JPH1047929A - 筒体の内面検査方法およびその装置 - Google Patents
筒体の内面検査方法およびその装置Info
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- JPH1047929A JPH1047929A JP21797496A JP21797496A JPH1047929A JP H1047929 A JPH1047929 A JP H1047929A JP 21797496 A JP21797496 A JP 21797496A JP 21797496 A JP21797496 A JP 21797496A JP H1047929 A JPH1047929 A JP H1047929A
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Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ワークの内周部を、簡単かつ精度よく検査で
きるようにする。 【解決手段】 検査テーブル2上に、円錐形の反射ミラ
ー13を設置する。反射ミラー13の上方位置に、TV
カメラ4を設置する。ドーナツ円板状のワーク14を、
検査テーブル2上にセットする。すると、ワーク14の
中心孔内周面が反射ミラー13に反射し、三次元画像が
二次元に展開された状態で、TVカメラ4で捉えられ
る。このため、ワーク14の内周部を、簡単かつ精度よ
く検査できる。
きるようにする。 【解決手段】 検査テーブル2上に、円錐形の反射ミラ
ー13を設置する。反射ミラー13の上方位置に、TV
カメラ4を設置する。ドーナツ円板状のワーク14を、
検査テーブル2上にセットする。すると、ワーク14の
中心孔内周面が反射ミラー13に反射し、三次元画像が
二次元に展開された状態で、TVカメラ4で捉えられ
る。このため、ワーク14の内周部を、簡単かつ精度よ
く検査できる。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ギア,リテーナ,
パイプ等の筒体の内面検査方法およびその装置に係り、
特に筒体内面の三次元情報を二次元に展開して検査する
筒体の内面検査方法およびその装置に関する。
パイプ等の筒体の内面検査方法およびその装置に係り、
特に筒体内面の三次元情報を二次元に展開して検査する
筒体の内面検査方法およびその装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来から、ギア,リテーナあるいはパイ
プ等の精密部品の内周面を検査する方法としては、顕微
鏡を用いた目視検査や光切断およびステレオ三次元測定
による機械検査が一般に知られている。
プ等の精密部品の内周面を検査する方法としては、顕微
鏡を用いた目視検査や光切断およびステレオ三次元測定
による機械検査が一般に知られている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】従来の筒体の内面検査
方法のうち、顕微鏡を用いる目視検査の場合には、測定
の巧拙により検査精度が安定しないとともに、検査に時
間がかかり、また複数の高価な測定器が必要で、しかも
測定に熟練を要する等の問題がある。
方法のうち、顕微鏡を用いる目視検査の場合には、測定
の巧拙により検査精度が安定しないとともに、検査に時
間がかかり、また複数の高価な測定器が必要で、しかも
測定に熟練を要する等の問題がある。
【0004】これに対して、機械検査の場合には、測定
に熟練を要しないため検査員の確保が容易であるが、装
置が極めて高価であるとともに、検査タクトが長く、検
査を自動化してもそのメリットがほとんどない等の問題
がある。
に熟練を要しないため検査員の確保が容易であるが、装
置が極めて高価であるとともに、検査タクトが長く、検
査を自動化してもそのメリットがほとんどない等の問題
がある。
【0005】本発明はかかる現況に鑑みなされたもの
で、簡単な装置構成で、迅速かつ容易にしかも精度よく
筒体の内面を検査することができる筒体の内面検査方法
およびその装置を提供するにある。
で、簡単な装置構成で、迅速かつ容易にしかも精度よく
筒体の内面を検査することができる筒体の内面検査方法
およびその装置を提供するにある。
【0006】本発明の他の目的は、被検査筒体内周部の
三次元情報を、欠落部を生じさせることなく二次元に展
開するこことができるようにすることにある。
三次元情報を、欠落部を生じさせることなく二次元に展
開するこことができるようにすることにある。
【0007】本発明の他の目的は、被検査筒体の画像セ
ンサ直下位置へのセットが容易で、小型の筒体の内面も
何等支障なく検査できるようにすることにある。
ンサ直下位置へのセットが容易で、小型の筒体の内面も
何等支障なく検査できるようにすることにある。
【0008】本発明の他の目的は、検査時間をより短縮
することができるようにすることにある。
することができるようにすることにある。
【0009】本発明の他の目的は、装置構成を簡素化,
小型化して安価な装置を得ることができるようにするこ
とにある。
小型化して安価な装置を得ることができるようにするこ
とにある。
【0010】本発明の他の目的は、被検査筒体の内面の
画像を精度よく画像センサで捉えることができるように
することにある。
画像を精度よく画像センサで捉えることができるように
することにある。
【0011】本発明のさらに他の目的は、判定手段の構
成を簡素化することができるとともに、被検査筒体の画
像センサ直下への設置位置が周方向等にずれている場合
であっても、問題なくその内面を検査することができる
ようにすることにある。
成を簡素化することができるとともに、被検査筒体の画
像センサ直下への設置位置が周方向等にずれている場合
であっても、問題なくその内面を検査することができる
ようにすることにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
本発明は、錐形または截頭錐形をなす反射ミラーの外周
側に被検査筒体を配置するとともに、反射ミラーの上方
位置に画像センサを配置し、被検査筒体内周部の三次元
情報を、前記反射ミラーで二次元に展開し、展開後の二
次元情報に基づき被検査筒体の内面を検査するようにし
たことを特徴とする。そしてこれにより、迅速かつ容易
にしかも精度よく筒体の内面を検査することが可能とな
り、高価な測定機器も必要としない。
本発明は、錐形または截頭錐形をなす反射ミラーの外周
側に被検査筒体を配置するとともに、反射ミラーの上方
位置に画像センサを配置し、被検査筒体内周部の三次元
情報を、前記反射ミラーで二次元に展開し、展開後の二
次元情報に基づき被検査筒体の内面を検査するようにし
たことを特徴とする。そしてこれにより、迅速かつ容易
にしかも精度よく筒体の内面を検査することが可能とな
り、高価な測定機器も必要としない。
【0013】本発明はまた、反射ミラーを、円錐形また
は截頭円錐形、あるいは被検査筒体の内面形状に符合す
る角錐形または截頭角錐形に形成するようにしたことを
特徴とする。そしてこれにより、被検査筒体内周部の三
次元情報を、欠落部を生じさせることなく二次元に展開
