JPH1038119A - マニホールド - Google Patents

マニホールド

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JPH1038119A
JPH1038119A JP8197697A JP19769796A JPH1038119A JP H1038119 A JPH1038119 A JP H1038119A JP 8197697 A JP8197697 A JP 8197697A JP 19769796 A JP19769796 A JP 19769796A JP H1038119 A JPH1038119 A JP H1038119A
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valve
manifold
flow path
passage
manual shaft
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Shuzo Masuo
秀三 増尾
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 流路切換弁をマニホールドベースに取り付け
たままの状態で、任意の流路切換弁への給気を遮断する
ことができるマニホールドを提供すること。 【解決手段】 給気流路Pと排気流路R1、R2とが形
成された略直方体をなすマニホールドベース2と、マニ
ホールドベース2に互いに隣接して並行に取り付けら
れ、給気流路P及び排気流路R1、R2と各々連通する
2以上の流路切換弁7とを有するマニホールド1におい
て、給気流路Pと連通する第1連通路11と、流体切換
弁7の給気ポートと連通する第2連通路12と、第1連
通路11と第2連通路12とを連通する弁室19と、弁
室19内に摺動可能に保持され、第1位置で第1連通路
11と第2連通路12とを連通し、第2位置で第1連通
路11と第2連通路12とを遮断する手動軸3とを備え
る遮断弁8を有する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は流体圧機器に関する
ものであり、さらに詳細には、多連数の流路切換弁によ
り構成されるマニホールドに関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来より、流体圧機器はローコストで、
省力化、自動化が可能となるために、多方面の産業にお
いて使用されている。また、作動流体として空気を用い
れば、環境を清潔に保てるために、最近半導体の製造ラ
インにおいても使用されている。また、省配管、小型化
を図るために、多連数の流路切換弁を一体化してマニホ
ールドとして使用されている。そして、マニホールドは
流体圧作動機器等に接続されて、流体圧作動機器等の動
きを制御している。マニホールドと流体圧作動機器の接
続ラインは、できる限り短い方がより精度良く制御でき
るため、マニホールドの多くは流体圧作動機器の近辺に
設置されている。
【0003】メンテナンス性の面から圧力流体の供給源
の元バルブを閉じることなく、マニホールドを構成する
流路切換弁を交換したり、配管の漏れや流体圧作動機器
の点検、交換ができることが要求されている。すなわ
ち、係る作業を行なうためには、流路切換弁への圧力流
体の供給を遮断する必要がある。そこで、マニホールド
ベースに遮断弁を取り付けて、流路切換弁への圧力流体
の供給を遮断している。
【0004】ここで、従来のマニホールドを図6に示
す。図6はマニホールドの断面図である。図6に示すマ
ニホールドは、マニホールドベース32内に各流路切換
弁の給気ポートとの連通路にそれぞれチェック弁が内蔵
され、このチェック弁が遮断弁として機能している。チ
ェック弁はマニホールドベース32に流路切換弁33が
装着されていないときは、バネ31の力により弁体30
を上方へ付勢していて、連通路を閉鎖している。そし
て、マニホールドベース32に流路切換弁33を装着す
ると、流路切換弁33に設けられている突起部34が弁
体30を下方へ押し込み、連通路を開放するので、流路
切換弁33に圧力流体が供給される。流路切換弁33を
マニホールドベース32から取り外すと、再び弁体30
がバネの力により上方へ付勢されて、連通路を閉鎖し圧
力流体を遮断する。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
マニホールドには次のような問題があった。すなわち、
