JPH1061791A - Sine flow control valve - Google Patents
Sine flow control valveInfo
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- JPH1061791A JPH1061791A JP23735596A JP23735596A JPH1061791A JP H1061791 A JPH1061791 A JP H1061791A JP 23735596 A JP23735596 A JP 23735596A JP 23735596 A JP23735596 A JP 23735596A JP H1061791 A JPH1061791 A JP H1061791A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、各種機械を作動さ
せる流体圧アクチュエータに適用して、作動の初期に流
体圧アクチュエータをスムーズに加速させ、作動の終期
に流体圧アクチュエータを円滑に減速させるサイン流量
制御弁に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention is applied to a hydraulic actuator for operating various machines, and is a sign for smoothly accelerating the hydraulic actuator at the beginning of operation and smoothly decelerating the hydraulic actuator at the end of operation. It relates to a flow control valve.
【０００２】[0002]
【従来の技術】シリンダチューブの両端部に中空のクッ
ションリングが配設され、クッションリングはピストン
の中空部内に挿入できるように配置され、クッションリ
ングの外面にサイン関数溝が形成された速度制御機構付
シリンダが知られている（例えば特開平７−１５８６１
４号公報を参照のこと）。サイン関数溝は長手方向に対
して幅が一定で、深さがサイン関数に従って変化し、こ
のサイン関数溝の深さはクッションリングの先端が最も
深く、シリンダチューブの両端部に近づくにつれて浅く
なっている。2. Description of the Related Art A speed control mechanism in which hollow cushion rings are disposed at both ends of a cylinder tube, the cushion rings are arranged so as to be inserted into the hollow portion of a piston, and a sine function groove is formed on an outer surface of the cushion ring. Cylinders with attachments are known (for example, see Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-15861).
No. 4). The sine function groove has a constant width in the longitudinal direction, and the depth changes according to the sine function.The depth of the sine function groove is deepest at the tip of the cushion ring, and becomes shallower as it approaches both ends of the cylinder tube. I have.
【０００３】速度制御機構付シリンダの始動時には、駆
動流体がクッションリング内の通路を通り、クッション
パッキンとクッションリング外周のサイン関数溝との隙
間を通って駆動室に流入する。駆動室の圧力が始動圧力
よりも高くなると、ピストンが移動を開始し、クッショ
ンパッキンとクッションリング外周のサイン関数溝との
隙間が徐々に大きくなり、ピストンはゆっくり加速され
る。クッションリングにクッションパッキンが進入した
ときは、急激な制動は生せず、ピストンは徐々に減速さ
れ、ストロークエンドに達する。[0003] When the cylinder with the speed control mechanism is started, the driving fluid flows through the passage in the cushion ring, and flows into the driving chamber through the gap between the cushion packing and the sine function groove on the outer periphery of the cushion ring. When the pressure in the driving chamber becomes higher than the starting pressure, the piston starts to move, the gap between the cushion packing and the sine function groove on the outer periphery of the cushion ring gradually increases, and the piston is slowly accelerated. When the cushion packing enters the cushion ring, no sudden braking occurs, and the piston is gradually decelerated to reach the stroke end.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】従来の速度制御機構付
シリンダでは、そのシリンダの速度制御に応じた大きさ
のクッションリングをシリンダチューブの両端の内部に
配設し、ピストンにもクッションリングを受け入れる中
空部（孔）を設ける必要があり、その機構は複雑であ
る。本発明は、従来の速度制御機構付シリンダの速度制
御機構の機能を発揮し得るサイン流量制御弁を製造し、
このサイン流量制御弁を流体圧アクチュエータの外部に
接続することにより、流体圧アクチュエータの作動の初
期及び終期の制御ができるようにすることを課題とす
る。In a conventional cylinder with a speed control mechanism, cushion rings of a size corresponding to the speed control of the cylinder are provided inside both ends of the cylinder tube, and the piston also receives the cushion ring. It is necessary to provide a hollow part (hole), and the mechanism is complicated. The present invention manufactures a sine flow control valve that can exhibit the function of a speed control mechanism of a conventional cylinder with a speed control mechanism,
An object of the present invention is to connect the sine flow control valve to the outside of the hydraulic actuator so as to control the initial and final stages of the operation of the hydraulic actuator.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】本発明の第１の構成は、
サイン流量制御弁において、弁本体にＡポートとＢポー
トとが形成され、ＡポートとＢポートの間を流れる流体
のうち、一方向に流れる流体のみ又は双方向に流れる流
体の流量が制御され、一方向又は双方向に流れる流体の
流速及び総量が、作動させるべき流体圧アクチュエータ
の所定の作動を行うのに適した値であり、ＡポートとＢ
ポートの間を流れる流体の流れの初期又は終期に、流速
がそれぞれ徐々に増加又は徐々に減少し、作動させるべ
き流体圧アクチュエータが作動の初期に徐々に加速さ
れ、又は作動の終期に徐々に減速されるようにすること
である。本発明の第２の構成は、第１の構成において、
弁本体の案内孔にスプールが摺動可能に挿入され、スプ
ールの表面に長手方向に伸びるサイン溝が形成され、案
内孔に第１環状制御溝及び第２環状制御溝が相互に近接
して配設され、第１環状制御溝及び第２環状制御溝がＡ
ポート及びＢポートにそれぞれ連通されており、スプー
ルの移動に応じて第１環状制御溝、サイン溝、第２環状
制御溝の間を流れる流体の流量が変化するように構成す
ることである。本発明の第３の構成は、第２の構成にお
いて、サイン溝は幅が一定で深さがサイン関数に従って
変化するように構成され、第１環状制御溝及び第２環状
制御溝が案内孔の長手方向の略中央に配置され、Ａポー
トが第１流路によって第１環状制御溝に連通されるとと
もにＢポートが第２流路によって第２環状制御溝に連通
されたことである。本発明の第４の構成は、第２又は第
３の構成において、案内孔内でスプールの前後に第１作
動室及び第２作動室が形成され、Ａポートが逆止め弁付
き流量調整弁を介して第１作動室に連通され、Ａポート
と第２環状制御溝とが逆止め弁を介して連通され、第２
作動室に配設されたスプリングの弾発力によりスプール
が第１作動室に向けて押圧され、第２作動室が大気に連
通されたことである。本発明の第５の構成は、第２又は
第３の構成において、案内孔内でスプールの前後に第１
作動室及び第２作動室が形成され、Ａポートが逆止め弁
付き流量調整弁を介して第１作動室に連通され、Ａポー
トと第２環状制御溝とが逆止め弁を介して連通され、第
２作動室が流量調整弁を介してＢポートに連通されたこ
とである。本発明の第６の構成は、第２又は第３の構成
において、案内孔内でスプールの前後に第１作動室及び
第２作動室が形成され、Ａポートと第１作動室との間に
第１複合制御弁及び第２複合制御弁が並列に連通され、
第１複合制御弁及び第２複合制御弁は流量調整弁と逆止
め弁とが直列に配設されたものであり、第１複合制御弁
の逆止め弁の流れの方向と第２複合制御弁の逆止め弁の
流れの方向とが互いに逆にされており、第２作動室に配
設されたスプリングの弾発力によりスプールが第１作動
室に向けて押圧され、第２作動室が大気に連通されたこ
とである。本発明の第７の構成は、第２又は第３の構成
において、案内孔内でスプールの前後に第１作動室及び
第２作動室が形成され、Ａポートと第１作動室との間に
第１複合制御弁及び第２複合制御弁が並列に連通され、
第１複合制御弁及び第２複合制御弁は流量調整弁と逆止
め弁とが直列に配設されたものであり、第１複合制御弁
の逆止め弁の流れの方向と第２複合制御弁の逆止め弁の
流れの方向とが互いに逆にされており、第２作動室が流
量調整弁を介してＢポートに連通されたことである。な
お、本発明の構成の説明において、流体圧アクチュエー
タとは、気体又は液体のエネルギーを用いて機械的な仕
事をする機器であって、出力軸が往復動、連続回転又は
揺動するものをいう。第１の構成に記載された「又は」
の用語は、「又は／及び」と解釈することとする。ま
た、サイン溝の数は単数又は複数とする。そして、本発
明のサイン溝等の形状を変更して、本発明を、流体圧ア
クチュエータの作動の初期、終期以外の中間位置におけ
る流速制御に適用できることは当然である。According to a first aspect of the present invention, there is provided:
In the sine flow control valve, an A port and a B port are formed in the valve body, and among the fluid flowing between the A port and the B port, the flow rate of only one-way fluid or two-way fluid is controlled, The flow rate and the total amount of the fluid flowing in one direction or both directions are values suitable for performing a predetermined operation of the hydraulic actuator to be operated,
At the beginning or end of the flow of fluid flowing between the ports, the flow rate gradually increases or decreases, respectively, and the hydraulic actuator to be actuated is gradually accelerated at the beginning of operation or gradually decelerated at the end of operation. It is to be done. According to a second configuration of the present invention, in the first configuration,
A spool is slidably inserted into a guide hole of the valve body, a sign groove extending in the longitudinal direction is formed on the surface of the spool, and a first annular control groove and a second annular control groove are arranged close to each other in the guide hole. And the first annular control groove and the second annular control groove are A
The port and the B port are connected to each other, and the flow rate of the fluid flowing between the first annular control groove, the sine groove, and the second annular control groove changes according to the movement of the spool. According to a third configuration of the present invention, in the second configuration, the sine groove is configured so that the width is constant and the depth changes according to a sine function, and the first annular control groove and the second annular control groove are formed of guide holes. Arranged substantially at the center in the longitudinal direction, the A port is communicated with the first annular control groove by the first flow path, and the B port is communicated with the second annular control groove by the second flow path. According to a fourth configuration of the present invention, in the second or third configuration, the first working chamber and the second working chamber are formed before and after the spool in the guide hole, and the A port is a flow control valve with a check valve. The A port and the second annular control groove are communicated via a check valve, and the second port is communicated with the first working chamber via the check valve.
The spool is pressed toward the first working chamber by the elastic force of the spring disposed in the working chamber, and the second working chamber is communicated with the atmosphere. According to a fifth configuration of the present invention, in the second or third configuration, the first and second spools are provided before and after the spool in the guide hole.
A working chamber and a second working chamber are formed, the A port is connected to the first working chamber via a flow control valve with a check valve, and the A port and the second annular control groove are connected via a check valve. , The second working chamber is communicated with the B port via the flow control valve. According to a sixth configuration of the present invention, in the second or third configuration, the first working chamber and the second working chamber are formed before and after the spool in the guide hole, and between the A port and the first working chamber. A first composite control valve and a second composite control valve are communicated in parallel;
The first composite control valve and the second composite control valve have a flow regulating valve and a check valve arranged in series, and the flow direction of the check valve of the first composite control valve and the second composite control valve The direction of flow of the check valve is opposite to that of the other, and the spool is pressed toward the first working chamber by the elastic force of a spring disposed in the second working chamber, and the second working chamber is released from the atmosphere. It was communicated to. According to a seventh configuration of the present invention, in the second or third configuration, the first working chamber and the second working chamber are formed before and after the spool in the guide hole, and between the A port and the first working chamber. A first composite control valve and a second composite control valve are communicated in parallel;
The first composite control valve and the second composite control valve have a flow regulating valve and a check valve arranged in series, and the flow direction of the check valve of the first composite control valve and the second composite control valve Are opposite to each other, and the second working chamber is connected to the B port via the flow control valve. In the description of the configuration of the present invention, the fluid pressure actuator is a device that performs mechanical work using gas or liquid energy, and whose output shaft reciprocates, continuously rotates, or swings. . "Or" described in the first configuration
Shall be interpreted as "or / and". In addition, the number of the sign grooves is singular or plural. It is obvious that the present invention can be applied to the flow rate control at an intermediate position other than the initial and final stages of the operation of the fluid pressure actuator by changing the shape of the sign groove and the like of the present invention.
【０００６】[0006]
【発明の実施の形態】図１・図４(a) は本発明のサイン
流量制御弁の実施の形態第１（メータインタイプ）を示
す。実施の形態第１は、弁本体10のＡポートからＢポー
トへの流量が制御され、その反対方向のＢポートからＡ
ポートへの流量は制御されないタイプのサイン流量制御
弁(51,52) である。図１において、弁本体10の上側部分
にはＡポート、Ｂポート、第１逆止め弁付き流量調整弁
11、第１逆止め弁13が配設され、弁本体10の下側部分に
は案内孔14が形成され、案内孔14内にスプール15が摺動
可能に挿入されている。案内孔14は盲孔であって、左端
（他端）の壁部19に排出穴17が形成されており（タンク
へ連通させてもよい）、右端（一端）の開口部の雌ねじ
部にプラグ16が螺合され、開口部が密封されている。1 and 4 (a) show a first embodiment (meter-in type) of a sine flow control valve according to the present invention. In the first embodiment, the flow rate from the port A to the port B of the valve body 10 is controlled, and the flow rate from the port B in the opposite direction to the port A is controlled.
The flow rate to the port is a sine flow control valve (51, 52) of a type not controlled. In FIG. 1, an A port, a B port, a flow control valve with a first check valve are provided at an upper portion of a valve body 10.
11, a first check valve 13 is provided, a guide hole 14 is formed in a lower portion of the valve body 10, and a spool 15 is slidably inserted into the guide hole 14. The guide hole 14 is a blind hole, and a discharge hole 17 is formed in the wall 19 at the left end (the other end) (may be connected to the tank), and a plug is inserted into the female screw at the opening at the right end (one end). 16 is screwed and the opening is sealed.