することが可能となる。
は截頭円錐形、あるいは被検査筒体の内面形状に符合す
る角錐形または截頭角錐形に形成するようにしたことを
特徴とする。そしてこれにより、被検査筒体内周部の三
次元情報を、欠落部を生じさせることなく二次元に展開
することが可能となる。
【0014】本発明はまた、被検査筒体の上方位置にピ
ボット型レンズを配置するとともに、ピボット型レンズ
の上方位置に画像センサを配置し、被検査筒体内周部の
三次元情報を、前記ピボット型レンズで二次元に展開
し、展開後の二次元情報に基づき被検査筒体の内面を検
査するようにしたことを特徴とする。そして、ピボット
型レンズの場合には、被検査筒体の内部に挿入しなくて
も、その内周部の三次元情報を二次元に展開することが
できるので、被検査筒体の画像センサ直下位置へのセッ
トが容易で、しかも小型の筒体の内面も、何等支障なく
検査することが可能となる。
ボット型レンズを配置するとともに、ピボット型レンズ
の上方位置に画像センサを配置し、被検査筒体内周部の
三次元情報を、前記ピボット型レンズで二次元に展開
し、展開後の二次元情報に基づき被検査筒体の内面を検
査するようにしたことを特徴とする。そして、ピボット
型レンズの場合には、被検査筒体の内部に挿入しなくて
も、その内周部の三次元情報を二次元に展開することが
できるので、被検査筒体の画像センサ直下位置へのセッ
トが容易で、しかも小型の筒体の内面も、何等支障なく
検査することが可能となる。
【0015】本発明はまた、被検査筒体の内面検査を、
予め測定しておいた良品の画像信号との相関により行な
うようにしたことを特徴とする。そしてこれにより、
良,不良の判定を容易かつ精度よく行なうことが可能と
なる。
予め測定しておいた良品の画像信号との相関により行な
うようにしたことを特徴とする。そしてこれにより、
良,不良の判定を容易かつ精度よく行なうことが可能と
なる。
【0016】本発明はまた、画像センサを、被検査筒体
の検査領域をカバーするエリアセンサ、またはラインセ
ンサおよび被検査筒体の検査領域を走査する走査手段で
構成するようにしたことを特徴とする。そして、エリア
センサで構成することにより、簡単に画像信号を得るこ
とが可能となり、またラインセンサと走査手段とで構成
することにより、高密度の画像信号を安価に得ることが
可能となる。
の検査領域をカバーするエリアセンサ、またはラインセ
ンサおよび被検査筒体の検査領域を走査する走査手段で
構成するようにしたことを特徴とする。そして、エリア
センサで構成することにより、簡単に画像信号を得るこ
とが可能となり、またラインセンサと走査手段とで構成
することにより、高密度の画像信号を安価に得ることが
可能となる。
【0017】本発明はまた、錐形または截頭錐形をなす
反射ミラーが上面に設置された検査テーブルと;検査テ
ーブルに被検査筒体を供給し、前記反射ミラーの外周側
に被検査筒体を配置するワーク供給手段と;検査テーブ
ルの上方位置に設置され、前記反射ミラーで二次元に展
開された被検査筒体内周部の三次元情報を画像として捉
える画像センサと;画像センサからの画像信号を、予め
測定しておいた良品の画像信号と比較して、その良否を
判定する判定手段と;検査後の被検査筒体を、検査テー
ブルから取出すとともに、前記判定手段での判定結果に
基づき、取出した被検査筒体を良品と不良品とに振分け
るワーク振分け手段と;をそれぞれ設けるようにしたこ
とを特徴とする。そしてこれにより、装置構成を簡素
化,小型化して安価な装置を得ることが可能となる。
反射ミラーが上面に設置された検査テーブルと;検査テ
ーブルに被検査筒体を供給し、前記反射ミラーの外周側
に被検査筒体を配置するワーク供給手段と;検査テーブ
ルの上方位置に設置され、前記反射ミラーで二次元に展
開された被検査筒体内周部の三次元情報を画像として捉
える画像センサと;画像センサからの画像信号を、予め
測定しておいた良品の画像信号と比較して、その良否を
判定する判定手段と;検査後の被検査筒体を、検査テー
ブルから取出すとともに、前記判定手段での判定結果に
基づき、取出した被検査筒体を良品と不良品とに振分け
るワーク振分け手段と;をそれぞれ設けるようにしたこ
とを特徴とする。そしてこれにより、装置構成を簡素
化,小型化して安価な装置を得ることが可能となる。
【0018】本発明はまた、反射ミラーを、円錐形また
は截頭円錐形、あるいは被検査筒体の内面形状に符合す
る角錐形または截頭角錐形に形成するようにしたことを
特徴とする。そしてこれにより、被検査筒体内周部の三
次元情報を、欠落部を生じさせることなく二次元に展開
することが可能となる。
は截頭円錐形、あるいは被検査筒体の内面形状に符合す
る角錐形または截頭角錐形に形成するようにしたことを
特徴とする。そしてこれにより、被検査筒体内周部の三
次元情報を、欠落部を生じさせることなく二次元に展開
することが可能となる。
【0019】本発明はまた、反射ミラーに代え、検査テ
ーブル上の被検査筒体と画像センサとの間に設置され、
被検査筒体内周部の三次元情報を二次元に展開するピボ
ット型レンズを用いるようにしたことを特徴とする。そ
してこれにより、被検査筒体の内部に挿入しなくても、
その内周部の三次元情報を二次元に展開することができ
るので、被検査筒体の画像センサ直下位置へのセットが
容易となるとともに、小型の筒体の内面も、何等支障な
く検査することが可能となる。
ーブル上の被検査筒体と画像センサとの間に設置され、
被検査筒体内周部の三次元情報を二次元に展開するピボ
ット型レンズを用いるようにしたことを特徴とする。そ
してこれにより、被検査筒体の内部に挿入しなくても、
その内周部の三次元情報を二次元に展開することができ
るので、被検査筒体の画像センサ直下位置へのセットが
容易となるとともに、小型の筒体の内面も、何等支障な
く検査することが可能となる。
【0020】本発明はまた、画像センサを、被検査筒体
の検査領域をカバーするエリアセンサ、またはランイセ
ンサおよび被検査筒体の検査領域を走査する走査手段で
構成するようにしたことを特徴とする。そして、エリア
センサで構成することにより、簡単に画像信号を得るこ
とが可能となり、またラインセンサと走査手段とで構成
することにより、高密度の画像信号を安価に得ることが
可能となる。
の検査領域をカバーするエリアセンサ、またはランイセ
ンサおよび被検査筒体の検査領域を走査する走査手段で
構成するようにしたことを特徴とする。そして、エリア
センサで構成することにより、簡単に画像信号を得るこ
とが可能となり、またラインセンサと走査手段とで構成
することにより、高密度の画像信号を安価に得ることが
可能となる。
【0021】本発明はまた、検査テーブルに、被検査筒
体を照明する間接照明手段を設け、この間接照明手段
を、検査テーブルの周囲部に連続的または断続的に配さ
れた光源と;上端部に開口を有して検査テーブルおよび
光源を上方から覆い、光源からの光を反射させる概略半
球状の反射ドームと;から構成するようにしたことを特
徴とする。そしてこれにより、被検査筒体の内面を均一
に照明して高精度な画像を得ることが可能となり、しか
も画像センサによる撮像や被検査筒体の取扱い時に、反
射ドームが邪魔になるおそれがない。
