JPH1081913A - ガス冷却による等温焼き入れ装置 - Google Patents

ガス冷却による等温焼き入れ装置

Info

Publication number
JPH1081913A
JPH1081913A JP23611496A JP23611496A JPH1081913A JP H1081913 A JPH1081913 A JP H1081913A JP 23611496 A JP23611496 A JP 23611496A JP 23611496 A JP23611496 A JP 23611496A JP H1081913 A JPH1081913 A JP H1081913A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
furnace
gas
temperature
cooling
gas pressure
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP23611496A
Other languages
English (en)
Inventor
Kazuhiko Katsumata
和彦 勝俣
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
IHI Corp
Original Assignee
IHI Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by IHI Corp filed Critical IHI Corp
Priority to JP23611496A priority Critical patent/JPH1081913A/ja
Publication of JPH1081913A publication Critical patent/JPH1081913A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Heat Treatments In General, Especially Conveying And Cooling (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 温度制御が容易なガス冷却による等温焼き入
れ装置を提供する。 【解決手段】 圧力容器1と、圧力容器1内のガス圧を
調整するガス圧調整装置12と、圧力容器1内に設けら
れた断熱壁に囲まれ、この断熱壁の一部が開閉可能な炉
2と、圧力容器1内に設けられ炉内ガスを熱交換器5で
冷却し、冷却ファン6で循環する冷却ライン8と、炉内
に設けられ炉内ガスを加熱するヒータ11と、炉内ガス
を循環する循環ファン15と、被処理体9の表面および
中心温度、炉内温度、圧力容器内圧力を入力し、ガス圧
調整装置12、冷却ライン8、ヒータ11および循環フ
ァン15を制御して被処理体9の表面温度と中心温度と
が設定温度になるように制御する制御部20とを備え
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は等温焼き入れをガス
冷却で行う等温焼き入れ装置に関する。
【0002】
【従来の技術】等温焼き入れ(マルクエンチまたはマル
テンパと言われる)は被処理体のマルテンサイト生成温
度域の上部またはそれよりやや高い温度(これを設定温
度という)に保持した冷却剤中に焼き入れして、各部が
一様にその温度になるまで保持した後、除冷する熱処理
方法で、焼き入れによる歪発生や焼き割れを防ぐととも
に、適当な焼き入れ組織を得ることができる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】等温焼き入れは従来塩
浴処理が行われていた。塩浴処理は設定温度に保持した
塩浴槽に被処理体を入れ、表面および内部の温度が一様
となった後塩浴槽から取り出し除冷する。この方法は温
度管理が容易であるため、広く使用されているが作業環
境が悪いという問題がある。このためガス冷却による等
温焼き入れも行われているが、温度制御が難しいという
問題があった。
【0004】本発明は、上述の問題点に鑑みてなされた
もので、温度制御が容易なガス冷却による等温焼き入れ
装置を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
請求項1の発明では、圧力容器と、該圧力容器内のガス
圧を調整するガス圧調整装置と、該圧力容器内に設けら
れ断熱壁に囲まれ、該断熱壁の一部が開閉可能な炉と、
前記圧力容器内に設けられ、炉内ガスを熱交換器で冷却
し冷却ファンで循環する冷却ラインと、前記炉内に設け
られ炉内ガスを加熱するヒータと、前記炉内に設けられ
炉内ガスを循環する循環ファンと、前記炉内に設けられ
炉内ガスの温度を測定するガス温度センサと、前記圧力