【０００７】案内孔14には、スプール15とプラグ16との
間に第１作動室20が形成され、スプール15と壁部19との
間に第２作動室21が形成されている。プラグ16の内側中
央部には突起が形成され、突起がスプール15の右側のス
トッパーとして機能するとともに、突起の周囲の環状部
が第３流路42から第１作動室20への流体の流入を円滑に
させている。案内孔14の左方部に段差部22が形成され、
段差部22はスプール15の左側のストッパーとして機能す
る。壁部19にはボルト穴18が形成されており、ボルト穴
18には調節つまみ23のねじ部23Ａが外側から螺合され、
ねじ部23Ａは第２作動室21内に伸びている。ねじ部23Ａ
の先端部には支持金具26が揺動可能に係合されており、
またスプール15には左端側に開口する支持穴24が形成さ
れている。支持金具26と支持穴24との間にスプリング25
が介装され、スプリング25の右端が支持穴24の支持部24
Ａによって支持され、スプリング25の左端が支持金具26
によって支持されている。スプリング25の弾発力によっ
てスプール15は右端側のプラグ16に向けて押圧されてい
る。In the guide hole 14, a first working chamber 20 is formed between the spool 15 and the plug 16, and a second working chamber 21 is formed between the spool 15 and the wall 19. A protrusion is formed at the center of the inside of the plug 16, the protrusion functions as a stopper on the right side of the spool 15, and an annular portion around the protrusion controls the flow of fluid from the third flow path 42 into the first working chamber 20. It is smooth. A step 22 is formed on the left side of the guide hole 14,
The step 22 functions as a stopper on the left side of the spool 15. A bolt hole 18 is formed in the wall portion 19, and the bolt hole 18 is formed.
The screw portion 23A of the adjustment knob 23 is screwed into the 18 from the outside,
The screw portion 23A extends into the second working chamber 21. Screw part 23A
A support fitting 26 is swingably engaged with the tip of the
The spool 15 is provided with a support hole 24 that opens to the left end. A spring 25 is provided between the support bracket 26 and the support hole 24.
The right end of the spring 25 is attached to the support portion 24 of the support hole 24.
A, and the left end of the spring 25 is
Supported by The spool 15 is pressed toward the plug 16 on the right end side by the elastic force of the spring 25.
【０００８】弁本体10の右端部にＡポートが開口され、
弁本体10の左端部にＢポートが開口されている（Ａポー
ト及びＢポートを弁本体10の上端に開口させてもよ
い）。スプール15の表面には長手方向に延びる単数又は
複数のサイン溝33が形成されており、サイン溝33は幅が
一定で深さがサイン関数に従って変化し、両端は浅く中
央部は深くなるように構成されている（図５も参照のこ
と）。案内孔14の長手方向の略中央に第１環状制御溝28
及び第２環状制御溝29が相互に近接して配置されてお
り、第１環状制御溝28及び第２環状制御溝29は常にスプ
ール15の外周面のサイン溝33の存在する部分に対向して
いる。そのため第１環状制御溝28、サイン溝33、第２環
状制御溝29の間を流れる流体は、サイン溝33の深さに比
例し、スプール15の位置に応じて変化する。弁本体10及
びスプール15は金属又は合成樹脂により製造されてお
り、案内孔14とスプール15の外周面との間は、例えばメ
タルシールの状態となっており、摩擦及び流体の漏洩が
少なくなるように構成されている。An A port is opened at the right end of the valve body 10,
The B port is opened at the left end of the valve body 10 (the A port and the B port may be opened at the upper end of the valve body 10). One or more sine grooves 33 extending in the longitudinal direction are formed on the surface of the spool 15, and the sine grooves 33 have a constant width and a depth that changes according to a sine function, and the both ends are shallow and the central portion is deep. (See also FIG. 5). A first annular control groove 28 is provided substantially at the center of the guide hole 14 in the longitudinal direction.
And the second annular control groove 29 are arranged close to each other, and the first annular control groove 28 and the second annular control groove 29 always face the portion where the sign groove 33 exists on the outer peripheral surface of the spool 15. I have. Therefore, the fluid flowing between the first annular control groove 28, the sine groove 33, and the second annular control groove 29 is proportional to the depth of the sine groove 33 and changes according to the position of the spool 15. The valve body 10 and the spool 15 are made of metal or synthetic resin, and the space between the guide hole 14 and the outer peripheral surface of the spool 15 is, for example, in a metal seal state, so that friction and fluid leakage are reduced. Is configured.
【０００９】図４(a) の原理図に示すにように、第１環
状制御溝28は第１流路40によってＡポートに連通され、
第２環状制御溝29は第２流路41によってＢポートに連通
されている。図１の構造図によれば、第１環状制御溝28
は第１Ｂ流路40Ｂ、第１逆止め弁付き流量調整弁11の挿
入孔45、第１Ａ流路40ＡによってＡポートに連通され、
第２環状制御溝29は第５流路44、第１逆止め弁13の挿入
孔47、第２流路41によってＢポートに連通されている。As shown in the principle diagram of FIG. 4A, the first annular control groove 28 is connected to the A port by the first flow path 40,
The second annular control groove 29 communicates with the B port through a second flow path 41. According to the structural diagram of FIG. 1, the first annular control groove 28
Is connected to the A port by the first B flow path 40B, the insertion hole 45 of the first non-return valve-equipped flow control valve 11, and the first A flow path 40A.
The second annular control groove 29 is connected to the B port by a fifth flow path 44, an insertion hole 47 of the first check valve 13, and a second flow path 41.
【００１０】挿入孔45及び47は弁本体10の上端に開口さ
れており、挿入孔45及び47に第１逆止め弁付き流量調整
弁11の本体11Ａ及び第１逆止め弁13の本体13Ａがそれぞ
れ挿入され、螺合されている。第１逆止め弁付き流量調
整弁11の本体11Ａの外径は、先端（下端）側に小径部、
段部、後端側に大径部が順次に形成され、大径部にはフ
ランジが形成されている。大径部のフランジより先端側
に雄ねじが形成されており、この雄ねじが挿入孔45の開
口部の雌ねじに螺合され、フランジが弁本体10の上端に
接触している。本体11Ａの外径の小径部の環状溝に、可
撓性で略ラッパ状の逆止め弁体11Ｂの内周部が嵌合さ
れ、逆止め弁体11Ｂの外周部は上方に向けられ挿入孔45
の内面に接触している。逆止め弁体11Ｂと前記段部との
間の環状の空所11Ｃは第１Ａ流路40Ａを介してＡポート
に連通され、同時に空所11Ｃは第１Ｂ流路40Ｂを介して
第１環状制御溝28に連通されている。挿入孔45の底部は
第３流路42を介して第１作動室20の右端部に連通されて
おり、逆止め弁体11Ｂは第３流路42から空所11Ｃに向か
う流れのみを許容し、空所11Ｃから第３流路42への流れ
を阻止する。The insertion holes 45 and 47 are opened at the upper end of the valve body 10, and the insertion holes 45 and 47 receive the body 11A of the first flow control valve 11 with a check valve and the body 13A of the first check valve 13, respectively. Each is inserted and screwed. The outer diameter of the main body 11A of the flow control valve 11 with the first check valve has a small-diameter portion at the front end (lower end) side,
A large diameter portion is sequentially formed on the step portion and the rear end side, and a flange is formed on the large diameter portion. A male screw is formed on the distal end side of the flange of the large diameter portion. The male screw is screwed to the female screw at the opening of the insertion hole 45, and the flange is in contact with the upper end of the valve body 10. An inner peripheral portion of a flexible, substantially trumpet-shaped check valve body 11B is fitted into an annular groove of a small diameter portion of an outer diameter of the main body 11A, and an outer peripheral portion of the check valve body 11B is directed upward to an insertion hole. 45
Is in contact with the inner surface of the An annular space 11C between the check valve body 11B and the stepped portion is communicated with the A port through a first A flow path 40A, and at the same time, the space 11C is controlled by a first annular control through a first B flow path 40B. It is communicated with the groove 28. The bottom of the insertion hole 45 communicates with the right end of the first working chamber 20 via the third flow path 42, and the check valve 11B allows only the flow from the third flow path 42 to the empty space 11C. The flow from the space 11C to the third flow path 42 is blocked.
【００１１】第１逆止め弁付き流量調整弁11の本体11Ａ
の内径には、先端側に小径孔、段部（弁座部）、後端側
に大径孔が形成され、大径孔の後端部には雌ねじが形成
されている。この雌ねじには調整ねじ11Ｄの後端部のね
じ部が螺合され、調整ねじ11Ｄの先端にはポペット弁体
11Ｅが固定されており、調整ねじ11Ｄのねじ部とポペッ
ト弁体11Ｅとの間にはシールが装着され、シールによっ
て調整ねじ11Ｄと大径孔との間が密封されている。大径
孔の先端部には半径方向の複数の連通孔が形成され、連
通孔によって大径孔の先端部と前記空所11Ｃとが連通さ
れている。調整ねじ11Ｄの回転によりポペット弁体11Ｅ
と弁座部（段部）との間隙が調整され、大径孔の先端部
と小径孔・第３流路42との間を流れる流体の流量が調整
される。このように第１逆止め弁付き流量調整弁11は、
逆止め弁と流量調整弁とが並列に配置されたものであ
り、Ａポートと第１作動室20との間に配設されている。The main body 11A of the flow control valve 11 with the first check valve
A small diameter hole and a step portion (valve seat portion) are formed on the front end side, a large diameter hole is formed on the rear end side, and a female screw is formed on the rear end portion of the large diameter hole. A thread at the rear end of the adjusting screw 11D is screwed into the female screw, and a poppet valve body is attached to the tip of the adjusting screw 11D.
11E is fixed, and a seal is mounted between the thread portion of the adjustment screw 11D and the poppet valve element 11E, and the seal between the adjustment screw 11D and the large-diameter hole is sealed. A plurality of radial communication holes are formed at the distal end of the large-diameter hole, and the distal end of the large-diameter hole communicates with the cavity 11C through the communication hole. The poppet valve 11E is rotated by the rotation of the adjusting screw 11D.
The gap between the valve and the valve seat (step) is adjusted, and the flow rate of the fluid flowing between the distal end of the large-diameter hole and the small-diameter hole / third flow path 42 is adjusted. Thus, the first non-return valve-equipped flow regulating valve 11 is
The check valve and the flow regulating valve are arranged in parallel, and are arranged between the A port and the first working chamber 20.
【００１２】第１逆止め弁13の本体13Ａには先端（下
端）側の小径部、段部、後端側の大径部とが順次に形成
されており、本体13Ａの小径部の環状溝に、可撓性で略
ラッパ状の逆止め弁体13Ｂの内周部が嵌合されており、
逆止め弁体13Ｂの外周部は上方に向けられ挿入孔47の内
周面に接触している。逆止め弁体13Ｂと前記段部との間
の空所13Ｃは第４流路43・第１Ｂ流路40Ｂを介して第１
環状制御溝28・前記空所11Ｃに連通されている。第１逆
止め弁13は、第２流路41から第４流路43への流体の流れ
のみを許容し、第４流路43から第２流路41への流体の流
れを阻止する。なお、図１の符号31は、第１Ｂ流路40Ｂ
・第３流路42に連通する加工用の孔の密封用プラグであ
る。The main body 13A of the first check valve 13 is formed with a small-diameter portion on the front end (lower end) side, a step portion, and a large-diameter portion on the rear end side in this order. The inner periphery of a flexible, substantially trumpet-shaped check valve body 13B is fitted to
The outer peripheral portion of the check valve body 13B is directed upward and is in contact with the inner peripheral surface of the insertion hole 47. A space 13C between the check valve body 13B and the step portion is formed through the fourth flow path 43 and the first B flow path 40B.
The annular control groove 28 communicates with the space 11C. The first check valve 13 allows only the flow of the fluid from the second flow path 41 to the fourth flow path 43 and blocks the flow of the fluid from the fourth flow path 43 to the second flow path 41. Note that the reference numeral 31 in FIG.
-A plug for sealing a processing hole communicating with the third flow path 42.
【００１３】図２・図４(b) は本発明のサイン流量制御
弁の実施の形態第２（メータアウトタイプ）を示す。実
施の形態第２は、弁本体10のＢポートからＡポートへの
流量が制御され、その反対方向のＡポートからＢポート
への流量は制御されないタイプのサイン流量制御弁(61,
62) である。なお、図２の説明において、図１と同一の
部材には図１と同一の符号を付し、その説明は省略す
る。FIGS. 2 and 4 (b) show a second embodiment (meter-out type) of the sine flow control valve according to the present invention. In the second embodiment, a sine flow control valve of a type in which the flow rate from the B port to the A port of the valve body 10 is controlled and the flow rate from the A port to the B port in the opposite direction is not controlled.
62). In the description of FIG. 2, the same members as those of FIG. 1 are denoted by the same reference numerals as those of FIG. 1, and the description thereof will be omitted.
【００１４】図２においては、図１の第１逆止め弁付流
量調整弁11及び第１逆止め弁13に代えて、第２逆止め弁
付流量調整弁12及び第２逆止め弁38が装着されている。
そして、第２逆止め弁付流量調整弁12の本体12Ａ，空所
12Ｃ，調整ねじ12Ｄ，ポペット弁体12Ｅの構成は、第１
逆止め弁付流量調整弁11の本体11Ａ，空所11Ｃ，調整ね
じ11Ｄ，ポペット弁体11Ｅの構成と同一である。そし
て、第２逆止め弁付流量調整弁12は、逆止め弁体12Ｂの
許容される流れの方向が、第１逆止め弁付流量調整弁11
の逆止め弁体11Ｂの許容される流れの方向の反対方向で
ある点を除き、第１逆止め弁付流量調整弁11と同様であ
る。また、第２逆止め弁38の本体38Ａ，空所38Ｃの構成
は、第１逆止め弁13の本体13Ａ，空所13Ｃの構成と同一
である。そして、第２逆止め弁38は、逆止め弁体38Ｂの
許容される流れの方向が、第１逆止め弁12の逆止め弁体
12Ｂの許容される流れの方向の反対方向である点を除
き、第１逆止め弁12と同様である。In FIG. 2, instead of the first and second check valves 11 and 13 shown in FIG. 1, a second check valve 12 and a second check valve 38 are provided. It is installed.
Then, the main body 12A of the second flow control valve 12 with check valve,
The configuration of 12C, adjusting screw 12D and poppet valve body 12E is the first.
It has the same configuration as the main body 11A, cavity 11C, adjusting screw 11D, and poppet valve body 11E of the flow control valve 11 with check valve. The second flow control valve with check valve 12 is configured such that the flow direction allowed by the check valve body 12B is equal to the flow control valve with first check valve 11B.