体を照明する間接照明手段を設け、この間接照明手段
を、検査テーブルの周囲部に連続的または断続的に配さ
れた光源と;上端部に開口を有して検査テーブルおよび
光源を上方から覆い、光源からの光を反射させる概略半
球状の反射ドームと;から構成するようにしたことを特
徴とする。そしてこれにより、被検査筒体の内面を均一
に照明して高精度な画像を得ることが可能となり、しか
も画像センサによる撮像や被検査筒体の取扱い時に、反
射ドームが邪魔になるおそれがない。
【0022】本発明はさらに、判定手段に、画像センサ
からの画像信号を微分処理する微分処理手段と;微分処
理後の画像信号のサイズを正規化する正規化手段と;予
め測定しておいた良品の画像信号を記憶する記憶手段
と;記憶手段からの画像信号と前記正規化手段からの画
像信号との位相を合わせる位相調整手段と;位相合わせ
後の両画像信号を比較して良,不良を判断する比較手段
と;をそれぞれ設けるようにしたことを特徴とする。そ
して、これにより、判定手段の構成を簡素化することが
可能となり、また被検査筒体の設置位置が周方向等にず
れていても、問題なくその内面を検査することが可能と
なる。
からの画像信号を微分処理する微分処理手段と;微分処
理後の画像信号のサイズを正規化する正規化手段と;予
め測定しておいた良品の画像信号を記憶する記憶手段
と;記憶手段からの画像信号と前記正規化手段からの画
像信号との位相を合わせる位相調整手段と;位相合わせ
後の両画像信号を比較して良,不良を判断する比較手段
と;をそれぞれ設けるようにしたことを特徴とする。そ
して、これにより、判定手段の構成を簡素化することが
可能となり、また被検査筒体の設置位置が周方向等にず
れていても、問題なくその内面を検査することが可能と
なる。
【0023】
【発明の実施の形態】以下、本発明を図面を参照して説
明する。図3および図4は、本発明の第1の実施の形態
に係る筒体の内面検査装置を示すもので、図中、符号1
はケース本体であり、このケース本体1内には、検査テ
ーブル2が配設され、この検査テーブル2には、ワーク
供給手段3を介しリテーナ等のワークが間欠的に供給さ
れるようになっている。そして、検査テーブル2上に供
給されたワークは、TVカメラ4により画像として捉え
られるとともに、その画像信号は判定手段5に送られて
良否が判定されるようになっており、検査後のワーク
は、この判定結果に基づき、ワーク振分け手段6によ
り、良品と不良品とに振分けられるようになっている。
明する。図3および図4は、本発明の第1の実施の形態
に係る筒体の内面検査装置を示すもので、図中、符号1
はケース本体であり、このケース本体1内には、検査テ
ーブル2が配設され、この検査テーブル2には、ワーク
供給手段3を介しリテーナ等のワークが間欠的に供給さ
れるようになっている。そして、検査テーブル2上に供
給されたワークは、TVカメラ4により画像として捉え
られるとともに、その画像信号は判定手段5に送られて
良否が判定されるようになっており、検査後のワーク
は、この判定結果に基づき、ワーク振分け手段6によ
り、良品と不良品とに振分けられるようになっている。
【0024】前記ワーク供給手段3は、図3に示すよう
に、多数のワークが投入されるボウルフィーダ7を備え
ており、このボウルフィーダ7は、例えば150HZ 前
後の周波数で振動しながら回転し、ワークをすべて表に
向けるとともに、1個ずつ順次直進フィーダ8に送り出
すようになっており、直進フィーダ8で搬送されたワー
クは、その下流端において、、搬入出装置9により直進
フィーダ8から検査テーブル2に移載されるとともに、
検査後のワークは、検査テーブル2から搬出コンベア1
0に移載されるようになっている。
に、多数のワークが投入されるボウルフィーダ7を備え
ており、このボウルフィーダ7は、例えば150HZ 前
後の周波数で振動しながら回転し、ワークをすべて表に
向けるとともに、1個ずつ順次直進フィーダ8に送り出
すようになっており、直進フィーダ8で搬送されたワー
クは、その下流端において、、搬入出装置9により直進
フィーダ8から検査テーブル2に移載されるとともに、
検査後のワークは、検査テーブル2から搬出コンベア1
0に移載されるようになっている。
【0025】前記搬入出装置9は、図3に示すように、
90度の角度で固設されたピックアーム11とプレース
アーム12とを備えており、これら両アーム11,12
は、一体として90度水平回動し、例えば真空吸着方式
等により、直進フィーダ8から検査テーブル2へのワー
クの移載および検査テーブル2から搬出コンベア10へ
のワークの移載を行なうようになっている。
90度の角度で固設されたピックアーム11とプレース
アーム12とを備えており、これら両アーム11,12
は、一体として90度水平回動し、例えば真空吸着方式
等により、直進フィーダ8から検査テーブル2へのワー
クの移載および検査テーブル2から搬出コンベア10へ
のワークの移載を行なうようになっている。
【0026】前記検査テーブル2上には、図1および図
2に示すように、円錐形をなす反射ミラー13が固設さ
れており、例えばドーナツ円板状をなすワーク14は、
前記ピックアップ11により、反射ミラー13の外周部
にセットされるようになっている。
2に示すように、円錐形をなす反射ミラー13が固設さ
れており、例えばドーナツ円板状をなすワーク14は、
前記ピックアップ11により、反射ミラー13の外周部
にセットされるようになっている。
【0027】前記反射ミラー13は、例えばコーン型レ
ンズに高反射コーティングを施して形成されており、そ
の上方位置には、照明装置15(図4参照)を有するT
Vカメラ4が設置されている。そして、ワーク14内周
部の三次元情報は、反射ミラー13により二次元に展開
された後、TVカメラ4により画像として捉えられるよ
うになっている。
ンズに高反射コーティングを施して形成されており、そ
の上方位置には、照明装置15(図4参照)を有するT
Vカメラ4が設置されている。そして、ワーク14内周
部の三次元情報は、反射ミラー13により二次元に展開
された後、TVカメラ4により画像として捉えられるよ
うになっている。
【0028】このTVカメラ4からの画像信号は、図4
に示すように、画像処理コントローラ16およびキーボ
ード17aを有するコンピュータ17を備えた判定手段
5に送られるようになっており、この判定手段5に送ら
れたTVカメラ4からの画像信号は、良品データとの相
関によりその良,不良が判定され、この判定結果に基づ
きワーク振分け手段6により良品と不良品とが振分けら
れるようになっている。なお、判定手段5については後
に詳述する。
に示すように、画像処理コントローラ16およびキーボ
ード17aを有するコンピュータ17を備えた判定手段
5に送られるようになっており、この判定手段5に送ら
れたTVカメラ4からの画像信号は、良品データとの相
関によりその良,不良が判定され、この判定結果に基づ
きワーク振分け手段6により良品と不良品とが振分けら
れるようになっている。なお、判定手段5については後
に詳述する。
【0029】前記ワーク振分け手段6は、図3に示すよ
うに、搬出コンベア10の途中位置に設置された不良品
