JPH1041371A - ピッチ可変ウェハ移載ハンド - Google Patents
ピッチ可変ウェハ移載ハンドInfo
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- JPH1041371A JPH1041371A JP20771596A JP20771596A JPH1041371A JP H1041371 A JPH1041371 A JP H1041371A JP 20771596 A JP20771596 A JP 20771596A JP 20771596 A JP20771596 A JP 20771596A JP H1041371 A JPH1041371 A JP H1041371A
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- JP
- Japan
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- pitch
- lifting
- wafer
- finger
- fingers
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Abstract
(57)【要約】
【課題】ウェハ移載ハンドにおいて、複数枚のウェハの
上下方向のピッチを簡単な構成で確実に変更する。 【解決手段】昇降フィンガーF1 〜F4 の後部に設けら
れた各昇降操作部C1 〜C4 を、各クランク軸K1 〜K
4 の連結軸15と連結し、これらのクランク軸K1 〜K
4 を構成する各クランクピンS1 〜S4 の偏心量e1 〜
e4 を、標準ピッチP1 と狭ピッチP2 との差dと各昇
降フィンガーF1 〜F4 の段数とを掛け合わせた値の半
分に設定し、各クランク軸K1 〜K4 の駆動軸5を原点
から180°回動させることにより、基準フィンガーF
0 に載置されたウェハWに対するそれ以外の各ウェハW
の上下方向のピッチP1 を変更する。
上下方向のピッチを簡単な構成で確実に変更する。 【解決手段】昇降フィンガーF1 〜F4 の後部に設けら
れた各昇降操作部C1 〜C4 を、各クランク軸K1 〜K
4 の連結軸15と連結し、これらのクランク軸K1 〜K
4 を構成する各クランクピンS1 〜S4 の偏心量e1 〜
e4 を、標準ピッチP1 と狭ピッチP2 との差dと各昇
降フィンガーF1 〜F4 の段数とを掛け合わせた値の半
分に設定し、各クランク軸K1 〜K4 の駆動軸5を原点
から180°回動させることにより、基準フィンガーF
0 に載置されたウェハWに対するそれ以外の各ウェハW
の上下方向のピッチP1 を変更する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、主として半導体製
造装置におけるピッチ可変ウェハ移載ハンドに関するも
のである。
造装置におけるピッチ可変ウェハ移載ハンドに関するも
のである。
【0002】
【従来の技術】半導体製造装置において、ウェハWを装
置内に搬入するにはキャリアステージ装置が使用されて
いる。このキャリアステージ装置は、図14に示される
ように、キャリア支柱51にキャリア台52を介して複
数台のキャリアスタンド53が円周方向に等間隔をおい
て装着され、多数枚のウェハWを水平状態で収納したウ
ェハキャリア54を前記キャリアスタンド53に載置
し、駆動手段によって前記キャリア支柱51を設定角度
ずつ回動させ、多関節ロボットRの先端のアーム55の
先端部に装着されたウェハ移載ハンド56によってウェ
ハキャリア54内のウェハWを取出し、前記多関節ロボ
ットRの作動によりウェハボート57に移載する構成で
ある。その際スループットの向上のため、一度に複数枚
(通常は5枚)のウェハWを、標準ピッチP1 (6.3
5mm)のウェハキャリア54側から、狭ピッチP
2 (4.76mm或いは5.2mm)のウェハボート5
7側へ移載するという方法が行われている。そのために
は、ウェハ移載ハンド56に、複数枚のウェハWの上下
方向のピッチを変更させる機構を設けることが必要であ
る。
置内に搬入するにはキャリアステージ装置が使用されて
いる。このキャリアステージ装置は、図14に示される
ように、キャリア支柱51にキャリア台52を介して複
数台のキャリアスタンド53が円周方向に等間隔をおい
て装着され、多数枚のウェハWを水平状態で収納したウ
ェハキャリア54を前記キャリアスタンド53に載置
し、駆動手段によって前記キャリア支柱51を設定角度
ずつ回動させ、多関節ロボットRの先端のアーム55の
先端部に装着されたウェハ移載ハンド56によってウェ
ハキャリア54内のウェハWを取出し、前記多関節ロボ
ットRの作動によりウェハボート57に移載する構成で
ある。その際スループットの向上のため、一度に複数枚
(通常は5枚)のウェハWを、標準ピッチP1 (6.3
5mm)のウェハキャリア54側から、狭ピッチP
2 (4.76mm或いは5.2mm)のウェハボート5
7側へ移載するという方法が行われている。そのために
は、ウェハ移載ハンド56に、複数枚のウェハWの上下
方向のピッチを変更させる機構を設けることが必要であ
る。
【0003】従来、この種のウェハ移載ハンドとして、
特開平7−37966号公報に記載されるものがある。
この公報にて開示された技術は、「ピッチ変換板(5)
の可変溝(9)の一面(9A)又は他面(9B)に、ウ
エハ保持プレート取付けブロック(4)を駆動源(8)
により押付け、2種類のウエハピッチに対応できること
を特徴とするウエハ可変ピッチウエハ保持器。」であ
る。しかし、この公報に記載される技術では、ウェハの
ピッチを変更するための駆動源として空圧シリンダを使
用しているため、作動時の衝撃が大きく安定性に欠ける
という不具合がある。更に、半導体は通常クリーンルー
ムにて製造される。即ち、この種のウェハ移載ハンドは
クリーンルームで使用されるものであるため、衝撃をよ
り小さくすることが必要である。
特開平7−37966号公報に記載されるものがある。
この公報にて開示された技術は、「ピッチ変換板(5)
の可変溝(9)の一面(9A)又は他面(9B)に、ウ
エハ保持プレート取付けブロック(4)を駆動源(8)
により押付け、2種類のウエハピッチに対応できること
を特徴とするウエハ可変ピッチウエハ保持器。」であ
る。しかし、この公報に記載される技術では、ウェハの
