JPH11120642A - Optical element for magneto-optical recording and recording and/or reproducing device - Google Patents
Optical element for magneto-optical recording and recording and/or reproducing deviceInfo
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- JPH11120642A JPH11120642A JP9285451A JP28545197A JPH11120642A JP H11120642 A JPH11120642 A JP H11120642A JP 9285451 A JP9285451 A JP 9285451A JP 28545197 A JP28545197 A JP 28545197A JP H11120642 A JPH11120642 A JP H11120642A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、光磁気ディスク等
の光学記録媒体に対して情報信号の記録又は再生を行う
記録及び／又は再生装置に用いられる光学素子並びにこ
の光学素子を用いた記録及び／又は再生装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical element used in a recording and / or reproducing apparatus for recording or reproducing an information signal on or from an optical recording medium such as a magneto-optical disk, and a recording and / or reproducing apparatus using this optical element. And / or a playback device.
【０００２】[0002]
【従来の技術】磁界変調方式により、記録媒体である光
磁気ディスクに対して情報信号の記録、再生を行う光デ
ィスク装置として、光磁気ディスクの光磁気記録層側に
光学系を配して高ＮＡ化を図ることにより高密度記録を
実現し、光学系と磁気コイルとを一体化することにより
装置の薄型化を実現した光ディスク装置が提案されてい
る。2. Description of the Related Art As an optical disk device for recording and reproducing information signals on a magneto-optical disk as a recording medium by a magnetic field modulation method, an optical system is arranged on the magneto-optical recording layer side of the magneto-optical disk to increase the NA. There has been proposed an optical disk device that achieves high-density recording by achieving higher integration and realizes a thinner device by integrating an optical system and a magnetic coil.
【０００３】この光ディスク装置は、対物レンズとし
て、図９に示すような２つのレンズを有する光学素子１
００を用いている。This optical disc apparatus has an optical element 1 having two lenses as an objective lens as shown in FIG.
00 is used.
【０００４】この光学素子１００は、２つのレンズのう
ち光磁気ディスク１０１側のレンズ（以下、この光磁気
ディスク１０１側のレンズを先玉レンズ１０２、他方の
レンズを後玉レンズ１０３という。）が半球レンズから
なり、先玉レンズ１０２の円形平面１０２ａ上に磁界変
調用の薄膜コイル１０４が形成されている。The optical element 100 has a lens on the magneto-optical disk 101 side (hereinafter, the lens on the magneto-optical disk 101 side is referred to as a front lens 102 and the other lens as a rear lens 103). A thin-film coil 104 for modulating a magnetic field is formed on a circular flat surface 102a of the front lens 102 with a hemispherical lens.
【０００５】そして、この光学素子１００は、光源から
出射され光学素子１００に入射した光が、後玉レンズ１
０３及び先玉レンズ１０２により収束され、薄膜コイル
１０４の中心孔１０４ａを通過して光磁気ディスク１０
１の光磁気記録層に照射されるようになされている。[0005] Then, the light emitted from the light source and incident on the optical element 100 is applied to the rear lens 1.
03 and converged by the front lens 102, pass through the center hole 104 a of the thin film coil 104,
Irradiation is performed on one magneto-optical recording layer.
【０００６】また、この光学素子１００は、薄膜コイル
１０４が所定の装置から供給される記録信号に対応する
磁界を発生して、光磁気ディスク１０１の光磁気記録層
の光が照射される位置にこの磁界を印加するようになさ
れている。In the optical element 100, the thin-film coil 104 generates a magnetic field corresponding to a recording signal supplied from a predetermined device, and the optical element 100 is moved to a position where light of the magneto-optical recording layer of the magneto-optical disk 101 is irradiated. This magnetic field is applied.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した従
来の光ディスク装置に用いられる光学素子１００は、先
玉レンズ１０２が、熱伝導率が０．５５〜０．７５Ｗ／
ｍ・Ｋ程度と低いガラス部材により形成されていた。そ
して、光学素子１００は、このガラス部材よりなる先玉
レンズ１０２の円形平面１０２ａ上に、薄膜コイル１０
４が直接形成されていた。By the way, in the optical element 100 used in the above-mentioned conventional optical disk device, the front lens 102 has a thermal conductivity of 0.55 to 0.75 W /.
It was formed of a glass member as low as about m · K. The optical element 100 is provided on the circular flat surface 102a of the front lens 102 made of the glass member.
4 was formed directly.
【０００８】したがって、この光学素子１００において
は、薄膜コイル１０４は、いわば断熱的な状態にあり、
薄膜コイル１０４に発生した熱が、先玉レンズ１０２に
伝わらずに薄膜コイル１０４自体に蓄積されてしまう場
合があった。Therefore, in the optical element 100, the thin-film coil 104 is in a so-called adiabatic state.
In some cases, heat generated in the thin film coil 104 is accumulated in the thin film coil 104 without being transmitted to the front lens 102.
【０００９】先玉レンズ１０２を石英ガラスを用いて形
成した場合であっても、石英ガラスの熱伝導率は１．０
〜２．０Ｗ／ｍ・Ｋ程度であるので、薄膜コイルに発生
した熱を逃がすのに十分ではない。Even when the front lens 102 is formed of quartz glass, the thermal conductivity of the quartz glass is 1.0.
Since it is about 2.0 W / m · K, it is not enough to release the heat generated in the thin film coil.
【００１０】このように、薄膜コイル１０４が断熱的な
状態にあり、薄膜コイル１０４に発生した熱が薄膜コイ
ル１０４自体に蓄積されると、特に、高い変調周波数時
において、薄膜コイル１０４からの磁界発生の効率が低
下してしまい、さらには薄膜コイル１０４自体が焼損し
てしまうという問題が生じる。As described above, when the thin-film coil 104 is in an adiabatic state and the heat generated in the thin-film coil 104 is accumulated in the thin-film coil 104 itself, especially when the modulation frequency is high, the magnetic field from the thin-film coil 104 is increased. There is a problem that the generation efficiency is reduced and the thin-film coil 104 itself is burned.
【００１１】そこで、本発明は、薄膜コイルに発生した
熱を有効に逃がすことによって、磁界発生の低効率化を
抑制するとともに、薄膜コイルの焼損を防止するように
した光磁気記録用光学素子並びにこの光学素子を用いた
記録及び／又は再生装置を提供することを目的とする。Accordingly, the present invention provides an optical element for magneto-optical recording, wherein heat generated in a thin-film coil is effectively dissipated, thereby suppressing reduction in the efficiency of magnetic field generation and preventing burning of the thin-film coil. It is an object of the present invention to provide a recording and / or reproducing apparatus using the optical element.
【００１２】[0012]
【課題を解決するための手段】本発明にかかる光磁気記
録用光学素子は、光学記録媒体の光磁気記録層に照射さ
れる光を収束する対物レンズと、この対物レンズよりも
熱伝導率の高い部材により形成され、対物レンズの光学
記録媒体側に設けられたコイル支持基板と、このコイル
支持基板の光学記録媒体と対向する面に形成された薄膜
コイルとを備えている。According to the present invention, there is provided an optical element for magneto-optical recording, comprising: an objective lens for converging light emitted to a magneto-optical recording layer of an optical recording medium; A coil support substrate formed of a high member and provided on the optical recording medium side of the objective lens, and a thin film coil formed on a surface of the coil support substrate facing the optical recording medium.
【００１３】この光学素子は、対物レンズが、光学記録
媒体の光磁気記録層に照射される光を収束して光磁気記
録層に照射させる。In this optical element, the objective lens converges light applied to the magneto-optical recording layer of the optical recording medium and irradiates the light to the magneto-optical recording layer.
【００１４】また、この光学素子は、記録時において
は、薄膜コイルが、所定の強度の磁界を光磁気記録層の
光が照射された箇所に印加する。このとき、薄膜コイル
に発生した熱は、コイル支持基板に伝わり、このコイル
支持基板に吸収される。In this optical element, at the time of recording, the thin-film coil applies a magnetic field of a predetermined intensity to a portion of the magneto-optical recording layer irradiated with light. At this time, the heat generated in the thin film coil is transmitted to the coil support substrate and is absorbed by the coil support substrate.
【００１５】また、本発明に係る光磁気記録用光学素子
は、光学記録媒体の光磁気記録層に照射される光の光路
上に配された複数のレンズを備え、この複数のレンズの
うち、光学記録媒体側に配されたレンズは、他のレンズ
よりも熱伝導率の高い部材で形成されているとともに、
この光学記録媒体側に配されたレンズの光学記録媒体と
対向する面には、薄膜コイルが形成されている。Further, the optical element for magneto-optical recording according to the present invention includes a plurality of lenses arranged on an optical path of light applied to the magneto-optical recording layer of the optical recording medium. The lens arranged on the optical recording medium side is formed of a member having a higher thermal conductivity than other lenses,
A thin-film coil is formed on a surface of the lens arranged on the optical recording medium side facing the optical recording medium.
【００１６】この光学素子は、複数のレンズが光学記録
媒体の光磁気記録層に照射される光を収束して光磁気記
録層に照射させる。In this optical element, a plurality of lenses converge the light applied to the magneto-optical recording layer of the optical recording medium to irradiate the magneto-optical recording layer.
【００１７】また、この光学素子は、記録時において
は、薄膜コイルが、所定の強度の磁界を光磁気記録層の
光が照射された箇所に印加する。このとき、薄膜コイル
に発生した熱は、複数のレンズのうち光学記録媒体側に
配されたレンズに伝わり、このレンズに吸収される。In this optical element, at the time of recording, the thin-film coil applies a magnetic field of a predetermined intensity to the light-irradiated portion of the magneto-optical recording layer. At this time, the heat generated in the thin-film coil is transmitted to the lens disposed on the optical recording medium side among the plurality of lenses, and is absorbed by this lens.
【００１８】また、本発明に係る記録及び／又は再生装
置は、光磁気記録層を有する光学記録媒体を回転駆動さ
せる回転駆動手段と、光学記録媒体の光磁気記録層に向
けて光を出射する光源と、この光源から出射される光の
光路上に配された光学素子と、光学記録媒体の光磁気記
録層で反射された戻り光を受光する受光手段と、この受
光手段により受光された戻り光に基づいて所定の信号を
生成する信号処理回路とを備えている。Further, the recording and / or reproducing apparatus according to the present invention provides a rotation driving means for driving an optical recording medium having a magneto-optical recording layer to rotate, and emits light toward the magneto-optical recording layer of the optical recording medium. A light source, an optical element disposed on an optical path of light emitted from the light source, light receiving means for receiving return light reflected on the magneto-optical recording layer of the optical recording medium, and return light received by the light receiving means A signal processing circuit for generating a predetermined signal based on light.
