JPH1052072A - 振動アクチュエータ - Google Patents
振動アクチュエータInfo
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- JPH1052072A JPH1052072A JP8202043A JP20204396A JPH1052072A JP H1052072 A JPH1052072 A JP H1052072A JP 8202043 A JP8202043 A JP 8202043A JP 20204396 A JP20204396 A JP 20204396A JP H1052072 A JPH1052072 A JP H1052072A
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- phases
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- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 定在波タイプの振動アクチュエータでは安定
した駆動特性で速度制御することが難しい。 【解決手段】 請求項１の発明は、複数相の交番信号を
供給して作用部を円または楕円状の軌跡となるように振
動させる振動体での伸縮振動及び屈曲振動の状態を検出
し、検出結果に基づいて前記円または楕円状の軌跡とな
る振動の軌跡形状を変化させることにより、前記相対移
動の速度を変化させるようにしたので、安定した駆動特
性での速度制御を可能とする振動アクチュエータを提供
できる。
した駆動特性で速度制御することが難しい。 【解決手段】 請求項１の発明は、複数相の交番信号を
供給して作用部を円または楕円状の軌跡となるように振
動させる振動体での伸縮振動及び屈曲振動の状態を検出
し、検出結果に基づいて前記円または楕円状の軌跡とな
る振動の軌跡形状を変化させることにより、前記相対移
動の速度を変化させるようにしたので、安定した駆動特
性での速度制御を可能とする振動アクチュエータを提供
できる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、超音波振動などを
利用した振動アクチュエータに関する。
利用した振動アクチュエータに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、振動アクチュエータとして超音波
モーターとしては、例えば特開昭６１−２５１４９０号
公報、特開昭６１−３５１７６号公報、特開平６−１３
３５６８号公報が提案されている。これらの公報によれ
ば、提案された進行波タイプの超音波モータは、弾性体
の振動振幅をセンサ相等を設けることにより検出し、入
力周波数を変化させたり、入力電圧を制御したりするこ
とで安定な駆動特性を得ようとしていた。
モーターとしては、例えば特開昭６１−２５１４９０号
公報、特開昭６１−３５１７６号公報、特開平６−１３
３５６８号公報が提案されている。これらの公報によれ
ば、提案された進行波タイプの超音波モータは、弾性体
の振動振幅をセンサ相等を設けることにより検出し、入
力周波数を変化させたり、入力電圧を制御したりするこ
とで安定な駆動特性を得ようとしていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、これら
は進行波タイプの超音波モータの特性から、実際に振動
体が動作している楕円運動の振幅は検出できても楕円の
形状は検出できない。例えば周波数を可変すると、楕円
の振幅が小さくなったのか、楕円の形状が変化したのか
判断することができない。また、超音波モータの速度を
制御するために入力周波数を変化することが行われる
が、周波数によっては突然加速したり停止してしまうな
どの不安定な要素も考えられる。
は進行波タイプの超音波モータの特性から、実際に振動
体が動作している楕円運動の振幅は検出できても楕円の
形状は検出できない。例えば周波数を可変すると、楕円
の振幅が小さくなったのか、楕円の形状が変化したのか
判断することができない。また、超音波モータの速度を
制御するために入力周波数を変化することが行われる
が、周波数によっては突然加速したり停止してしまうな
どの不安定な要素も考えられる。
【０００４】また、定在波タイプの超音波モータにおい
ても上下方向に変位する振動子の振動の振幅だけを検出
していたのでは同様に安定した駆動特性で速度制御する
ことが難しい。
ても上下方向に変位する振動子の振動の振幅だけを検出
していたのでは同様に安定した駆動特性で速度制御する
ことが難しい。
【０００５】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、複数
の電極が形成された複数の電気／機械エネルギー変換素
子が積層された振動体を有し、該振動体に位相の異なる
複数相の交番信号を印加して伸縮振動と屈曲振動を生じ
させ、両振動の合成により該振動体の作用部を円または
楕円状の軌跡となるように振動させ、該振動体と接触す
る接触体と、該振動体とを相対移動する振動アクチュエ
ータにおいて、前記複数の電極からの出力により前記伸
縮振動及び屈曲振動の状態を検出し、検出結果に基づい
て前記円または楕円状の軌跡となる振動の軌跡形状を変
化させることにより、前記相対移動の速度を変化させる
振動アクチュエータを特徴とする。
の電極が形成された複数の電気／機械エネルギー変換素
子が積層された振動体を有し、該振動体に位相の異なる
複数相の交番信号を印加して伸縮振動と屈曲振動を生じ
させ、両振動の合成により該振動体の作用部を円または
楕円状の軌跡となるように振動させ、該振動体と接触す
る接触体と、該振動体とを相対移動する振動アクチュエ
ータにおいて、前記複数の電極からの出力により前記伸
縮振動及び屈曲振動の状態を検出し、検出結果に基づい
て前記円または楕円状の軌跡となる振動の軌跡形状を変
化させることにより、前記相対移動の速度を変化させる
振動アクチュエータを特徴とする。
【０００６】請求項２の発明は、前記複数の電極から前
記複数相の交番信号に対応する複数相の信号を検出し、
複数相の検出信号の位相を比較することにより、前記伸
縮振動と屈曲振動の状態を検出した振動アクチュエータ
を特徴とする。
