JPH108216A - 酸化不働態膜の形成方法並びに接流体部品及び流体供給・排気システム - Google Patents
酸化不働態膜の形成方法並びに接流体部品及び流体供給・排気システムInfo
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Abstract
して耐食性が高い酸化不働態膜の形成方法、オゾンを含
む流体に対して高い耐食性を有するステンレス鋼、チタ
ン基合金、及びこれらを用いた接流体部品、プロセス装
置、流体供給システム及び排気システムを提供すること
を目的とする。 【解決手段】 Alを0.5重量%〜7重量%含有する
ステンレス鋼又はチタン基合金の表面を、不活性ガスと
500ppb〜1%H2Oガス若しくは1〜500pp
m酸素ガスとの混合ガス雰囲気中において300℃〜7
00℃の温度で熱処理を行うことにより、あるいは酸素
ガスと少なくとも100ppmのオゾンガスとを含む混
合ガス雰囲気中において20〜300℃の温度で熱処理
を行うことにより、アルミニウム酸化物あるいはチタン
酸化物を含有する酸化不働態膜を形成することを特徴と
する。
Description
成方法並びに接流体部品及び流体供給システムに係る。
より詳細には、ステンレス鋼の表面に主としてアルミニ
ウム酸化物からなる層を有する酸化不働態膜を形成する
方法、チタン基合金の表面に主としてチタン酸化物から
なる酸化不働態膜を形成する方法、かかる不働態膜の形
成されたステンレス鋼又はチタン基合金、これらを用い
た流体(ガス、液)と接触部を有する接流体部品及び流
体供給システムに関する。
造プロセスガスに対する耐食性が高く、しかも脱ガス特
性が極めて優れていることから、高清浄性が要求される
真空装置、減圧装置及びガス供給配管等の他、超純水の
供給配管等にも用いられている。
され、これを利用して、より高性能・高集積デバイス開
発を目的としたシリコン基板の洗浄、アッシング、低温
CVD酸化など種々の技術が開発されつつある。
通常用いられる、例えば、ウェット系であればPVDF
等のフッ素樹脂、ガス系であればSUS316材等はオ
ゾンによって著しく侵されるため、汚染の原因になるた
め使用することはできない。また、上記酸化クロム不働
態膜でさえもオゾン濃度が高くなるとその酸化力によっ
て、Cr2O3からCrO3へと酸化が進み、配管、雰囲
気等の高清浄性が保てなくなることが分かった。
に鑑み、オゾンのような強酸化性物質に対して耐食性が
高い酸化不働態膜の形成方法を提供することを目的とす
る。
に対して高い耐食性を有するステンレス鋼、チタン基合
金、及びこれらを用いた接流体部品、プロセス装置、流
体供給システム及び排気システムを提供することにあ
る。
形成方法は、Alを0.5重量%〜7重量%含有するス
テンレス鋼の表面を不活性ガスと500ppb〜1%H
2Oガスとの混合ガス雰囲気中において300℃〜70
0℃の温度で熱処理を行うことによりアルミニウム酸化
物を含有する酸化不働態膜を形成することを特徴とす
る。
法は、Alを0.5重量%〜7重量%含有するステンレ
ス鋼の表面をRmax0.7μm以下に研磨し、次いで不
活性ガス中においてべーキングを行うことにより該ステ
ンレス鋼の表面から水分を除去し、次いで、不活性ガス
と500ppb〜1%H2Oガスとの混合ガス雰囲気中
において300℃〜700℃の温度で熱処理を行うこと
によりアルミニウム酸化物を含有する酸化不働態膜を形
成することを特徴とする。
Alを0.5重量%〜7重量%含有するステンレス鋼の
表面を不活性ガスと1ppm〜500ppmの酸素ガス
との混合ガス雰囲気中において300℃〜700℃の温
度で熱処理を行うことによりアルミニウム酸化物を含有
する酸化不働態膜を形成することを特徴とする。
Alを0.5重量%〜7重量%含有するステンレス鋼の
表面をRmax0.7μm以下に研磨し、次いで不活性ガ
ス中においてべーキングを行うことにより該ステンレス
鋼の表面から水分を除去し、次いで、不活性ガスと1p
pm〜500ppmの酸素ガスとの混合ガス雰囲気中に
おいて300℃〜700℃の温度で熱処理を行うことに
よりアルミニウム酸化物を含有する酸化不働態膜を形成