ピッチを変更するための駆動源として空圧シリンダを使
用しているため、作動時の衝撃が大きく安定性に欠ける
という不具合がある。更に、半導体は通常クリーンルー
ムにて製造される。即ち、この種のウェハ移載ハンドは
クリーンルームで使用されるものであるため、衝撃をよ
り小さくすることが必要である。
【0004】また、他の技術として、特開平7−106
403号公報に記載された技術が開示されている。この
技術は、互いに反対方向にねじが切られたボールねじの
それぞれの可動体にアームを取付け、該ボールねじを所
定量回転させることによって前記可動体を互いに反対方
向に、同じ量だけ無段階に移動させるという構成であ
る。しかし、この方法ではボールねじを使用しているた
め装置が複雑化、大型化する。しかも高価である。
403号公報に記載された技術が開示されている。この
技術は、互いに反対方向にねじが切られたボールねじの
それぞれの可動体にアームを取付け、該ボールねじを所
定量回転させることによって前記可動体を互いに反対方
向に、同じ量だけ無段階に移動させるという構成であ
る。しかし、この方法ではボールねじを使用しているた
め装置が複雑化、大型化する。しかも高価である。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記した問題
に鑑み、一度に複数枚のウェハを移載するハンドにおい
て、各フィンガーに載置されている各ウェハの上下方向
のピッチを簡単な構成で変更することができるようにす
ることを課題としている。
に鑑み、一度に複数枚のウェハを移載するハンドにおい
て、各フィンガーに載置されている各ウェハの上下方向
のピッチを簡単な構成で変更することができるようにす
ることを課題としている。
【0006】
【課題を解決するための手段】この課題を解決するため
に本発明が採用した手段は、多段に配設された複数枚の
フィンガーにウェハが載置され、これらのフィンガーの
うち基準フィンガー以外の昇降フィンガーが、フレーム
に対して片持の状態で個別に昇降可能であり、該昇降フ
ィンガーの各昇降操作部はそれぞれクランク軸を構成す
るクランクピンに連結されていて、標準ピッチのウェハ
キャリア側から狭ピッチのウェハボート側へウェハを移
載する際に、前記した複数枚のフィンガーに載置された
ウェハの上下方向のピッチを変更して、一度に複数枚の
ウェハを移載するピッチ可変ウェハ移載ハンドであっ
て、前記した各クランクピンの偏心量を、変更されるピ
ッチの差と昇降フィンガーの各段数とを掛け合わせた値
の半分とし、各クランク軸の駆動軸を回動させて各昇降
フィンガーを昇降させることによって、基準フィンガー
のウェハに対するそれ以外の各ウェハの上下方向のピッ
チを変更可能にしたことである。
に本発明が採用した手段は、多段に配設された複数枚の
フィンガーにウェハが載置され、これらのフィンガーの
うち基準フィンガー以外の昇降フィンガーが、フレーム
に対して片持の状態で個別に昇降可能であり、該昇降フ
ィンガーの各昇降操作部はそれぞれクランク軸を構成す
るクランクピンに連結されていて、標準ピッチのウェハ
キャリア側から狭ピッチのウェハボート側へウェハを移
載する際に、前記した複数枚のフィンガーに載置された
ウェハの上下方向のピッチを変更して、一度に複数枚の
ウェハを移載するピッチ可変ウェハ移載ハンドであっ
て、前記した各クランクピンの偏心量を、変更されるピ
ッチの差と昇降フィンガーの各段数とを掛け合わせた値
の半分とし、各クランク軸の駆動軸を回動させて各昇降
フィンガーを昇降させることによって、基準フィンガー
のウェハに対するそれ以外の各ウェハの上下方向のピッ
チを変更可能にしたことである。
【0007】ピッチ可変ウェハ移載ハンドの基準フィン
ガーに対する各昇降フィンガーの上下方向のピッチは、
予め標準ピッチに設定されている。そのため、各フィン
ガーに載置されている複数枚のウェハのピッチは、標準
ピッチに設定されている。このピッチ可変ウェハ移載ハ
ンドを標準ピッチのウェハキャリア側に移動させ、ウェ
ハキャリア側の各ウェハを、前記ピッチ可変ウェハ移載
ハンドの基準フィンガー及び各昇降フィンガーに載置し
て取出す。この状態で駆動軸を180°回動させると、
各クランク軸の作動によって各昇降フィンガーが上昇
し、基準フィンガーに対する各昇降フィンガーの上下方
向のピッチが狭ピッチに変更される。即ち、各フィンガ
ーに載置されている各ウェハのピッチが、狭ピッチに変
更される。ピッチ可変ウェハ移載ハンドを狭ピッチのウ
ェハボート側へ移動させ、各ウェハを収納する。その
後、クランク軸の駆動軸を、同方向に更に180°回動
させて各昇降フィンガーを下降させ標準ピッチに設定す
る。前記した狭ピッチとは異なる別の狭ピッチに変更し
たい場合には、各クランクピンの偏心量を変更すること
によって対応できる。
ガーに対する各昇降フィンガーの上下方向のピッチは、
予め標準ピッチに設定されている。そのため、各フィン
ガーに載置されている複数枚のウェハのピッチは、標準
ピッチに設定されている。このピッチ可変ウェハ移載ハ
ンドを標準ピッチのウェハキャリア側に移動させ、ウェ
ハキャリア側の各ウェハを、前記ピッチ可変ウェハ移載
ハンドの基準フィンガー及び各昇降フィンガーに載置し
て取出す。この状態で駆動軸を180°回動させると、
各クランク軸の作動によって各昇降フィンガーが上昇
し、基準フィンガーに対する各昇降フィンガーの上下方
向のピッチが狭ピッチに変更される。即ち、各フィンガ
ーに載置されている各ウェハのピッチが、狭ピッチに変
更される。ピッチ可変ウェハ移載ハンドを狭ピッチのウ
ェハボート側へ移動させ、各ウェハを収納する。その
後、クランク軸の駆動軸を、同方向に更に180°回動
させて各昇降フィンガーを下降させ標準ピッチに設定す
る。前記した狭ピッチとは異なる別の狭ピッチに変更し
たい場合には、各クランクピンの偏心量を変更すること
によって対応できる。
【0008】
【発明の実施の形態】以下、実施例を挙げて本発明を詳
細に説明する。本実施例では、5枚のウェハの上下方向
のピッチを標準ピッチP1 (6.35mm)から狭ピッ
チP2 の一つ(4.76mm)に変更するためのウェハ
移載ハンドとして説明する。図1ないし図4に示される
ように、本発明に係るウェハ移載ハンドのフレーム1
は、ベース2と該ベース2の上面に立設された一組の枠
体3a,3b と基準ブラケットB0とから成っている。一
