obtained from a rotation position sensor (not shown) or preset expansion / contraction position data. Then, when the hand unit 13 linearly moves from the stop position to the target position of the transfer destination without changing the posture, the sequence control circuit unit 21 changes the speed of the telescopic transfer speed Vst, that is, the actual speed of the hand unit 13. Ast outputs an operation command signal for controlling to change the acceleration / deceleration secondary.

【００５０】即ち、シーケンス制御回路部２１は、ハン
ド部１３の速度Ｖstについて（１）正の加速度（Ａst）
を一定の勾配（ΔＡst）で増加させる時期、（２）正の
加速度（Ａst）を増加させる割合（ΔＡst）をゼロにす
る時期、（３）正の加速度（Ａst）を一定の勾配（−Δ
Ａst）で減少させる時期、（４）加速度（Ａst）をゼロ
にし搬送速度Ｖstを一定に保持する時期、（５）負の加
速度（−Ａst）を一定の勾配（−ΔＡst）で負の方向に
増加させる時期、（６）負の加速度（−Ａst）を負の方
向に増加させる割合（−ΔＡst）をゼロにする時期、
（７）負の加速度（−Ａst）を一定の勾配（ΔＡst）で
減少させる時期、（８）負の加速度（−Ａst）をゼロに
し伸縮搬送速度Ｖstをゼロ、即ちハンド部１３を停止す
る時期を求め、その各時期に対応した動作指令信号を出
力する。That is, the sequence control circuit 21 determines that the speed Vst of the hand unit 13 is (1) positive acceleration (Ast)
Is increased at a constant gradient (ΔAst), (2) when the rate of increase of the positive acceleration (Ast) is reduced to zero (ΔAst), and (3) when the positive acceleration (Ast) is increased at a constant gradient (−Δ
Ast), (4) the acceleration (Ast) is reduced to zero and the transport speed Vst is kept constant, and (5) the negative acceleration (-Ast) is changed in the negative direction at a constant gradient (-ΔAst). (6) when the rate of increasing the negative acceleration (−Ast) in the negative direction (−ΔAst) is zero,
(7) A time when the negative acceleration (-Ast) is reduced at a constant gradient (ΔAst), and (8) A time when the negative acceleration (-Ast) is reduced to zero and the telescopic conveyance speed Vst is zero, that is, when the hand unit 13 is stopped. And outputs an operation command signal corresponding to each time.

【００５１】又、上下動作モードの場合、シーケンス制
御回路部２１は、図示しない高さ位置センサからの位置
データ及び予め設定されている高さデータとに基づいて
昇降用モータＭ２を駆動制御するための動作指令信号を
作成する。つまり、その時の第１駆動軸１４の位置（ハ
ンド部１３）の停止高さ位置と、搬送先の目標高さ位置
を図示しない位置センサや予め設定された高さ位置デー
タから求める。In the case of the vertical operation mode, the sequence control circuit section 21 controls the drive of the elevation motor M2 based on the position data from the height position sensor (not shown) and the preset height data. Create an operation command signal. That is, the stop height position of the position of the first drive shaft 14 (the hand unit 13) at that time and the target height position of the transfer destination are obtained from a not-shown position sensor or preset height position data.

【００５２】そして、停止高さ位置から搬送先の目標高
さ位置まで上動（下動）する際に、その昇降用駆動モー
タＭ２の回転速度Ｖudm （ハンド部１３の上下搬送速度
Ｖudに比例する。即ち上昇速度（下降速度）に比例す
る）の速度変化を、２次的に加速／減速を変化させるた
めに、シーケンス制御回路部２１は、（１）正の加速度
（Ａudm ）を一定の勾配（ΔＡudm ）で増加させる時
期、（２）正の加速度（Ａudm ）を増加させる割合（Δ
Ａudm ）をゼロにする時期、（３）正の加速度（Ａudm
）を一定の勾配（−ΔＡudm ）で減少させる時期、
（４）正の加速度（Ａudm ）をゼロにし搬送速度Ｖudm
を一定に保持する時期、（５）負の加速度（−Ａudm ）
を一定の勾配（−ΔＡudm ）で負の方向に増加させる時
期、（６）負の加速度（−Ａudm ）を負の方向に増加さ
せる割合（−ΔＡudm ）をゼロにする時期、（７）負の
加速度（−Ａudm ）を一定の勾配（ΔＡudm ）で減少さ
せる時期、（８）負の加速度（Ａudm ）をゼロにし搬送
速度Ｖudm をゼロ、即ちハンド部１３を停止する時期を
求め、その各時期に対応した動作指令信号を出力する。When moving up (downward) from the stop height position to the target height position of the transfer destination, the rotation speed Vudm of the lifting drive motor M2 (proportional to the vertical transfer speed Vud of the hand unit 13). That is, in order to change the speed change of the ascending speed (proportional to the descending speed) secondarily to the acceleration / deceleration, the sequence control circuit section 21 (1) sets the positive acceleration (Audm) to a constant gradient. (ΔAudm), (2) rate of increase of positive acceleration (Audm) (Δ
(3) Positive acceleration (Audm)
) At a constant slope (-ΔAudm),
(4) Set the positive acceleration (Audm) to zero and set the transport speed Vudm
(5) Negative acceleration (-Audm)
(6) when the rate of increasing the negative acceleration (-Audm) in the negative direction (-.DELTA.Audm) is made zero, (7) when the negative acceleration (-Audm) is increased in the negative direction at a constant gradient (-.DELTA.Audm). The time when the acceleration (-Audm) is reduced at a constant gradient (ΔAudm), the time when the negative acceleration (Audm) is made zero and the transport speed Vudm is zero, that is, the time when the hand unit 13 is stopped, are obtained. Outputs the corresponding operation command signal.

【００５３】シーケンス制御回路部２１が作成した各動
作モードにおけるその時々の動作指令信号は次段のモー
タ駆動制御回路部２２に出力される。モータ駆動制御回
路部２２は、前記動作指令信号に応答してその動作指令
信号が上下動作、旋回動作及び伸縮動作のうちどの動作
かを判別する。そして、モータ駆動制御回路部２２は、
その判別した動作に対応するモータをその動作指令信号
の内容に基づいて同制御回路部２２に内蔵したメモリに
予め記憶された駆動のための設定制御量としてのデータ
を読み出し該データに基づいて駆動制御信号を次段のモ
ータ駆動回路２３に出力する。Each operation command signal in each operation mode created by the sequence control circuit section 21 is output to the motor drive control circuit section 22 at the next stage. In response to the operation command signal, the motor drive control circuit unit 22 determines which operation of the operation command signal is an up / down operation, a turning operation, or an expansion / contraction operation. Then, the motor drive control circuit unit 22
The motor corresponding to the determined operation is read out as a set control amount for driving stored in advance in a memory built in the control circuit unit 22 based on the content of the operation command signal and driven based on the data. The control signal is output to the motor drive circuit 23 at the next stage.

【００５４】次に、駆動制御回路部２２のシーケンス制
御回路部２１からの各動作モードの動作指令信号に対す
る動作について説明する。 Ａ．［旋回動作モード］ 駆動制御回路部２２は旋回動作モードにおける各動作指
令信号を入力した時、第１の回動用駆動モータＭ１を駆
動制御するために以下のような駆動制御信号を出力す
る。尚、説明の便宜上、第１アーム１２ａを図１実線位
置で示す停止位置から時計回り方向に９０度旋回させて
ハンド部１３を図１に示す停止位置から図４に示す目標
位置まで姿勢を変えず伸動作させて半導体ウェハＷを搬
送する場合について説明する。Next, the operation of the drive control circuit unit 22 in response to an operation command signal in each operation mode from the sequence control circuit unit 21 will be described. A. [Turning Operation Mode] When each operation command signal in the turning operation mode is input, the drive control circuit unit 22 outputs the following drive control signal to drive-control the first rotation drive motor M1. For convenience of explanation, the first arm 12a is rotated 90 degrees clockwise from the stop position shown by the solid line position in FIG. 1 to change the posture of the hand unit 13 from the stop position shown in FIG. 1 to the target position shown in FIG. The case where the semiconductor wafer W is transported by performing the stretching operation will be described.

【００５５】（１）正の加速度（Ａrtm ）を一定の勾配
（ΔＡrtm ）で増加させる時期を示す動作信号が入力さ
れた時。駆動制御回路部２２は、前記メモリにされた各
データのなかから旋回動作における停止している第１の
回動用駆動モータ（以下、第１のモータという）Ｍ１を
正の加速度Ａrtm で駆動させるために、その正の加速度
Ａrtm を増加させる割合のデータΔＡrtm を読み出す。
駆動制御回路部２２はこのデータΔＡrtm の割合で加速
度Ａrtm を上げるための駆動制御信号を出力する。モー
タ駆動回路２３はこの駆動制御信号に応答して第１のモ
ータＭ１を駆動する。従って、モータＭ１の回転速度Ｖ
rtm の速度変化はΔＡrtm の割合で増加する加速度Ａrt
m に基づいて制御される。つまり、モータＭ１は加速回
転を開始する。(1) When an operation signal indicating a timing for increasing the positive acceleration (Artm) at a constant gradient (ΔArtm) is input. The drive control circuit unit 22 drives the stopped first rotation drive motor (hereinafter, referred to as the first motor) M1 in the turning operation from the data stored in the memory at a positive acceleration Artm. Next, data ΔArtm of the rate at which the positive acceleration Artm is increased is read.
The drive control circuit section 22 outputs a drive control signal for increasing the acceleration Artm at the rate of the data ΔArtm. The motor drive circuit 23 drives the first motor M1 in response to the drive control signal. Therefore, the rotation speed V of the motor M1
The speed change of rtm is the acceleration Art that increases at the rate of ΔArtm.
It is controlled based on m. That is, the motor M1 starts accelerating rotation.

