JPH11102656A - 光検出管 - Google Patents
光検出管Info
- Publication number
- JPH11102656A JPH11102656A JP26019397A JP26019397A JPH11102656A JP H11102656 A JPH11102656 A JP H11102656A JP 26019397 A JP26019397 A JP 26019397A JP 26019397 A JP26019397 A JP 26019397A JP H11102656 A JPH11102656 A JP H11102656A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- wavelength
- photocathode
- tube
- photodetector
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Common Detailed Techniques For Electron Tubes Or Discharge Tubes (AREA)
Abstract
する光検出管を提供する。 【解決手段】 本光検出管1は、入射窓13及び光電陰
極15を備えており、入射窓13はオゾンフリー石英ガ
ラスからなり、且つ、光電陰極15はCs−Teからな
る。オゾンフリー石英ガラスは波長約170nm以上の
光を選択的に透過させ、Cs−Teは波長約330nm
以下の光を選択的に光電変換する。したがって、本光検
出管においては、波長250nmに検出感度のピークを
有し、波長250nm±約80nmの光のみを光学的バ
ンドパスフィルタを用いることなく選択的に検出するこ
とができる。
Description
倍管等の光検出管に関する。
として、半導体Siを用いたフォトダイオードが知られ
ている。また、高感度の光検出を行う光検出器として光
電子増倍管等の光検出管が知られている。
光検出管においては、波長250nm付近の紫外光を出
射する光源の強度をモニターする場合、その特定波長の
みを透過させる透過率特性を有する光学フィルタを併用
することを必要とした。すなわち、従来の光検出管にお
いては光検出管前方に1又は2以上の特定波長光選択透
過特性を有する光学フィルタを配置し、これを透過した
光を検出していた。このような光学フィルタは、透過光
の強度を減少させると同時に部品点数の増加を招いてい
た。本発明は、このような課題を解決するためになされ
たものであり、波長250nm付近の光のみを選択的に
検出する光検出管を提供することを目的とする。
は、真空容器外壁の一部をなす入射窓と、真空容器内に
配置され入射窓を透過した光を光電変換する光電陰極と
を備えた光検出管において、入射窓はオゾンフリー石英
ガラスからなり、且つ、光電陰極はCs−Teからなる
ことを特徴とする。オゾンフリー石英ガラスは波長約1
70nm以上の光を選択的に透過させ、Cs−Teは波
長約330nm以下の光を選択的に光電変換する。した
がって、本光検出管においては、波長250nm±約8
0nmの光のみを光学的バンドパスフィルタを用いるこ
となく選択的に検出することができる。
について説明する。同一要素又は同一機能を有する要素
には同一符号を用いるものとし、重複する説明は省略す
る。
断面図である。本光検出管1は光電管であり、金属製側
管2の上端開口部を、入射窓としての面板3で封止し、
下端開口部をステム板4で封止してなる真空容器を備え
る。本真空容器の内部は大気圧よりも減圧されている。
本真空容器内には、入射窓3を透過した光λを光電変換
する光電陰極5と、光電陰極5から放出された電子eを
収集する金属製の陽極6とが配置されている。
おり、光電陰極5には側管2を介して所定の電位が与え
られ、陽極6には陰極5よりも高い電位が与えられる。
例えば光電陰極5を接地し、陽極6に100Vの電位を
与えると、これらの間の電圧に従って真空容器内部に電
子eを陽極6方向へ引っ張る電界が発生する。光λの入
射に応じて光電陰極5で発生した電子eは、内部電界に
したがって加速された後、陽極6に衝突し、陽極6に電
気的に接続されたリードピン7を介して出力電流として
外部に取りだされる。なお、リードピン7とステム板4
との間の隙間はガラス充填材料8によって気密封止され
ている。
波長−光電陰極放射感度(mA/W)特性、及びこれら
を合成した光電管1自体の検出感度(mA/W)特性を
示すグラフである。入射窓3に入射した光λのうち、波
長λ1以上の成分は入射窓3を透過する。また、光電陰
極5に入射した光λのうち、波長λ2以下の成分は光電
陰極5によって光電変換される。波長λ2は波長λ1より
も長く、したがって、光電管1自体は、波長λ1〜λ2の
間に検出感度を有する。
は波長λ1+160nmにおける透過率の約1/100
0以下であり、光電陰極5の波長λ2における放射感度
は波長λ2−160nmにおける放射感度の約1/10
00以下である。
外壁の一部をなす入射窓3と、真空容器内に配置され入
射窓3を透過した光λを光電変換する光電陰極5を備
え、入射窓3はオゾンフリー石英ガラスからなり、且
つ、光電陰極5はCs−Teからなる。オゾンフリー石
英ガラスは波長約170nm(=λ1)以上の光を選択
的に透過させ、Cs−Teは波長約330nm(=
λ2)以下の光を選択的に光電変換する。したがって、
本光電管においては、波長250nm付近に検出感度の
ピークを有し、波長250nm±約80nmの光のみを
光学的バンドパスフィルタを用いることなく選択的に検
出することができる。また、本光電管の検出感度のピー
ク値を与える波長250nm±約80nmにおけるそれ
ぞれの検出感度は、ピーク値の検出感度の約1/100
0以下である。また、本光電管の波長190nmにおけ
る検出感度は、ピーク値の検出感度の約1/1000以
