JPH11108918A - Inspection method for inorganic separation film - Google Patents
Inspection method for inorganic separation filmInfo
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- JPH11108918A JPH11108918A JP28450697A JP28450697A JPH11108918A JP H11108918 A JPH11108918 A JP H11108918A JP 28450697 A JP28450697 A JP 28450697A JP 28450697 A JP28450697 A JP 28450697A JP H11108918 A JPH11108918 A JP H11108918A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、分離用セラミック
ス膜（無機分離膜）に存在する可能性のある欠陥の有無
を検査するための検査方法に関し、特に、高温ガス分離
用セラミックス膜の製膜状態を観察し、欠陥を検出する
ための検査方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an inspection method for inspecting a ceramic film for separation (inorganic separation film) for possible defects, and more particularly to a method for forming a ceramic film for high-temperature gas separation. The present invention relates to an inspection method for observing a state and detecting a defect.
【０００２】[0002]
【従来の技術】通常、ゼオライトをはじめとする無機分
離膜は、多孔質セラミックス支持体（以下、多孔質支持
体という。）に担持されて使用される。2. Description of the Related Art In general, an inorganic separation membrane such as zeolite is used by being supported on a porous ceramic support (hereinafter referred to as a porous support).
【０００３】従来、このような膜の形態観察および検査
方法として、染色法による光学的観察やＳＥＭ（走査電
子顕微鏡）による微細観察が広く用いられている。染色
液としては、ローダミンＢなどの赤色染色液や、紫外線
蛍光塗料が使用される。Heretofore, as a method of observing and inspecting the morphology of such a film, optical observation by a staining method and fine observation by a SEM (scanning electron microscope) have been widely used. As the staining solution, a red staining solution such as rhodamine B or an ultraviolet fluorescent paint is used.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかし、前記ＳＥＭに
よる観察はサンプリングと表面の導体コーティングを必
要とする微小部観察であり、破壊検査であるため、分離
膜全体を検査することができないと共に、検査後に再利
用することもできない。However, the observation by the SEM is a microscopic observation that requires sampling and conductor coating on the surface, and is a destructive inspection. It cannot be reused later.
【０００５】また、前記染色法の場合、多孔質支持体と
膜の染色度の相違を観察するため、膜の存在は確認でき
るものの、製膜状態の観察までは不可能であり、クラッ
ク、ピンホールなどを正確に検出することはできない。
更に、多孔質支持体と無機分離膜の境界部に染色のにじ
み等が存在するため、膜厚についても概略の推定しかで
きず、製膜状態の検査方法としては不十分である。ま
た、前記染色液による染色を完全に除去するためには、
数百度での熱処理を必要とすることも多い。[0005] In the above-mentioned staining method, since the difference in the degree of staining between the porous support and the membrane is observed, the presence of the membrane can be confirmed. Holes and the like cannot be detected accurately.
Furthermore, since there is blurring of dyeing at the boundary between the porous support and the inorganic separation membrane, the film thickness can only be roughly estimated, which is insufficient as a method for inspecting the state of film formation. Further, in order to completely remove the staining by the staining solution,
Heat treatment at several hundred degrees is often required.
【０００６】本発明は、上記問題点を解決し、検査後で
も使用可能な非破壊の光学的検査により、製膜状態を判
定し、無機分離膜に存在する可能性のある欠陥の有無を
検査して、欠陥が存在する場合には欠陥を検出すること
ができる簡便で正確な無機分離膜の検査方法を提供する
ことを目的とする。The present invention solves the above-mentioned problems, and determines the film formation state by nondestructive optical inspection which can be used even after the inspection, and inspects the presence or absence of a defect which may be present in the inorganic separation membrane. It is another object of the present invention to provide a simple and accurate method for inspecting an inorganic separation membrane, which can detect a defect when the defect exists.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明者は、多孔質支持
体に担持された無機分離膜の欠陥の有無を検査する場合
に、前記多孔質支持体に特定の屈折率を有する含浸物質
を含浸させて前記多孔質支持体のみを透明化することに
より、前記無機分離膜に欠陥が存在するか否かを認識な
いし判断することができるということ、即ち、前記無機
分離膜に欠陥が存在する場合に前記欠陥を検出すること
（前記欠陥の存在を確認すること）ができ、前記無機分
離膜に欠陥が存在しない場合には前記欠陥が存在しない
ということを確認することができるということを見出し
本発明を完成するに至った。Means for Solving the Problems The present inventor, when examining the presence or absence of defects in an inorganic separation membrane carried on a porous support, impregnates the porous support with an impregnating substance having a specific refractive index. By making only the porous support transparent by impregnation, it is possible to recognize or determine whether or not a defect exists in the inorganic separation membrane, that is, the inorganic separation membrane has a defect. In this case, it is possible to detect the defect (confirm the existence of the defect), and to confirm that the defect does not exist when the inorganic separation membrane does not have a defect. The present invention has been completed.
【０００８】即ち、本発明によれば、含浸物質を含浸す
る透明な多孔質支持体に担持される不透明な無機分離膜
を検査する検査工程を含む無機分離膜の検査方法により
上記問題点を解決することができる。上記本発明の無機
分離膜の検査方法では、前記含浸物質として、前記多孔
質支持体に含浸させた場合に前記多孔質支持体を透明化
させ前記多孔質支持体と前記無機分離膜を区別するのに
十分な程度に前記多孔質支持体の屈折率に近い屈折率を
有する含浸物質を用いることができる。上記本発明の無
機分離膜の検査方法では、前記多孔質支持体は、好まし
くは、前記多孔質支持体と前記無機分離膜に前記含浸物
質を含浸させた場合に前記多孔質支持体を透明化させ前
記多孔質支持体と前記無機分離膜を区別するのに十分な
程度に屈折率が前記無機分離膜と相違することができ
る。That is, according to the present invention, the above problems are solved by an inspection method of an inorganic separation membrane including an inspection step of inspecting an opaque inorganic separation membrane supported on a transparent porous support impregnated with an impregnating substance. can do. In the method for inspecting an inorganic separation membrane of the present invention, when the porous support is impregnated as the impregnating substance, the porous support is made transparent to distinguish the porous support from the inorganic separation membrane. An impregnating substance having a refractive index close to the refractive index of the porous support to a sufficient extent can be used. In the method for inspecting an inorganic separation membrane of the present invention, the porous support preferably clarifies the porous support when the porous support and the inorganic separation membrane are impregnated with the impregnating substance. The refractive index of the porous support may be different from that of the inorganic separation membrane to an extent sufficient to distinguish the inorganic separation membrane.