記複数相の交番信号に対応する複数相の信号を検出し、
複数相の検出信号の位相を比較することにより、前記伸
縮振動と屈曲振動の状態を検出した振動アクチュエータ
を特徴とする。
【０００７】請求項３の発明は、前記複数の電極から前
記複数相の交番信号に対応する複数相の信号を検出し、
複数相の検出信号の振幅を比較することにより、前記伸
縮振動と屈曲振動の状態を検出した振動アクチュエータ
を特徴とする。
記複数相の交番信号に対応する複数相の信号を検出し、
複数相の検出信号の振幅を比較することにより、前記伸
縮振動と屈曲振動の状態を検出した振動アクチュエータ
を特徴とする。
【０００８】請求項４の発明は、前記複数の電極からの
出力により前記伸縮振動及び屈曲振動の状態を検出し、
検出結果に基づいて前記複数相の交番信号の位相差を変
化させることにより、前記円または楕円状の軌跡となる
振動の軌跡形状を変化させた振動アクチュエータを特徴
とする。
出力により前記伸縮振動及び屈曲振動の状態を検出し、
検出結果に基づいて前記複数相の交番信号の位相差を変
化させることにより、前記円または楕円状の軌跡となる
振動の軌跡形状を変化させた振動アクチュエータを特徴
とする。
【０００９】請求項５の発明は、前記複数の電極からの
出力により前記伸縮振動及び屈曲振動の状態を検出し、
検出結果に基づいて前記交番信号の振幅を変化させるこ
とにより、前記円または楕円状の軌跡となる振動の軌跡
形状を変化させた振動アクチュエータを特徴とする。
出力により前記伸縮振動及び屈曲振動の状態を検出し、
検出結果に基づいて前記交番信号の振幅を変化させるこ
とにより、前記円または楕円状の軌跡となる振動の軌跡
形状を変化させた振動アクチュエータを特徴とする。
【００１０】請求項６の発明は、前記複数の電極は前記
複数相の交番信号の供給用電極を兼用している振動アク
チュエータを特徴とする。
複数相の交番信号の供給用電極を兼用している振動アク
チュエータを特徴とする。
【００１１】
【発明の実施の形態】まず、本実施の形態の振動アクチ
ュエータの構成を説明する。
ュエータの構成を説明する。
【００１２】図１において１は振動体で、リン青銅、黄
銅等で板状に形成された弾性体１ｃの両外面に、一対の
板状の電気／機械エネルギー変換素子としての圧電素子
１ａ，１ｂが加圧接着されている。また、図２において
振動体１の両外面（図において上下面）にはニッケル、
銅等の導電材料が蒸着され、電極層が形成されている。
電極層は振動体１の長手方向を２分する位置に絶縁領域
を境界として分割されており、４つの電極部１ｅ〜１ｈ
を有している。
銅等で板状に形成された弾性体１ｃの両外面に、一対の
板状の電気／機械エネルギー変換素子としての圧電素子
１ａ，１ｂが加圧接着されている。また、図２において
振動体１の両外面（図において上下面）にはニッケル、
銅等の導電材料が蒸着され、電極層が形成されている。
電極層は振動体１の長手方向を２分する位置に絶縁領域
を境界として分割されており、４つの電極部１ｅ〜１ｈ
を有している。
【００１３】弾性体１ｃには張り出し部１ｃ−１，１ｃ
−２があり、各々係合穴１ｃ−３，１ｃ−４が設けられ
ている。張り出し部の位置は、振動体１の振動モードで
の節部近傍となっており、振動モードへの悪影響を回避
している。さらに電極部１ｅ〜１ｈおよび弾性体１ｃに
は合計５本の端子部１ｄ−１〜５が半だ付け等により取
り付けられている。それらの位置も振動モードでの節部
近傍となっている。
−２があり、各々係合穴１ｃ−３，１ｃ−４が設けられ
ている。張り出し部の位置は、振動体１の振動モードで
の節部近傍となっており、振動モードへの悪影響を回避
している。さらに電極部１ｅ〜１ｈおよび弾性体１ｃに
は合計５本の端子部１ｄ−１〜５が半だ付け等により取
り付けられている。それらの位置も振動モードでの節部
近傍となっている。
【００１４】２ａ，２ｂはフェノール樹脂、エポキシ樹
脂等の樹脂で形成された１対の駆動子であり、より高い
駆動力を得るために振動体の振動モードの腹部の位置に
接着等により取り付けられる。
脂等の樹脂で形成された１対の駆動子であり、より高い
駆動力を得るために振動体の振動モードの腹部の位置に
接着等により取り付けられる。
【００１５】３はリン青銅等で形成された加圧バネで、
張り出し部３ａ，３ｂがあり、それぞれ係合穴３ａ−
１，３ｂ−１が設けられている。また加圧バネ３の長手
方向両端部には折り曲げ部３ｃ−１，３ｃ−２が設けら
れている。さらに加圧バネ３の中央部には、幅方向に凸
部３ｄが形成されている。
張り出し部３ａ，３ｂがあり、それぞれ係合穴３ａ−
１，３ｂ−１が設けられている。また加圧バネ３の長手
方向両端部には折り曲げ部３ｃ−１，３ｃ−２が設けら
れている。さらに加圧バネ３の中央部には、幅方向に凸
部３ｄが形成されている。
【００１６】４はステンレス綱等で形成された接触部材
としてのガイドレールである。
としてのガイドレールである。
【００１７】５はローラで、ローラを支持する支持棒５
ａが圧入等の周知の方法で取り付けられている。
ａが圧入等の周知の方法で取り付けられている。
【００１８】６はプラスチックモールド加工されたケー
スで、係合軸部６ａ，６ｂが設けられて、それらの根元
にはストッパ６ｃ，６ｄが設けられている。またケース
６の長手方向両端上部には、ガイドレール４よりもやや
大きい幅を持つ溝部６ｇ，６ｈが設けられている。また
ケース６の一部に溝部６ｉが設けられている。さらにケ
ース６の幅方向両端部には溝部６ｅ，６ｆが設けられて
いる。
スで、係合軸部６ａ，６ｂが設けられて、それらの根元
にはストッパ６ｃ，６ｄが設けられている。またケース
６の長手方向両端上部には、ガイドレール４よりもやや
大きい幅を持つ溝部６ｇ，６ｈが設けられている。また
ケース６の一部に溝部６ｉが設けられている。さらにケ
ース６の幅方向両端部には溝部６ｅ，６ｆが設けられて
いる。
【００１９】７はプラスチックモールド加工されたキャ
ップで、支持棒５ａを軸支する軸受溝（不図示）と上記
係合軸部６ａ，６ｂと係合位置ぎめされる穴部（不図
示）が設けられている。さらにキャップ７の幅方向両端
部には係止爪を有した突出片７ａ，７ｂが設けられてい
る。
ップで、支持棒５ａを軸支する軸受溝（不図示）と上記
係合軸部６ａ，６ｂと係合位置ぎめされる穴部（不図
示）が設けられている。さらにキャップ７の幅方向両端
