JPH11108640A - Optical touch sensor - Google Patents
Optical touch sensorInfo
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- JPH11108640A JPH11108640A JP28275597A JP28275597A JPH11108640A JP H11108640 A JPH11108640 A JP H11108640A JP 28275597 A JP28275597 A JP 28275597A JP 28275597 A JP28275597 A JP 28275597A JP H11108640 A JPH11108640 A JP H11108640A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明が属する技術分野】本発明は、光ファイバを用い
た光学式触覚センサに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical tactile sensor using an optical fiber.
【０００２】[0002]
【従来の技術】触覚部とある物体との接触を検知するた
めの触覚センサは、さまざまな分野で利用されており、
検出方式としても電気信号により検出する方式や光信号
により検出する方式などがあり、前記光信号により検出
する方式の光学式触覚センサにおいては、例えば生体内
などのように電気を用いることが好ましくない場合など
にも用いることができるという利点がある。2. Description of the Related Art Tactile sensors for detecting contact between a tactile unit and an object are used in various fields.
As a detection method, there are a method of detecting by an electric signal and a method of detecting by an optical signal.In an optical tactile sensor of a method of detecting by the optical signal, it is not preferable to use electricity such as in a living body. There is an advantage that it can also be used in such cases.
【０００３】前記光学式触覚センサとしては、例えば特
開平８−１６６２９８号公報、特開平８−３２７４７５
号公報に記載の光学式触覚センサなどがある。これらは
反射部が設けられている触覚部と、前記反射部と対向す
る位置に設けられている光ファイバとからなり、該光フ
ァイバから前記反射部へ光を出射して、該反射部からの
反射光を前記光ファイバにより受光し、その反射光の強
度を検出している。そして、前記触覚部が何かに接触す
ると前記反射部が移動や撓みなどを生じ、反射光の強度
が変化する。この強度変化を検出することにより、前記
触覚部が何かに接触したことを検知するものである。As the optical tactile sensor, for example, Japanese Patent Application Laid-Open Nos. 8-166298 and 8-327475.
There is an optical tactile sensor described in Japanese Patent Application Laid-Open Publication No. H11-15095. These consist of a tactile part provided with a reflection part, and an optical fiber provided at a position facing the reflection part, and emit light from the optical fiber to the reflection part, and The reflected light is received by the optical fiber, and the intensity of the reflected light is detected. Then, when the tactile portion comes into contact with something, the reflecting portion moves or bends, and the intensity of the reflected light changes. By detecting the change in intensity, it is detected that the tactile portion has come into contact with something.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述の
ような光学式触覚センサの場合、反射光の強度変化を検
出しているため、例えば、前記触覚センサを曲部のある
管内に挿入して利用する場合には光ファイバに曲げ損失
が生じて反射光強度が変化する場合などがあり、触覚部
の接触か否かの判断が困難になる。However, in the case of the optical tactile sensor as described above, since the change in the intensity of the reflected light is detected, for example, the tactile sensor is used by inserting it into a tube having a curved portion. In some cases, bending loss may occur in the optical fiber and the intensity of reflected light may change, making it difficult to determine whether or not the tactile portion is in contact.
【０００５】また、前記光ファイバの曲げ損失の影響を
なくすための方法として、前記反射光の強度測定用の光
ファイバとは別にもう１本校正用の光ファイバを設け
て、この校正用光ファイバによって曲げ損失を測定し、
前記測定用光ファイバの強度を校正することにより、強
度変化が触覚部の接触によるものか否かを判断する方法
があるが、この場合、光ファイバが２本になることから
触覚センサ全体の外径が太くなってしまうことや、光信
号の検出側で校正を行う必要があり、構成、信号処理な
どが複雑になるなどの問題が生じる。As a method for eliminating the influence of the bending loss of the optical fiber, another optical fiber for calibration is provided separately from the optical fiber for measuring the intensity of the reflected light. Measuring the bending loss by
By calibrating the intensity of the measuring optical fiber, there is a method of judging whether or not the change in intensity is due to the contact of the tactile portion. In this case, since the number of optical fibers is two, the outside of the entire tactile sensor is required. Problems such as an increase in diameter and the necessity of performing calibration on the optical signal detection side complicate the configuration and signal processing.
