JPH11114786A - Method and device for supporting thin work piece of double-end grinding machine - Google Patents
Method and device for supporting thin work piece of double-end grinding machineInfo
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- JPH11114786A JPH11114786A JP9291674A JP29167497A JPH11114786A JP H11114786 A JPH11114786 A JP H11114786A JP 9291674 A JP9291674 A JP 9291674A JP 29167497 A JP29167497 A JP 29167497A JP H11114786 A JPH11114786 A JP H11114786A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、薄型ワーク、例え
ば、光学部品のガラス、半導体シリコンウエハ、ＣＤ、
ＭＤ等のガラスディスクのような薄型ワークの両面を研
削等の処理をする加工装置に適用でき、薄型ワークを自
転させながら適用する場合の薄型ワークの支持方法及び
支持装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a thin work, for example, glass for optical components, semiconductor silicon wafer, CD,
The present invention can be applied to a processing apparatus for performing processing such as grinding on both sides of a thin work such as a glass disk such as an MD, and a method and a device for supporting a thin work when the thin work is applied while rotating.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、両頭研削砥石を有する研削装置へ
ワークを適用するための技術として、ワークより薄いワ
ークキャリアでワークを固定して研削装置の両頭研削砥
石間に保持挿入する方式（ワークキャリア支持方式）が
知られている。また、別のワークの適用技術としては、
ワークを柔らかい材料で製作したローラ型保持器で挟み
込み、該保持器のローラに対してモータ等により自動運
転を与えることによりワークを回転駆動し研削を行う方
式（ローラ支持方式）が知られている。2. Description of the Related Art Conventionally, as a technique for applying a work to a grinding apparatus having a double-headed grinding wheel, a method of fixing a work with a work carrier thinner than the work and holding and inserting the work between the double-headed grinding wheels of the grinding apparatus (work carrier) Support system) is known. Also, as another application technology of the work,
2. Description of the Related Art A method is known in which a work is sandwiched between roller-type retainers made of a soft material, and the rollers of the retainer are automatically driven by a motor or the like to rotate the work to perform grinding (roller support method). .
【０００３】図１、図２は、ワークキャリア支持方式を
採用した従来の両頭研削砥石を有する研削装置へのワー
クの適用例を示し、図１は平面図、図２は図１の研削装
置の矢印方向の側断面図である。図１及び図２におい
て、端面に平坦な研削動作面３を有するカップ型砥石１
の開放側を２個向かい合わせてなる両頭研削砥石を有す
る研削装置に対して、薄型ワーク２はワークより薄いワ
ークキャリア４で回転自在に外周が保持され、さらに該
ワークキャリア４はキャリアガイド５中に収容保持され
ており、該キャリアガイド５はキャリアガイド固定部材
８に固定されている。FIGS. 1 and 2 show an example of application of a work to a grinding machine having a conventional double-headed grinding wheel employing a work carrier support system. FIG. 1 is a plan view, and FIG. It is side sectional drawing of the arrow direction. 1 and 2, a cup-type grindstone 1 having a flat grinding operation surface 3 on an end face.
A thin work 2 is rotatably held on the outer periphery by a work carrier 4 thinner than the work, and the work carrier 4 The carrier guide 5 is fixed to a carrier guide fixing member 8.