【００５６】（２）正の加速度（Ａrtm ）を増加させる
割合（ΔＡrtm ）をゼロにする時期を示す動作信号が入
力された時。駆動制御回路部２２は、この増加させる割
合ΔＡrtm をゼロにして一定の加速度Ａrtm にするため
の駆動制御信号を出力する。モータ駆動回路２３はこの
駆動制御信号に応答して第１のモータＭ１を駆動する。
従って、モータＭ１の回転速度Ｖrtm の速度変化は一定
の加速度Ａrtm に基づいて制御される。(2) When an operation signal indicating a time when the rate of increase in positive acceleration (Artm) (ΔArtm) is made zero is input. The drive control circuit section 22 outputs a drive control signal for setting the increasing rate ΔArtm to zero to obtain a constant acceleration Artm. The motor drive circuit 23 drives the first motor M1 in response to the drive control signal.
Therefore, the speed change of the rotation speed Vrtm of the motor M1 is controlled based on the constant acceleration Artm.

【００５７】（３）正の加速度（Ａrtm ）を一定の勾配
（−ΔＡrtm ）で減少させる時期を示す動作指令信号が
入力された時。駆動制御回路部２２は、前記メモリから
一定の加速度Ａrtm で加速しながら回転駆動している第
１の回動用モータＭ１についてその正の加速度Ａrtm を
減少させる割合のデータ−ΔＡrtm を読み出す。駆動制
御回路部２２はこのデータ−ΔＡrtm の割合で正の加速
度Ａrtm を下げるための駆動制御信号を出力する。モー
タ駆動回路２３はこの駆動制御信号に応答して第１のモ
ータＭ１を駆動する。従って、モータＭ１の回転速度Ｖ
rtm の速度変化は−ΔＡrtm の割合で減少する加速度Ａ
rtm に基づいて制御される。(3) When an operation command signal indicating a time to decrease the positive acceleration (Artm) at a constant gradient (-ΔArtm) is input. The drive control circuit section 22 reads out from the memory the data -.DELTA.Artm of the first rotation motor M1 rotating and driving at a constant acceleration Artm while reducing the positive acceleration Artm. The drive control circuit section 22 outputs a drive control signal for reducing the positive acceleration Artm at the rate of the data -ΔArtm. The motor drive circuit 23 drives the first motor M1 in response to the drive control signal. Therefore, the rotation speed V of the motor M1
The speed change of rtm is the acceleration A that decreases at the rate of -ΔArtm.
Controlled based on rtm.

【００５８】（４）加速度（Ａrtm ）をゼロにし搬送速
度Ｖrtm を一定に保持する時期を示す動作指令信号が入
力された時。駆動制御回路部２２は、この増加させる加
速度Ａrtm をゼロにして回転速度Ｖrtm を一定に保持す
るための駆動制御信号を出力する。モータ駆動回路２３
はこの駆動制御信号に応答して第１のモータＭ１を駆動
する。従って、モータＭ１の回転速度Ｖrtm は一定とな
り、その速度変化はゼロになる。(4) When an operation command signal indicating a time when the acceleration (Artm) is set to zero and the transport speed Vrtm is kept constant is input. The drive control circuit unit 22 outputs a drive control signal for keeping the rotational speed Vrtm constant by setting the increased acceleration Artm to zero. Motor drive circuit 23
Drives the first motor M1 in response to this drive control signal. Therefore, the rotation speed Vrtm of the motor M1 becomes constant, and its speed change becomes zero.

【００５９】（５）負の加速度（−Ａrtm ）を一定の勾
配（−ΔＡrtm ）で負の方向に増加させる時期を示す動
作指令信号が入力された時。駆動制御回路部２２は、前
記メモリから一定の回転速度Ｖrtm で回転している第１
のモータＭ１を負の加速度−Ａrtm で駆動させるため
に、その負の加速度−Ａrtm を負の方向に増加させる割
合のデータ−ΔＡrtm を読み出す。駆動制御回路部２２
はこのデータ−ΔＡrtm の割合で負の加速度−Ａrtm を
上げるための駆動制御信号を出力する。モータ駆動回路
２３はこの駆動制御信号に応答して第１のモータＭ１を
駆動する。従って、モータＭ１の回転速度Ｖrtm の速度
変化は−ΔＡrtm の割合で負の方向に増加する負の加速
度−Ａrtm に基づいて制御される。つまり、モータＭ１
の回転速度Ｖrtm は減速回転を開始する。(5) When an operation command signal indicating a timing for increasing the negative acceleration (-Artm) in the negative direction at a constant gradient (-ΔArtm) is input. The drive control circuit unit 22 outputs a first rotation speed Vrtm from the memory at a constant rotation speed Vrtm.
In order to drive the motor M1 at the negative acceleration -Artm, the data -.DELTA.Artm at the rate of increasing the negative acceleration -Artm in the negative direction is read. Drive control circuit section 22
Outputs a drive control signal for increasing the negative acceleration -Artm at the rate of this data -.DELTA.Artm. The motor drive circuit 23 drives the first motor M1 in response to the drive control signal. Therefore, the speed change of the rotation speed Vrtm of the motor M1 is controlled based on the negative acceleration -Artm which increases in the negative direction at the rate of-[Delta] Artm. That is, the motor M1
The rotation speed Vrtm starts the deceleration rotation.

【００６０】（６）負の加速度（−Ａrtm ）を負の方向
に増加させる割合（−ΔＡrtm ）を一定にする時期を示
す動作指令信号が入力された時。駆動制御回路部２２
は、この負の方向に増加させる割合−ΔＡrtm をゼロに
して一定の負の加速度−Ａrtm にするための駆動制御信
号を出力する。モータ駆動回路２３はこの駆動制御信号
に応答して第１のモータＭ１を駆動する。従って、モー
タＭ１の回転速度Ｖrtm の速度変化は一定の負の加速度
−Ａrtm に基づいて制御される。(6) When an operation command signal indicating a time when the rate of increasing the negative acceleration (-Artm) in the negative direction (-ΔArtm) is constant is input. Drive control circuit section 22
Outputs a drive control signal for setting the rate of increase in the negative direction -.DELTA.Artm to zero to obtain a constant negative acceleration -Artm. The motor drive circuit 23 drives the first motor M1 in response to the drive control signal. Therefore, the speed change of the rotation speed Vrtm of the motor M1 is controlled based on the constant negative acceleration -Artm.

【００６１】（７）負の加速度（−Ａrtm ）を一定の勾
配（−ΔＡrtm ）で減少させる時期を示す動作指令信号
が入力された時。駆動制御回路部２２は、前記メモリか
ら一定の負の加速度−Ａrtm で減速しながら回転駆動し
ている第１のモータＭ１についてその負の加速度−Ａrt
m を減少させる割合のデータΔＡrtm を読み出す。駆動
制御回路部２２はこのデータΔＡrtm の割合で負の加速
度−Ａrtm を減少させるための駆動制御信号を出力す
る。モータ駆動回路２３はこの駆動制御信号に応答して
第１のモータＭ１を駆動する。従って、モータＭ１の回
転速度Ｖrtm の速度変化は−ΔＡrtm の割合で減少する
負の加速度−Ａrtm に基づいて制御される。(7) When an operation command signal indicating a timing to decrease the negative acceleration (-Artm) at a constant gradient (-ΔArtm) is input. The drive control circuit unit 22 calculates the negative acceleration -Art of the first motor M1 that is rotationally driven while decelerating at a constant negative acceleration -Artm from the memory.
The data ΔArtm of the rate at which m is reduced is read. The drive control circuit unit 22 outputs a drive control signal for reducing the negative acceleration -Artm at the rate of the data ΔArtm. The motor drive circuit 23 drives the first motor M1 in response to the drive control signal. Accordingly, the speed change of the rotation speed Vrtm of the motor M1 is controlled based on the negative acceleration -Artm decreasing at the rate of-[Delta] Artm.

【００６２】（８）負の加速度（−Ａrtm ）をゼロにし
回転速度Ｖrtm をゼロ、即ちハンド部１３を停止する時
期を示す動作指令信号が入力された時。駆動制御回路部
２２は、回転速度Ｖrtm をゼロにする駆動制御信号を出
力する。モータ駆動回路２３はこの駆動制御信号に応答
して第１のモータＭ１を停止させる。従って、モータＭ
１の回転速度Ｖrtm の速度変化はゼロとなる。つまり、
ハンド部１３は停止旋回位置から搬送先の目標旋回位置
まで到達して停止する。(8) When the negative acceleration (-Artm) is set to zero and the rotation speed Vrtm is set to zero, that is, when an operation command signal indicating the timing to stop the hand unit 13 is input. The drive control circuit section 22 outputs a drive control signal for setting the rotation speed Vrtm to zero. The motor drive circuit 23 stops the first motor M1 in response to the drive control signal. Therefore, the motor M
The speed change of the rotation speed Vrtm of 1 becomes zero. That is,
The hand unit 13 reaches the target turning position of the transfer destination from the stop turning position and stops.

【００６３】尚、設定制御量としての前記正負の加速度
Ａrtm 、−Ａrtm 及び増減する割合ΔＡrtm 、−ΔＡrt
m は、予め求めた値である。詳述すると、図１に示す状
態で旋回動作するとき、半導体ウェハＷの旋回搬送速度
（第１駆動軸１４を回動中心とする周速度）Ｖrtが、図
５に示すスムースな速度変化で推移し且つ搬送時間が最
小となるように、その時々の第１のモータＭ１に対する
正負の加速度Ａrtm 、−Ａrtm 及び増減する割合ΔＡrt
m 、−ΔＡrtm で制御するタイミングは予め実験又は理
論にて求められている。The positive / negative accelerations Artm and -Artm as set control amounts and the rate of increase / decrease .DELTA.Artm and -.DELTA.
m is a value obtained in advance. More specifically, when the turning operation is performed in the state shown in FIG. 1, the turning transfer speed (peripheral speed around the first drive shaft 14) Vrt of the semiconductor wafer W changes with a smooth speed change shown in FIG. So that the transport time is minimized, the positive and negative accelerations Artm, -Artm and the rate of increase / decrease .DELTA.Art of the first motor M1 at that time.
The timing for controlling by m and -ΔArtm is obtained in advance by experiment or theory.