【０００６】従って本発明は、光ファイバの曲げ損失な
どに影響されることがなく、また、簡単な構成で触覚部
の接触を正確に検出することができる光学式触覚センサ
を提供することを目的とする。Accordingly, it is an object of the present invention to provide an optical tactile sensor which is not affected by bending loss of an optical fiber and which can accurately detect contact of a tactile portion with a simple structure. And
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明の光学式触覚セン
サは、センサ先端部に設けられた触覚部と、該触覚部の
画像を受像するイメージガイドと、該イメージガイドの
基端側に設けられ、前記イメージガイドの受像した画像
を処理する画像処理手段とからなり、該画像処理手段に
より、受像した画像中の触覚部の変位を検出することを
特徴とするものである。SUMMARY OF THE INVENTION An optical tactile sensor according to the present invention includes a tactile portion provided at a distal end of the sensor, an image guide for receiving an image of the tactile portion, and a proximal end of the image guide. And image processing means for processing the image received by the image guide, wherein the image processing means detects displacement of the tactile part in the received image.
【０００８】前記触覚部は、イメージガイドの受像領域
の少なくとも一部を覆うよう設ければよく、イメージガ
イドの受像領域の一部を覆う態様や、イメージガイドの
受像領域の全てを覆う態様などとすることができる。触
覚部がイメージガイドの受像領域の全てを覆う態様とし
た場合には、触覚部のイメージガイドによって受像され
る部分に、文字や図形などを描くなど、触覚部の画像を
捉えた際に認識しやすいようにすることで触覚部の変位
を容易に検出することができる。しかしながら、触覚部
がイメージガイドの先端に設けるような微小部材であ
り、触覚部がイメージガイドの受像領域の一部を覆うよ
うに設ける方が、前記触覚部がイメージガイドの受像可
能な領域の一部にあるので、イメージガイドによって触
覚部自体の像を受像するのみでよく、前述のように触覚
部のイメージガイドによって受像される部分に、文字や
図形などを設けておくなどの特別な手段を施す必要がな
いため、構成が簡単であり、作製も容易となるので好ま
しい。The tactile section may be provided so as to cover at least a part of the image receiving area of the image guide. The tactile portion may cover a part of the image receiving area of the image guide, or may cover all of the image receiving area of the image guide. can do. If the tactile section covers the entire image guide receiving area, the image of the tactile section is recognized when the image of the tactile section is captured, such as by drawing a character or figure on the part received by the image guide of the tactile section. By making it easy, the displacement of the tactile part can be easily detected. However, if the tactile portion is a minute member provided at the tip of the image guide, and the tactile portion is provided so as to cover a part of the image receiving area of the image guide, the tactile portion is one of the image receivable areas of the image guide. Because it is in the part, it is only necessary to receive the image of the haptic part itself by the image guide, and special means such as providing characters and graphics in the part received by the image guide of the haptic part as described above Since there is no need for application, the structure is simple and the fabrication is easy, which is preferable.
【０００９】前記触覚部が、イメージガイドの視野の一
部を遮る先端部と、該先端部が被検体との接触により、
前記イメージガイドの視野内を移動自在とする変形部と
で構成されるカンチレバーからなり、該カンチレバーが
イメージガイド先端に設けられることによって、触覚部
の作製、触覚部のイメージガイド先端への取り付けが容
易となり好ましい。また、前記カンチレバーの先端部が
イメージガイドの受像可能な領域の一部にあるので、イ
メージガイドによってカンチレバー像を受像するのみで
よく、前述のようにカンチレバーに画像の移動を判別す
るための文字や図形などを設けておくなどの特別な手段
を施す必要がないため、構成が簡単であるとともに、作
製も容易となるので好ましい。[0009] The tactile part is a tip part that blocks a part of the field of view of the image guide, and the tip part comes into contact with the subject.