することを特徴とする。
水素ガスを10%以下添加するのが好ましい。
Alを0.5重量%〜7重量%含有するステンレス鋼の
表面を酸素ガスと少なくとも100ppmのオゾンガス
とを含む混合ガス雰囲気中において20〜300℃の温
度で熱処理を行うことによりアルミニウム酸化物を含有
する酸化不働態膜を形成することを特徴とする。
Alを0.5重量%〜7重量%含有するステンレス鋼の
表面をRmax0.7μm以下に研磨し、次いで不活性ガ
ス中においてべーキングを行うことにより該ステンレス
鋼の表面から水分を除去し、次いで、酸素ガスと少なく
とも100ppmのオゾンガスとを含む混合ガス雰囲気
中において20〜300℃の温度で熱処理を行うことに
よりアルミニウム酸化物を含有する酸化不働態膜を形成
することを特徴とする。
窒素ガスを10%以下添加したことを特徴とする。
て、前記ステンレス鋼のAl含有量は3重量%〜6重量
%であるのが好ましい。
アルミニウム酸化物とクロム酸化物の混合酸化膜である
ことを特徴とする。
チタン基合金の表面を不活性ガスと500ppb〜1%
H2Oガスとの混合ガス雰囲気中において300℃〜7
00℃の温度で熱処理を行うことによりチタン酸化物か
らなる酸化不働態膜を形成することを特徴とする。
チタン基合金の表面をRmax0.7μm以下に研磨し、
次いで不活性ガス中においてべーキングを行うことによ
り該チタン基合金の表面から水分を除去し、次いで、不
活性ガスと500ppb〜1%H2Oガスとの混合ガス
雰囲気中において300℃〜700℃の温度で熱処理を
行うことによりチタン酸化物からなる酸化不働態膜を形
成することを特徴とする。
チタン基合金の表面を不活性ガスと1ppm〜500p
pmの酸素ガスとの混合ガス雰囲気中において300℃
〜700℃の温度で熱処理を行うことによりチタン酸化
物からなる酸化不働態膜を形成することを特徴とする。
チタン基合金の表面をRmax0.7μm以下に研磨し、
次いで不活性ガス中においてべーキングを行うことによ
り該ステンレス鋼の表面から水分を除去し、次いで、不
活性ガスと1ppm〜500ppmの酸素ガスとの混合
ガス雰囲気中において300℃〜700℃の温度で熱処
理を行うことによりチタン酸化物からなる酸化不働態膜
を形成することを特徴とする。以上の熱処理において、
水素ガスを10%以下混合するのが好ましい。
チタン基合金の表面を酸素ガスと100ppm以上のオ
ゾンガスとの混合ガス雰囲気中において20℃〜300
℃の温度で熱処理を行うことによりチタン酸化物からな
る酸化不働態膜を形成することを特徴とする。
チタン基合金の表面をRmax0.7μm以下に研磨し、
次いで不活性ガス中においてベーキングを行うことによ
り該チタン基合金の表面から水分を除去し、次いで、酸
素ガスと100ppm以上のオゾンガスとの混合ガス雰
囲気中において20℃〜300℃の温度で熱処理を行う
ことによりチタン酸化物からなる酸化不働態膜を形成す
ることを特徴とする。前記混合ガス中にさらに窒素ガス
を10%以下添加したことを特徴とする。
i含有量99重量%以上であること、あるいはTi含有
量99重量%以上、Fe含有量0.05重量%以下、C
含有量0.03重量%以下、Ni含有量0.03重量%
以下、Cr含有量0.03重量%以下、H含有量0.0
05重量%以下、0含有量0.05重量%以下、N含有
量0.03重量%以下であることを特徴とする。
てアルミニウム酸化物からなる層を3nm以上の厚さで
有する酸化不働態膜が形成されていることを特徴とす
る。あるいは、最表面に主としてアルミニウム酸化物か
らなる層を3nm以上の厚さで有する酸化不働態膜がR
max0.7μm以下に研磨した表面に形成されているこ
とを特徴とする。
量%〜7重量%が好ましく、3重量%〜6重量%がより
好ましい。
物とクロム酸化物の混合酸化膜からなることを特徴とす
る。
酸化物からなる層を3nm以上の厚さで有する酸化不働
態膜が形成されていることを特徴とする。あるいは、最
表面にチタン酸化物からなる層を3nm以上の厚さで有
する酸化不働態膜がRmax0.7μm以下に研磨した表
面に形成されていることを特徴とする。
上、あるいは、Ti含有量99%以上、Fe含有量0.