【００６４】この時、正負の加速度Ａrtm 、−Ａrtm 及
び増減する割合ΔＡrtm 、−ΔＡrtm は、ハンド部１３
の載置部１３ａに載置された半導体ウェハＷが旋回中に
載置部１３ａに対して遠心力でずれない値に設定してい
る。つまり、半導体ウェハＷにかかる遠心力Ｆは、第１
駆動軸１４の軸芯から載置部１３ａに載置された半導体
ウェハＷの中心までの距離Ｒ、半導体ウェハＷの質量Ｍ
w 、旋回搬送速度Ｖrtとすると、 Ｆ＝Ｍw ・Ｖrt２／Ｒとなる。At this time, the positive / negative accelerations Artm, -Artm and the increasing / decreasing ratios ΔArtm, -ΔArtm are determined by the hand unit 13.
The value is set so that the semiconductor wafer W mounted on the mounting portion 13a does not shift with respect to the mounting portion 13a due to centrifugal force during turning. That is, the centrifugal force F applied to the semiconductor wafer W is equal to the first
Distance R from the axis of drive shaft 14 to the center of semiconductor wafer W mounted on mounting portion 13a, mass M of semiconductor wafer W
w, and the rotation transport speed Vrt, F = Mw · Vrt2 / R.

【００６５】従って、遠心力Ｆによって半導体ウェハＷ
ずれないために、その時の質量Ｍw、旋回位置に応じて
基づいての正負の加速度Ａrtm 、−Ａrtm 及び増減する
割合ΔＡrtm 、−ΔＡrtm の最も効率のよい値を予め実
験又は理論にて求めてメモりに記憶させている。Therefore, the semiconductor wafer W is generated by the centrifugal force F.
In order to prevent deviation, the most efficient values of the positive and negative accelerations Artm and -Artm based on the mass Mw and the turning position at that time and the rate of increase and decrease ΔArtm and -ΔArtm are obtained in advance by experiment or theory and recorded. Is stored.

【００６６】Ｂ．［伸縮動作モード］ 駆動制御回路部２２は伸縮動作モードにおける各動作指
令信号を入力した時、第１及び第２の回動用駆動モータ
（以下、第１及び第２のモータ）Ｍ１，Ｍ３を駆動制御
するために以下のような駆動制御信号を出力する。B. [Expansion / Retraction Operation Mode] The drive control circuit unit 22 drives the first and second rotation drive motors (hereinafter, first and second motors) M1 and M3 when each operation command signal in the extension / retraction operation mode is input. The following drive control signal is output for control.

【００６７】尚、説明の便宜上、第１アーム１２ａを図
１実線位置で示す位置から時計回り方向に９０度旋回さ
せて、ハンド部１３を図４実線で示す停止位置から２点
鎖線で示す目標位置まで直線運動させる場合について説
明する。For convenience of explanation, the first arm 12a is turned 90 degrees clockwise from the position shown by the solid line in FIG. 1 to move the hand unit 13 from the stop position shown by the solid line in FIG. The case of linear movement to the position will be described.

【００６８】（１）正の加速度（Ａst）を一定の勾配
（ΔＡst）で増加させる時期を示す動作指令信号を入力
した時。駆動制御回路部２２は、前記メモリにされた各
データのなかから伸縮動作における停止しているハンド
部１３を駆動するとき正の加速度Ａstを増加させる割合
のデータΔＡstを読み出す。駆動制御回路部２２は、こ
のデータΔＡstを第１の回転用駆動モータＭ１の加速度
Ａstm を決定するためのデータΔＡstm に変換する。つ
まり、ハンド部１３の直線移動位置Ｘは、第１アーム１
２ａの長さ（第１及び第２駆動軸１４，１５の軸芯間の
距離）をｒ、第１アーム１２ａの回動角をθとすると、 Ｘ＝２ｒ・ｓｉｎθ で表される。(1) When an operation command signal indicating a time when the positive acceleration (Ast) is increased at a constant gradient (ΔAst) is input. The drive control circuit unit 22 reads out data ΔAst at a rate of increasing the positive acceleration Ast when driving the stopped hand unit 13 in the expansion / contraction operation from the data stored in the memory. The drive control circuit 22 converts this data ΔAst into data ΔAstm for determining the acceleration Astm of the first rotation drive motor M1. That is, the linear movement position X of the hand unit 13 is
Assuming that the length of 2a (the distance between the axes of the first and second drive shafts 14 and 15) is r and the rotation angle of the first arm 12a is θ, X = 2r · sin θ.

【００６９】従って、ハンド部１３の直線移動量ΔＸ
は、第１アーム１２ａの回動量をΔθとすれば、 ΔＸ＝２ｒ・ｓｉｎΔθ となる。つまり、直線運動しているハンド部５３の直線
移動量ΔＸ、即ち移動速度Ｖstは、第１アーム１２ａの
回動速度（第１駆動軸１４を回動中心に回動する第２駆
動軸１５の軸芯位置における周速度）の直線運動方向成
分と第２アーム１２ｂの回動速度（第２駆動軸１５を回
動中心として回動する従動軸１６の軸芯位置における周
速度）の直線運動方向成分の合成となる。つまり、ハン
ド部１３をΔＡstの割合で加速度Ａstを上げるための第
１のモータＭ１の加速度Ａstm の増加の割合ΔＡstm を
求める必要があるからである。Therefore, the linear movement amount ΔX of the hand unit 13
If the amount of rotation of the first arm 12a is Δθ, then ΔX = 2r · sinΔθ. That is, the linear movement amount ΔX of the hand unit 53 performing the linear movement, that is, the moving speed Vst is determined by the rotation speed of the first arm 12a (the second drive shaft 15 that rotates about the first drive shaft 14 as the rotation center). The linear motion direction component of the peripheral speed at the axis center position) and the linear motion direction of the rotation speed of the second arm 12b (the peripheral speed at the axis center position of the driven shaft 16 that rotates around the second drive shaft 15). The composition of the components. That is, it is necessary to find the rate of increase ΔAstm of the acceleration Astm of the first motor M1 for increasing the acceleration Ast of the hand unit 13 at the rate of ΔAst.

【００７０】本実施形態では、ΔＡstに対するΔＡstm
は予め実験又は理論的に求めたものを採用し、前記メモ
リに記憶している。そして、前記したように第１駆動軸
１４の回転速度に対して第２駆動軸１５の回転速度は２
倍であるので、第１のモータＭ１の加速度Ａstm を決定
するデータΔＡstm が決まれば第２のモータＭ３の加速
度（＝２Ａstm ）を決定するデータ（＝２ΔＡstm ）が
一義的に決まる。In this embodiment, ΔAstm with respect to ΔAst
Has previously been obtained experimentally or theoretically and is stored in the memory. As described above, the rotation speed of the second drive shaft 15 is 2 with respect to the rotation speed of the first drive shaft 14.
Since the data ΔAstm for determining the acceleration Astm of the first motor M1 is determined, the data (= 2ΔAstm) for determining the acceleration (= 2Astm) of the second motor M3 is uniquely determined.

【００７１】駆動制御回路部２２はこのデータΔＡstm
，２ΔＡstm の割合で第１及び第２のモータＭ１，Ｍ
３の加速度Ａstm ，２Ａstm を上げるための駆動制御信
号を出力する。モータ駆動回路２３はこの駆動制御信号
に応答して第１及び第２のモータＭ１，Ｍ３を駆動す
る。従って、ハンド部１３の伸縮搬送速度Ｖstの速度速
化はΔＡstの割合で増加する加速度Ａstに基づいて制御
される。つまり、ハンド部１３は搬送、即ち直線運動を
開始する。The drive control circuit 22 calculates the data ΔAstm
, 2ΔAstm, the first and second motors M1, M
A drive control signal for increasing the accelerations Astm and 2Astm of No. 3 is output. The motor drive circuit 23 drives the first and second motors M1 and M3 in response to the drive control signal. Therefore, the speed-up of the telescopic conveyance speed Vst of the hand unit 13 is controlled based on the acceleration Ast which increases at the rate of ΔAst. That is, the hand unit 13 starts conveyance, that is, linear motion.

【００７２】（２）正の加速度（Ａst）を増加させる割
合（ΔＡst）をゼロにする時期を示す動作指令信号を入
力した時。駆動制御回路部２２は、この増加させる割合
ΔＡstm ，Δ２Ａstm をゼロにしてハンド部１３の加速
度Ａstを一定にするための駆動制御信号を出力する。モ
ータ駆動回路２３はこの駆動制御信号に応答して第１及
び第２のモータＭ１，Ｍ３を駆動する。従って、モータ
Ｍ１，Ｍ３の回転速度の速度変化は一定の加速度Ａstm
，２Ａstm に基づいて制御される。つまり、ハンド部
１３の伸縮搬送速度Ｖstの速度変化は一定の加速度Ａst
に基づいて制御される。(2) When an operation command signal indicating a time when the rate of increase of positive acceleration (Ast) (ΔAst) is made zero is input. The drive control circuit unit 22 outputs a drive control signal for making the increasing rates ΔAstm and Δ2Astm zero and keeping the acceleration Ast of the hand unit 13 constant. The motor drive circuit 23 drives the first and second motors M1 and M3 in response to the drive control signal. Accordingly, the rotational speed of the motors M1 and M3 changes at a constant acceleration Astm.
, 2Astm. That is, the speed change of the telescopic conveyance speed Vst of the hand unit 13 is a constant acceleration Ast
Is controlled based on the