The image guide comprises a cantilever composed of a deformable portion that is movable within the field of view, and the cantilever is provided at the tip of the image guide, thereby facilitating production of the tactile portion and attachment of the tactile portion to the tip of the image guide. Is preferable. Also, since the tip of the cantilever is located in a part of the image guide receivable area, it is only necessary to receive the cantilever image by the image guide. Since it is not necessary to provide any special means such as providing a figure or the like, it is preferable because the configuration is simple and the production is easy.
【００１０】前記画像処理手段としては、１次元位置検
出素子やＣＣＤのような２次元位置検出素子など入射光
信号を電気信号として出力する位置検出素子であればよ
い。しかしながら、１次元位置検出素子を用いることに
よって、変位した画像の処理速度を早くすることがで
き、構成が簡単であり、かつ応答速度の早い触覚センサ
を得ることができるので好ましい。The image processing means may be a position detecting element which outputs an incident light signal as an electric signal, such as a one-dimensional position detecting element or a two-dimensional position detecting element such as a CCD. However, the use of the one-dimensional position detecting element is preferable because the processing speed of the displaced image can be increased, and a tactile sensor having a simple configuration and a high response speed can be obtained.
【００１１】[0011]
【発明の実施の態様】以下発明の実施態様につき詳細に
説明する。図１は本発明の光学式触覚センサの一実施例
を示した概略図である。図にしたがって説明すると、１
はイメージガイドであり、該イメージガイド先端には対
物レンズ３が設けられており、また、イメージガイド１
に並列した状態でライトガイド２が設けられている。前
記イメージガイド１の先端には触覚部となるカンチレバ
ー４が設けられており、該カンチレバー４は、先端部４
ａが変形部４ｂを介して本体部４ｃに一体的に接続され
ている。そして、該カンチレバー４は、先端部４ａが前
記イメージガイド１の先端側でイメージガイド１の受像
領域の一部を覆うように、かつ、前記カンチレバー４の
先端部４ａが変位可能なように、変形部４ｂが対物レン
ズ３から前記カンチレバー４の先端部４ａまでの間とな
るようにして、本体部４ｃをイメージガイド先端に取り
付けている。さらに、前記イメージガイド１の基端側に
は、レンズ５を介して画像処理手段として、検出回路７
が接続された光電変換可能な位置検出素子６が設けられ
ている。なお、前記ライトガイド２の基端側は光源８に
接続されている。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of the present invention will be described below in detail. FIG. 1 is a schematic view showing an embodiment of the optical tactile sensor of the present invention. To explain according to the figure, 1
Denotes an image guide, and an objective lens 3 is provided at the tip of the image guide.
The light guide 2 is provided in parallel with the light guide 2. The tip of the image guide 1 is provided with a cantilever 4 serving as a tactile part.
a is integrally connected to the main body 4c via the deforming portion 4b. The cantilever 4 is deformed so that the tip 4a covers a part of the image receiving area of the image guide 1 on the tip side of the image guide 1 and the tip 4a of the cantilever 4 can be displaced. The main body 4c is attached to the tip of the image guide so that the portion 4b is between the objective lens 3 and the tip 4a of the cantilever 4. Further, a detection circuit 7 is provided on the base end side of the image guide 1 through a lens 5 as image processing means.
Is provided with a position detecting element 6 capable of photoelectric conversion to which is connected. The light guide 2 has a base end connected to a light source 8.