流路切換弁33をマニホールドベース32から取り外す
ことで、圧力流体の給気遮断を行なうので、流路切換弁
33をマニホールドベース32に取り付けたままでは、
圧力流体の給気遮断を行なうことはできない。よって、
接続配管の漏れチェックを行なうためには、その都度、
流路切換弁33をマニホールドベース32から取り外さ
なければならないので、非常にメンテナンス性が悪いと
いう問題である。また、マニホールドの設置場所によっ
ては、流路切換弁33をマニホールドベース32から取
り外せない場合もある。この場合には、配管の漏れチェ
ックが行えないことになり、保全性上非常に好ましくな
い。
【0006】さらに、流体切換弁33をマニホールドベ
ース32に取り付けるとき、あるいは取り外し時にチェ
ック弁が半開きの状態になるので、圧力流体が漏れてし
まう。圧力流体には一定の圧力が掛かっているため、圧
力流体の漏れは、安全性の面で問題があるし、クリーン
な環境が要求されている場合には、例えば半導体の製造
工程や食品産業等、漏れた圧力流体が製品に大きな悪影
響を与える(不良品が出来てしまう等)という問題もあ
る。
【0007】そこで本発明は、上記問題点を解決するた
めになされたものであり、流路切換弁をマニホールドベ
ースに取り付けたままの状態で、任意の流路切換弁への
給気を遮断することができるマニホールドを提供するこ
とを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記した問題点を解決す
るために請求項1に記載するマニホールドによれば、内
部に共通の給気流路と排気流路とが形成された略直方体
をなすマニホールドベースと、該マニホールドベースに
互いに隣接して並行に取り付けられ、該給気流路及び該
排気流路と各々連通する2以上の流路切換弁とを有する
マニホールドにおいて、前記給気流路と連通する第1連
通路と、前記流体切換弁の給気ポートと連通する第2連
通路と、前記第1連通路と前記第2連通路とを連通する
弁室と、前記弁室内に摺動可能に保持され、第1位置で
前記第1連通路と前記第2連通路とを連通し、第2位置
で前記第1連通路と前記第2連通路とを遮断する手動軸
とを備える遮断弁を有することを特徴とする。
【0009】請求項2に記載するマニホールドによれ
ば、上記問題点を解決するために請求項1に記載するマ
ニホールドにおいて、前記遮断弁が前記マニホールドベ
ースから着脱できるようにユニット化されていることを
特徴とする。
【0010】請求項3に記載するマニホールドによれ
ば、上記問題点を解決するために請求項1または請求項
2に記載するマニホールドにおいて、前記第2連通路と
連通し、外部に開口する供給口を有することを特徴とす
る。
【0011】請求項4に記載するマニホールドによれ
ば、上記問題点を解決するために請求項1及至請求項3
に記載するマニホールドのいずれか1つにおいて、前記
手動軸を前記第2位置に保持することができるロック機
構を有することを特徴とする。
【0012】請求項5に記載するマニホールドによれ
ば、上記問題点を解決するために請求項4に記載するマ
ニホールドにおいて、前記ロック機構が、前記手動軸の
軸方向と円周方向とに溝を有することを特徴とする。
【0013】ここにおいて、手動軸に形成されている溝
の形状は、一般的には、L字形、T字形、あるいはH字
形である。しかし、前記形状に限られるわけではなく、
他の形状でも適用することができる。
【0014】上記構成を有するマニホールドによれば、
圧力流体の供給源の元バルブを閉めずに、マニホールド
ベースから流路切換弁を取り外すことなく、任意の流路
切換弁への圧力流体の供給を遮断することができる。よ
って、従来例のように元バルブを開放したまま流路切換
弁への圧力流体の供給を遮断する場合、遮断時に圧力流
体が漏れることがないので、安全性あるいは製品の品質
が大幅に向上する。また、流路切換弁を取り付けたまま
で、圧力流体の供給を遮断して、配管の漏れチェックが
できるので、メンテナンス性が向上する。
【0015】さらに、遮断弁をユニット化することによ
り、遮断弁が故障した場合に、故障した遮断弁のみを交
換すれば良いから、保全性(特に経済性)が優れてい
る。また、第2連通路に連通する外部供給口を装着する
ことにより、マニホールドベースに供給される圧力流体
とは、異なった圧力流体を任意の流路切換弁に供給する
ことができる。よって、多種多様な使用方法が可能とな
る。また、手動軸にロック機構を付けることにより、圧