It is the same as the first non-return valve-equipped flow regulating valve 11 except that the flow direction is opposite to the allowable flow direction of the check valve element 11B. The configuration of the main body 38A and the cavity 38C of the second check valve 38 is the same as the configuration of the main body 13A and the cavity 13C of the first check valve 13. The second check valve 38 is arranged such that the allowable flow direction of the check valve body 38B matches the check valve body of the first check valve 12.
Similar to the first check valve 12, except that it is in the opposite direction of the allowed flow direction of 12B.
【００１５】図４(b) の原理図に示すにように、第１環
状制御溝28は第１流路40によってＡポートに連通され、
第２環状制御溝29は第２流路41によってＢポートに連通
されている。図４(b) に示されたものは、第２逆止め弁
付流量調整弁12中の逆止め弁の流れの方向及び第２逆止
め弁38の流れの方向を除き、図４(a) に示されたものと
同様である。As shown in the principle diagram of FIG. 4B, the first annular control groove 28 is communicated with the A port by the first flow path 40,
The second annular control groove 29 communicates with the B port through a second flow path 41. 4 (b) except for the flow direction of the check valve and the flow direction of the second check valve 38 in the flow control valve 12 with the second check valve. Is the same as that shown in FIG.
【００１６】図３・図４(c) は本発明のサイン流量制御
弁の実施の形態第３（メータイン・アウトタイプ）を示
す。実施の形態第３は双方向制御タイプのサイン流量制
御弁(71,72) であって、弁本体10のＡポートからＢポー
トへの流量が制御され、ＢポートからＡポートへの流量
も制御される。なお、図３の説明において、図１と同一
の部材には図１と同一の符号を付し、その説明は省略す
る。図３において、弁本体10の下側部の案内孔14、スプ
ール15、排出穴17、プラグ16、スプリング25、支持金具
26、調節つまみ23、ボルト穴18、第１環状制御溝28、第
２環状制御溝29の構成、弁本体10の上側のＡポート、Ｂ
ポートの構成は、図１に示すものと同様である。図３に
おいては、図１の第１逆止め弁13が削除され、第１逆止
め弁付き流量調整弁11に代えて、第１複合制御弁35及び
第２複合制御弁36が配設されている。FIGS. 3 and 4C show a third embodiment (meter-in / out type) of the sine flow control valve according to the present invention. The third embodiment is a two-way control type sine flow control valve (71, 72) in which the flow rate from port A to port B of the valve body 10 is controlled, and the flow rate from port B to port A is also controlled. Is done. In the description of FIG. 3, the same members as those of FIG. 1 are denoted by the same reference numerals as those of FIG. 1, and the description thereof will be omitted. In FIG. 3, a guide hole 14, a spool 15, a discharge hole 17, a plug 16, a spring 25, and a support fitting at a lower portion of the valve body 10 are shown.
26, configuration of adjustment knob 23, bolt hole 18, first annular control groove 28, second annular control groove 29, upper port A of valve body 10, port B
The configuration of the port is the same as that shown in FIG. In FIG. 3, the first check valve 13 of FIG. 1 is deleted, and a first composite control valve 35 and a second composite control valve 36 are provided instead of the first non-return valve-equipped flow regulating valve 11. I have.
【００１７】図４(c) の原理図に示すにように、第１環
状制御溝28は第１流路40によってＡポートに連通され、
第２環状制御溝29は第２流路41によってＢポートに連通
されている。図３の構造図によれば、第１環状制御溝28
は第１Ｂ流路40Ｂ、第１複合制御弁35の環状溝部35Ｈ、
第１Ｃ流路40Ｃ、第２複合制御弁36の環状溝部36Ｈ、第
１Ａ流路40ＡによってＡポートに連通され、第２環状制
御溝29は第２流路41によってＢポートに連通されてい
る。As shown in the principle diagram of FIG. 4C, the first annular control groove 28 is communicated with the A port by the first flow path 40,
The second annular control groove 29 communicates with the B port through a second flow path 41. According to the structural view of FIG. 3, the first annular control groove 28
Is the first B flow path 40B, the annular groove 35H of the first composite control valve 35,
The first C flow path 40C, the annular groove portion 36H of the second composite control valve 36, and the first A flow path 40A communicate with the A port, and the second annular control groove 29 communicates with the B port by the second flow path 41.
【００１８】挿入孔48及び49は弁本体10の上端に開口さ
れており、挿入孔48及び49に第１複合制御弁35の本体35
Ａ及び第２複合制御弁36の本体36Ａがそれぞれ挿入さ
れ、螺合されている。第１複合制御弁35の本体35Ａの外
面は、先端（下端）から順に中径部、小径部、第１大径
部、環状溝部35Ｈ、第２大径部が順次に形成され、第２
大径部にはフランジが形成されている。第２大径部のフ
ランジより先端側に雄ねじが形成されており、この雄ね
じが挿入孔48の開口部の雌ねじに螺合され、フランジが
弁本体10の上端に接触している。本体35Ａの先端の中径
部の環状溝に、可撓性で略ラッパ状の逆止め弁体35Ｂの
内周部が嵌合され、逆止め弁体35Ｂの外周部は上方に向
けられ挿入孔48の内面に接触している。The insertion holes 48 and 49 are opened at the upper end of the valve main body 10, and the insertion holes 48 and 49 are inserted into the main body 35 of the first composite control valve 35.
A and the main body 36A of the second composite control valve 36 are inserted and screwed respectively. On the outer surface of the main body 35A of the first composite control valve 35, a middle diameter portion, a small diameter portion, a first large diameter portion, an annular groove portion 35H, and a second large diameter portion are sequentially formed from a tip (lower end).
A flange is formed on the large diameter portion. A male screw is formed on the distal end side of the flange of the second large-diameter portion. The male screw is screwed to a female screw at the opening of the insertion hole 48, and the flange is in contact with the upper end of the valve body 10. An inner peripheral portion of a flexible, substantially trumpet-shaped check valve body 35B is fitted into an annular groove at a middle diameter portion at a tip end of the main body 35A, and an outer peripheral portion of the check valve body 35B is directed upward to an insertion hole. It is in contact with the inner surface of 48.
【００１９】本体35Ａの第１大径部の環状溝にＯリング
35Ｃが装着されており、Ｏリング35Ｃによって本体35Ａ
の第１大径部と挿入孔48の内面との間が密封されてい
る。本体35Ａの環状溝部35Ｈは、第１Ｂ流路40Ｂを介し
て第１環状制御溝28に連通され、同時に第１Ｃ流路40Ｃ
を介して第２複合制御弁36の本体36Ａの環状溝部36Ｈに
連通されている。第２複合制御弁36の本体36Ａの環状溝
部36Ｈは第１Ａ流路40Ａを介してＡポートに連通されて
おり、従ってＡポートは前記流路・環状溝部を介して第
１環状制御溝28に連通されている。挿入孔48の底部は第
３Ａ流路42Ａを介して挿入孔49の底部に連通され、挿入
孔49の底部は第３Ｂ流路42Ｂを介して第１作動室20の右
端に連通されている。An O-ring is formed in the annular groove of the first large diameter portion of the main body 35A.
35C is attached, and 35A main body by O-ring 35C
The space between the first large diameter portion and the inner surface of the insertion hole 48 is sealed. The annular groove portion 35H of the main body 35A communicates with the first annular control groove 28 via the first B channel 40B, and at the same time, the first C channel 40C.
Is connected to the annular groove 36H of the main body 36A of the second composite control valve 36 through the second through hole. The annular groove portion 36H of the main body 36A of the second composite control valve 36 communicates with the A port through the first A flow passage 40A, so that the A port is connected to the first annular control groove 28 through the flow passage / annular groove portion. Are in communication. The bottom of the insertion hole 48 communicates with the bottom of the insertion hole 49 via the third A flow path 42A, and the bottom of the insertion hole 49 communicates with the right end of the first working chamber 20 via the third B flow path 42B.
【００２０】本体35Ａの中心部には段付きの盲孔が形成
されており、先端から小径孔35Ｅ、段部（弁座部）、大
径孔が形成され、大径孔の後端は開口されている。小径
孔35Ｅの先端部には半径方向に延びる複数の第１連通孔
が形成され、第１連通孔は本体35Ａの外面の中径部に開
口されている。本体35Ａの逆止め弁体35Ｂと第１大径部
との間に空所35Ｄが形成され、空所35Ｄと小径孔35Ｅと
が第１連通孔によって連通されている。大径孔の先端部
にも半径方向に延びる複数の第２連通孔が形成され、第
２連通孔は本体35Ａの外面の環状溝部35Ｈに開口されて
おり、第２連通孔によって大径孔の先端部と環状溝部35
Ｈとが連通されている。A blind hole with a step is formed at the center of the main body 35A, and a small-diameter hole 35E, a step (valve seat) and a large-diameter hole are formed from the front end, and the rear end of the large-diameter hole is opened. Have been. A plurality of first communication holes extending in the radial direction are formed at the tip of the small-diameter hole 35E, and the first communication hole is opened at the middle diameter portion on the outer surface of the main body 35A. A cavity 35D is formed between the check valve body 35B of the main body 35A and the first large-diameter portion, and the cavity 35D and the small-diameter hole 35E are communicated by the first communication hole. A plurality of second communication holes extending in the radial direction are also formed at the distal end of the large diameter hole, and the second communication hole is opened in the annular groove 35H on the outer surface of the main body 35A. Tip and annular groove 35
H is communicated.
【００２１】本体35Ａの大径孔の後端部には雌ねじが形
成されており、この雌ねじには調整ねじ35Ｆの後端部の
ねじ部が螺合され、調整ねじ35Ｆの先端にはポペット弁
体35Ｇが固定されており、調整ねじ35Ｆのねじ部とポペ
ット弁体35Ｇとの間にはシールが装着され、シールによ
って調整ねじ35Ｆと大径孔との間が密封されている。調
整ねじ35Ｆの回転によりポペット弁体35Ｇと弁座部（段
部）との間隙が調整され、環状溝部35Ｈ・第２連通孔・
大径部先端と小径孔35Ｅ・第１連通孔・空所35Ｄとの間
を流れる流体の流量が調整される。逆止め弁体35Ｂは第
３Ａ流路42Ａから空所35Ｄに向かう流れのみを許容し、
空所35Ｄから第３Ａ流路42Ａへの流れを阻止する。この
ように第１複合制御弁35は、流量調整弁と逆止め弁とが
直列に配置されたものであり、第１Ｂ流路40Ｂ・第１Ｃ
流路40Ｃと第３Ａ流路42Ａとの間に配設されている。A female screw is formed at the rear end of the large-diameter hole of the main body 35A. A screw at the rear end of the adjusting screw 35F is screwed into the female screw. The body 35G is fixed, and a seal is provided between the thread portion of the adjusting screw 35F and the poppet valve body 35G, and the seal between the adjusting screw 35F and the large-diameter hole is sealed by the seal. The gap between the poppet valve body 35G and the valve seat (step) is adjusted by the rotation of the adjusting screw 35F, and the annular groove 35H, the second communication hole,
The flow rate of the fluid flowing between the distal end of the large-diameter portion and the small-diameter hole 35E / first communication hole / cavity 35D is adjusted. The check valve body 35B allows only the flow from the third A flow path 42A to the empty space 35D,
The flow from the void 35D to the third A flow path 42A is blocked. As described above, the first composite control valve 35 is such that the flow regulating valve and the check valve are arranged in series, and the first B flow path 40B and the first C
It is provided between the flow path 40C and the third A flow path 42A.
【００２２】第２複合制御弁36は、逆止め弁体36Ｂの許
容される流れの方向を除き、第１複合制御弁35と同じで
ある。第２複合制御弁36の逆止め弁体36Ｂは、空所36Ｄ
から第３Ａ流路42Ａ・第３Ｂ流路42Ｂへの流れを許容
し、第３Ａ流路42Ａ・第３Ｂ流路42Ｂから空所36Ｄに向
かう流れを阻止する。そして、第２複合制御弁36も、流
量調整弁と逆止め弁とが直列に配置されたものであり、
第１Ｃ流路40Ｃ・第１Ａ流路40Ａと第３Ａ流路42Ａ・第
３Ｂ流路42Ｂとの間に配設されている。調整ねじ36Ｆの
回転によりポペット弁体36Ｇと弁座部（段部）との間隙
が調整され、環状溝部36Ｈ・第２連通孔・大径部先端と
小径孔36Ｅ・第１連通孔・空所36Ｄとの間を流れる流体
の流量が調整される。なお、図３の符号31は、第１Ｂ流
路40Ｂ・第２流路41・第３Ｂ流路42Ｂに連通する加工用
の孔の密封用プラグである。The second composite control valve 36 is the same as the first composite control valve 35 except for the allowable flow direction of the check valve element 36B. The check valve body 36B of the second composite control valve 36 has a void 36D.
To the third A flow path 42A and the third B flow path 42B, and prevents the flow from the third A flow path 42A and the third B flow path 42B to the empty space 36D. The second composite control valve 36 also has a flow control valve and a check valve arranged in series,
The first C channel 40C and the first A channel 40A are disposed between the third A channel 42A and the third B channel 42B. The gap between the poppet valve body 36G and the valve seat (step) is adjusted by the rotation of the adjusting screw 36F, and the annular groove 36H, the second communication hole, the large-diameter portion tip and the small-diameter hole 36E, the first communication hole, and the space are formed. The flow rate of the fluid flowing between 36D is adjusted. Reference numeral 31 in FIG. 3 is a plug for sealing a processing hole communicating with the first B flow path 40B, the second flow path 41, and the third B flow path 42B.