排出ブロー18を備えており、この不良品排出ブロー1
8は、搬出コンベア10上を送られてきた不良品に対し
圧力エアを吐出し、排出口19に吹き飛ばすようになっ
ている。そして、排出口19に落下した不良品は、不良
品排出シュート20を介しケース本体1外に排出され、
一方搬出コンベア10で搬送された良品は、良品箱21
に収納されるようになっている。
うに、搬出コンベア10の途中位置に設置された不良品
排出ブロー18を備えており、この不良品排出ブロー1
8は、搬出コンベア10上を送られてきた不良品に対し
圧力エアを吐出し、排出口19に吹き飛ばすようになっ
ている。そして、排出口19に落下した不良品は、不良
品排出シュート20を介しケース本体1外に排出され、
一方搬出コンベア10で搬送された良品は、良品箱21
に収納されるようになっている。
【0030】前記判定手段5は、図5に示すように、T
Vカメラ4からの画像信号を微分処理してワーク14の
エッジを顕在化させる微分処理手段22を備えており、
微分処理後の画像信号は、スムージング処理手段23に
おいてスムージング処理が施され、画像信号中のノイズ
が除去されるようになっている。そして、スムージング
処理後の画像信号は、正規化手段24においてサイズの
正規化が行なわれ、サンプルデータf(x) が生成される
ようになっている。
Vカメラ4からの画像信号を微分処理してワーク14の
エッジを顕在化させる微分処理手段22を備えており、
微分処理後の画像信号は、スムージング処理手段23に
おいてスムージング処理が施され、画像信号中のノイズ
が除去されるようになっている。そして、スムージング
処理後の画像信号は、正規化手段24においてサイズの
正規化が行なわれ、サンプルデータf(x) が生成される
ようになっている。
【0031】一方、記憶手段25には、前記TVカメラ
4で捉えられた良品の画像信号が、前記各手段22,2
3,24で処理された後に良品データg(x) として予め
記憶されており、この良品データg(x) は、前記サンプ
ルデータf(x) とともに位相調整手段26に入力され、
この位相調整手段26において、両データf(x) ,g
(x) の位相合わせが行なわれるようになっている。そし
て、位相合わせ後の両データf(x) ,g(x) は、比較手
段27において比較され、その差分が設定値を超えた場
合に不良品として判定されるようになっている。
4で捉えられた良品の画像信号が、前記各手段22,2
3,24で処理された後に良品データg(x) として予め
記憶されており、この良品データg(x) は、前記サンプ
ルデータf(x) とともに位相調整手段26に入力され、
この位相調整手段26において、両データf(x) ,g
(x) の位相合わせが行なわれるようになっている。そし
て、位相合わせ後の両データf(x) ,g(x) は、比較手
段27において比較され、その差分が設定値を超えた場
合に不良品として判定されるようになっている。
【0032】次に、本実施の形態の作用について説明す
る。図3に示すボウルフィーダ7に投入されたワーク1
4は、ボウルフィーダ7の起動によりボウルフィーダ7
内を振動しながら回転し、その間にすべて表向きとなっ
て整列される。そしてその後、直進フィーダ8に順次送
り出される。ところで、ボウルフィーダ7は通常は50
HZ 前後の周波数で加振されるが、本実施の形態におい
ては、通常よりも大幅に高い150HZ 前後の周波数で
加振される。このため、上面に凹凸を有するようなワー
ク14であっても、ボウルフィーダ7内でワーク14同
志が噛合って離れなくなるといった不具合が全くない。
る。図3に示すボウルフィーダ7に投入されたワーク1
4は、ボウルフィーダ7の起動によりボウルフィーダ7
内を振動しながら回転し、その間にすべて表向きとなっ
て整列される。そしてその後、直進フィーダ8に順次送
り出される。ところで、ボウルフィーダ7は通常は50
HZ 前後の周波数で加振されるが、本実施の形態におい
ては、通常よりも大幅に高い150HZ 前後の周波数で
加振される。このため、上面に凹凸を有するようなワー
ク14であっても、ボウルフィーダ7内でワーク14同
志が噛合って離れなくなるといった不具合が全くない。
【0033】ワーク14が直進フィーダ8によってその
下流端まで搬送されてくると、このワーク14は、搬入
出装置9のピックアーム11に吸着保持され、ピックア
ーム11の90度水平回動により検査テーブル2上の反
射ミラー13外周側に移載される。
下流端まで搬送されてくると、このワーク14は、搬入
出装置9のピックアーム11に吸着保持され、ピックア
ーム11の90度水平回動により検査テーブル2上の反
射ミラー13外周側に移載される。
【0034】ワーク14が、図1に示すように、反射ミ
ラー13の外周側にセットされると、ワーク14の中心
孔の内面画像は、反射ミラー13により二次元に展開さ
れ、二次元に展開された画像が、ワーク14の内面画像
GとしてTVカメラ4に捉えられる。
ラー13の外周側にセットされると、ワーク14の中心
孔の内面画像は、反射ミラー13により二次元に展開さ
れ、二次元に展開された画像が、ワーク14の内面画像
GとしてTVカメラ4に捉えられる。
【0035】図6は、TVカメラ4で捉えられた内面画
像Gの一例を示すもので、ワーク14の中心孔の三次元
情報は、二次元に展開されてドーナツ円板状の内面画像
Gとなり、その外線L1 は、ワーク14の中心孔の下端
エッジ線を表わし、また内径線L2 は、ワーク14の中
心孔の上端エッジ線を表わすことになる。
像Gの一例を示すもので、ワーク14の中心孔の三次元
情報は、二次元に展開されてドーナツ円板状の内面画像
Gとなり、その外線L1 は、ワーク14の中心孔の下端
エッジ線を表わし、また内径線L2 は、ワーク14の中
心孔の上端エッジ線を表わすことになる。
【0036】このようにして、TVカメラ4で捉えられ
た画像は、一次元の画像信号として微分処理手段22に
送られて微分処理が施されるとともに、スムージング処
理手段23に送られてノイズが除去され、その後正規化
手段24に送られてサイズの正規化が行なわれる。そし
てこれにより、記憶手段25に予め記憶されている良品
データg(x) と比較すべきサンプルデータf(x) が生成
される。
た画像は、一次元の画像信号として微分処理手段22に
送られて微分処理が施されるとともに、スムージング処
理手段23に送られてノイズが除去され、その後正規化
手段24に送られてサイズの正規化が行なわれる。そし
てこれにより、記憶手段25に予め記憶されている良品
データg(x) と比較すべきサンプルデータf(x) が生成
される。
【0037】図7は、横軸に寸法,縦軸に出力を取って
表わしたサンプルデータf(x) の一例を示すもので、図
中、符号mは形状ピッチである。
表わしたサンプルデータf(x) の一例を示すもので、図
中、符号mは形状ピッチである。
【0038】このサンプルデータf(x) は、記憶手段2
5からの良品データg(x) とともに位相調整手段26に
送られ、この位相調整手段26において、以下に示す相
関関数に基づき、位相合わせが行なわれる。
5からの良品データg(x) とともに位相調整手段26に
送られ、この位相調整手段26において、以下に示す相