05重量%以下、C含有量0.03重量%以下、Ni含
有量0.03重量%以下、Cr含有量0.03重量%以
下、H含有量0.005重量%以下、O含有量0.05
重量%以下、N含有量0.03重量%以下であることを
特徴とする。
発明のステンレス鋼あるいはチタン基合金より構成され
ていることを特徴とする。
本発明のステンレス鋼あるいはチタン基合金により構成
されていることを特徴とする。
上記本発明のステンレス鋼あるいはチタン基合金により
構成されていることを特徴とする。
本発明のステンレス鋼あるいはチタン基合金により構成
されていることを特徴とする。
の一例としてステンレス鋼の酸化不働態膜の形成方法を
説明する。
重量%含むものを用いる。0.5%以下では、耐食性の
高い不働態膜は形成されず、また7%を超えると金属間
化合物を生成して形成される不働態膜も安定したものが
得られなくなる。Al含有量は特に3〜6重量%のもの
が好ましく、この範囲で、アルミニウム酸化物成分比が
一層高く、オゾンに対する耐食性の優れた酸化不働態膜
を形成することができる。
界研磨、砥粒研磨、バフ研磨等により、表面粗さRmax
を0.7μm以下とするのが好ましい。表面を平滑にす
ることにより、放出ガスが少なく、密着性が高く、ゴミ
の発生を抑制した緻密な酸化膜を形成することができ
る。なお、表面粗さを小さくすると、酸化不働態膜が成
長し難くなるため、所望の膜厚や膜質に応じ、形成温
度、雰囲気濃度、時間等とともに表面粗さを決定すれば
よい。
の酸化方法がある。
ppb〜1%)の水分を含む不活性ガスの雰囲気中で熱
処理(300〜700℃)する方法である。
働態膜生成速度が大きくなる傾向にある。水分量が50
0ppbより低いと酸化アルミニウムを主成分とする不
働態膜は生成し難く、また膜生成速度も極めて遅くなる
ため実用的ではない。一方、1%を超えると、生成温度
とも関連するが、オゾンに対して耐性の高い緻密な不働
態膜はでき難くなる。
は速くなる。300℃より低温では、ほとんど不働態膜
は成長せず実用的でなく、700℃を超えると表面荒れ
を生じ、オゾンに対する耐性も低下するため熱処理温度
は300〜700℃である。
特に3〜10%の水素ガスを混合するのが好ましい。水
素ガスを混合することにより、酸化不働態膜中の酸化鉄
の割合を低減でき、よりオゾン耐性の高い不働態膜を形
成することができる。
0ppm)酸素を含む不活性ガス雰囲気中で熱処理(3
00〜700℃)する方法である。
きくなる傾向にあり、上記第1の方法と同様に、オゾン
に対する耐性の高い不働態膜を効率よく得るには、酸素
濃度を1〜500ppmとする必要がある。また、不活
性ガスに水素ガスを10%以下混合するのが好ましいの
は、第1の方法と同様である。
pmのオゾンを含む酸素ガスにより処理(20〜300
℃)する方法である。
き、しかもオゾン耐性の高い酸化不働態膜を形成できる
という特徴を有するものである。オゾンを100ppm
以上含む酸素ガスは、純酸素ガス、あるいは酸素ガスを
含むガスを無声放電等により放電させることにより得る
ことができる。なお、この場合安定した放電を維持する
ためには、10%以下の窒素ガス(好ましくは4〜6
%)を混合させるのが好ましい。
分解し酸化鉄の成分が増え、オゾン耐性が低下するた
め、300℃以下とする。また、室温付近まで処理温度
を低下させると膜の成長は著しく遅くなるため、オゾン
濃度を例えば7%とするのが好ましい。
理を行う前に、酸化処理面を予めRmaxを0.7μm以
下まで研磨し、次いで不活性ガス中でベーキング処理
(200〜600℃が好ましい)を行うのが好ましい。
この前処理により、皮膜の清浄度は向上し、オゾンに対
する耐性は一層向上する。
方法を説明する。
ある。即ち、微量(500ppb〜1%)の水分あるい
は微量(1ppm〜500ppm)酸素を含む不活性ガ
ス雰囲気中で熱処理(300〜700℃)することによ
り、チタン酸化物を主成分とするオゾン耐性の高い酸化
不働態膜を形成することができる。
性質があるため、通常Tiを水素と接触させるようなこ
とは行われないが、本発明においてはTiを酸化する際
に水素を10%以下配合しても、チタンの水素脆性は起
こらず、逆に緻密で強固な不働態膜が得られる。
含む酸素ガスにより処理(20〜300℃)することに
よってもチタン酸化物を主成分とするオゾンに対する耐
性の高い酸化不働態膜を形成することができる。
は、N2ガス、Arガス等が挙げられる。
てアルミニウム酸化物からなる層を3nm以上の厚さの
酸化不働態膜が形成されたものである。3nmのアルミ
ニウム酸化物を主として含有する酸化不働態膜を有する
ステンレス鋼は、オゾンに対して極めて高い耐食性を示
す。3nmのアルミニウム酸化物を主として含有する酸
化不働態膜はRmaxが0.7μm以下のステンレス鋼表
面に形成されたものが好ましく、かかるステンレス鋼の
オゾン耐食性は一層向上する。
を0.5〜7重量%、より好ましくは3〜6重量%含有
するものが用いられる。かかるステンレス鋼を用いるこ
とにより、3nm以上のアルミ酸化膜を主成分とする酸
化不働態膜が容易に形成することができる。
てチタン酸化物からなる層を3nm以上の厚さの酸化不
働態膜が形成されたものである。3nmのチタン酸化物
を主として含有する酸化不働態膜を有するチタン基合金
は、オゾンに対して極めて高い耐食性を示す。3nmの
チタン酸化物を主として含有する酸化不働態膜はRmax
が0.7μm以下のステンレス鋼表面に形成されたもの
が好ましく、かかるステンレス鋼のオゾン耐食性は一層
向上する。
9重量%以上が好ましい。より好ましくは、さらに不純
物であるFe含有量0.05重量%以下、C含有量0.