【００２３】図７(a) は、本発明の実施の形態第１（メ
ータインタイプ）の第１サイン流量制御弁51・第２サイ
ン流量制御弁52、実施の形態第２（メータアウトタイ
プ）の第１サイン流量制御弁61・第２サイン流量制御弁
62又は実施の形態第３（メータイン・アウトタイプ）の
第１サイン流量制御弁71・第２サイン流量制御弁72を用
い、Ｂポートを流体圧シリンダ（流体圧アクチュエー
タ）50に連通させ、Ａポートを切換弁53に連通させた流
体圧回路を示す。第１サイン流量制御弁51・61・71のＡ
ポートは配管を介して切換弁53のＣポートに連通され、
第１サイン流量制御弁51・61・71のＢポートは配管を介
して流体圧シリンダ50のヘッド側室56のＥポートに連通
されている。同様に、第２サイン流量制御弁52・62・72
のＡポートは配管を介して切換弁53のＤポートに連通さ
れ、第２サイン流量制御弁52・62・72のＢポートは配管
を介して流体圧シリンダ50のロッド側室57のＦポートに
連通されている。切換弁53のＰポートは流体圧力源54に
連通され、切換弁53のＲポートは大気又はタンクに連通
されている。なお、ここではサイン流量制御弁の実施の
形態第１〜３を流体圧シリンダに適用したが、揺動形流
体圧アクチュエータ又は連続回転形流体圧アクチュエー
タにも適用できることは当然である。FIG. 7A shows a first (meter-in type) first sine flow control valve 51 / second sine flow control valve 52 of the first embodiment (meter-in type) of the present invention, and a second embodiment (meter-out type) of the present invention. First sign flow control valve 61 and second sign flow control valve
Using the first sine flow control valve 71 and the second sine flow control valve 72 of the third embodiment (meter-in / out type) 62 or the third embodiment, the B port is connected to the fluid pressure cylinder (fluid pressure actuator) 50, and the A port Shows a fluid pressure circuit in which is connected to the switching valve 53. A of 1st sine flow control valve 51 ・ 61 ・ 71
The port is connected to the C port of the switching valve 53 via a pipe,
The B ports of the first sine flow control valves 51, 61, 71 are connected to the E port of the head side chamber 56 of the fluid pressure cylinder 50 via piping. Similarly, the second sign flow control valves 52, 62, 72
Port A is connected to the D port of the switching valve 53 via a pipe, and the B port of the second sine flow control valves 52, 62, 72 is connected to the F port of the rod side chamber 57 of the fluid pressure cylinder 50 via the pipe. Have been. The P port of the switching valve 53 is connected to a fluid pressure source 54, and the R port of the switching valve 53 is connected to the atmosphere or a tank. Here, the first to third embodiments of the sine flow control valve are applied to the hydraulic cylinder, but it is needless to say that they can be applied to the oscillating hydraulic actuator or the continuous rotary hydraulic actuator.
【００２４】図６は、図７(a) に示す流体圧回路におけ
る、各サイン流量制御弁のスプール15の移動とピストン
58の移動との関係を示す。供給される流体の圧力、スプ
リング25のバネ定数、予圧力（調節つまみ23により調
整）、逆止め弁付流量調整弁11・12及び複合制御弁35・
36中の流量調整量等のパラメーターの設定の仕方によっ
て、例えばＩ，II，III のケースが得られる。ケースＩ
の場合は、スプール15がピストン58よりも先にエンドに
到着し、スプール15のストロークエンドにおいて、スプ
ール15は図５(a) 又は(b) に示す状態（例えば、第１サ
イン流量制御弁51は図５(b) 、第２サイン流量制御弁52
は図５(a) ）となる。スプール15のストロークエンド位
置で、第１環状制御溝28・サイン溝33・第２環状制御溝
29の間を所定の小流量の流体が流れ、ピストン58は低速
度でシリンダのエンド部に至る。FIG. 6 shows the movement of the spool 15 and the piston of each sine flow control valve in the fluid pressure circuit shown in FIG.
The relationship with the movement of 58 is shown. Pressure of supplied fluid, spring constant of spring 25, preload (adjusted by adjusting knob 23), flow control valves 11 and 12 with check valve and composite control valve 35
Depending on how the parameters such as the flow rate adjustment amount in 36 are set, for example, cases I, II, and III are obtained. Case I
In the case of (1), the spool 15 reaches the end before the piston 58, and at the stroke end of the spool 15, the spool 15 is in the state shown in FIG. 5 (a) or (b) (for example, the first sine flow control valve 51). FIG. 5 (b) shows the second sign flow control valve 52
Is as shown in FIG. At the stroke end position of the spool 15, the first annular control groove 28, the sine groove 33, the second annular control groove
A predetermined small flow of fluid flows between 29 and the piston 58 reaches the end of the cylinder at low speed.
【００２５】ケースIIの場合は、スプール15がピストン
58と同時にそれぞれのエンドに到着する。スプール15は
略等速度で移動し、ピストン58はストロークの初期に徐
々に加速され、ストロークの中程で最高速度に達し、ス
トロークの終期に徐々に減速され、シリンダエンドで衝
撃を発生することなく停止する。ケースIII の場合は、
ピストン58がスプール15よりも先にエンドに到着する。
スプール15が中間位置にいるとき、第１環状制御溝28・
サイン溝33・第２環状制御溝29の間を流れる流体の流量
は多いので、ピストン58はシリンダエンド部で減速する
ことなく衝突し、衝撃を発生する。従って、ケースIII
のケースは通常の使用には適しない。図７(a) に示す流
体圧回路においては、ケースＩ又はケースIIの作動が実
現されるようにするべきである。In case II, the spool 15 is
At the same time at 58 arrive at each end. The spool 15 moves at a substantially constant speed, the piston 58 is gradually accelerated at the beginning of the stroke, reaches the maximum speed in the middle of the stroke, is gradually decelerated at the end of the stroke, and does not generate an impact at the cylinder end. Stop. In case III,
The piston 58 reaches the end before the spool 15.
When the spool 15 is at the intermediate position, the first annular control groove 28
Since the flow rate of the fluid flowing between the sine groove 33 and the second annular control groove 29 is large, the piston 58 collides without deceleration at the cylinder end portion and generates an impact. Therefore, Case III
Case is not suitable for normal use. In the fluid pressure circuit shown in FIG. 7A, the operation of Case I or Case II should be realized.
【００２６】図７(a) に、本発明の実施の形態第１（メ
ータインタイプ，図１参照）の第１サイン流量制御弁51
・第２サイン流量制御弁52を使用し、流体圧シリンダ50
へ流入する流体の流量を制御して、ケースＩの作動をさ
せる場合について説明する。図７(a) に示す状態おい
て、切換弁53は位置Ｉにあり、第１サイン流量制御弁51
のスプール15は図１に示す右端位置（スプール15がプラ
グ16の突起に当接した位置）にあり、第２サイン流量制
御弁52のスプール15は左端側その他の位置にあるものと
する。流体圧力源54から切換弁53のＰポート・Ｃポー
ト、配管を通って第１サイン流量制御弁51のＡポートに
流入した圧力流体は、第１Ａ流路40Ａ、環状の空所11
Ｃ、第１Ｂ流路40Ｂを通って第１環状制御溝28に流入す
る。同時に、圧力流体は第１Ａ流路40Ａ、環状の空所11
Ｃ、第１逆止め弁付き流量調整弁11の流量調整弁、第３
流路42を通り、流量調整弁により流量を調整されながら
第１作動室20に流入し、スプール15をスプリング25の弾
発力に抗して左方に移動させようとする。FIG. 7A shows a first sine flow control valve 51 of a first embodiment (meter-in type, see FIG. 1) of the present invention.
・ Using the second sine flow control valve 52, the hydraulic cylinder 50
The case where the case I is operated by controlling the flow rate of the fluid flowing into the case will be described. In the state shown in FIG. 7A, the switching valve 53 is at the position I and the first sine flow control valve 51
The spool 15 is located at the right end position (the position where the spool 15 abuts on the projection of the plug 16) shown in FIG. 1, and the spool 15 of the second sine flow control valve 52 is located at the left end side and other positions. The pressure fluid flowing from the fluid pressure source 54 through the P port / C port of the switching valve 53 and the pipe to the A port of the first sine flow control valve 51 is supplied to the first A flow path 40A, the annular space 11
C, and flows into the first annular control groove 28 through the first B channel 40B. At the same time, the pressure fluid is supplied to the first A flow path 40A and the annular space 11.
C, the flow control valve of the first flow control valve 11 with a check valve, the third
After flowing through the flow passage 42 and flowing into the first working chamber 20 while the flow rate is adjusted by the flow rate adjusting valve, the spool 15 is moved to the left against the elastic force of the spring 25.
【００２７】スプール15が図１・図５(a) に示す右端位
置にあるときは、第１環状制御溝28からサイン溝33を通
って第２環状制御溝29へ所定の少量の流体が流れ、この
流体はＢポートから流体圧シリンダ50のヘッド側室56に
流入し、流体圧シリンダ50のピストン58を作動させよう
とする。そして、第１作動室20の圧力上昇に応じてスプ
ール15が左方への移動を開始する（第２作動室21内の流
体は排出穴17を通って排出される）と、サイン溝33の溝
が徐々に深くなった部分を流体が流れるので、第１環状
制御溝28からサイン溝33を通って第２環状制御溝29へ流
れる流体の流量が徐々に増加する。この流体はＢポート
から流体圧シリンダ50のヘッド側室56に流入し、ヘッド
側室56内の圧力とロッド側室57の圧力との圧力差が所定
値に達すると、流体圧シリンダ50のピストン58が右方へ
の移動（前進）を開始し、移動の初期に徐々に加速され
る。このとき、流体圧シリンダ50のロッド側室57内の流
体は、Ｆポート、Ｂポートを通って第２サイン流量制御
弁52に流入し、第２サイン流量制御弁52の第２流路41、
第１逆止め弁13、第４流路43、第１Ｂ流路40Ｂ、環状の
空所11Ｃ、第１Ａ流路40Ａ、Ａポート、配管、切換弁53
のＤポート、Ｒポートを通って排出され、その流れは抵
抗を受けない。そして、第２サイン流量制御弁52のスプ
ール15にはスプリング25の弾発力が作用しているので、
第１作動室20の流体は第３流路42、第１逆止め弁付き流
量調整弁11の逆止め弁、第１Ａ流路40Ａ、Ａポートを通
って急速に排出され、スプール15は図１に示す右端に急
速に到達する。When the spool 15 is at the right end position shown in FIGS. 1 and 5 (a), a predetermined small amount of fluid flows from the first annular control groove 28 through the sine groove 33 to the second annular control groove 29. This fluid flows into the head side chamber 56 of the hydraulic cylinder 50 from the port B, and attempts to operate the piston 58 of the hydraulic cylinder 50. When the spool 15 starts moving leftward in response to the pressure increase in the first working chamber 20 (the fluid in the second working chamber 21 is discharged through the discharge hole 17), Since the fluid flows through the portion where the groove gradually becomes deeper, the flow rate of the fluid flowing from the first annular control groove 28 to the second annular control groove 29 through the sine groove 33 gradually increases. This fluid flows into the head side chamber 56 of the hydraulic cylinder 50 from the B port, and when the pressure difference between the pressure in the head side chamber 56 and the pressure in the rod side chamber 57 reaches a predetermined value, the piston 58 of the hydraulic cylinder 50 Starts moving forward (forward) and is gradually accelerated at the beginning of the movement. At this time, the fluid in the rod side chamber 57 of the fluid pressure cylinder 50 flows into the second sine flow control valve 52 through the F port and the B port, and the second flow path 41 of the second sine flow control valve 52,
First check valve 13, fourth flow path 43, first B flow path 40B, annular space 11C, first A flow path 40A, A port, piping, switching valve 53
Through the D port and the R port, and the flow is not subject to resistance. Since the resiliency of the spring 25 acts on the spool 15 of the second sine flow control valve 52,
The fluid in the first working chamber 20 is rapidly discharged through the third flow path 42, the first check valve of the flow control valve 11 with a check valve, the first A flow path 40A, and the A port. It quickly reaches the right end shown in.
【００２８】スプール15の長手方向の中央部付近が第１
環状制御溝28・第２環状制御溝29と対向位置に達する
と、第１環状制御溝28からサイン溝33を通って第２環状
制御溝29へ流れる流体の流量が最大になり、ピストン58
の移動速度が最大となる。そして、スプール15が更に左
方に移動して、スプール15の右方部が第１環状制御溝28
・第２環状制御溝29との対向位置に近づくと、サイン溝
33を通って第１環状制御溝28から第２環状制御溝29へ流
れる流体の流量が徐々に減少し、ピストン58の移動が終
期となり徐々に減速される。第１作動室20の最大圧力が
スプール15の右端受圧面に作用して生ずる力と、スプリ
ング25の力とがバランスする前に、スプール15は段差部
22に当接して停止する。スプール15の停止位置は、図５
(b) に示すように、スプール15の長手方向の右端部が第
１環状制御溝28・第２環状制御溝29と対向する位置に設
定されており、第１環状制御溝28からサイン溝33を通っ
て第２環状制御溝29へ所定の少量の流体が流れ、ピスト
ン58は低速で流体圧シリンダ50のエンド部に至り停止す
る。The vicinity of the center of the spool 15 in the longitudinal direction is the first position.
When it reaches the position opposed to the annular control groove 28 and the second annular control groove 29, the flow rate of the fluid flowing from the first annular control groove 28 through the sine groove 33 to the second annular control groove 29 becomes maximum, and the piston 58
The moving speed of the is maximum. Then, the spool 15 moves further to the left, and the right portion of the spool 15 is moved to the first annular control groove 28.
・ When approaching the position facing the second annular control groove 29, the sign groove
The flow rate of the fluid flowing from the first annular control groove 28 to the second annular control groove 29 through 33 gradually decreases, and the movement of the piston 58 reaches the end, and is gradually decelerated. Before the force generated by the maximum pressure of the first working chamber 20 acting on the right end pressure receiving surface of the spool 15 and the force of the spring 25 are balanced, the spool 15
Stops in contact with 22. The stop position of the spool 15 is shown in FIG.
As shown in (b), the right end in the longitudinal direction of the spool 15 is set at a position facing the first annular control groove 28 and the second annular control groove 29, and the first annular control groove 28 is shifted from the sine groove 33. Then, a predetermined small amount of fluid flows into the second annular control groove 29, and the piston 58 reaches the end of the hydraulic cylinder 50 at a low speed and stops.