関関数に基づき、位相合わせが行なわれる。
【0039】
【数1】
【0040】前記数1によりS(i) の最大となる点を求
め、その時のiが求める位相差となる。そして、位相調
整手段26においては、このようにして求められた位相
差に基づき、両データf(x) ,g(x) の位相合わせが行
なわれる。
め、その時のiが求める位相差となる。そして、位相調
整手段26においては、このようにして求められた位相
差に基づき、両データf(x) ,g(x) の位相合わせが行
なわれる。
【0041】位相合わせ後の両データf(x) ,g(x)
は、比較手段27において比較され、その差分が可変の
良品範囲を超えた場合に不良品とし判定される。
は、比較手段27において比較され、その差分が可変の
良品範囲を超えた場合に不良品とし判定される。
【0042】図8は、前記両データf(x) ,g(x) の差
分波形の一例を示すもので、図中、符号Eは良品範囲で
ある。図8に示す差分波形の場合には、良品範囲Eを超
えているので、比較手段27では不良品として判定され
ることになる。
分波形の一例を示すもので、図中、符号Eは良品範囲で
ある。図8に示す差分波形の場合には、良品範囲Eを超
えているので、比較手段27では不良品として判定され
ることになる。
【0043】このようにして、検査テーブル2上のワー
ク14の内面検査が終了すると、検査後のワーク14
は、搬入出装置9のプレスアーム12に吸着保持され、
プレースアーム12の90度水平回動により搬出コンベ
ア10上に移載される。
ク14の内面検査が終了すると、検査後のワーク14
は、搬入出装置9のプレスアーム12に吸着保持され、
プレースアーム12の90度水平回動により搬出コンベ
ア10上に移載される。
【0044】搬出コンベア10上に移載されたワーク1
4が、搬出コンベア10により不良品排出ブロー18の
位置まで搬送されてくると、このワーク14が不良品の
場合には、不良品排出ブロー18から圧力エアが吐出さ
れ、搬出コンベア10上のワーク14が排出口19に吹
き飛ばされる。そして、不良品排出シュート20を介し
ケース本体1外に排出される。
4が、搬出コンベア10により不良品排出ブロー18の
位置まで搬送されてくると、このワーク14が不良品の
場合には、不良品排出ブロー18から圧力エアが吐出さ
れ、搬出コンベア10上のワーク14が排出口19に吹
き飛ばされる。そして、不良品排出シュート20を介し
ケース本体1外に排出される。
【0045】一方、搬出コンベア10上に移載されたワ
ーク14が良品の場合には、不良品排出ブロー18から
圧力エアは吐出されず、搬出コンベア10上をそのまま
搬送されて良品箱21に収納される。
ーク14が良品の場合には、不良品排出ブロー18から
圧力エアは吐出されず、搬出コンベア10上をそのまま
搬送されて良品箱21に収納される。
【0046】しかして、ワーク14の中心孔内周面の三
次元情報を、反射ミラー13で二次元に展開し、展開後
の二次元情報に基づきワーク14の良否を判定するよう
にしているので、高価な測定機器を用いることなく、簡
単にワーク14の内面検査を行なうことができる。
次元情報を、反射ミラー13で二次元に展開し、展開後
の二次元情報に基づきワーク14の良否を判定するよう
にしているので、高価な測定機器を用いることなく、簡
単にワーク14の内面検査を行なうことができる。
【0047】また、良品データg(x) とサンプルデータ
f(x) との相関によりワーク14の内面検査を行なうよ
うにしているので、短時間で精度の高い検査が可能とな
る。また、これら両データf(x) ,g(x) は、比較の前
に位相合わせが行なわれるので、検査テーブル2上への
セット位置がずれている場合であっても、ワーク14内
面のゆがみ,寸法誤差,バリの有無,疵の有無等を正確
に検出し、良,不良の判定を精度よく行なうことができ
る。
f(x) との相関によりワーク14の内面検査を行なうよ
うにしているので、短時間で精度の高い検査が可能とな
る。また、これら両データf(x) ,g(x) は、比較の前
に位相合わせが行なわれるので、検査テーブル2上への
セット位置がずれている場合であっても、ワーク14内
面のゆがみ,寸法誤差,バリの有無,疵の有無等を正確
に検出し、良,不良の判定を精度よく行なうことができ
る。
【0048】図9および図10は、本発明の第2の実施
の形態を示すもので、前記第1の実施の形態における円
錐形の反射ミラー13に代え、截頭円錐形をなす反射ミ
ラー33を用いるようにしたものである。なお、その他
の点については、前記第1の実施の形態と同一構成とな
っており、作用も同一である。
の形態を示すもので、前記第1の実施の形態における円
錐形の反射ミラー13に代え、截頭円錐形をなす反射ミ
ラー33を用いるようにしたものである。なお、その他
の点については、前記第1の実施の形態と同一構成とな
っており、作用も同一である。
【0049】しかして、截頭円錐形の反射ミラー33を
用いても、前記第1の実施の形態と同様の効果が得られ
る。
用いても、前記第1の実施の形態と同様の効果が得られ
る。
【0050】図11および図12は、本発明の第3の実
施の形態を示すもので、前記第1の実施の形態における
円錐形の反射ミラー13に代え、ワーク14の中心孔の
形状に符合する角錐形(図の場合には四角錐)の反射ミ
ラー43を用いるようにしたものである。なお、その他
の点については、前記第1の実施の形態と同一構成とな
っており、作用も同一である。
施の形態を示すもので、前記第1の実施の形態における
円錐形の反射ミラー13に代え、ワーク14の中心孔の
形状に符合する角錐形(図の場合には四角錐)の反射ミ
ラー43を用いるようにしたものである。なお、その他
の点については、前記第1の実施の形態と同一構成とな
っており、作用も同一である。
【0051】しかして、円形の孔に対して角錐形の反射
ミラー43を用いた場合には、反射ミラー43の角部に
対応する部分の画像が欠落するおそれがあるが、角孔に
対してこれに符合する角錐形の反射ミラー43を用いた
場合には、画像の欠落のおそれがなく、しかも円錐形の
反射ミラー13を用いた場合と異なり、反射ミラー43
と孔内面との距離が一定となるため、より良好な画像デ
ータが得られる。
ミラー43を用いた場合には、反射ミラー43の角部に
対応する部分の画像が欠落するおそれがあるが、角孔に
対してこれに符合する角錐形の反射ミラー43を用いた
場合には、画像の欠落のおそれがなく、しかも円錐形の
反射ミラー13を用いた場合と異なり、反射ミラー43
と孔内面との距離が一定となるため、より良好な画像デ
ータが得られる。
【0052】図13および図14は、本発明の第4の実
施の形態を示すもので、前記第3の実施の形態における
角錐形の反射ミラー43に代え、截頭角錐形の反射ミラ
ー53を用いるようにしたものである。なお、その他の
点については、前記第1の実施の形態と同一構成となっ
ており、作用も同一である。
施の形態を示すもので、前記第3の実施の形態における
角錐形の反射ミラー43に代え、截頭角錐形の反射ミラ
ー53を用いるようにしたものである。なお、その他の
点については、前記第1の実施の形態と同一構成となっ