【００１２】このような構成とすることによって、触覚
部であるカンチレバー４が何かに接触した場合、カンチ
レバー４の変形部４ｂが撓み、先端部４ａが変位して、
該先端部４ａの前記イメージガイド１の受像領域の一部
を覆っていた領域が変化する。この変化を前記画像処理
手段により、画像の移動として検出することによって、
イメージガイド１の先端に設けられた触覚部であるカン
チレバー４が何かに接触したことを検出する。With this configuration, when the cantilever 4 serving as the tactile portion comes into contact with something, the deformed portion 4b of the cantilever 4 bends, and the tip portion 4a is displaced.
The area of the tip 4a that partially covers the image receiving area of the image guide 1 changes. By detecting this change as the movement of the image by the image processing means,
It detects that the cantilever 4 which is a tactile part provided at the tip of the image guide 1 has come into contact with something.
【００１３】また、前記触覚部は、触覚部が何かに接触
した場合に変位することが可能であればよく、本体部
と、変形部、先端部をそれぞれ別体とし、接続した態様
や、本体部と変形部とを弾性材料により一体的に作製
し、それに別体の先端部を接続した態様や、本体部と、
変形部と、先端部とを弾性材料により一体的に作製した
態様など適宜決定することができる。Further, the tactile portion only needs to be able to be displaced when the tactile portion comes into contact with something, and the main body portion, the deformed portion, and the tip portion are separately formed and connected. An embodiment in which the main body and the deformed portion are integrally made of an elastic material, and a separate tip portion is connected thereto, and the main body,
The mode in which the deformed portion and the tip portion are integrally formed of an elastic material can be appropriately determined.
【００１４】また、触覚部は形状についても特に制限は
ないが、接触する外周面を曲面とした方が、接触する対
象物に損傷などの影響を与えることがないので好まし
い。There is no particular limitation on the shape of the tactile portion, but it is preferable to make the outer peripheral surface in contact with a curved surface because the contact object does not have an adverse effect such as damage.
【００１５】前記イメージガイドについても、特に制限
はなく、例えば石英系ファイバ、多成分系ファイバ、樹
脂系ファイバなどを使用することができる。また、イメ
ージガイドは、イメージガイド単体のものやイメージガ
イドとライトガイドとからなるイメージスコープなど適
宜決定することができる。The image guide is not particularly limited, and for example, a quartz fiber, a multi-component fiber, a resin fiber, or the like can be used. Further, the image guide can be appropriately determined, such as a single image guide or an image scope including an image guide and a light guide.
【００１６】前記ライトガイドについては、センサ内に
設けてあっても、設けていなくてもよく、センサの使用
環境によって適宜決定すれば良い。即ち、センサが前記
触覚部の画像を得難いような暗部で使用される場合には
設けておく必要があり、センサ内に特に照明を設けなく
ても、使用される場所が十分に明るいような場所で使用
される場合には設けなくても良い。また、光源について
も、前記ライトガイドと同様にセンサの使用環境によっ
て適宜決定すれば良い。The light guide may or may not be provided in the sensor, and may be appropriately determined depending on the environment in which the sensor is used. That is, it is necessary to provide the sensor when it is used in a dark part where it is difficult to obtain an image of the tactile part. In the case where it is used in the above, it may not be provided. Also, the light source may be appropriately determined according to the usage environment of the sensor, similarly to the light guide.
【００１７】[0017]
【実施例１】以下具体的な実施例につき説明する。本実
施例では図１、２に示した構造の光学式触覚センサを作
製した。図１は本実施例の光学式触覚センサの概略図で
あり、図２はセンシング部分となるファイバ先端部の長
手方向断面図である。図にしたがって詳述すると、図１
に示すように、イメージガイド１とライトガイド２とか
らなるファイバスコープＳの先端には触覚部となるカン
チレバー４が設けられている。そして、前記ファイバス
コープＳは基端側では、前記イメージガイド１とライト
ガイド２とに別れており、ライトガイド２は光源８に接
続され、イメージガイド１はレンズ５を介して光電変換
可能な一次元位置検出素子６に接続されている。さらに
前記一次元位置検出素子６より出力される電気信号を処
理するため、前記一次元位置検出素子６は検出回路７に
接続されている。Embodiment 1 A specific embodiment will be described below. In this embodiment, an optical tactile sensor having the structure shown in FIGS. FIG. 1 is a schematic view of an optical tactile sensor of the present embodiment, and FIG. 2 is a longitudinal sectional view of a fiber tip portion serving as a sensing portion. FIG.
