JPH11119253A - アクティブマトリクス型液晶表示装置およびその欠陥修正方法 - Google Patents
アクティブマトリクス型液晶表示装置およびその欠陥修正方法Info
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- JPH11119253A JPH11119253A JP28538097A JP28538097A JPH11119253A JP H11119253 A JPH11119253 A JP H11119253A JP 28538097 A JP28538097 A JP 28538097A JP 28538097 A JP28538097 A JP 28538097A JP H11119253 A JPH11119253 A JP H11119253A
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Abstract
ティブマトリクス型液晶表示装置において、輝点となっ
いている欠陥を容易に修正できる構成およびその修正方
法を提供するものである。 【解決手段】 各画素電極4には、これを表示駆動する
TFT1が接続されている。TFT1のドレイン電極6
と画素電極4が接続され、ソース電極5はソース配線3
と接続されている。なお、TFT1はゲート配線2上に
形成されている。ゲート配線2はソース配線3との交差
部付近で開口部20を有している。この開口部20の領
域にはTFT1のソース電極5の一部、ソース配線3な
どが存在している。欠陥が生じたとき、開口部20また
はTFT1をレーザー照射することにより、容易に輝点
となっている欠陥を修正することができる。
Description
タやテレビなどのディスプレイに利用され、表示用の画
素電極にスイッチング素子を介して駆動信号を印加する
ことにより、表示を行うアクティブマトリクス型液晶表
示装置に関するものである。
ランジスタを備えたアクティブマトリクス型液晶表示装
置のアクティブマトリクス基板の等価回路図を示す。こ
のアクティブマトリクス基板は、マトリクス状に形成さ
れたスイッチング素子である薄膜トランジスタ(以下、
TFTと呼ぶ)1と、各TFT1に対応して、マトリク
ス状に形成された複数の画素電極4と、これらの行方向
および列方向に対応して直交するように形成された走査
配線であるゲート配線2および信号配線であるソース配
線3とを有している。
れたTFT1のゲート電極10を兼ね、それに走査信号
を与えることによりTFT1を駆動制御する。一方、ソ
ース配線3は各TFT1のソース電極5に接続され、T
FT1の駆動時にTFT1を介してデータ信号を画素電
極4に与える。また、TFT1のドレイン電極6は画素
電極4および付加容量7の一方の端子に接続され、付加
容量7のもう一方の端子は付加容量配線8に接続され、
対向基板上の対向電極に接続される。
晶表示装置を製造しようとした場合、画素電極を小さく
して画素電極数を増やさなくてはならない。それにとも
ない、TFTも小さくして数を増やさなくてはならな
い。こうなると、アクティブマトリクス基板の製造にお
いて、製造装置の精度やダストのなどの理由で、TFT
の特性不良、画素電極と各配線、配線間どうしの電気的
リークが起こる可能性が高くなる。液晶表示装置として
点灯した場合、点欠陥あるいは線欠陥として見え、表示
品位上好ましくない。
ス型液晶表示装置において、信号配線の信号が画素電極
に正常に伝わらない場合、輝点となって見え、表示上目
立ってしまう。この欠陥の修正方法は、リーク箇所を特
定し、レーザー照射によりその部分を切断するという方
法をとっている。
周辺部は許容できても、中央部は許容できない。色でい
うならば、視覚上赤、緑、青の内一番明るい緑の輝点許
容数は厳しいなど制限がある。さらに、2画素電極、3
画素電極にまたがる欠陥であるならば、なおさら許容し
難くなる。このような場合、欠陥箇所が明確であると、
レーザー照射により容易に欠陥を修正できる。その一
方、欠陥が特定できないため、修正できない場合の方が
多い。
成されていると、輝点となっている画素電極につながっ
ているTFTのソース電極とゲート配線、ドレイン電極
とゲート配線との間で切断ができず、ソース電極とドレ
イン電極を導通させることができないため、欠陥を修正
することができない。
れているアクティブマトリクス型液晶表示装置におい
て、輝点となっている欠陥を容易に修正できる構成およ
びその修正方法を提供するものである。
表示装置は、基板上に設けられた複数の走査配線と、前
記走査配線と直交するように構成された複数の信号配線
と、前記走査配線と信号配線との交差部近傍にスイッチ