【００７３】（３）正の加速度（Ａst）を一定の勾配
（−ΔＡst）で減少させる時期を示す動作指令信号を入
力した時。駆動制御回路部２２は、前記メモリから一定
の加速度Ａstで加速しながら直線運動しているハンド部
１３についてその正の加速度Ａstを減少させる割合のデ
ータ−ΔＡstを読み出す。駆動制御回路部２２は、前記
と同様にこのデータ−ΔＡstを第１のモータＭ１の加速
度Ａstm を決定するためのデータ−ΔＡstm に変換す
る。この−ΔＡstに対する−ΔＡstm も前記と同様に予
め実験又は理論的に求めたものを採用し、前記メモリに
記憶されている。そして、第１のモータＭ１の加速度Ａ
stm を決定するデータ−ΔＡstm と、第２のモータＭ３
の加速度（＝２Ａstm ）を決定するデータ（＝２ΔＡst
m ）とが求められると、駆動制御回路部２２はこのデー
タ−ΔＡstm ，−２ΔＡstm の割合で第１及び第２のモ
ータＭ１，Ｍ３の加速度Ａstm ，２Ａstm を下げるため
の駆動制御信号を出力する。モータ駆動回路２３はこの
駆動制御信号に応答して第１及び第２のモータＭ１，Ｍ
３を駆動する。従って、ハンド部１３の伸縮搬送速度Ｖ
stの速度速化は−ΔＡstの割合で減少する加速度Ａstに
基づいて制御される。(3) When an operation command signal indicating a time when the positive acceleration (Ast) is reduced at a constant gradient (-ΔAst) is input. The drive control circuit unit 22 reads, from the memory, data-[Delta] Ast at a rate of decreasing the positive acceleration Ast of the hand unit 13 which is linearly moving while accelerating at a constant acceleration Ast. The drive control circuit 22 converts this data -ΔAst into data -ΔAstm for determining the acceleration Astm of the first motor M1 in the same manner as described above. Similarly to the above, -ΔAstm for -ΔAst employs a value previously obtained experimentally or theoretically and is stored in the memory. Then, the acceleration A of the first motor M1
data for determining stm-ΔAstm and the second motor M3
(= 2ΔAst) that determines the acceleration (= 2Astm)
m), the drive control circuit 22 outputs a drive control signal for reducing the accelerations Astm and 2Astm of the first and second motors M1 and M3 at the ratio of the data -.DELTA.Astm and -2.DELTA.Astm. The motor drive circuit 23 responds to this drive control signal to cause the first and second motors M1, M
3 is driven. Therefore, the telescopic transfer speed V of the hand unit 13
The speed increase of st is controlled based on the acceleration Ast that decreases at the rate of -ΔAst.

【００７４】（４）加速度（Ａst）をゼロにし伸縮搬送
速度Ｖstを一定に保持する時期を示す動作指令信号を入
力した時。駆動制御回路部２２は、前記メモリから加速
度Ａstをゼロにするデータを読み出す。駆動制御回路部
２２は、前記と同様にこの加速度Ａstをゼロにするデー
タに対する第１の回転用駆動モータＭ１の加速度Ａstm
をゼロにするためのデータに変換する。駆動制御回路部
２２は、ハンド部１３の加速度Ａstをゼロ（Ａstm＝２
Ａstm ＝０）にしてハンド部１３の伸縮搬送速度Ｖstを
一定に保持するための駆動制御信号を出力する。モータ
駆動回路２３はこの駆動制御信号に応答して第１及び第
２のモータＭ１，Ｍ３を駆動する。従って、ハンド部１
３の伸縮搬送速度Ｖstは一定となり、その速度変化はゼ
ロになる。(4) When an operation command signal indicating the time when the acceleration (Ast) is set to zero and the expansion / contraction transport speed Vst is kept constant is input. The drive control circuit unit 22 reads data for setting the acceleration Ast to zero from the memory. As described above, the drive control circuit 22 calculates the acceleration Astm of the first rotation drive motor M1 with respect to the data for setting the acceleration Ast to zero.
Is converted to data for zero. The drive control circuit unit 22 sets the acceleration Ast of the hand unit 13 to zero (Astm = 2
Astm = 0), and outputs a drive control signal for keeping the telescopic transfer speed Vst of the hand unit 13 constant. The motor drive circuit 23 drives the first and second motors M1 and M3 in response to the drive control signal. Therefore, the hand unit 1
3 is constant, and the speed change is zero.

【００７５】（５）負の加速度（−Ａst）を一定の勾配
（−ΔＡst）で負の方向に増加させる時期を示す動作指
令信号を入力した時。駆動制御回路部２２は、前記メモ
リから一定の伸縮搬送速度Ｖstで搬送しているハンド部
１３を負の加速度−Ａstを負の方向に増加させる割合の
データ−ΔＡstを読み出す。駆動制御回路部２２は、前
記と同様にこのデータ−ΔＡstを第１の回転用駆動モー
タＭ１の負の加速度−Ａstm を決定するためのデータ−
ΔＡstm に変換する。この−ΔＡstに対する−ΔＡstm
も前記と同様に予め実験又は理論的に求めたものを採用
し、前記メモリに記憶されている。そして、第１のモー
タＭ１の負の加速度−Ａstm を決定するデータ−ΔＡst
m と、第２のモータＭ３の負の加速度（＝−２Ａstm ）
を決定するデータ（＝−２ΔＡstm ）とが求められる
と、駆動制御回路部２２はこのデータ−ΔＡstm ，−２
ΔＡstm の割合で第１及び第２のモータＭ１，Ｍ３の負
の加速度−Ａstm ，−２Ａstm を負の方向に上げるため
の駆動制御信号を出力する。モータ駆動回路２３はこの
駆動制御信号に応答して第１及び第２のモータＭ１，Ｍ
３を駆動する。従って、ハンド部１３の伸縮搬送速度Ｖ
stの速度速化は−ΔＡstの割合で減少する負の加速度Ａ
stに基づいて制御される。つまり、ハンド部１３の伸縮
搬送速度Ｖstは減速を開始する。(5) When an operation command signal indicating a timing for increasing the negative acceleration (-Ast) in the negative direction at a constant gradient (-ΔAst) is input. The drive control circuit unit 22 reads, from the memory, data -ΔAst at a rate of increasing the negative acceleration -Ast in the negative direction for the hand unit 13 that is transporting at the constant telescopic transport speed Vst. The drive control circuit unit 22 converts the data ΔΔst into the negative acceleration −Astm of the first rotation drive motor M1 in the same manner as described above.
Convert to ΔAstm. -ΔAstm for this -ΔAst
As described above, data obtained in advance by experiment or theoretically is adopted and stored in the memory. Then, the data for determining the negative acceleration -Astm of the first motor M1 -ΔAst
m and the negative acceleration of the second motor M3 (= -2 Astm)
Is determined (= −2ΔAstm), the drive control circuit unit 22 calculates the data −ΔAstm, −2
A drive control signal for increasing the negative accelerations -Astm and -2Astm of the first and second motors M1 and M3 in the negative direction at a rate of ΔAstm is output. The motor drive circuit 23 responds to this drive control signal to cause the first and second motors M1, M
3 is driven. Therefore, the telescopic transfer speed V of the hand unit 13
The speed increase of st is a negative acceleration A decreasing at a rate of -ΔAst.
Controlled based on st. That is, the telescopic conveyance speed Vst of the hand unit 13 starts to decelerate.

【００７６】（６）負の加速度（−Ａst）を負の方向に
増加させる割合（−ΔＡst）をゼロにする時期を示す動
作指令信号を入力した時。駆動制御回路部２２は、この
負の方向に増加させる割合−ΔＡstm をゼロにしてハン
ド部１３の負の加速度−Ａstを一定にするための駆動制
御信号を出力する。モータ駆動回路２３はこの駆動制御
信号に応答して第１及び第２のモータＭ１，Ｍ３を駆動
する。従って、モータＭ１，Ｍ３の回転速度の速度変化
は一定の負の加速度−Ａstm ，−２Ａstm に基づいて制
御される。つまり、ハンド部１３の伸縮搬送速度Ｖstの
速度変化は一定の負の加速度−Ａstに基づいて制御され
る。(6) When an operation command signal indicating a time when the rate of increasing the negative acceleration (−Ast) in the negative direction (−ΔAst) is set to zero is input. The drive control circuit unit 22 outputs a drive control signal for setting the rate of increase in the negative direction −ΔAstm to zero and keeping the negative acceleration −Ast of the hand unit 13 constant. The motor drive circuit 23 drives the first and second motors M1 and M3 in response to the drive control signal. Therefore, the change in the rotation speed of the motors M1 and M3 is controlled based on the constant negative accelerations -Astm and -2Astm. That is, the speed change of the telescopic conveyance speed Vst of the hand unit 13 is controlled based on the constant negative acceleration -Ast.

【００７７】（７）負の加速度（−Ａst）を一定の勾配
（ΔＡst）で減少させる時期を示す動作指令信号を入力
した時。駆動制御回路部２２は、前記メモリから一定の
負の加速度−Ａstで減速しながら搬送しているハンド部
１３についてその負の加速度−Ａstを減少させる割合の
データΔＡstを読み出す。駆動制御回路部２２は、前記
と同様にこのデータΔＡstを第１のモータＭ１の負の加
速度−Ａstm を決定するためのデータΔＡstm に変換す
る。このΔＡstに対するΔＡstm も前記と同様に予め実
験又は理論的に求めたものを採用し、前記メモリに記憶
されている。そして、第１のモータＭ１の負の加速度−
Ａstm を決定するデータΔＡstm と、第２のモータＭ３
の負の加速度（＝−２Ａstm ）を決定するデータ（＝２
ΔＡstm ）とが求められると、駆動制御回路部２２はこ
のデータΔＡstm ，２ΔＡstm の割合で第１及び第２の
モータＭ１，Ｍ３の負の加速度−Ａstm ，−２Ａstm を
減少させるための駆動制御信号を出力する。モータ駆動
回路２３はこの駆動制御信号に応答して第１及び第２の
モータＭ１，Ｍ３を駆動する。従って、ハンド部１３の
伸縮搬送速度Ｖstの負の速度速化はΔＡstの割合で減少
する負の加速度−Ａstに基づいて制御される。(7) When an operation command signal indicating the time when the negative acceleration (-Ast) is reduced at a constant gradient (ΔAst) is input. The drive control circuit unit 22 reads out the data ΔAst of the hand unit 13 that is transporting while decelerating at a constant negative acceleration −Ast at the rate of decreasing the negative acceleration −Ast from the memory. The drive control circuit 22 converts this data ΔAst into data ΔAstm for determining the negative acceleration −Astm of the first motor M1 in the same manner as described above. Similarly to the above, ΔAstm corresponding to ΔAst is obtained in advance by experiment or theoretically, and is stored in the memory. Then, the negative acceleration of the first motor M1-
Data ΔAstm for determining Astm and the second motor M3
Data (= 2) that determines the negative acceleration (= −2 Astm) of
ΔAstm), the drive control circuit unit 22 generates a drive control signal for decreasing the negative accelerations -Astm and -2Astm of the first and second motors M1 and M3 at the ratio of the data ΔAstm and 2ΔAstm. Output. The motor drive circuit 23 drives the first and second motors M1 and M3 in response to the drive control signal. Therefore, the negative speed increase of the telescopic transport speed Vst of the hand unit 13 is controlled based on the negative acceleration −Ast that decreases at the rate of ΔAst.