03重量%以下、Ni含有量0.03重量%以下、Cr
含有量0.03重量%以下、H含有量0.005重量%
以下、O含有量0.05重量%以下、N含有量0.03
重量%以下とするチタン基合金である。かかるチタン基
合金を用いることにより、3nm以上のチタン酸化膜を
主成分とする酸化不働態膜が容易に形成することができ
る。
膜は、塩化水素ガス等の腐食性ガスに対する耐食性や脱
ガス特性は、酸化クロム不働態膜と同様の優れた特性を
示す上に、オゾンのような強酸化性物質を含む流体に対
しても極めて安定である。従って、本発明のステンレス
鋼やチタン基合金は、高清浄雰囲気が要求される真空・
減圧装置のプロセス装置、バルブ、フィルタ、継ぎ手等
の種々のガス及び超純水供給配管系の接流体部品及び流
体供給システム、ポンプ等の排気システム等に使用され
る他、オゾン等を含有する流体を用いるものに対しても
好適に適用することができる。また、本発明のステンレ
ス鋼は数μm径の線材にすることが容易であり、また酸
化不働態膜をその表面に形成できるため、ガスフィルタ
等に特に好適に適用される。
5重量%のオーステナイト系ステンレス鋼(SA7〜S
A9)を電界研磨し、表面粗度Rmaxを0.3μmとし
た。
し、不純物濃度1ppbのArガスを炉内に導入しなが
ら室温から600℃まで30分で昇温し、同温度で1時
間ベーキングを行いサンプル表面から吸着水分を除去し
た。
中に水素ガス10%、水分100ppmの処理ガスに切
り替え6時間の熱処理を行った。
理前後のESCA解析図の代表例としてSA8のものを
示す。図において、縦軸は各構成原子の組成、横軸はイ
オンによるエッチング時間であり、表面の深さに対応す
る。ここで、エッチングレートは、シリコン換算で7.
0nm/分である。
についても図1とほぼ同じ結果となった。
前記条件で処理されたステンレス鋼の表面は主としてア
ルミニウム酸化物からなる不働態膜が約60nmの厚さ
で形成されていることがわかる。なお、不働態膜の厚さ
は、図において、AlとFeの交点とした。
水分濃度を1ppmとし、酸化処理の温度を種々変えた
以外は、実施例1と同様にして、酸化不働態膜を形成し
た。形成した酸化不働態膜のサンプルについて測定した
ESCA解析図の一例を図2に示す。図2において、
(a)は処理前、(b)は500℃処理、(c)は55
0℃処理、(d)は600℃処理である。
るほど、Al酸化物が多い層の深さが増加していること
が分かる。尚、図示していないが、600℃を超えると
不働態膜表面は荒れはじめ、700℃を超えると荒れが
顕著になることが分かった。一方、300℃では、膜質
はほとんど変わらないものの不働態膜の生成速度は遅
く、500℃の場合に比べて10分の1であった。
水分濃度を種々変えた以外は実施例1と同じ酸化条件で
酸化不働態膜を形成した。形成した不働態膜のサンプル
の一部についてESCA解析図を図3に示す。図3にお
いて、(a)は処理前、(b)は0.5ppm処理、
(c)は1ppm処理、(d)は10ppm処理であ
る。
働態膜の厚さが深くなることが分かる。
A7)と酸化クロム酸化不働態膜のオゾン添加超純水に
対する耐性評価を行った。
組成のSUS316Lを実施例1と全く同じ方法で酸化
して形成したものであり、酸化クロム不働態膜の深さ方
向のプロフィールをESCAで測定したところ、酸化ク
ロムからなる不働態膜が20nm形成されていることが
確認された。
する超純水中に試料を浸漬した。浸漬後の試料を取り出
し表面観察を行ったところ、酸化クロム不働態膜は3日
で消失してしまったの対し、実施例1の酸化アルミニウ
ム不働態は10日後も変化はなく、走査型電子顕微鏡に
よる観察では表面の変化は全く認められなかった。
ス鋼を酸化処理炉内に挿入し、不純物濃度1ppbのA
rガスを炉内に導入しながら室温から600℃まで30
分で昇温し、同温度で1時間ベーキングを行いサンプル
表面から吸着水分を除去した。
中に水素ガス10%、水分1000ppmの処理ガスに
切り替え6時間の熱処理を行った。
ン水に10日間浸漬し、浸漬前後の表面を電子顕微鏡写
真及びESCAで観察した。電子顕微鏡では、表面はな
んらの変化も観測されなかったものの、図4(a)、
(b)に示す浸漬前後のESCA解析図からは、不働態
膜が若干侵食されていることが分かった。
ステンレス鋼を酸化処理炉内に挿入し、不純物濃度1p
pbのArガスを炉内に導入しながら室温から550℃
まで30分で昇温し、同温度にてAr雰囲気中に水素ガ
ス10%、水分10ppmの処理ガスに切り替え6時間
の熱処理を行った。
%を含む酸素、1L/min、室温で12時間流し、オ
ゾンガスの影響をESCAで調べた。結果を図5に示
す。図5において、(a)はオゾンガス露出前、(b)
は露出後である。
スに対しても本実施例の酸化不働態膜は全く安定である
ことが分かる。
はSA8の組成のステンレス鋼を作製し、実施例1と同
様にして酸化不働態膜を形成して、オゾン耐性、表面粗
さの評価を行った。結果を表2に示す。
粗さのいずれも優れていることが分かる。
し、不純物濃度1ppbのArガスを炉内に導入しなが