【０００９】上記本発明の無機分離膜の検査方法では、
前記多孔質支持体の屈折率をＡとし前記含浸物質の屈折
率をＣとした場合において、−４≦１００（Ｃ−Ａ）／
Ａ≦４を満たすようにすることができる。上記本発明の
無機分離膜の検査方法では、前記無機分離膜の屈折率を
Ｂとし前記含浸物質の屈折率をＣとした場合において、
１００（Ｃ−Ｂ）／Ｂ ＞ ４又は１００（Ｃ−Ｂ）／Ｂ
＜−４を満たすようにすることができる。In the method for inspecting an inorganic separation membrane according to the present invention,
When the refractive index of the porous support is A and the refractive index of the impregnated substance is C, -4 ≦ 100 (CA) /
A ≦ 4 can be satisfied. In the inspection method of the inorganic separation membrane of the present invention, when the refractive index of the inorganic separation membrane is B and the refractive index of the impregnated substance is C,
100 (CB) / B> 4 or 100 (CB) / B
<−4 can be satisfied.
【００１０】上記本発明の無機分離膜の検査方法では、
前記多孔質支持体はアルミナを主成分とし、前記無機分
離膜はゼオライト及びシリカのうちの１種以上を主成分
とし、前記含浸物質の屈折率は１．７０〜１．８０であ
るようにすることができる。上記本発明の無機分離膜の
検査方法では、前記無機分離膜は、前記多孔質支持体の
表面に積層して担持されたものにすることができる。In the method for inspecting an inorganic separation membrane according to the present invention,
The porous support has alumina as a main component, the inorganic separation membrane has at least one of zeolite and silica as a main component, and a refractive index of the impregnated material is 1.70 to 1.80. be able to. In the method for inspecting an inorganic separation membrane according to the present invention, the inorganic separation membrane may be stacked and supported on the surface of the porous support.
【００１１】[0011]
【作用】本発明では、屈折率が異なる２つの材料の各々
により多孔質支持体と無機分離膜が構成された多孔性積
層体の検査（観察）に際して、多孔質支持体をこれと同
等の特定範囲の屈折率を有する含浸物質で含浸する。こ
れにより、多孔質支持体の表面では、多孔質支持体の材
料（素材）と空気との屈折率差に起因する光散乱（乱反
射）が抑止されるため、見かけ上透明となる。そのた
め、多孔質支持体表面に製膜されたゼオライトをはじめ
とする無機分離膜のみを前記多孔質支持体と区別して観
察することができる。According to the present invention, when inspecting (observing) a porous laminate in which a porous support and an inorganic separation membrane are constituted by two materials having different refractive indexes, the porous support is specified by an equivalent specification. Impregnate with an impregnating substance having a refractive index in the range. Thereby, light scattering (diffuse reflection) due to a difference in the refractive index between the material (material) of the porous support and air is suppressed on the surface of the porous support, so that the porous support is apparently transparent. Therefore, only the inorganic separation membrane such as zeolite formed on the surface of the porous support can be observed separately from the porous support.
【００１２】なお、無機分離膜に前記含浸物質が含浸し
ても、無機分離膜の屈折率と多孔質支持体の屈折率が一
定値以上離れている場合は、無機分離膜の光散乱（乱反
射）をなくすことはできず、前記含浸物質を含浸する前
と同様に白色に見える。Even when the inorganic separation membrane is impregnated with the impregnating substance, if the refractive index of the inorganic separation membrane and the refractive index of the porous support are apart from each other by a certain value or more, light scattering (diffuse reflection) of the inorganic separation membrane is caused. ) Cannot be eliminated and appear white as before impregnation with the impregnating substance.
【００１３】また、観察後は洗浄もしくは数十〜１５０
℃程度の加熱処理により、含浸物質を完全に除去するこ
とも容易である。After observation, wash or dozens to 150
It is also easy to completely remove the impregnated substance by a heat treatment at about ° C.
【００１４】本発明の方法によれば、無機分離膜全体に
対して、一切の破壊を伴うことなく、無機分離膜のみを
薄層状に（前記無機分離膜の全体にわたって）観察する
ことができる。そのため、前記無機分離膜全体の形態観
察を行い、かつ前記無機分離膜の製膜時に発生したピン
ホールやクラックを光学的に検出することが容易とな
る。また、前記無機分離膜の断面を観察することによ
り、前記無機分離膜の厚みを正確に測定することができ
る。更に、観察後に含浸物質を除去することにより元の
状態に復することも容易なので、製品検査方法としても
適している。なお、本発明において数値範囲の記載は、
両端値のみならず、その中に含まれる全ての任意の中間
値を含むものとする。According to the method of the present invention, only the inorganic separation membrane can be observed in a thin layer (over the entire inorganic separation membrane) without any destruction of the entire inorganic separation membrane. Therefore, it becomes easy to observe the morphology of the entire inorganic separation membrane and optically detect pinholes and cracks generated during the formation of the inorganic separation membrane. Further, by observing the cross section of the inorganic separation membrane, the thickness of the inorganic separation membrane can be accurately measured. Further, since it is easy to return to the original state by removing the impregnated substance after observation, it is suitable as a product inspection method. In the present invention, the description of the numerical range,
It shall include not only the end values but also any arbitrary intermediate values contained therein.
【００１５】[0015]
〔無機分離膜の検査方法〕本発明の無機分離膜の検査方
法は、含浸物質を含浸する透明な多孔質支持体に担持さ
れる不透明な無機分離膜を検査する検査工程を含む。こ
の検査工程では、好ましくは、無機分離膜を観察して無
機分離膜に欠陥が存在すること、又は無機分離膜に欠陥
が存在しないことを確認する。無機分離膜の観察には、
例えば顕微鏡を用いることができる。また、必要に応じ
て無機分離膜の断面を観察することにより、無機分離膜
の厚さを測定することができる。無機分離膜の厚さは、
例えば、光学顕微鏡による観察、エリプソメトリー、ひ
ずみ測定、レーザー顕微鏡による観察、Ｘ線による測定
等により測定することができる。[Inspection method of inorganic separation membrane] The inspection method of the inorganic separation membrane of the present invention includes an inspection step of inspecting an opaque inorganic separation membrane carried on a transparent porous support impregnated with an impregnating substance. In this inspection step, preferably, the inorganic separation membrane is observed to confirm that a defect exists in the inorganic separation membrane or that no defect exists in the inorganic separation membrane. To observe the inorganic separation membrane,
For example, a microscope can be used. In addition, by observing the cross section of the inorganic separation membrane as needed, the thickness of the inorganic separation membrane can be measured. The thickness of the inorganic separation membrane is
For example, it can be measured by observation using an optical microscope, ellipsometry, strain measurement, observation using a laser microscope, measurement using an X-ray, or the like.