ング素子とが設けられ、画素電極がス前記スイッチング
素子のドレイン電極に接続されたアクティブマトリクス
型液晶表示装置において、前記走査配線と信号配線との
交差部で、前記信号配線を挟んで両側の領域に、開口部
を有する前記走査配線が形成され、前記開口部は絶縁膜
に覆われ、前記絶縁膜に覆われた前記開口部の領域に
は、前記スイッチング素子の一部または前記信号配線に
覆われている箇所が存在することを特徴とする。
記載のアクティブマトリクス型液晶表示装置において、
スイッチング素子の特性不良、またはスイッチング素子
近傍の前記走査配線と信号配線との交差部で欠陥が生じ
たとき、または前記信号配線と画素電極との間で欠陥が
生じたとき、前記開口部の前記スイッチング素子側の領
域にある前記走査配線を、前記開口部の両側で切断し、
前記切断された走査配線を介して、前記信号配線と前記
画素電極を接続することを特徴とする。
記載のアクティブマトリクス型液晶表示装置において、
非スイッチング素子側で前記走査配線と前記信号配線と
の交差部で欠陥が生じたとき、前記開口部の前記非スイ
ッチング素子側の領域にある前記走査配線を、前記開口
部の両側で切断することを特徴とする。
記載の液晶表示装置の構成によれば、工程内でのダス
ト、製造装置の精度により起こるTFTの特性不良、ま
たはTFT近傍のゲート配線とソース配線との交差部で
のリークが生じたとき、またはソース配線と画素電極と
の間で欠陥が生じたとき、画素電極に正常な信号が伝わ
らなくて、黒画面、単色画面にて輝点となる画素電極を
修正することにより、その画素電極が正常なソース配線
の信号と連動させ、輝点という状態を解除できる。
の特性不良、またはTFT近傍のゲート配線とソース配
線との交差部で欠陥(S−Gリーク)が生じたとき、ま
たはソース配線と画素電極との間で欠陥が生じたとき、
TFTを有するゲート配線の開口部の上側で、その画素
電極のTFTを挟むように、開口部の上側の両側2箇所
でレーザー照射を行い、ゲート配線を切断する。さら
に、そのTFTのソース電極、ドレイン電極をそれぞれ
切断されたゲート配線を介して、レーザー照射にて溶接
して、導通させる。これで、ソース配線が、切断された
ゲート配線を介して、画素電極と接続されることにな
る。従って、その画素電極はソース信号と連動するた
め、黒画面、単色画面では輝点となって見えることはな
くなる。
から離れた非TFT側のソース配線とゲート配線の交差
部で欠陥(S−Gリーク)が生じたとき、非TFT側で
あるゲート配線の開口部の下側で、開口部の下側の両側
2箇所でレーザー照射を行い、ゲート配線を切断する。
従って、この修正方法により、この画素電極は正常に動
作するため、黒画面、単色画面では輝点となって見える
ことはなくなる。
点となる状態が解除できる。さらにこの修正方法によ
り、例えば欠陥の場所、色、個数、欠陥の連なりなどに
関して良品となる基準を満たす可能性が高まり、良品率
が向上する。
いて説明する。 (実施形態1)ノーマリーホワイトのアクティブマトリ
クス型液晶表示装置であるアクティブマトリクス基板の
平面図を図1に、図1のX−X断面図を図2、図1のY
−Y断面図を図3、図1のZ−Z断面図を図4に示す。
とソース配線3が縦横方向に交差するように形成されて
いる。各画素電極4には、これを表示駆動するTFT1
が接続されている。TFT1のドレイン電極6と画素電
極4が接続され、ソース電極5はソース配線3と接続さ
れている。なお、TFT1はゲート配線2上に形成され
ている。また、ゲート配線2はソース配線3との交差部
付近で開口部20を有している。この開口部20の領域
にはTFT1のソース電極5の一部、ソース配線3など
が存在している。また、隣接するゲート配線2間には、
ゲート配線2と平行に付加容量配線8が形成されてい
る。
差部付近でゲート配線2が広くなっているのは、ゲート
配線2の幅を同じようにするために突出させているので
あり、容量を減らさず、信号遅延をおこさないようにす
るために設けている。
造およびゲート配線2の開口部20の断面について説明
する。ガラスなどの透明な絶縁性基板9上に、ゲート配
線2とソース配線3との交差部付近で開口部20を有す
るゲート配線2が形成されている。ゲート配線2は、そ
の上に構成されたTFT1のゲート電極を兼ねている。
この配設されたゲート配線2を覆って、酸化タンタル
(Ta2O5)からなる第1のゲート絶縁膜11が形成さ
れ、第1のゲート絶縁膜11の上全面を覆って、窒化シ
リコン(SiNx)からなる第2のゲート絶縁膜12が
形成されている。第2のゲート絶縁膜12上でゲート配
線2の形成位置と一部重なるように真性アモルファスシ
リコン(以下、a−Si(i)とする)からなる半導体