【００１９】そして、この記録及び／又は再生装置は、
光学素子が、光源から出射された光を収束する対物レン
ズと、この対物レンズよりも熱伝導率の高い部材により
形成され対物レンズの光学記録媒体側に設けられたコイ
ル支持基板と、このコイル支持基板の光学記録媒体と対
向する面に形成された薄膜コイルとを備えることを特徴
としている。This recording and / or reproducing apparatus is
An optical element comprising: an objective lens for converging light emitted from the light source; a coil support substrate formed on the optical recording medium side of the objective lens formed of a member having higher thermal conductivity than the objective lens; A thin film coil formed on a surface of the substrate facing the optical recording medium.
【００２０】この記録及び／又は再生装置によれば、記
録時においては、光源から出射された光が光学素子の対
物レンズにより収束され、回転駆動手段により回転駆動
される光学記録媒体の光磁気記録層に照射される。そし
て、光学素子の薄膜コイルが、所定の強度の磁界を光学
記録媒体の光磁気記録層の光が照射された箇所に印加す
ることにより、所定の情報信号が光学記録媒体に記録さ
れる。According to this recording and / or reproducing apparatus, at the time of recording, the light emitted from the light source is converged by the objective lens of the optical element, and the magneto-optical recording of the optical recording medium is rotated and driven by the rotation driving means. The layer is irradiated. Then, a predetermined information signal is recorded on the optical recording medium by applying a magnetic field of a predetermined intensity to the light-irradiated portion of the magneto-optical recording layer of the optical recording medium by the thin-film coil of the optical element.
【００２１】このとき、薄膜コイルに発生した熱は、コ
イル支持基板に伝わり、このコイル支持基板に吸収され
る。At this time, the heat generated in the thin film coil is transmitted to the coil supporting substrate and is absorbed by the coil supporting substrate.
【００２２】また、この記録及び／又は再生装置によれ
ば、再生時においては、光源から出射された光が光学素
子の対物レンズにより収束され、回転駆動手段により回
転駆動される光学記録媒体の光磁気記録層に照射され
る。そして、光学記録媒体の光磁気記録層で反射された
戻り光が受光手段により受光され、信号処理回路に供給
されて所定の信号が生成される。According to the recording and / or reproducing apparatus, at the time of reproduction, the light emitted from the light source is converged by the objective lens of the optical element, and the light of the optical recording medium rotated and driven by the rotation driving means. Irradiates the magnetic recording layer. Then, the return light reflected by the magneto-optical recording layer of the optical recording medium is received by the light receiving means and supplied to a signal processing circuit to generate a predetermined signal.
【００２３】また、本発明に係る記録及び／又は再生装
置は、光磁気記録層を有する光学記録媒体を回転駆動さ
せる回転駆動手段と、光学記録媒体の光磁気記録層に向
けて光を出射する光源と、この光源から出射される光の
光路上に配された光学素子と、光学記録媒体の光磁気記
録層で反射された戻り光を受光する受光手段と、この受
光手段により受光された戻り光に基づいて所定の信号を
生成する信号処理回路とを備えている。Further, the recording and / or reproducing apparatus according to the present invention provides a rotation driving means for driving an optical recording medium having a magneto-optical recording layer to rotate, and emits light toward the magneto-optical recording layer of the optical recording medium. A light source, an optical element disposed on an optical path of light emitted from the light source, light receiving means for receiving return light reflected on the magneto-optical recording layer of the optical recording medium, and return light received by the light receiving means A signal processing circuit for generating a predetermined signal based on light.
【００２４】そして、この記録及び／又は再生装置は、
光学素子が、光源から出射される光の光路上に配された
複数のレンズを備え、これら複数のレンズのうち、光学
記録媒体側に配されたレンズは、他のレンズよりも熱伝
導率の高い部材で形成されているとともに、この光学記
録媒体側に配されたレンズの光学記録媒体と対向する面
には、薄膜コイルが形成されていることを特徴としてい
る。And, the recording and / or reproducing apparatus comprises:
The optical element includes a plurality of lenses arranged on an optical path of light emitted from the light source, and among the plurality of lenses, a lens arranged on the optical recording medium side has a higher thermal conductivity than other lenses. The thin film coil is formed on a surface of the lens arranged on the optical recording medium side facing the optical recording medium, which is formed of a high member.
【００２５】この記録及び／又は再生装置によれば、記
録時においては、光源から出射された光が光学素子の複
数のレンズにより収束され、回転駆動手段により回転駆
動される光学記録媒体の光磁気記録層に照射される。そ
して、光学素子の薄膜コイルが、所定の強度の磁界を記
録媒体の光磁気記録層の光が照射された箇所に印加する
ことにより、所定の情報信号が記録媒体に記録される。According to this recording and / or reproducing apparatus, at the time of recording, the light emitted from the light source is converged by the plurality of lenses of the optical element, and the magneto-optical of the optical recording medium which is rotationally driven by the rotational driving means. The recording layer is irradiated. Then, a predetermined information signal is recorded on the recording medium by applying a magnetic field of a predetermined intensity to the light-irradiated portion of the magneto-optical recording layer of the recording medium by the thin film coil of the optical element.
【００２６】このとき、薄膜コイルに発生した熱は、複
数のレンズのうち光学記録媒体側に配されたレンズに伝
わり、このレンズに吸収される。At this time, the heat generated in the thin-film coil is transmitted to the lens disposed on the optical recording medium side among the plurality of lenses, and is absorbed by this lens.
【００２７】また、この記録及び／又は再生装置によれ
ば、再生時においては、光源から出射された光が光学素
子の複数のレンズにより収束され、回転駆動手段により
回転駆動される光学記録媒体の光磁気記録層に照射され
る。そして、光学記録媒体の光磁気記録層で反射された
戻り光が受光手段により受光され、信号処理回路に供給
されて所定の信号が生成される。According to the recording and / or reproducing apparatus, at the time of reproduction, the light emitted from the light source is converged by the plurality of lenses of the optical element, and the optical recording medium is rotated and driven by the rotation driving means. Irradiates the magneto-optical recording layer. Then, the return light reflected by the magneto-optical recording layer of the optical recording medium is received by the light receiving means and supplied to a signal processing circuit to generate a predetermined signal.
【００２８】[0028]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図面を参照しながら説明する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【００２９】本発明に係る記録及び／又は再生装置（以
下、光ディスク装置１という）は、図１に示すように、
光磁気ディスク２を回転駆動させるスピンドルモータ３
と、このスピンドルモータ３により回転駆動される光磁
気ディスク２に対して所定の信号を記録するとともにこ
の光磁気ディスク２に記録された信号を読み取ってＭＯ
再生信号及び制御信号を生成するための受光信号を出力
するヘッド４と、ヘッド４から出力された受光信号を入
力して制御信号を生成する制御信号生成部５と、制御信
号生成部５から供給される制御信号に基づいてヘッド４
を光磁気ディスク２の径方向又は光磁気ディスク２に接
離する方向に移動させる駆動用アクチュエータ６とを備
えている。A recording and / or reproducing apparatus (hereinafter, referred to as an optical disk apparatus 1) according to the present invention comprises, as shown in FIG.
Spindle motor 3 for rotating and driving magneto-optical disk 2
A predetermined signal is recorded on the magneto-optical disk 2 driven to rotate by the spindle motor 3, and the signal recorded on the magneto-optical disk 2 is read to read the MO.
A head 4 for outputting a light receiving signal for generating a reproduction signal and a control signal, a control signal generating unit 5 for receiving the light receiving signal output from the head 4 and generating a control signal, and a supply from the control signal generating unit 5 Head 4 based on the control signal
And a drive actuator 6 for moving the optical disk in the radial direction of the magneto-optical disk 2 or in the direction of coming into contact with or separating from the magneto-optical disk 2.
【００３０】スピンドルモータ３は、図示しない電源に
接続されており、この電源から駆動電流が供給される
と、保持した光磁気ディスク２を所定の速度で回転駆動
させる。The spindle motor 3 is connected to a power supply (not shown). When a drive current is supplied from the power supply, the spindle motor 3 rotates the held magneto-optical disk 2 at a predetermined speed.
【００３１】ヘッド４は、図示しない所定の装置から記
録信号が供給されると、光磁気ディスク２の光磁気記録
層に光を照射させるとともに、記録信号に応じた磁界を
発生して、光磁気記録層の光が照射された箇所に、所定
の信号を記録する。また、ヘッド４は、光磁気ディスク
２の光磁気記録層に光を照射させ、その戻り光を検出す
ることにより、光磁気ディスク２に記録されたデータを
読み取ってＭＯ再生信号として出力するとともに、受光
信号を制御信号生成部５に供給する。When a recording signal is supplied from a predetermined device (not shown), the head 4 irradiates the magneto-optical recording layer of the magneto-optical disk 2 with light, and generates a magnetic field corresponding to the recording signal to generate a magneto-optical signal. A predetermined signal is recorded in a portion of the recording layer irradiated with light. The head 4 irradiates the magneto-optical recording layer of the magneto-optical disk 2 with light, detects the return light, reads data recorded on the magneto-optical disk 2 and outputs it as an MO reproduction signal, The light receiving signal is supplied to the control signal generator 5.
【００３２】制御信号生成部５は、フォーカスマトリッ
クス回路８と、トラッキングマトリックス回路１１と、
位相補償回路９，１２と、アンプ７，１０，１３とを備
えている。The control signal generator 5 includes a focus matrix circuit 8, a tracking matrix circuit 11,
Phase compensation circuits 9 and 12 and amplifiers 7, 10 and 13 are provided.
【００３３】フォーカスマトリックス回路８は、アンプ
７を介してヘッド４より供給された受光信号に基づいて
フォーカスエラー信号を生成し、このフォーカスエラー
信号を位相補償回路９に供給する。The focus matrix circuit 8 generates a focus error signal based on the light receiving signal supplied from the head 4 via the amplifier 7, and supplies the focus error signal to the phase compensation circuit 9.
【００３４】位相補償回路９は、フォーカスマトリック
ス回路８より供給されたフォーカスエラー信号の位相補
償を行い、位相補償された信号をアンプ１０を介して駆
動用アクチュエータ６に供給する。The phase compensating circuit 9 performs phase compensation of the focus error signal supplied from the focus matrix circuit 8, and supplies the phase-compensated signal to the driving actuator 6 via the amplifier 10.