部には係止爪を有した突出片７ａ，７ｂが設けられてい
る。
【００２０】つぎに各部品の相互関係について説明す
る。
る。
【００２１】ケース６に設けられた係合軸部６ａ，６ｂ
にそれぞれ加圧バネ３に設けられた係合穴３ａ−１，３
ｂ−１が挿通する。そのとき加圧バネ３の張り出し部３
ａ，３ｂがやや係合軸部方向に折り曲げられており、係
合軸部６ａ，６ｂと係合穴３ａ−１，３ｂ−１の嵌合ガ
タをなくしている。そして折れ曲がり部３ｃ−１，３ｃ
−２がケースの底面に接触するまで加圧バネ６は押し込
まれて止まる。加圧バネ３の最大たわみ量は張り出し部
３ａ，３ｂがケース６のストッパ６ｃ，６ｄに突き当た
るまでたわむようになっている。
にそれぞれ加圧バネ３に設けられた係合穴３ａ−１，３
ｂ−１が挿通する。そのとき加圧バネ３の張り出し部３
ａ，３ｂがやや係合軸部方向に折り曲げられており、係
合軸部６ａ，６ｂと係合穴３ａ−１，３ｂ−１の嵌合ガ
タをなくしている。そして折れ曲がり部３ｃ−１，３ｃ
−２がケースの底面に接触するまで加圧バネ６は押し込
まれて止まる。加圧バネ３の最大たわみ量は張り出し部
３ａ，３ｂがケース６のストッパ６ｃ，６ｄに突き当た
るまでたわむようになっている。
【００２２】つぎに振動体１の弾性体１ｃに設けられた
係合穴１ｃ−３，１ｃ−４がそれぞれケース６の係合軸
部６ａ，６ｂに挿通する。そのとき張り出し部１ｃ−１
が係合軸方向に若干折り曲げられており、係合軸部６
ａ，６ｂと係合穴１ｃ−３，１ｃ−４の嵌合ガタをなく
している。そして振動体１の圧電素子１ｂが加圧バネ３
の凸部３ｄに接触するまで、振動体１が押し込まれる。
係合穴１ｃ−３，１ｃ−４がそれぞれケース６の係合軸
部６ａ，６ｂに挿通する。そのとき張り出し部１ｃ−１
が係合軸方向に若干折り曲げられており、係合軸部６
ａ，６ｂと係合穴１ｃ−３，１ｃ−４の嵌合ガタをなく
している。そして振動体１の圧電素子１ｂが加圧バネ３
の凸部３ｄに接触するまで、振動体１が押し込まれる。
【００２３】ローラ５に圧入等の方法で取り付けられた
支持棒５ａの両端部がキャップ７に設けられた軸受部
（不図示）に支持する。
支持棒５ａの両端部がキャップ７に設けられた軸受部
（不図示）に支持する。
【００２４】加圧バネ３と振動体１が取り付けられたケ
ース６と、ローラ５が取り付けられたキャップ７が、ロ
ーラ５の面と駆動子２ａ，２ｂの面でガイドレール４を
挟みこむようにして取り付けられる。その際に、キャッ
プ７に設けられた係止爪を有する突出片７ａ，７ｂがケ
ース６の溝６ｅ，６ｆにガイドされて、スナップフィッ
トにより取り付けられる。またそのときに、ケース６の
係合軸部６ａ，６ｂとキャップ７に設けられた穴部（不
図示）と係合しキャップ７がケース６と位置決めされ
る。なおガイドレール４はケース６の溝６ｇ，６ｈによ
り幅方向への移動が規制される。
ース６と、ローラ５が取り付けられたキャップ７が、ロ
ーラ５の面と駆動子２ａ，２ｂの面でガイドレール４を
挟みこむようにして取り付けられる。その際に、キャッ
プ７に設けられた係止爪を有する突出片７ａ，７ｂがケ
ース６の溝６ｅ，６ｆにガイドされて、スナップフィッ
トにより取り付けられる。またそのときに、ケース６の
係合軸部６ａ，６ｂとキャップ７に設けられた穴部（不
図示）と係合しキャップ７がケース６と位置決めされ
る。なおガイドレール４はケース６の溝６ｇ，６ｈによ
り幅方向への移動が規制される。
【００２５】電極部１ｅ〜１ｈおよび弾性体１ｃに設け
られた端子部１ｄ−１〜５はリード線もしくはフレキシ
ブルプリント基板に半田付けされ、リード線もしくはフ
レキシブルプリント基板がケース６に設けられた溝６ｉ
よりケース６の外部へ引き出され、リード線もしくはフ
レキシブルプリント基板を外部の駆動回路に結線するこ
とによって、給電とセンシングが可能となる。
られた端子部１ｄ−１〜５はリード線もしくはフレキシ
ブルプリント基板に半田付けされ、リード線もしくはフ
レキシブルプリント基板がケース６に設けられた溝６ｉ
よりケース６の外部へ引き出され、リード線もしくはフ
レキシブルプリント基板を外部の駆動回路に結線するこ
とによって、給電とセンシングが可能となる。
【００２６】本実施の形態の振動アクチュエータの駆動
原理について説明する。
原理について説明する。
【００２７】図３は、圧電素子の圧電効果を示した図で
ある。同図において１０は圧電素子で、図の上方から下
方へ分極処理がなされている（図中矢印の方向）。ま
た、圧電素子の両面には電極部１０ａ，１０ｂが蒸着処
理により形成されている。
ある。同図において１０は圧電素子で、図の上方から下
方へ分極処理がなされている（図中矢印の方向）。ま
た、圧電素子の両面には電極部１０ａ，１０ｂが蒸着処
理により形成されている。
【００２８】図３（ａ）は電極部１０ａに＋電位、電極
部１０ｂに−電位を印加したときの様子を示した図であ
る。この場合圧電素子には、電極部１０ａから電極部１
０ｂの方向つまり分極方向と順方向に電界が印加される
ので、圧電素子は分極方向に対して垂直の方向に電界の
大きさに応じた伸びが発生する。
部１０ｂに−電位を印加したときの様子を示した図であ
る。この場合圧電素子には、電極部１０ａから電極部１
０ｂの方向つまり分極方向と順方向に電界が印加される
ので、圧電素子は分極方向に対して垂直の方向に電界の
大きさに応じた伸びが発生する。
【００２９】図３（ｂ）は電極部１０ａに−電位、電極
部１０ｂに＋電位を印加したときの様子を示した図であ
る。この場合圧電素子には、電極部１０ｂから電極部１
０ａの方向つまり分極方向と逆方向に電界が印加される
ので圧電素子は分極方向に対して垂直の方向に電界の大
きさに応じた縮みが発生する。
部１０ｂに＋電位を印加したときの様子を示した図であ
る。この場合圧電素子には、電極部１０ｂから電極部１
０ａの方向つまり分極方向と逆方向に電界が印加される
ので圧電素子は分極方向に対して垂直の方向に電界の大
きさに応じた縮みが発生する。
【００３０】図３（ｃ）は圧電素子を分極方向に対して
垂直方向に、外力により伸ばしたときの様子を示した図
である。この場合は電極部１０ａに＋電位、電極部１０
ｂに−電位が生じ、伸び量に応じた電位差が発生する。
垂直方向に、外力により伸ばしたときの様子を示した図
である。この場合は電極部１０ａに＋電位、電極部１０