組の枠体3a,3b は、ベース2の長手方向の両端近傍に
相対向して立設されている。基準ブラケットB0 は該枠
体3a,3b の上面に跨がって固設されている。基準ブラ
ケットB0 には、長方形でプレート状の基準フィンガー
F0 が、フレーム1から前方に突出する形態で取付けら
れている。この基準フィンガーF0 の下方には、前記基
準フィンガーF0 とほぼ同一形状を成す第1〜第4の昇
降フィンガーF1 〜F4 がこの順序で、しかも基準フィ
ンガーF0 にほぼ重なる形態で配設されている。後述す
るように、基準フィンガーF0 及び各昇降フィンガーF
1 〜F4 は、それらの基端部が基準ブラケットB0 及び
第1〜第4の昇降ブラケットB1 〜B4 に固設されて、
片持状態で支持されている。そして各フィンガーF0 〜
F4 の片持部分はウェハ載置部4となっていて、これら
の部分には円形のウェハWに対応した円形溝部4aが設
けられている。基準フィンガーF0 及び各昇降フィンガ
ーF1 〜F4 に載置されている各ウェハWの上下方向の
ピッチは、予め標準ピッチP1 (6.35mm)に設定
されている。
細に説明する。本実施例では、5枚のウェハの上下方向
のピッチを標準ピッチP1 (6.35mm)から狭ピッ
チP2 の一つ(4.76mm)に変更するためのウェハ
移載ハンドとして説明する。図1ないし図4に示される
ように、本発明に係るウェハ移載ハンドのフレーム1
は、ベース2と該ベース2の上面に立設された一組の枠
体3a,3b と基準ブラケットB0とから成っている。一
組の枠体3a,3b は、ベース2の長手方向の両端近傍に
相対向して立設されている。基準ブラケットB0 は該枠
体3a,3b の上面に跨がって固設されている。基準ブラ
ケットB0 には、長方形でプレート状の基準フィンガー
F0 が、フレーム1から前方に突出する形態で取付けら
れている。この基準フィンガーF0 の下方には、前記基
準フィンガーF0 とほぼ同一形状を成す第1〜第4の昇
降フィンガーF1 〜F4 がこの順序で、しかも基準フィ
ンガーF0 にほぼ重なる形態で配設されている。後述す
るように、基準フィンガーF0 及び各昇降フィンガーF
1 〜F4 は、それらの基端部が基準ブラケットB0 及び
第1〜第4の昇降ブラケットB1 〜B4 に固設されて、
片持状態で支持されている。そして各フィンガーF0 〜
F4 の片持部分はウェハ載置部4となっていて、これら
の部分には円形のウェハWに対応した円形溝部4aが設
けられている。基準フィンガーF0 及び各昇降フィンガ
ーF1 〜F4 に載置されている各ウェハWの上下方向の
ピッチは、予め標準ピッチP1 (6.35mm)に設定
されている。
【0009】図1及び図5に示されるように、フレーム
1のほぼ中央部の後方には、前記した基準フィンガーF
0 の長手方向に直角な方向に沿って、昇降操作軸Aが配
設されている。この昇降操作軸Aには、各昇降フィンガ
ーF1 〜F4 に対するクランク軸K1 〜K4 が設けられ
ている。この昇降操作軸Aの両端部の駆動軸5は、それ
ぞれフレーム1を構成する一組の枠体3a,3b に装着さ
れた軸受6によって支承されている。この昇降操作軸A
において、一方側の駆動軸5には被動歯車7が装着され
ていて、他方の駆動軸5にはドッグ8が装着されてい
る。ベース2の上面で一組の枠体3a,3b の内側には、
前記昇降操作軸Aの軸方向に沿ってステッピングモータ
Mが配設されている。このステッピングモータMには駆
動歯車9が装着されていて、前記した被動歯車7と噛合
されている。ステッピングモータMを作動させると、該
昇降操作軸Aは所定の方向に回動する。ドッグ8に相対
向して近接スイッチ11が取付けられている。該近接ス
イッチ11がドッグ8を検出することによって、昇降操
作軸Aの原点(この実施例の場合、各ウェハWの上下方
向のピッチが標準ピッチP1 に設定されている状態)が
検出される。
1のほぼ中央部の後方には、前記した基準フィンガーF
0 の長手方向に直角な方向に沿って、昇降操作軸Aが配
設されている。この昇降操作軸Aには、各昇降フィンガ
ーF1 〜F4 に対するクランク軸K1 〜K4 が設けられ
ている。この昇降操作軸Aの両端部の駆動軸5は、それ
ぞれフレーム1を構成する一組の枠体3a,3b に装着さ
れた軸受6によって支承されている。この昇降操作軸A
において、一方側の駆動軸5には被動歯車7が装着され
ていて、他方の駆動軸5にはドッグ8が装着されてい
る。ベース2の上面で一組の枠体3a,3b の内側には、
前記昇降操作軸Aの軸方向に沿ってステッピングモータ
Mが配設されている。このステッピングモータMには駆
動歯車9が装着されていて、前記した被動歯車7と噛合
されている。ステッピングモータMを作動させると、該
昇降操作軸Aは所定の方向に回動する。ドッグ8に相対
向して近接スイッチ11が取付けられている。該近接ス
イッチ11がドッグ8を検出することによって、昇降操
作軸Aの原点(この実施例の場合、各ウェハWの上下方
向のピッチが標準ピッチP1 に設定されている状態)が
検出される。
【0010】第1〜第4の昇降フィンガーF1 〜F4 の
構成について説明する。図6に示されるように、各昇降
ブラケットB1 〜B4 は正面視においてほぼ横になった
「L」字形状を成していて、それらの水平な段差部12
に各昇降フィンガーF1 〜F4 の基端部が取付けられて
いる。これらの段差部12と直角な方向に設けられてい
る各支持部13は、個別にガイドレールG1 〜G4 に取
付けられている。これら4基のガイドレールG1 〜G4
は、図5に示されるように、フレーム1を構成する一組
の枠体3a,3b の前部の内側部に、上下方向に沿って2
基ずつ並列に取付けられている。図2、図4及び図6に
示されるように、各昇降フィンガーF1〜F4 は、互い
が干渉しないように多段になって配設されている。上記
したように、第1〜第4の昇降フィンガーF1 〜F
4 は、各昇降ブラケットB1 〜B4 を介して各ガイドレ
ールG1 〜G4 に片持の状態で取付けられている。図5
及び図6に示されるように、各昇降ブラケットB1 〜B
4 の後部にはそれぞれ昇降操作部C1 〜C4 が設けられ
ている。各昇降操作部C1 〜C4 は、昇降操作軸Aにお
けるクランク軸K1 〜K4 の取付け位置に応じて交互に
配設されている。そのため各昇降操作部C1 〜C4 どう
しは干渉することがなく、第1〜第4の昇降フィンガー