【００７８】（８）負の加速度（−Ａst）をゼロにし伸
縮搬送速度Ｖstをゼロ、即ちハンド部１３を停止する時
期を示す動作指令信号を入力した時。駆動制御回路部２
２は、前記メモリから伸縮搬送速度Ｖstをゼロにするデ
ータを読み出す。駆動制御回路部２２は、前記と同様に
この伸縮搬送速度Ｖstをゼロにするデータに対する第１
及び第２のモータＭ１，Ｍ３の回転速度をゼロ、即ち停
止させるためのデータに変換する。駆動制御回路部２２
は、第１及び第２のモータＭ１，Ｍ３を停止させるため
の駆動制御信号を出力する。モータ駆動回路２３はこの
駆動制御信号に応答して第１及び第２のモータＭ１，Ｍ
３を停止させる。従って、ハンド部１３の伸縮搬送速度
Ｖstはゼロとなり停止する。つまり、ハンド部１３は停
止位置から搬送先の目標位置まで到達して停止する。(8) When the negative acceleration (-Ast) is set to zero and the expansion / contraction transport speed Vst is set to zero, that is, when an operation command signal indicating a time to stop the hand unit 13 is input. Drive control circuit 2
2 reads data for setting the telescopic transport speed Vst to zero from the memory. As described above, the drive control circuit unit 22 performs the first control on the data for setting the telescopic transport speed Vst to zero.
And the rotation speeds of the second motors M1 and M3 are converted to zero, that is, data for stopping. Drive control circuit section 22
Outputs a drive control signal for stopping the first and second motors M1 and M3. The motor drive circuit 23 responds to this drive control signal to cause the first and second motors M1, M
Stop 3 Accordingly, the telescopic transfer speed Vst of the hand unit 13 becomes zero and stops. That is, the hand unit 13 reaches the destination position of the transfer destination from the stop position and stops.

【００７９】従って、伸縮動作において、ハンド部１３
の伸縮搬送速度Ｖstを２次的に正負の加速度Ａst、−Ａ
stを２次的（ΔＡst、−ΔＡst）に変化させて加減速す
るようにしたので、図６に示すように停止位置から搬送
先の目標位置までの伸縮搬送速度Ｖstを変化させること
ができる。Therefore, in the expansion and contraction operation, the hand unit 13
The expansion / contraction transport speed Vst is quadratic positive / negative acceleration Ast, -A
Since st is changed to a secondary value (ΔAst, −ΔAst) to accelerate or decelerate, the telescopic transfer speed Vst from the stop position to the target position of the transfer destination can be changed as shown in FIG.

【００８０】さらに、正負の加速度Ａst、−Ａst及び増
減する割合ΔＡst、−ΔＡstに対する設定制御量として
の正負の加速度Ａstm 、−Ａstm 及び増減する割合ΔＡ
stm、−ΔＡstm は、ハンド部１３の載置部１３ａに載
置された半導体ウェハＷが伸縮動作中に載置部１３ａに
対して慣性力でずれないで最も効率のよい値を予め実験
又は理論にて求めている。従って、ハンド部１３の伸縮
動作は緩やかに制御されてスムースな直線運動でしかも
搬送時間が最小となる。Further, the positive / negative accelerations Astm and -Astm as the set control amounts for the positive and negative accelerations Ast and -Ast and the increasing and decreasing rates ΔAst and -ΔAst and the increasing and decreasing rates ΔA
stm and −ΔAstm are determined in advance by experiment or theory to determine the most efficient values of the semiconductor wafer W placed on the placing portion 13a of the hand portion 13 without shifting due to the inertial force with respect to the placing portion 13a during the expansion and contraction operation. We are looking for. Therefore, the expansion and contraction operation of the hand unit 13 is controlled gently, and a smooth linear motion is achieved, and the transport time is minimized.

【００８１】Ｃ．［上下動作モード］ 駆動制御回路部２２は上下動作モードにおける各動作指
令信号を入力した時、昇降用駆動モータＭ２を駆動制御
するために以下のような駆動制御信号を出力する。尚、
説明の便宜上、ハンド部１３を図２実線位置で示す停止
位置から２点鎖線で示す目標位置まで上動させる場合に
ついて説明する。C. [Up / Down Operation Mode] When each operation command signal in the up / down operation mode is input, the drive control circuit unit 22 outputs the following drive control signal to drive and control the elevation drive motor M2. still,
For convenience of description, a case will be described in which the hand unit 13 is moved upward from a stop position indicated by a solid line position in FIG. 2 to a target position indicated by a two-dot chain line.

【００８２】（１）正の加速度（Ａudm ）を一定の勾配
（ΔＡudm ）で増加させる時期を示す動作指令信号を入
力した時。駆動制御回路部２２は、前記メモリにされた
各データのなかから停止している昇降用駆動モータＭ２
についてを正の加速度Ａudm で駆動させるために、その
正の加速度Ａudm を増加させる割合のデータΔＡudm を
読み出す。駆動制御回路部２２はこのデータΔＡudm の
割合で加速度Ａudm を上げるための駆動制御信号を出力
する。モータ駆動回路２３はこの駆動制御信号に応答し
て昇降用モータＭ２を駆動する。従って、モータＭ２の
回転速度Ｖudm の速度変化はΔＡudm の割合で増加する
加速度Ａudm に基づいて制御される。つまり、モータＭ
２は加速回転を開始し、ハンド部１３は図２実線位置か
ら停止位置から上動を開始する。(1) When an operation command signal indicating a timing for increasing the positive acceleration (Audm) at a constant gradient (ΔAudm) is input. The drive control circuit unit 22 is configured to stop the ascending / descending drive motor M2 from among the data stored in the memory.
Is driven at a positive acceleration Audm, data ΔAudm at a rate of increasing the positive acceleration Audm is read out. The drive control circuit 22 outputs a drive control signal for increasing the acceleration Audm at the rate of the data ΔAudm. The motor drive circuit 23 drives the lift motor M2 in response to the drive control signal. Therefore, the speed change of the rotation speed Vudm of the motor M2 is controlled based on the acceleration Audm which increases at the rate of ΔAudm. That is, the motor M
2 starts acceleration rotation, and the hand unit 13 starts moving upward from the stop position from the solid line position in FIG.

【００８３】（２）正の加速度（Ａudm ）を増加させる
割合（ΔＡudm ）をゼロにする時期を示す動作指令信号
を入力した時。駆動制御回路部２２は、この増加させる
割合ΔＡrtm をゼロにして一定の加速度Ａrtm にするた
めの駆動制御信号を出力する。モータ駆動回路２３はこ
の駆動制御信号に応答して昇降用駆動モータＭ２を駆動
する。従って、モータＭ２の回転速度Ｖudm の速度変化
は一定の加速度Ａudm に基づいて制御される。(2) When an operation command signal indicating a time when the rate of increase of positive acceleration (Audm) (ΔAudm) is made zero is input. The drive control circuit section 22 outputs a drive control signal for setting the increasing rate ΔArtm to zero to obtain a constant acceleration Artm. The motor drive circuit 23 drives the elevation drive motor M2 in response to the drive control signal. Therefore, the speed change of the rotation speed Vudm of the motor M2 is controlled based on the constant acceleration Audm.

【００８４】（３）正の加速度（Ａudm ）を一定の勾配
（−ΔＡudm ）で減少させる時期を示す動作指令信号を
入力した時。駆動制御回路部２２は、前記メモリから一
定の正の加速度Ａudm で加速しながら回転駆動している
昇降用モータＭ２についてその正の加速度Ａudm を減少
させる割合のデータ−ΔＡudm を読み出す。駆動制御回
路部２２はこのデータ−ΔＡudm の割合で正の加速度Ａ
udm を下げるための駆動制御信号を出力する。モータ駆
動回路２３はこの駆動制御信号に応答して昇降用駆動モ
ータＭ２を駆動する。従って、モータＭ２の回転速度Ｖ
udm の速度変化は−ΔＡudm の割合で減少する正の加速
度Ａudm に基づいて制御される。(3) When an operation command signal indicating a time when the positive acceleration (Audm) is reduced at a constant gradient (-ΔAudm) is input. The drive control circuit section 22 reads from the memory the data -.DELTA.Audm of the rate at which the positive acceleration Audm is reduced for the ascending / descending motor M2 rotating and driving at a constant positive acceleration Audm. The drive control circuit section 22 calculates the positive acceleration A at the rate of the data -ΔAudm.
Outputs drive control signal to reduce udm. The motor drive circuit 23 drives the elevation drive motor M2 in response to the drive control signal. Therefore, the rotation speed V of the motor M2
The speed change of udm is controlled based on a positive acceleration Audm decreasing at a rate of -ΔAudm.