【０００４】図３、図４は、ローラ支持方式を採用した
従来の両頭研削砥石を有する研削装置へのワークの適用
例を示し、図３は平面図、図４は図３の研削装置の矢印
方向の側断面図である。図３及び図４において、端面に
平坦な研削動作面２を有するカップ型砥石１の開放側を
２個向かい合わせてなる両頭研削砥石を有する研削装置
に対して、薄型ワーク２の外周はローラ型保持器６で保
持され、且つ薄型ワーク２の両側面は側方ガイド７で挟
まれた状態で回転駆動されている。FIGS. 3 and 4 show an example of application of a work to a conventional grinding machine having a double-headed grinding wheel employing a roller support system. FIG. 3 is a plan view, and FIG. 4 is an arrow of the grinding machine in FIG. It is side sectional drawing of a direction. 3 and 4, the outer periphery of the thin work 2 is a roller type with respect to a grinding machine having a double-headed grinding wheel in which two open sides of a cup-shaped grinding wheel 1 having a flat grinding operation surface 2 on an end face face each other. The thin work 2 is held by the holder 6 and both sides of the thin work 2 are rotationally driven while being sandwiched by the side guides 7.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】前記従来のワークキャ
リア支持方式においては、研削を行うためにはワークキ
ャリアは薄型ワークの厚みよりも薄くしなければならな
いが、そうするとワークキャリアの機械的強度が弱くな
る。そのため研削時には特にカップ型砥石の内側部では
薄型ワーク及びワークキャリアが非常に不安定で、薄型
ワークがワークキャリアより脱離したり、或いはワーク
キャリアがキャリアガイドから脱離したりするという不
都合がある。また、ワークキャリアの強度を増すために
ワークキャリア厚みを多少増加させると、ワークキャリ
アを研削し、破損を起こすという不都合がある。In the above-described conventional work carrier support system, the work carrier must be thinner than the thickness of the thin work in order to perform the grinding. However, the mechanical strength of the work carrier is reduced. Become. Therefore, particularly during grinding, the thin work and the work carrier are very unstable inside the cup-shaped grindstone, and there is a disadvantage that the thin work is detached from the work carrier or the work carrier is detached from the carrier guide. Further, if the thickness of the work carrier is slightly increased to increase the strength of the work carrier, there is a disadvantage that the work carrier is ground and damaged.
【０００６】一方、前記従来のローラ支持方式において
は、カップ型砥石の直径より薄型ワークがかなり小さい
時には、カップ型砥石の当接する部位はほぼ薄型ワーク
直径に近い所となるため、支持が不完全となり加工が不
可能となる。On the other hand, in the conventional roller supporting method, when the thin work is considerably smaller than the diameter of the cup-shaped grindstone, the contacting portion of the cup-shaped grindstone is almost close to the diameter of the thin work, so that the support is incomplete. And processing becomes impossible.
【０００７】また、前記従来の各支持方式においては、
いずれも薄型ワークの支持がカップ型砥石の外側で行わ
れるので、薄型ワークの支持は不安定である。In each of the above-mentioned conventional support systems,
In any case, since the support of the thin work is performed outside the cup-shaped grindstone, the support of the thin work is unstable.
【０００８】そこで、本発明は、薄型ワークを自転させ
ながら両面を同時に研削することができる両頭研削砥石
を有する研削装置に薄型ワークを適用する場合に、前記
した不都合を解消し、ワークの支持を安定して行えるワ
ーク支持方法及び支持装置を提供することを目的とす
る。Therefore, the present invention solves the above-mentioned disadvantages when the thin work is applied to a grinding device having a double-headed grinding wheel capable of simultaneously grinding both surfaces while rotating the thin work, and supports the work. An object of the present invention is to provide a work supporting method and a supporting device that can be stably performed.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】前記した問題点を解決す
るために、本発明は、両頭研削砥石を有する研削装置の
両頭研削砥石周面の内側に薄型ワーク支持部材を設ける
ことを特徴とする薄型ワーク支持装置である。本発明の
薄型ワーク支持装置において、両頭研削砥石周面の内側
に薄型ワーク支持部材を設けるのに、薄型ワーク支持部
材は、両頭研削砥石を固定するための固定軸に固定する
ことができる。該薄型ワーク支持部材は薄型ワークの側
方或いは外周、又は側方と外周の両方を支持してもよ
い。In order to solve the above-mentioned problems, the present invention is characterized in that a thin work support member is provided inside a double-headed grinding wheel peripheral surface of a grinding device having a double-headed grinding wheel. It is a thin work support device. In the thin work support device of the present invention, the thin work support member is provided inside the double-headed grinding wheel peripheral surface, and the thin work support member can be fixed to a fixed shaft for fixing the double-headed grinding wheel. The thin work supporting member may support the side or outer periphery of the thin work, or both the side and outer periphery.