ており、作用も同一である。
【0053】しかして、この反射ミラー53を用いた場
合にも、前記第3の実施の形態と同一の効果が得られ
る。
合にも、前記第3の実施の形態と同一の効果が得られ
る。
【0054】図15は、本発明の第5の実施の形態を示
すもので、前記第1の実施の形態におけるTVカメラ4
に代え、ラインセンサ64とワーク14の検査領域を走
査する走査装置65とを用いるようにしたものである。
なお、その他の点については、前記第1の実施の形態と
同一構成となっており、作用も同一である。
すもので、前記第1の実施の形態におけるTVカメラ4
に代え、ラインセンサ64とワーク14の検査領域を走
査する走査装置65とを用いるようにしたものである。
なお、その他の点については、前記第1の実施の形態と
同一構成となっており、作用も同一である。
【0055】しかして、ラインセンサ64の場合には、
TVカメラ4のようなエリアセンサと異なり、ワーク1
4の検査領域の画像を一度に撮像することはできない
が、反面高密度センサを安価にしかも容易に入手できる
ので、高精度の検査結果が必要な場合には特に有利であ
る。
TVカメラ4のようなエリアセンサと異なり、ワーク1
4の検査領域の画像を一度に撮像することはできない
が、反面高密度センサを安価にしかも容易に入手できる
ので、高精度の検査結果が必要な場合には特に有利であ
る。
【0056】図16は、本発明の第6の実施の形態を示
すもので、前記第1の実施の形態における照明装置15
に代え、間接照明装置75を用いるようにしたものであ
る。
すもので、前記第1の実施の形態における照明装置15
に代え、間接照明装置75を用いるようにしたものであ
る。
【0057】すなわち、この間接照明装置75は、図1
6に示すように、検査テーブル2の周囲部に連続的また
は断続的に配された光源76と、上端部に開口部76a
を有して検査テーブル2および光源76を上方から覆う
反射ドーム76とを備えており、反射ドーム76は、概
略半球状に形成され、光源76からの光を反射してワー
ク14を均一に証明できるようになっている。なお、そ
の他の点については前記第1の実施の形態と同一構成と
なっており、作用も同一である。
6に示すように、検査テーブル2の周囲部に連続的また
は断続的に配された光源76と、上端部に開口部76a
を有して検査テーブル2および光源76を上方から覆う
反射ドーム76とを備えており、反射ドーム76は、概
略半球状に形成され、光源76からの光を反射してワー
ク14を均一に証明できるようになっている。なお、そ
の他の点については前記第1の実施の形態と同一構成と
なっており、作用も同一である。
【0058】しかして、直接照明の場合には、照明系に
指向性が含まれることがあり、この場合には、ハレーシ
ョン等により良好な画像が得られないおそれがあるが、
直接照明装置75の場合には、このようなおそれがな
く、良好な画像を得ることができる。
指向性が含まれることがあり、この場合には、ハレーシ
ョン等により良好な画像が得られないおそれがあるが、
直接照明装置75の場合には、このようなおそれがな
く、良好な画像を得ることができる。
【0059】図17は、本発明の第7の実施の形態を示
すもので、前記第1の実施の形態における反射ミラー1
3に代え、ピボット型レンズ83を用いるようにしたも
のである。
すもので、前記第1の実施の形態における反射ミラー1
3に代え、ピボット型レンズ83を用いるようにしたも
のである。
【0060】すなわち、このピボット型レンズ83は、
図17に示すように、検査テーブル2上のワーク14と
TVカメラ4との間に設置されており、このピボット型
レンズ83によりワーク14の中心孔内面の三次元情報
を二次元に展開することができるようになっている。な
お、その他の点については、前記第1の実施の形態と同
一構成となっており、作用も同一である。
図17に示すように、検査テーブル2上のワーク14と
TVカメラ4との間に設置されており、このピボット型
レンズ83によりワーク14の中心孔内面の三次元情報
を二次元に展開することができるようになっている。な
お、その他の点については、前記第1の実施の形態と同
一構成となっており、作用も同一である。
【0061】しかして、ピボット型レンズ83の場合に
は、反射ミラー13の場合と異なり、ワーク14の中心
孔内に挿入しなくても、中心孔内周部の三次元情報を二
次元に展開することができるので、ワーク14の検査テ
ーブル2上へのセットが容易であるとともに、ワーク1
4の中心孔が小径であっても、何等支障なく検査するこ
とができる。また、ワーク14と接触するおそれがない
ので、使用劣化もほとんどない。
は、反射ミラー13の場合と異なり、ワーク14の中心
孔内に挿入しなくても、中心孔内周部の三次元情報を二
次元に展開することができるので、ワーク14の検査テ
ーブル2上へのセットが容易であるとともに、ワーク1
4の中心孔が小径であっても、何等支障なく検査するこ
とができる。また、ワーク14と接触するおそれがない
ので、使用劣化もほとんどない。
【0062】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、錐形また
は截頭錐形をなす反射ミラーの外周側に被検査筒体を配
置するとともに、反射ミラーの上方位置に画像センサを
配置し、被検査筒体内周部の三次元情報を、前記反射ミ
ラーで二次元に展開し、展開後の二次元情報に基づき被
検査筒体の内面を検査するようにしているので、迅速か
つ容易にしかも精度よく筒体の内面を検査することがで
き、高価な測定機器も必要としない。
は截頭錐形をなす反射ミラーの外周側に被検査筒体を配
置するとともに、反射ミラーの上方位置に画像センサを
配置し、被検査筒体内周部の三次元情報を、前記反射ミ
ラーで二次元に展開し、展開後の二次元情報に基づき被
検査筒体の内面を検査するようにしているので、迅速か
つ容易にしかも精度よく筒体の内面を検査することがで
き、高価な測定機器も必要としない。
【0063】本発明はまた、反射ミラーを、円錐形また
は截頭円錐形、あるいは被検査筒体の内面形状に符合す
る角錐形または截頭角錐形に形成するようにしているの
で、被検査筒体内周部の三次元情報を、欠落部を生じさ
せることなく二次元に展開することができる。
は截頭円錐形、あるいは被検査筒体の内面形状に符合す
る角錐形または截頭角錐形に形成するようにしているの
で、被検査筒体内周部の三次元情報を、欠落部を生じさ
せることなく二次元に展開することができる。
【0064】本発明はまた、被検査筒体の上方位置にピ
ボット型レンズを配置するとともに、ピボット型レンズ
の上方位置に画像センサを配置し、被検査筒体内周部の
三次元情報を、前記ピボット型レンズで二次元に展開
し、展開後の二次元情報に基づき被検査筒体の内面を検
査するようにしているので、被検査筒体の内部にピボッ
ト型レンズを挿入しなくても、その内周部の三次元情報
を二次元に展開することができ、被検査筒体の画像セン
サ直下位置へのセットが容易であるとともに、小型の筒
体の内面も、何等支障なく検査することができる。ま
た、ピボット型レンズが被検査筒体と接触するおそれが
ないので、使用劣化がほとんどない。
ボット型レンズを配置するとともに、ピボット型レンズ