【００１６】無機分離膜の欠陥としては、例えば、ピン
ホールやクラック等がある。これらの欠陥が存在する
と、分離性能が極端に低下してしまう。本発明の検査方
法によれば、特に、無機分離膜の表層面から当該無機分
離膜を貫通し当該無機分離膜の下地の多孔質支持体の表
面に達してしまうようなピンホールやクラックを精度よ
く簡単に検出することができる。Defects in the inorganic separation membrane include, for example, pinholes and cracks. If these defects are present, the separation performance will be extremely reduced. According to the inspection method of the present invention, in particular, pinholes and cracks that penetrate the inorganic separation membrane from the surface of the inorganic separation membrane and reach the surface of the porous support underlying the inorganic separation membrane can be accurately detected. It can be easily and easily detected.
【００１７】無機分離膜は、例えば、光学顕微鏡等の顕
微鏡で観察することができる。顕微鏡の倍率は、通常
は、検査しようとする無機分離膜に応じて分離性能を極
端に低下させてしまうような欠陥が見える程度の倍率に
適宜設定し、例えば１０〜１０００倍程度にすることが
できる。光学顕微鏡で観察する場合、好ましくは、無機
分離膜の表面（外側の表面）に光学顕微鏡の焦点を合わ
せる。なお、無機分離膜の形状が管状の場合であって当
該無機分離膜の内壁面（内周面）を観察する場合は、フ
ァイバースコープ等を用いることができる。無機分離膜
を観察する際の温度は、通常は常温でよい。The inorganic separation membrane can be observed, for example, with a microscope such as an optical microscope. The magnification of the microscope is usually appropriately set to such an extent that defects such as extremely degrading the separation performance are seen depending on the inorganic separation membrane to be inspected, for example, about 10 to 1000 times. it can. When observing with an optical microscope, the optical microscope is preferably focused on the surface (outer surface) of the inorganic separation membrane. When the inner wall surface (inner peripheral surface) of the inorganic separation membrane is observed when the shape of the inorganic separation membrane is tubular, a fiberscope or the like can be used. Normally, the temperature at the time of observing the inorganic separation membrane may be room temperature.
【００１８】含浸物質を含浸する多孔質支持体は、多孔
質支持体（無機分離膜を担持する多孔質支持体）を含浸
物質に含浸させて得ることができる。本発明の検査方法
では、無機分離膜に含浸物質を含浸させることを必須と
しないが、無機分離膜の屈折率と多孔質支持体の屈折率
が相違するので（即ち、多孔質支持体は、多孔質支持体
と無機分離膜に含浸物質を含浸させた場合に多孔質支持
体のみが透明化する程度に屈折率が無機分離膜と相違す
るので）、含浸物質が無機分離膜に含浸した場合でも無
機分離膜は白色のままであり透明化しない。A porous support impregnated with an impregnating substance can be obtained by impregnating a porous support (a porous support carrying an inorganic separation membrane) with an impregnating substance. In the inspection method of the present invention, it is not essential to impregnate the inorganic separation membrane with the impregnating substance, but since the refractive index of the inorganic separation membrane is different from that of the porous support (that is, the porous support is When the porous support and the inorganic separation membrane are impregnated with the impregnating substance, the refractive index is different from that of the inorganic separation membrane to such an extent that only the porous support becomes transparent). However, the inorganic separation membrane remains white and does not become transparent.
【００１９】含浸物質は、無機分離膜との境界がわかる
程度の深さで多孔質支持体の表面層部分に含浸させれば
十分であり、多孔質支持体の全体に含浸させる必要はな
いが多孔質支持体の全体に含浸させることができる。It is sufficient that the impregnating substance is impregnated into the surface layer portion of the porous support at a depth such that the boundary with the inorganic separation membrane can be recognized. It is not necessary to impregnate the entire porous support. The entire porous support can be impregnated.
【００２０】含浸物質を多孔質支持体（無機分離膜を担
持する多孔質支持体）に含浸させるためには、例えば、
含浸物質を満たした容器に前記多孔質支持体を浸し、当
該容器を減圧下（好ましくは０．０１ＭＰａ以下、より
好ましくは０．００５ＭＰａ以下）で保持する。前記減
圧下で保持する時間は、前記減圧時の圧力に応じて適宜
定めるものであり、通常は無機分離膜との界面を越えて
多孔質支持体の表面層部分程度までに含浸物質が含浸す
る時間以上の時間でよい。例えば、０．００５ＭＰａに
減圧した場合は、好ましくは１０分間以上（より好まし
くは３０分間以上、さらに好ましくは１〜６時間）保持
する。In order to impregnate a porous support (a porous support carrying an inorganic separation membrane) with an impregnating substance, for example,
The porous support is immersed in a container filled with the impregnating substance, and the container is held under reduced pressure (preferably 0.01 MPa or less, more preferably 0.005 MPa or less). The time of holding under the reduced pressure is appropriately determined according to the pressure at the time of the reduced pressure, and is usually impregnated with the impregnating substance up to the surface layer portion of the porous support beyond the interface with the inorganic separation membrane. More than an hour is fine. For example, when the pressure is reduced to 0.005 MPa, the pressure is preferably maintained for 10 minutes or more (more preferably 30 minutes or more, further preferably 1 to 6 hours).
