JPH10719A - Carrier film for ceramic green sheet - Google Patents
Carrier film for ceramic green sheetInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、セラミックグリー
ンシート製造時に用いられるキャリアフィルムに関す
る。より詳しくは、表面平滑性、打ち抜き性、耐溶剤
性、離型性、耐熱性及び寸法安定性に優れたキャリアフ
ィルムに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a carrier film used for producing a ceramic green sheet. More specifically, the present invention relates to a carrier film having excellent surface smoothness, punching properties, solvent resistance, mold release properties, heat resistance and dimensional stability.
【０００２】[0002]
【従来の技術】一般に、セラミックＩＣ基板及びパッケ
ージ等の製造において使用されるグリーンシートは、ア
ルミナ、バインダ、可塑剤及び溶剤等からなるスラリー
を、ドクターブレード法等によりキャリアフィルム上に
塗布した後、赤外線照射又は熱風等で乾燥させて得ら
れ、その厚さは０．０５〜１ｍｍである。得られたグリ
ーンシートは、金型等で任意の形状にキャリアフィルム
ごと打ち抜かれ、又、必要に応じてスルーホール等が同
様の方法で形成される。その後、導体印刷、焼成及びメ
ッキ等の工程を経て、目的とするセラミック配線板を得
ている。2. Description of the Related Art In general, a green sheet used for manufacturing a ceramic IC substrate and a package is formed by applying a slurry composed of alumina, a binder, a plasticizer, a solvent and the like onto a carrier film by a doctor blade method or the like. It is obtained by drying with infrared irradiation or hot air, and has a thickness of 0.05 to 1 mm. The obtained green sheet is punched together with the carrier film into an arbitrary shape using a mold or the like, and through holes and the like are formed by a similar method as necessary. After that, through a process such as conductor printing, baking, and plating, a target ceramic wiring board is obtained.
【０００３】従来、キャリアフィルムには紙、ポリプロ
ピレン（以下ＰＰと記す）及びポリエチレンテレフタレ
ート（以下ＰＥＴと記す）等が使用されており、必要に
応じて離型剤等がキャリアフィルム表面に塗布されてい
る。Conventionally, paper, polypropylene (hereinafter abbreviated as PP), polyethylene terephthalate (hereinafter abbreviated as PET) and the like have been used for carrier films, and a releasing agent or the like is applied to the surface of the carrier film as necessary. I have.
【０００４】上記キャリアフィルムに要求される物性と
しては、表面平滑性、金型等で切断し易くするための打
ち抜き性、スラリー中の有機溶剤に侵されない耐溶剤
性、グリーンシートを剥離し易くするための離型性、ス
ラリーの乾燥に耐え得る耐熱性及び寸法安定性等があ
る。[0004] The physical properties required of the carrier film include surface smoothness, punchability for facilitating cutting with a mold or the like, solvent resistance not to be affected by the organic solvent in the slurry, and easy peeling of the green sheet. Release properties, heat resistance enough to withstand drying of the slurry, and dimensional stability.
【０００５】しかしながら、従来の技術では上記物性を
全て満たすキャリアフィルムは得られなかった。例え
ば、キャリアフィルムとして、紙を使用した場合は、紙
は表面平滑性が悪いので得られたグリーンシートの表面
平滑性も悪く、最終製品として十分なものが得られな
い。又、切断時に紙粉等が出てグリーンシートに付着す
るという不具合も生じる。ＰＰを使用した場合は、ＰＰ
は耐熱性に劣るのでスラリーの乾燥が低温に限られ、乾
燥工程に時間がかかり生産性が悪い。特公昭６２─２７
３７１０においては、ＰＥＴが使用されているが、切断
時のキャリアフィルムの伸びが大きく加工性が悪いとい
う問題があった。[0005] However, a carrier film which satisfies all of the above physical properties cannot be obtained by the conventional techniques. For example, when paper is used as a carrier film, the obtained green sheet has poor surface smoothness because the paper has poor surface smoothness, and a sufficient product cannot be obtained as a final product. In addition, there is also a problem that paper powder or the like comes out at the time of cutting and adheres to the green sheet. If PP is used, PP
Is inferior in heat resistance, so drying of the slurry is limited to a low temperature, the drying step takes time, and the productivity is poor. Tokiko Sho 62─27
In 3710, PET is used, but there is a problem that the carrier film has a large elongation at the time of cutting and has poor workability.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、表面
平滑性、打ち抜き性、耐溶剤性、離型性、耐熱性及び寸
法安定性に優れたセラミックグリーンシート用キャリア
フィルムを提供することにある。SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a carrier film for a ceramic green sheet which is excellent in surface smoothness, punching property, solvent resistance, mold release property, heat resistance and dimensional stability. is there.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明のセラミックグリ
ーンシート用キャリアフィルムは、３０分間１００℃に
保った時の熱収縮率が０．３％以下、ＭＤ及びＴＤの引
張破壊伸びが１３０％以下並びに表面粗さＲａが０．１
μｍ以下である二軸延伸ポリエチレンナフタレート（以
下ＰＥＮと記す）フィルムの片面に、剥離強度が１０〜
５０ｇ／２５ｍｍ、残留接着率が９０％以上の離型層が
形成されていることを特徴とする。The carrier film for ceramic green sheets of the present invention has a heat shrinkage of 0.3% or less and a tensile elongation at break of MD and TD of 130% or less when kept at 100 ° C. for 30 minutes. And the surface roughness Ra is 0.1
A biaxially stretched polyethylene naphthalate (hereinafter referred to as PEN) film having a peel strength of 10 μm or less has a peel strength of 10 to 10 μm.