容器内に設けられガス圧を検出するガス圧センサと、炉
内に載置される被処理体の表面および中心温度を測定す
る温度センサと前記ガス温度センサと前記ガス圧センサ
との検出値を入力し、ガス圧調整装置、冷却ライン、ヒ
ータおよび循環ファンを制御して被処理体の冷却を行
い、被処理体の表面温度と中心温度が設定温度になるよ
うに制御する制御部とを備える。
【0006】炉の断熱壁の一部を開けて冷却ラインによ
り炉内ガスの冷却を行うことにより設定温度近くまで被
処理体を冷却する。このときガス調整装置により圧力容
器内のガス圧を高めることにより、炉内ガスの密度が大
きくなり熱伝達能力が増加して冷却ラインの冷却能力が
高まる。また炉壁を閉じ循環ファンを作動させることに
より、被処理体の表面温度と中心温度の均一化を促進す
る。また表面温度が設定温度より低下した時はヒータに
より炉内ガスを加熱し、表面温度を設定温度の近傍にな
るようにし、中心温度が設定温度に近づくようにする。
このように炉内ガスを冷却、加圧、加熱、循環すること
により被処理体の表面温度と中心温度が設定温度になる
ように制御することができる。
【0007】請求項2の発明では、前記制御部は、前記
被処理体の表面温度T2と前記設定温度T1との差D
(=T2−T1)に応じて、 D>K1の冷却域では、炉を開放し前記冷却ラインを
作動させると共に前記ガス圧調整装置により炉内ガス圧
をDの値に応じて調整させ、 K1≧D>K2の緩衝域では、前記冷却ラインの冷却
ファンを停止すると共に炉内ガス圧を一定値とし、炉を
開放状態で炉内ガスを自然循環させ、 K2≧D>−K3の調整域では炉を閉鎖し炉内ガス圧
を一定値とし、 −K3≧Dの加熱域では、炉を閉鎖し前記循環ファン
と前記ヒータとを動作させると共に炉内ガス圧を一定値
とし、 上記K1,K2,K3を正数とし、制御を行う。
【0008】被処理体の表面温度T2と設定温度T1と
の差Dに応じた炉内ガスの温度制御を次の4つの場合に
分けて行う。差DがK1より大きい冷却域では炉を開放
し冷却ラインの作動とガス圧調整装置の作動により、密
度の大きいガスを冷却ラインで冷却して炉内を通して循
環させ被処理体の温度を低下させる。DがK1とK2温
度の間の緩衝域では、冷却ラインの冷却ファンを停止
し、炉内ガス圧を一定値とし、炉内ガスを冷却ラインを
通して自然循環させる。自然循環中被処理体は冷却され
て温度が設定温度に近づく。DがK2と−K3の間とな
る調整域では、炉を閉鎖し、炉内ガス圧を一定値とす
る。この場合、被処理体の表面温度はほぼ設定値となっ
ているが、中心温度が設定値より高いため、炉内でガス
が自然循環を行い被処理体と熱交換する。この際循環フ
ァンを作動させると炉内温度分布が均一化し冷却時間の
短縮が図れる。Dが−K3より小さくなる加熱域では炉
を閉鎖した状態で炉内ガス圧を一定とし、循環ファンと
ヒータを作動させる。この場合、被処理体の表面温度が
設定温度より下がり過ぎるので加熱して設定温度に近づ
ける。中心温度は冷却を続け設定温度に近づく。このよ
うな4段階の制御を行うことにより、被処理体の表面温
度と中心温度を設定温度とすることができる。なお、K
1,K2,K3の値は被処理体の材質によって定める。
【0009】請求項3の発明では、前記制御部は、前記
加熱域において前記被処理体の設定温度T1と炉内ガス
温度の差が所定値となった時、被処理体の設定温度T1
と中心温度との差が所定の範囲になったと判定する。
【0010】被処理体の中心温度は冷却域、緩衝域、調
整域では炉内ガス温度と離れているが、加熱域で設定温
度T1に近づいてくると炉内ガス温度も設定温度T1に
近づくことが実験的に明らかとなってきた。これにより
炉内ガス温度を測定し、設定温度T1との差が所定値と
なった時、設定温度T1と中心温度の差が所定の範囲に
なったと判定することが可能となる。被処理体の中心に
温度センサを設けることは困難な場合は有益な方法であ
る。
【0011】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。図1は本実施の形態の等温
焼き入れ装置の縦断面図を示し、図2は図1のX−X断
面図を示す。1は圧力容器で大気圧に対し負圧を保持す
る。2は断熱壁によって囲まれた炉で上蓋3a、下蓋3
b、前方蓋3cが設けられ、上蓋3a、下蓋3bは冷却
時炉内ガス通風のため開放される。前方蓋3cは被処理
体9の搬出入の時に開閉される。5は熱交換器で炉内ガ
スを冷却する。冷媒として水が用いられ図示しない配管
により圧力容器1の外部から供給され、排出される。6
は冷却ファンで炉内ガスを熱交換器5に吸引し、冷却し
た後再び炉2内へ循環させる。7はガス分配器で冷却フ
ァン6より送られてくる冷却ガスを炉内へ分散して供給
し、炉内を均一に流れるようにする。熱交換器5,冷却