【００２１】［多孔質支持体と無機分離膜］本発明の無
機分離膜の検査方法の対象は、多孔質支持体に担持され
ている無機分離膜である。無機分離膜は、好ましくは、
多孔質支持体と無機分離膜の双方に所定の同一の含浸物
質を含浸させた場合に、多孔質支持体のみを透明化させ
無機分離膜を透明化させない程度に屈折率が多孔質支持
体と相違する無機分離膜であり、かかる条件を満たす無
機分離膜であれば、各種の分離膜用のセラミックス膜
（特に、高温ガス分離用のセラミックス膜）に適用でき
る。[Porous Support and Inorganic Separation Membrane] The subject of the method for inspecting an inorganic separation membrane of the present invention is an inorganic separation membrane supported on a porous support. The inorganic separation membrane is preferably
When both the porous support and the inorganic separation membrane are impregnated with the same predetermined impregnating substance, the refractive index of the porous support is such that only the porous support is made transparent and the inorganic separation membrane is not made transparent. Any inorganic separation membrane that is a different inorganic separation membrane and satisfies the above conditions can be applied to various types of ceramic membranes for separation membranes (particularly, ceramic membranes for high-temperature gas separation).
【００２２】多孔質支持体と無機分離膜の組み合わせの
例としては、例えば、多孔質支持体がアルミナ、ジルコ
ニア及びチタニアのうちの１種以上から成り、無機分離
膜がゼオライト及びシリカのうちの１種以上から成る場
合がある。多孔質支持体は、アルミナ、ジルコニア及び
チタニアのうちの１種と同一又は近い値の屈折率を有す
る無機物質を本発明の効果を損なわない範囲で含有して
いてもよい。また、無機分離膜は、ゼオライト及びシリ
カのうちの１種と同一又は近い値の屈折率を有する無機
物質を本発明の効果を損なわない範囲で含有していても
よい。As an example of the combination of the porous support and the inorganic separation membrane, for example, the porous support is made of one or more of alumina, zirconia and titania, and the inorganic separation membrane is made of one of zeolite and silica. May consist of more than one species. The porous support may contain an inorganic substance having a refractive index equal to or close to one of alumina, zirconia, and titania as long as the effects of the present invention are not impaired. Further, the inorganic separation membrane may contain an inorganic substance having a refractive index equal to or close to one of zeolite and silica as long as the effect of the present invention is not impaired.
【００２３】多孔質支持体と無機分離膜の屈折率の差
は、多孔質支持体の屈折率をＡとし無機分離膜の屈折率
をＢとした場合において、好ましくは１００（Ａ−Ｂ）
／Ｂ＞ ４、又は１００（Ａ−Ｂ）／Ｂ ＜−４である。
より好ましくは１００（Ａ−Ｂ）／Ｂ ＞６、又は１０
０（Ａ−Ｂ）／Ｂ ＜−６である。さらに好ましくは１
００（Ａ−Ｂ）／Ｂ ＞１０、又は１００（Ａ−Ｂ）／
Ｂ ＜−１０である。The difference between the refractive indices of the porous support and the inorganic separation membrane is preferably 100 (AB) when the refractive index of the porous support is A and the refractive index of the inorganic separation membrane is B.
/ B> 4, or 100 (AB) / B <-4.
More preferably, 100 (AB) / B> 6 or 10
0 (AB) / B <-6. More preferably, 1
00 (AB) / B> 10 or 100 (AB) /
B <−10.
【００２４】多孔質支持体と無機分離膜の屈折率の差
は、好ましくは、０．０８以上（より好ましくは０．２
以上、さらに好ましくは０．３〜０．５）である。多孔
質支持体がアルミナ、ジルコニア及びチタニアのうちの
１種以上を主成分（好ましくは９０重量％以上、より好
ましくは９５重量％以上、さらに好ましくは９８重量％
以上）とし、無機分離膜がゼオライト及びシリカのうち
の１種以上を主成分（好ましくは９０重量％以上、より
好ましくは９５重量％以上、さらに好ましくは９８重量
％以上）とする場合は、好ましくは、０．０８以上（よ
り好ましくは０．２以上、さらに好ましくは０．３〜
０．５）である。The difference in the refractive index between the porous support and the inorganic separation membrane is preferably 0.08 or more (more preferably 0.28 or more).
Above, more preferably 0.3 to 0.5). The porous support contains at least one of alumina, zirconia and titania as a main component (preferably at least 90% by weight, more preferably at least 95% by weight, further preferably at least 98% by weight).
Above), and when the inorganic separation membrane contains at least one of zeolite and silica as a main component (preferably at least 90% by weight, more preferably at least 95% by weight, further preferably at least 98% by weight). Is 0.08 or more (more preferably 0.2 or more, further preferably 0.3 to
0.5).
【００２５】無機分離膜の厚さは、好ましくは０．１μ
ｍ以上（より好ましくは１μｍ以上、さらに好ましくは
１０μｍ以上）であり、例えば、５０μｍから１００μ
ｍ程度にすることができる。The thickness of the inorganic separation membrane is preferably 0.1 μm.
m (more preferably 1 μm or more, further preferably 10 μm or more), for example, 50 μm to 100 μm.
m.
【００２６】多孔質支持体が薄膜の形態の場合、強度の
点で問題が生じない程度の厚さを有するものを用いるこ
とができる。When the porous support is in the form of a thin film, a support having a thickness that does not cause a problem in strength can be used.
【００２７】無機分離膜は、好ましくは、多孔質支持体
（より好ましくは薄膜形態の多孔質支持体）の表面に積
層して形成されて多孔質支持体に担持されている無機分
離膜、あるいは多孔質支持体の細孔内部をうめるように
膜化し担持されている無機分離膜である。The inorganic separation membrane is preferably formed by laminating on the surface of a porous support (more preferably, a porous support in the form of a thin film) and supported by the porous support, or This is an inorganic separation membrane that is formed into a film so as to fill the inside of the pores of the porous support and is supported.
【００２８】多孔質支持体の形状は、無機分離膜の形状
に応じて適宜の形状のものがあり、例えば、板状、管
状、モノリス状、ハニカム状等の各種の形状のものがあ
る。無機分離膜エレメント（多孔質支持体と無機分離膜
から成るもの）の形状は、上記のような多孔質支持体の
表面あるいは細孔内部に無機分離膜が担持された形状に
することができる。The shape of the porous support has an appropriate shape according to the shape of the inorganic separation membrane. For example, there are various shapes such as a plate, a tube, a monolith, and a honeycomb. The shape of the inorganic separation membrane element (comprising the porous support and the inorganic separation membrane) can be a shape in which the inorganic separation membrane is supported on the surface of the porous support or inside the pores as described above.