層13が形成されている。半導体層13の中央部には、
SiNxからなるエッチングストッパ層15が形成され
ている。半導体層13のエッチングストッパ層15を挟
んで両側上には、n+型アモルファスシリコン(以下、
a−Si(n+)とする)からなるコンタクト層14が
エッチングストッパ層15上で分断されて形成されてい
る。コンタクト層14の一方を覆ってソース配線3およ
びソース電極5が形成されており、コンタクト層14の
他方を覆って、ドレイン電極6が形成され、第2のゲー
ト絶縁膜12上に形成された酸化インジウム・スズ(I
TO)からなる画素電極4と接続されている。
断面を示す。開口部20のX−X断面は、TFT1のソ
ース電極5、ソース配線3、第1および第2のゲート絶
縁膜11、12に覆われている。図3にゲート配線2の
開口部20のY−Y断面を示す。開口部20のY−Y断
面は、ソース配線3、第1および第2のゲート絶縁膜1
1、12に覆われている。図4にゲート配線2の開口部
20のZ−Z断面を示す。開口部20のZ−Z断面は、
第1および第2のゲート絶縁膜11、12に覆われてい
る。このように、ゲート配線2の開口部20は場所によ
り、TFT1の一部、ソース配線3、第1および第2の
ゲート絶縁膜11、12に覆われている。
板の製造方法を図2に基づいて説明する。まず、ガラス
などの透明な絶縁性基板9上に、Taを堆積させて、ゲ
ート配線2とソース配線3との交差部付近で開口部20
を有するゲート配線2をパターンニングする。ゲート配
線2の表面を陽極酸化して、第1のゲート絶縁膜11を
形成する。次に、SiNx層を、第2のゲート絶縁膜1
2、a−Si(i)層となる半導体層13およびエッチ
ングストッパ層15の順に連続的に被着して、パターン
ニングして、各層を形成する。このような状態の基板上
に、コンタクト層14となるa−Si(n+)を被着さ
せ、上記のa−Si(i)とともに、パターンニング
し、半導体層13およびコンタクト層14を形成する。
ーンニングして、画素電極4を形成する。さらに、Ti
をスパッタ法により成膜し、パターンニングして、ソー
ス配線3、ソース電極5およびドレイン電極6を形成す
る。なお、実施形態1ではエッチングストッパ層15を
設けた構造としているが、エッチングストッパ層15が
なくても良い。
TFT1が構成されているアクティブマトリクス型液晶
表示装置において、輝点となっいている欠陥を容易に修
正できる。
ソース配線間でのリークを発生し難くするために、ゲー
ト配線を電気化学的手段などによって表面に陽極酸化膜
のような膜を形成して不働態化を行い、なおかつ、絶縁
膜を形成するという手法が用いられている。しかし本発
明により、発生したリーク箇所を容易に回避できること
から、表面を不働態化する必要もなくなるため、プロセ
スの短縮化が図られ、コスト低減につながる。
のアクティブマトリクス型液晶表示装置である実施形態
1において、TFT特性不良、画素電極と信号配線との
リーク、TFT近傍の走査配線と信号配線との交差部で
発生するリークなどにより、黒画面、単色画面で輝点と
なって見える画素電極の欠陥修正方法について図5を用
いて説明する。
定する。そして、TFT1を有するゲート配線2の開口
部20の上側で、その画素電極4のTFT1を挟むよう
に、開口部20の上側の両側2箇所(図5のA)でレー
ザー照射を行い、A−A間でゲート配線を切断する。こ
の切断されたゲート配線を21とする。さらに、そのT
FT1のソース電極5、ドレイン電極6をそれぞれ切断
されたゲート配線21を介して、レーザー照射により溶
接して、導通させる。開口部20の上側とは、図5のA
側の方向である。
れたゲート配線21を介して、画素電極4と接続される
ことになる。従って、その画素電極4はソース信号と連
動するため、黒画面、単色画面では輝点となって見える
ことはなくなる。従って、この修正方法では、容易に常
時輝点と状態が解除できる。さらにこの修正方法によ
り、例えば欠陥の場所、色、個数、欠陥の連なりなどに
関して良品となる基準を満たす可能性が高まり、良品率
が向上する。
のアクティブマトリクス型液晶表示装置である実施形態
1において、ソース配線2とゲート配線3の交差部で発
生すリークにより、黒画面、単色画面で輝点となって見
える画素の欠陥修正方法について、図6を用いて説明す
る。
配線3の交差部で、開口部20の下側の箇所Cでリーク
が発生しているために、輝点となっている。この場合、
非TFT1側であるゲート配線2の開口部20の下側
で、開口部20の下側の両側2箇所(図6のB)でレー
ザー照射を行い、B−B間でゲート配線を切断する。こ
の切断されたゲート配線を22とする。開口部20の下
側とは、図6のB側の方向である。