力流体の供給を遮断している状態を保持できるので、保
全、修理作業の効率良く行なうことができる。さらに、
ロック機構が手動軸に溝を有し、この溝と平行ピンの係
合によって位置ロックされる単純な構造なので、製造上
のコストアップも伴わず、壊れにくい。
【0016】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係るマニホールド
について、具体化した実施の形態を挙げ、図面に基づい
て詳細に説明する。図1、2に本発明の実施の形態であ
るマニホールドを示す。図1はマニホールド(給気供給
時)の断面図、図2はマニホールド(給気遮断時)の断
面図である。図1において、マニホールドベース2は、
直方体形状をなし、長手方向に給気流路P、排気流路R
1、R2がマニホールドベース2内を貫通して形成され
ている。また、長手方向と直交する方向に流路切換弁で
ある5ポート電磁弁7に設けられた2つの出力ポートと
連通する出力流路A、Bが、給気流路Pと排気流路R
1、R2とに交わることなく、マニホールドベース2の
側面に形成され、その開口部にインスタント形継手6が
装着されている。インスタント形継手(ワンタッチ式継
手)とは、接続チューブ等を差し込むことにより、接続
チューブ等がロックされ、インスタント形継手に備わる
開放リングを押し込むことで、接続チューブ等のロック
が開放され、接続チューブ等を抜き取ることができる管
継手である。さらに、給気流路Pと遮断弁8の入口とを
連通させる第1連通路11と、遮断弁8の出口と電磁弁
7の給気ポートとを連通させる第2連通路12が形成さ
れている。
【0017】本実施の形態では、遮断弁がマニホールド
ベース内に組み込まれておらず、別体のユニット化され
た遮断弁8をマニホールドベース2に取り付けている。
もちろん、遮断弁をマニホールドベース内に組み込むこ
とも可能である。遮断弁をユニット化すると、遮断弁が
故障した場合に、故障した遮断弁のみを交換すれば良い
から、保全性(特に経済性)が優れている。
【0018】遮断弁8の構成について説明する。図1に
示すように、遮断弁8は遮断弁本体4と手動軸3とから
構成されている。遮断弁本体4には入口流路9、出口流
路10及び手動軸3が嵌入かつ摺動できる弁室19が加
工されている。この入口流路9及び出口流路10は、本
質的には、第1連通路11及び第2連通路12の一部で
あるが、マニホールドベース2内に形成されていないの
で、第1連通路11と入口流路9を、及び第2連通路1
2と出口流路10を区別しただけである。
【0019】さらに、出口流路10にはプラグ13が装
着されている。このプラグ13はチェック弁の機能を持
っており、通常は閉栓状態であり、プラグ13に配管す
ることで開栓状態になり接続管と出口流路10とが連通
する。よって、プラグ13から各電磁弁へ圧力流体を供
給することができる。従って、遮断弁8において、給気
遮断状態にしておけば、マニホールドベース2の供給流
路Pに供給される圧力流体とは別に、種類の違う流体や
圧力の異なる流体を各電磁弁へ個別に供給することがで
きる。このプラグ13の装着により、マニホールドの使
用用途が多種多様に拡がる。
【0020】手動軸3について、図3、4に基づいて説
明する。図3は手動軸3の平面図、図4は同断面図であ
る。手動軸3は棒状のものであり、遮断弁本体4に嵌入
されない端部に、操作用のツマミ14が形成されてい
る。このツマミ14は、遮断弁本体4に嵌入する部分よ
り大径である。一方、ツマミ14と反対側には、他の部
分より小径になっている小径部15が形成されている。
この小径部15の位置によって、入口流路9と出口流路
10とが連通あるいは遮断される。そして、この小径部
15の両端には、圧力流体が漏れないように、気密に保
持するためのOリングを装着するための溝が設けられて
いる。さらに、手動軸3内部には、図4に示すように、
手動軸3を第2位置に移動させるときに弁室19内に残
留している圧力流体を逃がすための退避流路16が形成
されている。
【0021】また、手動軸3の中央付近には、図3に示
すように、L字状の溝17が形成されている。この溝1
7に、遮断弁本体4に装着された平行ピン5が係合す
る。手動軸3が摺動するときには、L字状の溝13の軸
方向の溝に、平行ピン5が係合している。よって、手動
軸3が摺動するときには、前記した溝がガイドになり手
動軸3が回転することはない。そして、手動軸3が第2
位置にあるときに、手動軸3を回すことによりL字状の
溝17の円周方向の溝に、平行ピン5を係合して、手動