【００２９】無機分離膜の形状が板状の場合には、例え
ば、多孔質支持体としては、当該板状の無機分離膜の少
なくとも一方の側面に直接形成されたものがある。ま
た、無機分離膜の形状が管状の場合には、例えば、多孔
質支持体としては、当該管状の無機分離膜の内面側及び
外面側のいずれか一方又は双方に直接形成されたものが
ある。When the shape of the inorganic separation membrane is plate-like, for example, the porous support may be one directly formed on at least one side surface of the plate-like inorganic separation membrane. When the shape of the inorganic separation membrane is tubular, for example, as the porous support, there is a porous support directly formed on one or both of the inner surface and the outer surface of the tubular inorganic separation membrane.
【００３０】多孔質支持体に担持された無機分離膜は、
以下に示すような従来から知られている所定の製造方法
により得られたものを用いることができる。まず、無機
粉体と有機バインダと水を所定量で混練して得られた混
練物を成形して（例えば、押出成形して）成形体を得
て、得られた成形体を乾燥し焼成して多孔質支持体を得
る。そして、この多孔質支持体に、例えば水熱合成法、
ゾルゲル法、ＣＶＤ（化学蒸着、化学的気相成長）法、
ＰＶＤ（物理蒸着）法等の無機分離膜形成方法により無
機分離膜を形成する。The inorganic separation membrane supported on the porous support is
Those obtained by a conventionally known predetermined manufacturing method as shown below can be used. First, a kneaded product obtained by kneading inorganic powder, an organic binder and water in a predetermined amount is molded (for example, extruded) to obtain a molded product, and the obtained molded product is dried and fired. To obtain a porous support. And, on this porous support, for example, hydrothermal synthesis method,
Sol-gel method, CVD (chemical vapor deposition, chemical vapor deposition) method,
An inorganic separation membrane is formed by an inorganic separation membrane forming method such as a PVD (physical vapor deposition) method.
【００３１】［含浸物質］本発明の検査方法では、含浸
物質として、好ましくは、多孔質支持体に含浸させた場
合に前記多孔質支持体を透明化させ前記多孔質支持体と
前記無機分離膜を区別するのに十分な程度に前記多孔質
支持体の屈折率に近い屈折率を有する含浸物質を用い
る。[Impregnated Substance] In the inspection method of the present invention, as the impregnated substance, preferably, when the porous support is impregnated, the porous support is made transparent so that the porous support and the inorganic separation membrane can be used. An impregnating substance having a refractive index close to the refractive index of the porous support to an extent sufficient to discriminate the above is used.
【００３２】含浸物質の屈折率は、多孔質支持体の屈折
率をＡとし含浸物質の屈折率をＣとした場合において、
好ましくは−４≦１００（Ｃ−Ａ）／Ａ≦４を満たすよ
うにし、より好ましくは−３≦１００（Ｃ−Ａ）／Ａ≦
３を満たすようにし、さらに好ましくは−２≦１００
（Ｃ−Ａ）／Ａ≦２を満たすようにし、特に好ましくは
−１≦１００（Ｃ−Ａ）／Ａ≦１を満たすようにする。The refractive index of the impregnated substance is as follows, where A is the refractive index of the porous support and C is the refractive index of the impregnated substance.
Preferably, -4 ≦ 100 (CA) / A ≦ 4 is satisfied, and more preferably, -3 ≦ 100 (CA) / A ≦.
3 and more preferably −2 ≦ 100
(CA) / A ≦ 2 is satisfied, particularly preferably −1 ≦ 100 (CA) / A ≦ 1.
【００３３】含浸物質は、好ましくは液状体であり、固
体の物質を液体の含浸物質に溶解して成る含浸液や、固
体（好ましくは微粒子状の固体）を液体の含浸物質に分
散させて成る含浸液も含まれる。なお、含浸物質として
は、多孔質支持体に含浸させることができるものであれ
ばよく、例えば通常は固体であるが多孔質支持体に含浸
させる際に例えば加熱等により液状にすることができる
含浸物質を用いることができる。The impregnating substance is preferably a liquid substance, and is formed by dissolving a solid substance in a liquid impregnating substance, or dispersing a solid (preferably a particulate solid) in a liquid impregnating substance. An impregnating liquid is also included. The impregnating substance may be any substance that can be impregnated into the porous support. For example, the impregnating substance is usually a solid, but can be made into a liquid state by heating or the like when impregnating the porous support. Substances can be used.
【００３４】また、含浸物質は、単一の液体物質だけで
なく、複数の液体物質の混合物にすることができる。In addition, the impregnating substance can be not only a single liquid substance but also a mixture of a plurality of liquid substances.
【００３５】多孔質支持体がアルミナ、ジルコニア及び
チタニアのうちの１種以上を主成分（好ましくは９０重
量％以上、より好ましくは９５重量％以上、さらに好ま
しくは９８重量％以上）する場合、含浸物質としては、
例えば、ジヨードメタン（屈折率１．７４）、ジヨード
メタンに硫黄を溶解して得られたもの（例えば屈折率を
１．７８にしたもの）、１−ヨードナフタレン（屈折率
１．７０）等がある。これら液状の含浸物質は、本発明
の検査方法終了後に、多孔質支持体及び無機分離膜から
含浸物質を除去する際に簡単に除去することができる。When the porous support contains at least one of alumina, zirconia and titania as a main component (preferably at least 90% by weight, more preferably at least 95% by weight, further preferably at least 98% by weight), As a substance,
For example, there are diiodomethane (refractive index: 1.74), one obtained by dissolving sulfur in diiodomethane (for example, one having a refractive index of 1.78), 1-iodonaphthalene (refractive index: 1.70), and the like. These liquid impregnated substances can be easily removed when the impregnated substances are removed from the porous support and the inorganic separation membrane after the completion of the inspection method of the present invention.
【００３６】本発明における屈折率は、アッベ屈折計を
用いて測定した値（可視光（白色光）による測定値）で
ある。The refractive index in the present invention is a value measured using an Abbe refractometer (measured value by visible light (white light)).
【００３７】［検査方法の一例］本発明の無機分離膜の
検査方法の一例を図面の図１に基づいて説明する。図１
の１に示すように、アルミナ支持体にゼオライト膜が積
層して成る積層体の形態で、ゼオライト膜（被検査膜）
はアルミナ支持体に担持されている。[Example of Inspection Method] An example of the inspection method of the inorganic separation membrane of the present invention will be described with reference to FIG. FIG.
As shown in (1), a zeolite membrane (membrane to be inspected) is in the form of a laminate formed by laminating a zeolite membrane on an alumina support.
Is supported on an alumina support.