【００１０】また、本発明の薄型ワークの支持方法は、
両頭研削砥石を有する研削装置に薄型ワークを適用させ
るための薄型ワーク支持方法において、固定されたキャ
リアガイドに保持されたワークキャリアに薄型ワークの
外周を支持し、且つ両頭研削砥石周面の内側に設けられ
た薄型ワーク支持部材により薄型ワークの側方及び／又
は外周を支持することを特徴とする。Further, the method for supporting a thin work of the present invention comprises:
In a thin work supporting method for applying a thin work to a grinding device having a double-headed grinding wheel, the outer periphery of the thin work is supported on a work carrier held by a fixed carrier guide, and the inside of the double-headed grinding wheel peripheral surface. The thin work supporting member is provided to support the side and / or outer periphery of the thin work.
【００１１】別の本発明の薄型ワークの支持方法は、両
頭研削砥石を有する研削装置に薄型ワークを適用させる
ための薄型ワーク支持方法において、薄型ワークの外周
を回転可能な外周ガイドにより支持し、且つ両頭研削砥
石周面の内側に設けられた薄型ワーク支持部材により薄
型ワークの側方及び／又は外周を支持することを特徴と
する。[0011] Another method for supporting a thin work according to the present invention is a thin work support method for applying a thin work to a grinding machine having a double-headed grinding wheel, wherein the outer periphery of the thin work is supported by a rotatable outer periphery guide. In addition, the side and / or outer periphery of the thin work is supported by a thin work support member provided inside the double-headed grinding wheel peripheral surface.
【００１２】[0012]
【発明の実施の形態】本発明の両頭研削装置の薄型ワー
ク支持方法及び支持装置を図５、図６、図７、図８に基
づいて説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A thin work supporting method and a supporting apparatus of a double-headed grinding apparatus according to the present invention will be described with reference to FIGS. 5, 6, 7 and 8. FIG.
【００１３】図５、図６は、ワークキャリア支持方式を
採用した本発明の両頭研削砥石を有する研削装置への薄
型ワークの適用例を示し、図５は平面図、図６は図５の
研削装置の矢印方向の側断面図である。図５及び図６に
おいて、端面に平坦な研削動作面１３を有するカップ型
砥石１１の開放側を２個向かい合わせて、薄型ワーク１
２に対してインフィード或いはアウトフィード可能に配
置されてなる両頭研削砥石を有する研削装置に対して、
薄型ワーク１２は、該薄型ワーク１２より薄いワークキ
ャリア１４で回転自在に外周が保持され、さらに該ワー
クキャリア１４はキャリアガイド１５中に収容保持され
ており、キャリアガイド１５はキャリアガイド固定部材
２３に固定されている。FIGS. 5 and 6 show examples of the application of a thin work to a grinding apparatus having a double-headed grinding wheel of the present invention employing a work carrier support system. FIG. 5 is a plan view, and FIG. FIG. 3 is a side sectional view of the device in the direction of the arrow. 5 and 6, two open sides of a cup-shaped grindstone 11 having a flat grinding operation surface 13 on an end face are opposed to each other to form a thin work 1.
For a grinding device having a double-headed grinding wheel arranged to be capable of infeed or outfeed with respect to 2,
The outer periphery of the thin work 12 is rotatably held by a work carrier 14 thinner than the thin work 12, and the work carrier 14 is housed and held in a carrier guide 15, and the carrier guide 15 is attached to a carrier guide fixing member 23. Fixed.