It is characterized in that a release layer of 50 g / 25 mm and a residual adhesion rate of 90% or more is formed.
【０００８】本発明における二軸延伸ＰＥＮフィルムと
は、逐次二軸延伸又は同時二軸延伸によりＭＤ及びＴＤ
に１．５〜１０倍に延伸された、ポリエチレン─２，６
─ナフタレートを主成分とするポリマーからなり、必要
に応じて有機及び無機充填剤、酸化防止剤、紫外線吸収
剤、帯電防止剤、有機滑剤、着色剤、安定剤並びに可塑
剤等が添加されていてもよい。[0008] The biaxially stretched PEN film in the present invention refers to MD and TD by sequential biaxial stretching or simultaneous biaxial stretching.
Polyethylene # 2,6 stretched 1.5 to 10 times
か ら Consisting of a polymer containing naphthalate as a main component, organic and inorganic fillers, antioxidants, ultraviolet absorbers, antistatic agents, organic lubricants, coloring agents, stabilizers and plasticizers are added as necessary. Is also good.
【０００９】本発明でいうＭＤとは、原反フィルムの製
造工程における機械方向、即ち、成形され移動する方向
であり、ＴＤとはＭＤと直交する方向である。In the present invention, the MD is a machine direction in the production process of the raw film, that is, a direction in which the film is formed and moved, and the TD is a direction orthogonal to the MD.
【００１０】上記二軸延伸ＰＥＮフィルムは、３０分間
１００℃に保った時の熱収縮率が０．３％以下であり、
０．３％を超えるとグリーンシート乾燥時の該フィルム
の熱収縮のため、得られるグリーンシートの表面平滑性
が損なわれる。又、熱収縮率をさらに低下させるために
アニール処理等が施されていてもよい。アニール処理と
は、例えば、無張力又は適度の張力を加え、１００〜２
００℃で数秒〜１時間程度の間熱を加えて１度熱収縮を
起こすことにより、２度目以降の熱収縮率を低下させる
ことである。尚、ここでいう熱収縮率とは、〔（ (処理
前のサンプルの長さ) − (処理後のサンプルの長さ) ）
／ (処理前のサンプルの長さ) 〕×１００により計算し
た値である。The biaxially stretched PEN film has a heat shrinkage of 0.3% or less when kept at 100 ° C. for 30 minutes,
If it exceeds 0.3%, the surface smoothness of the obtained green sheet is impaired due to thermal shrinkage of the film when drying the green sheet. Further, an annealing process or the like may be performed to further reduce the heat shrinkage. The annealing treatment is performed, for example, by applying no tension or moderate tension, and
By applying heat at 00 ° C. for several seconds to about one hour to cause thermal contraction once, the thermal contraction rate after the second time is reduced. Here, the heat shrinkage rate is [(((length of sample before treatment) − (length of sample after treatment)))
/ (Length of sample before processing)] × 100.
【００１１】又、上記二軸延伸ＰＥＮフィルムのＭＤ及
びＴＤの引張破壊伸びは１３０％以下であり、１３０％
を超えると切断時等の該フィルムの伸びにより、打ち抜
き性が損なわれる。引張破壊伸びは、二軸延伸倍率等に
より調整される。尚、ここでいう引張破壊伸びとはＪＩ
Ｓ Ｋ ７１１３に準拠して測定した値である。The tensile elongation at break of MD and TD of the biaxially stretched PEN film is 130% or less.