【００３８】しかし、前記ゼオライト膜及び前記アルミ
ナ支持体はともに白色なので、前記積層体の全体が白色
であるために、前記ゼオライト膜の表面側から顕微鏡で
みた場合も（図１の２−ａ）、及び前記積層体の断面を
顕微鏡でみた場合も（図１の２−ｂ）、欠陥あるいはゼ
オライト膜の膜厚はともに検出することはできない（図
１の２−ｂ中には、ゼオライト膜とアルミナ支持体の境
界は正確にわからないので破線で示した。）。However, since the zeolite membrane and the alumina support are both white, the whole of the laminate is white. Therefore, when viewed from the surface side of the zeolite membrane with a microscope (2-a in FIG. 1). Also, when the cross section of the laminate is observed with a microscope (2-b in FIG. 1), neither the defect nor the film thickness of the zeolite film can be detected. The boundaries of the alumina support are not shown exactly and are indicated by dashed lines.)
【００３９】そこで、前記積層体にジヨードメタンを含
浸させると、アルミナ支持体部分のみが透明になり、ゼ
オライト膜部分のみが観察できるようになる。前記積層
体の断面を観察すれば、ゼオライト膜部分だけが白色に
見えるので（図１の３−ｂ）、前記ジヨードメタンの含
浸前に不明瞭であった境界部分（前記ゼオライト膜と前
記アルミナ支持体との境界部分）がはっきりと確認で
き、ゼオライト膜の膜厚が正確に把握（検出）できる。
また、ゼオライト膜の表面を観察した場合、欠陥がなけ
れば図１の３−ａに示すように含浸前（図１の２−ａ）
と変わらない状態が確認できるが、ゼオライト膜にクラ
ックが存在する場合には図１の４−ａに示すように筋状
の亀裂が確認（検出）できるようになる。ピンホールや
クラック等の欠陥は、光学顕微鏡で観察すると通常は黒
色に見える。Therefore, when the laminate is impregnated with diiodomethane, only the alumina support portion becomes transparent, and only the zeolite membrane portion can be observed. When observing the cross section of the laminate, only the zeolite membrane portion looks white (3-b in FIG. 1), so that the boundary portion (the zeolite membrane and the alumina support) which was unclear before the impregnation with diiodomethane was observed. (A boundary portion between the zeolite membrane) and the thickness of the zeolite membrane can be accurately grasped (detected).
When the surface of the zeolite membrane was observed, if there was no defect, as shown in 3-a of FIG. 1, before impregnation (2-a in FIG. 1)
However, when cracks exist in the zeolite membrane, streak-like cracks can be confirmed (detected) as shown in FIG. 1A. Defects such as pinholes and cracks usually appear black when observed with an optical microscope.
【００４０】[0040]
［実施例１］支持体部と同等の屈折率を有する液体を含
浸して、光学顕微鏡観察を行った。観察用試料には、管
状支持体上にゼオライト（ＳｉＯ2のみから成り、シリ
カライトと呼ばれるもの）膜を製膜したものを作成し、
スライスしたものを用いた。[Example 1] A liquid having the same refractive index as that of the support was impregnated and observed with an optical microscope. The observation sample was prepared by forming a zeolite (made of only SiO 2 and called silicalite) film on a tubular support,
The sliced one was used.
【００４１】観察用試料は、以下のように作成した。ま
ず、原料として、アルミナ粉１００部（重量部、以下同
様）、メチルセルロース２部、水２０部を、混練機で３
０分混練した。次に、この混練物を押出成形し、乾燥さ
せた。その後、１３００℃、２時間の焼成により、多孔
質支持体を得た。その後、この支持体を用いて、所望の
ゼオライト膜を水熱合成法により製膜した後、ダイヤモ
ンドカッターで厚み１ｍｍにスライスした。The observation sample was prepared as follows. First, as a raw material, 100 parts of alumina powder (parts by weight, the same applies hereinafter), 2 parts of methylcellulose, and 20 parts of water were mixed in a kneader to give 3 parts.
Kneaded for 0 minutes. Next, the kneaded material was extruded and dried. Thereafter, the support was fired at 1300 ° C. for 2 hours to obtain a porous support. Then, using this support, a desired zeolite membrane was formed by a hydrothermal synthesis method, and then sliced to a thickness of 1 mm with a diamond cutter.
【００４２】含浸液には、ジヨードメタン（沃化メチレ
ンＣＨ2Ｉ2）（屈折率１．７４）を用いた。含浸は試料
を含浸液中に浸し、真空デシケーターに設置して真空に
脱気し、１５分保持して、液を完全に浸透させた。As the impregnating liquid, diiodomethane (methylene iodide CH 2 I 2 ) (refractive index: 1.74) was used. For the impregnation, the sample was immersed in the impregnating solution, placed in a vacuum desiccator, evacuated to vacuum, and held for 15 minutes to completely infiltrate the solution.
【００４３】その後、光学顕微鏡による観察を行い、製
膜状態および膜厚測定を行った。Thereafter, observation with an optical microscope was performed to measure the film formation state and the film thickness.
【００４４】その結果、アルミナ支持体部（屈折率１．
７７）は、ほぼ完全に透明化し、ゼオライト膜のみが白
色の薄い層として観察され、ゼオライト膜の膜厚を正確
に測定することができた。また、表面観察では全体が白
色に観察でき、貫通したピンホール等があれば見られる
であろう黒点は見られず、アルミナ支持体表面をゼオラ
イト膜が完全に覆っている様子が明らかとなった。な
お、ゼオライト膜の厚さは、光学顕微鏡により２００倍
の倍率で撮影した写真より測定した（以下同様）。As a result, the alumina support portion (refractive index 1.
No. 77) was almost completely transparent, only the zeolite membrane was observed as a thin white layer, and the thickness of the zeolite membrane could be measured accurately. In addition, the surface observation can be observed as white as a whole, and the black spots that would be seen if there were pinholes penetrated were not seen, indicating that the zeolite membrane completely covered the alumina support surface. . The thickness of the zeolite membrane was measured from a photograph taken at a magnification of 200 times with an optical microscope (the same applies hereinafter).
【００４５】［実施例２〜３及び比較例１〜４］含浸液
と支持体部の屈折率の許容差を検討するため、異なる数
種類の液体を含浸して、光学顕微鏡観察を行った。観察
用試料には、実施例１と同じ方法で作成したものを用い
た。[Examples 2 to 3 and Comparative Examples 1 to 4] In order to examine the tolerance of the refractive index between the impregnating liquid and the support, several different liquids were impregnated and observed with an optical microscope. A sample prepared in the same manner as in Example 1 was used as an observation sample.