下であり、水銀ランプの波長254nmの光を波長18
5nm及び365nmの光と区別して検出することがで
きる。なお、本オゾンフリー石英ガラスは、東芝セラミ
ックス(株)社製のオゾンフリー透明石英ガラス(型番
T−1130)を用いた。このオゾンフリー透明石英ガ
ラスは210nm以下の光を殆ど吸収する。
の縦断面図である。本光検出管1は光電子増倍管であ
り、ガラスバルブ12の上端開口部を、入射窓としての
面板13で封止し、下端開口部をステム板14で封止し
てなる真空容器を備える。本真空容器の内部は大気圧よ
りも減圧されている。本真空容器内には、入射窓13を
透過した光λを光電変換する光電陰極15と、光電陰極
15から放出された電子eを収集する金属製の陽極16
とが配置されている。また、陰極15と陽極16との間
には入射した電子を増倍するダイノードD1〜D5からな
る電子増倍器が順番に配置されている。
れており、光電陰極15には集束電極19,20を介し
て所定の電位が与えられ、ダイノードD1〜D5及び陽極
16には陰極15よりも高い電位が与えられる。薄膜状
集束電極19は光電陰極15から第1段目のダイノード
D1までの空間を囲むガラスバルブ12内面にアルミ等
の金属が蒸着されることによって形成され、板状集束電
極20は外周の一部分が薄膜状集束電極19に接触した
金属板からなる。板状集束電極20は中央部に開口を有
している。これらの集束電極19,20は、光電陰極1
5に電気的に接続されており、第1段目のダイノードD
1と共に、これらによった囲まれた空間内に光電陰極1
5で発生した電子を集束電極20の開口直下に配置され
た第1段ダイノードD1内に集束させる電界を形成す
る。
9,20には単一のリードピン17を介して基準電位が
与えられ、ダイノードD1〜D5及び陽極16には、残り
の複数のリードピン17を介して後段になるほど高い電
位が与えられる。例えば光電陰極15及び集束電極1
9,20に接地電位を与え、陽極16に100Vの電位
を与え、ダイノードD1〜D5に0〜100Vの電位から
選択される電位を与えると、これらの間の電圧に従って
真空容器内部に光電陰極15で発生した電子eを陽極1
6方向へ引っ張る電界が発生する。
た電子eは、内部電界にしたがって加速された後、第1
段目のダイノードD1に衝突して増倍され、これよりも
後段のダイノードD2〜D5に順次衝突しながらさらに増
倍され、最終的に陽極16に衝突する。陽極16で収集
された電子eは、陽極16に電気的に接続されたリード
ピン17を介して出力電流として外部に取りだされる。
なお、リードピン17とステム板14との間の隙間はガ
ラス充填材料18によって気密封止されている。
ド型の光電子増倍管であり、各ダイノードD1〜D5はボ
ックス型であって、その前面にはグリッドが設けられて
いる。また、陽極16の近傍には最終段ダイノードが配
置されているが、本実施の形態では図示しない。
実施の形態に係る光電管と同様に、真空容器外壁の一部
をなす入射窓13と、真空容器内に配置され入射窓13
を透過した光λを光電変換する光電陰極15とを備え、
入射窓13はオゾンフリー石英ガラスからなり、且つ、
光電陰極15はCs−Teからなる。上述のように、オ
ゾンフリー石英ガラスは波長約170nm(=λ1)以
上の光を選択的に透過させ、Cs−Teは波長約330
nm(=λ2)以下の光を選択的に光電変換する。した
がって、本光電子増倍管においては、波長250nmに
検出感度のピークを有し、波長250nm±約80nm
の光のみを光学的バンドパスフィルタを用いることなく
選択的に検出することができる。
型の光電陰極を有するヘッドオン型の光検出管に適用し
たが、これらは反射型の光電陰極を有するサイドオン型
の光電子増倍管やイメージインテンシファイア等の光検
出管に適用することもできる。
検出管モジュール100の縦断面図である。本光検出管
モジュールは、光検出管1を収納する包囲筒21と、包
囲筒21の上端開口部を封止するキャップ部材22と、
包囲筒21の下端開口部を封止する封止板23とを備え
る。キャップ部材22は、包囲筒21の長手方向に沿っ
て穿設された貫通孔24を有しており、モジュール外部
からの光λを貫通孔24を介して包囲筒21内部に導く
ことができる。
くとも透過させる材料からなるスリガラス等の光拡散板
25が配置されており、光拡散板25は光検出管1の入
射窓と貫通孔24の光出射端との間に位置する。光拡散
板25は貫通孔24の光出射端を封止しており、貫通孔
24内に導入された光λを拡散して光検出管1の入射窓
方向へ照射する。なお、光拡散板25に代えてエッチン
グメッシュを貫通孔24の光出射端に配置し、光電陰極
の劣化を防止することもできる。上述の光検出管1は、
特定波長の光の入射に応じて電気信号を出力する。この
電気信号は包囲筒21内部に配置されたプリアンプ26
で増幅され、封止板23を貫通するリード線を介して外
部に出力される。本検出管モジュールは、オゾン殺菌の
オゾンモニタや浄水器モニタとしても用いることができ
る。
いた浄水器のシステム構成を示す。本浄水器は、貯水容
器31の下端部に水導入口32を有し、上端部に水排出
口33を有する。水導入口32から貯水容器31内に導
入された水は、貯水容器31内において光源34からの
光に晒されて殺菌される。光源34は、貯水容器31内
を水平方向に貫通する筒状壁35内に配置されており、
紫外線以下の上記特定波長の光を出射する。光源34は
波長248nmの光を出射するKrFエキシマランプや
波長254nmの光を出射する水銀ランプである。貯水
容器31及びその筒状壁35は、少なくとも上記特定波
長の光を透過する材料から構成される。
れており、この凹部36内に光検出管モジュール100
が配置される。したがって、光源34から出射された特
定波長の光は光検出管モジュール100によって検出さ
れる。光検出管モジュール100の検出出力は増幅器1