【００２９】スプール15が右端位置から左端位置に移動
する間に、Ｂポートから流出される流体の総量により、
例えば流体圧シリンダ50が左端位置から右端位置へ所定
長さの移動をするように設定されている。ピストン58の
移動速度及び移動量は、サイン溝33の形状及びスプール
15の移動速度により定められ、スプール15の移動速度は
第１逆止め弁付き流量調整弁11の流量調整により行なわ
れる。例えば、適用する流体圧シリンダの受圧面積が大
きくなったり、移動量が長くなったときは、第１逆止め
弁付き流量調整弁11の流量調整弁の流量を減少させ、ス
プール15の移動速度を低下させ、Ｂポートから流出され
る流体の総量を増加させる。このように、第１逆止め弁
付き流量調整弁11の流量調整により、直径又は長さの異
なる種々の流体圧シリンダに第１・第２サイン流量制御
弁51・52を適用することができる。While the spool 15 moves from the right end position to the left end position, the total amount of fluid flowing out of the B port
For example, the hydraulic cylinder 50 is set to move a predetermined length from the left end position to the right end position. The moving speed and moving amount of the piston 58 depend on the shape of the sine groove 33 and the spool.
The moving speed of the spool 15 is determined by adjusting the flow rate of the first flow control valve 11 with a check valve. For example, when the pressure receiving area of the fluid pressure cylinder to be applied is large or the movement amount is long, the flow rate of the flow control valve of the flow control valve 11 with the first check valve is decreased, and the moving speed of the spool 15 is reduced. And increase the total amount of fluid flowing out of the B port. As described above, the first and second sine flow control valves 51 and 52 can be applied to various fluid pressure cylinders having different diameters or lengths by adjusting the flow rate of the flow rate control valve 11 with the first check valve.
【００３０】次に、図７(a) において、切換弁53を位置
Ｉから位置IIに切り換えると、流体圧力源54からの圧力
流体は、切換弁53のＰポート・Ｄポート、配管を通って
第２サイン流量制御弁52のＡポートに流入され、第２サ
イン流量制御弁52のＡポートからＢポートへの流れが制
御されながら配管、Ｆポートを通って流体圧シリンダ50
のロッド側室57に流入される。流体圧シリンダ50のヘッ
ド側室56内の流体は、Ｅポート、配管を通って第１サイ
ン流量制御弁51のＢポートに流入され、第１サイン流量
制御弁51のＢポートからＡポートへは流れが制御される
ことなく通過し、配管、切換弁53のＣポート、Ｒポート
を通って排出される。切換弁53が位置IIにあるときの第
２サイン流量制御弁52の作用は、切換弁53が位置Ｉにあ
るときの第１サイン流量制御弁51の作用と同様である。
ピストン58は左方への移動（後退）の初期に徐々に加速
され、移動の終期に徐々に減速される。なお、流体圧シ
リンダ50のヘッド側室56とロッド側室57とはその体積が
異なるので、第１サイン流量制御弁51の第１逆止め弁付
き流量調整弁11の流量調整量と第２サイン流量制御弁52
の第１逆止め弁付き流量調整弁11の流量調整量とは異な
っている。Next, in FIG. 7A, when the switching valve 53 is switched from the position I to the position II, the pressure fluid from the fluid pressure source 54 passes through the P port / D port of the switching valve 53 and the piping. The fluid flows into the A port of the second sine flow control valve 52, and while the flow from the A port to the B port of the second sine flow control valve 52 is controlled, the fluid pressure cylinder 50 passes through the piping and the F port.
To the rod side chamber 57 of The fluid in the head side chamber 56 of the fluid pressure cylinder 50 flows into the B port of the first sine flow control valve 51 through the E port and piping, and flows from the B port of the first sine flow control valve 51 to the A port. Passes through without being controlled, and is discharged through the piping, the C port and the R port of the switching valve 53. The operation of the second sine flow control valve 52 when the switching valve 53 is at the position II is the same as the operation of the first sine flow control valve 51 when the switching valve 53 is at the position I.
The piston 58 is gradually accelerated at the beginning of the leftward movement (retreat) and gradually decelerated at the end of the movement. Since the head side chamber 56 and the rod side chamber 57 of the fluid pressure cylinder 50 have different volumes, the flow rate adjustment amount of the first sine flow control valve 51 and the flow rate control valve 11 with the first check valve and the second sine flow rate control Valve 52
Is different from the flow control amount of the first flow control valve 11 with a check valve.
【００３１】図７(a) に、本発明の実施の形態第２（メ
ータアウトタイプ，図２参照）の第１サイン流量制御弁
61・第２サイン流量制御弁62を使用し、流体圧シリンダ
50から流出される流体の流量を制御して、ケースＩの作
動をさせる場合について説明する。図７(a) に示す状態
おいて、切換弁53は位置Ｉにあり、第１サイン流量制御
弁61のスプールは図２に示す右端位置にあり、第２サイ
ン流量制御弁62は左端位置にあるものとする。流体圧力
源54から切換弁53のＰポート・Ｃポート、配管を通って
第１サイン流量制御弁61のＡポートに流入した圧力流体
は、第１Ａ流路40Ａ、第２逆止め弁付流量調整弁12の空
所12Ｃ、第１Ｂ流路40Ｂ、第４流路43、第２逆止め弁3
8、第２流路41、Ｂポート、配管を通って制御をされる
ことなく、流体圧シリンダ50のヘッド側室56に流入し、
ピストン58を押圧する。FIG. 7A shows a first sine flow control valve according to a second embodiment (meter-out type, see FIG. 2) of the present invention.
61 ・ Use the second sine flow control valve 62
A case where the case I is operated by controlling the flow rate of the fluid flowing out of the case 50 will be described. In the state shown in FIG. 7A, the switching valve 53 is at the position I, the spool of the first sine flow control valve 61 is at the right end position shown in FIG. 2, and the second sine flow control valve 62 is at the left end position. There is. The pressure fluid flowing from the fluid pressure source 54 to the A port of the first sine flow control valve 61 through the P port / C port of the switching valve 53 and the pipe is used to adjust the flow rate of the first A flow path 40A and the second check valve. Void 12C of valve 12, first B flow path 40B, fourth flow path 43, second check valve 3
8, flows into the head side chamber 56 of the fluid pressure cylinder 50 without being controlled through the second flow path 41, the B port, and the pipe;
The piston 58 is pressed.
【００３２】流体圧シリンダ50のロッド側室57から、配
管を通って第２サイン流量制御弁62のＢポートに流入し
た流体は、第２流路41、挿入孔47の底部、第５流路44を
通って第２環状制御弁29へ流入するが、第２逆止め弁38
を通過して第４通路43へ流れることはできない。第２環
状制御弁29へ流入した流体は、第２環状制御弁29からサ
イン溝33と第１環状制御弁28とを通って所定の少流量に
制御され、さらに第１Ｂ流路40Ｂ、空所12Ｃ、第１Ａ流
路40Ａ、Ａポート、管路、切換弁53のＤポート、Ｒポー
トを通って排出される。そして、第２サイン流量制御弁
62のスプール15のサイン溝33により制御されながら流体
が流れ、ピストン58の右方への作動が開始する。このと
き、第２サイン流量制御弁62のスプール15はスプリング
25の弾発力によって右方へ押され、第１作動室20の流体
は、第３流路42を通り、第２逆止め弁付流量調整弁12の
流量調整弁によって流量を調整され、空所12Ｃで先の流
体と合流し、第１Ａ流路40Ａ、Ａポートを通って排出さ
れる。従って、スプール15が所定の速度で右方への移動
を開始し、サイン溝33の溝が徐々に深くなった部分を流
体が流れ、第２環状制御弁29からサイン溝33と第１環状
制御弁28とを流れる流体の流量が徐々に増加し、流体圧
シリンダ50のピストン58が移動の初期に徐々に加速され
る。The fluid flowing from the rod-side chamber 57 of the fluid pressure cylinder 50 to the port B of the second sine flow control valve 62 through the pipe passes through the second flow path 41, the bottom of the insertion hole 47, and the fifth flow path 44. Flows into the second annular control valve 29 through the second check valve 38
, And cannot flow to the fourth passage 43. The fluid flowing into the second annular control valve 29 is controlled to a predetermined small flow rate from the second annular control valve 29 through the sine groove 33 and the first annular control valve 28. 12C, the first A flow path 40A, the A port, the pipeline, and the D port and the R port of the switching valve 53 are discharged. And the second sine flow control valve
The fluid flows while being controlled by the sine groove 33 of the spool 15 of 62, and the piston 58 starts operating to the right. At this time, the spool 15 of the second sign flow control valve 62 is
The fluid in the first working chamber 20 is pushed rightward by the resilience of 25, passes through the third flow path 42, and the flow rate is adjusted by the flow control valve of the second flow control valve 12 with a check valve. At the point 12C, the fluid merges with the previous fluid and is discharged through the first A flow path 40A and the A port. Accordingly, the spool 15 starts moving rightward at a predetermined speed, and the fluid flows through the portion of the sine groove 33 where the groove gradually becomes deeper. The flow rate of the fluid flowing through the valve 28 gradually increases, and the piston 58 of the hydraulic cylinder 50 is gradually accelerated at the beginning of the movement.
【００３３】第２サイン流量制御弁62のスプール15の長
手方向の中央部付近が第２環状制御弁29・第１環状制御
弁28との対向位置に達すると、第２環状制御弁29からサ
イン溝33を通って第１環状制御弁28へ流れる流体の流量
が最大となり、ピストン58の移動速度が最大となる。そ
して、スプール15が更に右方へ移動して、スプール15の
左方部が第２環状制御弁29・第１環状制御弁28との対向
位置に達し、次いでスプール15がプラグ16の突起に当接
して停止する。サイン溝33を通って第２環状制御弁29か
ら第１環状制御弁28へ流れる流体の流速が徐々に低下
し、ピストン58の移動が終期となり、低速度で流体圧シ
リンダ50のエンド部（右端）に至り停止する。このと
き、第１サイン流量制御弁61においては、流体の圧力上
昇にともない、流体がＡポートから第１Ａ流路40Ａ、空
所12Ｃを通り、第２逆止め弁付流量調整弁12の流量調整
弁で流量が調整され、第３流路42を通って第１作動室20
に流入する。スプール15は、第１作動室20の圧力がスプ
ール15の右端受圧面に作用して生ずる力と、スプリング
25の力とがバランスする位置に移動する。ピストン58が
流体圧シリンダ50のエンド部に至ると、第１作動室20の
圧力が最高圧になり、スプール15は段差部22に当接し、
左端位置に達して停止する。When the vicinity of the center of the spool 15 of the second sign flow control valve 62 in the longitudinal direction reaches a position facing the second annular control valve 29 and the first annular control valve 28, the second annular control valve 29 changes the sign. The flow rate of the fluid flowing through the groove 33 to the first annular control valve 28 is maximized, and the moving speed of the piston 58 is maximized. Then, the spool 15 further moves to the right, the left portion of the spool 15 reaches a position facing the second annular control valve 29 and the first annular control valve 28, and then the spool 15 contacts the projection of the plug 16. Stop by touching. The flow velocity of the fluid flowing from the second annular control valve 29 to the first annular control valve 28 through the sine groove 33 gradually decreases, and the movement of the piston 58 is terminated. ) And stop. At this time, in the first sign flow control valve 61, as the pressure of the fluid rises, the fluid flows from the port A through the first A flow path 40A and the space 12C, and the flow rate of the second check valve-equipped flow regulating valve 12 is adjusted. The flow rate is adjusted by the valve and passes through the third flow path 42 to the first working chamber 20.
Flows into. The spool 15 has a force generated by the pressure of the first working chamber 20 acting on the right end pressure receiving surface of the spool 15 and a spring.
Move to a position where 25 forces balance. When the piston 58 reaches the end of the hydraulic cylinder 50, the pressure in the first working chamber 20 reaches the maximum pressure, and the spool 15 contacts the step 22 and
It reaches the leftmost position and stops.
【００３４】次に、切換弁53を位置Ｉから位置IIに切り
換えると、流体圧力源54からの圧力流体は、切換弁53の
Ｐポート・Ｄポート、配管、第２サイン流量制御弁62の
Ａポートに流入され、第２サイン流量制御弁62のＡポー
トからＢポートへの流れが第２逆止め弁38を制御される
ことなく通り、配管、Ｆポートを通って流体圧シリンダ
50のロッド側室57に流入される。流体圧シリンダ50のヘ
ッド側室56内の流体は、Ｅポート、配管を通って第１サ
イン流量制御弁61のＢポートに流入し、第２サイン流量
制御弁62のＢポートからＡポートへの流れが制御され、
配管、切換弁53のＣポート、Ｒポートを通って排出され
る。切換弁53が位置IIにあるときの第１サイン流量制御
弁61の作用は、切換弁53が位置Ｉにあるときの第２サイ
ン流量制御弁62の作用と同様である。ピストン58は左方
への移動の初期に徐々に加速され、移動の終期に徐々に
減速される。なお、流体圧シリンダ50のヘッド側室56と
ロッド側室57とはその体積が異なるので、第１サイン流
量制御弁61の第２逆止め弁付き流量調整弁12の流量調整
量と第２サイン流量制御弁62の第２逆止め弁付き流量調
整弁12の流量調整量とは異なっている。Next, when the switching valve 53 is switched from the position I to the position II, the pressure fluid from the fluid pressure source 54 receives the P port / D port of the switching valve 53, the piping, and the A of the second sign flow control valve 62. The fluid flows into the port and flows from the port A to the port B of the second sine flow control valve 62 through the second check valve 38 without being controlled.
It flows into the rod side chamber 57 of the 50. The fluid in the head side chamber 56 of the fluid pressure cylinder 50 flows into the B port of the first sine flow control valve 61 through the E port and piping, and flows from the B port of the second sine flow control valve 62 to the A port. Is controlled,
It is discharged through the piping, the C port and the R port of the switching valve 53. The operation of the first sine flow control valve 61 when the switching valve 53 is at the position II is the same as the operation of the second sine flow control valve 62 when the switching valve 53 is at the position I. The piston 58 is gradually accelerated at the beginning of the leftward movement and gradually decelerated at the end of the movement. Since the head-side chamber 56 and the rod-side chamber 57 of the fluid pressure cylinder 50 have different volumes, the flow rate adjustment amount of the second sine flow control valve 12 of the first sine flow control valve 61 and the second sine flow control The flow rate of the valve 62 is different from that of the flow control valve 12 with the second check valve.