【００１４】薄型ワーク１２の両側面は、前記ワークキ
ャリア１４及びキャリアガイド１５による支持に加え、
研削装置内の内側支持部材１８によっても支持されてい
る。内側支持部材１８は研削装置の中心に位置する固定
軸２０に連結固定された固定部材２１に固定されてい
る。本発明の研削装置は、固定軸２０を中心にしてその
外側において駆動により回転することができる２個の回
転筒状体２２が、その開放側が向かい合うように配置さ
れ、さらに回転筒状体２２の端面に前記カップ型砥石１
１がその開放側が向かい合うように固定されている。本
発明の研削装置では、上記のように研削時の両カップ型
砥石１１がインフィードされて形成される中央部の内部
空間に薄型ワーク１２を支持するための内側支持部材１
８を設けている。Both sides of the thin work 12 are supported by the work carrier 14 and the carrier guide 15,
It is also supported by an inner support member 18 in the grinding device. The inner support member 18 is fixed to a fixed member 21 connected and fixed to a fixed shaft 20 located at the center of the grinding device. In the grinding device of the present invention, two rotating cylindrical bodies 22 that can be driven to rotate around the fixed shaft 20 by driving are arranged so that their open sides face each other. The cup-shaped whetstone 1 on the end face
1 are fixed such that their open sides face each other. In the grinding device of the present invention, the inner support member 1 for supporting the thin work 12 in the inner space of the central portion formed by infeeding the two cup-shaped grindstones 11 during grinding as described above.
8 are provided.
【００１５】図５及び図６の研削装置におけるワークキ
ャリア支持方式による薄型ワーク１２の支持形態はすべ
り軸受形式の支持装置を示しているが、本発明の研削装
置における薄型ワークの支持形態はこれ以外にも、各種
方法が採用可能である。例えば、キャリア支持方式によ
る薄型ワークの支持形態としては、静圧軸受形式、ロー
ラ形式等も適用できる。図５及び図６の研削装置の例で
は、薄型ワーク１２、ワークキャリア１４、キャリアガ
イド１５の両頭研削砥石面内にある部分を両側方より支
持し、且つ両頭研削砥石面外においても両側方より支持
するため、ワークキャリア１４、キャリアガイド１５が
薄くて、横方向の剛性が不足する場合でも、薄型ワーク
１２及びワークキャリア１４が回転中にキャリアガイド
１５から外れる不具合がなくなり、薄型ワーク１２の支
持が安定する。The supporting form of the thin work 12 by the work carrier supporting method in the grinding apparatus of FIGS. 5 and 6 shows a slide bearing type supporting apparatus, but the supporting form of the thin work in the grinding apparatus of the present invention is other than this. Also, various methods can be adopted. For example, as a supporting form of a thin work by a carrier supporting method, a hydrostatic bearing type, a roller type, and the like can be applied. In the example of the grinding apparatus shown in FIGS. 5 and 6, the thin work 12, the work carrier 14, and the carrier guide 15 are supported on both sides of the portion within the double-sided grinding wheel surface, and from both sides outside the double-sided grinding wheel surface. Even if the work carrier 14 and the carrier guide 15 are thin and the rigidity in the lateral direction is insufficient, there is no problem that the thin work 12 and the work carrier 14 come off from the carrier guide 15 during rotation. Becomes stable.
【００１６】図７、図８は、ローラ支持方式を採用した
別の本発明の両頭研削砥石を有する研削装置への薄型ワ
ークの適用例を示し、図７は平面図、図８は図７の研削
装置の矢印方向の側断面図である。FIGS. 7 and 8 show examples of application of a thin work to a grinding device having a double-headed grinding wheel of another invention employing a roller support system. FIG. 7 is a plan view, and FIG. It is a side sectional view of the direction of an arrow of a grinding device.