【００３５】トラッキングマトリックス回路１１は、ア
ンプ７を介してヘッド４より供給された受光信号に基づ
いてトラッキングエラー信号を生成し、このトラッキン
グエラー信号を位相補償回路１２に供給する。The tracking matrix circuit 11 generates a tracking error signal based on the light receiving signal supplied from the head 4 via the amplifier 7 and supplies the tracking error signal to the phase compensation circuit 12.
【００３６】位相補償回路１２は、トラッキングマトリ
ックス回路１１より供給されたトラッキングエラー信号
の位相補償を行い、位相補償された信号をアンプ１３を
介して駆動用アクチュエータ６に供給する。The phase compensation circuit 12 compensates for the phase of the tracking error signal supplied from the tracking matrix circuit 11 and supplies the phase-compensated signal to the driving actuator 6 via the amplifier 13.
【００３７】駆動用アクチュエータ６は、フォーカスマ
トリックス回路８から位相補償回路９及びアンプ１０を
介して供給されるフォーカスエラー信号に基づいて、ヘ
ッド４を光磁気ディスク２に接離する方向に移動させ、
フォーカシング制御を行う。また、駆動用アクチュエー
タ６は、トラッキングマトリックス回路１１から位相補
償回路１２及びアンプ１３を介して供給されるトラッキ
ングエラー信号に基づいて、ヘッド４を光磁気ディスク
２の径方向に移動させ、トラッキング制御を行う。The drive actuator 6 moves the head 4 in the direction of coming into contact with or separating from the magneto-optical disk 2 based on a focus error signal supplied from the focus matrix circuit 8 via the phase compensation circuit 9 and the amplifier 10.
Performs focusing control. Further, the driving actuator 6 moves the head 4 in the radial direction of the magneto-optical disk 2 based on the tracking error signal supplied from the tracking matrix circuit 11 via the phase compensation circuit 12 and the amplifier 13 to perform tracking control. Do.
【００３８】ここで、ヘッド４の詳細について説明す
る。Here, the details of the head 4 will be described.
【００３９】ヘッド４は、図２に示すように、所定のレ
ーザ光を出射する半導体レーザ２１を備え、この半導体
レーザ２１から出射されるレーザ光が、まずコリメータ
レンズ２２に入射するようになされている。As shown in FIG. 2, the head 4 includes a semiconductor laser 21 for emitting a predetermined laser beam. The laser beam emitted from the semiconductor laser 21 is first made to enter the collimator lens 22. I have.
【００４０】コリメータレンズ２２は、半導体レーザ２
１から出射されるレーザ光を平行光線に整えるもので、
このコリメータレンズ２２を透過したレーザ光は、平行
光線に整えられた状態で整形プリズム２３を介して、第
１のビームスプリッタ２４に入射するようになされてい
る。The collimator lens 22 includes the semiconductor laser 2
The laser light emitted from 1 is arranged into parallel rays.
The laser light transmitted through the collimator lens 22 is incident on the first beam splitter 24 via the shaping prism 23 in a state where the laser light is adjusted to parallel light.
【００４１】第１のビームスプリッタ２４は、整形プリ
ズム２３からのレーザ光を、２つのレンズからなる対物
レンズと薄膜コイルとを有する光学素子（以下、光磁気
ヘッド部２５という）に向けて透過させるとともに、光
磁気ディスク２の光磁気記録層２ａで反射され、光磁気
ヘッド部２５を透過するレーザ光（戻り光）を第２のビ
ームスプリッタ２６に向けて反射させるようになされて
いる。The first beam splitter 24 transmits the laser beam from the shaping prism 23 toward an optical element having an objective lens composed of two lenses and a thin-film coil (hereinafter referred to as a magneto-optical head 25). At the same time, the laser light (return light) reflected by the magneto-optical recording layer 2a of the magneto-optical disk 2 and transmitted through the magneto-optical head 25 is reflected toward the second beam splitter 26.
【００４２】光磁気ヘッド部２５は、対物レンズが、第
１のビームスプリッタ２４からのレーザ光を収束して光
磁気ディスク２の光磁気記録層２ａに照射させるととも
に、データ記録時においては、薄膜コイルが、アンプ３
６を介して供給される記録信号に対応する強度の磁界
を、光磁気記録層２ａのレーザ光の照射位置に印加する
ようになされている。In the magneto-optical head section 25, the objective lens converges the laser beam from the first beam splitter 24 and irradiates it on the magneto-optical recording layer 2a of the magneto-optical disk 2. Coil is amplifier 3
A magnetic field having an intensity corresponding to the recording signal supplied via the laser beam 6 is applied to the laser beam irradiation position of the magneto-optical recording layer 2a.
【００４３】また、この光磁気ヘッド部２５は、光磁気
ディスク２の光磁気記録層２ａで反射されるレーザ光
（戻り光）を第１のビームスプリッタ２４に入射させる
ようになされている。第１のビームスプリッタ２４に入
射した戻り光は、上述したように第１のビームスプリッ
タ２４により反射され、第２のビームスプリッタ２６に
入射する。The magneto-optical head unit 25 is designed to make the laser beam (return light) reflected by the magneto-optical recording layer 2a of the magneto-optical disk 2 enter the first beam splitter 24. The return light that has entered the first beam splitter 24 is reflected by the first beam splitter 24 as described above, and enters the second beam splitter 26.
【００４４】第２のビームスプリッタ２６は、第１のビ
ームスプリッタ２４により反射される戻り光を、所定の
割合で第１の集光レンズ２７に向けて反射するととも
に、１／２波長板３０を介して第２の集光レンズ３１に
向けて透過させるようになされている。The second beam splitter 26 reflects the return light reflected by the first beam splitter 24 toward the first condensing lens 27 at a predetermined ratio, and controls the half-wave plate 30 to return. The light is transmitted toward the second condensing lens 31 through the light source.
【００４５】第１の集光レンズ２７は、第２のビームス
プリッタ２６により反射される平行光線の戻り光を収束
光にし、この収束光を非点収差を与えるシリンドリカル
レンズ２８を介して、第１の光検出器２９に入射させる
ようになされている。The first condenser lens 27 converts the return light of the parallel rays reflected by the second beam splitter 26 into convergent light, and converts the convergent light into a first light through a cylindrical lens 28 that gives astigmatism. To the photodetector 29.
【００４６】第１の光検出器２９は、４分割された受光
部を有し、それぞれの受光部に入射する戻り光を電気信
号（受光信号）に変換し、上述した制御信号生成部５の
アンプ７に供給する。The first photodetector 29 has four divided light receiving sections, converts the return light incident on each of the light receiving sections into an electric signal (light receiving signal), and outputs the electric signal (light receiving signal). It is supplied to the amplifier 7.
【００４７】第２の集光レンズ３１は、第２のビームス
プリッタ２６から１／２波長板３０を介して供給される
平行光線の戻り光を収束光にし、第３のビームスプリッ
タ３２に入射させるようになされている。The second condenser lens 31 converts the return light of the parallel light beam supplied from the second beam splitter 26 via the half-wave plate 30 into convergent light, and makes it incident on the third beam splitter 32. It has been made like that.
【００４８】第３のビームスプリッタ３２は、第２の集
光レンズ３１により収束光とされた戻り光の一部を第２
の光検出器３３に向けて透過させるとともに、戻り光の
他の部分を第３の光検出器３４に向けて反射させる。The third beam splitter 32 converts a part of the return light converged by the second condenser lens 31 into the second light.
And the other part of the return light is reflected toward the third photodetector 34.
【００４９】第２の光検出器３３及び第３の光検出器３
４は、第３のビームスプリッタ３２から入射する戻り光
をその光量に対応する電気信号に変換して、それぞれ差
動アンプ３５に供給するようになされている。The second photodetector 33 and the third photodetector 3
Numeral 4 converts the return light incident from the third beam splitter 32 into an electric signal corresponding to the light amount, and supplies the electric signal to the differential amplifier 35.
【００５０】差動アンプ３５は、第２の光検出器３３か
ら供給される電気信号と第３の光検出器３４から供給さ
れる電気信号の差を計算し、その計算結果をＭＯ再生信
号として、図示しない所定の装置に供給するようになさ
れている。The differential amplifier 35 calculates the difference between the electric signal supplied from the second photodetector 33 and the electric signal supplied from the third photodetector 34, and uses the calculation result as an MO reproduction signal. Are supplied to a predetermined device (not shown).
【００５１】本発明に係る光ディスク装置１は、以上の
ように構成されることにより、光磁気ディスク２に対し
て所定の情報信号を記録し、又は光磁気ディスク２から
所定の情報信号を読み取ることが可能とされている。The optical disk device 1 according to the present invention is configured as described above to record a predetermined information signal on the magneto-optical disk 2 or read a predetermined information signal from the magneto-optical disk 2. It is possible.
【００５２】なお、この光ディスク装置１は、光磁気デ
ィスクに限らず、相変化を利用した相変化型光ディスク
や読み出し専用の光ディスク等にも対応可能である。光
ディスク装置１は、相変化型光ディスクに情報信号を記
録する場合は、ヘッド４が相変化型光ディスクの記録層
にレーザ光を照射させ、この記録層の相変化を利用して
情報信号を記録し、相変化型光ディスクから情報信号を
読み取る場合は、ヘッド４が相変化型光ディスクの記録
層にレーザ光を照射させ、記録層の状態による戻り光の
違いから再生信号を得るようにする。The optical disk apparatus 1 is not limited to a magneto-optical disk, but can also be applied to a phase-change optical disk utilizing a phase change, a read-only optical disk, and the like. When recording an information signal on a phase-change optical disk, the optical disk device 1 uses the head 4 to irradiate the recording layer of the phase-change optical disk with laser light, and records the information signal using the phase change of the recording layer. When reading an information signal from a phase-change optical disc, the head 4 irradiates the recording layer of the phase-change optical disc with laser light to obtain a reproduction signal from a difference in return light depending on the state of the recording layer.
【００５３】また、この光ディスク装置１は、読み出し
専用の光ディスクから情報信号を読み取る場合は、ヘッ
ド４が読み出し専用の光ディスクの信号記録層にレーザ
光を照射させ、その戻り光を検出して再生信号を得るよ
うにする。When reading an information signal from a read-only optical disc, the head 4 irradiates the signal recording layer of the read-only optical disc with a laser beam, detects the return light, and reproduces the reproduced signal. To get
【００５４】次に、本発明の要部であるヘッド４の光磁
気ヘッド部２５について説明する。Next, the magneto-optical head 25 of the head 4 which is a main part of the present invention will be described.