軸3は第2位置にロックされる。このロックを解除する
ときは、手動軸3をロックしたときとは逆に回せば解除
される。ロックが解除されると、再び平行ピン5がL字
状の溝17の軸方向の溝に係合し、復帰用バネ18によ
り、第1位置に戻される。L字状の溝17の軸方向の溝
と平行ピン5で手動軸3の摺動時の回転を防止し、円周
方向の溝と平行ピン5で手動軸3のロックを行なってい
る。
【0022】手動軸3にロック機構を有することによ
り、給気遮断状態(第2位置)を保持できるので、流路
切換弁の交換や配管の漏れチェック等の保全修理作業を
効率よく行なうことができる。
【0023】上記部品から構成された遮断弁8は、図5
に示すように、マニホールドベース2の側面にボルトに
よって各々の電磁弁1に対応して取り付けられる。遮断
弁8が取り付けられているソレノイド部の下方部は、従
来はデッドスペースとなっていた場所であり、この場所
に遮断弁8を取り付けるので、マニホールド1の寸法は
あまり大きくはならない。また、マニホールドベース2
と遮断弁8のシールはシールガスケットを取付面に装着
して行なっている。
【0024】続いて、マニホールドベース2の供給流路
Pに供給される圧力流体が電磁弁1に供給されるまでの
流路について説明する。まず、手動軸3が第1位置にあ
るとき(開放状態)について説明する。これは図1に示
す状態である。マニホールドベース2の供給流路Pに供
給された圧力流体は第1連通路11を流れ、遮断弁8の
入口流路9に供給される。手動軸3が押圧されていない
ので、バネ18の力により、図1に示す位置にあり、手
動軸3に形成された小径部15を介して、入口流路9と
出口流路10が連通している。よって、圧力流体はこの
小径部15を通って、入口流路9から出口流路10へと
流れていく。そして、圧力流体は出口流路10からマニ
ホールド2内の第2連通路10を流れ、電磁弁1の給気
ポートへ供給される。
【0025】次に、手動軸3が第2位置にあるとき(遮
断状態)について説明する。これは図2に示す状態であ
る。上記したように、マニホールドベース2の供給流路
Pに供給された圧力流体は第1連通路11を流れ、遮断
弁8の入口流路9に供給される。手動軸3が押圧されて
いるので、図2に示す位置にあり、入口流路9と出口流
路10は連通していない。よって、圧力流体は入口流路
9で留まっている。すなわち、圧力流体は電磁弁1へ供
給されない。
【0026】この状態において、プラグ13に接続管を
接続して別の種類の圧力流体を供給すると、出口流路1
0と第2連通路12を通り、電磁弁1の給気ポートに供
給される。よって、マニホールドベース2の給気流路P
に供給される圧力流体と異なる圧力流体を任意の電磁弁
に供給することができる。従って、1つのマニホールド
において多種類の圧力流体を必要に応じて供給できるの
で、いろいろな用途に対して1つのマニホールドで対応
することが可能となる。例えば、外部よりパイロットエ
アを供給しておけば、低真空と空圧の組合わせを1つの
マニホールド内で行なうことができる。また、図1また
は図2においては、プラグ13が手動軸本体4の上面に
装着されているが、手動軸4が突出している側面に装着
することも可能である。
【0027】以上説明したように本実施の形態のマニホ
ールドによれば、圧力流体の供給源の元バルブを閉めず
に、マニホールドベースから流路切換弁を取り外すこと
なく、任意の流路切換弁への圧力流体の供給を遮断する
ことができる。よって、従来例のように元バルブを開放
したまま流路切換弁への圧力流体の供給を遮断する場
合、遮断時に圧力流体が漏れることがないので、安全性
あるいは製品の品質が大幅に向上する。また、流路切換
弁を取り付けたままで、圧力流体の供給を遮断して、配
管の漏れチェックができるので、メンテナンス性が向上
する。
【0028】さらに、遮断弁をユニット化することによ
り、遮断弁が故障した場合に、故障した遮断弁のみを交
換すれば良いから、保全性(特に経済性)が優れてい
る。また、第2連通路に連通する外部供給口を装着する
ことにより、マニホールドベースに供給される圧力流体
とは、異なった圧力流体を任意の流路切換弁に供給する
ことができる。よって、多種多様な使用方法が可能とな
る。また、手動軸にロック機構を付けることにより、圧
力流体の供給を遮断している状態を保持できるので、保
全、修理作業の効率良く行なうことができる。さらに、
ロック機構が手動軸に溝を有し、この溝と平行ピンの係
合によって位置ロックされる単純な構造なので、製造上