As shown in FIG. 1, a cantilever 4 serving as a tactile portion is provided at the tip of a fiber scope S including an image guide 1 and a light guide 2. The fiber scope S is divided on the base end side into the image guide 1 and the light guide 2. The light guide 2 is connected to a light source 8, and the image guide 1 is a primary photoelectric convertible through a lens 5. It is connected to the original position detecting element 6. Further, the one-dimensional position detecting element 6 is connected to a detecting circuit 7 in order to process an electric signal output from the one-dimensional position detecting element 6.
【００１８】そして、図２に示すように、センシング部
分となるファイバ先端部は、先端に対物レンズ３が設け
られた外径０．１６ｍｍのイメージガイド１と、該イメ
ージガイド１に並列して設けられたライトガイド２とか
らなるファイバスコープＳの先端に、該ファイバスコー
プＳに接続される本体部４ｃと、対象物と接触した時に
変形可能な変形部４ｂと、主として対象物と接触する部
分となる先端部４ａとからなるカンチレバー４が、前記
ファイバスコープＳ内のイメージガイド１の視野の一部
を前記カンチレバー４の先端部４ａが覆うようにして、
前記ファイバスコープＳの端面と前記カンチレバー４の
先端部４ａの端面との間隔を０．５ｍｍ設けて接続され
ている。該カンチレバー４は、先端部４ａと、変形部４
ｂと、本体部４ｃとが一つの部材からなっている。そし
て、該カンチレバー４は外周側が曲面となるよう一体に
形成されており、本体部４ｃ及び変形部４ｂは厚さ５０
μｍの曲面体、先端部４ａは半径１００μｍの球体、カ
ンチレバー４の全体の長さが５００μｍ、幅２００μｍ
に形成されている。したがって、前記カンチレバー４の
先端部４ａは、前記イメージガイド１の側端部から５０
μｍ、即ちイメージガイド１の側端部から、直径の１／
３を覆うよう構成されている。As shown in FIG. 2, a fiber tip portion serving as a sensing portion is provided with an image guide 1 having an outer diameter of 0.16 mm provided with an objective lens 3 at the tip thereof and in parallel with the image guide 1. At the tip of the fiberscope S composed of the light guide 2 provided, a main body 4c connected to the fiberscope S, a deformable portion 4b deformable upon contact with the object, and a portion mainly contacting the object. The tip 4a of the cantilever 4 includes the tip 4a of the cantilever 4, and the tip 4a of the cantilever 4 covers a part of the field of view of the image guide 1 in the fiberscope S.
The fiber scope S is connected to the end face of the cantilever 4 at a distance of 0.5 mm between the end face of the tip 4a and the end face of the cantilever 4. The cantilever 4 has a tip portion 4a and a deformable portion 4
b and the main body 4c are made of one member. The cantilever 4 is integrally formed so that the outer peripheral side has a curved surface, and the main body portion 4c and the deformed portion 4b have a thickness of 50%.
μm curved surface, the tip 4a is a sphere with a radius of 100 μm, the entire length of the cantilever 4 is 500 μm, and the width is 200 μm
Is formed. Therefore, the tip 4a of the cantilever 4 is located 50 meters from the side end of the image guide 1.
μm, that is, 1 / の of the diameter from the side end of the image guide 1.
3.