F1 〜F4 は個別に昇降可能である。
構成について説明する。図6に示されるように、各昇降
ブラケットB1 〜B4 は正面視においてほぼ横になった
「L」字形状を成していて、それらの水平な段差部12
に各昇降フィンガーF1 〜F4 の基端部が取付けられて
いる。これらの段差部12と直角な方向に設けられてい
る各支持部13は、個別にガイドレールG1 〜G4 に取
付けられている。これら4基のガイドレールG1 〜G4
は、図5に示されるように、フレーム1を構成する一組
の枠体3a,3b の前部の内側部に、上下方向に沿って2
基ずつ並列に取付けられている。図2、図4及び図6に
示されるように、各昇降フィンガーF1〜F4 は、互い
が干渉しないように多段になって配設されている。上記
したように、第1〜第4の昇降フィンガーF1 〜F
4 は、各昇降ブラケットB1 〜B4 を介して各ガイドレ
ールG1 〜G4 に片持の状態で取付けられている。図5
及び図6に示されるように、各昇降ブラケットB1 〜B
4 の後部にはそれぞれ昇降操作部C1 〜C4 が設けられ
ている。各昇降操作部C1 〜C4 は、昇降操作軸Aにお
けるクランク軸K1 〜K4 の取付け位置に応じて交互に
配設されている。そのため各昇降操作部C1 〜C4 どう
しは干渉することがなく、第1〜第4の昇降フィンガー
F1 〜F4 は個別に昇降可能である。
【0011】各昇降操作部C1 〜C4 の構成について説
明する。各昇降操作部C1 〜C4 の構成は、それらが各
昇降フィンガーF1 〜F4 に取付けられている位置が異
なるだけで、それ以外はほとんど同一であるため第4の
昇降操作部C4 の構成についてのみ説明する。図8に示
されるように、第4の昇降操作部C4 には、溝部14が
設けられている。この溝部14には、連結軸15が嵌装
されている。該溝部14の幅は、連結軸15の直径より
も僅かに大きい。そのため、該連結軸15は前記溝部1
4の長手方向(第4の昇降フィンガーF4 の上下方向)
に沿って移動可能である。図7に示されるように、この
連結軸15の両端部には、一対の連結ロッド16が配設
されている。そして該連結軸15は、前記した一対の連
結ロッド16における長手方向の上部に装着された各軸
受17によって支承されている。連結軸15の軸方向の
ほぼ中央部には、軸直角方向に雌ねじ18が設けられて
いて、この雌ねじ18に調整ねじ19が螺合して取付け
られている。この調整ねじ19の上部は、昇降操作部C
4 の上部に設けられた通し穴21を介して昇降操作部C
4 の上方に突出しており、その突出部分に設けられた雄
ねじ部22に締付ナット23が螺合している。調整ねじ
19の上端面には、すり割り24が設けられている。締
付ナット23を緩め、すり割り24に工具を装着して調
整ねじ19を回転させると、昇降操作部C4 の上下方向
の位置が変化する。昇降操作部C4 において、溝部14
が形成された部分の下部には通し穴25が設けられてい
て、この通し穴25に相対向する部分に雌ねじ26が設
けられている。そして、この通し穴25を介して固定ね
じ27が装着されていて、前記雌ねじ26に螺合して取
付けられている。該固定ねじ27を締付けることによっ
て、溝部14に嵌装された連結軸15を固定することが
できる。
明する。各昇降操作部C1 〜C4 の構成は、それらが各
昇降フィンガーF1 〜F4 に取付けられている位置が異
なるだけで、それ以外はほとんど同一であるため第4の
昇降操作部C4 の構成についてのみ説明する。図8に示
されるように、第4の昇降操作部C4 には、溝部14が
設けられている。この溝部14には、連結軸15が嵌装
されている。該溝部14の幅は、連結軸15の直径より
も僅かに大きい。そのため、該連結軸15は前記溝部1
4の長手方向(第4の昇降フィンガーF4 の上下方向)
に沿って移動可能である。図7に示されるように、この
連結軸15の両端部には、一対の連結ロッド16が配設
されている。そして該連結軸15は、前記した一対の連
結ロッド16における長手方向の上部に装着された各軸
受17によって支承されている。連結軸15の軸方向の
ほぼ中央部には、軸直角方向に雌ねじ18が設けられて
いて、この雌ねじ18に調整ねじ19が螺合して取付け
られている。この調整ねじ19の上部は、昇降操作部C
4 の上部に設けられた通し穴21を介して昇降操作部C
4 の上方に突出しており、その突出部分に設けられた雄
ねじ部22に締付ナット23が螺合している。調整ねじ
19の上端面には、すり割り24が設けられている。締
付ナット23を緩め、すり割り24に工具を装着して調
整ねじ19を回転させると、昇降操作部C4 の上下方向
の位置が変化する。昇降操作部C4 において、溝部14
が形成された部分の下部には通し穴25が設けられてい
て、この通し穴25に相対向する部分に雌ねじ26が設
けられている。そして、この通し穴25を介して固定ね
じ27が装着されていて、前記雌ねじ26に螺合して取
付けられている。該固定ねじ27を締付けることによっ
て、溝部14に嵌装された連結軸15を固定することが
できる。
【0012】次に、昇降操作軸Aの構成について説明す
る。図3に示されるように、昇降操作軸Aには、その軸
方向に沿って第1〜第4の各クランク軸K1 〜K4 がこ
の順序で取付けられている。各クランク軸K1 〜K4 の
構成について説明する。各クランク軸K1 〜K4 の構成
は、それらのクランクピンS1 〜S4 の偏心量e1 〜e
4 が異なるだけで、それ以外は同一であるため第4のク
ランク軸K4 の構成についてのみ説明する。図7に示さ
れるように、第4のクランク軸K4 は、第4のクランク
ピンS4 とその両外側に配設されたブロック28,29
とから構成されている。これらのブロック28,29
は、第4のクランク軸K4 においてクランクアームの機
能を成すものである。クランクピンS4 は、その軸方向
で二分割されている。一方側のブロック28は、駆動軸
5の端部を構成する部材であり、図9に示されるよう
に、その下部は脚部31になっている。また、他方側の
ブロック29の下部は、該ブロック29のほぼ中央部か
ら昇降操作軸Aの軸直角方向に分割されていて、一方の
下部29aが第3のクランク軸K3 を構成する部材とな
っており、他方の下部29bが第4のクランク軸K4 を
構成する部材となっている。ブロック28と同様に、ブ
ロック29の下部29a,29b も二股形状を成してい