【００３５】図７(a) に、本発明の実施の形態第３（メ
ータイン・アウトタイプ，図３参照）の第１サイン流量
制御弁71・第２サイン流量制御弁72を使用し、流体圧シ
リンダ50へ流入する流体の流量及び流体圧シリンダ50か
ら流出する流体の流量を制御して、ケースＩの作動をさ
せる場合について説明する。図７(a) において、切換弁
53は位置Ｉにあり、第１サイン流量制御弁71のスプール
15は図３に示す右端位置にあり、第２サイン流量制御弁
72のスプール15は左端位置にあるものとする。流体圧力
源54から切換弁53のＰポート・Ｃポート、配管を通って
第１サイン流量制御弁71のＡポートに流入した圧力流体
は、第１Ａ流路40Ａ、環状溝部36Ｈ、第１Ｃ流路40Ｃ、
環状溝部35Ｈ、第１Ｂ流路40Ｂを通って第１環状制御溝
28に流入する。同時に、圧力流体は第１Ａ流路40Ａ、環
状溝部36Ｈ、第２複合制御弁36の流量調整弁（ポペット
弁体36Ｇと弁座等）及び逆止め弁（逆止め弁体36Ｂと挿
入孔49）を通って流量を調整されながら第１作動室20に
流入し、スプール15をスプリング25の弾発力に抗して左
方に移動させようとする。FIG. 7A shows a third embodiment (meter-in / out type, see FIG. 3) of the first embodiment of the present invention, in which a first sine flow control valve 71 and a second sine flow control valve 72 are used, A case where the case I is operated by controlling the flow rate of the fluid flowing into the cylinder 50 and the flow rate of the fluid flowing out of the hydraulic cylinder 50 will be described. In FIG. 7 (a), the switching valve
53 is in position I and the spool of the first sine flow control valve 71
Reference numeral 15 is located at the right end position shown in FIG.
It is assumed that the 72 spool 15 is at the left end position. The pressure fluid flowing from the fluid pressure source 54 to the A port of the first sine flow control valve 71 through the P port / C port of the switching valve 53 and the piping is supplied to the first A flow path 40A, the annular groove portion 36H, and the first C flow path. 40C,
The first annular control groove passes through the annular groove portion 35H and the first B flow path 40B.
Flow into 28. At the same time, the pressure fluid is supplied to the first A flow passage 40A, the annular groove portion 36H, the flow control valve (the poppet valve body 36G and the valve seat) of the second composite control valve 36, and the check valve (the check valve body 36B and the insertion hole 49). Flows into the first working chamber 20 while adjusting the flow rate, and attempts to move the spool 15 to the left against the elastic force of the spring 25.
【００３６】スプール15が図３に示す右端位置にあると
きは、第１環状制御溝28からサイン溝33を通って第２環
状制御溝29へ所定の少量の流体が流れ、この流体はＢポ
ートから流体圧シリンダ50のヘッド側室56に流入し、流
体圧シリンダ50のピストン58を作動させようとする。そ
して、第１作動室20の圧力上昇に応じてスプール15が左
方への移動を開始すると、サイン溝33の溝が徐々に深く
なった部分を流体が流れるので、第１環状制御溝28から
サイン溝33を通って第２環状制御溝29へ流れる流体の流
量が徐々に増加する。この流体はＢポートから流体圧シ
リンダ50のヘッド側室56に流入し、流体圧シリンダ50の
ピストン58を右方への移動の初期に徐々に加速させよう
とする。When the spool 15 is at the right end position shown in FIG. 3, a predetermined small amount of fluid flows from the first annular control groove 28 through the sine groove 33 to the second annular control groove 29. Flows into the head side chamber 56 of the fluid pressure cylinder 50 to operate the piston 58 of the fluid pressure cylinder 50. When the spool 15 starts moving to the left in response to the increase in the pressure of the first working chamber 20, fluid flows through the portion of the sine groove 33 where the groove is gradually deepened. The flow rate of the fluid flowing through the sine groove 33 to the second annular control groove 29 gradually increases. This fluid flows into the head-side chamber 56 of the hydraulic cylinder 50 from the port B, and tries to gradually accelerate the piston 58 of the hydraulic cylinder 50 at the beginning of the rightward movement.
【００３７】流体圧シリンダ50のロッド側室57内の流体
は、Ｆポート、配管を通って第２サイン流量制御弁72の
Ｂポートに流入し、第２サイン流量制御弁72の第２流路
41を通って第２環状制御溝29に流入する。このとき、第
２サイン流量制御弁72のスプール15は左端位置にあり、
第１作動室20内の流体は第３Ｂ流路42Ｂ、挿入孔49の底
部、第３Ａ流路42Ａ、第１複合制御弁35の逆止め弁（逆
止め弁体35Ｂと挿入孔48）を通り、流量調整弁（ポペッ
ト弁体35Ｇと弁座等）で流量が調整されて、環状溝部35
Ｈ、第１Ｃ流路40Ｃ、環状溝部36Ｈ、第１Ａ流路40Ａ、
Ａポート、配管、切換弁53のＤポート、Ｒポートを通っ
て排出される。従って、第２サイン流量制御弁72のスプ
ール15は右方への移動を始めており、第２環状制御溝29
からサイン溝33を通って第１環状制御溝28から流路を通
ってＡポートへ流れる流体は徐々に増加する。このよう
に、流体圧シリンダ50の流入側及び流出側で流速が制御
され、流体圧シリンダ50のピストン58は作動の初期にお
いて徐々に加速される。The fluid in the rod side chamber 57 of the fluid pressure cylinder 50 flows into the port B of the second sine flow control valve 72 through the port F and the pipe, and the second flow path of the second sine flow control valve 72
It flows into the second annular control groove 29 through 41. At this time, the spool 15 of the second sign flow control valve 72 is at the left end position,
The fluid in the first working chamber 20 passes through the third B flow path 42B, the bottom of the insertion hole 49, the third A flow path 42A, and the check valve (the check valve body 35B and the insertion hole 48) of the first composite control valve 35. The flow rate is adjusted by a flow control valve (poppet valve body 35G and valve seat, etc.), and the annular groove 35
H, a first C channel 40C, an annular groove 36H, a first A channel 40A,
It is discharged through the A port, the piping, the D port and the R port of the switching valve 53. Therefore, the spool 15 of the second sine flow control valve 72 has started to move rightward, and the second annular control groove 29
The fluid flowing from the first annular control groove 28 through the flow passage to the port A through the sine groove 33 gradually increases. In this manner, the flow velocity is controlled on the inflow side and the outflow side of the hydraulic cylinder 50, and the piston 58 of the hydraulic cylinder 50 is gradually accelerated at the beginning of operation.
【００３８】第１サイン流量制御弁71及び第２サイン流
量制御弁72のスプール15の長手方向の中央部付近が第１
環状制御溝28・第２環状制御溝29との対向位置に達する
と、第１サイン流量制御弁71の第１環状制御溝28からサ
イン溝33を通って第２環状制御溝29、流体圧シリンダ50
へ流れる流体の流量が最大になり、また流体圧シリンダ
50から第２サイン流量制御弁72の第２環状制御溝29、サ
イン溝33、第１環状制御溝28を通って排出される流体の
流量が最大になり、ピストン58の移動速度が最高とな
る。そして、第１サイン流量制御弁71のスプール15が更
に左方に移動して、スプール15の右方部が第１環状制御
溝28・第２環状制御溝29と対向する位置に達すると、サ
イン溝33を通って第１環状制御溝28から第２環状制御溝
29へ流れる流体の流速が徐々に低下する。The first sign flow control valve 71 and the second sign flow control valve 72 have a first portion near the longitudinal center of the spool 15.
When reaching the position opposed to the annular control groove 28 and the second annular control groove 29, the first annular control groove 28 of the first sine flow control valve 71 passes through the sine groove 33, the second annular control groove 29, and the fluid pressure cylinder. 50
Fluid flow to the
From 50, the flow rate of the fluid discharged through the second annular control groove 29, the sine groove 33, and the first annular control groove 28 of the second sine flow control valve 72 is maximized, and the moving speed of the piston 58 is maximized. . When the spool 15 of the first sign flow control valve 71 further moves leftward and the right part of the spool 15 reaches a position facing the first annular control groove 28 and the second annular control groove 29, the sign From the first annular control groove 28 through the groove 33 to the second annular control groove
The flow velocity of the fluid flowing to 29 gradually decreases.
【００３９】このとき、第２サイン流量制御弁72のスプ
ール15が更に右方に移動して、スプール15の左方部が第
２環状制御溝29・第１環状制御溝28と対向する位置に達
すると、サイン溝33を通って第２環状制御溝29から第１
環状制御溝28へ流れる流体の流量が徐々に減少する。従
って、ピストン58の移動が終期となり徐々に減速され
る。第１サイン流量制御弁71の第１作動室20の最大圧力
がスプール15の右端受圧面に作用して生ずる力が、スプ
リング25の力とがバランスする前に、スプール15が段差
部22に当接して停止する。そして、第２サイン流量制御
弁72のスプール15がスプリング25の力によって右端位置
へ達し、スプール15もプラグ16の突起に当接して停止す
る。これらのスプール15の停止位置により、ピストン58
は低速で流体圧シリンダ50の右端に到達し停止する。At this time, the spool 15 of the second sine flow control valve 72 moves further to the right, and the left portion of the spool 15 moves to a position facing the second annular control groove 29 and the first annular control groove 28. When it reaches, the first annular control groove 29 passes through the sine groove 33 to the first
The flow rate of the fluid flowing to the annular control groove 28 gradually decreases. Therefore, the movement of the piston 58 is at the end and is gradually decelerated. Before the force generated by the maximum pressure of the first working chamber 20 of the first sign flow control valve 71 acting on the right end pressure receiving surface of the spool 15 and the force of the spring 25 are balanced, the spool 15 hits the step 22. Stop by touching. Then, the spool 15 of the second sign flow control valve 72 reaches the right end position by the force of the spring 25, and the spool 15 also comes into contact with the projection of the plug 16 and stops. The stop position of these spools 15 causes the piston 58
Reaches the right end of the hydraulic cylinder 50 at a low speed and stops.
【００４０】第１サイン流量制御弁71のスプール15が右
端位置から左端位置に移動する間に、Ｂポートから流出
される流体の総量により、例えば流体圧シリンダ50の左
端位置から右端位置へ移動をするように設定されてい
る。同様に、第２サイン流量制御弁72のスプール15が左
端位置から右端位置に移動する間に、流体圧シリンダ50
から流出される流体の総量により、例えば流体圧シリン
ダ50の左端位置から右端位置へ移動をするように設定さ
れている。なお、図７(a) に本発明の実施の形態第１
（メータインタイプ，図１参照）及び実施の形態第１
（メータアウトタイプ，図２参照）を使用した場合と同
様に、第１サイン流量制御弁71及び第２サイン流量制御
弁72の第１複合制御弁35・第２複合制御弁36の流量調整
弁を調整し、スプール15のサイン溝33の形状を変えるこ
とにより、同一の流体圧シリンダで移動速度を変えた
り、設定移動量を変えたりして、直径及び長さの異なる
種々の流体圧シリンダに適用することができる。While the spool 15 of the first sign flow control valve 71 moves from the right end position to the left end position, for example, the movement of the fluid pressure cylinder 50 from the left end position to the right end position depends on the total amount of fluid flowing out of the B port. Is set to Similarly, while the spool 15 of the second sign flow control valve 72 moves from the left end position to the right end position, the hydraulic cylinder 50
The hydraulic cylinder 50 is set to move from the left end position to the right end position, for example, depending on the total amount of fluid flowing out of the cylinder. FIG. 7A shows the first embodiment of the present invention.
(Meter-in type, see FIG. 1) and Embodiment 1
(Meter-out type, see FIG. 2), the flow rate adjusting valves of the first composite control valve 35 and the second composite control valve 36 of the first sine flow control valve 71 and the second sine flow control valve 72. By changing the shape of the sign groove 33 of the spool 15, the moving speed can be changed with the same hydraulic cylinder, or the set moving amount can be changed, so that various hydraulic cylinders with different diameters and lengths can be adjusted. Can be applied.
【００４１】次に、切換弁53を位置Ｉから位置IIに切り
換えると、流体圧力源54からの圧力流体は、切換弁53の
Ｐポート・Ｄポート、配管、第２サイン流量制御弁72の
Ａポートに流入され、第２サイン流量制御弁72のＡポー
トからＢポートへの流れが制御されながら配管、Ｆポー
トを通って流体圧シリンダ50のロッド側室57に流入され
る。流体圧シリンダ50のヘッド側室56内の流体は、Ｅポ
ート、配管を通って第１サイン流量制御弁71のＢポート
に流入され、第１サイン流量制御弁71のＢポートからＡ
ポートへは流れが制御され、配管、切換弁53のＣポー
ト、Ｒポートを通って排出される。切換弁53が位置IIに
あるとき、第１サイン流量制御弁71の作用は、切換弁53
が位置Ｉにあるときの第２サイン流量制御弁72の作用と
同様であり、第２サイン流量制御弁72の作用は、切換弁
53が位置Ｉにあるときの第１サイン流量制御弁71の作用
と同様である。ピストン58は左方への移動の初期に徐々
に加速され、移動の終期に徐々に減速される。Next, when the switching valve 53 is switched from the position I to the position II, the pressure fluid from the fluid pressure source 54 receives the P port / D port of the switching valve 53, the piping, and the A of the second sign flow control valve 72. While flowing into the port, the flow from the port A to the port B of the second sign flow control valve 72 is controlled, and flows into the rod side chamber 57 of the fluid pressure cylinder 50 through the pipe and the port F. The fluid in the head-side chamber 56 of the fluid pressure cylinder 50 flows into the B port of the first sine flow control valve 71 through the E port and piping, and flows from the B port of the first sine flow control valve 71 to the A port.
The flow to the port is controlled and discharged through the piping, the C port and the R port of the switching valve 53. When the switching valve 53 is in the position II, the operation of the first sine flow control valve 71
Is in the position I, the operation of the second sine flow control valve 72 is the same as the operation of the second sine flow control valve 72.