【００１７】ローラ支持方式を採用した本発明の研削装
置における薄型ワーク１２の支持は、ローラ型保持器１
６及び側方ガイド１７による支持に加え、両頭研削砥石
周面の内側に設けられた内側支持部材１８により薄型ワ
ーク１２の両側面が支持されている。内側支持部材１８
は研削装置の中心に位置する固定軸２０に連結固定され
た固定部材２１に固定されている。本発明の研削装置
は、固定軸２０を中心にしてその外側において駆動によ
り回転することができる２個の回転筒状体２２がその開
放側が向かい合うように配置され、さらに回転筒状体２
２の各端面に前記カップ型砥石１１が、その開放側が向
かい合うように固定されている。The thin work 12 is supported by the roller-type holder 1 in the grinding apparatus of the present invention employing the roller support system.
In addition to the support by the side guide 6 and the side guide 17, both side surfaces of the thin work 12 are supported by an inner support member 18 provided inside the double-headed grinding wheel peripheral surface. Inner support member 18
Is fixed to a fixed member 21 connected and fixed to a fixed shaft 20 located at the center of the grinding device. In the grinding apparatus of the present invention, two rotary cylindrical bodies 22 that can be driven and rotated around the fixed shaft 20 are arranged so that their open sides face each other.
The cup-shaped grindstone 11 is fixed to each of the end faces 2 so that the open sides thereof face each other.
【００１８】図７及び図８において、端面に平坦な研削
動作面１３を有するカップ型砥石１１の開放側を２個向
かい合わせて、薄型ワーク１２に対してインフィード或
いはアウトフィード可能に配置されてなる両頭研削砥石
を有する研削装置を構成している。該研削装置に対し
て、薄型ワーク１２の外周は、両頭研削装置の外側では
ローラ型保持器１６で支持され、且つ薄型ワーク１２の
両側面は側方ガイド１７で挟まれた状態で回転駆動さ
れ、両頭研削装置の内側では内側ローラ型保持器１９で
支持されている。このように、薄型ワーク１２の外周に
おける支持、及び両頭研削砥石の外側と内側の２カ所に
おける薄型ワーク１２の両側方からの支持を行っている
ので、薄型ワーク１２の支持が安定する。In FIG. 7 and FIG. 8, two open sides of a cup-shaped grindstone 11 having a flat grinding operation surface 13 on an end face are arranged so as to be capable of infeed or outfeed with respect to a thin work 12. A grinding device having a double-headed grinding wheel is constructed. With respect to the grinding device, the outer periphery of the thin work 12 is supported by a roller type retainer 16 outside the double-headed grinding device, and both sides of the thin work 12 are rotationally driven while being sandwiched by side guides 17. On the inside of the double-headed grinding device, it is supported by an inner roller type retainer 19. As described above, since the thin work 12 is supported on the outer periphery thereof and is supported from both sides of the double-headed grinding wheel on the outer and inner sides of the thin work 12, the support of the thin work 12 is stabilized.
【００１９】[0019]
【発明の効果】本発明によれば、両頭研削砥石を有する
研削装置において、両頭研削砥石周面の内側に薄型ワー
ク支持部材を設けているので、両頭研削砥石の外側にお
ける薄型ワークの支持と相まって、支持が安定する。According to the present invention, in the grinding apparatus having the double-headed grinding wheel, the thin work supporting member is provided inside the peripheral surface of the double-headed grinding wheel, so that the thin workpiece is supported outside the double-headed grinding wheel. , Support is stable.
【００２０】本発明のワークキャリア支持方式による薄
型ワークの支持は、薄型ワーク、ワークキャリア、キャ
リアガイドの両頭研削砥石面内にある部分を両側方より
支持し、且つ両頭研削砥石面外においても両側方より支
持しているので、薄型ワークの支持が安定する。The thin work is supported by the work carrier supporting method of the present invention by supporting the thin work, the work carrier, and the carrier guide within the double-sided grinding wheel surface from both sides, and also outside the double-sided grinding wheel surface. The support of the thin work is stabilized.