【００５５】この光磁気ヘッド部２５は、図３に示すよ
うに、第１のビームスプリッタ２４を透過したレーザ光
の光路上に配された２つのレンズを備え、この２つのレ
ンズが半導体レーザ２１から出射されたレーザ光を収束
する対物レンズを構成している。なお、以下の説明にお
いては、この２つのレンズのうち、光磁気ディスク２側
に配されたレンズを先玉レンズ４１といい、他方のレン
ズを後玉レンズ４２という。As shown in FIG. 3, the magneto-optical head unit 25 includes two lenses disposed on the optical path of the laser beam transmitted through the first beam splitter 24, and the two lenses are connected to the semiconductor laser 21. An objective lens that converges the laser light emitted from the lens. In the following description, of the two lenses, the lens arranged on the magneto-optical disk 2 side is called a front lens 41, and the other lens is called a rear lens 42.
【００５６】先玉レンズ４１及び後玉レンズ４２は、と
もに使用するレーザ光に対して透明な青板ガラスや石英
ガラス等が所定の形状に成形されてなり、それぞれレン
ズホルダ４３に支持されて、第１のビームスプリッタ２
４を透過したレーザ光の光路上に配設されている。特に
先玉レンズ４１は、半球状に形成され、円形平面が光磁
気ディスク２と対向するようにレンズホルダ４３に支持
されている。なお、先玉レンズ４１の球面形状は、後玉
レンズ４２の形状や設置位置、光磁気ディスク２の基板
厚や屈折率等に応じて、光磁気記録層に照射されるレー
ザ光が球面収差の影響を受けないように最適化されてい
る。Each of the front lens 41 and the rear lens 42 is formed by molding a blue plate glass or a quartz glass transparent to a laser beam to be used together into a predetermined shape, and supported by a lens holder 43, respectively. 1 beam splitter 2
4 is disposed on the optical path of the laser light transmitted through the laser light 4. In particular, the front lens 41 is formed in a hemispherical shape, and is supported by the lens holder 43 such that a circular plane faces the magneto-optical disk 2. The spherical shape of the front lens 41 depends on the shape and installation position of the rear lens 42, the substrate thickness of the magneto-optical disk 2, the refractive index, and the like. Optimized to be unaffected.
【００５７】また、これら先玉レンズ４１及び後玉レン
ズ４２は、レンズホルダ４３に支持された状態で、駆動
用アクチュエータ６により、光磁気ディスク２の径方向
及び光磁気ディスク２に接離する方向に一体に移動さ
れ、これによりトラッキング制御やフォーカシング制御
が行われるようになされている。なお、フォーカシング
制御を行う際は、先玉レンズ４１又は後玉レンズ４２が
他方のレンズに対して接離する方向に移動操作され、球
面収差を補正するようになされている。The front lens 41 and the rear lens 42 are supported by the lens holder 43 and are driven by the driving actuator 6 in the radial direction of the magneto-optical disk 2 and in the direction of coming and going with the magneto-optical disk 2. , So that tracking control and focusing control are performed. When performing the focusing control, the front lens 41 or the rear lens 42 is moved in a direction in which the front lens 41 or the rear lens 42 comes into contact with or separates from the other lens, thereby correcting spherical aberration.
【００５８】光磁気ヘッド部２５には、先玉レンズ４１
の光磁気ディスク２側に位置して、コイル支持基板４４
が設けられている。The magneto-optical head 25 has a front lens 41
Of the coil support substrate 44
Is provided.
【００５９】このコイル支持基板４４は、例えば酸化ア
ルミニウムのように、使用するレーザ光に対して透明で
且つ青板ガラスや石英ガラスに比べて熱伝導率の高い部
材が平板状に成形されてなり、主面が後玉レンズ４２及
び先玉レンズ４１により収束されるレーザ光の光軸に対
して略垂直となるように、すなわち、光磁気ディスク２
の光磁気記録層２ａに対して略平行となるように、上記
レンズホルダ４３に支持されて、先玉レンズ４１の光磁
気ディスク２側に配設されている。The coil supporting substrate 44 is made of a material such as aluminum oxide, which is transparent to the laser beam to be used and has a higher thermal conductivity than blue glass or quartz glass. The main surface is substantially perpendicular to the optical axis of the laser beam converged by the rear lens 42 and the front lens 41, that is, the magneto-optical disk 2
The first lens 41 is disposed on the magneto-optical disk 2 side of the front lens 41 so as to be substantially parallel to the magneto-optical recording layer 2a.
【００６０】ここで、酸化アルミニウムの熱伝導率は、
２１Ｗ／ｍ・Ｋ程度であり、後述する薄膜コイルに発生
した熱が伝わるには十分な値である。なお、コイル支持
基板４４に用いられる部材としては、透明で、且つ酸化
アルミニウムと同程度の熱伝導率を有する部材であれば
いかなるものを用いてもかまわない。Here, the thermal conductivity of aluminum oxide is
It is about 21 W / m · K, which is a sufficient value for transmitting the heat generated in the thin film coil described later. Note that as the member used for the coil supporting substrate 44, any member may be used as long as it is transparent and has a thermal conductivity similar to that of aluminum oxide.
【００６１】コイル支持基板４４の光磁気ディスク２と
対向する主面上には、図４及び図５に示すように、コイ
ル支持基板４４を透過するレーザ光の反射を防止するた
めの透明誘電体膜４５を介して、磁界発生のためのコイ
ル部４６が形成されている。As shown in FIGS. 4 and 5, on the main surface of the coil support substrate 44 facing the magneto-optical disk 2, there is provided a transparent dielectric material for preventing reflection of laser light transmitted through the coil support substrate 44. A coil section 46 for generating a magnetic field is formed via the film 45.
【００６２】透明誘電体膜４５の材料としては、例えば
酸化シリコン、酸化タングステン、フッ化マグネシウ
ム、窒化シリコン等が用いられる。As a material of the transparent dielectric film 45, for example, silicon oxide, tungsten oxide, magnesium fluoride, silicon nitride or the like is used.
【００６３】コイル部４６は、コイル支持基板４４の主
面上に透明誘電体膜４５を介して形成された磁性体コア
４７と、この磁性体コア４７上に形成されたスパイラル
形状の薄膜コイル４８とを有している。このコイル部４
６は、薄膜コイル４８に隣接して磁性体コア４７が設け
られることにより、磁界効率が高められている。The coil section 46 includes a magnetic core 47 formed on the main surface of the coil support substrate 44 with a transparent dielectric film 45 interposed therebetween, and a spiral thin-film coil 48 formed on the magnetic core 47. And This coil part 4
In 6, a magnetic core 47 is provided adjacent to the thin-film coil 48, so that the magnetic field efficiency is improved.
【００６４】磁性体コア４７の材料としては、例えばＮ
ｉ−Ｆｅ合金、Ｃｏ系アモルファス合金、Ｆｅ−Ａｌ−
Ｓｉ合金、Ｆｅ−Ｃ合金とＮｉ−Ｆｅ合金の積層体、Ｆ
ｅ−Ｔａ−Ｎ合金、Ｍｎ−Ｚｎフェライト等、広範囲の
材料を使用することができ、これらを２種以上組み合わ
せて使用することも可能である。なお、磁性体コア４７
を導電性を有する材料により形成すれば、この磁性体コ
ア４７を介して薄膜コイル４８を一方の電極に接続させ
ることが可能で、別に引き出し線を設けて薄膜コイル４
８を一方の電極に接続させる必要がない。したがって磁
性体コア４７を導電性を有する材料により形成し、この
磁性体コア４７を介して薄膜コイル４８を一方の電極に
接続させるようにすれば、コイル部４６の厚みを薄くす
ることができ、高ＮＡ化に対応させる上で有利となる。The material of the magnetic core 47 is, for example, N
i-Fe alloy, Co-based amorphous alloy, Fe-Al-
Si alloy, laminate of Fe-C alloy and Ni-Fe alloy, F
A wide range of materials such as e-Ta-N alloy and Mn-Zn ferrite can be used, and it is also possible to use two or more of them in combination. The magnetic core 47
Is formed of a conductive material, the thin-film coil 48 can be connected to one of the electrodes via the magnetic core 47, and a separate lead wire is provided to form the thin-film coil 4
It is not necessary to connect 8 to one electrode. Therefore, if the magnetic core 47 is formed of a conductive material and the thin film coil 48 is connected to one of the electrodes via the magnetic core 47, the thickness of the coil portion 46 can be reduced, This is advantageous in supporting high NA.
【００６５】磁性体コア４７は、例えば、上述した材料
がスパッタ等により１μｍ以上の厚さでコイル支持基板
４４の主面上に成膜され、エッチングプロセスにより所
定径の中心孔４７ａを有する円環状に成形されてなる。
この磁性体コア４７の中心孔４７ａは、後玉レンズ４２
及び先玉レンズ４１により収束されたレーザ光を通過さ
せて、光磁気ディスク２の光磁気記録層２ａに照射させ
るためのものであり、例えば直径が１２８μｍ程度に設
定される。The magnetic core 47 is formed, for example, by sputtering the above-mentioned material to a thickness of 1 μm or more on the main surface of the coil supporting substrate 44, and has an annular shape having a center hole 47a having a predetermined diameter by an etching process. It is molded into.
The center hole 47a of the magnetic core 47 is
Further, the laser beam converged by the front lens 41 is passed therethrough to irradiate the magneto-optical recording layer 2a of the magneto-optical disk 2, and has a diameter of, for example, about 128 μm.
【００６６】なお、磁性体コア４７のコイル支持基板４
４に対する密着性を向上させるために、コイル支持基板
４４の主面上にＣｒ膜等の接着層を形成し、この接着層
を介してコイル支持基板４４上に磁性体コア４７を形成
するようにしてもよい。The coil supporting substrate 4 of the magnetic core 47
An adhesive layer such as a Cr film is formed on the main surface of the coil support substrate 44 in order to improve the adhesion to the coil support substrate 4, and the magnetic core 47 is formed on the coil support substrate 44 via the adhesive layer. You may.
【００６７】薄膜コイル４８は、所定の装置から供給さ
れる記録信号に対応する磁界を発生し、この磁界を光学
記録媒体２の光磁気記録層２ａのレーザ光が照射される
位置に印加するもので、中心孔を有するスパイラル形状
をなすように、磁性体コア４７上に形成されている。The thin film coil 48 generates a magnetic field corresponding to a recording signal supplied from a predetermined device, and applies the magnetic field to a position of the magneto-optical recording layer 2a of the optical recording medium 2 where the laser beam is irradiated. Thus, it is formed on the magnetic core 47 so as to form a spiral shape having a center hole.