The operation is the same as that of the first sine flow control valve 71 when the position 53 is at the position I. The piston 58 is gradually accelerated at the beginning of the leftward movement and gradually decelerated at the end of the movement.
【００４２】本発明の実施の形態第１（メータインタイ
プ，図１参照）の第１サイン流量制御弁51・第２サイン
流量制御弁52は、流体圧シリンダ50へ流入する流体の流
速を制御して、ケースＩの作動をさせるために創作され
た。しかし、第１サイン流量制御弁51・第２サイン流量
制御弁52を図７(b) に示すように、ＡポートとＢポート
を図７(a) とは逆に向けて接続すると、流体圧シリンダ
50から流出する流体の流量を制御して、ケースＩの作動
をさせることができる。The first sine flow control valve 51 and the second sine flow control valve 52 of the first embodiment (meter-in type, see FIG. 1) control the flow rate of the fluid flowing into the fluid pressure cylinder 50. It was created to operate Case I. However, when the first sign flow control valve 51 and the second sign flow control valve 52 are connected as shown in FIG. Cylinder
The case I operation can be performed by controlling the flow rate of the fluid flowing out of 50.
【００４３】図７(b) に示すように、第１サイン流量制
御弁51ＡのＢポートは配管を介して切換弁53のＣポート
に連通され、第１サイン流量制御弁51ＡのＡポートは配
管を介して流体圧シリンダ50のヘッド側室56のＥポート
に連通されている。また、第２サイン流量制御弁52Ａの
Ｂポートは配管を介して切換弁53のＤポートに連通さ
れ、第２サイン流量制御弁52ＡのＡポートは配管を介し
て流体圧シリンダ50のロッド側室57のＦポートに連通さ
れている。切換弁53のＰポートは流体圧力源54に連通さ
れ、切換弁53のＲポートは大気又はタンクに連通されて
いる。As shown in FIG. 7 (b), the B port of the first sine flow control valve 51A is connected to the C port of the switching valve 53 via a pipe, and the A port of the first sine flow control valve 51A is connected to a pipe. Through the E port of the head side chamber 56 of the fluid pressure cylinder 50. The B port of the second sine flow control valve 52A is connected to the D port of the switching valve 53 via a pipe, and the A port of the second sine flow control valve 52A is connected to the rod side chamber 57 of the hydraulic cylinder 50 via a pipe. F port. The P port of the switching valve 53 is connected to a fluid pressure source 54, and the R port of the switching valve 53 is connected to the atmosphere or a tank.
【００４４】図７(b) に示す状態において、切換弁53は
位置Ｉにあり、第１サイン流量制御弁51Ａのスプール15
は左端側その他の位置にあり、第２サイン流量制御弁52
Ａのスプール15は図１に示す右端位置にあるものとす
る。流体圧力源54から切換弁53のＰポート・Ｃポート、
配管を通って第１サイン流量制御弁51ＡのＢポートに流
入した圧力流体は、第２流路41、第１逆止め弁13、第４
流路43、第１Ｂ流路40Ｂ、環状の空所11Ｃ、第１Ａ流路
40Ａ、Ａポートを制御されることなく通過し、配管、Ｅ
ポートを通って流体圧シリンダ50のヘッド側室56に流入
され、ピストン58を右方へ移動させようとする。そし
て、第１サイン流量制御弁51Ａのスプール15にはスプリ
ング25の弾発力が作用しているので、第１作動室20の流
体は第３流路42、第１逆止め弁付き流量調整弁11の逆止
め弁をとおり、環状の空所11Ｃで第１逆止め弁13を流れ
る流体と合流する。In the state shown in FIG. 7B, the switching valve 53 is at the position I and the spool 15 of the first sine flow control valve 51A is
Is located at the left end and other positions, and the second sine flow control valve 52
It is assumed that the spool 15 of A is at the right end position shown in FIG. P port and C port of the switching valve 53 from the fluid pressure source 54,
The pressure fluid flowing into the B port of the first sine flow control valve 51A through the pipe passes through the second flow path 41, the first check valve 13,
Channel 43, first B channel 40B, annular void 11C, first A channel
40A, pass uncontrolled A port, piping, E
The fluid flows into the head side chamber 56 of the fluid pressure cylinder 50 through the port, and attempts to move the piston 58 to the right. Since the resilient force of the spring 25 acts on the spool 15 of the first sign flow control valve 51A, the fluid in the first working chamber 20 is supplied to the third flow path 42 and the flow control valve with the first check valve. The fluid passes through the check valve 11 and joins the fluid flowing through the first check valve 13 at the annular space 11C.
【００４５】流体圧シリンダ50のロッド側室57内の流体
は、ピストン58の押圧によって加圧され、Ｆポートを通
って第２サイン流量制御弁52ＡのＡポートに流入し、第
１Ａ流路40Ａ、環状の空所11Ｃ、第１Ｂ流路40Ｂを通っ
て第１環状制御溝28に流入する。同時に、圧力流体は第
１Ａ流路40Ａ、環状の空所11Ｃ、第１逆止め弁付き流量
調整弁11の流量調整弁、第３流路42を通って流量を調整
されながら第１作動室20に流入し、スプール15をスプリ
ング25の弾発力に抗して左方に移動させようとする。The fluid in the rod side chamber 57 of the fluid pressure cylinder 50 is pressurized by the pressure of the piston 58, flows into the A port of the second sine flow control valve 52A through the F port, and flows into the first A flow path 40A, It flows into the first annular control groove 28 through the annular space 11C and the first B flow path 40B. At the same time, the pressure fluid passes through the first A flow passage 40A, the annular space 11C, the flow control valve of the flow control valve 11 with the first check valve, and the third flow passage 42 while the flow rate is adjusted. To move the spool 15 to the left against the elastic force of the spring 25.
【００４６】第２サイン流量制御弁52Ａのスプール15が
図１・図５(a) に示す位置にあるときは、所定の少量の
流体が第１環状制御溝28からサイン溝33を通って第２環
状制御溝29へ流れ、この流体はＢポートから配管、切換
弁53のＤポート・Ｒポートを通って排出される。従っ
て、ピストン58は右方への低速移動を開始する。第１作
動室20の圧力上昇に応じてスプール15が左方への移動を
開始すると、サイン溝33の溝が徐々に深くなった部分を
流体が流れるので、第１環状制御溝28からサイン溝33を
通って第２環状制御溝29へ流れる流体の流量が徐々に増
加する。流体圧シリンダ50のロッド側室57の流体は、第
２サイン流量制御弁52Ａによって徐々に流量を増加させ
ながら流出され、流体圧シリンダ50のピストン58は移動
の初期に徐々に加速される。When the spool 15 of the second sine flow control valve 52A is at the position shown in FIGS. 1 and 5 (a), a predetermined small amount of fluid passes from the first annular control groove 28 to the sine groove 33 through the sine groove 33. The fluid flows into the two annular control grooves 29, and this fluid is discharged from the B port through the piping and the D port / R port of the switching valve 53. Accordingly, the piston 58 starts moving to the right at a low speed. When the spool 15 starts moving to the left in response to the increase in the pressure in the first working chamber 20, the fluid flows through the portion of the sine groove 33 where the groove gradually becomes deeper. The flow rate of the fluid flowing to the second annular control groove 29 through 33 gradually increases. The fluid in the rod side chamber 57 of the hydraulic cylinder 50 flows out while gradually increasing the flow rate by the second sine flow control valve 52A, and the piston 58 of the hydraulic cylinder 50 is gradually accelerated at the beginning of the movement.
【００４７】第２サイン流量制御弁52Ａのスプール15の
長手方向の中央部付近が第１環状制御溝28・第２環状制
御溝29との対向位置に達すると、第１環状制御溝28から
サイン溝33を通って第２環状制御溝29へ流れる流体の流
量が最大になり、ピストン58の移動速度が最大となる。
そして、スプール15が更に左方に移動して、スプール15
の右方部が第１環状制御溝28・第２環状制御溝29との対
向位置に近づくと、サイン溝33を通って第１環状制御溝
28から第２環状制御溝29へ流れる流体の流量が徐々に減
少する。スプール15は段差部22に当接すると停止し、ピ
ストン58の移動が終期となり低速で流体圧シリンダ50の
左端のストロークエンドに至り停止する。このとき、第
１サイン流量制御弁51Ａのスプール15は、図１に示す右
端位置に戻っている。When the vicinity of the center of the spool 15 of the second sign flow control valve 52A in the longitudinal direction reaches a position facing the first annular control groove 28 and the second annular control groove 29, the sign is formed from the first annular control groove 28. The flow rate of the fluid flowing through the groove 33 to the second annular control groove 29 is maximized, and the moving speed of the piston 58 is maximized.
Then, the spool 15 moves further to the left, and the spool 15
When the right side of the first groove approaches a position facing the first annular control groove 28 and the second annular control groove 29, the first annular control groove passes through the sign groove 33.
The flow rate of the fluid flowing from 28 to the second annular control groove 29 gradually decreases. When the spool 15 contacts the step 22, the movement of the piston 58 is terminated and the spool 15 stops at a low speed until the stroke end at the left end of the hydraulic cylinder 50 is reached. At this time, the spool 15 of the first sign flow control valve 51A has returned to the right end position shown in FIG.
【００４８】次に、図７(b) において、切換弁53を位置
Ｉから位置IIに切り換えると、流体圧力源54からの圧力
流体は、切換弁53のＰポート・Ｄポート、配管、第２サ
イン流量制御弁52ＡのＢポートに流入され、第２サイン
流量制御弁52ＡのＢポートからＡポートへは流れが制御
されることなく通過し、Ｆポートを通って流体圧シリン
ダ50のロッド側室57に流入される。流体圧シリンダ50の
ヘッド側室56内の流体は、Ｅポート、配管を通って第１
サイン流量制御弁51のＡポートに流入され、第１サイン
流量制御弁51ＡのＡポートからＢポートへの流れが制御
されながら配管、切換弁53のＣポート、Ｒポートを通っ
て排出される。切換弁53が位置IIにあるときの第１サイ
ン流量制御弁51Ａの作用は、切換弁53が位置Ｉにあると
きの第２サイン流量制御弁52Ａの作用と同様である。ピ
ストン58は左方への移動の初期に徐々に加速され、移動
の終期に徐々に減速される。なお、流体圧シリンダ50の
ヘッド側室56とロッド側室57とはその体積が異なるの
で、第１サイン流量制御弁51Ａの第１逆止め弁付き流量
調整弁11の流量調整量と第２サイン流量制御弁52Ａの第
１逆止め弁付き流量調整弁11の流量調整量とは異なって
いる。Next, in FIG. 7B, when the switching valve 53 is switched from the position I to the position II, the pressure fluid from the fluid pressure source 54 receives the P port / D port of the switching valve 53, the piping, The fluid flows into the B port of the sine flow control valve 52A, passes uncontrolled from the B port to the A port of the second sine flow control valve 52A, passes through the F port, and the rod side chamber 57 of the hydraulic cylinder 50. Flowed into. The fluid in the head-side chamber 56 of the fluid pressure cylinder 50 passes through the E port and piping to the first chamber.
The gas flows into the port A of the sine flow control valve 51, and is discharged through the piping, the C port and the R port of the switching valve 53 while the flow from the A port to the B port of the first sine flow control valve 51A is controlled. The operation of the first sine flow control valve 51A when the switching valve 53 is at the position II is the same as the operation of the second sine flow control valve 52A when the switching valve 53 is at the position I. The piston 58 is gradually accelerated at the beginning of the leftward movement and gradually decelerated at the end of the movement. Since the volume of the head side chamber 56 and the rod side chamber 57 of the fluid pressure cylinder 50 are different, the flow rate adjustment amount of the first non-return valve flow control valve 11 of the first sine flow control valve 51A and the second sine flow control The flow rate of the valve 52A is different from that of the flow rate control valve 11 with the first check valve.
【００４９】図８は、本発明のサイン流量制御弁の実施
の形態第３の変形例を示す。実施の形態第３の変形例
は、実施の形態第３のスプール15の移動方法の一部を変
更したものである。なお、図８の説明において、図３と
同一の部材には図３と同一の符号を付し、その説明は省
略する。図８においは、図３における排出穴17、ボルト
穴18、段差部22、調節つまみ23、支持穴24、スプリング
25、支持金具26は除去されている。そして、壁部19にＢ
ポートと第２作動室21とを連通させる連通路64が形成さ
れ、連通路64に可変絞り弁65を介在させてある。そし
て、スプール15の左右両端部に環状溝が形成され、左右
の環状溝にシール67・68がそれぞれ装着されている。な
お、図１又は図２における排出穴17、ボルト穴18、段差
部22、調節つまみ23、支持穴24、スプリング25、支持金
具26を除去し、そして壁部19にＢポートと第２作動室21
とを連通させる連通路64を形成し、連通路64に可変絞り
弁65を介在させ、スプール15の左右両端部に環状溝を形
成し、左右の環状溝にシール67・68をそれぞれ装着でき
ることは当然である。FIG. 8 shows a third modification of the sine flow control valve according to the third embodiment of the present invention. In the third modification of the third embodiment, a part of the method of moving the spool 15 according to the third embodiment is modified. In the description of FIG. 8, the same members as those of FIG. 3 are denoted by the same reference numerals as those of FIG. 3, and the description thereof will be omitted. 8, the discharge hole 17, the bolt hole 18, the step 22, the adjustment knob 23, the support hole 24, the spring shown in FIG.
25, support bracket 26 has been removed. And B on the wall 19
A communication passage 64 for communicating the port with the second working chamber 21 is formed, and a variable throttle valve 65 is interposed in the communication passage 64. Further, annular grooves are formed at both left and right end portions of the spool 15, and seals 67 and 68 are mounted in the left and right annular grooves, respectively. 1 or 2, the discharge hole 17, the bolt hole 18, the step portion 22, the adjustment knob 23, the support hole 24, the spring 25, and the support bracket 26 are removed, and the B port and the second working chamber are provided in the wall portion 19. twenty one
And a variable throttle valve 65 is interposed in the communication path 64, annular grooves are formed in both left and right ends of the spool 15, and seals 67 and 68 can be respectively mounted in the left and right annular grooves. Of course.