ファン6およびガス分配器7は冷却ライン8を構成す
る。本実施の形態はガス分配器7を有する場合について
述べるがこの機器7を有しなくても同様の処理が可能で
あり、不可欠の機器ではない。
【0012】炉2内には被処理体9を支持する支持台1
0が設けられている。支持台10は格子状等の骨組で構
成され、通風が十分行われる形状となっている。炉2の
周囲壁および天井、床に沿って被処理体9を加熱する電
気ヒータ11が設けられている。12はガス圧調整装置
で圧力容器1内のガス圧を調整する。13はガス分配器
駆動装置で、ガス分配器7の開度を調整し、炉内を循環
する冷却ガスの流量を調整する。14は蓋駆動装置で、
炉の上蓋3aおよび下蓋3bの開閉を行う。15は炉内
に設けられた循環ファンで炉2の上下蓋3a,3bおよ
び前方蓋3cを閉鎖した状態で炉内ガスの強制循環を行
う。16はヒータ電極で炉内の電気ヒータに電力を供給
する。
【0013】図3は炉を制御する制御ブロック図を示
す。制御部20には被処理体9の表面温度を検出する表
面温度センサ21と中心温度を検出する中心温度センサ
22が接続され、さらに圧力容器1の内圧を検出するガ
ス圧センサ23および炉内のガス温度を検出するガス温
度センサ24が接続されている。制御部20はこれらの
センサの検出値を入力して、予め設定された手順に従
い、ガス圧調整装置12、冷却ライン8、循環ファン1
5、電気ヒータ11および蓋駆動装置14を制御する。
【0014】上記のように構成された等温焼き入れ装置
による等温焼き入れ処理について説明する。等温焼き入
れは、被処理体9の材質によって決まる適切な温度から
マルテンサイト生成温度域の上部またはそれよりやや高
い温度(これを設定温度T1とする)まで冷却し、被処
理体9の表面と中心の温度を所定の許容値内で設定温度
T1にした後除冷する。なお炉内で使用する冷却ガスは
窒素ガスやアルゴンガスなどの不活性ガスである。
【0015】第1実施の形態を表1,図4を用いて説明
する。表1は本発明の4段制御冷却手順を示し、図4は
冷却温度曲線を示す。図4において、実線が被処理体の
中心温度、破線が表面温度、菱形で表した線が炉内ガス
温度を示す。本実施の形態の被処理体は炭素鋼の中物、
小物で、設定温度T1=370℃とし、1000℃から
冷却した場合を示す。被処理体の表面温度をT2、中心
温度をT4、炉内ガス温度をT3とする。4段階制御は
表面温度T2と設定温度T1との差D=T2−T1に基
づいて行われる。
【0016】
【表1】
【0017】温度差Dが10℃以上までを冷却域と称
し、炉2の上蓋3a,下蓋3bを開放し、冷却ライン8
を作動させると共にガス圧調整装置12により圧力容器
1内ガス圧をDに応じて600kPaから130kPa
まで調整する。ガス圧を高めて冷却ガスの密度を高くす
ることにより冷却が促進される。この冷却域では表面温
度T2が急速に低下するが、中心温度T4の低下は遅れ
る。炉内ガス温度T3は熱交換器5を通過させることに
よって急激に低下する。
【0018】温度差Dが10℃から3℃までの間を緩衝
域と称する。表面温度T2はほぼ設定温度T1に近づい
ているので冷却ライン8を停止し、炉内圧力は130k
Paに保持し、上蓋3a、下蓋3bは開の状態にして炉
内ガスの自然循環を行い、中心温度T4の低下を待つ。
この場合、熱交換器5は作動している。この領域では、
表面温度T2は中心からの放熱により上昇した後、再び
低下する。中心温度T4は放熱により急激に表面温度T
2に近づく。
【0019】温度差Dが3℃から−10℃(つまり表面
温度T2が設定温度T1より低下)までの間を調整域と
称する。表面温度T2は設定温度T1にほぼ到達してい
るが、中心温度T4がまだT1に到達していない状態で
ある。この場合、炉2の上蓋3aと下蓋3bとを閉とし
て炉2を閉鎖状態とし、循環ファン15を作動して炉内
ガスを炉内循環させ、中心温度T4を低下させる。この
場合炉2は断熱壁で構成されているが、放熱作用があ
り、表面温度T2は低下してゆくが、中心温度T4はま
だ設定温度T1に到達しない。なお、ガス圧は130k
Paで一定である。
【0020】温度差Dが−10℃から−30℃またはそ
れ以下の間を加熱域と称する。中心温度T4が設定温度
T1にまで低下するのを待つ間に表面温度T2は設定温
度T1より下がってしまったので、循環ファン15を作
動させた状態で電気ヒータ11を作動させた状態であ
る。これにより炉内ガス温度T3は上昇し、表面温度T
2も上昇して設定温度T1に近づくと共に、中心温度T
4も設定温度T1に近づいてきて、許容範囲(例えば1
0℃以内)になる。この時点で表面温度T2と中心温度
T4が設定温度T1に到達したものとみなし、冷却制御
を終了する。この場合炉内ガス温度T3は急激に上昇
し、設定温度T1にかなり近くなってくる。これ以降は
電気ヒータ11を停止し、循環ファン15を停止し、炉