If it exceeds 300, the punching property is impaired due to elongation of the film at the time of cutting or the like. The tensile elongation at break is adjusted by a biaxial stretching ratio or the like. The tensile elongation at break referred to here is JI
This is a value measured according to SK7113.
【００１２】又、上記二軸延伸ＰＥＮフィルムの表面粗
さＲａは０．１μｍ以下であり、０．１μｍを超えると
得られるグリーンシートの表面平滑性が損なわれる。本
発明では、二軸延伸ＰＥＮフィルムとグリーンシートの
間に離型層が形成されているが、離型層は非常に薄膜の
ため、二軸延伸ＰＥＮフィルム及びグリーンシートの表
面の粗さＲａは等価とみなせる。尚、ここでいう表面の
粗さＲａとはＪＩＳＢ ０６０１に準拠して測定した値
である。The surface roughness Ra of the biaxially stretched PEN film is 0.1 μm or less, and if it exceeds 0.1 μm, the surface smoothness of the obtained green sheet is impaired. In the present invention, the release layer is formed between the biaxially stretched PEN film and the green sheet. However, since the release layer is very thin, the surface roughness Ra of the biaxially stretched PEN film and the green sheet is Can be considered equivalent. Here, the surface roughness Ra is a value measured according to JISB0601.
【００１３】上記二軸延伸ＰＥＮフィルムの厚さは、薄
すぎると作業性及びキャリアフィルムとしての機能が低
下し、厚すぎるとコストが高くなることから、２５〜１
２５μｍが好ましい。If the thickness of the biaxially stretched PEN film is too small, the workability and the function as a carrier film decrease, and if the thickness is too large, the cost increases.
25 μm is preferred.
【００１４】本発明における離型層はグリーンシートを
剥離し易くするためのものであり、これを形成する離型
剤としては特には限定されず、例えば、付加反応型シリ
コーン、縮合反応型シリコーン、紫外線硬化型シリコー
ン及び電子線硬化型シリコーン等のシリコーン系離型
剤、長鎖アルキルアクリレート重合物及び長鎖アルキル
変性高分子等の有機離型剤並びにフッ素系離型剤等があ
げられるが、剥離性の優れるシリコーン系離型剤が好ま
しい。The release layer in the present invention is for facilitating the peeling of the green sheet, and the release agent for forming the green sheet is not particularly limited. For example, an addition reaction type silicone, a condensation reaction type silicone, Silicone release agents such as UV-curable silicones and electron beam-curable silicones, organic release agents such as long-chain alkyl acrylate polymers and long-chain alkyl-modified polymers, and fluorine-based release agents. Silicone release agents having excellent properties are preferred.
【００１５】上記離型剤は、一般に溶剤に溶解されてい
る。溶剤としては、例えば、アルコール類、ケトン類、
炭化水素類、セロソルブ類、フェノール類及びエステル
類等の単独又は２種以上の混合物からなる有機溶剤があ
げられ、必要に応じて水で希釈されていてもよい。又、
必要に応じて界面活性剤、柔軟剤、架橋剤、触媒及びシ
リカ粉末等が添加されていてもよい。The above release agent is generally dissolved in a solvent. Examples of the solvent include alcohols, ketones,
Examples thereof include an organic solvent composed of one or a mixture of two or more of hydrocarbons, cellosolves, phenols and esters, and may be diluted with water as needed. or,
If necessary, a surfactant, a softening agent, a crosslinking agent, a catalyst, a silica powder, and the like may be added.
【００１６】又、上記離型剤が熱硬化性以外の場合は、
それぞれの離型剤に適する紫外線照射及び電子線照射等
の任意の硬化工程が単独又は後述する乾燥工程と併用さ
れてよい。When the release agent is other than thermosetting,
An arbitrary curing step such as ultraviolet irradiation and electron beam irradiation suitable for each release agent may be used alone or in combination with a drying step described below.