る。以下の説明はブロック28について行うが、ブロッ
ク29についても同様である。
る。図3に示されるように、昇降操作軸Aには、その軸
方向に沿って第1〜第4の各クランク軸K1 〜K4 がこ
の順序で取付けられている。各クランク軸K1 〜K4 の
構成について説明する。各クランク軸K1 〜K4 の構成
は、それらのクランクピンS1 〜S4 の偏心量e1 〜e
4 が異なるだけで、それ以外は同一であるため第4のク
ランク軸K4 の構成についてのみ説明する。図7に示さ
れるように、第4のクランク軸K4 は、第4のクランク
ピンS4 とその両外側に配設されたブロック28,29
とから構成されている。これらのブロック28,29
は、第4のクランク軸K4 においてクランクアームの機
能を成すものである。クランクピンS4 は、その軸方向
で二分割されている。一方側のブロック28は、駆動軸
5の端部を構成する部材であり、図9に示されるよう
に、その下部は脚部31になっている。また、他方側の
ブロック29の下部は、該ブロック29のほぼ中央部か
ら昇降操作軸Aの軸直角方向に分割されていて、一方の
下部29aが第3のクランク軸K3 を構成する部材とな
っており、他方の下部29bが第4のクランク軸K4 を
構成する部材となっている。ブロック28と同様に、ブ
ロック29の下部29a,29b も二股形状を成してい
る。以下の説明はブロック28について行うが、ブロッ
ク29についても同様である。
【0013】図9に示されるように、ブロック28にお
ける脚部31どうしによって形成された空間部には、ク
ランクピンS4 が嵌装されている。空間部の幅は、クラ
ンクピンS4 の直径よりも僅かに大きい。そのため、ク
ランクピンS4 は前記空間部の長手方向(昇降フィンガ
ーF1 〜F4 の上下方向)に沿って移動可能である。図
7に示されるように、一組のクランクピンS4 の両内側
は、前述した一対の連結ロッド16における長手方向の
下部に装着された各軸受32によって支承されている。
クランクピンS4 の軸方向の端部には、軸直角方向に雌
ねじ33が設けられていて、該雌ねじ33に調整ねじ3
4が螺合して取付けられている。調整ねじ34の上部
は、ブロック28の上部に設けられた通し穴35を介し
て該ブロック28の上方に突出しており、その突出部分
に設けられた雄ねじ部36に締付ナット37が螺合して
いる。調整ねじ34の上端面には、すり割り38が設け
られている。締付ナット37を緩め、すり割り38に工
具を装着して前記調整ねじ34を回転させると、クラン
クピンS4 の上下方向の位置が変化する。図9に示され
るように、一方の脚部31の下部には通し穴39が設け
られていて、この通し穴39に相対向する部分に雌ねじ
41が設けられている。そして、この通し穴39を介し
て固定ねじ42が装着されていて、前記雌ねじ41に螺
合して取付けられている。該固定ねじ42を締付けるこ
とによって、脚部31どうしによって形成された空間部
に嵌装されたクランクピンS4 を固定することができ
る。
ける脚部31どうしによって形成された空間部には、ク
ランクピンS4 が嵌装されている。空間部の幅は、クラ
ンクピンS4 の直径よりも僅かに大きい。そのため、ク
ランクピンS4 は前記空間部の長手方向(昇降フィンガ
ーF1 〜F4 の上下方向)に沿って移動可能である。図
7に示されるように、一組のクランクピンS4 の両内側
は、前述した一対の連結ロッド16における長手方向の
下部に装着された各軸受32によって支承されている。
クランクピンS4 の軸方向の端部には、軸直角方向に雌
ねじ33が設けられていて、該雌ねじ33に調整ねじ3
4が螺合して取付けられている。調整ねじ34の上部
は、ブロック28の上部に設けられた通し穴35を介し
て該ブロック28の上方に突出しており、その突出部分
に設けられた雄ねじ部36に締付ナット37が螺合して
いる。調整ねじ34の上端面には、すり割り38が設け
られている。締付ナット37を緩め、すり割り38に工
具を装着して前記調整ねじ34を回転させると、クラン
クピンS4 の上下方向の位置が変化する。図9に示され
るように、一方の脚部31の下部には通し穴39が設け
られていて、この通し穴39に相対向する部分に雌ねじ
41が設けられている。そして、この通し穴39を介し
て固定ねじ42が装着されていて、前記雌ねじ41に螺
合して取付けられている。該固定ねじ42を締付けるこ
とによって、脚部31どうしによって形成された空間部
に嵌装されたクランクピンS4 を固定することができ
る。
【0014】図10を参照しながら、基準フィンガーF
0 及び各昇降フィンガーF1 〜F4に載置されているウ
ェハWの上下方向のピッチを、標準ピッチP1 (6.3
5mm)から狭ピッチP2 (4.76mm)に変更する
原理について説明する。最上段の基準フィンガーF0 は
固定されているため、各昇降フィンガーF1 〜F4 、或
いは各昇降フィンガーF1 〜F4 が取付けられている各
昇降ブラケットB1 〜B4 の上下方向のピッチを変更さ
せる。基準フィンガーF0 に対する第1の昇降フィンガ
ーF1 のピッチを変更させるためには、該昇降フィンガ
ーF1 を標準ピッチP1 と狭ピッチP2 との差d(d=
P1 −P2 =1.59mm)だけ上昇させればよい。そ
して、基準フィンガーF0 に対する第2の昇降フィンガ
ーF2 のピッチを変更させるためには、該昇降フィンガ
ーF1 を標準ピッチP1 と狭ピッチP2 との差dの2倍
だけ上昇させればよい。同様にして、基準フィンガーF
0に対する第3の昇降フィンガーF3 のピッチを変更さ
せるためには、該昇降フィンガーF3 を標準ピッチP1
と狭ピッチP2 との差dの3倍だけ、また、基準フィン
ガーF0 に対する第4の昇降フィンガーF4 のピッチを
変更させるためには、該昇降フィンガーF4 を標準ピッ
チP1 と狭ピッチP2 との差dの4倍だけ上昇させれば
よい。上記した標準ピッチP1 と狭ピッチP2 との差d
に掛け合わせられる数は、第1〜第4の昇降フィンガー
F1 〜F4 の各段数である。
0 及び各昇降フィンガーF1 〜F4に載置されているウ
ェハWの上下方向のピッチを、標準ピッチP1 (6.3
5mm)から狭ピッチP2 (4.76mm)に変更する
原理について説明する。最上段の基準フィンガーF0 は
固定されているため、各昇降フィンガーF1 〜F4 、或
いは各昇降フィンガーF1 〜F4 が取付けられている各