ｂに−電位が生じ、伸び量に応じた電位差が発生する。
【００３１】図３（ｄ）は圧電素子を分極方向に対して
垂直方向に、外力により縮めたときの様子を示した図で
ある。この場合は電極部１０ａに−電位、電極部１０ｂ
に＋電位が生じ、縮み量に応じた電位差が発生する。
垂直方向に、外力により縮めたときの様子を示した図で
ある。この場合は電極部１０ａに−電位、電極部１０ｂ
に＋電位が生じ、縮み量に応じた電位差が発生する。
【００３２】本実施の形態の振動アクチュエータの圧電
振動子はこれらの圧電現象を利用して駆動子に円又は楕
円運動が発生するように定在波を励起しようとしたもの
である。
振動子はこれらの圧電現象を利用して駆動子に円又は楕
円運動が発生するように定在波を励起しようとしたもの
である。
【００３３】図４は本実施の形態の振動アクチュエータ
の振動体の側面図である。圧電素子１ａは図の下方から
上方へ分極処理が施され、圧電素子１ｂは図の上方から
下方へ分極処理が施されている。また、弾性体１ｃはグ
ラウンドに接続されている。このように構成された振動
体１に、図５に示すように電極部１ｅと１ｈに同位相、
同振幅の周波電圧ＶA を印加し、電極部１ｆと１ｇに同
位相、同振幅の周波電圧ＶB を印加（ただし、電極部１
ｅと１ｈへの周波電圧とは位相が異なる）すると、圧電
効果によって振動体が種々の挙動を繰り広げる。たとえ
ば図５の時間ｔ1 における振動体の挙動は、電極部１ｅ
〜１ｈには同値で＋の電圧が印加されるので、図６
（ｃ）が示すような縮みが生じる。図５の時間ｔ2 にお
ける振動体の挙動は、電極部１ｅ，１ｈには＋の電圧が
印加され、電極部１ｆ，１ｇには−の電圧であり且つ電
極部１ｅ，１ｈへの印加電圧と絶対値が同値の電圧が印
加されるので、図６（ｄ）に示すように屈曲する。
の振動体の側面図である。圧電素子１ａは図の下方から
上方へ分極処理が施され、圧電素子１ｂは図の上方から
下方へ分極処理が施されている。また、弾性体１ｃはグ
ラウンドに接続されている。このように構成された振動
体１に、図５に示すように電極部１ｅと１ｈに同位相、
同振幅の周波電圧ＶA を印加し、電極部１ｆと１ｇに同
位相、同振幅の周波電圧ＶB を印加（ただし、電極部１
ｅと１ｈへの周波電圧とは位相が異なる）すると、圧電
効果によって振動体が種々の挙動を繰り広げる。たとえ
ば図５の時間ｔ1 における振動体の挙動は、電極部１ｅ
〜１ｈには同値で＋の電圧が印加されるので、図６
（ｃ）が示すような縮みが生じる。図５の時間ｔ2 にお
ける振動体の挙動は、電極部１ｅ，１ｈには＋の電圧が
印加され、電極部１ｆ，１ｇには−の電圧であり且つ電
極部１ｅ，１ｈへの印加電圧と絶対値が同値の電圧が印
加されるので、図６（ｄ）に示すように屈曲する。
【００３４】図５の時間ｔ3 における振動体の挙動は、
電極部１ｅ〜１ｈには同値で−の電圧が印加されるの
で、図６（ａ）が示すように伸びが生じる。図５の時間
ｔ4 における振動体の挙動は、電極部１ｅ，１ｈには−
の電圧が印加され、電極部１ｆ，１ｇには＋の電圧であ
って且つ電極部１ｅ，１ｈへの印加電圧と絶対値が同値
の電圧が印加されるので、図６（ｂ）が示すように屈曲
する。
電極部１ｅ〜１ｈには同値で−の電圧が印加されるの
で、図６（ａ）が示すように伸びが生じる。図５の時間
ｔ4 における振動体の挙動は、電極部１ｅ，１ｈには−
の電圧が印加され、電極部１ｆ，１ｇには＋の電圧であ
って且つ電極部１ｅ，１ｈへの印加電圧と絶対値が同値
の電圧が印加されるので、図６（ｂ）が示すように屈曲
する。
【００３５】以上のことから連続的な時間で挙動を見る
と、振動体は伸縮運動（縦振動）と屈曲運動（横振動）
が合成された挙動を示し、駆動子２ａ，２ｂは円又は楕
円軌道を描くことになる。そして駆動子２ａ，２ｂの円
又は楕円軌道の回転方向は一致している。また、周波電
圧ＶA とＶB の位相を逆転させると円又は楕円軌道の回
転方向は上記方向と逆方向になる。
と、振動体は伸縮運動（縦振動）と屈曲運動（横振動）
が合成された挙動を示し、駆動子２ａ，２ｂは円又は楕
円軌道を描くことになる。そして駆動子２ａ，２ｂの円
又は楕円軌道の回転方向は一致している。また、周波電
圧ＶA とＶB の位相を逆転させると円又は楕円軌道の回
転方向は上記方向と逆方向になる。
【００３６】以上のようにして円又は楕円運動を行う駆
動子２ａ，２ｂにガイドレール等の摺動部材を押圧する
と、駆動力が発生し、ガイドレール等の摺動部材と駆動
子とが相対的に移動可能となる。すなわち、一方を固定
とすれば、他方は移動し、逆に他方を固定とすれば一方
が移動することになる。
動子２ａ，２ｂにガイドレール等の摺動部材を押圧する
と、駆動力が発生し、ガイドレール等の摺動部材と駆動
子とが相対的に移動可能となる。すなわち、一方を固定
とすれば、他方は移動し、逆に他方を固定とすれば一方
が移動することになる。
【００３７】本実施の形態の振動アクチュエータの横振
動と縦振動の検出方法について説明する。
動と縦振動の検出方法について説明する。
【００３８】圧電効果により圧電素子が変形するとその
変形量に応じた電圧が発生することは前記した。
変形量に応じた電圧が発生することは前記した。
【００３９】横振動（屈曲振動）の任意の時間での大き
さは、任意の時間での電極部１ｅと１ｈへの印加電圧に
よる圧電素子１ａ，１ｂの伸び量（もしくは縮み量）
と、電極部１ｆと１ｇへの印加電圧による圧電素子の縮
み量（もしくは伸び量）で決まる。つまり駆動用電極部
１ｈからの出力電圧ＳA と駆動用電極部１ｇからの出力
電圧ＳB の差で表現することができる。
さは、任意の時間での電極部１ｅと１ｈへの印加電圧に
よる圧電素子１ａ，１ｂの伸び量（もしくは縮み量）
と、電極部１ｆと１ｇへの印加電圧による圧電素子の縮
み量（もしくは伸び量）で決まる。つまり駆動用電極部
１ｈからの出力電圧ＳA と駆動用電極部１ｇからの出力
電圧ＳB の差で表現することができる。
【００４０】また縦振動の任意の時間での大きさは、任
意の時間での電極部１ｅと１ｈへの印加電圧による圧電
素子の伸び量（もしくは縮み量）と、電極部１ｆと１ｇ
への印加電圧による圧電素子の伸び量（もしくは縮み
量）で決まる。つまり駆動用電極部１ｈからの出力電圧
ＳA と駆動用電極部１ｇからの出力電圧ＳB の和で表現
することができる。