のコストアップも伴わず、壊れにくい。
【0029】以上本発明の実施の形態について説明した
が、本発明は上記実施の形態に限ることなく、色々な応
用が可能である。すなわち、例えば本実施の形態では、
遮断弁をマニホールドベースに取り付ける構造である
が、マニホールド内に遮断弁を組み込むこともできる。
また、本実施の形態のマニホールドを構成する流路切換
弁は5ポート弁であるが、3ポート弁や2ポート弁であ
っても、もちろん適用することができる。
【0030】
【発明の効果】本発明のマニホールドによれば、内部に
共通の給気流路と排気流路とが形成された略直方体をな
すマニホールドベースと、該マニホールドベースに互い
に隣接して並行に取り付けられ、該給気流路及び該排気
流路と各々連通する2以上の流路切換弁とを有するマニ
ホールドにおいて、前記給気流路と連通する第1連通路
と、前記流体切換弁の給気ポートと連通する第2連通路
と、前記第1連通路と前記第2連通路とを連通する弁室
と、前記弁室内に摺動可能に保持され、第1位置で前記
第1連通路と前記第2連通路とを連通し、第2位置で前
記第1連通路と前記第2連通路とを遮断する手動軸とを
備える遮断弁を有するので、圧力流体の供給源の元バル
ブを閉めずに、マニホールドベースから流路切換弁を取
り外すことなく、任意の流路切換弁への圧力流体の供給
を遮断することができる。よって、従来例のように元バ
ルブを開放したまま流路切換弁への圧力流体の供給を遮
断する場合、遮断時に圧力流体が漏れることがないの
で、安全性あるいは製品の品質が大幅に向上する。ま
た、流路切換弁を取り付けたままで、圧力流体の供給を
遮断して、配管の漏れチェックができるので、メンテナ
ンス性が向上する。
【0031】さらに、遮断弁をユニット化することによ
り、遮断弁が故障した場合に、故障した遮断弁のみを交
換すれば良いから、保全性(特に経済性)が優れてい
る。また、第2連通路に連通する外部供給口を装着する
ことにより、マニホールドベースに供給される圧力流体
とは、異なった圧力流体を任意の流路切換弁に供給する
ことができる。よって、多種多様な使用方法が可能とな
る。また、手動軸にロック機構を付けることにより、圧
力流体の供給を遮断している状態を保持できるので、保
全、修理作業の効率良く行なうことができる。さらに、
ロック機構が手動軸に溝を有し、この溝と平行ピンの係
合によって位置ロックされる単純な構造なので、製造上
のコストアップも伴わず、壊れにくい。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るマニホールド(給気供給時)の断
面図である。
【図2】本発明に係るマニホールド(給気遮断時)の断
面図である。
【図3】本発明に係るマニホールドの構成部品である手
動軸の平面図である。
【図4】本発明に係るマニホールドの構成部品である手
動軸の断面図(図3に示すA−A断面)である。
【図5】本発明のマニホールドの斜視図である。
【図6】従来のマニホールドの断面図である。
【符号の説明】
1 マニホールド 2 マニホールドベース 3 手動軸 4 遮断弁本体 5 平行ピン 8 遮断弁 11、(9) 第1連通路(入口流路) 12、(10) 第2連通路(出口流路) 13 プラグ 19 弁室

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 内部に共通の給気流路と排気流路とが形
    成された略直方体をなすマニホールドベースと、 該マニホールドベースに互いに隣接して並行に取り付け
    られ、該給気流路及び該排気流路と各々連通する2以上
    の流路切換弁とを有するマニホールドにおいて、 前記給気流路と連通する第1連通路と、 前記流体切換弁の給気ポートと連通する第2連通路と、 前記第1連通路と前記第2連通路とを連通する弁室と、 前記弁室内に摺動可能に保持され、第1位置で前記第1
    連通路と前記第2連通路とを連通し、第2位置で前記第
    1連通路と前記第2連通路とを遮断する手動軸とを備え
    る遮断弁を有することを特徴とするマニホールド。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載するマニホールドにおい
    て、 前記遮断弁が前記マニホールドベースから着脱できるよ
    うにユニット化されていることを特徴とするマニホール
    ド。
  3. 【請求項3】 請求項1または請求項2に記載するマニ