【００６８】この薄膜コイル４８は、例えばＣｕ、Ａ
ｇ、Ａｕから選ばれる１種、あるいはこれらのうち少な
くとも１種を含む合金等の導電性を有する材料が、磁性
体コア４７上に所定の厚さで成膜された後に、フォトリ
ソグラフィ技術を用いて、この導電性を有する材料が中
心孔を有するスパイラル形状にエッチングされることに
より形成される。The thin film coil 48 is made of, for example, Cu, A
g, Au, or a conductive material such as an alloy containing at least one of them is formed on the magnetic core 47 to a predetermined thickness, and then the photolithographic technique is used. The conductive material is formed by being etched into a spiral shape having a center hole.
【００６９】そして、この薄膜コイル４８は、絶縁材料
からなる絶縁層４９中に埋め込まれた形とされて保護が
図られているとともに、スパイラル形状の外周部から、
この薄膜コイル４８に駆動電流を供給するための一方の
電極５０ａが引き出されている。The thin-film coil 48 is protected by being embedded in an insulating layer 49 made of an insulating material.
One electrode 50a for supplying a drive current to the thin film coil 48 is drawn out.
【００７０】また、この薄膜コイル４８は、磁性体コア
４７が導電性を有する材料を用いて形成されている場合
は、スパイラル形状の内周部をこの磁性体コア４７を介
して他方の電極５０ｂに接続させる。In the case where the magnetic core 47 is formed of a conductive material, the thin-film coil 48 has a spiral inner peripheral portion formed through the magnetic core 47 through the other electrode 50b. To be connected.
【００７１】薄膜コイル４８の保護を図るための絶縁層
４９の材料としては、例えば、レジスト材料、ポリイミ
ド、アクリル樹脂等が用いられる。そして、絶縁層４９
も薄膜コイル４８の形状に応じて中心部に中心孔が設け
られており、後玉レンズ４２及び先玉レンズ４１により
収束されたレーザ光がこの中心孔を通過するようになさ
れている。As a material of the insulating layer 49 for protecting the thin-film coil 48, for example, a resist material, polyimide, acrylic resin or the like is used. Then, the insulating layer 49
Also, a center hole is provided at the center according to the shape of the thin film coil 48, and the laser light converged by the rear lens 42 and the front lens 41 passes through the center hole.
【００７２】薄膜コイル４８は、光磁気ディスク２の光
磁気記録層２ａに対して略平行となるように、コイル支
持基板４４上に形成される。したがって、この薄膜コイ
ル４８を流れる電流の方向は、光磁気ディスク２の光磁
気記録層２ａに対して略平行となるので、薄膜コイル４
８は、中心孔を貫いて光磁気ディスク２の光磁気記録層
２ａにほぼ垂直な磁界を発生し、この磁界を光磁気記録
層２ａに印加する。The thin-film coil 48 is formed on the coil support substrate 44 so as to be substantially parallel to the magneto-optical recording layer 2a of the magneto-optical disk 2. Therefore, the direction of the current flowing through the thin-film coil 48 is substantially parallel to the magneto-optical recording layer 2a of the magneto-optical disk 2, so that the thin-film coil 4
Numeral 8 generates a magnetic field substantially perpendicular to the magneto-optical recording layer 2a of the magneto-optical disk 2 through the center hole, and applies this magnetic field to the magneto-optical recording layer 2a.
【００７３】なお、以上は、薄膜コイル４８を単層のコ
イルにより構成した例について説明したが、光磁気ヘッ
ド部２５に用いられる薄膜コイル４８は、図６に示すよ
うに、上層コイル４８ａと下層コイル４８ｂの２層構造
とされ、それぞれのコイルが絶縁層４９中に埋め込まれ
た形とされてもよい。In the above description, the example in which the thin-film coil 48 is constituted by a single-layer coil has been described. However, as shown in FIG. 6, the thin-film coil 48 used in the magneto-optical head unit 25 has an upper-layer coil 48a and a lower-layer coil 48a. The coil 48b may have a two-layer structure, and each coil may be embedded in the insulating layer 49.
【００７４】この場合は、上層コイル４８ａのスパイラ
ル形状の外周部及び下層コイル４８ｂのスパイラル形状
の外周部から、この薄膜コイル４８に駆動電流を供給す
るための一対の電極５０ａ，５０ｂを引き出すととも
に、上層コイル４８ａのスパイラル形状の内周部と下層
コイル４８ｂのスパイラル形状の内周部とを接続させ、
上層コイル４８ａと下層コイル４８ｂとを電気的に導通
させる。In this case, a pair of electrodes 50a and 50b for supplying a drive current to the thin-film coil 48 are drawn from the spiral outer peripheral portion of the upper coil 48a and the spiral outer peripheral portion of the lower coil 48b. The spiral inner peripheral portion of the upper coil 48a is connected to the spiral inner peripheral portion of the lower coil 48b,
The upper coil 48a and the lower coil 48b are electrically connected.
【００７５】ところで、この光磁気ヘッド部２５におい
ては、後玉レンズ４２及び先玉レンズ４１により収束さ
れるレーザ光は、図７に示すように、コイル部４６の中
心孔、詳しくは、コイル部４６の磁性体コア４７の中心
孔４７ａを通過する際に、ビーム径が決定されることが
望ましい。すなわち、後玉レンズ４２及び先玉レンズ４
１により収束されたレーザ光は、ビーム径が磁性体コア
４７の中心孔４７ａの径よりも大とされた状態でコイル
支持基板４４を透過し、磁性体コア４７の中心孔４７ａ
を通過する際に、この磁性体コア４７の中心孔４７ａを
アパーチャとして、外周側の一部が磁性体コア４７によ
りけられることによって、磁性体コア４７の中心孔４７
ａを通過するレーザ光のビーム径が決定されて光磁気デ
ィスク２の光磁気記録層２ａに照射されることが望まし
い。In the magneto-optical head 25, the laser beam converged by the rear lens 42 and the front lens 41 is, as shown in FIG. It is desirable that the beam diameter be determined when passing through the center hole 47a of the magnetic material core 47 of 46. That is, the rear lens 42 and the front lens 4
The laser beam converged by 1 passes through the coil support substrate 44 in a state where the beam diameter is larger than the diameter of the center hole 47 a of the magnetic core 47, and
When passing through the central hole 47 a of the magnetic core 47, the central hole 47 a of the magnetic core 47 is used as an aperture, and a part of the outer peripheral side is cut by the magnetic core 47.
It is desirable that the beam diameter of the laser beam passing through a is determined and applied to the magneto-optical recording layer 2a of the magneto-optical disk 2.
【００７６】このように、光磁気ディスク２の光磁気記
録層２ａに照射されるレーザ光のビーム径が、このレー
ザ光がコイル部４６の中心孔、詳しくは、コイル部４６
の磁性体コア４７の中心孔４７ａを通過する際に決定さ
れるようにすることにより、光軸の倒れや光磁気ヘッド
部２５の組立誤差により、レーザ光の中心が光磁気ヘッ
ド部２５の中心軸からずれた場合であっても、ビーム径
の変動を許容範囲程度に少なくすることができる。As described above, the beam diameter of the laser beam irradiated on the magneto-optical recording layer 2a of the magneto-optical disk 2 is determined by the fact that this laser beam is emitted from the center hole of the coil section 46, more specifically, the coil section 46.
Is determined when passing through the center hole 47 a of the magnetic core 47, so that the center of the laser beam is shifted to the center of the magneto-optical head 25 due to the inclination of the optical axis and the assembly error of the magneto-optical head 25. Even in the case of deviation from the axis, the fluctuation of the beam diameter can be reduced to an allowable range.
【００７７】また、以上は後玉レンズ４２及び先玉レン
ズ４１により集束されたレーザ光を、コイル支持基板４
４を透過させ、コイル部４６の中心孔を通過させて光磁
気ディスク２の光磁気記録層２ａに照射させるようにし
た例について説明したが、本発明に係る光磁気ヘッド部
は、この例に限定されるものではなく、コイル支持基板
４４にレーザ光を通過させるための貫通孔を設け、後玉
レンズ４２及び先玉レンズ４１により集束されたレーザ
光が、コイル支持基板４４の内部を透過せずに、この貫
通孔を通過し、コイル部４６の中心孔を通過して光磁気
ディスク２の光磁気記録層２ａに照射されるような構成
としてもよい。In the above, the laser light focused by the rear lens 42 and the front lens 41 is transmitted to the coil supporting substrate 4.
4 has been described, the light is transmitted to the magneto-optical recording layer 2a of the magneto-optical disk 2 through the center hole of the coil portion 46. However, the magneto-optical head according to the present invention is not limited to this example. The present invention is not limited to this. A through-hole for passing laser light is provided in the coil support substrate 44 so that the laser light focused by the rear lens 42 and the front lens 41 passes through the inside of the coil support substrate 44. Instead, the configuration may be such that the light passes through the through-hole, passes through the center hole of the coil part 46, and irradiates the magneto-optical recording layer 2a of the magneto-optical disk 2.
【００７８】以上のように光磁気ヘッド部を構成した場
合は、熱伝導率の高い部材であれば、使用するレーザ光
に対して透明でない部材も、コイル支持基板４４の材料
として用いることができる。In the case where the magneto-optical head is constructed as described above, any material that is not transparent to the laser beam to be used can be used as the material of the coil support substrate 44 as long as the material has high thermal conductivity. .
【００７９】なお、コイル支持基板４４を、使用するレ
ーザ光に対して透明でない部材を用いて形成したとき
は、光磁気ディスク２の光磁気記録層２ａに照射される
レーザ光のビーム径が、このコイル支持基板４４に設け
られた貫通孔を通過する際に決定される。When the coil support substrate 44 is formed using a member that is not transparent to the laser beam to be used, the beam diameter of the laser beam applied to the magneto-optical recording layer 2a of the magneto-optical disk 2 is It is determined when passing through the through hole provided in the coil support substrate 44.