ら室温から600℃まで30分で昇温し、同温度で1時
間ベーキングを行いサンプル表面から吸着水分を除去し
た。
中に酸素ガスを1ppm、10ppm、500ppm、
水素ガス10%を導入し、6時間の熱処理を行った。
ろ、それぞれ7nm、10nm、20nmのアルミニウ
ム酸化物を主成分とする酸化不働態膜が形成されること
が確認された。
し、不純物濃度5ppbのArガスを炉内に導入しなが
ら室温から100℃まで10分で昇温し、オゾン発生装
置(住友精密工業株式会社製SG−01AH)より、1
00ppmのオゾンをを含有する酸素ガス(4%窒素ガ
スを含む)を導入し、6時間、酸化処理した。
ろ、10nmの酸化アルミニウムを主成分とする酸化不
働態膜が形成されていることが確認された。
て,Ti含有量99重量%、不純物として、Fe含有量
0.05重量%、C含有量0.03重量%、Ni含有量
0.03重量%、Cr含有量0.03重量%、H含有量
0.005重量%、O含有量0.05重量%、N含有量
0.03重量%のものを用い、砥粒研磨し、表面粗度R
maxを0.7μmとした。
純物濃度1ppbのArガスを炉内に導入しながら室温
から500℃まで30分で昇温し、同温度で1時間ベー
キングを行い、サンプル表面から吸着水分を除去した。
ベーキング終了後、同温度にてAr雰囲気中に水素ガス
10%、水分100ppmの処理ガスに切り替え1時間
の熱処理を行った。
解析図を示す。図6が示すように、上記条件で処理され
たチタン材の表面はチタン酸化物からなる不働態膜が形
成され、その厚さは50nmであることが確認されてい
る。尚、エッチングレートはシリコン換算で7nm/分
である。
CAスペクトル(b)とチタン酸化物焼結体のスペクト
ル(a)とを比較した。図から明らかなように、本実施
例で形成した酸化不働態膜の酸化チタンは酸化チタン焼
結体とほとんど同じであることが分かった。
を、未処理のチタン材と共に、12ppmのオゾン水に
1ヶ月浸漬した。浸漬前後のESCA解析図を図8に示
す。
が深く酸化されているのが分かり、また、酸化不働態膜
の場合はエッチング時間3.5分まで同じプロフィール
であり、浸漬により表面は変化しないことが分かる。
を酸化処理炉内に挿入し、不純物濃度5ppbのArガ
スを炉内に導入しながら室温から500℃まで昇温し、
同温度で1時間ベーキングを行いサンプル表面から吸着
水分を除去した。
中に酸素ガスを1ppm、10ppm、500ppm、
水素ガス10%を導入し、1時間の熱処理を行った。
ろ、それぞれ10nm、20nm、70nmの酸化チタ
ンからなる酸化不働態膜が形成されることが確認され
た。
を酸化処理炉内に挿入し、不純物濃度5ppbのArガ
スを炉内に導入しながら室温から100℃まで10分で
昇温し、オゾン発生装置(住友精密工業株式会社製SG
−01AH)より、100ppmのオゾンをを含有する
酸素ガス(5%窒素ガスを含む)を導入し、6時間、酸
化処理した。
ろ、40nmの酸化チタンからなる酸化不働態膜が形成
されていることが確認された。
り、ステンレス鋼にアルミニウム酸化物を主成分とした
酸化不働態膜、あるいはチタン基合金に酸化チタンの酸
化不働態膜を形成を容易に、かつ安定して形成すること
が可能となる。
オゾン等の強酸化性物質に対しても安定に存在すること
ができる。
造プロセスにおいて注目されているオゾンを用いた洗
浄、オゾンガス処理等の処理装置、供給系に安定かつ高
清浄な材料として、本発明のステンレス鋼、チタン基合
金を提供することができる。
向のプロフィールを示すグラフである。
向のプロフィールと酸化温度との関係を示すグラフであ
る。
向のプロフィールと酸化用の水分濃度との関係を示すグ
ラフである。
ロフィールの変化を示すグラフである。
深さプロフィールの変化を示すグラフである。
子深さプロフィールの変化を示すグラフである。
態膜のESCAスペクトルである。
ルの変化を示すグラフである。
Claims (37)
- 【請求項1】 Alを0.5重量%〜7重量%含有する
ステンレス鋼の表面を不活性ガスと500ppb〜1%
H2Oガスとの混合ガス雰囲気中において300℃〜7
00℃の温度で熱処理を行うことによりアルミニウム酸
化物を含有する酸化不働態膜を形成することを特徴とす
る酸化不働態膜の形成方法。 - 【請求項2】 Alを0.5重量%〜7重量%含有する
ステンレス鋼の表面をRmax0.7μm以下に研磨し、
次いで不活性ガス中においてべーキングを行うことによ
り該ステンレス鋼の表面から水分を除去し、次いで、不
活性ガスと500ppb〜1%H2Oガスとの混合ガス
雰囲気中において300℃〜700℃の温度で熱処理を
行うことによりアルミニウム酸化物を含有する酸化不働
態膜を形成することを特徴とする酸化不働態膜の形成方
法。 - 【請求項3】 Alを0.5重量%〜7重量%含有する
ステンレス鋼の表面を不活性ガスと1ppm〜500p
pmの酸素ガスとの混合ガス雰囲気中において300℃
〜700℃の温度で熱処理を行うことによりアルミニウ
ム酸化物を含有する酸化不働態膜を形成することを特徴