昇降ブラケットB1 〜B4 の上下方向のピッチを変更さ
せる。基準フィンガーF0 に対する第1の昇降フィンガ
ーF1 のピッチを変更させるためには、該昇降フィンガ
ーF1 を標準ピッチP1 と狭ピッチP2 との差d(d=
P1 −P2 =1.59mm)だけ上昇させればよい。そ
して、基準フィンガーF0 に対する第2の昇降フィンガ
ーF2 のピッチを変更させるためには、該昇降フィンガ
ーF1 を標準ピッチP1 と狭ピッチP2 との差dの2倍
だけ上昇させればよい。同様にして、基準フィンガーF
0に対する第3の昇降フィンガーF3 のピッチを変更さ
せるためには、該昇降フィンガーF3 を標準ピッチP1
と狭ピッチP2 との差dの3倍だけ、また、基準フィン
ガーF0 に対する第4の昇降フィンガーF4 のピッチを
変更させるためには、該昇降フィンガーF4 を標準ピッ
チP1 と狭ピッチP2 との差dの4倍だけ上昇させれば
よい。上記した標準ピッチP1 と狭ピッチP2 との差d
に掛け合わせられる数は、第1〜第4の昇降フィンガー
F1 〜F4 の各段数である。
【0015】各クランク軸K1 〜K4 を構成するそれぞ
れのクランクピンS1 〜S4 の駆動軸5に対する偏心量
e1 〜e4 を、次のように設定する。第1のクランクピ
ンS1 の駆動軸5に対する偏心量e1 を、標準ピッチP
1 と狭ピッチP2 との差dの0.5倍(e1 =0.5
d)とする。ここで、駆動軸5がステッピングモータM
によって原点(標準ピッチP1 の状態)から180°回
動されると、第1のクランクピンS1 は前記した偏心量
の2倍、即ちdだけ上昇する。即ち、第1の昇降フィン
ガーF1 の昇降量はdである。同様に、第2のクランク
ピンS2 の駆動軸5に対する偏心量e2 を、標準ピッチ
P1 と狭ピッチP2 との差dに設定(e2=d)する。
第2の昇降フィンガーF2 の昇降量は偏心量e2 の2
倍、即ち2dである。同様に、第3のクランクピンS3
の駆動軸5に対する偏心量e3 を、標準ピッチP1 と狭
ピッチP2 との差dの1.5倍に設定する(e3 =1.
5d)と、第3の昇降フィンガーF3 の昇降量は偏心量
e3 の2倍、即ち3dである。同様に、第4のクランク
ピンS4 の駆動軸5に対する偏心量e4 を、標準ピッチ
P1 と狭ピッチP2 との差dの2倍に設定(e4 =2
d)すると、第4の昇降フィンガーF4 の昇降量は偏心
量e4 の2倍、即ち4dである。上記したように、駆動
軸5を原点から180°回動させた際の各昇降フィンガ
ーF1 〜F4 の昇降量は、変更されるピッチの差dと各
昇降フィンガーF1 〜F4 の段数とを掛け合わせた値、
即ちd,2d,3d,4dである。
れのクランクピンS1 〜S4 の駆動軸5に対する偏心量
e1 〜e4 を、次のように設定する。第1のクランクピ
ンS1 の駆動軸5に対する偏心量e1 を、標準ピッチP
1 と狭ピッチP2 との差dの0.5倍(e1 =0.5
d)とする。ここで、駆動軸5がステッピングモータM
によって原点(標準ピッチP1 の状態)から180°回
動されると、第1のクランクピンS1 は前記した偏心量
の2倍、即ちdだけ上昇する。即ち、第1の昇降フィン
ガーF1 の昇降量はdである。同様に、第2のクランク
ピンS2 の駆動軸5に対する偏心量e2 を、標準ピッチ
P1 と狭ピッチP2 との差dに設定(e2=d)する。
第2の昇降フィンガーF2 の昇降量は偏心量e2 の2
倍、即ち2dである。同様に、第3のクランクピンS3
の駆動軸5に対する偏心量e3 を、標準ピッチP1 と狭
ピッチP2 との差dの1.5倍に設定する(e3 =1.
5d)と、第3の昇降フィンガーF3 の昇降量は偏心量
e3 の2倍、即ち3dである。同様に、第4のクランク
ピンS4 の駆動軸5に対する偏心量e4 を、標準ピッチ
P1 と狭ピッチP2 との差dの2倍に設定(e4 =2
d)すると、第4の昇降フィンガーF4 の昇降量は偏心
量e4 の2倍、即ち4dである。上記したように、駆動
軸5を原点から180°回動させた際の各昇降フィンガ
ーF1 〜F4 の昇降量は、変更されるピッチの差dと各
昇降フィンガーF1 〜F4 の段数とを掛け合わせた値、
即ちd,2d,3d,4dである。
【0016】上記したように、駆動軸5を原点から18
0°回動させると、基準フィンガーF0 の直下に配設さ
れている第1の昇降フィンガーF1 は高さdだけ上昇す
る。同様にして、第2〜第4の昇降フィンガーF2 〜F
4 はそれぞれ2d,3d,4dだけ上昇する。その結
果、第1〜第4の各昇降フィンガーF1 〜F4 は、基準
フィンガーF0 に対して狭ピッチP2 に設定される。即
ち、各フィンガーF0 〜F4 に載置されているウェハW
のピッチが、狭ピッチP2 に設定される。各昇降フィン
ガーF1 〜F4 を再度標準ピッチP1 に設定する場合に
は、駆動軸5を更に180°回動させて、原点に戻せば
よい。
0°回動させると、基準フィンガーF0 の直下に配設さ
れている第1の昇降フィンガーF1 は高さdだけ上昇す
る。同様にして、第2〜第4の昇降フィンガーF2 〜F
4 はそれぞれ2d,3d,4dだけ上昇する。その結
果、第1〜第4の各昇降フィンガーF1 〜F4 は、基準
フィンガーF0 に対して狭ピッチP2 に設定される。即
ち、各フィンガーF0 〜F4 に載置されているウェハW
のピッチが、狭ピッチP2 に設定される。各昇降フィン
ガーF1 〜F4 を再度標準ピッチP1 に設定する場合に
は、駆動軸5を更に180°回動させて、原点に戻せば
よい。
【0017】次に、標準ピッチP1 (6.35mm)か
ら4.76mm以外の狭ピッチP2'(例えば5.2m
m)に変更させる方法について説明する。図7に示され
るように、各クランクピンS1 〜S4 には、それぞれ調
整ねじ34が螺合されている。締付ナット37を緩めて
これらの調整ねじ34を同じ方向に同じ量だけ回転させ
て、各クランクピンS1 〜S4 をそれぞれのブロック2
8,29に対して所定の量(この場合、5.2mm−
4.76mm=0.44mm)だけ上昇させる。する
と、各クランクピンS1 〜S4 の駆動軸5に対する偏心
量e1 〜e4 がd(この場合、6.35mm−4.76
mm=1.59mm)の0.5倍、等倍、1.5倍、2
倍から、d’(この場合、6.35mm−5.2mm=
1.15mm)の0.5倍、等倍、1.5倍、2倍に変