意の時間での電極部１ｅと１ｈへの印加電圧による圧電
素子の伸び量（もしくは縮み量）と、電極部１ｆと１ｇ
への印加電圧による圧電素子の伸び量（もしくは縮み
量）で決まる。つまり駆動用電極部１ｈからの出力電圧
ＳA と駆動用電極部１ｇからの出力電圧ＳB の和で表現
することができる。
【００４１】図７は、振動体１の電極部１ｅ，１ｈに図
５に示す周波電圧ＶA を印加し、電極部１ｆ，１ｇに図
５に示す周波電圧ＶB を印加したときの、駆動用電極部
１ｇからの出力電圧ＳB と駆動用電極部１ｈからの出力
電圧ＳA および横振動を表すＳA −ＳB と縦振動を表す
ＳA ＋ＳB の電圧波形を示している。
５に示す周波電圧ＶA を印加し、電極部１ｆ，１ｇに図
５に示す周波電圧ＶB を印加したときの、駆動用電極部
１ｇからの出力電圧ＳB と駆動用電極部１ｈからの出力
電圧ＳA および横振動を表すＳA −ＳB と縦振動を表す
ＳA ＋ＳB の電圧波形を示している。
【００４２】ＳA ＋ＳB を横軸、ＳA −ＳB を縦軸にと
り、時間に沿って曲線を描かせると図８のようになる。
この曲線は正しく、駆動子の円又は楕円軌道を表現した
ものである。
り、時間に沿って曲線を描かせると図８のようになる。
この曲線は正しく、駆動子の円又は楕円軌道を表現した
ものである。
【００４３】以上のように、駆動用電極部１ｈからの出
力電圧ＳA と駆動用電極部１ｇからの出力電圧ＳB を検
出することで、横振動と縦振動の挙動がわかり、駆動子
又は楕円軌道が表現できることがわかる。
力電圧ＳA と駆動用電極部１ｇからの出力電圧ＳB を検
出することで、横振動と縦振動の挙動がわかり、駆動子
又は楕円軌道が表現できることがわかる。
【００４４】ところで、円又は楕円運動の波頭の接線速
度は、円又は楕円軌道の形状によって異なる。たとえ
ば、図９（ａ）の円軌道のＰ1 点での接線速度に対し
て、図９（ｂ）の楕円軌道のＰ2 点での接線速度は遅く
なり、図９（ｃ）の楕円軌道のＰ3 点での接線速度は速
くなる。したがって、図９の円又は楕円軌道が駆動子の
動きだとするならば、楕円軌道の形状を変化させること
によって、ガイドレール等の摺動部材との相対速度を変
化させることができるということである。
度は、円又は楕円軌道の形状によって異なる。たとえ
ば、図９（ａ）の円軌道のＰ1 点での接線速度に対し
て、図９（ｂ）の楕円軌道のＰ2 点での接線速度は遅く
なり、図９（ｃ）の楕円軌道のＰ3 点での接線速度は速
くなる。したがって、図９の円又は楕円軌道が駆動子の
動きだとするならば、楕円軌道の形状を変化させること
によって、ガイドレール等の摺動部材との相対速度を変
化させることができるということである。
【００４５】そこで、電極部１ｅ，１ｈへの印加周波電
圧ＶA と、電極部１ｆ，１ｇへの印加周波電圧ＶB の位
相差または／および振幅比を変えることで、駆動子の楕
円軌道の形状を変化させ、摺動部材との相対速度を変化
させることを考えた。
圧ＶA と、電極部１ｆ，１ｇへの印加周波電圧ＶB の位
相差または／および振幅比を変えることで、駆動子の楕
円軌道の形状を変化させ、摺動部材との相対速度を変化
させることを考えた。
【００４６】まず、印加周波電圧ＶA とＶB の振幅を一
定（出力電圧ＳA とＳB の振幅も原理的に一定）にし
て、位相差を変化させたときの円又は楕円軌道を描かせ
ると、図１０〜１２のようになる。
定（出力電圧ＳA とＳB の振幅も原理的に一定）にし
て、位相差を変化させたときの円又は楕円軌道を描かせ
ると、図１０〜１２のようになる。
【００４７】図１０における印加周波電圧ＶA とＶB の
位相差をα（出力電圧ＳA とＳB の位相差も原理的に０
°＜α〈１８０°）、図１１における印加周波電圧ＶA
とＶB の位相差をβ（（出力電圧ＳA とＳB の位相差も
原理的に０°＜β＜１８０°）、図１２における印加周
波電圧ＶA とＶB の位相差をγ（出力電圧ＳA とＳBの
位相差も原理的に０°＜γ＜１８０°）とすると、β＞
αとすることによって、楕円軌道の形状は位相差αのと
きとくらべて縦長になる。また、γ＜αとすることによ
って、楕円軌道の形状は位相差αのときとくらべて横長
となる。
位相差をα（出力電圧ＳA とＳB の位相差も原理的に０
°＜α〈１８０°）、図１１における印加周波電圧ＶA
とＶB の位相差をβ（（出力電圧ＳA とＳB の位相差も
原理的に０°＜β＜１８０°）、図１２における印加周
波電圧ＶA とＶB の位相差をγ（出力電圧ＳA とＳBの
位相差も原理的に０°＜γ＜１８０°）とすると、β＞
αとすることによって、楕円軌道の形状は位相差αのと
きとくらべて縦長になる。また、γ＜αとすることによ
って、楕円軌道の形状は位相差αのときとくらべて横長
となる。
【００４８】以上のことから、印加周波電圧ＶA とＶB
の振幅を一定にして、位相差を変化させると、楕円軌道
の形状が変わり、楕円軌道の波頭の接線速度が変化す
る。つまり、駆動子の楕円軌道の接線速度を変化させ、
ガイドレール等の摺動部材との相対速度を任意に変化さ
せることができる。
の振幅を一定にして、位相差を変化させると、楕円軌道
の形状が変わり、楕円軌道の波頭の接線速度が変化す
る。つまり、駆動子の楕円軌道の接線速度を変化させ、
ガイドレール等の摺動部材との相対速度を任意に変化さ
せることができる。
【００４９】つぎに、印加周波電圧ＶA とＶB の位相差
を９０°に設定し、印加周波電圧ＶA とＶB の振幅比を
変化させると、図１３、図１４、図１５のようになる。
を９０°に設定し、印加周波電圧ＶA とＶB の振幅比を
変化させると、図１３、図１４、図１５のようになる。
【００５０】印加周波電圧の振幅に応じたセンサ電極部
の出力電圧ＳA とＳB の振幅を、図１３においてそれぞ
れａ1 ，ｂ1 、図１４においてそれぞれａ2 ，ｂ2 、図
１５においてａ3 ，ｂ3 とする。
の出力電圧ＳA とＳB の振幅を、図１３においてそれぞ
れａ1 ，ｂ1 、図１４においてそれぞれａ2 ，ｂ2 、図
１５においてａ3 ，ｂ3 とする。
【００５１】｜ａ1 ｜＝｜ａ2 ｜＝｜ａ3 ｜＝｜ｂ1 ｜
＞｜ｂ2 ｜＞｜ｂ3 ｜となるように印加周波電圧の振幅
を調整して、各々の楕円軌道を比較すると、ｂ1 のとき
とくらべて、ｂ2 のときの楕円軌道の形状はやや細長く
なる。また、ｂ3 の場合はさらに細長い形状になる。