とする酸化不働態膜の形成方法。 - 【請求項4】 Alを0.5重量%〜7重量%含有する
ステンレス鋼の表面をRmax0.7μm以下に研磨し、
次いで不活性ガス中においてべーキングを行うことによ
り該ステンレス鋼の表面から水分を除去し、次いで、不
活性ガスと1ppm〜500ppmの酸素ガスとの混合
ガス雰囲気中において300℃〜700℃の温度で熱処
理を行うことによりアルミニウム酸化物を含有する酸化
不働態膜を形成することを特徴とする酸化不働態膜の形
成方法。 - 【請求項5】 前記混合ガス中にさらに水素ガスを10
%以下添加したことを特徴とする請求項1乃至4のいず
れか1項に記載の酸化不働態膜の形成方法。 - 【請求項6】 Alを0.5重量%〜7重量%含有する
ステンレス鋼の表面を酸素ガスと少なくとも100pp
mのオゾンガスとを含む混合ガス雰囲気中において20
〜300℃の温度で熱処理を行うことによりアルミニウ
ム酸化物を含有する酸化不働態膜を形成することを特徴
とする酸化不働態膜の形成方法。 - 【請求項7】 Alを0.5重量%〜7重量%含有する
ステンレス鋼の表面をRmax0.7μm以下に研磨し、
次いで不活性ガス中においてべーキングを行うことによ
り該ステンレス鋼の表面から水分を除去し、次いで、酸
素ガスと少なくとも100ppmのオゾンガスとを含む
混合ガス雰囲気中において20〜300℃の温度で熱処
理を行うことによりアルミニウム酸化物を含有する酸化
不働態膜を形成することを特徴とする酸化不働態膜の形
成方法。 - 【請求項8】 前記混合ガス中にさらに窒素ガスを10
%以下添加したことを特徴とする請求項6又は7に記載
の酸化不働態膜の形成方法。 - 【請求項9】 前記ステンレス鋼のAl含有量は3重量
%〜6重量%であることを特徴とする請求項1乃至8の
いずれか1項に記載の酸化不働態膜の形成方法。 - 【請求項10】 前記酸化不働態膜は主としてアルミニ
ウム酸化物とクロム酸化物の混合酸化膜であることを特
徴とする請求項1乃至9のいずれか1項に記載の酸化不
働態膜の形成方法。 - 【請求項11】 チタン基合金の表面を不活性ガスと5
00ppb〜1%H 2Oガスとの混合ガス雰囲気中にお
いて300℃〜700℃の温度で熱処理を行うことによ
りチタン酸化物からなる酸化不働態膜を形成することを
特徴とする酸化不働態膜の形成方法。 - 【請求項12】 チタン基合金の表面をRmax0.7μ
m以下に研磨し、次いで不活性ガス中においてべーキン
グを行うことにより該チタン基合金の表面から水分を除
去し、次いで、不活性ガスと500ppb〜1%H2O
ガスとの混合ガス雰囲気中において300℃〜700℃
の温度で熱処理を行うことによりチタン酸化物からなる
酸化不働態膜を形成することを特徴とする酸化不働態膜
の形成方法。 - 【請求項13】 チタン基合金の表面を不活性ガスと1
ppm〜500ppmの酸素ガスとの混合ガス雰囲気中
において300℃〜700℃の温度で熱処理を行うこと
によりチタン酸化物からなる酸化不働態膜を形成するこ
とを特徴とする酸化不働態膜の形成方法。 - 【請求項14】 チタン基合金の表面をRmax0.7μ
m以下に研磨し、次いで不活性ガス中においてべーキン
グを行うことにより該ステンレス鋼の表面から水分を除
去し、次いで、不活性ガスと1ppm〜500ppmの
酸素ガスとの混合ガス雰囲気中において300℃〜70
0℃の温度で熱処理を行うことによりチタン酸化物から
なる酸化不働態膜を形成することを特徴とする酸化不働
態膜の形成方法。 - 【請求項15】 前記混合ガス中にさらに水素ガスを1
0%以下添加したことを特徴とする請求項11乃至14
のいずれか1項に記載の酸化不働態膜の形成方法。 - 【請求項16】 チタン基合金の表面を酸素ガスと少な
くとも100ppmのオゾンガスとを含む混合ガス雰囲
気中において20℃〜300℃の温度で処理を行うこと
によりチタン酸化物からなる酸化不働態膜を形成するこ
とを特徴とする酸化不働態膜の形成方法。 - 【請求項17】 チタン基合金の表面をRmax0.7μ
m以下に研磨し、次いで不活性ガス中においてベーキン
グを行うことにより該チタン基合金の表面から水分を除
去し、次いで、酸素ガスと100ppm以上のオゾンガ
スとの混合ガス雰囲気中において20℃〜300℃の温
度で熱処理を行うことによりチタン酸化物からなる酸化
不働態膜を形成することを特徴とする酸化不働態膜の形
成方法。 - 【請求項18】 前記混合ガス中にさらに窒素ガスを1
0%以下添加したことを特徴とする請求項16又は17
に記載の酸化不働態膜の形成方法。 - 【請求項19】 前記チタン基合金は、Ti含有量99
重量%以上であることを特徴とする請求項11乃至18
のいずれか1項に記載の酸化不働態膜の形成方法。 - 【請求項20】 前記チタン基合金は、Ti含有量99
重量%以上、Fe含有量0.05重量%以下、C含有量
0.03重量%以下、Ni含有量0.03重量%以下、
Cr含有量0.03重量%以下、H含有量0.005重
量%以下、O含有量0.05重量%以下、N含有量0.