【００１９】このように構成された本実施例の光学式触
覚センサの動作について説明すると、例えば、カンチレ
バー４の先端部４ａが、何かに接触するとカンチレバー
４の変形部４ｂが撓んで、前記先端部４ａがファイバス
コープＳの中心方向（図中の左方向）に変位する。この
時、ファイバスコープＳ内のイメージガイド１は、前記
カンチレバー４の先端部４ａの画像を受像しており、側
方から直径の１／３を覆うように映っていた初期の画像
から、変位後（例えば、側方から直径の１／２を覆うよ
うに映った像）の画像に変化する。画像には明暗がある
ので、この画像を光電変換可能な一次元位置検出素子６
に入力することにより、画像信号を電気信号に変換し、
この電気信号を検出回路７によって処理することで接触
しているか否かを検出している。The operation of the optical tactile sensor according to the present embodiment will be described. For example, when the tip 4a of the cantilever 4 comes into contact with something, the deformed portion 4b of the cantilever 4 bends. The portion 4a is displaced toward the center of the fiberscope S (to the left in the drawing). At this time, the image guide 1 in the fiberscope S has received an image of the tip 4a of the cantilever 4 and has been displaced from the initial image, which was shown so as to cover one third of the diameter from the side. (For example, an image that covers half of the diameter from the side). Since the image has light and dark, the one-dimensional position detecting element 6 capable of photoelectrically converting the image.
To convert the image signal into an electric signal,
This electric signal is processed by the detection circuit 7 to detect whether or not there is contact.
【００２０】本実施例では図１に示した構造の光学式触
覚センサについてのみ説明をしたが、それに限定される
わけでなく、例えば、観察環境が十分に明るく、特に照
明を必要としない場合などには、前記ファイバスコープ
Ｓを先端に対物レンズ３を有するイメージガイド１のみ
としてもよく、また、イメージガイド１をレンズを介し
て２次元位置検出素子であるＣＣＤカメラに接続し、該
ＣＣＤカメラをモニター１０に接続して、モニターを観
察することによって接触の有無を判断するようにしても
よい。In this embodiment, only the optical tactile sensor having the structure shown in FIG. 1 has been described. However, the present invention is not limited to this. For example, when the observation environment is sufficiently bright and no illumination is required. The image guide 1 may have only the image guide 1 having the objective lens 3 at the tip, or the image guide 1 may be connected via a lens to a CCD camera which is a two-dimensional position detecting element. The presence or absence of contact may be determined by connecting to the monitor 10 and observing the monitor.
【００２１】さらに、本実施例では、光学式接触センサ
単体についてのみ示したが、これに限定されるわけでは
なく、この触覚センサを、内視鏡やカテーテル内に組み
込んでも良く、また、それらの外周に複数配置するよう
にしてもよい。Further, in this embodiment, only the optical contact sensor is shown alone, but the present invention is not limited to this. The tactile sensor may be incorporated in an endoscope or a catheter. A plurality may be arranged on the outer periphery.
【００２２】[0022]
【発明の効果】以上説明した通りの本発明の光学式触覚
センサによれば、触覚部であるカンチレバー４が何かに
接触した場合、カンチレバー４が変位して、イメージガ
イド１で受像していた画像が変化する。この画像の変化
を画像処理手段により、検出あるいは観察することによ
って、触覚部であるカンチレバー４が何かに接触したか
否かを判断することができるので、光ファイバの曲げ損
失などに影響されることがなく、また、簡単な構成で触
覚部の接触を正確に検出することができるという優れた
効果を奏するものである。According to the optical tactile sensor of the present invention as described above, when the cantilever 4 which is the tactile portion comes into contact with something, the cantilever 4 is displaced and the image is received by the image guide 1. The image changes. By detecting or observing the change of the image by the image processing means, it is possible to determine whether or not the cantilever 4 serving as the tactile portion has come into contact with something. There is an excellent effect that the contact of the tactile part can be accurately detected with a simple configuration without any problem.