01によって増幅された後、検出出力メータ102に出
力される。したがって、検出出力メータ102には、光
源34から出射された特定波長光の強度が表示される。
したがって、本浄水器によれば、光源34からの光強度
を測定することができるため、光源34が正常に動作し
ているかどうか、すなわち、浄水機能が正常に動作して
いるかどうかを的確に知ることができる。
管によれば、特定波長の光のみを光学的バンドパスフィ
ルタを用いることなく検出することができ、高感度に光
検出を行うことができる。
極放射感度(mA/W)特性、及びこれらを合成した光
電管1自体の検出感度特性を示すグラフ。
面図。
構成図。
Claims (1)
- 【請求項1】 真空容器外壁の一部をなす入射窓と、前
記真空容器内に配置され前記入射窓を透過した光を光電
変換する光電陰極とを備えた光検出管において、前記入
射窓はオゾンフリー石英ガラスからなり、且つ、前記光
電陰極はCs−Teからなることを特徴とする光検出
管。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26019397A JPH11102656A (ja) | 1997-09-25 | 1997-09-25 | 光検出管 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26019397A JPH11102656A (ja) | 1997-09-25 | 1997-09-25 | 光検出管 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11102656A true JPH11102656A (ja) | 1999-04-13 |
Family
ID=17344632
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP26019397A Pending JPH11102656A (ja) | 1997-09-25 | 1997-09-25 | 光検出管 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH11102656A (ja) |
-
1997
- 1997-09-25 JP JP26019397A patent/JPH11102656A/ja active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4608572B2 (ja) | 蛍光体 | |
US8581228B2 (en) | Corner cube enhanced photocathode | |
JPS63198251A (ja) | 光電子増倍管 | |
US7652425B2 (en) | Transmission type photocathode including light absorption layer and voltage applying arrangement and electron tube | |
JPH084635Y2 (ja) | 放射線検出器 | |
JP2003338260A (ja) | 半導体光電面とその製造方法、及びこの半導体光電面を用いた光検出管 | |
JPH11102658A (ja) | 光検出管 | |
JPH10283978A (ja) | 電子検出器 | |
JP2011138684A (ja) | 透過型光電陰極およびそれを備える計測装置 | |
JPH11102656A (ja) | 光検出管 | |
JPH11102660A (ja) | 光検出管 | |
JPH11102657A (ja) | 光検出管 | |
JPH11102659A (ja) | 光検出管 | |
KR100436087B1 (ko) | 탄소나노튜브를 이용한 방사선 광캐소드와 이를 이용한방사선 검출장치 및 방사선 이미지 측정장치 | |
JP2000019255A (ja) | 放射線検出器 | |
US8080806B2 (en) | Electron tube | |
JPH0817388A (ja) | 電子管 | |
JPH07326315A (ja) | 正負イオン検出装置 | |
Pollehn | Evaluation of image intensifiers | |
US4147929A (en) | Optical photoemissive detector and photomultiplier | |
JP2551449B2 (ja) | 放射線画像情報読取装置 | |
JP4506269B2 (ja) | 光電子測定装置および光電子測定方法 | |
RU2095883C1 (ru) | Газовый электролюминесцентный детектор | |
US20020113551A1 (en) | Light conversion and detection of visible light | |
KR200246189Y1 (ko) | 탄소나노튜브를 이용한 방사선 광캐소드와 이를 이용한방사선 검출장치 및 방사선 이미지 측정장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040915 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050530 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050607 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050808 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20061003 |