【００１７】本発明における離型層は上記離型剤溶液を
二軸延伸ＰＥＮフィルムへ塗布及び乾燥することにより
形成される。塗布及び乾燥は任意の方法が使用されてよ
く、例えば、塗布方法としてはグラビアコーター、マイ
ヤーバーコーター、ロールコーター、ブレードコータ
ー、キスロールコーター及びダイコーター等があげら
れ、乾燥方法としては熱風乾燥及び赤外線乾燥等があげ
られる。The release layer in the present invention is formed by applying the above release agent solution to a biaxially stretched PEN film and drying. Any method may be used for coating and drying.Examples of the coating method include a gravure coater, a Meyer bar coater, a roll coater, a blade coater, a kiss roll coater, and a die coater. Infrared drying and the like.
【００１８】又、二軸延伸ＰＥＮフィルムの表面に、離
型層との密着性を向上させるため、コロナ放電処理又は
各種アンカー剤層の形成等が施されていてもよい。コロ
ナ放電処理の際の濡れ性は４０ｄｙｎ／ｃｍ以上が好ま
しく、さらに好ましくは５０ｄｙｎ／ｃｍ以上である。The surface of the biaxially stretched PEN film may be subjected to a corona discharge treatment or the formation of various anchoring agent layers in order to improve the adhesion to the release layer. The wettability at the time of the corona discharge treatment is preferably 40 dyn / cm or more, and more preferably 50 dyn / cm or more.
【００１９】上記離型層の剥離強度は１０〜５０ｇ／２
５ｍｍであり、１０ｇ／２５ｍｍ未満ではグリーンシー
トの滑り等が発生し、５０ｇ／２５ｍｍを超えると剥離
の機能が低下する。尚、本発明でいう剥離強度とは、離
型層が形成されていない側のキャリアシート表面を両面
テープで金属板に貼り合わせた後、離型層の表面にポリ
エステルテープ（日東電工社製、商品名３１Ｂ）を２ｋ
ｇのローラーで１往復させて貼り合わせ２０分間放置し
た後、３００ｍｍ／ｍｉｎの速さで１８０度の角度で該
ポリエステルテープを剥離した際の剥離強度の値であ
る。この時の温度は通して２３℃である。The release strength of the release layer is 10 to 50 g / 2.
When the thickness is less than 10 g / 25 mm, slippage of the green sheet occurs, and when the thickness exceeds 50 g / 25 mm, the peeling function is reduced. In the present invention, the peel strength means that the surface of the carrier sheet on which the release layer is not formed is bonded to a metal plate with a double-sided tape, and then a polyester tape (manufactured by Nitto Denko Corporation, 2k for product name 31B)
g is a reciprocation with a roller of 1 g, and after being left to adhere for 20 minutes, the value of the peel strength when the polyester tape is peeled at a speed of 300 mm / min at an angle of 180 degrees. The temperature at this time is 23 ° C. throughout.
【００２０】又、上記離型層の残留接着率は９０％以上
であり、９０％未満では、グリーンシートに離型剤が転
写し、例えば導電ペースト印刷時に印刷ができないとか
印刷が剥がれる等の問題が生じる。尚、本発明でいう残
留接着率とは、ＪＩＳ Ｚ０２３７に準拠して測定した
１８０度引きはがし粘着力がＦ0 であるポリエステルテ
ープ３１Ｂ（日東電工社製）を２ｋｇのローラーで１往
復させて離型層の表面に貼り合わせ、２０ｇ／ｃｍ2 の
荷重をかけて２０時間放置した後該ポリエステルテープ
を剥離し、該ポリエステルテープの１８０度引きはがし
粘着力をＪＩＳ Ｚ ０２３７に準拠して測定した値を
Ｆとし、（Ｆ／Ｆ0 ）×１００の計算により得られた値
である。この時の温度は通して２３℃である。Further, the residual adhesion ratio of the release layer is 90% or more. If the residual adhesion ratio is less than 90%, the release agent is transferred to the green sheet, and for example, the printing cannot be performed at the time of printing the conductive paste or the printing is peeled off. Occurs. Incidentally, the residual adhesion ratio referred to in the present invention, the polyester tape 31B 180 ° peel adhesion was measured according to JIS Z0237 is F 0 (manufactured by Nitto Denko Corp.) was reciprocated once roller 2kg away The polyester tape was adhered to the surface of the mold layer, left for 20 hours under a load of 20 g / cm 2 , and the polyester tape was peeled off. The 180-degree peeling adhesion of the polyester tape was measured according to JIS Z 0237. And F is a value obtained by calculation of (F / F 0 ) × 100. The temperature at this time is 23 ° C. throughout.