【図１】本発明の光学式触覚センサの概略図である。FIG. 1 is a schematic view of an optical tactile sensor of the present invention.
【図２】本発明の光学式触覚センサ先端部の長手方向の
断面図である。FIG. 2 is a longitudinal sectional view of a tip portion of an optical tactile sensor according to the present invention.
Ｓ ファイバスコ−プ １ イメージガイド ２ ライトガイド ３ 対物レンズ ４ カンチレバー ５ レンズ ６ 位置検出素子 ７ 検出回路 ８ 光源 S Fiber Scope 1 Image Guide 2 Light Guide 3 Objective Lens 4 Cantilever 5 Lens 6 Position Detector 7 Detector 8 Light Source
Claims (4)
触覚部の画像を受像するイメージガイドと、該イメージ
ガイドの基端側に設けられ、前記イメージガイドの受像
した画像を処理する画像処理手段とからなり、該画像処
理手段により、受像した画像中の触覚部の変位を検出す
ることを特徴とする光学式触覚センサ。1. A tactile portion provided at a sensor tip portion, an image guide for receiving an image of the tactile portion, and an image provided at a base end side of the image guide for processing an image received by the image guide. An optical tactile sensor comprising a processing means, wherein the image processing means detects displacement of a tactile portion in a received image.
を遮るよう設けられ、被検体との接触により前記イメー
ジガイドの視野内にある触覚部が変位可能であることを
特徴とする請求項１記載の光学式触覚センサ。2. The haptic unit is provided so as to block a part of the visual field of the image guide, and the haptic unit in the visual field of the image guide can be displaced by contact with a subject. 2. The optical tactile sensor according to 1.
を遮る先端部と、該先端部が被検体との接触により、前
記イメージガイドの視野内を移動自在とする変形部とで
構成されるカンチレバーからなり、該カンチレバーがイ
メージガイド先端に設けられていることを特徴とする請
求項２記載の光学式触覚センサ。3. A tactile part includes a tip part that blocks a part of the field of view of the image guide, and a deformable part that is movable in the field of view of the image guide when the tip comes into contact with a subject. 3. The optical tactile sensor according to claim 2, wherein the cantilever is provided at an end of the image guide.
として出力する１次元位置検出素子からなることを特徴
とする請求項１から３いずれかに記載の光学式触覚セン
サ。4. The optical tactile sensor according to claim 1, wherein the image processing means comprises a one-dimensional position detecting element for outputting an incident light signal as an electric signal.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28275597A JPH11108640A (en) | 1997-09-30 | 1997-09-30 | Optical touch sensor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28275597A JPH11108640A (en) | 1997-09-30 | 1997-09-30 | Optical touch sensor |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11108640A true JPH11108640A (en) | 1999-04-23 |
Family
ID=17656648
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28275597A Pending JPH11108640A (en) | 1997-09-30 | 1997-09-30 | Optical touch sensor |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11108640A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009508114A (en) * | 2005-09-14 | 2009-02-26 | ハルビン インスティチュート オブ テクノロジー | Microcavity measurement apparatus and method using double optical fiber connection |
| US7916306B2 (en) * | 2005-11-28 | 2011-03-29 | Vereniging Voor Christelijk Hoger Onderwijs Wetenschappelijk Onderzoek En Patientenzorg | Optical device comprising a cantilever and method of fabrication and use thereof |
-
1997
- 1997-09-30 JP JP28275597A patent/JPH11108640A/en active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009508114A (en) * | 2005-09-14 | 2009-02-26 | ハルビン インスティチュート オブ テクノロジー | Microcavity measurement apparatus and method using double optical fiber connection |
| US7916306B2 (en) * | 2005-11-28 | 2011-03-29 | Vereniging Voor Christelijk Hoger Onderwijs Wetenschappelijk Onderzoek En Patientenzorg | Optical device comprising a cantilever and method of fabrication and use thereof |
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