【００４６】含浸液には、グリセリン（比較例１）、ヨ
ウ化カリウム水溶液（比較例２）、１−クロロナフタレ
ン（比較例３）、１−ブロモナフタレン（比較例４）、
１−ヨードナフタレン（実施例２）、ジヨードメタンに
硫黄を溶解させて屈折率を上げたもの（実施例３）を用
いた。含浸は、試料を含浸液中に浸し、真空デシケータ
ーに設置して真空に脱気し、１５分保持して、液を完全
に浸透させた。Glycerin (Comparative Example 1), aqueous potassium iodide solution (Comparative Example 2), 1-chloronaphthalene (Comparative Example 3), 1-bromonaphthalene (Comparative Example 4),
1-Iodonaphthalene (Example 2) and one in which sulfur was dissolved in diiodomethane to increase the refractive index (Example 3) were used. For the impregnation, the sample was immersed in the impregnating liquid, placed in a vacuum desiccator, degassed in vacuum, and kept for 15 minutes to completely penetrate the liquid.
【００４７】その後、光学顕微鏡による観察を行い、製
膜状態および膜厚測定を行った。Thereafter, observation with an optical microscope was performed to measure the film formation state and the film thickness.
【００４８】その結果、屈折率の差が４％以内のもので
あれば、アルミナ支持体部（屈折率１．７７）は観察困
難な程度に透明化し、ゼオライト膜がより白色の強い薄
層として観察された。ゼオライト膜の膜厚もほぼ正確に
測定することが可能であった。なお、前記屈折率の差と
は、アルミナ支持体の屈折率をＡとし前記含浸液の屈折
率をＢとした場合における、１００（Ｂ−Ａ）／Ａの絶
対値［％］のことである。As a result, if the difference in refractive index is within 4%, the alumina support (refractive index: 1.77) becomes transparent to the extent that it is difficult to observe, and the zeolite film becomes a thin layer having a stronger white color. Was observed. The thickness of the zeolite membrane could be measured almost exactly. Note that the difference in the refractive index is an absolute value [%] of 100 (BA) / A when the refractive index of the alumina support is A and the refractive index of the impregnating liquid is B. .
【００４９】上記実施例１〜３と比較例１〜４の結果
（含浸液の種類、含浸液の屈折率、アルミナ支持体部の
透明度及びゼオライト膜のみの観察の可否）を次の表１
に示す。The results of Examples 1 to 3 and Comparative Examples 1 to 4 (type of impregnating liquid, refractive index of impregnating liquid, transparency of alumina support, and whether or not only zeolite membrane can be observed) are shown in Table 1 below.
Shown in
【００５０】なお、表１におけるアルミナ支持体部の透
明度の○はゼオライト膜のみを白色の強い薄層として観
察できる程度にアルミナ支持体部が十分透明化している
ことを示し、△は不明瞭ではあるがゼオライト膜を薄層
として観察できる程度にアルミナ支持体部が透明化して
いることを示し、×はアルミナ支持体部は透明化せずゼ
オライト膜のみを観察することはできないことを示す。In Table 1, ○ in the transparency of the alumina support portion indicates that the alumina support portion is sufficiently transparent such that only the zeolite membrane can be observed as a strong white thin layer. However, the alumina support is transparent to such an extent that the zeolite membrane can be observed as a thin layer, and x indicates that the alumina support is not transparent and only the zeolite membrane cannot be observed.
【００５１】また、表１における膜観察の可否（アルミ
ナ支持体部とゼオライト膜を区別してゼオライト膜のみ
を観察することの可否）の○はゼオライト膜のみを白色
の強い薄層として十分観察できたことを示し、△はゼオ
ライト膜のみを白色の強い薄層として観察できたことを
示し、×はゼオライト膜のみを白色の強い薄層として観
察できなかったこと（アルミナ支持体部とゼオライト膜
の区別ができなかったこと）を示す。In Table 1, "O" indicates whether or not the membrane was observed (whether or not only the zeolite membrane could be observed while distinguishing the alumina support portion from the zeolite membrane), and that only the zeolite membrane was sufficiently observed as a strong white thin layer. △ indicates that only the zeolite membrane could be observed as a strong white thin layer, and x indicates that only the zeolite membrane could not be observed as a strong white thin layer (difference between alumina support and zeolite membrane). Could not be done).
【００５２】[0052]
【表１】 [Table 1]
【００５３】[0053]
【発明の効果】請求項１〜７の無機分離膜の検査方法
は、含浸物質を含浸する透明な多孔質支持体に担持され
る不透明な無機分離膜を検査する検査工程を含むので、
次のような基本的効果を奏することができる。The method for inspecting an inorganic separation membrane according to claims 1 to 7 includes an inspection step for inspecting an opaque inorganic separation membrane carried on a transparent porous support impregnated with an impregnating substance.
The following basic effects can be obtained.
【００５４】検査対象である無機分離膜を損なうことな
く欠陥を検出することができる。即ち、多孔質支持体の
みを透明化し、破壊を伴うことなく、無機分離膜のみを
光学的に観察することができるため、無機分離膜全体を
観察し、無機分離膜に存在する欠陥の有無を検出（前記
欠陥の存在を確認）した後、後工程で修正（前記欠陥の
補修）等を正確に行うことが可能となる。従って、無機
分離膜の歩留まりを向上させることができる。Defects can be detected without damaging the inorganic separation membrane to be inspected. That is, since only the porous support is made transparent and the inorganic separation membrane alone can be optically observed without destruction, the entire inorganic separation membrane is observed, and the presence or absence of defects existing in the inorganic separation membrane is determined. After the detection (confirmation of the existence of the defect), a correction (repair of the defect) or the like can be accurately performed in a later process. Therefore, the yield of the inorganic separation membrane can be improved.
【００５５】請求項２〜７の無機分離膜の検査方法は、
前記それぞれの構成をさらに具備するので、上記基本的
効果が顕著である。The method for inspecting an inorganic separation membrane according to claims 2 to 7 comprises:
Since the above-described respective configurations are further provided, the above-described basic effects are remarkable.