常に動作するため、黒画面、単色画面では輝点となって
見えることはなくなる。従って、この修正方法では、容
易に常時輝点となる状態が解除できる。さらにこの修正
方法により、例えば欠陥の場所、色、個数、欠陥の連な
りなどに関して良品となる基準を満たす可能性が高ま
り、良品率が向上する。
ホワイトのアクティブマトリクス型液晶表示装置につい
て説明したが、ノーマリーブラックのアクティブマトリ
クス型液晶表示装置でも、本発明は実施可能である。ま
た、上記の実施形態1から3では、付加容量配線が対向
電極に接続されている構造であるが、付加容量が隣のゲ
ート配線とで形成されている構造(Cs on Gat
e)でも、本発明は実施可能である。
ト、製造装置の精度により起こるTFTの特性不良、ま
たはTFT近傍のゲート配線とソース配線との交差部で
リークが生じたとき、またはソース配線と画素電極との
間で欠陥が生じたとき、画素電極に正常な信号が伝わら
なくて、黒画面、単色画面にて輝点となる画素電極を、
修正することにより、その画素電極が正常なソース配線
の信号と連動させ、輝点という状態を解除できる。
ート配線とソース配線との交差部で欠陥(S−Gリー
ク)が生じたとき、またはソース配線と画素電極との間
で欠陥が生じたとき、TFTを有するゲート配線の開口
部の上側で、その画素電極のTFTを挟むように、開口
部の上側の両側2箇所でレーザー照射を行い、ゲート配
線を切断する。さらに、そのTFTのソース電極、ドレ
イン電極をそれぞれ切断されたゲート配線を介して、レ
ーザー照射にて溶接して、導通させる。これで、ソース
配線が、切断されたゲート配線を介して、画素電極と接
続されることになる。従って、その画素電極はソース信
号と連動するため、黒画面、単色画面では輝点となって
見えることはなくなる。
とゲート配線の交差部で欠陥(S−Gリーク)が生じた
とき、非TFT側であるゲート配線の開口部の下側で、
開口部の下側の両側2箇所でレーザー照射を行い、ゲー
ト配線を切断する。従って、この修正方法により、この
画素電極は正常に動作するため、黒画面、単色画面では
輝点となって見えることはなくなる。
点となる状態が解除できる。さらにこの修正方法によ
り、例えば欠陥の場所、色、個数、欠陥の連なりなどに
関して良品となる基準を満たす可能性が高まり、良品率
が向上する。
素電極の平面図である。
路図を示す。
Claims (3)
- 【請求項1】 基板上に設けられた複数の走査配線と、
前記走査配線と直交するように構成された複数の信号配
線と、前記走査配線と前記信号配線との交差部近傍にス
イッチング素子とが設けられ、画素電極が前記スイッチ
ング素子のドレイン電極に接続されたアクティブマトリ
クス型液晶表示装置において、 前記走査配線と前記信号配線との交差部で、前記信号配
線を挟んで両側の領域に開口部を有する前記走査配線が
形成され、 前記開口部は絶縁膜に覆われ、 前記絶縁膜に覆われた前記開口部の領域には、前記スイ
ッチング素子の一部または前記信号配線に覆われている
箇所が存在することを特徴とするアクティブマトリクス
型液晶表示装置。 - 【請求項2】 請求項1に記載のアクティブマトリクス
型液晶表示装置の欠陥修正方法であって、前記スイッチ
ング素子の特性不良、または前記スイッチング素子近傍
の前記走査配線と前記信号配線との交差部で欠陥が生じ
たとき、または前記信号配線と前記画素電極との間で欠
陥が生じたとき、前記開口部の前記スイッチング素子側
の領域にある前記走査配線を、前記開口部の両側で切断
し、 前記切断された走査配線を介して、前記信号配線と前記
画素電極を接続することを特徴とするアクティブマトリ
クス型液晶表示装置の欠陥修正方法。 - 【請求項3】 請求項1に記載のアクティブマトリクス
型液晶表示装置の欠陥修正方法であって、非スイッチン
グ素子側で前記走査配線と前記信号配線との交差部で欠
陥が生じたとき、前記開口部の前記非スイッチング素子
側の領域にある前記走査配線を、前記開口部の両側で切
断することを特徴とするアクティブマトリクス型液晶表
示装置の欠陥修正方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP28538097A JP3335567B2 (ja) | 1997-10-17 | 1997-10-17 | アクティブマトリクス型液晶表示装置およびその欠陥修正方法 |
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JPH11119253A true JPH11119253A (ja) | 1999-04-30 |
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