JPH11106224A - 石英管の泡検出装置 - Google Patents
石英管の泡検出装置Info
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- JPH11106224A JPH11106224A JP28120197A JP28120197A JPH11106224A JP H11106224 A JPH11106224 A JP H11106224A JP 28120197 A JP28120197 A JP 28120197A JP 28120197 A JP28120197 A JP 28120197A JP H11106224 A JPH11106224 A JP H11106224A
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- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B17/00—Forming molten glass by flowing-out, pushing-out, extruding or drawing downwardly or laterally from forming slits or by overflowing over lips
- C03B17/04—Forming tubes or rods by drawing from stationary or rotating tools or from forming nozzles
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Organic Chemistry (AREA)
- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
Abstract
ラインで泡検査可能な石英管の泡検査装置を提供するこ
とを目的とする。 【解決手段】石英溶融炉2から連続的に排出される石英
管3内に存在する泡の状態を撮像手段11a 、11b で
撮像し、この撮像手段11a 、11b から泡の状態の画
像信号を受け泡の状態を画像処理装置12で処理し、こ
の画像処理装置12の処理情報を出力する出力装置1
3、14、15に出力する。
Description
に係わり、特に撮像手段を用いた石英管の泡検出装置に
関する。
であること、耐熱性に優れていること、化学的に安定で
あること、光の透過性に優れていること、および電気絶
縁性に優れていることなどの理由で、石英ガラスから製
作される石英管は照明用の光源や半導体製造プロセス部
材として用いられている。
ロセス部材として用いられる場合には、この石英管に製
造過程で取り込まれる水素ガス等の泡が存在すると石英
管の強度を減じるばかりでなく、照明用の光源や半導体
製造プロセス部材の製品特性を損ない、または使用雰囲
気などに悪影響を与える虞がある。
る泡の検査を徹底的に行い、泡の存在しない石英管を提
供する必要がある。
炉に入れ、水素雰囲気でヒータにより加熱し、溶融した
溶融石英を溶融炉の下部に設けられた狭小部と石英管の
内側を空洞にするための耐熱製ガイドであるマンドレル
とで形成される狭い環状の間隙を通して、成形され製造
される。
雰囲気の溶融炉で製造されるため、主として水素の大小
の泡が含まれることがあり、従来、石英管の泡の検査
は、石英管の製造時、適宜作業員が巡回し、石英管の目
視により行っていた。
の幅が0.2mm〜0.3mm以上の場合、石英管が用
いられる製品の特性を低減させたり、石英管の強度を低
下させる等の障害があり、このような石英管を不良品と
して排除すべきであるが、往々にして見落とされ、次工
程に送られる虞があった。
溶融炉内の温度は最大約2300℃にもなる高温の溶融
炉に接近し、成形された約1000℃になる高温の石英
管を目視するので、かなり危険な作業である。また、こ
の目視検査は石英管製造工程の自動化にも支障となって
いる。
が無人化でき、さらには自動化にてオンラインで泡検査
可能な石英管の泡検査装置が要望されていた。
もので、撮像手段を用いた石英管の泡検出装置により、
泡検査が無人化され、さらには自動化にてオンラインで
石英管の泡検査が可能な石英管の泡検出装置を提供する
ことを目的とする。
になされた本願請求項1の発明は、石英溶融炉から連続
的に管状に押し出されまたは引き出される石英管に対向
して設けられ、石英管内に存在する泡の状態を撮像する
撮像手段と、この撮像手段から泡の状態の画像信号を受
け、この画像信号を分析し泡の状態を測定する画像処理
装置と、この画像処理装置の処理情報を出力する出力装
置とを有することを特徴とする石英管の泡検出装置であ
ることを要旨としている。
続的に管状に押し出されまたは引き出される石英管の直
径の延長線に対し同一側に3個の撮像手段を配設し、こ
の3個の撮像手段のうちの2個の撮像手段を反射ミラー
と組み合わせ、上記3個の撮像手段で石英管の外周位置
を周方向にほぼ等間隔をおいて外側から撮像可能に構成
することを特徴とする請求項1記載の石英管の泡検出装
置であることを要旨としている。
うち中央に配設された撮像手段と2個の反射ミラーを石