03重量%以下であることを特徴とする請求項11乃至
18のいずれか1項に記載の酸化不働態膜の形成方法。 - 【請求項21】 最表面に主としてアルミニウム酸化物
からなる層を3nm以上の厚さで有する酸化不働態膜が
形成されていることを特徴とするステンレス鋼。 - 【請求項22】 最表面に主としてアルミニウム酸化物
からなる層を3nm以上の厚さで有する酸化不働態膜が
Rmax0.7μm以下に研磨した表面に形成されている
ことを特徴とするステンレス鋼。 - 【請求項23】 前記ステンレス鋼は、Alを0.5重
量%〜7重量%含有することを特徴とする請求項21又
は22に記載のステンレス鋼。 - 【請求項24】 前記ステンレス鋼は、Alを3重量%
〜6重量%含有することを特徴とする請求項23に記載
のステンレス鋼。 - 【請求項25】 前記不働態膜は主としてアルミニウム
酸化物とクロム酸化物の混合酸化膜からなることを特徴
とする請求項21乃至24のいずれか1項に記載のステ
ンレス鋼。 - 【請求項26】 接流体部が請求項21乃至25のいず
れか1項に記載のステンレス鋼より構成されていること
を特徴とする接流体部品。 - 【請求項27】 接流体部が請求項21乃至25のいず
れか1項に記載のステンレス鋼により構成されているこ
とを特徴とするプロセス装置。 - 【請求項28】 接流体部が請求項21乃至25のいず
れか1項に記載のステンレス鋼により構成されているこ
とを特徴とする流体供給システム。 - 【請求項29】 接流体部が請求項21乃至25のいず
れか1項に記載のステンレス鋼により構成されているこ
とを特徴とする排気システム。 - 【請求項30】 最表面にチタン酸化物からなる層を3
nm以上の厚さで有する酸化不働態膜が形成されている
ことを特徴とするチタン基合金 - 【請求項31】 最表面にチタン酸化物からなる層を3
nm以上の厚さで有する酸化不働態膜がRmax0.7μ
m以下に研磨した表面に形成されていることを特徴とす
るチタン基合金 - 【請求項32】 前記チタン基合金は、Ti含有量99
%以上であることを特徴とする請求項30又は31に記
載のチタン基合金。 - 【請求項33】 前記チタン基合金は、Ti含有量99
%以上、Fe含有量0.05重量%以下、C含有量0.
03重量%以下、Ni含有量0.03重量%以下、Cr
含有量0.03重量%以下、H含有量0.005重量%
以下、O含有量0.05重量%以下、N含有量0.03
重量%以下であることを特徴とする請求項30乃至31
に記載のチタン基合金。 - 【請求項34】 接流体部が請求項30乃至33のいず
れか1項に記載のチタン基合金より構成されていること
を特徴とする接流体部品。 - 【請求項35】 接流体都が請求項30乃至33のいず
れか1項に記載のチタン基合金により構成されているこ
とを特徴とするプロセス装置。 - 【請求項36】 接流体部が請求項30乃至33のいず
れか1項に記載のチタン基合金により構成されているこ
とを特徴とする流体供給システム。 - 【請求項37】 接流体部が請求項30乃至33のいず
れか1項に記載のチタン基合金により構成されているこ
とを特徴とする排気システム。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008103754A (ja) * | 2007-12-10 | 2008-05-01 | Tadahiro Omi | 真空排気系用バルブの使用方法 |
JP2018179244A (ja) * | 2017-04-19 | 2018-11-15 | 株式会社本山製作所 | 安全弁並びにそれに用いるノズル及びジスク |
Families Citing this family (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1879213B1 (en) | 1999-05-26 | 2012-03-14 | Tokyo Electron Limited | Plasma processing apparatus |
DE10064134A1 (de) * | 2000-12-19 | 2002-06-27 | Bsh Bosch Siemens Hausgeraete | Verfahren zum Veredeln von metallischen Oberflächen zur Vermeidung von thermischen Anlauf-Farben |
JP3946130B2 (ja) * | 2002-11-20 | 2007-07-18 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 |
JP3930420B2 (ja) * | 2002-11-20 | 2007-06-13 | 愛三工業株式会社 | チタン部材の表面処理方法 |
DE602004031845D1 (de) * | 2003-06-10 | 2011-04-28 | Sumitomo Metal Ind | Ng |
ES2251312B1 (es) * | 2004-10-04 | 2007-07-01 | Universitat Politecnica De Catalunya | Nuevo tratamiento de oxidacion en aleaciones de niti para la disminucion de la liberacion de iones ni y la mejora de la biocompatibilidad. |
DE102006018770B4 (de) * | 2006-04-20 | 2010-04-01 | Eads Deutschland Gmbh | Gasgenerator für eine oxidatorreiche Verbrennung |
JP2008047381A (ja) * | 2006-08-14 | 2008-02-28 | Toyo Seikan Kaisha Ltd | 燃料電池用ステンレス部材 |
WO2010125686A1 (ja) * | 2009-04-30 | 2010-11-04 | 岩谷産業株式会社 | リン酸カルシウム複合体及びその製造方法 |
WO2012126143A1 (zh) * | 2011-03-23 | 2012-09-27 | 宁夏东方钽业股份有限公司 | 钽金属表面钝化方法及装置 |