2の上蓋3aと下蓋3bとを開放し、冷却ライン8によ
る冷却を行う。
【0021】次に第2実施の形態を表2,図5を用いて
説明する。表2は本発明の4段制御冷却手順を示し、図
5は冷却温度曲線を示す。図5の各曲線の表す意味は図
4と同じである。本実施の形態の被処理体は炭素鋼で大
物の場合であり、設定温度T1=370℃とし、100
0℃から冷却する。第1実施の形態との相違点は被処理
体が大物であることで、冷却域における冷却を段階的に
行わず同一条件で行う。
【0022】
【表2】
【0023】表2、図5において、表面温度T2と設定
温度T1との温度差Dが一旦、3℃以下になるまで初期
冷却設定圧力600kPaで圧力容器1内のガス圧力を
一定とし、冷却ライン8のみで冷却を行う。その後、圧
力容器1内ガス圧力を130kPaとし、温度差Dの値
に応じて+10℃以上となった場合には、冷却域の動作
を行い、その後は10℃から3℃までの緩衝域、3℃か
ら−10℃までの調整域、−10℃以下の加熱域の処理
は表1,図4の場合と同様である。
【0024】上述した実施の形態では被処理体の中心温
度T4を被処理体の中心に設けた熱電対で測定してい
る。しかし、被処理体によって、このように中心に熱電
対を設定できない場合がある。図4,図5の加熱域の終
了時、つまり表面温度T2と、中心温度T4とが設定温
度T1に許容偏差(例えば10℃)以内で一致する時、
図において円Aで示すように炉内ガス温度T3も設定温
度T1に近づいている。炉内ガス温度T3と設定温度T
1との差が所定値となったとき、中心温度T4は設定温
度T1に達したと判定することができる。この所定値に
ついては材質同一でほぼ同様の大きさの被処理体につい
て中心温度を測定して等温焼き入れしたデータに基づい
て決定する。なお、材質および大きさが同一の被処理体
の等温焼き入れのデータがある場合は、同一処理を行う
ことにより、タイマーにより表面温度T2と中心温度T
4が設定温度T1に到達したことを判定することができ
る。
【0025】
【発明の効果】以上の説明より明らかなように、本発明
は、炉内ガス圧力調整装置:冷却ライン、炉内の循環フ
ァン、およびヒータを用い、被処理体の表面温度、中心
温度、炉内ガス温度を検出してガス冷却を行い、等温焼
き入れを行うことができる。また、表面温度と設定温度
との温度差により冷却域、緩衝域、調整域および加熱域
を設定して処理することにより精度よく等温焼き入れを
行うことができる。またその際中心温度の測定に代えて
炉内ガス温度より、中心温度を推定することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本実施の形態の等温焼き入れ装置の縦断面図で
ある。
【図2】図1のX−X断面図である。
【図3】制御系統を示す図である。
【図4】第1実施の形態の処理温度曲線を示す図であ
る。
【図5】第2実施の形態の処理温度曲線を示す図であ
る。
【符号の説明】
1 圧力容器 2 炉 3a 上蓋 3b 下蓋 3c 前方蓋 5 熱交換器 6 冷却ファン 7 ガス分配器 8 冷却ライン 9 被処理体 10 支持台 11 電気ヒータ 12 ガス圧調整装置 13 ガス分配器駆動装置 14 蓋駆動装置 15 循環ファン 16 ヒータ電極

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 圧力容器と、該圧力容器内のガス圧を調
    整するガス圧調整装置と、該圧力容器内に設けられ断熱
    壁に囲まれ、該断熱壁の一部が開閉可能な炉と、前記圧
    力容器内に設けられ、炉内ガスを熱交換器で冷却し冷却
    ファンで循環する冷却ラインと、前記炉内に設けられ炉
    内ガスを加熱するヒータと、前記炉内に設けられ炉内ガ
    スを循環する循環ファンと、前記炉内に設けられ炉内ガ
    スの温度を測定するガス温度センサと、前記圧力容器内
    に設けられガス圧を検出するガス圧センサと、炉内に載
    置される被処理体の表面および中心温度を測定する温度
    センサと前記ガス温度センサと前記ガス圧センサとの検
    出値を入力し、ガス圧調整装置、冷却ライン、ヒータお
    よび循環ファンを制御して被処理体の冷却を行い、被処
    理体の表面温度と中心温度が設定温度になるように制御
    する制御部とを備えたことを特徴とするガス冷却による
    等温焼き入れ装置。
  2. 【請求項2】 前記制御部は、前記被処理体の表面温度
    T2と前記設定温度T1との差D(=T2−T1)に応
    じて、 D>K1の冷却域では、炉を開放し前記冷却ラインを
    作動させると共に前記ガス圧調整装置により炉内ガス圧
    をDの値に応じて調整させ、 K1≧D>K2の緩衝域では、前記冷却ラインの冷却