英管の外周側にほぼ120度の間隔に配設したことを特
徴とする請求項2記載の石英管の泡検出装置であること
を要旨としている。
対向面の泡の状態を撮像するよう石英管の周囲にほぼ9
0度の間隔をもって配設された第1と第2の2個の撮像
手段と、この2個の撮像手段と石英管に対し反対側に配
設され前記石英管の対向面にほぼ対応する石英管の裏面
の泡の状態を写し、第1の撮像手段と光学系にある第1
と第2の撮像手段と光学系にある第2の2個の反射ミラ
ーとを有し、前記第1の撮像手段が石英管と所定の離間
距離を有して配設され、前記第2の2個の反射ミラーは
石英管の中心と一定の離間距離を有し、かつ直径の延長
線との直交面から一定角度回転した位置に配置され、第
1および第2の撮像手段により石英管の対向面および第
1および第2の反射ミラーを撮像することにより、石英
管の対向面および裏面の泡の状態を撮像することを特徴
とする請求項1記載の石英管の泡検出装置であることを
要旨としている。
表示するモニターであることを特徴とする請求項1〜4
いずれかに記載の石英管の泡検出装置であることを要旨
としている。
以上の泡が検出されたらこの情報を受け石英溶融炉の条
件を変更する制御装置であることを特徴とする請求項1
〜4いずれかに記載の石英管の泡検出装置であることを
要旨としている。
の良品と不良品を選別する選別機の制御部であることを
特徴とする請求項1〜4いずれかに記載の石英管の泡検
出装置であることを要旨としている。
ラインセンサーであることを特徴とする請求項1または
3記載の石英管の泡検出装置であることを要旨としてい
る。
出装置の実施の形態について添付図面に基づき説明す
る。
を実施した例を示し、また図2はその要部を示す概略図
であるが、溶融炉2を用いた連続管引法により製造さ
れ、石英管3内に存在する泡を検査するものである。溶
融炉2は石英の原料粉Mが供給されヒータ4により加熱
される耐熱金属製のルツボ5と、このルツボ5とヒータ
4を囲う断熱性の耐火物6と、この耐火物6を囲う金属
製の外囲7から形成されている。さらに、ルツボ5には
金属製で円盤状の突部8a を有するマンドレル8がルツ
ボ5の上方から底部に亘り挿入され、突部8a とルツボ
5の底部に設けられたモールド9とで、溶融石英Mm が
押し出され石英管3を形成する環状の間隙部10が形成
されている。
ば光学検査手段を構成するCCDラインセンサー11a
、11b 、11c が少なくとも3個配設され、各CC
Dラインセンサー11a 、11b 、11c は画像処理装
置12と電気的に接続されている。さらに、画像処理装
置12はその処理情報を出力する出力装置、例えばモニ
ター13やヒータ4に供給される電気入力を制御する制
御装置14、あるいは次工程の良品と不良品を自動的に
仕分けする自動選別機(図示せず)の選別機制御部15
に電気的に接続されている。
b 、11c は石英管3の外周面をほぼ均等に撮像できる
ようになっている。3個のCCDラインセンサー11a
、11b 、11c は石英管3の直径の延長線L上で測
定領域を2分割した場合、3個とも片側の測定領域に集
中的に配置され、撮像場所(測定領域)の省スペース化
を図っている。
b 、11c は石英管3の外周面を周方向に等間隔をおい
て外側から撮像し、検査できるようになっている。具体
的には、測定領域を2分割した石英管3の直径の延長線
Lに直交する石英管3の半径方向(直径方向)の放射光
線Sa 上に基準となるCCDラインセンサー11a が配
設され、この基準のCCDラインセンサー11a から石
英管3の軸線廻りに中心角で120度回転した石英管3
の外周側に2個の反射ミラー16b 、16c が配設さ
れ、この反射ミラー16b 、16c で反射光が石英管3
の外周側を通って残りの2個のCCDラインセンサー1
1b 、11c にそれぞれ反射されるようになっている。
1a 、11b 、11c のうち1個の基準のCCDライン
センサー11a は石英管3のある外周位置に対向して配
設され、石英管3の基準位置を撮像可能になっており、
2個のCCDラインセンサー11b 、11c は、反射反
射ミラー16b 、16c により石英管3の基準位置から
中心角度で120度異なる位置を撮像可能に設置され
る。
置し、石英管の外周面をほぼ等間隔に撮像できるように
してもよい。
ような構造になっているから、連続管引法で石英管3を
製造するには、水素雰囲気のルツボ5に原料粉Mを供給
し、ヒータ4により原料Mを約1500℃に加熱、溶融
し、溶融石英Mm とし、フランジ部8a とルツボ4の底
部のモールド9間に形成された環状の間隙部10から押
し出される。
るので、間隙部10から押し出される溶融石英Mm は管
状になり、約1000℃に冷却され連続した石英管3が
製造される。
管3の外周を約3分割して撮像するCCDラインセンサ
ー11a 、11b 、11c で同時に常時撮像され、CC
Dラインセンサー11a 、11b 、11c による画像情
報は画像処理装置12に送られる。CCDラインセンサ
ー11a により直接撮像される石英管3の範囲は、直径
の延長線LのCCDラインセンサー11a 、11b 、1
1c 側にあり、かつ放射光線Sa を中心に約120度の