    ホールドにおいて、 前記第2連通路と連通し、外部に開口する供給口を有す
    ることを特徴とするマニホールド。
  4. 【請求項4】 請求項1及至請求項3に記載するマニホ
    ールドのいずれか1つにおいて、 前記手動軸を前記第2位置に保持することができるロッ
    ク機構を有することを特徴とするマニホールド。
  5. 【請求項5】 請求項4に記載するマニホールドにおい
    て、 前記ロック機構が、前記手動軸の軸方向と円周方向とに
    溝を有することを特徴とするマニホールド。
JP8197697A 1996-07-26 1996-07-26 マニホールド Pending JPH1038119A (ja)

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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1094227A2 (en) * 1999-10-18 2001-04-25 Smc Corporation Fluid directional control device for solenoid valve assembly
EP1780421A1 (de) * 2005-10-26 2007-05-02 Festo Ag & Co. Ventilbatterie
WO2007101506A1 (de) * 2006-03-09 2007-09-13 Festo Ag & Co. Kg Ventilbatterie mit sicherheitsventil
EP2151587A1 (fr) * 2008-08-08 2010-02-10 Asco Joucomatic Dispositif isolateur de pression
WO2010129669A1 (en) * 2009-05-08 2010-11-11 Siemens Industry, Inc. Compressible fluid control system valve positioner isolation apparatus and method
EP2110563A3 (de) * 2008-04-15 2012-08-22 FESTO AG & Co. KG Ventilanordnung mit Zentralabsperreinrichtung

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1094227A2 (en) * 1999-10-18 2001-04-25 Smc Corporation Fluid directional control device for solenoid valve assembly
EP1094227A3 (en) * 1999-10-18 2002-09-25 Smc Corporation Fluid directional control device for solenoid valve assembly
EP1780421A1 (de) * 2005-10-26 2007-05-02 Festo Ag & Co. Ventilbatterie
WO2007101506A1 (de) * 2006-03-09 2007-09-13 Festo Ag & Co. Kg Ventilbatterie mit sicherheitsventil
EP2110563A3 (de) * 2008-04-15 2012-08-22 FESTO AG & Co. KG Ventilanordnung mit Zentralabsperreinrichtung
EP2151587A1 (fr) * 2008-08-08 2010-02-10 Asco Joucomatic Dispositif isolateur de pression
FR2934880A1 (fr) * 2008-08-08 2010-02-12 Asco Joucomatic Sa Dispositif isolateur de pression.
WO2010129669A1 (en) * 2009-05-08 2010-11-11 Siemens Industry, Inc. Compressible fluid control system valve positioner isolation apparatus and method

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