＞｜ｂ2 ｜＞｜ｂ3 ｜となるように印加周波電圧の振幅
を調整して、各々の楕円軌道を比較すると、ｂ1 のとき
とくらべて、ｂ2 のときの楕円軌道の形状はやや細長く
なる。また、ｂ3 の場合はさらに細長い形状になる。
【００５２】以上のことから、印加周波電圧ＶA とＶB
の位相差を９０°に設定し、印加周波電圧ＶA とＶB の
振幅比を変化させると、楕円軌道の形状が変わり、楕円
軌道の波頭の接線速度が変化する。つまり、駆動子の楕
円軌道の接線速度を変化させ、ガイドレール等の摺動部
材との相対速度を任意に変化させることができることに
なる。
の位相差を９０°に設定し、印加周波電圧ＶA とＶB の
振幅比を変化させると、楕円軌道の形状が変わり、楕円
軌道の波頭の接線速度が変化する。つまり、駆動子の楕
円軌道の接線速度を変化させ、ガイドレール等の摺動部
材との相対速度を任意に変化させることができることに
なる。
【００５３】次に制御について説明する。
【００５４】図１６は、本発明の実施の形態を示すブロ
ック図である。
ック図である。
【００５５】発振器２１から出力された駆動周波数より
高い高周波信号を分周器２２，２３により所定の周波数
に分周することによって、駆動周波数に変換してドライ
バ２４，ドライバ２５に出力する。ドライバ２４，２５
は、分周器から得た信号を増幅して振動体１に印加す
る。また、振動体１に信号が印加されると、コイル２４
ａとコイル２５ｂと圧電素子１ａ，１ｂの間で共振し、
ドライバ２４，２５の入力電圧より高い電圧が圧電素子
１ａ，１ｂに印加されることになる。この時の圧電素子
１ａ，１ｂに印加される電圧を検出し、加算回路２７に
よってＡ＋Ｂを行い縦振動を検出し、減算回路２８によ
ってＡ−Ｂを行い屈曲振動を検出する。検出された縦振
動と屈曲振動は、位相比較器２９と振幅比較器３０に送
られ、それぞれ比較した結果をマイクロコンピュータ２
６に出力する。マイクロコンピュータ２６は、入力した
位相差と振幅差から円又は楕円振動の挙動を判断し、移
相器３１，ドライバ２５にそれぞれ楕円振動の挙動を調
整するように信号を出力する。
高い高周波信号を分周器２２，２３により所定の周波数
に分周することによって、駆動周波数に変換してドライ
バ２４，ドライバ２５に出力する。ドライバ２４，２５
は、分周器から得た信号を増幅して振動体１に印加す
る。また、振動体１に信号が印加されると、コイル２４
ａとコイル２５ｂと圧電素子１ａ，１ｂの間で共振し、
ドライバ２４，２５の入力電圧より高い電圧が圧電素子
１ａ，１ｂに印加されることになる。この時の圧電素子
１ａ，１ｂに印加される電圧を検出し、加算回路２７に
よってＡ＋Ｂを行い縦振動を検出し、減算回路２８によ
ってＡ−Ｂを行い屈曲振動を検出する。検出された縦振
動と屈曲振動は、位相比較器２９と振幅比較器３０に送
られ、それぞれ比較した結果をマイクロコンピュータ２
６に出力する。マイクロコンピュータ２６は、入力した
位相差と振幅差から円又は楕円振動の挙動を判断し、移
相器３１，ドライバ２５にそれぞれ楕円振動の挙動を調
整するように信号を出力する。
【００５６】例えば、振幅比較器３０は図１７（ａ）の
様にサイン波関数で示されるＡ＋Ｂ、Ａ−Ｂの信号をぞ
れぞれ半波整流し、直流成分に変換して振幅値に変換し
マイコン２６でＡ／Ｄ変換を行い比較する。
様にサイン波関数で示されるＡ＋Ｂ、Ａ−Ｂの信号をぞ
れぞれ半波整流し、直流成分に変換して振幅値に変換し
マイコン２６でＡ／Ｄ変換を行い比較する。
【００５７】そこで、得られた振幅比より位相器３１に
よって入力信号ＡとＢの位相差を変える。例えば、図１
８の様に発振器２１からのクロックをカウンタ２２ａ，
２３ａに入力する前にカウンタＢの方の初期値を設定し
カウンタＡとの位相差を設定する。この後、クロックを
カウンタ２２ａ，２３ａに入力し所定の比較値と比較し
一致したらカウンタをクリアする。これによって初期値
分、常に位相がずれることになる。比較器２２ｂ，２３
ｂから得られた信号を分周器２２ｃ，２３ｃで分周しデ
ューティー比５０％の矩形波に変換してドライバ２４，
２５に出力する。これによって駆動信号の位相差を任意
に変更することができる。
よって入力信号ＡとＢの位相差を変える。例えば、図１
８の様に発振器２１からのクロックをカウンタ２２ａ，
２３ａに入力する前にカウンタＢの方の初期値を設定し
カウンタＡとの位相差を設定する。この後、クロックを
カウンタ２２ａ，２３ａに入力し所定の比較値と比較し
一致したらカウンタをクリアする。これによって初期値
分、常に位相がずれることになる。比較器２２ｂ，２３
ｂから得られた信号を分周器２２ｃ，２３ｃで分周しデ
ューティー比５０％の矩形波に変換してドライバ２４，
２５に出力する。これによって駆動信号の位相差を任意
に変更することができる。
【００５８】また、位相比較器２９は図１７（ｂ）の様
にＡ＋Ｂ、Ａ−Ｂをヒステリシスコンパレータ２９ａ，
２９ｂで基準値と比較し矩形波に変換する。変換された
矩形波をＥＸＯＲ２９ｃを通し位相差分の時間だけＯＮ
する信号を作り、その時間内のマイコン内の基準クロッ
クの数によって位相差を判断することができる。
にＡ＋Ｂ、Ａ−Ｂをヒステリシスコンパレータ２９ａ，
２９ｂで基準値と比較し矩形波に変換する。変換された
矩形波をＥＸＯＲ２９ｃを通し位相差分の時間だけＯＮ
する信号を作り、その時間内のマイコン内の基準クロッ
クの数によって位相差を判断することができる。
【００５９】また、得られた位相差より、マイコン２６
はドライバ２５に印加される電圧を変更、すなわち一方
の振幅を変化させて振幅比を変えることにより、楕円振
動の挙動を調整する。例えば、図１９のようにドライバ
２５の電源はＤＣ／ＤＣコンバータ２５ａによって決定
する。この場合、ＤＣ／ＤＣコンバータ２５ａの出力す
る電圧を制御するためにコンパレータ２６ｂによって出
力する電圧をマイコンの出力する電圧で制御することが
できる。
はドライバ２５に印加される電圧を変更、すなわち一方
の振幅を変化させて振幅比を変えることにより、楕円振
動の挙動を調整する。例えば、図１９のようにドライバ
２５の電源はＤＣ／ＤＣコンバータ２５ａによって決定
する。この場合、ＤＣ／ＤＣコンバータ２５ａの出力す
る電圧を制御するためにコンパレータ２６ｂによって出
力する電圧をマイコンの出力する電圧で制御することが