    ファンを停止すると共に炉内ガス圧を一定値とし、炉を
    開放状態で炉内ガスを自然循環させ、 K2≧D>−K3の調整域では炉を閉鎖し炉内ガス圧
    を一定値とし、 −K3≧Dの加熱域では、炉を閉鎖し前記循環ファン
    と前記ヒータとを動作させると共に炉内ガス圧を一定値
    とし、 上記K1,K2,K3を正数とし、制御を行うことを特
    徴とする請求項1記載のガス冷却による等温焼き入れ装
    置。
  3. 【請求項3】 前記制御部は、前記加熱域において前記
    被処理体の設定温度T1と炉内ガス温度の差が所定値と
    なった時、被処理体の設定温度T1と中心温度との差が
    所定の範囲になったと判定することを特徴とする請求項
    2記載のガス冷却による等温焼き入れ装置。
JP23611496A 1996-09-06 1996-09-06 ガス冷却による等温焼き入れ装置 Pending JPH1081913A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP23611496A JPH1081913A (ja) 1996-09-06 1996-09-06 ガス冷却による等温焼き入れ装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP23611496A JPH1081913A (ja) 1996-09-06 1996-09-06 ガス冷却による等温焼き入れ装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH1081913A true JPH1081913A (ja) 1998-03-31

Family

ID=16995953

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP23611496A Pending JPH1081913A (ja) 1996-09-06 1996-09-06 ガス冷却による等温焼き入れ装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH1081913A (ja)

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10224129A1 (de) * 2002-05-29 2003-12-18 Schmetz Gmbh Wärmebehandlungsanlage und Verfahren zum Betreiben einer solchen Anlage
JP2005240104A (ja) * 2004-02-26 2005-09-08 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd 冷却方法
JP2007162142A (ja) * 2007-01-29 2007-06-28 Dowa Holdings Co Ltd 鋼部品のガス冷却方法
JP2008527176A (ja) * 2005-01-17 2008-07-24 エチューズ エ コンストリクションズ メカニクス 鋼製部品用ガス焼入れセル
KR100873791B1 (ko) 2007-04-27 2008-12-15 주식회사 엔케이 고압 가스용기 제조용 담금질 방법 및 담금질 장치
JP2009513825A (ja) * 2005-10-27 2009-04-02 ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング 半製品の材料組織を乾燥変態させるための方法及び装置
WO2011118737A1 (ja) * 2010-03-25 2011-09-29 株式会社Ihi 熱処理方法
JP2012047445A (ja) * 2008-07-24 2012-03-08 Ipsen Co Ltd 金属加工品の熱処理のためのレトルト炉
CN109022711A (zh) * 2018-10-17 2018-12-18 江苏力沃新能源科技股份有限公司 大型压力容器外整体焊后热处理***

Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10224129B4 (de) * 2002-05-29 2006-11-02 Schmetz Gmbh Wärmebehandlungsanlage zum Betreiben einer solchen Anlage
DE10224129A1 (de) * 2002-05-29 2003-12-18 Schmetz Gmbh Wärmebehandlungsanlage und Verfahren zum Betreiben einer solchen Anlage