【００８０】以上のように構成される光磁気ヘッド部２
５は、上述したように、コイル部４６が熱伝導率の高い
部材よりなるコイル支持基板４４上に設けられているの
で、薄膜コイル４８に駆動電流が供給されて発熱して
も、この熱がコイル支持基板４４に有効に伝達され、薄
膜コイル４８に熱が蓄積されない。The magneto-optical head 2 constructed as described above
As described above, since the coil portion 46 is provided on the coil supporting substrate 44 made of a member having a high thermal conductivity as described above, even if a driving current is supplied to the thin film coil 48 to generate heat, this heat is generated. The heat is effectively transmitted to the coil support substrate 44 and no heat is accumulated in the thin-film coil 48.
【００８１】したがって、この光磁気ヘッド部２５は、
特に、高い変調周波数時において、薄膜コイル４８の熱
による発生磁界の低効率化を招くことがなく、また、薄
膜コイル４８の断線等の損傷も抑制される。Therefore, the magneto-optical head 25 is
In particular, at the time of a high modulation frequency, the efficiency of the magnetic field generated by the heat of the thin-film coil 48 is not reduced, and damage such as disconnection of the thin-film coil 48 is suppressed.
【００８２】なお、以上は、先玉レンズ４１の光磁気デ
ィスク２と対向する側に、熱伝導率の高い部材よりなる
コイル支持基板４４がレンズホルダ４３に支持された状
態で配設され、このコイル支持基板４４上にコイル部４
６が設けられた光磁気ヘッド部２５について説明した
が、先玉レンズ４１の円形平面４１ａ上に、ＡｌＯ等の
熱伝導率の高い材料をスパッタ等により成膜してコイル
支持部を形成し、このコイル支持部上にコイル部４６を
設けるようにしても同様の効果が得られる。In the above description, a coil support substrate 44 made of a member having high thermal conductivity is provided on the side of the front lens 41 facing the magneto-optical disk 2 in a state supported by the lens holder 43. The coil unit 4 is provided on the coil support substrate 44.
Although the magneto-optical head 25 provided with 6 is described, a material having high thermal conductivity such as AlO is formed on the circular flat surface 41a of the front lens 41 by sputtering or the like to form a coil supporting portion. The same effect can be obtained by providing the coil portion 46 on the coil support portion.
【００８３】また、コイル支持基板４４を設けずに、先
玉レンズ４１をＡｌＯ等の熱伝導率の高い部材で形成
し、この先玉レンズ４１の円形平面４１ａ上にコイル部
４６を設けるようにしても同様の効果が得られる。Also, without providing the coil support substrate 44, the front lens 41 is formed of a member having a high thermal conductivity such as AlO, and the coil portion 46 is provided on the circular flat surface 41a of the front lens 41. Has the same effect.
【００８４】また、以上はコイル支持基板４４上に磁性
体コア４７が形成され、この磁性体コア４７上に薄膜コ
イル４８が形成される例について説明したが、本発明は
この例に限定されるものではなく、コイル支持基板４４
上に磁性体コア４７を介さずに薄膜コイル４８が形成さ
れるようにしてもよい。この場合は、薄膜コイル４８を
保護する絶縁層４９の中心孔が、光磁気ディスク２の光
磁気記録層２ａに照射されるレーザ光のビーム径を決定
することになる。In the above, an example in which the magnetic core 47 is formed on the coil supporting substrate 44 and the thin-film coil 48 is formed on the magnetic core 47 has been described. However, the present invention is limited to this example. Not the coil support substrate 44
The thin film coil 48 may be formed on the upper surface without the magnetic core 47. In this case, the center hole of the insulating layer 49 that protects the thin-film coil 48 determines the beam diameter of the laser beam applied to the magneto-optical recording layer 2a of the magneto-optical disk 2.
【００８５】次に、以上のように構成される光ディスク
装置１の記録再生動作について説明する。Next, the recording / reproducing operation of the optical disk device 1 configured as described above will be described.
【００８６】この光ディスク装置１は、所定のデータを
光磁気ディスク２に記録する際は、スピンドルモータ３
が装着された光磁気ディスク２を回転駆動させるととも
に、ヘッド４の半導体レーザ２１からレーザ光が出射さ
れる。When recording predetermined data on the magneto-optical disk 2, the optical disk device 1 uses a spindle motor 3
Is driven to rotate, and a laser beam is emitted from the semiconductor laser 21 of the head 4.
【００８７】半導体レーザ２１から出射されたレーザ光
は、コリメータレンズ２２、整形レンズ２３及び第１の
ビームスプリッタ２４を介して光磁気ヘッド部２５に入
射する。そして、光磁気ヘッド部２５に入射したレーザ
光は、光磁気ヘッド部２５の後玉レンズ４２及び先玉レ
ンズ４１により収束され、コイル部４６の磁性体コア４
７に設けられた中心孔４７ａ及び薄膜コイル４８の中心
孔を通過して、光磁気ディスク２の光磁気記録層２ａに
照射される。The laser light emitted from the semiconductor laser 21 enters the magneto-optical head 25 via the collimator lens 22, the shaping lens 23, and the first beam splitter 24. Then, the laser light incident on the magneto-optical head 25 is converged by the rear lens 42 and the front lens 41 of the magneto-optical head 25, and the magnetic core 4 of the coil 46 is formed.
The light passes through the center hole 47a provided in the disk 7 and the center hole of the thin-film coil 48, and is irradiated to the magneto-optical recording layer 2a of the magneto-optical disk 2.
【００８８】光ディスク装置１は、このように光磁気デ
ィスク２の光磁気記録層２ａにレーザ光を照射させるこ
とにより、このレーザ光を熱源として、レーザ光が照射
された箇所の磁性材料の温度をキュリー温度または補償
温度以上まで上昇させて、その箇所の磁化を消失させ
る。The optical disk device 1 irradiates the magneto-optical recording layer 2a of the magneto-optical disk 2 with laser light as described above, and uses the laser light as a heat source to reduce the temperature of the magnetic material at the location irradiated with the laser light. The temperature is raised above the Curie temperature or the compensation temperature to eliminate the magnetization at that point.
【００８９】そして、光ディスク装置１は、記録するデ
ータに対応して変調された記録信号が、アンプ３６を介
して光磁気ヘッド部２５に供給されると、薄膜コイル４
８がその記録信号に対応する磁界を発生し、この磁界を
光磁気ディスク２の光磁気記録層２ａのレーザ光が照射
された箇所に印加する。When the recording signal modulated in accordance with the data to be recorded is supplied to the magneto-optical head unit 25 via the amplifier 36, the optical disk device 1
8 generates a magnetic field corresponding to the recording signal, and applies the magnetic field to the portion of the magneto-optical recording layer 2a of the magneto-optical disk 2 irradiated with the laser beam.
【００９０】このようにして、光ディスク装置１は、所
定のデータ（記録信号）を光磁気ディスク２に記録す
る。そして、この記録動作時において、薄膜コイル４８
に発生した熱は、コイル支持基板４４に有効に伝達さ
れ、コイル支持基板４４により吸収される。なお、光デ
ィスク装置１は、この記録動作時においても、後述する
再生動作時と同様に、フォーカシング制御及びトラッキ
ング制御を行うようになされている。Thus, the optical disk device 1 records predetermined data (recording signal) on the magneto-optical disk 2. At the time of this recording operation, the thin film coil 48
Is effectively transmitted to the coil support substrate 44 and is absorbed by the coil support substrate 44. The optical disc apparatus 1 performs the focusing control and the tracking control during the recording operation, similarly to the reproduction operation described later.
【００９１】この光ディスク装置１は、光磁気ディスク
２に記録されたデータを読みとる際は、記録動作時と同
様に、スピンドルモータ３が装着された光磁気ディスク
２を回転駆動させるとともに、ヘッド４の半導体レーザ
２１からレーザ光が出射される。When reading data recorded on the magneto-optical disk 2, the optical disk device 1 drives the magneto-optical disk 2 on which the spindle motor 3 is mounted and rotates the head 4, as in the recording operation. Laser light is emitted from the semiconductor laser 21.
【００９２】半導体レーザ２１から出射されたレーザ光
は、コリメータレンズ２２、整形レンズ２３及び第１の
ビームスプリッタ２４を介して光磁気ヘッド部２５に入
射する。そして、光磁気ヘッド部２５に入射したレーザ
光は、光磁気ヘッド部２５の後玉レンズ４２及び先玉レ
ンズ４１により収束され、コイル部４６の磁性体コア４
７に設けられた中心孔４７ａ及び薄膜コイル４８の中心
孔を通過して、光磁気ディスク２の光磁気記録層２ａの
所定の位置に照射される。The laser light emitted from the semiconductor laser 21 enters the magneto-optical head 25 via the collimator lens 22, the shaping lens 23, and the first beam splitter 24. Then, the laser light incident on the magneto-optical head 25 is converged by the rear lens 42 and the front lens 41 of the magneto-optical head 25, and the magnetic core 4 of the coil 46 is formed.
The light passes through a center hole 47a provided in the optical disk 7 and a center hole of the thin-film coil 48, and is irradiated to a predetermined position of the magneto-optical recording layer 2a of the magneto-optical disk 2.
【００９３】光磁気記録層２ａで反射された戻り光は、
第２のビームスプリッタ２６、１／２波長板３０、第２
の集光レンズ３１及び第３のビームスプリッタ３２を介
して、第２の光検出器３３及び第３の光検出器３４に入
射し、検出される。この光磁気記録層２ａからの戻り光
の偏波面は、カー効果により、光磁気記録層２ａの磁化
の向き（記録されているデータの値に対応する）によっ
て互いに反対方向に回転している。そして、この光磁気
記録層２ａからの戻り光は、第３のビームスプリッタ３
２を介して第２の光検出器３３及び第３の光検出器３４
に入射することにより、その偏波面の向きと光磁気記録
層２ａに照射された光の偏波面の向きとの間にみられる
回転角（カー回転角）の変化が光の強度変化に変換さ
れ、この強度変化が検出される。The return light reflected by the magneto-optical recording layer 2a is:
The second beam splitter 26, the half-wave plate 30, the second
Is incident on the second photodetector 33 and the third photodetector 34 via the condenser lens 31 and the third beam splitter 32, and is detected. The polarization planes of the return light from the magneto-optical recording layer 2a are rotated in directions opposite to each other by the direction of magnetization (corresponding to the value of recorded data) of the magneto-optical recording layer 2a due to the Kerr effect. The return light from the magneto-optical recording layer 2a is transmitted to the third beam splitter 3
2 through a second photodetector 33 and a third photodetector 34
, The change in the rotation angle (Kerr rotation angle) between the direction of the plane of polarization and the direction of the plane of polarization of the light applied to the magneto-optical recording layer 2a is converted into a change in the intensity of the light. This intensity change is detected.