できる。
【００６０】なお、上述した実施の形態では位相差を変
えることと、振幅比を変えることの両方を実現できるよ
うにしたが、当然ながらどちらか一方だけでも楕円振動
の挙動（軌跡）を調整することができるものである。
えることと、振幅比を変えることの両方を実現できるよ
うにしたが、当然ながらどちらか一方だけでも楕円振動
の挙動（軌跡）を調整することができるものである。
【００６１】上記の説明により、実際の楕円振動の挙動
（軌跡）を調整することが可能となり、振動アクチュエ
ータの速度制御が安定して行えることができる。
（軌跡）を調整することが可能となり、振動アクチュエ
ータの速度制御が安定して行えることができる。
【００６２】
【発明の効果】請求項１の発明は、複数相の交番信号を
供給して作用部を円または楕円状の軌跡となるように振
動させる振動体での伸縮振動及び屈曲振動の状態を検出
し、検出結果に基づいて前記円または楕円状の軌跡とな
る振動の軌跡形状を変化させることにより、前記相対移
動の速度を変化させるようにしたので、安定した駆動特
性での速度制御を可能とする振動アクチュエータを提供
できる。
供給して作用部を円または楕円状の軌跡となるように振
動させる振動体での伸縮振動及び屈曲振動の状態を検出
し、検出結果に基づいて前記円または楕円状の軌跡とな
る振動の軌跡形状を変化させることにより、前記相対移
動の速度を変化させるようにしたので、安定した駆動特
性での速度制御を可能とする振動アクチュエータを提供
できる。
【００６３】請求項２の発明は、前記複数相の交番信号
に対応する複数相の信号を検出し、複数相の検出信号の
位相を比較することにより、前記伸縮振動と屈曲振動の
状態を検出したので、正確に円または楕円軌跡の形状を
判断することができる振動アクチュエータを提供でき
る。
に対応する複数相の信号を検出し、複数相の検出信号の
位相を比較することにより、前記伸縮振動と屈曲振動の
状態を検出したので、正確に円または楕円軌跡の形状を
判断することができる振動アクチュエータを提供でき
る。
【００６４】請求項３の発明は、前記複数相の交番信号
に対応する複数相の信号を検出し、複数相の検出信号の
振幅を比較することにより、前記伸縮振動と屈曲振動の
状態を検出したので、正確に円または楕円軌跡の形状を
判断することができる振動アクチュエータを提供でき
る。
に対応する複数相の信号を検出し、複数相の検出信号の
振幅を比較することにより、前記伸縮振動と屈曲振動の
状態を検出したので、正確に円または楕円軌跡の形状を
判断することができる振動アクチュエータを提供でき
る。
【００６５】請求項４の発明は、伸縮振動及び屈曲振動
の状態を検出し、検出結果に基づいて前記複数相の交番
信号の位相差を変化させることにより、前記円または楕
円状の軌跡となる振動の軌跡形状を変化させたので、確
実であり且つ安定した速度制御が可能となる振動アクチ
ュエータを提供できる。
の状態を検出し、検出結果に基づいて前記複数相の交番
信号の位相差を変化させることにより、前記円または楕
円状の軌跡となる振動の軌跡形状を変化させたので、確
実であり且つ安定した速度制御が可能となる振動アクチ
ュエータを提供できる。
【００６６】請求項５の発明は、伸縮振動及び屈曲振動
の状態を検出し、検出結果に基づいて前記交番信号の振
幅を変化させることにより、前記円または楕円状の軌跡
となる振動の軌跡形状を変化させたので、確実であり且
つ安定した速度制御が可能な振動アクチュエータを提供
できる。
の状態を検出し、検出結果に基づいて前記交番信号の振
幅を変化させることにより、前記円または楕円状の軌跡
となる振動の軌跡形状を変化させたので、確実であり且
つ安定した速度制御が可能な振動アクチュエータを提供
できる。
【００６７】請求項６の発明は、前記複数相の交番信号
の供給用電極と検出よう電極を兼用したので、小型化さ
れ且つ低コストの振動アクチュエータを提供できる。
の供給用電極と検出よう電極を兼用したので、小型化さ
れ且つ低コストの振動アクチュエータを提供できる。
【図１】本実施の形態を示す振動アクチュエータの分解
斜視図。
斜視図。
【図２】図１の振動体の構造を示す図。
【図３】振動の原理を示す図。
【図４】図１の振動体の分極状態を示す図。
【図５】振動体に供給する交番信号の一例を示す図。
【図６】図５の各時間ｔでの振動体の振動状態を示す
図。
図。
【図７】振動体に供給する交番信号の一例を示す図。
【図８】位相差と振幅比の関係を示す図。
【図９】円又は楕円軌跡を示す図。
【図１０】位相差と振幅比の設定による振動軌跡を示す
図。
図。
【図１１】位相差と振幅比の設定による振動軌跡を示す
図。
図。
【図１２】位相差と振幅比の設定による振動軌跡を示す
図。
図。
【図１３】位相差と振幅比の設定による振動軌跡を示す
図。
図。
【図１４】位相差と振幅比の設定による振動軌跡を示す
図。
図。
【図１５】位相差と振幅比の設定による振動軌跡を示す
図。
図。
【図１６】本実施の形態の制御回路を示すブロック図。
【図１７】図１６の制御回路の一部を示す回路図。
【図１８】図１６の制御回路の一部を示す回路図とタイ
ムチャート。
ムチャート。
【図１９】図１６の制御回路の一部を示す回路図。
１ 振動体 １ｅ，１ｆ，１ｇ，１ｈ 電極部 ４ 接触体としてのガイドレール
Claims (6)
- 【請求項１】 複数の電極が形成された複数の電気／機
械エネルギー変換素子が積層された振動体を有し、該振
動体に位相の異なる複数相の交番信号を印加して伸縮振
動と屈曲振動を生じさせ、両振動の合成により該振動体
の作用部を円または楕円状の軌跡となるように振動さ
せ、該振動体と接触する接触体と、該振動体とを相対移
動する振動アクチュエータにおいて、 前記複数の電極からの出力により前記伸縮振動及び屈曲
振動の状態を検出し、検出結果に基づいて前記円または
楕円状の軌跡となる振動の軌跡形状を変化させることに
より、前記相対移動の速度を変化させることを特徴とす
る振動アクチュエータ。 - 【請求項２】 前記複数の電極から前記複数相の交番信
号に対応する複数相の信号を検出し、複数相の検出信号
の位相を比較することにより、前記伸縮振動と屈曲振動
の状態を検出したことを特徴とする請求項１記載の振動
アクチュエータ。 - 【請求項３】 前記複数の電極から前記複数相の交番信