【００２１】本発明のローラ支持方式による薄型ワーク
の支持は、薄型ワークの外周における支持、及び両頭研
削砥石の外側と内側の２カ所における薄型ワークの両側
方からの支持を行っているので、薄型ワーク１２の支持
が安定する。Since the thin work is supported by the roller support system of the present invention at the outer periphery of the thin work and at both sides of the double-headed grinding wheel on the outside and inside, the thin work is supported from both sides. The support of the work 12 is stabilized.
【図１】ワークキャリア支持方式を採用した従来の両頭
研削砥石を有する研削装置へのワークの適用例を示す平
面図である。FIG. 1 is a plan view showing an example of application of a work to a grinding apparatus having a conventional double-headed grinding wheel employing a work carrier support method.
【図２】ワークキャリア支持方式を採用した従来の両頭
研削砥石を有する研削装置へのワークの適用例を示し、
図１の研削装置の矢印方向の側断面図である。FIG. 2 shows an example of application of a work to a grinding apparatus having a conventional double-headed grinding wheel employing a work carrier support method;
FIG. 2 is a side sectional view of the grinding device of FIG. 1 in a direction of an arrow.
【図３】ローラ支持方式を採用した従来の両頭研削砥石
を有する研削装置へのワークの適用例を示す平面図であ
る。FIG. 3 is a plan view showing an example of application of a work to a grinding device having a conventional double-headed grinding wheel employing a roller support method.
【図４】ローラ支持方式を採用した従来の両頭研削砥石
を有する研削装置へのワークの適用例を示し、図３の研
削装置の矢印方向の側断面図である。4 is a side sectional view of the grinding device of FIG. 3 in the direction of an arrow, showing an example of application of a work to a grinding device having a conventional double-headed grinding wheel employing a roller supporting method.
【図５】ワークキャリア支持方式を採用した本発明の両
頭研削砥石を有する研削装置への薄型ワークの適用例を
示す平面図である。FIG. 5 is a plan view showing an example in which a thin work is applied to a grinding device having a double-headed grinding wheel of the present invention employing a work carrier support method.
【図６】ワークキャリア支持方式を採用した本発明の両
頭研削砥石を有する研削装置への薄型ワークの適用例を
示し、図５の研削装置の矢印方向の側断面図である。FIG. 6 is a side sectional view of the grinding device of FIG. 5 in an arrow direction, showing an example of application of a thin work to a grinding device having a double-head grinding wheel of the present invention employing a work carrier support method.
【図７】ローラ支持方式を採用した本発明の両頭研削砥
石を有する研削装置への薄型ワークの適用例を示す平面
図である。FIG. 7 is a plan view showing an example in which a thin work is applied to a grinding device having a double-headed grinding wheel of the present invention employing a roller support method.
【図８】ローラ支持方式を採用した本発明の両頭研削砥
石を有する研削装置への薄型ワークの適用例を示し、図
７の研削装置の矢印方向の側断面図である。8 is a side sectional view of the grinding device shown in FIG. 7 in an arrow direction, showing an example in which a thin work is applied to a grinding device having a double-headed grinding wheel of the present invention employing a roller support method.