の上方位置に画像センサを配置し、被検査筒体内周部の
三次元情報を、前記ピボット型レンズで二次元に展開
し、展開後の二次元情報に基づき被検査筒体の内面を検
査するようにしているので、被検査筒体の内部にピボッ
ト型レンズを挿入しなくても、その内周部の三次元情報
を二次元に展開することができ、被検査筒体の画像セン
サ直下位置へのセットが容易であるとともに、小型の筒
体の内面も、何等支障なく検査することができる。ま
た、ピボット型レンズが被検査筒体と接触するおそれが
ないので、使用劣化がほとんどない。
【0065】本発明はまた、被検査筒体の内面検査を、
予め測定しておいた良品の画像信号との相関により行う
ようにしているので、良,不良の判定を容易かつ精度よ
く行なうことができる。
予め測定しておいた良品の画像信号との相関により行う
ようにしているので、良,不良の判定を容易かつ精度よ
く行なうことができる。
【0066】本発明はまた、画像センサを、エリアセン
サまたはラインセンサおよび走査手段で構成するように
しているので、エリアセンサで構成した場合には、簡単
に画像信号を得ることができ、またラインセンサと走査
手段とで構成した場合には、高密度の画像信号を安価に
得ることができる。
サまたはラインセンサおよび走査手段で構成するように
しているので、エリアセンサで構成した場合には、簡単
に画像信号を得ることができ、またラインセンサと走査
手段とで構成した場合には、高密度の画像信号を安価に
得ることができる。
【0067】本発明はまた、反射ミラーを有する検査テ
ーブルと、ワーク供給手段と、画像センサと、判定手段
と、ワーク振分け手段とをそれぞれ設けるようにしてい
るので、装置構成を簡素化,小型化して安価な装置を得
ることができる。
ーブルと、ワーク供給手段と、画像センサと、判定手段
と、ワーク振分け手段とをそれぞれ設けるようにしてい
るので、装置構成を簡素化,小型化して安価な装置を得
ることができる。
【0068】本発明はまた、反射ミラーを、円錐形また
は截頭円錐形、あるいは被検査筒体の内面形状に符合す
る角錐形のまたは截頭角錐形に形成するようにしている
ので、被検査筒体の内周部の三次元情報を、欠落部を生
じさせることなく二次元に展開することができる。
は截頭円錐形、あるいは被検査筒体の内面形状に符合す
る角錐形のまたは截頭角錐形に形成するようにしている
ので、被検査筒体の内周部の三次元情報を、欠落部を生
じさせることなく二次元に展開することができる。
【0069】本発明はまた、反射ミラーに代えてピボッ
ト型レンズを用いるようにしているので、被検査筒体の
内部にピボット型レンズを挿入しなくても、その内周部
の三次元情報を二次元に展開することができ、被検査筒
体の画像センサ直下位置へのセットが容易となるととも
に、小型の筒体の内面も、何等支障なく検査することが
できる。
ト型レンズを用いるようにしているので、被検査筒体の
内部にピボット型レンズを挿入しなくても、その内周部
の三次元情報を二次元に展開することができ、被検査筒
体の画像センサ直下位置へのセットが容易となるととも
に、小型の筒体の内面も、何等支障なく検査することが
できる。
【0070】本発明はまた、画像センサを、エリアセン
サまたはラインセンサおよび走査手段で構成するように
しているので、エリアセンサで構成することにより、検
査領域の画像信号を容易に得ることができ、またライン
センサと走査手段とで構成することにより、高密度の画
像信号を安価に得ることができる。
サまたはラインセンサおよび走査手段で構成するように
しているので、エリアセンサで構成することにより、検
査領域の画像信号を容易に得ることができ、またライン
センサと走査手段とで構成することにより、高密度の画
像信号を安価に得ることができる。
【0071】本発明はまた、検査テーブルに、被検査筒
体を照明する間接照明手段を設け、この間接照明手段
を、光源と、上端部に開口を有する反射ドームとから構
成するようにしているので、被検査筒体の内面を均一に
照明して高精度な画像を得ることができ、しかも画像セ
ンサによる撮像や被検査筒体の取扱い時に、反射ドーム
が邪魔になることがない。
体を照明する間接照明手段を設け、この間接照明手段
を、光源と、上端部に開口を有する反射ドームとから構
成するようにしているので、被検査筒体の内面を均一に
照明して高精度な画像を得ることができ、しかも画像セ
ンサによる撮像や被検査筒体の取扱い時に、反射ドーム
が邪魔になることがない。
【0072】本発明はさらに、判定手段を、微分処理手
段と、正規化手段と、記憶手段と、位相調節手段と、比
較手段とから構成するようにしているので、判定手段の
構成を簡素化でき、また被検査筒体の検査テーブルへの
セット位置がずれている場合であっても、問題なくその
内面を高精度に検査することができる。
段と、正規化手段と、記憶手段と、位相調節手段と、比
較手段とから構成するようにしているので、判定手段の
構成を簡素化でき、また被検査筒体の検査テーブルへの
セット位置がずれている場合であっても、問題なくその
内面を高精度に検査することができる。
【図1】本発明の第1の実施の形態に係る筒体の内面検
査装置の検査テーブル周りの構成を示す断面図である。
査装置の検査テーブル周りの構成を示す断面図である。
【図2】図1の要部平面図である。
【図3】図1の装置の全体構成を示す水平断面図であ
る。
る。
【図4】図3と同様の垂直断面図である。
【図5】判定手段の構成を示すブロック図である。
【図6】TVカメラで捉えられたワークの内面画像の一
例を示す説明図である。
例を示す説明図である。
【図7】サンプルデータの一例を示すグラフである。
【図8】差分波形の一例を示すグラフである。
【図9】本発明の第2の実施の形態を示す図1相当図で
ある。
ある。
【図10】図9の平面図である。
【図11】本発明の第3の実施の形態を示す図1相当図
である。
である。
【図12】図11の平面図である。
【図13】本発明の第4の実施の形態を示す図1相当図
である。
である。
【図14】図13の平面図である。
【図15】本発明の第5の実施の形態を示す要部構成図
である。
である。
【図16】本発明の第6の実施の形態を示す要部断面構
成図である。
成図である。
【図17】本発明の第7の実施の形態を示す図1相当図
である。
である。
2 検査テーブル 3 ワーク供給手段 4 TVカメラ 5 判定手段 6 ワーク振分け手段 7 ボウルフィーダ 8 直進フィーダ 9 搬入出装置 10 搬出コンベア 13,33,43,53 反射ミラー 14 ワーク 15 照明装置 18 不良品排出ブロー 22 微分処理手段 23 スムージング処理手段 24 正規化手段 25 記憶手段 26 位相調整手段 27 比較手段 64 ラインセンサ 65 走査装置 75 間接照明装置 76 光源 77 反射ドーム 77a 開口部 83 ピボット型レンズ
Claims (11)
- 【請求項1】 錐形または截頭錐形をなす反射ミラーの
外周側に被検査筒体を配置するとともに、反射ミラーの
上方位置に画像センサを配置し、被検査筒体内周部の三
次元情報を、前記反射ミラーで二次元に展開し、展開後
の二次元情報に基づき被検査筒体の内面を検査すること