【００８５】（４）正の加速度（Ａudm ）をゼロにし搬
送速度Ｖudm を一定に保持する時期を示す動作指令信号
を入力した時。駆動制御回路部２２は、この正の加速度
Ａudm をゼロにして回転速度Ｖudm を一定に保持するた
めの駆動制御信号を出力する。モータ駆動回路２３はこ
の駆動制御信号に応答して昇降用駆動モータＭ２を駆動
する。従って、モータＭ２の回転速度Ｖudm は一定とな
り、その速度変化はゼロになる。つまり、一定の上昇速
度Ｖudでハンド部１３は上動する。(4) When an operation command signal indicating the time when the positive acceleration (Audm) is set to zero and the transport speed Vudm is kept constant is input. The drive control circuit 22 outputs a drive control signal for keeping the rotation speed Vudm constant by setting the positive acceleration Audm to zero. The motor drive circuit 23 drives the elevation drive motor M2 in response to the drive control signal. Therefore, the rotation speed Vudm of the motor M2 becomes constant, and its speed change becomes zero. That is, the hand unit 13 moves upward at a constant rising speed Vud.

【００８６】（５）負の加速度（−Ａudm ）を一定の勾
配（−ΔＡudm ）で負の方向に増加させる時期を示す動
作指令信号を入力した時。駆動制御回路部２２は、前記
メモリから一定の回転速度Ｖudm で回転している昇降用
駆動モータＭ２を負の加速度−Ａudm で駆動させるため
に、その負の加速度−Ａudm を負の方向に増加させる割
合のデータ−ΔＡudm を読み出す。駆動制御回路部２２
はこのデータ−ΔＡudm の割合で負の加速度−Ａudm を
上げるための駆動制御信号を出力する。モータ駆動回路
２３はこの駆動制御信号に応答して昇降用駆動モータＭ
２を駆動する。従って、モータＭ２の回転速度Ｖudm の
速度変化は−ΔＡudm の割合で負の方向に増加する負の
加速度−Ａudm に基づいて制御される。つまり、ハンド
部１３は減速を開始する。(5) When an operation command signal indicating a timing to increase the negative acceleration (-Audm) in the negative direction at a constant gradient (-ΔAudm) is input. The drive control circuit 22 increases the negative acceleration -Audm in the negative direction in order to drive the elevation drive motor M2 rotating at a constant rotation speed Vudm from the memory at a negative acceleration -Audm. Read the ratio data-ΔAudm. Drive control circuit section 22
Outputs a drive control signal for increasing the negative acceleration -Audm at the rate of this data -.DELTA.Audm. The motor drive circuit 23 responds to this drive control signal to
2 is driven. Therefore, the speed change of the rotation speed Vudm of the motor M2 is controlled based on the negative acceleration -Audm increasing in the negative direction at the rate of-[Delta] Audm. That is, the hand unit 13 starts deceleration.

【００８７】（６）負の加速度（−Ａudm ）を負の方向
に増加させる割合（−ΔＡudm ）をゼロにする時期を示
す動作指令信号を入力した時。駆動制御回路部２２は、
この負の方向に増加させる割合−ΔＡudm をゼロにして
一定の負の加速度−Ａudm にするための駆動制御信号を
出力する。モータ駆動回路２３はこの駆動制御信号に応
答して昇降用駆動モータＭ２を駆動する。従って、モー
タＭ２の回転速度Ｖudm の速度変化は一定の負の加速度
−Ａudm に基づいて制御される。(6) When an operation command signal indicating a time when the rate of increasing the negative acceleration (−Audm) in the negative direction (−ΔAudm) is made zero is input. The drive control circuit unit 22 includes:
A drive control signal is output for setting the rate of increase in the negative direction −ΔAudm to zero to obtain a constant negative acceleration −Audm. The motor drive circuit 23 drives the elevation drive motor M2 in response to the drive control signal. Accordingly, the speed change of the rotation speed Vudm of the motor M2 is controlled based on the constant negative acceleration -Audm.

【００８８】（７）負の加速度（−Ａudm ）を一定の勾
配（ΔＡudm ）で減少させる時期を示す動作指令信号を
入力した時。駆動制御回路部２２は、前記メモリから一
定の負の加速度−Ａudm で減速しながら回転駆動してい
る昇降用駆動モータＭ２についてその負の加速度−Ａud
m を減少させる割合のデータΔＡudm を読み出す。駆動
制御回路部２２はこのデータΔＡudm の割合で負の加速
度−Ａudm を減少させるための駆動制御信号を出力す
る。モータ駆動回路２３はこの駆動制御信号に応答して
昇降用駆動モータＭ２を駆動する。従って、モータＭ２
の回転速度Ｖudm の速度変化はΔＡudm の割合で減少す
る負の加速度−Ａudm に基づいて制御される。(7) When an operation command signal indicating a time when the negative acceleration (-Audm) is reduced at a constant gradient (ΔAudm) is input. The drive control circuit unit 22 calculates the negative acceleration −Aud of the lifting drive motor M2 that is rotationally driven while decelerating at a constant negative acceleration −Audm from the memory.
The data ΔAudm of the rate at which m is reduced is read. The drive control circuit unit 22 outputs a drive control signal for reducing the negative acceleration -Audm at the rate of the data ΔAudm. The motor drive circuit 23 drives the elevation drive motor M2 in response to the drive control signal. Therefore, the motor M2
Is controlled based on the negative acceleration -Audm decreasing at the rate of [Delta] Audm.

【００８９】（８）負の加速度（Ａudm ）をゼロにし回
転速度Ｖudm をゼロ、即ちハンド部１３を停止する時期
を示す動作指令信号を入力した時。駆動制御回路部２２
は、回転速度Ｖudm をゼロにする駆動制御信号を出力す
る。モータ駆動回路２３はこの駆動制御信号に応答して
昇降用駆動モータＭ２を停止させる。従って、モータＭ
２の回転速度Ｖudm の速度変化はゼロとなる。つまり、
ハンド部１３は停止位置から搬送先の目標位置まで到達
して停止する。(8) When the negative acceleration (Audm) is set to zero and the rotation speed Vudm is set to zero, that is, when an operation command signal indicating the time to stop the hand unit 13 is input. Drive control circuit section 22
Outputs a drive control signal for setting the rotation speed Vudm to zero. The motor drive circuit 23 stops the lifting drive motor M2 in response to the drive control signal. Therefore, the motor M
The speed change of the rotation speed Vudm of No. 2 becomes zero. That is,
The hand unit 13 reaches the destination position of the transfer destination from the stop position and stops.

【００９０】尚、前記正負の加速度Ａudm 、−Ａudm 及
び増減する割合ΔＡudm 、−ΔＡudm の値とその値で制
御するタイミングは、予め求めたものである。詳述する
と、図２に示す状態で上下動作するとき、半導体ウェハ
Ｗの上下搬送速度Ｖudが、図７に示すスムースな速度変
化で推移し且つ搬送時間が最小となるように、その時々
の昇降用駆動モータＭ２に対する正負の加速度Ａudm 、
−Ａudm 及び増減する割合ΔＡudm 、−ΔＡudm を予め
実験又は理論にて求めている。The values of the positive and negative accelerations Audm, -Audm and the increasing / decreasing ratios ΔAudm, -ΔAudm and the timing of controlling with the values are obtained in advance. More specifically, when the semiconductor wafer W moves up and down in the state shown in FIG. 2, the vertical transfer speed Vud of the semiconductor wafer W changes at a smooth speed change shown in FIG. Positive and negative acceleration Audm with respect to the driving motor M2,
-Audm and the rate of increase / decrease ΔAudm, -ΔAudm are determined in advance by experiment or theory.

【００９１】この時、正負の加速度Ａudm 、−Ａudm 及
び増減する割合ΔＡudm 、−ΔＡudm は、ハンド部１３
の載置部１３ａに載置された半導体ウェハＷが上下動作
中に載置部１３ａに対してはずんでずれない値であって
最も効率のよい値を予め実験又は理論にて求めている。At this time, the positive / negative accelerations Audm, −Audm and the increasing / decreasing rates ΔAudm, −ΔAudm are determined by the hand unit 13.
The most efficient value which does not deviate from the mounting portion 13a during the vertical movement of the semiconductor wafer W mounted on the mounting portion 13a and is the most efficient value is obtained in advance by experiment or theory.

【００９２】次に、上記のように構成した搬送ロボット
１０の特徴を以下に述べる。 （１）本実施形態では、前記伸縮動作において実際のハ
ンド部１３（載置部１３ａに載置した半導体ウェハＷ）
の伸縮搬送速度Ｖstを２次的に正負の加速度Ａst、−Ａ
stを２次的（ΔＡst、−ΔＡst）に変化させて加減速し
た。詳述すると、第１アーム１２ａの回動速度の直線運
動方向成分と第２アーム１２ｂの回動速度の直線運動方
向成分の合成となる伸縮搬送速度Ｖstについて、その伸
縮搬送速度Ｖstが目的の速度変化をするように第１及び
第２の回動用駆動モータＭ１，Ｍ３の加速度Ａstm ，−
Ａstm ，２Ａstm ，−２Ａstm 及びその増減の割合ΔＡ
stm ，−ΔＡstm ，２ΔＡstm ，−２ΔＡstm を求め
る。そして、この加速度Ａstm ，−Ａstm ，２Ａstm ，
−２Ａstm 及びの増減の割合ΔＡstm ，−ΔＡstm ，２
ΔＡstm ，−２ΔＡstm に基づいて各モータＭ１，Ｍ３
を駆動制御した。従って、ハンド部１３の伸縮動作は緩
やかに制御されてスムースな直線運動となる。Next, the features of the transfer robot 10 configured as described above will be described below. (1) In the present embodiment, the actual hand unit 13 (the semiconductor wafer W mounted on the mounting unit 13a) in the expansion and contraction operation.
The expansion / contraction transport speed Vst is quadratic positive / negative acceleration Ast, -A
The speed was accelerated / decelerated by changing st to a secondary (ΔAst, −ΔAst). More specifically, with respect to the telescopic transport speed Vst, which is a combination of the linear motion direction component of the rotational speed of the first arm 12a and the linear motion direction component of the rotational speed of the second arm 12b, the telescopic transport speed Vst is the target speed. The acceleration Astm of the first and second rotation drive motors M1 and M3 so as to change.
Astm, 2Astm, -2Astm and the rate of change ΔA
stm, −ΔAstm, 2ΔAstm, −2ΔAstm. Then, the accelerations Astm, -Astm, 2Astm,
−2 Astm and the rate of change ΔAstm, −ΔAstm, 2
Motors M1 and M3 based on ΔAstm and −2ΔAstm.
Was controlled. Therefore, the expansion and contraction operation of the hand unit 13 is controlled gently, and becomes a smooth linear motion.