部分であり、一方、上述CCDラインセンサー11a の
撮像範囲外、すなわち直径の延長線Lの反CCDライン
センサー11a側等の部分は、反射ミラー16b または
反射ミラー16c を介してCCDラインセンサー11b
、CCDラインセンサー11c で撮像される。
るので、CCDラインセンサー11a 、11b 、11c
によって石英管3は面として撮像され、一定長さ毎に画
像処理装置12により画像処理される。すなわち、画像
処理装置12内では、連続的に移動する石英管3の濃淡
画像の一定区間をとり出し、この区間内の泡の状態、す
なわちこの区間に存在する泡Bのサイズ(幅w、長さ
l)と泡Bの個数等を演算処理して求める。
るので、石英管製造中に石英管3に図3に示すような泡
Bが取り込まれることがある。
12の演算処理により泡Bのサイズ(幅w、長さl)が
分析され、所定のサイズ、例えば幅wが0.2mm以上
の場合には、常時画像を表示しているモニター13にこ
の泡Bを表示すると共に、選別機制御部15を介して自
動選別機(図示せず)を作動させ、この泡Bを含む石英
管3を不良品として除外する。また、制御装置14を介
してヒータ4に供給される電力量を制御するなどして溶
融炉2の炉内条件を変更し、泡Bの発生を抑制する。
、11b 、11c から取り込まれた3方向の画像を合
体しモニター13に表示された画像を示す。溶融炉2か
ら排出された直後の石英管3は約1000℃の高温であ
るため、石英管3自体が発光し、しかも泡Bの存在する
部分は泡Bの表面で光が散乱し、他の部分より明るく輝
いている。泡Bが存在する部分は泡Bが存在しない部分
より明るく輝いているため、画像処理装置12内で濃淡
レベルを調整することで、上述図4のようなモニター1
3の画像Pa 、Pb 、Pc が得られる。画像Pa はCC
Dラインセンサー11a により直接撮像された画像であ
り、画像Pb 、Pc はそれぞれ反射ミラー16b 、16
c を介してCCDラインセンサー11b 、11c に撮像
され、画像処理装置12内でミラー反転処理された画像
である。
的に石英管3の泡検査が行われ石英管3は継続的に製造
される。
個のCCDラインセンサー11a 、11b 、11c が石
英管3の直径の延長線Lに対して同一側に配設し、2個
の反射ミラー16a 、16b を延長線Lの反対側に配設
したので、CCDラインセンサー11a 、11b 、11
c の点検、調整が容易で、かつ石英管の泡検出装置の設
置場所の省スペース化が図れる。
英管の泡検出装置17で、石英管3の直交する2本の直
径の延長線La 、Lb 上には、第1のCCDカメラ18
a 、第2のCCDカメラ18b が配設されている。CC
Dカメラ18a は石英管3の中心と一定の離間距離Da
を有して配設されており、この離間距離Da は、例えば
石英管3の直径が25mmのときは2000mm、石英
管3の直径が50mmのときは3000mmであること
が望ましい。
反射ミラー19b は、石英管3の中心と一定の離間距離
db を有し、かつ直径の延長線Lb との直交面から一定
角度θb 時計廻り方向に回転した位置に配置されてい
る。
距離db は上述離間距離Da が例えば2000mm、3
000mmいずれの場合にも30mm以上が必要であ
り、30mm〜100mmが望ましい。
5mm、50mmいずれの場合にも10°〜30°が望
ましい。10°未満であると、例えば図6(b)で示す
P2bとP3bの像が重なり、また30°を超すといずれか
の像P2bまたはP3bがCCDカメラ18b の視野から外
れてしまう。
a は直接石英管3の正面およびその対応する裏面をCC
Dカメラ18a と光学系にある反射ミラー19a を介し
て、図6(a)に示すようにCCDカメラ18a の画像
P2a、反射ミラー19a に写る画像P3aのように撮像
し、CCDカメラ18b は同様に、直接石英管3の正面
およびその対応する裏面を反射ミラー19b を介して図
6(b)のCCDカメラ18b の画像P2b、反射ミラー
19b に写る画像P3bのように撮像のように撮像する。
周囲に1から0までの10個の数値を等間隔で表示し、
これを図6の石英管の泡検出装置17で撮像したもの
で、図6(a)はCCDカメラ18a で撮像したもの
で、図6(b)はCCDカメラ18b で撮像したもので
ある。
18b と2個の反射ミラー19a 、19b で石英管3表
面周囲が的確に撮像されているかがわかる。
検出装置は2個のCCDカメラ18a 、18b と2個の
反射ミラー19a 、19b を用いるので、石英管の泡検
出装置の設置場所の省スペース化、撮像手段の削減、お
よび画像処理のスピード化が図れ、経済的でかつ効率的
である。
の泡検出装置において、撮像手段を用いた石英管の泡検
出装置により、泡検査が無人化され、危険作業から作業
者を解放し、目視検査に比べ検査精度を向上することが
でき、さらには自動化にてオンラインで石英管の泡検査
が可能になった。また、石英管自身の発光を利用した泡
検査で、特別な照明も必要とせず、経済的な泡検出装置
である。さらに、撮像手段と反射ミラーを組み合わせて
用いる場合には、石英管の泡検出装置の設置場所の省ス
ペース化が図れる。
装置の概略図。
真。