更される。この状態で、駆動軸5を原点から180°回
動させると、各昇降フィンガーF1 〜F4 は狭ピッチP
2'(5.2mm)に設定される。
ら4.76mm以外の狭ピッチP2'(例えば5.2m
m)に変更させる方法について説明する。図7に示され
るように、各クランクピンS1 〜S4 には、それぞれ調
整ねじ34が螺合されている。締付ナット37を緩めて
これらの調整ねじ34を同じ方向に同じ量だけ回転させ
て、各クランクピンS1 〜S4 をそれぞれのブロック2
8,29に対して所定の量(この場合、5.2mm−
4.76mm=0.44mm)だけ上昇させる。する
と、各クランクピンS1 〜S4 の駆動軸5に対する偏心
量e1 〜e4 がd(この場合、6.35mm−4.76
mm=1.59mm)の0.5倍、等倍、1.5倍、2
倍から、d’(この場合、6.35mm−5.2mm=
1.15mm)の0.5倍、等倍、1.5倍、2倍に変
更される。この状態で、駆動軸5を原点から180°回
動させると、各昇降フィンガーF1 〜F4 は狭ピッチP
2'(5.2mm)に設定される。
【0018】図11ないし図13を参照しながら、本発
明に係るピッチ可変ウェハ移載ハンドを使用して、基準
フィンガーF0 に対する各昇降フィンガーF1 〜F4 の
ピッチを標準ピッチP1 から狭ピッチP2 に変更する場
合の作用について説明する。各昇降操作部C1 〜C4 の
作用は同一なので、第4の昇降操作部C4 の作用につい
てのみ説明する。図11に示されるように、駆動軸5の
軸心を回動中心Oとすると、標準ピッチP1 におけるブ
ロック28は、昇降操作部C4 に対して180°の位相
で配置されている。駆動軸5に対するクランクピンS4
の偏心量e4 は、変更されるピッチの差dの2倍(e4
=2d)である。連結ロッド16の心間距離を符号Lで
示す。また、連結軸15の軸心と回動中心Oとの距離を
H1 とすると、H1 =L−2dである。図12に示され
るように、ステッピングモータMを作動させて駆動軸5
を回動させると、ブロック28は偏心量e4 を保持しな
がら回動する。昇降操作部C4 はガイドレールG4 によ
って上下方向にのみ昇降可能であるため、ブロック28
が回動するとクランク軸K4 の作用によって上昇する。
駆動軸5が原点から180°回動すると、ステッピング
モータMが停止する。図13に示されるように、この状
態における連結軸15と回動中心Oとの距離をH2 とす
ると、H2 =L+2dである。昇降操作部C4 の昇降量
は、ブロック28が180°回動する前の距離H1 と回
動した後の距離H2 との差4d(H2−H1 =(L+2
d)−(L−2d)=4d)である。同様にして、第1
〜第3の各昇降操作部C1 〜C3 の昇降量はそれぞれ、
d,2d,3dである。各昇降操作部C1 〜C4 が前記
した昇降量だけ上昇すると、基準フィンガーF0 に対す
る各昇降フィンガーF1 〜F4 のピッチは、狭ピッチP
2 に設定される。
明に係るピッチ可変ウェハ移載ハンドを使用して、基準
フィンガーF0 に対する各昇降フィンガーF1 〜F4 の
ピッチを標準ピッチP1 から狭ピッチP2 に変更する場
合の作用について説明する。各昇降操作部C1 〜C4 の
作用は同一なので、第4の昇降操作部C4 の作用につい
てのみ説明する。図11に示されるように、駆動軸5の
軸心を回動中心Oとすると、標準ピッチP1 におけるブ
ロック28は、昇降操作部C4 に対して180°の位相
で配置されている。駆動軸5に対するクランクピンS4
の偏心量e4 は、変更されるピッチの差dの2倍(e4
=2d)である。連結ロッド16の心間距離を符号Lで
示す。また、連結軸15の軸心と回動中心Oとの距離を
H1 とすると、H1 =L−2dである。図12に示され
るように、ステッピングモータMを作動させて駆動軸5
を回動させると、ブロック28は偏心量e4 を保持しな
がら回動する。昇降操作部C4 はガイドレールG4 によ
って上下方向にのみ昇降可能であるため、ブロック28
が回動するとクランク軸K4 の作用によって上昇する。
駆動軸5が原点から180°回動すると、ステッピング
モータMが停止する。図13に示されるように、この状
態における連結軸15と回動中心Oとの距離をH2 とす
ると、H2 =L+2dである。昇降操作部C4 の昇降量
は、ブロック28が180°回動する前の距離H1 と回
動した後の距離H2 との差4d(H2−H1 =(L+2
d)−(L−2d)=4d)である。同様にして、第1
〜第3の各昇降操作部C1 〜C3 の昇降量はそれぞれ、
d,2d,3dである。各昇降操作部C1 〜C4 が前記
した昇降量だけ上昇すると、基準フィンガーF0 に対す
る各昇降フィンガーF1 〜F4 のピッチは、狭ピッチP
2 に設定される。
【0019】本発明に係るピッチ可変ウェハ移載ハンド
を使用中、何らかの原因でピッチ誤差が生じた場合に
は、各昇降操作部C1 〜C4 に装着されたそれぞれの調
整ねじ19を使用して、各昇降操作部C1 〜C4 の上下
方向の位置を微調整することができる。
を使用中、何らかの原因でピッチ誤差が生じた場合に
は、各昇降操作部C1 〜C4 に装着されたそれぞれの調
整ねじ19を使用して、各昇降操作部C1 〜C4 の上下
方向の位置を微調整することができる。
【0020】
【発明の効果】本発明に係るピッチ可変ウェハ移載ハン
ドは、基準フィンガーの下方に複数枚の昇降フィンガー
が多段に配設されていて、各昇降フィンガーの後部に設
けられた各昇降操作部がそれぞれクランク軸に連結され
ている。各クランク軸を構成するクランクピンの偏心量
は、変更されるピッチの差と昇降フィンガーの各段数と
を掛け合わせた値の半分であるため、各クランク軸の駆
動軸を回動させると各昇降フィンガーは、変更されるピ
ッチの差と各昇降フィンガーの段数とを掛け合わせた値
だけ昇降する。駆動軸を回動させることによって、基準
フィンガーに対する各昇降フィンガーの上下方向のピッ
チを変更することができる。即ち、基準フィンガーのウ
ェハに対する昇降フィンガーの各ウェハのピッチを変更
することができる。各昇降フィンガーを昇降させるため
の機構は、駆動軸を回動させるだけであり、安価に実現
できる。更に、各クランクピンの偏心量は調整可能であ
り、多種類の狭ピッチを設定することができる。また、
各昇降操作部の上下方向の位置は個別に微調整可能であ
るため、使用中のピッチ誤差も速やかに修正することが