【００９３】しかも、正負の加速度Ａst、−Ａst及び増
減する割合ΔＡst、−ΔＡstは、ハンド部１３の載置部
１３ａに載置された半導体ウェハＷが載置部１３ａに対
して加減速に基づく慣性力にてずれない値に設定した。Further, the positive and negative accelerations Ast and -Ast and the increasing / decreasing rates ΔAst and −ΔAst are based on the acceleration / deceleration of the semiconductor wafer W mounted on the mounting portion 13a of the hand portion 13 with respect to the mounting portion 13a. The value was set so as not to shift due to the inertial force.

【００９４】従って、搬送時間が最小で伸縮搬送処理能
力が高く、しかも、ずれないことにより搬送精度が高く
パーティクルの発生がない。 （２）本実施形態では、ハンド部１３を旋回動作させる
時、停止位置から目標位置までの旋回移動する際の搬送
速度を、２次的に正負の加速度Ａrtm 、−Ａrtm を２次
的（ΔＡrtm 、−ΔＡrtm ）に変化させて加減速したの
で、ハンド部１３の旋回動作は緩やかに制御されてスム
ースな旋回となる。しかも、正負の加速度Ａrtm 、−Ａ
rtm 及びその増減する割合ΔＡrtm 、Δ−Ａrtm は、ハ
ンド部１３の載置部１３ａに載置された半導体ウェハＷ
が載置部１３ａに対して遠心力でずれない値に設定し
た。従って、搬送時間が最小で旋回搬送処理能力が高
く、しかも、ずれないことにより搬送精度が高くパーテ
ィクルの発生がない。Therefore, the transfer time is short and the expansion / contraction transfer processing ability is high, and since there is no shift, the transfer accuracy is high and no particles are generated. (2) In the present embodiment, when the hand unit 13 is turned, the transport speed at the time of turning from the stop position to the target position is quadratic, and the positive and negative accelerations Artm and -Artm are quadratic (ΔArtm). , -ΔArtm), and the acceleration / deceleration is controlled, so that the turning operation of the hand unit 13 is controlled gently to achieve a smooth turning. Moreover, the positive and negative accelerations Artm, -A
rtm and the rate of increase / decrease ΔArtm, Δ-Artm are determined by the semiconductor wafer W mounted on the mounting portion 13a of the hand portion 13.
Is set to a value that does not shift with respect to the mounting portion 13a due to centrifugal force. Accordingly, the transfer time is short and the swivel transfer processing capacity is high. In addition, since there is no shift, the transfer accuracy is high and no particles are generated.

【００９５】（３）本実施形態では、ハンド部１３を上
下動作させる時、停止位置から目標位置までの昇降移動
する際の昇降速度を、２次的に正負の加速度Ａudm 、−
Ａudm を２次的（ΔＡudm 、−ΔＡudm ）に変化させて
加減速したので、ハンド部１３の上下動作は緩やかに制
御されてスムースな上下動となる。しかも、正負の加速
度Ａudm 、−Ａudm 及びその増減する割合ΔＡudm 、−
ΔＡudm は、ハンド部１３の載置部１３ａに載置された
半導体ウェハＷが載置部１３ａに対して加減速に基づく
慣性力にてはずんでずれない値に設定した。従って、搬
送時間が最小で昇降搬送処理能力が高く、しかも、はず
んでずれないことにより搬送精度が高くパーティクルの
発生がない。(3) In the present embodiment, when the hand unit 13 is moved up and down, the ascending and descending speed at the time of ascending and descending movement from the stop position to the target position is secondarily set to positive and negative accelerations Audm,-.
Since the acceleration / deceleration is changed by changing Audm to a secondary value (ΔAudm, −ΔAudm), the up / down operation of the hand unit 13 is controlled gently to achieve a smooth up / down movement. Moreover, the positive and negative accelerations Audm, -Audm and the rate of increase / decrease ΔAudm,-
ΔAudm is set to a value at which the semiconductor wafer W mounted on the mounting portion 13a of the hand portion 13 does not deviate from the mounting portion 13a due to inertial force based on acceleration / deceleration. Therefore, the transport time is short and the up-and-down transport processing capability is high. In addition, since there is no deviation, the transport accuracy is high and no particles are generated.

【００９６】尚、本発明の実施の形態は上記実施形態に
限定されるものではなく以下のように実施してもよい。 ○上記実施形態では、半導体ウェハＷを搬送する搬送ロ
ボット１０に具体化したが、それ以外の例えば半導体チ
ップ等の被搬送物を搬送する搬送ロボットに応用しても
よい。The embodiment of the present invention is not limited to the above embodiment, but may be implemented as follows. In the above embodiment, the transfer robot 10 transfers the semiconductor wafer W, but may be applied to a transfer robot that transfers an object to be transferred such as a semiconductor chip.

【００９７】○上記実施形態では、２関節型の搬送ロボ
ット１０に具体化したが、例えは、３関節以上の多関節
型、フロッグレッグ型、リンク型等のロボットに応用し
てもよい。In the above embodiment, the present invention is embodied as a two-joint type transfer robot 10. However, for example, the present invention may be applied to a multi-joint type robot having three or more joints, a frog leg type, a link type, or the like.

【００９８】[0098]

【発明の効果】請求項１〜６に記載の発明によれば、被
搬送物を搬送途中においてずれることなく目的位置まで
搬送でき、しかも、搬送処理量の効率アップを図ること
ができる。According to the first to sixth aspects of the present invention, it is possible to convey a conveyed object to a target position without shifting during conveyance, and to improve the efficiency of the conveyance processing amount.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】多関節型の搬送ロボットの要部平面図。FIG. 1 is a plan view of a main part of an articulated transfer robot.

【図２】多関節型の搬送ロボットの要部正面図。FIG. 2 is a front view of a main part of the articulated transfer robot.

【図３】各駆動モータを駆動制御するための電気ブロッ
ク回路図。FIG. 3 is an electric block circuit diagram for controlling driving of each drive motor.

【図４】アーム部とハンド部の動きを説明するための説
明図。FIG. 4 is an explanatory diagram for explaining movements of an arm unit and a hand unit.

【図５】旋回動作を説明するための旋回搬送速度の変化
を示す図。FIG. 5 is a diagram showing a change in turning conveyance speed for explaining a turning operation.

【図６】伸縮動作を説明するための伸縮搬送速度の変化
を示す図。FIG. 6 is a diagram showing a change in a telescopic conveyance speed for explaining a telescopic operation.

【図７】上下動作を説明するための上下搬送速度の変化
を示す図。FIG. 7 is a diagram showing a change in vertical transport speed for explaining vertical operation.

【図８】ハンド部の搬送速度を１次的に加減速させた場
合の変化を示す図。FIG. 8 is a diagram showing a change when the transfer speed of the hand unit is primarily accelerated / decelerated.

【図９】ハンド部の搬送速度を２次的に加減速させた場
合の変化を示す図。FIG. 9 is a diagram showing a change when the transport speed of the hand unit is secondarily accelerated / decelerated.

【図１０】従来技術を説明するための多関節型の搬送ロ
ボットの要部平面図。FIG. 10 is a plan view of a main part of an articulated transfer robot for explaining a conventional technique.

【図１１】従来の多関節型搬送ロボットにおけるハンド
部の伸縮搬送速度の変化を示す図。FIG. 11 is a diagram showing a change in a telescopic transfer speed of a hand unit in a conventional articulated transfer robot.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１０ 搬送ロボット １２ アーム部 １２ａ 第１アーム １２ｂ 第２アーム １３ ハンド部 １３ａ 載置部 １４ 第１駆動軸 １５ 第２駆動軸 １６ 従動軸 ２１ シーケンス制御回路部 ２２ モータ駆動制御回路部 ２３ モータ駆動回路 Ｍ１ アクチュエータとしての第１の回動用駆動モータ Ｍ２ 昇降用駆動モータ Ｍ３ アクチュエータとしての第２の回動用駆動モータ Ｖrt 旋回搬送速度 Ｖst 伸縮搬送速度 Ｖud 上下搬送速度 Ｗ 被搬送物としての半導体ウェハ Reference Signs List 10 transfer robot 12 arm unit 12a first arm 12b second arm 13 hand unit 13a mounting unit 14 first drive shaft 15 second drive shaft 16 driven shaft 21 sequence control circuit unit 22 motor drive control circuit unit 23 motor drive circuit M1 First rotating drive motor as an actuator M2 Elevating driving motor M3 Second rotating drive motor as an actuator Vrt Swing transport speed Vst Telescopic transport speed Vud Vertical transport speed W Semiconductor wafer as transported object