Claims (7)
- 【請求項1】 石英溶融炉から連続的に管状に押し出さ
れまたは引き出される石英管に対向して設けられ、石英
管内に存在する泡の状態を撮像する撮像手段と、この撮
像手段から泡の状態の画像信号を受け、この画像信号を
分析し泡の状態を測定する画像処理装置と、この画像処
理装置の処理情報を出力する出力装置とを有することを
特徴とする石英管の泡検出装置。 - 【請求項2】 石英溶融炉から連続的に管状に押し出さ
れまたは引き出される石英管の直径の延長線に対し同一
側に3個の撮像手段を配設し、この3個の撮像手段のう
ちの2個の撮像手段を反射ミラーと組み合わせ、上記3
個の撮像手段で石英管の外周位置を周方向にほぼ等間隔
をおいて外側から撮像可能に構成することを特徴とする
請求項1記載の石英管の泡検出装置。 - 【請求項3】 3個の撮像手段のうち中央に配設された
撮像手段と2個の反射ミラーを石英管の外周側にほぼ1
20度の間隔に配設したことを特徴とする請求項2記載
の石英管の泡検出装置。 - 【請求項4】 それぞれ石英管の対向面の泡の状態を撮
像するよう石英管の周囲にほぼ90度の間隔をもって配
設された第1と第2の2個の撮像手段と、この2個の撮
像手段と石英管に対し反対側に配設され前記石英管の対
向面にほぼ対応する石英管の裏面の泡の状態を写し、第
1の撮像手段と光学系にある第1と第2の撮像手段と光
学系にある第2の2個の反射ミラーとを有し、前記第1
の撮像手段が石英管と所定の離間距離を有して配設さ
れ、前記第2の2個の反射ミラーは石英管の中心と一定
の離間距離を有し、かつ直径の延長線との直交面から一
定角度回転した位置に配設され、第1および第2の撮像
手段により石英管の対向面および第1および第2の反射
ミラーを撮像することにより、石英管の対向面および裏
面の泡の状態を撮像することを特徴とする請求項1記載
の石英管の泡検出装置。 - 【請求項5】 出力装置が画像を表示するモニターであ
ることを特徴とする請求項1記載の石英管の泡検出装
置。 - 【請求項6】 出力装置は基準値以上の泡が検出された
らこの情報を受け石英溶融炉の条件を変更する制御装置
であることを特徴とする請求項1〜4いずれかに記載の
石英管の泡検出装置。 - 【請求項7】 出力装置は石英管の良品と不良品を選別
する選別機の制御部であることを特徴とする請求項1〜
4いずれかに記載の石英管の泡検出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP28120197A JP3604883B2 (ja) | 1997-09-30 | 1997-09-30 | 石英管の泡検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP28120197A JP3604883B2 (ja) | 1997-09-30 | 1997-09-30 | 石英管の泡検出装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11106224A true JPH11106224A (ja) | 1999-04-20 |
JP3604883B2 JP3604883B2 (ja) | 2004-12-22 |
Family
ID=17635767
Family Applications (1)
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---|---|---|---|
JP28120197A Expired - Fee Related JP3604883B2 (ja) | 1997-09-30 | 1997-09-30 | 石英管の泡検出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP3604883B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114460008A (zh) * | 2022-02-16 | 2022-05-10 | 西南石油大学 | 一种井口泡沫检测装置和方法 |
CN117825278A (zh) * | 2024-01-08 | 2024-04-05 | 江苏弘扬石英制品有限公司 | 一种二次热加工石英扩管气泡气线的在线检测装置 |
-
1997
- 1997-09-30 JP JP28120197A patent/JP3604883B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN114460008A (zh) * | 2022-02-16 | 2022-05-10 | 西南石油大学 | 一种井口泡沫检测装置和方法 |
CN114460008B (zh) * | 2022-02-16 | 2023-11-21 | 西南石油大学 | 一种井口泡沫检测装置和方法 |
CN117825278A (zh) * | 2024-01-08 | 2024-04-05 | 江苏弘扬石英制品有限公司 | 一种二次热加工石英扩管气泡气线的在线检测装置 |
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