できる。
ドは、基準フィンガーの下方に複数枚の昇降フィンガー
が多段に配設されていて、各昇降フィンガーの後部に設
けられた各昇降操作部がそれぞれクランク軸に連結され
ている。各クランク軸を構成するクランクピンの偏心量
は、変更されるピッチの差と昇降フィンガーの各段数と
を掛け合わせた値の半分であるため、各クランク軸の駆
動軸を回動させると各昇降フィンガーは、変更されるピ
ッチの差と各昇降フィンガーの段数とを掛け合わせた値
だけ昇降する。駆動軸を回動させることによって、基準
フィンガーに対する各昇降フィンガーの上下方向のピッ
チを変更することができる。即ち、基準フィンガーのウ
ェハに対する昇降フィンガーの各ウェハのピッチを変更
することができる。各昇降フィンガーを昇降させるため
の機構は、駆動軸を回動させるだけであり、安価に実現
できる。更に、各クランクピンの偏心量は調整可能であ
り、多種類の狭ピッチを設定することができる。また、
各昇降操作部の上下方向の位置は個別に微調整可能であ
るため、使用中のピッチ誤差も速やかに修正することが
できる。
【図1】本発明に係るピッチ可変ウェハ移載ハンドの平
面図である。
面図である。
【図2】同じく、側面図である。
【図3】同じく、背面図である。
【図4】図2のX1 −X1 断面図である。
【図5】図2のX2 −X2 断面図である。
【図6】各昇降ブラケットB1 〜B4 及び各ガイドレー
ルG1 〜G4 の取付け状態を示す分解図である。
ルG1 〜G4 の取付け状態を示す分解図である。
【図7】昇降操作軸Aにおける第4のクランク軸K4 の
構成を示す断面図である。
構成を示す断面図である。
【図8】図7のX3 −X3 断面図である。
【図9】図7のX4 −X4 断面図である。
【図10】ウェハWが載置されている各昇降フィンガー
F1 〜F4 のピッチを、標準ピッチP1 (6.35m
m)から狭ピッチP2 (4.76mm)に変更するため
の説明図である。
F1 〜F4 のピッチを、標準ピッチP1 (6.35m
m)から狭ピッチP2 (4.76mm)に変更するため
の説明図である。
【図11】第4の昇降フィンガーF4 を上昇させる作用
説明図である。
説明図である。
【図12】同じく、第4の昇降フィンガーF4 を上昇さ
せる際の途中の行程の作用説明図である。
せる際の途中の行程の作用説明図である。
【図13】同じく、第4の昇降フィンガーF4 を上昇さ
せた状態の作用説明図である。
せた状態の作用説明図である。
【図14】ウェハWを標準ピッチP1 のウェハキャリア
54側から、狭ピッチP2 のウェハボート57側へ移載
する状態を示す図である。
54側から、狭ピッチP2 のウェハボート57側へ移載
する状態を示す図である。
C1 〜C4 :昇降操作部 d',d:ピッチの差 e1 〜e4 :偏心量 F0 :基準フィンガー F1 〜F4 :昇降フィンガー K1 〜K4 :クランク軸 P1 :標準ピッチ P2,P2':狭ピッチ S1 〜S4 :クランクピン W:ウェハ 1:フレーム 5:駆動軸 54:ウェハキャリア 57:ウェハボート
Claims (3)
- 【請求項1】 多段に配設された複数枚のフィンガーに
ウェハが載置され、これらのフィンガーのうち基準フィ
ンガー以外の昇降フィンガーが、フレームに対して片持
の状態で個別に昇降可能であり、該昇降フィンガーの各
昇降操作部はそれぞれクランク軸を構成するクランクピ
ンに連結されていて、標準ピッチのウェハキャリア側か
ら狭ピッチのウェハボート側へウェハを移載する際に、
前記した複数枚のフィンガーに載置されたウェハの上下
方向のピッチを変更して、一度に複数枚のウェハを移載
するピッチ可変ウェハ移載ハンドであって、 前記した各クランクピンの偏心量を、変更されるピッチ
の差と昇降フィンガーの各段数とを掛け合わせた値の半
分とし、各クランク軸の駆動軸を回動させて各昇降フィ
ンガーを昇降させることによって、基準フィンガーのウ
ェハに対するそれ以外の各ウェハの上下方向のピッチを
変更可能にしたことを特徴とするピッチ可変ウェハ移載
ハンド。 - 【請求項2】 前記した各クランクピンの偏心量が変更
可能であることを特徴とする請求項1に記載のピッチ可
変ウェハ移載ハンド。 - 【請求項3】 前記した昇降操作部の上下方向の位置が
調整可能であることを特徴とする請求項1又は2に記載
のピッチ可変ウェハ移載ハンド。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20771596A JPH1041371A (ja) | 1996-07-17 | 1996-07-17 | ピッチ可変ウェハ移載ハンド |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20771596A JPH1041371A (ja) | 1996-07-17 | 1996-07-17 | ピッチ可変ウェハ移載ハンド |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1041371A true JPH1041371A (ja) | 1998-02-13 |
Family
ID=16544364
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP20771596A Pending JPH1041371A (ja) | 1996-07-17 | 1996-07-17 | ピッチ可変ウェハ移載ハンド |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH1041371A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100746850B1 (ko) | 2005-05-27 | 2007-08-07 | 주식회사 엔씨비네트웍스 | 반도체 웨이퍼 이송장치 |
JP2010179419A (ja) * | 2009-02-06 | 2010-08-19 | Nidec Sankyo Corp | 産業用ロボット |
WO2010103876A1 (ja) * | 2009-03-13 | 2010-09-16 | 川崎重工業株式会社 | エンドエフェクタを備えたロボット及びその運転方法 |
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