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 複数アームを介してハンド部が連結さ
れ、その各アームをそれぞれのアクチュエータにて所定
の動作を行わせることによってハンド部を旋回動作させ
て被搬送物を目標位置まで旋回搬送する搬送ロボットの
搬送速度制御方法において、 前記旋回搬送の際に前記ハンド部に対して前記被搬送物
が遠心力によりずれない範囲で、かつ、目標位置までの
搬送時間が最小となるように、その被搬送物の実際の旋
回位置における旋回搬送速度及びその速度変化量を予め
設定しその設定した設定制御量に基づいて前記アクチュ
エータを駆動制御した搬送ロボットの搬送速度制御方
法。A hand unit is connected via a plurality of arms, and each arm performs a predetermined operation by a respective actuator, thereby turning the hand unit to swivel and convey an object to be transported to a target position. In the transfer speed control method of the transfer robot, in the range in which the transferred object is not displaced by the centrifugal force with respect to the hand unit during the turning transfer, and the transfer time to the target position is minimized. A transfer speed control method for a transfer robot in which a turning transfer speed and an amount of change in the turning speed of an object to be transferred at an actual turning position are set in advance and the actuator is drive-controlled based on the set control amount. 【請求項２】 複数アームを介してハンド部が連結さ
れ、その各アームをそれぞれのアクチュエータにて所定
の動作を行わせることによってハンド部を伸縮動作させ
て被搬送物を目標位置まで伸縮搬送する搬送ロボットの
搬送速度制御方法において、 前記伸縮搬送の際に前記ハンド部に対して前記被搬送物
が慣性力によりずれない範囲で、かつ、目標位置までの
搬送時間が最小となるように、その被搬送物の実際の伸
縮搬送速度及びその速度変化量を予め設定し、その設定
した設定制御量にて前記アクチュエータを駆動制御した
搬送ロボットの搬送速度制御方法。2. A hand unit is connected via a plurality of arms, and each arm is caused to perform a predetermined operation by a respective actuator, thereby causing the hand unit to expand and contract to convey an object to be expanded and contracted to a target position. In the transfer speed control method of the transfer robot, in the range in which the transferred object is not shifted by the inertial force with respect to the hand unit during the telescopic transfer, and so that the transfer time to the target position is minimized. A transfer speed control method for a transfer robot in which an actual telescopic transfer speed of an object to be transferred and a speed change amount thereof are set in advance, and the actuator is driven and controlled by the set control amount. 【請求項３】 複数アームを介してハンド部が連結さ
れ、各アームをそれぞれのアクチュエータにて所定の動
作を行わせることによってハンド部を旋回動作させて被
搬送物を目標位置まで旋回搬送する旋回動作モードと、
各アームをそれぞれのアクチュエータにて所定の動作を
行わせることによってハンド部を伸縮動作させて被搬送
物を目標位置まで伸縮搬送する伸縮動作モードとを備え
た搬送ロボットの搬送速度制御方法において、 前記旋回動作モード時には、 その旋回搬送の際に前記ハンド部に対して前記被搬送物
が遠心力によりずれない範囲で、かつ、目標位置までの
搬送時間が最小となるように、その被搬送物の実際の旋
回位置における旋回搬送速度及びその速度変化量を予め
設定しその設定した設定制御量に基づいて前記アクチュ
エータを駆動制御し、 前記伸縮動作モード時には、 その伸縮搬送の際に前記ハンド部に対して前記被搬送物
が慣性力によりずれない範囲で、かつ、目標位置までの
搬送時間が最小となるように、その被搬送物の実際の伸
縮搬送速度及びその速度変化量を予め設定し、その設定
した設定制御量にて前記アクチュエータを駆動制御した
搬送ロボットの搬送速度制御方法。3. A swivel in which a hand unit is connected via a plurality of arms, and each arm performs a predetermined operation by a respective actuator, thereby turning the hand unit to swivel and convey an object to a target position. Operating mode,
A transfer speed control method for a transfer robot comprising: a telescopic operation mode in which each arm performs a predetermined operation by a respective actuator to expand and contract the hand unit to expand and contract the object to be conveyed to a target position. In the turning operation mode, the object to be conveyed is moved so that the object to be conveyed to the hand unit does not deviate due to centrifugal force during the turning conveyance and the conveyance time to the target position is minimized. A swivel conveyance speed and an amount of speed change at an actual swivel position are set in advance, and the actuator is driven and controlled based on the set control amount. The actual extension of the transferred object is set so that the transferred object is not displaced by the inertial force and the transfer time to the target position is minimized. A method of controlling a transfer speed of a transfer robot in which a reduced transfer speed and an amount of change in the speed are set in advance, and the actuator is drive-controlled by the set control amount. 【請求項４】 複数アームを介してハンド部が連結さ
れ、その各アームをそれぞれのアクチュエータにて所定
の動作を行わせることによってハンド部を旋回動作させ
て被搬送物を目標位置まで旋回搬送する搬送ロボットの
搬送速度制御装置において、 前記アクチュエータを駆動する駆動回路と、 前記旋回搬送の際に、前記ハンド部に対して前記被搬送
物が遠心力によりずれない範囲で、かつ、目標位置まで
の搬送時間が最小となるように、その時々の被搬送物の
旋回位置における旋回搬送速度の速度変化時期を指令す
るシーケンス制御回路部と、 前記シーケンス制御回路部からの指令に基づいて予め設
定された被搬送物が遠心力によりずれない範囲で、か
つ、目標位置までの搬送時間を最小するための旋回加速
度のデータを読み出し、該加速度となるように前記駆動
回路を介して前記アクチュエータを駆動制御する駆動制
御回路部とを備えた搬送ロボットの搬送速度制御方法。4. A hand unit is connected via a plurality of arms, and each arm is caused to perform a predetermined operation by a respective actuator, thereby turning the hand unit to swivel and convey an object to be transported to a target position. In the transfer speed control device of the transfer robot, a drive circuit that drives the actuator, and in the case of the turning transfer, within a range in which the transferred object is not displaced by the centrifugal force with respect to the hand unit, and to a target position. A sequence control circuit unit for instructing the speed change timing of the turning conveyance speed at the turning position of the object to be conveyed at each time so that the conveyance time is minimized, and the sequence control circuit unit is preset based on a command from the sequence control circuit unit. Read the data of the turning acceleration to minimize the transfer time to the target position within the range where the transferred object does not shift due to centrifugal force, and A drive control circuit for controlling the drive of the actuator via the drive circuit so that the transfer speed is controlled. 【請求項５】 複数アームを介してハンド部が連結さ
れ、その各アームをそれぞれのアクチュエータにて所定
の動作を行わせることによってハンド部を伸縮動作させ
て被搬送物を目標位置まで伸縮搬送する搬送ロボットの
搬送速度制御装置において、 前記アクチュエータを駆動する駆動回路と、 前記伸縮搬送の際に、前記ハンド部に対して前記被搬送
物が慣性力によりずれない範囲で、かつ、目標位置まで
の搬送時間が最小となるように、その時々の被搬送物の
伸縮搬送速度の速度変化時期を指令するシーケンス制御
回路部と、 前記シーケンス制御回路部からの指令に基づいて予め設
定された被搬送物が慣性力によりずれない範囲で、か
つ、目標位置までの搬送時間を最小するための伸縮加速
度のデータを読み出し、該加速度となるように前記駆動
回路を介して前記アクチュエータを駆動制御する駆動制
御回路部とを備えた搬送ロボットの搬送速度制御装置。5. A hand unit is connected via a plurality of arms, and each arm is caused to perform a predetermined operation by a respective actuator, thereby causing the hand unit to expand and contract to convey an object to be conveyed to a target position. In the transfer speed control device of the transfer robot, a drive circuit that drives the actuator, and in the case of the telescopic transfer, in a range where the transferred object does not shift with respect to the hand unit due to inertial force, and to a target position. A sequence control circuit unit for instructing the speed change timing of the telescopic transfer speed of the object to be conveyed at each time so that the conveyance time is minimized, and a conveyed object set in advance based on a command from the sequence control circuit unit Is within the range that does not deviate due to the inertial force, and reads the data of the expansion and contraction acceleration for minimizing the transport time to the target position. And a drive control circuit for driving and controlling the actuator via the drive circuit. 【請求項６】 複数アームを介してハンド部が連結さ
れ、各アームをそれぞれのアクチュエータにて所定の動
作を行わせることによってハンド部を旋回動作させて被
搬送物を目標位置まで旋回搬送する旋回動作モードと、
各アームをそれぞれのアクチュエータにて所定の動作を
行わせることによってハンド部を伸縮動作させて被搬送
物を目標位置まで伸縮搬送する伸縮動作モードとを備え
た搬送ロボットの搬送速度装置において、 前記アクチュエータを駆動する駆動回路と、 前記旋回搬送又は伸縮搬送の際に、前記ハンド部に対し
て前記被搬送物がずれない範囲で、かつ、目標位置まで
の搬送時間が最小となるように、その時々の被搬送物の
旋回搬送速度又は伸縮搬送速度の速度変化時期を指令す
るシーケンス制御回路部と、 前記シーケンス制御回路部からの指令に基づいて予め設
定された被搬送物がずれない範囲で、かつ、目標位置ま
での搬送時間を最小するための旋回加速度又は伸縮加速
度のデータを読み出し、該加速度となるように前記駆動
回路を介して前記アクチュエータを駆動制御する駆動制
御回路部とを備えた搬送ロボットの搬送速度制御装置。6. A swivel in which a hand unit is connected via a plurality of arms, and each arm performs a predetermined operation by a respective actuator, thereby turning the hand unit to swivel and convey an object to a target position. Operating mode,
A transfer speed device for a transfer robot, comprising: a telescopic operation mode in which each arm performs a predetermined operation by a respective actuator to expand and contract the hand portion to extend and convey an object to be conveyed to a target position. And a driving circuit for driving, during the turning conveyance or the telescopic conveyance, in a range where the transferred object does not shift with respect to the hand unit, and so that the conveyance time to the target position is minimized. A sequence control circuit unit that instructs the speed change timing of the turning transport speed or the telescopic transport speed of the transported object, and a range in which the transported object preset based on the instruction from the sequence control circuit unit does not shift, and Read the data of the turning acceleration or the expansion / contraction acceleration for minimizing the transport time to the target position, and read the data via the drive circuit so as to obtain the acceleration. Conveying speed control of the conveyance robot and a drive control circuit for driving and controlling the actuator.