【００５０】図８において、Ａポートから流体が流入さ
れＢポートから流出されるとき、Ａポートからの流体は
第２複合制御弁36の流量調整弁で流量が調整されて第１
作動室20に流入され、第２作動室21の流体は可変絞り弁
65によって流量が調整されてＢポートから流出される。
従って、スプール15は第２複合制御弁36の流量調整弁及
び可変絞り弁65によって設定された速度で左方へ移動す
る。また、Ｂポートから流体が流入されＡポートから流
出されるときは、スプール15は可変絞り弁65及び第１複
合制御弁35の流量調整弁によって設定された速度で右方
へ移動する。従って、スプール15の速度調整が容易であ
り、スプール15を確実に左方端及び右方端へ移動させる
ことができる。そして、流体の流れが停止したとき、ス
プール15は停止位置を維持し続ける。In FIG. 8, when a fluid flows in from the port A and flows out of the port B, the flow rate of the fluid from the port A is adjusted by the flow control valve of the second composite control valve 36, and
The fluid flowing into the working chamber 20 and the fluid in the second working chamber 21 is a variable throttle valve
The flow rate is adjusted by 65 and discharged from the B port.
Accordingly, the spool 15 moves to the left at the speed set by the flow regulating valve of the second composite control valve 36 and the variable throttle valve 65. When fluid flows in from port B and flows out of port A, the spool 15 moves rightward at a speed set by the variable throttle valve 65 and the flow control valve of the first composite control valve 35. Therefore, speed adjustment of the spool 15 is easy, and the spool 15 can be reliably moved to the left end and the right end. Then, when the flow of the fluid stops, the spool 15 continues to maintain the stop position.
【００５１】[0051]
【発明の効果】本発明のサイン流量制御弁を流体圧アク
チュエータの流入側又は（及び）流出側に配設すること
により、流体圧アクチュエータの作動初期の加速又は
（及び）作動終期の減速を任意に行うことができる。そ
して、サイン流量制御弁内の流量調整弁を調整すること
により、１個のサイン流量制御弁で大きさの異なる流体
圧アクチュエータの制御を行うことができる。By arranging the sine flow control valve of the present invention on the inflow side and / or the outflow side of the hydraulic actuator, the acceleration at the beginning of operation of the hydraulic actuator and / or the deceleration at the end of operation of the hydraulic actuator can be arbitrarily determined. Can be done. Then, by adjusting the flow control valve in the sine flow control valve, it is possible to control fluid pressure actuators having different sizes with one sine flow control valve.
【００５２】本発明のサイン流量制御弁を標準形の流体
圧シリンダの流入側又は（及び）流出側に配設すること
により、従来のクッション機構の付いた流体圧シリンダ
と同様の機能を発揮させることができる。そして、サイ
ン流量制御弁内の流量調整弁を調整することにより、容
量の異なる流体圧シリンダに適用することができる。ま
た、揺動形流体圧アクチュエータ及び連続回転形流体圧
アクチュエータに適用することにより、従来は困難であ
った作動初期の加速及び作動終期の減速を任意に行うこ
とができる。By arranging the sine flow control valve of the present invention on the inflow side and / or the outflow side of the standard type hydraulic cylinder, the same function as that of the conventional hydraulic cylinder with a cushion mechanism is exerted. be able to. By adjusting the flow control valve in the sine flow control valve, the present invention can be applied to fluid pressure cylinders having different capacities. In addition, by applying the present invention to the oscillating fluid pressure actuator and the continuous rotation fluid pressure actuator, it is possible to arbitrarily perform acceleration at the early stage of operation and deceleration at the end of operation, which were conventionally difficult.
【図１】本発明のサイン流量制御弁の実施の形態第１
（メータインタイプのサイン流量制御弁）を示す断面図
である。FIG. 1 is a first embodiment of a sine flow control valve according to the present invention.
It is sectional drawing which shows (a meter-in type sine flow control valve).
【図２】本発明のサイン流量制御弁の実施の形態第２
（メータアウトタイプのサイン流量制御弁）を示す断面
図である。FIG. 2 is a second embodiment of the sine flow control valve of the present invention.
It is sectional drawing which shows (a meter-out type sine flow control valve).
【図３】本発明のサイン流量制御弁の実施の形態第３
（メータイン・アウトタイプのサイン流量制御弁）を示
す断面図である。FIG. 3 is a third embodiment of the sine flow control valve of the present invention.
It is sectional drawing which shows (a meter-in-out type sine flow control valve).
【図４】図４(a) は本発明のサイン流量制御弁の実施の
形態第１の原理を示す断面図であり、図４(b) は実施の
形態第２の原理を示す断面図であり、図４(c) は実施の
形態第３の原理を示す断面図である。FIG. 4 (a) is a sectional view showing a first principle of the embodiment of the sine flow control valve of the present invention, and FIG. 4 (b) is a sectional view showing the second principle of the embodiment. FIG. 4C is a sectional view showing the third principle of the embodiment.
【図５】図５(a) は本発明のサイン流量制御弁のスプー
ルが右端位置にあるときの要部拡大断面図であり、図５
(b) は本発明のサイン流量制御弁のスプールが左端位置
にあるときの要部拡大断面図であり、図５(c) はスプー
ルの断面図である。FIG. 5 (a) is an enlarged sectional view of a main part when the spool of the sine flow control valve of the present invention is at the right end position.
5B is an enlarged sectional view of a main part of the sine flow control valve of the present invention when the spool is at the left end position, and FIG. 5C is a sectional view of the spool.
【図６】本発明のサイン流量制御弁の機能を示す説明図
である。FIG. 6 is an explanatory diagram showing the function of the sine flow control valve of the present invention.
【図７】図７(a) は本発明のサイン流量制御弁の実施の
形態第１〜３を流体圧シリンダに連結して、流体圧シリ
ンダの流入量又は（及び）流出量を制御するように適用
した流体圧回路を示し、図７(b) は本発明のサイン流量
制御弁の実施の形態第１の連結方向を変更して、流体圧
シリンダから流出する流体の流量を制御するように適用
した流体圧回路を示す。FIG. 7 (a) shows a first embodiment of a sine flow control valve according to the present invention connected to a hydraulic cylinder to control the inflow or outflow of the hydraulic cylinder. FIG. 7 (b) shows a sine flow control valve according to an embodiment of the present invention, in which the first connecting direction is changed to control the flow rate of the fluid flowing out of the hydraulic cylinder. 3 shows an applied fluid pressure circuit.
【図８】本発明のサイン流量制御弁の実施の形態第３の
変形例を示す断面図である。FIG. 8 is a sectional view showing a third modification of the sine flow control valve according to the third embodiment of the present invention.
10 弁本体 11 逆止め弁付き流量調整弁 13 逆止め弁 14 案内孔 15 スプール 20 第１作動室 21 第２作動室 28 第１環状制御溝 29 第２環状制御溝 33 サイン溝 35 第１複合制御弁 36 第２複合制御弁 50 流体圧アクチュエータ（流体圧シリンダ） 10 Valve body 11 Flow control valve with check valve 13 Check valve 14 Guide hole 15 Spool 20 First working chamber 21 Second working chamber 28 First annular control groove 29 Second annular control groove 33 Sine groove 35 First combined control Valve 36 Second composite control valve 50 Fluid pressure actuator (fluid pressure cylinder)
Claims (7)
れ、ＡポートとＢポートの間を流れる流体のうち、一方
向に流れる流体のみ又は双方向に流れる流体の流量が制
御され、一方向又は双方向に流れる流体の流速及び総量
が、作動させるべき流体圧アクチュエータの所定の作動
を行うのに適した値であり、ＡポートとＢポートの間を
流れる流体の流れの初期又は終期に、流速がそれぞれ徐
々に増加又は徐々に減少し、作動させるべき流体圧アク
チュエータが作動の初期に徐々に加速され、又は作動の
終期に徐々に減速されるようにされたサイン流量制御
弁。An A port and a B port are formed in a valve body, and among the fluid flowing between the A port and the B port, the flow rate of only one-way fluid or two-way fluid is controlled. The flow velocity and the total amount of the fluid flowing in the direction or in both directions are values suitable for performing a predetermined operation of the hydraulic actuator to be operated, and may be used at the beginning or end of the flow of the fluid flowing between the A port and the B port. A sine flow control valve in which the flow rate is gradually increased or decreased, respectively, such that the hydraulic actuator to be actuated is gradually accelerated at the beginning of operation or gradually decelerated at the end of operation.
挿入され、スプールの表面に長手方向に伸びるサイン溝
が形成され、案内孔に第１環状制御溝及び第２環状制御
溝が相互に近接して配設され、第１環状制御溝及び第２
環状制御溝がＡポート及びＢポートにそれぞれ連通され
ており、スプールの移動に応じて第１環状制御溝、サイ
ン溝、第２環状制御溝の間を流れる流体の流量が変化す
るように構成された請求項１記載のサイン流量制御弁。2. A spool is slidably inserted into a guide hole of a valve body, a sine groove extending in a longitudinal direction is formed on a surface of the spool, and a first annular control groove and a second annular control groove are formed in the guide hole. And the first annular control groove and the second
The annular control groove is communicated with the A port and the B port, respectively, and is configured such that the flow rate of the fluid flowing between the first annular control groove, the sine groove, and the second annular control groove changes according to the movement of the spool. The sine flow control valve according to claim 1.
に従って変化するように構成され、第１環状制御溝及び
第２環状制御溝が案内孔の長手方向の略中央に配置さ
れ、Ａポートが第１流路によって第１環状制御溝に連通
されるとともにＢポートが第２流路によって第２環状制
御溝に連通された請求項２記載のサイン流量制御弁。3. A sine groove having a constant width and a depth varying according to a sine function, wherein a first annular control groove and a second annular control groove are arranged substantially at the center of the guide hole in the longitudinal direction. The sine flow control valve according to claim 2, wherein the port is connected to the first annular control groove by the first flow path, and the B port is connected to the second annular control groove by the second flow path.
及び第２作動室が形成され、Ａポートが逆止め弁付き流
量調整弁を介して第１作動室に連通され、Ａポートと第
２環状制御溝とが逆止め弁を介して連通され、第２作動
室に配設されたスプリングの弾発力によりスプールが第
１作動室に向けて押圧され、第２作動室が大気に連通さ
れた請求項２又は３記載のサイン流量制御弁。4. A first working chamber and a second working chamber are formed before and after the spool in the guide hole, and the A port is communicated with the first working chamber via a flow control valve with a check valve. The second annular control groove communicates with the second annular control groove via a check valve. The spool is pressed toward the first operating chamber by the elastic force of a spring disposed in the second operating chamber, and the second operating chamber is exposed to the atmosphere. The sine flow control valve according to claim 2 or 3, which is in communication.
及び第２作動室が形成され、Ａポートが逆止め弁付き流
量調整弁を介して第１作動室に連通され、Ａポートと第
２環状制御溝とが逆止め弁を介して連通され、第２作動
室が流量調整弁を介してＢポートに連通された請求項２
又は３記載のサイン流量制御弁。5. A first working chamber and a second working chamber are formed before and after the spool in the guide hole, and the A port communicates with the first working chamber via a flow control valve with a check valve. The second annular control groove is communicated via a check valve, and the second working chamber is communicated with the B port via a flow control valve.
Or a sine flow control valve according to 3.
及び第２作動室が形成され、Ａポートと第１作動室との
間に第１複合制御弁及び第２複合制御弁が並列に連通さ
れ、第１複合制御弁及び第２複合制御弁は流量調整弁と
逆止め弁とが直列に配設されたものであり、第１複合制
御弁の逆止め弁の流れの方向と第２複合制御弁の逆止め
弁の流れの方向とが互いに逆にされており、第２作動室
に配設されたスプリングの弾発力によりスプールが第１
作動室に向けて押圧され、第２作動室が大気に連通され
た請求項２又は３記載のサイン流量制御弁。6. A first working chamber and a second working chamber are formed before and after the spool in the guide hole, and the first combined control valve and the second combined control valve are arranged in parallel between the A port and the first working chamber. The first composite control valve and the second composite control valve are provided with a flow control valve and a check valve arranged in series, and the flow direction of the check valve of the first composite control valve and the second The flow direction of the check valve of the two-combined control valve is opposite to that of the check valve, and the spool is moved to the first position by the elastic force of a spring disposed in the second working chamber.
The sine flow control valve according to claim 2, wherein the sine flow control valve is pressed toward the working chamber and the second working chamber is communicated with the atmosphere.
及び第２作動室が形成され、Ａポートと第１作動室との
間に第１複合制御弁及び第２複合制御弁が並列に連通さ
れ、第１複合制御弁及び第２複合制御弁は流量調整弁と
逆止め弁とが直列に配設されたものであり、第１複合制
御弁の逆止め弁の流れの方向と第２複合制御弁の逆止め
弁の流れの方向とが互いに逆にされており、第２作動室
が流量調整弁を介してＢポートに連通された請求項２又
は３記載のサイン流量制御弁。7. A first working chamber and a second working chamber are formed before and after the spool in the guide hole, and the first combined control valve and the second combined control valve are arranged in parallel between the A port and the first working chamber. The first composite control valve and the second composite control valve are provided with a flow control valve and a check valve arranged in series, and the flow direction of the check valve of the first composite control valve and the second 4. The sine flow control valve according to claim 2, wherein the flow directions of the check valves of the two composite control valves are opposite to each other, and the second working chamber is connected to the B port via a flow control valve.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23735596A JPH1061791A (en) | 1996-08-21 | 1996-08-21 | Sine flow control valve |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23735596A JPH1061791A (en) | 1996-08-21 | 1996-08-21 | Sine flow control valve |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1061791A true JPH1061791A (en) | 1998-03-06 |
Family
ID=17014174
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23735596A Pending JPH1061791A (en) | 1996-08-21 | 1996-08-21 | Sine flow control valve |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1061791A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114811117A (en) * | 2022-02-24 | 2022-07-29 | 浙江工业大学 | High-frequency one-way sinusoidal flow control valve |
-
1996
- 1996-08-21 JP JP23735596A patent/JPH1061791A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114811117A (en) * | 2022-02-24 | 2022-07-29 | 浙江工业大学 | High-frequency one-way sinusoidal flow control valve |
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