を特徴とする筒体の内面検査方法。 - 【請求項2】 反射ミラーは、円錐形または截頭円錐
形、あるいは被検査筒体の内面形状に符合する角錐形ま
たは截頭角錐形であることを特徴とする請求項1記載の
筒体の内面検査方法。 - 【請求項3】 被検査筒体の上方位置にピボット型レン
ズを配置するとともに、ピボット型レンズの上方位置に
画像センサを配置し、被検査筒体内周部の三次元情報
を、前記ピボット型レンズで二次元に展開し、展開後の
二次元情報に基づき被検査筒体の内面を検査することを
特徴とする筒体の内面検査方法。 - 【請求項4】 被検査筒体の内面検査は、予め測定して
おいた良品の画像信号との相関により行なうことを特徴
とする請求項1,2または3記載の筒体の内面検査方
法。 - 【請求項5】 画像センサは、被検査筒体の検査領域を
カバーするエリアセンサ、またはラインセンサおよび被
検査筒体の検査領域を走査する走査手段で構成されてい
ることを特徴とする請求項1,2,3または4記載の筒
体の内面検査方法。 - 【請求項6】 錐形または截頭錐形をなす反射ミラーが
上面に設置された検査テーブルと;検査テーブルに被検
査筒体を供給し、前記反射ミラーの外周側に被検査筒体
を配置するワーク供給手段と;検査テーブルの上方位置
に設置され、前記反射ミラーで二次元に展開された被検
査筒体内周部の三次元情報を画像として捉える画像セン
サと;画像センサからの画像信号を、予め測定しておい
た良品の画像信号と比較して、その良否を判定する判定
手段と;検査後の被検査筒体を検査テーブルから取出す
とともに、前記判定手段での判定結果に基づき、取出し
た被検査筒体を良品と不良品とに振分けるワーク振分け
手段と;を具備することを特徴とする筒体の内面検査装
置。 - 【請求項7】 反射ミラーは、円錐形または截頭円錐
形、あるいは被検査筒体の内面形状に符合する角錐形ま
たは截頭角錐形であることを特徴とする請求項6記載の
筒体の内面検査装置。 - 【請求項8】 反射ミラーに代え、検査テーブル上の被
検査筒体と画像センサとの間に設置され、被検査筒体内
周部の三次元情報を二次元に展開するピボット型レンズ
が用いられることを特徴とする請求項6記載の筒体の内
面検査装置。 - 【請求項9】 画像センサは、被検査筒体の検査領域を
カバーするエリアセンサ、またはラインセンサおよび被
検査筒体の検査領域を走査する走査手段で構成されてい
ることを特徴とする筒体の内面検査装置。 - 【請求項10】 検査テーブルは、被検査筒体を照明す
る間接照明手段を備え、間接照明手段は、検査テーブル
の周囲部に連続的または断続的に配された光源と;上端
部に開口を有して検査テーブルおよび光源を上方から覆
い、光源からの光を反射させる概略半球状の反射ドーム
と;を有していることを特徴とする請求項6,7,8ま
たは9記載の筒体の内面検査装置。 - 【請求項11】 判定手段は、画像センサからの画像信
号を微分処理する微分処理手段と;微分処理後の画像信
号のサイズを正規化する正規化手段と;予め測定してお
いた良品の画像信号を記憶する記憶手段と;記憶手段か
らの画像信号と前記正規化手段からの画像信号との位相
を合わせる位相調整手段と;位相合わせ後の両画像信号
を比較して良,不良を判断する比較手段と;を備えてい
ることを特徴とする請求項6,7,8,9または10記
載の筒体の内面検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21797496A JPH1047929A (ja) | 1996-07-31 | 1996-07-31 | 筒体の内面検査方法およびその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21797496A JPH1047929A (ja) | 1996-07-31 | 1996-07-31 | 筒体の内面検査方法およびその装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1047929A true JPH1047929A (ja) | 1998-02-20 |
Family
ID=16712657
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP21797496A Pending JPH1047929A (ja) | 1996-07-31 | 1996-07-31 | 筒体の内面検査方法およびその装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH1047929A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003207458A (ja) * | 2002-01-09 | 2003-07-25 | Toshiba Corp | 撮影装置 |
JP2015114326A (ja) * | 2013-12-06 | 2015-06-22 | 株式会社ミツトヨ | 非回転のcpsペンを用いた穴測定装置及び穴測定方法 |
JP2020001741A (ja) * | 2018-06-27 | 2020-01-09 | リンテック株式会社 | 長尺体支持装置および長尺体支持方法 |
US10672116B2 (en) | 2015-02-27 | 2020-06-02 | Koh Young Technology Inc. | Substrate inspection method and system |
JP2021110671A (ja) * | 2020-01-14 | 2021-08-02 | トヨタ自動車株式会社 | バルブ当たり面の検査方法及び検査装置 |
JP2023036167A (ja) * | 2021-09-02 | 2023-03-14 | 株式会社ジーテクト | 外観検査装置 |
-
1996
- 1996-07-31 JP JP21797496A patent/JPH1047929A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003207458A (ja) * | 2002-01-09 | 2003-07-25 | Toshiba Corp | 撮影装置 |
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US10672116B2 (en) | 2015-02-27 | 2020-06-02 | Koh Young Technology Inc. | Substrate inspection method and system |
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JP2023036167A (ja) * | 2021-09-02 | 2023-03-14 | 株式会社ジーテクト | 外観検査装置 |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20041018 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050315 |