JP2005240104A (ja) * 2004-02-26 2005-09-08 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd 冷却方法
JP2008527176A (ja) * 2005-01-17 2008-07-24 エチューズ エ コンストリクションズ メカニクス 鋼製部品用ガス焼入れセル
JP2009513825A (ja) * 2005-10-27 2009-04-02 ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング 半製品の材料組織を乾燥変態させるための方法及び装置
US8715566B2 (en) 2005-10-27 2014-05-06 Robert Bosch Gmbh Method and installation for the dry transformation of a material structure of semifinished products
JP2007162142A (ja) * 2007-01-29 2007-06-28 Dowa Holdings Co Ltd 鋼部品のガス冷却方法
KR100873791B1 (ko) 2007-04-27 2008-12-15 주식회사 엔케이 고압 가스용기 제조용 담금질 방법 및 담금질 장치
JP2012047445A (ja) * 2008-07-24 2012-03-08 Ipsen Co Ltd 金属加工品の熱処理のためのレトルト炉
WO2011118737A1 (ja) * 2010-03-25 2011-09-29 株式会社Ihi 熱処理方法
JP2011202228A (ja) * 2010-03-25 2011-10-13 Ihi Corp 熱処理方法
CN102822357A (zh) * 2010-03-25 2012-12-12 株式会社Ihi 热处理方法
US9593390B2 (en) 2010-03-25 2017-03-14 Ihi Corporation Heat treatment method
CN109022711A (zh) * 2018-10-17 2018-12-18 江苏力沃新能源科技股份有限公司 大型压力容器外整体焊后热处理***

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4642349B2 (ja) 縦型熱処理装置及びその低温域温度収束方法
JP3916490B2 (ja) 熱間等方圧プレス装置および熱間等方圧プレス方法
JP5662845B2 (ja) 熱処理装置およびその制御方法
US20120064472A1 (en) Vertical-type heat treatment apparatus
JP2003045881A (ja) 基質の熱処理を行う方法および装置
JPH1081913A (ja) ガス冷却による等温焼き入れ装置
JP2014237886A (ja) 熱処理設備及び熱処理方法
WO2018128046A1 (ja) シリコン単結晶の引き上げ条件演算プログラム、シリコン単結晶のホットゾーンの改良方法、およびシリコン単結晶の育成方法
JP2006266615A (ja) 熱処理炉
JP2007084870A (ja) 浸炭処理装置及び方法
TWI250585B (en) Heat treatment apparatus for preventing an initial temperature drop when consecutively processing a plurality of objects
JP2008214721A (ja) 等温処理装置
JP2003194467A (ja) 均熱処理装置
JPS63278227A (ja) 熱処理装置
JP2640398B2 (ja) ローラハース式熱処理炉における鋼管の冷却制御方法
JP3368341B2 (ja) 鋼の焼入れ方法及びその装置
JPH02205623A (ja) 真空炉における被処理物の冷却方法及び真空炉
RU2151108C1 (ru) Способ отжига стекла
JP2622356B2 (ja) 真空加熱処理方法
JP2004235425A (ja) 縦型炉および半導体装置の製造方法
JP2001263957A (ja) 真空炉
US6609906B1 (en) Adjustable ratio control system and method
JP5613471B2 (ja) 縦型熱処理装置及びその制御方法
EP0848223B1 (en) Vertical heat treatment device
JPS5677324A (en) Cooling method and its apparatus in heat treatment of tool steel