【００２１】[0021]
実施例１、比較例３、４ 厚さ７５μｍの二軸延伸ＰＥＮフィルムの片面に、表１
に示した離型剤１００重量部、触媒（東レ・ダウコーニ
ング・シリコーン社製、商品名ＳＲＸ２１２ＣＡＴ）
０．６重量部及びトルエン５００重量部からなる離型剤
溶液を、乾燥後の塗布量が０．１ｇ／ｍ2 となるように
マイヤーバーコーターで塗布し、１４０℃で３０秒間乾
燥して、グリーンシート用キャリアフィルムを得た。Example 1, Comparative Examples 3 and 4 Table 1 was placed on one surface of a biaxially stretched PEN film having a thickness of 75 μm.
100 parts by weight of a release agent shown in (1), a catalyst (trade name: SRX212CAT, manufactured by Dow Corning Silicone Toray Co., Ltd.)
A release agent solution consisting of 0.6 parts by weight and 500 parts by weight of toluene was applied with a Meyer bar coater so that the applied amount after drying was 0.1 g / m 2, and dried at 140 ° C. for 30 seconds. A green sheet carrier film was obtained.
【００２２】実施例２ 二軸延伸ＰＥＮフィルムの離型層を形成する面に、表面
の濡れ性が５６ｄｙｎ／ｃｍになるようにコロナ放電処
理を施した以外は実施例１と同様にして、グリーンシー
ト用キャリアフィルムを得た。Example 2 The same procedure as in Example 1 was carried out except that the surface of the biaxially stretched PEN film on which the release layer was formed was subjected to corona discharge treatment so that the surface wettability was 56 dyn / cm. A carrier film for a sheet was obtained.
【００２３】比較例１ 二軸延伸ＰＥＮフィルムを二軸延伸ＰＥＴフィルムに代
えた以外は実施例１と同様にして、グリーンシート用キ
ャリアフィルムを得た。Comparative Example 1 A carrier film for a green sheet was obtained in the same manner as in Example 1 except that the biaxially stretched PEN film was replaced with a biaxially stretched PET film.
【００２４】比較例２ 厚さ７５μｍの二軸延伸ＰＥＮフィルムを厚さ６０μｍ
の二軸延伸ＰＰフィルムに代え、離型層の乾燥を９０℃
で１０秒間とした以外は実施例１と同様にして、グリー
ンシート用キャリアフィルムを得た。Comparative Example 2 A biaxially stretched PEN film having a thickness of 75 μm was converted to a film having a thickness of 60 μm
Drying of the release layer at 90 ° C.
A green sheet carrier film was obtained in the same manner as in Example 1 except that the time was changed to 10 seconds.
【００２５】比較例５ 離型層の乾燥を９０℃で１０秒間とした以外は実施例１
と同様にして、グリーンシート用キャリアフィルムを得
た。Comparative Example 5 Example 1 except that the release layer was dried at 90 ° C. for 10 seconds.
In the same manner as in the above, a carrier film for a green sheet was obtained.
【００２６】比較例６ 二軸延伸ＰＥＮフィルムを未延伸ＰＥＮフィルムに代え
た以外は実施例１と同様にして、グリーンシート用キャ
リアフィルムを得た。Comparative Example 6 A green sheet carrier film was obtained in the same manner as in Example 1 except that the biaxially stretched PEN film was replaced with an unstretched PEN film.
【００２７】キャリアフィルム材質、離型剤組成及び得
られたキャリアフィルムの物性等を表１に示した。又、
以下の方法により得られたキャリアフィルムの実用評価
を行った。まず、アルミナ、ポリビニルブチラール樹
脂、可塑剤及び溶剤からなるスラリーをキャリアフィル
ム上にドクターブレードにより乾燥後の厚さが１００μ
ｍとなるように塗布し、１００℃で２時間乾燥してグリ
ーンシートを得た後、金型にて５０×５０ｍｍのシート
に切断し、フィルムの打ち抜き性を顕微鏡にて評価し
た。 ○；切り口は平滑であった。 ×；一部切断できなかった。Table 1 shows the material of the carrier film, the composition of the release agent, and the physical properties of the obtained carrier film. or,
The carrier film obtained by the following method was evaluated for practical use. First, a slurry composed of alumina, polyvinyl butyral resin, a plasticizer and a solvent is dried on a carrier film by a doctor blade to a thickness of 100 μm.
m, and dried at 100 ° C. for 2 hours to obtain a green sheet. The sheet was cut into a 50 × 50 mm sheet with a mold, and the punching property of the film was evaluated with a microscope. ；: The cut was smooth. X: Partial cutting was not possible.