【００９４】第２の光検出器３３及び第３の光検出器３
４は、入射した戻り光の強度に対応する電気信号を差動
アンプ３５に出力し、差動アンプ３５は、第２の光検出
器３３と第３の光検出器３４との出力の差を計算し、Ｍ
Ｏ再生信号として出力する。The second photodetector 33 and the third photodetector 3
4 outputs an electric signal corresponding to the intensity of the incident return light to the differential amplifier 35, and the differential amplifier 35 calculates the difference between the outputs of the second photodetector 33 and the third photodetector 34. Calculate and M
Output as an O reproduction signal.
【００９５】また、光磁気記録層２ａで反射された戻り
光の一部は、第２のビームスプリッタ２６により反射さ
れ、第１の集光レンズ２７及びシリンドリカルレンズ２
８を介して第１の光検出器２９に入射する。A part of the return light reflected by the magneto-optical recording layer 2a is reflected by the second beam splitter 26, and is reflected by the first condenser lens 27 and the cylindrical lens 2a.
The light enters the first photodetector 29 through 8.
【００９６】第１の光検出器２９は、入射した戻り光を
電気信号に変換し、この電気信号を制御信号生成部５の
アンプ７を介して、フォーカスマトリックス回路８及び
トラッキングマトリックス回路１１に供給する。The first photodetector 29 converts the incident return light into an electric signal, and supplies the electric signal to the focus matrix circuit 8 and the tracking matrix circuit 11 via the amplifier 7 of the control signal generator 5. I do.
【００９７】フォーカスマトリックス回路８及びトラッ
キングマトリックス回路１１は、この信号に基づいてフ
ォーカスエラー信号及びトラッキングエラー信号をそれ
ぞれ生成し、これらフォーカスエラー信号及びトラッキ
ングエラー信号を、アンプ１０，１３を介して駆動用ア
クチュエータ６に供給する。The focus matrix circuit 8 and the tracking matrix circuit 11 generate a focus error signal and a tracking error signal based on the signals, respectively, and drive the focus error signal and the tracking error signal via the amplifiers 10 and 13 for driving. It is supplied to the actuator 6.
【００９８】駆動用アクチュエータ６は、これらフォー
カスエラー信号及びトラッキングエラー信号に対応し
て、光磁気ヘッド部２５を光磁気ディスク２に接離する
方向又は光磁気ディスク２の径方向に移動させ、フォー
カシング制御及びトラッキング制御を行う。The driving actuator 6 moves the magneto-optical head unit 25 in the direction of coming into contact with or separating from the magneto-optical disk 2 or in the radial direction of the magneto-optical disk 2 in response to the focus error signal and the tracking error signal. Control and tracking control are performed.
【００９９】以上説明したように、この光ディスク装置
１に用いられる光磁気ヘッド部２５は、コイル部４６が
熱伝導率の高い部材よりなるコイル支持基板４４上に設
けられているので、薄膜コイル４８に駆動電流が供給さ
れて発熱しても、この熱がコイル支持基板４４に有効に
伝達され、薄膜コイル４８に熱が蓄積されない。As described above, the magneto-optical head 25 used in the optical disk device 1 has the thin-film coil 48 because the coil 46 is provided on the coil support substrate 44 made of a member having high thermal conductivity. Even when a driving current is supplied to the thin film coil 48, the heat is effectively transmitted to the coil support substrate 44, and the heat is not accumulated in the thin film coil 48.
【０１００】したがって、この光磁気ヘッド部２５を用
いた光ディスク装置１は、特に、高い変調周波数時にお
いて、薄膜コイル４８の熱による発生磁界の低効率化を
招くことがなく適切な記録動作が行え、また、薄膜コイ
ル４８の断線等の損傷も抑制される。Therefore, the optical disk device 1 using the magneto-optical head unit 25 can perform an appropriate recording operation without inducing the efficiency of the magnetic field generated by the heat of the thin-film coil 48 particularly at a high modulation frequency. Further, damage such as disconnection of the thin film coil 48 is also suppressed.
【０１０１】[0101]
【実施例】本発明の効果を確認すべく、酸化アルミニウ
ムを用いてコイル支持基板を形成した光磁気記録用光学
素子（光磁気ヘッド部）を作製し、これを光ディスク装
置に用いた場合の再生特性を評価するとともに、この光
学素子の温度上昇特性を、青板ガラスを用いてコイル支
持基板を形成した光学素子を比較対象として評価した。EXAMPLES In order to confirm the effects of the present invention, an optical element (magneto-optical head) for magneto-optical recording in which a coil supporting substrate was formed using aluminum oxide was manufactured, and reproduction was performed when this was used in an optical disk device. In addition to evaluating the characteristics, the temperature rise characteristics of this optical element were evaluated using an optical element in which a coil supporting substrate was formed using blue sheet glass as a comparative object.
【０１０２】（光学素子の作製）まず、所定の厚さのコ
イル支持基板となる酸化アルミニウム基板上に、光学素
子に入射したレーザ光の反射を防止するための酸化シリ
コン膜を形成し、酸化シリコン膜が形成された酸化アル
ミニウム基板上に、接着層となるＣｒ膜を介して、スパ
ッタにより、磁性体コアの材料となるＣｏＰｄＺｒを厚
さ２．５μｍ程度に成膜した。(Production of Optical Element) First, a silicon oxide film for preventing reflection of laser light incident on the optical element is formed on an aluminum oxide substrate serving as a coil supporting substrate having a predetermined thickness. On the aluminum oxide substrate on which the film was formed, CoPdZr as a material of the magnetic core was formed to a thickness of about 2.5 μm by sputtering via a Cr film as an adhesive layer.
【０１０３】そして、エッチングプロセスにより、Ｃｏ
ＰｄＺｒ膜を中心孔を有する円環状に成形して、磁性体
コアを形成した。ここで、磁性体コアの中心孔の径は、
約１２８μｍとした。この値は、光磁気ディスクのカバ
ーガラスの厚さが２０μｍ、コイル支持基板の光磁気デ
ィスク対向面と光磁気ディスクの表面間の距離が３０μ
ｍ程度とされた環境下で、ＮＡが約０．８５となる値で
ある。Then, by the etching process, Co
The PdZr film was formed into an annular shape having a center hole to form a magnetic core. Here, the diameter of the center hole of the magnetic core is
It was about 128 μm. This value is obtained when the thickness of the cover glass of the magneto-optical disk is 20 μm, and the distance between the opposing surface of the coil support substrate and the surface of the magneto-optical disk is 30 μm.
Under an environment of about m, the NA is about 0.85.
【０１０４】次に、磁性体コア上に、薄膜コイルの材料
となるＣｕをメッキにより成膜した。そして、フォトリ
ソグラフィ技術を用いて、Ｃｕ膜を中心孔を有するスパ
イラル形状にエッチングして、薄膜コイルを形成した。Next, Cu as a material of the thin film coil was formed on the magnetic core by plating. Then, using a photolithography technique, the Cu film was etched into a spiral shape having a center hole to form a thin film coil.
【０１０５】このようにして磁性体コア及び薄膜コイル
が形成された酸化アルミニウム基板を所定の大きさに切
断して、先玉レンズ及び後玉レンズとともにレンズホル
ダに取り付け、光学素子を作製した。このとき、各部品
の傾き、偏心、高さ等は、収差が最小となるように調整
した。The aluminum oxide substrate on which the magnetic core and the thin-film coil were formed was cut into a predetermined size, and attached to a lens holder together with the front lens and the rear lens to produce an optical element. At this time, the inclination, eccentricity, height, and the like of each component were adjusted so that aberration was minimized.
【０１０６】（評価）以上のように作製された光学素子
を光ディスク装置に搭載し、この光ディスク装置で１０
ＧＢｙｔｅの光ディスクＲＯＭ（トラックピッチ：０．
５μｍ，ピット長：０．１７μｍ／ｂｉｔ）を再生した
ところ、ジッターが約７％と、十分な再生特性が得られ
ることが分かった。(Evaluation) The optical element manufactured as described above was mounted on an optical disc device, and 10
GByte optical disk ROM (track pitch: 0.
(5 μm, pit length: 0.17 μm / bit), it was found that the jitter was about 7% and sufficient reproduction characteristics were obtained.
【０１０７】また、以上のように作製された光学素子の
薄膜コイルに、電流の大きさをかえて発生磁界を変化さ
せた場合の温度上昇を測定したところ、図８に示すよう
に、コイル基板に青板ガラスを用いた場合（比較例）に
比して、温度上昇が飛躍的に抑えられることが分かっ
た。The temperature rise of the thin film coil of the optical element manufactured as described above was measured when the generated magnetic field was changed by changing the magnitude of the current. As shown in FIG. It was found that the temperature rise was drastically suppressed as compared with the case where a blue plate glass was used (Comparative Example).
【０１０８】[0108]
【発明の効果】本発明に係る光磁気記録用光学素子は、
薄膜コイルが形成されるコイル支持基板が、熱伝導率の
高い部材により形成されているので、薄膜コイルに発生
した熱はコイル支持基板に有効に伝達され、薄膜コイル
に蓄積されない。The optical element for magneto-optical recording according to the present invention has the following features.
Since the coil supporting substrate on which the thin film coil is formed is formed of a member having high thermal conductivity, heat generated in the thin film coil is effectively transmitted to the coil supporting substrate and is not accumulated in the thin film coil.
【０１０９】したがって、この光磁気記録用光学素子
は、特に、高い変調周波数時において、薄膜コイルの熱
による発生磁界の低効率化を招くことがなく、また、薄
膜コイルの断線等の損傷も抑制される。Therefore, this magneto-optical recording optical element does not cause a reduction in the efficiency of the magnetic field generated by the heat of the thin-film coil, particularly at the time of a high modulation frequency, and also suppresses damage such as disconnection of the thin-film coil. Is done.
【０１１０】また、本発明に係る光磁気記録用光学素子
は、光学記録媒体側に配されたレンズが熱伝導率の高い
部材により形成され、このレンズ上に薄膜コイルが形成
されるようになされているので、薄膜コイルに発生した
熱は光学記録媒体側に配されたレンズに有効に伝達さ
れ、薄膜コイルに蓄積されることはない。In the optical element for magneto-optical recording according to the present invention, a lens disposed on the optical recording medium side is formed of a member having high thermal conductivity, and a thin film coil is formed on the lens. Therefore, the heat generated in the thin film coil is effectively transmitted to the lens disposed on the optical recording medium side, and is not accumulated in the thin film coil.