【図１】本発明の無機分離膜の検査方法の一例を説明す
るための図である。図１の１はアルミナ支持体にゼオラ
イト膜が積層して成る積層体の概略外観を示し、図１の
２−ａは前記積層体の前記ゼオライト膜の表面側を示す
図であり、図１の２−ｂは前記積層体の断面を示す図で
あり、図１の３−ａは積層体にジヨードメタンを含浸さ
せた後の前記ゼオライト膜の表面側を示す図（前記ゼオ
ライト膜に欠陥がない場合）であり、図１の３−ｂは前
記積層体にジヨードメタンを含浸させた後の前記積層体
の断面を示す図であり、図１の４−ａは前記積層体にジ
ヨードメタンを含浸させた後の前記ゼオライト膜の表面
側を示す図（前記ゼオライト膜にクラックが存在する場
合）である。FIG. 1 is a diagram for explaining an example of an inspection method of an inorganic separation membrane of the present invention. 1 shows a schematic appearance of a laminate in which a zeolite membrane is laminated on an alumina support, and 2-a in FIG. 1 is a diagram showing the surface side of the zeolite membrane of the laminate, and FIG. 2-b is a view showing a cross section of the laminate, and 3-a in FIG. 1 is a view showing a surface side of the zeolite membrane after diiodomethane is impregnated in the laminate (when the zeolite membrane has no defect). 3-b in FIG. 1 is a view showing a cross section of the laminate after the laminate is impregnated with diiodomethane, and 4-a in FIG. 1 is a diagram after impregnation of the laminate with diiodomethane. FIG. 3 is a diagram showing a surface side of the zeolite membrane (when cracks are present in the zeolite membrane).
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 田口 久富 愛知県名古屋市西区則武新町三丁目１番36 号 株式会社ノリタケカンパニーリミテド 内 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continued on the front page (72) Inventor Hisatomi Taguchi 3-36 Noritakeshinmachi, Nishi-ku, Nagoya-shi, Aichi Prefecture Noritake Co., Ltd.
Claims (7)
担持される不透明な無機分離膜を検査する検査工程を含
むことを特徴とする無機分離膜の検査方法。1. An inspection method for an inorganic separation membrane, comprising an inspection step of inspecting an opaque inorganic separation membrane supported on a transparent porous support impregnated with an impregnating substance.
含浸させた場合に前記多孔質支持体を透明化させ前記多
孔質支持体と前記無機分離膜を区別するのに十分な程度
に前記多孔質支持体の屈折率に近い屈折率を有する含浸
物質を用いることを特徴とする請求項１に記載の無機分
離膜の検査方法。2. The method according to claim 1, wherein the impregnating substance is made transparent to the porous support when the porous support is impregnated, so that the porous support is distinguished from the inorganic separation membrane. The method for testing an inorganic separation membrane according to claim 1, wherein an impregnating substance having a refractive index close to the refractive index of the porous support is used.
前記無機分離膜に前記含浸物質を含浸させた場合に前記
多孔質支持体を透明化させ前記多孔質支持体と前記無機
分離膜を区別するのに十分な程度に屈折率が前記無機分
離膜と相違することを特徴とする請求項１〜２のいずれ
かに記載の無機分離膜の検査方法。3. When the porous support and the inorganic separation membrane are impregnated with the impregnating substance, the porous support is made transparent to form the porous support and the inorganic separation membrane. The method for inspecting an inorganic separation membrane according to claim 1, wherein a refractive index of the inorganic separation membrane is different from that of the inorganic separation membrane to an extent sufficient to distinguish the membrane.
浸物質の屈折率をＣとした場合において、−４≦１００
（Ｃ−Ａ）／Ａ≦４であることを特徴とする請求項１〜
３のいずれかに記載の無機分離膜の検査方法。4. When the refractive index of the porous support is A and the refractive index of the impregnated substance is C, -4 ≦ 100.
(C-A) / A≤4.
3. The method for inspecting an inorganic separation membrane according to any one of 3.
物質の屈折率をＣとした場合において、１００（Ｃ−
Ｂ）／Ｂ ＞ ４又は１００（Ｃ−Ｂ）／Ｂ ＜−４であ
ることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の無
機分離膜の検査方法。5. When the refractive index of the inorganic separation membrane is B and the refractive index of the impregnated substance is C, 100 (C−
The method for inspecting an inorganic separation membrane according to any one of claims 1 to 4, wherein B) / B> 4 or 100 (CB) / B <-4.
し、前記無機分離膜はゼオライト及びシリカのうちの１
種以上を主成分とし、前記含浸物質の屈折率は１．７０
〜１．８０であることを特徴とする請求項１〜５のいず
れかに記載の無機分離膜の検査方法。6. The porous support mainly comprises alumina, and the inorganic separation membrane comprises one of zeolite and silica.
The impregnated substance has a refractive index of 1.70
The method for inspecting an inorganic separation membrane according to any one of claims 1 to 5, wherein the number is from 1.80 to 1.80.
面に積層して担持されていることを特徴とする請求項１
〜６のいずれかに記載の無機分離膜の検査方法。7. The method according to claim 1, wherein the inorganic separation membrane is supported by being laminated on the surface of the porous support.
7. The method for inspecting an inorganic separation membrane according to any one of claims 1 to 6.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28450697A JPH11108918A (en) | 1997-10-01 | 1997-10-01 | Inspection method for inorganic separation film |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28450697A JPH11108918A (en) | 1997-10-01 | 1997-10-01 | Inspection method for inorganic separation film |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11108918A true JPH11108918A (en) | 1999-04-23 |
Family
ID=17679397
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28450697A Withdrawn JPH11108918A (en) | 1997-10-01 | 1997-10-01 | Inspection method for inorganic separation film |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11108918A (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004132951A (en) * | 2002-06-07 | 2004-04-30 | Interuniv Micro Electronica Centrum Vzw | Method for wafer level detection as to integrity of layer |
| US7390347B2 (en) | 2000-08-07 | 2008-06-24 | Noritake Co., Ltd. | Zeolite membranes for selective oxidation of carbon monoxide in mixed hydrogen gas source |
| JP2013083493A (en) * | 2011-10-07 | 2013-05-09 | Koichi Takahashi | Method for inspecting deterioration of structure, structure, and coating |
| KR20190130838A (en) * | 2018-05-15 | 2019-11-25 | 서울대학교산학협력단 | Method of analysing membrane defect |
-
1997
- 1997-10-01 JP JP28450697A patent/JPH11108918A/en not_active Withdrawn
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