【００２８】次にグリーンシートをキャリアフィルムよ
り剥離し、剥離性を評価した。 ○；簡単に剥離できた。上記１８０度引きはがし粘着力
が２００ｇ／２５ｍｍ以下。 △；グリーンシートに破損はなかったが剥離が重かっ
た。上記１８０度引きはがし粘着力が２００ｇ／２５ｍ
ｍを超えた。 ×；グリーンシートの破損又は滑りが生じた。Next, the green sheet was peeled from the carrier film, and the peelability was evaluated. ；: Easy peeling was possible. The 180 degree peeling adhesive strength is 200 g / 25 mm or less. Δ: The green sheet was not damaged, but the peeling was heavy. 180 degree peeling adhesive strength is 200g / 25m
m. ×: The green sheet was damaged or slipped.
【００２９】次にグリーンシートの表面平滑性を目視に
より評価した。 ○；平滑であった。 ×；平滑でなかった。Next, the surface smoothness of the green sheet was visually evaluated. ；: Smooth. X: Not smooth.
【００３０】次にＥＳＣＡによりグリーンシートへの離
型剤の移行性を評価した。 ○；ほとんど移行はみられなかった。 ×；移行が多くみられた。Next, the transferability of the release agent to the green sheet was evaluated by ESCA. ○: Almost no migration was observed. ×: Many migrations were observed.
【表１】 [Table 1]
【００３１】*1；軽剥離付加型シリコーン離型剤（東レ
・ダウコーニング・シリコーン社製、商品名ＳＤ７３３
３） *2；中剥離付加型シリコーン離型剤（東レ・ダウコーニ
ング・シリコーン社製、商品名ＳＲＸ３４５） *3；重剥離付加型シリコーン離型剤（東レ・ダウコーニ
ング・シリコーン社製、商品名ＳＤ７３２０） *4；重剥離添加剤（東レ・ダウコーニング・シリコーン
社製、商品名ＳＤ７２９２）* 1: Light release addition type silicone release agent (trade name: SD733, manufactured by Dow Corning Silicone Toray Co., Ltd.)
3) * 2: Medium release addition type silicone release agent (manufactured by Toray Dow Corning Silicone Co., Ltd., trade name: SRX345) * 3: Heavy release addition type silicone release agent (Toray Dow Corning Silicone Co., Ltd., trade name) SD7320) * 4: Heavy release additive (trade name: SD7292, manufactured by Dow Corning Silicone Toray)
【００３２】[0032]
【発明の効果】本発明のセラミックグリーンシート用キ
ャリアフィルムは、表面平滑性、打ち抜き性、耐溶剤
性、離型性、耐熱性及び寸法安定性の全てに優れたもの
である。The carrier film for a ceramic green sheet of the present invention has excellent surface smoothness, punchability, solvent resistance, mold release, heat resistance and dimensional stability.
Claims (1)
が０．３％以下、ＭＤ及びＴＤの引張破壊伸びが１３０
％以下並びに表面粗さＲａが０．１μｍ以下である二軸
延伸ポリエチレンナフタレートフィルムの片面に、剥離
強度が１０〜５０ｇ／２５ｍｍ及び残留接着率が９０％
以上の離型層が形成されていることを特徴とするセラミ
ックグリーンシート用キャリアフィルム。1. A heat shrinkage of 0.3% or less when kept at 100 ° C. for 30 minutes, and a tensile elongation at break of MD and TD of 130%.
% And a peel strength of 10 to 50 g / 25 mm and a residual adhesion rate of 90% on one surface of a biaxially stretched polyethylene naphthalate film having a surface roughness Ra of 0.1 μm or less.
A carrier film for a ceramic green sheet, wherein the above-mentioned release layer is formed.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15247396A JPH10719A (en) | 1996-06-13 | 1996-06-13 | Carrier film for ceramic green sheet |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15247396A JPH10719A (en) | 1996-06-13 | 1996-06-13 | Carrier film for ceramic green sheet |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10719A true JPH10719A (en) | 1998-01-06 |
Family
ID=15541292
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15247396A Withdrawn JPH10719A (en) | 1996-06-13 | 1996-06-13 | Carrier film for ceramic green sheet |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10719A (en) |
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