号に対応する複数相の信号を検出し、複数相の検出信号
の振幅を比較することにより、前記伸縮振動と屈曲振動
の状態を検出したことを特徴とする請求項１記載の振動
アクチュエータ。 - 【請求項４】 前記複数の電極からの出力により前記伸
縮振動及び屈曲振動の状態を検出し、検出結果に基づい
て前記複数相の交番信号の位相差を変化させることによ
り、前記円または楕円状の軌跡となる振動の軌跡形状を
変化させたことを特徴とする請求項１または３記載の振
動アクチュエータ。 - 【請求項５】 前記複数の電極からの出力により前記伸
縮振動及び屈曲振動の状態を検出し、検出結果に基づい
て前記交番信号の振幅を変化させることにより、前記円
または楕円状の軌跡となる振動の軌跡形状を変化させた
ことを特徴とする請求項１または２記載の振動アクチュ
エータ。 - 【請求項６】 前記複数の電極は前記複数相の交番信号
の供給用電極を兼用していることを特徴とする請求項１
ないし５のいずれかに記載の振動アクチュエータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8202043A JPH1052072A (ja) | 1996-07-31 | 1996-07-31 | 振動アクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8202043A JPH1052072A (ja) | 1996-07-31 | 1996-07-31 | 振動アクチュエータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1052072A true JPH1052072A (ja) | 1998-02-20 |
Family
ID=16450988
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8202043A Pending JPH1052072A (ja) | 1996-07-31 | 1996-07-31 | 振動アクチュエータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1052072A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001258279A (ja) * | 2000-03-10 | 2001-09-21 | Nikon Corp | 振動アクチュエータの駆動装置 |
| JP2002112563A (ja) * | 2000-09-29 | 2002-04-12 | Minolta Co Ltd | アクチュエータの駆動方法および装置 |
| JP2009005560A (ja) * | 2007-06-25 | 2009-01-08 | Canon Inc | 振動波駆動装置の制御装置、振動波駆動装置の制御方法、及びプログラム |
| US8669723B2 (en) | 2010-06-07 | 2014-03-11 | Canon Kabushiki Kaisha | Control apparatus of vibration-type actuator and control method of vibration-type actuator |
| JP2015116020A (ja) * | 2013-12-10 | 2015-06-22 | キヤノン株式会社 | 超音波モータ、及び超音波モータ付き装置 |
| US11233465B2 (en) | 2018-10-30 | 2022-01-25 | Seiko Epson Corporation | Piezoelectric drive device, robot, and printer |
-
1996
- 1996-07-31 JP JP8202043A patent/JPH1052072A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001258279A (ja) * | 2000-03-10 | 2001-09-21 | Nikon Corp | 振動アクチュエータの駆動装置 |
| JP2002112563A (ja) * | 2000-09-29 | 2002-04-12 | Minolta Co Ltd | アクチュエータの駆動方法および装置 |
| JP2009005560A (ja) * | 2007-06-25 | 2009-01-08 | Canon Inc | 振動波駆動装置の制御装置、振動波駆動装置の制御方法、及びプログラム |
| US8669723B2 (en) | 2010-06-07 | 2014-03-11 | Canon Kabushiki Kaisha | Control apparatus of vibration-type actuator and control method of vibration-type actuator |
| US9479087B2 (en) | 2010-06-07 | 2016-10-25 | Canon Kabushiki Kaisha | Control apparatus of vibration-type actuator and control method of vibration-type actuator |
| US9853576B2 (en) | 2010-06-07 | 2017-12-26 | Canon Kabushiki Kaisha | Control apparatus of vibration-type actuator and control method of vibration-type actuator |
| JP2015116020A (ja) * | 2013-12-10 | 2015-06-22 | キヤノン株式会社 | 超音波モータ、及び超音波モータ付き装置 |
| US11233465B2 (en) | 2018-10-30 | 2022-01-25 | Seiko Epson Corporation | Piezoelectric drive device, robot, and printer |
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