FR2976349B1 (fr) | 2011-06-09 | 2018-03-30 | Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives | Procede de realisation d'un element absorbeur de rayonnements solaires pour centrale solaire thermique a concentration. |
CN104220631B (zh) * | 2012-03-28 | 2016-10-26 | 新日铁住金株式会社 | 含Cr奥氏体合金及其制造方法 |
US9493860B2 (en) | 2012-04-04 | 2016-11-15 | Nippon Steel & Sumitomo Metal Corporation | Chromium-containing austenitic alloy |
CN103695837B (zh) * | 2013-11-29 | 2015-09-30 | 莱芜钢铁集团有限公司 | 一种建筑钢筋表面防锈方法 |
US11674212B2 (en) * | 2014-03-28 | 2023-06-13 | Kubota Corporation | Cast product having alumina barrier layer |
CN104668297B (zh) * | 2015-01-21 | 2016-08-17 | 西安建筑科技大学 | 一种钢筋表面氧化层生成工艺 |
CN109680242A (zh) * | 2019-01-22 | 2019-04-26 | 江苏飞达环保科技有限公司 | 一种钢铁件表面防锈处理*** |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4266987A (en) * | 1977-04-25 | 1981-05-12 | Kennecott Copper Corporation | Process for providing acid-resistant oxide layers on alloys |
JPS54116346A (en) | 1978-03-02 | 1979-09-10 | Nippon Steel Corp | Pretreating method for al-containing austenitic heat resistant steel to stably form uniform al2o3 film |
FR2630133B1 (fr) | 1988-04-18 | 1993-09-24 | Siderurgie Fse Inst Rech | Procede pour l'amelioration de la resistance a la corrosion de materiaux metalliques |
JP2768952B2 (ja) * | 1988-08-04 | 1998-06-25 | 忠弘 大見 | 金属酸化処理装置及び金属酸化処理方法 |
US5672436A (en) * | 1990-05-31 | 1997-09-30 | Grumman Aerospace Corporation | Oxidation protection method for titanium |
US5259935A (en) * | 1991-05-03 | 1993-11-09 | The Boc Group, Inc. | Stainless steel surface passivation treatment |
EP0725160A1 (en) * | 1991-11-20 | 1996-08-07 | OHMI, Tadahiro | Method of forming passive oxide film based on chromium oxide and stainless steel |
JP3027279B2 (ja) * | 1993-03-25 | 2000-03-27 | 日本碍子株式会社 | Fe−Cr−Al合金の耐酸化性向上方法 |
JP3268927B2 (ja) | 1993-12-22 | 2002-03-25 | 新日本製鐵株式会社 | 加工性と耐銹性に優れたフェライト系ステンレス鋼光輝焼鈍材 |
JP3576598B2 (ja) * | 1993-12-30 | 2004-10-13 | 忠弘 大見 | 酸化不動態膜の形成方法及びフェライト系ステンレス鋼並びに流体供給システム及び接流体部品 |
JPH07331409A (ja) | 1994-05-31 | 1995-12-19 | Daido Steel Co Ltd | 絶縁・耐食性金属材の製造方法 |
-
1996
- 1996-06-20 JP JP16032396A patent/JP4104026B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1997
- 1997-06-20 WO PCT/JP1997/002132 patent/WO1997048834A1/ja active Application Filing
- 1997-06-20 US US09/202,105 patent/US6612898B1/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008103754A (ja) * | 2007-12-10 | 2008-05-01 | Tadahiro Omi | 真空排気系用バルブの使用方法 |
JP4644242B2 (ja) * | 2007-12-10 | 2011-03-02 | 忠弘 大見 | 真空排気系用バルブの使用方法 |
JP2018179244A (ja) * | 2017-04-19 | 2018-11-15 | 株式会社本山製作所 | 安全弁並びにそれに用いるノズル及びジスク |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4104026B2 (ja) | 2008-06-18 |
WO1997048834A1 (fr) | 1997-12-24 |
US6612898B1 (en) | 2003-09-02 |
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