１、１１ カップ型砥石 ２、１２ 薄型ワーク ３、１３ 研削動作面 ４、１４ ワークキャリア ５、１５ キャリアガイド ６、１６ ローラ型保持器 ７、１７ 側方ガイド ８、２３ キャリアガイド固定部材 １８ 内側支持部材 １９ 内側ローラ型保持器 ２０ 固定軸 ２１ 固定部材 ２２ 回転筒状体 1, 11 Cup-type grindstone 2, 12 Thin work 3, 13 Grinding operation surface 4, 14 Work carrier 5, 15 Carrier guide 6, 16 Roller type retainer 7, 17 Side guide 8, 23 Carrier guide fixing member 18 Inside support Member 19 Inner roller type retainer 20 Fixed shaft 21 Fixed member 22 Rotating cylindrical body
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 原 一敬 神奈川県平塚市夕陽ケ丘63番30号 住友重 機械工業株式会社平塚事業所内 (72)発明者 冨田 良幸 神奈川県平塚市夕陽ケ丘63番30号 住友重 機械工業株式会社平塚事業所内 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Kazutaka Hara 63-30 Yuyogaoka, Hiratsuka-shi, Kanagawa Sumitomo Heavy Industries Machinery Co., Ltd. (72) Yoshiyuki Tomita 63-30 Yuigaoka, Hiratsuka-shi, Kanagawa Heavy Machinery Co., Ltd. Hiratsuka Office
Claims (5)
削砥石周面の内側に薄型ワーク支持部材を設けることを
特徴とする薄型ワーク支持装置。1. A thin work supporting device, wherein a thin work supporting member is provided inside a double-headed grinding wheel peripheral surface of a grinding device having a double-ended grinding wheel.
石を固定するための固定軸に固定されていることを特徴
とする請求項１記載の薄型ワーク支持装置。2. The thin work supporting apparatus according to claim 1, wherein the thin work supporting member is fixed to a fixed shaft for fixing a double-ended grinding wheel.
の側方を支持することを特徴とする請求項１又は２記載
の薄型ワーク支持装置。3. The thin work support device according to claim 1, wherein the thin work support member supports a side of the thin work.
ークを適用させるための薄型ワーク支持方法において、
固定されたキャリアガイドに保持されたキャリアに薄型
ワークの外周を支持し、且つ両頭研削砥石周面の内側に
設けられた薄型ワーク支持部材により薄型ワークの側方
及び／又は外周を支持することを特徴とする薄型ワーク
支持方法。4. A thin work supporting method for applying a thin work to a grinding device having a double-headed grinding wheel,
The outer periphery of the thin work is supported by the carrier held by the fixed carrier guide, and the side and / or outer periphery of the thin work is supported by the thin work supporting member provided inside the double-headed grinding wheel. Characteristic thin work support method.
ークを適用させるための薄型ワーク支持方法において、
薄型ワークの外周を回転可能な外周ガイドにより支持
し、且つ両頭研削砥石周面の内側に設けられた薄型ワー
ク支持部材により薄型ワークの側方及び／又は外周を支
持することを特徴とする薄型ワーク支持方法。5. A thin work supporting method for applying a thin work to a grinding device having a double-headed grinding wheel,
A thin work wherein the outer periphery of the thin work is supported by a rotatable outer circumferential guide, and the side and / or outer periphery of the thin work is supported by a thin work supporting member provided inside the double-headed grinding wheel circumferential surface. Support method.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9291674A JPH11114786A (en) | 1997-10-08 | 1997-10-08 | Method and device for supporting thin work piece of double-end grinding machine |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9291674A JPH11114786A (en) | 1997-10-08 | 1997-10-08 | Method and device for supporting thin work piece of double-end grinding machine |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11114786A true JPH11114786A (en) | 1999-04-27 |
Family
ID=17771966
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9291674A Pending JPH11114786A (en) | 1997-10-08 | 1997-10-08 | Method and device for supporting thin work piece of double-end grinding machine |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11114786A (en) |
Cited By (2)
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| KR100862360B1 (en) | 2007-03-13 | 2008-10-13 | 채귀남 | Viration prevent device for brake disc grinding apparatus of vechicle |
| KR101117431B1 (en) * | 2004-01-22 | 2012-02-29 | 고요 기카이 고교 가부시키가이샤 | Double-end surface grinding machine |
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1997
- 1997-10-08 JP JP9291674A patent/JPH11114786A/en active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101117431B1 (en) * | 2004-01-22 | 2012-02-29 | 고요 기카이 고교 가부시키가이샤 | Double-end surface grinding machine |
| KR100862360B1 (en) | 2007-03-13 | 2008-10-13 | 채귀남 | Viration prevent device for brake disc grinding apparatus of vechicle |
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