【０１１１】したがって、この光磁気記録用光学素子
は、特に、高い変調周波数時において、薄膜コイルの熱
による発生磁界の低効率化を招くことがなく、また、薄
膜コイルの断線等の損傷も抑制される。Therefore, the optical element for magneto-optical recording does not cause the efficiency of the magnetic field generated by the heat of the thin-film coil to be reduced, particularly at a high modulation frequency, and also suppresses the damage such as disconnection of the thin-film coil. Is done.
【０１１２】また、本発明に係る記録及び／又は再生装
置は、光学素子の薄膜コイルが形成されるコイル支持基
板が、熱伝導率の高い部材により形成されているので、
薄膜コイルに発生した熱はコイル支持基板に有効に伝達
され、薄膜コイルに蓄積されない。Further, in the recording and / or reproducing apparatus according to the present invention, since the coil supporting substrate on which the thin film coil of the optical element is formed is formed of a member having high thermal conductivity,
The heat generated in the thin-film coil is effectively transmitted to the coil support substrate and is not stored in the thin-film coil.
【０１１３】したがって、この記録及び／又は再生装置
は、特に、高い変調周波数時において、薄膜コイルの熱
による発生磁界の低効率化を招くことがなく適切な記録
動作が行え、また、薄膜コイルの断線等の損傷も抑制さ
れる。Therefore, the recording and / or reproducing apparatus can perform an appropriate recording operation without inducing the efficiency of the magnetic field generated by the heat of the thin film coil particularly at a high modulation frequency, Damage such as disconnection is also suppressed.
【０１１４】また、本発明に係る記録及び／又は再生装
置は、光学素子の光学記録媒体側に配されたレンズが熱
伝導率の高い部材により形成され、このレンズ上に薄膜
コイルが形成されるようになされているので、薄膜コイ
ルに発生した熱は光学記録媒体側に配されたレンズに有
効に伝達され、薄膜コイルに蓄積されない。Further, in the recording and / or reproducing apparatus according to the present invention, the lens disposed on the optical recording medium side of the optical element is formed of a member having high thermal conductivity, and the thin film coil is formed on the lens. Thus, the heat generated in the thin film coil is effectively transmitted to the lens disposed on the optical recording medium side, and is not accumulated in the thin film coil.
【０１１５】したがって、この記録及び／又は再生装置
は、特に、高い変調周波数時において、薄膜コイルの熱
による発生磁界の低効率化を招くことがなく適切な記録
動作が行え、また、薄膜コイルの断線等の損傷も抑制さ
れる。Therefore, this recording and / or reproducing apparatus can perform a proper recording operation without inducing the efficiency of the magnetic field generated by the heat of the thin film coil, especially at a high modulation frequency, Damage such as disconnection is also suppressed.
【図１】本発明に係る記録及び／又は再生装置の構成を
示すブロック図である。FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of a recording and / or reproducing apparatus according to the present invention.
【図２】ヘッドの構成を示す模式図である。FIG. 2 is a schematic diagram illustrating a configuration of a head.
【図３】本発明に係る光学素子を示す縦断面図である。FIG. 3 is a longitudinal sectional view showing an optical element according to the present invention.
【図４】コイル部を示す平面図である。FIG. 4 is a plan view showing a coil unit.
【図５】同コイル部を示す図であり、図４におけるＡ−
Ａ線断面図である。FIG. 5 is a view showing the same coil unit,
FIG. 3 is a sectional view taken along line A.
【図６】コイル部の他例を示す縦断面図である。FIG. 6 is a longitudinal sectional view showing another example of the coil unit.
【図７】レーザ光のビーム径がコイル部の中心孔を通過
する際に決定されることを説明する模式図である。FIG. 7 is a schematic diagram illustrating that a beam diameter of a laser beam is determined when passing through a center hole of a coil unit.
【図８】本発明に係る光学素子の温度上昇特性を比較例
と比較して説明する図である。FIG. 8 is a diagram illustrating a temperature rise characteristic of an optical element according to the present invention in comparison with a comparative example.
【図９】従来の光学素子を示す縦断面図である。FIG. 9 is a longitudinal sectional view showing a conventional optical element.
１ 光ディスク装置、２ 光磁気ディスク、２ａ 光磁
気記録層、３ スピンドルモータ、４ ヘッド、５ 制
御信号生成部、６ 駆動用アクチュエータ、２５ 光磁
気ヘッド部、４１ 先玉レンズ、４２ 後玉レンズ、４
４ コイル支持基板、４６ コイル部、４７ 磁性体コ
ア、４８ 薄膜コイルREFERENCE SIGNS LIST 1 optical disk device, 2 magneto-optical disk, 2 a magneto-optical recording layer, 3 spindle motor, 4 heads, 5 control signal generator, 6 driving actuator, 25 magneto-optical head, 41 front lens, 42 rear lens, 4
4 Coil support substrate, 46 coil part, 47 magnetic core, 48 thin film coil
Claims (6)
る光を収束する対物レンズと、 上記対物レンズよりも熱伝導率の高い部材により形成さ
れ、上記対物レンズの上記光学記録媒体側に設けられた
コイル支持基板と、 上記コイル支持基板の上記光学記録媒体に対向する面に
形成された薄膜コイルとを備えることを特徴とする光磁
気記録用光学素子。1. An objective lens for converging light irradiated on a magneto-optical recording layer of an optical recording medium, and a member having a higher thermal conductivity than the objective lens. An optical element for magneto-optical recording, comprising: a coil support substrate provided; and a thin-film coil formed on a surface of the coil support substrate facing the optical recording medium.
光磁気記録層に照射される光の光路上に配された複数の
レンズを有することを特徴とする請求項１記載の光磁気
記録用光学素子。2. The magneto-optical recording apparatus according to claim 1, wherein the objective lens has a plurality of lenses disposed on an optical path of light irradiated on a magneto-optical recording layer of the optical recording medium. Optical element.
る光の光路上に配された複数のレンズを備え、 上記複数のレンズのうち、上記光学記録媒体側に配され
たレンズは、他のレンズよりも熱伝導率の高い部材で形
成されているとともに、この光学記録媒体側に配された
レンズの光学記録媒体と対向する面には、薄膜コイルが
形成されていることを特徴とする光磁気記録用光学素
子。3. A method according to claim 1, further comprising: a plurality of lenses disposed on an optical path of light applied to a magneto-optical recording layer of the optical recording medium, wherein, among the plurality of lenses, a lens disposed on the optical recording medium side comprises: It is formed of a member having higher thermal conductivity than other lenses, and a thin film coil is formed on a surface of the lens arranged on the optical recording medium side facing the optical recording medium. Optical element for magneto-optical recording.
転駆動させる回転駆動手段と、 上記光学記録媒体の光磁気記録層に向けて光を出射する
光源と、 上記光源から出射される光の光路上に配された光学素子
と、 上記光学記録媒体の光磁気記録層で反射された戻り光を
受光する受光手段と、 上記受光手段により受光された戻り光に基づいて所定の
信号を生成する信号処理回路とを備え、 上記光学素子は、 上記光源から出射される光を収束する対物レンズと、 上記対物レンズよりも熱伝導率の高い部材により形成さ
れ、上記対物レンズの上記光学記録媒体側に設けられた
コイル支持基板と、 上記コイル支持基板の上記光学記録媒体と対向する面に
形成された薄膜コイルとを備えることを特徴とする記録
及び／又は再生装置。4. A rotation driving means for rotating an optical recording medium having a magneto-optical recording layer, a light source for emitting light toward the magneto-optical recording layer of the optical recording medium, and a light source for emitting light from the light source. An optical element disposed on an optical path; light receiving means for receiving return light reflected on the magneto-optical recording layer of the optical recording medium; and generating a predetermined signal based on the return light received by the light receiving means A signal processing circuit, wherein the optical element is formed of an objective lens that converges light emitted from the light source, and a member having higher thermal conductivity than the objective lens, and the optical lens side of the objective lens And a thin film coil formed on a surface of the coil supporting substrate facing the optical recording medium.
光磁気記録層に照射される光の光路上に配された複数の
レンズを有することを特徴とする請求項４記載の記録及
び／又は再生装置。5. The recording and / or recording apparatus according to claim 4, wherein said objective lens has a plurality of lenses arranged on an optical path of light applied to a magneto-optical recording layer of said optical recording medium. Playback device.
駆動させる回転駆動手段と、 上記光学記録媒体の光磁気記録層に向けて光を出射する
光源と、 上記光源から出射される光の光路上に配された光学素子
と、 上記光学記録媒体の光磁気記録面で反射された戻り光を
受光する受光手段と、 上記受光手段により受光された戻り光に基づいて所定の
信号を生成する信号処理回路とを備え、 上記光学素子は、 上記光源から出射される光の光路上に配された複数のレ
ンズを備え、 上記複数のレンズのうち、上記光学記録媒体側に配され
たレンズは、他のレンズよりも熱伝導率の高い部材で形
成されているとともに、この光学記録媒体側に配された
レンズの光学記録媒体と対向する面には、薄膜コイルが
形成されていることを特徴とする記録及び／又は再生装
置。6. A rotation drive means for rotating an optical recording medium having a magneto-optical recording layer, a light source for emitting light toward the magneto-optical recording layer of the optical recording medium, and a light source for emitting light from the light source. An optical element disposed on an optical path; light receiving means for receiving return light reflected on the magneto-optical recording surface of the optical recording medium; and generating a predetermined signal based on the return light received by the light receiving means. A signal processing circuit, wherein the optical element includes a plurality of lenses arranged on an optical path of light emitted from the light source, and among the plurality of lenses, a lens arranged on the optical recording medium side is Is formed of a member having higher thermal conductivity than other lenses, and a thin-film coil is formed on a surface of the lens disposed on the optical recording medium side facing the optical recording medium. Record and / or Or a playback device.
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| US09/173,747 US6922376B1 (en) | 1997-10-17 | 1998-10-16 | Sil magneto-optic transducer having thin film magnetic coil and holded magnetic core |
| EP98402580A EP0910078A3 (en) | 1997-10-17 | 1998-10-19 | Optical device for photomagnetic recording, used in a recording/reproducing apparatus |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
1997
- 1997-10-17 JP JP28545197A patent/JP3783367B2/en not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002013188A1 (en) * | 2000-08-09 | 2002-02-14 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Method of manufacturing a magnetic head having a planar coil |
| KR100858451B1 (en) * | 2002-01-25 | 2008-09-16 | 후지쯔 가부시끼가이샤 | Magnetic head and data recording reproducing apparatus |
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